KR20230071302A - 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치 - Google Patents

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Abstract

개시되는 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치가 금속 포일 공급 부재와, 필름 정위치 부재와, 자외선 조사 부재와, 융기 지그 부재를 포함함에 따라, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급되는 금속 포일에 대해 대기압인 상압 분위기에서 포토 마스크 필름을 이용하여 노광 공정이 수행되어 2차 전지용 소재에 요구되는 패턴을 형성시켜줄 수 있게 되는 장점이 있다.

Description

2차 전지용 소재의 상압 노광 장치{Normal pressure exposure apparatus of material for secondary battery}
본 발명은 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치에 관한 것이다.
2차 전지는 전기 자동차, 이에스에스(ESS) 등에 적용되는 것이고, 2차 전지용 소재는 2차 전지를 구성하는 소재로, 2차 전지의 전극의 집전체 기재로 사용되는 금속 포일을 포함하는 것으로, 알루미늄 포일, 구리 포일 등이 그 예로 제시될 수 있다.
상기 금속 포일에 전극 활물질을 적용하기 위한 홀 등의 요구되는 패턴을 형성해 주어야 한다.
상기 금속 포일 상에 레지스트 막을 형성시킨 다음 포토 마스크를 상기 레지스트 막의 상공에 정렬시킨 상태에서 노광 공정이 수행됨으로써, 상기 금속 포일 상에 상기 요구되는 패턴이 형성될 수 있다.
그러나, 종래에는, 상기 포토 마스크를 이용하여 2차 전지용 소재에 상기 요구되는 패턴을 형성시켜주기 위하여는, 노광 시에 진공 분위기를 형성시켜주어야 하는 불편함이 있었다.
등록특허 제 10-1436762호, 등록일자: 2014.08.26., 발명의 명칭: 부극 재료, 금속 2차 전지 및 부극 재료의 제조 방법 등록특허 제 10-1259692호, 등록일자: 2013.04.24., 발명의 명칭: 리튬 이온 2차 전지용 음극체, 리튬 이온 2차 전지 및 그 제조 방법
본 발명은 대기압인 상압 분위기에서 포토 마스크를 이용하여 노광 공정이 수행되어 2차 전지용 소재에 요구되는 패턴을 형성시켜줄 수 있도록 하는 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치를 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치는 2차 전지용 소재인 금속 포일을 공급해주는 금속 포일 공급 부재; 상기 금속 포일 공급 부재로부터 소정 거리 이격된 위치에 배치되고, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급된 상기 금속 포일에 요구되는 패턴을 형성시키기 위한 포토 마스크 필름을 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급된 상기 금속 포일의 상공 상에 위치시켜 주는 필름 정위치 부재; 상기 금속 포일에 상기 요구되는 패턴이 노광될 수 있도록, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급된 상기 금속 포일의 상공 상에 상기 필름 정위치 부재에 의해 위치된 상기 포토 마스크 필름의 상공에서 자외선을 조사해주는 자외선 조사 부재; 및 상압(normal pressure)에서 상기 금속 포일에 상기 요구되는 패턴이 노광될 수 있도록, 상기 금속 포일 중 상기 포토 마스크 필름에 의해 노광되어져야 하는 부분을 소정 높이로 융기시켜 주는 융기 지그 부재;를 포함한다.
본 발명의 일 측면에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치에 의하면, 상기 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치가 금속 포일 공급 부재와, 필름 정위치 부재와, 자외선 조사 부재와, 융기 지그 부재를 포함함에 따라, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급되는 금속 포일에 대해 대기압인 상압 분위기에서 포토 마스크 필름을 이용하여 노광 공정이 수행되어 2차 전지용 소재에 요구되는 패턴을 형성시켜줄 수 있게 되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치를 개략적으로 보이는 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치의 일부를 확대한 도면.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치의 일부를 확대한 단면도.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치를 개략적으로 보이는 도면이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치의 일부를 확대한 도면이다.
도 1 및 도 2를 함께 참조하면, 본 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치(100)는 금속 포일 공급 부재(110)와, 필름 정위치 부재(120)와, 자외선 조사 부재(130)와, 융기 지그 부재(150)를 포함한다.
상기 금속 포일 공급 부재(110)는 2차 전지용 소재인 금속 포일(10)을 공급해주는 것으로, 예를 들어 상기 금속 포일(10)이 복수 번 감긴 롤러 형태로 제시될 수 있다.
