KR20230127907A

KR20230127907A - 증착 마스크 장치, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 유기 디바이스의 제조 방법

Info

Publication number: KR20230127907A
Application number: KR1020230023329A
Authority: KR
Inventors: 히데유키 오카모토; 히로시 고이
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2022-02-25
Filing date: 2023-02-22
Publication date: 2023-09-01
Also published as: TW202344700A; JP2023124692A; CN116657084A; US20230272518A1

Abstract

본 개시에 의한 증착 마스크 장치는 프레임과, 증착 마스크와, 얼라인먼트 마스크를 구비하고 있다. 얼라인먼트 마스크는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고 있다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 외측에, 프레임과 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제1 용접부가 위치하고 있다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 내측에, 프레임과 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제2 용접부가 위치하고 있다.

Description

증착 마스크 장치, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 유기 디바이스의 제조 방법{VAPOR DEPOSITION MASK DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING VAPOR DEPOSITION MASK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC DEVICE}

본 개시는 증착 마스크 장치, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 유기 디바이스의 제조 방법에 관한 것이다.

스마트폰이나 태블릿 PC 등의 휴대 가능한 디바이스에서 사용되는 표시 장치의 분야에 있어서, 유기 디바이스의 일례로서의 유기 EL 표시 장치가 주목받고 있다. 유기 EL 표시 장치 등의 유기 반도체 디바이스의 제조 방법 및 제조 장치로서, 증착 마스크를 사용하여 화소를 형성하는 방법 및 장치가 알려져 있다. 증착 마스크에는, 원하는 패턴으로 배열된 관통 구멍이 형성되어 있기 때문에, 화소는, 원하는 패턴으로 형성된다. 예를 들어, 먼저, 유기 EL 표시 장치용의 기판에, 프레임에 고정된 상태의 증착 마스크를 조합한다. 계속해서, 증착 장치에 있어서, 유기 재료를 포함하는 증착 재료를, 증착 마스크의 관통 구멍을 통해 기판에 증착시킨다. 이러한 증착 공정을 실시함으로써, 증착 마스크의 관통 구멍에 대응한 패턴으로, 증착 재료를 포함하는 증착층(또는 유기 EL 표시 장치의 발광층)을 화소로서 기판 상에 형성할 수 있다. 증착층은, 유기 EL 표시 장치의 발광층을 구성한다.

증착 마스크와 프레임으로 구성되는 장치를 증착 마스크 장치라고 칭하는 경우가 있다. 증착 마스크 장치는, 증착 마스크와 기판이 위치 정렬되도록, 증착 장치 내에서 위치 정렬된다.

일본 특허 제5382259호 공보

본 개시는 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있는 증착 마스크 장치, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 개시에 따른 증착 마스크 장치는, 프레임과, 증착 마스크와, 얼라인먼트 마스크를 구비하고 있다. 프레임은, 제1 프레임면과, 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 제1 프레임면으로부터 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하고 있다. 증착 마스크는, 제1 프레임면에 접합된다. 증착 마스크는, 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하고 있다. 얼라인먼트 마스크는, 제1 프레임면에 접합된다. 얼라인먼트 마스크는, 증착 마스크와 제1 방향으로 나열된다. 얼라인먼트 마스크는, 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고 있다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 외측에, 프레임과 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제1 용접부가 위치하고 있다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 내측에, 프레임과 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제2 용접부가 위치하고 있다.

본 개시에 따른 증착 마스크 장치는, 프레임과, 증착 마스크와, 얼라인먼트 마스크를 구비하고 있다. 프레임은, 제1 프레임면과, 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 제1 프레임면으로부터 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하고 있다. 증착 마스크는, 제1 프레임면에 접합된다. 증착 마스크는, 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하고 있다. 얼라인먼트 마스크는, 제1 프레임면에 접합된다. 얼라인먼트 마스크는, 증착 마스크와 제1 방향으로 나열된다. 얼라인먼트 마스크는, 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고 있다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 외측에, 프레임과 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제1 용접부가 위치하고 있다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제1 방향에 있어서의 양쪽에, 프레임과 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제5 용접부가 위치하고 있다.

본 개시에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법은, 준비 공정과, 제1 접합 공정과, 제2 접합 공정을 구비하고 있다. 준비 공정에 있어서, 제1 프레임면과, 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 제1 프레임면으로부터 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임을 준비한다. 제1 접합 공정에 있어서, 얼라인먼트 마스크를, 제1 용접부 및 제2 용접부에 의해 제1 프레임면에 접합한다. 제2 접합 공정에 있어서, 얼라인먼트 마스크와 제1 방향으로 나열되어, 제1 프레임면에, 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 접합한다. 얼라인먼트 마스크는, 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고 있다. 제1 용접부는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 외측에 위치하고 있다. 제2 용접부는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 내측에 위치하고 있다.

본 개시에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법은, 준비 공정과, 제1 접합 공정과, 제2 접합 공정을 구비하고 있다. 준비 공정에 있어서, 제1 프레임면과, 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 제1 프레임면으로부터 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임을 준비한다. 제1 접합 공정에 있어서, 얼라인먼트 마스크를, 제1 용접부 및 제5 용접부에 의해 제1 프레임면에 접합한다. 제2 접합 공정에 있어서, 얼라인먼트 마스크와 제1 방향으로 나열되어, 제1 프레임면에, 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 접합한다. 얼라인먼트 마스크는, 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고 있다. 제1 용접부는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제2 방향에 있어서의 얼라인먼트 마스크의 외측에 위치하고 있다. 제5 용접부는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 제1 방향에 있어서의 양쪽에 위치하고 있다.

본 개시에 따른 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 장치 준비 공정과, 위치 정렬 공정과, 밀착 공정과, 증착 공정을 구비하고 있다. 장치 준비 공정에 있어서, 상술한 증착 마스크 장치를 준비한다. 위치 정렬 공정에 있어서, 증착 마스크 장치와 기판의 위치 정렬을 행한다. 밀착 공정에 있어서, 증착 마스크 장치의 증착 마스크를 기판에 밀착시킨다. 증착 공정에 있어서, 증착 마스크의 관통 구멍을 통해 증착 재료를 기판에 증착시켜 증착층을 형성한다.

본 개시에 따르면, 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 개시의 실시 형태에 따른 증착 마스크 장치를 구비한 증착 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 개시의 실시 형태에 따른 증착 마스크 장치를 나타내는 평면도이다.
도 3은 도 2에 나타내는 A-A 선을 따른 단면을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 4는 도 2에 나타내는 프레임을 나타내는 평면도이다.
도 5는 도 2에 나타내는 증착 마스크 장치에 있어서의 제1 프레임 얼라인먼트 구멍을 나타내는 단면도이며, 도 7의 B-B 선을 따른 단면도이다.
도 6은 도 2에 나타내는 증착 마스크 장치에 있어서의 제2 프레임 얼라인먼트 구멍을 나타내는 단면도이며, 도 7의 C-C 선을 따른 단면도이다.
도 7은 도 2에 나타내는 증착 마스크 장치를 나타내는 부분 확대 평면도이다.
도 8은 본 개시의 실시 형태에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서의 제1 접합 공정을 나타내는 도면이다.
도 9는 도 8에 나타내는 제1 접합 공정에 있어서, 제1 얼라인먼트 용접부 및 제2 얼라인먼트 용접부를 형성하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 10은 도 8에 나타내는 제1 접합 공정에 있어서, 제3 얼라인먼트 용접부 및 제4 얼라인먼트 용접부를 형성하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 개시의 실시 형태에 따른 증착 마스크 장치의 제조 방법에 있어서의 제2 접합 공정을 나타내는 도면이다.
도 12는 도 11에 나타내는 제2 접합 공정에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 시인하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 13은 도 11에 나타내는 제2 접합 공정에 있어서, 관통 구멍을 시인하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 14는 본 개시의 실시 형태에 따른 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 의해 얻어지는 유기 EL 표시 장치를 모식적으로 나타내는 단면도이다.
도 15는 본 개시의 실시 형태에 따른 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 있어서의 위치 정렬 공정을 나타내는 도면이다.
도 16은 도 15에 나타내는 위치 정렬 공정에 있어서, 기판 얼라인먼트 구멍 및 제2 얼라인먼트 마스크 구멍을 시인하는 모습을 나타내는 도면이다.
도 17은 본 개시의 실시 형태에 따른 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 있어서의 밀착 공정을 나타내는 도면이다.
도 18은 본 개시의 실시 형태에 따른 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 있어서의 증착 공정을 나타내는 도면이다.
도 19는 도 7에 나타내는 증착 마스크 장치의 변형예를 나타내는 부분 확대 평면도이다.
도 20은 도 19에 나타내는 증착 마스크 장치의 변형예를 나타내는 부분 확대 평면도이다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 「기판」이나 「기재」나 「판」이나 「시트」나 「필름」 등의 어떤 구성의 기초가 되는 물질을 의미하는 용어는, 호칭의 차이에만 기초하여, 서로 구별되는 것은 아니다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 형상이나 기하학적 조건 그리고 그것들의 정도를 특정하는, 예를 들어 「평행」이나 「직교」 등의 용어나 길이나 각도의 값 등에 대해서는, 엄밀한 의미에 얽매이지 않고, 마찬가지의 기능을 기대할 수 있을 정도의 범위를 포함하여 해석하는 것으로 한다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 어떤 부재 또는 어떤 영역 등의 어떤 구성이, 다른 부재 또는 다른 영역 등의 다른 구성의 「상에」나 「하에」, 「상측에」나 「하측에」, 또는 「상방에」나 「하방에」라고 하는 경우, 어떤 구성이 다른 구성에 직접적으로 접해 있는 경우를 포함한다. 또한, 어떤 구성과 다른 구성 사이에 다른 구성이 포함되어 있는 경우, 즉 간접적으로 접해 있는 경우도 포함한다. 또한, 특별한 설명이 없는 한은, 「상」이나 「상측」이나 「상방」 또는 「하」나 「하측」이나 「하방」이라는 어구는, 상하 방향이 역전되어도 된다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 동일 부분 또는 마찬가지의 기능을 갖는 부분에는 동일한 부호 또는 유사한 부호를 붙이고, 그 반복된 설명은 생략하는 경우가 있다. 또한, 도면의 치수 비율은 설명의 편의상 실제의 비율과는 다른 경우나, 구성의 일부가 도면에서 생략되는 경우가 있다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 모순이 생기지 않는 범위에서, 기타의 실시 형태나 변형예와 조합될 수 있다. 또한, 기타의 실시 형태끼리나, 기타의 실시 형태와 변형예도, 모순이 생기지 않는 범위에서 조합될 수 있다. 또한, 변형예끼리도, 모순이 생기지 않는 범위에서 조합될 수 있다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 제조 방법 등의 방법에 관하여 복수의 공정을 개시하는 경우에, 개시되어 있는 공정의 사이에, 개시되어 있지 않은 기타의 공정이 실시되어도 된다. 또한, 개시되어 있는 공정의 순서는, 모순이 생기지 않는 범위에서 임의적이다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 「내지」라는 기재에 의해 표현되는 수치 범위는, 「내지」라는 기재의 전후에 놓인 수치를 포함하고 있다. 예를 들어, 「34 내지 38질량％」라는 표현에 의해 획정되는 수치 범위는, 「34질량％ 이상 또한 38질량％ 이하」라는 표현에 의해 획정되는 수치 범위와 동일하다.

본 명세서 및 본 도면에 있어서, 특별한 설명이 없는 한은, 본 명세서의 일 실시 형태에 있어서, 유기 EL 표시 장치를 제조할 때 유기 재료를 원하는 패턴으로 기판 상에 패터닝하기 위해 사용되는 증착 마스크나 그 제조 방법에 관한 예를 들어 설명한다. 단, 이러한 적용에 한정되는 것은 아니고, 다양한 용도로 사용되는 증착 마스크에 대하여, 본 실시 형태를 적용할 수 있다.

이하, 본 개시의 일 실시 형태에 대하여 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 또한, 이하에 기재하는 실시 형태는 본 개시의 실시 형태의 일례이며, 본 개시는 이들 실시 형태만에 한정하여 해석되는 것은 아니다.

본 개시의 제1 양태는,

제1 프레임면과, 상기 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임과,

상기 제1 프레임면에 접합되고, 상기 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와,

상기 제1 프레임면에 접합되고, 상기 증착 마스크와 제1 방향으로 나열되는 얼라인먼트 마스크를 구비하고,

상기 얼라인먼트 마스크는, 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,

상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제1 용접부가 위치하고,

상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 내측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제2 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치이다.

본 개시의 제2 양태로서, 상술한 제1 양태에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제1 용접부는, 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제1 용접 분할부를 포함하고,

상기 제2 용접부는, 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제2 용접 분할부를 포함하도록 해도 된다.

본 개시의 제3 양태로서, 상술한 제1 양태 또는 상술한 제2 양태에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 프레임은, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면을 향하여 연장되는, 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 평면으로 보아 겹치는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍을 포함하도록 해도 된다.

본 개시의 제4 양태로서, 상술한 제3 양태에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제1 프레임 얼라인먼트 구멍은, 제1 프레임면으로부터 제2 프레임면으로 관통하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제5 양태로서, 상술한 제4 양태에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제1 프레임 얼라인먼트 구멍은, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향으로 연장되어 있도록 해도 된다.

본 개시의 제6 양태로서, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제5 양태의 각각에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍은, 상기 제2 방향에 있어서 상기 프레임 개구의 양쪽에 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제7 양태로서, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제6 양태의 각각에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 적어도 한쪽 측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제5 용접부가 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제8 양태로서, 상술한 제1 양태 내지 상술한 제7 양태의 각각에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 얼라인먼트 마스크는, 상기 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,

상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍의 각각은, 상기 제2 방향에 있어서, 한쪽의 상기 제2 용접부와 다른 쪽의 상기 제2 용접부 사이에 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제9 양태로서, 상술한 제8 양태에 따른 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제3 용접부가 위치하고,

상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 내측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제4 용접부가 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제10 양태로서, 상술한 제9 양태에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제3 용접부는, 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제3 용접 분할부를 포함하고,

상기 제4 용접부는, 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제4 용접 분할부를 포함하도록 해도 된다.

