KR20230070444A - 합금 분말의 생산 방법 및 그 방법에 의해 제조된 합금 분말, 페이스트 및 커패시터 - Google Patents

합금 분말의 생산 방법 및 그 방법에 의해 제조된 합금 분말, 페이스트 및 커패시터 Download PDF

Info

Publication number
KR20230070444A
KR20230070444A KR1020237003998A KR20237003998A KR20230070444A KR 20230070444 A KR20230070444 A KR 20230070444A KR 1020237003998 A KR1020237003998 A KR 1020237003998A KR 20237003998 A KR20237003998 A KR 20237003998A KR 20230070444 A KR20230070444 A KR 20230070444A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
alloy powder
particles
metal
oxygen
particle
Prior art date
Application number
KR1020237003998A
Other languages
English (en)
Inventor
덩용 자오
지아빈 펑
룽청 리
강치앙 천
웨이 시
Original Assignee
지앙수 보첸 뉴 머티리얼즈 스톡 씨오., 엘티디.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 지앙수 보첸 뉴 머티리얼즈 스톡 씨오., 엘티디. filed Critical 지앙수 보첸 뉴 머티리얼즈 스톡 씨오., 엘티디.
Publication of KR20230070444A publication Critical patent/KR20230070444A/ko

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/06Metallic powder characterised by the shape of the particles
    • B22F1/065Spherical particles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
    • B22F1/09Mixtures of metallic powders
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/004Details
    • H01G9/04Electrodes or formation of dielectric layers thereon
    • H01G9/042Electrodes or formation of dielectric layers thereon characterised by the material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F9/00Making metallic powder or suspensions thereof
    • B22F9/02Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
    • B22F9/06Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material
    • B22F9/08Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying
    • B22F9/082Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from liquid material by casting, e.g. through sieves or in water, by atomising or spraying atomising using a fluid
    • B22F2009/0832Handling of atomising fluid, e.g. heating, cooling, cleaning, recirculating
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25Process efficiency

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)

Abstract

본 발명은 합금 분말의 생산 방법 및 그 방법으로 제조된 합금 분말, 페이스트 및 커패시터를 개시하며, 본 방법은 형상이 더욱 구형에 가까운 입자를 얻을 수 있고, 응고된 입자는 ??칭 후에 비교적 치밀한 표면층을 형성하고, 화학적 패시베이션 반응이 일어난 표면층은 물리적 충격에 의해 압축되어 치밀한 보호층을 형성한다. 고안정성 합금 분말 입자는 더욱 안정적인 화학적 특성과 양호한 분산성을 가진다.

