TW202225060A - 高架搬運車 - Google Patents

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小林誠
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日商村田機械股份有限公司
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Abstract

高架搬運車(1)，具備：第一支撐部(50)、第二支撐部(40)、以及連桿機構(70)。第一支撐部(50)，具有第一緩衝部(58)，在俯視視角中在本體部之寬度方向的其中一側連接於皮帶(9)。第二支撐部(40)，具有第二緩衝部(48)，在本體部之寬度方向的另一側連接於皮帶(9)。連桿機構(70)，將第一支撐部(50)和第二支撐部(40)連結，並將鉛直方向之第一支撐部(50)和底座部(10A)之間的第一距離、及第二支撐部(40)和底座部(10A)之間的第二距離彼此靠近。連桿機構(70)，具有可相對於第一支撐部(50)及第二支撐部(40)，使底座部(10A)在行走方向上相對移動的第三緩衝部(71、72、75、76)以及可在寬度方向上相對移動的第四緩衝部(73、77)之至少其中一個。

Description

高架搬運車
本發明的一方面是有關於高架搬運車。
現今已知一種高架搬運車，具備：本體部，可沿軌道行走；以及昇降部，具有把持物品的把持部並藉由複數懸吊構件絞起及送出而相對於前述本體部昇降。例如，在專利文獻1已揭示一種高架搬運車，昇降部，具備：底座部，設有把持部；複數緩衝機構，具有可經由緩衝部從鉛直方向下方朝鉛直方向移動地支撐底座部的支撐部並且安裝有懸吊構件，這些複數緩衝機構藉由連桿機構連結。在此高架搬運車中，連桿機構，由於動作成將彼此連結的複數緩衝機構之支撐部和底座部之間的各距離彼此相互靠近，因而可以減少傳遞於物品的振動的同時，抑制物品晃動。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1 國際公開第2018/079146號公報
[發明所欲解決之問題]
上述以往的高架搬運車，可以在減少傳遞於物品的振動的同時，抑制物品晃動，但伴隨搬送物品的多樣化，須要更進一步減少振動。
因此，本發明的一方面的目地，在於提供：達成傳遞於物品的振動更加減少的同時，可以抑制物品晃動的高架搬運車。 [解決問題之技術手段]
本發明的一方面所涉及的一種高架搬運車，具備：本體部，可沿軌道行走；以及昇降部，具有把持物品的把持部並且藉由懸吊構件而相對於本體部昇降，昇降部，具備：底座部，設有把持部；第一支撐部，具有從鉛直方向下方可朝鉛直方向移動地支撐底座部的第一緩衝部，在從鉛直方向觀看的俯視視角中，在正交於本體部的行走方向之寬度方向的其中一側連接於懸吊構件；第二支撐部，具有從鉛直方向下方可朝鉛直方向移動地支撐底座部的第二緩衝部，在寬度方向的另一側連接於懸吊構件；以及連桿機構，將第一支撐部和第二支撐部連結，並且以將鉛直方向之第一支撐部和底座部之間的第一距離、及鉛直方向之第二支撐部和底座部之間的第二距離彼此靠近的方式動作，連桿機構，至少具有以下的其中一個：第三緩衝部，可相對於第一支撐部及第二支撐部，使底座部在行走方向上相對移動；以及第四緩衝部，可相對於第一支撐部和第二支撐部，使底座部在寬度方向上相對移動。
在此構成的高架搬運車中，由於設置以將鉛直方向之第一支撐部和底座部之間的第一距離、及鉛直方向之第二支撐部和底座部之間的第二距離彼此靠近的方式動作的連桿機構，因而昇降裝置的左右方向之傾斜減少，可以抑制物品晃動。另外，在第一支撐部及第二支撐部，由於設置可相對於第一支撐部及第二支撐部，使底座部在鉛直方向移動的緩衝部(第一緩衝部及第二緩衝部)，因而可以減少經由昇降部傳遞於物品的鉛直方向的振動。而且，在連桿機構，由於設置可相對於第一支撐部及第二支撐部，使底座部的水平方向之移動的緩衝部(第三緩衝部及第四緩衝部的至少一個)，因而可以減少經由昇降部傳遞於物品的水平方向的振動。這些結果，達成傳遞於物品的振動更加減少的同時，可以抑制物品晃動。
