KR20230157418A - Aluminum alloy foil, aluminum laminate, and method for producing aluminum alloy foil - Google Patents
Aluminum alloy foil, aluminum laminate, and method for producing aluminum alloy foil Download PDFInfo
- Publication number
- KR20230157418A KR20230157418A KR1020237034815A KR20237034815A KR20230157418A KR 20230157418 A KR20230157418 A KR 20230157418A KR 1020237034815 A KR1020237034815 A KR 1020237034815A KR 20237034815 A KR20237034815 A KR 20237034815A KR 20230157418 A KR20230157418 A KR 20230157418A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- aluminum alloy
- alloy foil
- less
- aluminum
- mass
- Prior art date
Links
- 239000011888 foil Substances 0.000 title claims abstract description 100
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 88
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 33
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 33
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 25
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 42
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims description 25
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 22
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 13
- 238000009749 continuous casting Methods 0.000 claims description 12
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 10
- 238000005097 cold rolling Methods 0.000 claims description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 claims description 6
- 238000005098 hot rolling Methods 0.000 claims description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 17
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 15
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 4
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 4
- -1 aluminum-manganese-iron Chemical compound 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010731 rolling oil Substances 0.000 description 4
- 229910018084 Al-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910018192 Al—Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 3
- 238000009864 tensile test Methods 0.000 description 3
- 229910018191 Al—Fe—Si Inorganic materials 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 235000011121 sodium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L copper(II) chloride Chemical compound Cl[Cu]Cl ORTQZVOHEJQUHG-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004993 emission spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 1
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical compound Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 238000005204 segregation Methods 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C21/00—Alloys based on aluminium
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D11/00—Continuous casting of metals, i.e. casting in indefinite lengths
- B22D11/001—Continuous casting of metals, i.e. casting in indefinite lengths of specific alloys
- B22D11/003—Aluminium alloys
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22D—CASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
- B22D21/00—Casting non-ferrous metals or metallic compounds so far as their metallurgical properties are of importance for the casting procedure; Selection of compositions therefor
- B22D21/02—Casting exceedingly oxidisable non-ferrous metals, e.g. in inert atmosphere
- B22D21/04—Casting aluminium or magnesium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
- C22F1/04—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of aluminium or alloys based thereon
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
- C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Metal Rolling (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
철 함유량이 0.5 질량% 이상 1.8 질량% 미만, 규소 함유량이 1.5 질량% 미만, 잔부가 알루미늄과 불가피 불순물을 포함하고, 원 상당 직경이 0.1 ㎛를 초과하며, 또한 3.0 ㎛ 미만의 금속간 화합물을 3.0×105개/㎟ 이상 포함하며, KAM 값이 0.8° 이상 1.4° 미만인 알루미늄 합금박을 이용한다.The iron content is 0.5 mass% or more but less than 1.8 mass%, the silicon content is less than 1.5 mass%, the balance contains aluminum and inevitable impurities, the equivalent circle diameter exceeds 0.1 ㎛, and intermetallic compounds of less than 3.0 ㎛ are 3.0. It contains more than ×10 5 pieces/㎟ and uses aluminum alloy foil with a KAM value of 0.8° or more and less than 1.4°.
Description
본 발명은, 알루미늄 합금박, 알루미늄 적층체, 및 알루미늄 합금박의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to aluminum alloy foil, aluminum laminated bodies, and methods for manufacturing aluminum alloy foil.
전기 기기나 전자 기기에는, 프린트 배선 기판이 이용되고 있다. 이 프린트 배선 기판은, 예컨대, 기판 상에 접합된 알루미늄박의 표면에 원하는 배선 형상이 되도록 레지스트 잉크를 패턴형으로 인쇄하고, 다음으로 에칭액에 침지하여 레지스트 잉크가 인쇄되어 있지 않은 부분을 용해시켜, 알루미늄박을 배선 패턴으로 형성함으로써 제조된다.Printed wiring boards are used in electrical and electronic devices. For this printed wiring board, for example, resist ink is printed in a pattern so as to have the desired wiring shape on the surface of an aluminum foil bonded on the board, and then the portion on which the resist ink is not printed is dissolved by immersing it in an etching solution. It is manufactured by forming aluminum foil into a wiring pattern.
종래, 프린트 배선 기판용 알루미늄박에는 JIS H4160의 1000계나 8000계의 알루미늄박이 이용된다. 그러나, 상기한 알루미늄박에서는 에칭액에의 용해 속도가 느려, 고속 처리가 곤란하다. 이 때문에, 알루미늄박 조성 중에 니켈(Ni) 및 아연(Zn) 및 갈륨(Ga) 중의 1종 또는 2종을 함유시켜, 알루미늄(Al)과 니켈(Ni)을 포함하는 화합물과 모상(母相)의 전위차를 크게 함으로써 용해성을 높인 알루미늄 합금박이 제안되어 있다(특허문헌 1).Conventionally, 1000 series or 8000 series aluminum foil of JIS H4160 is used as aluminum foil for printed wiring boards. However, the above-described aluminum foil has a slow dissolution rate in an etching solution, making high-speed processing difficult. For this reason, one or two types of nickel (Ni), zinc (Zn), and gallium (Ga) are contained in the aluminum foil composition, and a compound containing aluminum (Al) and nickel (Ni) and a matrix phase are formed. An aluminum alloy foil with improved solubility by increasing the potential difference has been proposed (Patent Document 1).
그런데, 프린트 배선 기판용 알루미늄박은, 일반적으로는 냉간 압연 공정 후, 최종 소둔(燒鈍) 공정에서 압연유를 제거함으로써 알루미늄박과 기판 사이의 접착 강도를 유지하고, 또한 알루미늄박 자신의 유연성을 높이고 있다. 그러나, 이 최종 소둔 공정에서 알루미늄박의 강도가 지나치게 감소하면, 프린트 배선 기판 제조 상에서의 작업성의 악화나, 후 공정에서의 배선 단선의 리스크가 높아지는 등, 생산성이 악화되는 경향이 발생한다.However, aluminum foil for printed wiring boards generally maintains the adhesive strength between the aluminum foil and the substrate by removing the rolling oil in the final annealing process after the cold rolling process, and also increases the flexibility of the aluminum foil itself. . However, if the strength of the aluminum foil decreases excessively in this final annealing process, productivity tends to deteriorate, such as worsening workability in manufacturing printed wiring boards and increasing the risk of wire disconnection in subsequent processes.
이에 대해, 예컨대 특허문헌 2에서는, 알루미늄-망간-철(Al-Mn-Fe)계 화합물을 미세하게 분산시킴으로써 높은 강도를 갖고, 우수한 에칭부의 예민성을 가지며, 또한 에칭 용해성이 우수한 기술안이 제안되어 있다.In response to this, for example, in Patent Document 2, a technology plan that has high strength, excellent sensitivity of the etching zone, and excellent etching solubility is proposed by finely dispersing an aluminum-manganese-iron (Al-Mn-Fe) compound. there is.
그런데, 프린트 배선 기판의 생산성 향상을 위해서, 용해 속도를 더욱 빠르게 하는 것이 요구된다. 또한, 최근, 세선 에칭에 대한 요구가 높아지고 있어, 단선 리스크가 보다 높아지는 경향이 있다. 단선 리스크의 저감을 위해서, 알루미늄박에 보다 높은 강도나 신장이 필요하다고 생각되지만, 종래의 알루미늄박을, 압연유를 제거할 수 있는 온도에서 최종 소둔하면, 재결정에 의해 현저히 연화되어 버린다.However, in order to improve the productivity of printed wiring boards, it is required to further accelerate the dissolution rate. Additionally, in recent years, the demand for fine line etching has increased, and the risk of line disconnection tends to increase. In order to reduce the risk of disconnection, it is thought that aluminum foil needs higher strength and elongation, but when conventional aluminum foil is finally annealed at a temperature that can remove rolling oil, it softens significantly due to recrystallization.
