KR20230158089A - 과부하 구조물을 갖는 힘 및 토크 센서, 그리고 그 제조 방법 - Google Patents
과부하 구조물을 갖는 힘 및 토크 센서, 그리고 그 제조 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230158089A KR20230158089A KR1020237035523A KR20237035523A KR20230158089A KR 20230158089 A KR20230158089 A KR 20230158089A KR 1020237035523 A KR1020237035523 A KR 1020237035523A KR 20237035523 A KR20237035523 A KR 20237035523A KR 20230158089 A KR20230158089 A KR 20230158089A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- body structure
- sensor
- force
- structures
- overload
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 4
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 claims abstract description 18
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 20
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 9
- 239000012636 effector Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000004224 protection Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005482 strain hardening Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/26—Auxiliary measures taken, or devices used, in connection with the measurement of force, e.g. for preventing influence of transverse components of force, for preventing overload
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/20—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
- G01L1/22—Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
- G01L1/2206—Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports
- G01L1/2231—Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports the supports being disc- or ring-shaped, adapted for measuring a force along a single direction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/14—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft
- G01L3/1407—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft involving springs
- G01L3/1428—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft involving springs using electrical transducers
- G01L3/1457—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft involving springs using electrical transducers involving resistance strain gauges
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
힘/토크 센서가 외부 본체 구조물, 내부 본체 구조물, 및 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 연장되는 3개의 센서 구조물을 포함한다. 과부하 구조물이 센서 구조물들 사이에 배치된다. 과부하 구조물은 복수의 외부 면을 갖는 외부 부분, 및 복수의 상응하는 대향 내부 면을 갖는 내부 부분을 포함한다. 외부 면 및 내부 면은, 중립 위치로부터 적어도 6의 자유도로, 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 제한된 미리 결정된 양의 상대적인 이동을 허용하도록, 그리고 미리 결정된 양을 초과하는 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 상대적인 이동을 억제하도록 구성된다. 과부하 구조물은, 선택적으로 1번 통과로 수행되는 와이어-컷 전기 방전 가공을 이용하여 브리지를 분리하는 것에 의해서 형성될 수 있다.
Description
이러한 개시 내용은 일반적으로 과부하 구조물, 그리고 더 구체적으로 다수의 자유도의 힘/토크 센서와 함께 사용하기 위한 과부하 구조물에 관한 것이다.
일부 적용예에서, (세라믹 스트레인 게이지로도 알려져 있는) 규소-계 스트레인 게이지를 이용하여 힘 및/또는 토크를 검출할 수 있다. 일반적으로, 규소-계 센서는 비교적 작고, 종종 손에 의한, 정확한 배치를 요구한다. 세라믹 스트레인 게이지는 일반적으로 매우 민감하고, 결과적으로, 이들은 더 큰 및/또는 더 두꺼운 부하 빔(load beam) 또는 다른 부하 구조물에서 편향을 측정하기 위해서 사용될 수 있다. 따라서, 일부 적용예에서, 별도의 지정된 과부하 구조물은 필요하지 않을 수 있다. 예를 들어, 세라믹 스트레인 게이지가 위에 배치되는 부하 빔(또는 다른 구조물)은, 사용 중에 예상될 수 있는 힘 및/또는 토크에 응답한 영구적인 변형 또는 다른 손상을 방지할 수 있을 정도로 충분히 강건한 것으로 간주될 수 있다.
세라믹 스트레인 게이지가 종종 매우 민감한 것을 특징으로 하지만 이들은 일반적으로 온도에 더 민감하고, 단기간 또는 장기간의 동작 중에 더 쉽게 움직일(drift) 수 있다. 결과적으로, 그 항복 측정(yield measurement)에서 상당한 이력(hysteresis) 및/또는 다른 변동이 있을 수 있다.
이하의 도입부는 이하의 더 구체적인 설명을 독자에게 소개하기 위해서 제공된 것이다. 도입부는 임의의 청구된 또는 아직 청구되지 않은 발명을 제한하거나 규정하기 위한 것은 아니다. 하나 이상의 발명이 청구범위 및 도면을 포함하는 본 문헌의 임의의 부분에서 개시된 요소 또는 프로세스 단계의 임의의 조합 또는 하위-조합에 존재할 수 있다.
힘 및/또는 토크를 측정하기 위해서, 감지 디바이스가 하나 이상의 스트레인 게이지를 포함할 수 있고, 이러한 스트레인 게이지는 세장형 빔(또는 다른 부하 구조물)에 고정되어, 감지 디바이스에 인가된 순 힘/토크의 결과로서 빔의 편향을 측정할 수 있다. 예를 들어, 힘/토크 센서가 로봇 아암(robotic arm) 및 엔드 이펙터(end effector) 사이에 커플링되어, 엔드 이펙터에서의 힘 및/또는 토크를 측정할 수 있다.
