KR20230113764A - Edge detection method of optical film - Google Patents

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KR20230113764A
KR20230113764A KR1020237020000A KR20237020000A KR20230113764A KR 20230113764 A KR20230113764 A KR 20230113764A KR 1020237020000 A KR1020237020000 A KR 1020237020000A KR 20237020000 A KR20237020000 A KR 20237020000A KR 20230113764 A KR20230113764 A KR 20230113764A
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optical film
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노부히사 우네메
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닛토덴코 가부시키가이샤
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Abstract

직사각형 패널에 접합된 광학 필름의 가장자리부의 확실한 검출을 가능하게 하는 광학 필름 가장자리부의 검출 방법을 제공한다. 검출 방법은, 광학 필름이 적층된 직사각형 패널을 반송하는 반송 스텝과, 직사각형 패널 상의 광학 필름의 가장자리부를 포함하는 대상 영역을 촬영하는 촬영 스텝과, 대상 영역을 복수의 위치에서 촬영함으로써 얻어진 복수의 화상으로부터, 가장자리부를 검출하기 위한 최적 화상을 선택하는 최적 화상 선택 스텝과, 최적 화상에 있어서 가장자리부를 검출하는 가장자리부 검출 스텝을 포함한다. 촬영 스텝에서는, 직사각형 패널의 반송 방향을 따라 배치된 복수의 광원으로부터 광을 순차 조사하고, 1개의 촬상 수단에 의해 반송 방향의 상류측으로부터 하류측에 걸치는 복수의 위치에서 대상 영역을 촬영한다.A method for detecting an edge portion of an optical film capable of reliably detecting an edge portion of an optical film bonded to a rectangular panel is provided. The detection method includes a conveying step for conveying a rectangular panel on which optical films are laminated, a photographing step for photographing a target region including an edge of the optical film on the rectangular panel, and a plurality of images obtained by photographing the target region at a plurality of positions. An optimum image selection step for selecting an optimum image for detecting an edge portion from the image, and an edge detection step for detecting an edge portion in the optimum image. In the photographing step, light is sequentially irradiated from a plurality of light sources disposed along the transport direction of the rectangular panel, and a target region is photographed at a plurality of positions from upstream to downstream in the transport direction by one imaging unit.

Description

광학 필름의 가장자리부 검출 방법Edge detection method of optical film

본 발명은 광학 표시 패널의 검사에 사용되는 광학 필름의 가장자리부를 검출하는 방법에 관한 것이고, 보다 구체적으로는, 직사각형 패널과, 그것에 접합된 광학 필름 간의 접합 어긋남을 검사함에 있어서, 촬영된 복수의 화상으로부터 광학 필름의 가장자리부를 가장 확실하게 검출하는 것이 가능한 최적 화상을 선택하고, 상기 최적 화상을 사용해서 광학 필름의 가장자리부를 검출하는, 광학 필름의 가장자리부 검출 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for detecting an edge portion of an optical film used for inspection of an optical display panel, and more specifically, in inspecting a bonding discrepancy between a rectangular panel and an optical film bonded thereto, a plurality of captured images. A method for detecting the edge of an optical film, wherein an optimal image capable of most reliably detecting the edge of an optical film is selected from the image, and the edge of the optical film is detected using the optimal image.

광학 표시 패널에 있어서는, 광학 기능을 갖는 다양한 광학 필름을 필요에 따라서 직사각형 패널에 접합함으로써 표시 기능을 실현한다. 광학 표시 패널의 제조 공정에서는, 직사각형 패널의 면에 광학 필름을 접합한 후에, 양자의 접합 정밀도를 확인하기 위해서, 직사각형 패널과 광학 필름의 접합 상태의 검사(이른바 접합 어긋남 검사)가 행하여진다. 종래의 접합 어긋남 검사 방법으로서는, 예를 들면 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 기재된 방법이 제안되어 있다.In an optical display panel, a display function is realized by bonding various optical films having optical functions to a rectangular panel as necessary. In the manufacturing process of the optical display panel, after bonding the optical film to the surface of the rectangular panel, inspection of the bonding state of the rectangular panel and the optical film (so-called bonding discrepancy inspection) is performed in order to confirm the bonding accuracy of both. As a conventional joint misalignment inspection method, for example, methods described in Patent Literature 1 and Patent Literature 2 have been proposed.

특허문헌 1에는, 편광판과 액정 패널이 접합된 광학 표시 패널의 코너부를, 코너부의 연직 상방으로부터 촬영 가능하게 배치된 에어리어 카메라나 라인 카메라로 촬상하는 것이 개시되어 있다. 접합의 어긋남량은, 카메라로 촬상된 화상을 사용해서 산출된다. 또한, 특허문헌 2는, 광학 셀에 광학 필름편이 접합된 광학 표시 패널을 반송하면서, 에어리어 센서 카메라를 사용해서 패널의 코너부를 촬상 가능하게 함으로써, 접합 어긋남을 검사하는 방법을 개시한다. 이 방법에 있어서는, 촬영된 화상으로부터 광학 셀의 단부(端部)와 광학 필름편의 단부 간의 거리를 산출하고, 그 거리에 의거해서 접합 어긋남이 판정된다.Patent Literature 1 discloses capturing an image of a corner portion of an optical display panel to which a polarizing plate and a liquid crystal panel are bonded with an area camera or a line camera disposed so that imaging is possible from vertically above the corner portion. The shift amount of bonding is calculated using an image captured by a camera. Further, Patent Literature 2 discloses a method for inspecting a bonding discrepancy by enabling imaging of a corner portion of the panel using an area sensor camera while conveying an optical display panel in which an optical film piece is bonded to an optical cell. In this method, the distance between the end of the optical cell and the end of the optical film piece is calculated from the photographed image, and the bonding shift is determined based on the distance.

일본 특허공개 2011-197281호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-197281 일본 특허공개 2016-118580호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-118580 일본 특허 제4377964호 공보Japanese Patent No. 4377964

특허문헌 1 및 특허문헌 2를 포함하는 종래의 접합 어긋남 검사 방법에서는, 광학 표시 패널에 있어서의 직사각형 패널 및 광학 필름 양쪽의 코너부를 포함하는 일정한 영역(이하, 대상 영역이라고 한다)이 카메라의 촬상 영역에 들어가고, 촬상 포인트에 도달했을 때에 촬영을 행하고 있다. 촬상 포인트는 통상 광학 표시 패널 상의 광학 필름의 가장자리부(통상은 광학 필름의 이동 방향의 최전방의 변)가 카메라의 연직 하방에 도달했을 때의 위치이다. 촬영된 화상에서는, 광학 필름의 가장자리부는, 광원으로부터의 광이 광학 필름의 가장자리부에서 반사되어서 빛나는 선(휘선)으로서 나타나고, 이 반사광을 인식함으로써 화상 내에 있어서의 광학 필름의 가장자리부를 검출할 수 있다. 그렇지만, 직사각형 패널에 접합된 광학 필름의 가장자리부의 상태에 따라서는, 가장자리부가 촬상 포인트에 도달했을 때에 촬영된 화상만으로부터는 가장자리부를 검출하는 것이 어려운 경우가 있다.In the conventional bonding discrepancy inspection method including Patent Document 1 and Patent Document 2, a certain area (hereinafter referred to as a target area) including a corner portion of both a rectangular panel and an optical film in an optical display panel is an imaging area of a camera , and shooting is performed when the imaging point is reached. The imaging point is usually a position when the edge of the optical film on the optical display panel (usually the frontmost side of the moving direction of the optical film) reaches the vertically downward direction of the camera. In the captured image, the edge of the optical film appears as a glowing line (bright line) when light from a light source is reflected by the edge of the optical film, and the edge of the optical film in the image can be detected by recognizing this reflected light. . However, depending on the state of the edge of the optical film bonded to the rectangular panel, it may be difficult to detect the edge only from an image taken when the edge reaches the imaging point.

예를 들면, 촬영된 화상에 있어서의 광학 필름의 단면(端面)이 광원으로부터의 광을 반사하기 어려운 형상으로 되어 있는 경우나, 단면으로부터의 반사광이 카메라에 도달하기 어려운 각도로 되어 있는 경우에는 광학 필름의 가장자리부가 검출하기 어려운 경우가 있다.For example, when the end face of an optical film in a photographed image has a shape that makes it difficult to reflect light from a light source, or when the reflected light from the end face has an angle that makes it difficult to reach the camera, the optical film The edges of the film may be difficult to detect.