특허문헌 2에서의 인장 강도, 0.2% 내력은, 각각 최고여도 124 N/㎟, 61 N/㎟이며 충분하다고는 할 수 없다. 특허문헌 2에는, 화합물의 미세 석출을 나타내는 면적률이나 수밀도(數密度) 등의 데이터는 개시되어 있지 않으나, Al-Mn-Fe계 화합물을 미세하게 분산시킴으로써, 분산 강화에 의해 강도를 개선하고 있다고 추찰되지만, 최종 소둔에 의해 재결정하고 있는 것이 예상된다. 특허문헌 2에 기재된 알루미늄 합금박보다 더욱 높은 강도를 얻기 위해서는 최종 소둔에 의한 재결정을 억제하는 것이 중요하다.The tensile strength and 0.2% proof strength in Patent Document 2 are 124 N/mm2 and 61 N/mm2 at their highest, respectively, and cannot be said to be sufficient. Patent Document 2 does not disclose data such as area ratio or number density indicating the fine precipitation of the compound, but it is said that the strength is improved by dispersion strengthening by finely dispersing the Al-Mn-Fe-based compound. Although it is inferred, it is expected that it is being recrystallized through final annealing. In order to obtain higher strength than the aluminum alloy foil described in Patent Document 2, it is important to suppress recrystallization during final annealing.
또한, 알루미늄 합금박의 조성 중에 Ni나 Mn과 같은 첨가 금속을 사용하는 것은, 비용면에서도 피하고 싶다. 또한, Fe, 규소(Si) 등의 불가피 불순물 이외의 원소의 과잉의 첨가는, 에칭 폐액의 처리 비용에도 영향을 준다.In addition, the use of additive metals such as Ni or Mn in the composition of the aluminum alloy foil should be avoided from the viewpoint of cost. Additionally, excessive addition of elements other than inevitable impurities such as Fe and silicon (Si) also affects the cost of processing the etching waste liquid.
그래서, 본 발명에서는, 에칭 회로, 특히 프린트 배선 기판에 사용되는 알루미늄 합금박에 대해, 제조 중의 작업성의 향상 및 제조 후에 단선을 저감할 수 있는 강도 및 신장을 구비하고, 높은 화학 용해성 및 비용이 우수한 알루미늄 합금박을 제공하는 것을 목적으로 한다.Therefore, in the present invention, the aluminum alloy foil used in etching circuits, especially printed wiring boards, has strength and elongation that can improve workability during manufacturing and reduce breakage after manufacturing, and has high chemical solubility and excellent cost. The purpose is to provide aluminum alloy foil.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명자는 여러 가지로 검토한 결과, 알루미늄 합금박에 있어서, Fe, Si의 함유량과, 알루미늄 합금박 중에 존재하는 제2 상 입자의 수밀도와, 알루미늄 합금박 표면의 KAM값을 제어함으로써, 에칭액에의 용해성을 향상시킬 수 있고, 고강도 및 고신장성을 얻을 수 있는 것을 발견하였다.In order to solve the above problem, the present inventor studied various methods and found that, in the aluminum alloy foil, the content of Fe and Si, the number density of the second phase particles present in the aluminum alloy foil, and the KAM on the surface of the aluminum alloy foil were determined. It was discovered that by controlling the value, the solubility in the etching solution could be improved and high strength and high elongation could be obtained.
즉, 본 발명은 이하의 특징을 구비한다.That is, the present invention has the following features.
[1] 알루미늄 합금박으로서, (1) 철 함유량이 0.5 질량% 이상 1.8 질량% 미만, 규소 함유량이 1.5 질량% 미만, 잔부가 알루미늄과 불가피 불순물을 포함하고, (2) 상기 알루미늄 합금박 단면 중에 원 상당 직경이 0.1 ㎛를 초과하며, 또한 3.0 ㎛ 미만의 금속간 화합물을 3.0×105개/㎟ 이상 포함하고, (3) 상기 알루미늄 합금박 표면을 관찰면으로 하여, EBSD(전자선 후방 산란 회절)법에 의해, 스텝 사이즈: 0.6 ㎛, 최근접 이웃(Nearest neighbor): 1번째, 최대 배향(Maximum Orientation): 5°의 조건으로 측정한 KAM(Kernel Average Misorientation: 핵 평균 이탈)값이 0.8° 이상 1.4° 미만인 것인, 알루미늄 합금박.[1] An aluminum alloy foil, which (1) has an iron content of 0.5 mass% or more and less than 1.8 mass%, a silicon content of less than 1.5 mass%, the balance including aluminum and inevitable impurities, and (2) in the cross section of the aluminum alloy foil. The equivalent circular diameter exceeds 0.1 ㎛ and contains intermetallic compounds of less than 3.0 ㎛ in an amount of 3.0 ) method, the KAM (Kernel Average Misorientation) value measured under the conditions of step size: 0.6 ㎛, nearest neighbor: 1st, and maximum orientation: 5° is 0.8°. An aluminum alloy foil that is less than 1.4°.
[2] 압연 방향으로의 인장 강도가 120 N/㎟ 이상, 0.2% 내력이 80 N/㎟ 이상이고, 두께 50 ㎛에서의 압연 방향으로의 신장이 12.0% 이상인 것인, [1]에 기재된 알루미늄 합금박.[2] Aluminum according to [1], wherein the tensile strength in the rolling direction is 120 N/mm2 or more, the 0.2% proof strength is 80 N/mm2 or more, and the elongation in the rolling direction at a thickness of 50 μm is 12.0% or more. Alloy foil.
[3] 적어도 1층 이상의 피착체와, [1] 또는 [2]에 기재된 알루미늄 합금박을 적층하여 이루어지는 것인, 알루미늄 적층체.[3] An aluminum laminate obtained by laminating at least one layer of an adherend and the aluminum alloy foil described in [1] or [2].
[4] 철 함유량이 0.5 질량% 이상 1.8 질량% 미만, 규소 함유량이 1.5 질량% 미만, 잔부가 알루미늄과 불가피 불순물을 포함하는 알루미늄 합금의 용탕을, 100℃/초 이상의 냉각 속도로 주조함으로써, 알루미늄 합금의 주괴(鑄塊)를 얻는 공정과, 상기 주괴를 냉간 압연함으로써, 알루미늄 합금박의 냉간 압연박을 얻는 공정과, 상기 냉간 압연박을 400℃ 이하의 온도에서 소둔하는 공정을 구비하는 것인, 알루미늄 합금박의 제조 방법.[4] By casting molten aluminum alloy with an iron content of 0.5 mass% or more but less than 1.8 mass%, a silicon content of less than 1.5 mass%, and the balance containing aluminum and inevitable impurities, at a cooling rate of 100°C/sec or more, aluminum is produced. A process of obtaining an alloy ingot, a process of obtaining a cold-rolled aluminum alloy foil by cold rolling the ingot, and annealing the cold-rolled foil at a temperature of 400° C. or lower. , Method for manufacturing aluminum alloy foil.
[5] 주조 방법이 쌍롤식 연속 주조인 것인, [4]에 기재된 알루미늄 합금박의 제조 방법.[5] The method for producing an aluminum alloy foil according to [4], wherein the casting method is twin-roll continuous casting.
[6] 중간 소둔 공정을 포함하고, 균질화 열처리 공정 및 열간 압연 공정을 포함하지 않는 것인, [4] 또는 [5]에 기재된 알루미늄 합금박의 제조 방법.[6] The method for producing an aluminum alloy foil according to [4] or [5], which includes an intermediate annealing process and does not include a homogenization heat treatment process and a hot rolling process.
본 발명에서 얻어지는 알루미늄 합금박은, 높은 화학 용해성을 갖기 때문에, 에칭 회로, 특히 프린트 배선 기판의 제조 중의 작업성을 향상시키고, 제조 후에 단선을 저감할 수 있는 강도 및 신장을 구비한다고 하는 특징을 발휘할 수 있다.Since the aluminum alloy foil obtained in the present invention has high chemical solubility, it can exhibit the characteristics of improving workability during the manufacture of etching circuits, especially printed wiring boards, and having strength and elongation that can reduce disconnection after manufacture. there is.
도 1은 실시예 1에서 얻어진 알루미늄 합금박 단면의 조성상(組成像)이다.
