CN113814113A - 多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机，多工位点胶机的上下料机构包括：上下料机体、活动件和取料件，上下料机体内限定有活动空间，上下料机体的两端分别设有与活动空间连通的料口，上下料机体的两侧分别设有至少两个加工工位；活动件在两个料口之间可活动地设在活动空间内；取料件可活动地设在活动件上以从料口或加工工位上下料。该多工位点胶机的上下料机构具有准确高效地上下料以及结构紧凑等优点。

Description

多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机

技术领域

本发明属于点胶技术领域，更具体地，涉及一种多工位点胶机的上下料机构及具有其的多工位点胶机。

背景技术

随着经济技术的飞速发展，市场对半导体需求的不断增加，晶圆是制造半导体芯片的基本材料，晶圆的点胶技术是先进电子制造业中至为重要的关键性术，其广泛应用于芯片封装和集成电路装备中，其目的是为了减少在产品使用过程中因冷热变化、跌落、振动等因素导致元件的失效机率，从而延长产品的使用寿命。因此，点胶技术作为电子封装技术的关键和核心，其技术水平的提高直接关系到封装技术的优劣。点胶机作为一种新型的自动化设备主要是完成胶体以特定方式通过预先设定的路径点滴到相应位置的功能。

然而，现有技术中普遍采用一个上下料机构对应一台点胶机，若为了提高生产效率，往往需要增加点胶机的数量，而上下料机构的数量也需要相应增加，此种生产模式势必增加生产成本，而且占用较大的空间。多台设备也需要配备相应数量的操作人员，增加人力成本。传统的人工胶枪点胶方法，生产效率低，胶水的流速不均匀，极易导致出胶量过多，生产质量不过关。市场欲求增加带动市场生产关系的变革，自动化设备的投入和适用成为一种必然的发展趋势，急需高效率高产能自动化产线的点胶机设备的研发。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明提出一种多工位点胶机的上下料机构，该多工位点胶机的上下料机构具有准确高效地上下料的优点。

本发明还提出一种具有其的多工位点胶机，该多工位点胶机结构紧凑，点胶效率高。

根据本发明第一方面实施例的多工位点胶机的上下料机构，包括：上下料机体、活动件和取料件。所述上下料机体内限定有活动空间，所述上下料机体的两端分别设有与所述活动空间连通的料口，所述上下料机体的两侧分别设有至少两个加工工位；所述活动件在两个所述料口之间可活动地设在所述活动空间内；所述取料件可活动地设在所述活动件上以从所述料口或所述加工工位上下料。

根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构，通过在上下料机体内设置活动件和取料件，活动件在上下料机体内往复活动，能够带动取料件在上下料机体内活动，从而可以实现将待加工晶圆运送到指定工位，并且能够在晶圆加工完成后，再将已加工的晶圆运送出点胶机。

根据本发明一个实施例，所述上下料机体形成为开口向下的匚形，所述上下料机体的每个支脚上分别设有所述料口。

根据本发明一个实施例，所述多工位点胶机的上下料机构还包括：两个料盒，两个所述料盒分别设在两个所述支脚上与所述料口相对应的位置，所述取料件的至少一部分伸出所述料口进入所述料盒内进行上下料。

根据本发明一个实施例，所述多工位点胶机的上下料机构还包括：上下料传送机构，所述上下料传送机构设在两个所述料口之间，所述上下料传送机构的至少一部分在两个所述料口之间可活动以驱动所述活动件活动。

根据本发明一个实施例，所述取料件包括：机械手和托盘。所述机械手的一端与所述活动件相连，所述机械手的另一端可活动；所述托盘设于所述机械手的另一端，所述托盘用于承接晶圆。

根据本发明一个实施例，所述取料件为两个，两个所述取料件分别可活动以独立上下料。

根据本发明一个实施例，所述上下料机体的两侧分别设有两个加工工位，每个所述加工工位上分别设有一个点胶机。

根据本发明一个实施例，位于所述上下料机体的一侧的两个所述点胶机之间设有对位装置，位于所述上下料机体的另一侧的两个所述点胶机之间设有晶圆预热机构。

根据本发明一个实施例，所述多工位点胶机的上下料机构还包括：晶圆检测装置，所述晶圆检测装置对每个所述加工工位进行检测以判断所述加工工位上是否有晶圆，所述活动件和所述取料件根据所述晶圆检测装置的检测结果活动至对应工位进行上下料。

