CN116368054A - 空中搬送车 - Google Patents

空中搬送车 Download PDF

Info

Publication number
CN116368054A
CN116368054A CN202180074576.0A CN202180074576A CN116368054A CN 116368054 A CN116368054 A CN 116368054A CN 202180074576 A CN202180074576 A CN 202180074576A CN 116368054 A CN116368054 A CN 116368054A
Authority
CN
China
Prior art keywords
support portion
shaft
base portion
support
buffer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202180074576.0A
Other languages
English (en)
Inventor
小林诚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Publication of CN116368054A publication Critical patent/CN116368054A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
  • Vehicle Step Arrangements And Article Storage (AREA)
  • Harvester Elements (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

空中搬送车(1)具备第一支承部(50)、第二支承部(40)以及连杆机构(70)。第一支承部(50)具有第一缓冲部(58)，在俯视时在主体部的宽度方向的一方与带(9)连接。第二支承部(40)具有第二缓冲部(48)，在主体部的宽度方向的另一方与带(9)连接。连杆机构(70)连结第一支承部(50)和第二支承部(40)，使第一支承部(50)与基座部(10A)之间的铅垂方向上的第一距离和第二支承部(40)与基座部(10A)之间的第二距离彼此接近。连杆机构(70)具有能够实现基座部(10A)相对于第一支承部(50)及第二支承部(40)在行驶方向上的相对移动的第三缓冲部(71、72、75、76)和能够实现其宽度方向上的相对移动的第四缓冲部(73、77)中的至少一者。