도 2는 비교예 7에서 얻어진 알루미늄 합금박 단면의 조성상이다.Figure 1 is a composition image of a cross section of aluminum alloy foil obtained in Example 1.
Figure 2 shows the composition of the cross section of the aluminum alloy foil obtained in Comparative Example 7.
이하, 본 발명의 실시형태를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
본 발명에 따른 알루미늄 합금박은, 소정량의 철(Fe), 및 규소(Si)를 포함하고, 잔부는 알루미늄(Al)과 불가피 불순물을 포함하는 박이다.The aluminum alloy foil according to the present invention is a foil containing a predetermined amount of iron (Fe) and silicon (Si), and the balance containing aluminum (Al) and inevitable impurities.
[철 함유량][Iron content]
본 발명의 알루미늄 합금박은, 철(Fe)을 0.5 질량% 이상 1.8 질량% 미만 포함한다. 철 함유량이 0.5 질량%보다 적으면, 금속간 화합물이 적어 충분한 화학 용해성이 얻어지지 않고, 또한 최종 소둔 후의 강도도 부족한 경향이 발생한다. 한편, 철 함유량이 1.8 질량%를 초과하면, 주조 시의 초정(初晶)이 Al에서 Al-Fe계 화합물이 되어, 주조 결함이나 압연성의 저하를 초래할 우려가 있고, 또한 강도, 신장에도 악영향을 미친다.The aluminum alloy foil of the present invention contains 0.5% by mass or more and less than 1.8% by mass of iron (Fe). If the iron content is less than 0.5% by mass, the intermetallic compounds are small and sufficient chemical solubility is not obtained, and the strength after final annealing also tends to be insufficient. On the other hand, if the iron content exceeds 1.8% by mass, the primary crystal during casting changes from Al to an Al-Fe-based compound, which may cause casting defects and a decrease in rolling performance, and also has a negative effect on strength and elongation. It's crazy.
철 함유량의 보다 바람직한 범위는, 0.8 질량% 이상 1.6 질량% 미만이다. 상기 범위 내이면 화학 용해성, 강도가 우수한 알루미늄 합금박을 안정적으로 제조할 수 있다.A more preferable range of iron content is 0.8 mass% or more and less than 1.6 mass%. If it is within the above range, aluminum alloy foil with excellent chemical solubility and strength can be stably manufactured.
[규소 함유량][Silicon content]
본 발명의 알루미늄 합금박은, 규소(Si)를 1.5 질량% 미만 포함한다.The aluminum alloy foil of the present invention contains less than 1.5% by mass of silicon (Si).
규소의 첨가는, Al-Fe계, Al-Fe-Si계 화합물의 정석출(晶析出)을 촉진한다. 규소 함유량이 증가함으로써 화합물 사이즈는 커지고, 그 수도 증대한다. 1.5 질량% 이상이 되면 정출물(晶出物)이 조대해져, CC 주조 시에 중심선 편석 등 결함이 발생하기 쉬워진다.The addition of silicon promotes crystallization of Al-Fe-based and Al-Fe-Si-based compounds. As the silicon content increases, the size of the compound increases and its number also increases. If it is 1.5% by mass or more, the crystallized material becomes coarse and defects such as center line segregation are likely to occur during CC casting.
규소 함유량의 바람직한 범위는, 0.03 질량% 이상 1.3 질량% 미만이다. 1.3 질량% 미만이면 알루미늄 합금박을 안정적으로 제조할 수 있다. 규소는 하한값으로서는 특별히 제한은 없으나, 고순도 지금(地金)의 사용에 의한 고비용화를 피하기 위해서, 0.03 질량% 이상인 것이 바람직하다.The preferable range of silicon content is 0.03 mass% or more and less than 1.3 mass%. If it is less than 1.3% by mass, aluminum alloy foil can be stably manufactured. There is no particular limitation on the lower limit of silicon, but it is preferably 0.03% by mass or more to avoid increased costs due to the use of high-purity metal.
[본 발명에 따른 알루미늄 합금박을 구성하는 성분의 잔부][Remains of components constituting the aluminum alloy foil according to the present invention]
본 발명에 따른 알루미늄 합금박을 구성하는 성분의 잔부는, 알루미늄과 불가피 불순물을 포함한다. 이 불가피 불순물이란, 알루미늄 합금박의 제조 시에 불가피적으로 혼입된 원소를 말한다. 이 불가피 불순물은, 본 발명에서의 알루미늄 합금박의 특성에 영향을 주지 않는 범위에서 포함해도 좋다.The remainder of the components constituting the aluminum alloy foil according to the present invention contains aluminum and inevitable impurities. These unavoidable impurities refer to elements unavoidably mixed during the production of aluminum alloy foil. These unavoidable impurities may be contained within a range that does not affect the properties of the aluminum alloy foil in the present invention.
이 불가피 불순물로서는, 예컨대, 망간(Mn), 구리(Cu), 마그네슘(Mg), 크롬(Cr), 아연(Zn), 티탄(Ti), 바나듐(V), 갈륨(Ga), 니켈(Ni), 붕소(B), 지르코늄(Zr) 등의 원소를 들 수 있고, 이들 중, 1종 또는 2종 이상을 각각 500 질량 ppm 이하 포함하고 있어도 좋다.These inevitable impurities include, for example, manganese (Mn), copper (Cu), magnesium (Mg), chromium (Cr), zinc (Zn), titanium (Ti), vanadium (V), gallium (Ga), and nickel (Ni). ), boron (B), and zirconium (Zr). Among these, one or two or more types may be included in an amount of 500 mass ppm or less each.
본 발명의 알루미늄 합금박은, 상기 조성을 구비하기 때문에, 고가의 첨가 원소를 포함하지 않고, 또한 화학 용해했을 때의 폐액의 처리 비용을 저감할 수 있다.Since the aluminum alloy foil of the present invention has the above composition, it does not contain expensive additive elements and can reduce the cost of processing waste liquid when chemically dissolved.
알루미늄 합금박의 상기 조성은, 유도 결합 플라즈마 발광 분광 분석법에 의해 측정하는 것으로 한다. 측정 장치로서는, 써모 피셔 사이언티픽 주식회사 제조 iCAP6500DUO, 혹은 가부시키가이샤 시마즈 세이사쿠쇼 제조 ICPS-8100 등을 들 수 있다.The composition of the aluminum alloy foil is measured by inductively coupled plasma emission spectroscopy. Examples of the measuring device include iCAP6500DUO manufactured by Thermo Fisher Scientific Co., Ltd. or ICPS-8100 manufactured by Shimazu Seisakusho Co., Ltd.
[금속간 화합물][Intermetallic compounds]
본 알루미늄 합금박의 단면에 존재하는 원 상당 직경 0.1 ㎛를 초과하고, 또한 3.0 ㎛ 미만의 금속간 화합물의 단위 면적당 개수는, 3.0×105개/㎟ 이상이다. 상기 범위 내이면 금속간 화합물을 미세하게 수많이 분산시킴으로써, 높은 화학 용해성과 고강도화가 가능하다.The number of intermetallic compounds per unit area with an equivalent circle diameter exceeding 0.1 μm and less than 3.0 μm present in the cross section of this aluminum alloy foil is 3.0×10 5 pieces/mm 2 or more. If it is within the above range, high chemical solubility and high strength are possible by finely dispersing numerous intermetallic compounds.
여기서의 금속간 화합물이란, 알루미늄 합금박 단면을 예컨대 주사형 전자 현미경으로 관찰하여, 반사 전자상(조성상)으로 촬영했을 때에, 알루미늄 모상과는 상이한 콘트라스트를 갖는 입자이다. 금속간 화합물은, 예컨대 Al-Fe계, Al-Fe-Si계 등을 가리키지만, 이것에 한정되지 않는다.The intermetallic compound here is a particle having a contrast different from that of the aluminum base phase when the cross section of the aluminum alloy foil is observed with, for example, a scanning electron microscope and photographed as a reflected electron image (composition image). Intermetallic compounds refer to, for example, Al-Fe series, Al-Fe-Si series, etc., but are not limited to these.