본 발명은, 직사각형 패널과 광학 필름의 접합 어긋남 검사를 정확하게 실시할 수 있도록 하는 검사 방법에 사용하기 위해서, 직사각형 패널에 접합된 광학 필름의 가장자리부의 확실한 검출을 가능하게 하는 광학 필름 가장자리부의 검출 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention provides a method for detecting an edge portion of an optical film capable of reliably detecting an edge portion of an optical film bonded to a rectangular panel for use in an inspection method enabling accurate inspection of a bonding discrepancy between a rectangular panel and an optical film. intended to provide

본 발명은 직사각형 패널의 반송 방향의 상류측에 배치된 광원으로부터 광을 조사해서 광학 필름의 가장자리부를 촬영했을 때의 화상과, 반송 방향의 하류측에 배치된 광원으로부터 광을 조사해서 가장자리부를 촬영했을 때의 화상을 비교하면, 가장자리부를 검출하기 쉬운 화상을 얻을 수 있는 조사 방향이 광학 필름의 반송 방향의 위치에 따라 상이하다는 지견에 의거하여, 완성된 것이다.The present invention relates to an image obtained by photographing the edge of an optical film by irradiating light from a light source arranged upstream in the transport direction of a rectangular panel, and photographing the edge portion by irradiating light from a light source disposed downstream in the conveyance direction. It was completed based on the knowledge that the irradiation direction from which an image with easy detection of the edge portion can be obtained by comparing the images at the time of use differs depending on the position in the transport direction of the optical film.

본 발명에서는, 직사각형 패널에 광학 필름이 적층된 광학 표시 패널에 대해서, 직사각형 패널의 코너부와 광학 필름의 코너부를 포함하는 대상 영역의 화상을 복수의 광원으로부터 순차 조사된 광에 의해 복수매 취득하고, 그들 복수매의 화상 중에서 가장 확실하게 광학 필름의 가장자리부를 검출할 수 있는 최적 화상을 선택하고, 그 최적 화상을 사용해서 광학 필름의 가장자리부를 검출한다.In the present invention, with respect to an optical display panel in which an optical film is laminated on a rectangular panel, a plurality of images of a target region including a corner portion of the rectangular panel and a corner portion of the optical film are acquired by light sequentially irradiated from a plurality of light sources. , an optimal image capable of detecting the edge of the optical film most reliably is selected from among these plural images, and the edge of the optical film is detected using the optimal image.

즉, 본 발명은, 직사각형 패널에 적층된 광학 필름의 가장자리부를 검출하는 광학 필름 가장자리부 검출 방법을 제공하는 것이며, 광학 필름이 적층된 직사각형 패널을 반송하는 반송 스텝과, 직사각형 패널 상의 광학 필름의 가장자리부를 포함하는 대상 영역을 촬영하는 촬영 스텝과, 대상 영역을 복수의 위치에서 촬영함으로써 얻어진 복수의 화상으로부터, 가장자리부를 검출하기 위한 최적 화상을 선택하는 최적 화상 선택 스텝과, 최적 화상에 있어서 가장자리부를 검출하는 가장자리부 검출 스텝을 포함한다. 촬영 스텝에서는, 직사각형 패널의 반송 방향을 따라 배치된 복수의 광원으로부터 광을 순차 조사하여, 1개의 촬상 수단에 의해 반송 방향의 상류측으로부터 하류측에 걸치는 복수의 위치에서 대상 영역을 촬영한다. 최적 화상은 화상의 각각에 있어서의 가장자리부의 휘도에 의거해서 선택된다.That is, the present invention provides an optical film edge detecting method for detecting an edge of an optical film laminated on a rectangular panel, a conveyance step for conveying the rectangular panel on which the optical film is laminated, and an edge of the optical film on the rectangular panel. A photographing step for photographing a target region including a region, an optimal image selection step for selecting an optimal image for detecting an edge from a plurality of images obtained by photographing the target region at a plurality of positions, and detecting an edge in the optimal image. It includes an edge detection step to do. In the photographing step, light is sequentially irradiated from a plurality of light sources disposed along the transport direction of the rectangular panel, and a target region is photographed at a plurality of positions from upstream to downstream in the transport direction by one imaging unit. An optimum image is selected based on the luminance of the edge of each image.

일 실시형태에 있어서는, 복수의 광원은, 대상 영역을 촬영하는 촬상 수단에 대하여 반송 방향의 상류측에 배치된 상류측 광원과 하류측에 배치된 하류측 광원을 적어도 포함하는 것이 바람직하다. 촬영 스텝에서는, 가장자리부가 촬상 수단의 연직 하방에 도달했을 때의 위치인 촬상 포인트보다 반송 방향의 상류측에 가장자리부가 있을 때에 상류측 광원으로부터 광을 조사해서 촬영하고, 촬상 포인트보다 반송 방향의 하류측에 가장자리부가 있을 때에 하류측 광원으로부터 광을 조사해서 촬영하는 것이 바람직하다.In one embodiment, it is preferable that the plurality of light sources include at least an upstream light source arranged on an upstream side in the transport direction and a downstream light source arranged on a downstream side with respect to the imaging means for photographing the target region. In the photographing step, when the edge is located upstream in the conveying direction from the imaging point, which is the position when the edge reaches vertically downward of the imaging means, light is irradiated from the upstream light source and photographed, downstream of the imaging point in the conveying direction It is preferable to photograph by irradiating light from a downstream light source when there is an edge portion.

일 실시형태에 있어서는, 최적 화상 선택 스텝에 있어서는, 가장자리부를 따라 설정된 복수 개소의 휘도에 의거해서 최적 화상을 선택하는 것이 바람직하다. 또한, 다른 실시형태에 있어서는, 촬영 스텝에서는, 직사각형 패널을 촬영마다 정지시키면서 복수의 화상을 촬영하는 것이 바람직하고, 직사각형 패널의 폭 방향에 대향해서 배치된 광원으로부터의 광을 추가로 사용해서 복수의 화상을 촬영하는 것이 바람직하다.In one embodiment, in the optimal image selection step, it is preferable to select an optimal image based on the luminance of a plurality of locations set along the edge. Further, in another embodiment, in the photographing step, it is preferable to photograph a plurality of images while stopping the rectangular panel for each photograph, and further use light from light sources arranged to face each other in the width direction of the rectangular panel to capture a plurality of images. It is desirable to take pictures.

본 발명에 의하면, 직사각형 패널에 접합된 광학 필름의 단부를 포함하는 소정의 영역을 촬영한 복수의 화상으로부터 광학 필름의 가장자리부의 휘선을 확실하게 검출할 수 있는 최적 화상을 선택하기 때문에, 그 화상을 사용하여, 보다 용이하고 또한 고정밀도로 광학 필름의 접합 어긋남을 검사할 수 있다.According to the present invention, since an optimal image capable of reliably detecting bright lines at the edges of an optical film is selected from a plurality of images obtained by photographing a predetermined area including an end portion of an optical film bonded to a rectangular panel, the image It is possible to inspect the bonding shift of the optical film more easily and with high accuracy by using.

도 1은 액정 패널 제조에 있어서 사용되는, 액정 셀에 접합된 편광 필름의 가장자리부를 검출하기 위한 가장자리부 검출 장치의 구성을 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 의한 광학 필름 가장자리부 검출 방법에 있어서, 촬영된 복수의 화상으로부터 최적 화상을 선택하는 처리의 흐름을 나타내는 플로우이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 의한 방법에 있어서, 점수화를 행하는 처리의 상세를 나타내는 플로우이다.
도 4는 점수화 처리의 공정을 나타내는 화상이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic diagram which shows the structure of the edge part detection apparatus for detecting the edge part of the polarizing film bonded to the liquid crystal cell used in liquid crystal panel manufacture.
Fig. 2 is a flow showing the flow of processing for selecting an optimal image from a plurality of captured images in the method for detecting an edge portion of an optical film according to an embodiment of the present invention.
3 is a flow showing details of processing for scoring in a method according to an embodiment of the present invention.
4 is an image showing the process of scoring processing.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail, referring drawings.

이하의 설명에 있어서는, 광학 필름으로서 편광 필름이 사용되고, 직사각형 패널로서 액정 셀이 사용되고, 직사각형 패널에 광학 필름이 접합된 광학 표시 패널이 액정 패널인 경우를 예로서 설명하지만, 이들에 한정되는 것이 아니고, 본 발명은, 광학 기능을 갖는 필름을 직사각형 패널에 접합함으로써 제조되는 다양한 광학 표시 패널의 검사에 있어서 동일하게 사용할 수 있다.In the following description, the case where a polarizing film is used as an optical film, a liquid crystal cell is used as a rectangular panel, and an optical display panel in which an optical film is bonded to a rectangular panel is a liquid crystal panel is described as an example, but it is not limited to these. , The present invention can be equally used in inspection of various optical display panels manufactured by bonding a film having an optical function to a rectangular panel.