Description

합금 분말의 생산 방법 및 그 방법에 의해 제조된 합금 분말, 페이스트 및 커패시터
본 발명은 전자 응용에 적합한 금속 합금 분말을 생산하는 방법, 더욱 구체적으로는 전도성 페이스트에서 전도성 분말로 사용되는 안정성이 높은 합금 분말을 생산하는 방법에 관한 것이고, 또한 그 방법에 의해 생산된 합금 분말, 그 합금 분말에 의해 생산된 전도성 페이스트, 그 전도성 페이스트에 의해 생산된 다층 세라믹 커패시터에 관한 것이다.
다층 세라믹 커패시터의 전극 제조 공정에 사용되는 전도성 페이스트의 주성분인 합금 분말은 전도성에 영향을 미치지 않도록 불필요한 불순물이 가능한 한 소량일 것이 요구된다. 그러나 다층 세라믹 커패시터에는 적층되는 층이 점점 더 많아지고 있으며, 이는 전도성 분말이 양호한 전도성을 가질 뿐만 아니라 세라믹 절연층 및 유리 분말과의 동시 소성 과정에서 양호한 접착력을 가질 것을 요구하고, 층 사이의 부풀음과 균열을 방지하거나 층 사이의 열팽창성 차이로 인한 세라믹체의 구부러짐과 파손을 방지하도록 전도성 분말이 유사한 열팽창성을 가질 것을 요구한다.
따라서, 전도성 분말은 비교적 높은 소결 개시 온도를 가지며, 산화 세라믹 분말 또는 유리 분말과의 양호한 동시 소성 특성을 가질 것이 요구된다. 또한, 국제 분업 환경 하에, 분말에서 다층 세라믹 커패시터를 만드는 데 걸리는 시간이 비교적 길어(30일 이상인 경우도 있음), 금속 분말은 비교적 높은 안정성을 가질 것도 요구된다. 분말의 안정성을 유지하기 위해, 분말을 진공 또는 불활성 분위기에서 포장하거나, 분말 표면를 코팅할 수 있다. 금속 분말과 세라믹 분말의 동시 소성 특성을 개선하기 위해 산소 부화(enrichment) 또는 황 부화 공정을 이용하여 분말을 처리할 수 있으나, 마이크로 재료, 특히 나노 재료는 비표면적이 매우 크고 화학적 활성이 매우 강하여, 산소 부화 또는 황 부화 공정 도중에 분말 입자의 내부에서 화학 반응이 일어나기 쉽고, 분말 표면의 화학적 패시베이션층 또는 코팅층에도 고르지 않고 불안정한 문제가 발생하기 쉽다. 또한, 분말 입자 표면의 화학적 패시베이션층이 효과적으로 제어되지 않으면, 입자 내부까지 반응이 계속 일어나 금속 분말의 안정성에도 영향을 미친다.
배경 기술의 문제점에 대하여, 본 발명은 열복사 응고 공정, ??칭 냉각 공정, 표면의 화학적 패시베이션 공정 및 표면의 물리적 패시베이션 공정의 조합을 통해 고안정성 합금 분말을 생산하는 고안정성 합금 분말의 생산 방법을 제공한다.
상기 목적을 실현하기 위해, 본 발명은 이하의 기술 방안에 의해 실현된다.
구체적으로 하기 단계를 포함하는 고안정성 합금 분말의 생산 방법:
1. 용융된 금속 액적을 금속의 융점보다 높은 온도의 캐리어 가스에 의해 운반하여, 금속 액적을 열복사 영역으로 보내고, 응고될 때까지 냉각하여 입자를 얻는 단계로서, 금속 액적 중의 금속 함량은 99.9wt%를 초과하는, 단계;
2. 응고된 고온의 고체 입자를 상온의 유체와 혼합하고 신속히 ??칭하는 단계로서, ??칭 전의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 500℃보다 높고, ??칭 후의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 300℃보다 낮아, 치밀하고 안정적인 합금 분말 입자 구조가 얻어지는, 단계,
