KR20230079185A - 이탈 방지 기능을 갖춘 하우징 - Google Patents

Abstract

테스트 시스템용 접촉자 조립체가 개시된다. 상기 조립체는 접점부 테일을 갖는 접점부 및 상부 표면 및 바닥 표면을 갖는 하우징을 포함한다. 슬롯은 상기 상부 표면에서 상기 바닥 표면까지 상기 하우징을 통해 연장하고 상기 하우징의 제1 내부 측벽 및 제1 내부 단부벽을 구획 형성한다. 상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하다. 상기 접점부 테일은 경사진 종단을 포함한다. 리테이너는 상기 제1 내부 측벽에 배치된다. 상기 경사진 종단이 상기 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 상기 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 겹치는 영역에 형성되는 접점부와 겹쳐서, 상기 하우징의 상부 측으로부터 상기 접점부가 제거되는 것을 방지한다.

Description

이탈 방지 기능을 갖춘 하우징

본 개시는 일반적으로 마이크로회로(예를 들어, 반도체 장치, 집적 회로 등과 같은 칩)를 테스트하는 분야에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 개시는 테스트 시스템에서 접점(contact) 유지를 위한 이탈 방지 기능을 갖춘 하우징을 갖는 접촉자(contactor) 조립체에 관한 것이다.

마이크로회로의 제조 공정은 모든 마이크로회로가 완전히 기능한다는 것을 보장할 수 없다. 개별 마이크로회로의 치수는 미시적이며(microscopic) 공정 단계가 매우 복잡하므로 제조 공정의 작거나 미묘한 오류로 인해 종종 장치 결함이 초래될 수 있다. 결함이 있는 마이크로회로를 회로 기판에 장착하는 데는 상대적으로 비용이 많이 든다. 설치에는 일반적으로 마이크로회로를 회로 기판에 납땜하는(soldering) 작업이 포함된다. 일단 회로 기판에 장착되면, 납땜을 두 번이나 녹이는 행위 자체가 회로 기판을 망칠 수 있기 때문에, 마이크로회로를 제거하는 것은 문제가 된다. 따라서 마이크로회로에 결함이 있으면, 회로 기판 자체도 망가질 수 있으며, 이는 해당 지점에서 회로 기판에 추가된 전체적인 가치가 손실됨을 의미한다. 이러한 모든 이유로 마이크로회로는 일반적으로 회로 기판에 설치하기 전에 테스트된다. 각 마이크로회로는 결함이 있는 모든 장치를 식별하는 방식으로 테스트되어야 하지만 양호한 장치를 결함으로 부적절하게 식별하지는 않아야 한다. 두 종류의 오류가 자주 발생할 경우, 회로 기판 제조 공정에 상당한 전체 비용이 추가된다.

마이크로회로 테스트 장비 자체는 상당히 복잡한다. 우선, 테스트 장비는 밀접하게 간격을 둔 마이크로회로 접점들의 각각과 정확하면서 낮은 저항의 임시적인 그리고 비파괴적인(non-destructive) 전기 접점을 만들어야 한다. 마이크로회로 접점의 작은 크기와 그 사이의 간격으로 인해 접점을 만드는 데 작은 오류조차도 잘못된 연결을 초래한다. 마이크로회로 테스트 장비의 또 다른 문제는 자동 테스트에서 발생한다. 테스트 장비는 분당 100개 이상의 장치를 테스트할 수 있다. 엄청난 수의 테스트로 인해 테스트 중에 마이크로회로 단자에 전기적 연결을 만드는 테스터 접점이 마모된다. 이러한 마모는 테스터 접점 및 테스트 대상 장치(DUT) 단자 모두로부터 테스트 장비와 DUT 자체를 오염시키는 전도성 파편이 벗겨지게 만든다(dislodge). 이러한 파편은 결국 테스트 중에 불량한 전기 연결과 DUT에 결함이 있다는 잘못된 표시를 초래한다. 마이크로회로에 달라붙은 파편은 마이크로회로에서 파편을 제거하지 않는 한 잘못된 조립을 초래할 수 있다. 파편을 제거하면 비용이 추가되고 마이크로회로 자체에 또 다른 결함 원인을 제공된다.

또 다른 고려 사항도 존재한다. 성능이 좋은 저렴한 테스터 접점이 유리하다. 테스트 장비가 비싸기 때문에 이들을 교체하는데 필요한 시간을 최소화하는 것도 바람직하다. 테스트 장비가 정상적인 유지 관리 기간 동안 오프라인 상태이면, 개별 마이크로회로를 테스트하는 비용이 증가한다. 현재 사용 중인 테스트 장비는 마이크로회로 단자 배열의 패턴을 모방한 테스트 접점부 어레이(array)를 가진다. 상기 테스트 접점부 어레이는 서로에 대한 접점의 정렬을 정확하게 유지하는 구조에 의해 존재한다(support). 정렬 보드 또는 플레이트 또는 템플릿은 마이크로회로 자체를 테스트 접점과 정렬한다. 테스트 접점과 정렬 보드(alignment board)는 테스트 접점에 전기적 연결을 만드는 전도성 패드를 갖는 로드 보드(load board)에 장착된다. 상기 로드 보드 패드는 테스트 장비 전자 장치와 테스트 접점 사이에서 신호와 전력을 전달하는 회로 경로에 연결된다.

마이크로회로 신호 및 전력(S&P) 단자에 전기적으로 연결되는 각각의 테스트 접점부 어레이는 하우징 및 예를 들어 한 쌍의 엘라스토머(elastomer)에 의해 바이어스되는(biased) 접점부(핀(pin)이라고도 함)를 포함하는 접촉자 조립체라고 할 수 있다. 일 특정 적용의 경우, 접점부가 작동 중일 때 상기 접점부의 접점부 테일(tail)의 평평한 부분은 로드 보드(인쇄 회로 기판 "PCB")에 맞닿아 있고, 상기 하우징의 테일 스톱부(예를 들어, 내부 단부벽)는 상기 접점부를 적절한 위치에 유지시킬 수 있다. 그러나 접촉자 조립체를 수리하거나 유지 관리하기 위해 로드 보드에서 접촉자 조립체를 제거할 때, 상기 접점부는 (단면도에서 본 경우) 시계 반대 방향으로 회전하거나, 접점부의 정상 작동 위치에서 접점부가 하우징에서 떨어지거나 다른 장치/구성요소를 손상시키기 쉬운 위치로 회전할 가능성이 있다. 이러한 접점부의 이탈 문제를 해결하기 위한 일 해결수단은 접점부를 제자리에 고정하고 접점부가 시계 반대 방향으로 더 회전하여 잠재적으로 하우징의 상부 표면에서 떨어지는 것(하우징이 로드 보드에서 분리되면 핀이 하우징 바닥에서 제거될 것으로 예상된다)을 방지하기 위해 접촉자 조립체 하우징의 상부 커버를 사용하는 것이다. 그러한 해결수단에서, 접촉자 조립체의 하우징은 접점부를 제자리에 클램핑하기 위해 엘라스토머(예를 들어, 고무 또는 다른 적합한 재료로 제조됨)에 대해 접점부를 클램핑할 수 있다. 그러나 특정 접촉자 조립체의 경우, 하우징이 매우 얇고(예를 들어, 길이 약 1mm) 깨지기 쉬우며 강하지 않을 수 있다. 만약 상부 커버(상단)가 접점부를 고정하기 위해 사용되면 하우징이 들리거나 휘어질 수 있다. 즉, 하우징의 수직 방향(예를 들어, 하우징의 상부 표면에서 바닥 표면으로의 방향)의 강도는 접점부를 제자리에 고정시키기에 충분히 강하지 않을 수 있다.

본원에 개시된 실시예는 앞서 언급된 각각의 문제를 다루는 해결수단을 제공한다. 본원에 개시된 실시예는 특히 접촉자 조립체가 장착 플레이트(예를 들어, 로드 보드)로부터 제거될 때 접점부가 반시계 방향으로 더 회전하는 것을 방지하기 위해, (예를 들어, 접점부를 제자리에 유지할 수 있는 영역에서 하우징에 재료를 추가함으로써) 이탈 방지 메커니즘을 제공할 수 있다. 본원에 개시된 실시예에 의해 제공되는 이탈 방지 메커니즘은 접점부가 (예를 들어, 단면도 또는 측면에서 본 경우) 하우징에서 위쪽으로 서 있지 않도록 접촉자 조립체가 로드 보드에 장착된 경우, 접점부가 회전하는 것을 방지할 수 있고 접점부를 적절한 위치에 유지시킬 수 있다.

또한 집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템용 접촉자 조립체가 개시된다. 상기 접촉자 조립체는 접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일을 갖는 접점부를 포함한다. 접촉자 조립체는 또한 제1 평면 측면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함한다. 상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함한다. 슬롯(slot)은 상기 상부 표면에서 상기 바닥 표면까지 하우징을 통해 연장한다. 상기 슬롯은 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 하우징의 제2 내부 측벽, 상기 하우징의 제1 내부 단부벽 및 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성한다(define). 상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하다(receivable). 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함한다. 리테이너(retinaer)는 상기 하우징의 제1 내부 측벽에 배치된다. 상기 접점부의 경사진 종단이 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 상기 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 볼 때 겹치는 영역에 형성되는 상기 접점부와 겹치고(overlap), 상기 겹치는 영역의 적어도 일부에서 상기 리테이너와 상기 접점부 사이에는 간극이 존재하지 않는다.

