KR20230078765A - 천장 반송차 - Google Patents
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Abstract
천장 반송차(1)는 제 1 지지부(50)와, 제 2 지지부(40)와, 링크 기구(70)를 구비한다. 제 1 지지부(50)는 제 1 완충부(58)를 갖고, 평면으로부터 봤을 때에 있어서 본체부에 있어서의 폭 방향의 일방에서 벨트(9)에 접속된다. 제 2 지지부(40)는 제 2 완충부(48)를 갖고, 본체부에 있어서의 폭 방향의 타방에서 벨트(9)에 접속된다. 링크 기구(70)는 제 1 지지부(50)와 제 2 지지부(40)를 연결하고, 연직 방향에 있어서의 제 1 지지부(50)와 베이스부(10A) 사이의 제 1 거리와, 제 2 지지부(40)와 베이스부(10A) 사이의 제 2 거리를 서로 근접하게 한다. 링크 기구(70)는 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)에 대해서 베이스부(10A)의 주행 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 제 3 완충부(71, 72, 75, 76) 및 폭 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 제 4 완충부(73, 77) 중 적어도 일방을 갖는다.
Description
본 발명의 일측면은 천장 반송차에 관한 것이다.
궤도를 따라 주행 가능한 본체부와, 물품을 파지하는 파지부를 가짐과 아울러, 상기 본체부에 대해서 복수의 서스펜딩 부재가 권취 및 조출됨으로써 승강하는 승강부를 구비한 천장 반송차가 알려져 있다. 예를 들면, 특허문헌 1에는 승강부가, 파지부가 형성되는 베이스부와, 완충부를 통해 베이스부를 연직 방향 하방으로부터 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 지지부를 가짐과 아울러, 서스펜딩 부재가 부착되는 복수의 완충 기구를 구비하고, 이들 복수의 완충 기구가 링크 기구에 의해 연결되어 있는 천장 반송차가 개시되어 있다. 이 천장 반송차에서는 링크 기구는 서로 연결되어 있는 복수의 완충 기구에 있어서의 지지부와 베이스부 사이의 각 거리끼리를 서로 근접하도록 동작하므로, 물품에 전해지는 진동을 저감하면서 물품의 흔들림을 억제할 수 있다.
상기 종래의 천장 반송차는 물품에 전해지는 진동을 저감하면서 물품의 흔들림을 억제할 수 있지만, 반송하는 물품의 다양화에 따라, 보다 한층 진동의 저감이 요구되어 있다.
그래서 본 발명의 일측면의 목적은 물품에 전해지는 진동의 추가적인 저감을 도모하면서 물품의 흔들림을 억제할 수 있는 천장 반송차를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일측면에 의한 천장 반송차는 궤도를 따라 주행 가능한 본체부와, 물품을 파지하는 파지부를 가짐과 아울러, 본체부에 대해서 서스펜딩 부재에 의해 승강되는 승강부를 구비한 천장 반송차로서, 승강부는 파지부가 형성되는 베이스부와, 연직 방향 하방으로부터 베이스부를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 제 1 완충부를 갖고, 연직 방향으로부터 본 평면으로부터 봤을 때에 있어서 본체부의 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 일방에 있어서 서스펜딩 부재에 접속되는 제 1 지지부와, 연직 방향 하방으로부터 베이스부를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 제 2 완충부를 갖고, 폭 방향의 타방에 있어서 서스펜딩 부재에 접속되는 제 2 지지부와, 제 1 지지부와 제 2 지지부를 연결함과 아울러, 연직 방향에 있어서의 제 1 지지부와 베이스부 사이의 제 1 거리와, 연직 방향에 있어서의 제 2 지지부와 베이스부 사이의 제 2 거리를 서로 근접하도록 동작하는 링크 기구를 구비하고, 링크 기구는 제 1 지지부 및 제 2 지지부에 대해서 베이스부의 주행 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 제 3 완충부, 및 제 1 지지부와 제 2 지지부에 대해서 베이스부의 폭 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 제 4 완충부 중 적어도 일방을 갖고 있다.
이 구성의 천장 반송차에서는 연직 방향에 있어서의 제 1 지지부와 베이스부 사이의 제 1 거리와, 연직 방향에 있어서의 제 2 지지부와 베이스부 사이의 제 2 거리를 서로 근접하도록 동작하는 링크 기구가 설치되어 있으므로, 승강 장치의 좌우 방향에 있어서의 기울기가 저감되어 물품의 흔들림을 억제할 수 있다. 또한, 제 1 지지부 및 제 2 지지부에는 제 1 지지부 및 제 2 지지부에 대해서 베이스부의 연직 방향에 있어서의 이동을 가능하게 하는 완충부(제 1 완충부 및 제 2 완충부)가 형성되어 있으므로, 승강부를 통해 물품에 전달되는 연직 방향의 진동을 저감할 수 있다. 또한, 링크 기구에는 제 1 지지부 및 제 2 지지부에 대해서 베이스부의 수평 방향에 있어서의 이동을 가능하게 하는 완충부(제 3 완충부 및 제 4 완충부 중 적어도 일방)가 형성되어 있으므로 승강부를 통해 물품에 전달되는 수평 방향의 진동을 저감할 수 있다. 이들의 결과, 물품에 전해지는 진동의 추가적인 저감을 도모하면서 물품의 흔들림을 억제할 수 있다.
본 발명의 일측면에 의한 천장 반송차에서는 링크 기구는 제 3 완충부를 갖고 있어도 좋다. 이 구성에서는 승강부를 통해 물품에 전달되는 전후 방향의 진동을 저감할 수 있다.
본 발명의 일측면에 의한 천장 반송차에서는 링크 기구는 제 3 완충부 및 제 4 완충부의 양방을 갖고 있어도 좋다. 이 구성에서는 승강부를 통해 물품에 전달되는 전후 방향 및 좌우 방향의 양방의 진동을 저감할 수 있다.