在本發明的一方面所涉及的高架搬運車中，連桿機構也可以具有第三緩衝部。在此構造中，可以減少經由昇降部傳遞於物品的前後方向的振動。
在本發明的一方面所涉及的高架搬運車中，連桿機構也可以具有第三緩衝部及第四緩衝部的雙方。在此構造中，可以減少經由昇降部傳遞於物品的前後方向及左右方向雙方的振動。
在本發明的一方面所涉及的高架搬運車中，第三緩衝部或第四緩衝部，也可以形成為包含彈性構件。可以減少經由昇降部傳遞於物品的水平方向的振動。在此構造中，可以靠簡易的構造來有效率地減少振動。 [發明效果]
依據本發明的一個方面，達成傳遞於物品的振動更加減少的同時，可以抑制物品晃動。
以下，參照圖式，針對一個實施方式進行詳細說明。此外，在圖式的說明中，對於相同元件給予相同符號，省略重複說明。
圖1是表示一個實施方式所涉及的高架搬運車的前視圖，圖2是從前方向觀看昇降裝置的側視圖。在圖1及圖2中，省略連桿機構70(參照圖3)的圖示。圖1所示的高架搬運車1是沿設置在清淨室的頂棚等等，比地面高的位置的行走用軌道(軌道)2行走。高架搬運車1是在例如保管設備和既定的裝載埠之間搬運作為物品的FOUP(Front Opening Unified Pod)90。在FOUP90，例如，收容複數枚的半導體晶圓等。FOUP90具有保持在高架搬運車1的凸緣98。
在以下的說明中，為了方便說明，將圖1之左右方向(X軸方向)作為高架搬運車1的行走方向(以下，亦稱為「前後方向」)。將圖1之上下方向(Ｚ軸方向)作為高架搬運車1的上下方向(以下，亦稱為「鉛直方向」)。將圖1之深處方向(Ｙ軸方向)作為高架搬運車1的寬度方向(以下，亦稱為「左右方向」)。X軸、Y軸以及Z軸是彼此正交。
如圖1所示般，高架搬運車1，具有：行走用驅動部3、水平驅動部(本體部)5、旋轉驅動部(本體部)6、昇降驅動部(本體部)7、昇降裝置(昇降部)10、保持裝置(把持部)11、第一支撐部50(參照圖3及圖4)、第二支撐部40(參照圖3及圖4)、以及連桿機構70(參照圖3及圖4)。
於高架搬運車1，在前後方向上設置一對蓋8、8，以覆蓋：水平驅動部5、旋轉驅動部6、昇降驅動部7、昇降裝置10以及保持裝置11。一對蓋8、8是在昇降裝置10上昇到上昇端的狀態下，在保持裝置11的下方形成收容FOUP90的空間。墜落預防機構8A是在昇降裝置10上昇到上昇端的狀態下防止保持在保持裝置11的FOUP90掉落。晃動抑制機構8B是抑制保持在行走時之保持裝置11的FOUP90的高架搬運車1的前後方向(行走方向)以及左右方向的晃動。
行走用驅動部3是使高架搬運車1沿行走用軌道2移動。行走用驅動部3配置在行走用軌道2內。行走用驅動部3將行走在行走用軌道2上的滾子(未圖示)予以驅動。在行走用驅動部3的下部，經由軸3A設置水平驅動部5。水平驅動部5使旋轉驅動部6、昇降驅動部7以及昇降裝置10在水平面內移動於與行走用軌道2的延伸方向正交的方向(左右方向)上。旋轉驅動部6在水平面內使昇降驅動部7以及昇降裝置10旋轉。昇降驅動部7是藉由四條的皮帶9(懸吊構件)的捲起以及送出使昇降裝置10昇降。此外，昇降驅動部7之皮帶9，也可以使用金屬線以及繩索等，適當的懸吊構件。
如圖1及圖2所示般，本實施方式之昇降裝置10藉由昇降驅動部7可昇降地設置，發揮作為高架搬運車1之昇降台的功能。昇降裝置10，具有把持FOUP90的保持裝置11，並且相對於作為本體部的水平驅動部5、旋轉驅動部6、及昇降驅動部7藉由皮帶9進行昇降。保持裝置11將FOUP90予以保持。保持裝置11，具備：L字形之一對臂部12、12；固定在各臂部12、12的手部13、13；以及使一對臂部12、12開閉的開閉機構15。
