KR20230150042A - 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비 - Google Patents

다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비 Download PDF

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KR20230150042A
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Abstract

본 발명은 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비를 제공하는 것을 목적으로 하는 것으로, 본 발명의 구성은 매거진 로딩부(120); 매거진의 자재인 리드 프레임을 레일부로 이송 및 배출하는 피커 유닛(130); 상기 피커 유닛(130)으로부터 전달받은 상기 리드 프레임을 프레스툴까지 이송시키거나 비젼 검사의 불량으로 나온 리드 프레임을 리젝트 빈으로 배출하는 가변 레일 유닛(140); 설비의 In-let과 Out-let 사이에 설치되며 In-let으로 부터 전달 받은 리드 ㅍ레임을 Press의 동력과 Tool(금형)을 이용하여 Trim/Form/Singulation 작업을 거쳐 나오는 PKG를 Out-let부에 전달하고, Trim/Form/Singulation은 각각의 리드 프레임에 맞는 Tool를 장착하여 진행하는 프레스 유닛(150); 설비의 Out-let부에 설치되어 Press 작업을 끝낸 패키지를 Buffer Track Unit에 전달하는 패키지 푸셔 유닛(160);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비는 분당 120~150회의 안정적인 작동과 여러 반도체페키지 제품을 최소한의 변경으로 생산할 수 있게 설계하여 고개사의 투자비용 절감 및 생산 효율성을 극대화시키고, CPK 1.67이상의 정밀한 치수 유지 및 관리가 가능한 설비로 금형교체만으로 유사 반도체 패키지를 생산할 수 있고, 여러 가지 배출기능(Tube & Canister & JEDEC Tray)을 가진 Out-Let 유닛을 개발하여, 고객사의 니즈를 만족시킬 수 있고, 폭 기준 40mm~100mm 단방향 리드를 가진 리드 프레임을 모두 적용할 수 있는 폼 싱귤레이션 장비를 개발하여 유휴설비가 발생하지 않고, 효율적으로 반도체 패키지를 생산하여 비용 절감 및 높은 생산성이 매우 높아지는 효과가 있다.