본 발명의 일측면에 의한 천장 반송차에서는 제 3 완충부 또는 제 4 완충부는 탄성 부재를 포함해서 형성되어 있어도 좋다. 승강부를 통해 물품에 전달되는 수평 방향의 진동을 저감할 수 있다. 이 구성에서는 간이한 구성으로 효율적으로 진동을 저감할 수 있다.
본 발명의 일측면에 의하면 물품에 전해지는 진동의 추가적인 저감을 도모하면서 물품의 흔들림을 억제할 수 있다.
도 1은 일실시형태에 의한 천장 반송차를 나타내는 정면도이다.
도 2는 승강 장치를 전방 방향으로부터 본 측면도이다.
도 3은 승강 장치를 비스듬히 상방으로부터 본 사시도이다.
도 4는 베이스부를 제거한 상태의 승강 장치를 비스듬히 상방으로부터 본 사시도이다.
도 5(A) 및 도 5(B)는 제 2 지지부 및 링크 기구의 일부를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 6(A) 및 도 6(B)는 제 1 지지부 및 링크 기구의 일부를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 7은 제 2 지지부 및 링크 기구의 일부를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 8은 베이스부를 제거한 상태의 변형예에 의한 승강 장치를 비스듬히 상방으로부터 본 사시도이다.
도 2는 승강 장치를 전방 방향으로부터 본 측면도이다.
도 3은 승강 장치를 비스듬히 상방으로부터 본 사시도이다.
도 4는 베이스부를 제거한 상태의 승강 장치를 비스듬히 상방으로부터 본 사시도이다.
도 5(A) 및 도 5(B)는 제 2 지지부 및 링크 기구의 일부를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 6(A) 및 도 6(B)는 제 1 지지부 및 링크 기구의 일부를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 7은 제 2 지지부 및 링크 기구의 일부를 확대해서 나타낸 사시도이다.
도 8은 베이스부를 제거한 상태의 변형예에 의한 승강 장치를 비스듬히 상방으로부터 본 사시도이다.
이하, 도면을 참조하여 일실시형태에 대해서 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일 요소에는 동일 부호를 붙여 중복되는 설명을 생략한다.
도 1은 일실시형태에 의한 천장 반송차를 나타내는 정면도이며, 도 2는 승강 장치를 전방 방향으로부터 본 측면도이다. 도 1 및 도 2에서는 링크 기구(70)(도 3 참조)의 도시는 생략하고 있다. 도 1에 나타내어지는 천장 반송차(1)는 클린룸의 천장 등 바닥면보다 높은 위치에 설치되는 주행 레일(궤도)(2)을 따라 주행한다. 천장 반송차(1)는, 예를 들면 보관 설비와 소정의 로드 포트 사이에서 물품으로서의 FOUP(Front Opening Unified Pod)(90)를 반송한다. FOUP(90)에는, 예를 들면 복수 장의 반도체 웨이퍼 등이 수용된다. FOUP(90)는 천장 반송차(1)에 유지되는 플랜지(98)를 갖고 있다.
이하의 설명에서는 설명의 편의를 위해 도 1에 있어서의 좌우 방향(X축 방향)을 천장 반송차(1)의 주행 방향으로 한다(이하, 「전후 방향」이라고도 칭한다). 도 1에 있어서의 상하 방향(Z축 방향)을 천장 반송차(1)의 상하 방향으로 한다(이하, 「연직 방향」이라고도 칭한다). 도 1에 있어서의 깊이 방향(Y축 방향)을 천장 반송차(1)의 폭 방향으로 한다(이하, 「좌우 방향」이라고도 칭한다). X축, Y축, 및 Z축은 서로 직교한다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이 천장 반송차(1)는 주행 구동부(3)와, 수평 구동부(본체부)(5)와, 회전 구동부(본체부)(6)와, 승강 구동부(본체부)(7)와, 승강 장치(승강부)(10)와, 유지 장치(파지부)(11)와, 제 1 지지부(50)(도 3 및 도 4 참조)와, 제 2 지지부(40)(도 3 및 도 4 참조)와, 링크 기구(70)(도 3 및 도 4 참조)를 갖고 있다.
천장 반송차(1)에는 수평 구동부(5), 회전 구동부(6), 승강 구동부(7), 승강 장치(10), 및 유지 장치(11)를 덮도록 전후 방향으로 1쌍의 커버(8, 8)가 설치되어 있다. 1쌍의 커버(8, 8)는 승강 장치(10)가 상승단까지 상승한 상태에 있어서 유지 장치(11)의 하방에 FOUP(90)가 수용되는 공간을 형성하고 있다. 낙하 방지 기구(8A)는 승강 장치(10)가 상승단까지 상승한 상태에 있어서 유지 장치(11)에 유지된 FOUP(90)의 낙하를 방지한다. 흔들림 억제 기구(8B)는 주행 시에 있어서의 유지 장치(11)에 유지된 FOUP(90)의 천장 반송차(1)의 전후 방향(주행 방향) 및 좌우 방향의 흔들림을 억제한다.
주행 구동부(3)는 천장 반송차(1)를 주행 레일(2)을 따라 이동시킨다. 주행 구동부(3)는 주행 레일(2) 내에 배치되어 있다. 주행 구동부(3)는 주행 레일(2)을 주행하는 롤러(도시하지 않음)를 구동한다. 주행 구동부(3)의 하부에는 축(3A)을 통해 수평 구동부(5)가 형성되어 있다. 수평 구동부(5)는 회전 구동부(6), 승강 구동부(7), 및 승강 장치(10)를 수평면 내에서 주행 레일(2)의 연장 방향에 직교하는 방향(좌우 방향)으로 이동시킨다. 회전 구동부(6)는 수평면 내에서 승강 구동부(7) 및 승강 장치(10)를 회전시킨다. 승강 구동부(7)는 4개의 벨트(서스펜딩 부재)(9)의 말려올라감 및 조출에 의해 승강 장치(10)를 승강시킨다. 또한, 승강 구동부(7)에 있어서의 벨트(9)는 와이어 및 로프 등 적당한 서스펜딩 부재를 사용해도 좋다.
