KR20230100482A - 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓 - Google Patents

Abstract

본 발명은 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성되어 있으며 절연성 소재로 이루어진 절연성 시트; 상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 상면에 배치되는 상부 전극부와, 상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 하면에 배치되는 하부 전극부와, 상기 상부 전극부와 상기 하부 전극부를 연결하며 상기 관통구멍을 통과하는 연결부를 포함하는 전극구조체;를 포함하되, 상기 연결부의 길이는 상기 절연성 시트의 두께보다 커서 상기 전극구조체는 상기 절연성 시트에 대하여 상하방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터와, 그 검사용 시트형 커넥터를 포함하는 검사용 소켓에 대한 것이다.

Description

검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓{Sheet-shape connector for test and socket for test}

본 발명은 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 전극구조체가 상하 개별적으로 동작하여 검사에 필요한 동작성을 확보할 수 있는 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓에 대한 것이다.

피검사 디바이스의 검사를 위해, 피검사 디바이스와 검사장치를 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓이 피검사 디바이스와 검사장치의 사이에 배치된다. 검사용 소켓은 검사장치의 전기적 테스트 신호를 피검사 디바이스에 전달하고, 피검사 디바이스의 응답 신호를 검사장치에 전달한다. 이러한 검사용 소켓으로서, 포고핀 소켓과 도전성 러버 시트가 사용되고 있다.

포고핀 소켓은 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 수직 방향으로 눌러지는 포고핀을 갖는다. 포고핀 소켓은, 핀과 스프링을 수용하는 부품을 필요로 하므로, 얇은 두께를 갖기 어렵고, 피검사 디바이스의 단자들의 미세 피치에 적용되기 어렵다.

도전성 러버 시트는 피검사 디바이스에 가해지는 외력에 응해 탄성 변형할 수 있다. 도전성 러버 시트는, 포고핀 소켓에 비해, 적은 제조 비용으로 제조될 수 있고, 피검사 디바이스의 단자를 손상시키지 않으며, 매우 얇은 두께를 가지는 점에서, 유리하다. 따라서, 포고핀 소켓을 도전성 러버 시트로 대체하는 시도가 피검사 디바이스의 검사 분야에서 다양하게 행해지고 있다.

도 1은 종래의 검사용 소켓의 일예를 나타내고 있으며, 도 2는 작동상태를 나타내며 도 3은 도 2의 일부 확대도이다.

검사용 소켓(10)은, 시트형 커넥터(20)와, 이방 도전성 시트(30)로 이루어진다.

시트형 커넥터(20)는, 절연성 필름(21)에 다수의 전극(22)이 결합되어 구성된 것이며, 이방 도전성 시트(30)는 상기 시트형 커넥터(20)의 아래에 배치되며 도전부(31)와 절연부(32)로 이루어진다.

상기 도전부(31)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 집합되어 있는 것이며, 절연부(32)는 각 도전부(31)를 절연시키면서 지지하도록 구성되며 탄성 절연물질로 이루어진다.

이러한 검사용 소켓(10)은 시트형 커넥터(20)와 이방 도전성 시트(30)가 일체로 결합되어 구성되어 있으며, 검사장치(40)에 탑재된다.

트레이(미도시)에 탑재된 피검사 디바이스(50)는 인서트(60)에 탑재된 상태로 이동되어 검사용 소켓(10)으로 운반되어 온다. 이때, 피검사 디바이스(50)는 인서트(60)의 하측에 배치된 시트(61) 위에 배치되어 있으며, 시트(61)에 형성된 복수의 구멍(62)에 피검사 디바이스(50)의 단자(51)가 끼워진 상태로 운반된다.

피검사 디바이스(50)를 운반해온 인서트(60)는 피검사 디바이스(50)의 단자(51)가 시트형 커넥터(20)의 전극(22)에 접촉되도록 하강하게 되고, 피검사 디바이스(50)의 상면에 배치된 푸셔(70)가 피검사 디바이스(50)의 단자(51)를 검사용 소켓(10)으로 가압하게 되면 피검사 디바이스(50)의 단자(51)와 시트형 커넥터(20)의 전극(22)이 서로 접촉된다. 이후에 검사장치(40)로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면서 전기적 검사가 수행된다.

이러한 종래기술에 따른 검사용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.

피검사 디바이스의 단자는 탄성이 없는 시트형 커넥터의 전극과 접촉하게 되는데, 단자와 전극이 모두 탄성이 없어서 접촉시 반도체 시험에 필요한 동작성이 부족하게 되는 단점이 있다.

최근에는 피검사 디바이스가 미세피치화되면서 피검사 디바이스의 단자들이 작아지게 되고 이 과정에서 각 단자의 높이도 낮아지면서 인서트에 배치된 시트의 구멍에 단자가 삽입되었을 때 검사용 소켓과의 접촉 안정성이 저해되는 일이 있다.

특히, 인서트에 배치된 시트는 피검사 디바이스를 안정적으로 지지해야 하기 때문에 충분한 내구성을 가져야 하고 이로 인하여 일정 이상의 두께를 가져야 하는데, 이에 따라 인서트의 시트의 구멍 내에서 단자와 전극이 서로 접촉해야 하는 경우도 있게 되어 동작성능에 문제가 있게 된다

또한 피검사 디바이스의 단자들이 미세피치화 과정에서 피검사 디바이스의 단자의 높이가 일정하지 못하게 되는 경우가 있는데, 이때 단자가 전극에 접촉되지 못하는 경우도 있게 되는데, 이 경우에는 정확한 전기적 검사를 수행할 수 없게 되는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 더욱 상세하게는 미세피치를 가진 피검사 디바이스에 대하여 동작성과 전기적 접촉성능을 높일 수 있는 검사용 시트형 커넥터 및 검사용 소켓을 제공하는 것을 기술적 목적으로 한다.

