KR20230103947A - 기류 안내 장치 및 제조 장비 - Google Patents

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KR20230103947A
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유-데 리엔
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그린필텍 엘티디.
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Abstract

본 발명은 기류 안내 장치 및 제조 장비를 제공한다. 기류 안내 장치는 상부 개구를 구비하는 스테이지와 조합 사용된다. 기류 안내 장치는 케이스, 공기 흡입구, 공기 배출구, 및 기류 안내부를 포함한다. 케이스는 내부 공간을 구비한다. 공기 흡입구는 케이스에 설치되며, 기류는 스테이지의 측면에 대향하는 방향에서 내부 공간으로 들어간다. 공기 배출구는 케이스에서 공기 흡입구를 제외한 위치에 설치되며, 공기 배출구는 상부 개구와 연결되어, 기류가 공기 배출구로부터 내부 공간을 벗어나 스테이지로 들어가도록 할 수 있다. 기류 안내부는 케이스 내에 설치되며, 적어도 일부가 공기 흡입구에 수직되는 방향에서 옆으로 연장된다. 제조 장비는 기류 안내 장치와 스테이지를 포함한다.

Description

기류 안내 장치 및 제조 장비{GAS STREAM GUIDING DEVICE AND MANUFACTURING EQUIPMENT}
본 발명은 기류 안내 장치 및 제조 장비에 관한 것으로, 특히 반도체 공정에서 사용되는 기류 안내 장치 및 제조 장비에 관한 것이다.
도 1에 나타낸 선행 기술과 같이, 반도체 공정에서는 분진 및 각종 유기 오염물질, 무기 오염물질이 웨이퍼, 집적회로 칩 등 물품에 미치는 영향을 줄이기 위해, 이들을 스테이지(70)의 작업대(71)에 방치하여 작업하고, 스테이지(70)로 들어가는 기류를 여과한다.
도 1에 나타낸 선행 기술과 같이, 현재 일반적인 스테이지(70)는 작업 가능 영역의 공간을 늘리기 위해, 일반적으로 상부에 설치되는 흡기 장치(10)의 흡기 장치 공기 흡입구(20)를 통해 스테이지(70)의 측면으로부터 공기를 흡입하고, 여과망(51)을 통해 들어가는 기류를 여과한다. 그러나, 이 방법의 경우, 여과망(51)을 통과하는 기류의 속도가 균일하지 않고, 스테이지(70)에 들어간 후 쉽게 난류 상태를 나타내므로, 물품이 작업대에서 오염될 가능성이 높아지고, 수율이 낮아지며, 제조원가가 상승될 수 있어, 개선의 여지가 있다.
본 발명의 목적은 수율을 향상시키고, 제조 원가를 절감할 수 있는 기류 안내 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 수율을 향상시키고, 제조 원가를 절감할 수 있는 제조 장비를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 기류 안내 장치는 상부 개구를 구비하는 스테이지와 맞춰 사용한다. 기류 안내 장치는 케이스, 공기 흡입구, 공기 배출구, 및 기류 안내부를 포함한다. 케이스는 내부 공간을 구비한다. 공기 흡입구는 케이스에 설치되며, 기류는 스테이지의 측면에 대향하는 방향에서 내부 공간으로 들어간다. 공기 배출구는 케이스에서 공기 흡입구를 제외한 위치에 설치되며, 공기 배출구는 상부 개구와 연결되어, 기류가 공기 배출구를 통해 내부 공간에서 벗어나 스테이지로 들어가도록 할 수 있다. 기류 안내부는 케이스 내에 설치되고 기류의 유동 경로에 위치하며, 적어도 일부가 공기 흡입구에 수직되는 방향에서 옆으로 연장된다.
