KR20230054858A - 유량 측정 장치 - Google Patents

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KR20230054858A
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야스히사 이토
신지 오니시
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

유량 측정 장치는 용기 본체에 대하여 바닥 뚜껑이 착탈되는 용기에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 장치에 있어서의 퍼지 가스의 유량을 측정한다. 유량 측정 장치는 유량 측정기가 탑재된 기부와, 기부에 설치되고, 바닥 뚜껑이 결합되는 피결합부와, 피결합부에 바닥 뚜껑이 결합된 상태에 있어서, 바닥 뚜껑의 주입구로부터 주입된 퍼지 가스를 유량 측정기로 유통시키는 유로부를 구비한다.

Description

유량 측정 장치
본 발명의 일 측면은 유량 측정 장치에 관한 것이다.
용기에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 장치에 있어서의 퍼지 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 장치가 알려져 있다. 예를 들면 특허문헌 1에는 용기(수납용 후프)와 동일 형상의 유량 측정 장치(측정용 후프)를 별도로 사용하여, 퍼지 가스의 유량을 측정하는 기술이 개시되어 있다.
일본 특허공개 2008-159734호
상술한 바와 같은 기술에서는 예를 들면 퍼지 장치에 사용되는 용기를 준비하고, 상기 용기에 대하여 절단 가공 및 유량 측정기 등의 설치 작업 등을 행함으로써, 유량 측정 장치가 제조된다. 이것으로부터, 퍼지 가스의 유량 측정을 행하는 데에 있어서, 손이 많이 간다고 하는 문제가 있다.
이에, 본 발명의 일 측면은 퍼지 장치의 퍼지 가스의 유량 측정을 간편하게 행할 수 있는 유량 측정 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치는 용기 본체에 대하여 바닥 뚜껑이 착탈되는 용기에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 장치에 있어서의 퍼지 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 장치로서, 유량 측정기가 탑재된 기부와, 기부에 설치되고, 바닥 뚜껑이 결합되는 피결합부와, 피결합부에 바닥 뚜껑이 결합된 상태에 있어서, 바닥 뚜껑의 주입구로부터 주입된 퍼지 가스를 유량 측정기로 유통시키는 유로부를 구비한다.
이 유량 측정 장치에서는 피결합부에 바닥 뚜껑을 결합시킴으로써, 바닥 뚜껑의 주입구 등의 기존 기능을 유효 활용하여, 퍼지 장치에 있어서의 퍼지 가스의 유량 측정을 행할 수 있다. 즉, 퍼지 장치의 퍼지 가스의 유량 측정을 간편하게 행하는 것이 가능해진다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치에서는 바닥 뚜껑은 래치를 갖고, 래치를 통해 용기 본체에 부착되고, 피결합부에는 래치가 결합되어도 된다. 이 경우, 바닥 뚜껑의 래치를 유효 활용하여, 피결합부에 바닥 뚜껑을 결합시킬 수 있다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치에서는, 기부는 바닥 뚜껑의 외형에 대응한 프레임 형상을 나타내고, 바닥 뚜껑의 가장자리를 둘러싸도록 상기 바닥 뚜껑에 겹쳐지는 프레임체를 갖고, 피결합부는 프레임체에 형성되고 래치가 진입하는 구멍 또는 홈이어도 된다. 이 경우, 래치를 유효 활용하여 피결합부에 바닥 뚜껑을 결합시키는 구성을 구체적으로 실현할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치에서는, 프레임체는 바닥 뚜껑의 상면과 접촉하여 바닥 뚜껑의 상방으로의 이동을 규제하는 단차면을 갖고 있어도 된다. 이 경우, 바닥 뚜껑이 프레임체로부터 상방으로 멀어지는 것을 억제할 수 있고, 피결합부에 바닥 뚜껑을 결합시키기 쉬워진다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치에서는, 유로부는 피결합부에 바닥 뚜껑이 결합된 상태에 있어서, 바닥 뚜껑의 상면의 주입구의 변 가장자리에 밀착하는 도입구 패드를 갖고 있어도 된다. 이 경우, 퍼지 가스의 누설을 막고, 퍼지 가스의 유량 측정을 확실에 행하는 것이 가능해 진다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치에서는, 도입구 패드는 주입구측에 형성되고 탄성체로 이루어지는 제 1 층과, 제 1 층에 적층되고 겔 형상의 재료로 이루어지는 제 2 층을 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 퍼지 가스의 누설을 더욱 방지할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치에서는, 기부는 피결합부에 바닥 뚜껑이 결합된 상태에 있어서, 바닥 뚜껑에 대향하도록 배치되고, 주입구의 변 가장자리에 밀착되어 있는 도입구 패드를 바닥 뚜껑을 향해서 누르는 누름면을 갖고 있어도 된다. 이 경우, 퍼지 가스의 누설을 더욱 방지할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 관한 유량 측정 장치에서는, 기부에는 바닥 뚜껑에 형성된 위치 결정 돌기가 들어가는 위치 결정 구멍, 및 바닥 뚜껑에 형성된 위치 결정 구멍에 들어가는 위치 결정 돌기 중 적어도 어느 1개가 형성되어 있어도 된다. 이 경우, 기부에 대하여 바닥 뚜껑을 위치 결정할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 퍼지 장치의 퍼지 가스의 유량 측정을 간편하게 행할 수 있는 유량 측정 장치를 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은 일 실시형태에 관한 퍼지 스토커를 나타내는 측면도이다.