본 개시의 제11 양태로서, 상술한 제8 양태 내지 상술한 제10 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 프레임은, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면을 향하여 연장되는 제2 프레임 얼라인먼트 구멍을 포함하고,

상기 제2 프레임 얼라인먼트 구멍은, 상기 제1 프레임면에 위치하는, 상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 평면으로 보아 겹치는 얼라인먼트 프레임 개구를 포함하도록 해도 된다.

본 개시의 제12 양태로서, 상술한 제11 양태에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제2 프레임 얼라인먼트 구멍은, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제13 양태로서, 상술한 제12 양태에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제2 프레임 얼라인먼트 구멍은, 상기 제1 프레임면에 대하여 경사져 있도록 해도 된다.

본 개시의 제14 양태로서, 상술한 제8 양태 내지 상술한 제13 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍은, 상기 제1 방향에 있어서 상기 프레임 개구의 한쪽 측에 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제15 양태로서, 상술한 제8 양태 내지 상술한 제14 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 적어도 한쪽 측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제6 용접부가 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제16 양태는,

상기 제1 프레임면에 접합되며, 상기 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와,

상기 제1 프레임면에 접합되며, 상기 증착 마스크와 제1 방향으로 나열되는 얼라인먼트 마스크를 구비하고,

상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 양측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제5 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치이다.

본 개시의 제17 양태로서, 상술한 제16 양태에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍의 각각은, 상기 제2 방향에 있어서, 한쪽의 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍과 다른 쪽의 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍 사이에 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제18 양태로서, 상술한 제17 양태에 의한 증착 마스크 장치에 있어서,

상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 양측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제6 용접부가 위치하고 있도록 해도 된다.

본 개시의 제19 양태는,

제1 프레임면과, 상기 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임을 준비하는 준비 공정과,

얼라인먼트 마스크를, 제1 용접부 및 제2 용접부에 의해 상기 제1 프레임면에 접합하는 제1 접합 공정과,

상기 얼라인먼트 마스크와 제1 방향으로 나열되어, 상기 제1 프레임면에, 상기 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 접합하는 제2 접합 공정을 구비하고,

상기 제1 용접부는, 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에 위치하고,

상기 제2 용접부는, 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 내측에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법이다.

본 개시의 제20 양태는,

얼라인먼트 마스크를, 제1 용접부 및 제5 용접부에 의해 상기 제1 프레임면에 접합하는 제1 접합 공정과,

상기 제5 용접부는, 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 양측에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법이다.

또한, 상술한 제19 양태 내지 상술한 제20 양태는 각각, 제19 양태 내지 제20 양태의 각각의 증착 마스크 장치의 제조 방법에 의해 제조된 증착 마스크 장치여도 된다.

본 개시의 제21 양태는,

상술한 제1 양태 내지 상술한 제18 양태의 각각에 의한 증착 마스크 장치를 준비하는 장치 준비 공정과,

상기 증착 마스크 장치와 기판의 위치 정렬을 행하는 위치 정렬 공정과,

상기 증착 마스크 장치의 상기 증착 마스크를 기판에 밀착시키는 밀착 공정과,

상기 증착 마스크의 상기 관통 구멍을 통해 증착 재료를 상기 기판에 증착시켜 증착층을 형성하는 증착 공정을 구비한 유기 디바이스의 제조 방법이다.

또한, 상술한 제21 양태는, 제21 양태의 유기 디바이스의 제조 방법에 의해 제조된 유기 디바이스여도 된다.

이하, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치, 증착 마스크 장치의 제조 방법 및 유기 디바이스의 제조 방법에 대하여, 도 1 내지 도 20을 참조하여 설명한다.

먼저, 대상물에 증착 재료를 증착시키는 증착 처리를 실시하는 증착 장치(80)에 대하여, 도 1을 참조하여 설명한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 증착 장치(80)는, 도가니(81) 등의 증착원과, 히터(83)와, 증착 마스크 장치(10)를 구비하고 있어도 된다. 증착 장치(80)는, 증착 장치(80)의 내부를 진공 분위기로 하기 위한 배기 수단(도시하지 않음)을 더 구비하고 있어도 된다. 도가니(81)는, 증착 장치(80)의 내부에 마련되어 있고, 유기 발광 재료 등의 증착 재료(82)를 수용하도록 구성되어 있다. 히터(83)는, 도가니(81)를 가열하도록 구성되어 있다. 진공 분위기에서 도가니(81)를 가열함으로써, 증착 재료(82)가 증발된다.

증착 마스크 장치(10)는, 도가니(81)에 대향하도록 증착 장치(80) 내에 위치하고 있어도 된다. 증착 마스크 장치(10)는, 도가니(81)의 상방에 위치하고 있어도 된다. 증착 마스크 장치(10)의 증착 마스크(20)에 대면하도록 기판(91)이 위치하고 있다. 기판(91)은, 증착 재료(82)를 부착시키는 대상물이다. 기판(91)은, 증착 마스크(20)의 상방에 위치하고 있어도 된다. 기판(91)은, 도시하지 않은 클램프에 파지되어 보유 지지되어 있어도 된다. 도가니(81)로부터 비래한 증착 재료는, 증착 마스크(20)의 후술하는 관통 구멍(25)을 통해, 기판(91)에 부착된다.

도 1에 도시한 바와 같이, 증착 장치(80)는, 기판(91)의 상방에 위치하는 자석(85)을 구비하고 있어도 된다. 자석(85)을 마련함으로써, 자력에 의해 증착 마스크(20)가 자석(85)을 향하여 끌어당겨져, 증착 마스크(20)를 기판(91)에 밀착할 수 있다. 이에 의해, 증착 공정에 있어서 섀도우(후술)가 발생하는 것을 억제할 수 있어, 기판(91)에 부착된 증착 재료(82)에 의해 형성되는 증착층의 형상 정밀도나 위치 정밀도를 높일 수 있다. 증착층은, 후술하는 유기 EL 표시 장치(90)의 발광층(92)(도 14 참조)에 상당한다. 기판(91)과 자석(85) 사이에는, 증착 시에 기판(91)을 냉각하는 냉각판(도시하지 않음)이 개재되어 있어도 된다.

다음으로, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치(10)에 대하여, 도 2 내지 도 7을 참조하여 설명한다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치(10)는, 프레임(15)과, 프레임(15) 상에 마련된 증착 마스크(20)와, 프레임(15) 상에 마련된 얼라인먼트 마스크(40)를 구비하고 있어도 된다. 프레임(15) 상에는, 제1 방향 D1로 나열된 2개 이상의 증착 마스크(20)가 접합되어 있어도 된다. 본 실시 형태에서는, 증착 마스크(20)는, 제1 방향 D1에 직교하는 제2 방향 D2가 긴 변 방향이 되도록 가늘고 긴 형상으로 형성되어 있다. 증착 마스크(20)는, 제2 방향 D2로 일렬 형상으로 배열된 복수의 관통 구멍군(26)을 갖고 있다. 복수의 증착 마스크(20)는, 제1 방향 D1로 나열되어, 프레임(15)에 고정되어 있어도 된다.

프레임(15)은, 증착 마스크(20)를 프레임(15)의 평면을 따른 방향으로 인장한 상태에서 지지되어 있어도 된다. 이 경우, 증착 마스크(20)가 휘는 것을 억제할 수 있다. 이와 같이, 증착 마스크(20)는 프레임(15)에 가설하여 고정되어 있어도 된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 프레임(15)은, 제1 프레임면(15a)과, 제2 프레임면(15b)을 포함하고 있어도 된다. 제1 프레임면(15a)은, 증착 마스크(20)에 접하는 면이어도 된다. 제1 프레임면(15a)에, 증착 마스크(20)가 접합되어 있어도 된다. 제2 프레임면(15b)은, 제1 프레임면(15a)과는 반대측에 위치하고 있어도 된다. 또한, 도 3은, 도 2의 A-A선 단면을 모식적으로 도시한 도면이며, 도면을 명료하게 하기 위해, 후술하는 관통 구멍군(26)의 개수 및 관통 구멍(25)의 개수를 적게 하고 있다.

도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 프레임(15)은, 평면으로 보아 직사각형의 틀의 형상으로 형성되어 있어도 된다. 프레임(15)은, 프레임 개구(16)를 포함하고 있어도 된다. 프레임 개구(16)는, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)으로 관통하고 있어도 된다. 프레임 개구(16)는, 평면으로 보아, 증착 마스크(20)의 관통 구멍군(26)에 겹쳐 있어도 된다. 도 2에 도시한 예에서는, 프레임 개구(16)는, 평면으로 보아, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2를 따르도록 직사각형의 형상으로 형성되어 있다. 여기서, 「평면으로 보아」란, 증착 마스크(20)의 두께 방향으로 보는 것을 의미하는 용어이며, 예를 들어 도 2의 지면에 수직인 방향으로 보는 것을 의미하는 용어로 한다. 두께 방향은, 제1 방향 D1에 직교함과 함께 제2 방향 D2에 직교하는 방향이며, 이하, 제3 방향 D3이라 칭한다.

프레임(15)은, 2개의 제1 연장 부분(15c)과, 2개의 제2 연장 부분(15d)을 포함하고 있어도 된다. 제1 연장 부분(15c)은, 제1 방향 D1에 있어서, 프레임 개구(16)의 양측에 위치하고 있다. 2개의 제1 연장 부분(15c)의 사이에, 프레임 개구(16)가 위치하고 있다. 제2 연장 부분(15d)은, 제2 방향 D2에 있어서, 프레임 개구(16)의 양측에 위치하고 있다. 2개의 제2 연장 부분(15d)의 사이에, 프레임 개구(16)가 위치하고 있다. 제1 연장 부분(15c) 및 제2 연장 부분(15d)은, 일체로 연속 형상으로 형성되어, 프레임(15)이 구성되어 있다.

도 4에 도시한 바와 같이, 프레임(15)은, 4개의 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)과, 4개의 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)을 포함하고 있어도 된다.

제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 프레임(15)과 얼라인먼트 마스크(40)의 위치 정렬을 행하기 위한 구멍이어도 된다. 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 후술하는 제2 접합 공정에 있어서, 프레임(15)의 제2 프레임면(15b)으로부터 제1 프레임면(15a)을 향하는 방향으로 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을 시인시키기 위한 구멍이어도 된다(도 12 참조).

도 5에 도시한 바와 같이, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)을 향하여 연장되어 있어도 된다. 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제3 방향 D3으로 연장되어 있어도 된다. 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제1 프레임면(15a)에 수직으로 연장되어 있어도 되고, 제2 프레임면(15b)에 수직으로 연장되어 있어도 된다. 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)으로 관통하고 있어도 된다. 그러나, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 얼라인먼트 마스크(40)의 후술하는 제1 얼라인먼트 마스크면(40a)으로부터 제2 얼라인먼트 마스크면(40b)을 향하는 방향으로 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을 시인할 수 있으면, 프레임(15)을 관통하고 있지 않아도 된다. 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)의 평면 형상은 임의이지만, 도 7에 도시한 바와 같이 원형의 형상이어도 된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 4개의 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2를 따른 사각형의 정점에 위치하고 있어도 된다. 제2 방향 D2로 나열된 2개의 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제2 방향 D2에 있어서 프레임 개구(16)의 양측에 위치하고 있어도 된다. 도 4에 도시한 예에서는, 상측에 위치하는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 프레임 개구(16)의 상측에 위치하고, 하측에 위치하는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 프레임 개구(16)의 하측에 위치하고 있다. 제2 방향 D2로 나열된 2개의 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 1개의 얼라인먼트 마스크(40)의 후술하는 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대응하고 있다.

제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 유기 EL 표시 장치(90)의 제조 방법의 위치 정렬 공정에 있어서 사용되는 구멍이어도 된다. 보다 구체적으로는, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 증착 장치(80) 내에서 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)을 위치 정렬을 행할 때, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 시인성을 향상시키기 위한 구멍이어도 된다. 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 시인성이 향상됨으로써, 증착 마스크 장치(10)의 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있다.

도 6에 도시한 바와 같이, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)을 향하여 연장되어 있어도 된다. 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)에 대하여 경사져 있어도 되고, 제2 프레임면(15b)에 대하여 경사져 있어도 된다. 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)으로 관통하고 있어도 된다. 그러나, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 후술하는 얼라인먼트 프레임 개구(18a)를 포함하고 있으면, 프레임(15)을 관통하고 있지 않아도 된다.

제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)에 위치하는 얼라인먼트 프레임 개구(18a)를 포함하고 있어도 된다. 얼라인먼트 프레임 개구(18a)는, 후술하는 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 평면으로 보아 겹쳐 있어도 된다. 얼라인먼트 프레임 개구(18a)의 평면 형상은 임의이지만, 도 7에 도시한 바와 같이 원형의 형상이어도 된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 프레임(15)은, 4개의 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)을 포함하고 있어도 된다. 4개의 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2를 따른 사각형의 정점에 위치하고 있어도 된다. 제1 방향 D1로 나열된 2개의 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 방향 D1에 있어서 프레임 개구(16)의 양측에 위치하고 있어도 된다. 도 4에 도시하는 예에서는, 좌측에 위치하는 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 프레임 개구(16)의 좌측에 위치하고, 우측에 위치하는 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 프레임 개구(16)의 우측에 위치하고 있다. 제2 방향 D2로 나열된 2개의 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 1개의 얼라인먼트 마스크(40)의 후술하는 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대응하고 있다.