일 실시예에서, 상부 개구는 실질적으로 Z축 방향을 향하며, Z축 방향은 X축 방향 및 Y축 방향과 직교한다. 공기 흡입구는 케이스에 설치되며, 실질적으로 X축 방향을 향하고 내부 공간에 연통된다. 공기 배출구는 케이스에서 공기 흡입구를 제외한 위치에 설치되며, 실질적으로 Z축 방향을 향하고 내부 공간에 연통된다. 여기서, 공기 배출구는 상부 개구와 연결될 수 있다. 기류 안내부는 케이스 내에 설치되며, 적어도 일부가 X축과 평행하는 방향에서 Y축 방향으로 연장된다.
일 실시예에서, 기류 안내부는 곡면을 형성한다.
일 실시예에서, 케이스의 상부 개구가 위치하는 평면에서의 수직 투영은 볼류트 형상이고, 공기 흡입구는 볼류트 형상의 개구에 대응된다.
일 실시예에서, 케이스는 상부 케이스, 바닥 케이스, 및 상부 케이스와 바닥 케이스 사이에 끼워 설치되는 사이드 케이스를 포함하며, 공기 흡입구와 공기 배출구는 각각 사이드 케이스와 바닥 케이스에 설치된다.
일 실시예에서, 사이드 케이스의 내측면의 일부는 기류 안내부를 형성한다.
일 실시예에서, 기류 안내부는 상부 케이스에 설치된다.
일 실시예에서, 기류 안내 장치는 공기 배출구에 설치되는 기류 균질화 부재를 더 포함한다.
일 실시예에서, 기류 균질화 부재는 복수개의 관통홀이 포함된다.
일 실시예에서, 기류 균질화 부재는 원반 모양이고, 반경에 따라 중심에서 바깥쪽으로 3등분 하여 제1 영역, 제2 영역, 제3 영역으로 나누어지며, 제1 영역 내의 구멍의 직경은 상기 제2 영역 내의 구멍의 직경의 1/3이고, 제2 영역 내의 구멍의 직경은 제3 영역 내의 구멍의 직경의 1/3이다.
일 실시예에서, 기류 안내 장치는 공기 배출구에 설치되는 여과망을 더 포함한다.
본 발명에 따른 제조 장비는 상기 스테이지와 기류 안내 장치를 포함하며, 스테이지는 작업대를 더 포함하고, 상부 개구는 작업대의 상면을 마주한다.
도 1은 선행 기술의 모식도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명에 따른 제조 장비의 실시예의 모식도이다.
도 3a 내지 3d는 본 발명에 따른 기류 안내 장치의 실시예의 모식도이다.
도 3e는 본 발명에 따른 기류 안내 장치에서 기류 안내부가 상부 케이스에 설치된 다른 실시예의 모식도이다.
도 4a는 선행 기술의 공기 배출구의 측정 위치의 모식도이다.
도 4b는 본 발명의 공기 배출구의 측정 위치의 모식도이다.
이하, 특정한 구체적인 실시예와 도면을 통해 본 발명이 개시한 연결 어셈블리의 실시형태를 설명하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 명세서가 개시한 내용을 통해 본 발명의 장점과 효과를 이해할 수 있다. 그러나, 하기 내용은 본 발명의 보호범위를 제한하기 위한 것이 아니며, 본 발명의 구상 정신을 벗어나지 않는 윈칙 하에, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 서로 다른 관점과 응용에 기반하여 다른 실시예를 통해 본 발명을 구현할 수 있다. 명확한 이해를 위해, 첨부 도면에서는 층, 필름, 패널, 영역 등의 두께를 확대하였다. 명세서 전반에서, 동일한 첨부 도면 부호는 동일한 소자를 나타낸다. 층, 필름, 패널, 영역 또는 기판과 같은 소자가 다른 소자 "상"에 있거나, 또는 다른 소자에 "연결된다"라고 기재한 경우, 직접 다른 소자 상에 있거나 다른 소자와 연결될 수 있고, 또는 중간 소자가 존재할 수도 있음을 이해해야 한다. 반대로, 소자가 "직접 다른 소자 상에 있다" 또는 다른 소자에 “직접적으로 연결된다”라고 기재한 경우, 중간 소자가 존재하지 않는다. 본 명세서에서 사용한 "연결"과 같은 용어는 물리적 및/또는 전기적 연결을 의미할 수 있다. 그리고, "전기적 연결" 또는 "커플링"은 두 소자 사이에 다른 소자가 존재할 수 있다.