도 1 및 도 2에 나타내어지는 바와 같이 본 실시형태에 있어서의 승강 장치(10)는 승강 구동부(7)에 의해 승강 가능하게 설치되어 있으며, 천장 반송차(1)에 있어서의 승강대로서 기능하고 있다. 승강 장치(10)는 FOUP(90)를 파지하는 유지 장치(11)를 가짐과 아울러, 본체부로서의 수평 구동부(5), 회전 구동부(6), 및 승강 구동부(7)에 대해서 벨트(9)에 의해 승강된다. 유지 장치(11)는 FOUP(90)를 유지한다. 유지 장치(11)는 L자상인 1쌍의 암(12, 12)과, 각 암(12, 12)에 고정된 핸드(13, 13)와, 1쌍의 암(12, 12)을 개폐시키는 개폐 기구(15)를 구비하고 있다.
1쌍의 암(12, 12)은 개폐 기구(15)에 설치되어 있다. 개폐 기구(15)는 1쌍의 암(12, 12)을 서로 근접하는 방향 및 서로 이간되는 방향으로 이동시킨다. 개폐 기구(15)의 동작에 의해 1쌍의 암(12, 12)은 전후 방향으로 진퇴한다. 이것에 의해 암(12, 12)에 고정된 1쌍의 핸드(13, 13)가 개폐된다. 본 실시형태에서는 1쌍의 핸드(13, 13)가 개방 상태일 때에 핸드(13)의 유지면이 플랜지(98)의 하면의 높이보다 하방이 되도록 유지 장치(11)(승강 장치(10))의 높이 위치가 조정된다. 그리고 이 상태에서 1쌍의 핸드(13, 13)가 폐쇄 상태가 됨으로써 핸드(13, 13)의 유지면이 플랜지(98)의 하면의 하방으로 진출하고, 이 상태에서 승강 장치(10)를 상승시킴으로써 1쌍의 핸드(13, 13)에 의해 플랜지(98)가 유지(파지)되고, FOUP(90)의 지지가 행해진다.
승강 장치(10)는 유지 장치(11)가 설치되는 베이스부(10A)와, 베이스부(10A)를 덮는 커버부(10B)와, 제 1 지지부(50)와, 제 2 지지부(40)를 구비한다. 도 3 및 도 4에 나타내어지는 바와 같이 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)는 벨트(9)와 승강 장치(10)를 연결하는 기구임과 아울러, 주행 구동부(3)가 주행할 때 또는 승강 장치(10)가 승강할 때의 진동이 FOUP(90)에 전해지는 것을 억제하는 기구이다.
제 1 지지부(50)는 연직 방향 하방으로부터 베이스부(10A)를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 탄성 부재(제 1 완충부)(58)를 갖고, 연직 방향으로부터 본 평면으로부터 봤을 때에 있어서 천장 반송차(1)의 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 일방에 배치된다. 본 실시형태에서는 제 1 지지부(50)는 좌우 방향에 있어서 승강 장치(10)의 우측에 형성되어 있다. 제 1 지지부(50)는 접속 부재(51)와, 요동 부재(53)와, 제 1 본체 부재(54)와, 제 2 본체 부재(56)와, 1쌍의 탄성 부재(58, 58)를 갖고 있다.
접속 부재(51)는 벨트(9)에 부착되는 부재이다. 요동 부재(53)는 접속 부재(51)에 연결되는 부재이다. 요동 부재(53)는 핀 부재(52)를 통해 접속 부재(51)에 쌍방향으로 회전 가능하게 연결된다. 제 1 본체 부재(54)는 대략 L자상의 부재이며, 그 저부는 평탄해지도록 형성되어 있다. 제 1 본체 부재(54)는 그 일부가 요동 부재(53)에 접속되어 있다. 제 1 본체 부재(54)는 저부가 제 2 본체 부재(56)의 접속부(56B)에 볼트 등에 의해 접속되어 있다.
도 3, 도 4, 도 6(A), 및 도 6(A)에 나타내어지는 바와 같이 제 2 본체 부재(56)는 본체부(56A)와, 접속부(56B)와, 제 1 측면부(56C)와, 제 2 측면부(56D)를 갖고 있다. 본체부(56A)는 탄성 부재(58)를 하방으로부터 지지하는 평판상의 부재이다. 접속부(56B)는 일단이 제 1 본체 부재(54)의 저부에 접속되고, 타단이 본체부(56A) 및 제 1 측면부(56C)에 접속되어 있다. 제 1 측면부(56C)는 본체부(56A)로부터 기립 형성되어 있다. 제 2 측면부(56D)는 본체부(56A)로부터 기립 형성됨과 아울러, 제 1 측면부(56C)에 직교하고 있다. 제 1 측면부(56C) 및 제 2 측면부(56D)는 본체부(56A)로부터 절곡됨으로써 형성되어 있다.
1쌍의 탄성 부재(58, 58)는 소정의 스프링 정수를 갖는 코일 스프링이다. 1쌍의 탄성 부재(58, 58)는 본체부(56A)에 지지됨과 아울러, 베이스부(10A)를 하방으로부터 지지한다. 탄성 부재(58)의 하단은 본체부(56A)에 고정되어 있다. 탄성 부재(58)의 상단은 베이스부(10A)에는 고정되어 있지 않으며, 접촉함으로써 베이스부(10A)를 지지한다. 즉, 1쌍의 탄성 부재(58, 58) 각각은 본체부(56A)와 베이스부(10A)의 양방에 접촉한 상태로 줄어든 상태에 있을 때, 본체부(56A)와 베이스부(10A)를 서로 멀리하는 방향으로 바이어싱한다. 탄성 부재(58)는 서로 접촉하는 부재 사이에 전해지는 진동을 저감하는 역할을 갖는다. 또한, 베이스부(10A)에 고정되고, 본체부(56A)에 이접 가능하게 설치되어도 좋다.