민감도가 비교적 큰 스트레인 게이지(예를 들어, 규소-계 스트레인 게이지)를 이용하는 센서 디바이스에서, 세장형 빔의 비교적 작은 편향이 검출될 수 있다. 결과적으로, 센서 디바이스의 내구성 및/또는 최대 부하 등급을 개선하기 위한 노력에서, 상대적으로 두꺼운 부하 빔을 사용할 수 있다. 그러나, 규소-계 스트레인 게이지는 비교적 큰 온도 민감도 및/또는 항복 이력을 나타내는 경향을 가질 수 있고, 이는 시간에 걸친 과다한 센서 '움직임'을 초래할 수 있다. 또한, 빠른 속도, 큰 가속도, 및/또는 큰 부하에서 동작하는 로봇 적용예에서, 비교적 두꺼운 부하 빔은 적용된 규소-계 스트레인 게이지에 대한 스트레인 경화 및/또는 손상을 방지할 수 있을 정도로 충분한 강성을 가지지 않을 수 있다.
본원에서 개시된 바와 같이, 힘/토크 센서는, 하나 이상의 스트레인 게이지가 고정되는 세장형 빔 또는 다른 센서 구조물의 과다 편향을 방지(또는 적어도 억제)하기 위한 하나 이상의 과부하 구조물을 포함할 수 있다. 편향을 제한하기 위해서 과부하 구조물을 제공하는 것은 비교적 얇은 빔 또는 다른 센서 구조물의 사용을 촉진할 수 있고, 이는 다시 금속-호일 스트레인 게이지의 사용을 촉진할 수 있다.
이러한 개시 내용의 하나의 넓은 양태에 따라, 힘/토크 센서가 제공되고, 이러한 힘/토크 센서는: 외부 본체 구조물; 내부 본체 구조물; 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 각각 연장되는, 3개의 센서 구조물; 및 3개의 센서 구조물 중 2개의 사이에 각각 배치되는, 3개의 과부하 구조물을 포함하고; 3개의 과부하 구조물의 각각은 외부 본체 구조물로부터 내측으로 연장되는 외부 부분, 및 내부 본체 구조물로부터 외측으로 연장되는 내부 부분을 포함하고, 외부 부분은 복수의 외부 면(facet)을 가지고, 내부 부분은 복수의 상응하는 대향 내부 면을 가지며, 복수의 외부 면 및 복수의 내부 면은, 중립 위치로부터 적어도 6의 자유도로, 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 제한된 미리 결정된 양의 상대적인 이동을 허용하도록, 그리고 미리 결정된 양을 초과하는 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 상대적인 이동을 억제하도록 구성된다.
일부 실시형태에서, 3개의 센서 구조물 및 3개의 과부하 구조물은 대체로 동일한 거리로 서로 이격된다.
일부 실시형태에서, 외부 본체 구조물 및 내부 본체 구조물이 중립 위치에 있을 때, 복수의 외부 면의 각각과 복수의 내부 면의 상응하는 하나 사이의 간극은 약 25 미크론 내지 0.5 mm의 거리를 갖는다.
일부 실시형태에서, 3개의 센서 구조물의 각각은 약 1 내지 25 mm의 폭을 갖는다.
일부 실시형태에서, 3개의 센서 구조물의 각각은 약 2 내지 12 mm의 폭을 갖는다.
일부 실시형태에서, 힘/토크 센서는 3개의 센서 구조물의 각각에 고정된 스트레인 센서를 더 포함한다.
일부 실시형태에서, 스트레인 센서는 금속-호일 스트레인 게이지를 포함한다.
본원에서 개시된 바와 같이, 과부하 구조물은 와이어-컷 전기 방전 가공을 이용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 과부하 브리지(overload bridge)가 와이어-컷 EDM을 이용하여 과부하 구조물의 내부 부분 및 외부 부분으로 분리될 수 있다.
과부하 구조물의 내부 면 및 외부 면을 제공하기 위해서 와이어-컷 EDM을 이용하는 것은 하나 이상의 장점을 가질 수 있다. 예를 들어, 이는 과부하 구조물의 내부 부분과 외부 부분 사이에서 일정한 간극 거리를 촉진할 수 있다. 이는 또한 힘/토크 센서의 신속한 및/또는 비용 효과적인 제조를 촉진할 수 있다.
이러한 개시 내용의 다른 넓은 양태에 따라, 외부 본체 구조물, 내부 본체 구조물, 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 연장되는 적어도 하나의 센서 구조물, 및 적어도 하나의 과부하 구조물을 포함하는, 힘/토크 센서 프레임을 제조하는 방법이 제공되고, 이러한 방법은: 외부 본체 구조물, 내부 본체 구조물, 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 연장되는 적어도 하나의 센서 구조물, 및 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 연장되는 적어도 하나의 과부하 브리지를 포함하는 본체 구조물을 제공하는 단계; 및 와이어-컷 전기 방전 가공으로, 적어도 하나의 과부하 브리지를 외부 본체 구조물로부터 연장되는 외부 부분 및 내부 본체 구조물로부터 연장되는 내부 부분으로 분리하는 단계로서, 외부 부분은 복수의 외부 면을 가지고, 내부 부분은 복수의 상응하는 대향 내부 면을 가지는, 단계를 포함한다.
일부 실시형태에서, 와이어-컷 전기 방전 가공은 1번의 통과(single pass)로 수행된다.
일부 실시형태에서, 복수의 외부 면은 와이어-컷 전기 방전 가공의 제1 통과 중에 형성되고, 복수의 내부 면은 와이어-컷 전기 방전 가공의 제2 통과 중에 형성된다.