도 2는 일 실시형태에 관한 퍼지 장치의 구성을 나타내는 개략 구성도이다.
도 3은 격납 용기의 바닥 뚜껑을 나타내는 상방 사시도이다.
도 4는 격납 용기의 바닥 뚜껑을 나타내는 하방 사시도이다.
도 5는 일 실시형태에 관한 유량 측정 장치를 나타내는 상방 사시도이다.
도 6은 도 5의 유량 측정 장치를 나타내는 하방 사시도이다.
도 7은 도 5의 프레임체를 나타내는 사시도이다.
도 8은 도 6의 도입구 패드를 확대하여 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 5의 유량 측정 장치를 바닥 뚜껑에 부착하는 예를 모식적으로 나타내는 측단면도이다.
도 10은 도 9의 계속을 나타내는 측단면도이다.
도 11은 도 10의 계속을 나타내는 측단면도이다.
이하, 도면을 참조하여 일 실시형태에 대해서 설명한다. 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 부여하고, 중복되는 설명을 생략한다. 도면의 치수 비율은 설명의 대상과 반드시 일치하지는 않는다.
일 실시형태에 관한 유량 측정 장치는 퍼지 장치에 있어서의 퍼지 가스의 유량을 측정한다. 퍼지 장치는 격납 용기의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리하는 장치이며, 퍼지 스토커 등에 배치된다. 이에, 우선, 퍼지 장치 및 퍼지 스토커에 대해서 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 퍼지 스토커(1)는 격납 용기(50)의 내부를 퍼지 가스에 의해 퍼지 처리함과 아울러, 복수의 격납 용기(50)를 보관하는 보관 창고로서의 기능을 갖는다. 격납 용기(50)는 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등의 피격납물이 격납된 SMIF 포드, 레티클 포드 등의 용기이다. 퍼지 가스로서는 예를 들면, 질소 가스 또는 공기가 사용된다. 퍼지 스토커(1)는 예를 들면 클린룸에 설치된다. 퍼지 스토커(1)는 파티션(3), 래크(7), 크레인(9), OHT(Overhead Hoist Transfer) 포트(21), 및 매뉴얼 포트(23)를 주로 구비하고 있다.
파티션(3)은 퍼지 스토커(1)의 커버판이다. 파티션(3)의 내측에는 격납 용기(50)를 보관하는 보관 영역이 형성되어 있다. 래크(7)는 격납 용기(50)를 보관하는 부분이며, 상기 보관 영역 내에 1 또는 복수열(여기서는 2열) 설치되어 있다. 각 래크(7)는 소정 방향(x)으로 연신되어 있고, 서로 이웃하는 2개의 래크(7, 7)가 y 방향으로 대향하도록 평행하게 배치되어 있다. 각 래크(7)에는 소정 방향(x) 및 연직 방향(z)을 따라, 격납 용기(50)를 적재하여 보관하는 퍼지 선반(7A)이 복수 형성되어 있다. 퍼지 선반(7A)은 연직 방향(z)을 따라 복수 나란히 배치되고, 또한, 소정 방향(x)을 따라 복수 나란히 배치되어 있다.