一對臂部12、12設置於開閉機構15。開閉機構15是使一對臂部12、12朝彼此接近的方向以及彼此分開的方向移動。藉由開閉機構15的動作，一對臂部12、12朝前後方向前進後退。因而，固定在臂部12、12的一對手部13、13進行開閉。在本實施方式中，一對手部13、13在開狀態時，調整保持裝置11(昇降裝置10)的高度位置，以使手部13的保持面成為比凸緣98的底面的高度更下方。而且，藉著一對手部13、13在該狀態下成為閉狀態，手部13、13的保持面前進到凸緣98的底面的下方，藉由在該狀態下使昇降裝置10上昇，藉由一對手部13、13來保持(把持)凸緣98，進行FOUP90的支撐。
昇降裝置10，具備：設置保持裝置11的底座部10A、覆蓋底座部10A的蓋部10B、第一支撐部50、以及第二支撐部40。如圖3及圖4所示般，第一支撐部50及第二支撐部40是將皮帶9和昇降裝置10連結的機構，並且是抑制行走用驅動部3進行行走時或昇降裝置10進行昇降時的振動傳遞於FOUP90的機構。
第一支撐部50，具有從鉛直方向下方可朝鉛直方向移動地支撐底座部10A的彈性構件(第一緩衝部)58，在從鉛直方向觀看的俯視視角中配置於與高架搬運車1的行走方向正交之寬度方向的其中一側。在本實施方式中，第一支撐部50是在左右方向上設置於昇降裝置10的右側。第一支撐部50，具有：連接構件51；擺動構件53；第一本體構件54；第二本體構件56；以及一對彈性構件58、58。
連接構件51是安裝於皮帶9的構件。擺動構件53是連結於連接構件51的構件。擺動構件53，經由銷構件52可朝雙方向旋轉地連結於連接構件51。第一本體構件54是大致L字形的構件，其底部形成平坦。第一本體構件54，其一部分連接於擺動構件53。第一本體構件54，其底部藉由螺栓等連接於第二本體構件56的連接部56B。
如圖3、圖4、圖6(A)及圖6(A)所示般，第二本體構件56，具有：本體部56A、連接部56B、第一側面部56C、以及第二側面部56D。本體部56A是從下方支撐彈性構件58的平板狀的構件。連接部56B，其中一端連接於第一本體構件54的底部，另一端連接於本體部56A及第一側面部56C。第一側面部56C，從本體部56A豎立設置。第二側面部56D，從本體部56A豎立設置，並且正交於第一側面部56C。第一側面部56C及第二側面部56D，藉由從本體部56A折彎所形成。
一對彈性構件58、58是具有既定彈簧常數的線圈彈簧。一對彈性構件58、58，受本體部56A支撐並且從下方支撐底座部10A。彈性構件58的下端，固定於本體部56A。彈性構件58的上端，未固定於底座部10A，且藉由接觸來支撐底座部10A。換言之，一對彈性構件58、58，分別在接觸於本體部56A和底座部10A雙方的狀態而處於壓縮狀態時，將本體部56A和底座部10A朝彼此遠離方向彈推。彈性構件58，具有減少傳遞於彼此接觸之構件間的振動的作用。此外，也可以固定於底座部10A，且可分離地設置於本體部56A。
第二支撐部40，具有從鉛直方向下方可朝鉛直方向移動地支撐底座部10A的彈性構件(第二緩衝部)48，在從鉛直方向觀看的俯視視角中配置於與高架搬運車1的行走方向正交之寬度方向的另一側(在寬度方向與第一支撐部50相反側)。在本實施方式中，第二支撐部40是在左右方向上設置於昇降裝置10的左側。第二支撐部40，具有：連接構件41、41；擺動構件43；第三本體構件45；第四本體構件46；限制構件47；以及一對彈性構件48、48。
連接構件41、41是安裝有皮帶9、9的構件。擺動構件43是將一對連接構件41、41和第三本體構件45連結的構件。一對連接構件41、41和擺動構件43，可朝雙方向旋轉地連結，且經由一對銷構件42、42連結。擺動構件43和第三本體構件45，可朝雙方向旋轉地連結，且經由銷構件44連結。