상기 필름 정위치 부재(120)는 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 소정 거리 이격된 위치에 배치되고, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급된 상기 금속 포일(10)에 요구되는 패턴을 형성시키기 위한 포토 마스크 필름(20)을 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급된 상기 금속 포일(10)의 상공 상에 위치시켜 주는 것이다.
상기 필름 정위치 부재(120)는 상기 포토 마스크 필름(20)이 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급된 상기 금속 포일(10)의 소정 위치의 상공 상에서 회전되면서 정위치되도록 하는 방식으로 제시될 수 있다.
상세히, 상기 필름 정위치 부재(120)는 상기 포토 마스크 필름(20)이 순환 루프를 형성하도록 상기 금속 포일(10)의 상공 상에 복수 개 배치되어 상기 포토 마스크 필름(20)이 순환 루프 형태로 걸리는 필름 걸림 롤러(121)와, 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 적어도 하나를 회전시켜 주는 전기 모터 등의 롤러 회전 수단(122)을 포함한다.
복수 개의 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 한 쌍이 상기 금속 포일(10)의 상공 상의 소정 높이 상에 서로 이격되도록 배치되고, 복수 개의 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 나머지가 복수 개의 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 상기 금속 포일(10)의 상공 상의 소정 높이 상에 서로 이격되도록 배치된 것에 비해 상대적으로 더 높은 상공에 배치되고, 복수 개의 상기 필름 걸림 롤러(121)에 상기 포토 마스크 필름(20)이 하나의 순환 루프를 이루도록 걸리고, 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 적어도 하나가 상기 롤러 회전 수단(122)에 의해 회전됨으로써, 상기 포토 마스크 필름(20)이 상기 필름 걸림 롤러(121)를 따라 회전되다가 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급된 상기 금속 포일(10)의 상공 상에 상기 금속 포일(10)과 평행하게 정위치될 수 있게 된다.
상기 자외선 조사 부재(130)는 상기 금속 포일(10)에 상기 요구되는 패턴이 노광될 수 있도록, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급된 상기 금속 포일(10)의 상공 상에 상기 필름 정위치 부재(120)에 의해 위치된 상기 포토 마스크 필름(20)의 상공에서 자외선을 조사해주는 것이다.
상기 자외선 조사 부재(130)는 복수 개의 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 상기 금속 포일(10)의 상공 상의 소정 높이 상에 서로 이격되도록 배치된 한 쌍의 것 사이에 배치되되, 상기 포토 마스크 필름(20)에서 복수 개의 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 상기 금속 포일(10)의 상공 상의 소정 높이 상에 서로 이격되도록 배치된 한 쌍의 것에 의해 지지된 부분의 상공에서 자외선을 조사해줌으로써, 자외선이 상기 포토 마스크 필름(20)에서 복수 개의 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 상기 금속 포일(10)의 상공 상의 소정 높이 상에 서로 이격되도록 배치된 한 쌍의 것에 의해 지지된 부분을 통해 상기 금속 포일(10)에 조사될 수 있도록 한다.
예시적으로, 상기 필름 걸림 롤러(121)가 네 개로 이루어지면, 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 두 개는 상기 금속 포일(10)의 소정 상공 상에 동일 높이로 서로 이격되도록 배치되고, 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 다른 두 개는 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 두 개에 비해 상대적으로 더 높은 높이로 서로 이격되도록 배치되어, 직사각형 형태로 배치될 수 있으며, 상기 자외선 조사 부재(130)는 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 두 개와 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 다른 두 개 사이의 높이에 배치되어, 상기 포토 마스크 필름(20)에서 상기 필름 걸림 롤러(121) 중 두 개에 의해 걸린 부분에 자외선을 조사해주게 된다.
상기 융기 지그 부재(150)는 상압(normal pressure), 즉 대기압에서 상기 금속 포일(10)에 상기 요구되는 패턴이 노광될 수 있도록, 상기 금속 포일(10) 중 상기 포토 마스크 필름(20)에 의해 노광되어져야 하는 부분을 소정 높이로 융기시켜 주는 것이다.
상기 융기 지그 부재(150)는 상기 자외선 조사 부재(130)로부터 자외선이 조사되는 하측 공간 상에 배치되고, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급되는 상기 금속 포일(10)이 상기 융기 지그 부재(150)의 상단을 넘어가도록 이동됨으로써, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급되는 상기 금속 포일(10)이 상기 융기 지그 부재(150)를 지나가면서 소정 높이로 융기되고, 상기 금속 포일(10)이 상기 융기 지그 부재(150)에 의해 융기된 부분에 상기 자외선 조사 부재(130)로부터 조사된 자외선이 도달되어 노광이 이루어지도록 한다.