3. 금속 액적 형성 과정 도중에 또는 응고 후 또는 ??칭 후에, 금속 액적 또는 입자의 표면을 산소족 원소와 접촉시켜, 산소족 원소와의 반응에 의해 입자 표면에 화학적 패시베이션층이 형성되어 산소족 원소를 함유하는 니켈 화합물을 생성하는 단계로서, 산소족 원소의 양을 제어하여 산소족 원소의 질량이 합금 분말의 질량의 0.10 내지 15.00wt%가 되도록 하는, 단계,
4. 산소족 원소를 함유하는 화학적 패시베이션층을 갖는 합금 분말을 상온에서 단단한 내벽을 갖는 하우징이 있는 용기의 유체에 분산시키고, 유체가 압력에 의해 합금 분말을 운반하고 용기 내에서 회전하게 하는 단계로서, 회전하는 입자가 서로 충돌하거나 회전하는 입자가 용기의 하우징의 단단한 내벽과 충돌하여 입자 표면의 화학적 패시베이션층이 더 치밀해지게 하는, 단계.
또한, 상기 금속 액적 중의 금속 원료는 니켈 또는 구리 중 적어도 하나이다.
또한, 상기 캐리어 가스는 질소 또는 아르곤 중 적어도 하나이다.
또한, 상기 단계 2의 유체는 불활성 기체 또는 액체 중 적어도 하나이다.
또한, 상기 산소족 원소는 산소 또는 황 중 적어도 하나이다.
또한, 상기 합금 분말의 평균 입경은 20 내지 1000nm이고, 단일 입자는 모양이 구형이고, 입자 중의 금속 함량은 84.00 내지 99.80wt%이며 비금속 및 비산소족 원소의 함량은0.01 내지 1.00wt%이고, 산소족 원소의 함량은 0.10 내지 15.00wt%이고, 90wt% 함량이 넘는 산소족 원소가 5nm 두께의 입자의 외부 표면층 내에 집중되어 있다.
본 발명은 상기 고안정성 합금 분말을 사용한 전도성 페이스트를 추가로 제공한다.
본 발명은 상기 전도성 페이스트로 제조된 전극을 사용한 다층 세라믹 커패시터를 추가로 제공한다.
종래 기술과 비교하여, 본 발명의 유익한 효과는 다음과 같다.
본 방법으로 제조된 고안정성 합금 분말, 입자는 열복사 냉각 응고 과정을 거쳤고, 열복사 냉각 방식은 안정적인 온도장을 가지므로 모양이 구형에 가까운 입자를 얻는 데 유리하고; 응고된 입자가 고온 상태에서 냉각 유체에 의해 ??칭되어, 입자의 표면이 빠르게 수축하여 비교적 치밀한 표면층을 형성하며; 화학적 패시베이션 반응이 입자의 표면층에서 일어나고, 화학적 패시베이션 반응이 일어난 표면층이 물리적 충격에 의해 압축되어, 표면층에서 산화층 또는 황화층이 푹신한 형태에서 치밀한 보호층으로 변하게 된다. 열복사 응고, 유체 ??칭, 화학적 패시베이션 및 물리적 충격 패시베이션를 거친 후 형성된 고안정성 합금 분말 입자는 더 안정적인 화학적 특성과 양호한 분산성을 가지며, 합금 분말 입자로 제조된 전도성 페이스트로 제작된 다층 세라믹 커패시터는 수율이 높다.
본 발명은 실시예와 함께 추가로 설명됨으로써 명확하고 완전하게 기술되지만, 설명된 실시예는 본 발명의 실시예의 전부가 아닌 일부에 불과함이 명백하다. 본 발명의 실시예에 기초하여, 당업자가 창의적인 노력없이 얻은 다른 모든 실시예는 본 발명의 보호범위에 속한다.
실시예 1
용융된 액적 미립자(니켈 함량이 99.9wt%를 초과함)를 니켈의 융점인 1453℃보다 높은 온도의 캐리어 가스(질소)에 의해 운반하여 열복사 영역으로 보내고, 응고될 때까지 냉각하여 입자를 얻고;
응고된 고온의 고체 입자를 상온의 유체와 혼합하고 신속히 ??칭하며, ??칭 전의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 800℃보다 높고, ??칭 후의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 200℃보다 낮아, 치밀하고 안정적인 니켈 합금 분말 입자가 얻어지고, 입자의 평균 입경은 275nm이고;