크레인(9)은 격납 용기(50)를 퍼지 선반(7A)에 대하여 출납을 함과 아울러, 격납 용기(50)를 퍼지 선반(7A)과 OHT 포트(21) 및 매뉴얼 포트(23) 사이에서 이동시키는 반송 장치이다. 크레인(9)은 대향하는 래크(7, 7)에 끼워진 영역에 배치되어 있다. 크레인(9)은 래크(7)가 연장되는 소정 방향(x)을 따라, 바닥면에 배치된 주행 레일(도시 생략) 상을 이동한다. 크레인(9)은 연직 방향(z)으로 연장되는 가이드 레일(9A)과, 가이드 레일(9A)을 따라 승강 가능한 짐받이(9B)를 갖는다. 크레인(9)에 의한 격납 용기(50)의 반송은 크레인 컨트롤러(60)에 의해 제어된다. 크레인 컨트롤러(60)는 예를 들면, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다.
퍼지 스토커(1)로의 격납 용기(50)의 입고 및 출고는 OHT 포트(21) 및 매뉴얼 포트(23)로부터 행해진다. OHT 포트(21)는 천장에 부설된 주행 레일(25)을 주행하는 천장 주행차(OHT)(27)와 퍼지 스토커(1) 사이에서 격납 용기(50)를 전달하는 부분이다. OHT 포트(21)는 격납 용기(50)를 반송하는 컨베이어(21A)를 갖는다. 매뉴얼 포트(23)는 작업자와 퍼지 스토커(1) 사이에서 격납 용기(50)를 전달하는 부분이다. 매뉴얼 포트(23)는 격납 용기(50)를 반송하는 컨베이어(23A)를 갖는다.
격납 용기(50)에 대해서 구체적으로 설명한다. 격납 용기(50)는 용기 본체(51) 및 바닥 뚜껑(53)을 구비한다. 격납 용기(50)에서는 용기 본체(51)의 바닥측에 대하여 바닥 뚜껑(53)이 착탈된다. 용기 본체(51)는 직사각형 상자형을 나타낸다. 바닥 뚜껑(53)은 직사각형 판상을 나타낸다. 격납 용기(50)에서는 용기 본체(51)와 바닥 뚜껑(53)에 의해 밀폐 공간(54)이 형성된다. 밀폐 공간(54) 내에는 복수의 반도체 웨이퍼(도시 생략)가 수납된다.
도 2, 도 3 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 바닥 뚜껑(53)의 후측의 좌우 양단부에는 주입구(52A)가 형성되어 있다. 바닥 뚜껑(53)의 전측의 좌우 양단부에는 배출구(52B)가 형성되어 있다. 주입구(52A)는 퍼지 장치(30)의 공급관(31)의 선단에 형성된 도시하지 않은 노즐에 접속 가능하게 구성되어 있다. 배출구(52B)는 퍼지 장치(30)의 배출관(33)의 선단에 형성된 도시하지 않은 노즐에 접속 가능하게 구성되어 있다. 주입구(52A) 및 배출구(52B)에는 역지 밸브가 설치되어 있다. 한편, 「전」 및 「후」는 퍼지 선반(7A)의 앞쪽 및 안쪽에 각각 대응하고, 「좌」 및 「우」는 전후 방향에 직교하는 수평 방향의 일방측 및 타방측의 각각에 대응한다.
바닥 뚜껑(53)에는 예를 들면, 래치 기구(58)가 설치되어 있다. 래치 기구(58)는 래치(58A)와 캠부(58B)를 갖고 있다. 래치 기구(58)에서는 바닥 뚜껑(53)의 저면(53a)에 형성된 삽입구(58C)에 키(도시 생략)를 꽂아넣고, 이 키를 회동시키면, 캠부(58B)에 의해 래치(58A)가 출입(출몰)한다. 래치(58A)는 바닥 뚜껑(53)의 전측과 후측에 설치되어 있다. 전측에 형성된 래치(58A)는 바닥 뚜껑(53)의 전면으로부터 전방으로 돌출 가능하고, 후측에 형성된 래치(58A)는 바닥 뚜껑(53)의 후면으로부터 후방으로 돌출 가능하다.
래치(58A)는 용기 본체(51)에 형성된 감합홈(51A)에 감합된다. 이에 의해, 바닥 뚜껑(53)이 용기 본체(51)에 고정된다. 즉, 바닥 뚜껑(53)은 래치(58A)를 통해 용기 본체(51)에 부착된다. 바닥 뚜껑(53)의 4개의 코너부 중 전측의 2개의 코너부에는 위치 결정 돌기(59)가 세워 형성되어 있다. 위치 결정 돌기(59)는 용기 본체(51)에 대하여 바닥 뚜껑(53)을 위치 결정하는 돌기물이다.