상기 융기 지그 부재(150)는 상기 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치(100)의 설치면 상에 놓이는 융기 지그 베이스(151)와, 상기 융기 지그 베이스(151)로부터 상방으로 소정 높이 돌출되어 상기 금속 포일(10)이 융기되도록 하는 융기 돌출체(152)를 포함한다.
상기 융기 돌출체(152)의 상부는 소정 곡률의 매끄러운 곡면으로 형성될 수 있다.
상기와 같이 구성되면, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급되는 상기 금속 포일(10)이 상기 자외선 조사 부재(130) 및 상기 필름 정위치 부재(120)의 하측 공간에 오게 되면, 상기 금속 포일(10) 중 상기 자외선 조사 부재(130) 및 상기 필름 정위치 부재(120)의 하측 공간에 오게된 부분이 상기 융기 지그 부재(150)에 의해 살짝 융기되고, 이러한 융기된 상태에서 상기 자외선 조사 부재(130)로부터 자외선이 조사되면, 상기 자외선 조사 부재(130)로부터 조사된 자외선이 상기 포토 마스크 필름(20)을 통해 상기 금속 포일(10) 중 상기 융기 지그 부재(150)에 의해 융기된 부분에 집중 조사될 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치(100)의 작동에 대하여 설명한다.
상기 금속 포일 공급 부재(110)에 감겨 있던 상기 금속 포일(10)이 풀리면서, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급되는 상기 금속 포일(10)이 상기 자외선 조사 부재(130) 및 상기 필름 정위치 부재(120)의 하측 공간에 오게 되면, 상기 금속 포일(10) 중 상기 자외선 조사 부재(130) 및 상기 필름 정위치 부재(120)의 하측 공간에 오게된 부분이 상기 융기 지그 부재(150)에 의해 살짝 융기된다.
이러한 융기된 상태에서 상기 자외선 조사 부재(130)로부터 자외선이 조사되면, 상기 자외선 조사 부재(130)로부터 조사된 자외선이 상기 포토 마스크 필름(20)을 통해 상기 금속 포일(10) 중 상기 융기 지그 부재(150)에 의해 융기된 부분에 집중 조사될 수 있게 된다.
상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터의 상기 금속 포일(10)의 공급은 연속적으로 이루어지기 때문에, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급되는 상기 금속 포일(10)이 연속적으로 노광될 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치(100)가 상기 금속 포일 공급 부재(110)와, 상기 필름 정위치 부재(120)와, 상기 자외선 조사 부재(130)와, 상기 융기 지그 부재(150)를 포함함에 따라, 상기 금속 포일 공급 부재(110)로부터 공급되는 상기 금속 포일(10)에 대해 대기압인 상압 분위기에서 상기 포토 마스크 필름(20)을 이용하여 노광 공정이 수행되어 2차 전지용 소재에 요구되는 패턴을 형성시켜줄 수 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다른 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치에 대하여 설명한다. 이러한 설명을 수행함에 있어서, 상기된 본 발명의 일 실시예에서 이미 기재된 내용과 중복되는 설명은 그에 갈음하고, 여기서는 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치의 일부를 확대한 단면도이다.
도 3을 참조하면, 본 실시예에서는, 융기 지그 부재(250)가 융기 지그 베이스(251) 및 융기 돌출체(252)와 함께, 융기 평탄면체(253)를 더 포함한다.
상기 융기 평탄면체(253)는 금속 포일(10)의 이동 방향을 기준으로 상기 융기 돌출체(252)의 전측 부분과 후측 부분까지 상기 융기 돌출체(252)로부터 연장된 형태로 이루어지고, 평탄한 상면을 가짐으로써, 상기 금속 포일(10)이 상기 융기 돌출체(252)를 향해 안내되면서 이동된 다음 상기 융기 돌출체(252)를 지나 상기 융기 돌출체(252)로부터 안내되면서 이탈되도록 하는 것이다.
또한, 본 실시예에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치는 포일 상승 에어 분사 부재(260)와, 포일 하강 에어 흡입 부재(270)를 포함한다.
상기 포일 상승 에어 분사 부재(260)는 상기 융기 돌출체(252)에 형성되고, 상기 융기 돌출체(252)의 상부로 에어를 분사하여, 상기 금속 포일(10)이 상기 융기 돌출체(252)의 상공으로 상승됨으로써, 상기 금속 포일(10)과 상기 융기 돌출체(252) 사이에 소정의 틈을 형성시키는 것이다.