본 명세서에서, "제1", "제2", "제3" 등 용어는 각종 소자, 부재, 영역, 층 및/또는 부분을 설명하는 데 사용될 수 있으나, 이러한 소자, 부재, 영역, 및/또는 부분은 이러한 용어의 제한을 받아서는 안됨을 이해해야 한다. 이러한 용어들은 하나의 소자, 부재, 영역, 층 또는 부분을 다른 소자, 부재, 영역, 층 또는 부분과 구별하는 데만 사용된다. 따라서, 하기 "제1 소자", "부재", "영역", "층" 또는 "부분"은 본 명세서의 교시를 벗어나지 않고 제2 소자, 부재, 영역, 층 또는 부분이라고 할 수 있다.
또한, 도면에 나타낸 바와 같이, "하" 또는 "하부" 및 "상" 또는 "상부"와 같은 상대적인 용어는 본 명세서에서 하나의 소자와 다른 소자의 관계를 설명할 수 있다. 상대적인 용어는 도면에 나타낸 방위를 제외한 장치의 서로 다른 방위를 포함함을 이해해야 한다. 예를 들어, 하나의 도면에 도시된 장치가 뒤집히면, 다른 소자의 "하"측에 있는 것으로 설명한 소자는 다른 소자의 "상"측에 위치하게 된다. 따라서, 예시적인 용어 "하"는 "하"와 "상"의 방향을 포함할 수 있는데, 이는 도면의 특정 방향에 따라 결정된다. 유사하게, 하나의 도면에 도시된 장치가 뒤집히면, 다른 소자 "아래" 또는 "하방"에 있는 것으로 설명된 소자는 다른 소자 "위"에 위치하게 된다. 따라서, 예시적인 용어 "상방" 또는 "하방"은 위와 아래를 포함할 수 있다.
본 명세서에서 사용하는 "약", "근사", 또는 "실질적으로"는 기술한 수치 및 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 확인한 특정 수치의 허용 가능한 편차 범위 내의 평균치를 포함하며, 논의한 측정과 측정에 관련되는 오차의 특정 수량(즉, 측량 시스템의 제한)을 고려한다. 예를 들어, "약"은 기술한 수치의 하나 또는 복수개의 표준 편차, 또는 ±30%, ±20%, ±10%, ±5% 이내에 있음을 나타낸다. 또한, 본 명세서에서 사용하는 "약", "근사", 또는 "실질적으로"는 광학 성질, 식각 성질 또는 기타 성질에 따라 비교적으로 허용 가능한 편차 범위 또는 표준 편차를 선택할 수 있으며, 하나의 표준 편차를 모든 특성에 적용하지 않을 수 있다.
도 2a 및 도 2b에 나타낸 실시예와 같이, 본 발명에 따른 기류 안내 장치(800)는 상부 개구(701)를 구비하는 스테이지(700)와 조합하여 사용된다. 여기서, 스테이지(700)와 기류 안내 장치(800)는 본 발명에 따른 제조 장비(900)를 구성한다. 스테이지(700)는 작업대(710)를 더 포함하며, 상부 개구(701)는 작업대(710)의 상면(711)을 마주한다. 더 구체적으로, 제조 장비(900)는 반도체 공정에 사용되며, 예를 들어 웨이퍼, 집적회로 칩 등 물품은 작업대(710)에 방치될 수 있다. 기류는 기류 안내 장치(800)의 공기 흡입구(200)를 통해 스테이지(700)의 측면에 대향하는 방향에서 진입하고, 공기 배출구(300)로부터 나가며, 상부 개구(701)로부터 스테이지(700)로 들어간다. 일 실시예에서, 기류 안내 장치(800)는 커버판(810)을 통해 상부 개구(701)에 매칭 연결되어, 스테이지(700)가 폐쇄 공간을 형성하도록 할 수 있다. 그러나, 다른 실시예에서는 기류 안내 장치(800)의 케이스(100)의 크기를 조정하여 기류 안내 장치(800)가 상부 개구(701)에 직접 접합되도록 함으로써, 스테이지(700)가 폐쇄 공간을 형성하도록 할 수 있다. 여기서, 기류 안내 장치(100)는 공기 배출구(300)에 설치되는 여과망(510)을 더 포함할 수 있는데, 더 구체적으로, 여과망은 공기 배출구(300)와 상부 개구(701) 사이에 설치되어 미립자 또는 VOC 등 오염 물질을 여과하는 데 사용된다. 여과망(510)은 착탈 가능한 것이 바람직하나, 이에 한정되지 않는다.