퍼지 장치(30)에 대해서 구체적으로 설명한다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 퍼지 장치(30)는 퍼지 선반(7A)에 적재된 격납 용기(50)에 퍼지 가스를 공급하는 장치이며, 공급관(31), MFC(Mass Flow Controller)(35), 퍼지 가스원(37), 배출관(33), 유량계(39) 및 퍼지 컨트롤러(40)를 구비한다.
공급관(31)은 퍼지 가스를 공급하는 관이며, 바닥 뚜껑(53)의 주입구(52A)에 접속된다. MFC(35)는 공급관(31)을 흐르는 퍼지 가스의 질량 유량을 계측하여, 유량 제어를 행하는 기기이다. 퍼지 가스원(37)은 퍼지 가스를 저장하는 탱크이다. 배출관(33)은 퍼지 가스를 배출하는 관이며, 바닥 뚜껑(53)의 배출구(52B)에 접속된다. 유량계(39)는 배출관(33)을 흐르는 퍼지 가스의 유량을 계측하는 기기이다. 퍼지 컨트롤러(40)는 퍼지 장치(30)에 있어서의 각종 퍼지 처리를 제어한다. 퍼지 컨트롤러(40)는 예를 들면, CPU, ROM, RAM 등으로 이루어지는 전자 제어 유닛이다.
다음으로, 일 실시형태에 관한 유량 측정 장치에 대해서 설명한다.
도 5 및 도 6에 나타내는 바와 같이, 유량 측정 장치(100)는 바닥 뚜껑(53)에 착탈 가능하게 부착되고, 바닥 뚜껑(53)을 이용하여 퍼지 장치(30)의 퍼지 가스의 유량을 측정하는 장치이다. 유량 측정 장치(100)는 2개의 유량 측정기(101)가 탑재된 프레임체(110)와, 프레임체(110)에 형성된 긴 구멍(120)과, 유량 측정기(101)에 접속된 유로부(130)를 구비한다. 한편, 이하에 있어서, 「상」 및 「하」의 단어는 바닥 뚜껑(53)에 부착된 상태에 있어서의 상하 방향에 대응한다.
도 5, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 프레임체(110)는 바닥 뚜껑(53)의 외형에 대응한 프레임 형상을 나타내는 부재이다. 여기서는 프레임체(110)는 직사각형 프레임 형상을 나타낸다. 프레임체(110)는 예를 들면 열가소성 수지(폴리아세탈(POM) 등)에 의해 형성되어 있다. 프레임체(110)는 그 뼈대 부재로서, 앞살(前棧)(110F), 뒤살(後棧)(110B) 및 옆살(側棧)(110L, 110R)을 포함한다. 앞살(110F) 및 뒤살(110B)은 좌우 방향을 따라 연장되는 부재이다. 옆살(110L, 110R)은 전후 방향을 따라 연장되는 부재이다. 옆살(110L)은 앞살(110F) 및 뒤살(110B)의 좌단에 연속하고, 옆살(110R)은 앞살(110F) 및 뒤살(110B)의 우단에 연속된다. 프레임체(110)는 기부를 구성한다.
프레임체(110)는 바닥 뚜껑(53)의 가장자리를 둘러싸도록 상기 바닥 뚜껑(53)에 겹쳐진다. 프레임체(110)는 그 범위 내에 바닥 뚜껑(53)이 배치되도록 하여 상기 바닥 뚜껑(53) 상에 겹쳐진다. 상방에서 보아, 프레임체(110)의 외형은 바닥 뚜껑(53)의 외형을 포함한다. 프레임체(110)는 그 하면(110a)의 내연 부분에 단차면(111)을 갖는다. 단차면(111)은 하면(110a)보다 상방으로 단차를 통해 들어간 하면(110a)과 평행한 평면 형상의 면이다. 단차면(111)은 바닥 뚜껑(53)의 상면과 접촉하여 바닥 뚜껑(53)의 상방으로의 이동을 규제한다.
프레임체(110)는 후측의 2개의 내코너부의 각각에 있어서 내측으로 장출되도록 형성된 장출부(112)를 갖는다. 장출부(112)는 판상을 나타낸다. 장출부(112)는 프레임체(110)가 바닥 뚜껑(53)에 겹쳐진 상태에 있어서, 바닥 뚜껑(53)에 대향하도록 배치됨과 아울러, 주입구(52A)의 상방에 위치한다. 장출부(112)의 상면은 프레임체(110)의 상면(110b)에 연속한다. 장출부(112)의 하면은 단차면(111)보다 상방으로 단차를 통해 들어간 하면(110a)과 평행한 평면 형상의 면이다. 장출부(112)의 하면은 후술하는 바와 같이, 도입구 패드(133)를 바닥 뚜껑(53)을 향해 누르는 누름면(112a)을 구성한다.