상세히, 상기 포일 상승 에어 분사 부재(260)는 외부의 에어 펌프 등의 에어 공급 수단과 연결되고 상기 융기 지그 베이스(251) 및 상기 융기 돌출체(252)를 관통하는 에어 공급관(261)과, 상기 에어 공급관(261)과 연결되고 상기 융기 돌출체(252)의 최정점에 관통 형성되어 상기 에어 공급관(261)을 통해 유동된 에어 중 일부가 상기 융기 돌출체(252)의 최정점의 상공으로 분사되도록 하는 최정점 에어 분사홀(263)과, 상기 융기 돌출체(252) 중 상기 최정점 에어 분사홀(263)과 소정 간격 이격된 위치에 관통 형성되어 상기 에어 공급관(261)을 통해 유동된 에어 중 나머지가 상기 융기 돌출체(252) 중 상기 최정점 에어 분사홀(263)과 소정 간격 이격된 위치의 상공으로 분사되도록 하는 사이드 에어 분사홀(264)과, 상기 사이드 에어 분사홀(264)과 상기 에어 공급관(261)을 연결시키는 사이드 에어 공급관(262)을 포함한다.
상기 사이드 에어 분사홀(264)은 상기 금속 포일(10)의 이동 방향을 기준으로 상기 최정점 에어 분사홀(263)의 전측 부분과 후측 부분에 각각 하나씩 형성될 수 있다.
상기 에어 공급관(261)을 통해 공급된 에어가 상기 최정점 에어 분사홀(263) 및 상기 사이드 에어 분사홀(264)을 통해 함께 분사됨으로써, 상기 융기 돌출체(252) 전체적으로 상기 금속 포일(10)과 상기 융기 돌출체(252) 사이에 소정의 틈이 형성될 수 있게 된다.
상기 포일 하강 에어 흡입 부재(270)는 상기 융기 평탄면체(253)에 형성되어, 상기 융기 평탄면체(253)의 상부로부터 에어를 흡입하여, 상기 포일 상승 에어 분사 부재(260)에 의해 상기 융기 돌출체(252)의 상공으로 상승된 상기 금속 포일(10) 중 상기 융기 평탄면체(253)에 대응되는 부분이 상기 융기 평탄면체(253)의 상면 쪽으로 하강되도록 하는 것이다.
상세히, 상기 포일 하강 에어 흡입 부재(270)는 외부의 부압 펌프 등의 부압 형성 수단과 연결되고 상기 융기 지그 베이스(251) 및 상기 융기 평탄면체(253)를 관통하는 부압 형성관(271)과, 상기 부압 형성관(271)과 연결되고 상기 융기 평탄면체(253) 중 상기 금속 포일(10)의 이동 방향을 기준으로 상기 최정점 에어 분사홀(263)의 전측 부분과 후측 부분으로 수평으로 길게 형성되는 부압 수평관(272)과, 상기 부압 수평관(272)의 각 말단부에서 각각 복수 개 연장되어 상기 융기 평탄면체(253) 중 상기 금속 포일(10)의 이동 방향을 기준으로 상기 최정점 에어 분사홀(263)의 전측 부분과 후측 부분의 상면에 각각 관통 형성되는 부압 노즐(273)을 포함한다.
상기 부압 형성관(271)을 통해 전달된 부압(negative pressure)이 상기 부압 수평관(272) 및 상기 각 부압 노즐(273)을 통해 전달되어, 상기 각 부압 노즐(273)에서 상기 금속 포일(10)의 저면을 흡입하게 됨으로써, 상기 포일 상승 에어 분사 부재(260)에 의해 상기 융기 돌출체(252)의 상공으로 상승된 상기 금속 포일(10) 중 상기 융기 평탄면체(253)에 대응되는 부분이 상기 융기 평탄면체(253)의 상면 쪽으로 하강될 수 있게 된다.
상기와 같이, 상기 포일 상승 에어 분사 부재(260)에 의해 상기 금속 포일(10)이 상기 융기 돌출체(252)에서 상승되고, 상기 포일 하강 에어 흡입 부재(270)에 의해 상기 금속 포일(10)이 상기 융기 평탄면체(253)의 상면 쪽으로 하강되는 형태가 됨으로써, 상기 금속 포일(10)에 대한 안정적인 노광이 가능해질 수 있게 된다.