如圖5(A)、圖5(B)及圖7所示般，第四本體構件46，具有：本體部46A、第一側面部46C、以及第二側面部46D。本體部46A從下方支撐彈性構件48、48。本體部46A是從下方支撐彈性構件48、48的平板狀的構件。第一側面部46C，從本體部46A豎立設置。第二側面部46D，從本體部46A豎立設置，並且正交於第一側面部46C。第一側面部46C及第二側面部46D，藉由從本體部46A折彎所形成。
一對彈性構件48、48是具有既定彈簧常數的線圈彈簧。一對彈性構件48、48，受本體部46A支撐並且從下方支撐底座部10A。彈性構件48的下端，固定於本體部46A。限制構件47(參照圖7)，限制底座部10A相對於本體部46A離開既定距離以上。更詳細來說，限制構件47，將相對於本體部46A欲離開既定距離以上的底座部10A的上側面予以卡止。彈性構件48的上端，未固定於底座部10A，且藉由接觸來支撐底座部10A，換言之，一對彈性構件48、48，分別在接觸於本體部46A和底座部10A雙方的狀態時，將本體部46A及底座部10A朝彼此遠離方向彈推。彈性構件48，具有減少傳遞於彼此接觸之構件間的振動的作用。此外，彈性構件48，也可以設置成固定於底座部10A，且可分離於本體部46A。
如圖4所示般，連桿機構70，將第一支撐部50和第二支撐部40連結，並且以將鉛直方向之第一支撐部50和底座部10A之間的距離(第一距離)，及鉛直方向之第二支撐部40和底座部10A之間的距離(第二距離)彼此靠近的方式動作。以下，針對連桿機構70的詳細進行說明。
連桿機構70，具有：第一軸(第三緩衝部)71、第二軸(第三緩衝部)72、第三軸73、第一軸襯81、第二軸襯82、第一方塊83、以及第二方塊84。
第一軸71，如圖3、圖4、圖5(A)及圖5(B)所示般，受設置於第二支撐部40之第四本體構件46的第二側面部46D的第一軸襯81所支撐，朝前後方向延伸。第一軸71，插入於第一軸襯81的插入孔81A，設置成可相對於第一軸襯81旋轉且可朝軸方向滑動。第一軸襯81的材料，可適當選定以使第一軸71的軸部71C具有既定的旋轉性及既定的滑動性。第一軸71、71，在前後方向，配置於第二支撐部40的兩端。在前後方向排列的兩個第一軸71、71，在前後方向配置於大致一直線上。
第一軸71，具有：第一本體部71A、第二本體部71B、以及軸部71C。第一本體部71A連結於第三軸73的一端，與軸部71C一體形成。第一本體部71A的直徑，比軸部71C的直徑更大。第二本體部71B，形成為可外插軸部71C且可相對於軸部71C移動。第二本體部71B的直徑，比軸部71C的直徑更大。彈性構件(第三緩衝部)75，外插於軸部71C，並且配置於第一本體部71A和第二本體部71B之間。彈性構件75是具有既定彈簧常數的線圈彈簧，將第二本體部71B對於第四本體構件46的第二側面部46D進行彈推。在軸部71C的其中一側的端部，設置防止第一軸71傾斜的制動件71D。該制動件71D，由可相對於第四本體構件46的本體部46A朝前後方向滑動的材料所形成。
如此般構成的第一軸71，第二支撐部40可從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向(行走方向)相對地移動。另外，如圖4所示般，在前後方向夾著第二支撐部40所設置的一對彈性構件75、75，具有使從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向(行走方向)移動的第二支撐部40復位至上述固定位置的功能。例如，在第二支撐部40從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向的前側相對地移動的情況下，設置於第一軸71的彈性構件75受到壓縮，該第一軸71配置於前後方向的前側。第二支撐部40，藉由此時的彈性構件75的排斥力而返回至相對於底座部10A的固定位置。另外，例如，在第二支撐部40從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向的後側相對地移動的情況下，設置於第一軸71的彈性構件75受到壓縮，該第一軸71配置於前後方向的後側。第二支撐部40，藉由此時的彈性構件75的排斥力而返回至相對於底座部10A的固定位置。