프레임체(110)는 바닥 뚜껑(53)에 형성된 위치 결정 돌기(59)가 들어가는 위치 결정 구멍(113)을 갖는다. 위치 결정 구멍(113)은 프레임체(110)의 4개의 코너부 중 전측의 2개의 코너부에 형성되어 있다. 위치 결정 구멍(113)은 위치 결정 돌기(59)의 형상에 대응하는 단면에서 상하로 관통하는 관통 구멍이다.
프레임체(110)의 상면(110b)에는 판상 부재(114)가 겹쳐져 고정되어 있다. 판상 부재(114)는 프레임체(110)에 탑재되는 각종 기기를 지지한다. 판상 부재(114)는 프레임체(110)보다 고강성의 재료(금속 등)에 의해 형성되어 있다. 판상 부재(114)는 뒤살(110B) 및 옆살(110L, 110R)을 걸치도록 배치되어 있다. 판상 부재(114) 상에는 2개의 질량 유량계(101), 배터리(102), 컨버터(103) 및 데이터 로거(104)가 고정되어 있다.
질량 유량계(101)는 퍼지 가스의 유량을 측정하기 위한 기기이다. 질량 유량계(101)로서는 특별히 한정되지 않고, 다양한 유량계를 사용할 수 있다. 배터리(102)는 질량 유량계(101) 및 데이터 로거(104)에 공급하는 전력을 축전하는 축전지이다. 배터리(102)로서는 특별히 한정되지 않고, 다양한 배터리를 사용할 수 있다. 컨버터(103)는 배터리(102)의 전력을 변압하여 질량 유량계(101) 및 데이터 로거(104)에 공급한다. 컨버터(103)는 예를 들면 DC-DC 컨버터이다. 컨버터(103)로서는 특별히 한정되지 않고, 다양한 컨버터를 사용할 수 있다. 데이터 로거(104)는 질량 유량계(101)로 측정한 측정 결과를 기록하는 기록계이다. 데이터 로거(104)로서는 특별히 한정되지 않고, 다양한 데이터 로거를 사용할 수 있다.
긴 구멍(120)은 프레임체(110)에 형성되고, 래치(58A)(도 3 참조)가 진입하여 결합되는 피결합부이다. 다시 말하면, 긴 구멍(120)에는 프레임체(110)가 바닥 뚜껑(53)에 겹쳐진 상태에 있어서, 래치(58A)가 끼워넣어진다. 긴 구멍(120)은 프레임체(110)의 앞살(110F) 및 뒤살(110B)에 형성되어 있다. 긴 구멍(120)은 좌우 방향을 길이 방향으로 하여 전후 방향으로 관통하는 구멍이다. 긴 구멍(120)은 래치(58A)의 상하 폭에 대응하는 상하 폭을 갖는다. 긴 구멍(120)은 프레임체(110)가 바닥 뚜껑(53)에 겹쳐진 상태에 있어서, 바닥 뚜껑(53)으로부터 돌출되어 있지 않은 래치(58A)에 대하여 전후 방향에 대향하도록 배치된다. 긴 구멍(120)은 래치(58A)의 수와 같거나 또는 그 이상의 수만큼 설치되어 있다.
유로부(130)는 프레임체(110)가 바닥 뚜껑(53)에 겹쳐지고 또한 긴 구멍(120)에 바닥 뚜껑(53)의 래치(58A)가 결합된 상태(이하, 간단히 「프레임체(110)의 결합 상태」라고도 한다)에 있어서, 바닥 뚜껑(53)의 주입구(52A)로부터 주입된 퍼지 가스를 유량 측정기(101)로 유통시킨다. 유로부(130)는 통기 구멍(131), 튜브(132) 및 도입구 패드(133)를 갖는다.
통기 구멍(131)은 장출부(112)에 형성된 관통 구멍이다. 통기 구멍(131)은 프레임체(110)의 결합 상태에 있어서 바닥 뚜껑(53)의 주입구(52A)와 연통한다. 튜브(132)는 그 일단이 유량 측정기(101)에 접속되어 있다. 튜브(132)는 그 타단이 통기 구멍(131)의 상단에 접속되어 있다.