Description

空中搬送车
技术领域
本发明的一个方面涉及空中搬送车。
背景技术
公知有一种空中搬送车，该空中搬送车具备：主体部，该主体部能够沿着轨道行驶；和升降部，该升降部具有把持物品的把持部，并且该升降部通过相对于所述主体部卷绕及放出多个吊持部件，从而进行升降。例如，在专利文献1中公开有一种空中搬送车，其中，升降部具备：基座部，该基座部供把持部设置；和多个缓冲机构，该多个缓冲机构具有借助缓冲部从铅垂方向下方将基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的支承部，并且供吊持部件安装，这多个缓冲机构由连杆机构连结。在该空中搬送车中，连杆机构以使互相连结的多个缓冲机构中的支承部与基座部之间的各距离彼此相互接近的方式动作，因此，能够减少向物品传递的振动且抑制物品的晃动。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2018/079146号公报
发明内容
上述以往的空中搬送车虽然能够减少向物品传递的振动且抑制物品的晃动，但随着搬送的物品的多样化，要求更进一步的振动的减少。
因此，本发明的一个方面的目的在于提供一种能够谋求向物品传递的振动的进一步减少且抑制物品晃动的空中搬送车。
本发明的一个方面的空中搬送车具备：主体部，该主体部能够沿着轨道行驶；和升降部，该升降部具有把持物品的把持部，并且利用吊持部件相对于主体部升降，在该空中搬送车中，升降部具备：基座部，该基座部供把持部设置；第一支承部，该第一支承部具有从铅垂方向下方将基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第一缓冲部，在从铅垂方向观察的俯视时在与主体部的行驶方向正交的宽度方向的一方与吊持部件连接；第二支承部，该第二支承部具有从铅垂方向下方将基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第二缓冲部，在宽度方向的另一方与吊持部件连接；以及连杆机构，该连杆机构连结第一支承部和第二支承部，并且，以使第一支承部与基座部之间的铅垂方向上的第一距离和第二支承部与基座部之间的铅垂方向上的第二距离彼此接近的方式动作，连杆机构具有第三缓冲部和第四缓冲部中的至少一者，该第三缓冲部能够实现基座部相对于第一支承部及第二支承部在行驶方向上的相对移动，该第四缓冲部能够实现基座部相对于第一支承部及第二支承部在宽度方向上的相对移动。
在该结构的空中搬送车中，设有以使第一支承部与基座部之间的铅垂方向上的第一距离和第二支承部与基座部之间的铅垂方向上的第二距离彼此接近的方式动作的连杆机构，因此，能够减少升降装置的左右方向上的倾斜，抑制物品的晃动。另外，在第一支承部及第二支承部设有使得能够相对于第一支承部及第二支承部进行基座部的铅垂方向上的移动的缓冲部(第一缓冲部及第二缓冲部)，因此，能够减少经由升降部向物品传递的铅垂方向的振动。而且，在连杆机构设有使得能够相对于第一支承部及第二支承部进行基座部的水平方向上的移动的缓冲部(第三缓冲部及第四缓冲部中的至少一者)，因此，能够减少经由升降部向物品传递的水平方向的振动。其结果，能够谋求向物品传递的振动的进一步减少且抑制物品的晃动。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，连杆机构具有第三缓冲部。在该结构中，能够减少经由升降部向物品传递的前后方向的振动。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，连杆机构具有第三缓冲部及第四缓冲部这两者。在该结构中，能够减少经由升降部向物品传递的前后方向及左右方向这两者的振动。
在本发明的一个方面的空中搬送车中，也可以是，第三缓冲部或第四缓冲部包括弹性部件而形成。能够减少经由升降部向物品传递的水平方向的振动。在该结构中，能够以简单的结构高效地减少振动。
发明效果
根据本发明的一个方面，能够谋求向物品传递的振动的进一步减少且抑制物品的晃动。
附图说明
图1是表示一个实施方式的空中搬送车的主视图。
图2是从前方向观察升降装置的侧视图。
图3是从斜上方观察升降装置的立体图。
图4是从斜上方观察去除了基座部的状态的升降装置的立体图。
图5的(A)及图5的(B)是放大地表示第二支承部及连接机构的一部分的立体图。
图6的(A)及图6的(B)是放大地表示第一支承部及连接机构的一部分的立体图。
图7是放大地表示第二支承部及连杆机构的一部分的立体图。
图8是从斜上方观察去除了基座部的状态的变形例的升降装置的立体图。
具体实施方式
以下，参照附图对一个实施方式进行详细说明。此外，在附图的说明中，对相同要素标注相同的附图标记并省略重复说明。
图1是表示一个实施方式的空中搬送车的主视图，图2是从前方向观察升降装置的侧视图。在图1及图2中，省略了连杆机构70(参照图3)的图示。图1所示的空中搬送车1沿着设于无尘室的顶棚等比地面高的位置的行驶轨道(轨道)2行驶。空中搬送车1在例如保管设备与规定的加载部之间搬送作为物品的FOUP(前开式晶圆传送盒：Front Opening UnifiedPod)90。在FOUP90中收容例如多张半导体晶圆等。FOUP90具有保持于空中搬送车1的凸缘98。