Description

다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비{Universal form singulation apparatus for small quantity batch production}
본 발명은 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 패키지 제조 공정 중 거의 최종단계에서 사용되는 후공정 장비로서 다수의 소자가 부착되어 있는 리드 프레임에서 소자를 분리하고 연결 전극을 처리하는 트림/포밍 장비인 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비에 관한 것이다.
우리가 흔히 사용하고 있는 전자 제품은 많은 종류의 반도체 소자로 이루어져있다. 이러한 반도체 소자 중 가장 자주 그리고 많이 사용되는 제품이 각 종 트랜지스터와 다이오드이며 트랜지스터와 저항기 등의 회로 부품을 다수 배열시켜 어떤 특정한 기능을 수행할 수 있도록 만들고 이를 소형의 패키지 속에 내장한 소자를 IC(integratedcircuit)라고 한다.
트림/포밍 장비는 반도체 패키지 제조 공정 중 거의 최종단계에서 사용되는 후공정 장비로서 다수의 소자가 부착되어 있는 리드 프레임에서 소자를 분리하고 연결 전극을 처리하는 장비이다. 소자가 부착되어 있는 리드 프레임을 공급대에 올려 작업대로 이송한 후 상하부의 펀치와 다이를 이용하여 소자를 리드 프레임으로부터 분리한다. 또 이와 동시에 소자측 리드 프레임을 적절히 구부려서 외부전극을 구성하는 장비이다.
Trim : Dambar를 절단하고 Lead를 짧게 함
Form : Leads의 형태 와 위치를 만듦
Singulation : 개별 유닛은 리드 프레임 스트립에서 분리되고, 리드 동일 평면 등을 검사하고 트레이 또는 튜브에 배치함.
일반 내연기관 차량은 300개의 반도체가 요구되고, 그 종류 또한 수십 가지로 매우 다양하다.자율주행 자동차에는 2,000개의 반도체가 요구 된다고 한다. 차량용 반도체는 가전용 및 산업용 반도체와는 다르게 자동차 내부에서 작동해야 하므로 고온, 고압, 습도 등이 열악한 환경에 노출되기 쉽다. 다양하면서 생산량은 적고, 내구성 측면에서 고성능을 요구하기 때문에 생산 라인을 구축하기 어렵다
한국등록특허 제10-0164254호(1998년09월11일 등록) 한국공개특허 제10-2000-0047308호(2000년07월25일 공개)
본 발명은 상기한 문제를 해결하기 위해 개발된 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 패키지 제조 공정 중 거의 최종단계에서 사용되는 후공정 장비로서 다수의 소자가 부착되어 있는 리드 프레임에서 소자를 분리하고 연결 전극을 처리하는 트림/포밍 장비인 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명에 의하면, 매거진 로딩부(120); 매거진의 자재인 리드 프레임을 레일부로 이송 및 배출하는 피커 유닛(130); 상기 피커 유닛(130)으로부터 전달받은 상기 리드 프레임을 프레스툴까지 이송시키거나 비젼 검사의 불량으로 나온 리드 프레임을 리젝트 빈으로 배출하는 가변 레일 유닛(140); 설비의 In-let과 Out-let 사이에 설치되며 In-let으로 부터 전달 받은 리드 ㅍ레임을 Press의 동력과 Tool(금형)을 이용하여 Trim/Form/Singulation 작업을 거쳐 나오는 PKG를 Out-let부에 전달하고, Trim/Form/Singulation은 각각의 리드 프레임에 맞는 Tool를 장착하여 진행하는 프레스 유닛(150); 설비의 Out-let부에 설치되어 Press 작업을 끝낸 패키지를 Buffer Track Unit에 전달하는 패키지 푸셔 유닛(160);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비가 제공된다.
설비의 Out-let부에 설치되어 Pusher Unit으로 부터 전달되는 PKG를 Tube로 Off-loading하기 위해 이송시켜주는 버퍼 트랙 유닛(170); 설비의 Out-let부에 설치되어 SingulationPress 작업이 끝난 PKG를 Tube로 Off-loading하는 튜브 오프로딩 유닛(180); 설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 Canister로 Off-loading하는 캐니스터 오프로딩 유닛(190); 설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 JEDEC Tray 로 Off-loading하는 기능을 하고, Press(Singulation) 작업을 마친 PKG 를 Pick & Place 작업을 통해 PKG 방향 전환등의 동작을 하여 JEDEC Tray에 세팅 배열로 적재하고, PKG 적재 작업이 완료된 JEDEC Tray를 배출부로 이송하여 수납되도록 하는 JEDEC 오프로딩 유닛(200);을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명은 분당 120~150회의 안정적인 작동과 여러 반도체 패키지 제품을 최소한의 변경으로 생산할 수 있게 설계하여 고개사의 투자비용 절감 및 생산 효율성을 극대화시키고, CPK 1.67이상의 정밀한 치수 유지 및 관리가 가능한 설비로 금형교체만으로 유사 반도체 패키지를 생산할 수 있고, 여러 가지 배출기능(Tube & Canister & JEDEC Tray)을 가진 Out-Let 유닛을 개발하여, 고객사의 니즈를 만족시킬 수 있고, 폭 기준 40mm~100mm 단방향 리드를 가진 리드 프레임을 모두 적용할 수 있는 폼 싱귤레이션 장비를 개발하여 유휴설비가 발생하지 않고, 효율적으로 반도체 패키지를 생산하여 비용 절감 및 높은 생산성을 갖춘 장비이며, JOB CHANGE 시간 최소화되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 의한 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비의 사시도,
도 2는 본 발명에 의한 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비의 주요부인 매거진 로딩부의 사시도,
도 3은 본 발명에 의한 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비의 주요부인 피커 유닛의 사시도,
도 4는 본 발명의 주요부인 가변 레일 유닛의 사시도,
도 5는 본 발명의 주요부인 프레스 유닛의 사시도,
도 6은 본 발명의 주요부인 패키지 푸셔 유닛의 사시도,