일부 실시형태에서, 외부 본체 구조물 및 내부 본체 구조물이 중립 위치에 있을 때, 복수의 외부 면의 각각과 복수의 내부 면의 상응하는 하나 사이의 간극은 약 25 미크론 내지 0.5 mm의 거리를 갖는다.
당업자는, 본원에서 개시된 장치 또는 방법이 본원에 포함된 특징 중 임의의 하나 이상을 구현할 수 있으며, 이러한 특징이 임의의 특정 조합 또는 하위-조합으로 사용될 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
여러 실시형태의 이러한 그리고 다른 양태 및 특징을 이하에서 더 구체적으로 설명할 것이다.
설명된 실시형태의 보다 양호한 이해를 위해서 그리고 이러한 실시형태가 어떻게 효과적으로 실행될 수 있는지를 보여주기 위해서, 이제 예로서 첨부 도면을 참조할 것이다.
도 1은 로봇 아암, 엔드 이펙터, 및 힘/토크 센서의 부분-분해 사시도이다.
도 2는 일 실시형태에 따른, 힘/토크 센서의 사시도이다.
도 3은 명료함을 위해서 센서 전자기기를 생략한, 도 2의 힘/토크 센서의 상면 평면도이다.
도 4는 도 3의 라인 A-A를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 단면도이다.
도 5는 도 3의 라인 B-B를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 단면도이다.
도 6은 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 외부 부분의 사시도이다.
도 7은 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 내부 부분의 사시도이다.
도 8은 과부하 구조물이 양의 Z 방향으로의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 라인 A-A를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 9는 과부하 구조물이 음의 Z 방향으로의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 라인 B-B를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 10은 과부하 구조물이 X 축을 중심으로 하는 추가적인 양의 회전을 억제하는, 도 3의 라인 A-A를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 11은 과부하 구조물이 X 축을 중심으로 하는 추가적인 음의 회전을 억제하는, 도 3의 라인 B-B를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 12는 과부하 구조물이 Z 축을 중심으로 하는 추가적인 양의 회전을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 13은 과부하 구조물이 Z 축을 중심으로 하는 추가적인 음의 회전을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 14는 과부하 구조물이 양의 X 방향의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 15는 과부하 구조물이 음의 X 방향의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 16은 과부하 구조물이 음의 Y 방향의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
본원에 포함된 도면은 본 명세서의 교시 내용의 물품, 방법 및 장치의 다양한 예를 설명하기 위한 것이며, 그 범위를 어떤 식으로든 교시 내용으로 제한하기 위한 것은 아니다.
도 1은 로봇 아암, 엔드 이펙터, 및 힘/토크 센서의 부분-분해 사시도이다.
도 2는 일 실시형태에 따른, 힘/토크 센서의 사시도이다.
도 3은 명료함을 위해서 센서 전자기기를 생략한, 도 2의 힘/토크 센서의 상면 평면도이다.
도 4는 도 3의 라인 A-A를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 단면도이다.
도 5는 도 3의 라인 B-B를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 단면도이다.
도 6은 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 외부 부분의 사시도이다.
도 7은 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 내부 부분의 사시도이다.
도 8은 과부하 구조물이 양의 Z 방향으로의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 라인 A-A를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 9는 과부하 구조물이 음의 Z 방향으로의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 라인 B-B를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 10은 과부하 구조물이 X 축을 중심으로 하는 추가적인 양의 회전을 억제하는, 도 3의 라인 A-A를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 11은 과부하 구조물이 X 축을 중심으로 하는 추가적인 음의 회전을 억제하는, 도 3의 라인 B-B를 따라서 취한, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 단면도이다.
도 12는 과부하 구조물이 Z 축을 중심으로 하는 추가적인 양의 회전을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 13은 과부하 구조물이 Z 축을 중심으로 하는 추가적인 음의 회전을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 14는 과부하 구조물이 양의 X 방향의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 15는 과부하 구조물이 음의 X 방향의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
도 16은 과부하 구조물이 음의 Y 방향의 추가적인 이동을 억제하는, 도 3의 힘/토크 센서의 과부하 구조물의 상면 평면도이다.
본원에 포함된 도면은 본 명세서의 교시 내용의 물품, 방법 및 장치의 다양한 예를 설명하기 위한 것이며, 그 범위를 어떤 식으로든 교시 내용으로 제한하기 위한 것은 아니다.
각각의 청구된 발명의 실시형태의 예를 제공하기 위해서, 다양한 장치, 방법 및 구성을 이하에서 설명할 것이다. 이하에서 설명된 어떠한 실시형태도 임의의 청구된 발명을 제한하지 않고, 임의의 청구된 발명은 이하에서 설명된 것과 다른 장치 및 방법을 포함할 수 있다. 청구된 발명은 이하에서 설명된 임의의 하나의 장치, 방법 또는 구성의 특징 전부를 가지는 장치, 방법 및 구성으로, 또는 이하에서 설명되는 장치, 방법 또는 구성의 다수 또는 모두에 공통되는 특징으로 제한되지 않는다. 이하에서 설명된 장치, 방법, 또는 구성은 임의의 청구된 발명의 실시형태가 아닐 수 있다. 본 문헌에서 청구되지 않은, 이하에 설명된 장치, 방법 또는 구성에서 개시된 임의의 발명은 다른 보호 수단, 예를 들어, 계속 특허 출원의 청구 대상이 될 수 있고, 출원인(들), 발명자(들), 및/또는 소유자(들)은 본 문헌의 그 개시 내용에 의해서 어떠한 그러한 발명도 포기, 청구권의 포기 또는 대중에 대한 공여를 하고자 하는 의도도 가지지 않는다.