在以下的说明中，为了便于说明，将图1中的左右方向(X轴方向)设为空中搬送车1的行驶方向(以下，也称为“前后方向”)。将图1中的上下方向(Z轴方向)设为空中搬送车1的上下方向(以下，也称为“铅垂方向”)。将图1中的进深方向(Y轴方向)设为空中搬送车1的宽度方向(以下，也称为“左右方向”)。X轴、Y轴及Z轴互相正交。
如图1所示，空中搬送车1具有行驶驱动部3、水平驱动部(主体部)5、旋转驱动部(主体部)6、升降驱动部(主体部)7、升降装置(升降部)10、保持装置(把持部)11、第一支承部50(参照图3及图4)、第二支承部40(参照图3及图4)和连杆机构70(参照图3及图4)。
在空中搬送车1上，以覆盖水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降装置10以及保持装置11的方式在前后方向上设有一对罩8、8。一对罩8、8在升降装置10上升到上升端的状态下在保持装置11的下方形成收容FOUP90的空间。落下防止机构8A防止在升降装置10上升到上升端的状态下保持于保持装置11的FOUP90落下。晃动抑制机构8B抑制在行驶时保持于保持装置11的FOUP90在空中搬送车1的前后方向(行驶方向)和左右方向上晃动。
行驶驱动部3使空中搬送车1沿行驶轨道2移动。行驶驱动部3配置于行驶轨道2内。行驶驱动部3驱动在行驶轨道2行驶的滚轮(未图示)。在行驶驱动部3的下部借助轴3A设有水平驱动部5。水平驱动部5使旋转驱动部6、升降驱动部7以及升降装置10在水平面内沿与行驶轨道2的延伸方向正交的方向(左右方向)移动。旋转驱动部6使升降驱动部7和升降装置10在水平面内旋转。升降驱动部7通过卷绕和放出四根带(吊持部件)9来使升降装置10升降。此外，升降驱动部7中的带9也可以使用金属线和绳索等适当的吊持部件。
如图1及图2所示，本实施方式中的升降装置10以能利用升降驱动部7升降的方式设置，作为空中搬送车1中的升降台发挥功能。升降装置10具有把持FOUP90的保持装置11，并且，利用带9相对于作为主体部的水平驱动部5、旋转驱动部6以及升降驱动部7升降。保持装置11保持FOUP90。保持装置11具备呈L字状的一对臂12、12、固定于各臂12、12上的柄13、13、和使一对臂12、12开闭的开闭机构15。
一对臂12、12设于开闭机构15。开闭机构15使一对臂12、12向互相靠近的方向及互相远离的方向移动。通过开闭机构15的动作，一对臂12、12在前后方向上进退。由此，固定于臂12、12的一对柄13、13开闭。在本实施方式中，在一对柄13、13处于开状态时，调整保持装置11(升降装置10)的高度位置，以使柄13的保持面处于比凸缘98的下表面的高度靠下方的位置。并且，通过在该状态下使一对柄13、13成为闭状态，从而柄13、13的保持面进入凸缘98的下表面的下方，在该状态下使升降装置10上升，从而由一对柄13、13保持(把持)凸缘98，进行FOUP90的支承。
升降装置10具备供保持装置11设置的基座部10A、覆盖基座部10A的罩部10B、第一支承部50和第二支承部40。如图3及图4所示，第一支承部50及第二支承部40是将带9和升降装置10连结的机构，并且，是抑制行驶驱动部3行驶时或升降装置10升降时的振动向FOUP90传递的机构。
第一支承部50具有从铅垂方向下方将基座部10A以能够在铅垂方向上移动的方式支承的弹性部件(第一缓冲部)58，在从铅垂方向观察的俯视时配置于与空中搬送车1的行驶方向正交的宽度方向上的一方。在本实施方式中，第一支承部50在左右方向上设于升降装置10的右侧。第一支承部50具有连接部件51、摆动部件53、第一主体部件54、第二主体部件56和一对弹性部件58、58。
连接部件51是安装于带9的部件。摆动部件53是与连接部件51连结的部件。摆动部件53借助销部件52以能够向双方向旋转的方式与连接部件51连结。第一主体部件54是大致L字状的部件，其底部以平坦的方式形成。第一主体部件54的一部分与摆动部件53连接。第一主体部件54的底部利用螺栓等与第二主体部件56的连接部56B连接。
如图3、图4、图6的(A)及图6的(A)所示，第二主体部件56具有主体部56A、连接部56B、第一侧面部56C和第二侧面部56D。主体部56A是从下方支承弹性部件58的平板状的部件。连接部56B的一端与第一主体部件54的底部连接，另一端与主体部56A及第一侧面部56C连接。第一侧面部56C从主体部56A立设。第二侧面部56D从主体部56A立设，并且与第一侧面部56C正交。第一侧面部56C及第二侧面部56D是通过相对于主体部56A弯折而形成的。
一对弹性部件58、58是具有规定的弹簧常数的螺旋弹簧。一对弹性部件58、58支承于主体部56A，并且从下方支承基座部10A。弹性部件58的下端固定于主体部56A。弹性部件58的上端未固定于基座部10A，通过接触来支承基座部10A。即，一对弹性部件58、58分别在处于以与主体部56A和基座部10A这两者接触的状态收缩了的状态时，对主体部56A和基座部10A向彼此远离的方向施力。弹性部件58具有减少在互相接触的部件之间传递的振动的作用。此外，也可以是，弹性部件58固定于基座部10A，能够相对于主体部56A接触、分离地设置。
第二支承部40具有从铅垂方向下方将基座部10A以能够在铅垂方向上移动的方式支承的弹性部件(第二缓冲部)48，在从铅垂方向观察的俯视时配置于与空中搬送车1的行驶方向正交的宽度方向上的另一方(在宽度方向上与第一支承部50相反的一侧)。在本实施方式中，第二支承部40在左右方向上设于升降装置10的左侧。第二支承部40具有连接部件41、41、摆动部件43、第三主体部件45、第四主体部件46、限制部件47和一对弹性部件48、48。