금속 액적 입자의 ??칭 후, 입자의 표면을 산소와 접촉시켜, 활성이 비교적 강한 초미세 입자의 표면에 산소를 함유하는 니켈 화합물을 형성하며, 입자 중의 산소 함량은 0.70wt%이고;
세라믹 사이클론의 내부 캐비티에서, 고압(0.6MPa) 기체를 도입하여 사이클론을 형성하고, 화학적 패시베이션층을 갖는 니켈 합금 분말을 기체 흐름에 분산시키고 고속으로 회전시켜, 회전하는 니켈 합금 분말 입자가 서로 충돌하거나 회전하는 니켈 합금 분말 입자가 용기 하우징의 세라믹 내벽과 충돌해 압축되어, 입자 표면의 화학적 패시베이션층이 더 치밀해지게 하였다.
실시예 2
용융된 액적 미립자(니켈 함량이 99.9wt%를 초과함)를 니켈의 융점인 1453℃보다 높은 온도의 캐리어 가스(질소)에 의해 운반하여 열복사 영역으로 보내고, 응고될 때까지 냉각하여 입자를 얻고;
응고된 고온의 고체 입자를 상온의 유체와 혼합하고 신속히 ??칭하며, ??칭 전의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 750℃보다 높고, ??칭 후의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 250℃보다 낮아, 치밀하고 안정적인 니켈 합금 분말 입자가 얻어지고, 입자의 평균 입경은 72nm이고;
금속 액적 입자의 ??칭 후, 입자 표면을 산소와 접촉시켜, 활성이 비교적 강한 초미세 입자의 표면에 산소를 함유하는 니켈 화합물을 형성하며, 입자 중의 산소 함량은 4.50wt%이고;
스테인레스 스틸 사이클론의 내부 캐비티에서, 음압 팬(fan)에 의해 상압의 기체 흐름을 흡입하여 음압(-0.03MPa)의 사이클론을 형성하고, 화학적 패시베이션층을 갖는 니켈 합금 분말을 기체 흐름에 분산시키고 고속으로 회전시켜, 회전하는 니켈 합금 분말 입자가 서로 충돌하거나 회전하는 니켈 합금 분말 입자가 용기 하우징의 내벽과 충돌해 압축되어, 입자 표면의 화학적 패시베이션층이 더 치밀해지게 하였다.
실시예 3
용융된 액적 미립자(니켈 함량이 99.9wt%를 초과함)를 니켈의 융점인 1453℃보다 높은 온도의 캐리어 가스(질소)에 의해 운반하여 열복사 영역으로 보내고, 응고될 때까지 냉각하여 입자를 얻고;
응고된 고온의 고체 입자를 상온의 유체와 혼합하고 신속히 ??칭하며, ??칭 전의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 750℃보다 높고, ??칭 후의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 200℃보다 낮아, 치밀하고 안정적인 니켈 합금 분말 입자가 얻어지고, 입자의 평균 입경은 150nm이고;
용융된 액적이 응고되기 전에 황을 첨가하고, 금속 액적 입자의 ??칭 후 입자 표면을 산소와 접촉시켜, 활성이 비교적 강한 초미세 입자의 표면에 황과 산소를 함유하는 니켈 화합물을 형성하며, 입자 중의 산소 함량은 1.30wt%이고, 황 함량은 0.11wt%이고;
세라믹 소용돌이 튜브(swirl tube)의 내부 캐비티에서, 고압(0.8MPa) 액체를 도입하여 액체 소용돌이를 형성하고, 화학적 패시베이션층을 갖는 니켈 합금 분말을 액체 흐름에 분산시키고 고속으로 회전시켜, 회전하는 니켈 합금 분말 입자가 서로 충돌하거나 회전하는 니켈 합금 분말 입자가 용기 하우징의 세라믹 내벽에 충돌해 압축되어, 입자 표면의 화학적 패시베이션층이 더 치밀해지게 하였다.