또한, 설명의 단순함 및 명확함을 위해서, 적절하다고 생각되는 경우에, 도면들 사이에서 참조 번호를 반복하여, 상응하거나 유사한 요소를 나타낼 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 또한, 수 많은 구체적인 상세 내용은 본원에서 설명된 예시적인 실시형태의 완전한 이해를 제공하기 위해서 기술된 것이다. 그러나, 이러한 구체적인 상세 내용이 없이도, 본원에서 설명된 예시적인 실시형태를 당업자가 실시할 수 있다는 것을 이해할 것이다. 다른 경우에, 본원에서 설명된 예시적인 실시형태를 불명확하게 하지 않도록, 주지의 방법, 과정 및 구성요소를 구체적으로 설명하지 않았다. 또한, 설명은 본원에 기재된 예시적인 실시형태의 범위를 제한하는 것으로 간주되지 않는다.
본원에서 개시된 장치 및 방법이 구체적으로 로봇 아암 및 엔드 이펙터와 관련하여 그리고 그와 함께 사용되는 것으로 설명되었지만, 이러한 장치 및 방법이 대안적으로 다른 적용예에서 힘 및/또는 토크를 측정하기 위해서 사용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
도 1은 로봇 아암(10)과 엔드 이펙터(15) 사이에 배치된 힘/토크 센서(100)의 예를 도시한다. 사용 시에, 힘/토크 센서는 로봇 아암에 대해서 엔드 이펙터에 작용하는 힘 및/또는 토크를 측정할 수 있다.
도 2 내지 도 16은, 전체적으로 100으로 표시된, 힘/토크 센서의 예시적인 실시형태를 도시한다. 도시된 예에서, 힘/토크 센서(100)는 6의 자유도(6DOF)의 적용예에서 힘 및/또는 토크를 측정하도록 구성된다.
도 2에 도시된 바와 같이, 센서(100)는 외부 본체 구조물(120), 내부 본체 구조물(140), 및 외부 본체 구조물(120)과 내부 본체 구조물(140) 사이에서 각각 연장되는 3개의 센서 구조물(130)을 포함한다. 도 1을 참조하면, 외부 본체 구조물은 로봇 아암에 커플링될 수 있고, 내부 본체 구조물은 엔드 이펙터에 커플링될 수 있으며, 또는 그 반대로도 커플링될 수 있다. 이러한 구성에서, 외부 본체 구조물(120)과 내부 본체 구조물(140) 사이의 상대적인 이동은 센서 구조물 중 하나 이상의 편향을 초래한다.
도시된 예에서, 각각의 센서 구조물(130)은 세장형 빔(130)의 형태이다. 임의의 다른 적합한 기하형태를 갖는 센서 구조물이 하나 이상의 대안적인 실시형태에서 사용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 센서 구조물의 치수는 센서의 희망 민감도를 기초로 선택될 수 있다. 예를 들어, 각각의 빔(130)이 약 1 내지 25 mm, 또는 약 2 내지 12 mm의 폭을 가질 수 있다.
힘 및/또는 토크를 측정하기 위해서, 스트레인 게이지가 센서 구조물에 고정되어, 센서(100) 상의 순 힘/토크의 결과로서 상대적인 편향을 측정할 수 있다. 도시된 예에서, 금속-호일 스트레인 게이지를 이용하여 3개의 센서 구조물(130)의 각각의 편향을 측정한다. 대안적으로, 규소-계 스트레인 게이지, 또는 다른 적합한 감지 요소가 이용될 수 있다.
도시된 예에서, 스트레인 게이지(210)는, 내부 본체 구조물(140)의 표면 특징부 내에 끼워 지는 치수를 갖는 다층 필름(200) 내에 내재된다. 스트레인 게이지(그리고 그 연관된 배선)를 다층 필름 내에 내재시키는 것은 하나 이상의 장점을 가질 수 있다. 예를 들어, 이는 센서 구조물에 대한 하나 이상의 스트레인 게이지의 일정한 배치를 촉진할 수 있다. 부가적으로 또는 대안적으로, 이는 스트레인 게이지를 센서 구조물 상의 희망 위치에 배치하는데 필요한 노동력의 양 및/또는 숙련도를 줄일 수 있다. 또한, 예시적인 실시형태에는 센서 회로(210)가 도시되어 있고, 이러한 센서 회로는 관성 측정 유닛(IMU)(215), 아날로그-대-디지털(ADC) 회로(225), 및 회로(210)를 필름(200)에 커플링시키기 위한 연결부(220)를 포함한다.