제 2 지지부(40)는 연직 방향 하방으로부터 베이스부(10A)를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 탄성 부재(제 2 완충부)(48)를 갖고, 연직 방향으로부터 본 평면으로부터 봤을 때에 있어서 천장 반송차(1)의 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 타방(폭 방향에 있어서 제 1 지지부(50)와는 반대측)에 배치된다. 본 실시형태에서는 제 2 지지부(40)는 좌우 방향에 있어서 승강 장치(10)의 좌측에 형성되어 있다. 제 2 지지부(40)는 접속 부재(41, 41)와, 요동 부재(43)와, 제 3 본체 부재(45)와, 제 4 본체 부재(46)와, 규제 부재(47)와, 1쌍의 탄성 부재(48, 48)를 갖고 있다.
접속 부재(41, 41)는 벨트(9, 9)가 부착되는 부재이다. 요동 부재(43)는 1쌍의 접속 부재(41, 41)와 제 3 본체 부재(45)를 연결하는 부재이다. 1쌍의 접속 부재(41, 41)와 요동 부재(43)는 쌍방향으로 회전 가능하게 연결되고, 1쌍의 핀 부재(42, 42)를 통해 연결된다. 요동 부재(43)와 제 3 본체 부재(45)는 쌍방향으로 회전 가능하게 연결되고, 핀 부재(44)를 통해 연결되어 있다.
도 5(A), 도 5(B), 및 도 7에 나타내어지는 바와 같이 제 4 본체 부재(46)는 본체부(46A)와, 제 1 측면부(46C)와, 제 2 측면부(46D)를 갖고 있다. 본체부(46A)는 탄성 부재(48, 48)를 하방으로부터 지지한다. 본체부(46A)는 탄성 부재(48, 48)를 하방으로부터 지지하는 평판상의 부재이다. 제 1 측면부(46C)는 본체부(46A)로부터 기립 형성되어 있다. 제 2 측면부(46D)는 본체부(46A)로부터 기립 형성됨과 아울러, 제 1 측면부(46C)에 직교하고 있다. 제 1 측면부(46C) 및 제 2 측면부(46D)는 본체부(46A)로부터 절곡됨으로써 형성되어 있다.
1쌍의 탄성 부재(48, 48)는 소정의 스프링 정수를 갖는 코일 스프링이다. 1쌍의 탄성 부재(48, 48)는 본체부(46A)에 지지되어 있음과 아울러, 베이스부(10A)를 하방으로부터 지지한다. 탄성 부재(48)의 하단은 본체부(46A)에 고정되어 있다. 규제 부재(47)(도 7 참조)는 본체부(46A)에 대해서 베이스부(10A)가 소정 거리 이상 떨어지는 것을 규제한다. 보다 상세하게는 규제 부재(47)는 본체부(46A)에 대해서 소정 거리 이상 떨어지려고 하는 베이스부(10A)의 상면을 록킹한다. 탄성 부재(48)의 상단은 베이스부(10A)에는 고정되어 있지 않고, 접촉함으로써 베이스부(10A)를 지지한다. 즉, 1쌍의 탄성 부재(48, 48) 각각은 본체부(46A)와 베이스부(10A)의 양방에 접촉한 상태에 있을 때, 본체부(46A) 및 베이스부(10A)를 서로 멀리하는 방향으로 바이어싱한다. 탄성 부재(48)는 서로 접촉하는 부재 사이에 전해지는 진동을 저감하는 역할을 갖는다. 또한, 탄성 부재(48)는 베이스부(10A)에 고정되고, 본체부(46A)에 이접 가능하게 설치되어도 좋다.
도 4에 나타내어지는 바와 같이 링크 기구(70)는 제 1 지지부(50)와 제 2 지지부(40)를 연결함과 아울러, 연직 방향에 있어서의 제 1 지지부(50)와 베이스부(10A) 사이의 거리(제 1 거리)와, 연직 방향에 있어서의 제 2 지지부(40)와 베이스부(10A) 사이의 거리(제 2 거리)를 서로 근접하도록 동작한다. 이하, 링크 기구(70)의 상세에 대해서 설명한다.
링크 기구(70)는 제 1 샤프트(제 3 완충부)(71)와, 제 2 샤프트(제 3 완충부)(72)와, 제 3 샤프트(73)와, 제 1 부시(81)와, 제 2 부시(82)와, 제 1 블록(83)과, 제 2 블록(84)을 갖고 있다.
제 1 샤프트(71)는 도 3, 도 4, 도 5(A), 및 도 5(B)에 나타내어지는 바와 같이 제 2 지지부(40)에 있어서의 제 4 본체 부재(46)의 제 2 측면부(46D)에 설치된 제 1 부시(81)에 지지되어 있으며, 전후 방향으로 연장되어 있다. 제 1 샤프트(71)는 제 1 부시(81)의 삽입 통과 구멍(81A)에 삽입 통과되고, 제 1 부시(81)에 대해서 회전 가능 또한 축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 제 1 부시(81)의 재료는 제 1 샤프트(71)의 축부(71C)가 소정의 회전성 또한 소정의 슬라이딩성을 갖도록 적당히 선정된다. 제 1 샤프트(71, 71)는 전후 방향에 있어서 제 2 지지부(40)의 양단에 배치되어 있다. 전후 방향으로 배열되는 2개의 제 1 샤프트(71, 71)는 전후 방향으로 대략 일직선 상에 배치되어 있다.
제 1 샤프트(71)는 제 1 본체부(71A)와, 제 2 본체부(71B)와, 축부(71C)를 갖고 있다. 제 1 본체부(71A)는 제 3 샤프트(73)의 일단에 연결되어 있으며, 축부(71C)와 일체적으로 형성되어 있다. 제 1 본체부(71A)의 지름은 축부(71C)의 지름보다 크다. 제 2 본체부(71B)는 축부(71C)를 외삽 가능 또한 축부(71C)에 대해서 이동 가능하게 형성되어 있다. 제 2 본체부(71B)의 지름은 축부(71C)의 지름보다 크다. 탄성 부재(제 3 완충부)(75)는 축부(71C)에 외삽됨과 아울러, 제 1 본체부(71A)와 제 2 본체부(71B) 사이에 배치된다. 탄성 부재(75)는 소정의 스프링 정수를 갖는 코일 스프링이며, 제 2 본체부(71B)를 제 4 본체 부재(46)의 제 2 측면부(46D)에 대해서 바이어싱한다. 축부(71C)의 일방의 단부에는 제 1 샤프트(71)가 기우는 것을 방지하는 스토퍼(71D)가 설치되어 있다. 상기 스토퍼(71D)는 제 4 본체 부재(46)의 본체부(46A)에 대해서 전후 방향으로의 슬라이딩을 가능하게 하는 재료에 의해 형성되어 있다.