상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은,

피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 시트형 커넥터에 있어서,

피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성되어 있으며 절연성 소재로 이루어진 절연성 시트; 및

상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 상면에 배치되는 상부 전극부와,

상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 상면에 배치되는 하부 전극부와,

상기 상부 전극부의 하면과, 상기 하부 전극부의 상면에 연결되고 상기 절연성 시트의 관통구멍을 통과하며, 상기 절연성 시트의 두께방향을 따라서 이동가능한 연결부로 구성된 전극구조체;를 포함하되,

상기 연결부의 길이는 상기 절연성 시트의 두께보다 커서 상기 전극구조체는 상기 절연성 시트에 대하여 상하방향으로 이동할 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 상부 전극부와, 하부 전극부는 상기 관통구멍의 직경보다 클 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 연결부는 상기 관통구멍의 직경보다 작을 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉되는 상부 전극부의 표면에는 요철이 형성될 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 요철은 삼각뿔, 원뿔, 다각뿔, 다각기둥, 원기둥 중 어느 하나가 복수개 마련되어 형성될 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 하부 전극부에는 반구형 범프가 형성될 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 반구형 범프는 상기 하부 전극부와 다른 이종소재로 이루어지거나, 다른 이종소재가 도금처리될 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 이종소재는 연성이 우수한 주석을 포함할 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 관통구멍은 복수개가 서로 이격되어 배치되고,

상기 전극구조체는 복수개가 각각의 관통구멍에 배치되어 있으며,

각 전극구조체는 인접한 전극구조체에 대하여 독립적으로 상하방향으로 이동할 수 있다.

상기 검사용 시트형 커넥터에서,

상기 전극구조체는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)에 의하여 제조될 수 있다.

상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은,

피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 소켓에 있어서,

시트형 커넥터; 및

상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되는 이방 도전성 시트;를 포함하되,

상기 이방 도전성 시트는,

피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되는 도전부와,

상기 도전부 사이에 배치되며 상기 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함할 수 있다.

상기 검사용 소켓은,

상기 절연성 시트의 하면과, 상기 이방 도전성 시트의 상면 사이에는 상기 전극구조체의 하부 전극부가 상하방향으로 이동될 수 있도록 비어있는 이동공간이 마련될 수 있다.

상기 검사용 소켓은,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트는 상하방향으로 서로 이격되어 있으며, 그 이격거리는, 상기 전극구조체의 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 클 수 있다.

상기 검사용 소켓은,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름이 배치될 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 전극 가이드 필름은 각 전극구조체 사이에 위치하여, 인접한 전극구조체와 구분되도록 할 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 이방 도전성 시트의 상면에는 도전부와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트가 마련될 수 있다.

상술한 기술적 목적을 달성하기 위한 본 발명의 검사용 소켓은,

피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 소켓에 있어서,

시트형 커넥터;

상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되는 이방 도전성 시트; 및

상기 시트형 커넥터의 가장자리를 지지하고 상기 시트형 커넥터를 이방 도전성 시트에 근접한 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있는 플로팅 본체와,

상기 플로팅 본체의 하부에 배치되어 상기 플로팅 본체를 탄성적으로 지지하는 탄성바이어스 부재로 이루어진 플로팅 장치;를 포함하고,

상기 이방 도전성 시트는,

피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되는 도전부와,

상기 도전부 사이에 배치되며 상기 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함한다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 절연성 시트의 하면과, 상기 이방 도전성 시트의 상면 사이에는 상기 전극구조체의 하부 전극부가 상하방향으로 이동될 수 있게 하는 비어있는 이동공간이 마련될 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이의 이격거리는, 상기 전극구조체의 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 클 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이에는, 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름이 상기 이방 도전성 시트의 상면에 부착될 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 전극 가이드 필름은 각 전극구조체 사이에 위치하여, 전극구조체를 구분시킬 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 이방 도전성 시트의 절연부 상면에는 도전부와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트가 마련될 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 이방 도전성 시트를 수용하기 위한 하부 하우징을 더 포함하되,

상기 플로팅 본체는 상기 하부 하우징에 가이드되어 상하이동가능하고,

상기 탄성바이어스부재는, 상기 플로팅 본체와, 상기 하부 하우징 사이에 배치되어 상기 플로팅 본체를 상기 하부 하우징으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시킬 수 있다.

상기 검사용 소켓에서,

상기 플로팅 본체는, 알루미늄, 스테인리스, 멜딘, 울템 또는 세라믹피크 중 어느 하나의 소재로 이루어질 수 있다.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 상하방향으로 개별동작성을 가지는 전극 구조체를 가지는 시트형 커넥터가 제공될 수 있다.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 탄성이 없는 피검사 디바이스의 단자에 접촉되어도 상하개별적인 동작성이 가능한 전극구조체를 제공함으로서 전기적 접속력이 저하되지 않는 시트형 커넥터가 제공될 수 있다.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 개별동작성을 가지는 전극 구조체를 가지는 시트형 커넥터와 이방 도전성 시트가 결합되어 미세피치를 가진 피검사 디바이스에 대하여 전기적 접속능력이 저하되지 않는 검사용 소켓이 제공될 수 있다.

본 개시의 일 실시예에 의하면, 시트형 커넥터가 플로팅 장치에 지지되어 있어서 전극의 두께 편차를 보정할 수 있게 하는 검사용 소켓이 제공될 수 있다.

도 1은, 종래의 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 2는 도 1의 작동모습을 나타내는 도면.
도 3은 도 2의 일부 확대도.
도 4는 본 개시의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 5는 도 4에서 시트형 커넥터를 도시한 도면.
도 6은 도 4의 검사용 소켓의 작동모습을 나타내는 도면.
도 7은 본 개시의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 8은 본 개시의 제3 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 9는 본 개시의 제4 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 10은 본 개시의 제5 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 11은 본 개시의 제6 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 12는 본 개시의 제7 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.
도 13은 본 개시의 제8 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면.

본 개시의 실시예들은 본 개시의 기술적 사상을 설명하기 위한 목적으로 예시된 것이다. 본 개시에 따른 권리범위가 이하에 제시되는 실시예들이나 이들 실시예들에 대한 구체적 설명으로 한정되는 것은 아니다.

본 개시에 사용되는 모든 기술적 용어들 및 과학적 용어들은, 달리 정의되지 않는 한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 일반적으로 이해되는 의미를 갖는다. 본 개시에 사용되는 모든 용어들은 본 개시를 더욱 명확히 설명하기 위한 목적으로 선택된 것이며 본 개시에 따른 권리범위를 제한하기 위해 선택된 것이 아니다.