도 3을 참조하면, 센서(100)는, 전체적으로 160으로 각각 표시된, 3개의 과부하 구조물을 또한 포함한다. 사용 시에, 과부하 구조물은 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이에서 제한된 미리 결정된 양의 상대적인 이동을 허용한다. 또한, 과부하 구조물은 미리 결정된 양을 넘어서는 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 상대적인 이동을 억제 또는 방지할 수 있다. 결과적으로, 과부하 구조물은, 예를 들어 힘/토크 센서(100)가 비교적 큰 힘 및/또는 토크를 받을 때, 3개의 센서 구조물(130)의 전체적인 편향을 제한하는 작용을 한다. 3개의 센서 구조물(130)의 전체적인 편향을 제한하기 위해서 '하드 스탑(hard stop)'을 제공함으로써, 과부하 구조물은 센서 구조물(130) 및/또는 그에 고정된 하나 이상의 스트레인 게이지(210)에 대한 손상을 억제 또는 방지할 수 있다.
도시된 예에서, 3개의 과부하 구조물(160)이 제공되고, 과부하 구조물(160)은 인접한 센서 구조물들(130) 사이에서 대체로 균등한 거리로 배치된다. 또한, 슬롯(180)이 과부하 구조물(160)과 센서 구조물(130) 사이에서, 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120) 사이에서 연장된다. 도시된 바와 같이, 센서 구조물(130a)은 슬롯(180a 및 180f)의 부분에 의해서 경계 지어지고, 센서 구조물(130b)은 슬롯(180b 및 180c)의 부분에 의해서 경계 지어지고, 센서 구조물(130c)은 슬롯(180d 및 180e)의 부분에 의해서 경계 지어진다. 또한, 과부하 구조물(160a)은 슬롯(180a 및 180b)의 부분에 의해서 경계 지어지고, 과부하 구조물(160b)은 슬롯(180c 및 180d)의 부분에 의해서 경계 지어지고, 과부하 구조물(160c)은 슬롯(180e 및 180f)의 부분에 의해서 경계 지어진다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 과부하 구조물(160)은, 외부 본체 구조물(120)로부터 연장되는 외부 부분(162), 및 내부 본체 구조물(140)로부터 연장되는 내부 부분(164)을 포함한다. 외부 위치(162)는 복수의 외부 면(21 내지 27)을 가지고, 내부 부분(164)은 복수의 내부 면(41 내지 47)을 갖는다. 도시된 예에서, 각각의 외부 및 내부 면은 상응하는 대향 면을 갖는다.
내부 본체 구조물(140) 및 외부 본체 구조물(120)이, 3개의 센서 구조물(130)이 상당한 편향을 받지 않는 중립 위치 또는 무-부하 위치에 있을 때(예를 들어, 센서(100) 상의 순 힘/토크가 작을 때), 외부 면의 각각은 간극 거리만큼 그 상응 대향 내부 면으로부터 이격된다. 예를 들어, 간극 거리는 약 25 미크론 내지 0.5 mm일 수 있다. 또한, 중립 위치에서, 내부 본체 구조물(140) 및 외부 본체 구조물(120)은 3개의 센서 구조물(130)을 통해서 단지 서로 접촉된다.
내부 본체 구조물(140) 및 외부 본체 구조물(120)이 순 외부 힘 또는 토크를 받을 때, 초기에 과부하 구조물(160)의 내부 부분(164) 및 외부 부분(162)은 서로 이격되어 유지되고, 그에 따라 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이에서 제한된 양의 상대적인 이동을 허용한다. 이는 센서 구조물(130)이 편향될 수 있게 하고, 편향은 센서 구조물(130)에 장착된 하나 이상의 스트레인 게이지에 의해서 측정되고, 스트레인 측정을 이용하여 센서(100)에 작용하는 순 힘(들) 및/또는 토크(들)를 결정한다.
센서(100)에 작용하는 순 힘(들) 및/또는 토크(들)가 충분한 경우, 내부 본체 구조물(140) 및 외부 본체 구조물(120)이 서로에 대해서 이동됨에 따라, 초기의 양의 상대적인 이동 후에, 과부하 구조물(160)의 내부 부분(164) 및 외부 부분(162)의 내부 및 외부 면의 적어도 하나의 쌍이 서로 접경되고, 그에 의해서 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 추가적인 상대적 이동을 억제하거나 방지한다.
도시된 예에서, 외부 위치(162)는 면(21 및 24)을 포함하는 제1 세그먼트, 면(25, 22, 및 27)을 포함하는 제2 세그먼트, 및 면(26 및 26)을 포함하는 제3 세그먼트를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다. 유사하게, 도시된 내부 부분(164)은 면(41 및 45)을 포함하는 제1 세그먼트, 면(44, 42, 및 46)을 포함하는 제2 세그먼트, 및 면(47 및 43)을 포함하는 제3 세그먼트를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다. 하나 이상의 대안적인 실시형태에서, 2개의 세그먼트만을 포함하는 외부 및 내부 부분을 갖는 과부하 구조물이, 6의 자유도의 이용에서, 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120) 사이의 바람직하지 못한 상대적인 이동을 억제할 수 있다. 예를 들어, 도시된 예에서, 면(21, 25, 24, 및 22)(그리고 상보적인 면(41, 45, 44, 및 42))은 6DOF 과부하 보호를 제공하기에 충분할 수 있다.
도 8 내지 도 16은 센서(100)에 인가되는 다양한 힘 및/또는 토크로부터 초래되는 이동을 억제하는 과부하 구조물(160)의 예를 도시한다.
도 8에 도시된 예에서, 면(22 및 42)이 서로 접경되어, 양의 Z 방향을 따른 외부 힘에 응답한 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 변위를 방지한다.