连接部件41、41是供带9、9安装的部件。摆动部件43是将一对连接部件41、41和第三主体部件45连结的部件。一对连接部件41、41与摆动部件43以能够向双方向旋转的方式连结，借助一对销部件42、42连结。摆动部件43与第三主体部件45以能够向双方向旋转的方式连结，借助销部件44连结。
如图5的(A)、图5的(B)及图7所示，第四主体部件46具有主体部46A、第一侧面部46C和第二侧面部46。主体部46A从下方支承弹性部件48、48。主体部46A是从下方支承弹性部件48、48的平板状的部件。第一侧面部46C从主体部46A立设。第二侧面部46D从主体部46A立设，并且与第一侧面部46C正交。第一侧面部46C及第二侧面部46D是通过相对于主体部46A弯折而形成的。
一对弹性部件48、48是具有规定的弹簧常数的螺旋弹簧。一对弹性部件48、48支承于主体部46A，并且从下方支承基座部10A。弹性部件48的下端固定于主体部46A。限制部件47(参照图7)限制基座部10A与主体部46A分开规定距离以上。更详细而言，限制部件47卡定要相对于主体部46A分开规定距离以上的基座部10A的上表面。弹性部件48的上端未固定于基座部10A，通过接触来支承基座部10A。即，一对弹性部件48、48分别在处于与主体部46A和基座部10A这两者接触的状态时，对主体部46A及基座部10A向彼此远离的方向施力。弹性部件48具有减少在互相接触的部件之间传递的振动的作用。此外，也可以是，弹性部件48固定于基座部10A，能够相对于主体部46A接触、分离地设置。
如图4所示，连杆机构70连结第一支承部50和第二支承部40，并且，以使第一支承部50与基座部10A之间的铅垂方向上的距离(第一距离)、和第二支承部40与基座部10A之间的铅垂方向上的距离(第二距离)彼此接近的方式动作。以下，对连杆机构70的详细情况进行说明。
连杆机构70具有第一轴(第三缓冲部)71、第二轴(第三缓冲部)72、第三轴73、第一衬套81、第二衬套82、第一块83和第二块84。
如图3、图4、图5的(A)及图5的(B)所示，第一轴71支承于第二支承部40中的设于第四主体部件46的第二侧面部46D上的第一衬套81，在前后方向上延伸。第一轴71穿插于第一衬套81的穿插孔81A，相对于第一衬套81能够旋转且能够在轴向上滑动地设置。适当选定第一衬套81的材料，以使第一轴71的轴部71C具有规定的旋转性及规定的滑动性。第一轴71、71在前后方向上配置于第二支承部40的两端。在前后方向上排列的两个第一轴71、71在前后方向上配置于大致一条直线上。
第一轴71具有第一主体部71A、第二主体部71B和轴部71C。第一主体部71A与第三轴73的一端连结，与轴部71C一体地形成。第一主体部71A的直径比轴部71C的直径大。第二主体部71B能够外套于轴部71C且能够相对于轴部71C移动地形成。第二主体部71B的直径比轴部71C的直径大。弹性部件(第三缓冲部)75外套于轴部71C，并且配置于第一主体部71A与第二主体部71B之间。弹性部件75是具有规定的弹簧常数的螺旋弹簧，对第二主体部71B相对于第四主体部件46的第二侧面部46D施力。在轴部71C的一方的端部设有防止第一轴71倾斜的止挡件71D。该止挡件71D由能够相对于第四主体部件46的主体部46A进行前后方向上的滑动的材料形成。
这样结构的第一轴71能够使第二支承部40从相对于基座部10A的定位置向前后方向(行驶方向)相对地移动。另外，如图4所示，在前后方向上隔着第二支承部40设置的一对弹性部件75、75具有使从相对于基座部10A的定位置向前后方向(行驶方向)移动的第二支承部40复位于上述定位置的功能。例如，在第二支承部40从相对于基座部10A的定位置向前后方向的前侧相对地移动了的情况下，设于配置于前后方向的前侧的第一轴71上的弹性部件75被压缩。第二支承部40利用此时的弹性部件75的回弹力返回相对于基座部10A的定位置。另外，例如，在第二支承部40从相对于基座部10A的定位置向前后方向的后侧相对地移动了的情况下，设于配置于前后方向的后侧的第一轴71上的弹性部件75被压缩。第二支承部40利用此时的弹性部件75的回弹力返回相对于基座部10A的定位置。
如图3、图4、图6的(A)及图6的(B)所示，第二轴72支承于第一支承部50中的设于第二主体部件56的第二侧面部56D上的第二衬套82，在前后方向上延伸。第二轴72穿插于第二衬套82的穿插孔82A，相对于第二衬套82能够旋转且能够在轴向上滑动地设置。能适当选定第二衬套82的材料，以使第二轴72的轴部72C具有规定的旋转性及规定的滑动性。第二轴72、72在前后方向上配置于第一支承部50的两端。排列在前后方向上的两个第二轴72、72在前后方向上配置于大致一条直线上。
第二轴72具有第一主体部72A、第二主体部72B和轴部72C。第一主体部72A与第三轴73的另一端连结，与轴部72C一体地形成。第一主体部72A的直径比轴部72C的直径大。第二主体部72B能够外套于轴部72C且能够相对于轴部72C移动地形成。第二主体部72B的直径比轴部72C的直径大。弹性部件(第三缓冲部)76外套于轴部72C，并且配置于第一主体部72A与第二主体部72B之间。弹性部件76是具有规定的弹簧常数的螺旋弹簧，对第二主体部72B相对于第二主体部件56的第二侧面部56D施力。
