KR20230037443A - 유기 발광장치, 그것을 갖는 표시장치, 전자기기, 및 유기 발광장치의 제조방법 - Google Patents

유기 발광장치, 그것을 갖는 표시장치, 전자기기, 및 유기 발광장치의 제조방법 Download PDF

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요시히사 카와무라
유토 노자키
유우키 쿠마가에
코타로 아부카와
쿠니히토 이데
준 카마타니
사토루 시오바라
노부히코 사토
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캐논 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은, 절연층과, 절연층의 주면 위에 배치된 유기 발광 소자와, 유기 발광 소자를 덮고, 제1 파장을 갖는 빛을 투과하는 제1 칼라 필터와, 제1 파장과 다른 제2 파장을 갖는 빛을 투과하는 제2 칼라 필터를 갖는 칼라 필터층를 갖고, 칼라 필터층에 함유되는 질소 원자와 수산기를 갖는 유기 알칼리의 농도가 108.2ng/㎠ 미만인 유기 발광장치이다.

Description

유기 발광장치, 그것을 갖는 표시장치, 전자기기, 및 유기 발광장치의 제조방법{ORGANIC LIGHT-EMITTING DEVICE, DISPLAY APPARATUS INCLUDING THE SAME, ELECTRONIC APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC LIGHT-EMITTING DEVICE}
본 발명은, 유기 발광장치, 그것을 갖는 표시장치, 전자기기, 및 유기 발광장치의 제조방법에 관한 것이다.
최근, 플랫 패널 디스플레이로서, 자발광형 디바이스인 유기 발광 소자를 구비한 유기 발광 표시장치가 주목을 받고 있다. 유기 발광 소자는, 발광층을 포함하는 유기층을 갖는 발광 소자이다. 유기 발광 소자에 관해, 화소에 따라 다른 색을 발생하는 타입과, 백색 광을 발광해서 칼라 필터를 사용하여 분광하는 타입이 알려져 있다.
공지된 칼라 필터로는, 온글래스 칼라 필터와 온칩 칼라 필터를 들 수 있다. 온글래스 칼라 필터에 대해서는, 유기 발광 소자가 형성되어 있는 기판과는 다른 기판 위에 칼라 필터가 형성되고, 형성후에, 유기 발광 소자가 형성되어 있는 기판에 부착된다. 한편, 온칩 칼라 필터에 대해서는, 형성된 유기 발광 소자 위에 칼라 필터가 형성된다.
일본국 특개 2020-113494호 공보에는, 감광성 수지를 노광하고 알칼리 현상액을 사용하여 이 수지층의 미노광 부분을 제거하는 단계를 포함하는 칼라 필터 형성공정이 기재되어 있다.
일본국 특개 2020-113494호 공보에 기재된 유기 발광장치에는 온칩 칼라 필터가 형성되어 있다.
그러나, 유기 발광 소자는 무기층으로 구성되는 소자보다도 낮은 열내성을 갖기 때문에, 무기층에 대한 조건보다도 저온에서 형성된다. 저온에서 형성되는 칼라 필터에는, 무기층을 형성하는 동안 고온에서는 분해되는 현상액이 잔존한다. 이와 같은 성분이 잔존하는 온칩 칼라 필터를 갖는 유기 발광장치의 신뢰성이 이 성분으로 인해 저하한다.
본 발명은, 상기한 과제를 감안해서 이루어진 것으로, 현상액에 포함되어 있는 성분을 저감함으로써 신뢰성이 높은 유기 발광장치를 제공한다.
본 발명은, 절연층과, 상기 절연층의 주면 위에 배치된 유기 발광 소자와, 상기 유기 발광 소자를 덮고, 제1 파장을 갖는 빛을 투과하는 제1 칼라 필터와 상기 제1 파장과 다른 제2 파장을 갖는 빛을 투과하는 제2 칼라 필터를 갖는 칼라 필터층을 갖고, 상기 제1 칼라 필터 및 상기 제2 칼라 필터 각각은, 상기 제1 유기 발광 소자 및 상기 제2 유기 발광 소자 각각을 향하는 제1면과, 상기 제1면과 반대측의 제2면을 갖고, 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1 칼라 필터의 상기 제1면으로부터 상기 절연층까지의 거리와, 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제2 칼라 필터의 상기 제1면으로부터 상기 절연층까지의 거리의 차이가, 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1 칼라 필터의 상기 제2면으로부터 상기 절연층까지의 거리와, 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제2 칼라 필터의 상기 제2면으로부터 상기 절연층까지의 거리의 차이보다도 작고, 상기 칼라 필터층에 함유되는 질소 원자와 수산기를 갖는 유기 알칼리의 농도가 108.2ng/㎠ 미만인 유기 발광장치를 제공한다.
본 발명의 또 다른 특징은 첨부도면을 참조하는 이하의 실시형태의 설명으로부터 명백해질 것이다.
도1a는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 온글래스 칼라 필터를 구비한 관련기술의 유기 발광장치의 단면 모식도다. 도1b는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 유기 발광장치의 단면 모식도다. 도1c는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 유기 발광장치의 모식도다.
도2는 칼라 필터의 TMAH 농도와 결함 수의 관계를 나타낸 그래프다.
도3a 내지 도3d는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유기 발광장치의 단면 모식도다.
도4a는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 유기 발광장치의 녹색 필터를 제조하는 단계를 도시한 개략도다. 도4b는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 유기 발광 소자의 청색 필터를 형성하는 단계를 도시한 개략도다. 도4c는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 유기 발광 소자의 적색 필터를 형성하는 단계를 도시한 개략도다. 도4d는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 유기 발광장치의 비제한적인 일례를 나타낸 평면도다.
도5는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 표시장치의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다.
도6a는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 촬상장치의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다. 도6b는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 전자기기의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다.
도7a는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 표시장치의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다. 도7b는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 절곡 가능한 표시장치의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다.
도8a는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 조명장치의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다. 도8b는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 차량용 조명기구를 갖는 자동차의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다.
도9a는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 웨어러블 디바이스의 비제한적인 일례를 나타낸 모식도다. 도9b는 본 발명의 적어도 일 실시형태에 따른 웨어러블 디바이스의 비제한적인 일례인 촬상장치를 갖는 형태를 나타낸 모식도다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 유기 발광장치는, 절연층과, 상기 절연층의 주면 위에 배치된 제1 유기 발광 소자 및 제2 유기 발광 소자와, 상기 제1 유기 발광 소자 위에 평면 뷰에 있어서 중첩하고 제1 파장을 갖는 빛을 투과하는 제1 칼라 필터와 상기 제2 유기 발광 소자 위에 중첩하고 상기 제1 파장과 다른 제2 파장을 갖는 빛을 투과하는 제2 칼라 필터를 갖는 칼라 필터층을 갖고, 상기 제1 칼라 필터 및 상기 제2 칼라 필터 각각은, 상기 제1 유기 발광 소자 및 상기 제2 유기 발광 소자 각각을 향하는 제1면과 상기 제1면과 반대측의 제2면을 갖고, 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1 칼라 필터의 상기 제1면으로부터 상기 절연층까지의 거리와 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제2 칼라 필터의 상기 제1면으로부터 상기 절연층까지의 거리의 차이가, 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1 칼라 필터의 상기 제2면으로부터 상기 절연층까지의 거리와 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제2 칼라 필터의 상기 제2면으로부터 상기 절연층까지의 거리의 차이보다도 작고, 상기 칼라 필터층에 함유되는 질소 원자와 수산기를 갖는 유기 알칼리의 농도가 108.2ng/㎠ 미만이다. 유기 알칼리의 농도는 40ng/㎠ 이하이고, 더구나 옵션으로 10ng/㎠ 이하이다.
이 농도는 0.08ng/㎠ 이상이거나 0.01ng/㎠ 이상이어도 된다.
열분해되지 않는 유기 알칼리가 제거단계 만으로 제거되는 것에 한정되지 않으므로, 유기 알칼리의 농도는 0ng/㎠보다 많아도 된다.
유기 발광장치 위에서 형성되는 온칩 칼라 필터에 관해, 각각의 유기 발광 소자를 향하는 색의 면들이 서로 수평을 이룬다. 즉, 칼라 필터층은, 제1 파장을 갖는 빛을 투과하는 제1 칼라 필터와, 제1 파장과 다른 제2 파장을 갖는 빛을 투과하는 제2 칼라 필터를 갖는다. 제1 칼라 필터 및 제2 칼라 필터 각각은, 유기 발광 소자를 향하는 제1면과, 제1면과 반대측의 제2면을 갖는다.
절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 제1 칼라 필터의 제1면으로부터 절연층까지의 거리와 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 제2 칼라 필터의 제1면으로부터 절연층까지의 거리의 차이가, 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 제1 칼라 필터의 제2면으로부터 절연층까지의 거리와 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 제2 칼라 필터의 제2면으로부터 절연층까지의 거리의 차이보다도 작다.
적색, 녹색 및 청색의 칼라 필터층을 갖는 경우, 모든 색의 유기 발광 소자를 향하고 있는 제1면은 기본적으로 동일한 높이에 배치되는 반면에, 각 색의 각각의 제1 면과 반대측의 제2면은 서로 다른 높이에 배치된다. 이것은, 온칩 칼라 필터에서는, 각 색의 칼라 필터의 제2면의 높이가 서로 다르기 때문이다. 온칩 칼라 필터에 관해서는, 유기 발광 소자 위에, 예를 들면, 녹색, 청색 및 적색 순으로 칼라 필터가 형성되기 때문에, 순서가 생긴다. 이와 같은 경우, 제2면은, 녹색, 청색 및 적색의 절연층에 대해 근접이 줄어드는 순서로 배치된다. 온글래스 칼라 필터에 있어서는, 칼라 필터의 제1면이 아니라, 칼라 필터의 제2면이 각각 같은 위치에 배치되어 있다.
제2 칼라 필터는 평면 뷰에 있어서 제1 칼라 필터의 옆에 배치되어도 된다. 평면 뷰는 절연층의 주면에 수직한 지점에서의 뷰를 의미한다.
제1 칼라 필터 및 제2 칼라 필터와 다른 제3 칼라 필터가 평면 뷰에 있어서 제1 칼라 필터 및 제2 칼라 필터의 옆에 배치되어도 된다. "옆"에 관해, 각 칼라 필터가 서로 직접적으로 접하거나, 블랙 매트릭스를 개재하여 서로 접해도 된다.
유기 발광 소자는, 기판측으로부터 제1전극, 유기층 및 제2전극을 갖는다. 제1 유기 발광 소자가 제1 칼라 필터 위에 평면 뷰에 있어서 중첩하는 것은, 제1전극이 제1 칼라 필터 위에 중첩하는 것과 일치한다. 다른 유기 발광 소자에 대한 중첩도 마찬가지이다. 유기 발광 소자는, 제1전극을 이 제1전극에 인접하는 다른 제1전극으로부터 분리하는 화소 분리층을 가져도 된다. 유기층 및 제2전극은 복수의 유기 발광 소자에 의해 공유되어도 된다.
이하, 첨부도면을 참조해서 본 발명을 실시하기 위한 실시형태를 설명한다.
제1실시형태
도1a는, 온글래스 칼라 필터를 구비한 관련기술의 유기 발광장치를 나타낸 단면 모식도다. 이 표시장치는 유기 발광 디스플레이로서 사용된다. 기판(10) 위에 형성된 구동회로층(11), 복수의 유기 발광 소자를 포함하는 OLED층(12), 보호층(13), 제1수지층(14), 칼라 필터층(15), 제2수지층(16) 및 커버 글래스(17)가 도시되어 있다.
칼라 필터층은, 녹색 필터(15a), 청색 필터(15b) 및 적색 필터(15c)로 구성되어 있다. 칼라 필터층은 다른 색을 투과하는 필터로 구성되어도 된다. 칼라 필터층은, 제1 파장을 갖는 빛을 투과하는 칼라 필터와, 제1 파장과는 다른 제2 파장을 갖는 빛을 투과하는 칼라 필터와, 제1 파장 및 제2 파장과는 다른 제3 파장을 갖는 빛을 투과하는 칼라 필터를 갖는다. 도1a에 있어서는 일례로서 녹색 필터(15a), 청색 필터(15b) 및 적색 필터(15c)가 도시되어 있다. 칼라 필터는, 기판측의 제1면과, 제1면과 반대측인 제2면을 갖는다. 도1a에 있어서는, 칼라 필터층이 온글래스 칼라 필터이므로, 녹색 필터, 청색 필터 및 적색 필터의 제1면은 서로 수평을 이루지 않고, 녹색 필터, 청색 필터 및 적색 필터의 제2면이 서로 수평을 이루고 있다. 즉, 기판의 주면에 수직한 방향에 있어서 제1 칼라 필터의 제1면으로부터 기판까지의 거리와 제2 칼라 필터의 제1면으로부터 기판까지의 거리의 차이가, 기판의 주면에 수직한 방향에 있어서 제1 칼라 필터의 제2면으로부터 기판까지의 거리와 제2 칼라 필터의 제2면으로부터 기판까지의 거리의 차이보다도 크다. 칼라 필터층은 다른 기판 위에 제조한 후에 부착되기 때문에, 이와 같은 두께 관계가 적용된다.
기판이 OLED층을 갖지 않기 때문에, 칼라 필터층의 형성공정중에, OLED층의 유기 화합물에의 영향을 고려하지 않고, 가열단계를 행할 수 있다. 그 결과, 칼라 필터층을 패터닝하는데 사용되는 현상액의 성분이 열분해되어, 칼라 필터층에는 실질적으로 잔존하지 않는다.
구동회로층은, 절연층 내부에 트랜지스터가 배치된 층이며, 절연층은 무기 재료 또는 유기 재료이어도 된다. 구동회로층은, 도면에 도시하지는 않지만, 트랜지스터 및 용량을 포함하여도 되고, 트랜지스터는 스위칭 트랜지스터이거나, 전류량을 제어해서 유기 발광 소자의 휘도를 제어하는 트랜지스터이어도 된다.
OLED층(12)은, 복수의 유기 발광 소자를 포함한다. 유기 발광 소자는, 기판측으로부터 제1전극, 유기층 및 제2전극을 갖는다. 유기 화합물층은, 예를 들면, 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층이 적층된 구성을 가져도 된다. 또한, OLED층(12)은, 발광층의 구성 재료에 따라 발광 색을 변화시킬 수 있다. 발광 색은, 예를 들면, 백색, 혹은 특정한 파장 영역의 빛을 발광할 수 있다.
보호층(13)은, 유기 발광 소자를 보호하는 층이며, 예를 들면, 질화 실리콘 등의 무기 재료로 구성될 수 있다. 보호층은, 수분, 산소 등을 투과하지 않는 것이 좋지만, 완전한 보호 성능이 요구되지 않기 때문에, 보호층은 투습성을 가져도 된다. 이와 관련하여, 유기 발광장치가 플렉시블, 폴더블, 또는 스트레처블 형태를 갖는 경우, 보호층의 투습성을 증가해도 된다.
제1수지층(14)은, 예를 들어, 칼라 필터층을 형성할 면을 평탄화할 목적으로 설치되고, 예를 들면, 아크릴 수지 등의 유기 재료로 구성되어도 된다. 제1수지층은 목적을 고려하여 평탄화층으로 불려도 된다.
칼라 필터층(15)은, 유기 발광 소자로부터 발생된 빛의 일부를 흡수하고, 빛의 일부를 투과한다. 예를 들면, 적색광 이외의 빛을 흡수하고 적색광을 투과함으로써, 백색광으로부터 적색광을 분광할 수 있다. 칼라 필터층은 안료를 포함하는 유기 재료로 구성되어도 된다.
제2수지층(16)은, 예를 들어, 칼라 필터층 위에 형성하는 부재가 형성될 면을 평탄화할 목적으로 배치되어도 되고, 제1수지층과 마찬가지로 유기 재료로 구성되어도 된다. 제2 수지층은, 유기 발광장치의 구성에 따라서는, 설치되는 것에 한정되지 않는다.
커버 글래스(17)는, 유기 발광장치를 외부의 충격으로부터 보호하기 위한 보호부재다. 글래스를 사용하거나, 부재가 빛을 투과한다면, 다른 부재를 사용해도 된다.
도1b는, 본 발명의 일 실시형태에 따른 유기 발광장치를 나타낸 단면 모식도다. 도1a와는 달리, 온칩 칼라 필터를 구비하기 때문에, 칼라 필터의 제1면이 서로 수평을 이루고, 제2면이 서로 수평을 이루고 있지 않다. 바꿔 말하면, 기판의 주면에 수직한 방향에 있어서 제1 칼라 필터의 제1면d로부터 기판까지의 거리와 제2 칼라 필터의 제1면으로부터 기판까지의 거리의 차이는, 기판의 주면에 수직한 방향에 있어서 제1 칼라 필터의 제2면으로부터 기판까지의 거리와 제2 칼라 필터의 제2면으로부터 기판까지의 거리의 차이보다도 작다.
기판의 주면에 수직한 방향에 있어서 제1 칼라 필터의 제1면으로부터 기판까지의 거리와 제2 칼라 필터의 제1면으로부터 기판까지의 거리의 차이는 실질적으로 0이어도 된다.
온칩 칼라 필터에 대해서는 고온의 가열단계가 포함되지 않기 때문에, 칼라 필터층은 100℃ 이하에서 경화되는 수지로 구성되어도 된다.
온칩 칼라 필터이기 때문에, 현상액의 성분이 열분해되는 가열단계가 포함되지 않으며, 칼라 필터층에 함유되는 질소 원자와 수산기를 갖는 유기 알칼리의 농도는 108.2ng/㎠ 미만이다. 유기 알칼리의 농도는 40ng/㎠ 이하일 수 있으며, 옵션으로 10ng/㎠ 이하일 수 있다. 또한, 이 농도는 0.08ng/㎠ 이상이거나 0.01ng/㎠ 이상이어도 된다. 유기 알칼리를 포함하는 현상액을 사용하는 상황에 있어서, 열분해되지 않은 유기 알칼리가, 유기 알칼리를 저감하는 단계만으로 제거되는 것에 한정되지 않기 때문에, 유기 알칼리의 농도는 0ng/㎠보다 많아도 된다.
유기 알칼리는, 칼라 필터층의 형성공정 중에, 유기 알칼리를 저감하는 단계에서 저감 또는 제거되어도 된다.
본 실시형태에 따르면, 온칩 칼라 필터를 구비하고 신뢰성이 높은 유기 발광장치를 제공할 수 있다. 신뢰성은, 장시간의 사용 중에 점등하지 않는 결함 등이 발생하기 어려운 것을 나타낸다.
도1c는, 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유기 발광장치를 나타낸 모식도다. 유기 발광장치로 구성되는 표시 패널(18)은 접착 수지(21)를 사용하여 커버 글래스(17)에 접착되어 있다. 접착 수지(21)로 둘러싸인 부분은 도1a 및 도1b에 나타낸 것과 같이 중공층이어도 된다. 도1c에서는, 비제한적인 일례로서 유기 발광장치의 옆쪽에 접착부재가 배치되어 있지만, 유기 발광장치 위에 접착부재가 배치되어 있어도 된다. 접착 수지는, 아크릴 수지, 에폭시 수지 등으로 구성되어도 된다.
유기 발광장치는, 발광 영역(22)과 비발광 영역(23)을 포함하고, 비발광 영역(23)에는 더미 화소가 설치되어도 된다. 또한, 비발광 영역에는 외부 회로에 접속되는 패드 전극 등이 배치되어도 된다.
도2는, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드 농도와 결함 수의 관계를 나타낸 그래프다.
온칩 칼라 필터는, OLED층 위에서 칼라 필터를 패터닝해서 형성된다. 패터닝중에는 현상액이 사용되고 있다. 이 현상액의 성분으로서 테트라메틸암모늄 하이드록사이드가 사용된다. 이하, 테트라메틸암모늄 하이드록사이드를 TMAH로 부른다. TMAH는 질소 원자와 수산기를 갖는 유기 알칼리이다.
온글래스 칼라 필터에 대해서는, 칼라 필터가 TMAH의 분해 온도보다도 고온에서 경화되므로, 칼라 필터에 TMAH가 잔존하기 어렵다. 한편, 온칩 칼라 필터는 TMAH의 분해 온도보다 낮은 온도에서 경화되므로, 유기 발광장치에 TMAH가 잔존하기 쉽다.
도2는, 본 발명을 사용하지 않는 방법으로 온칩 칼라 필터를 형성한 프로세스 A와, 본 발명에 따른 온칩 칼라 필터를 형성한 프로세스 B 및 프로세스 C에 있어서, TMAH의 농도와 결함 수의 관계를 나타낸 그래프다. 이와 관련해서, 결함은, 고온 및 고습에서의 가속 시험 중에 소정 시간의 경과 후에 유기 발광장치에 있어서 발생한 결함의 수를 나타낸다.
도2의 곡선들은, 프로세스 A 내지 C에서 제작한 웨이퍼를 개편화하고 온도 85℃ 및 습도 90%에서의 고온 및 고습 환경에서 소정 시간 동안 보관했을 때 칼라 필터층에서 발생한 결함 경향을 나타낸 것이다. 이들 개편에는 도1c에 나타낸 접착 수지나 커버 글래스가 설치되지 않았다.
도2의 횡축은 칼라 필터층의 TMAH 저감이 충분하지 않은 프로세스 A와, 칼라 필터층의 형성중에 TMAH의 저감 처리를 실시한 프로세스 B 및 프로세스 C의 TMAH 잔류량(ng/㎠)을 나타내고, 종축은 85℃ 및 90%에서 각 스토리지 시간(90h 및 250h)에 있어서의 렌즈 위에 발생한 결함의 수를 나타낸다. 즉, 프로세스 A는 비교예이며, 프로세스 B 및 프로세스 C는 본 발명에 따른 유기 발광장치의 결과를 나타낸다. 이와 관련하여, 통상의 현상 프로세스는 TMAH 저감이 충분하지 않은 프로세스와 유사한 TMAH 저감 효과를 나타낸다.
횡축의 TMAH 농도는, 각 프로세스의 처리후에 웨이퍼 위의 THAM을 추출하고, 이온 크로마토그래프법(이하 IC법으로 부른다)을 사용하여 TMAH 량을 추출해서 구하였다. 측정된 TMAH의 값으로부터 칼라 필터층의 단위 면적당의 TMAH 농도를 산출하였다.
프로세스 A에 있어서는, 각 스토리지 시간에 있어서 결함의 발생이 관찰되었다. 프로세스 B 및 프로세스 C에 있어서는 각 스토리지 시간에 발생한 결함의 수는 프로세스 A에 비해 적었다.
표 1은 각 프로세스의 결과, 잔존한 TMAH 량(ng/㎠)을 나타낸다.
TMAH 량(ng/㎠)
프로세스 A 108.2
프로세스 B 39.6
프로세스 C 12.1
TMAH의 저감 처리를 실시하고 있지 않은 프로세스 A와, TMAH의 저감 처리를 실시한 프로세스 B 및 프로세스 C의 칼라 필터층(15)에 포함되는 TMAH 잔류량(ng/㎠)의 수치값을 나타내었다.
표1에 따르면, 결함의 발생을 저감하는 TMAH 잔류량은 108.2ng/㎠ 미만, 또는 40ng/㎠ 이하이고, 더구나 옵션으로 10ng/㎠ 이하이다. 또한, TMAH의 잔류량은 검출 하한인 0.08ng/㎠ 이상이거나, 0.01ng/㎠ 이상이어도 된다. 이와 관련하여, 칼라 필터가 TMAH를 사용해서 제조되고 TMAH가 칼라 필터층에 잔존하고 있기 때문에, 이 잔류량은 0ng/㎠보다 많아도 된다.
제2실시형태
도3a는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유기 발광장치를 나타낸 단면 모식도다. 본 실시형태에 따른 유기 발광장치는, 제2수지층(16)의 표면이 중공층(24a)과 접하고 제2수지층 위의 커버 글래스(17)에 의해 밀봉되는 구성을 갖는다. 본 실시형태에 있어서는, 온칩 칼라 필터를 사용하며, 칼라 필터들의 제2면들 사이에 있어서 기판으로부터 칼라 필터까지의 거리의 차이를 생략하고 있다.
제3실시형태
도3b는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유기 발광장치를 나타낸 단면 모식도다. 본 실시형태에 따른 유기 발광장치에서는, 제2수지층(16) 위에 렌즈(25)가 배치되어 있다. 렌즈(25)는 유기 발광 소자로부터 발생된 빛을 집광한다. 도3b에서는, 비제한적인 일례로서 볼록 렌즈를 도시하고 있지만, 오목 렌즈를 채용해도 된다. 유기 발광 소자마다 렌즈가 배치되어 있지만, 각각의 유기 발광 소자에 대해 복수의 렌즈가 배치되어도 된다. 렌즈는 크기에 따라 마이크로렌즈로 불러도 된다. 렌즈는, 예를 들면, 유기 재료나 SiN 등의 무기막으로 구성되어도 된다.
중공층(24a)은 기체를 포함해도 된다. 중공층(24a)이 기체로 채워진다고 불러도 된다. 렌즈(25)가 집광의 효과를 나타내기 위해, 굴절률이 1에 가까울 수 있다. 이와 같은 중공층을 갖는 구조를 중공 구조로도 부른다. 중공층은 결국은 공극이다. 중공 구조에서, 렌즈, 공기 등의 기체와, 보호부재가 이 순서로 배치되어도 된다. 보호부재는, 후술하는 접착부재를 사용하여 기판, 보호층 등에 접착되어 있다. 이와 관련하여, 본 실시형태에 있어서는, 온칩 칼라 필터를 사용하며, 칼라 필터들의 제2면들 사이에 있어서 기판으로부터 칼라 필터까지의 거리의 차이를 생략하고 있다.
제4실시형태
도3c는 본 발명의 다른 실시형태에 따른 유기 발광장치를 나타낸 단면 모식도다. 렌즈(25) 위에는 중공층이 아니라 밀봉층(24b)이 배치되는 것을 제외하고는, 유기 발광장치가 제3실시형태와 유사하다. 밀봉층(24b)은, 예를 들면, 아크릴 수지나 에폭시 수지 등의 수지로 구성되어도 된다. 표시장치(18)는 밀봉층(24b)을 개재하여 커버 글래스(17)로 밀봉되어 있다. 밀봉층(24b)의 굴절률과 렌즈의 굴절률의 차이가 클 수 있다. 구체적으로는, 밀봉층의 굴절률이 렌즈의 굴절률보다도 작을 수 있으며, 1에 가까울 수 있다. 또한, 밀봉층의 굴절률이 렌즈의 굴절률과 공기의 굴절률의 평균값보다도 작을 수 있다. 즉, 밀봉층의 굴절률이 렌즈의 굴절률보다도 공기의 굴절률에 가까울 수 있다. 이 밀봉층(24b)은 수분, 산소 등을 투과하지 않는 것이 좋지만, 완전한 보호 성능이 요구되지 않기 때문에, 이 밀봉층(24b)은 투습성을 가져도 된다. 이 밀봉층(24b)의 투습성이 증가할수록, 현상액 중의 유기 알칼리와 수분 사이의 반응의 발생 가능성이 증가하므로, 본 발명의 과제가 현저해진다. 이와 관련하여, 본 실시형태에 있어서는, 온칩 칼라 필터를 사용하며, 칼라 필터들의 제2면들 사이에 있어서 기판으로부터 칼라 필터까지의 거리의 차이를 생략하고 있다.
도3d는 본 발명의 또 다른 실시형태에 따른 유기 발광장치를 나타낸 단면 모식도다. 제2수지층(16)의 표층에 렌즈가 배치되지 않고, 표시장치(18)는 밀봉층(24b)을 개재하여 커버 글래스(17)로 밀봉되어 있다. 이와 관련하여, 본 실시형태에 있어서는, 온칩 칼라 필터를 사용하며, 칼라 필터들의 제2면들 사이에 있어서 기판으로부터 칼라 필터까지의 거리의 차이를 생략하고 있다.
칼라 필터의 제조공정
이하, 도4a 내지 도4c를 참조하여 본 발명에 따른 유기 발광장치의 칼라 필터의 제조방법을 설명한다. 본 실시형태에 따른 유기 발광장치의 제조방법은, 절연층의 주면 위에 유기 발광 소자를 형성하는 단계와, 유기 발광 소자 위에 칼라 필터층을 형성하는 단계를 갖는다. 칼라 필터층을 형성하는 단계는, 포토리소그래피 단계로서, 유기 발광 소자 위에 수지를 부여하는 단계와, 포토마스크를 거쳐 상기 수지를 선택적으로 노광하는 단계와, 수지를 질소 원자와 수산기를 갖는 유기 알칼리를 포함하는 현상액을 사용해서 현상하는 단계를 갖는다. 본 발명에 따른 유기 발광장치의 제조방법은, 현상단계후에 칼라 필터층 내부의 유기 알칼리를 저감하는 단계를 갖는다. 본 실시형태에 있어서는, 유기 알칼리로서 TMAH를 사용한다. 이와 관련하여, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
도4a는 본 발명의 일 실시형태에 따른 유기 발광장치의 녹색 필터를 제조하는 단계를 도시한 개략도다. 기판(10)을 준비하고, 기판(10) 위에 구동회로를 포함하는 구동회로층(11)을 형성한다. 다음에, 구동회로층(11) 위에 전극 및 유기층을 포함하는 OLED층(12)을 형성한다. OLED층(12) 위에 CVD법 또는 스퍼터링법 등의 성막방법에 의해 보호층(13)을 형성한다. 보호층(13) 형성중의 온도는, 110℃ 이하로 설정될 수 있으며, 또는 100℃ 이하일 수 있다. 보호층(13) 위에 스핀코트법 등의 성막방법에 의해 제1수지층(14)을 형성한다. 제1수지층(14) 위에 첫 번째 색의 칼라 필터층인 녹색 필터(15a)를 형성한다.
칼라 필터에 관해, 안료를 포함하는 유기 재료를 스핀코트법 등에 의해 부여하고, 포토리소그래피에 의해 패터닝을 행하고, TMAH를 포함하는 알칼리 현상액을 사용하여 현상을 행한다.
현상단계후에, 순수를 사용한 2 유체 린스를 거쳐 칼라 필터의 표층을 물리세정함으로써, 녹색 필터(15a)의 표면 및 측면에 잔류하는 TMAH의 저감을 행한다. 세정액은 80% 이상의 순수를 포함해도 된다. 세정단계는 2 유체 린스, 침지 등의 방법에 의해 행해져도 되고, 2 유체 린스를 채용할 수 있다. 다른 칼라 필터의 세정단계에 있어서도 마찬가지이다.
현상단계후에, 칼라 필터는 광조사 또는 110℃ 이하의 소성에 의해 형성되거나, 100℃ 이하의 소성에 의해 형성될 수 있다. 칼라 필터를 가열하는 단계는, 유기 발광 소자에 포함된 유기층을 구성하는 유기 화합물의 글래스 전이 온도 이하의 온도에서 가열하는 단계일 수 있다.
도4b는 유기 발광 소자의 청색 필터를 형성하는 단계를 도시한 개략도다. 녹색 필터(15a)의 형성후, 두 번째 색의 칼라 필터층인 청색 필터(15b)를 형성한다. 칼라 필터에 관해, 안료를 포함하는 유기 재료를 스핀코트법 등에 의해 도포하고, 포토리소그래피에 의해 패터닝하여, TMAH를 포함하는 알칼리 현상액을 사용하여 현상을 행한다. 현상단계후에, 나노스프레이(Nanospray)를 사용하여 칼라 필터의 표층을 세척함으로써, 녹색 필터(15a) 및 청색 필터(15b)의 표면 및, 녹색 필터(15a) 및 청색 필터(15b)의 측면에 잔류하는 TMAH의 저감을 행한다.
현상단계후에, 칼라 필터는 광조사 또는 130℃ 이하의 소성에 의해 형성되거나, 110℃ 이하의 소성에 의해 형성될 수 있다. 칼라 필터층을 가열하는 단계는, 유기 발광 소자에 포함된 유기층을 구성하는 유기 화합물의 글래스 전이 온도 이하의 온도에서 가열하는 단계일 수 있다.
도4c는, 유기 발광 소자의 적색 필터를 형성하는 단계를 도시한 개략도다. 청색 필터(15b)의 형성후, 세 번째 색의 칼라 필터층인 적색 필터(15c)를 형성한다. 칼라 필터에 관해, 안료를 포함하는 유기 재료를 스핀코트법 등에 의해 도포하고, 포토리소그래피에 의해 패터닝하여, TMAH를 포함하는 알칼리 현상액을 사용하여 현상을 행한다. 현상단계후에, 나노스프레이를 사용하여 칼라 필터의 표층을 세척함으로써, 녹색 필터(15a), 청색 필터(15b) 및 적색 필터(15c)의 표면에 잔류하는 TMAH의 저감을 행한다.
현상단계후에, 칼라 필터는 광조사 또는 130℃ 이하의 소성에 의해 형성되거나, 110℃ 이하의 소성에 의해 형성될 수 있다. 칼라 필터층을 가열하는 단계는, 유기 발광 소자에 포함된 유기층을 구성하는 유기 화합물의 글래스 전이 온도 이하의 온도에서 가열하는 단계일 수 있다.
본 실시형태에 따른 칼라 필터는 온칩 칼라 필터이므로, 칼라 필터의 가열단계는 현상액의 분해 온도 이하의 온도에서 행해진다.
도4d는 본 실시형태의 적어도 한개에 따른 유기 발광장치의 일례를 나타낸 평면도다. 본 실시형태에 따른 녹색, 청색 및 적색의 칼라 필터 각각에 대해, 모서리 부분을 둥글게 함으로써, 칼라 필터가 설치되지 않은 영역(26)을 형성할 수 있다(도4d). 이에 따라, 현상후의 세정단계에 있어서, 린스 액이 칼라 필터 경계부를 통해 순환하기 쉬워져, TMAH의 제거가 촉진된다. 칼라 필터가 설치되지 않은 영역(26)은, 칼라 필터의 형성후에 설치되는 제2수지층으로 채워져도 된다. 예를 들면, 녹색 칼라 필터를 제1 칼라 필터로 가정하고, 청색 칼라 필터를 제2 칼라 필터로 가정하고, 적색 칼라 필터를 제3 칼라 필터로 가정한다. 그 결과, 유기 발광장치에서는, 제1 칼라 필터(27) 및 제2 칼라 필터(28)의 위에 제2수지층이 배치되고, 제1 칼라 필터(27)와 제2 칼라 필터(28) 사이에도 제2수지층이 배치된다. 제2수지층은 소위 평탄화층이어도 된다.
칼라 필터가 설치되지 않은 영역(26)은, 제1 칼라 필터(27)와 제3 칼라 필터(29) 사이에 배치되어도 된다. 제1 칼라 필터(27)와 제3 칼라 필터(29) 사이의 영역에 제2수지층이 배치되어도 된다. 제2수지층은 적어도 표시 영역 전체를 덮어도 된다. 즉, 제3 칼라 필터 위에도 이 제2수지층이 배치된다. 제2수지층은 표시 영역 전체에 연속으로 배치되어 있다고 할 수 있다.
본 실시형태에 따르면, TMAH의 농도를 저감한 유기 발광장치를 제조할 수 있다.
유기 발광 소자의 구성
유기 발광 소자는, 기판 위에, 절연층, 제1전극, 유기 화합물층, 및 제2전극을 형성하여 제조된다. 음극 위에는, 보호층, 칼라 필터, 마이크로렌즈 등을 설치해도 된다.
칼라 필터를 설치하는 경우에는, 칼라 필터와 보호층 사이에 평탄화층을 설치해도 된다. 평탄화층은 아크릴 수지 등으로 형성할 수 있다. 칼라 필터와 마이크로렌즈 사이에 평탄화층이 배치되는 경우도 마찬가지이다.
기판
기판의 예로는, 석영 기판, 글래스 기판, 실리콘 웨이퍼, 수지 기판 및 금속 기판을 들 수 있다. 더구나, 기판 위에는 트랜지스터 등의 스위칭 소자와 배선이 배치되어도 되고, 그 위에 절연층이 배치되어도 된다. 절연층은, 절연층과 제1전극 사이에 배선을 형성하도록 콘택홀이 형성될 수 있고, 접속하지 않는 배선으로부터 절연을 제공할 수 있다면, 어떤 재료로 형성해도 된다. 이 재료의 예로는, 폴리이미드 등의 수지, 산화 실리콘 및 질화 실리콘을 들 수 있다.
전극
전극으로는 한쌍의 전극을 사용할 수 있다. 한쌍의 전극은 양극과 음극이어도 된다.
유기 발광 소자가 발광하는 방향으로 전계를 인가하는 경우에, 전위가 높은 전극이 양극이고, 다른 전극이 음극이다. 즉, 발광층에 홀을 공급하는 전극이 양극이고, 전자를 공급하는 전극이 음극이다.
양극을 구성하는 재료는 가능한 한 큰 일 함수를 가질 수 있다. 재료의 예로는, 금, 백금, 은, 구리, 니켈, 팔라듐, 코발트, 셀렌, 바나듐 및 텅스텐 등의 금속 단체, 이들 금속을 함유하는 혼합물, 이들 금속의 합금, 산화 주석, 산화 아연, 산화 인듐, 산화 주석 인듐(ITO) 및 산화 아연 인듐 등의 금속 산화물을 들 수 있다. 이것의 예로는, 폴리아닐린, 폴리피롤 및 폴리티오펜 등의 도전성 폴리머를 더 들 수 있다.
이들 전극 재료는 단독으로 또는 2가지 이상을 병용해도 된다. 양극은 1층 또는 복수의 층으로 구성되어도 된다.
양극을 반사 전극으로서 사용하는 경우에는, 예를 들면, 크롬, 알루미늄, 은, 티타늄, 텅스텐, 몰리브덴, 이것의 합금, 또는 이것의 적층체를 사용할 수 있다. 상기한 재료는, 전극의 역할을 갖지 않는 반사 막으로서 기능하기 위해 사용해도 된다. 양극을 투명 전극으로서 사용하는 경우에는, 산화 인듐 주석(ITO) 또는 산화 인듐 아연 등의 산화물 투명 도전층을 사용해도 되지만, 본 발명은 이것들에 한정되는 것은 아니다.
전극은 포토리소그래피 기술에 의해 형성해도 된다.
이와 달리, 음극을 구성하는 재료는 작은 일 함수를 가질 수 있다. 음극 재료의 예로는, 리튬 등의 알칼리 금속, 칼슘 등의 알칼리 토금속, 알루미늄, 티타늄, 망간, 은, 납 및 크롬 등의 금속 단체와, 이들 금속을 함유하는 혼합물을 들 수 있다. 이들 금속 단체의 합금을 사용해도 된다. 예를 들면, 마그네슘-은, 알루미늄-리튬, 알루미늄-마그네슘, 은-구리 및 아연-은을 사용해도 된다. 산화 주석 인듐(ITO) 등의 금속 산화물을 사용해도 된다. 이들 전극 물질은 단독으로 또는 2가지 이상을 병용해도 된다. 음극은 1층 구성 또는 복수 층 구성을 가져도 된다. 특히, 은을 사용할 수 있다. 은의 응집을 저감하기 위해, 은 합금을 사용할 수 있다. 은의 응집을 저감할 수 있으면, 합금 비율은 제한되지 않는다. 다른 금속에 대한 은의 비율이, 예를 들어, 1:1 또는 3:1이어도 된다.
음극은 특별히 제한되지 않는다. 음극은, 톱 이미션 소자를 제공하기 위해 ITO 등의 산화물 도전층이어도 된다. 이와 달리, 음극은, 보텀 이미션 소자를 제공하기 위해 알루미늄(Al) 등으로 제조된 반사 전극이어도 된다. 음극의 형상방법은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 양호한 막의 커버리지가 달성되어 저항을 낮추기 쉽기 때문에, 직류 또는 교류 스퍼터링법을 사용할 수 있다.
유기 화합물층
유기 화합물층은 단층 또는 복수층으로 형성되어도 된다. 유기 화합물층이 보수의 층을 포함하는 경우, 이들 층은 그것의 기능에 따라 홀 주입층, 홀 수송층, 전자 블로킹층, 발광층, 홀 블로킹층, 전자 수송층, 또는 전자 주입층으로 불러도 된다. 유기 화합물층은, 주로 유기 화합물로 구성되며, 무기 원자 및 무기 화합물을 함유해도 된다. 예를 들면, 유기 화합물층은 구리, 리튬, 마그네슘, 알루미늄, 이리듐, 백금, 몰리브덴, 아연 등을 가져도 된다. 유기 화합물층은 제1전극과 제2전극 사이에 배치되어도 되고, 제1전극 및 제2전극에 접해서 배치되어도 된다.