第二軸72，如圖3、圖4、圖6(A)及圖6(B)所示般，受設置於第一支撐部50之第二本體構件56的第二側面部56D的第二軸襯82所支撐，朝前後方向延伸。第二軸72，插入於第二軸襯82的插入孔82A，設置成可相對於第二軸襯82旋轉且可朝軸方向滑動。第二軸襯82的材料，可適當選定以使第二軸72的軸部72C具有既定的旋轉性及既定的滑動性。第二軸72、72，在前後方向，配置於第一支撐部50的兩端。在前後方向排列的兩個第二軸72、72，在前後方向配置於大致一直線上。
第二軸72，具有：第一本體部72A、第二本體部72B、以及軸部72C。第一本體部72A連結於第三軸73的另一端，與軸部72C一體形成。第一本體部71A的直徑，比軸部72C的直徑更大。第二本體部71B，形成為可外插軸部72C且可對於軸部72C移動。第二本體部71B的直徑，比軸部72C的直徑更大。彈性構件(第三緩衝部)76外插於軸部72C，並且配置於第一本體部72A和第二本體部72B之間。彈性構件76是具有既定彈簧常數的線圈彈簧，將第二本體部72B對於第二本體構件56的第二側面部56D進行彈推。
如此般構成的第二軸72，第一支撐部50可從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向(行走方向)相對地移動。另外，如圖4所示般，在前後方向夾著第一支撐部50所設置的一對彈性構件76、76，具有使從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向(行走方向)移動的第二支撐部40復位至上述固定位置的功能。例如，在第一支撐部50從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向的前側相對地移動的情況下，設置於第二軸72的彈性構件76受到壓縮，該第二軸72配置於前後方向的前側。第一支撐部50，藉由此時的彈性構件76的排斥力而返回至相對於底座部10A的固定位置。另外，例如，在第一支撐部50從相對於底座部10A的固定位置朝前後方向的後側相對地移動的情況下，設置於第二軸72的彈性構件76受到壓縮，該第二軸72配置於前後方向的後側。第一支撐部50，藉由此時的彈性構件76的排斥力而返回至相對於底座部10A的固定位置。
第三軸73，如圖3、圖4、圖5(A)、圖5(B)、圖6(A)及圖6(B)所示般，受固著於底座部10A之底面的第一方塊83及第二方塊84支撐，朝左右方向延伸。第三軸73分別配置於前後方向，且兩隻第三軸73、73分別配置成為平行。第三軸73，插入於第一方塊83的插入孔83A及第二方塊84的插入孔84A，設置成可相對於第一方塊83及第二方塊84旋轉且可朝軸方向滑動。
左右方向之第三軸73的一端連結於第一軸71，第三軸73的另一端連結於第二軸72，具體來說，藉由第三軸73的一端插入在第一軸71形成的插入孔來連結，藉由第三軸73的另一側的端部插入在第二軸72形成的插入孔來連結。
接著，主要使用圖3、圖4、圖5(A)、圖5(B)、圖6(A)及圖6(B)來將第一支撐部50的動作的一例進行說明。當收容被收容物的FOUP90或空的FOUP90藉由保持裝置11把持時，荷重作用於彈性構件58，彈性構件58受到壓縮。當彈性構件58受到壓縮時產生排斥力，底座部10A受到彈推。在行走用驅動部3行走時或昇降裝置10昇降時經由保持裝置11傳遞於FOUP90的振動，藉由設置於第一支撐部50的彈性構件58來減少。