도 7은 본 발명의 주요부인 버퍼 트랙 유닛의 사시도,
도 8은 본 발명의 주요부인 튜브 오프로딩 유닛의 구조를 보여주는 사시도,
도 9는 본 발명의 주요부인 캐니스터 오프로딩 유닛을 보여주는 도면,
도 10은 본 발명의 주요부인 JEDEC 오프로딩 유닛을 보여주는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명한다. 상기 본 발명의 목적과 특징 및 장점은 첨부도면 및 다음의 상세한 설명을 참조함으로써 더욱 쉽게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되고나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
또한, 본 발명에서 특정한 구조 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 개념에 따른 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 개념에 따른 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본 명세서 또는 출원에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명에 의한 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비의 사시도, 도 2는 본 발명에 의한 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비의 주요부인 매거진 로딩부의 사시도, 도 3은 본 발명에 의한 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비의 주요부인 피커 유닛의 사시도, 도 4는 본 발명의 주요부인 가변 레일 유닛의 사시도, 5는 본 발명의 주요부인 프레스 유닛의 사시도, 도 6은 본 발명의 주요부인 패키지 푸셔 유닛의 사시도, 도 7은 본 발명의 주요부인 버퍼 트랙 유닛의 사시도, 도 8은 본 발명의 주요부인 튜브 오프로딩 유닛의 구조를 보여주는 사시도, 도 9는 본 발명의 주요부인 캐니스터 오프로딩 유닛을 보여주는 도면, 10은 본 발명의 주요부인 JEDEC 오프로딩 유닛을 보여주는 도면이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명은 매거진 로딩부(120)와, 매거진의 자재인 리드 프레임을 레일부로 이송 및 배출하는 피커 유닛(130)과, 상기 피커 유닛(130)로부터 전달받은 상기 리드 프레임을 프레스툴까지 이송시키거나 비젼 검사의 불량으로 나온 리드 프레임을 리젝트 빈으로 배출하는 가변 레일 유닛(140)과, 설비의 In-let과 Out-let 사이에 설치되며 In-let으로 부터 전달 받은 리드 프레임을 Press의 동력과 Tool(금형)을 이용하여 Trim/Form/Singulation 작업을 거쳐 나오는 PKG를 Out-let부에 전달하고, Trim/Form/Singulation은 각각의 리드 프레임에 맞는 Tool를 장착하여 진행하는 프레스 유닛(150)과, 설비의 Out-let부에 설치되어 Press 작업을 끝낸 패키지를 Buffer Track Unit에 전달하는 패키지 푸셔 유닛(160)을 포함한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 상기 매거진 로딩부(120)(온로더)는 설비의 Loader부에 설치되며 PLC 통신을 통해 작업자가 선택하는 것으로 Magazine type 별로 크기 조절을 자동으로 진행하며 type에 맞는 Magazine을 투입하는 것으로 자재 공급을 할 수 있도록 자동으로 Magazine을 이동, 자재 상승/하강 작업하는 Unit이다.
Magazine loading unit은 사용되는 Magazine에 맞게 type 선택을 하면 7,8(Cylinder)이 움직여 작동 조절 후, 5(Cylinder)가 down 상태인 것을 확인 후작업자가 Magazine을 직접 투입하고, 투입한 Magazine은 3(Sensor)이 동작하여 감지 후, 5(Cylinder)가 up하여 2(Buffer)까지 이동하면 1(Sensor)가 동작하여 Magazine을 감지한다.
Elevator unit은 PLC 통신 신호에 의해 11(Motor)가 동작하여 Magazine에 수납된 Frame을 Picker position까지 이동시킨 후, 공급을 위해 상승, 하강 반복 작업을 한다.
도 3의 피커 유닛(130)은 설비의 In-let부에 설치되며 Magazine의 자재(Frame)를 Rail부로 이송 및 배출하는 unit으로, Buffer에 위치한 Magazine을 1,2(Motor & Cylinder)에 의해 Picker unit이 동작하여 Frame을 잡거나 이동하여 위치시키도록 한다.
Grip 동작은 3,4(Cylinder)에 의해 동작하며 Frame의 사이즈에 따라 9(Cylinder)로 조절 하고, 각 Sensor가 Frame의 유무 및 정상 grip 상태를 확인하도록 한다.
도 4의 가변 레일 유닛(140)은 설비의 In-let부에 설치되며, Picker Unit으로 부터 전달 받은 Frame(자재)을 Press(Tool)까지 이송 시키거나, Vision 검사의 NG로 나온 불량 L/F을 Reject bin으로 배출한다.
Frame의 사이즈에 맞게 14(Cylinder)가 동작한 후 Picker unit이 Frame을 Rail unit에 내려놓으면 13(Sensor)이 감지하여 7(Cylinder)이 Push하여 이송시키고, 이송시킨 Frame은 11(Vision)으로 검사하여 해당 정보를 PLC로 전달하고, Vision 검사에서 NG 발생 시 4(Bin)으로 이송하여 배출한다.
도 5의 프레스 유닛(150)은 설비의 In-let과 Out-let 사이에 설치되며 In-let으로 부터 전달받은 리드 프레임(L/F)을 Press의 동력과 Tool(금형)을 이용하여 Trim/Form/Singulation 등의 작업을 거쳐 나오는 PKG를 Out-let부에 전달하고, Trim/Form/Singulation은 각각의 L/F에 맞는 Tool를 장착하여 진행한다.
Loader Unit로부터 이송된 Frame은 Tool 진입 후 Trim/Form/Singulation 작업을 위해 1,2(Motor)가 동작하여 Press 진행하고, Tool의 종류에 따라 Trim, Form, Singulation 등의 작업을 진행한다.