나아가, 도 3a 내지 도 3d에 나타낸 실시예와 같이, 기류 안내 장치(800)는 케이스(100), 공기 흡입구(200), 공기 배출구(300), 및 기류 안내부(400)를 포함한다. 일 실시예에서, 기류 안내 장치(800)는 모두 고분자로 만들어지나, 다른 실시예에서, 기류 안내 장치(800) 전체 또는 일부는 예를 들어 금속 또는 합금과 같은 고분자가 아닌 재료로 만들 수 있다.
케이스(100)는 내부 공간(101)을 구비한다. 공기 흡입구(200)는 케이스(100)에 설치되며, 기류(600)는 스테이지(700; 도 2a 참조)의 측면에 대향하는 방향에서 내부 공간(101)으로 들어간다. 공기 배출구(300)는 케이스(100)의 공기 흡입구(200)를 제외한 위치에 설치되며, 공기 배출구(300)는 상부 개구(701; 도 2a 참조)와 연결되어, 기류가 공기 배출구(300)를 통해 내부 공간(101)을 벗어나 스테이지(700)에 들어가도록 할 수 있다. 더 구체적으로, 일 실시예에서, 케이스(100)는 상부 케이스(110), 바닥 케이스(120), 및 상부 케이스(110)와 바닥 케이스 사이(120)에 끼워 설치되는 사이드 케이스(130)를 포함하며, 공기 흡입구(200)와 공기 배출구(300)는 각 사이드 케이스(130)와 바닥 케이스(120)에 설치된다.
도 3c 내지 도 3d에 나타낸 실시예와 같이, 기류 안내부(400)는 케이스(100) 내에 설치되고, 기류의 유동 경로에 위치하며, 적어도 일부는 공기 흡입구(200)에 수직되는 방향에서 옆으로 연장된다. 본 실시예에서, 사이드 케이스(130)의 내측면의 일부는 기류 안내부(400)를 곡면으로 형성한다. 나아가, 케이스(100)의 상부 개구(701; 도 2a 참조)가 위치하는 평면에서의 수직 투영은 볼류트 형상이고, 공기 흡입구(200)는 볼류트 형상의 개구에 대응된다. 그러나 다른 실시예에서, 기류 안내부(400)는 기류의 방향에 대한 안내를 달성할 수 있는 임의의 형상 또는 구조일 수 있으며, 사이드 케이스(130)의 내측면에 형성되는 것에 제한되지 않는다. 도 3e에 나타낸 다른 실시예와 같이, 기류 안내부(400')는 상부 케이스(110’)에 설치되는 아치형 옹벽이고, 기류는 공기 흡입구(200’)로부터 진입한 후에 기류 안내부(400’)에 의해 안내될 수 있다. 다시 말해, 기류 안내부의 형상은 케이스의 외부 윤곽 형상의 제한을 받지 않을 수 있다.
도 2a 내지 도 3d에 나타낸 실시예와 같이, 다른 각도에서 볼 때, 상부 개구(701)는 실질적으로 Z축 방향을 향하고, Z축 방향은 X축 방향 및 Y축 방향과 직교한다. 공기 흡입구(200)는 케이스(100)에 설치되며, 실질적으로 X축 방향을 향하고 내부 공간(101)에 연통된다. 공기 배출구(300)는 케이스(100)에서 공기 흡입구(200)를 제외한 위치에 설치되며 실질적으로 Z축 방향을 향하고 내부 공간(101)에 연통된다. 기류 안내부(400)는 케이스(100) 내에 설치되며, 적어도 일부는 X축과 평행한 방향에서 Y축 방향으로 연장된다.