본 개시에서 사용되는 "포함하는", "구비하는", "갖는" 등과 같은 표현은, 해당 표현이 포함되는 어구 또는 문장에서 달리 언급되지 않는 한, 다른 실시예를 포함할 가능성을 내포하는 개방형 용어(open-ended terms)로 이해되어야 한다.

본 개시에서 기술된 단수형의 표현은 달리 언급하지 않는 한 복수형의 의미를 포함할 수 있으며, 이는 청구범위에 기재된 단수형의 표현에도 마찬가지로 적용된다.

본 개시에서 사용되는 "제1", "제2" 등의 표현들은 복수의 구성요소들을 상호 구분하기 위해 사용되며, 해당 구성요소들의 순서 또는 중요도를 한정하는 것은 아니다.

본 개시에서, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 경우, 상기 어떤 구성요소가 상기 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로, 또는 새로운 다른 구성요소를 매개로 하여 연결될 수 있거나 접속될 수 있는 것으로 이해되어야 한다.

본 개시에서 사용되는 "상방"의 방향지시어는 시트형 커넥터, 이방 도전성 시트가 검사장치에 대해 위치하는 방향에 근거하고, "하방"의 방향지시어는 상방의 반대 방향을 의미한다. 본 개시에서 사용되는 "수직 방향"의 방향지시어는 상방 방향과 하방 방향을 포함하지만, 상방 방향과 하방 방향 중 특정한 하나의 방향을 의미하지는 않는 것으로 이해되어야 한다.

본 개시에서 사용되는 "두께"의 방향 지시어는 필름 또는 시트의 두께의 방향에 근거하고, "면방향"은 두께방향과 수직한 방향을 의미한다.

이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 실시예들을 설명한다. 첨부된 도면에서, 동일하거나 대응하는 구성요소에는 동일한 참조부호가 부여되어 있다. 또한, 이하의 실시예들의 설명에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성요소를 중복하여 기술하는 것이 생략될 수 있다. 그러나, 구성요소에 관한 기술이 생략되어도, 그러한 구성요소가 어떤 실시예에 포함되지 않는 것으로 의도되지는 않는다.

이하에 설명되는 실시예들과 첨부된 도면에 도시된 예들은, 피검사 디바이스의 검사에 사용되는 검사용 소켓에 관련된다. 실시예들에 따른 검사용 소켓은, 피검사 디바이스의 제조 공정 중 후공정에서, 피검사 디바이스를 최종적으로 검사하기 위해 사용될 수 있다. 그러나, 실시예들에 따른 검사용 시트가 적용되는 검사의 예가 전술한 예에 한정되지는 않는다.

도 1 내지 도 3은 본 개시의 제1 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한다. 제1 실시예에 따른 검사용 소켓은 검사장치와 피검사 디바이스의 사이에 배치되어, 피검사 디바이스의 검사를 위해 사용된다.

피검사 디바이스의 검사를 위해, 피검사 디바이스를 수용하는 인서트가 검사장치에 제거가능하게 장착될 수 있다. 인서트는 테스트 핸들러의 운반 장치에 의해 검사장치로 운반된 피검사 디바이스를 그 안에 수용하여 피검사 디바이스를 검사장치에 위치시킨다. 인서트는 그 하단에 피검사 디바이스가 탑재될 수 있는 시트가 배치되어 있으며 그 시트에는 다수의 구멍이 형성되어 피검사 디바이스의 단자가 그 구멍에 삽입되어 시트형 커넥터의 전극구조체에 접촉될 수 있게 한다.

일 예로, 피검사 디바이스는 반도체 패키지일 수 있지만, 이에 한정되지는 않는다. 반도체 패키지는, 반도체 IC 칩과 다수의 리드 프레임(lead frame)과 다수의 단자를 수지 재료를 사용하여 육면체 형태로 패키징한 피검사 디바이스이다. 상기 단자로서, 핀, 솔더볼(solder ball) 등이 사용될 수 있다. 도 6에 도시된 피검사 디바이스는 솔더볼의 단자를 포함한다. 이에 따라, 피검사 디바이스는 그 하면에 반구형의 다수의 단자를 가진다. 또한, 피검사 디바이스의 반도체 IC 칩은 메모리 IC 칩 또는 비메모리 IC 칩이 될 수 있다.

검사장치는 피검사 디바이스의 전기적 특성, 기능적 특성, 동작 속도 등을 검사할 수 있다. 검사장치는, 검사가 수행되는 테스트 보드 내에, 전기적 테스트 신호를 인가할 수 있고 응답 신호를 받을 수 있는 다수의 도전 패드를 가질 수 있다. 검사용 소켓은 검사장치의 도전 패드 상에 위치되어, 도전 패드와 접촉될 수 있다. 피검사 디바이스의 단자는 검사용 소켓을 통해 대응하는 도전 패드와 전기적으로 연결된다. 즉, 검사용 소켓이 피검사 디바이스의 단자와 단자에 대응하는 도전 패드를 상하 방향으로 도전가능하게 연결시킴으로써, 검사장치에 의해 피검사 디바이스의 검사가 수행된다.

제1 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은, 시트형 커넥터(110)와, 이방 도전성 시트(120)를 포함하여 구성된다.

상기 시트형 커넥터(110)는, 이방 도전성 시트(120)의 상부에 배치되어 피검사 디바이스(150)로부터 떨어지는 이물질로부터 이방 도전성 시트(120)를 보호하여 내구성을 높이고 전극구조체(112)가 피검사 디바이스(150)의 단자(151)에 확실하게 접촉됨으로서 전기적 성능도 높이게 된다.

이러한 시트형 커넥터(110)는, 이방 도전성 시트(120)의 상부에 설치되어 있게 되며, 절연성 시트(111)와, 전극구조체(112)로 이루어진다.