[액정 패널 제조 장치 및 편광 필름 가장자리부 검출 장치의 개요][Overview of Liquid Crystal Panel Manufacturing Equipment and Polarizing Film Edge Detection Equipment]

본 발명에 의한 필름 가장자리부 검출 방법은, 예를 들면 롤로부터 조출된 편광 필름을 연속적으로 액정 셀에 접합함으로써 액정 패널을 제조하는 장치(RTP 방식의 장치)에 있어서, 제조된 액정 패널에 대해서, 편광 필름이 미리 정해진 접합 위치로부터 어긋난 상태에서 액정 셀의 면에 접합되어 있는 것(이하, 접합 어긋남이라고 한다)을 검사하기 위해서, 편광 필름의 가장자리부를 검출할 목적으로 사용할 수 있다. RTP 방식은, 액정 패널의 제조 공정에 있어서, 띠 형상의 이형 필름 상에 점착제층을 개재해서 복수의 시트 형상 편광 필름이 지지된 띠 형상 적층체로부터, 결점이 존재하지 않는 정상인 시트 형상 편광 필름만을 점착제층과 함께 이형 필름으로부터 순차 박리하고, 점착제층을 개재해서 액정 셀과 접합함으로써, 액정 패널을 연속적으로 제조하는 방식이다. 이러한 방식을 실현하는 연속 제조 시스템은, 미리 잘린 편광 필름의 시트를 액정 셀에 접합하는 종래의 개별 접합 방식을 실현하는 장치와 구별하여 「연속 접합(RTP; 롤 투 패널)」 장치라고 일컬어진다. RTP 방식의 장치로서, 예를 들면 특허문헌 3에 기재된 장치를 사용할 수 있다.The film edge detection method according to the present invention, for example, in an apparatus (RTP system apparatus) for manufacturing a liquid crystal panel by continuously bonding a polarizing film drawn out from a roll to a liquid crystal cell, for the manufactured liquid crystal panel, It can be used for the purpose of detecting the edge of a polarizing film in order to inspect that a polarizing film is bonded to the surface of a liquid crystal cell in a state where it is shifted from a predetermined bonding position (hereinafter referred to as bonding displacement). In the RTP method, in the manufacturing process of a liquid crystal panel, only a normal sheet-shaped polarizing film free of defects is obtained from a strip-shaped laminate in which a plurality of sheet-shaped polarizing films are supported on a strip-shaped release film through an adhesive layer. It is a system which manufactures a liquid crystal panel continuously by peeling one by one from a release film with an adhesive layer, and bonding together with a liquid crystal cell through an adhesive layer. A continuous manufacturing system realizing this method is called a "continuous bonding (RTP; roll-to-panel)" device to distinguish it from a device realizing a conventional individual bonding method in which pre-cut sheets of polarizing film are bonded to a liquid crystal cell. As the device of the RTP system, for example, the device described in Patent Literature 3 can be used.

도 1은, 액정 셀에 접합된 편광 필름의 가장자리부를 검출하기 위한 편광 필름 가장자리부 검출 장치의 구성의 일례를 나타내는 모식도이다. 이 장치는, 예를 들면 상술한 RTP 방식에 의한 제조의 액정 셀 편광 필름을 접합한 후의 공정에 있어서의 검사 공정에 사용되는 장치의 일부로서 장착할 수 있다.1 : is a schematic diagram which shows an example of the structure of the polarizing film edge part detection apparatus for detecting the edge part of the polarizing film bonded to the liquid crystal cell. This device can be attached as a part of the device used for the inspection process in the process after bonding the liquid crystal cell polarizing film manufactured by the above-mentioned RTP method, for example.

도 1에 나타내어지는 장치는, 액정 셀(C)에 편광 필름(F)을 접합해서 제조된 액정 패널(P)을 반송하는 반송로(1)와, 반송로(1)의 상방에 배치된 조명(2)과, 조명(2)의 상방에 배치된 카메라(3)를 구비한다. 반송로(1)에 의해 반송되고 있는 액정 패널(P)의 대상 영역(A)이 카메라(3)의 촬영 범위 내에 있을 때에, 액정 패널(P)의 반송 방향(D)의 상류측으로부터 하류측에 걸쳐서 조명(2)이 복수회 점등되고, 카메라(3)에 의해 대상 영역(A)의 복수의 화상 Is가 촬영된다. 대상 영역(A)은, 액정 셀(C)과 편광 필름(F)의 접합 어긋남의 검사를 행하기 위한 영역이며, 통상 액정 셀(C)의 가장자리부(CE)와 코너부(CC)를 포함하는 영역, 및 액정 셀(C)에 접합된 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)(이것이 검출되어야 하는 가장자리부이다) 및 코너부(FC)를 포함하는 영역이지만, 이것에 한정되는 것이 아니고, 적어도 가장자리부(CE) 및 가장자리부(FE)를 포함하는 영역이면 좋다. 대상 영역(A)이 복수의 위치에서 촬영된 복수의 화상 Is는, 범용적인 컴퓨터로 송신되고, 컴퓨터에서는, 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)를 검출하기 위한 최적 화상이 선택되고, 선택된 최적 화상을 사용해서 가장자리부(FE)가 검출된다.The apparatus shown in FIG. 1 has a transport path 1 that transports a liquid crystal panel P manufactured by bonding a polarizing film F to a liquid crystal cell C, and lighting disposed above the transport path 1. (2) and a camera (3) disposed above the illumination (2). When the target region A of the liquid crystal panel P being conveyed by the conveyance path 1 is within the shooting range of the camera 3, from the upstream side to the downstream side of the conveyance direction D of the liquid crystal panel P Over the period, the illumination 2 is turned on a plurality of times, and a plurality of images Is of the target region A are photographed by the camera 3 . The target area A is an area for inspecting the bonding misalignment between the liquid crystal cell C and the polarizing film F, and usually includes the edge portion CE and the corner portion CC of the liquid crystal cell C. , and an area including the edge portion FE (this is the edge portion to be detected) and the corner portion FC of the polarizing film F bonded to the liquid crystal cell C, but is not limited thereto. . , a region including at least the edge portion CE and the edge portion FE. A plurality of images Is in which the target region A is photographed at a plurality of positions are transmitted to a general-purpose computer, and an optimal image for detecting the edge portion FE of the polarizing film F is selected in the computer, and the selected The edge portion FE is detected using the optimal image.

대상 영역(A)에 대하여 상이한 방향으로부터 광이 조사되도록, 반송 방향(D)을 따라 배치된 복수의 조명(2)을 사용하는 것이 바람직하다. 대상 영역(A)이 반송 방향(D)의 상류측으로부터 하류측까지 이동하는 동안의 복수의 위치에서, 복수의 조명(2)이 순차 점등된다. 복수의 조명(2)은, 적어도 액정 패널(P)의 반송 방향(D)의 상류측 및 하류측에 각각 배치되는 것이 바람직하지만(도 1의 조명(21, 22)), 이에 추가해서, 반송 방향(D)을 횡단하는 방향(액정 패널(P)의 폭 방향)으로도 배치되는 것이 바람직하다(도 1의 조명(23, 24)). 액정 패널(P)의 폭 방향으로도 조명(2)을 배치함으로써, 편광 필름(F)의 폭 방향의 가장자리부(FS)도 보다 확실하게 검출할 수 있기 때문에, 보다 고정밀도의 접합 어긋남 검사를 행할 수 있다. 또한, 조명(2)으로서, 예를 들면 복수의 광원이 원환 형상으로 배치되고, 그들 복수의 광원을 개별적으로 순차 점등시킬 수 있는 1개의 링 조명을 사용해도 좋다. 이러한 링 조명을 사용한 경우에는, 원둘레 방향의 복수의 개소에 있어서 각각 개별적으로 광원을 점등시키는 것에 의해, 대상 영역(A)에 대하여 상이한 복수의 방향으로부터 광을 조사할 수 있다.It is preferable to use a plurality of lights 2 disposed along the conveying direction D so that the light is irradiated from different directions with respect to the target area A. At a plurality of positions while the target area A moves from the upstream side to the downstream side in the conveying direction D, a plurality of lights 2 are sequentially lit. It is preferable that the plurality of lights 2 are respectively arranged on the upstream and downstream sides of the conveyance direction D of liquid crystal panel P (lights 21 and 22 in FIG. 1 ), but in addition to this, conveyance It is preferable to arrange also in the direction transverse to the direction D (the width direction of the liquid crystal panel P) (illumination 23, 24 of FIG. 1). By arranging the illumination 2 also in the width direction of the liquid crystal panel P, since the edge FS of the polarizing film F in the width direction can also be detected more reliably, a more precise bonding discrepancy test can be performed. can do Further, as the lighting 2, a plurality of light sources may be arranged in an annular shape, and one ring light capable of individually and sequentially lighting the plurality of light sources may be used, for example. In the case of using such ring illumination, light can be radiated to the target area A from a plurality of different directions by individually turning on the light sources at a plurality of locations in the circumferential direction.