도입구 패드(133)는 프레임체(110)의 결합 상태에 있어서, 바닥 뚜껑(53)의 상면의 주입구(52A)의 변 가장자리에 밀착된다(도 10 참조). 도입구 패드(133)는 링 형상을 나타내는 부재이다. 도 8에 나타내는 바와 같이, 도입구 패드(133)는 하방으로부터 보아 통기 구멍(131)을 둘러싸도록, 장출부(112)의 하면에 설치되어 있다. 도입구 패드(133)는 주입구(52A)측(하측)에 형성되고 탄성체로 이루어지는 제 1 층(133x)과, 장출부(112)측(상측)에 형성되고 겔 형상의 재료로 이루어지는 제 2 층(133y)을 포함한다. 제 1 층(133x) 및 제 2 층(133y)은 적층되어 있다. 제 1 층(133x)은 예를 들면 폴리우레탄 고무에 의해 형성되어 있다. 제 2 층(133y)은 실리콘을 주원료로 하고 또한 고유연성을 갖는 겔 형상 소재에 의해 형성되어 있다.
이상과 같이 구성된 유량 측정 장치(100)를 바닥 뚜껑(53)에 부착할 경우, 도 9에 나타내는 바와 같이, 예를 들면 작업자는 유량 측정 장치(100)를 바닥 뚜껑(53)의 상방에 위치시킨다. 이 때, 위치 결정 돌기(59) 상에 위치 결정 구멍(113)이 위치하도록, 유량 측정 장치(100)의 전후의 방향을 맞춘다. 래치(58A)를 바닥 뚜껑(53)으로부터 돌출되어 있지 않은 상태로 한다.
계속해서, 작업자는 도 10에 나타내는 바와 같이, 바닥 뚜껑(53)의 가장자리를 둘러싸도록 프레임체(110)를 바닥 뚜껑(53)에 겹치고, 통기 구멍(131)을 도입구 패드(133)를 통해 주입구(52A)와 연통시킨다. 이 때, 위치 결정 돌기(59)를 위치 결정 구멍(113)에 삽입시킨다. 또한, 도입구 패드(133)를 주입구(52A)의 변 가장자리에 밀착시킴과 아울러, 장출부(112)의 누름면(112a)에 있어서 바닥 뚜껑(53)을 향해서 상기 도입구 패드(133)를 누르고, 상하로 압축하도록 상기 도입구 패드(133)를 변형시킨다.
계속해서, 작업자는 도 11에 나타내는 바와 같이, 바닥 뚜껑(53)의 삽입구(58C)(도 4 참조)에 키를 꽂아넣고 회전시켜, 캠부(58B)에 의해 래치(58A)를 바닥 뚜껑(53)으로부터 돌출되도록 출현시킨다. 이에 의해, 래치(58A)는 긴 구멍(120)에 진입하여 끼워넣어진다. 그 결과, 프레임체(110)가 바닥 뚜껑(53)에 대하여 결합되고, 유량 측정 장치(100)의 바닥 뚜껑(53)으로의 부착이 완료된다.
바닥 뚜껑(53)에 부착된 유량 측정 장치(100)는 격납 용기(50)와 마찬가지로, 크레인(9)에 의해 복수의 퍼지 선반(7A)에 대하여 소정 순서로 출납됨과 아울러, 각 퍼지 선반(7A)에 적재되었을 때에는 퍼지 장치(30)에 의해 퍼지 가스가 공급된다. 바닥 뚜껑(53)에 부착된 유량 측정 장치(100)는 상기 퍼지 가스의 유량을 질량 유량계(101)로 측정하고, 그 측정 결과를 데이터 로거(104)에 기록한다.
한편, 그 후에 유량 측정 장치(100)를 바닥 뚜껑(53)으로부터 분리할 경우에는, 작업자는 바닥 뚜껑(53)의 삽입구(58C)에 키를 꽂아넣고 회전시켜, 캠부(58B)에 의해 래치(58A)를 바닥 뚜껑(53)에 몰입시키고, 래치(58A)를 긴 구멍(120)으로부터 퇴출시켜 상기 결합을 해제한다. 그리고, 작업자는 유량 측정 장치(100)를 상방으로 들어 올려, 위치 결정 구멍(113)으로부터 위치 결정 돌기(59)를 인발함으로써, 분리가 완료된다.