도 6의 패키지 푸셔 유닛(160)은 설비의 Out-let부에 설치되어 Press 작업을 끝낸 패키지(PKG)를 Buffer Track Unit에 전달하는 기능을 하는 것으로 PLC 통신을 통하여 Press에서 작업 진행한 반도체 패키지를 PKG Pusher를 통해 Buffer track unit으로 이송 시킬 수 있다.
4번 Servo motor의 동력에 의해 5번 Coupling과 연결된 6번 Link Block이 회전하게 되고 그 회전력으로 인해 2번 Pusher가 전/후진 동작을 하고, 각각의 전진/후진은 Pusher에 장착된 1번 Sensor로 전진/후진을 판별한다.
또한, 본 발명은 설비의 Out-let부에 설치되어 Pusher Unit으로 부터 전달되는 PKG를 Tube로 Off-loading하기 위해 이송시켜주는 버퍼 트랙 유닛(170)과, 설비의 Out-let부에 설치되어 SingulationPress 작업이 끝난 PKG를 Tube로 Off-loading하는 튜브 오프로딩 유닛(180)과, 설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 Canister로 Off-loading하는 캐니스터 오프로딩 유닛(190)과, 설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 JEDEC Tray 로 Off-loading하는 기능을 하고, Press(Singulation) 작업을 마친 PKG 를 Pick & Place 작업을 통해 PKG 방향 전환등의 동작을 하여 JEDEC Tray에 세팅 배열로 적재하고, PKG 적재 작업이 완료된 JEDEC Tray를 배출부로 이송하여 수납되도록 하는 JEDEC 오프로딩 유닛(200)을 더 포함한다.
도 7의 버퍼 트랙 유닛(170)은 설비의 Out-let부에 설치되어 Pusher Unit으로부터 전달되는 PKG를 Tube로 Off-loading하기 위해 이송시켜주는 기능으로, PKG Pusher Unit으로부터 전달 받은 PKG를 PLC 신호를 받아 (2)Buffer Track을 따라 이송 시킬 준비를 하는 것으로 ,(4)Fosys cylinder를 이용하여 (5)PKG Stopper를 Down상태로 만들고, (3)PKG Stopper Up/Down Check Sensor가 동작하여 Down 상태 확인, 세팅값까지 PKG가 쌓이게 만들고, (4)Fosys cylinder를 이용하여 (5)PKG Stopper를 Up 상태로 만들고, (3)PKG Stopper Up/Down Check Sensor가 동작하여 Up 상태 확인 후 (13)PKG Claw Cylinder 동작하여 (1)PKG Claw Up, (11)PKG Claw Up check Sensor가 동작하여 Up 상태 확인한다.
(9)Rodless Cylinder를 이용하여 (1)PKG Claw를 Forward 동작하여 PKG를 Tube Mouth까지 밀어 주고, (10)PKG Claw Forward Check Sensor로 Forward 동작 체크하고, (13)PKG Claw Up/Down Cylinder 동작하여 (1)PKG Claw Down 동작하고, (12)PKG Claw Down Check Sensor 동작하여 Down 상태 확인 후 (9)Rodless Cylinder 동작하여 (1)PKG Claw Backward 동작시 (6)Tube Kicker Cylinder 동작, (7)Tube Kicker Forward 동작하여 PKG가 들어있는 Tube를 배출한다.
도 8에 도시된 튜브 오프로딩 유닛(180)은 설비의 Out-let부에 설치되어 SingulationPress 작업이 끝난 PKG를 Tube로 Off-loading하는 기능으로, Press(Sinuglaiotn)작업을 진행한 PKG를 Pusher Unit을 이용하여 4(Pallet)에 배출하고, A위치에 빈 Pallet가 쌓여 있는 상태에서 PLC의 신호를 받아 7(Arm)이 동작하여 B위치에서 PKG를 받을 준비를 하고, 작업 진행 간 PKG가 가득 찬 Tube는 마찬가지로 7(Arm)이 동작하여 C위치로 이동 시켜 수납 할 수 있도록 한다.
도 9의 캐니스터 오프로딩 유닛(190)은 설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 Canister로 Off-loading하는 기능으로, Press(Singulaiotn)작업을 마친 PKG를 1(Chute)를 통해 5(Canister)로 떨어뜨리고, Canister를 제거할 때 8(Cylinder)를 down 동작 시켜 6(Rail)를 움직여 배출하도록 한다.
도 10은 JEDEC 오프로딩 유닛(200)으로서, 설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 JEDEC Tray 로 Off-loading하는 기능을 하고, Press(Singulation) 작업을 마친 PKG 를 Pick & Place 작업을 통해 PKG 방향 전환등의 동작을 하여 JEDEC Tray에 세팅 배열로 적재하고, PKG 적재 작업이 완료된 JEDEC Tray를 배출부로 이송하여 수납되도록 한다.
본 발명은 차량용 반도체, 전기자동차 성장에 적응하는 다품종 소량 생산이 가능하다.
본 발명은 분당 120~150회의 안정적인 작동과 여러 반도체 패키지 제품을 최소한의 변경으로 생산할 수 있게 설계하여 고개사의 투자비용 절감 및 생산 효율성을 극대화시키고, CPK 1.67이상의 정밀한 치수 유지 및 관리가 가능한 설비로 금형교체만으로 유사 반도체 패키지를 생산할 수 있고, 여러 가지 배출기능(Tube & Canister & JEDEC Tray)을 가진 Out-Let 유닛을 개발하여, 고객사의 니즈를 만족시킬 수 있고, 폭 기준 40mm~100mm 단방향 리드를 가진 리드 프레임을 모두 적용할 수 있는 폼 싱귤레이션 장비를 개발하여 유휴설비가 발생하지 않고, 효율적으로 반도체 패키지를 생산하여 비용 절감 및 높은 생산성을 갖춘 장비이며, JOB CHANGE 시간 최소화되는 효과가 있다.
이상, 본 발명의 특정 실시예에 대하여 상술하였다. 그러나, 본 발명의 사상 및 범위는 이러한 특정 실시예에 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 다양하게 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 것이다.
따라서, 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
120. 매거진 로딩부 130. 피커 유닛
140. 가변 레일 유닛 150. 프레스 유닛
160. 패키지 푸셔 유닛 170. 버퍼 트랙 유닛
180. 튜브 오프로딩 유닛 190. 캐니스터 오프로딩 유닛
200. JEDEC 오프로딩 유닛