원 상당 직경 0.1 ㎛ 이하의 금속간 화합물은, 주사형 전자 현미경으로는 검출이 어렵기 때문에 제외하였다. 또한, 원 상당 직경 3.0 ㎛ 이상의 조대 금속간 화합물은, 압연 시에 핀홀의 원인이 되어, 단선의 원인이 되기 때문에, 0.1×105개/㎟ 이하가 좋고, 0개/㎟가 보다 바람직하다. 이 때문에, 상기한 범위에서는, 3.0 ㎛ 미만으로 하였다.Intermetallic compounds with an equivalent circle diameter of 0.1 μm or less were excluded because they are difficult to detect with a scanning electron microscope. Additionally, since coarse intermetallic compounds with an equivalent circle diameter of 3.0 μm or more cause pinholes and breakage during rolling, the amount is preferably 0.1×10 5 pieces/mm 2 or less, and 0 pieces/mm 2 is more preferable. For this reason, in the above-mentioned range, it was set to less than 3.0 μm.
원 상당 직경 0.1 ㎛를 초과하고, 또한 3.0 ㎛ 미만의 금속간 화합물의 단위 면적당 개수의, 보다 바람직한 범위는, 3.5×105개/㎟ 이상, 20×105개/㎟ 이하이다. 3.5×105개/㎟ 이상으로 함으로써, 보다 화학 용해성이 우수한 알루미늄 합금박을 제공할 수 있다. 20×105개/㎟를 초과하면, 에칭부의 예민성이 손상될 우려가 있다.A more preferable range of the number per unit area of intermetallic compounds having an equivalent circle diameter exceeding 0.1 μm and less than 3.0 μm is 3.5×10 5 pieces/mm2 or more and 20×10 5 pieces/mm2 or less. By setting the number to 3.5×10 5 pieces/mm 2 or more, an aluminum alloy foil with more excellent chemical solubility can be provided. If it exceeds 20×10 5 pieces/mm 2 , there is a risk that the sensitivity of the etched portion may be impaired.
이 금속간 화합물은, 상기한 양을 가짐으로써, 에칭의 기점이 되고, 얻어지는 알루미늄 합금박의 강도를 강화하여, 최종 소둔 후의 재결정을 억제하는 작용을 갖기 때문에, 본 발명의 특징을 보다 확실히 발휘할 수 있다.By having the above-mentioned amount, this intermetallic compound serves as a starting point for etching, strengthens the strength of the resulting aluminum alloy foil, and has the effect of suppressing recrystallization after final annealing, so that the features of the present invention can be exhibited more reliably. there is.
[KAM값][KAM value]
본 발명에서의 KAM값이란, 알루미늄 합금박 표면을 관찰면으로 하여, EBSD(전자선 후방 산란 회절)법에 의해, 지정된 스텝 사이즈(0.6 ㎛ 간격)로 배치된 전자선 조사 스폿에 대해, 인접하는 스폿 사이의 결정 방위차를 모두 측정하고(최근접 이웃 = 1번째), 방위차 5° 미만(최대 방향이탈 = 5°)의 측정값을 추출하여, 측정 시야에 있어서 그 평균값을 구한 것에 상당한다.The KAM value in the present invention refers to the value between adjacent spots for electron beam irradiation spots arranged at a specified step size (0.6 μm interval) by EBSD (electron beam backscattering diffraction) method, using the aluminum alloy foil surface as the observation surface. It is equivalent to measuring all of the crystal azimuth differences (nearest neighbor = 1st), extracting the measured value of azimuth difference of less than 5° (maximum deviation = 5°), and calculating the average value in the measurement field of view.
이 KAM값은 변형 축적량과 상관이 있고, KAM값이 높을수록 결정립 내에서의 가공 변형에 의한 방위 변화가 크다고 추측된다.This KAM value is correlated with the amount of strain accumulation, and it is assumed that the higher the KAM value, the greater the change in orientation due to processing strain within the grain.
본 발명에서는, KAM값을 적절한 범위로 제어함으로써, 우수한 강도, 신장이 얻어지는 것을 발견하였다. 이 KAM값은, 0.8° 이상 1.4° 미만이 좋다. KAM값이 0.8°보다 작은 상태는, 회복, 재결정이 진행된 변형이 적은 상태이기 때문에, 충분한 강도가 얻어지지 않는 경향이 있다. KAM값이 1.4° 이상의 상태는, 변형이 많이 잔존한 상태이고, 충분한 신장이 얻어지지 않는 경향이 있다.In the present invention, it was discovered that excellent strength and elongation can be obtained by controlling the KAM value within an appropriate range. This KAM value is preferably 0.8° or more and less than 1.4°. In a state where the KAM value is less than 0.8°, sufficient strength tends not to be obtained because it is a state in which there is little strain that has undergone recovery and recrystallization. In a state where the KAM value is 1.4° or more, a lot of strain remains, and sufficient elongation tends not to be obtained.
KAM값의 보다 바람직한 범위는, 0.9° 이상 1.3° 미만이다. 상기 범위 내이면, 보다 강도, 신장이 우수한 알루미늄 합금박을 제조할 수 있다.A more preferable range of the KAM value is 0.9° or more and less than 1.3°. If it is within the above range, aluminum alloy foil with superior strength and elongation can be manufactured.
[제조 방법][Manufacturing method]
다음으로, 본 발명에 따른 알루미늄 합금박의 제조 방법에 대해 설명한다.Next, a method for manufacturing an aluminum alloy foil according to the present invention will be described.
본 발명에 따른 알루미늄 합금박의 제조 방법은, 상기 조성 범위가 되도록 알루미늄 모합금을 조제하고, 가열하여 알루미늄 합금 용탕을 제작하는 공정, 상기 알루미늄 합금 용탕을 100℃/초 이상의 냉각 속도로 주조하여 주괴를 제작하는 공정, 상기 주괴를 냉간 압연하여 박으로 하는 공정, 및 400℃ 이하, 바람직하게는 200℃∼400℃ 정도에서 최종 소둔(FA)하는 공정을 포함하는 구성으로 한 제조 방법이다.The method for producing an aluminum alloy foil according to the present invention is a process of preparing an aluminum master alloy so that the composition range is within the above composition range and heating it to produce a molten aluminum alloy, and casting the molten aluminum alloy at a cooling rate of 100°C/sec or more to form an ingot. It is a manufacturing method comprising a process of manufacturing a process, a process of cold rolling the ingot into a foil, and a process of final annealing (FA) at 400°C or lower, preferably around 200°C to 400°C.
보다 구체적으로는, 먼저, 상기 조성 범위가 되도록 알루미늄 지금, 각종 첨가 금속 원소, 또는 이들을 포함한 알루미늄 모합금을 조제하고, 680℃∼1000℃에서 가열하여 알루미늄 합금 용탕으로 한다. 다음으로, 그 용탕을 주조하여, 주괴를 제작한다. 이 주조는, 100℃/초 이상, 예컨대 약 300℃/초의 높은 주조 냉각 속도를 낼 수 있는 연속 주조[CC(Continuous casting) 주조]를 사용하는 것이 바람직하다.More specifically, first, aluminum alloy metal, various added metal elements, or an aluminum master alloy containing them are prepared so that the composition ranges above, and heated at 680°C to 1000°C to obtain a molten aluminum alloy. Next, the molten metal is cast to produce an ingot. For this casting, it is desirable to use continuous casting (CC (Continuous casting) casting) that can produce a high casting cooling rate of 100°C/sec or more, for example, about 300°C/sec.
본 발명의 알루미늄 합금박은, 함유하는 금속간 화합물을 미세 분산시키는 것이 중요하고, 주조 냉각 속도가 약 10℃/초의 반연속 주조[DC(Direct Chill) 주조]에서는 어렵다.In the aluminum alloy foil of the present invention, it is important to finely disperse the intermetallic compounds it contains, and it is difficult to perform semi-continuous casting (DC (Direct Chill) casting) with a casting cooling rate of about 10°C/sec.