Claims (9)

  1. 구체적으로 하기 단계를 포함하는 합금 분말의 생산 방법:
    (1) 용융된 금속 액적을 금속의 융점보다 높은 온도의 캐리어 가스에 의해 운반하여, 금속 액적을 열복사 영역으로 보내고, 응고될 때까지 냉각하여 입자를 얻는 단계로서, 금속 액적 중의 금속 함량은 99.9wt%를 초과하는, 단계;
    (2) 응고된 고온의 고체 입자를 상온의 유체와 혼합하고 신속히 ??칭하는 단계로서, ??칭 전의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 500℃보다 높고, ??칭 후의 입자와 캐리어 가스의 평균 온도는 300℃보다 낮아, 치밀하고 안정적인 합금 분말 입자 구조가 얻어지는, 단계
    (3) 금속 액적 형성 과정 도중에 또는 응고 후 또는 ??칭 후에, 금속 액적 또는 입자의 표면을 산소족 원소와 접촉시켜, 산소족 원소와의 반응에 의해 입자 표면에 화학적 패시베이션층이 형성되어 산소족 원소를 함유하는 니켈 화합물을 생성하는 단계로서, 산소족 원소의 양을 제어하여 산소족 원소의 질량이 합금 분말의 질량의 0.10 내지 15.00wt%가 되도록 하는, 단계
    (4) 산소족 원소를 함유하는 화학적 패시베이션층을 갖는 합금 분말을 상온에서 단단한 내벽을 갖는 하우징이 있는 용기의 유체에 분산시키고, 유체가 압력에 의해 합금 분말을 운반하고 용기 내에서 회전하게 하는 단계로서, 회전하는 입자가 서로 충돌하거나 회전하는 입자가 용기의 하우징의 단단한 내벽과 충돌하여 입자 표면의 화학적 패시베이션층이 더 치밀해지게 하는, 단계.
  2. 제1항에 있어서, 상기 금속 액적 중의 금속 원료는 니켈 또는 구리 중 적어도 하나인, 합금 분말의 생산 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 캐리어 가스는 질소 또는 아르곤 중 적어도 하나인, 합금 분말의 생산 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 단계 2의 유체는 불활성 기체 또는 액체 중 적어도 하나인, 합금 분말의 생산 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 산소족 원소는 산소 또는 황 중 적어도 하나인, 합금 분말의 생산 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 합금 분말의 평균 입경은 20 내지 1000nm이고, 단일 입자는 모양이 구형이고, 입자 중의 금속 함량은 84.00 내지 99.80wt%이고, 비금속 및 비산소족 원소의 함량은 0.01 내지 1.00wt%이고, 산소족 원소의 함량은 0.10 내지 15.00wt%이고, 90wt% 함량이 넘는 산소족 원소가 5nm 두께의 입자의 외부 표면층 내에 집중되어 있는, 합금 분말의 생산 방법.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 합금 분말의 생산 방법에 의해 제조된, 합금 분말.
  8. 제7항에 따른 합금 분말을 포함하는, 전도성 페이스트.
  9. 제8항에 따른 전도성 페이스트로 제조된 전극을 포함하는, 다층 세라믹 커패시터.
KR1020237003998A 2021-11-11 2022-02-25 합금 분말의 생산 방법 및 그 방법에 의해 제조된 합금 분말, 페이스트 및 커패시터 KR20230070444A (ko)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111333058.4 2021-11-11
CN202111333058.4A CN114566327B (zh) 2021-11-11 2021-11-11 合金粉生产方法及该方法制备的合金粉、浆料和电容器
PCT/CN2022/077815 WO2023082493A1 (zh) 2021-11-11 2022-02-25 合金粉生产方法及该方法制备的合金粉、浆料和电容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230070444A true KR20230070444A (ko) 2023-05-23

Family

ID=81712087

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020237003998A KR20230070444A (ko) 2021-11-11 2022-02-25 합금 분말의 생산 방법 및 그 방법에 의해 제조된 합금 분말, 페이스트 및 커패시터

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP2023552969A (ko)
KR (1) KR20230070444A (ko)
CN (1) CN114566327B (ko)
TW (1) TWI813224B (ko)
WO (1) WO2023082493A1 (ko)