또한 집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템이 개시된다. 테스트 시스템은 적어도 하나의 단자를 갖는 테스트 대상 장치(DUT) 및 접촉자 조립체를 포함한다. 상기 접촉자 조립체는 접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일을 갖는 접점부를 포함한다. 상기 접촉자 조립체는 또한 제1 평면 측면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함한다. 상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함한다. 슬롯은 상기 상부 표면에서 바닥 표면까지 하우징을 통해 연장한다. 상기 슬롯은 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 하우징의 제2 내부 측벽, 하우징의 제1 내부 단부벽 및 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성한다. 상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하다. 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함한다. 리테이너는 하우징의 제1 내부 측벽에 배치된다. 상기 접점부의 경사진 종단이 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 볼 때 겹치는 영역에 형성되는 상기 접점부와 겹치고, 상기 겹치는 영역의 적어도 일부에서 상기 리테이너와 상기 접점부 사이에는 간극이 존재하지 않는다. 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 테스트 중에 상기 접점부 헤드와 맞물리도록 구성된다.

또한 집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템에서 접촉자 조립체의 접점부를 유지하는 방법이 개시된다. 이 방법은 접점부의 경사진 종단을 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물리는 단계, 단면도에서 볼 때 리테이너의 적어도 일부와 접점부 사이의 겹치는 영역을 형성하는 단계, 및 상기 접촉자 조립체가 로드 보드에서 제거될 때 상기 접점부를 제자리에 유지시키는 단계를 포함한다. 상기 접촉자 조립체는 또한 제1 평면 측면 및 상기 제1 면에 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함한다. 상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함한다. 슬롯은 상기 상부 표면에서 바닥 표면까지 하우징을 통해 연장한다. 상기 슬롯은 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 하우징의 제2 내부 측벽, 하우징의 제1 내부 단부벽 및 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성한다. 상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하다. 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함한다. 리테이너는 하우징의 제1 내부 측벽에 배치된다. 상기 접점부의 경사진 종단이 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 볼 때 겹치는 영역에 형성되는 상기 접점부와 겹치고, 상기 겹치는 영역의 적어도 일부에서 상기 리테이너와 상기 접점부 사이에는 간극이 존재하지 않는다. 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 테스트 중에 상기 접점부 헤드와 맞물리도록 구성된다.

일 실시예에서, 하우징과 접점부 사이에 정밀/밀봉/밀착하는 맞춤(fit)이 있을 수 있다. 상기 리테이너는 항상 접점부에 정확히 닿을 수 있는 완벽한 크기가 아닐 수 있으며 여유 공간이 없을 수 있다. 관련된 제조 공차가 있을 수 있고 따라서 설계가 리테이너와 접점부 사이에 정밀/밀봉/밀착하는 맞춤이 있더라도 항상 겹치거나 정확히 맞닿지는 않을 수 있다. 리테이너와 접점부 사이에 약간의 간극이 있더라도, 리테이너가 접점부에 충분히 가깝다면 리테이너는 접점이 끊어지거나 고객 장치가 손상될 수 있는 접점부가 원하지 않는 위치로 너무 멀리 회전하는 것을 여전히 방지할 수 있다.

본 개시의 일부를 형성하고 본원에 기술된 시스템 및 방법이 실시될 수 있는 실시예를 예시하는 첨부 도면을 참조한다.
도 1은 일 실시예에 따른 테스트를 위해 DUT를 수용하기 위한 테스트 시스템의 일부에 대한 사시도이다.
도 2a는 일 실시예에 따른 전기적 테스트를 위해 DUT를 수용하기 위한 테스트 시스템의 일부에 대한 측면도이다.
도 2b는 일 실시예에 따른 DUT가 전기적으로 맞물린 상태에서 도 2a의 테스트 시스템의 측면도이다.
도 3a는 일 실시예에 따른 테스트 조립체의 사시도이다.
도 3b는 일 실시예에 따른 도 3a의 테스트 조립체의 일부를 확대한 평면도이다. .
도 3c는 일 실시예에 따른 도 3a의 테스트 조립체의 일부를 확대한 저면도이다.
도 3d는 일 실시예에 따른 테스트 조립체의 평면도이다.
도 3e는 일 실시예에 따른 도 3d의 F-F 선을 따른 테스트 조립체의 단면도이다.
도 4a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체의 하우징의 사시도이다.
도 4b는 일 실시예에 따른 다른 각도에서 도 4a의 하우징의 사시도이다.
도 4c는 일 실시예에 따른 도 4a의 하우징의 측면도이다.
도 4d는 일 실시예에 따른 도 4a의 하우징의 평면도이다.
도 4e는 일 실시예에 따른 도 4d의 B-B 선을 따른 하우징의 단면도이다.
도 5a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체의 사시도이다.
도 5b는 일 실시예에 따른 도 5a의 접촉자 조립체의 측면도이다.
도 5c는 일 실시예에 따른 도 5a의 접촉자 조립체의 평면도이다.
도 5d는 일 실시예에 따른 도 5c의 접촉자 조립체의 부분(M)의 확대도이다.
도 5e는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 접촉자 조립체의 단면도이다.
도 5f는 일 실시예에 따른 도 5e의 접촉자 조립체의 부분(L)의 확대도이다.
도 5g는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 하우징의 절반 및 완전한 접점부를 보여주는 접촉자 조립체의 평면도이다.
도 5h는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 하우징의 절반 및 완전한 접점부를 보여주는 접촉자 조립체의 사시 단면도이다.
도 5i는 일 실시예에 따른 다른 각도에서 본 도 5h이다.
도 5j는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 하우징의 절반 및 완전한 접점부를 보여주는 접촉자 조립체의 다른 사시 단면도이다.
도 5k는 일 실시예에 따른 다른 각도에서 본 도 5j이다.
도 5l은 일 실시예에 따른 도 5j의 접촉자 조립체의 부분(E)의 확대도이다.
도 5m은 일 실시예에 따른 도 5k의 접촉자 조립체의 부분(E)의 확대도이다.
도 6a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체의 평면도이다.
도 6b는 일 실시예에 따른 도 6a의 접촉자 조립체의 부분(D)의 확대도이다.
도 6c는 일 실시예에 따른 도 6a의 C-C 선을 따른 접촉자 조립체의 단면도이다.
도 7a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체의 단면도이다.
도 7b는 일 실시예에 따른 도 7a의 접촉자 조립체의 측면도이다.
도 7c는 일 실시예에 따른 도 7a의 접촉자 조립체의 단면도이다.
동일한 참조 번호는 전체적으로 동일한 부분을 나타낸다.

접촉자 조립체는 일반적으로 하우징, 상기 하우징의 슬롯에 수용 가능한 접점부(또는 핀) 및 상기 접점부를 바이어스하기 위한 2개 이상의 엘라스토머를 포함한다. 상기 접촉자 조립체의 성능이 향상됨에 따라 단면의 변화가 전기 신호의 일부를 반영할 수 있는 접점 임피던스(impedance)의 변화를 야기할 수 있기 때문에 접점부에서의 단면 형상 변화에 대한 허용이 줄어들 수 있다. 일부 실시예에서, 접점부는 엘라스토머 및 하우징 업-스톱부(up-stop)에 의해 유지될 수 있으며, 이는 접점 자유 높이(free height)를 제어할 뿐만 아니라 특히 접촉자가 로드 보드에 장착되지 않을 때 접점부를 유지하는 데 도움이 된다.

특정 접촉자 조립체에 대해, Gilk의 미국 특허 공보 제7,445,465호에 도시된 것과 같은 하우징의 상부 벽을 사용하는 전통적인 하우징 업-스톱부는 하우징이 얇기 때문에(예를 들어, Z 방향의 높이는 약 0.75mm 또는 약 1mm 이하) 적합하지 않을 것이고, 상기 하우징은 접점부의 업 스톱부로서 사용하기에 충분히 강하지 않을 수 있다. 접촉자 조립체의 성능이 향상됨에 따라 접점의 크기는 계속 줄어들고 이로 인해 재료의 강도 및/또는 제조 가능성으로 인해 일부 기능이 실용적이지 않을 수 있다. 최적의 전기적 성능은 와이어 길이와 같은 형상을 갖는 일정한 단면적 도체에 의해 제공될 수 있음을 알 수 있을 것이다. 직선 또는 평평한 접점 모양에서 벗어나면 성능이 저하될 수 있다. 일정한 단면 형상에서 편차가 적어 접점이 작을 때 접점을 유지하기가 더 어려워질 수 있다.