根据本发明第二方面实施例的一种多工位点胶机，包括上述任一实施例所述的多工位点胶机的上下料机构。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构的多工位点胶机结构示意图。

图2是根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构的结构示意图；

图3是根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构的立体图；

图4是根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构的局部结构示意图。

附图标记：

多工位点胶机的上下料机构100；

上下料机体110；料口112；加工工位113；支脚114；

活动件120；

取料件130；机械手131；托盘132；

料盒140；

上下料传送机构150；

对位装置320；

晶圆预热机构200；

晶圆检测装置160。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考附图具体描述根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构100。

如图1至图4所示，根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构100,包括：上下料机体110、活动件120和取料件130。

具体而言，上下料机体110内限定有活动空间，上下料机体110的两端分别设有与活动空间连通的料口112，上下料机体110的两侧分别设有至少两个加工工位113，活动件120在两个料口112之间可活动地设在活动空间内，取料件130可活动地设在活动件120上以从料口112或加工工位113上下料。

换言之，根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构100主要包括上下料机体110、活动件120和取料件130，如图2所示，在上下料机体110的左右两侧可分别设有一料口112，在加工时，可以将待加工晶圆采用人工或者机械部件输送至料口112附近处。在上下料机体110内部限定有活动空间，在活动空间内安装有活动件120，活动件120可在两端的料口112之间进行往复活动，从而能够调节其在活动空间内的位置。在活动件120上可设有取料件130，取料件130与活动件120相配合，可以从料口112将晶圆输送至加工工位113，或者将晶圆从加工工位113输送至料口112。其中需要说明的是，在上下料机体110的两侧可分别设有至少两个加工工位113，当活动件120移动到指定工位时，取料件130相应的可以完成该指定工位的送料或取料的动作。

由此，根据本发明实施例的多工位点胶机的上下料机构100，通过在上下料机体110内设置活动件120和取料件130，活动件120在上下料机体110内做往复活动带动取料件130在上下料机体110内活动，从而可以实现将待加工晶圆运送到指定工位，并且能够在加工完成后，将已加工的晶圆取出，继续进行下一步工序。

根据本发明的一个实施例，上下料机体110形成为开口向下的匚形，上下料机体110的每个支脚114上分别设有料口112。也就是说，通过将上下料机体110设置为开口向下的匚形，使得多工位点胶机整体结构更加紧凑，空间得到更完善地利用。并且，在上下料机体110的每个支脚114上分别设有料口112，更便于上下料机构的送料与取料，不仅节省整体的空间，更节省输送晶圆的时间，提高整体加工效率。

在本发明的一些具体实施方式中，多工位点胶机的上下料机构100还包括两个料盒140，两个料盒140分别设在两个支脚114上与料口112相对应的位置，取料件130的至少一部分伸出料口112进入料盒140内进行上下料。通过在上下料机体110的两个支脚114上设置两个料盒140，是为了便于待加工料件以及加工完成的晶圆的存放，节省了大量人力、物力。并且，将料盒140设置在与料口112相对应的位置，更有利于取料件130执行上下料操作，避免了不必要的行程。

进一步地，多工位点胶机的上下料机构100还包括：上下料传送机构150，上下料传送机构150设在两个料口112之间，上下料传送机构150的至少一部分在两个料口112之间可活动以驱动活动件120活动。也就是说，在两个料口112之间设有上下料传送机构150，活动件120在上下料机体110内往复活动可以通过上下料传送机构150来完成。

可选地，取料件130包括机械手131和托盘132，机械手131的一端与活动件120相连，机械手131的另一端可活动，托盘132设于机械手131的另一端，托盘132能够用于承接晶圆。需要说明的是，通过采用机械手131可以使得取料件130轻松到达指定目标位置，提高了上下料过程的准确度和灵敏度。另外，通过在机械手131的另一端设置托盘132，便于将晶圆放置在托盘132上，从而能够保证取料件130在运行过程中驱动晶圆平稳地到达目标位置。

优选地，取料件130为两个，两个取料件130分别可活动以独立上下料。目前现有的多工位点胶机的取料件130通常只设有一个，通过增加取料件130的数量，可以从上下料过程中节省时间，提高作业效率，并且两个取料件130是独立运行的，两个取料件130有序分工，失误率低，保证了整体加工质量的提升。