도 9에 도시된 예에서, 면(21 및 41) 및/또는 면(23 및 43)이 서로 접경되어, 음의 Z 방향을 따른 외부 힘에 응답한 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 변위를 방지한다.
도 10에 도시된 예에서, 면(22 및 42)이 서로 접경되어, X 축을 중심으로 하는 양의 방향을 따른 (즉, 외부 토크에 응답한) 내부 본체 구조물(140)와 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 회전을 방지한다.
도 11에 도시된 예에서, 면(21 및 41) 및/또는 면(23 및 43)이 서로 접경되어, X 축을 중심으로 하는 음의 방향을 따른 (즉, 외부 토크에 응답한) 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 회전을 방지한다.
도 12에 도시된 예에서, 면(24 및 44) 및/또는 면(27 및 47)이 서로 접경되어, Z 축을 중심으로 하는 양의 방향을 따른 (즉, 외부 토크에 응답한) 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 회전을 방지한다.
도 13에 도시된 예에서, 면(25 및 45) 및/또는 면(26 및 46)이 서로 접경되어, Z 축을 중심으로 하는 음의 방향을 따른 (즉, 외부 토크에 응답한) 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 회전을 방지한다.
도 14에 도시된 예에서, 면(24 및 44) 및/또는 면(27 및 47)이 서로 접경되어, 양의 X 방향을 따른 외부 힘에 응답한 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 변위를 방지한다.
도 15에 도시된 예에서, 면(25 및 45) 및/또는 면(26 및 46)이 서로 접경되어, 음의 X 방향을 따른 외부 힘에 응답한 내부 본체 구조물(140)과 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 변위를 방지한다.
도 16에 도시된 예에서, 면(21 및 41) 및/또는 면(22 및 42) 및/또는 면(23 및 43)이 서로 접경되어, 음의 Y 방향을 따른 외부 힘에 응답한 내부 본체 구조물(140)와 외부 본체 구조물(120)의 추가적인 상대적 변위를 방지한다. 양의 Y 방향의 과다 변위는, 도시된 과부하 구조물(160)로부터 ~ ±120°로 이격되어 위치된 다른 2개의 과부하 구조물(160)에 의해서 제공된다.
센서(100)는 임의의 적합한 제조 방법(들)을 이용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 외부 본체 구조물(120) 및 내부 본체 구조물(140)은 단일 금속 블랭크로부터 형성될 수 있고, 슬롯(180)은 블랭크로부터 가공될 수 있으며, 그에 의해서 센서 구조물(130)을 형성할 수 있다.
과부하 구조물(160)은 임의의 적합한 방법을 이용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 면(21 내지 27 및 41 내지 47)은, 스위스 주그에 소재하는 Avonisys AG 또는 스위스, 니온에 소재하는 SYNOVA S.A.로부터 입수할 수 있는 것과 같은, 워터젯 안내 레이저 기술을 이용하여 컷팅될 수 있다. 워터젯 안내 레이저 기술은 과부하 구조물의 내부 면과 외부 면 사이에서 매우 짧은 간극 거리를 제공하는데 특히 적합할 수 있다.
바람직하게, 과부하 구조물은 (와이어-컷 EDM 또는 WEDM으로도 알려져 있는) 와이어-컷 전기 방전 가공을 이용하여 형성될 수 있다. 예를 들어, 외부 본체 구조물(120), 내부 본체 구조물(140), 및 센서 구조물(130)을 포함하는 본체 구조물이 또한 외부 본체 구조물(120)과 내부 본체 구조물(140) 사이에서 연장되는 과부하 브리지를 포함할 수 있다. 이러한 과부하 브리지는 와이어-컷 EDM을 이용하여 과부하 구조물(160)의 내부 부분(164) 및 외부 부분(162)으로 분리될 수 있다.
과부하 구조물(160)의 내부 면 및 외부 면을 제공하기 위해서 와이어-컷 EDM을 이용하는 것은 하나 이상의 장점을 가질 수 있다. 예를 들어, 대향되는 내부 면과 외부 면 사이의 간극 거리가 EDM 와이어의 직경에 의해서 결정될 수 있다. 결과적으로, (대향 면들의 접경 전에 더 큰 센서 구조물(130)의 편향을 허용하는) 더 큰 간극 거리를 갖는 센서(100)가 더 큰 커프 폭(kerf width)을 갖는 EDM 와이어를 이용하여 생산될 수 있고, 더 작은 간극 거리를 갖는 센서(100)가 더 작은 커프 폭을 갖는 EDM 와이어를 이용하여 동일 본체 구조물로부터 형성될 수 있다. 이는 EDM 와이어 직경의 선택을 통해서 센서(100)를 '튜닝하는 것(tuning)'을 촉진할 수 있다.
다른 예로서, 면(21 내지 27 및 41 내지 47)을 포함하는 과부하 구조물의 도시된 설계는 와이어-컷 EDM 프로세스를 이용하여 '컷팅될' 수 있고, 여기에서 와이어는 역경로(backtracking)가 없이 하나의 경로를 따른다. 예를 들어, 도 3을 참조하면, EDM 와이어가 슬롯(180d)을 통과할 수 있고, 대체로 측방향으로 이동되어 과부하 구조물(160b)의 면(21 및 41)을 형성하고, 피벗되어 면(24, 25, 44, 및 45)을 형성하고, 대체로 측방향으로 이동되어 면(22 및 42)을 형성하고, 피벗되어 면(26, 27, 46, 및 47)을 형성하고, 그리고 대체로 측방향으로 이동되어 면(23 및 43)을 형성한다.