CC 주조판은, 약 7 ㎜의 두께로 얻어지고, 냉간 압연에 의해 소정 두께의 박으로 한다. 압연하기 쉽게 하거나, 또는 고용(固溶)·석출 상태를 제어하기 위해서 냉간 압연 공정 도중에 중간 소둔(IA)하는 것도 가능하다. 마지막으로 400℃ 이하, 바람직하게는 200℃∼400℃ 정도에서 FA함으로써 알루미늄 합금박이 된다.The CC cast plate is obtained with a thickness of approximately 7 mm, and is formed into a foil of a predetermined thickness by cold rolling. It is also possible to perform intermediate annealing (IA) during the cold rolling process to make rolling easier or to control the solid solution/precipitation state. Finally, FA is performed at 400°C or lower, preferably around 200°C to 400°C, to obtain an aluminum alloy foil.
[냉각 속도][Cooling speed]
본 발명에 따른 알루미늄 합금박의 제조 방법에서의, 주조 시의 냉각 속도는 100℃/초 이상이다. 상기 범위 내로 함으로써, 알루미늄 모상 중에 금속간 화합물을 미세하게 분산시킬 수 있기 때문에, FA 시의 재결정을 억제할 수 있다. 그 때문에, 알루미늄 합금박의 강도, 신장을 향상시킬 수 있다. 또한 화학 용해의 기점이 되는 금속간 화합물을 미세하게 분산시킬 수 있기 때문에 배선 기판에 이용되었을 때에 에칭 속도를 향상시킬 수 있다.In the method for producing aluminum alloy foil according to the present invention, the cooling rate during casting is 100°C/sec or more. By setting it within the above range, the intermetallic compound can be finely dispersed in the aluminum base phase, so recrystallization during FA can be suppressed. Therefore, the strength and elongation of the aluminum alloy foil can be improved. Additionally, since intermetallic compounds, which are the starting point of chemical dissolution, can be finely dispersed, the etching speed can be improved when used in wiring boards.
냉각 속도는 200℃/초 이상이 바람직하고, 300℃/초 이상이면 보다 바람직하다. 상기 범위이면 전술한 효과를 보다 향상시킬 수 있다. 한편, 주조 시의 냉각 속도의 상한은, 특별히 한정되지 않으나, 장치 상의 관점에서, 1000℃/초 이하이면 충분하다. The cooling rate is preferably 200°C/sec or more, and more preferably 300°C/sec or more. Within the above range, the above-described effects can be further improved. On the other hand, the upper limit of the cooling rate during casting is not particularly limited, but from an equipment standpoint, 1000°C/sec or less is sufficient.
상기 냉각 속도를 달성하기 위한 주조 방법으로서는, 특별히 한정되지 않으나, 예컨대, 연속 주조(CC 주조), 특히 쌍롤 연속 주조를 들 수 있다. 주조 두께는, 특별히 한정되지 않으나, 예컨대 3 ㎜ 이상 10 ㎜ 이하이고, 보다 바람직하게는 3 ㎜ 초과 8 ㎜ 이하이다. 상기 범위이면, 주괴의 내부에 있어서도 원하는 냉각 속도를 얻을 수 있다.The casting method for achieving the above-mentioned cooling rate is not particularly limited, but examples include continuous casting (CC casting), particularly twin-roll continuous casting. The casting thickness is not particularly limited, but is, for example, 3 mm to 10 mm, and more preferably 3 mm to 8 mm. Within the above range, the desired cooling rate can be obtained even inside the ingot.
[균질화 열처리][Homogenization heat treatment]
본 발명에 따른 알루미늄 합금박의 제조 방법에서는, 균질화 열처리 공정을 포함하지 않는 것이 바람직하다. 균질화 열처리 공정을 행하면, 높은 냉각 속도를 갖는 주조 공정에 의해 과포화 고용된 첨가 원소가 석출되어, 조직의 조대화를 초래하기 때문에, 충분한 고강도, 신장 및 화학 용해성을 겸비한다고 하는, 본 발명의 특징을 발휘하기 어려워질 우려가 있다.In the method for producing aluminum alloy foil according to the present invention, it is preferable not to include a homogenization heat treatment process. When the homogenization heat treatment process is performed, the supersaturated solid solution additive elements are precipitated by the casting process with a high cooling rate, resulting in coarsening of the structure. Therefore, the characteristics of the present invention of having sufficient high strength, elongation, and chemical solubility are achieved. There are concerns that it may become difficult to use.
[열간 압연][Hot rolling]
본 발명에 따른 알루미늄 합금박의 제조 방법에서는, 열간 압연 공정을 포함하지 않는 것이 바람직하다. 열간 압연 공정을 행하면, 높은 냉각 속도를 갖는 주조 공정에 의해 과포화 고용된 첨가 원소가 석출되어, 조직의 조대화를 초래하여, 충분한 고강도, 신장 및 화학 용해성을 겸비한다고 하는, 본 발명의 특징을 발휘하기 어려워질 우려가 있다.In the method for producing aluminum alloy foil according to the present invention, it is preferable not to include a hot rolling process. When the hot rolling process is performed, the supersaturated solid solution additive elements are precipitated by the casting process with a high cooling rate, resulting in coarsening of the structure, thereby demonstrating the characteristics of the present invention, which include sufficient high strength, elongation, and chemical solubility. There is a risk that it will become difficult to do.
[중간 소둔(IA)][Intermediate Annealing (IA)]
본 발명에 따른 알루미늄 합금박의 제조 방법에서는, 중간 소둔 공정을 포함하는 것이 바람직하다. 중간 소둔 공정은 있어도 없어도 좋으나, 압연성의 개선의 목적으로, 알루미늄 합금박의 특성에 영향을 미치지 않는 범위에서 행하는 것이 바람직하다. 일례로서는, 공기 분위기 중에서 250℃ 이상 550℃ 이하의 온도에서, 1시간 이상 20시간 이하 행해진다.The method for manufacturing aluminum alloy foil according to the present invention preferably includes an intermediate annealing process. The intermediate annealing process may be performed or not, but for the purpose of improving rollability, it is preferable to carry out the process within a range that does not affect the properties of the aluminum alloy foil. As an example, it is carried out in an air atmosphere at a temperature of 250°C or higher and 550°C or lower for 1 hour or more and 20 hours or less.
[최종 소둔(FA)][Final Annealing (FA)]
본 발명에 따른 알루미늄 합금박의 제조 방법에서는, 최종 소둔 공정을 포함한다. 최종 소둔 공정은, 예컨대, 공기 분위기 또는 불활성 가스 분위기 중에서, 400℃ 이하에서 행해진다. 최종 소둔 온도가 200℃ 미만인 경우, 압연유의 제거가 불충분하고, 또한 KAM값이 1.4°보다 커지는 경우가 많다. 최종 소둔 온도가 400℃를 초과하는 경우, 조직의 조대화에 의한 화학 용해성의 악화가 염려되고, 또한 KAM값이 0.8°보다 작아지는 경우가 많다. 최종 소둔은 바람직하게는 200℃ 이상 400℃ 이하, 보다 바람직하게는 275℃ 이상 400℃ 이하, 1시간 이상 60시간 이하이다. 이들 조건을 만족시키는 경우, 얻어지는 알루미늄 합금박은, 압연유의 제거가 충분하고, 상기에 나타낸 KAM값의 범위로 제어 가능하며, 충분한 강도, 신장이 얻어진다.The method for manufacturing aluminum alloy foil according to the present invention includes a final annealing process. The final annealing process is performed at 400°C or lower, for example, in an air atmosphere or an inert gas atmosphere. When the final annealing temperature is less than 200°C, removal of rolling oil is insufficient and the KAM value often becomes larger than 1.4°. When the final annealing temperature exceeds 400°C, there is concern about deterioration of chemical solubility due to coarsening of the structure, and the KAM value often becomes smaller than 0.8°. The final annealing is preferably 200°C or higher and 400°C or lower, more preferably 275°C or higher and 400°C or lower, and is 1 hour or more and 60 hours or less. When these conditions are satisfied, the aluminum alloy foil obtained has sufficient removal of rolling oil, can be controlled within the range of the KAM value shown above, and has sufficient strength and elongation.