프레임(15)은, 후술하는 증착 마스크(20)를 구성하는 재료와 동일한 재료로 구성되어 있어도 된다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니며, 증착 마스크(20)와는 다른 재료로 구성되어 있어도 된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 프레임(15)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)에 걸치는 두께 H1을 갖고 있다. 두께 H1은, 예를 들어, 10mm 이상이어도 되고, 15mm 이상이어도 되고, 20mm 이상이어도 되고, 25mm 이상이어도 된다. 두께 H1을 10mm 이상으로 함으로써, 가설한 증착 마스크(20)로부터 받는 장력에 의해 변형되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 두께 H1은, 예를 들어, 25mm 이하여도 되고, 40mm 이하여도 되고, 45mm 이하여도 되고, 50mm 이하여도 된다. 두께 H1을 50mm 이하로 함으로써, 질량의 증대를 억제할 수 있다. 두께 H1의 범위는, 10mm, 15mm, 20mm 및 25mm로 이루어지는 제1 그룹, 및／또는, 25mm, 40mm, 45mm 및 50mm로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 두께 H1의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 H1의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 H1의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 10mm 이상 50mm 이하여도 되고, 10mm 이상 45mm 이하여도 되고, 10mm 이상 40mm 이하여도 되고, 10mm 이상 25mm 이하여도 되고, 10mm 이상 25mm 이하여도 되고, 10mm 이상 20mm 이하여도 되고, 10mm 이상 15mm 이하여도 되고, 15mm 이상 50mm 이하여도 되고, 15mm 이상 45mm 이하여도 되고, 15mm 이상 40mm 이하여도 되고, 15mm 이상 25mm 이하여도 되고, 15mm 이상 25mm 이하여도 되고, 15mm 이상 20mm 이하여도 되고, 20mm 이상 50mm 이하여도 되고, 20mm 이상 45mm 이하여도 되고, 20mm 이상 40mm 이하여도 되고, 20mm 이상 25mm 이하여도 되고, 20mm 이상 25mm 이하여도 되고, 25mm 이상 50mm 이하여도 되고, 25mm 이상 45mm 이하여도 되고, 25mm 이상 40mm 이하여도 되고, 25mm 이상 25mm 이하여도 되고, 25mm 이상 50mm 이하여도 되고, 25mm 이상 45mm 이하여도 되고, 25mm 이상 40mm 이하여도 되고, 40mm 이상 50mm 이하여도 되고, 40mm 이상 45mm 이하여도 되고, 45mm 이상 50mm 이하여도 된다.

다음으로, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 증착 마스크(20)에 대해서, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 제1 마스크면(20a)과, 제2 마스크면(20b)을 포함하고 있어도 된다. 제1 마스크면(20a)은, 증착 시에 기판(91)(도 1 참조)에 밀착하는 면이어도 된다. 제2 마스크면(20b)은, 제2 마스크면(20b)과는 반대측에 위치하고 있어도 된다. 제2 마스크면(20b)은, 상술한 프레임(15)에 접하는 면이어도 된다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 2개의 겹침부(21)를 포함하고 있어도 된다. 겹침부(21)는, 제2 방향 D2에 있어서의 증착 마스크(20)의 양측에 위치하고 있어도 된다. 겹침부(21)는, 제1 프레임면(15a)이며, 제2 연장 부분(15d)에 겹쳐 있어도 된다. 겹침부(21)는, 제2 방향 D2에 있어서, 후술하는 관통 구멍군(26)보다도 평면으로 보아 외측에 위치하고 있는 부분이다. 겹침부(21)의 일부는, 증착 마스크(20)를 프레임(15)에 접합한 후에 절단되어 제거된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 2개 이상의 관통 구멍(25)을 포함하고 있어도 된다. 증착 마스크(20)는, 2개 이상의 관통 구멍(25)으로 구성되는 관통 구멍군(26)을 포함하고 있어도 된다. 본 실시 형태에서는, 도 2에 도시한 바와 같이, 각 증착 마스크(20)는, 제2 방향 D2로 나열된 2개 이상의 관통 구멍군(26)을 포함하고 있다. 관통 구멍군(26)은, 제2 방향 D2에 있어서 2개의 겹침부(21)의 사이에 위치하고 있다.

도 3에 도시한 바와 같이, 관통 구멍(25)은, 제1 마스크면(20a)으로부터 제2 마스크면(20b)으로 연장되어 있고, 증착 마스크(20)를 관통하고 있다. 도 3에 있어서는, 도면을 간략시키기 위해, 관통 구멍(25)의 벽면이, 제1 마스크면(20a)으로부터 제2 마스크면(20b)을 향하여 중심 축선 CL로부터 멀어지도록 중심 축선 CL에 대하여 직선상으로 경사져 있는 예가 도시되어 있다. 이와 같이, 관통 구멍(25)의 벽면은, 제1 마스크면(20a)에 있어서의 개구 치수가, 제2 마스크면(20b)에 있어서의 개구 치수보다도 작아지도록 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 증착 장치(80)의 도가니(81)로부터 비래한 증착 재료(82)가, 기판(91)에 도달하기 전에 제2 마스크면(20b)에 도달하는 것을 억제할 수 있다. 이 경우, 증착 재료(82)가, 관통 구멍(25)의 벽면에 도달하여 부착되는 것을 억제할 수 있다. 기판(91)에 형성되는 발광층(92)의 두께가, 관통 구멍(25)의 벽면의 근방에서 얇아지는 것을 억제할 수 있다. 이것에 의해, 섀도우가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 섀도우란, 기판(91)으로의 증착 재료(82)의 부착이 관통 구멍(25)의 벽면에 의해 저해되는 것을 의미한다. 이 때문에, 기판(91)에 부착된 증착 재료(82)에 의해 형성되는 발광층(92)(도 14 참조)의 형상 정밀도나 위치 정밀도를 향상시킬 수 있어, 발광층(92)의 해상도를 높일 수 있다. 또한, 관통 구멍(25)의 단면 형상에 대한 보다 상세한 설명은 여기서는 생략하지만, 증착 마스크(20)의 제조 방법에 따라서, 관통 구멍(25)의 벽면의 형상은 만곡의 형상이어도 되고, 임의이다.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 관통 구멍군(26)은, 상술한 프레임(15)의 프레임 개구(16)에 겹쳐 있고, 프레임 개구(16)로부터 노출되어 있다. 관통 구멍(25)은, 프레임 개구(16)에 평면으로 보아 겹쳐 있다. 모든 관통 구멍군(26)이, 프레임 개구(16)에 겹쳐 있어도 된다. 관통 구멍군(26)은, 2개 이상의 관통 구멍(25)이 무리를 이루도록 구성되어 있어도 된다. 관통 구멍군(26)이란, 규칙적으로 배열된 복수의 관통 구멍(25)의 집합체를 의미하는 용어로서 사용하고 있다. 1개의 관통 구멍군(26)을 구성하는 외연의 관통 구멍(25)은, 마찬가지로 규칙적으로 배열되어 있는 복수의 관통 구멍(25) 중 가장 외측에 위치하는 관통 구멍(25)이다. 외연의 관통 구멍(25)의 외측에는, 마찬가지로 규칙적으로 배열되어 증착 재료(82)의 통과를 의도하는 관통 구멍(25)은 존재하고 있지 않아도 된다. 그러나, 외연의 관통 구멍(25)의 외측에는, 다른 용도의 관통 구멍이나 오목부(모두 도시하지 않음)는 형성되어 있어도 된다. 이러한 다른 용도의 관통 구멍이나 오목부는, 관통 구멍(25)의 배열 규칙성을 갖지 않고 형성되어 있어도 되고, 관통 구멍군(26)에는 속하지 않는다고 생각해도 된다.

도 2에 도시한 바와 같이, 복수의 관통 구멍군(26)은, 소정의 간격을 두고 배열되어 있어도 된다. 관통 구멍군(26)은, 제2 방향 D2에 있어서 소정의 간격을 두고 배열되어 있어도 된다. 도시하지 않지만, 관통 구멍군(26)은, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2로 각각 배열되고, 병렬 배열되어 있어도 된다. 보다 구체적으로는, 제1 방향 D1을 따른 1개의 열을 구성하는 각 관통 구멍군(26)과, 이 열과 제2 방향 D2에 있어서 인접하는 다른 열을 구성하는 각 관통 구멍군(26)은, 제2 방향 D2에 있어서 정렬되어 있어도 된다.

1개의 관통 구멍군(26)에 있어서, 복수의 관통 구멍(25)은, 소정의 간격을 두고 배열되어 있어도 된다. 관통 구멍(25)은, 제1 방향 D1에 있어서 소정의 간격을 두고 배열됨과 함께, 제2 방향 D2에 있어서 소정의 간격을 두고 배열되어 있어도 된다. 관통 구멍(25)의 배열 피치는, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2에서 다르게 되어 있어도 되지만, 동등해도 된다. 관통 구멍(25)의 배열 피치는, 표시 장치 또는 투영 장치의 화소 밀도에 따라서, 예를 들어 이하와 같이 정해져 있어도 된다.

·화소 밀도가 600ppi 이상인 경우: 피치는 42.3㎛ 이하

·화소 밀도가 1200ppi 이상인 경우: 피치는 21.2㎛ 이하

·화소 밀도가 3000ppi 이상인 경우: 피치는 8.5㎛ 이하

·화소 밀도가 5000ppi 이상인 경우: 피치는 5.1㎛ 이하

화소 밀도가 600ppi인 표시 장치 또는 투영 장치는, 안구로부터 15cm 정도의 거리에서 화상이나 영상을 표시하도록 사용되어도 되고, 예를 들어, 스마트폰용의 유기 EL 표시 장치로서 사용되어도 된다. 화소 밀도가 1200ppi인 표시 장치 또는 투영 장치는, 안구로부터 8cm 정도의 거리에서 화상이나 영상을 표시하도록 사용되어도 되고, 예를 들어, 가상 현실(소위 VR)을 표현하기 위한 화상이나 영상을 표시 또는 투영하기 위해 사용되어도 된다. 화소 밀도가 3000ppi인 표시 장치 또는 투영 장치는, 안구로부터 3cm 정도의 거리에서 화상이나 영상을 표시하도록 사용되어도 되고, 예를 들어, 확장 현실(소위 AR)을 표현하기 위한 화상이나 영상을 표시 또는 투영하기 위해 사용되어도 된다. 화소 밀도가 5000ppi인 표시 장치 또는 투영 장치는, 안구로부터 2cm 정도의 거리에서 화상이나 영상을 표시하도록 사용되어도 되고, 예를 들어, 확장 현실을 표현하기 위한 화상이나 영상을 표시 또는 투영하기 위해 사용되어도 된다.

또한, 1개의 관통 구멍군(26)에 있어서의 관통 구멍(25)은, 병렬 배열이 아니라, 지그재그 배열(도시하지 않음)되어 있어도 된다. 즉, 제1 방향 D1을 따른 1개의 열을 구성하는 각 관통 구멍(25)과, 이 열과 제2 방향 D2에 있어서 인접하는 다른 열을 구성하는 각 관통 구멍(25)은, 제2 방향 D2에 있어서 정렬되어 있지 않아도 된다. 1개의 열을 구성하는 각 관통 구멍(25)과, 인접하는 다른 열을 구성하는 관통 구멍(25)은, 제1 방향 D1에 있어서 어긋나게 배열되어 있어도 된다. 그 어긋남양은, 제1 방향 D1에 있어서의 배열 피치 C1의 절반으로 되어 있어도 되지만, 어긋남양은 임의이다.

관통 구멍(25)은, 평면으로 보아, 대략 직사각형 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다. 윤곽의 형상은, 화소의 형상에 따라서 임의로 정해질 수 있다. 예를 들어, 육각형, 팔각형 등의 그 밖의 다각형의 형상을 갖고 있어도 되고, 원형의 형상을 갖고 있어도 된다. 또한, 윤곽의 형상은, 복수의 형상의 조합이어도 된다. 또한, 관통 구멍(25)은 각각, 서로 다른 윤곽의 형상을 갖고 있어도 된다. 관통 구멍(25)이 다각형 형상의 윤곽을 갖는 경우, 관통 구멍(25)의 개구 치수는, 다각형에 있어서 대향하는 한 쌍의 변의 간격으로 해도 된다.

도 3에 있어서, 증착 마스크(20)의 제1 마스크면(20a)에 있어서의 관통 구멍(25)의 개구 치수가, 부호 S1로 도시되어 있다. 증착 마스크(20)의 제2 마스크면(20b)에 있어서의 관통 구멍(25)의 개구 치수가, 부호 S2로 도시되어 있다. 부호 S3은, 제1 마스크면(20a)에 있어서의 서로 인접하는 관통 구멍(25)끼리의 사이의 거리를 도시하고 있다.

치수 S1, 치수 S2 및 치수 S3은, 표시 장치 또는 투영 장치의 화소 밀도에 따라서 예를 들어 이하의 표 1과 같이 정해진다.

관통 구멍군(26)은, 유효 영역(27)이라고 칭하는 경우가 있다. 유효 영역(27)의 주위에 위치하는 영역은 주위 영역(28)이라고 칭하는 경우가 있다. 본 실시 형태에서는, 주위 영역(28)은, 1개의 유효 영역(27)을 둘러싸고 있다.

증착 마스크(20)를 사용하여 유기 EL 표시 장치 등의 표시 장치를 제작하는 경우, 1개의 유효 영역(27)은, 1개의 유기 EL 표시 장치의 표시 영역에 대응한다. 이 때문에, 도 2에 도시하는 증착 마스크(20)에 의하면, 유기 EL 표시 장치의 다면 증착이 가능하다. 1개의 유효 영역(27)이 복수의 표시 영역에 대응해도 된다.