상기 절연성 시트(111)는, 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 대응되는 위치마다 관통구멍(1111)이 형성되어 있으며 절연성 소재로 이루어진 시트이다. 이때 관통구멍(1111)은 시트의 두께 방향으로 연장되어 있으며 복수개가 면방향으로 서로 이격되어 설치되어 있게 되며, r3의 내경을 가지게 된다.

절연성 시트(111)는, 액정 폴리머, 폴리이미드 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리아라미드 수지, 폴리아미드 수지 등의 수지 재료, 글래스 섬유 보강형 에폭시 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리에스테르 수지, 글래스 섬유 보강형 폴리이미드 수지 등의 섬유 보강형 수지 재료, 에폭시 수지 등에 알루미나, 붕소 나이트라이드 등의 무기 재료를 필러로서 함유한 복합 수지 재료 등을 이용할 수 있다.

또한, 절연성 시트(111)를 고온 환경 하에서 사용할 경우에는, 선열팽창 계수가 3×10^-5/K 이하의 것을 이용하는 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 1×10^-6 내지 2×10^-5/K, 특히 바람직하게는 1×10^-6 내지 6×10^-6/K이다. 이러한 절연성 시트(111)를 이용함으로써, 절연성 시트(111)의 열팽창에 의한 전극구조체(112)와 도전부(121) 간의 위치 어긋남을 억제할 수 있다.

상기 전극구조체(112)는, 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)에 삽입되어 절연성 시트(111)의 양면으로 돌출된 전극으로서, 피검사 디바이스(150)의 단자(151)와 이방 도전성 시트(120)의 도전부(121)를 서로 전기적으로 접속시키는 기능을 수행한다.

이러한 전극구조체(112)는, 상기 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트(111)의 상면에 배치되는 상부 전극부(1121)와, 상기 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트(111)의 하면에 배치되는 하부 전극부(1122)와, 상기 상부 전극부(1121)의 하면과, 상기 하부 전극부(1122)의 상면에 연결되고 상기 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)을 통과하며, 상기 절연성 시트(111)의 두께방향을 따라서 이동가능한 연결부(1123)로 구성된다.

구체적으로 상부 전극부(1121)는, 절연성 시트(111)의 상면에서 노출되는 것으로서, 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)의 직경(r3)보다 큰 외경(r2)을 가지게 된다. 상부 전극부(1121)의 표면에는 원뿔 형태의 돌기가 복수개 형성되어 요철(1121a)을 구성하게 된다. 이러한 요철(1121a)은 피검사 디바이스(150)의 단자(151)의 표면에 묻어 있는 산화피막을 제거하는데 활용된다. 요철(1121a)은 원뿔 형태의 돌기로만 구성되는 것은 아니며 삼각뿔, 다각뿔, 원기둥 중 어느 하나의 형태가 사용되는 것도 가능하다.

상기 하부 전극부(1122)는 절연성 시트(111)의 하면에서 노출되는 것으로서, 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)의 직경(r3)보다 큰 외경(r2)을 가지게 된다. 하부 전극부(1122)의 하면에는 반구형 범프(1122a)가 형성되어 있게 된다. 이러한 반구형 범프(1122a)는 하부 전극부(1122)와는 다른 소재로 구성될 수 있으며, 주석(Sn)이 사용되는 것이 좋다. 이러한 반구형 범프(1122a)는 이방 도전성 시트(120)와 접촉시 도전부(121) 상면에 감싸면서 접촉하여 도전부(121)와의 접촉성능을 높게 한다. 또한 소재가 주석으로 이루어져 있어서 도전부(121)와 부드러운 접촉이 가능하게 하고 장기간 사용해도 소재 변형이 없어서 전기적 성능이 유지할 수 있게 한다.

한편, 반구형 범프(1122a)는 전체적으로 주석소재로 이루어지는 것이 가능하나, 이에 한정되는 것은 아니며 주석이 피복되어 있는 것도 가능하다.

상기 연결부(1123)는 원기둥 형태로 이루어지고 상부 전극부(1121)와 하부 전극부(1122)를 상호 연결하는 기능을 수행한다. 연결부(1123)는 절연성 시트(111)의 관통구멍(1111)의 직경(r3)보다 작은 외경(r1)을 가지고 있어서 관통구멍(1111)의 내벽을 따라서 상하이동할 수 있도록 구성된다. 또한, 연결부(1123)의 길이(L)은 절연성 시트(111)의 두께(d)보다 크게 되어 있어서 전극 구조체가 절연서 시트에 대하여 상하방향으로 이동가능하게 한다.

상기 전극구조체(112)는, 강성을 갖는 금속 재료를 적합하게 이용할 수 있고, 특히, MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)에 의하여 제조되는 것이 용이한 금속 재료를 이용하는 것이 바람직하다. 이러한 금속 재료의 구체예로서는, 니켈, 코발트, 금, 은, 구리, 알루미늄 등의 단체 금속 또는 이들 합금 등을 예로 들 수 있다.

전극구조체(112)는 복수개가 절연성 시트(111)에 대하여 면방향으로 서로 이격되어 배치되어 있으며, 각각을 따라서 상하방향으로 자유롭게 이동가능하다. 또한, 각 전극구조체(112)는 인접한 전극구조체(112)에 영향을 받지 않고 독립적으로 상하방향으로 이동할 수 있어서 피검사 디바이스(150)의 단자(151) 높이에 따라서 전극구조체(112)가 상승 또는 하강함으로서 단자(151)에 확실하게 접촉될 수 있게 된다.

이러한 전극구조체(112)는, MEMS 에 의하여 제조될 수 있다. 구체적으로는 기판에 원하는 형태의 홈을 형성한 후에 그 홈에 도금층을 형성함으로서 필요한 형태의 전극구조체(112)를 제작할 수 있게 한다. 이러한 MEMS 기술에 의하여 제조된 전극구조체(112)는 설계자가 원하는 미세한 형태로 제작될 수 있으며 소재에 따라서 충분한 강도를 가질 수 있게 한다.

상기 이방 도전성 시트(120)는, 소프트한 접촉을 가능하게 함으로서 피검사 디바이스(150)가 하강하면서 가압되어도 그 피검사 디바이스(150)의 가압에 의한 충격을 흡수하면서도 필요한 전기적 접속능력을 가질 수 있게 한다.