[알루미늄 합금박의 특성][Characteristics of aluminum alloy foil]
<강도, 0.2% 내력, 신장><Strength, 0.2% resistance, elongation>
본 발명에 따른 알루미늄 합금박은, 압연 방향으로의 인장 강도가 120 N/㎟ 이상이 바람직하고, 0.2% 내력이 80 N/㎟ 이상이 바람직하며, 두께 50 ㎛에서의 압연 방향으로의 신장이 12.0% 이상인 것이 바람직하다. 인장 강도나 0.2% 내력이 상기 범위이면, 프린트 배선 기판의 제조 공정에서 충분한 작업성을 확보할 수 있다.The aluminum alloy foil according to the present invention preferably has a tensile strength in the rolling direction of 120 N/mm2 or more, a 0.2% proof strength of 80 N/mm2 or more, and an elongation in the rolling direction at a thickness of 50 μm of 12.0%. It is desirable to have more than that. If the tensile strength or 0.2% proof strength is within the above range, sufficient workability can be ensured in the manufacturing process of a printed wiring board.
그런데, 본 명세서에서 단순히 「내력」이라고 기재한 경우에는, 「0.2% 내력」을 가리킨다.However, when “yield strength” is simply described in this specification, it refers to “0.2% proof strength.”
<두께><Thickness>
알루미늄 합금박의 두께는 특별히 한정되지 않으나, 7 ㎛ 이상 100 ㎛ 미만이 바람직하다. 보다 바람직하게는 9 ㎛ 이상 50 ㎛ 이하이다. 상기 범위이면, 프린트 배선 기판용으로서 적합하게 채용할 수 있다.The thickness of the aluminum alloy foil is not particularly limited, but is preferably 7 μm or more and less than 100 μm. More preferably, it is 9 ㎛ or more and 50 ㎛ or less. If it is within the above range, it can be suitably adopted for printed wiring boards.
7 ㎛ 미만이면 프린트 배선 기판의 제조 공정에서의 작업성이 악화되는 경향이 있고, 100 ㎛ 이상이면 에칭 시의 용해 시간이 길어져 프린트 배선 기판용으로서 부적당해지는 경향이 발생한다.If it is less than 7 μm, workability in the manufacturing process of printed wiring boards tends to deteriorate, and if it is more than 100 μm, the dissolution time during etching becomes long, making it unsuitable for printed wiring boards.
[알루미늄 적층체][Aluminum laminate]
본 발명에 따른 알루미늄 합금박은, 그 적어도 한쪽 면에 적어도 1층 이상의 피착체를 적층하여, 알루미늄 적층체로 할 수 있다.The aluminum alloy foil according to the present invention can be made into an aluminum laminate by laminating at least one layer of an adherend on at least one side thereof.
상기 피착체는 가요성을 갖는 것이어도, 갖지 않는 것이어도 좋고, 예컨대, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에스테르, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아미드 등의 수지 필름, 또는 종이 페놀 수지판, 유리 에폭시판 등이 적합하게 이용된다.The adherend may or may not have flexibility, and may be, for example, a resin film such as polyethylene, polypropylene, polyester, polycarbonate, polyimide, or polyamide, or a paper phenolic resin plate, a glass epoxy plate, etc. This is used appropriately.
알루미늄 합금박과 피착체의 적층 방법은, 특별히 한정되지 않고, 예컨대 접착제에 의한 라미네이트 등을 들 수 있다.The method of laminating the aluminum alloy foil and the adherend is not particularly limited, and examples include lamination using an adhesive.
또한, 상기 적층에 앞서, 알루미늄 합금박의 표면을 조화(粗化)하거나, 세정을 행하거나, 코팅 등을 행해도 좋다.Additionally, prior to the lamination, the surface of the aluminum alloy foil may be roughened, cleaned, coated, etc.
[프린트 배선 기판][Printed wiring board]
상기 적층체의 알루미늄 합금박의 표면에 원하는 배선 형상이 되도록 레지스트 잉크를 패턴형으로 인쇄하고, 다음으로 에칭액에 침지하여 레지스트 잉크가 인쇄되어 있지 않은 부분을 용해시킨 후, 필요에 따라 레지스트를 박리함으로써, 알루미늄 합금박을 배선 패턴으로 형성하여 프린트 배선 기판으로 할 수 있다.Resist ink is printed in a pattern so that the desired wiring shape is formed on the surface of the aluminum alloy foil of the above laminate, then immersed in an etching solution to dissolve the portion where the resist ink is not printed, and then the resist is peeled off as necessary. , aluminum alloy foil can be formed into a wiring pattern to make a printed wiring board.
인쇄 방법은 공지된 것을 이용할 수 있고, 예컨대 그라비아 인쇄나 스크린 인쇄 등이다.Known printing methods can be used, such as gravure printing or screen printing.
상기 레지스트 잉크로서는, 공지된 것을 이용할 수 있고, 유기계나 무기계 레지스트 등을 에칭액이나 알루미늄 표면에의 도공성(塗工性) 등을 고려하여 적절히 채용할 수 있다.As the above-mentioned resist ink, known ones can be used, and organic or inorganic resists, etc. can be appropriately adopted taking into consideration the coating properties on etching liquids and aluminum surfaces, etc.
상기 에칭액은, 공지된 것을 이용할 수 있고, 산성, 알칼리성 등 적절히 채용할 수 있으며, 예컨대 수산화나트륨(가성 소다) 수용액이나 염산, 염화제2철액, 염화구리액, 과산화수소 등, 혹은 이들의 혼합액을 들 수 있다.The etching solution can be any known etching solution, and acidic, alkaline, etc. can be used as appropriate, for example, sodium hydroxide (caustic soda) aqueous solution, hydrochloric acid, ferric chloride solution, copper chloride solution, hydrogen peroxide, etc., or a mixture thereof. You can.
실시예Example
이하, 실시예 및 비교예를 들어, 본 발명의 내용을 한층 명확히 한다. 먼저, 이 실시예에서 이용한 시험 방법을 하기에 나타낸다.Hereinafter, examples and comparative examples will be given to further clarify the content of the present invention. First, the test method used in this example is shown below.
(시험 방법)(Test Methods)
[금속간 화합물 개수][Number of intermetallic compounds]
알루미늄 합금박 단면(ND-RD 단면)을 크로스 섹션 폴리셔(니혼 덴시(주) 제조 SM-09010)에 의해 평활하게 가공한 후, 전계 방출형 주사 전자 현미경(니혼 덴시(주) 제조 JSM-7200F)에 의해 배율 2500배로 관찰하였다. 금속간 화합물을 보기 쉽게 하기 위해서 반사 전자상(조성상)으로 촬영하였다. 금속간 화합물의 사이즈·개수는 화상 해석·계측 소프트웨어 WinROOF2018(미타니 쇼지(주): Version4.7.5)을 사용하여 평가하였다. 해석 소프트 내의 화상 처리로 콘트라스트·밝기를 조정하여, 금속간 화합물을 명확히 한다. 그 후, 단일 임계값에 의한 2치화로, 알루미늄 합금박 단면의 금속간 화합물 부분의 데이터만을 추출할 수 있도록 2치화 처리하였다. 2치화 처리된 금속간 화합물 부분에서, 원 상당 직경 0.1 ㎛ 이하의 부분을 삭제하도록 데이터 처리하고, 남겨진 원 상당 직경 0.1 ㎛를 초과하는 부분에서, 3.0 ㎛ 미만의 것의 개수, 및 3.0 ㎛ 이상의 것의 개수를 계측하며, 단위 면적당 금속간 화합물의 개수를 산출하였다. 랜덤으로 5시야에서 촬영하고, 그 평균값을 구하였다.The aluminum alloy foil cross-section (ND-RD cross-section) was processed smoothly with a cross section polisher (SM-09010, manufactured by Nippon Electronics Co., Ltd.), and then subjected to a field emission scanning electron microscope (JSM-7200F, manufactured by Nippon Denshi Co., Ltd.). ) was observed at a magnification of 2500 times. In order to make it easier to see the intermetallic compounds, they were photographed using reflected electron images (composition images). The size and number of intermetallic compounds were evaluated using image analysis and measurement software WinROOF2018 (Mitani Shoji Co., Ltd.: Version 4.7.5). Contrast and brightness are adjusted through image processing within the analysis software to clarify intermetallic compounds. Afterwards, binarization was performed using a single threshold to extract data only from the intermetallic compound portion of the aluminum alloy foil cross section. In the binarized intermetallic compound portion, the data is processed to delete the portion with an equivalent circle diameter of 0.1 μm or less, and in the remaining portion exceeding the equivalent circle diameter of 0.1 μm, the number of things less than 3.0 μm and the number of things more than 3.0 μm was measured, and the number of intermetallic compounds per unit area was calculated. Photographs were taken at random from 5 fields of view, and the average value was calculated.