유효 영역(27)은, 예를 들어, 평면으로 보아 대략 직사각형의 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다. 유효 영역(27)의 윤곽은, 대응하는 관통 구멍군(26) 중 가장 외측에 위치하는 관통 구멍(25)에 외측으로부터 접하는 선에 의해 획정되어도 된다. 보다 상세하게는, 유효 영역(27)의 윤곽은, 관통 구멍(25)의 개구에 접하는 선에 의해 획정되어 있어도 된다. 도 2에 도시하는 예에 있어서는, 유효 영역(27)의 윤곽이, 대략 직사각형의 형상의 윤곽으로 되어 있다. 도시는 하지 않지만, 각 유효 영역(27)은, 유기 EL 표시 장치의 표시 영역의 형상에 따라서, 다양한 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다. 예를 들어, 각 유효 영역(27)은, 원형의 형상의 윤곽을 갖고 있어도 된다.

도 3에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)는, 제1 마스크면(20a)으로부터 제2 마스크면(20b)에 걸치는 두께 H2를 갖고 있다. 두께 H2는, 예를 들어, 2㎛ 이상이어도 되고, 5㎛ 이상이어도 되고, 10㎛ 이상이어도 되고, 15㎛ 이상이어도 된다. 두께 H2를 2㎛ 이상으로 함으로써, 증착 마스크(20)의 기계적 강도를 확보할 수 있다. 또한, 두께 H2는, 예를 들어, 20㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이하여도 되고, 40㎛ 이하여도 되고, 50㎛ 이하여도 된다. 두께 H2를 50㎛ 이하로 함으로써, 섀도우가 발생하는 것을 억제할 수 있다. 두께 H2의 범위는, 2㎛, 5㎛, 10㎛ 및 15㎛로 이루어지는 제1 그룹, 및／또는, 20㎛, 30㎛, 40㎛ 및 50㎛로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 두께 H2의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 H2의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 두께 H2의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 2㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 10㎛ 이하여도 되고, 2㎛ 이상 5㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 5㎛ 이상 10㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 10㎛ 이상 15㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 15㎛ 이상 20㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 20㎛ 이상 30㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이상 50㎛ 이하여도 되고, 30㎛ 이상 40㎛ 이하여도 되고, 40㎛ 이상 50㎛ 이하여도 된다.

증착 마스크(20)는, 금속 재료로 구성되어 있어도 된다. 금속 재료는, 자성 금속 재료여도 된다. 증착 마스크(20)는, 예를 들어 니켈을 포함하는 철 합금으로 구성되어 있어도 된다. 철 합금은, 니켈에 추가하여 코발트를 더 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 증착 마스크(20)의 재료로서, 니켈 및 코발트의 함유량이 합계로 30질량％ 이상 또한 54질량％ 이하이고, 또한 코발트의 함유량이 0질량％ 이상 또한 6질량％ 이하인 철 합금을 사용해도 된다. 니켈을 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 34질량％ 이상 또한 38질량％ 이하의 니켈을 포함하는 인바재, 38질량％ 이상 또한 54질량％ 이하의 니켈을 포함하는 저열팽창 Fe-Ni계 도금 합금 등을 들 수 있다. 니켈 및 코발트를 포함하는 철 합금의 구체예로서는, 30질량％ 이상 또한 34질량％ 이하의 니켈에 추가하여 코발트를 더 포함하는 슈퍼 인바재 등을 들 수 있다. 이러한 철 합금을 사용함으로써, 증착 마스크(20)의 열팽창 계수를 낮게 할 수 있다. 예를 들어, 기판(91)으로서 유리 기판이 사용되는 경우에, 증착 마스크(20)의 열팽창 계수를, 유리 기판과 동등한 낮은 값으로 할 수 있다. 이에 의해, 증착 공정 시, 기판(91)에 형성되는 발광층(92)의 형상 정밀도나 위치 정밀도가, 증착 마스크(20)와 기판(91) 사이의 열팽창 계수의 차에 기인하여 저하되는 것을 억제할 수 있다.

증착 마스크(20)를 구성하는 재료로서는, 열팽창 계수를 유리 기판과 동등한 낮은 값으로 하지 않아도 되는 경우에는, 상술한 철 합금 대신에, 예를 들어 단체의 니켈로 구성되어 있어도 되고, 또는 코발트를 포함하는 니켈 합금으로 구성되어 있어도 된다. 코발트를 포함하는 니켈 합금으로 구성되는 경우에는, 증착 마스크(20)의 재료로서, 코발트의 함유량이, 8질량％ 이상 또한 10질량％ 이하인 니켈 합금이 사용되어도 된다. 이러한 니켈 또는 니켈 합금을 사용함으로써, 증착 마스크(20)을 도금 처리로 제조하는 경우에는, 증착 마스크(20)를 이루는 도금 피막을 석출시키는 도금액을 안정시킬 수 있고, 관리를 용이하게 함과 함께 취급성을 향상할 수 있다. 도금 피막의 성분을 균등하게 할 수 있어, 증착 마스크(20)의 품질을 향상할 수 있다.

도 2, 도 3 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 증착 마스크(20)에, 증착 마스크 용접부(30)가 형성되어 있어도 된다. 증착 마스크 용접부(30)는, 프레임(15)과 증착 마스크(20)를 접합하고 있다.

증착 마스크 용접부(30)는, 겹침부(21)에 위치하고 있어도 된다. 증착 마스크 용접부(30)는, 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 용접 분할부(30a)를 포함하고 있어도 된다. 용접 분할부(30a)는, 평면으로 보아 점상으로 형성되어 있어도 되고, 증착 마스크(20)로부터 프레임(15)에 걸쳐 형성되어 있어도 된다. 예를 들어, 스폿 용접에 의해, 용접 분할부(30a)가 형성되어 있어도 된다. 용접 분할부(30a)의 개수는 1개여도 되고, 2개 이상이어도 되고, 임의이다.

증착 마스크 용접부(30)는, 복수의 용접 분할부(30a)를 포함하고 있는 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도시하지 않지만, 증착 마스크 용접부(30)는, 제1 방향 D1로 연속상으로 연장되도록 형성되어 있어도 된다.

이어서, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 얼라인먼트 마스크(40)에 대해서, 도 2 및 도 5 내지 도 7을 참조하여 설명한다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 프레임(15)에, 2개의 얼라인먼트 마스크(40)가 접합되어 있어도 된다. 얼라인먼트 마스크(40)는, 프레임(15)의 제1 프레임면(15a)에 접합되어 있어도 된다. 얼라인먼트 마스크(40)는, 프레임(15)에 가설하여 고정되어 있어도 된다.

도 5 및 도 6에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)는, 제1 얼라인먼트 마스크 면(40a)과, 제2 얼라인먼트 마스크 면(40b)을 포함하고 있어도 된다. 제1 얼라인먼트 마스크 면(40a)은, 증착 시에 기판(91)이 밀착하는 면이어도 된다. 제2 얼라인먼트 마스크 면(40b)은, 제1 얼라인먼트 마스크 면(40a)과는 반대측에 위치하고 있어도 된다. 제2 얼라인먼트 마스크 면(40b)은, 상술한 프레임(15)에 접하는 면이어도 된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)는, 제1 방향 D1로 증착 마스크(20)와 나열되어 있어도 된다. 보다 구체적으로는, 얼라인먼트 마스크(40)는, 제1 방향 D1에 있어서, 프레임 개구(16)의 한쪽 측에 위치하고 있어도 된다. 한쪽의 얼라인먼트 마스크(40)는, 평면으로 보아 한쪽의 제1 연장 부분(15c)에 겹쳐 있고, 이 제1 연장 부분(15c)의 근처에 위치하는 증착 마스크(20)와 제1 방향 D1로 나열되어 있어도 된다. 다른 쪽의 얼라인먼트 마스크(40)는, 평면으로 보아 다른 쪽의 제1 연장 부분(15c)에 겹쳐 있고, 이 제1 연장 부분(15c)의 근처에 위치하는 증착 마스크(20)와 제1 방향 D1로 나열되어 있어도 된다. 도 2에 도시하는 예에 있어서는, 좌측의 얼라인먼트 마스크(40)는, 평면으로 보아 좌측의 제1 연장 부분(15c)에 겹쳐 있고, 가장 좌측에 위치하는 증착 마스크(20)의 좌측에 위치하고 있어도 된다. 우측의 얼라인먼트 마스크(40)는, 평면으로 보아 우측의 제1 연장 부분(15c)에 겹쳐 있고, 가장 우측에 위치하는 증착 마스크(20)의 우측에 위치하고 있어도 된다.

도 2 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)는, 2개의 제1 얼라인먼트 겹침부(41)와, 제2 얼라인먼트 겹침부(42)를 포함하고 있어도 된다.

제1 얼라인먼트 겹침부(41)는, 제2 방향 D2에 있어서 프레임 개구(16)의 양측에 위치하고 있다. 제1 얼라인먼트 겹침부(41)는, 제1 프레임면(15a)이며 제2 연장 부분(15d)에 평면으로 보아 겹쳐 있다. 도 2에 도시하는 예에 있어서는, 상측의 제1 얼라인먼트 겹침부(41)는, 프레임 개구(16)의 상측에 위치하고 있고, 상측의 제2 연장 부분(15d)에 겹쳐 있다. 하측의 제1 얼라인먼트 겹침부(41)는, 프레임 개구(16)의 하측에 위치하고 있고, 하측의 제2 연장 부분(15d)에 겹쳐 있다.

제2 얼라인먼트 겹침부(42)는, 제1 방향 D1에 있어서 프레임 개구(16)의 한쪽 측에 위치하고 있다. 제2 얼라인먼트 겹침부(42)는, 제1 프레임면(15a)이며 제1 연장 부분(15c)에 평면으로 보아 겹쳐 있다. 도 2에 도시하는 예에 있어서는, 좌측의 얼라인먼트 마스크(40)의 제2 얼라인먼트 겹침부(42)는, 프레임 개구(16)의 좌측에 위치하고 있고, 좌측의 제1 연장 부분(15c)에 겹쳐 있다. 우측의 얼라인먼트 마스크(40)의 제2 얼라인먼트 겹침부(42)는, 프레임 개구(16)의 우측에 위치하고 있고, 우측의 제1 연장 부분(15c)에 겹쳐 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)는, 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)과, 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 포함하고 있어도 된다.

제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 프레임(15)과 얼라인먼트 마스크(40)의 위치 정렬을 행하기 위한 구멍이어도 된다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 후술하는 제2 접합 공정에 있어서, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)의 위치를 규정하기 위한 좌표의 원점을 설정하기 위한 구멍이어도 된다.

제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 제2 방향 D2에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임(15)에 겹쳐 있어도 된다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 대응하는 제1 얼라인먼트 겹침부(41)에 위치하고 있어도 된다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 제2 방향 D2에 있어서 프레임 개구(16)의 양측에 위치하고 있어도 된다. 도 2에 도시하는 예에 있어서는, 상측의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 프레임 개구(16)의 상측에 위치하고 있고, 하측의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 프레임 개구(16)의 하측에 위치하고 있다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 대응하는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)에 평면으로 보아 겹치는 위치에 위치하고 있어도 된다.

도 5에 도시하는 바와 같이, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 제1 얼라인먼트 마스크 면(40a)으로부터 제2 얼라인먼트 마스크 면(40b)으로 연장하고 있고, 얼라인먼트 마스크(40)를 관통하고 있어도 된다. 그러나, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 프레임(15)과 얼라인먼트 마스크(40)의 위치 정렬을 행할 수 있음과 함께, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)의 위치를 규정하기 위한 좌표의 원점을 설정할 수 있으면, 얼라인먼트 마스크(40)를 관통하고 있지 않아도 된다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 평면 형상은 임의이지만, 도 7에 도시하는 바와 같이 원형의 형상이어도 된다.

도 5 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 대응하는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)에 평면으로 보아 겹쳐 있어도 된다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43) 및 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)의 평면 형상이 원형인 경우, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 직경은, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)의 직경보다도 작아도 된다.

제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 유기 EL 표시 장치(90)의 제조 방법의 위치 정렬 공정에 있어서 사용되는 구멍이어도 된다. 보다 구체적으로는, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 증착 장치(80) 내에서 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)을 위치 정렬을 행하기 위한 구멍이어도 된다.

도 2 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제2 방향 D2에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임(15)에 겹쳐 있어도 된다. 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제2 얼라인먼트 겹침부(42)에 위치하고 있어도 된다. 제2 얼라인먼트 겹침부(42)에, 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)이 위치하고 있어도 된다. 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제2 방향 D2로 이격하고 있어도 된다. 도 2에 도시하는 예에 있어서는, 좌측의 얼라인먼트 마스크(40)의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 프레임 개구(16)의 좌측에 위치하고 있고, 우측의 얼라인먼트 마스크(40)의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 프레임 개구(16)의 우측에 위치하고 있다.

제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제2 방향 D2로 나열되는 2개의 제2 얼라인먼트 용접부(52) 사이에 위치하고 있어도 된다. 예를 들어, 도 2에 도시하는 바와 같이, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제2 방향 D2에 있어서, 상측의 제2 얼라인먼트 용접부(52)와 하측의 제2 얼라인먼트 용접부(52) 사이에 위치하고 있어도 된다.

도 6에 도시하는 바와 같이, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제1 얼라인먼트 마스크 면(40a)으로부터 제2 얼라인먼트 마스크 면(40b)으로 연장하고 있고, 얼라인먼트 마스크(40)를 관통하고 있어도 된다. 그러나, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)의 위치 정렬을 행할 수 있으면, 얼라인먼트 마스크(40)를 관통하고 있지 않아도 된다. 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 평면 형상은 임의이지만, 도 7에 도시하는 바와 같이 원형의 형상이어도 된다.

도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 대응하는 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)의 얼라인먼트 프레임 개구(18a)에 평면으로 보아 겹쳐 있어도 된다. 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44) 및 얼라인먼트 프레임 개구(18a)의 평면 형상이 원형인 경우, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 직경은, 얼라인먼트 프레임 개구(18a)의 직경보다도 크게 되어 있어도 된다.