这样结构的第二轴72能够使第一支承部50从相对于基座部10A的定位置向前后方向(行驶方向)相对地移动。另外，如图4所示，在前后方向上隔着第一支承部50而设置的一对弹性部件76、76具有使从相对于基座部10A的定位置向前后方向(行驶方向)移动的第二支承部40复位于上述定位置的功能。例如，在第一支承部50从相对于基座部10A的定位置向前后方向的前侧相对地移动了的情况下，设于配置于前后方向的前侧的第二轴72上的弹性部件76被压缩。第一支承部50利用此时的弹性部件76的回弹力返回相对于基座部10A的定位置。另外，例如，在第一支承部50从相对于基座部10A的定位置向前后方向的后侧相对地移动了的情况下，设于配置于前后方向的后侧的第二轴72上的弹性部件76被压缩。第一支承部50利用此时的弹性部件76的回弹力返回相对于基座部10A的定位置。
如图3、图4、图5的(A)、图5的(B)、图6的(A)及图6的(B)所示，第三轴73支承于固定在基座部10A的底面上的第一块83及第二块84，在左右方向上延伸。第三轴73分别配置在前后方向上，两根第三轴73、73分别以平行的方式配置。第三轴73穿插于第一块83的穿插孔83A和第二块84的穿插孔84A，相对于第一块83和第二块84能够旋转且能够在轴向上滑动地设置。
第三轴73的左右方向上的一端与第一轴71连结，第三轴73的另一端与第二轴72连结，具体而言，第三轴73的一端通过穿插于在第一轴71形成的穿插孔而连结，第三轴73的另一方的端部通过穿插于在第二轴72形成的穿插孔而连结。
接着，主要使用图3、图4、图5的(A)、图5的(B)、图6的(A)及图6的(B)来说明第一支承部50的动作的一个例子。若由保持装置11把持收容有被收容物的FOUP90或空的FOUP90，则载荷作用于弹性部件58，弹性部件58被压缩。若弹性部件58被压缩，则产生回弹力，对基座部10A施力。行驶驱动部3行驶时或升降装置10升降时经由保持装置11向FOUP90传递的振动通过设于第一支承部50的弹性部件58而减少。
接着，说明第二支承部40的动作的一个例子。若由保持装置11把持收容有被收容物的FOUP90或空的FOUP90，则载荷作用于弹性部件48，弹性部件48被压缩。若弹性部件48被压缩，则产生回弹力，对基座部10A施力。行驶驱动部3行驶时或升降装置10升降时经由保持装置11向FOUP90传递的振动通过设于第二支承部40的弹性部件48而减少。
接着，说明将在左右方向上排列的第二支承部40和第一支承部50连结的连杆机构70的动作的一个例子。例如，设为由于行驶时的离心力，对左侧的第二支承部40的弹性部件48、48作用有力。若力作用于第二支承部40的弹性部件48、48，则弹性部件48、48被压缩，第四主体部件46向上方(箭头D1)移动。即，第四主体部件46与基座部10A之间的距离变近。此外，本动作中的向上方的移动表示靠近基座部10A的相对的移动，向下方的移动表示远离基座部10A的相对的移动。若第四主体部件46向上方移动，则借助第一衬套81固定于第四主体部件46上的第一轴71的靠第一衬套81侧的端部向上方(箭头D2)移动，第一轴71的与第三轴73连结那一侧的端部向下方(箭头D3)移动。
若第一轴71的靠第三轴73侧的端部向下方移动，则第三轴73也向下方(箭头D4)移动。若第三轴73向下方移动，则与第三轴73连结、并且借助第二衬套82固定于第二主体部件56上的第二轴72的靠第三轴73侧的端部向下方(箭头D5)移动，第二衬套82侧的端部向上方(箭头D6)移动。由此，第二主体部件56被向上方(箭头D7)上推。若第二主体部件56被上推，则第一支承部50的弹性部件58、58被压缩，第一主体部件54与基座部10A之间的距离变短。
另一方面，若弹性部件48、48被拉拽、弹性部件48、48伸长，则第四主体部件46向下方(与箭头D1相反的方向)移动。即，第四主体部件46与基座部10A之间的距离扩大。若第四主体部件46向下方移动，则借助第一衬套81固定于第四主体部件46上的第一轴71的靠第一衬套81侧的端部向下方(与箭头D2相反的方向)移动，第一轴71的与第三轴73连结那一侧的端部向上方(与箭头D3相反的方向)移动。
若第一轴71的靠第三轴73侧的端部向上方移动，则第三轴73也向上方(与箭头D4相反的方向)移动。若第三轴73向上方移动，则与第三轴73连结、并且借助第二衬套82固定于第二主体部件56上的第二轴72的靠第三轴73侧的端部向上方(与箭头D5相反的方向)移动，靠第二衬套82侧的端部向下方(与箭头D6相反的方向)移动。由此，第二主体部件56被向下方(与箭头D7相反的一侧)压下。若第二主体部件56被压下，则第一支承部50的弹性部件58、58伸长，第一主体部件54与基座部10A之间的距离变长。
如此，关于将在左右方向上排列的第二支承部40和第一支承部50连结的连杆机构70，如果第二支承部40的弹性部件48、48及第一支承部50的弹性部件58、58缩短或伸长，则第三轴73以固定于基座部10A的底面上的第一块83及第二块84为支点而追随进行旋转运动，使第二支承部40的弹性部件48、48及第一支承部50的弹性部件58、58缩短或伸长。即，连杆机构70在互相连结的第二支承部40及第一支承部50中的基座部10A与第四主体部件46之间的距离和基座部10A与第一主体部件54之间的距离之间产生了差时，以使互相连结的第二支承部40和第一支承部50中的基座部10A与第四主体部件46之间的距离和基座部10A与第一主体部件54之间的距离彼此接近的方式动作。