接著，將第二支撐部40的動作的一例進行說明。當收容被收容物的FOUP90或空的FOUP90藉由保持裝置11把持時，荷重作用於彈性構件48，彈性構件48受到壓縮。當彈性構件48受到壓縮時產生排斥力，底座部10A受到彈推。在行走用驅動部3行走時或昇降裝置10昇降時經由保持裝置11傳遞於FOUP90的振動，藉由設置於第二支撐部40的彈性構件48來減少。
接著，說明將在左右方向排列之第二支撐部40和第一支撐部50連結的連桿機構70之動作的一例。例如，藉由行走時的離心力，力作用於左側的第二支撐部40的彈性構件48、48。當力作用於第二支撐部40的彈性構件48、48時，彈性構件48、48縮短，第四本體構件46往上方(箭頭D1)移動。換言之，第四本體構件46和底座部10A的距離變近。此外，本動作之往上方的移動，是表示靠近底座部10A之相對性移動，往下方的移動，是表示從底座部10A遠離之相對性移動。當第四本體構件46移動至上方時，經由第一軸襯81固定於第四本體構件46的第一軸71的第一軸襯81側的端部移動至上方(箭頭D2)，第一軸71連結於第三軸73側的端部移動至下方(箭頭D3)。
當第一軸71的第三軸73側的端部移動至下方時，第三軸73也移動至下方(箭頭D4)。當第三軸73移動至下方時，連結於第三軸73並且經由第二軸襯82固定於第二本體構件56的第二軸72之第三軸73側的端部移動至下方(箭頭D5)，第二軸襯82側的端部移動至上方(箭頭D6)。藉此，第二本體構件56推昇至上方(箭頭D7)。當第二本體構件56被推昇時，第一支撐部50的彈性構件58、58縮短，第一本體構件54和底座部10A的距離變短。
另一方面，當彈性構件48、48被拉伸，且彈性構件48、48伸展時，第四本體構件46移動至下方(與箭頭D1相反方向)。換言之，第四本體構件46和底座部10A的距離變寬。當第四本體構件46移動至下方時，經由第一軸襯81固定於第四本體構件46的第一軸71之第一軸襯81側的端部移動至下方(與箭頭D2相反方向)，第一軸71連結於第三軸73側的端部移動至上方(與箭頭D3相反方向)。
當第一軸71的第三軸73側的端部移動至上方時，第三軸73也移動至上方(與箭頭D4相反方向)。當第三軸73移動至上方時，連結於第三軸73並且經由第二軸襯82固定於第二本體構件56的第二軸72之第三軸73側的端部移動至上方(與箭頭D5相反方向)，第二軸襯82側的端部移動至下方(與箭頭D6相反方向)。藉此，第二本體構件56往下壓至下方(與箭頭D7相反側)。當第二本體構件56往下壓時，第一支撐部50的彈性構件58、58伸展，第一本體構件54和底座部10A的距離變長。
如此般，將在左右方向排列的第二支撐部40和第一支撐部50連結的連桿機構70，只要第二支撐部40的彈性構件48、48及第一支撐部50的彈性構件58、58縮短或伸長的話，第三軸73以固著於底座部10A的底面的第一方塊83及第二方塊84為支點進行追隨而旋轉運動，並將第二支撐部40的彈性構件48、48及第一支撐部50的彈性構件58、58縮短，或伸展。換言之，連桿機構70，在彼此連結的第二支撐部40及第一支撐部50之和底座部10A及第四本體構件46的距離，與底座部10A和第一本體構件54的距離之間產生差時，以將彼此連結的第二支撐部40及第一支撐部50之和底座部10A及第四本體構件46的距離，與底座部10A和第一本體構件54的距離彼此靠近的方式進行動作。
連桿機構70，具有在底座部10A和第四本體構件46的距離、以及底座部10A和第一本體構件54的距離之間產生差時發生應力(扭轉應力)的第三軸73。相對於在第三軸73發生的應力的反動力，作為將底座部10A和第四本體構件46的距離、以及底座部10A和第一本體構件54的距離彼此靠近的力進行作用。
針對上述實施方式的高架搬運車1的作用效果進行說明。在上述實施方式的高架搬運車1中，設置以將鉛直方向之第一支撐部50和底座部10A之間的距離、及鉛直方向之第二支撐部40和底座部10A之間的距離彼此靠近之方式動作的連桿機構70。藉此，可以抑制在昇降裝置10(底座部10A)產生滾動運動。因此，可以減少底座部10A之左右方向的傾斜，且可以抑制FOUP90的晃動。