도 2 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)에, 제1 얼라인먼트 용접부(51) 및 제2 얼라인먼트 용접부(52)가 형성되어 있어도 된다. 제1 얼라인먼트 용접부(51) 및 제2 얼라인먼트 용접부(52)는, 프레임(15)과 얼라인먼트 마스크(40)를 접합하고 있다. 제1 얼라인먼트 용접부(51)는, 제1 용접부의 일례이고, 제2 얼라인먼트 용접부(52)는, 제2 용접부의 일례이다.

제1 얼라인먼트 용접부(51) 및 제2 얼라인먼트 용접부(52)는, 제1 얼라인먼트 겹침부(41)에 위치하고 있어도 된다. 제1 얼라인먼트 용접부(51)는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제1 얼라인먼트 용접부(51)는, 제2 방향 D2에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)보다도 얼라인먼트 마스크(40)의 중심으로부터 먼 위치에 위치한다. 제2 얼라인먼트 용접부(52)는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 내측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제2 얼라인먼트 용접부(52)는, 제2 방향 D2에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)보다도 얼라인먼트 마스크(40)의 중심에 가까운 위치에 위치한다. 제2 방향 D2에 있어서, 제1 얼라인먼트 용접부(51)와 제2 얼라인먼트 용접부(52) 사이에, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)이 위치하고 있어도 된다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 얼라인먼트 용접부(51)는, 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 제1 용접 분할부(51a)를 포함하고 있어도 된다. 제2 얼라인먼트 용접부(52)는, 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 제2 용접 분할부(52a)를 포함하고 있어도 된다. 제1 용접 분할부(51a) 및 제2 용접 분할부(52a)는, 평면으로 보아 점상으로 형성되어 있어도 되고, 얼라인먼트 마스크(40)로부터 프레임(15)에 걸쳐 형성되어 있어도 된다. 예를 들어, 스폿 용접에 의해, 제1 용접 분할부(51a) 및 제2 용접 분할부(52a)가 형성되어 있어도 된다. 제1 용접 분할부(51a)의 개수는 1개여도 되고, 2개 이상이어도 되고, 임의이다. 제2 용접 분할부(52a)의 개수는 1개여도 되고, 2개 이상이어도 되고, 임의이다. 제1 용접 분할부(51a) 및 제2 용접 분할부(52a)는, 제1 얼라인먼트 마스크면(40a)에 대하여 솟아 오르지 않도록 형성되어 있어도 된다.

제1 얼라인먼트 용접부(51)는, 복수의 제1 용접 분할부(51a)를 포함하고 있는 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도시하지 않지만, 제1 얼라인먼트 용접부(51)는, 제1 방향 D1로 연속상으로 연장되도록 형성되어 있어도 된다. 제2 얼라인먼트 용접부(52)도 마찬가지로, 제1 방향 D1로 연속상으로 연장되도록 형성되어 있어도 된다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 얼라인먼트 용접부(51)와 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 거리 L1로 이격하고 있어도 된다. 거리 L1은, 평면으로 보아 제1 얼라인먼트 용접부(51)의 중심과 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 중심 사이의 제2 방향 D2에 있어서의 거리이다. 제2 얼라인먼트 용접부(52)와 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 거리 L2로 이격하고 있어도 된다. 거리 L2는, 평면으로 보아 제2 얼라인먼트 용접부(52)의 중심과 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 중심 사이의 제2 방향 D2에 있어서의 거리이다.

거리 L1은, 예를 들어 5.0mm 이상이어도 되고, 5.5mm 이상이어도 되고, 6.0mm 이상이어도 된다. 거리 L1을 5.0mm 이상으로 함으로써, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여 제1 얼라인먼트 용접부(51)의 용접 변형의 영향이 미치게 되는 것을 억제할 수 있다. 거리 L1은, 예를 들어 6.5mm 이하여도 되고, 7.0mm 이하여도 되고, 7.5mm 이하여도 된다. 거리 L1을 7.5mm 이하로 함으로써, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)으로부터 제1 얼라인먼트 용접부(51)가 멀어지는 것을 억제할 수 있다. 거리 L1의 범위는, 5.0mm, 5.5mm 및 6.0mm로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는, 6.5mm, 7.0mm 및 7.5mm로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 거리 L1의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L1의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L1의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 5.0mm 이상 7.5mm 이하여도 되고, 5.0mm 이상 7.0mm 이하여도 되고, 5.0mm 이상 6.5mm 이하여도 되고, 5.0mm 이상 6.0mm 이하여도 되고, 5.0mm 이상 5.5mm 이하여도 되고, 5.5mm 이상 7.5mm 이하여도 되고, 5.5mm 이상 7.0mm 이하여도 되고, 5.5mm 이상 6.5mm 이하여도 되고, 5.5mm 이상 6.0mm 이하여도 되고, 6.0mm 이상 7.5mm 이하여도 되고, 6.0mm 이상 7.0mm 이하여도 되고, 6.0mm 이상 6.5mm 이하여도 되고, 6.5mm 이상 7.5mm 이하여도 되고, 6.5mm 이상 7.0mm 이하여도 되고, 7.0mm 이상 7.5mm 이하여도 된다.

거리 L2는, 예를 들어 3.5mm 이상이어도 되고, 4.0mm 이상이어도 되고, 4.5mm 이상이어도 된다. 거리 L2를 3.5mm 이상으로 함으로써, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여 제2 얼라인먼트 용접부(52)의 용접 변형의 영향이 미치게 되는 것을 억제할 수 있다. 거리 L2는, 예를 들어 4.0mm 이하여도 되고, 4.5mm 이하여도 되고, 5.0mm 이하여도 된다. 거리 L2를 5.0mm 이하로 함으로써, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)으로부터 제2 얼라인먼트 용접부(52)가 멀어지는 것을 억제할 수 있다. 거리 L2의 범위는, 3.5mm, 4.0mm 및 4.5mm로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는, 4.0mm, 4.5mm 및 5.0mm로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 거리 L2의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L2의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L2의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 3.5mm 이상 5.0mm 이하여도 되고, 3.5mm 이상 4.5mm 이하여도 되고, 3.5mm 이상 4.0mm 이하여도 되고, 3.5mm 이상 4.5mm 이하여도 되고, 3.5mm 이상 4.0mm 이하여도 되고, 4.0mm 이상 5.0mm 이하여도 되고, 4.0mm 이상 4.5mm 이하여도 되고, 4.0mm 이상 4.0mm 이하여도 되고, 4.0mm 이상 4.5mm 이하여도 되고, 4.5mm 이상 5.0mm 이하여도 되고, 4.5mm 이상 4.5mm 이하여도 되고, 4.5mm 이상 4.0mm 이하여도 되고, 4.0mm 이상 5.0mm 이하여도 되고, 4.0mm 이상 4.5mm 이하여도 되고, 4.5mm 이상 5.0mm 이하여도 된다.

도 2 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)에, 제3 얼라인먼트 용접부(53) 및 제4 얼라인먼트 용접부(54)가 형성되어 있어도 된다. 제3 얼라인먼트 용접부(53) 및 제4 얼라인먼트 용접부(54)는, 프레임(15)과 얼라인먼트 마스크(40)를 접합하고 있다. 제3 얼라인먼트 용접부(53)는, 제3 용접부의 일례이고, 제4 얼라인먼트 용접부(54)는, 제4 용접부의 일례이다.

제3 얼라인먼트 용접부(53) 및 제4 얼라인먼트 용접부(54)는 제2 얼라인먼트 겹침부(42)에 위치하고 있어도 된다. 제3 얼라인먼트 용접부(53)는 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제3 얼라인먼트 용접부(53)는 제2 방향 D2에 있어서, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)보다도 얼라인먼트 마스크(40)의 중심으로부터 먼 위치에 위치한다. 제4 얼라인먼트 용접부(54)는 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 내측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제4 얼라인먼트 용접부(54)는 제2 방향 D2에 있어서, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)보다도 얼라인먼트 마스크(40)의 중심에 가까운 위치에 위치한다. 제2 방향 D2에 있어서, 제3 얼라인먼트 용접부(53)와 제4 얼라인먼트 용접부(54) 사이에, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)이 위치하고 있어도 된다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 제3 얼라인먼트 용접부(53)는 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 제3 용접 분할부(53a)를 포함하고 있어도 된다. 제4 얼라인먼트 용접부(54)는 제2 방향 D2로 나열되는 복수의 제4 용접 분할부(54a)를 포함하고 있어도 된다. 제3 용접 분할부(53a) 및 제4 용접 분할부(54a)는 평면으로 보아 점상으로 형성되어 있어도 되고, 얼라인먼트 마스크(40)로부터 프레임(15)에 걸쳐 형성되어 있어도 된다. 예를 들어, 스폿 용접에 의해, 제3 용접 분할부(53a) 및 제4 용접 분할부(54a)가 형성되어 있어도 된다. 제3 용접 분할부(53a)의 개수는 1개여도 되고, 2개 이상이어도 되고, 임의이다. 제4 용접 분할부(54a)의 개수는 1개여도 되고, 2개 이상이어도 되고, 임의이다. 제3 용접 분할부(53a) 및 제4 용접 분할부(54a)는 제1 얼라인먼트 마스크면(40a)에 대하여 솟아 오르지 않도록 형성되어 있어도 된다.

제3 얼라인먼트 용접부(53)는 복수의 제3 용접 분할부(53a)를 포함하고 있는 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도시하지 않지만, 제3 얼라인먼트 용접부(53)는 제1 방향 D1로 연속상으로 연장되도록 형성되어 있어도 된다. 제4 얼라인먼트 용접부(54)도 마찬가지로, 제1 방향 D1로 연속상으로 연장되도록 형성되어 있어도 된다.

도 7에 나타내는 바와 같이, 제3 얼라인먼트 용접부(53)와 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 거리 L3으로 이격되어 있어도 된다. 거리 L3은, 평면으로 보아 제3 얼라인먼트 용접부(53)의 중심과 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 중심 사이의 제2 방향 D2에 있어서의 거리이다. 제4 얼라인먼트 용접부(54)와 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 거리 L4로 이격되어 있어도 된다. 거리 L4는, 평면으로 보아 제4 얼라인먼트 용접부(54)의 중심과 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 중심 사이의 제2 방향 D2에 있어서의 거리이다.

거리 L3은, 예를 들어 8.0mm 이상이어도 되고, 8.5mm 이상이어도 되고, 9.0mm 이상이어도 된다. 거리 L3을 8.0mm 이상으로 함으로써, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여 제3 얼라인먼트 용접부(53)의 용접 변형의 영향이 미치게 되는 것을 억제할 수 있다. 거리 L3은, 예를 들어 10.5mm 이하여도 되고, 11.0mm 이하여도 되고, 11.5mm 이하여도 된다. 거리 L3을 11.5mm 이하로 함으로써, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)으로부터 제3 얼라인먼트 용접부(53)가 멀어지는 것을 억제할 수 있다. 거리 L3의 범위는, 8.0mm, 8.5mm 및 9.0mm로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는 10.5mm, 11.0mm 및 11.5mm로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 거리 L3의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L3의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L3의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 8.0mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 10.5mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 9.0mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 8.5mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 10.5mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 9.0mm 이하여도 되고, 9.0mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 9.0mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 9.0mm 이상 10.5mm 이하여도 되고, 10.5mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 10.5mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 11.0mm 이상 11.5mm 이하여도 된다.

거리 L4는, 예를 들어 8.0mm 이상이어도 되고, 8.5mm 이상이어도 되고, 9.0mm 이상이어도 된다. 거리 L4를 8.0mm 이상으로 함으로써, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여 제4 얼라인먼트 용접부(54)의 용접 변형의 영향이 미치게 되는 것을 억제할 수 있다. 거리 L4는, 예를 들어 10.5mm 이하여도 되고, 11.0mm 이하여도 되고, 11.5mm 이하여도 된다. 거리 L4를 11.5mm 이하로 함으로써, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)으로부터 제4 얼라인먼트 용접부(54)가 멀어지는 것을 억제할 수 있다. 거리 L4의 범위는, 8.0mm, 8.5mm 및 9.0mm로 이루어지는 제1 그룹, 및/또는 10.5mm, 11.0mm 및 11.5mm로 이루어지는 제2 그룹에 의해 정해져도 된다. 거리 L4의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개와, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 1개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L4의 범위는, 상술한 제1 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 거리 L4의 범위는, 상술한 제2 그룹에 포함되는 값 중 임의의 2개의 조합에 의해 정해져도 된다. 예를 들어, 8.0mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 10.5mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 9.0mm 이하여도 되고, 8.0mm 이상 8.5mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 10.5mm 이하여도 되고, 8.5mm 이상 9.0mm 이하여도 되고, 9.0mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 9.0mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 9.0mm 이상 10.5mm 이하여도 되고, 10.5mm 이상 11.5mm 이하여도 되고, 10.5mm 이상 11.0mm 이하여도 되고, 11.0mm 이상 11.5mm 이하여도 된다.

얼라인먼트 마스크(40)는 상술한 증착 마스크(20)를 구성하는 재료와 동일한 재료로 구성되어 있어도 된다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니고, 증착 마스크(20)와는 다른 재료로 구성되어 있어도 된다.

이어서, 이러한 구성으로 이루어지는 본 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치(10)의 제조 방법에 대해서, 도 8 내지 도 11을 참조하여 설명한다. 본 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치(10)의 제조 방법은, 프레임 준비 공정과, 증착 마스크 준비 공정과, 얼라인먼트 마스크 준비 공정과, 제1 접합 공정과, 제2 접합 공정을 구비하고 있어도 된다. 증착 마스크 장치(10)의 제조는, 도시하지 않은 가설 장치 내에서 행해져도 된다.