이러한 이방 도전성 시트(120)는 도전부(121)와 절연부(122)를 포함하여 구성된다.

상기 도전부(121)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(1211)가 두께방향으로 집합되어 있는 것이다. 피검사 디바이스(150)의 단자(151)가 도전부(121)를 가압하게 되면 도전성 입자(1211)들이 상호 접촉하면서 인접한 도전성 입자(1211)와 접촉면적이 증가되면서 전도성을 가지게 된다.

상기 도전성 입자(1211)는 코어 입자의 표면을 고도전성 금속으로 피복하여 이루어질수 있다. 코어 입자는 자성체인 철, 니켈, 코발트 등의 금속 재료로 이루어지거나, 탄성을 지닌 수지 등의 입자가 사용될 수 있다. 코어 입자의 표면에 피복되는 고도전성 금속으로는, 금, 은, 로듐, 백금, 크롬 등이 사용될 수 있다.

상기 탄성 절연물질은 경화된 실리콘 러버 재료로 이루어진다. 예컨대, 다수의 도전성 입자(1211)가 분포된 액상의 실리콘 러버가 금형 내에 주입되고 경화됨으로써, 상기 도전부(121)가 형성될 수 있다. 상기 도전부(121)를 성형하기 위한 액상의 실리콘 러버 재료로서, 부가형 액상 실리콘 고무, 축합형 액상 실리콘 고무, 비닐기나 히드록시기를 포함하는 액상 실리콘 고무 등이 사용될 수 있다. 구체적인 예로서, 상기 액상 실리콘 러버 재료는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 포함할 수 있다.

상기 절연부(122)는 상기 도전부(121)를 지지하면서 각 도전부(121)를 서로 절연시키는 것이다. 이러한 절연부(122)는 도전부(121)를 구성하는 탄성 절연물질과 동일한 연질의 소재로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다른 이종소재로 이루어지는 것도 가능하다. 즉, 절연부(122)는 비탄성물질로 이루어지는 것이 가능하며 이 경우에는 도전부(121)를 견고하게 지지할 수 있게 된다.

상기 시트형 커넥터(110)와, 이방 도전성 시트(120)는 가장자리에 스페이서(130)에 의하여 상호 연결된다. 스페이서(130)는 상기 시트형 커넥터(110)의 절연성 시트(111)의 가장자리와, 이방 도전성 시트(120)의 대응위치에 사이에 배치되어 있으며, 절연성 시트(111)가 이방 도전성 시트(120)의 상면에 소정의 간격을 유지하게 한다.

구체적으로 절연성 시트(111)의 하면과, 이방 도전성 시트(120)의 상면 사이에는 전극구조체(112)의 하부 전극부(1122)가 상하방향으로 이동될 수 있도록 비어있는 이동공간(123)이 마련되는데, 스페이서(130)가 이동공간(123)을 마련할 수 있도록 절연성 시트(111)를 이방 도전성 시트(120)에서 이격시킨다.

이때, 상기 절연성 시트(111)와, 상기 이방 도전성 시트(120)는 상하방향으로 서로 이격되어 있으며, 그 이격거리는, 상기 전극구조체(112)의 하부 전극부(1122)의 두께와 같거가 그보다 크게 된다. 이에 따라서 전극구조체(112)는 이동공간(123) 내에서 상하방향으로 자유롭게 이동될 수 있게 된다.

이러한 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓(100)은 다음과 같은 작용효과를 가진다.

피검사 디바이스(150)가 인서트에 삽입된 상태에서 이동하여 검사용 소켓(100)을 가압하는 경우 도 6에 도시된 바와 같이, 피검사 디바이스(150)의 단자(151)들의 높이가 각각 다르더라도 각 전극구조체(112)를 개별적으로 상하방향으로 이동가능하여 각 단자(151)들의 높이차에도 불구하고 전극구조체(112)가 각 단자(151)들에 확실하게 접촉될 수 있다.

단자(151)의 높이가 작은 경우에는 전극구조체(112)가 상승하여 높이를 보정하고, 단자(151)의 높이가 높은 경우에는 전극구조체(112)가 하강하여 높이를 보정할 수 있다. 이때 이방 도전성 시트(120)는 탄성소재로 이루어져 있어서 전극구조체(112)가 하강하게 되면 하측으로 눌림으로서 전극구조체(112)의 하강을 방해하지 않고 단자(151)의 높이가 낮은 경우에는 이방 도전성 시트(120)가 덜 가압됨으로써 전극구조체(112)를 덜 하강시켜 도전부(121)와 접촉상태를 유지할 수 있게 한다.

피검사 디바이스(150)의 단자(151)가 전극구조체(112)와 접촉상태에 놓이게 되는 경우에 검사장치(140)로부터 소정의 전기적 신호가 인가되면 그 전기적 신호를 도전부(121)를 통하여 전극구조체(112)를 거쳐서 피검사 디바이스(150)의 단자(151)에 도달하게 되고 이에 따라서 소정의 전기적 검사가 진행된다.

본 발명에서는 전극구조체(112)의 하단이 반구형상을 가지고 있어서 전극구조체(112)가 도전부(121)를 가압하는 것이 용이하고 접촉성능이 높아지게 되는 장점이 있다. 또한 전극구조체(112)의 반구형 범퍼가 주석으로 이루어져 있어서 도전부(121)와 소프트한 접촉이 가능하다는 장점이 있게 된다.

또한, 본 발명은 피검사 디바이스(150)의 단자(151)의 높이편차 뿐만 아니라 시트형 커넥터(110)의 두께 편차를 보정할 수 있게 되는 장점도 있다.

또한 본 발명은 피검사 디바이스(150)의 단자(151) 높이에 관계없이 인서트(160)에서 시트(161)의 구멍(162) 내부에서 전기적 접촉이 가능하다는 장점도 있게 되고, 이에 따라서 인서트(161)의 시트(162) 두께를 증가시킬 수 있어서 인서트(161)의 시트(161) 내구성도 높일 수 있게 된다.