[KAM값][KAM value]
알루미늄 합금박 표면의 KAM값은, EBSD 분석 장치((주)TSL 솔루션즈 Velocity)를 구비한 전계 방출형 주사 전자 현미경(니혼 덴시(주) 제조 JSM-7200F)을 사용하여, 배율 300배, 300 ㎛×300 ㎛의 시야에서 스텝 사이즈 0.6 ㎛로 하여 EBSD 측정을 행하고, 그 측정 결과로부터, 해석 소프트웨어 OIM Analysis 8((주)TSL 솔루션즈)에 의해 최근접 이웃 = 1번째, 최대 방향 이탈 = 5°로 산출하였다. 전처리로서 알루미늄 합금박 표면은 전해 연마로 경면 가공하였다. 랜덤으로 3시야에서 측정하고, 그 평균값을 구하였다.The KAM value of the aluminum alloy foil surface was measured using a field emission scanning electron microscope (JSM-7200F, manufactured by Nippon Electronics Co., Ltd.) equipped with an EBSD analysis device (TSL Solutions Velocity, Inc.) at a magnification of 300x and 300 ㎛. EBSD measurement was performed with a step size of 0.6 μm in a field of view of Calculated. As pretreatment, the surface of the aluminum alloy foil was mirror-finished by electrolytic polishing. Measurements were taken at random in 3 fields of view, and the average value was calculated.
[인장 시험][Tensile test]
FA 후의 알루미늄 합금박을 폭 15 ㎜, 길이 200 ㎜의 직사각형 시험편으로 잘라내고, (주)도요 세이키 세이사쿠쇼 제조의 스트로그래프 VES5D로 인장 시험하였다. 척간 거리 100 ㎜, 인장 속도 10 ㎜/min으로 하여, 인장 강도, 내력, 신장의 데이터를 얻었다. 시험은 3회 실시하고, 그 평균값을 산출하였다. 인장 시험의 방향은 압연 방향에 맞췄다.The aluminum alloy foil after FA was cut into rectangular test pieces with a width of 15 mm and a length of 200 mm, and a tensile test was performed using a strograph VES5D manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Co., Ltd. Data on tensile strength, yield strength, and elongation were obtained at a distance between chucks of 100 mm and a tensile speed of 10 mm/min. The test was performed three times, and the average value was calculated. The direction of the tensile test was adjusted to the rolling direction.
[용해 시간][Dissolution time]
알루미늄 합금박의 한쪽 표면만 1×1 ㎝ 노출되도록 마스킹 테이프를 붙이고, 염산 8 질량%, 염화알루미늄 4 질량%가 되도록 제작한 40℃의 에칭액에 함침하여, 알루미늄 합금박 노출부가 완전히 용해되기까지의 시간을 측정하였다.Masking tape was applied so that only 1 × 1 cm of one surface of the aluminum alloy foil was exposed, and it was immersed in an etching solution at 40°C prepared to contain 8% by mass of hydrochloric acid and 4% by mass of aluminum chloride, and allowed to wait until the exposed portion of the aluminum alloy foil was completely dissolved. Time was measured.
(실시예 1∼8, 비교예 1∼4)(Examples 1 to 8, Comparative Examples 1 to 4)
하기의 표 1, 표 2에 나타나는 각 조성을 포함하는 알루미늄 합금을 용해하고, 그 용탕을 탈(脫)가스·탈개재물 처리한 후에 CC 주조로 두께 7 ㎜의 주조판을 얻었다. 얻어진 주조판에 냉간 압연을 행하여 두께 1 ㎜로 한 후, 표 1, 표 2에 기재된 온도에서 중간 소둔을 행하였다. 중간 소둔 후 또한 냉간 압연을 행하여, 두께 50 ㎛의 냉간 압연박을 얻었다. 얻어진 상기 냉간 압연박에 표 1, 표 2에 기재된 온도에서 2시간 유지하는 최종 소둔을 실시하였다. 최종 두께는 표 1, 표 2에 기재된 바와 같이 한다. 얻어진 알루미늄 합금박의 각 물성 등을 상기한 방법으로 측정하였다. 그 결과를 표 1, 표 2에 나타낸다.Aluminum alloys containing the compositions shown in Tables 1 and 2 below were melted, the molten metal was subjected to degassing and inclusion treatment, and then a cast plate with a thickness of 7 mm was obtained by CC casting. The obtained cast plate was cold rolled to a thickness of 1 mm, and then intermediate annealed at the temperature shown in Tables 1 and 2. After intermediate annealing, cold rolling was further performed to obtain cold rolled foil with a thickness of 50 μm. The obtained cold rolled foil was subjected to final annealing at the temperature shown in Tables 1 and 2 for 2 hours. The final thickness is as shown in Table 1 and Table 2. Each physical property of the obtained aluminum alloy foil was measured by the method described above. The results are shown in Tables 1 and 2.
(비교예 5∼9)(Comparative Examples 5 to 9)
하기의 표 2에 기재된 조성으로 DC 주조에 의해 주괴를 얻었다. 주괴를 면삭(面削) 후, 표 2에 기재된 온도에서 균질화 열처리를 행한 후, 열간 압연에 의해 두께 7 ㎜의 판으로 하였다. 그 후에는 상기 실시예와 마찬가지로 냉간 압연, 중간 소둔, 최종 소둔을 표 2에 기재된 조건으로 실시하였다. 최종 두께는 표 2에 기재된 바와 같이 한다. 얻어진 알루미늄 합금박의 각 물성 등을 상기한 방법으로 측정하였다. 그 결과를 표 2에 나타낸다.An ingot was obtained by DC casting with the composition shown in Table 2 below. After chamfering the ingot, homogenization heat treatment was performed at the temperature shown in Table 2, and then hot rolling was performed to form a plate with a thickness of 7 mm. After that, cold rolling, intermediate annealing, and final annealing were performed under the conditions shown in Table 2, as in the above examples. The final thickness is as shown in Table 2. Each physical property of the obtained aluminum alloy foil was measured by the method described above. The results are shown in Table 2.
또한, 실시예 1 및 비교예 7에서의, 금속간 화합물 개수 측정 시에 촬영한 조성상을 도 1(실시예 1), 및 도 2(비교예 7)에 도시한다.In addition, composition images taken when measuring the number of intermetallic compounds in Example 1 and Comparative Example 7 are shown in Figures 1 (Example 1) and Figure 2 (Comparative Example 7).
이 결과로부터, 실시예 1에서는, 0.1 ㎛∼3.0 ㎛의 미세한 금속간 화합물이 다수 존재하고 있는 것이 분명하다. 한편, 비교예 7에서는, 0.1 ㎛∼3.0 ㎛의 미세한 금속간 화합물은 적은 것이 분명하다.From these results, it is clear that in Example 1, many fine intermetallic compounds of 0.1 μm to 3.0 μm exist. On the other hand, in Comparative Example 7, it is clear that there are few fine intermetallic compounds of 0.1 μm to 3.0 μm.