连杆机构70具有第三轴73，该第三轴73于在基座部10A与第四主体部件46之间的距离同基座部10A与第一主体部件54之间的距离之间产生了差时产生应力(扭转应力)。针对在第三轴73所产生的应力的反作用力作为使基座部10A与第四主体部件46之间的距离和基座部10A与第一主体部件54之间的距离彼此接近的力起作用。
对上述实施方式的空中搬送车1的作用效果进行说明。在上述实施方式的空中搬送车1中，设有以使第一支承部50与基座部10A之间的铅垂方向上的距离和第二支承部40与基座部10A之间的铅垂方向上的距离彼此接近的方式动作的连杆机构70。由此，能够抑制在升降装置10(基座部10A)发生侧倾(roll)运动。因此，能够减小基座部10A处的左右方向上的倾斜，能够抑制FOUP90的晃动。
另外，在第一支承部50及第二支承部40设有使得能够相对于第一支承部50及第二支承部40进行基座部10A的铅垂方向上的移动的弹性部件48、58，因此，能够减少经由升降装置10向FOUP90传递的铅垂方向的振动。而且，连杆机构70中，能够进行基座部10A相对于第一支承部50在水平方向上的移动并且利用弹性部件76、76始终作用欲返回定(中立)位置的力，另外，能够进行基座部10A相对于第二支承部40在水平方向上的移动并且利用弹性部件75、75始终作用欲返回定位置的力，因此，能够减少经由升降装置10向FOUP90传递的水平方向的振动，更详细而言是前后方向的振动。其结果是，能够谋求向FOUP90传递的振动的进一步减少，同时抑制FOUP90的晃动。
在上述实施方式的空中搬送车1中，弹性部件48、58、75、76由弹簧部件形成，因此，能够以简单的结构高效地减少振动。
以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方面并不限于上述实施方式，在不脱离发明主旨的范围内能够进行各种改变。
在上述实施方式的空中搬送车1中，列举如下例子进行了说明：能够实现第一支承部50相对于基座部10A在行驶方向上的相对移动并且利用弹性部件76、76始终作用欲使第一支承部50返回定位置的力，另外，能够实现第二支承部40相对于基座部10A在行驶方向上的相对移动并且利用弹性部件75、75始终作用欲使第二支承部40返回定位置的力，但也可以在该结构的基础上，还具备如下结构：能够实现第一支承部50及第二支承部40相对于基座部10A在左右方向上的相对移动，并且利用弹性部件77始终作用使第一支承部50及第二支承部40返回定位置的力。
具体而言，如图8所示，分别在第三轴(第四缓冲部)73上，在第一主体部72A与第二块84之间配置有弹性部件77，在第一主体部71A与第一块83之间配置有弹性部件77。这样结构的第三轴73能够使第一支承部50和第二支承部40从相对于基座部10A的定位置向左右方向(宽度方向)相对地移动。另外，在左右方向上配置于第三轴73的两端的弹性部件77、77具有使从相对于基座部10A的定位置向左右方向(宽度方向)移动的第一支承部50及第二支承部40复位于上述定位置的功能。
例如，在第一支承部50或第二支承部40从相对于基座部10A的定位置向左右方向的右侧相对地移动了的情况下，配置于左右方向的右侧的弹性部件77被压缩。第一支承部50或第二支承部40利用此时的弹性部件77的回弹力而返回相对于基座部10A的定位置。另外，例如，在第一支承部50或第二支承部40从相对于基座部10A的定位置向左右方向的左侧相对地移动了的情况下，配置于左右方向的左侧的弹性部件77被压缩。第一支承部50或第二支承部40利用此时的弹性部件77的回弹力而返回相对于基座部10A的定位置。在该变形例的结构的空中搬送车1中，能够减少经由升降装置10向FOUP90传递的前后方向及左右方向这两者的振动。
另外，也可以构成为，具备上述的变形例的结构(弹性部件77)来替代具备上述实施方式的能够实现第一支承部50相对于空中搬送车1的基座部10A在行驶方向上的相对移动的结构(第二轴72及弹性部件76、76)和能够实现第二支承部40相对于基座部10A在行驶方向上的相对移动的结构(第一轴71及弹性部件75、75)。在该变形例的结构的空中搬送车1中，能够减少经由升降装置10向FOUP90传递的左右方向的振动。
在上述实施方式和变形例中，作为弹性部件48、58、75、76、77的例子，列举螺旋弹簧为例而进行了说明，但也可以配置由例如硅树脂等形成的凝胶状的弹性体。即使是在该情况下，也能够与螺旋弹簧同样地吸收振动和冲击。
在上述实施方式和变形例中，列举如下例子而进行了说明：第一支承部50在左右方向上设于升降装置10的右侧，第二支承部40在左右方向设于上升降装置10的左侧，但并不限定于此。例如，也可以是在左右方向上调换第一支承部50和第二支承部40的位置而成的结构的空中搬送车1。另外，例如，也可以是，将第一支承部50或第二支承部40配置于左右方向的两侧等、将带9和基座部10A连接的支承部的结构彼此相同。
附图标记说明
1：空中搬送车，2：行驶轨道(轨道)，9：带(吊持部件)，10：升降装置(升降部)，10A：基座部，11：保持装置(把持部)，40：第二支承部，48：弹性部件(第二缓冲部)，50：第一支承部，58：弹性部件(第一缓冲部)，70：连杆机构，71：第一轴(第三缓冲部)，72：第二轴(第三缓冲部)，73：第三轴(第四缓冲部)，75：弹性部件(第三缓冲部)，76：弹性部件(第三缓冲部)，77：弹性部件(第四缓冲部)，90：FOUP(物品)。