본 발명에 있어서 사용되는 카메라(3)는, 목적에 따라서 라인 카메라, 에어리어 카메라 등을 사용할 수 있다. 예를 들면, 액정 패널(P)을 이동시키면서 대상 영역(A)의 촬영을 행하는 경우에는, 라인 카메라를 사용하는 것이 바람직하다. 라인 카메라를 사용하는 경우에는, 액정 패널(P)을 정지시킨 상태에서 라인 카메라를 이동시키면서 대상 영역(A)을 촬영하도록 해도 좋다. 액정 패널(P)을 이동시키면서 대상 영역(A)의 촬영을 행하는 방법으로서, 에어리어 카메라를 사용하고, 셔터 속도를 액정 패널(P)의 이동 속도보다 충분히 빠르게 해서 촬영할 수도 있다. 에어리어 카메라는, 대상 영역(A)을 촬영할 때에 액정 패널(P)을 정지시키는 경우에도 사용할 수 있다.As the camera 3 used in the present invention, a line camera, an area camera, or the like can be used depending on the purpose. For example, when photographing the target area A while moving the liquid crystal panel P, it is preferable to use a line camera. In the case of using a line camera, the target region A may be photographed while the line camera is moved in a state where the liquid crystal panel P is stopped. As a method of photographing the target region A while moving the liquid crystal panel P, an area camera may be used and the photographing may be performed with the shutter speed sufficiently higher than the moving speed of the liquid crystal panel P. The area camera can also be used when the liquid crystal panel P is stopped when photographing the target area A.

이하의 본 실시형태에 있어서는, 대상 영역(A)에 대하여 액정 패널(P)의 반송 방향(D)의 상류측 및 하류측의 각각에 1개씩의 조명(21, 22)이 배치되고, 액정 패널(P)의 폭 방향의 각각에 1개씩의 조명(23, 24)이 배치된 구성을 이용하여, 복수의 화상 Is를 1개의 카메라(3)로 촬영하고, 그들 화상 Is로부터 액정 필름(F)의 가장자리부(FE)를 검출하기 위한 최적 화상 Ib를 선택한다. 이하에 있어서는, 액정 패널(P)의 반송면으로부터의 높이가 일정하고 또한 조사 방향이 상이하도록 액정 패널(P)의 반송 방향 D를 따라 배치된 4개의 조명(21~24)으로부터의 광을 사용하고, 가장자리부(FE)가 반송 방향 D의 상류측으로부터 하류측까지 이동하는 동안에 조명을 순차 점등시켜서 촬영을 행하는 방법을 실시형태로 해서, 본 발명을 설명한다.In this embodiment below, one illumination 21, 22 is disposed on each of the upstream and downstream sides of the conveyance direction D of the liquid crystal panel P with respect to the target region A, and the liquid crystal panel A plurality of images Is are photographed with one camera 3 using a configuration in which one light 23, 24 is disposed in each of the width directions of (P), and a liquid crystal film F is formed from those images Is. An optimal image Ib for detecting the edge portion FE of is selected. In the following, the light from the four illuminations 21-24 arrange|positioned along the conveyance direction D of liquid crystal panel P so that the height from the conveyance surface of liquid crystal panel P is constant and the irradiation direction differs is used. And, while the edge part FE moves from the upstream side to the downstream side in the conveyance direction D, the present invention is described by taking a method of photographing by sequentially turning on lighting as an embodiment.

[편광 필름 가장자리부의 검출][Detection of Polarizing Film Edge]

(액정 패널의 반송 및 촬영)(Conveyance and shooting of the liquid crystal panel)

도 1에 나타내어지는 장치에 있어서는, 액정 셀(C)의 가장자리부(CE) 및 코너부(CC)와 편광 필름(F)의 가장자리부(FE) 및 코너부(FC)를 모두 포함하는 대상 영역(A)에 대해서 복수의 화상 Is가 촬영된다. 대상 영역(A)을 촬영할 수 있도록 배치된 카메라(3)가, 복수의 조명(21, 22)의 점등 타이밍에 맞춰, 대상 영역(A)이 카메라(3)의 촬영 범위 내에 들어가고 나서 나올 때까지의 동안에 복수의 화상 Is를 취득한다. 구체적으로는, 대상 영역(A)이 카메라(3)의 촬영 범위 내에 들어가고 나서 나올 때까지의 동안에, 복수의 소정 위치에서 액정 패널(P)의 반송의 정지 및 촬영을 행함으로써 복수의 화상 Is를 취득한다. 소정 위치는, 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)가 촬상 포인트에 대하여 반송 방향 D의 상류측에 있을 때, 촬상 포인트 혹은 그 근방에 있을 때, 또는 촬상 포인트에 대하여 반송 방향 D의 하류측에 있을 때 등으로 할 수 있다. 촬영은, 예를 들면 가장자리부(FE)가 촬상 포인트에 대하여 반송 방향 D의 상류측에 있을 때에 상류측의 조명(21)을 점등시키고, 촬상 포인트에 있을 때에 상류측의 조명(21) 및 하류측의 조명(22)을 순차 점등시키고, 촬상 포인트에 대하여 반송 방향 D의 하류측에 있을 때에 하류측의 조명(22)을 점등시킴으로써 행하여진다. 취득하는 화상 Is의 매수는 한정되는 것이 아니고, 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)를 검출함에 있어서 필요한 정밀도와, 가장자리부(FE)를 검출하기 위한 최적 화상을 선택하는 처리의 속도를 감안하여, 결정할 수 있다.In the device shown in FIG. 1 , the target region includes both the edge portion CE and the corner portion CC of the liquid crystal cell C and the edge portion FE and corner portion FC of the polarizing film F. For (A), a plurality of images Is are photographed. The camera 3 arranged so as to be able to photograph the target area A matches the lighting timing of the plurality of lights 21 and 22, until the target area A enters the shooting range of the camera 3 and then comes out. A plurality of images Is are acquired during Specifically, during the period from when the target region A enters the shooting range of the camera 3 to when it leaves, a plurality of images Is are obtained by stopping conveyance and shooting of the liquid crystal panel P at a plurality of predetermined positions. Acquire The predetermined position is when the edge portion FE of the polarizing film F is on the upstream side in the transport direction D with respect to the imaging point, when it is at or in the vicinity of the imaging point, or on the downstream side in the transport direction D with respect to the imaging point. You can do it when you are in . Shooting is, for example, when the edge FE is on the upstream side of the conveyance direction D with respect to the imaging point, the upstream lighting 21 is turned on, and when there is an imaging point, the upstream lighting 21 and the downstream This is performed by sequentially lighting the lighting 22 on the side and lighting the lighting 22 on the downstream side when it is on the downstream side of the transport direction D with respect to the imaging point. The number of acquired images Is is not limited, and the accuracy necessary for detecting the edge FE of the polarizing film F and the speed of processing for selecting the optimum image for detecting the edge FE are taken into consideration. So, you can decide.