另外，由於在第一支撐部50及第二支撐部40，設置可相對於第一支撐部50及第二支撐部40在底座部10A的鉛直方向移動的彈性構件48、58，因而可以減少經由昇降裝置10傳遞於FOUP90的鉛直方向的振動。而且，連桿機構70，可相對於第一支撐部50在底座部10A的水平方向移動並且藉由彈性構件76、76始終作用欲返回至固定(中立)位置的力，另外，由於可相對於第二支撐部40在底座部10A的水平方向移動並且藉由彈性構件75、75始終作用欲返回至固定位置的力，因而可以減少經由昇降裝置10傳遞於FOUP90的水平方向的振動，更詳細而言即前後方向的振動。這些結果，達成傳遞於FOUP90的振動更加減少的同時，可以抑制FOUP90的晃動。
在上述實施方式的高架搬運車1中，彈性構件48、58、75、76，由於藉由彈簧構件形成，因而可以靠簡易的構成有效率地減少振動。
以上，雖針對一個實施方式進行說明，但本發明的一方面並非被限定於上述實施方式，在未偏離發明主旨之範圍可進行種種的變更。
在上述實施方式的高架搬運車1中，雖舉可相對於底座部10A在第一支撐部50的行走方向上相對移動並且藉由彈性構件76、76始終作用欲將第一支撐部50返回至固定位置的力，而且，可相對於底座部10A在第二支撐部40的行走方向上相對移動並且藉由彈性構件75、75始終作用欲將第二支撐部40返回至固定位置之力的例來說明，但也可以除了該構成外，更具備可相對於底座部10A在第一支撐部50及第二支撐部40的左右方向相對移動，並且藉由彈性構件77始終作用欲將第一支撐部50及第二支撐部40返回至固定位置之力的構成。
具體來說，如圖8所示般，在各第三軸(第四緩衝部)73，於第一本體部72A和第二方塊84之間配置彈性構件77，並於第一本體部71A和第一方塊83之間配置彈性構件77。如此般構成的第三軸73，第一支撐部50及第二支撐部40可從相對於底座部10A的固定位置朝左右方向(寬度方向)相對地移動。另外，在左右方向配置於第三軸73的兩端的彈性構件77、77，具有將從相對於底座部10A的固定位置朝左右方向(寬度方向)移動的第一支撐部50及第二支撐部40復位至上述固定位置的功能。
例如，在第一支撐部50或第二支撐部40從相對於底座部10A的固定位置朝左右方向的右側相對地移動的情況下，配置於左右方向的右側的彈性構件77受到壓縮。第一支撐部50或第二支撐部40，藉由此時的彈性構件77的排斥力而返回至相對於底座部10A的固定位置。另外，例如，在第一支撐部50或第二支撐部40從相對於底座部10A的固定位置朝左右方向的左側相對地移動的情況下，配置於左右方向的左側的彈性構件77受到壓縮。第一支撐部50或第二支撐部40，藉由此時的彈性構件77的排斥力而返回至相對於底座部10A的固定位置。在此變形例所涉及之構成的高架搬運車1中，可以減少經由昇降裝置10傳遞於FOUP90的前後方向及左右方向雙方的振動。
另外，也可以形成具備上述的變形例的構成(彈性構件77)的構成，以取代具備可相對於上述實施方式的高架搬運車1的底座部10A在第一支撐部50的行走方向上相對移動的構成(第二軸72及彈性構件76、76)以及可在第二支撐部40的行走方向上相對移動的構成(第一軸71及彈性構件75、75)的構成。在此變形例所涉及之構成的高架搬運車1中，可以減少經由昇降裝置10傳遞於FOUP90之左右方向的振動。
在上述實施方式及變形例中，雖作為彈性構件48、58、75、76、77的例子而列舉以線圈彈簧為例進行說明，但也可以配置由例如矽氧樹脂等形成之凝膠狀的彈性體。即使是此情況下，仍可以與線圈彈簧同樣地吸收振動及衝撃。