Claims (4)

1.一种空中搬送车，其具备：主体部，该主体部能够沿着轨道行驶；和升降部，该升降部具有把持物品的把持部，并且利用吊持部件相对于所述主体部升降，在该空中搬送车中，
所述升降部具备：
基座部，该基座部供所述把持部设置；
第一支承部，该第一支承部具有从铅垂方向下方将所述基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第一缓冲部，在从铅垂方向观察的俯视时在与所述主体部的行驶方向正交的宽度方向的一方与所述吊持部件连接；
第二支承部，该第二支承部具有从铅垂方向下方将所述基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第二缓冲部，在所述主体部的所述宽度方向的另一方与所述吊持部件连接；以及
连杆机构，该连杆机构连结所述第一支承部和所述第二支承部，并且，以使所述第一支承部与所述基座部之间的铅垂方向上的第一距离和所述第二支承部与所述基座部之间的铅垂方向上的第二距离彼此接近的方式动作，
所述连杆机构具有第三缓冲部和第四缓冲部中的至少一者，所述第三缓冲部能够实现所述基座部相对于所述第一支承部和所述第二支承部在所述行驶方向上的相对移动，所述第四缓冲部能够实现所述基座部相对于所述第一支承部和所述第二支承部在所述宽度方向上的相对移动。
2.根据权利要求1所述的空中搬送车，其中，
所述连杆机构具有所述第三缓冲部。
3.根据权利要求1或2所述的空中搬送车，其中，
所述连杆机构具有所述第三缓冲部和所述第四缓冲部这两者。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的空中搬送车，其中，
所述第三缓冲部或所述第四缓冲部包括弹性部件而形成。
CN202180074576.0A 2020-11-10 2021-10-04 空中搬送车 Pending CN116368054A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-187426 2020-11-10
JP2020187426 2020-11-10
PCT/JP2021/036619 WO2022102280A1 (ja) 2020-11-10 2021-10-04 天井搬送車