복수의 화상 Is의 촬영은, 상술한 바와 같이 상류측으로부터 하류측으로 이동하는 액정 패널(P)을 촬영마다 정지시킴으로써 행하여지는 것이 바람직하지만, 이것에 한정되는 것이 아니고, 촬영 범위의 상류측으로부터 하류측에 걸쳐서 액정 패널(P)을 이동시키면서 순차 행하여지도록 해도 좋다. 액정 패널(P)을 이동시키면서 촬영하는 경우, 복수의 화상 Is는 대상 영역(A)이 카메라(3)의 시야에 들어가고 나서 나올 때까지, 조명(21) 및 조명(22)의 각각의 점등 타이밍에 맞춰서 카메라(3)의 셔터를 개방해서 화상을 촬영함으로써 취득할 수 있다. 또는, 복수의 화상 Is는, 대상 영역(A)이 카메라(3)의 시야에 들어가고 나서 나올 때까지 카메라(3)의 셔터를 개방해서 촬영을 연속적으로 행하고, 그 동안에 조명(21) 및 조명(22)의 각각을 순차 점등시킴으로써 취득하도록 해도 좋다. 취득된 복수의 화상 Is는, 카메라(3)로부터, 예를 들면 도시되지 않은 범용의 컴퓨터로 유선 또는 무선을 통해서 송신되고, 하드 디스크 등의 기억부에 저장된다.Shooting of the plurality of images Is is preferably performed by stopping the liquid crystal panel P moving from the upstream side to the downstream side for each shooting as described above, but it is not limited to this, and is performed from the upstream side to the downstream side of the shooting range. You may make it perform sequentially, moving liquid crystal panel P across. In the case of photographing while moving the liquid crystal panel P, a plurality of images Is are each of the lighting timings of the lighting 21 and the lighting 22 from when the target area A enters the field of view of the camera 3 until it comes out. It can be acquired by opening the shutter of the camera 3 and photographing an image in accordance with . Alternatively, the plurality of images Is are photographed continuously by opening the shutter of the camera 3 until the target region A enters the field of view of the camera 3 and then comes out, and during that time, the illumination 21 and the illumination ( 22) may be acquired by sequentially lighting each. A plurality of acquired images Is are transmitted from the camera 3 to, for example, a general-purpose computer (not shown) via wire or wireless, and are stored in a storage unit such as a hard disk.

(최적 화상의 선택)(Selection of optimal image)

취득된 복수매의 화상 Is는 기억부로부터 인출되고, 그들 화상 Is로부터 최적 화상 Ib가 선택된다. 최적 화상 Ib는 복수의 화상 Is 중 액정 셀(C)에 접합된 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)를 가장 확실하게 검출할 수 있는 화상이다. 최적 화상의 선택은, 촬영된 복수의 화상 Is의 각각에 대해서, 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)의 휘도를 측정하고, 휘도에 의거해서 평가점을 구하고, 구해진 평가점을 화상 간에서 비교하고, 평가점이 가장 높은 화상을, 가장자리부(FE)를 가장 확실하게 검출할 수 있는 최적 화상 Ib로서 선택한다.A plurality of acquired images Is are retrieved from the storage unit, and an optimum image Ib is selected from the images Is. Optimum image Ib is an image which can most reliably detect edge part FE of polarizing film F bonded to liquid crystal cell C among several image Is. Selection of the optimal image measures the luminance of the edge portion FE of the polarizing film F for each of a plurality of images Is photographed, obtains an evaluation point based on the luminance, and calculates the obtained evaluation point between images Comparison is made, and the image with the highest evaluation point is selected as the optimum image Ib in which the edge portion FE can be most reliably detected.

도 2는, 복수의 화상 Is로부터 최적 화상 Ib를 선택하는 처리 전체의 흐름을 나타내는 플로우(200)이다. 또한, 도 3은, 복수의 화상 Is를 평가하기 위한 평가점을 구하는 점수화 공정의 구체적인 처리의 일례를 나타내는 플로우이며, 도 4는, 점수화 공정의 처리의 일례를 나타내는 화상이다. 이하, 도 2∼도 4를 참조하면서, 최적 화상 Ib를 선택하는 방법을 구체적으로 설명한다. 또한, 도 2∼도 4에 나타내어지는 최적 화상 선택 처리의 내용은 일례에 지나지 않고, 광학 표시 패널의 종류에 따라서 다른 처리도 채용할 수 있다.2 is a flow 200 showing the flow of the entire process of selecting the optimal image Ib from a plurality of images Is. 3 is a flow showing an example of specific processing of a scoring process for obtaining evaluation points for evaluating a plurality of images Is, and FIG. 4 is an image showing an example of processing in the scoring process. Hereinafter, the method for selecting the optimum image Ib will be described in detail with reference to FIGS. 2 to 4 . In addition, the content of the optimal image selection processing shown in Figs. 2 to 4 is only an example, and other processing may be employed depending on the type of optical display panel.

먼저, 플로우(200)의 s201에 있어서, 액정 패널(P)이 반송 방향 D의 상류측으로부터 하류측으로 반송되는 동안에, 복수의 화상 Is가 얻어진다. 다음에, s202에 있어서, 복수의 화상 Is의 각각에 대해서, 필름 가장자리부의 휘도가 측정되고, 휘도에 의거해서 화상 Is의 각각의 평가점을 구한다. 다음에, s203에 있어서, 복수의 화상 Is 간에서 평가점을 비교하고, 평가점이 가장 높은 화상을, 가장자리부(FE)를 가장 확실하게 검출할 수 있는 최적 화상 Ib로서 선택한다.First, in s201 of the flow 200, a plurality of images Is are obtained while liquid crystal panel P is conveyed from the upstream side to the downstream side in the conveying direction D. Next, in s202, the luminance of the edge portion of the film is measured for each of the plurality of images Is, and an evaluation point for each image Is is obtained based on the luminance. Next, in s203, evaluation points are compared among a plurality of images Is, and an image having the highest evaluation point is selected as the optimum image Ib in which the edge FE can be most reliably detected.

다음에, 플로우(200)에 있어서의 각 처리를 구체적으로 설명한다.Next, each process in the flow 200 will be described in detail.

플로우(200)의 s201에 기재된 화상의 취득은, 액정 패널의 촬영의 항목에 있어서 상술한 바와 같다. 다음에, 플로우(200)의 s202에 나타내어지는 바와 같이, 얻어진 복수의 화상 Is의 각각에 대해서, 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)의 확실한 검출의 가능성을 평가하는 평가점을 구한다. 구체적으로는, 복수의 화상 Is의 각각에 대해서 가장자리부(FE)를 포함하는 복수의 개소에서 휘도를 측정하고, 복수 개소의 휘도를 점수화하여, 예를 들면 합계값, 평균값, 최대값 등을 구하고, 이들 값을 평가점으로 한다. 복수의 화상 Is 중, 이 평가점이 가장 높은 화상이 가장자리부(FE)를 가장 확실하게 검출할 수 있는 최적 화상 Ib가 된다.Acquisition of the image described in s201 of flow 200 is the same as described above in the item of imaging of the liquid crystal panel. Next, as shown in s202 of the flow 200, an evaluation point for evaluating the possibility of reliably detecting the edge portion FE of the polarizing film F is obtained for each of the obtained plurality of images Is. Specifically, for each of the plurality of images Is, the luminance is measured at a plurality of locations including the edge portion FE, the luminance at the plurality of locations is scored, and, for example, the total value, average value, maximum value, etc. are obtained. , these values are used as evaluation points. Among the plurality of images Is, the image with the highest evaluation point becomes the optimum image Ib capable of most reliably detecting the edge portion FE.

도 3은, 복수의 화상 Is의 각각에 대해서 평가점을 구하고, 최적 화상을 선택함과 아울러, 화상 Is의 각각에 있어서 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)의 위치를 정하는 처리의 일례의 상세를 나타내는 플로우(300)이다. 먼저, s301에 있어서, 편광 필름 가장자리부가 존재한다고 상정되는 위치와 그 주변을 포함하는 복수개의 소영역(도 4(a)에 나타내어지는 사각형(SR1))을, 편광 필름 가장자리부의 길이 방향을 따라 설정한다. 복수개의 소영역은, 액정 셀(C)에 형성된 얼라인먼트 마크를 판독하고, 얼라인먼트 마크의 위치에 의거하여, 액정 패널(C)에 편광 필름(F)이 어긋나지 않고 규정대로 접합되었을 때의 위치를 계산하고, 그렇게 해서 계산된 상기 위치로 설정된다. 소영역의 사이즈에 대해서, 한정되는 것은 아니지만, 편광 필름 가장자리부를 횡단하는 방향의 소영역의 길이는, 만일 편광 필름(F)이 어긋나서 액정 패널(C)에 접합되었다고 해도, 가장자리부가 소영역 내에 들어가는 길이로 설정되는 것이 바람직하다. 또한, 편광 필름 가장자리부의 길이 방향을 따른 소영역의 길이는, 가장자리부의 검출 정밀도와 처리 속도를 고려해서 적절히 설정되는 것이 바람직하다. 소영역의 개수는 한정되는 것이 아니고, 가장자리부의 검출 정밀도와 처리 속도를 고려해서 설정되는 것이 바람직하다. 복수의 소영역에 있어서, 휘도가 측정되고, 그래프화된다. 그래프는, 도 4(b)에 나타내어지는 바와 같이, 소영역의 단부로부터 액정 패널(P)의 내측을 향하는 방향의 거리와 휘도의 관계로서 나타낼 수 있다.Fig. 3 shows an example of a process of obtaining an evaluation point for each of a plurality of images Is, selecting an optimal image, and determining the position of the edge FE of the polarizing film F in each of the images Is. It is flow 300 showing details. First, in s301, a plurality of small regions (squares SR1 shown in Fig. 4(a)) including a position where the edge of the polarizing film is assumed to exist and its periphery are set along the longitudinal direction of the edge of the polarizing film do. The plurality of small regions reads the alignment mark formed on the liquid crystal cell C, and calculates the position when the polarizing film F is bonded to the liquid crystal panel C as prescribed without shifting based on the position of the alignment mark. and is thus set to the calculated position. The size of the small region is not limited, but the length of the small region in the direction crossing the edge of the polarizing film is within the small region even if the polarizing film F is shifted and bonded to the liquid crystal panel C. It is desirable to set the entry length. In addition, the length of the small region along the longitudinal direction of the edge of the polarizing film is preferably set appropriately in consideration of the detection accuracy and processing speed of the edge. The number of small regions is not limited, and is preferably set in consideration of the detection accuracy and processing speed of the edge portion. In a plurality of small regions, luminance is measured and graphed. As shown in Fig. 4(b), the graph can be expressed as a relationship between the distance and luminance in the direction from the end of the small region toward the inside of the liquid crystal panel P.