먼저, 준비 공정으로서, 상술한 프레임(15)을 준비해도 된다. 프레임(15)은 임의의 제조 방법에 의해 제조할 수 있다. 예를 들어, 프레임(15)은 판재나 단조재 등을 기계 가공함으로써 제조되어 있어도 된다. 예를 들어, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17) 및 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은 기계 가공에 의해 형성되어 있어도 된다. 프레임(15)은 상술한 가설 장치에 설치되어도 된다.

증착 마스크 준비 공정으로서, 상술한 증착 마스크(20)를 준비해도 된다. 증착 마스크(20)는 상술한 바와 같이, 압연재의 에칭 처리 또는 도금 처리 등 임의의 제조 방법에 의해 제조되어 있어도 된다. 도금 처리로 제조되는 경우에는, 증착 마스크(20)는 2개 이상의 층으로 구성되어 있어도 된다. 이 경우, 관통 구멍(25)은 이들 층을 관통하도록 형성된다.

얼라인먼트 마스크 준비 공정으로서, 상술한 얼라인먼트 마스크(40)를 준비해도 된다. 얼라인먼트 마스크(40)는 증착 마스크(20)와 마찬가지로, 압연재의 에칭 처리 또는 도금 처리 등이 임의의 제조 방법에 의해 제조되어 있어도 된다.

각 준비 공정 후, 제1 접합 공정으로서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 2개의 얼라인먼트 마스크(40)가 각 얼라인먼트 용접부(51 내지 54)에 의해 프레임(15)의 제1 프레임면(15a)에 접합되어도 된다.

보다 구체적으로는, 먼저, 얼라인먼트 마스크(40)가 주로 제2 방향 D2로 장력이 부여되면서, 제1 프레임면(15a) 상의 원하는 위치에 위치 정렬된다. 이 때, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)이, 대응하는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)에 대하여 위치 정렬된다. 예를 들어, 제2 프레임면(15b)으로부터 제1 프레임면(15a)을 향하는 방향으로 카메라(61)(도 12 참조)로 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17) 및 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을 시인하여, 위치 정렬이 행해져도 된다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 직경이 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)의 직경보다도 작은 경우, 카메라(61)는 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을 용이하게 시인할 수 있다. 얼라인먼트 마스크(40)가 프레임(15)에 대하여 위치 정렬된 경우, 평면으로 보아, 제1 얼라인먼트 겹침부(41)는 제2 연장 부분(15d)에 겹치고, 제2 얼라인먼트 겹침부(42)는 제1 연장 부분(15c)에 겹친다.

얼라인먼트 마스크(40)가 위치 정렬된 후, 도 8 내지 도 10에 나타내는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)가 각 얼라인먼트 용접부(51 내지 54)에 의해 프레임(15)에 접합된다. 얼라인먼트 마스크(40)에 장력이 부여된 상태에서, 각 얼라인먼트 용접부(51 내지 54)가 형성된다. 예를 들어, 레이저광 L에 의한 스폿 용접으로, 얼라인먼트 마스크(40)가 프레임(15)에 접합되어도 된다. 이 경우, 도 9 및 도 10에 나타내는 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)의 제1 얼라인먼트 마스크면(40a)에 레이저광 L이 조사된다. 레이저광 L이 조사된 영역 중 제1 얼라인먼트 마스크면(40a)으로부터 제2 얼라인먼트 마스크면(40b)을 넘어 프레임(15)에 걸친 영역에 용융부가 형성된다. 용융부가 냉각되어 고화됨으로써, 제1 얼라인먼트 겹침부(41)에 제1 용접 분할부(51a) 및 제2 용접 분할부(52a)가 형성됨과 함께, 제2 얼라인먼트 겹침부(42)에 제3 용접 분할부(53a) 및 제4 용접 분할부(54a)가 형성된다.

이와 같이 하여, 얼라인먼트 마스크(40)는 프레임(15)에 접합되어 고정된다.

제1 접합 공정 후, 제2 접합 공정으로서, 도 11에 도시한 바와 같이, 프레임(15)의 제1 프레임면(15a)에, 복수의 증착 마스크(20)가 접합되어도 된다. 복수의 증착 마스크(20)는 얼라인먼트 마스크(40)에 대하여 제1 방향 D1로 나열된다.

보다 구체적으로는, 먼저, 증착 마스크(20)가 주로 제2 방향 D2로 장력이 부여되면서, 제1 프레임면(15a) 상의 원하는 위치에 위치 정렬된다. 이 때, 프레임(15)에 대한 관통 구멍(25)의 위치가 확인된다. 보다 구체적으로는, 관통 구멍(25)의 위치가 원하는 위치에 대하여 허용 범위 내에 위치 부여되어 있는지 여부가 확인되어도 된다. 예를 들어, 4개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 기초하여 설정되는 원점에 대한 관통 구멍(25)의 좌표를 측정하고, 그 측정된 좌표와, 관통 구멍(25)의 목표 좌표를 비교해도 된다.

예를 들어, 대각선 상에 위치하는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 중심을 통과하는 2개의 직선의 교점을, 원점으로 해도 된다. 도 12에 나타내는 바와 같이, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 중심은, 제2 프레임면(15b)으로부터 제1 프레임면(15a)을 향하는 방향으로 카메라(61)로 시인하여, 화상 해석함으로써 측정해도 된다. 관통 구멍(25)의 좌표는 평면으로 본 관통 구멍(25)의 중심점이어도 된다. 도 13에 나타내는 바와 같이, 관통 구멍(25)의 좌표는, 제2 프레임면(15b)으로부터 제1 프레임면(15a)을 향하는 방향으로 카메라(61)로 시인하여, 화상 해석함으로써 측정해도 된다. 좌표의 측정이 복수의 관통 구멍(25)에서 행해져, 복수의 관통 구멍(25)의 위치를 확인해도 된다. 각 관통 구멍(25)의 위치가 원하는 위치에 위치 부여되도록, 증착 마스크(20)에 부여되는 장력이 조정되어도 된다. 증착 마스크(20)가 위치 정렬된 경우, 평면으로 보아, 겹침부(21)는 제2 연장 부분(15d)에 겹친다.

증착 마스크(20)가 위치 정렬된 후, 도 11에 도시한 바와 같이, 증착 마스크(20)가 프레임(15)에 접합된다. 증착 마스크(20)에 장력이 부여된 상태에서, 증착 마스크 용접부(30)의 용접 분할부(30a)가 형성된다. 증착 마스크 용접부(30)는 상술한 얼라인먼트 용접부(51 내지 54)와 마찬가지로 형성되어도 된다. 증착 마스크 용접부(30)의 용접 분할부(30a)는 겹침부(21)에 형성된다.

이와 같이 하여, 증착 마스크(20)는 프레임(15)에 접합되어 고정된다.

제2 접합 공정 후, 절단 공정으로서, 각 증착 마스크(20)의 겹침부(21)의 일부가 절단(트리밍이라고도 칭함)된다. 이 경우, 증착 마스크(20)의 겹침부(21) 중 증착 마스크 용접부(30)보다도 제2 방향 D2의 외측의 위치에서, 증착 마스크(20)가 절단된다.

이와 같이 하여, 도 2에 나타내는 증착 마스크 장치(10)가 얻어진다. 증착 마스크 장치(10)는 가설 장치로부터 취출된다.

이어서, 본 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치(10)를 사용한 유기 디바이스의 제조 방법에 대해서, 도 1 및 도 14 내지 도 18을 참조하여 설명한다. 이하, 유기 디바이스의 일례로서, 유기 EL 표시 장치(90)를 예로 들어 설명한다.

여기서, 유기 EL 표시 장치(90)에 대하여 도 14를 사용하여 설명한다. 도 14는, 유기 EL 표시 장치(90)를 나타내는 모식 단면도이다. 유기 EL 표시 장치(90)는, 상술한 본 실시 형태에 의한 증착 마스크 장치(10)를 사용함으로써 기판(91)에 형성된 발광층(92)을 구비하고 있다. 발광층(92)은 증착층의 일례이다. 1개의 유기 EL 표시 장치(90)는 1개의 표시 영역에 상당하고 있어도 된다.

보다 구체적으로는, 도 14에 나타내는 바와 같이, 기판(91)의 한쪽 면에, 복수의 소자(93)가 나열되어 마련되어 있다. 도시는 하지 않지만, 소자(93)는 도 14의 지면의 깊이 방향으로 나열되어 있어도 된다. 소자(93)는 화소로서 구성되어 있어도 된다. 소자(93)는 제1 전극(94)과, 통전층(95)과, 제2 전극(96)을 포함하고 있어도 된다. 제1 전극(94)은 기판(91) 상에 위치하고 있어도 된다. 통전층(95)은 제1 전극(94) 상에 위치하고 있어도 된다. 제2 전극(96)은 통전층(95) 상에 위치하고 있어도 된다. 통전층(95)은 발광층(92)을 포함하고 있어도 된다. 복수의 소자(93)에 의해 1개의 유기 EL 표시 장치(90)가 구성되어 있다. 1개의 기판(91)에, 복수의 유기 EL 표시 장치(90)의 소자(93)가 형성되어, 다면이 구비되어 있어도 된다. 이 경우, 기판(91)을 유기 EL 표시 장치(90)마다 재단함으로써, 개개의 유기 EL 표시 장치(90)가 얻어진다. 도 14에 있어서는, 일례로서, 2개의 유기 EL 표시 장치(90)가 1개의 기판(91)에 형성되어 있는 예를 나타내고 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 기판(91)은 제1 기판면(91a)과 제2 기판면(91b)을 포함하고 있어도 된다. 제2 기판면(91b)은 제1 기판면(91a)과는 반대측에 위치하고 있어도 된다. 제2 기판면(91b)은 증착 시에 증착 마스크(20)의 제1 마스크면(20a)에 밀착되는 면이어도 된다.

도 15에 나타내는 바와 같이, 기판(91)은 기판 얼라인먼트 구멍(91c)을 포함하고 있어도 된다. 기판 얼라인먼트 구멍(91c)은 제1 기판면(91a)으로부터 제2 기판면(91b)으로 연장되어 있고(도 16 참조), 기판(91)을 관통하고 있어도 된다. 그러나, 기판 얼라인먼트 구멍(91c)은 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)과의 위치 정렬을 행할 수 있으면, 기판(91)을 관통하고 있지 않아도 된다. 기판 얼라인먼트 구멍(91c)의 평면 형상은 임의이다. 기판 얼라인먼트 구멍(91c)의 평면 형상은, 도 15에 나타내는 바와 같이, 원형의 형상이어도 된다. 기판(91)이 가시광에 대한 투과성을 갖고 있는 경우에는, 기판 얼라인먼트 구멍(91c)의 직경은 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 직경과 동등해도 되고, 다르게 되어 있어도 된다. 이 경우, 기판 얼라인먼트 구멍(91c)의 직경은 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 직경보다도 커도 되고, 작아도 된다. 기판(91)이 가시광에 대한 투과성을 갖지 않는 경우에는, 기판 얼라인먼트 구멍(91c)의 직경은 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 직경보다도 작아도 된다.

기판(91)은 절연성을 갖는 판상의 부재여도 된다. 기판(91)은 광을 투과시키는 광투과성을 갖고 있어도 된다. 기판(91)은, 예를 들어 유리 기판이어도 되고, 실리콘 기판이어도 된다. 또한, 기판(91)은, 예를 들어 석영, 광투과성을 갖는 폴리이미드, 또는 광투과성을 갖는 액정 폴리머로 구성되어 있어도 된다.

도 14에 나타내는 바와 같이, 제1 전극(94)은 도전성을 갖는 재료를 포함한다. 예를 들어, 제1 전극(94)은 금속, 도전성을 갖는 금속 산화물, 또는 기타 무기 재료 등을 포함하고 있어도 된다. 제1 전극(94)은, 인듐·주석 산화물 등의, 광투과성 및 도전성을 갖는 금속 산화물을 포함하고 있어도 된다.

통전층(95)은 상술한 바와 같이, 통전에 의해 광을 방출하는 발광층(92)을 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 통전층(95)은 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층, 전자 주입층 등을 포함하고 있어도 된다. 예를 들어, 제1 전극(94)이 양극임과 함께 제2 전극(96)이 음극인 경우에는, 제1 전극(94) 상에, 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층(92), 전자 수송층, 전자 주입층 및 제2 전극(96)이 이 차례로 적층된다. 통전이란, 통전층(95)에 전압이 인가되는 것, 또는 통전층(95)에 전류가 흐르는 것을 의미한다. 도 14에 있어서는, 도면을 간략시키기 위해서, 정공 주입층, 정공 수송층, 전자 수송층 및 전자 주입층은 생략하고 있다.

제2 전극(96)은 금속 등의 도전성을 갖는 재료를 포함한다. 제2 전극(96)을 구성하는 재료의 예로서는, 백금, 금, 은, 구리, 철, 주석, 크롬, 알루미늄, 인듐, 리튬, 나트륨, 칼륨, 칼슘, 마그네슘, 크롬, 탄소 등 및 이들의 합금을 들 수 있다.

유기 EL 표시 장치(90)에 있어서 화상을 표시하는 경우, 소자(93)를 구성하는 제1 전극(94)과 제2 전극(96) 사이에 전압이 인가된다. 이것에 의해, 소자(93)의 발광층(92)으로부터 광이 방출되고, 방출된 광은, 발광층(92)으로부터 제1 전극(94)을 향하는 방향으로 외부로, 또는 발광층(92)으로부터 제1 전극(94)을 향하는 방향으로 외부로 취출된다. 각 소자(93)에 있어서 발광층(92)으로부터 광의 방출을 제어함으로써, 원하는 화상이 표시된다.

다음으로, 본 개시의 일 실시 형태에 의한 유기 EL 표시 장치(90)의 제조 방법에 대하여, 도 15 내지 도 18을 참조하여 설명한다. 유기 EL 표시 장치(90)의 제조는, 도 1에 나타내는 증착 장치(80) 내에서 행해져도 된다.