根据本发明的一个实施例，上下料机体110的两侧分别设有两个加工工位113，每个加工工位113上分别设有一个点胶机。也就是说，通过在上下料机体110两侧分别设置两个加工工位113的布局方式，优化了整体的机构，充分保证了结构的紧凑性。并且每个加工工位113都设有点胶机，充分合理的布局使得整体结构紧密，工作效率明显有所提升。

进一步地，位于上下料机体110的一侧的两个点胶机之间设有对位装置320，位于上下料机体110的另一侧的两个点胶机之间设有晶圆预热机构200。通过在上下料机体110的一侧设置对位装置320，可以在对晶圆进行点胶之前对晶圆的待加工位置进行识别和调整，便于点胶位置的确定。此外，通过在上下料机体110的另一侧设置晶圆预热机构200，能够在点胶之前对晶圆进行预热，控制晶圆的温度，便于后续点胶的工序顺利进行，提高晶圆的加工质量。上下料机构可以通过自身的活动件120以及取料件130准确将待定位或待预热晶圆输送到指定位置。最后，在晶圆点胶结束后，多工位点胶机的上下料机构100还能够将晶圆送至晶圆散热装置所在位置处以进行冷却。

在本发明的一些具体实施方式中，多工位点胶机的上下料机构100还包括晶圆检测装置160，通过晶圆检测装置160能够对每个加工工位113进行检测以判断加工工位113上是否有晶圆，活动件120和取料件130根据晶圆检测装置160的检测结果活动至对应工位进行上下料。通过在多工位点胶机的上下料机构100内设置晶圆检测装置160，判断加工工位113上是否有晶圆，可以便于活动件120和取料件130根据晶圆检测装置160的检测结果活动至对应工位进行上下料，更好地实现晶圆的输送，提高机械自动化程度。

根据本发明实施例的多工位点胶机包括根据上述任一实施例的多工位点胶机的上下料机构100，由于根据本发明上述实施例的多工位点胶机的上下料机构100具有上述技术效果，因此，根据本发明实施例的多工位点胶机也具有相应的技术效果，即缩短了上下料的时间，提高了上下料的效率，并且结构更紧凑，空间利用率更大。

总而言之，根据本发明实施例中的多工位点胶机的上下料机构100及具有其的多工位点胶机，通过将上下料机体110、活动件120和取料件130相结合，在上下料机体110的两端分别设有料口112，活动件120可在两端的料口112之间往复活动，活动件120上设有取料件130，取料件130采用机械手131和托盘132相结合，从而能够实现准确高效地上下料，并且能够将晶圆输送到任一指定工位以完成相应的操作。

根据本发明实施例的点胶机的其他结构和操作对于本领域技术人员而言都是可以理解并且容易实现的，因此不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，包括：

上下料机体，所述上下料机体内限定有活动空间，所述上下料机体的两端分别设有与所述活动空间连通的料口，所述上下料机体的两侧分别设有至少两个加工工位；

活动件，所述活动件在两个所述料口之间可活动地设在所述活动空间内；

取料件，所述取料件可活动地设在所述活动件上以从所述料口或所述加工工位上下料。

2.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述上下料机体形成为开口向下的匚形，所述上下料机体的每个支脚上分别设有所述料口。

3.根据权利要求2所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，还包括：

两个料盒，两个所述料盒分别设在两个所述支脚上与所述料口相对应的位置，所述取料件的至少一部分伸出所述料口进入所述料盒内进行上下料。

4.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，还包括：

上下料传送机构，所述上下料传送机构设在两个所述料口之间，所述上下料传送机构的至少一部分在两个所述料口之间可活动以驱动所述活动件活动。

5.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述取料件包括：

机械手，所述机械手的一端与所述活动件相连，所述机械手的另一端可活动；

托盘，所述托盘设于所述机械手的另一端，所述托盘用于承接晶圆。

6.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述取料件为两个，两个所述取料件分别可活动以独立上下料。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，所述上下料机体的两侧分别设有两个加工工位，每个所述加工工位上分别设有一个点胶机。

8.根据权利要求7所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，位于所述上下料机体的一侧的两个所述点胶机之间设有对位装置，位于所述上下料机体的另一侧的两个所述点胶机之间设有晶圆预热机构。

9.根据权利要求1所述的多工位点胶机的上下料机构，其特征在于，还包括：

晶圆检测装置，所述晶圆检测装置对每个所述加工工位进行检测以判断所述加工工位上是否有晶圆，所述活动件和所述取料件根据所述晶圆检测装置的检测结果活动至对应工位进行上下料。

10.一种多工位点胶机，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的多工位点胶机的上下料机构。

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