이와 같은 구성의 제 1 샤프트(71)는 제 2 지지부(40)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향(주행 방향)으로 상대적으로 이동하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 도 4에 나타내어지는 바와 같이 전후 방향으로 제 2 지지부(40)를 사이에 두고 설치되는 1쌍의 탄성 부재(75, 75)는 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향(주행 방향)으로 이동하는 제 2 지지부(40)를 상기 정위치에 복귀시키는 기능을 갖고 있다. 예를 들면, 제 2 지지부(40)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향의 전방측으로 상대적으로 이동한 경우에는 전후 방향의 전방측에 배치되는 제 1 샤프트(71)에 설치되어 있는 탄성 부재(75)가 압축된다. 제 2 지지부(40)는 이때의 탄성 부재(75)의 반발력에 의해 베이스부(10A)에 대한 정위치로 되돌아간다. 또한, 예를 들면 제 2 지지부(40)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향의 후방측으로 상대적으로 이동한 경우에는 전후 방향의 후방측에 배치되는 제 1 샤프트(71)에 설치되어 있는 탄성 부재(75)가 압축된다. 제 2 지지부(40)는 이때의 탄성 부재(75)의 반발력에 의해 베이스부(10A)에 대한 정위치로 되돌아간다.
제 2 샤프트(72)는 도 3, 도 4, 도 6(A), 및 도 6(B)에 나타내어지는 바와 같이 제 1 지지부(50)에 있어서의 제 2 본체 부재(56)의 제 2 측면부(56D)에 설치된 제 2 부시(82)에 지지되어 있으며, 전후 방향으로 연장되어 있다. 제 2 샤프트(72)는 제 2 부시(82)의 삽입 통과 구멍(82A)에 삽입 통과되고, 제 2 부시(82)에 대해서 회전 가능 또한 축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다. 제 2 부시(82)의 재료는 제 2 샤프트(72)의 축부(72C)가 소정의 회전성 또한 소정의 슬라이딩성을 갖도록 적당히 선정된다. 제 2 샤프트(72, 72)는 전후 방향에 있어서 제 1 지지부(50)의 양단에 배치되어 있다. 전후 방향으로 배열되는 2개의 제 2 샤프트(72, 72)는 전후 방향으로 대략 일직선 상에 배치되어 있다.
제 2 샤프트(72)는 제 1 본체부(72A)와, 제 2 본체부(72B)와, 축부(72C)를 갖고 있다. 제 1 본체부(72A)는 제 3 샤프트(73)의 타단에 연결되어 있으며, 축부(72C)와 일체적으로 형성되어 있다. 제 1 본체부(72A)의 지름은 축부(72C)의 지름보다 크다. 제 2 본체부(72B)는 축부(72C)를 외삽 가능 또한 축부(72C)에 대해서 이동 가능하게 형성되어 있다. 제 2 본체부(72B)의 지름은 축부(72C)의 지름보다 크다. 탄성 부재(제 3 완충부)(76)는 축부(72C)에 외삽됨과 아울러, 제 1 본체부(72A)와 제 2 본체부(72B) 사이에 배치된다. 탄성 부재(76)는 소정의 스프링 정수를 갖는 코일 스프링이며, 제 2 본체부(72B)를 제 2 본체 부재(56)의 제 2 측면부(56D)에 대해서 바이어싱한다.
이와 같은 구성의 제 2 샤프트(72)는 제 1 지지부(50)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향(주행 방향)으로 상대적으로 이동하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 도 4에 나타내어지는 바와 같이 전후 방향으로 제 1 지지부(50)를 사이에 두고 설치되는 1쌍의 탄성 부재(76, 76)는 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향(주행 방향)으로 이동하는 제 2 지지부(40)를 상기 정위치에 복귀시키는 기능을 갖고 있다. 예를 들면, 제 1 지지부(50)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향의 전방측으로 상대적으로 이동한 경우에는 전후 방향의 전방측에 배치되는 제 2 샤프트(72)에 설치되어 있는 탄성 부재(76)가 압축된다. 제 1 지지부(50)는 이때의 탄성 부재(76)의 반발력에 의해 베이스부(10A)에 대한 정위치로 되돌아간다. 또한, 예를 들면 제 1 지지부(50)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 전후 방향의 후방측으로 상대적으로 이동한 경우에는 전후 방향의 후방측에 배치되는 제 2 샤프트(72)에 설치되어 있는 탄성 부재(76)가 압축된다. 제 1 지지부(50)는 이때의 탄성 부재(76)의 반발력에 의해 베이스부(10A)에 대한 정위치로 되돌아간다.
제 3 샤프트(73)는 도 3, 도 4, 도 5(A), 도 5(B), 도 6(A), 및 도 6(B)에 나타내어지는 바와 같이 베이스부(10A)의 저면에 고착된 제 1 블록(83) 및 제 2 블록(84)에 지지되어 있으며, 좌우 방향으로 연장되어 있다. 제 3 샤프트(73)는 전후 방향으로 각각 배치되어 있으며, 2개의 제 3 샤프트(73, 73)는 각각 평행해지도록 배치되어 있다. 제 3 샤프트(73)는 제 1 블록(83)의 삽입 통과 구멍(83A) 및 제 2 블록(84)의 삽입 통과 구멍(84A)에 삽입 통과되고, 제 1 블록(83) 및 제 2 블록(84)에 대해서 회전 가능 또한 축 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있다.