Claims (2)

  1. 매거진 로딩부(120);
    매거진의 자재인 리드 프레임을 레일부로 이송 및 배출하는 피커 유닛(130);
    상기 피커 유닛(130)으로부터 전달받은 상기 리드 프레임을 프레스툴까지 이송시키거나 비젼 검사의 불량으로 나온 리드 프레임을 리젝트 빈으로 배출하는 가변 레일 유닛(140);
    설비의 In-let과 Out-let 사이에 설치되며 In-let으로 부터 전달 받은 리드 ㅍ레임을 Press의 동력과 Tool(금형)을 이용하여 Trim/Form/Singulation 작업을 거쳐 나오는 PKG를 Out-let부에 전달하고, Trim/Form/Singulation은 각각의 리드 프레임에 맞는 Tool를 장착하여 진행하는 프레스 유닛(150);
    설비의 Out-let부에 설치되어 Press 작업을 끝낸 패키지를 Buffer Track Unit에 전달하는 패키지 푸셔 유닛(160);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 설비의 Out-let부에 설치되어 Pusher Unit으로 부터 전달되는 PKG를 Tube로 Off-loading하기 위해 이송시켜주는 버퍼 트랙 유닛(170);
    설비의 Out-let부에 설치되어 SingulationPress 작업이 끝난 PKG를 Tube로 Off-loading하는 튜브 오프로딩 유닛(180);
    설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 Canister로 Off-loading하는 캐니스터 오프로딩 유닛(190);
    설비의 Out-let부에 설치되어 Singulation Press 작업이 끝난 PKG를 JEDEC Tray 로 Off-loading하는 기능을 하고, Press(Singulation) 작업을 마친 PKG 를 Pick & Place 작업을 통해 PKG 방향 전환등의 동작을 하여 JEDEC Tray에 세팅 배열로 적재하고, PKG 적재 작업이 완료된 JEDEC Tray를 배출부로 이송하여 수납되도록 하는 JEDEC 오프로딩 유닛(200);을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 다품종 소량 생산을 위한 유니버설 폼싱귤레이션 장비.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR0164254B1 (ko) 1995-09-19 1998-12-15 곽노권 반도체팩키지 싱귤레이션장치
KR20000047308A (ko) 1998-12-31 2000-07-25 곽노권 반도체팩키지의 싱귤레이션 및 적재시스템

Patent Citations (2)

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