또한 본 발명은 다양한 높이를 가지는 피검사 디바이스(150)에 대한 전기적 검사를 가능하게 한다. 즉, 높이가 전체적으로 낮은 단자(151)를 가지는 피검사 디바이스(150)에 대한 전기적 검사도 가능하고, 높이가 전체적으로 높은 단자(151)를 가지는 피검사 디바이스(150)에 대한 전기적 검사가 가능하게 됨으로서 범용적으로 사용할 수 있게 되는 장점도 있다.

이러한 본 발명의 검사용 소켓(100)에서, 검사용 시트형 커넥터(110)는 이방 도전성 시트(120)와 결합되어 사용되는 것이 가능하나, 이에 한정되는 것은 아니며 검사용 시트형 커넥터(110)만 단독으로 사용되는 것이 가능하며, 검사용 시트형 커넥터(110)가 단독으로 전기접속용으로 사용되는 경우 각종 단자(151)들의 접속을 용이하게 할 수 있게 한다.

또한, 본 발명에 따른 검사용 소켓(100)은 피검사 디바이스(150)가 전체적으로 휘어진 (Warpage) 경우에도 적용할 수 있게 된다. 즉 피검사 디바이스(150)가 완전하게 평면형태를 이루어지 못하고 휘어진 경우에도 전극구조체(112)가 필요에 따라서 상승하강함으로서 피검사 디바이스(150)의 단자(151)들에 모두 접촉할 수 있게 되는 장점이 있다.

이러한 본 발명의 검사용 소켓(100)은 다음과 같이 변형되는 것이 가능하다.

도 7은 제2 실시형태에 따른 검사용 소켓(200)을 도시하고 있다. 제2 실시형태에 따른 검사용 소켓(200)은, 상기 절연성 시트(211)와, 상기 이방 도전성 시트(220) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부(2122)보다 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(231)이 추가로 배치되는 것이다.

제1 실시형태에서는 절연성 시트(111)의 가장자리에 스페이서(130)만이 배치된 상태로 시트형 커넥터(110)와 이방 도전성 시트(120)를 서로 이격시키고 있었으나, 제2 실시형태에서는 전극 가이드 필름(231)이 추가로 배치되어 있어서 전극구조체(212)가 상하방향으로 이동하는 이동공간을 충분하게 확보할 수 있다.

구체적으로 절연성 시트(211)의 길이가 긴 경우에는 가장자리에서 먼 중앙부분은 처질 수 있게 되고 이에 따라서 전극구조체(212)가 승하강할 수 있는 공간을 충분하게 확보할 수 없게 되는 일이 있는데, 전극 가이드 필름(231)이 추가로 배치되어 있게 되어 승하강을 위한 충분한 공간을 확보할 수 있게 한다.

또한, 전극구조체(212)의 연결부(1123)가 절연성 시트(211)의 관통구멍(2111)보다 작게 되어 있는 경우에는 전극구조체(112)가 상승 또는 하강하는 과정에서 경사이동할 수 있는데, 전극 가이드 필름(231)이 전극구조체(212)와 인접하게 배치되어 있는 경우에는 전극구조체(212)가 승하강 위치를 가이드하는 기능도 수행함으로서 전극구조체(212)의 상승 하강시 기울어지지 않게 하여 접촉성능을 좋게 한다.

도 8은 제3 실시형태에 따른 검사용 소켓(300)을 도시하고 있다. 제3 실시형태에 따른 검사용 소켓(300)은, 상기 이방 도전성 시트(320)의 상면에는 도전부(321)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(324)가 추가로 배치되어 있게 된다.

이러한 절연시트(324)는, 폴리이미드와 같은 경질의 합성수지 소재로 이루어진 시트이다. 이러한 절연시트(324)의 두께는 10 내지 200㎛인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 15 내지 100㎛이다. 절연시트(324)는 절연부(322) 상면에 이물질이 묻는 것을 방지하고 도전부(321)의 위치를 고정하는 기능도 수행하게 된다. 즉, 도전부(321)가 일정한 위치를 유지하게 함으로서 전극구조체(312)와 도전부(321)가 확실하게 접촉될 수 있게 한다.

즉, 종래기술에서는 시트형 커넥터가 이방 도전성 시트에 공극이 없이 일체적으로 결합되어 있어서 전극구조체와 도전부의 위치 어긋남이 발생될 염려가 적었으나, 본 실시예와 같이 전극구조체(312)가 상하이동가능한 구조에서는 전극구조체(312)와 도전부(321)의 위치가 상호 어긋날 염려가 있다. 특히, 번인테스트를 위하여 고온환경하에서 검사를 수행하는 경우에는 도전부(321)가 좌우방향으로 팽창되어 전극구조체(312)와 위치어긋남이 발생될 여지가 있는데, 경질의 절연시트(324)가 이방 도전성 시트(320)의 상면에 설치되어 있게 되어 전극구조체(312)와 도전부(321) 간의 위치맞춤을 확실하게 할 수 있게 된다.

도 9는, 제4 실시형태에 따른 검사용 소켓(400)을 도시하고 있다. 제4 실시형태에 따른 검사용 소켓(400)은, 제2실시형태와 제3실시형태의 복합구조라고 할 것이며, 전극 가이드 필름과, 절연시트가 함께 배치되어 있게 된다.

구체적으로, 상기 절연성 시트(411)와, 상기 이방 도전성 시트(420) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부(4122)의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(431)이 배치되고, 이방 도전성 시트(420)의 상면에는 도전부(421)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(423)가 배치되어 있게 된다.

이러한 제4 실시형태에 따른 검사용 소켓(400)은, 제2, 제3 실시형태에 나타난 효과를 복합적으로 가질 수 있는 장점이 있다.

도 10은, 제5실시형태에 따른 검사용 소켓(500)으로서, 제1실시형태에 따른 검사용 소켓(100)에 플로팅 장치가 추가로 배치된 것이다.

플로팅 장치(570)는, 상기 시트형 커넥터(510)의 가장자리를 지지하고 상기 시트형 커넥터(510)를 이방 도전성 시트(520)에 근접한 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있는 플로팅 본체(571)와, 상기 플로팅 본체(571)의 하부에 배치되어 상기 플로팅 본체(571)를 탄성적으로 지지하는 탄성바이어스 부재(572)로 이루어진다.