좌우 방향에 있어서의 제 3 샤프트(73)의 일단은 제 1 샤프트(71)에 연결되고, 제 3 샤프트(73)의 타단은 제 2 샤프트(72)에 연결되어 있는, 구체적으로는 제 3 샤프트(73)의 일단이 제 1 샤프트(71)에 형성된 삽입 통과 구멍에 삽입 통과됨으로써 연결되고, 제 3 샤프트(73)의 타방의 단부가 제 2 샤프트(72)에 형성된 삽입 통과 구멍에 삽입 통과됨으로써 연결되어 있다.
이어서, 주로 도 3, 도 4, 도 5(A), 도 5(B), 도 6(A), 및 도 6(B)를 사용해서 제 1 지지부(50)의 동작의 일례를 설명한다. 유지 장치(11)에 의해 피수용물이 수용된 FOUP(90) 또는 빈 FOUP(90)가 파지되면 탄성 부재(58)에 하중이 작용되어 탄성 부재(58)가 압축된다. 탄성 부재(58)가 압축되면 반발력이 발생하고, 베이스부(10A)는 바이어싱된다. 주행 구동부(3)가 주행할 때 또는 승강 장치(10)가 승강할 때에 유지 장치(11)를 통해 FOUP(90)에 전달되는 진동은 제 1 지지부(50)에 설치된 탄성 부재(58)에 의해 저감된다.
이어서, 제 2 지지부(40)의 동작의 일례를 설명한다. 유지 장치(11)에 의해 피수용물이 수용된 FOUP(90) 또는 빈 FOUP(90)가 파지되면 탄성 부재(48)에 하중이 작용되어 탄성 부재(48)가 압축된다. 탄성 부재(48)가 압축되면 반발력이 발생하고, 베이스부(10A)는 바이어싱된다. 주행 구동부(3)가 주행할 때 또는 승강 장치(10)가 승강할 때에 유지 장치(11)를 통해 FOUP(90)에 전달되는 진동은 제 2 지지부(40)에 설치된 탄성 부재(48)에 의해 저감된다.
이어서, 좌우 방향으로 배열된 제 2 지지부(40)와 제 1 지지부(50)를 연결하는 링크 기구(70)의 동작의 일례를 설명한다. 예를 들면, 주행 시의 원심력에 의해 좌측의 제 2 지지부(40)의 탄성 부재(48, 48)에 힘이 작용했다고 한다. 제 2 지지부(40)의 탄성 부재(48, 48)에 힘이 작용하면 탄성 부재(48, 48)는 줄어들고, 제 4 본체 부재(46)는 상방(화살표(D1))으로 이동한다. 즉, 제 4 본체 부재(46)와 베이스부(10A)의 거리가 가까워진다. 또한, 본 동작에 있어서의 상방으로의 이동이란 베이스부(10A)에 근접하는 상대적인 이동을 나타내고 있으며, 하방으로의 이동이란 베이스부(10A)로부터 멀어지는 상대적인 이동을 나타내고 있다. 제 4 본체 부재(46)가 상방으로 이동하면 제 4 본체 부재(46)에 제 1 부시(81)를 통해 고정된 제 1 샤프트(71)의 제 1 부시(81)측의 단부가 상방(화살표(D2))으로 이동하고, 제 1 샤프트(71)의 제 3 샤프트(73)에 연결되는 측의 단부가 하방(화살표(D3))으로 이동한다.
제 1 샤프트(71)의 제 3 샤프트(73)측의 단부가 하방으로 이동하면 제 3 샤프트(73)도 하방(화살표(D4))으로 이동한다. 제 3 샤프트(73)가 하방으로 이동하면 제 3 샤프트(73)에 연결됨과 아울러, 제 2 본체 부재(56)에 제 2 부시(82)를 통해 고정된 제 2 샤프트(72)의 제 3 샤프트(73)측의 단부가 하방(화살표(D5))으로 이동하고, 제 2 부시(82)측의 단부가 상방(화살표(D6))으로 이동한다. 이것에 의해 제 2 본체 부재(56)는 상방(화살표(D7))으로 밀어 올려진다. 제 2 본체 부재(56)가 밀어 올려지면 제 1 지지부(50)의 탄성 부재(58, 58)가 줄어들고, 제 1 본체 부재(54)와 베이스부(10A)의 거리가 짧아진다.
한편, 탄성 부재(48, 48)가 당겨져서 탄성 부재(48, 48)가 늘어나면, 제 4 본체 부재(46)는 하방(화살표(D1)와는 반대 방향)으로 이동한다. 즉, 제 4 본체 부재(46)와 베이스부(10A)의 거리가 넓어진다. 제 4 본체 부재(46)가 하방으로 이동하면 제 4 본체 부재(46)에 제 1 부시(81)를 통해 고정된 제 1 샤프트(71)의 제 1 부시(81)측의 단부가 하방(화살표(D2)와는 반대 방향)으로 이동하고, 제 1 샤프트(71)의 제 3 샤프트(73)에 연결되는 측의 단부가 상방(화살표(D3)와는 반대 방향)으로 이동한다.
제 1 샤프트(71)의 제 3 샤프트(73)측의 단부가 상방으로 이동하면 제 3 샤프트(73)도 상방(화살표(D4)와는 반대 방향)으로 이동한다. 제 3 샤프트(73)가 상방으로 이동하면 제 3 샤프트(73)에 연결됨과 아울러, 제 2 본체 부재(56)에 제 2 부시(82)를 통해 고정된 제 2 샤프트(72)의 제 3 샤프트(73)측의 단부가 상방(화살표(D5)와는 반대 방향)으로 이동하고, 제 2 부시(82)측의 단부가 하방(화살표(D6)와는 반대 방향)으로 이동한다. 이것에 의해 제 2 본체 부재(56)는 하방(화살표(D7)와는 반대측)으로 밀어 내려진다. 제 2 본체 부재(56)를 밀어 내려지면 제 1 지지부(50)의 탄성 부재(58, 58)가 늘어나고, 제 1 본체 부재(54)와 베이스부(10A)의 거리가 길어진다.