모든 면이 1번의 와이어-컷 EDM 통과를 이용하여 컷팅될 수 있는 과부하 구조물을 제공하는 것은 하나 이상의 장점을 가질 수 있다. 예를 들어, 이는 과부하 구조물(160)의 내부 부분(164)과 외부 부분(162) 사이에서 일정한 간극 거리를 촉진할 수 있다. 이와 관련하여, 다수의 통과가 가공 동작 중에 이력 오류를 도입할 수 있기 때문에, '1번-통과' 설계는 개선된 치수 공차를 가지는 것으로 예상될 수 있다. 또한, 1번-통과 동작의 이용은 더 빠른 과부하 구조물의 가공을 초래할 수 있고, 예를 들어 와이어를 다시 꿰어야 할 필요가 없을 수 있다. 또한, '1번-통과' 설계는, 전술한 바와 같이, EDM 와이어 직경을 변경함으로써 센서(100)를 '튜닝하는 것'을 촉진할 수 있다.
본 문서에서 사용된 바와 같이, "및/또는"이라는 문구는 "포괄적인 - 또는" 을 나타내기 위한 것이다. 즉, "X 및/또는 Y"는 예를 들어 X 또는 Y 또는 둘 모두를 의미하도록 의도된 것이다. 다른 예로서, "X, Y, 및/또는 Z"는 X 또는 Y 또는 Z 또는 이들의 임의의 조합을 의미하도록 의도된 것이다.
전술한 설명이 예시적인 실시형태의 특징을 설명하지만, 설명된 실시형태의 일부 특징 및/또는 기능이, 설명된 실시형태의 사상 및 동작 원리로부터 벗어나지 않고도, 수정될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 예를 들어, 제시된 실시형태 또는 예에 의해 설명된 다양한 특성들이 서로 선택적으로 결합될 수 있다. 따라서, 전술한 내용은 청구된 개념을 예시하기 위한 것이며 비-제한적인 것이다. 당업자는, 본원에 첨부된 청구범위에 규정되는 바와 같은 본 발명의 범위를 벗어나지 않고도, 다른 변경 및 수정이 이루어질 수 있음을 이해할 것이다. 청구 범위의 범위는 바람직한 실시형태 및 예에 의해 제한되지 않아야 하고, 전체적으로 설명과 일치되게 가장 넓게 해석되어야 한다.
Claims (11)
- 힘/토크 센서이며:
외부 본체 구조물;
내부 본체 구조물;
외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 각각 연장되는, 3개의 센서 구조물; 및
3개의 센서 구조물 중 2개의 사이에 각각 배치되는, 3개의 과부하 구조물을 포함하고;
3개의 과부하 구조물의 각각은 외부 본체 구조물로부터 내측으로 연장되는 외부 부분, 및 내부 본체 구조물로부터 외측으로 연장되는 내부 부분을 포함하고,
외부 부분은 복수의 외부 면을 가지고, 내부 부분은 복수의 상응하는 대향 내부 면을 가지며, 복수의 외부 면 및 복수의 내부 면은, 중립 위치로부터 적어도 6의 자유도로, 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 제한된 미리 결정된 양의 상대적인 이동을 허용하도록, 그리고 미리 결정된 양을 초과하는 내부 본체 구조물과 외부 본체 구조물 사이의 상대적인 이동을 억제하도록 구성되는, 힘/토크 센서. - 제1항에 있어서,
3개의 센서 구조물 및 3개의 과부하 구조물이 대체로 동일한 거리로 서로 이격되는, 힘/토크 센서. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
외부 본체 구조물 및 내부 본체 구조물이 중립 위치에 있을 때, 복수의 외부 면의 각각과 복수의 내부 면의 상응하는 하나 사이의 간극이 약 25 미크론 내지 0.5 mm의 거리를 가지는, 힘/토크 센서. - 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
3개의 센서 구조물의 각각이 약 1 내지 25 mm의 폭을 가지는, 힘/토크 센서. - 제4항에 있어서,
3개의 센서 구조물의 각각이 약 2 내지 12 mm의 폭을 가지는, 힘/토크 센서. - 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
3개의 센서 구조물의 각각에 고정된 스트레인 센서를 더 포함하는, 힘/토크 센서. - 제6항에 있어서,
스트레인 센서가 금속-호일 스트레인 게이지를 포함하는, 힘/토크 센서. - 외부 본체 구조물, 내부 본체 구조물, 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 연장되는 적어도 하나의 센서 구조물, 및 적어도 하나의 과부하 구조물을 포함하는, 힘/토크 센서 프레임을 제조하는 방법이며:
외부 본체 구조물, 내부 본체 구조물, 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 연장되는 적어도 하나의 센서 구조물, 및 외부 구조물과 내부 구조물 사이에서 연장되는 적어도 하나의 과부하 브리지를 포함하는 본체 구조물을 제공하는 단계; 및
와이어-컷 전기 방전 가공으로, 적어도 하나의 과부하 브리지를 외부 본체 구조물로부터 연장되는 외부 부분 및 내부 본체 구조물로부터 연장되는 내부 부분으로 분리하는 단계로서, 외부 부분은 복수의 외부 면을 가지고, 내부 부분은 복수의 상응하는 대향 내부 면을 가지는, 단계를 포함하는, 방법. - 제8항에 있어서,
와이어-컷 전기 방전 가공이 1번의 통과로 수행되는, 방법. - 제8항에 있어서,
복수의 외부 면은 와이어-컷 전기 방전 가공의 제1 통과 중에 형성되고, 복수의 내부 면은 와이어-컷 전기 방전 가공의 제2 통과 중에 형성되는, 방법. - 제8항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
외부 본체 구조물 및 내부 본체 구조물이 중립 위치에 있을 때, 복수의 외부 면의 각각과 복수의 내부 면의 상응하는 하나 사이의 간극이 약 25 미크론 내지 0.5 mm의 거리를 가지는, 방법.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US202163162343P | 2021-03-17 | 2021-03-17 | |
| US63/162,343 | 2021-03-17 | ||
| PCT/CA2022/050361 WO2022192993A1 (en) | 2021-03-17 | 2022-03-11 | Force and torque sensor with overload structure and method for manufacturing |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230158089A true KR20230158089A (ko) | 2023-11-17 |