구체적으로 이방 도전성 시트(120)의 가장자리에는 이방 도전성 시트(120)의 프레임을 지지하는 하부 하우징(580)이 배치되어 있으며 하부 하우징(580)에는 상방향으로 가이드 핀(581)이 설치되어 있게 된다.

상기 플로팅 본체(571)는, 시트형 커넥터(510)의 가장자리를 지지하는 것으로서 상기 가이드 핀(581)에 끼워져 있게 된다. 이러한 플로팅 본체(571)는 가이드 핀(581)에 의하여 승하강 위치가 가이드된 상태에서 시트형 커넥터(110)를 상승 또는 하강가능하게 지지한다. 상기 플로팅 본체(571)는 알루미늄, 스테인리스, 멜딘, 울템 또는 세라믹피크 중 어느 하나의 소재로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 내구성이 좋은 소재라면 무엇이나 사용가능하다.

상기 탄성바이어스 부재(572)는, 플로팅 본체(571)와 하부 하우징(580) 사이에 배치되어 있어서 플로팅 본체(571)가 하부 하우징(580)으로부터 멀어지도록 탄성바이어스시키게 된다. 이러한 탄성바이어스 부재(572)는 코일 스프링이 적용될 수 있으며 상단은 플로팅 본체(571)에 접촉되어 지지되고, 하단은 하부 하우징(580)에 접촉되어 지지된다.

상기 탄성바이어스 부재(572)는 코일 스프링이 일예로 나타나 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 플로팅 본체(571)를 탄력적으로 지지할 수 있는 수단이라면 고무나 기타 다양한 형태의 탄성부재가 사용될 수 있다.

제1 실시형태에서는 시트형 커넥터(110)가 이방 도전성 시트(120)의 가장자리에 스페이서(130)에 의하여 위치고정되어 있었으나, 제5 실시형태에 따른 검사용 소켓(500)은 시트형 커넥터(510)가 플로팅 장치(570)에 의하여 승하강가능하게 배치되어 있게 된다.

제5 실시형태에 따른 검사용 소켓(500)은, 시트형 커넥터(510)의 위치가 가변될 수 있으므로, 피검사 디바이스의 단자)에 대한 높이편차를 보다 효과적으로 대응할 수 있는 장점이 있다. 즉, 절연성 시트의 가장자리가 고정되어 있는 것에 비하여 절연성 시트(511)가 상승 또는 하강할 수 있도록 구성되어 있으므로 전극구조체(512)의 승하강 자유도를 보다 크게 할 수 있게 되어 전체적인 동작성능을 높게 할 수 잇다.

또한, 시트형 커넥터(510)를 쉽게 교체할 수 있는 장점도 있게 된다. 시트형 커넥터(510)에 대한 교체가 필요한 경우 플로팅 장치(570)를 가이드 핀(581)으로부터 들어올려 분리함으로서 시트형 커넥터(510)에 대한 교체를 용이하게 할 수 있게 된다.

도 11은 제6 실시형태에 따른 검사용 소켓(600)을 나타낸다. 제6 실시형태에 따른 검사용 소켓(600)에서, 상기 절연성 시트(611)와, 상기 절연성 시트(611)로부터 이격된 이방 도전성 시트(620) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부(1122)의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(631)이 추가로 배치되는 것이다. 이때 전극가이드 필름(631)은 플로팅 본체(671)의 승하강을 저해하지 않도록 플로팅 본체(671)의 최대상승높이보다는 낮은 높이를 가지는 것이 좋다. 플로팅 본체(671)가 충분하게 하강한 후에는 절연성 시트(111)의 하면이 전극 가이드 필름(631)에 접촉되는데, 이 상태에서도 전극구조체(112)의 승하강 작동성은 보장될 수 있는 것이 바람직하다.

한편,절연성 시트(611)의 길이가 긴 경우에는 가장자리에서 먼 중앙부분은 처질 수 있게 되고 이에 따라서 전극구조체(612)가 승하강할 수 있는 공간을 충분하게 확보할 수 없게 되는 일이 있는데, 전극 가이드 필름(631)이 추가로 배치되어 있게 되어 승하강을 위한 충분한 공간을 확보할 수 있게 하며, 전극 가이드 필름(631)은 전극구조체(112)의 이동방향을 가이드 하는 기능도 수행하게 된다.

도 12은 제7 실시형태에 따른 검사용 소켓(700)을 도시하고 있다. 제7 실시형태에 따른 검사용 소켓(700)은, 상기 이방 도전성 시트(720)의 상면에는 도전부(721)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(724)가 추가로 배치되어 있게 된다.

이러한 절연시트(724)는 절연부(722) 상면에 이물질이 묻는 것을 방지하고 도전부(721)의 위치를 고정하는 기능도 수행하게 된다. 즉, 도전부(721)가 일정한 위치를 유지하게 함으로서 전극구조체(712)와 도전부(721)가 확실하게 접촉될 수 있게 한다.

도 13은, 제8 실시형태에 따른 검사용 소켓(100)을 도시하고 있다. 제8 실시형태에 따른 검사용 소켓(100)은, 제6실시형태와 제7실시형태의 복합구조라고 할 것이며, 전극 가이드 필름(831)과, 절연시트(824)가 함께 배치되어 있게 된다.

구체적으로, 상기 절연성 시트(811)와, 상기 이방 도전성 시트(820) 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름(831)이 배치되고, 이방 도전성 시트(820)의 상면에는 도전부(821)와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트(824)가 배치되어 있게 된다.

이러한 제8 실시형태에 따른 검사용 소켓(100)은, 제2, 제3 실시형태에 나타난 효과를 복합적으로 가질 수 있는 장점이 있다.

이상에서 바람직한 실시예를 들어 본 발명을 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예들 및 변형예에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다.