이어서, s302에서, 복수의 소영역의 각각에 대해서 생성된 각 그래프에 대해서, 그래프로서 나타내어진 선과 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)의 유무를 판정하는 소정의 역치(TH)의 교점이 탐색된다. 역치(TH)로서 채용되는 휘도는, 그 휘도 이상이면 화상에 있어서 가장자리부(FE)를 확실하게 검출할 수 있고, 또한 가장자리부(FE) 이외를 나타내는 다른 휘선의 최대 휘도(OBmax)보다 크다고 상정된 수치로 할 수 있다. 화상에 나타내어지는 가장자리부(FE)의 휘선은 폭을 가지기 때문에, 그래프와 역치(TH)의 교점은 통상 2개 존재한다. 2개의 교점 중, 액정 패널(P)의 내측 방향에 상당하는 교점의 위치(CP1)가, 가장자리부(FE)를 나타내는 휘선의 내측 에지의 위치라고 된다. 이렇게 하여 인식된 각각의 소영역의 내측 에지의 위치를 연결하면, 연결한 직선이, 가장자리부(FE)를 나타내는 휘선의 내측 에지이며(s303), 이 위치가 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)를 나타내는 휘선의 위치가 된다.Subsequently, in s302, for each graph generated for each of the plurality of small regions, the intersection of the line represented by the graph and the predetermined threshold value TH for determining the presence or absence of the edge portion FE of the polarizing film F is are explored It is assumed that the luminance employed as the threshold value TH is higher than the maximum luminance OBmax of other bright lines indicating edges other than the edge FE and that the edge FE in the image can be reliably detected if the luminance is equal to or greater than the luminance. can be done with a numerical value. Since the bright line of the edge portion FE shown in the image has a width, there are normally two intersections between the graph and the threshold value TH. Among the two intersections, the position CP1 of the intersection corresponding to the inner direction of liquid crystal panel P is the position of the inner edge of the bright line representing the edge FE. When the position of the inner edge of each recognized small region is connected in this way, the connected straight line is the inner edge of the bright line representing the edge portion FE (s303), and this position is the edge portion of the polarizing film F ( FE) becomes the position of the bright line.

한편, s304에 있어서, 복수의 소영역의 각각에 대해서, 소영역 내의 가장자리부(FE)를 나타내는 휘선의 최대 휘도(Bmax)를 점수화한다. 점수화는, 예를 들면, 카메라(3)의 수광 소자가 받아들일 수 있는 최대 입사 에너지량에 대응하는 휘도를 100이라고 했을 때의 상대적인 휘도로서 나타낼 수 있다. 또는, 측정된 최대 휘도( Bmax) 그 자체를 그 소영역의 점수로 할 수도 있다. 휘도의 점수화에 의해, 소영역의 점수는, 예를 들면 82점, 85점, 90점 ···등으로서 나타내어진다. 복수의 소영역의 각각에 대해서 점수가 산출된 후, s305에 있어서, 예를 들면 모든 소영역의 점수를 합계하고, 그 합계값을 그 화상의 평가점으로 한다. 또한, 화상의 평가점은, 화상 간에 있어서의 가장자리부(FE)의 검출 확실성을 판단할 수 있는 것이면, 소영역의 점수의 합계값인 것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 화상의 평가점은, 복수의 소영역의 점수의 평균점이나, 어떤 특정한 점수 이상의 점수가 된 소영역의 수 등으로 해도 좋다. 복수의 화상 Is의 각각에 대해서 이렇게 평가점을 구하고, 평가점이 가장 높은 화상을 최적 화상 Ib로 한다.On the other hand, in s304, for each of the plurality of small regions, the maximum luminance Bmax of the bright line representing the edge FE in the small region is scored. Scoring can be expressed as a relative luminance when 100 is the luminance corresponding to the maximum amount of incident energy that the light receiving element of the camera 3 can accept, for example. Alternatively, the measured maximum luminance (Bmax) itself may be used as the score of the small region. By scoring the luminance, the score of the small area is expressed as, for example, 82 points, 85 points, 90 points... and the like. After scores are calculated for each of the plurality of small regions, in S305, for example, the scores of all the small regions are summed, and the total value is used as the evaluation point of the image. In addition, the evaluation point of an image is not limited to the total value of the score of a small area, as long as it can judge the detection certainty of the edge part FE in between images. For example, the evaluation point of the image may be an average score of a plurality of small areas, or the number of small areas with a score equal to or higher than a certain specific score. Evaluation points are obtained in this way for each of a plurality of images Is, and the image with the highest evaluation point is set as the optimum image Ib.

구체적인 예를 들면, 예를 들면 촬영된 2매의 화상 A 및 화상 B에 대해서, 가장자리부(FE)를 따라 10개의 소영역을 설정하고, 각 소영역의 휘도를 측정한다. 화상 A의 각각의 소영역의 점수를 합계한 값이 800점이며, 화상 B의 각각의 소영역의 점수를 합계한 값이 700점이었던 경우에는, 평가점이 높은 화상 A가 보다 확실하게 편광 필름 가장자리부의 검출이 가능해지는 최적 화상 Ib라고 판단된다. 또한, 이 화상 A에 있어서의 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)의 내측 에지는 10개의 소영역에 있어서의 내측 에지를 연결한 직선이다.As a specific example, 10 small areas are set along the edge FE for two images A and B taken, for example, and the luminance of each small area is measured. When the sum of the points of each small region of image A is 800 points and the sum of the points of each small region of image B is 700 points, the image A with the high evaluation score is more reliably the edge of the polarizing film. It is determined to be the optimum image Ib in which negative detection is possible. In addition, the inner edge of the edge part FE of the polarizing film F in this image A is the straight line which connected the inner edges in 10 small areas.

평가점 및 편광 필름 가장자리부 위치를 구하는 처리(처리 플로우(200)의 s202, 처리 플로우(300)의 s301∼305)에 있어서 생성된 데이터는, 예를 들면 통신 회선을 통해서, 하드 디스크(도시 생략) 등의 기억부에 기억해 둔다. 기억된 데이터는, 필요에 따라서 기억부로부터 판독 출력되고, 후의 공정, 예를 들면 접합 어긋남량을 구하는 처리 등에 사용할 수 있다.The data generated in the process for obtaining the evaluation point and the polarizing film edge position (s202 in the process flow 200 and s301 to 305 in the process flow 300) is, for example, via a communication line, a hard disk (not shown) ), etc., stored in the storage unit. The stored data is read out from the storage unit as needed, and can be used in a later process, for example, a process for determining the amount of joint misalignment.

이상과 같이 해서, 촬영된 복수의 화상 Is로부터, 액정 셀(C)에 접합된 편광 필름(F)의 가장자리부(FE)를 보다 정확하게 검출할 수 있는 최적 화상 Ib가 선택된다. 선택된 최적 화상 Ib를 사용해서 가장자리부(FE)가 검출되고, 예를 들면 검출된 가장자리부(FE)의 위치와 액정 셀(C)의 가장자리부(CE)의 위치의 관계로부터, 당업자에게 주지의 방법을 이용해서 편광 필름(FE)의 접합 어긋남량을 구할 수 있다.In the above way, the optimal image Ib which can more accurately detect the edge part FE of the polarizing film F bonded to the liquid crystal cell C is selected from several image Is image|photographed. The edge FE is detected using the selected optimal image Ib, and is known to those skilled in the art from the relationship between the position of the edge FE detected and the position of the edge CE of the liquid crystal cell C, for example. The bonding shift amount of polarizing film FE can be calculated|required using the method.