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3071329D1 (en) * 1979-03-23 1986-02-20 Allied Corp Method and apparatus for making metallic glass powder
US4900355A (en) * 1987-11-30 1990-02-13 Miyagi National College Of Technology Method for making high-purity metal powder by jet-cooling
US5294242A (en) * 1991-09-30 1994-03-15 Air Products And Chemicals Method for making metal powders
CN101284312B (zh) * 2000-02-18 2012-06-13 加拿大电子学粉末公司 一种通过传递电弧等离子系统生产镍粉末的方法
JP4807581B2 (ja) * 2007-03-12 2011-11-02 昭栄化学工業株式会社 ニッケル粉末、その製造方法、導体ペーストおよびそれを用いた積層セラミック電子部品
CN102350496A (zh) * 2011-06-20 2012-02-15 宁波广博纳米新材料股份有限公司 降低导电浆料用镍粉中杂质含量的方法
JP5821579B2 (ja) * 2011-12-01 2015-11-24 昭栄化学工業株式会社 金属粉末製造用プラズマ装置
WO2020027874A2 (en) * 2018-03-05 2020-02-06 Global Advanced Metals Usa, Inc. Spherical tantalum powder, products containing the same, and methods of making the same
CN108436095A (zh) * 2018-03-14 2018-08-24 张格梅 一种使用高温汽化、球形化处理制备金属粉末的方法
CN109648093A (zh) * 2018-12-18 2019-04-19 江苏博迁新材料股份有限公司 一种超细金属镍粉表面处理方法
CN112439558A (zh) * 2020-12-03 2021-03-05 宁波广新纳米材料有限公司 一种超细粉体气相分级设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN114566327A (zh) 2022-05-31
TWI813224B (zh) 2023-08-21
CN114566327B (zh) 2024-03-26
JP2023552969A (ja) 2023-12-20
WO2023082493A1 (zh) 2023-05-19
TW202319146A (zh) 2023-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6060165A (en) Metal powder and process for preparing the same
EP1785207A1 (en) Nickel powder and manufacturing method thereof
KR102589697B1 (ko) 니켈 분말
KR20130107248A (ko) 도전성 미분말, 도전성 페이스트 및 전자부품
EP3395474A1 (en) Silver alloy powder and method for producing same
JP2019183268A (ja) 銀粉およびその製造方法
JPS6331522B2 (ko)
JPS62280308A (ja) 銀−パラジウム合金微粉末の製造方法
CN1043447C (zh) 多层陶瓷电容器的制造方法
KR20230070444A (ko) 합금 분말의 생산 방법 및 그 방법에 의해 제조된 합금 분말, 페이스트 및 커패시터
JP6004034B1 (ja) 銅粉末
JP2009167491A (ja) 焼結性に優れた金属粉末、その製造方法、及び当該金属粉末を用いた焼結体の製造方法
KR102384479B1 (ko) 코팅용 세라믹 조성물 및 이를 이용한 코팅 방법
TWI755565B (zh) 銀粉及其製造方法
CN108754399B (zh) 一种耐高温氟化熔盐腐蚀的二硼化钛涂层及其制备方法
KR102416127B1 (ko) 구상의 yof계 분말의 제조방법, 이를 통해 제조된 구상의 yof계 분말 및 yof계 코팅층
CN113205901A (zh) 玻璃料、导电浆料及在制备陶瓷介质滤波器电极中应用
JP2004149817A (ja) 耐酸化性および焼結性に優れた導電ペースト用銅粉およびその製造法
KR20100137633A (ko) 금속-유리 나노 복합체 분말
JP4276031B2 (ja) チタン化合物被覆ニッケル粉末およびこれを用いた導電ペースト
JP2004084069A (ja) 無機酸化物コート金属粉及びその無機酸化物コート金属粉の製造方法
US11904390B2 (en) Method for manufacturing electrostatic chuck having electrode layer including clad member and electrostatic chuck manufactured thereby
CN115446319B (zh) 一种铜辅助制备钛合金和钛铝合金球形微粉的方法
KR101046629B1 (ko) Ag 와 글래스의 구형 복합체 분말
CN116060612B (zh) 球状氟氧化钇基粉末及其制备方法、氟氧化钇基涂层