Family
ID=83322146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020237035523A KR20230158089A (ko) | 2021-03-17 | 2022-03-11 | 과부하 구조물을 갖는 힘 및 토크 센서, 그리고 그 제조 방법 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP4308895A1 (ko) |
| JP (1) | JP2024510300A (ko) |
| KR (1) | KR20230158089A (ko) |
| CN (1) | CN117043564A (ko) |
| TW (1) | TW202242363A (ko) |
| WO (1) | WO2022192993A1 (ko) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010088922A1 (en) * | 2009-02-06 | 2010-08-12 | Abb Ag | Set of multiaxial force and torque sensor and assembling method |
| US11287340B2 (en) * | 2018-07-02 | 2022-03-29 | Flexiv Ltd. | Multi-axis force and torque sensor and robot having the same |
| US10732060B2 (en) * | 2018-08-15 | 2020-08-04 | X Development Llc | Force/torque sensor with hardstops to limit overloading a flexure |
| US11085838B2 (en) * | 2019-03-10 | 2021-08-10 | Ati Industrial Automation, Inc. | Force/torque sensor having serpentine or coiled deformable beams and overload beams |
-
2022
- 2022-03-11 JP JP2023557319A patent/JP2024510300A/ja active Pending
- 2022-03-11 KR KR1020237035523A patent/KR20230158089A/ko unknown
- 2022-03-11 CN CN202280021516.7A patent/CN117043564A/zh active Pending
- 2022-03-11 WO PCT/CA2022/050361 patent/WO2022192993A1/en active Application Filing
- 2022-03-11 EP EP22770114.1A patent/EP4308895A1/en active Pending
- 2022-03-17 TW TW111109733A patent/TW202242363A/zh unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2024510300A (ja) | 2024-03-06 |
| EP4308895A1 (en) | 2024-01-24 |
| WO2022192993A1 (en) | 2022-09-22 |
| CN117043564A (zh) | 2023-11-10 |
| TW202242363A (zh) | 2022-11-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8161828B1 (en) | Load cell for monitoring torsion and having over load protection | |
| EP2629068B1 (en) | Load cell with overload protection | |
| US20200240854A1 (en) | Force sensor | |
| KR102488210B1 (ko) | 사형 또는 나선형 변형 가능한 빔 및 과부하 빔을 갖는 힘/토크 센서 | |
| US20160097792A1 (en) | Three-axis microelectromechanical systems device with single proof mass | |
| EP1840581B1 (en) | Capacitive sensor | |
| JP3423578B2 (ja) | 力測定装置用衝撃防護装置 | |
| US20030097887A1 (en) | Load cell having overload protection | |
| KR20230158089A (ko) | 과부하 구조물을 갖는 힘 및 토크 센서, 그리고 그 제조 방법 | |
| EP1662235A2 (en) | Acceleration sensor | |
| US11320326B2 (en) | Force sensor and sensing element thereof | |
| JP2022111489A (ja) | ３軸力センサ | |
| JPH05172843A (ja) | 半導体加速度センサ | |
| JPH0629804B2 (ja) | 力センサの過負荷保護装置 | |
| KR100942018B1 (ko) | 콤팩트형 3축 로드 셀 | |
| TWI796429B (zh) | 轉矩感測器 | |
| CN109406015B (zh) | 载荷转换器 | |
| KR102012661B1 (ko) | 토크 센서 및 이를 포함하는 동력 전달장치 | |
| JPH0577253B2 (ko) | ||
| EP4063806A1 (en) | Monoblock sensor body and method of its manufacturing | |
| US9964561B2 (en) | Acceleration sensor | |
| JP7061718B2 (ja) | 荷重変換器 | |
| JPH0629803B2 (ja) | 力センサの過負荷保護装置 | |
| JP2023035338A (ja) | トルクセンサ | |
| Abe et al. | Overload Protection Mechanisms for Force Detecting Beam in a Force Sensor |