접촉자 조립체가 인쇄 회로 기판(예를 들어, 로드 보드)에 고정될 때 접점은 충분히 잘 유지될 수 있지만, 접촉자 조립체가 취급될 때(예를 들어, 로드 보드에서 제거될 때) 엘라스토머 바이어스를 사용하는 접점은 자연스럽게 제자리에서 회전하고 하우징의 상부 표면에 있는 개구부는 핀이 작업 위치에서 회전하는 경우 상부 개구부를 통해 빠지기 쉬울 정도로 반드시 충분히 커야 한다. 본원에 개시된 실시예는 핀 위치에 관계없이 상단 슬롯을 통해 핀이 떨어지는 것을 차단하기 위해 하우징 접점부 슬롯에 추가 재료를 제공한다. 이러한 해결수단은 또한 추가된 재료가 하우징 테일 스톱부에서 접점을 밀어내고 로드 보드 패드에서 미끄러질 수 있는 점(즉, 로드 보드 패드 수명 단축함), 추가의 재료가 접점 규정 준수를 감소시키고 DUT 패드의 불량한 와이핑/클리닝을 유발할 수 있는 점(이는 원하지 않는 지원 간 평균 시간(MTBA)이 발생할 수 있음), 및 추가의 재료가 제조 비용을 증가시킬 수 있는 잠재적인 결점을 피하기 위해 매우 정확하게 위치해야 할 수 있는 점들을 해결할 수 있다.

본원에 개시된 실시예는 하우징의 기존 영역(예를 들어, 간극)을 이동시킨다. 본원에 개시된 실시예는 접촉자 하우징이 취급되거나 유지될 때(예를 들어, 로드 보드로부터 제거될 때) 접점을 보다 양호하게 유지하는 데 도움이 되는 신뢰할 수 있고/있거나 반복 가능한 기능적 특징을 제공할 수 있다. 본원에 개시된 실시예는 하우징이 로드 보드에서 제거될 때 접점이 반시계 방향으로 회전하는 것을 방지할 수 있다.

도 1은 일 실시예에 따른 테스트를 위한 DUT(110)를 수용하기 위한 테스트 시스템(100)의 일부의 사시도이다.

테스트 시스템(100)은 DUT(예를 들어, 마이크로회로 등)(110)용 테스트 조립체(120)를 포함한다. 상기 테스트 조립체(120)는 테스트 조립체(120)에서 DUT(110)의 X 및 Y 위치(좌표 X는 좌표 Y에 수직이고 좌표 Z는 X 및 Y 평면에 수직인, 좌표 표시기 X 및 Y를 참조)를 정확하게 정의하는 개구부 또는 구멍(130)을 갖는 정렬 플레이트(160)를 지지하는 로드 보드(170)을 포함한다. 상기 DUT(110)가 배향 기능을 가지면, 구멍(130)에 협력 기능을 포함하는 것이 일반적이다. 로드 보드(170)는 신호 및 전력(S&P) 도체에 의해 케이블(180)에 연결된 연결 패드를 그 표면에 운반한다. 케이블(180)은 DUT(110)의 전기적 테스트를 수행하는 전자 장치에 연결된다. 케이블(180)은 매우 짧거나 테스트 전자 장치가 테스트 조립체(120)와 통합되는 경우 테스트 조립체(120) 내부에 있을 수 있고, 테스트 전자 장치가 별도의 섀시(chassis)에 있는 경우 더 길 수 있다. 상기 실시예는 테스트 시스템의 비제한적 예시라는 것을 이해할 것이다. 로드 보드와 이에 대한 전기 연결은 접촉자 조립체의 기능에 영향을 주지 않고 설명된 것과 다를 수 있다.

다수의 개별 테스트 접점부 요소(접촉자 조립체는 자세히 후술됨)를 갖는 테스트 접점부 어레이(140)는 DUT(110)의 표면에 있는 단자를 정확하게 미러링한다(mirror). 상기 DUT(110)가 구멍(130)에 삽입될 때 DUT(110)의 단자는 테스트 접점부 어레이(140)와 정확하게 정렬된다. 테스트 조립체(120)는 장치를 포함하는 테스트 접점부 어레이(140)와의 호환성을 위해 설계된다. 테스트 접점부 어레이(140)는 접점 멤브레인 또는 시트 또는 소켓(150) 상에 운반된다. 소켓(150)은 일반적으로 플라스틱 또는 전도성 금속 또는 임의의 다른 적절한 재료로 만들어질 수 있는 절연 본체(또는 하우징)를 포함한다. 어레이(140)의 개별 테스트 접점부는 잘 알려진 포토리소그래피 및 레이저 가공 프로세스 또는 임의의 다른 적절한 프로세스를 사용하여 소켓(150) 상에 형성되는 것이 바람직하다. 소켓(50)은 정렬 플레이트(160) 상의 대응하는 돌출 특징부(features)와 소켓(150)의 정확한 정렬을 제공하는 정렬 플레이트(160)와 로드 보드(170) 사이의 영역에 위치된 홀(hole) 또는 에지 패턴(edge pattern)과 같은 정렬 특징부를 갖는다. 모든 테스트 접점부(140)는 소켓(150)의 정렬 특징부와 정밀하게 정렬된다. 이러한 방식으로, 어레이의 테스트 접점부(140)는 구멍(130)과 정밀하게 정렬되어 배치된다.

도 2a는 일 실시예에 따른 전기 테스트를 위한 DUT(110)를 수용하기 위한 테스트 시스템(100)의 일부에 대한 측면도이다. 도 2b는 일 실시예에 따른 DUT(110)가 전기적으로 맞물린 상태에서 도 2a의 테스트 시스템(100)의 측면도이다.

도 2a에 도시된 바와 같이, DUT(110)는 테스트 조립체(120) 상에 배치되고, 전기적 테스트가 수행된 후, DUT(110)는 테스트 조립체(120)로부터 제거된다. 임의의 전기 연결은 구성요소를 다른 구성요소와 전기적 접촉하도록 가압함으로써 이루어진다; DUT(110)의 테스트의 어떤 시점에서도 납땜 또는 납땜 제거가 없다. 전체 전기 테스트 절차는 약 1초만 지속될 수 있으므로 DUT(100)의 빠르고 정확한 배치는 테스트 시스템(100)이 효율적으로 사용되는 것을 보장하는데 중요하다. 테스트 조립체(120)의 높은 처리량은 일반적으로 DUT(110)의 로봇 처리를 필요로 한다. 대부분의 경우, 자동화된 기계 시스템은 테스트 전에 DUT(110)를 테스트 조립체(120)에 놓고 테스트가 완료되면 DUT(110)를 제거한다. 취급 및 배치 메커니즘은 DUT(110)의 위치를 모니터링하기 위해 기계적 및 광학적 센서를 사용할 수 있고, DUT(110)를 테스트 조립체(120) 상에 또는 내부에 정렬 및 배치하기 위해 병진 및 회전 액츄에이터의 조합을 사용할 수 있다. 대안적으로, DUT(110)는 손으로 배치되거나 수동 공급 및 자동화 장비의 조합으로 배치될 수 있다.

DUT(110)는 일반적으로 소켓(150) 또는 다른 PCB에 연결되는 신호 및 전력 단자(112)(또한 도 1b의 단자(112) 참조)를 포함한다. 상기 단자는 DUT(100)의 한쪽에 있거나 DUT(110)의 양쪽에 있을 수 있다. DUT(110)의 반대쪽에 하나 이상의 요소가 있을 수 있거나 단자(112)에 액세스하여 테스트되지 않을 수 있는 반대쪽에 다른 요소 및/또는 단자가 있을 수 있음을 이해해야 하지만, 테스트 조립체(120)에서의 사용을 위해서는 모든 단자(112)는 DUT(110)의 한쪽에서 액세스 될 수 있어야 한다. 각각의 단자(112)는 DUT(110)의 버튼 쪽에 있는 작은 패드 또는 가능하게는 DUT(110)의 본체에서 돌출된 리드로서 형성된다. 테스트 전에, 패드 또는 리드(112)는 내부적으로 다른 리드, 다른 전기 부품 및/또는 DUT의 하나 이상의 칩에 연결되는 전기 리드에 부착된다. 패드 또는 리드의 부피와 크기는 매우 정밀하게 제어될 수 있으며, 일반적으로 패드 간 또는 리드 간 크기 변화 또는 배치 변화로 인해 발생하는 어려움은 많지 않다. 테스트 동안, 단자(112)는 견고하게 유지되며 땜납이 녹거나 다시 흐르지 않는다.

단자(112)는 DUT(110)의 표면에 임의의 적합한 패턴으로 배치될 수 있다. 일부 경우에, 단자(112)는 리드 부품용 DUT(110), QFN, DFN, MLF 또는 QFP을 설명하는 표현의 기원인 일반적으로 정사각형 그리드에 있을 수 있다. 불규칙한 간격과 기하학을 포함하여 직사각형 그리드에서 벗어난 편차가 있을 수도 있다. 단자의 특정 위치는 필요에 따라 변할 수 있으며, 로드 보드(170) 상의 패드의 대응 위치 및 소켓(150) 또는 하우징 상의 접점부는 단자(112)의 것과 일치하도록 선택된다는 것이 이해될 것이다. 일반적으로 인접한 단자(112) 사이의 간격은 0.25 내지 1.5mm 범위에 있고, 그 간격은 일반적으로 "피치(pitch)"로 지칭된다. 도 2a에서와 같이 측면으로 보았을 때, DUT(110)는 갭 및 불규칙한 간격을 선택적으로 포함할 수 있는 단자(112)의 라인을 표시한다. 이들 단자(112)는 일반적으로 평면형으로, 또는 전형적인 제조 공정으로 가능한 한 평면형으로 만들어진다. 많은 경우에, DUT(110) 상에 칩 또는 다른 요소가 있는 경우, 칩의 돌출부는 일반적으로 DUT(110)로부터 떨어진 단자(112)의 돌출부보다 작다.