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116368054A true CN116368054A (zh) 2023-06-30

Family

ID=81601111

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202180074576.0A Pending CN116368054A (zh) 2020-11-10 2021-10-04 空中搬送车

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20240002148A1 (zh)
EP (1) EP4245631A1 (zh)
JP (1) JP7323080B2 (zh)
KR (1) KR20230078765A (zh)
CN (1) CN116368054A (zh)
IL (1) IL302545A (zh)
TW (1) TW202225060A (zh)
WO (1) WO2022102280A1 (zh)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4075002B2 (ja) * 2004-06-28 2008-04-16 村田機械株式会社 天井走行車
JP4911045B2 (ja) * 2008-01-21 2012-04-04 ムラテックオートメーション株式会社 被搬送物及び防振機構
WO2018079146A1 (ja) 2016-10-25 2018-05-03 村田機械株式会社 天井搬送車
JP6958639B2 (ja) * 2018-01-24 2021-11-02 村田機械株式会社 搬送車
JP6835039B2 (ja) * 2018-06-19 2021-02-24 株式会社ダイフク 物品搬送体
WO2020174809A1 (ja) * 2019-02-25 2020-09-03 村田機械株式会社 天井搬送車
CN113396098B (zh) * 2019-04-24 2024-01-16 村田机械株式会社 缓冲装置、堆装起重机、输送系统以及缓冲装置用夹具

Also Published As

Publication number Publication date
US20240002148A1 (en) 2024-01-04
TW202225060A (zh) 2022-07-01
KR20230078765A (ko) 2023-06-02
WO2022102280A1 (ja) 2022-05-19
JPWO2022102280A1 (zh) 2022-05-19
JP7323080B2 (ja) 2023-08-08
EP4245631A1 (en) 2023-09-20
IL302545A (en) 2023-07-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109890730B (zh) 空中搬送车
JP6344410B2 (ja) 天井搬送車
JP6958639B2 (ja) 搬送車
CN113439063B (zh) 空中搬送车
CN116368054A (zh) 空中搬送车
JP7276474B2 (ja) 天井搬送車
WO2023013172A1 (ja) 天井搬送車
TWI827842B (zh) 高架搬送車
JP2022101200A (ja) 物品搬送車

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination