KR20230047471A - 카세트 유지부 - Google Patents

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KR20230047471A
KR20230047471A KR1020237007981A KR20237007981A KR20230047471A KR 20230047471 A KR20230047471 A KR 20230047471A KR 1020237007981 A KR1020237007981 A KR 1020237007981A KR 20237007981 A KR20237007981 A KR 20237007981A KR 20230047471 A KR20230047471 A KR 20230047471A
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신 건 림
지안 핑 추아
무톨리브 모하마드 자카리아 압드
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

카세트 유지부가 프레임, 프레임에 대해서 수직 방향으로 연장되는 제1 카세트 접촉부, 및 동일 수직 방향으로 연장되는 제2 카세트 접촉부를 포함한다. 제1 및 제2 카세트 접촉부는 프레임의 길이방향을 따라 분리된다. 카세트 접촉부는, 카세트 및 카세트 유지부를 포함하는 웨이퍼 컨테이너를 위한 도어 상에 제공된 채널과 인터페이스하는 웨이퍼 카세트의 수평 막대의 양 측면 상에서 웨이퍼 카세트와 접촉할 수 있다. 제2 카세트 접촉부는 스프링에 의해서 프레임에 결합될 수 있다. 보스와 같은 장착 특징부가 포함되어, 카세트 유지부를 웨이퍼 컨테이너에 연결할 수 있다. 카세트 접촉부에 대향되게 연장되는 하드 정지부(hard stop)가 포함되어, 웨이퍼 컨테이너와의 기계적 인터페이스에 의해서 카세트 접촉부의 이동을 제한할 수 있다.

Description

카세트 유지부
본 개시 내용은, 특히 웨이퍼 카세트와 접촉되는 다수의 접촉 지점을 포함하는, 웨이퍼 컨테이너용 카세트 유지부에 관한 것이다.
웨이퍼 컨테이너는 외부 포드(outer pod)가 포함된 웨이퍼 카세트를 포함할 수 있다. 웨이퍼 카세트는, 이동될 때 또는 낙하, 충돌, 또는 기타와 같은 충격에 노출될 때, 포드의 나머지에 대해서 이동될 수 있다. 웨이퍼 카세트의 이동은 포드, 카세트, 또는 웨이퍼를 손상시킬 수 있거나, 바람직하지 못한 입자 생성을 초래할 수 있다. 웨이퍼 카세트의 이동은 또한 웨이퍼 카세트를 웨이퍼 컨테이너의 도어에 포함된 도어 안내부와 같은 다른 유지 특징부로부터 이탈시킬 수 있다.
본 개시 내용은, 특히 웨이퍼 카세트와 접촉되는 다수의 접촉 지점을 포함하는, 웨이퍼 컨테이너용 카세트 유지부에 관한 것이다.
웨이퍼 카세트와 결합되는 수평 막대로부터 이격되고 수평 막대의 대향 측면들에 위치되는 다수의 접촉 지점을 이용하는 것에 의해서, 카세트 유지부는, 웨이퍼 카세트의 회전 이동 및 변위가 보다 양호하게 제어되도록 그리고 웨이퍼 카세트가 수평 막대를 수용하는 도어 안내부 내에서 보다 양호하게 유지되도록, 수평 막대의 양 측면에서 웨이퍼 카세트를 고정할 수 있다.
실시형태에서, 카세트 유지부는 프레임, 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 프레임으로부터 연장되는 제1 카세트 접촉부, 및 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 프레임으로부터 연장되는 제2 카세트 접촉부를 포함한다. 제1 카세트 접촉부는 프레임의 길이방향으로 제2 카세트 접촉부로부터 이격된다.
실시형태에서, 카세트 유지부는 복수의 장착 보스(boss)를 더 포함하고, 각각의 장착 보스는, 제1 측면에 대향되는, 카세트 유지부의 제2 측면에서 수직 방향으로 연장된다.
실시형태에서, 제1 카세트 접촉부 및 제2 카세트 접촉부의 각각은, 제1 측면에 대향되는, 카세트 유지부의 제2 측면 상에서 수직 방향으로 연장되는 하나 이상의 정지부를 각각 포함하고, 하나 이상의 정지부의 각각은 제1 카세트 접촉부 또는 제2 카세트 접촉부 중 하나 상에 배치된다.
실시형태에서, 카세트 유지부는 제2 카세트 접촉부를 프레임에 연결하는 스프링을 더 포함하고, 스프링은 프레임에 대한 제2 카세트 접촉부의 수직 이동을 허용하도록 구성된다.
실시형태에서, 웨이퍼 컨테이너는 하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부, 하나 이상의 측벽 및 폐쇄 단부에 의해서 형성된 내부 공간, 및 개방 단부를 포함하는 포드, 그리고 도어를 포함한다. 도어는 포드의 개방 단부를 폐쇄하도록 구성되고, 도어는 채널을 포함한다. 웨이퍼 컨테이너는, 도어의 채널 내에 수용되도록 구성된 막대를 포함하는 웨이퍼 카세트를 더 포함한다. 웨이퍼 컨테이너는 카세트 유지부를 더 포함한다. 카세트 유지부는 프레임, 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 프레임으로부터 연장되는 제1 카세트 접촉부, 및 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 프레임으로부터 연장되는 제2 카세트 접촉부를 포함한다. 웨이퍼 카세트 및 카세트 유지부가 내부 공간 내에 위치되고 도어가 개방 단부를 폐쇄할 때, 제1 카세트 접촉부 및 제2 카세트 접촉부는, 도어의 평면 내에서, 막대의 대향 측면들 상에서 웨이퍼 카세트와 접촉된다.
실시형태에서, 내부 공간에 대면되는 폐쇄 단부의 측면은 복수의 장착 특징부를 포함하고, 카세트 유지부는, 상기 장착 특징부의 적어도 하나와 결합되도록 각각 구성되는, 복수의 장착 보스를 포함한다. 실시형태에서, 복수의 장착 특징부의 각각은 내부 공간에 대면되는 폐쇄 단부의 측면 내에 형성된 홀이다.
실시형태에서, 카세트 유지부는, 웨이퍼 카세트 및 카세트 유지부가 내부 공간 내에 위치되고 도어가 개방 단부를 폐쇄할 때 내부 공간에 대면되는 폐쇄 단부의 측면을 향해서 연장되도록 구성된 복수의 정지부를 포함하고, 복수의 정지부의 각각은 제1 카세트 접촉부 또는 제2 카세트 접촉부 중 하나 상에 위치된다.
실시형태에서, 웨이퍼 컨테이너는 제2 카세트 접촉부를 프레임에 연결하는 스프링을 더 포함하고, 스프링은 프레임에 대한 제2 카세트 접촉부의 수직 이동을 허용하도록 구성된다.
실시형태에서, 웨이퍼 컨테이너는 표준 기계 인터페이스(SMIF) 포드이다.
도 1은 실시형태에 따른 카세트 유지부의 사시도를 도시한다.
도 2는 실시형태에 따른 카세트 유지부를 포함하는 웨이퍼 컨테이너의 분해도를 도시한다.
도 3은 실시형태에 따른 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 컨테이너 도어, 및 카세트 유지부의 상면도를 도시한다.
도 4는 실시형태에 따른 웨이퍼 컨테이너의 도어, 웨이퍼 카세트, 및 카세트 유지부의 단면도를 도시한다.
도 5a는 실시형태에 따른 웨이퍼 컨테이너의 포드의 저면도를 도시한다.
도 5b는, 실시형태에 따른, 도 5a에 도시된 웨이퍼 컨테이너의 포드 및 카세트 유지부의 저면도를 도시한다.
도 6은 실시형태에 따른 웨이퍼 컨테이너의 도어의 상면도를 도시한다.
본 개시 내용은, 특히 웨이퍼 카세트와 접촉되는 다수의 접촉 지점을 포함하는, 웨이퍼 컨테이너용 카세트 유지부에 관한 것이다.
도 1은 실시형태에 따른 카세트 유지부의 사시도를 도시한다. 카세트 유지부(100)는 프레임(102), 제1 카세트 접촉부(104), 제2 카세트 접촉부(106), 하나 이상의 스프링(108), 장착 보스(110), 및 정지부(112)를 포함한다. 립(rib)(114)이 프레임(102)의 부분을 따라서 제공될 수 있다.
카세트 유지부(100)는, 내부에 수용된 웨이퍼 카세트의 이동을 제한하기 위해서 웨이퍼 컨테이너 내에 포함되도록 구성된 부품이다. 카세트 유지부는 웨이퍼 카세트 이외의 웨이퍼 컨테이너의 부분에 장착될 수 있고, 제1 카세트 접촉부(104) 및 제2 카세트 접촉부(106)에 의해서 제공되는 것과 같은 접촉 지점에서 웨이퍼 카세트에 압력을 인가할 수 있다. 카세트 유지부(100)는 반도체 웨이퍼용 웨이퍼 컨테이너와 접촉되기에 또는 그 내부에 존재하기에 적합한 재료를 포함할 수 있다. 카세트 유지부(100)는 하나 이상의 중합체 재료를 포함할 수 있다. 실시형태에서, 카세트 유지부(100)는 제1 카세트 접촉부(104), 제2 카세트 접촉부(106), 스프링(108), 장착 보스(110), 및 정지부(112) 중 하나 이상에서 폴리카보네이트를 포함한다. 실시형태에서, 전체 카세트 유지부(100)가 폴리카보네이트이다.
프레임(102)은 카세트 유지부(100)의 본체를 형성한다. 프레임(102)은, 제2 카세트 접촉부(106) 또는 스프링(108)과 함께, 제1 카세트 접촉부(104) 및 장착 보스(110)를 포함하는 카세트 유지부(100)의 다른 요소를 연결할 수 있다. 프레임(102)은 이러한 요소들을 연결하는 하나 이상의 빔을 포함할 수 있다. 프레임(102)은 길이방향(L) 및 폭방향(W)을 가지고, 수직 방향(V)은 L 및 W에 의해서 형성된 평면에 직각이다. 실시형태에서, 프레임(102)은 가요성 및 탄성을 가지며, 그에 따라 예를 들어 제1 카세트 접촉부(104)와 웨이퍼 카세트의 접촉에 의해서 힘이 인가될 때, 제1 카세트 접촉부(104)는 수직 방향으로 편향될 수 있다.
제1 카세트 접촉부(104)는 웨이퍼 카세트와 접촉되도록 구성된 제1 지점이다. 제1 카세트 접촉부(104)는, 웨이퍼 카세트와 접촉될 수 있도록, 프레임(102)으로부터 수직 방향(V)으로 연장된다. 제1 카세트 접촉부(104)는 길이방향(L)으로 프레임(102)의 일 단부에 위치될 수 있다. 제1 카세트 접촉부(104)는, 카세트 유지부(100)가 웨이퍼 컨테이너에 설치될 때 제1 카세트 접촉부(104)가 프레임(102)의 길이방향(L)으로 웨이퍼 카세트의 수평 막대를 따라서 위치되지 않도록, 배치될 수 있다.
제2 카세트 접촉부(106)는 웨이퍼 카세트와 접촉되도록 구성된 제2 지점이다. 제2 카세트 접촉부는, 제1 카세트 접촉부(104)에 의해서 또한 접촉되는 웨이퍼 카세트와 접촉될 수 있도록, 프레임(102)으로부터 수직 방향(V)으로 연장된다. 제2 카세트 접촉부(106)는 프레임(102)의 길이방향(L)으로 제1 카세트 접촉부(104)로부터 이격될 수 있다. 제1 카세트 접촉부(104) 및 제2 카세트 접촉부(106) 중 하나가 웨이퍼 카세트에 포함된 수평 막대의 제1 측면 상에 위치되도록 그리고 제1 카세트 접촉부(104) 및 제2 카세트 접촉부(106) 중 다른 하나가, 제1 측면에 대향되는, 수평 막대의 제2 측면 상에 위치되도록, 제1 카세트 접촉부(104)와 제2 카세트 접촉부(106) 사이의 간격이 결정될 수 있다.
하나 이상의 스프링(108)은 제2 카세트 접촉부(106)를 프레임(102)에 결합시킬 수 있다. 각각의 스프링(108)은, 힘이 인가될 때, 예를 들어 제2 카세트 접촉부(106)로부터의 힘이 웨이퍼 카세트를 누를 때, 제2 카세트 접촉부의 수직 이동을 허용하도록 구성된 탄성 부재일 수 있다. 스프링(108)은 제2 카세트 접촉부(106)와 프레임(102) 사이에서 제2 카세트 접촉부(106)의 하나의 측면 또는 양 측면 상에 제공될 수 있다. 스프링(108)은 하나 이상의 굽힘부(bend)를 포함할 수 있다. 실시형태에서, 각각의 스프링(108)은 프레임(102)과 동일한 재료이다. 실시형태에서, 각각의 스프링(108)은 폴리카보네이트이다.
장착 보스(110)는, 제1 카세트 접촉부(104 및 106)가 프레임(102)으로부터 수직으로 연장되는 방향에 대향되는 수직 방향으로 프레임(102)의 측면 상에서 연장되는, 프레임(102)으로부터의 하나 이상의 수직 돌출부일 수 있다. 장착 보스(110)는, 카세트 유지부(100)가 내부에 설치되는 포드와 같은 웨이퍼 컨테이너의 일부에 제공되는 하나 이상의 결합 특징부와 결합되도록 구성된 하나 이상의 특징부를 포함할 수 있다. 장착 보스(110)는, 장착 보스(110)가 결합하게 될 웨이퍼 컨테이너의 결합 특징부의 상대적인 위치에 상응하는 위치에 배치될 수 있다. 장착 보스(110)는 예를 들어, 카세트 유지부(100)가 내부에 설치되는 포드의 내부 표면 상의 상응 위치에 제공된 홀 내로 압입되는 크기를 가지는, 더하기-부호-형상의 횡단면을 갖는 돌출부일 수 있다. 장착 보스(110)는 조립될 때 카세트 유지부(100)를 포드 내에서 안정적으로 유지하기 위해서 포드와 상호 작용하기 위한 임의의 적합한 크기 또는 형상을 가질 수 있다.
정지부(112)는 제1 카세트 접촉부(104) 및 제2 카세트 접촉부(106)의 각각으로부터의 수직 돌출부이다. 정지부들(112)은 제1 및 제2 카세트 접촉부들(104 및 106)로부터 반대 방향으로 수직으로 연장된다. 정지부(112)는, 제1 카세트 접촉부(104) 또는 제2 카세트 접촉부(106)와 웨이퍼 컨테이너 사이의 거리보다 낮은 높이로 연장되도록 구성될 수 있다. 정지부(112)의 높이는, 카세트 유지부(100)를 포함하여 웨이퍼 컨테이너가 조립될 때 웨이퍼 컨테이너와 일반적으로 접촉하지 않도록, 선택될 수 있다. 정지부(112)가 기계적 충격 이벤트(즉, 낙하, 충돌 또는 기타와 같은 급격한 가속 또는 감속) 중에 웨이퍼 컨테이너와 접촉될 수 있도록 하는 그에 따라 제1 카세트 접촉부(104) 및/또는 제2 카세트 접촉부(106)가 특정 양을 초과하여 더 이동되는 것을 중단시키도록 하는 크기의 간극만큼, 정지부가 웨이퍼 컨테이너로부터 이격될 수 있다.
립(114)은 프레임(102)의 일부 또는 전부 및/또는 제1 및 제2 카세트 접촉부(104 및 106)의 부분으로부터 수직으로 연장될 수 있다. 립(114)은 그러한 립이 제공되는 부분의 기계적 보강을 제공할 수 있고, 그에 따라 예를 들어 힘이 카세트 유지부(100)에 인가될 때 해당 부분이 수직 방향으로 편향되는 것을 감소시킬 수 있다. 실시형태에서, 립(114)이 프레임(102)의 상부 및 하부 표면들 모두에 제공되어, 이러한 립(114)이 제공되는 곳에서 프레임(102)의 더하기 또는 십자가 형상의 횡단면을 형성한다. 립(114)은 프레임(102)을 보강할 수 있고, 그에 따라 카세트 유지부(100)에 의해서 인가되는 유지력이 증가된다.
도 2는 실시형태에 따른 카세트 유지부를 포함하는 웨이퍼 컨테이너의 분해도를 도시한다. 웨이퍼 컨테이너(200)는 하나 이상의 측벽(204) 및 폐쇄 단부(206)를 갖는 포드(202), 도어(208), 핸들(212)을 포함하는 웨이퍼 카세트(210), 및 카세트 유지부(214)를 포함한다.
웨이퍼 컨테이너(200)는 포드(202) 및 도어(208)에 의해서 형성된 내부 공간 내에 수용되는 웨이퍼 카세트(210)를 포함하는 웨이퍼 컨테이너이다. 웨이퍼 컨테이너(200)는 하나 이상의 웨이퍼를 유지하기 위한 임의의 그러한 적합한 컨테이너, 예를 들어 표준 기계 인터페이스(SMIF) 포드일 수 있다. 웨이퍼 컨테이너(200)는, 예를 들어 반도체 웨이퍼의 프로세싱, 운반, 및/또는 저장 중에, 하나 이상의 웨이퍼를 유지하기 위해서 이용될 수 있다.
포드(202)는 웨이퍼 컨테이너(200)의 내부 공간을 부분적으로 형성한다. 포드(202)는 하나 이상의 측벽(204) 및 폐쇄 단부(206)를 포함할 수 있고, 개방 단부(미도시)가 폐쇄 단부에 대향된다. 하나 이상의 측벽(204)은, 개방 단부가 예를 들어 도어(208)에 의해서 밀봉될 때 하나 이상의 측벽(204)이 폐쇄 단부(206)와 함께 내부 공간을 형성할 수 있도록 하는 연속적인 벽을 형성하는 임의의 수 및 배열의 측벽일 수 있다. 실시형태에서, 연속적이고 곡선형인 벽인 하나의 측벽(204)이 있다. 실시형태에서, 하나 이상의 측벽은 직사각형 또는 정사각형 형상을 형성하는 4개의 측벽(204)이다. 포드(202)는, 내부 공간에 대면되는 폐쇄 단부(206)의 측면 상에서 하나 이상의 장착 특징부(미도시)를 포함할 수 있다. 하나 이상의 장착 특징부는 카세트 유지부(214)의 하나 이상의 장착 보스에 상응하도록 배치될 수 있다. 개방 단부는 도어(208)를 수용할 수 있다. 도어(208)가 부착될 때, 포드(202) 및 도어(208)는 웨이퍼 카세트(210) 및 카세트 유지부(214)를 수용하도록 구성된 내부 공간을 형성할 수 있다.
도어(208)는 포드(202)의 개방 단부를 폐쇄하도록 구성된 웨이퍼 컨테이너(200)의 일부이다. 도어(208)는 포드(202)의 하나 이상의 측벽(204)에 의해서 형성된 형상과 대체로 유사한 형상을 가질 수 있다. 도어(208)는, 웨이퍼 컨테이너(200)를 둘러싸기 위해서 도어(208)를 포드(202)에 결합시키기 위한 하나 이상의 결합 특징부를 포함할 수 있다. 도어(208)는, 웨이퍼 컨테이너(200)가 조립될 때 웨이퍼 컨테이너(200)의 내부 공간에 대면되는 도어(208)의 측면 상에서, 웨이퍼 카세트(210)가 도어(208) 상에 놓일 수 있도록, 구성될 수 있다. 도어(208)는, 웨이퍼 카세트(210)의 풋프린트(footprint)와 동일한 크기이거나 그보다 큰, 크기를 가질 수 있다. 도어(208)는 그 길이방향 및 폭방향에 의해서 규정되는 평면을 가질 수 있다.
웨이퍼 컨테이너(200)가 조립될 때 웨이퍼 컨테이너(200)의 내부 공간에 대면되는 도어(208)의 측면 상에서, 채널(228)이 형성될 수 있다. 채널(228)은 홈 또는 오목부, 또는 도어(208)로부터 수직으로 연장되는 측벽에 의해서 형성된 채널일 수 있다. 채널(228)은 예를 들어 도어(208)의 폭방향으로 연장될 수 있다. 실시형태에서, 채널(228)은 도어(208)의 길이방향으로 도어(208)의 중간 라인에 또는 그 부근에 위치될 수 있다. 채널(228)은 웨이퍼 카세트(210)의 수평 막대를 수용하기 위한 크기를 가질 수 있다. 채널(228)은 도어(208)의 폭의 일부 또는 전부에 걸쳐 연장될 수 있다.
웨이퍼 카세트(210)는 반도체 웨이퍼와 같은 하나 이상의 웨이퍼를 내부 공간에서 수용하도록 구성된 컨테이너이다. 하나 이상의 웨이퍼의 각각은, 웨이퍼 카세트(210)의 벽으로부터 내부 공간 내로 연장되는 하나 이상의 웨이퍼 지지부 내에서 유지될 수 있다. 웨이퍼 카세트(210)는 웨이퍼 카세트(210)의 벽 상에서 핸들(212)을 포함할 수 있다. 실시형태에서, 핸들(212)은 웨이퍼 카세트(210)의 상단 벽으로부터 수직 방향으로 연장된다.
수평 막대(미도시)가, 웨이퍼 컨테이너(200)가 조립될 때 도어(208)에 대면되는 웨이퍼 카세트(210)의 벽 상에 제공될 수 있다. 수평 막대는 웨이퍼 카세트의 폭방향으로 연장된다. 수평 막대는, 웨이퍼 카세트에 의해서 형성된 내부 공간으로부터 멀리, 수평 막대가 제공된 웨이퍼 카세트(210)의 벽으로부터 외측으로 수직으로 돌출될 수 있다. 수평 막대는 길이방향으로 웨이퍼 카세트(210)의 중간 라인에 또는 그 부근에 위치될 수 있다. 실시형태에서, 수평 막대는, 도어(208)와 접촉되도록 구성된 웨이퍼 카세트(210)의 표면보다 더 돌출되지 않도록, 수평 막대가 제공된 웨이퍼 카세트(210)의 벽 내에 형성된 함몰부 내에 위치될 수 있다. 수평 막대는 도 4에 도시되어 있고, 이하에서 더 구체적으로 설명된다.
카세트 유지부(214)는 도 1에 도시되고 전술된 카세트 유지부(100)일 수 있다. 웨이퍼 컨테이너(200) 내에서, 제1 카세트 접촉부(216) 및 제2 카세트 접촉부(218)는 도어(208)의 평면 내의 수평 막대의 양 측면에서 웨이퍼 카세트(210)와 접촉된다. 실시형태에서, 제1 카세트 접촉부(216) 및 제2 카세트 접촉부(218)는 웨이퍼 카세트(210)의 핸들(212)의 대향 측면들 상에 있을 수 있다. 실시형태에서, 장착 보스(220)는 포드(202) 내에 형성된 하나 이상의 장착 특징부(미도시)와 기계적으로 인터페이스한다. 카세트 유지부(214)는, 장착 보스(220)와 장착 특징부의 인터페이스에 의해서, 포드(202)에 대해서 제 위치에서 유지될 수 있다. 웨이퍼 컨테이너(200)가 조립될 때, 정지부(222)는 일반적인 조건 하에서 간극에 의해서 포드(202)의 내측으로부터 이격될 수 있고, 정지부(222)는, 웨이퍼 컨테이너(200)가 기계적 충격에 노출될 때와 같이, 프레임(224) 및/또는 스프링(226)이 휘어질 때 포드의 내측에 접촉될 수 있다. 정지부(222)가 포드(202)와 접촉할 때, 정지부는 제1 카세트 접촉부(216) 및/또는 제2 카세트 접촉부(218)의 추가적인 이동을 방지하여, 웨이퍼 카세트(210)의 추가적인 이동을 제한할 수 있다.
웨이퍼 컨테이너(200)가 조립될 때, 제1 및 제2 카세트 접촉부(216 및 218)는 채널 및 수평 막대의 대향 측면들 상에서 도어(208)의 평면에 대해서 위치될 수 있다. 제1 및 제2 카세트 접촉부들(216 및 218) 사이의 접촉은 채널 내의 수평 막대의 움직임을 저지하는 힘을 제공할 수 있다. 카세트 유지부(214)는, 웨이퍼 컨테이너(200) 내로 설치될 때, 웨이퍼 카세트가 웨이퍼 컨테이너(200) 내의 그 적절한 위치로부터 이탈할 수 있는 가능성을 줄일 수 있다. 실시형태에서, 카세트 접촉부(216 및 218)의 각각은 돔 형상을 갖는다. 돔 형상은 각각의 카세트 접촉부(216 및 218) 사이의 접촉 지점을 줄일 수 있다. 돔 형상은 카세트와 접촉하는 날카로운 지점에 대비되는 롤링 접촉을 더 제공할 수 있다.
도 3은 실시형태에 따른 웨이퍼 카세트, 웨이퍼 컨테이너 도어, 및 카세트 유지부의 상면도를 도시한다. 카세트 유지부(300)는 웨이퍼 카세트(302) 위에 제공된다. 웨이퍼 카세트는 이어서 웨이퍼 컨테이너 도어(304) 상에 놓인다.
카세트 유지부(300)는, 도 1 및 도 2에서 각각 도시되고 전술된 카세트 유지부(100) 또는 카세트 유지부(214)와 같은, 실시형태에 따른 카세트 유지부이다. 도 3의 상면도에서, 제1 카세트 접촉부(306) 및 제2 카세트 접촉부(308)는 프레임(310)의 길이방향(L)으로 이격된 것으로 확인될 수 있다. 프레임(310)은, 웨이퍼 카세트(302)의 핸들(318)을 둘러싸도록, 성형될 수 있다. 장착 보스(312)가 프레임(310)의 상단 측면 상에 제공된다. 장착 보스(312)는, 웨이퍼 컨테이너 내의 포드와 결합될 수 있도록, 프레임(310)으로부터 위쪽으로 연장된다. 정지부(314)는 제1 카세트 접촉부(306) 및 제2 카세트 접촉부(308)의 각각에 위치된다. 제2 카세트 접촉부(308)는 스프링(316)에 의해서 프레임(310)에 결합된다.
웨이퍼 카세트(302)는, 전술되고 도 2에 도시된 웨이퍼 카세트(210)와 같은 웨이퍼 카세트이다. 웨이퍼 카세트(302)는 웨이퍼 카세트(302)의 상단 표면 상에 제공된 핸들(318)을 포함한다. 웨이퍼 카세트(302)는, 도 3의 상면도에서 보이지 않는, 전술되고 도 4에 도시된 수평 막대와 같은, 수평 막대를 포함한다. 수평 라인(H)은 웨이퍼 카세트(302)의 수평 막대의 중심 라인에 상응한다. 확인될 수 있는 바와 같이, 제1 카세트 접촉부(306) 및 제2 카세트 접촉부(308)가 수평 라인(H)의 대향 측면들 상에 위치되도록, 길이방향(L)을 따른 제1 카세트 접촉부(306) 및 제2 카세트 접촉부(308)의 간격 및 배치가 결정된다.
웨이퍼 컨테이너 도어(304)는 웨이퍼 카세트(302) 아래에 있다. 웨이퍼 컨테이너 도어(304)는, 도 2에 도시된 그리고 전술된 웨이퍼 컨테이너(200)를 위한 도어(208)와 같은, 웨이퍼 컨테이너를 폐쇄하기 위한 임의의 적합한 도어일 수 있다. 웨이퍼 카세트(302)가 위에 놓여 있는 동안 웨이퍼 컨테이너 도어(304)가 상면도에서 여전히 보일 수 있는 것으로 확인될 수 있는 바와 같이, 웨이퍼 컨테이너 도어는 웨이퍼 카세트(302)의 풋프린트보다 큰 크기를 갖는다. 웨이퍼 컨테이너 도어는, 전술된 그리고 도 2에 도시된 포드(202)와 같은 포드의 개방 단부를 폐쇄하기 위한 크기를 갖는다.
카세트 유지부(300), 웨이퍼 카세트(302), 및 웨이퍼 컨테이너 도어(304)의 조합이 전술된 그리고 도 2에 도시된 포드(202)와 같은 포드와 조립되어, 완전한 웨이퍼 컨테이너를 형성할 수 있다. 카세트 유지부(300)의 장착 보스(312)는 그러한 포드의 장착 특징부와 기계적으로 인터페이스할 수 있고, 충격이 결과적인 웨이퍼 컨테이너에 인가될 때 정지부(314)가 포드와 접촉할 수 있다.
도 4는 실시형태에 따른 웨이퍼 컨테이너의 도어, 웨이퍼 카세트, 및 카세트 유지부의 단면도를 도시한다. 도 4의 단면도는 카세트 유지부(400), 수평 막대(404)를 포함하는 웨이퍼 카세트(402), 및 채널(408)을 포함하는 도어(406)를 포함한다.
카세트 유지부(400)는 제1 카세트 접촉부(410), 제2 카세트 접촉부(412), 프레임(414), 장착 보스(416), 및 정지부(418)를 포함한다. 카세트 유지부(400)는 예를 들어 도 1 내지 도 3에 도시되고 전술된 카세트 유지부(100, 214, 또는 300) 중 임의의 것일 수 있다. 제1 카세트 접촉부(410) 및 제2 카세트 접촉부(412)가 웨이퍼 카세트(402)와 접촉되어, 웨이퍼 컨테이너 내의 웨이퍼 카세트의 이동을 제한한다. 프레임(414)이 카세트 유지부(400)의 요소와 결합된다. 예를 들어 카세트 유지부를 고정하고 배치하기 위해서, 카세트 유지부가 웨이퍼 컨테이너의 포드와 결합될 수 있도록, 장착 보스(416)가 제공된다. 정지부(418)는, 예를 들어 제1 및 제2 카세트 접촉부(410 및 412) 중 하나 또는 둘 모두의 편향의 최대 양에서 정지를 설정하기 위해서, 제1 및 제2 카세트 접촉부(410 및 412)의 수직 이동을 제한할 수 있다.
웨이퍼 카세트(402)는 하나 이상의 웨이퍼를 저장하기 위한 내부 공간을 형성한다. 웨이퍼 카세트(402)는 웨이퍼 지지부(420)를 포함하고, 각각의 웨이퍼 지지부는 내부 공간 내로 연장되어 웨이퍼를 웨이퍼 카세트(402) 내에서 적어도 부분적으로 지지하도록 구성된다. 핸들(422)이, 도어(406)에 대면되는 측면에 대향되는 측면에서, 웨이퍼 카세트(402)의 본체 위에서 연장된다.
웨이퍼 카세트(402)는 도어(406)에 대면되는 측면에 형성된 수평 막대(404)를 포함한다. 수평 막대(404)는 웨이퍼 카세트(402)의 표면으로부터 도어(406)를 향해서 수직 방향으로 연장된다. 실시형태에서, 수평 막대(404)는, 도어(406)와 또한 접촉하는 웨이퍼 카세트(402)의 다른 표면보다 더 돌출하지 않도록, 도어(406)에 대면되는 웨이퍼 카세트(402)의 측면 내의 오목부(424) 내에 제공된다. 실시형태에서, 수평 막대(404)는 도어(406) 내에 형성된 채널(408) 내에 수용된다. 도 4에서, 수평 막대(404)의 중심 라인은 참조를 위해서 수직 라인(H)으로 도시되어 있다. 확인될 수 있는 바와 같이, 제1 카세트 접촉부(410) 및 제2 카세트 접촉부(412)는, 이들이 수평 막대(404)의 중심 라인의 대향 측면들 상에 위치되도록, 이격되고 배치된다. 실시형태에서, 제1 카세트 접촉부(410) 및 제2 카세트 접촉부(412)는, 이들이 각각 수평 막대(404)의 일부 위에 있지 않도록 그리고 전체 수평 막대(404)의 대향 측면들 상에 있도록, 완전히 오프셋될 수 있다.
도어(406)는 웨이퍼 카세트(402)를 지지한다. 도어(406)는, 도 2에 도시된 그리고 전술된 웨이퍼 컨테이너(200)를 위한 도어(208) 또는 도 3에 도시된 그리고 전술된 도어(304)와 같은, 웨이퍼 컨테이너를 폐쇄하기 위한 임의의 적합한 도어일 수 있다. 채널(408)은 도어(406) 내에 형성된다. 채널(408)은 도어(406)에 제공된 홈, 채널, 또는 오목부일 수 있고, 수평 막대(404)의 적어도 일부를 수용할 수 있다. 채널(408)은, 도어(406)가 웨이퍼 컨테이너 내로 조립될 때 내부 공간에 대면되는 도어(406)의 측면으로부터 위쪽으로 연장되는 상승 측면에 의해서 형성될 수 있다. 채널(408)은, 예를 들어, 채널(408) 내에 수용되는 수평 막대를 통해서 웨이퍼 카세트(402)의 배치 및 고정을 보조할 수 있다. 실시형태에서, 제1 카세트 접촉부(410) 및 제2 카세트 접촉부(412)는 도어(406)의 평면 내에서 채널(408)의 대향 측면들 상에 위치될 수 있다.
도 5a는 실시형태에 따른 웨이퍼 컨테이너의 포드의 저면도를 도시한다. 포드(500)의 저면도에서, 포드의 내측부(502)에 대면되는 폐쇄 단부의 측면을 확인할 수 있다. 장착 특징부(504)가 포드의 내측부(502)에 대면되는 폐쇄 단부의 측면 상의 미리 규정된 지점에 제공된다. 장착 특징부(504)는 전술된 그리고 도 1 내지 도 4에 도시된 장착 보스(110, 220, 312, 또는 416)와 같은 장착 보스와 결합되기 위한 임의의 적합한 기계적 인터페이스일 수 있다. 실시형태에서, 장착 특징부(504)는, 장착 보스가 삽입될 때 압입을 제공하면서 장착 보스를 수용하기 위한 크기의, 드릴링된 홀과 같은, 홀이다. 도 5b는, 실시형태에 따른, 도 5a에 도시된 웨이퍼 컨테이너의 포드(500) 및 카세트 유지부의 저면도를 도시한다. 카세트 유지부(506) 상의 장착 보스(미도시)가 장착 특징부와 정렬되도록 그리고 장착 보스와 장착 특징부가 기계적으로 인터페이스하여 카세트 유지부(506)를 포드(500)에 대해서 정렬시키고 유지시키도록, 카세트 유지부(506)는 도 5a에서 볼 수 있는 장착 특징부(504)의 위치에 상응하도록 성형된다. 장착 보스는 예를 들어 전술된 그리고 도 1 내지 도 4에 도시된 장착 보스(110, 220, 312, 또는 416)일 수 있다.
도 6은 실시형태에 따른 웨이퍼 컨테이너의 도어의 상면도를 도시한다. 도어(600)는, 2개의 대향되는 돌출부(604)의 쌍에 의해서 형성된, 쇄선으로 도시된, 채널(602)을 포함한다. 채널(602)은, 전술된 임의의 수평 막대 및 도 4에 도시된 수평 막대(404)와 같은, 웨이퍼 카세트 내에 포함되는 수평 막대를 수용하기 위한 크기를 가질 수 있다. 도 6은, 수평 막대가 내부에서 유지될 수 있게 하는 각각의 쌍 사이의 공간을 제공하는 것에 의해서, 채널(602)을 형성하는 2개의 대향되는 돌출부(604)의 쌍을 도시한다. 그러나, 채널(602)은, 부가적인 돌출부의 쌍, 연속적인 돌출부의 하나의 쌍, 또는 기타와 같은, 임의의 적합한 물리적 구조물에 의해서 형성될 수 있다.
양태:
양태 1 내지 양태 4 중 임의의 양태가 양태 5 내지 양태 10 중 임의의 양태와 조합될 수 있다는 것이 이해될 것이다.
양태 1. 카세트 유지부이며:
프레임;
상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제1 카세트 접촉부; 및
상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제2 카세트 접촉부를 포함하고;
상기 제1 카세트 접촉부는 상기 프레임의 길이방향으로 상기 제2 카세트 접촉부로부터 이격되는, 카세트 유지부.
양태 2. 양태 1에 있어서, 복수의 장착 보스를 더 포함하고, 각각의 장착 보스는, 상기 제1 측면에 대향되는, 상기 카세트 유지부의 제2 측면에서 수직 방향으로 연장되는, 카세트 유지부.
양태 3. 양태 1 또는 양태 2에 있어서, 상기 제1 카세트 접촉부 및 제2 카세트 접촉부의 각각은, 상기 제1 측면에 대향되는, 상기 카세트 유지부의 제2 측면 상에서 수직 방향으로 연장되는 하나 이상의 정지부를 각각 포함하고, 상기 하나 이상의 정지부의 각각은 상기 제1 카세트 접촉부 또는 제2 카세트 접촉부 중 하나 상에 배치되는, 카세트 유지부.
양태 4. 양태 1 내지 양태 3 중 어느 한 양태에 있어서, 상기 제2 카세트 접촉부를 상기 프레임에 연결하는 스프링을 더 포함하고, 상기 스프링은 상기 프레임에 대한 상기 제2 카세트 접촉부의 수직 이동을 허용하도록 구성되는, 카세트 유지부.
양태 5. 웨이퍼 컨테이너이며:
하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부, 상기 하나 이상의 측벽 및 폐쇄 단부에 의해서 형성된 내부 공간, 및 개방 단부를 포함하는 포드
상기 포드의 개방 단부를 폐쇄하도록 구성되고, 채널을 포함하는 도어;
상기 도어의 채널 내에 수용되도록 구성된 막대를 포함하는 웨이퍼 카세트; 및
카세트 유지부이며:
프레임;
상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제1 카세트 접촉부; 및
상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제2 카세트 접촉부를 포함하는, 카세트 유지부를 포함하고;
상기 웨이퍼 카세트 및 상기 카세트 유지부가 상기 내부 공간 내에 위치되고 상기 도어가 개방 단부를 폐쇄할 때, 상기 제1 카세트 접촉부 및 제2 카세트 접촉부는, 상기 도어의 평면 내에서, 상기 막대의 대향 측면들 상에서 상기 웨이퍼 카세트와 접촉되는, 웨이퍼 컨테이너.
양태 6. 양태 5에 있어서, 상기 내부 공간에 대면되는 상기 폐쇄 단부의 측면은 복수의 장착 특징부를 포함하고, 상기 카세트 유지부는, 상기 장착 특징부의 적어도 하나와 결합되도록 각각 구성되는, 복수의 장착 보스를 포함하는, 웨이퍼 컨테이너.
양태 7. 양태 6에 있어서, 상기 복수의 장착 특징부의 각각은 상기 내부 공간에 대면되는 상기 폐쇄 단부의 측면 내에 형성된 홀인, 웨이퍼 컨테이너.
양태 8. 양태 5 내지 양태 7 중 어느 한 양태에 있어서, 상기 카세트 유지부는, 상기 웨이퍼 카세트 및 상기 카세트 유지부가 상기 내부 공간 내에 위치되고 상기 도어가 상기 개방 단부를 폐쇄할 때 상기 내부 공간에 대면되는 폐쇄 단부의 측면을 향해서 연장되도록 구성된 복수의 정지부를 포함하고, 상기 복수의 정지부의 각각은 상기 제1 카세트 접촉부 또는 제2 카세트 접촉부 중 하나 상에 배치되는, 웨이퍼 컨테이너.
양태 9. 양태 5 내지 양태 8 중 어느 한 양태에 있어서, 상기 제2 카세트 접촉부를 상기 프레임에 연결하는 스프링을 더 포함하고, 상기 스프링은 상기 프레임에 대한 상기 제2 카세트 접촉부의 수직 이동을 허용하도록 구성되는, 웨이퍼 컨테이너.
양태 10. 양태 5 내지 양태 9 중 어느 한 양태에 있어서, 상기 웨이퍼 컨테이너가 표준 기계 인터페이스(SMIF) 포드인, 웨이퍼 컨테이너.
본원에서 개시된 예는 모든 측면에서 예시적인 것으로 그리고 제한적이지 않은 것으로 간주된다. 그에 따라, 본 발명의 범위는, 전술한 설명이 아니라, 첨부된 청구항에 의해서 결정되고, 청구항의 의미 내의 그리고 균등론 범위 내의 모든 변화가 그에 따라 포함될 것이다.

Claims (10)

  1. 카세트 유지부이며:
    프레임;
    상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제1 카세트 접촉부; 및
    상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제2 카세트 접촉부를 포함하고;
    상기 제1 카세트 접촉부는 상기 프레임의 길이방향으로 상기 제2 카세트 접촉부로부터 이격되는, 카세트 유지부.
  2. 제1항에 있어서,
    복수의 장착 보스를 더 포함하고, 각각의 장착 보스는, 상기 제1 측면에 대향되는, 상기 카세트 유지부의 제2 측면에서 수직 방향으로 연장되는, 카세트 유지부.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 카세트 접촉부 및 제2 카세트 접촉부의 각각은, 상기 제1 측면에 대향되는, 상기 카세트 유지부의 제2 측면 상에서 수직 방향으로 연장되는 하나 이상의 정지부를 각각 포함하고, 상기 하나 이상의 정지부의 각각은 상기 제1 카세트 접촉부 또는 제2 카세트 접촉부 중 하나 상에 배치되는, 카세트 유지부.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제2 카세트 접촉부를 상기 프레임에 연결하는 스프링을 더 포함하고, 상기 스프링은 상기 프레임에 대한 상기 제2 카세트 접촉부의 수직 이동을 허용하도록 구성되는, 카세트 유지부.
  5. 웨이퍼 컨테이너이며:
    하나 이상의 측벽, 폐쇄 단부, 상기 하나 이상의 측벽 및 폐쇄 단부에 의해서 형성된 내부 공간, 및 개방 단부를 포함하는 포드
    상기 포드의 개방 단부를 폐쇄하도록 구성되고, 채널을 포함하는 도어;
    상기 도어의 채널 내에 수용되도록 구성된 막대를 포함하는 웨이퍼 카세트; 및
    카세트 유지부로서:
    프레임;
    상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제1 카세트 접촉부; 및
    상기 프레임의 제1 측면 상에서 수직 방향으로 상기 프레임으로부터 연장되는 제2 카세트 접촉부를 포함하는, 카세트 유지부를 포함하고;
    상기 웨이퍼 카세트 및 상기 카세트 유지부가 상기 내부 공간 내에 위치되고 상기 도어가 개방 단부를 폐쇄할 때, 상기 제1 카세트 접촉부 및 제2 카세트 접촉부는, 상기 도어의 평면 내에서, 상기 막대의 대향 측면들 상에서 상기 웨이퍼 카세트와 접촉되는, 웨이퍼 컨테이너.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 내부 공간에 대면되는 상기 폐쇄 단부의 측면은 복수의 장착 특징부를 포함하고, 상기 카세트 유지부는, 상기 장착 특징부 중 적어도 하나와 결합되도록 각각 구성되는, 복수의 장착 보스를 포함하는, 웨이퍼 컨테이너.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 복수의 장착 특징부의 각각은 상기 내부 공간에 대면되는 상기 폐쇄 단부의 측면 내에 형성된 홀인, 웨이퍼 컨테이너.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 카세트 유지부는, 상기 웨이퍼 카세트 및 상기 카세트 유지부가 상기 내부 공간 내에 위치되고 상기 도어가 상기 개방 단부를 폐쇄할 때 상기 내부 공간에 대면되는 폐쇄 단부의 측면을 향해서 연장되도록 구성된 복수의 정지부를 포함하고, 상기 복수의 정지부의 각각은 상기 제1 카세트 접촉부 또는 제2 카세트 접촉부 중 하나 상에 배치되는, 웨이퍼 컨테이너.
  9. 제5항에 있어서,
    상기 제2 카세트 접촉부를 상기 프레임에 연결하는 스프링을 더 포함하고, 상기 스프링은 상기 프레임에 대한 상기 제2 카세트 접촉부의 수직 이동을 허용하도록 구성되는, 웨이퍼 컨테이너.
  10. 제5항에 있어서,
    상기 웨이퍼 컨테이너는 표준 기계 인터페이스(SMIF) 포드인, 웨이퍼 컨테이너.
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