선택된 최적 화상 Ib에 있어서의 가장자리부(FE) 및 그 위치로서, 최적 화상 Ib로서 선택된 화상에 있어서 최적 화상 Ib를 선택하는 처리의 과정에서 검출된 가장자리부 및 그 위치를 그대로 사용할 수 있다. 다른 방법으로서, 선택된 최적 화상 Ib에, 최적 화상 Ib를 선택하기 위해서 복수의 화상 Is의 각각에 대하여 행하여진 내측 에지 위치의 검출 처리(플로우(300)의 s301∼s303)와 동일한 처리를 재차 행하고, 최종적으로 검출된 가장자리부(FE) 및 그 위치를, 접합 어긋남량을 구하기 위한 가장자리부 및 그 위치로서 사용할 수 있다.As the edge portion FE and its position in the selected optimum image Ib, the edge portion and its position detected in the process of selecting the optimum image Ib in the image selected as the optimum image Ib can be used as they are. As another method, to the selected optimum image Ib, the same processing as the detection processing of the inner edge position performed for each of the plurality of images Is (s301 to s303 in flow 300) is performed again to select the optimum image Ib; The finally detected edge portion FE and its position can be used as the edge portion and its position for determining the bonding displacement amount.

실시예Example

이하, 본 발명의 실시예를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

본 실시예에서는, 액정 패널의 반송로의 상방에 배치된 1대의 카메라(가부시키가이샤 키엔스제, CA-035C)와 2개의 조명(가부시키가이샤 키엔스제, CA-DBR8)을 사용하여, 액정 패널에 포함되는 편광 필름의 전단(前端)의 가장자리부를 포함하는 2매의 화상을 취득했다. 액정 패널로서, 두께 1.6mm의 32인치 액정 셀에 두께 0.1mm의 편광 필름을 접합한 것을 사용했다. 2개의 조명은, 카메라의 위치에 대하여 액정 패널의 반송 방향의 상류측 및 하류측에 각각 1개씩 배치되고, 모두, 카메라의 연직 하방의 촬상 포인트를 향해서 광이 조사되도록 조정했다. 카메라의 위치와 액정 패널의 위치 간의 연직 방향의 거리는 91mm, 조명의 위치와 액정 패널의 위치 간의 연직 방향의 거리는 8mm로 했다. 화상 처리 장치(가부시키가이샤 키엔스제, XG-5000)에 의해 측정된 휘도를 사용하여, 촬영된 2매의 화상을 평가했다.In the present embodiment, a liquid crystal panel is provided by using one camera (CA-035C, manufactured by Keyence, Inc.) and two lights (CA-DBR8, manufactured by Keyence, Inc.) disposed above the transport path of the liquid crystal panel. Two images including the edge of the front end of the polarizing film included in were acquired. As a liquid crystal panel, what bonded the polarizing film of thickness 0.1mm to the 32-inch liquid crystal cell of thickness 1.6mm was used. Two illuminations were respectively arranged on the upstream and downstream sides of the liquid crystal panel transport direction with respect to the position of the camera, and both were adjusted so that light was irradiated toward the vertically downward imaging point of the camera. The vertical distance between the position of the camera and the position of the liquid crystal panel was 91 mm, and the vertical distance between the position of the light and the position of the liquid crystal panel was 8 mm. Using the luminance measured by an image processing apparatus (Keyence Corporation, XG-5000), two images captured were evaluated.

표 1은 평가 결과를 나타낸다. 표 1에 있어서, 「편광 필름 가장자리부 위치」는, 2매의 화상(화상 1 및 화상 2)을 촬영하기 위해서 액정 패널을 정지시키는 위치이며, 「상류측」, 「촬상 포인트」 및 「하류측」은, 각각 편광 필름의 가장자리부가 촬상 포인트의 상류측에 있을 때, 가장자리부가 촬상 포인트에 있을 때, 및 가장자리부가 촬상 포인트의 하류측에 있을 때를 의미한다. 「조사 방향」은, 촬영을 위하여 액정 패널을 정지시켰을 때에 편광 필름의 가장자리부를 향해서 광을 조사하는 조명의 위치 및 조사 방향이며, 「상류측으로부터」 및 「하류측으로부터」는, 각각 카메라의 상류측에 배치된 조명으로부터 가장자리부를 향해서 광이 조사되는 것, 및 카메라의 하류측에 배치된 조명으로부터 가장자리부를 향해서 광이 조사되는 것을 의미한다. 실시예 1 내지 실시예 5의 각각의 「편광 필름 가장자리부 위치」 및 「조사 방향」은, 표 1에 나타내어지는 바와 같다. 본 실시예에서는, 최적 화상의 선택을 행하기 위한 평가점으로서 휘도를 사용했다. 편광 필름 가장자리부가 존재하는 위치와 그 주변을 포함하는 소영역(도 4 참조)을 3개 선택하고, 3개의 소영역의 각각에 있어서 Bmax를 측정하고, 그렇게 해서 얻어진 3개의 Bmax의 평균 휘도를 평가점으로 했다.Table 1 shows the evaluation results. In Table 1, "polarizing film edge position" is a position at which the liquid crystal panel is stopped to take two images (image 1 and image 2), "upstream side", "imaging point" and "downstream side" ” means when the edge of the polarizing film is on the upstream side of the imaging point, when the edge is on the imaging point, and when the edge is on the downstream side of the imaging point, respectively. "Irradiation direction" is the position and direction of illumination for irradiating light toward the edge of the polarizing film when the liquid crystal panel is stopped for photographing, and "from the upstream side" and "from the downstream side" are respectively upstream of the camera. This means that light is irradiated toward the edge from the illumination placed on the side, and that light is irradiated toward the edge from illumination arranged on the downstream side of the camera. Each "polarizing film edge part position" and "irradiation direction" of Example 1 - Example 5 are as Table 1 shows. In this embodiment, luminance is used as an evaluation point for selecting an optimal image. Three small regions (see Fig. 4) including the position where the polarizing film edge portion exists and its surroundings are selected, Bmax is measured in each of the three small regions, and the average luminance of the three Bmax thus obtained is evaluated. made in points

실시예 1에 있어서는, 편광 필름 가장자리부가 상류측일 때에 상류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 1과, 편광 필름 가장자리부가 상류측일 때에 하류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 2를 비교하여, 최적 화상을 선택했다. 화상 1의 평가점(165)이 화상 2의 평가점(120)보다 높은 점에서, 편광 필름 가장자리부의 휘선을 확실하게 검출할 수 있는 최적 화상으로서, 화상 1이 선택되었다.In Example 1, image 1 taken with light irradiated from the upstream side when the edge portion of the polarizing film was upstream was compared with image 2 taken with light irradiated from the downstream side when the edge portion of the polarizing film was upstream, The optimal image was selected. Since the evaluation point 165 of the image 1 is higher than the evaluation point 120 of the image 2, the image 1 was selected as an optimum image capable of reliably detecting bright lines at the edges of the polarizing film.

실시예 2에 있어서는, 실시예 1과 마찬가지로 촬영된 화상 1과, 편광 필름 가장자리부가 촬상 포인트일 때에 하류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 2를 비교하여, 최적 화상을 선택했다. 또한, 실시예 3에 있어서는, 실시예 1과 마찬가지로 촬영된 화상 1과, 편광 필름 가장자리부가 하류측일 때에 하류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 2를 비교하여, 최적 화상을 선택했다. 실시예 2 및 실시예 3 모두, 화상 1이 선택되었다.In Example 2, image 1 captured in the same way as in Example 1 was compared with image 2 captured by light irradiated from downstream when the edge of the polarizing film was an imaging point, and an optimal image was selected. Further, in Example 3, image 1 captured in the same way as in Example 1 was compared with image 2 captured by light irradiated from the downstream side when the edge portion of the polarizing film was downstream, and an optimum image was selected. In both Example 2 and Example 3, Image 1 was selected.