도 3c 및 도 3d에 나타낸 실시예와 같이, 기류 안내 장치(800)는 공기 배출구(300)에 설치되어 공기 배출구의 각 위치의 풍속이 더욱 균일해지도록 하는 기류 균질화 부재(500)를 포함할 수 있다. 여기서, 기류 균질화 부재(500)는 복수개의 관통홀을 포함할 수 있다. 더 구체적으로, 기류 균질화 부재는 복수개의 원형 관통홀을 포함하는 원반 모양이고, 반경에 따라 중심에서 바깥쪽으로 3등분 하여 제1 영역, 제2 영역 및 제3 영역으로 나누어지며, 제1 영역 내의 구멍의 직경은 상기 제2 영역 내의 구멍의 직경의 1/3이고, 제2 영역 내의 구멍의 직경은 제3 영역 내의 구멍의 직경의 1/3이다. 다른 실시예에서, 관통홀은 다른 형상 또는 분포 방식이 될 수 있다.
이하, 종래의 제조 장비 및 본 발명에 따른 제조 장비에 대해 테스트한다.
도 4a에 나타낸 실시예와 같이, 흡기 장치 공기 배출구(30; 도 1 참조)의 크기가 길이 762 mm, 폭 652 mm이고, 흡기 장치 공기 흡입구(20)의 크기가 길이 100 mm, 폭 50 mm인 종래의 장비를 선택하여 테스트하며, 공기 흡입구의 풍속은 0.6 m/s이다. 공기 배출구의 A01～A15 위치의 풍속을 측정하면, 아래 표 1과 같은 결과를 얻을 수 있다.
표 1
Figure pat00001
표 1에서 볼 수 있듯이, 종래의 장비의 공기 배출구의 각 위치의 최대 풍속은 0.28 m/s이며, 최소 풍속은 0.05 m/s로 차이가 매우 크다. 또한, A01～A15 위치의 평균 풍속을 계산한 결과 0.13m/s이고, STD는 0.07로, 불균일한 것이 분명하다.
도 4b에 나타낸 실시예와 같이, 공기 배출구(300)의 크기가 직경 400 mm이고 공기 흡입구(200)의 크기가 길이 200 mm, 폭 50 mm인 본 발명의 기류 안내 장치를 선택하여 테스트한다. 공기 흡입구 풍속은 각각 0.45 m/s, 0.75 m/s, 1.20 m/s이고, 공기 배출구의 B01～B09 위치의 풍속을 측정하면, 아래 표 2A 내지 표 2C의 결과를 얻을 수 있다.
표 2a (공기 흡입구의 풍속은 0.45 m/s)
Figure pat00002
B01～B09 위치의 평균 풍속을 계산한 결과 0.09 m/s이고, STD는 0.01로, 균일한 것이 분명하다.
표 2b (공기 흡입구 풍속은 0.75 m/s)
Figure pat00003
B01～B09 위치의 평균 풍속을 계산한 결과 0.17 m/s이고, STD는 0.02로, 균일한 것이 분명하다.
표 2c (공기 흡입구 풍속은 1.2m/s)
Figure pat00004
B01～B09 위치의 평균 풍속을 계산한 결과 0.27 m/s이고, STD는 0.04로, 균일한 것이 분명하다.
또한, 나아가 상기 종래 장비와 본 발명에 따른 기류 안내 장치의 에너지 소비에 대해 평가한다. 여기서, 기류는 송풍기에 의해 주입된다. 일 실시예에서, 양자의 공기 흡입구의 풍속을 동일하게 하고, 공기 배출구의 풍속을 각각 측정하는데, 그 결과는 아래 표 3A와 같다.