도 2a의 테스트 조립체(120)는 로드 보드(170)를 포함한다. 상기 로드 보드(170)는 로드 보드 기판(174) 및 DUT(110)를 전기적으로 테스트하는 데 사용되는 회로를 포함한다. 이러한 회로는 하나 이상의 특정 주파수를 갖는 하나 이상의 AC 전압을 생성할 수 있는 구동 전자 장치 및 이러한 구동 전압에 대한 DUT(110)의 응답을 감지할 수 있는 감지 전자 장치를 포함할 수 있다. 상기 감지는 하나 이상의 주파수에서 전류 및/또는 전압의 감지를 포함할 수 있다. 일반적으로, 장착될 때 로드 보드(170) 상의 특징부가 DUT(110) 상의 대응하는 특징부와 정렬되는 것이 매우 바람직하다. 전형적으로, DUT(110) 및 로드 보드(170) 모두는 테스트 조립체(120) 상의 하나 이상의 위치 지정 특징부에 기계적으로 정렬된다. 상기 로드 보드(170)는 로드 보드(170)가 테스트 조립체(120)에 정확히 안착될 수 있도록 보장하는 기점(fiducials) 또는 정밀하게 위치한 홀 및/또는 에지와 같은 하나 이상의 기계적 위치 지정 특징부를 포함할 수 있다. 이러한 위치 지정 특징부는 일반적으로 로드 보드(170)의 측면 정렬(X, Y, 도 1 참조) 및/또는 종방향 정렬(Z, 도 1 참조)도 보장한다.

일반적으로 로드 보드(170)는 비교적 복잡하고 고가의 부품일 수 있다. 하우징/테스트 조립체(120)는 상기 로드 보드(170)의 접점 패드(172)를 마모 및 손상으로부터 보호하는 것을 포함하는 많은 기능을 수행한다. 그러한 추가적인 요소는 인터포저(interposer) 멤브레인(또는 소켓)(150)일 수 있다. 상기 소켓(150)은 또한 적절한 위치 지정 특징부(미도시)를 갖는 로드 보드(170)와 기계적으로 정렬되고, 상기 DUT(110)에 마주하는 상기 로드 보드(170) 위의 테스트 조립체(120)에 위치한다. 상기 소켓(150)은 일련의 전기 전도성 접점부(도 1의 140을 참조하여, 상세히 후술되는 접점부 헤드(152) 및 접점부 테일(153)을 각각 포함하는 접촉자 조립체)를 포함하며, 이들은 상기 소켓(150)의 어느 한 측면에서 길이 방향으로 바깥쪽으로 연장한다. 각각의 접촉자 조립체(152, 153)는 스프링 또는 엘라스토머 재료와 같은 탄성 요소를 포함할 수 있고, DUT(110)로부터/DUT(110)으로 로드 보드(170)으로/로드 보드(170)로부터 충분히 낮은 저항 또는 임피던스를 갖는 전류를 전도할 수 있다. 각각의 접촉자 조립체(152, 153)는 단일 전도성 유닛일 수 있거나 대안적으로 전도성 요소의 조합으로 형성될 수 있다. 일반적으로, 각각의 접촉자 조립체(152, 153)는 로드 보드(170) 상의 하나의 접점 패드(172)를 DUT(110) 상의 하나의 단자(112)에 연결하지만, 다수의 접점 패드(172)가 단일 단자(112)에 연결되거나 또는 다수의 단자(112)가 단일 접점 패드(172)에 연결된다. 단순화를 위해, 설명 및 도면에서 단일 접촉자 조립체(152, 153)가 단일 패드(172)를 단일 단자(112)에 연결한다고 가정하지만, 본원에 개시된 테스터 요소는 단일 단자(112)에 연결된 다중 접점 패드(172) 또는 단일 접점 패드(172)에 다중 단자(112)를 연결하는 데 사용될 수 있다.

일반적으로 소켓(150)은 로드 보드 패드(172)와 DUT(110)의 하부 접점 표면을 전기적으로 연결한다. 소켓(150)은 로드 보드(170)의 제거 및 교체와 비교하여 상대적으로 쉽게 제거 및 교체될 수 있지만, 본원에서는 소켓(150)이 테스트 조립체(120)의 일부인 것으로 간주한다. 작동 중에, 테스트 조립체(120)는 로드 보드(170), 소켓(150), 및 이들을 장착하고 제자리에 고정시키는 기계적 구조(미도시)를 포함한다. 각각의 DUT(110)는 테스트 조립체(120)에 대해 배치되고, 전기적으로 테스트되며, 테스트 조립체(120)로부터 제거된다. 단일 소켓(150)은 그것이 마모되기 전에 많은 DUT(110)를 테스트할 수 있고, 전형적으로 교체가 필요하기 전에 수천 번 이상의 테스트 동안 지속될 수 있다. 일반적으로, 소켓(150)의 교체는 상대적으로 빠르고 간단하여 테스트 조립체(120)가 소켓 교체를 위해 적은 양의 정지 시간(down time)만을 경험하도록 하는 것이 바람직하다. 일부 경우에, 소켓(150)의 교체 속도는 각각의 소켓(150)의 실제 비용보다 훨씬 더 중요할 수 있으며, 테스터 가동 시간의 증가는 작동 중에 적절한 비용 절감을 가져온다.

도 2a는 테스트 조립체(120)와 DUT(110) 사이의 관계를 도시한다. 각각의 DUT(110)가 테스트될 때, 상기 DUT(110)는 소켓(150) 상의 대응하는 접촉자 조립체(152, 153) 및 로드 보드(170) 상의 대응하는 접점 패드(172)에 대해 DUT(110) 상의 특정 단자(112)가 정확하고 안정적으로 배치될 수 있도록 충분히 정확한 배치 특성을 갖는 적절한 로봇 핸들러 내로 배치된다. 상기 로봇 핸들러(도시되지 않음)는 각각의 DUT(110)가 테스트 조립체(120)와 접점하도록 힘을 가한다. 힘의 크기는 테스트되는 단자(112)의 수, 각 단자에 사용되는 힘, 일반적인 제조 및 정렬 공차 등을 포함하여 테스트의 정확한 구성에 따라 달라진다. 일반적으로, 힘은 DUT(110)에 작용하는 테스터의 기계적 핸들러(미도시)에 의해 인가된다. 일반적으로, 힘은 일반적으로 종방향이고, 일반적으로 로드 보드(170)의 표면 법선(normal)에 평행하다.

도 2b는 접점하는 테스트 조립체(120) 및 DUT(110)를 도시하며, 충분한 힘이 DUT(110)에 인가되어 접촉자 조립체(152, 153)와 맞물리고 각각의 단자(112)와 로드 보드(170) 상의 대응하는 접점 패드(172) 사이에 전기 연결부(154)를 형성한다. 전술한 바와 같이, 대안적으로 다수의 단자(112)가 단일 접점 패드(172)에 연결되거나 다수의 접점 패드(172)가 단일 단자(112)에 연결되는 테스트 방식이 있을 수 있지만, 도면의 단순화를 위해 단일 단자(112)가 단일 접점 패드(172)에 고유하게 연결되는 것을 간주한다.

도 3a는 일 실시예에 따른 테스트 조립체(120)의 사시도이다. 상기 테스트 조립체(120)는 접점부 조립체(150) 및 정렬 플레이트(160) 등을 포함한다. 테스트 조립체(120)의 원형 부분(A)은 인클로저(enclosure)를 포함한다.

도 3b는 일 실시예에 따른 도 3a의 테스트 조립체(120)의 일부(원 부분 "A")의 확대 평면도이다. 도 3c는 일 실시예에 따른 도 3a의 테스트 조립체(120)의 일부(원 부분 "A")의 확대 저면도이다.

도 3d는 일 실시예에 따른 테스트 조립체(120)의 평면도이다. 도 3e는 일 실시예에 따른 도 3d의 F-F 선을 따른 테스트 조립체(120)의 단면도이다. 연결부(510)(또는 도 5a-5m을 참조하여, 상세히 후술되는 핀)는 제1 엘라스토머(240) 및 제2 엘라스토머(230)에 의해 바이어스된다. 리테이너(451)(도 5e-5m을 참조하여 상세히 후술됨)는 단면도에서 접촉자와 중첩된다. 연결부(510)의 헤드는 DUT(110)의 단자와 결합하고, 연결부(510)의 평평한 부분은 로드 보드(170)의 단자와 결합한다.

테스트 조립체는 인클로저(220)를 포함한다. 복수의 S&P 단자(상세히 후술되는 접점부 조립체)(210)가 인클로저(220) 상에 배치된다. 상기 엔클로저는 예를 들어 접지 블록을 수용하기 위해, 예를 들어 엔클로저의 중앙 부분에 개구부를 갖는다. 일 실시예에서, 접지 블록을 수용하는 개구부의 크기는 DUT(110)의 접지 패드의 크기와 일치한다는 것을 이해할 것이다. 상기 S&P 단자(210)는 상기 DUT(110)의 S&P 단자와 정렬된다.