100... 검사용 소켓 110...시트형 커넥터
111...절연성 시트 1111...관통구멍
112...전극구조체 1121...상부 전극부
1121a...요철 1122...하부 전극부
1122a...반구형 범프 1123...연결부
120...이방 도전성 시트 121...도전부
1211...도전성 입자 122...절연부
123...이동공간 130...스페이서
140...검사장치 150...피검사 디바이스
151...단자 160...인서트
161...시트 162...구멍

Claims (24)

1. 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 시트형 커넥터에 있어서,
   피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 관통구멍이 형성되어 있으며 절연성 소재로 이루어진 절연성 시트; 및
   상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 상면에 배치되는 상부 전극부와,
   상기 절연성 시트의 관통구멍과 대응되는 위치로서 상기 절연성 시트의 하면에 배치되는 하부 전극부와,
   상기 상부 전극부의 하면과, 상기 하부 전극부의 상면에 연결되고 상기 절연성 시트의 관통구멍을 통과하며, 상기 절연성 시트의 두께방향을 따라서 이동가능한 연결부로 구성된 전극구조체;를 포함하되,
   상기 연결부의 길이는 상기 절연성 시트의 두께보다 커서 상기 전극구조체는 상기 절연성 시트에 대하여 상하방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
2. 제1항에 있어서,
   상기 상부 전극부와, 하부 전극부는 상기 관통구멍의 직경보다 큰 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
3. 제1항에 있어서,
   상기 연결부는 상기 관통구멍의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
4. 제1항에 있어서,
   상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉되는 상부 전극부의 표면에는 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
5. 제4항에 있어서,
   상기 요철은 삼각뿔, 원뿔, 다각뿔, 다각기둥, 원기둥 중 어느 하나가 복수개 마련되어 형성된 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
6. 제1항에 있어서,
   상기 하부 전극부에는 반구형 범프가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
7. 제6항에 있어서,
   상기 반구형 범프는 상기 하부 전극부와 다른 이종소재로 이루어지거나, 다른 이종소재가 도금처리되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
8. 제7항에 있어서,
   상기 이종소재는 연성이 우수한 주석을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
9. 제1항에 있어서,
   상기 관통구멍은 복수개가 서로 이격되어 배치되고,
   상기 전극구조체는 복수개가 각각의 관통구멍에 배치되어 있으며,
   각 전극구조체는 인접한 전극구조체에 대하여 독립적으로 상하방향으로 이동가능한 것을 특징으로 하는 검사용 시트형 커넥터.
10. 제1항이 있어서,
    상기 전극구조체는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)에 의하여 제조되는 것을 특징으로 하는 시트형 커넥터.
11. 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 소켓에 있어서,
    제1항의 시트형 커넥터; 및
    상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되는 이방 도전성 시트;를 포함하되,
    상기 이방 도전성 시트는,
    피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되는 도전부와,
    상기 도전부 사이에 배치되며 상기 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
12. 제11항에 있어서,
    상기 절연성 시트의 하면과, 상기 이방 도전성 시트의 상면 사이에는 상기 전극구조체의 하부 전극부가 상하방향으로 이동될 수 있도록 비어있는 이동공간이 마련된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
13. 제11항에 있어서,
    상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트는 상하방향으로 서로 이격되어 있으며, 그 이격거리는, 상기 전극구조체의 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 큰 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
14. 제13항에 있어서,
    상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이에는, 상기 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
15. 제14항에 있어서,
    상기 전극 가이드 필름은 각 전극구조체 사이에 위치하여, 인접한 전극구조체와 구분되도록 하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
16. 제11항에 있어서,
    상기 이방 도전성 시트의 상면에는 도전부와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트가 마련된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
17. 피검사 디바이스와 검사장치 사이에 배치되어 피검사 디바이스의 단자와 검사장치의 패드를 서로 전기적으로 접속시켜 피검사 디바이스에 대한 전기적 검사가 수행되도록 하는 검사용 소켓에 있어서,
    제1항의 시트형 커넥터;
    상기 시트형 커넥터의 하측에 배치되는 이방 도전성 시트; 및
    상기 시트형 커넥터의 가장자리를 지지하고 상기 시트형 커넥터를 이방 도전성 시트에 근접한 방향 또는 멀어지는 방향으로 이동시킬 수 있는 플로팅 본체와,
    상기 플로팅 본체의 하부에 배치되어 상기 플로팅 본체를 탄성적으로 지지하는 탄성바이어스 부재로 이루어진 플로팅 장치;를 포함하고,
    상기 이방 도전성 시트는,
    피검사 디바이스의 단자와 대응되는 위치마다 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께방향으로 배치되는 도전부와,
    상기 도전부 사이에 배치되며 상기 도전부를 지지하면서 절연시키는 절연부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
18. 제17항에 있어서,
    상기 절연성 시트의 하면과, 상기 이방 도전성 시트의 상면 사이에는 상기 전극구조체의 하부 전극부가 상하방향으로 이동될 수 있게 하는 비어있는 이동공간이 마련된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
19. 제17항에 있어서,
    상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이의 이격거리는, 상기 전극구조체의 하부 전극부의 두께와 같거나 그보다 큰 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
20. 제19항에 있어서,
    상기 절연성 시트와, 상기 이방 도전성 시트 사이에는, 이격거리를 유지시키기 위하여 하부 전극부의 두께와 같거나 큰 높이를 가지는 전극 가이드 필름이 상기 이방 도전성 시트의 상면에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
21. 제20항에 있어서,
    상기 전극 가이드 필름은 각 전극구조체 사이에 위치하여, 전극구조체를 구분시키는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
22. 제17항에 있어서,
    상기 이방 도전성 시트의 절연부 상면에는 도전부와 대응되는 위치마다 통공이 형성된 절연시트가 마련된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
23. 제17항에 있어서,
    상기 이방 도전성 시트를 수용하기 위한 하부 하우징을 더 포함하되,
    상기 플로팅 본체는 상기 하부 하우징에 가이드되어 상하이동가능하고,
    상기 탄성바이어스부재는, 상기 플로팅 본체와, 상기 하부 하우징 사이에 배치되어 상기 플로팅 본체를 상기 하부 하우징으로부터 멀어지는 방향으로 탄성바이어스 시키는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
24. 제17항에 있어서,
    상기 플로팅 본체는, 알루미늄, 스테인리스, 멜딘, 울템 또는 세라믹피크 중 어느 하나의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.

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