Claims (6)
(1) 철 함유량이 0.5 질량% 이상 1.8 질량% 미만, 규소 함유량이 1.5 질량% 미만, 잔부가 알루미늄과 불가피 불순물을 포함하고,
(2) 상기 알루미늄 합금박 단면 중에 원 상당 직경이 0.1 ㎛를 초과하며, 또한 3.0 ㎛ 미만의 금속간 화합물을 3.0×105개/㎟ 이상 포함하고,
(3) 상기 알루미늄 합금박 표면을 관찰면으로 하여, EBSD(전자선 후방 산란 회절)법에 의해, 스텝 사이즈: 0.6 ㎛, 최근접 이웃(Nearest neighbor): 1번째, 최대 배향(Maximum Orientation): 5°의 조건으로 측정한 KAM(Kernel Average Misorientation: 핵 평균 이탈)값이 0.8° 이상 1.4° 미만인 것인, 알루미늄 합금박.As an aluminum alloy foil,
(1) The iron content is 0.5 mass% or more but less than 1.8 mass%, the silicon content is less than 1.5 mass%, the balance includes aluminum and inevitable impurities,
(2) The cross section of the aluminum alloy foil has an equivalent circle diameter of more than 0.1 ㎛ and contains intermetallic compounds of less than 3.0 ㎛ in an amount of 3.0 × 10 5 pieces/mm 2 or more,
(3) Using the surface of the aluminum alloy foil as the observation surface, EBSD (electron beam backscattering diffraction) method was used to determine step size: 0.6 ㎛, nearest neighbor: 1st, and maximum orientation: 5. An aluminum alloy foil having a KAM (Kernel Average Misorientation) value measured under the condition of ° of 0.8° or more and less than 1.4°.
압연 방향으로의 인장 강도가 120 N/㎟ 이상, 0.2% 내력이 80 N/㎟ 이상이고,
두께 50 ㎛에서의 압연 방향으로의 신장이 12.0% 이상인 것인, 알루미늄 합금박.According to paragraph 1,
The tensile strength in the rolling direction is 120 N/mm2 or more, and the 0.2% proof strength is 80 N/mm2 or more,
An aluminum alloy foil having an elongation in the rolling direction of 12.0% or more at a thickness of 50 μm.
100℃/초 이상의 냉각 속도로 주조함으로써, 알루미늄 합금의 주괴(鑄塊)를 얻는 공정과,
상기 주괴를 냉간 압연함으로써, 알루미늄 합금박의 냉간 압연박을 얻는 공정과,
상기 냉간 압연박을 400℃ 이하의 온도에서 소둔(燒鈍)하는 공정을 구비하는 것인, 알루미늄 합금박의 제조 방법.A molten aluminum alloy containing an iron content of 0.5 mass% or more but less than 1.8 mass%, a silicon content of less than 1.5 mass%, and the balance containing aluminum and inevitable impurities,
A process of obtaining an aluminum alloy ingot by casting at a cooling rate of 100°C/sec or more,
A process of obtaining a cold-rolled aluminum alloy foil by cold-rolling the ingot,
A method of producing an aluminum alloy foil, comprising a step of annealing the cold rolled foil at a temperature of 400° C. or lower.
주조 방법이 쌍롤식 연속 주조인 것인, 알루미늄 합금박의 제조 방법.According to clause 4,
A method of manufacturing an aluminum alloy foil, wherein the casting method is twin-roll continuous casting.
중간 소둔 공정을 포함하고, 균질화 열처리 공정 및 열간 압연 공정을 포함하지 않는 것인, 알루미늄 합금박의 제조 방법.According to clause 4 or 5,
A method of manufacturing an aluminum alloy foil, including an intermediate annealing process and not including a homogenization heat treatment process and a hot rolling process.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2021044731A JP2022143934A (en) | 2021-03-18 | 2021-03-18 | Aluminum alloy foil, aluminum laminate, and manufacturing method of aluminum alloy foil |
JPJP-P-2021-044731 | 2021-03-18 | ||
PCT/JP2022/010291 WO2022196489A1 (en) | 2021-03-18 | 2022-03-09 | Aluminum alloy foil, aluminum layered body, and method for producing aluminum alloy foil |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20230157418A true KR20230157418A (en) | 2023-11-16 |
Family
ID=83320593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020237034815A KR20230157418A (en) | 2021-03-18 | 2022-03-09 | Aluminum alloy foil, aluminum laminate, and method for producing aluminum alloy foil |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2022143934A (en) |
KR (1) | KR20230157418A (en) |
CN (1) | CN116997667A (en) |
WO (1) | WO2022196489A1 (en) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001152270A (en) | 1999-11-25 | 2001-06-05 | Mitsubishi Alum Co Ltd | Aluminum alloy foil for printed circuit |
JP2012149289A (en) | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Mitsubishi Alum Co Ltd | Aluminum foil for printed circuit |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6434548A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Furukawa Aluminium | Production of high strength aluminum foil |
JP4015518B2 (en) * | 2002-05-07 | 2007-11-28 | 日本製箔株式会社 | Aluminum alloy foil, method for producing the same, and aluminum laminate |
KR101894719B1 (en) * | 2011-07-29 | 2018-09-04 | 가부시키가이샤 유에이씨제이 | Aluminum alloy foil for electrode collector and production method therefor |
JP6431315B2 (en) * | 2014-08-14 | 2018-11-28 | 三菱アルミニウム株式会社 | Aluminum alloy foil and method for producing the same |
-
2021
- 2021-03-18 JP JP2021044731A patent/JP2022143934A/en active Pending
-
2022
- 2022-03-09 WO PCT/JP2022/010291 patent/WO2022196489A1/en active Application Filing
- 2022-03-09 CN CN202280021815.0A patent/CN116997667A/en active Pending
- 2022-03-09 KR KR1020237034815A patent/KR20230157418A/en unknown
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001152270A (en) | 1999-11-25 | 2001-06-05 | Mitsubishi Alum Co Ltd | Aluminum alloy foil for printed circuit |
JP2012149289A (en) | 2011-01-18 | 2012-08-09 | Mitsubishi Alum Co Ltd | Aluminum foil for printed circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN116997667A (en) | 2023-11-03 |
WO2022196489A1 (en) | 2022-09-22 |
JP2022143934A (en) | 2022-10-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100966287B1 (en) | Copper alloy with high strength and excellent processability in bending and process for producing copper alloy sheet | |
JP2898627B2 (en) | Copper alloy foil | |
KR101158113B1 (en) | Copper alloy plate for electrical and electronic components | |
KR102209160B1 (en) | HIGH STRENGTH Cu-Ni-Co-Si BASED COPPER ALLOY SHEET MATERIAL AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND CURRENT CARRYING COMPONENT | |
US4802935A (en) | Substrate for a lithographic printing plate | |
JP5468423B2 (en) | High strength and high heat resistance copper alloy material | |
KR100466062B1 (en) | Copper-alloy foil to be used for laminate sheet | |
JP2008248331A (en) | Rolled copper foil | |
KR20150133842A (en) | Aluminum alloy plate for high-strength alumite material and method for producing same, and aluminum alloy plate having high-strength alumite coating film attached thereto | |
WO2014017297A1 (en) | Aluminum alloy having excellent anodic oxidation treatability, and anodic-oxidation-treated aluminum alloy member | |
KR20170130517A (en) | Copper alloy plate and heat dissipation parts for heat dissipation parts | |
KR102220851B1 (en) | Sputtering target for forming protective film, and laminated wiring film | |
JP5479002B2 (en) | Copper alloy foil | |
WO2015099098A1 (en) | Copper alloy sheet material, connector, and production method for copper alloy sheet material | |
KR102189087B1 (en) | Sputtering target for forming protective film and laminated wiring film | |
TWI629365B (en) | Aluminum foil, electronic component wiring substrate using the same, and method for manufacturing aluminum foil | |
JP4459067B2 (en) | High strength and high conductivity copper alloy | |
KR20230157418A (en) | Aluminum alloy foil, aluminum laminate, and method for producing aluminum alloy foil | |
JP5724998B2 (en) | Protective film forming sputtering target and laminated wiring film | |
CN1234890C (en) | Copper alloy foil for laminated board | |
JP2009084593A (en) | Cu-Cr-Si-BASED ALLOY FOIL | |
JP4937628B2 (en) | Copper alloy with excellent hot workability | |
JPH11264040A (en) | Copper alloy foil | |
JP2003089832A (en) | Copper alloy foil having excellent thermal peeling resistance of plating | |
WO2023176679A1 (en) | Aluminum alloy foil and method for producing same |