이상, 유량 측정 장치(100)에 의하면, 긴 구멍(120)에 바닥 뚜껑(53)을 결합시켜, 유량 측정 장치(100)를 바닥 뚜껑(53)에 부착함으로써, 바닥 뚜껑(53)의 주입구(52A) 등의 기존 기능을 유효 활용하여, 퍼지 장치(30)에 있어서의 퍼지 가스의 유량 측정을 행할 수 있다. 즉, 퍼지 장치(30)의 퍼지 가스의 유량 측정을 간편하게 행하는 것이 가능해진다. 또한, 바닥 뚜껑(53)과는 다른 별도의 바닥 뚜껑에 유량 측정 장치(100)를 부착하는 것도 가능하여, 범용성을 높일 수 있다.
유량 측정 장치(100)에서는, 긴 구멍(120)에는 바닥 뚜껑(53)을 용기 본체(51)에 부착하는 래치(58A)가 결합한다. 이 경우, 바닥 뚜껑(53)의 래치(58A)를 유효 활용하여, 긴 구멍(120)에 바닥 뚜껑(53)을 결합시킬 수 있다. 유량 측정 장치(100)를 바닥 뚜껑(53)에 용이하게 부착하는 것이 가능해진다.
유량 측정 장치(100)에서는, 프레임체(110)는 바닥 뚜껑(53)의 외형에 대응한 프레임 형상을 나타내고, 바닥 뚜껑(53)의 가장자리를 둘러싸도록 상기 바닥 뚜껑(53)에 겹쳐진다. 프레임체(110)에는 래치(58A)가 진입하는 긴 구멍(120)이 형성되어 있다. 이 경우, 래치를 유효 활용하여 긴 구멍(120)에 바닥 뚜껑(53)을 결합시키는 구성을 구체적으로 실현할 수 있다.
유량 측정 장치(100)에서는, 프레임체(110)는 바닥 뚜껑(53)의 상면과 접촉하여 바닥 뚜껑(53)의 상방으로의 이동을 규제하는 단차면(111)을 갖는다. 이 경우, 바닥 뚜껑(53)이 프레임체(110)로부터 상방으로 멀어지는 것을 억제할 수 있어, 긴 구멍(120)에 바닥 뚜껑(53)을 결합시키기 쉬워진다.
유량 측정 장치(100)에서는, 유로부(130)는 긴 구멍(120)에 바닥 뚜껑(53)이 결합된 상태에 있어서, 바닥 뚜껑(53)의 상면의 주입구(52A)의 변 가장자리에 밀착되는 도입구 패드(133)를 갖는다. 이 경우, 주입구(52A)와 통기 구멍(131) 사이를 기밀하게 하고, 주입구(52A)와 통기 구멍(131) 사이로부터의 퍼지 가스의 누설을 방지할 수 있어, 퍼지 가스의 유량 측정을 확실하게 행하는 것이 가능해진다.
유량 측정 장치(100)에서는, 도입구 패드(133)는 탄성체로 이루어지는 제 1 층(133x)과 겔 형상의 재료로 이루어지는 제 2 층(133y)을 포함한다. 이 경우, 주입구(52A)와 통기 구멍(131) 사이로부터의 퍼지 가스의 누설을 더욱 방지할 수 있어, 퍼지 가스의 유량 측정을 더욱 확실하게 행하는 것이 가능해진다.
유량 측정 장치(100)에서는, 프레임체(110)는 긴 구멍(120)에 바닥 뚜껑(53)이 결합된 상태에 있어서 도입구 패드(133)를 바닥 뚜껑(53)을 향해 누르는 누름면(112a)을 갖는다. 이 경우, 주입구(52A)와 통기 구멍(131) 사이로부터의 퍼지 가스의 누설을 더욱 방지할 수 있어, 퍼지 가스의 유량 측정을 더욱 확실하게 행하는 것이 가능해진다.
유량 측정 장치(100)에서는 프레임체(110)에는 바닥 뚜껑(53)에 형성된 위치 결정 돌기(59)가 들어가는 위치 결정 구멍(113)이 형성되어 있다. 이 경우, 프레임체(110)에 대하여 바닥 뚜껑(53)을 위치 결정할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되지 않는다. 상기 실시형태에서는 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
상기 실시형태에서는 바닥 뚜껑(53)에 위치 결정 돌기(59)가 형성되고, 이것이 들어가는 위치 결정 구멍(113)이 프레임체(110)에 형성되어 있지만, 이것에 대신해서 혹은 더해서, 바닥 뚜껑(53)에 위치 결정 구멍이 형성되고, 거기에 들어가는 위치 결정 돌기가 프레임체(110)에 형성되어 있어도 된다.