도 4a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체의 하우징의 단일 슬롯(350)을 보여주는 하우징(300)의 사시도이다. 도 4b는 일 실시예에 따른 다른 각도에서 접촉자 조립체의 하우징(300)의 사시도이다. 도 4c는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체의 하우징(300)의 측면도이다. 도 4d는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체의 하우징(300)의 평면도이다. 도 4e는 일 실시예에 따른 도 4d의 B-B 선을 따른 접촉자 조립체의 하우징(300)의 단면도이다.

접촉자 조립체는 하우징(300), 접점부(510, 도 5a-5f 참조) 및 2개 이상의 엘라스토머를 포함한다. 접촉자 조립체의 상이한 실시예가 미국 특허 제6,854,981호, 미국 특허 제7,445,465호, 및 미국 특허 제9,274,141호에 기술되어 있으며, 이들의 전체 내용이 참조로 본원에 포함된다는 것을 이해할 것이다. 도면을 단순화하고 특징을 명확하게 나타내기 위해, 예시 목적으로, 본원에 개시된 일부 실시예에서 엘라스토머가 도시되지 않았다는 것이 또한 이해될 것이다. 엘라스토머의 구조 및 기능은 위에서 언급된 특허들에 개시된 엘라스토머와 동일하거나 유사할 수 있다.

하우징(300)은 제1 단부면(310)과 제2 단부면(320)을 갖는다. 상기 제1 단부면(310)에서 상기 제2 단부면(320)으로의 방향(예를 들어, X 방향, 도 1 참조)은 하우징의 길이라고 할 수 있다. 상기 제1 단부면(310)과 상기 제2 단부면(320)은 평면일 수 있고, 대략 직사각형 또는 정사각형의 형상을 가질 수 있으며, 서로 평행할 수 있다.

하우징(300)은 제1 측면(370)과 제2 측면(360)을 갖는다. 상기 제1 측면(370)에서 상기 제2 측면(360)으로의 방향(예를 들어, Y 방향, 도 1 참조)은 하우징의 두께라고 할 수 있다.

하우징(300)은 상부 표면(330)과 바닥 표면(340)을 갖는다. 상기 상부 표면(330)에서 상기 바닥 표면(340)으로의 방향(예를 들어, Z 방향, 도 1 참조)은 하우징의 높이라고 할 수 있다. 상기 상부 표면(330)과 상기 바닥 표면(340)은 평면일 수 있고, 대략 직사각형 또는 정사각형의 형상을 가질 수 있으며, 서로 평행할 수 있다.

하우징(300)은 제1 개구부(또는 홀)(380) 및 제2 개구부(또는 홀)(390)를 포함한다. 제1 개구부(380) 및 제2 개구부(390)는 제1 측면(370)에서 제2 측면(360)까지 두께 방향으로 연장한다. 상기 제1 개구부(380) 및 제2 개구부(390) 근처의 하우징(300)의 바닥 부분은 구멍(384 및 392)을 형성하도록 제거된다. 일 실시예에서, 제1 개구부(380)의 직경(또는 크기)은 두께 Y 방향에서 볼 때(즉, 측면에서 볼 때) 제2 개구부(390)의 직경(또는 크기)보다 작다.

하우징(300)은 슬롯(350)을 포함한다. 상기 슬롯(350)은 개방/중공 공간이고 접점부(510, 도 5a-5f 참조)의 적어도 일부 및 엘라스토머의 적어도 일부를 수용하도록 구성된다. 상기 슬롯(350)은 상부 표면(330)으로부터 바닥 표면(340)으로 연장한다. 상기 상부 표면(330)에서, 상기 슬롯은 실질적으로 스타디움(stadium) 형상을 갖는다. 스타디움 형태는 한 쌍의 대향 변에 반원이 있는 직사각형으로 구성된 2차원 기하학적 형태로 지칭될 수 있음을 이해할 것이다. 스타디움 형태는 디스코 직사각형(disco rectangle), 타원형 또는 소시지(sausage) 몸체 등으로도 알려져 있다.

평면도(도 4d)에서, 슬롯(350)은 길이 방향으로 제1 단부(352) 및 제1 단부(352)에 대향하는 제2 단부(354)를 포함한다. 상기 슬롯(350)은 실질적으로 반원 부분(356a), 실질적으로 직사각형 부분(358) 및 실질적으로 반원 부분(356b)을 포함한다. 상기 부분(356a)에서, 슬롯(350)의 두께는 0(단부(352)에서)에서 하우징(300)의 제1 내부 측벽(304)으로부터의 하우징(300)의 제2 내부 측벽(302)까지의 거리에 의해 정의되는 최대 두께(상기 부분(358)에 도달하는 면적에서)까지 증가할 수 있다. 상기 부분(358)에서, 슬롯(350)의 두께는 최대 두께일 수 있다. 하우징(300)의 슬롯(350)의 두께는 접점부(510, 도 5a 내지 도 5f 참조)의 두께보다 약간 더 크고, 이는 접점부가 슬롯(350)에 달라붙지 않고 움직일 수 있는 허용 오차와 공간을 허용한다는 것을 알 수 있을 것이다.

슬롯(350)은 하우징(300)의 제1 내부 측벽(304) 및 두께 방향으로 상기 제1 내부 측벽(304)과 대향하는 하우징(300)의 제2 내부 측벽(302)을 구획 형성하고, 하우징(300)의 제1 단부벽(306) 및 길이 방향으로 상기 제1 단부벽(306)에 대향하는 하우징(300)의 제2 단부벽(308)을 구획 형성한다.

하우징(300)의 바닥 근처에서, 제1 내부 단부벽(306)의 일부는 테일 스톱부(382)를 구획 형성한다. 하우징(300)의 테일 스톱부(382)는 접점부(510, 도 5a-5f 참조)의 접점부 테일과 맞물리도록 구성되어 접점부가 적절하게 위치하도록 유지한다. 예를 들어, 접촉자 조립체가 로드 보드에 배치될 때, 상기 로드 보드는 접점부 테일의 평평한 부분이 로드 보드와 맞물리도록 테일 스톱부(382)를 향해 접점부 테일을 밀 수 있고, 하우징(300)의 테일 스톱부(382)는 접점부가 더 밀리는 것을 방지(중지)할 수 있다.

제1 개구부(380), 제2 개구부(390), 구멍(384, 392) 및 슬롯은 모두 연결된다. 구멍(384, 392)은 제1 측면(370)에서 제2 측면(360)으로 연장한다. 바닥 표면(340)에서 슬롯(350)은 구멍(384, 392)에 의해 두께 방향으로 절단된다. 일 실시예에서, 제1 개구부(380) 및 제2 개구부(390)는 본질적으로 원통형 형상이다.

도 4e는 슬롯(350)의 내부 구조를 도시하는 하우징(300)의 제1 반부를 도시한다. 하우징(300)의 제2 반부는 동일(미러(mirror))하거나, 제1 반부와 상이할 수 있음(예를 들어, 리테이너 특징부 없음). 영역(410 및 460)에서, 슬롯의 두께는 0(즉, 공간 또는 여유 공간 없음)이다. 영역(440)에서, 슬롯(350)은 최대 두께를 갖는다. 영역(450)에서, 리테이너(이탈 방지 메커니즘)(451)가 제공된다. 일 실시예에서, 리테이너(451)의 높이(Z 방향)는 약 0.125mm(약 0.005인치)이고 하우징(300)의 높이는 약 0.75mm이다. 일 실시예에서, 리테이너(451)의 두께(하우징(300)의 내부 측면으로부터 하우징(300)의 대응하는 측면까지의 거리로 정의됨)는 (슬롯(350)의 두께가 0인 영역(460)에 도달하는 영역에서) 슬롯(350)의 최대 두께의 절반과 (슬롯(350)의 두께가 최대이지만 리테이너(451)의 두께가 0일 수 있는 영역(440)에 도달하는 영역에서) 0 사이이다. 일 실시예에서, 리테이너(451)는 만곡된 형상(도 4d의 부분(356a) 참조)을 가지며 그 두께는 제1 단부(352)로부터 영역(440)을 향해 감소한다. 일 실시예에서 리테이너(451)의 두께는 소정의 상수일 수 있다. 일 실시예에서, 리테이너(451)는 제1 내부 측벽(304), 제2 내부 측벽(302), 또는 제1 내부 측벽(304)과 제2 내부 측벽(302) 모두에 배치된다. 일 실시예에서, 리테이너(451)는 하우징(300)의 가공된 일체형 부분이다. 다른 실시예에서, 리테이너(451)는 예를 들어 마모된 리테이너를 교체하기 위해 하우징(300)의 내부 측벽(또는 양쪽 내부 측벽)에 부착된 인서트(insert)일 수 있다.