상기에서 본 발명은 특정한 실시예에 관하여 도시되고 설명되었지만, 당업계에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 알 수 있을 것이다. 그렇지만 이러한 수정 및 변형 구조들은 모두 본 발명의 권리범위 내에 포함되는 것임을 분명하게 밝혀두고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치에 의하면, 대기압인 상압 분위기에서 포토 마스크를 이용하여 노광 공정이 수행되어 2차 전지용 소재에 요구되는 패턴을 형성시켜줄 수 있도록 할 수 있으므로, 그 산업상 이용가능성이 높다고 하겠다.
100 : 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치
110 : 금속 포일 공급 부재
120 : 필름 정위치 부재
130 : 자외선 조사 부재
150 : 융기 지그 부재

Claims (3)

  1. 2차 전지용 소재인 금속 포일을 공급해주는 금속 포일 공급 부재;
    상기 금속 포일 공급 부재로부터 소정 거리 이격된 위치에 배치되고, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급된 상기 금속 포일에 요구되는 패턴을 형성시키기 위한 포토 마스크 필름을 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급된 상기 금속 포일의 상공 상에 위치시켜 주는 필름 정위치 부재;
    상기 금속 포일에 상기 요구되는 패턴이 노광될 수 있도록, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급된 상기 금속 포일의 상공 상에 상기 필름 정위치 부재에 의해 위치된 상기 포토 마스크 필름의 상공에서 자외선을 조사해주는 자외선 조사 부재; 및
    상압(normal pressure)에서 상기 금속 포일에 상기 요구되는 패턴이 노광될 수 있도록, 상기 금속 포일 중 상기 포토 마스크 필름에 의해 노광되어져야 하는 부분을 소정 높이로 융기시켜 주는 융기 지그 부재;를 포함하는 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 융기 지그 부재는 상기 자외선 조사 부재로부터 자외선이 조사되는 하측 공간 상에 배치되고, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급되는 상기 금속 포일이 상기 융기 지그 부재의 상단을 넘어가도록 이동됨으로써, 상기 금속 포일 공급 부재로부터 공급되는 상기 금속 포일이 상기 융기 지그 부재를 지나가면서 소정 높이로 융기되고, 상기 금속 포일이 상기 융기 지그 부재에 의해 융기된 부분에 상기 자외선 조사 부재로부터 조사된 자외선이 도달되어 노광이 이루어지는 것을 특징으로 하는 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 융기 지그 부재는
    융기 지그 베이스와,
    상기 융기 지그 베이스로부터 상방으로 소정 높이 돌출되어 상기 금속 포일이 융기되도록 하는 융기 돌출체와,
    상기 금속 포일의 이동 방향을 기준으로 상기 융기 돌출체의 전측 부분과 후측 부분까지 상기 융기 돌출체로부터 연장된 형태로 이루어지고, 평탄한 상면을 가짐으로써, 상기 금속 포일이 상기 융기 돌출체를 향해 안내되면서 이동되고 상기 융기 돌출체로부터 안내되면서 이탈되도록 하는 융기 평탄면체를 포함하고,
    상기 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치는
    상기 융기 돌출체에 형성되고, 상기 융기 돌출체의 상부로 에어를 분사하여, 상기 금속 포일이 상기 융기 돌출체의 상공으로 상승됨으로써, 상기 금속 포일과 상기 융기 돌출체 사이에 소정의 틈을 형성시키는 포일 상승 에어 분사 부재; 및
    상기 융기 평탄면체에 형성되어, 상기 융기 평탄면체의 상부로부터 에어를 흡입하여, 상기 포일 상승 에어 분사 부재에 의해 상기 융기 돌출체의 상공으로 상승된 상기 금속 포일 중 상기 융기 평탄면체에 대응되는 부분이 상기 융기 평탄면체의 상면 쪽으로 하강되도록 하는 포일 하강 에어 흡입 부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 2차 전지용 소재의 상압 노광 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101259692B1 (ko) 2008-04-07 2013-05-02 가부시키가이샤 니혼효멘쇼리겐큐쇼 리튬 이온 2차 전지용 음극체, 리튬 이온 2차 전지 및 그 제조 방법
KR101436762B1 (ko) 2010-07-15 2014-09-01 도요타 지도샤（주） 부극 재료, 금속 2차 전지 및 부극 재료의 제조 방법

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101259692B1 (ko) 2008-04-07 2013-05-02 가부시키가이샤 니혼효멘쇼리겐큐쇼 리튬 이온 2차 전지용 음극체, 리튬 이온 2차 전지 및 그 제조 방법
KR101436762B1 (ko) 2010-07-15 2014-09-01 도요타 지도샤（주） 부극 재료, 금속 2차 전지 및 부극 재료의 제조 방법

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