이와 같이 좌우 방향으로 배열되는 제 2 지지부(40)와 제 1 지지부(50)를 연결하는 링크 기구(70)는 제 2 지지부(40)의 탄성 부재(48, 48) 및 제 1 지지부(50)의 탄성 부재(58, 58)가 줄어들거나 늘어나거나 하면, 베이스부(10A)의 저면에 고착된 제 1 블록(83) 및 제 2 블록(84)을 지점으로 제 3 샤프트(73)가 추종해서 회전 운동하고, 제 2 지지부(40)의 탄성 부재(48, 48) 및 제 1 지지부(50)의 탄성 부재(58, 58)를 줄이거나 늘리거나 한다. 즉, 링크 기구(70)는 서로 연결되어 있는 제 2 지지부(40) 및 제 1 지지부(50)에 있어서의 베이스부(10A)와 제 4 본체 부재(46)의 거리와, 베이스부(10A)와 제 1 본체 부재(54)의 거리 사이에 차가 발생했을 때에 서로 연결되어 있는 제 2 지지부(40) 및 제 1 지지부(50)에 있어서의 베이스부(10A)와 제 4 본체 부재(46)의 거리와, 베이스부(10A)와 제 1 본체 부재(54)의 거리를 서로 근접하도록 동작한다.
링크 기구(70)는 베이스부(10A)와 제 4 본체 부재(46)의 거리와, 베이스부(10A)와 제 1 본체 부재(54)의 거리 사이에 차가 발생했을 때에 응력(비틀림 응력)이 발생하는 제 3 샤프트(73)를 갖고 있다. 제 3 샤프트(73)에 발생한 응력에 대한 반력은 베이스부(10A)와 제 4 본체 부재(46)의 거리와, 베이스부(10A)와 제 1 본체 부재(54)의 거리를 서로 근접하게 하는 힘으로서 작용한다.
상기 실시형태의 천장 반송차(1)의 작용 효과에 대해서 설명한다. 상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는 연직 방향에 있어서의 제 1 지지부(50)와 베이스부(10A) 사이의 거리와, 연직 방향에 있어서의 제 2 지지부(40)와 베이스부(10A) 사이의 거리를 서로 근접하도록 동작하는 링크 기구(70)가 설치되어 있다. 이것에 의해 승강 장치(10)(베이스부(10A))에 롤 운동이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에 베이스부(10A)에 있어서의 좌우 방향에 있어서의 기울기를 작게 할 수 있고, FOUP(90)의 흔들림을 억제할 수 있다.
또한, 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)에는 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)에 대해서 베이스부(10A)의 연직 방향에 있어서의 이동을 가능하게 하는 탄성 부재(48, 58)가 설치되어 있으므로, 승강 장치(10)를 통해 FOUP(90)에 전달되는 연직 방향의 진동을 저감할 수 있다. 또한, 링크 기구(70)는 제 1 지지부(50)에 대해서 베이스부(10A)의 수평 방향에 있어서의 이동을 가능하게 함과 아울러, 탄성 부재(76, 76)에 의해 정(중립)위치로 되돌리고자 하는 힘이 상시 작용하고, 또한 제 2 지지부(40)에 대해서 베이스부(10A)의 수평 방향에 있어서의 이동을 가능하게 함과 아울러, 탄성 부재(75, 75)에 의해 정위치로 되돌리고자 하는 힘이 상시 작용하므로, 승강 장치(10)를 통해 FOUP(90)에 전달되는 수평 방향의 진동, 보다 상세하게는 전후 방향의 진동을 저감할 수 있다. 이들의 결과, FOUP(90)에 전해지는 진동의 추가적인 저감을 도모하면서 FOUP(90)의 흔들림을 억제할 수 있다.
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는 탄성 부재(48, 58, 75, 76)는 스프링 부재에 의해 형성되어 있으므로 간이한 구성으로 효율적으로 진동을 저감할 수 있다.
이상, 일실시형태에 대해서 설명했지만 본 발명의 일측면은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지의 변경이 가능하다.
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는 베이스부(10A)에 대해서 제 1 지지부(50)의 주행 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 함과 아울러, 탄성 부재(76, 76)에 의해 제 1 지지부(50)를 정위치로 되돌리고자 하는 힘이 상시 작용하고, 또한 베이스부(10A)에 대해서 제 2 지지부(40)의 주행 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 함과 아울러, 탄성 부재(75, 75)에 의해 제 2 지지부(40)를 정위치로 되돌리고자 하는 힘이 상시 작용하고 있는 예를 들어 설명했지만, 상기 구성에 추가하여, 베이스부(10A)에 대해서 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)의 좌우 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 함과 아울러, 탄성 부재(77)에 의해 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)를 정위치로 되돌리고자 하는 힘이 상시 작용하는 구성을 구비해도 좋다.
구체적으로는 도 8에 나타내어지는 바와 같이 제 3 샤프트(제 4 완충부)(73) 각각에는 제 1 본체부(72A)와 제 2 블록(84) 사이에 탄성 부재(77)가 배치되고, 제 1 본체부(71A)와 제 1 블록(83) 사이에 탄성 부재(77)가 배치되어 있다. 이와 같은 구성의 제 3 샤프트(73)는 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 좌우 방향(폭 방향)으로 상대적으로 이동하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 좌우 방향에 있어서 제 3 샤프트(73)의 양단에 배치되는 탄성 부재(77, 77)는 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 좌우 방향(폭 방향)으로 이동하는 제 1 지지부(50) 및 제 2 지지부(40)를 상기 정위치로 복귀시키는 기능을 갖고 있다.