在上述實施方式及變形例中，雖列舉第一支撐部50在左右方向設置於昇降裝置10的右側，第二支撐部40在左右方向設置於昇降裝置10左側的例子來說明但不限於此。例如，也可以是在左右方向將第一支撐部50和第二支撐部40的位置予以交換之構成的高架搬運車1。另外，例如，將第一支撐部50或第二支撐部40配置於左右方向的兩側等，將皮帶9和底座部10A連接之支撐部的構成，也可以是彼此相同。
1:高架搬運車 2:行走用軌道(軌道) 9:皮帶(懸吊構件) 10:昇降裝置(昇降部) 10A:底座部 11:保持裝置(把持部) 40:第二支撐部 48:彈性構件(第二緩衝部) 50:第一支撐部 58:彈性構件(第一緩衝部) 70:連桿機構 71:第一軸(第三緩衝部) 72:第二軸(第三緩衝部) 73:第三軸(第四緩衝部) 75:彈性構件(第三緩衝部) 76:彈性構件(第三緩衝部) 77:彈性構件(第四緩衝部) 90:FOUP(物品)
[圖1]是表示一個實施方式所涉及的高架搬運車的前視圖。 [圖2]是從前方觀看昇降裝置的側視圖。 [圖3]是從斜上方觀看昇降裝置的立體圖。 [圖4]是從斜上方觀看去除底座部的狀態之昇降裝置的立體圖。 [圖5(A)]及[圖5(B)]是擴大展示第二支撐部及連桿機構的一部分的立體圖。 [圖6(A)]及[圖6(B)]是擴大展示第一支撐部及連桿機構的一部分的立體圖。 [圖7]是擴大展示第二支撐部及連桿機構的一部分的立體圖。 [圖8]是從斜上方觀看去除底座部之狀態的變形例所涉及之昇降裝置的立體圖。
9:皮帶(懸吊構件)
40:第二支撐部
41:連接構件
42:銷構件
43:擺動構件
44:銷構件
45:第三本體構件
46:第四本體構件
46C:第一側面部
46D:第二側面部
47:限制構件
48:彈性構件(第二緩衝部)
50:第一支撐部
51:連接構件
52:銷構件
53:擺動構件
54:第一本體構件
56:第二本體構件
56A:本體部
56B:連接部
56C:第一側面部
56D:第二側面部
58:彈性構件(第一緩衝部)
70:連桿機構
71:第一軸(第三緩衝部)
71A:第一本體部
71B:第二本體部
71C:軸部
72:第二軸(第三緩衝部)
72A:第一本體部
72B:第二本體部
72C:軸部
73:第三軸(第四緩衝部)
75:彈性構件(第三緩衝部)
76:彈性構件(第三緩衝部)
81:第一軸襯
81A:插入孔
82:第二軸襯
82A:插入孔
83:第一方塊
83A:插入孔
84:第二方塊
84A:插入孔

Claims (4)

  1. 一種高架搬運車，具備：本體部，可沿軌道行走；以及昇降部，具有把持物品的把持部並且藉由懸吊構件而相對於前述本體部昇降， 前述昇降部，具備： 底座部，設有前述把持部； 第一支撐部，具有從鉛直方向下方可朝鉛直方向移動地支撐前述底座部的第一緩衝部，在從鉛直方向觀看的俯視視角中，在正交於前述本體部的行走方向之寬度方向的其中一側連接於前述懸吊構件； 第二支撐部，具有從鉛直方向下方可朝鉛直方向移動地支撐前述底座部的第二緩衝部，在前述本體部的前述寬度方向的另一側連接於前述懸吊構件；以及 連桿機構，將前述第一支撐部和前述第二支撐部連結，並且以將鉛直方向之前述第一支撐部和前述底座部之間的第一距離、及鉛直方向之前述第二支撐部和前述底座部之間的第二距離彼此靠近的方式動作， 前述連桿機構，至少具有以下的其中一個：第三緩衝部，可相對於前述第一支撐部及前述第二支撐部，使前述底座部在前述行走方向上相對移動；以及第四緩衝部，可相對於前述第一支撐部和前述第二支撐部，使前述底座部在前述寬度方向上相對移動。
  2. 如請求項1的高架搬運車，其中， 前述連桿機構，具有前述第三緩衝部。
  3. 如請求項1或2的高架搬運車，其中， 前述連桿機構，具有前述第三緩衝部及前述第四緩衝部的雙方。
  4. 如請求項1、2、或3的高架搬運車，其中， 前述第三緩衝部或前述第四緩衝部，形成為包含彈性構件。
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