유기 EL 표시 장치(90)의 제조 방법은, 증착 마스크 장치(10)를 사용하여 기판(91)에 증착 재료(82)를 부착시켜 발광층(92)을 형성하는 공정을 구비하고 있어도 된다. 더 구체적으로는, 본 실시 형태에 의한 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 기판 준비 공정과, 장치 준비 공정과, 기판 위치 정렬 공정과, 밀착 공정과, 증착 공정을 구비하고 있어도 된다.

먼저, 기판 준비 공정으로서, 상술한 기판(91)을 준비해도 된다.

또한, 장치 준비 공정으로서, 상술한 증착 마스크 장치(10)를 준비해도 된다. 증착 마스크 장치(10)는, 상술한 증착 장치(80) 내에 설치되어도 된다.

장치 준비 공정 후, 위치 정렬 공정으로서, 도 15에 나타낸 바와 같이, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)이 위치 정렬된다. 예를 들어, 얼라인먼트 마스크(40)의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)과, 기판(91)의 기판 얼라인먼트 구멍(91c)이 위치 정렬되도록, 증착 마스크 장치(10) 및 기판(91)의 적어도 한쪽의 위치가 조정되어도 된다. 이 경우, 먼저, 도 16에 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(20)의 제1 마스크면(20a)에, 기판(91)이 위치 부여된다. 계속해서, 기판(91)의 제1 기판면(91a)으로부터 제2 기판면(91b)을 향하는 방향으로 카메라(62)로 기판 얼라인먼트 구멍(91c) 및 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 시인하고, 위치 정렬이 행해져도 된다. 기판(91)이, 가시광을 투과 가능한 경우, 기판 얼라인먼트 구멍(91c)과 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 대소 관계에 구애되지 않고, 기판 얼라인먼트 구멍(91c)과 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 카메라(62)는 시인할 수 있다. 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 직경이, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)의 얼라인먼트 프레임 개구(18a)의 직경보다도 큰 경우, 카메라(62)는, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 용이하게 시인할 수 있다. 위치 정렬 공정에 있어서, 기판(91)은, 도시하지 않은 클램프에 보유 지지되어 있어도 된다.

위치 정렬 공정 후, 밀착 공정으로서, 도 17에 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(20)에 기판(91)을 밀착시켜도 된다. 증착 마스크(20)의 제1 마스크면(20a)에, 기판(91)을 밀착시켜도 된다.

더 구체적으로는, 먼저, 증착 마스크(20)의 제1 마스크면(20a)이 상방에 배치되도록, 증착 마스크 장치(10)가 증착 장치(80) 내에 배치된다. 또한, 기판(91)이 클램프에 보유 지지된다. 계속해서, 기판(91)이, 클램프에 보유 지지된 상태에서, 증착 마스크(20)의 상방에 배치된다. 이어서, 기판(91)의 제2 기판면(91b)과 증착 마스크(20)의 제1 마스크면(20a)이 맞대어진다.

다음으로, 도 17에 나타낸 바와 같이, 기판(91)의 상면에 자석(85)이 위치 부여되고, 자석(85)의 자력으로, 증착 마스크(20)가 기판(91)에 끌어당겨진다. 이것에 의해, 증착 마스크(20)의 제1 마스크면(20a)에, 기판(91)이 밀착한다. 또한, 제1 전극(94)이 양극인 경우, 기판(91)에는, 증착 마스크(20)를 밀착시키기 전에, 제1 전극(94)과, 통전층(95)을 구성하는 정공 주입층 및 정공 수송층이 형성되어 있어도 된다.

밀착 공정 후, 증착 공정으로서, 도 18에 나타낸 바와 같이, 증착 마스크(20)의 관통 구멍(25)을 통해 증착 재료(82)를 기판(91)에 증착시켜 발광층(92)이 형성되어도 된다. 발광층(92)은, 대응하는 통전층(95)의 정공 수송층 상에 형성된다. 더 구체적으로는, 증착 장치(80)의 내부 공간을 진공 분위기로 하고, 증착 재료(82)를 증발시켜 기판(91)에 비래시킨다. 비래한 증착 재료(82)는, 증착 마스크(20)의 각 관통 구멍(25)을 통해, 원하는 통전층(95)의 정공 수송층에 도달하여, 부착된다. 이것에 의해, 기판(91)에, 관통 구멍(25)의 패턴에 대응한 패턴으로 발광층(92)이 형성된다.

상술한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 관통 구멍(25)이 각 유효 영역(27)에 있어서 소정의 패턴으로 배치되어 있다. 또한, 복수의 색에 의한 컬러 표시를 행하고 싶은 경우에는, 각 색에 대응하는 증착 마스크(20)를 구비한 증착 마스크 장치(10)를 준비하고, 각 증착 마스크 장치(10)에서, 대응하는 통전층(95)의 정공 수송층에 각 색의 증착 재료(82)를 부착시킨다. 이에 의해, 예를 들어 적색용의 유기 발광 재료, 녹색용의 유기 발광 재료 및 청색용의 유기 발광 재료를 하나의 기판(91)에 각각 증착시킬 수 있다.

발광층(92)이 형성된 후, 발광층(92) 상에, 통전층(95)을 구성하는 전자 수송층 및 전자 주입층이 형성되어, 통전층(95)이 얻어진다. 그 후, 각 통전층(95) 상에 제2 전극(96)이 형성된다.

이와 같이 하여, 기판(91)에, 각 색의 발광층(92)이 형성된 유기 EL 표시 장치(90)가 얻어진다.

유기 EL 표시 장치(90)의 제조 후, 다른 유기 EL 표시 장치(90)를 제조하는 경우에는, 증착 마스크 장치(10)는, 증착 장치(80)로부터 분리되어도 된다. 분리된 증착 마스크 장치(10)는, 대응하는 유기 EL 표시 장치(90)를 제조하는 경우에는, 다시 증착 장치(80)에 설치되어도 된다. 이 경우에 있어서도, 얼라인먼트 마스크(40)는, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)이 위치 어긋나는 것이 억제된다.

더 구체적으로는, 제2 방향 D2에 있어서의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에 제1 얼라인먼트 용접부(51) 및 제2 얼라인먼트 용접부(52)가 형성되어 있다. 이것에 의해, 증착 마스크 장치(10)의 취급 중에, 제1 얼라인먼트 겹침부(41)가 제3 방향 D3으로 휘는 것이 억제된다. 이 때문에, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)의 위치 정렬 정밀도를 재현할 수 있다.

마찬가지로, 제2 방향 D2에 있어서의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에 제3 얼라인먼트 용접부(53) 및 제4 얼라인먼트 용접부(54)가 형성되어 있다. 이것에 의해, 증착 마스크 장치(10)의 취급 중에, 제2 얼라인먼트 겹침부(42)가 제3 방향 D3으로 휘는 것이 억제된다. 이 때문에, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있어, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)의 위치 정렬 정밀도를 재현할 수 있다.

이렇게 본 실시 형태에 따르면, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 외측에, 제1 얼라인먼트 용접부(51)가 위치하고 있다. 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 내측에, 제2 얼라인먼트 용접부(52)가 위치하고 있다. 이것에 의해, 제2 방향 D2에 있어서의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에서, 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있어, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 얼라인먼트 마스크(40)와 프레임(15)의 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제1 얼라인먼트 용접부(51)는, 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 제1 용접 분할부(51a)를 포함하고, 제2 얼라인먼트 용접부(52)는, 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 제2 용접 분할부(52a)를 포함하고 있다. 이것에 의해, 제2 방향 D2에 있어서의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에서, 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 한층 더 견고하게 고정할 수 있어, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 한층 더 억제할 수 있다. 이 때문에, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 위치가 어긋나는 것을 한층 더 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 프레임(15)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)을 향해 연장되는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)을 포함하고 있다. 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 평면으로 보아 겹쳐져 있다. 이것에 의해, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)과 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)을 사용하여, 얼라인먼트 마스크(40)와 프레임(15)의 위치 정렬을 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)으로 관통하고 있다. 이것에 의해, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)을, 제1 프레임면(15a)으로부터 기계 가공함으로써 형성할 수 있거나, 또는 제2 프레임면(15b)으로부터 기계 가공함으로써 형성할 수 있다. 이 때문에, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)을 용이하게 형성할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)은, 제1 방향 D1 및 제2 방향 D2에 직교하는 제3 방향 D3으로 연장되어 있다. 이것에 의해, 프레임(15)의 제2 프레임면(15b)으로부터 제1 프레임면(15a)을 향하는 방향으로 제1 프레임 얼라인먼트 구멍(17)을 통해 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을 시인할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)은, 제2 방향 D2에 있어서 프레임 개구(16)의 양측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 얼라인먼트 마스크(40)의 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을, 제2 방향 D2에 있어서 서로 멀어지게 할 수 있다. 이 때문에, 얼라인먼트 마스크(40)와 프레임(15)의 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 얼라인먼트 마스크(40)는, 제2 방향 D2에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 프레임(15)에 겹치는 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 포함하고 있다. 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제2 방향 D2에 있어서, 한쪽의 제2 얼라인먼트 용접부(52)와, 다른 쪽의 제2 얼라인먼트 용접부(52) 사이에 위치하고 있다. 이것에 의해, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 사용하여, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)의 위치 정렬을 행할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 외측에, 제3 얼라인먼트 용접부(53)가 위치하고 있다. 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제2 방향 D2에 있어서의 얼라인먼트 마스크(40)의 내측에, 제4 얼라인먼트 용접부(54)가 위치하고 있다. 이것에 의해, 제2 방향 D2에 있어서의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에서, 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있어, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다. 이 결과, 얼라인먼트 마스크(40)와 프레임(15)의 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제3 얼라인먼트 용접부(53)는, 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 제3 용접 분할부(53a)를 포함하고, 제4 얼라인먼트 용접부(54)는, 제1 방향 D1로 나열되는 복수의 제4 용접 분할부(54a)를 포함하고 있다. 이것에 의해, 제2 방향 D2에 있어서의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에서, 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 한층 더 견고하게 고정할 수 있어, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 한층 더 억제할 수 있다. 이 때문에, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 위치가 어긋나는 것을 한층 더 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 프레임(15)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)을 향해 연장되는 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)을 포함하고 있다. 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)에 위치하는 얼라인먼트 프레임 개구(18a)를 포함하고 있다. 얼라인먼트 프레임 개구(18a)는, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 평면으로 보아 겹쳐져 있다. 이것에 의해, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)과 얼라인먼트 프레임 개구(18a)를 사용하여, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)의 위치 정렬을 행할 수 있다. 또한, 얼라인먼트 마스크(40)의 제1 얼라인먼트 마스크면(40a)으로부터 제2 얼라인먼트 마스크면(40b)을 향하는 방향으로 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 시인할 때, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 통해 얼라인먼트 프레임 개구(18a)를 시인할 수 있다. 이 경우, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 시인성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)으로부터 제2 프레임면(15b)으로 관통하고 있다. 이것에 의해, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)을, 제1 프레임면(15a)으로부터 기계 가공함으로써 형성할 수 있거나, 또는 제2 프레임면(15b)으로부터 기계 가공함으로써 형성할 수 있다. 이 때문에, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)을 용이하게 형성할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)에 대하여 경사져 있다. 이것에 의해, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)이 프레임(15)을 관통하고 있는 경우라도, 증착 공정에 있어서, 증착 재료(82)가, 얼라인먼트 프레임 개구(18a)에 도달하는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 1개의 증착 마스크 장치(10)에서 복수회의 증착을 행할 수 있고, 반복해서 사용할 수 있다. 또한, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)이 제1 프레임면(15a)에 대하여 경사져 있는 경우, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)과 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 콘트라스트를 강화할 수 있다. 이 때문에, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 시인성을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 실시 형태에 따르면, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)은, 제1 방향 D1에 있어서 프레임 개구(16)의 한쪽 측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 2개의 얼라인먼트 마스크(40)의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을, 제1 방향 D1에 있어서 서로 멀어지게 할 수 있다. 이 때문에, 얼라인먼트 마스크(40)와 프레임(15)의 위치 정렬 정밀도를 향상시킬 수 있다.

상술한 실시 형태에 대하여 다양한 변경을 가하는 것이 가능하다. 이하, 필요에 따라 도면을 참조하면서, 변형예에 대하여 설명한다. 이하의 설명 및 이하의 설명에서 사용하는 도면에서는, 상술한 실시 형태와 마찬가지로 구성될 수 있는 부분에 대하여, 상술한 실시 형태에 있어서의 대응하는 부분에 대하여 사용한 부호와 동일한 부호를 사용하는 것으로 하고, 중복되는 설명을 생략한다. 또한, 상술한 실시 형태에 있어서 얻어지는 작용 효과가 변형예에 있어서도 얻어지는 것이 명확한 경우, 그 설명을 생략하는 경우도 있다.

상술한 본 실시 형태에 있어서는, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 제1 프레임면(15a)에 대하여 경사져 있는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)은, 증착 공정에 있어서 증착 재료(82)가 얼라인먼트 프레임 개구(18a)에 도달하는 것을 억제할 수 있으면, 제1 프레임면(15a)에 대하여 경사져 있지 않아도 된다.

상술한 본 실시 형태에 있어서는, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 사용하여, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)의 위치 정렬을 행하는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)을 사용하여, 증착 마스크 장치(10)와 기판(91)의 위치 정렬을 행해도 된다. 이 경우, 얼라인먼트 마스크(40)는, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)을 포함하고 있지 않아도 되고, 프레임(15)은, 제2 프레임 얼라인먼트 구멍(18)을 포함하고 있지 않아도 된다. 얼라인먼트 마스크(40)는, 제3 얼라인먼트 용접부(53)를 포함하고 있지 않아도 되고, 제4 얼라인먼트 용접부(54)를 포함하고 있지 않아도 된다.