상기 실시형태에서는 피결합부로서 긴 구멍(120)이 형성되어 있지만, 긴 구멍(120)에 한정되지 않는다. 피결합부는 둥근 구멍 등의 다른 형상의 구멍이어도 되고, 홈이어도 되고, 볼록부여도 된다. 요컨대, 바닥 뚜껑(53)이 결합 가능한 구성이면 된다. 상기 실시형태에서는 피결합부에 바닥 뚜껑(53)의 래치(58A)가 결합하고 있지만, 래치(58A) 이외의 결합부가 결합해도 된다.
상기 실시형태에서는 기부로서 프레임체(110)를 구비하고 있지만, 기부는 프레임체(110) 이외의 다른 구성을 갖고 있어도 된다. 프레임체(110)의 형상은 직사각형 프레임 형상에 한정되지 않고, 다양한 프레임 형상이어도 된다. 상기 실시형태에서는 도입구 패드(133)는 복수층으로 구성되어 있지 않아도 되고, 단일의 재료로 형성되어 있어도 된다.
상기 실시형태 및 변형예에 있어서의 각 구성에는 상술한 재료 및 형상에 한정되지 않고, 여러 재료 및 형상을 적용할 수 있다. 상기 실시형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성은 다른 실시형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성에 임의로 적용할 수 있다. 상기 실시형태 또는 변형예에 있어서의 각 구성의 일부는 본 발명의 일 형태의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 생략 가능하다.
30; 퍼지 장치
50; 격납 용기(용기)
51; 용기 본체
52A; 주입구
53; 바닥 뚜껑
58A; 래치
59; 위치 결정 돌기
100; 유량 측정 장치
101; 유량 측정기
110; 프레임체(기부)
111; 단차면
112a; 누름면
113; 위치 결정 구멍
120; 긴 구멍(피결합부, 구멍)
130; 유로부
133; 도입구 패드
133x; 제 1 층
133y; 제 2 층

Claims (8)

  1. 용기 본체에 대하여 바닥 뚜껑이 착탈되는 용기에 퍼지 가스를 공급하는 퍼지 장치에 있어서의 퍼지 가스의 유량을 측정하는 유량 측정 장치로서,
    유량 측정기가 탑재된 기부와,
    상기 기부에 설치되고, 상기 바닥 뚜껑이 결합되는 피결합부와,
    상기 피결합부에 상기 바닥 뚜껑이 결합된 상태에 있어서, 상기 바닥 뚜껑의 주입구로부터 주입된 상기 퍼지 가스를 상기 유량 측정기로 유통시키는 유로부를 구비하는 유량 측정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 바닥 뚜껑은 래치를 갖고, 상기 래치를 통해 상기 용기 본체에 부착되고,
    상기 피결합부에는 상기 래치가 결합하는 유량 측정 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기부는 상기 바닥 뚜껑의 외형에 대응한 프레임 형상을 나타내고, 상기 바닥 뚜껑의 가장자리를 둘러싸도록 상기 바닥 뚜껑에 겹쳐지는 프레임체를 갖고,
    상기 피결합부는 상기 프레임체에 형성되고 상기 래치가 진입하는 구멍 또는 홈인 유량 측정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 프레임체는 상기 바닥 뚜껑의 상면과 접촉하여 상기 바닥 뚜껑의 상방으로의 이동을 규제하는 단차면을 갖는 유량 측정 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유로부는 상기 피결합부에 상기 바닥 뚜껑이 결합된 상태에 있어서, 상기 바닥 뚜껑의 상면의 상기 주입구의 변 가장자리에 밀착되는 도입구 패드를 갖는 유량 측정 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 도입구 패드는 상기 주입구측에 설치되고 탄성체로 이루어지는 제 1 층과, 상기 제 1 층에 적층되고 겔 형상의 재료로 이루어지는 제 2 층을 포함하는 유량 측정 장치.
  7. 제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,
    상기 기부는 상기 피결합부에 상기 바닥 뚜껑이 결합된 상태에 있어서, 상기 바닥 뚜껑에 대향하도록 배치되고, 상기 주입구의 변 가장자리에 밀착되어 있는 상기 도입구 패드를 상기 바닥 뚜껑을 향해 누르는 누름면을 갖는 유량 측정 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기부에는 상기 바닥 뚜껑에 형성된 위치 결정 돌기가 들어가는 위치 결정 구멍, 및 상기 바닥 뚜껑에 형성된 위치 결정 구멍에 들어가는 위치 결정 돌기 중 적어도 어느 하나가 형성되어 있는 유량 측정 장치.
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