표 3a
Figure pat00005
표 3A에서 볼 수 있듯이, 본 발명에 따른 기류 안내 장치의 공기 배출구 면적은 종래 장비의 공기 배출구 면적의 약 1/5이며, 공기 흡입구의 풍속이 동일할 때, 본 발명에 따른 기류 안내 장치의 공기 배출구의 풍속은 종래 장비의 공기 배출구의 풍속의 5배이다. 이 경우, 본 발명에 따른 기류 안내 장치에 사용되는 송풍기와 종래 장비에 사용되는 송풍기의 에너지 소비량은 큰 차이가 없다. 다시 말해, 본 발명에 따른 기류 안내 장치는 종래 장비에 비해, 에너지 소모가 동일할 때 높은 공기 배출구의 풍속을 나타낼 수 있다.
다른 실시예에서, 양자의 공기 배출구 풍속이 동일하도록 하고, 공기 흡입구의 풍속을 각각 측정하는데, 그 결과는 아래 표 3B와 같다.
표 3b
Figure pat00006
표 3B에서 볼 수 있듯이, 본 발명에 따른 기류 안내 장치의 공기 배출구 면적은 종래 장비의 공기 배출구 면적의 1/5이다. 그러나, 공기 배출구의 풍속이 동일할 때, 본 발명에 따른 기류 안내 장치의 공기 흡입구의 풍속은 종래 장비의 공기 배출구의 풍속의 약 1/5이고, 본 발명에 따른 기류 안내 장치에 사용되는 공기 흡입구 면적은 종래 장치의 공기 흡입구 면적과 동일하므로, 본 발명에 따른 기류 안내 장치에 사용되는 송풍기와 종래 장비에 사용되는 송풍기는 이 경우에서 전자가 출력해야 하는 기류량은 후자의 약 1/5이다. 다시 말해, 본 발명에 따른 기류 안내 장치는 종래 장비에 비해, 공기 배출구 풍속이 동일할 때 낮은 에너지 소모를 나타낼 수 있다.
한편, 종래 장비 및 본 발명에 따른 제조 장비의 작업대에 있는 물품이 오염되는 상태를 관찰하면, 기류가 유통되는 상태에서, 종래 장비의 작업대에 있는 물품의 표면에는 9~23개의 오손 검사 수가 있고, 본 발명에 따른 제조 장비의 작업대에 있는 물품의 표면에는 0개의 오손 검사 수가 있는 것을 알 수 있다. 산세척을 거친 상태에서, 종래 장비의 작업대에 있는 물품의 표면에는 11~41개의 오손 검사 수가 있고, 본 발명에 따른 제조 장비의 작업대에 있는 물품의 표면에는 4개의 오손 검사 수가 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기류 안내 장치는 기류 안내부를 설치함으로써, 공기 흡입구로부터 진입한 기류가 균일한 속도로 공기 배출구를 통과하고, 상부 개구를 통해 스테이지로 들어가 스테이지 내부의 기류를 안정시키며, 나아가 작업대에 있는 물품이 오염될 기회를 감소시키도록 할 수 있다. 이에 따라, 수율을 높이고, 제조원가를 절감할 수 있으며, 에너지 소모가 낮은 장점이 구비된다.
상기 관련 실시예를 통해 본 발명을 설명하였으나, 상기 실시예는 본 발명을 실시하는 예시에 불과하다. 개시된 실시예는 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아님을 반드시 지적해야 한다. 반대로, 청구의 범위에 포함되는 정신 및 범위에 대한 수정 및 균등 설치는 모두 본 발명의 범위 내에 포함된다.