실시예 4에 있어서는, 편광 필름 가장자리부가 촬상 포인트일 때에 상류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 1과, 편광 필름 가장자리부가 하류측일 때에 하류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 2를 비교하여, 최적 화상을 선택했다. 이 실시예에서는, 화상 2의 평가점(150)이 화상 1의 평가점(135)보다 높은 점에서, 편광 필름 가장자리부의 휘선을 확실하게 검출할 수 있는 최적 화상으로서, 화상 2가 선택되었다. 또한, 실시예 5에서는, 편광 필름 가장자리부가 하류측일 때에 상류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 1과, 편광 필름 가장자리부가 하류측일 때에 하류측으로부터 조사된 광에 의해 촬영된 화상 2를 비교하여, 최적 화상을 선택했다. 이 실시예에 있어서도, 화상 2가 선택되었다.In Example 4, image 1 photographed with light irradiated from the upstream side when the edge portion of the polarizing film was an imaging point was compared with image 2 photographed with light irradiated from the downstream side when the edge portion of the polarizing film was downstream, , selected the optimal image. In this example, since the evaluation point 150 of image 2 is higher than the evaluation point 135 of image 1, image 2 was selected as the optimum image capable of reliably detecting bright lines at the edges of the polarizing film. Further, in Example 5, image 1 photographed with light irradiated from the upstream side when the edge portion of the polarizing film was downstream was compared with image 2 photographed with light irradiated from the downstream side when the edge portion of the polarizing film was downstream. , selected the optimal image. Also in this example, image 2 was selected.

비교예 1은, 편광 필름 가장자리부가 촬상 포인트에 있을 때에 카메라(가부시키가이샤 키엔스제, CA-035C)와 동축에 배치된 링 조명(가부시키가이샤 키엔스제, CA-DRR8)을 사용해서 화상을 취득한 결과이다. 실시예 1부터 실시예 5까지의 어느 경우도, 최적 화상으로서 선택된 화상의 평가점은 비교예 1의 평가점(127)보다 높았다. 따라서, 본 발명에 의해 선택된 최적 화상을 사용함으로써, 종래 기술에 의해 촬영된 화상과 비교하여, 광학 필름의 가장자리부의 휘선을 보다 확실하게 검출할 수 있다.In Comparative Example 1, when the edge of the polarizing film was at the imaging point, an image was acquired using a ring light (CA-DRR8, manufactured by Keyence Co., Ltd.) arranged coaxially with the camera (manufactured by Keyence Corporation, CA-035C). This is the result. In any case from Example 1 to Example 5, the evaluation point of the image selected as the optimal image was higher than the evaluation point (127) of Comparative Example 1. Therefore, by using the optimum image selected by the present invention, it is possible to more reliably detect bright lines at the edges of the optical film compared to images taken by the prior art.

Claims (5)

직사각형 패널에 적층된 광학 필름의 가장자리부를 검출하는 광학 필름 가장자리부 검출 방법으로서,
광학 필름이 적층된 직사각형 패널을 반송하는 반송 스텝과,
상기 직사각형 패널 상의 상기 광학 필름의 가장자리부를 포함하는 대상 영역을, 상기 직사각형 패널의 반송 방향을 따라 배치된 복수의 광원으로부터 광을 순차 조사하여, 1개의 촬상 수단에 의해 상기 반송 방향의 상류측으로부터 하류측에 걸치는 복수의 위치에서 촬영하는 촬영 스텝과,
상기 대상 영역을 복수의 위치에서 촬영함으로써 얻어진 복수의 화상으로부터, 화상 각각에 있어서의 상기 가장자리부의 휘도에 의거하여, 상기 가장자리부를 검출하기 위한 최적 화상을 선택하는 최적 화상 선택 스텝과,
상기 최적 화상에 있어서 상기 가장자리부를 검출하는 가장자리부 검출 스텝을 포함하는, 광학 필름 가장자리부 검출 방법.
An optical film edge detection method for detecting an edge of an optical film laminated on a rectangular panel, comprising:
A conveyance step for conveying the rectangular panel on which the optical film is laminated;
A target area including an edge of the optical film on the rectangular panel is sequentially irradiated with light from a plurality of light sources disposed along the transport direction of the rectangular panel, and a single imaging means is used to irradiate light from an upstream side to a downstream side in the transport direction of the rectangular panel. A photographing staff to photograph at a plurality of positions across the side;
an optimum image selection step of selecting an optimal image for detecting the edge portion, based on the luminance of the edge portion in each image, from a plurality of images obtained by photographing the target region at a plurality of positions;
and an edge detection step of detecting the edge in the optimum image.
제 1 항에 있어서,
상기 복수의 광원은, 상기 1개의 촬상 수단에 대하여 상기 반송 방향의 상류측에 배치된 상류측 광원과 하류측에 배치된 하류측 광원을 적어도 포함하고,
상기 촬영 스텝은, 상기 가장자리부가 상기 촬상 수단의 연직 하방에 도달했을 때의 위치인 촬상 포인트보다 상기 반송 방향의 상류측에 상기 가장자리부가 있을 때에 상기 상류측 광원으로부터 광을 조사해서 촬영하고, 상기 촬상 포인트보다 상기 반송 방향의 하류측에 상기 가장자리부가 있을 때에 상기 하류측 광원으로부터 광을 조사해서 촬영하는 것을 포함하는, 광학 필름 가장자리부 검출 방법.
According to claim 1,
the plurality of light sources include at least an upstream light source arranged on an upstream side in the conveying direction and a downstream light source arranged on a downstream side with respect to the one imaging means;
In the photographing step, when the edge is located upstream in the conveying direction from an imaging point, which is a position when the edge reaches vertically downward of the imaging means, light is irradiated from the upstream light source to photograph, and the image pickup A method for detecting an edge portion of an optical film, comprising: radiating light from the downstream light source and photographing the edge portion when the edge portion is located downstream of a point in the conveyance direction.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 최적 화상 선택 스텝은, 상기 가장자리부를 따라 설정된 복수의 개소의 휘도에 의거하여, 상기 최적 화상을 선택하는 것을 포함하는, 광학 필름 가장자리부 검출 방법.
According to claim 1 or 2,
wherein the optimum image selection step includes selecting the optimum image based on luminance of a plurality of locations set along the edge portion.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 촬영 스텝은, 상기 직사각형 패널을 촬영마다 정지시키면서 상기 복수의 화상을 촬영하는 것을 포함하는, 광학 필름 가장자리부 검출 방법.
According to any one of claims 1 to 3,
wherein the photographing step includes photographing the plurality of images while stopping the rectangular panel for each photographing.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 촬영 스텝은, 상기 직사각형 패널의 폭 방향으로 대향해서 배치된 광원으로부터의 광을 추가로 사용해서 상기 복수의 화상을 촬영하는 것을 포함하는, 광학 필름 가장자리부 검출 방법.
According to any one of claims 1 to 4,
The optical film edge detection method according to claim 1 , wherein the photographing step includes photographing the plurality of images by additionally using light from light sources arranged to face each other in a width direction of the rectangular panel.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4377964B1 (en) 2008-04-15 2009-12-02 日東電工株式会社 Method and apparatus for continuous production of liquid crystal display elements
JP2011197281A (en) 2010-03-18 2011-10-06 Sumitomo Chemical Co Ltd Polarizing plate bonding precision inspection method and bonding precision inspection device
JP2016118580A (en) 2014-12-18 2016-06-30 日東電工株式会社 Method for manufacturing optical display panel and system for manufacturing optical display panel

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3977503B2 (en) * 1998-02-05 2007-09-19 住友化学株式会社 Film inspection method and film inspection apparatus using the same
JP2007256106A (en) * 2006-03-23 2007-10-04 Sharp Corp Display panel inspection device and display panel inspection method using the same
KR102120507B1 (en) * 2012-10-12 2020-06-08 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Detection apparatus, method for manufacturing optical member-bonded body, and method for manufacturing optical member-bonded body
JP6287454B2 (en) * 2014-03-27 2018-03-07 日本電気株式会社 Inspection apparatus and inspection method
CN204128496U (en) * 2014-08-07 2015-01-28 日东电工株式会社 Blooming bonding position determinator and optical display production line
KR101674357B1 (en) * 2016-07-08 2016-11-08 주식회사 엘지화학 The system and method for manufacturing display unit
KR102469408B1 (en) * 2017-03-03 2022-11-22 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 Defect inspection system, film manufacturing apparatus, film manufacturing method, printing apparatus, and printing method

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4377964B1 (en) 2008-04-15 2009-12-02 日東電工株式会社 Method and apparatus for continuous production of liquid crystal display elements
JP2011197281A (en) 2010-03-18 2011-10-06 Sumitomo Chemical Co Ltd Polarizing plate bonding precision inspection method and bonding precision inspection device
JP2016118580A (en) 2014-12-18 2016-06-30 日東電工株式会社 Method for manufacturing optical display panel and system for manufacturing optical display panel

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