예를 들면, 제 1 지지부(50) 또는 제 2 지지부(40)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 좌우 방향의 우측으로 상대적으로 이동한 경우에는 좌우 방향의 우측에 배치되어 있는 탄성 부재(77)가 압축된다. 제 1 지지부(50) 또는 제 2 지지부(40)는 이때의 탄성 부재(77)의 반발력에 의해 베이스부(10A)에 대한 정위치로 되돌아간다. 또한, 예를 들면 제 1 지지부(50) 또는 제 2 지지부(40)가 베이스부(10A)에 대한 정위치로부터 좌우 방향의 좌측으로 상대적으로 이동한 경우에는 좌우 방향의 좌측에 배치되어 있는 탄성 부재(77)가 압축된다. 제 1 지지부(50) 또는 제 2 지지부(40)는 이때의 탄성 부재(77)의 반발력에 의해 베이스부(10A)에 대한 정위치로 되돌아간다. 이 변형예에 의한 구성의 천장 반송차(1)에서는 승강 장치(10)를 통해 FOUP(90)에 전달되는 전후 방향 및 좌우 방향의 양방의 진동을 저감할 수 있다.
또한, 상기 실시형태의 천장 반송차(1)의 베이스부(10A)에 대해서 제 1 지지부(50)의 주행 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 구성(제 2 샤프트(72) 및 탄성 부재(76, 76)) 및 제 2 지지부(40)의 주행 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 구성(제 1 샤프트(71) 및 탄성 부재(75, 75))을 구비하는 구성 대신에 상술한 변형예의 구성(탄성 부재(77))을 구비하는 구성으로 해도 좋다. 이 변형예에 의한 구성의 천장 반송차(1)에서는 승강 장치(10)를 통해 FOUP(90)에 전달되는 좌우 방향의 진동을 저감할 수 있다.
상기 실시형태 및 변형예에서는 탄성 부재(48, 58, 75, 76, 77)의 예로서 코일 스프링을 예로 들어 설명했지만, 예를 들면 실리콘 수지 등에 의해 형성되는 겔상의 탄성체를 배치해도 좋다. 이 경우이어도 코일 스프링과 마찬가지로 진동 및 충격을 흡수할 수 있다.
상기 실시형태 및 변형예에서는 제 1 지지부(50)는 좌우 방향에 있어서 승강 장치(10)의 우측에 형성되고, 제 2 지지부(40)는 좌우 방향에 있어서 승강 장치(10)의 좌측에 형성되는 예를 들어 설명했지만 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 좌우 방향에 있어서 제 1 지지부(50)와 제 2 지지부(40)의 위치를 바꿔 넣은 구성의 천장 반송차(1)이어도 좋다. 또한, 예를 들면 좌우 방향의 양측에 제 1 지지부(50) 또는 제 2 지지부(40)를 배치하는 등, 벨트(9)와 베이스부(10A)를 접속하는 지지부의 구성은 서로 동일해도 좋다.
1: 천장 반송차
2: 주행 레일(궤도)
9: 벨트(서스펜딩 부재) 10: 승강 장치(승강부)
10A: 베이스부 11: 유지 장치(파지부)
40: 제 2 지지부 48: 탄성 부재(제 2 완충부)
50: 제 1 지지부 58: 탄성 부재(제 1 완충부)
70: 링크 기구 71: 제 1 샤프트(제 3 완충부)
72: 제 2 샤프트(제 3 완충부) 73: 제 3 샤프트(제 4 완충부)
75: 탄성 부재(제 3 완충부) 76: 탄성 부재(제 3 완충부)
77: 탄성 부재(제 4 완충부) 90: FOUP(물품)
9: 벨트(서스펜딩 부재) 10: 승강 장치(승강부)
10A: 베이스부 11: 유지 장치(파지부)
40: 제 2 지지부 48: 탄성 부재(제 2 완충부)
50: 제 1 지지부 58: 탄성 부재(제 1 완충부)
70: 링크 기구 71: 제 1 샤프트(제 3 완충부)
72: 제 2 샤프트(제 3 완충부) 73: 제 3 샤프트(제 4 완충부)
75: 탄성 부재(제 3 완충부) 76: 탄성 부재(제 3 완충부)
77: 탄성 부재(제 4 완충부) 90: FOUP(물품)
Claims (4)
- 궤도를 따라 주행 가능한 본체부와, 물품을 파지하는 파지부를 가짐과 아울러, 상기 본체부에 대해서 서스펜딩 부재에 의해 승강되는 승강부를 구비한 천장 반송차로서,
상기 승강부는,
상기 파지부가 형성되는 베이스부와,
연직 방향 하방으로부터 상기 베이스부를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 제 1 완충부를 갖고, 연직 방향으로부터 본 평면으로부터 봤을 때에 있어서 상기 본체부의 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 일방에 있어서 상기 서스펜딩 부재에 접속되는 제 1 지지부와,
연직 방향 하방으로부터 상기 베이스부를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 제 2 완충부를 갖고, 상기 본체부의 상기 폭 방향의 타방에 있어서 상기 서스펜딩 부재에 접속되는 제 2 지지부와,
상기 제 1 지지부와 상기 제 2 지지부를 연결함과 아울러, 연직 방향에 있어서의 상기 제 1 지지부와 상기 베이스부 사이의 제 1 거리와, 연직 방향에 있어서의 상기 제 2 지지부와 상기 베이스부 사이의 제 2 거리를 서로 근접하도록 동작하는 링크 기구를 구비하고,
상기 링크 기구는 상기 제 1 지지부 및 상기 제 2 지지부에 대해서 상기 베이스부의 상기 주행 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 제 3 완충부, 및 상기 제 1 지지부와 상기 제 2 지지부에 대해서 상기 베이스부의 상기 폭 방향에 있어서의 상대 이동을 가능하게 하는 제 4 완충부 중 적어도 일방을 갖고 있는 천장 반송차. - 제 1 항에 있어서,
상기 링크 기구는 상기 제 3 완충부를 갖고 있는 천장 반송차. - 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
상기 링크 기구는 상기 제 3 완충부 및 상기 제 4 완충부의 양방을 갖고 있는 천장 반송차. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 3 완충부 또는 상기 제 4 완충부는 탄성 부재를 포함해서 형성되어 있는 천장 반송차.
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