도 4e에서, 영역(470)에서, 슬롯(350)의 두께는 (영역(460)에 도달하는 영역에서) 0과 (영역(440)에 도달하는 영역에서) 슬롯(350)의 최대 두께의 절반 사이이다. 일 실시예에서, 영역(470)은 만곡된 형상(도 4d의 부분(356a)과 유사함)을 갖고 슬롯(350)의 두께는 영역(460)에 도달하는 영역으로부터 영역(440)을 향해 증가한다. 영역(430)에서, 슬롯(350)의 두께는 (영역(410)에 도달하는 영역에서) 0과 (영역(440)에 도달하는 영역에서) 슬롯(350)의 최대 두께의 절반 사이이다. 일 실시예에서, 영역(430)은 만곡된 형상을 갖고(도 4d의 부분(356b) 참조) 슬롯(350)의 두께는 영역(410)에 도달하는 영역으로부터 영역(440)을 향해 증가한다. 영역(420)에서, 슬롯(350)의 두께는 (영역(410)에 도달하는 영역에서) 0과 (영역(440)에 도달하는 영역에서) 슬롯(350)의 최대 두께의 절반 사이이다. 일 실시예에서, 영역(420)은 만곡된 형상(도 4d의 부분(356b)과 유사함)을 가지며 슬롯(350)의 두께는 영역(410)에 도달하는 영역으로부터 영역(440)을 향해 증가한다.

도 5a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(500)의 사시도이다. 도 5b는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(500)의 측면도이다. 도 5c는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(500)의 평면도이다. 도 5d는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(500)의 부분(M)의 확대도이다. 도 5e는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 접촉자 조립체(500)의 단면도이다. 도 5f는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(500)의 부분(L)의 확대도이다. 도 5g는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 하우징(300)의 절반 및 완전한 접점부(510)를 보여주는 접촉자 조립체(500)의 평면도이다. 도 5h는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 하우징(300)의 절반 및 완전한 접점부(510)를 보여주는 접촉자 조립체(500)의 사시 단면도이다. 도 5i는 일 실시예에 따른 다른 각도에서의 도 5h이다. 도 5j는 일 실시예에 따른 도 5c의 K-K 선을 따른 하우징(300)의 절반 및 완전한 접점부(510)를 보여주는 접촉자 조립체(500)의 또 다른 사시 단면도이다. 도 5k는 일 실시예에 따른 다른 각도에서의 도 5j이다. 도 5l은 일 실시예에 따른 도 5j의 접촉자 조립체(500)의 부분(E)의 확대도이다. 도 5m은 일 실시예에 따른 도 5k의 접촉자 조립체(500)의 부분(E)의 확대도이다.

접촉자 조립체(500)는 하우징(300)(도 4a-4e 참조), 접점부(또는 핀)(510), 제1 개구(380)를 통해 연장하는 제1 엘라스토머(미도시) 및 제2 개구(380)를 통해 연장하는 제2 엘라스토머(미도시)를 포함한다. 도면을 단순화하고 특징을 명확하게 보여주기 위해, 예시 목적으로, 본원에 개시된 일부 실시예에서 엘라스토머는 도시되지 않았지만 접촉자 조립체(500)의 작동 중에 엘라스토머가 필요할 수 있음을 이해할 것이다. 예를 들어, 도 5b에서, 접촉자 조립체(500)의 작동 중에 접점부(510)를 바이어스하기 위해, 제1 엘라스토머(미도시)는 참조 번호 380이 가리키는 위치에서 제1 개구부(380)를 통해 연장하고/하거나 제2 엘라스토머(미도시)는 참조 번호 390이 가리키는 위치에서 제2 개구(390)를 통해 연장한다. 일 실시예에서, 제1 엘라스토머 및 제2 엘라스토머는 본질적으로 원통형 형상이고 비전도성이다. 접점부(510)는 전도성이다.

접점부(510)는 접점부 헤드(520), 접점부 본체(530) 및 접점부 테일(540)을 포함한다. 일 실시예에서, 접점부 본체(530)는 제2 엘라스토머와 맞물려 견디도록 구성된 오목한 내부 에지(532)를 갖는다. 접점부 테일(540)은 제2 엘라스토머의 직경보다 더 작은 직경을 갖는 제1 엘라스토머와 맞물려 견디도록 구성된 오목한 내부 에지(546)를 갖는다. 상기 접점부 테일(540)은 평평한 부분(542)과 경사진 종단(544)을 갖는다. 상기 접점부(510)는 슬롯(350)에 수용될 수 있고 하우징의 내부 측벽과 두께 방향의 접점부 측면 사이에 간극이 형성될 수 있도록 슬롯(350)의 두께보다 약간 작은 두께를 갖는다.

작동 중에, 접점부의 경사진 종단(544)이 하우징(300)의 제1 내부 단부벽(306)의 테일 스톱부(382)와 맞물릴 때, 리테이너(451)의 적어도 일부는 횡단면도(도 5e 및 5f 참조)에서 볼 때 겹치는 영역(452)(점선 참조)에 형성한 접점부(510)와 겹치고, 상기 겹치는 영역(452)의 적어도 일부에서 리테이너(451)와 접점부(510) 사이에 간극이 존재하지 않는다. 일 실시예에서, 리테이너(451)와 접점부(510) 사이에는 겹치지 않고 약간의 간극이 있을 수 있다. 이러한 실시예에서, 상기 간극은 리테이너(451)를 얼마나 정확하게 제조할 수 있는지에 따라 매우 작을 수 있다. 리테이너(451)에 대한 겹치는 영역(452)은 접점부(510) 뒤에 있고 접점부(510)와 하우징(300)의 내부 측벽(302) 사이의 간극에 있다. 상기 겹치는 영역(452)에서, 리테이너(451)는 이러한 간극을 채우고 두께 방향에서(예를 들어, 종이의 내외로) 접점부(510)를 제자리에 유지하기 위해, 높이/수직 Z 방향 대신에 두께 Y 방향으로 접점부를 밀어내는 두께를 갖는다. 평평한 부분(542)은 예를 들어 로드 보드의 패드와 맞물려 안착되도록 구성된다. 접점부 헤드(520)는 DUT의 단자(패드, 핀 등)와 맞물리도록 구성된다. 엘라스토머는 접점부(510)를 바이어스하도록 구성된다.

얇은 하우징(300)의 경우, 하우징(300)의 강도(특히 높이 Z 방향의 수직 강도)는 특히 접촉자 조립체(500)가 로드 보드에서 제거될 때 접점부(510)를 제자리에 유지하기에 충분히 강하지 않을 수 있다. 리테이너(451)의 기하학, 구조 및 배열에 의해, 예를 들어 접촉자 조립체(500)가 로드 보드로부터 제거될 때 접점부(510)를 제 위치에 유지하기 위해(접점부(510)를 위한 스톱부 역할을 함), 리테이너(451)로부터의 힘은 수평 방향으로 하우징(300)의 강한 부분을 이용하여(즉, 하우징(300)은 수직 방향으로는 강하지 않을 수 있지만 수평 방향으로는 충분히 강할 수 있음) 접점부(510)에 대해 수직 방향 대신 수평 방향(예를 들어, 길이 X 방향)으로 가해질 수 있다.

도 5h-5k에서 영역(410, 420, 430, 440, 450, 460 및 470)은 도 4e에서 영역(410, 420, 430, 440, 450, 460 및 470)과 동일 또는 유사한 것으로 인식될 것이다. 리테이너(451)(420, 430, 470과 같은 간극 특징부 대신)는 접점부(510)에 닿아 접점부(510)의 경사진 종단(544)이 하우징(300)의 제1 내부 단부벽(382)과 맞물릴 때 접점부(510)가 제자리에서 벗어나 회전하는 것을 방지한다. 리테이너(451)는 (420, 430, 470과 같은 간극 특징부로부터) (420, 430, 470과 같은 간극 특징부의) 기하학으로의 매우 작은 변화일 수 있으므로 리테이너는 접촉자 조립체(500)의 다른 부분의 기능을 방해하거나 변경하지 않을 수 있지만, 그럼에도 리테이너는 접점부(510)가 하우징(300)으로부터 떨어지는 것을 방지하는 것을 도울 수 있다는 것을 또한 인식할 것이다.

또한, 영역(470)은 제1 엘라스토머(240, 도 3e 참조) 영역 위로 연장하는 접점부 슬롯(350)의 일부임을 인식할 것이다. 상기 영역(470)은 엘라스토머(240)가 접점부(510)에 가하는 힘의 양을 제어하기 위해 엘라스토머(240)가 영역(470)으로 흐를 수 있도록 구성된다. 영역(430)은 접점부 슬롯(350)의 단부에 있는 반경 영역이다. 접점부 슬롯(350)은 제2 엘라스토머(230, 도 3e 참조)가 흐르는 공간/간극을 제공하고 접점부(510)가 힘이 너무 높아지는 것을 방지하기 위하여 영역(430)에서 또는 그 근처에서보다 영역(420)에서 또는 그 근처에서 더 길게 절단된다는 점이 인식될 것이다. 영역(460)은 접점부(510)가 로드 보드(170) 패드 상에서 미끄러지는 것을 방지하는 하우징(300)의 테일 스톱부(382) 영역을 포함한다. 영역(460)은 접점부 슬롯(350)의 제1 단부에 있는 고체 하우징(300)이다. 영역(410)은 접점부 슬롯(350)의 제2 단부에 있는 고체 하우징(300)이다. 일 실시예에서, 상기 하우징(300)은 K-K 선을 따라 접점부 슬롯(350)의 중간을 통해 단면화되고, K-K 선을 따른 상기 하우징(300)의 두 부분은 서로 미러링된 사본임을 추가로 인식될 것이다. 일 실시예에서, 리테이너(451)는 약 0.125mm(약 0.005인치)의 높이(Z 방향)를 갖는다. 일 실시예에서, 영역(470)으로부터 영역(450)(리테이너(451)이 위치하는 곳)까지의 거리는 약 0.36mm이다. 일 실시예에서, 리테이너(451)는 접점부(510)에 닿기 위해 약 0.006mm(또는 약 0.0002인치)의 두께(Y 방향으로, 예를 들어, 하우징의 내부 측벽으로부터 겹치는 영역(452)까지)를 갖는다. 겹치는 영역(452a)이 매우 작을 수 있고 제조 공차에 기초하여 접점부(510)와 리테이너(451) 사이에 소량의 간극 또는 간섭이 있을 수 있음을 이해할 것이다. 리테이너(451)의 기능 중 하나는 도 7b 및 7c에 도시된 접점부(510)의 큰 회전을 방지하는 것이고, 따라서 리테이너(451)의 기능을 손상시키지 않으면서 리테이너(451)의 위치 지정(또는 치수)에 관한 약간의 공차가 있을 수 있다. 일 실시예에서, 리테이너(451)는 최적 위치의 약 0.1mm 내에 있을 수 있거나(도 5f, 5l 또는 5m 참조), 최적 위치/치수로부터 약 0.1mm의 오프셋을 가질 수 있다. 다른 실시예에서, 리테이너(451)는 최적 위치의 약 0.05mm 내에 있을 수 있거나(도 5f, 5l 또는 5m 참조) 최적 위치/치수로부터 약 0.05mm의 오프셋을 가질 수 있다.