10 : 흡기 장치
20 : 흡기 장치 공기 흡입구
30 : 흡기 장치 공기 배출구
51 : 여과망
70 : 스테이지
71 : 작업대
90 : 제조 장비
100 : 케이스
101 : 내부 공간
110 : 상부 케이스
110’ : 상부 케이스
120 : 바닥 케이스
130 : 사이드 케이스
200’ : 공기 흡입구
200 : 공기 흡입구
300 : 공기 배출구
400 : 기류 안내부
400’ : 기류 안내부
500 : 기류 균질화 부재
510 : 여과망
600 : 기류
700 : 스테이지
701 : 상부 개구
710 : 작업대
711 : 상면
800 : 기류 안내 장치
810 : 커버판
900 : 제조 장비
X : X축
Y : Y축
Z : Z축

Claims (12)

  1. 상부 개구가 구비하는 스테이지와 조합 사용되는 기류 안내 장치에 있어서,
    내부 공간이 구비되는 케이스;
    상기 케이스에 설치되며, 기류가 스테이지의 측면에 대향하는 방향에서 상기 내부 공간으로 들어가는 공기 흡입구;
    상기 케이스에서 상기 공기 흡입구를 제외한 위치에 설치되며, 상기 상부 개구와 연결되어 상기 기류가 상기 내부 공간을 벗어나 상기 스테이지로 들어가도록 할 수 있는 공기 배출구; 및
    상기 케이스 내에 설치되고, 상기 기류의 유동 경로에 위치하며, 적어도 일부가 상기 공기 흡입구에 수직되는 방향에서 옆으로 연장되는 기류 안내부;를 포함하는 기류 안내 장치.
  2. 스테이지와 조합 사용되고, 상기 스테이지는 실질적으로 Z축 방향을 향하는 상부 개구를 구비하며, 상기 Z축 방향은 X축 방향 및 Y축 방향과 직교하는 기류 안내 장치에 있어서,
    내부 공간이 구비되는 케이스;
    상기 케이스에 설치되며, 실질적으로 상기 X축 방향을 향하고 상기 내부 공간에 연통되는 공기 흡입구;
    상기 케이스에서 상기 공기 흡입구를 제외한 위치에 설치되며, 실질적으로 상기 Z축 방향을 향하고 상기 내부 공간에 연통되며, 상부 개구에 연결될 수 있는 공기 배출구; 및
    상기 케이스 내에 설치되며, 적어도 일부가 X축과 평행하는 방향에서 Y축 방향으로 연장되는 기류 안내부;를 포함하는 기류 안내 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 기류 안내부는 곡면이 형성되는 것을 특징으로 하는 기류 안내 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 케이스의 상부 개구가 위치하는 평면에서의 수직 투형은 볼류트 형상이고, 상기 공기 흡입구는 상기 볼류트 형상의 개구에 대응되는 기류 안내 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 케이스는 상부 케이스, 바닥 케이스, 및 상기 상부 케이스와 상기 바닥 케이스 사이에 끼워 설치되는 사이드 케이스를 포함하며, 상기 공기 흡입구 및 상기 공기 배출구는 각각 상기 사이드 케이스와 상기 바닥 케이스에 설치되는 기류 안내 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 사이드 케이스의 내측면의 일부는 상기 기류 안내부를 형성하는 기류 안내 장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 기류 안내부는 상기 상부 케이스에 설치되는 기류 안내 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 공기 배출구에 설치되는 기류 균질화 부재를 더 포함하는 기류 안내 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 기류 균질화 부재는 복수개의 관통홀을 포함하는 기류 안내 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 기류 균질화 부재는 원반 모양이고, 반경에 따라 중심에서 바깥쪽으로 3등분 하여 제1 영역, 제2 영역, 제3 영역으로 나누어지며, 상기 제1 영역 내의 상기 복수개의 구멍의 직경은 제2 영역 내의 상기 복수개의 구멍의 직경의 1/3이고, 상기 제2 영역 내의 상기 복수개의 구멍의 직경은 상기 제3 영역 내의 복수개의 관통홀의 직경의 1/3인 기류 안내 장치.
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 공기 배출구에 설치되는 여과망을 더 포함하는 기류 안내 장치.
  12. 제1항 또는 제2항에 따른 상기 스테이지 및 상기 기류 안내 장치를 포함하며, 상기 스테이지는 작업대를 더 포함하고, 상기 상부 개구는 작업대의 상면을 마주하는 제조 장비.
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