상술한 본 실시 형태에 있어서는, 제2 방향 D2에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 외측에 제1 얼라인먼트 용접부(51)가 위치하고, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 내측에 제2 얼라인먼트 용접부(52)가 위치하고 있는 예에 대하여 설명했다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 도 19에 나타낸 바와 같이, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제1 방향 D1에 있어서의 적어도 한쪽 측에, 프레임(15)과 얼라인먼트 마스크(40)를 접합하는 얼라인먼트 용접부가 위치하고 있어도 된다. 더 구체적으로는, 도 19에 나타내는 제5 얼라인먼트 용접부(55) 및 제6 얼라인먼트 용접부(56)의 적어도 한쪽이 얼라인먼트 마스크(40)에 형성되어 있어도 된다. 제5 얼라인먼트 용접부(55) 및 제6 얼라인먼트 용접부(56)는, 제5 용접부의 일례이다. 얼라인먼트 마스크(40)에, 제5 얼라인먼트 용접부(55) 및 제6 얼라인먼트 용접부(56)의 어느 한쪽이 형성되고, 다른 쪽은 형성되어 있지 않아도 된다. 도 19에 나타낸 바와 같이, 얼라인먼트 마스크(40)에, 제5 얼라인먼트 용접부(55) 및 제6 얼라인먼트 용접부(56)의 양쪽이 형성되어 있어도 되고, 이 경우, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)이, 얼라인먼트 용접부(51, 52, 55, 56)에 의해 둘러싸인다.

도 19에 나타낸 바와 같이, 제5 얼라인먼트 용접부(55)는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제1 방향 D1에 있어서의 프레임(15)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제5 얼라인먼트 용접부(55)는, 제1 방향 D1에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)보다도 얼라인먼트 마스크(40)의 중심으로부터 먼 위치에 위치한다. 제5 얼라인먼트 용접부(55)는, 복수의 제5 용접 분할부(55a)를 포함하고 있어도 된다. 복수의 제5 용접 분할부(55a)는, 제2 방향 D2로 나열되어 있어도 된다. 제5 용접 분할부(55a)는, 제2 방향 D2에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에 배치되어 있어도 된다. 제5 용접 분할부(55a)는, 제1 용접 분할부(51a) 등과 마찬가지로 형성되어 있어도 된다.

제6 얼라인먼트 용접부(56)는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제1 방향 D1에 있어서의 프레임(15)의 내측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제6 얼라인먼트 용접부(56)는, 제1 방향 D1에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)보다도 얼라인먼트 마스크(40)의 중심에 가까운 위치에 위치한다. 제6 얼라인먼트 용접부(56)는, 복수의 제6 용접 분할부(56a)를 포함하고 있어도 된다. 복수의 제6 용접 분할부(56a)는, 제2 방향 D2로 나열되어 있어도 된다. 제6 용접 분할부(56a)는, 제2 방향 D2에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에 배치되어 있어도 된다. 제6 용접 분할부(56a)는, 제1 용접 분할부(51a) 등과 마찬가지로 형성되어 있어도 된다.

이렇게 도 19에 나타내는 변형예에 의하면, 제2 방향 D2에 있어서의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 또한, 제1 방향 D1에 있어서의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 이것에 의해, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 한층 더 억제할 수 있어, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 위치가 어긋나는 것을 한층 더 억제할 수 있다.

예를 들어, 도 19에 도시한 바와 같이, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제1 방향 D1에 있어서의 적어도 한쪽 측에, 프레임(15)과 얼라인먼트 마스크(40)를 접합하는 얼라인먼트 용접부가 위치하고 있어도 된다. 제7 얼라인먼트 용접부(57) 및 제8 얼라인먼트 용접부(58)의 적어도 한쪽이 얼라인먼트 마스크(40)에 형성되어 있어도 된다. 제7 얼라인먼트 용접부(57) 및 제8 얼라인먼트 용접부(58)는 제6 용접부의 일례이다. 얼라인먼트 마스크(40)에 제7 얼라인먼트 용접부(57) 및 제8 얼라인먼트 용접부(58)의 어느 한쪽이 형성되고, 다른 쪽은 형성되어 있지 않아도 된다. 얼라인먼트 마스크(40)에 제7 얼라인먼트 용접부(57) 및 제8 얼라인먼트 용접부(58)의 양쪽이 형성되어 있어도 되고, 이 경우, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)이 얼라인먼트 용접부(53, 54, 57, 58)에 의해 둘러싸인다.

도 19에 도시한 바와 같이, 제7 얼라인먼트 용접부(57)는 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제1 방향 D1에 있어서의 프레임(15)의 외측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제7 얼라인먼트 용접부(57)는 제1 방향 D1에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)보다 얼라인먼트 마스크(40)의 중심으로부터 먼 위치에 위치한다. 제7 얼라인먼트 용접부(57)는 복수의 제7 용접 분할부(57a)를 포함하고 있어도 된다. 복수의 제7 용접 분할부(57a)는 제2 방향 D2로 나열되어 있어도 된다. 제7 용접 분할부(57a)는 제2 방향 D2에 있어서, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에 배치되어 있어도 된다. 제7 용접 분할부(57a)는 제1 용접 분할부(51a) 등과 마찬가지로 형성되어 있어도 된다.

제8 얼라인먼트 용접부(58)는 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제1 방향 D1에 있어서의 프레임(15)의 내측에 위치하고 있어도 된다. 이 경우, 제8 얼라인먼트 용접부(58)는 제1 방향 D1에 있어서, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)보다 얼라인먼트 마스크(40)의 중심에 가까운 위치에 위치한다. 제8 얼라인먼트 용접부(58)는 복수의 제8 용접 분할부(58a)를 포함하고 있어도 된다. 복수의 제8 용접 분할부(58a)는 제2 방향 D2로 나열되어 있어도 된다. 제8 용접 분할부(58a)는 제2 방향 D2에 있어서, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에 배치되어 있어도 된다. 제8 용접 분할부(58a)는 제1 용접 분할부(51a) 등과 마찬가지로 형성되어 있어도 된다.

이와 같이 도 19에 도시한 변형예에 의하면, 제2 방향 D2에 있어서의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 또한, 제1 방향 D1에 있어서의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 이에 의해, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 한층 더 억제할 수 있어, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 위치가 어긋나는 것을 한층 더 억제할 수 있다.

도 19에 도시한 예에 있어서는, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제1 얼라인먼트 용접부(51), 제2 얼라인먼트 용접부(52), 제5 얼라인먼트 용접부(55) 및 제6 얼라인먼트 용접부(56)가 형성되어 있는 예에 대해서 설명했다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 20에 도시한 바와 같이, 제2 얼라인먼트 용접부(52)는 형성되어 있지 않아도 된다. 이 경우, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)에 대하여, 제1 얼라인먼트 용접부(51), 제5 얼라인먼트 용접부(55) 및 제6 얼라인먼트 용접부(56)가 형성되어 있다. 도 20에 도시한 변형예에 의하면, 제2 방향 D2에 있어서의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 외측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 또한, 제1 방향 D1에 있어서의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 양측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 이에 의해, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 억제할 수 있어, 제1 얼라인먼트 마스크 구멍(43)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다.

도 19에 도시한 예에 있어서는, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제3 얼라인먼트 용접부(53), 제4 얼라인먼트 용접부(54), 제7 얼라인먼트 용접부(57) 및 제8 얼라인먼트 용접부(58)가 형성되어 있는 예에 대해서 설명했다. 그러나, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 도 20에 도시한 바와 같이, 제4 얼라인먼트 용접부(54)는 형성되어 있지 않아도 된다. 이 경우, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)에 대하여, 제3 얼라인먼트 용접부(53), 제7 얼라인먼트 용접부(57) 및 제8 얼라인먼트 용접부(58)가 형성되어 있다. 도 20에 도시한 변형예에 의하면, 제2 방향 D2에 있어서의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 외측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 또한, 제1 방향 D1에 있어서의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 양측에서 얼라인먼트 마스크(40)를 프레임(15)에 고정할 수 있다. 이에 의해, 얼라인먼트 마스크(40)가 제3 방향 D3으로 휘는 것을 억제할 수 있어, 제2 얼라인먼트 마스크 구멍(44)의 위치가 어긋나는 것을 억제할 수 있다.

상술한 실시 형태에 대한 몇몇 변형예를 설명해 왔지만, 당연히 복수의 변형예를 적절히 조합하여 적용하는 것도 가능하다.

Claims

제1 프레임면과, 상기 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임과,
상기 제1 프레임면에 접합되고, 상기 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와,
상기 제1 프레임면에 접합되고, 상기 증착 마스크와 제1 방향으로 나열되는 얼라인먼트 마스크를 구비하고,
상기 얼라인먼트 마스크는 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,
상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제1 용접부가 위치하고,
상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 내측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제2 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제1항에 있어서,
상기 제1 용접부는 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제1 용접 분할부를 포함하고,
상기 제2 용접부는 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제2 용접 분할부를 포함하는, 증착 마스크 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 프레임은 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면을 향해서 연장되는, 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 평면으로 보아 겹치는 제1 프레임 얼라인먼트 구멍을 포함하는, 증착 마스크 장치.
제3항에 있어서,
상기 제1 프레임 얼라인먼트 구멍은 제1 프레임면으로부터 제2 프레임면으로 관통하고 있는, 증착 마스크 장치.
제4항에 있어서,
상기 제1 프레임 얼라인먼트 구멍은 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 직교하는 제3 방향으로 연장되어 있는, 증착 마스크 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍은 상기 제2 방향에 있어서 상기 프레임 개구의 양측에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 적어도 한쪽 측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제5 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 얼라인먼트 마스크는 상기 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍의 각각은, 상기 제2 방향에 있어서, 한쪽의 상기 제2 용접부와 다른 쪽의 상기 제2 용접부의 사이에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제8항에 있어서,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제3 용접부가 위치하고,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 내측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제4 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제9항에 있어서,
상기 제3 용접부는 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제3 용접 분할부를 포함하고,
상기 제4 용접부는 상기 제1 방향으로 나열되는 복수의 제4 용접 분할부를 포함하는, 증착 마스크 장치.
제8항에 있어서,
상기 프레임은 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면을 향해서 연장되는 제2 프레임 얼라인먼트 구멍을 포함하고,
상기 제2 프레임 얼라인먼트 구멍은 상기 제1 프레임면에 위치하는, 상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 평면으로 보아 겹치는 얼라인먼트 프레임 개구를 포함하는, 증착 마스크 장치.
제11항에 있어서,
상기 제2 프레임 얼라인먼트 구멍은 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하고 있는, 증착 마스크 장치.
제12항에 있어서,
상기 제2 프레임 얼라인먼트 구멍은 상기 제1 프레임면에 대하여 경사져 있는, 증착 마스크 장치.
제8항에 있어서,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍은 상기 제1 방향에 있어서 상기 프레임 개구의 한쪽 측에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제8항에 있어서,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 적어도 한쪽 측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제6 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제1 프레임면과, 상기 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임과,
상기 제1 프레임면에 접합되고, 상기 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크와,
상기 제1 프레임면에 접합되고, 상기 증착 마스크와 제1 방향으로 나열되는 얼라인먼트 마스크를 구비하고,
상기 얼라인먼트 마스크는 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,
상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제1 용접부가 위치하고,
상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 양측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제5 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제16항에 있어서,
상기 얼라인먼트 마스크는 상기 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제2 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍의 각각은, 상기 제2 방향에 있어서, 한쪽의 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍과 다른 쪽의 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍의 사이에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제17항에 있어서,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제3 용접부가 위치하고,
상기 제2 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 양측에, 상기 프레임과 상기 얼라인먼트 마스크를 접합하는 제6 용접부가 위치하고 있는, 증착 마스크 장치.
제1 프레임면과, 상기 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임을 준비하는 준비 공정과,
얼라인먼트 마스크를, 제1 용접부 및 제2 용접부에 의해 상기 제1 프레임면에 접합하는 제1 접합 공정과,
상기 얼라인먼트 마스크와 제1 방향으로 나열되어, 상기 제1 프레임면에, 상기 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 접합하는 제2 접합 공정을 구비하고,
상기 얼라인먼트 마스크는 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,
상기 제1 용접부는 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에 위치하고,
상기 제2 용접부는 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 내측에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제1 프레임면과, 상기 제1 프레임면과는 반대측에 위치하는 제2 프레임면과, 상기 제1 프레임면으로부터 상기 제2 프레임면으로 관통하는 프레임 개구를 포함하는 프레임을 준비하는 준비 공정과,
얼라인먼트 마스크를, 제1 용접부 및 제5 용접부에 의해 상기 제1 프레임면에 접합하는 제1 접합 공정과,
상기 얼라인먼트 마스크와 제1 방향으로 나열되어, 상기 제1 프레임면에, 상기 프레임 개구에 평면으로 보아 겹치는 복수의 관통 구멍을 포함하는 증착 마스크를 접합하는 제2 접합 공정을 구비하고,
상기 얼라인먼트 마스크는 상기 제1 방향에 직교하는 제2 방향에 있어서 서로 다른 위치에 위치함과 함께 상기 프레임에 겹치는 2개의 제1 얼라인먼트 마스크 구멍을 포함하고,
상기 제1 용접부는 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제2 방향에 있어서의 상기 얼라인먼트 마스크의 외측에 위치하고,
상기 제5 용접부는 상기 제1 얼라인먼트 마스크 구멍에 대하여, 상기 제1 방향에 있어서의 양측에 위치하고 있는, 증착 마스크 장치의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 기재된 증착 마스크 장치를 준비하는 장치 준비 공정과,
상기 증착 마스크 장치와 기판의 위치 정렬을 행하는 위치 정렬 공정과,
상기 증착 마스크 장치의 상기 증착 마스크를 기판에 밀착시키는 밀착 공정과,
상기 증착 마스크의 상기 관통 구멍을 통해서 증착 재료를 상기 기판에 증착시켜 증착층을 형성하는 증착 공정을 구비한, 유기 디바이스의 제조 방법.