도 6a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(600)의 평면도이다. 도 6b는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(600)의 부분(D)의 확대도이다. 도 6c는 일 실시예에 따른 도 6a의 C-C 선을 따른 접촉자 조립체(600)의 단면도이다.

접촉자 조립체(600)는 예시적인 목적으로 접촉자 조립체(600)에서 엘라스토머가 제거되고 접점부(510)가 다른 위치에 배치되고(즉, 접점부의 경사진 종단(544)은 하우징(300)의 제1 내부 단부벽(306)의 테일 스톱부(382)와 맞물리는 위치에 있지 않음), 따라서 리테이너(451)는 단면도에서 볼 때 접점부(510)과 겹치지 않을 수 있는 점을 제외하고, 도 5a 내지 도 5e의 접촉자 조립체(500)와 동일하다.

다시 도 5a 내지 도 5f를 참조하면, 접점부(510)가 위치를 벗어나 이동(반시계 방향)되는 것을 리테이너(451)가 방지하기 위해, 상기 리테이너(451)는 리테이너(451)가 접점부(510)와 간섭하기 전에 슬롯(350)(또는 하우징의 내부 벽(들)) 및 접점부(510) 사이의 갭/간극을 흡수하도록 설계되어야 할 수 있다. 즉, 리테이너(451)는 단면도에서 볼 대 접점부와 겹칠 수 있다.

도 7a는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(700)의 단면도이다. 도 7b는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(700)의 측면도이다. 도 7c는 일 실시예에 따른 접촉자 조립체(700)의 단면도이다.

접촉자 조립체(700)는 하우징(301), 접점부(510) 및 엘라스토머(미도시)를 포함한다. 상기 하우징(301)은 하우징(301)에서 리테이너(451)가 영역(454)(영역(450)과 유사함)에 없다는 점을 제외하고 도 5a 내지 도 6c의 하우징(300)과 동일하다. 도 7a에 도시된 바와 같이, 접점부의 경사진 종단(544)이 하우징(301)의 제1 내부 단부벽(306)의 테일 스톱부(382)와 맞물리면, 영역(454)은 접점부(510)와 겹치지 않고, 하우징(301)의 내부 측벽(들) 및 접점부(510) 사이에 간극이 존재할 수 있다. 결과적으로, 도 7b 및 도 7c에서, 엘라스토머(미도시)는 접점부(510)를 바이어스하도록 배치되지만, 상기 접점부(510)는 특히 접촉자 조립체(700)가 로드 보드로부터 제거될 때 반시계 방향으로 회전할 수 있다.

본원에 개시된 실시예는 접점부 유지 능력을 개선할 수 있고, 하우징의 바닥/상부로부터 가공될 수 있고, 저비용일 수 있다. 본원에 개시된 실시예에서, 접점부는 하우징의 테일 스톱부에 대해 안착될 수 있고, 접점부는 작동될 때 적절하게 롤링(roll)될 가능성이 있으며, 접점부의 접점부 테일이 제어될 수 있고 접점부의 회전이 양호하게 제어될 수 있다. 일 실시예에서, 특히 접촉자 조립체가 장착되지 않을 때(또는 로드 보드로부터 제거될 때) 리테이너가 접점부의 업 스톱부로서 기능할 수 있도록 리테이너 및 접점부가 구성될 수 있다는 것이 이해될 것이다.

본원에 기재된 바와 같은 본원 발명 및 그의 적용에 대한 설명은 예시적인 것이며 본원 발명의 범위를 제한하려는 의도가 아니다. 본원에 개시된 실시예의 변형 및 수정이 가능하며, 실시예의 다양한 요소에 대한 실질적인 대안 및 등가물은 본원을 연구할 때 당업자에게 이해될 것이다. 본원에 개시된 실시예의 이러한 변형 및 수정은 본원 발명의 범위 및 사상을 벗어나지 않고 이루어질 수 있다.

실시 양상

아래의 실시 양상들 중 임의의 하나가 서로 결합될 수 있음에 주목한다.

양상 1.

집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템용 접촉자 조립체로서, 상기 접촉자 조립체는,

접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일을 갖는 접점부; 및

제1 평면 측면 및 상기 제1 평면 측면과 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함하고,

상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함하고, 슬롯은 상기 상부 표면으로부터 상기 바닥 표면까지 상기 하우징을 통해 연장하고, 상기 슬롯은 상기 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 측벽, 상기 하우징의 제1 내부 단부벽 및 상기 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성하고;

상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하고, 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함하고;

리테이너는 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽에 배치되고;

상기 접점부의 상기 경사진 종단이 상기 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 상기 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 볼 때 겹치는 영역에 형성되는 상기 접점부와 겹치는, 접촉자 조립체.

양상 2.

양상 1에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 하우징은 제1 홀 및 제2 홀을 포함하고,

상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 상기 제1 평면 측면으로부터 상기 제2 평면 측면으로 연장하는, 접촉자 조립체.

양상 3.

양상 2에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 본질적으로 원통형 형상인, 접촉자 조립체.

양상 4.

양상 2 또는 양상 3에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 제1 홀을 통해 연장하는 제1 엘라스토머; 및

상기 제2 홀을 통해 연장하는 제2 엘라스토머 를 더 포함하는, 접촉자 조립체.

양상 5.

양상 4에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 제1 엘라스토머 및 상기 제2 엘라스토머는 본질적으로 원통형 형상이고,

상기 제1 엘라스토머 및 상기 제2 엘라스토머는 비전도성인, 접촉자 조립체.

양상 6.

양상 4 또는 양상 5에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 제1 엘라스토머 및 상기 제2 엘라스토머 중 적어도 하나는 상기 접점부를 바이어싱(bias)하도록 구성되는, 접촉자 조립체.

양상 7.

양상 2 내지 6 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 제1 홀의 크기는 상기 제2 홀의 크기보다 작은, 접촉자 조립체.

양상 8.

양상 1 내지 7 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 슬롯의 두께는 상기 접점부의 두께보다 큰, 접촉자 조립체.

양상 9.

양상 1 내지 8 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 접점부는 전도성인, 접촉자 조립체.

양상 10.

양상 1 내지 9 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 리테이너는 상기 하우징의 가공된 통합 부품인, 접촉자 조립체.

양상 11.

양상 1 내지 10 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 리테이너는 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽에 부착된 인서트인, 접촉자 조립체.

양상 12.

양상 1 내지 11 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 슬롯은 평면도에서 스타디움 형상을 갖는, 접촉자 조립체.

양상 13.

양상 1 내지 12 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 리테이너는 상기 슬롯의 제1 단부로부터 상기 슬롯의 제2 단부를 향하는 방향으로 연장하는, 접촉자 조립체.

양상 14.

양상 1 내지 13 중 어느 하나에 따른 접촉자 조립체에 있어서,

상기 리테이너는 상기 슬롯의 제1 단부가 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽을 향하는 방향으로 만곡되는, 접촉자 조립체.

양상 15.

집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템으로서, 상기 테스트 시스템은,

적어도 하나의 단자를 갖는 테스트 대상 장치; 및

접촉자 조립체를 포함하고, 상기 접촉자 조립체는,

접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일을 갖는 접점부; 및

제1 평면 측면 및 상기 제1 평면 측면과 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함하고,

상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함하고, 슬롯은 상기 상부 표면으로부터 상기 바닥 표면까지 상기 하우징을 통해 연장하고, 상기 슬롯은 상기 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 측벽, 상기 하우징의 제1 내부 단부벽 및 상기 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성하고;

상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하고, 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함하고;

리테이너는 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽에 배치되고;

상기 접점부의 상기 경사진 종단이 상기 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 상기 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 볼 때 겹치는 영역에 형성되는 상기 접점부와 겹치며,

상기 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 테스트 동안 상기 접점부 헤드와 맞물리도록 구성되는, 테스트 시스템.

양상 16.

양상 15에 따른 테스트 시스템에 있어서,

상기 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 패드(pad)인, 테스트 시스템.

양상 17.

양상 15에 따른 테스트 시스템에 있어서,

상기 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 핀(pin)인, 테스트 시스템.

양상 18.

양상 15 내지 17 중 어느 하나에 따른 테스트 시스템에 있어서,

로드 보드를 더 포함하고,

상기 로드 보드의 단자는 테스트 동안 상기 접점부 테일의 평평한 부분과 맞물리도록 구성되는, 테스트 시스템.

양상 19.

양상 18에 따른 테스트 시스템에 있어서,

상기 로드 보드의 상기 단자는 패드인, 테스트 시스템.

양상 20.

집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템에서의 접촉자 조립체의 접점부를 상기 접촉자 조립체의 접점부 하우징에서 유지하는 방법으로서,

상기 접촉자 조립체는, 접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일을 갖는 상기 접점부; 및 제1 평면 측면 및 상기 제1 평면 측면과 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함하고; 상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함하고, 슬롯은 상기 상부 표면으로부터 상기 바닥 표면까지 상기 하우징을 통해 연장하고, 상기 슬롯은 상기 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 측벽, 상기 하우징의 제1 내부 단부벽 및 상기 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성하고; 상기 방법은,

상기 접점부를 상기 슬롯에 수용되도록 구성하는 단계로서, 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함하는, 단계;

리테이너를 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽 상에 위치시키는 단계;

상기 접점부의 경사진 종단을 상기 하우징의 상기 제1 내부 단부벽과 맞물리게 하는 단계;

단면도에서 볼 때 상기 리테이너의 적어도 일부와 상기 접점부 사이에 겹치는 영역을 형성하는 단계; 및

상기 접촉자 조립체가 로드 보드에서 제거될 때 상기 접점부를 제자리에 유지시키는 단계를 포함하는, 방법.

본원에서 사용된 용어는 특정 실시예를 설명하기 위한 것이며 제한하려는 것이 아니다. "a", "an" 및 "the"라는 용어는 달리 명확하게 나타내지 않는 한 복수형도 포함한다. "comprise(포함하다)" 및/또는 "comprising(포함하는)"이라는 용어는 본원에서 사용될 때 명시된 특징, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 구성요소의 존재를 명시하지만, 하나 이상의 다른 기능, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 구성 요소의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.

전술한 설명과 관련하여, 특히 사용된 구성 재료 및 부품의 형상, 크기 및 배열의 문제에서 본원 발명의 범위를 벗어나지 않고 세부적으로 변경이 이루어질 수 있음을 이해해야 한다. 본 명세서 및 설명된 실시예는 예시일 뿐이며, 본원 발명의 진정한 범위 및 사상은 다음 청구범위에 의해 표시된다.

Claims (20)

1. 집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템용 접촉자 조립체로서, 상기 접촉자 조립체는,
   접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일(tail)을 갖는 접점부; 및
   제1 평면 측면 및 상기 제1 평면 측면과 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함하고,
   상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함하고, 슬롯(slot)은 상기 상부 표면으로부터 상기 바닥 표면까지 상기 하우징을 통해 연장하고, 상기 슬롯은 상기 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 측벽, 상기 하우징의 제1 내부 단부벽 및 상기 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성하고;
   상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하고, 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함하고;
   리테이너(retainer)는 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽에 배치되고;
   상기 접점부의 상기 경사진 종단이 상기 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 상기 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 볼 때 겹치는 영역에 형성되는 상기 접점부와 겹치는, 접촉자 조립체.
2. 제1항에 있어서,
   상기 하우징은 제1 홀 및 제2 홀을 포함하고,
   상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 상기 제1 평면 측면으로부터 상기 제2 평면 측면으로 연장하는, 접촉자 조립체.
3. 제2항에 있어서,
   상기 제1 홀 및 상기 제2 홀은 본질적으로 원통형 형상인, 접촉자 조립체.
4. 제2항에 있어서,
   상기 제1 홀을 통해 연장하는 제1 엘라스토머(elastomer); 및
   상기 제2 홀을 통해 연장하는 제2 엘라스토머를 더 포함하는, 접촉자 조립체.
5. 제4항에 있어서,
   상기 제1 엘라스토머 및 상기 제2 엘라스토머는 본질적으로 원통형 형상이고,
   상기 제1 엘라스토머 및 상기 제2 엘라스토머는 비전도성인, 접촉자 조립체.
6. 제4항에 있어서,
   상기 제1 엘라스토머 및 상기 제2 엘라스토머 중 적어도 하나는 상기 접점부를 바이어싱(bias)하도록 구성되는, 접촉자 조립체.
7. 제2항에 있어서,
   상기 제1 홀의 크기는 상기 제2 홀의 크기보다 작은, 접촉자 조립체.
8. 제1항에 있어서,
   상기 슬롯의 두께는 상기 접점부의 두께보다 큰, 접촉자 조립체.
9. 제1항에 있어서,
   상기 접점부는 전도성인, 접촉자 조립체.
10. 제1항에 있어서,
    상기 리테이너는 상기 하우징의 가공된 통합 부품인, 접촉자 조립체.
11. 제1항에 있어서,
    상기 리테이너는 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽에 부착된 인서트(insert)인, 접촉자 조립체.
12. 제1항에 있어서,
    상기 슬롯은 평면도에서 스타디움(stadium) 형상을 갖는, 접촉자 조립체.
13. 제1항에 있어서,
    상기 리테이너는 상기 슬롯의 제1 단부로부터 상기 슬롯의 제2 단부를 향하는 방향으로 연장하는, 접촉자 조립체.
14. 제1항에 있어서,
    상기 리테이너는 상기 슬롯의 제1 단부가 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽을 향하는 방향으로 만곡되는, 접촉자 조립체.
15. 집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템으로서, 상기 테스트 시스템은,
    적어도 하나의 단자(terminal)를 갖는 테스트 대상 장치; 및
    접촉자 조립체를 포함하고, 상기 접촉자 조립체는,
    접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일을 갖는 접점부; 및
    제1 평면 측면 및 상기 제1 평면 측면과 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함하고,
    상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함하고, 슬롯은 상기 상부 표면으로부터 상기 바닥 표면까지 상기 하우징을 통해 연장하고, 상기 슬롯은 상기 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 측벽, 상기 하우징의 제1 내부 단부벽 및 상기 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성하고;
    상기 접점부는 상기 슬롯에서 수용 가능하고, 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함하고;
    리테이너는 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽에 배치되고;
    상기 접점부의 상기 경사진 종단이 상기 하우징의 제1 내부 단부벽과 맞물릴 때, 상기 리테이너의 적어도 일부는 단면도에서 볼 때 겹치는 영역에 형성되는 상기 접점부와 겹치며,
    상기 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 테스트 동안 상기 접점부 헤드와 맞물리도록 구성되는, 테스트 시스템.
16. 제15항에 있어서,
    상기 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 패드(pad)인, 테스트 시스템.
17. 제15항에 있어서,
    상기 테스트 대상 장치의 상기 적어도 하나의 단자는 핀(pin)인, 테스트 시스템.
18. 제15항에 있어서,
    로드 보드(load board)를 더 포함하고,
    상기 로드 보드의 단자는 테스트 동안 상기 접점부 테일의 평평한 부분과 맞물리도록 구성되는, 테스트 시스템.
19. 제18항에 있어서,
    상기 로드 보드의 상기 단자는 패드인, 테스트 시스템.
20. 집적 회로 장치를 테스트하기 위한 테스트 시스템에서의 접촉자 조립체의 접점부를 상기 접촉자 조립체의 접점부 하우징에서 유지하는 방법으로서,
    상기 접촉자 조립체는, 접점부 헤드, 접점부 본체 및 접점부 테일을 갖는 상기 접점부; 및 제1 평면 측면 및 상기 제1 평면 측면과 대향하는 제2 평면 측면을 갖는 하우징을 포함하고; 상기 하우징은 상부 표면 및 상기 상부 표면에 대향하는 바닥 표면을 포함하고, 슬롯은 상기 상부 표면으로부터 상기 바닥 표면까지 상기 하우징을 통해 연장하고, 상기 슬롯은 상기 하우징의 제1 내부 측벽, 상기 제1 내부 측벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 측벽, 상기 하우징의 제1 내부 단부벽 및 상기 제1 내부 단부벽에 대향하는 상기 하우징의 제2 내부 단부벽을 구획 형성하고;
    상기 방법은,
    상기 접점부를 상기 슬롯에 수용되도록 구성하는 단계로서, 상기 접점부 테일은 평평한 부분과 경사진 종단을 포함하는, 단계;
    리테이너를 상기 하우징의 상기 제1 내부 측벽 상에 위치시키는 단계;
    상기 접점부의 경사진 종단을 상기 하우징의 상기 제1 내부 단부벽과 맞물리게 하는 단계;
    단면도에서 볼 때 상기 리테이너의 적어도 일부와 상기 접점부 사이에 겹치는 영역을 형성하는 단계; 및
    상기 접촉자 조립체가 로드 보드에서 제거될 때 상기 접점부를 제자리에 유지시키는 단계를 포함하는, 방법.

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