보호층
음극 위에 보호층을 배치해도 된다. 예를 들면, 음극에 흡습제를 갖는 글래스 부재를 접착함으로써, 유기 화합물층에 대한 예를 들어 물의 침입을 저감하여, 표시 불량의 발생을 저감해도 된다. 다른 실시형태에서는, 음극 위에 질화 규소 등으로 이루어진 패시베이션 막을 설치하여, 유기 화합물층에 대한 예를 들어 물의 침입을 저감해도 된다. 예를 들면, 음극을 형성후에, 그 결과 얻어진 기판을 진공을 깨지 않고 다른 챔버로 반송하고, CVD법에 의해 두께 2㎛의 질화 규소막을 형성함으로써 보호층으로 그 위에 형성해도 된다. CVD법에 의한 막 퇴적후에 원자층 퇴적법(ALD법)에 의해 보호층을 형성해도 된다. ALD법에 의해 형성된 막의 재료는 제한되지 않으며, 예를 들어, 질화 규소, 산화 규소, 또는 산화 알루미늄이어도 된다. ALD법으로 형성한 막 위에 CVD법으로 질화 규소를 더 적층해도 된다. ALD법에 의해 형성된 막은, CVD법으로 형성한 막보다도 작은 막 두께를 가져도 된다. 구체적으로는, 이 두께는 50% 이하, 심지어 10% 이하이어도 된다.
칼라 필터
보호층 위에 칼라 필터를 설치해도 된다. 예를 들면, 유기 발광 소자의 사이즈를 고려한 칼라 필터를 다른 기판 위에 설치하고, 이 기판을 유기 발광 소자를 설치한 기판에 부착해도 된다. 이와 달리, 전술한 보호층 위에 포토리소그래피 패터닝에 의해 칼라 필터를 형성해도 된다. 칼라 필터는 고분자로 구성되어도 된다.
평탄화층
칼라 필터와 보호층 사이에 평탄화층을 설치해도 된다. 평탄화층은 하지층의 요철을 저감하기 위해 설치된다. 평탄화층은 목적을 제한하지 않고 재질 수지층으로 불려도 된다. 평탄화층은 유기 화합물로 구성되어도 되고, 저분자량 또는 고분자량을 가져도 된다. 평탄화층은 고분자량을 가질 수 있다.
평탄화층은, 칼라 필터의 상하에 설치되어도 되고, 평탄화층은 동일한 재료 또는 다른 재료로 형성되어도 된다. 이 재료의 구체적인 예로는, 폴리비닐카바졸 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리에스테르 수지, 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌(ABS) 수지, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지, 페놀 수지, 에폭시 수지, 실리콘 수지 및 요소 수지를 들 수 있다.
마이크로렌즈
유기 발광 발광장치는, 광 출사측에 마이크로렌즈 등의 광학부재를 가져도 된다. 마이크로렌즈는, 아크릴 수지, 에폭시 수지 등으로 구성될 수 있다. 마이크로렌즈는, 유기 발광장치로부터 추출된 광량을 증가시키고, 추출된 빛의 방향을 제어하기 위해 사용해도 된다. 마이크로렌즈는 반구의 형상을 가져도 된다. 반구의 형상의 경우에, 이 반구에 접하는 접선 중, 절연층에 평행한 접선이 존재하고, 이 접선과 반구 사이의 접점이 마이크로렌즈의 정점이다. 모든 단면도에서 마이크로렌즈의 정점은 동일하게 결정할 수 있다. 즉, 단면도에 있어서의 마이크로렌즈의 반원과 접하는 접선 중, 절연층에 평행한 접선이 존재하고, 이 접선과 반원 사이의 접점이 마이크로렌즈의 정점이다.
마이크로렌즈의 중간점을 정의할 수도 있다. 마이크로렌즈의 단면에 있어서, 원호 형상이 종료하는 점으로부터 원호 형상이 종료하는 다른 점까지의 선분을 취하고, 이 선분의 중간점을 마이크로렌즈의 중간점으로 부를 수 있다. 정점 및 중간점을 판별하는 단면은 절연층에 수직한 단면이어도 된다.
대향 기판
평탄화층 위에는 대향 기판을 설치해도 된다. 대향 기판은, 전술한 기판과 대향하는 위치에 배치되므로, 대향 기판으로 불린다. 대향 기판은 전술한 기판과 동일한 재료로 구성해도 된다. 전술한 기판을 제1기판으로 정의할 때, 대향 기판을 제2기판으로 정의해도 된다.
유기층
본 발명의 일 실시형태에 따른 유기 발광 소자를 구성하는 유기 화합물층(정공 주입층, 정공 수송층, 전자 블로킹층, 발광층, 정공 블로킹층, 전자 수송층, 전자 주입층 등)은 이하의 방법에 의해 형성된다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 유기 발광 소자를 구성하는 유기 화합물층은, 진공증착법, 이온화 증착법, 스퍼터링, 또는 플라즈마 등의 드라이 프로세스에 의해 형성될 수 있다. 드라이 프로세스 대신에, 적당한 용매에 재료를 용해한 후 공지의 도포법(예를 들면, 스핀코팅, 디핑, 캐스트법, Langmuir-Blodgett(LB)법 또는 잉크젯법)에 의해 층을 형성하는 것을 포함하는 웨트 프로세스를 채용할 수 있다.
진공증착법, 용액도포법 등에 의해 층을 형성하면, 결정화 등이 발생하기 어렵고 양호한 경시 안정성이 얻어진다. 도포법으로 막을 형성하는 경우에는, 재료를 적당한 바인더 수지와 조합해서 막을 형성할 수 있다.
바인더 수지의 예로는, 폴리비닐카바졸 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리에스테르 수지, ABS 수지, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지, 페놀 수지, 에폭시 수지, 실리콘 수지 및 요소 수지를 들 수 있지만, 이것들에 한정되는 것은 아니다.
이들 바인더 수지는, 호모 폴리머 또는 공중합체로서 단독으로 사용하거나 2가지 이상의 혼합물로서 조합해서 사용해도 된다. 더구나, 필요에 따라, 공지의 가소제, 산화방지제, 및 자외선 흡수제 등의 첨가제를 조합해서 사용해도 된다.
화소 회로
발광장치는 발광 소자에 접속되어 있는 화소 회로를 가져도 된다. 화소 회로는, 제1 발광 소자 및 제2 발광 소자의 발광을 독립적으로 제어하는 액티브 매트릭스 형이어도 된다. 액티브 매트릭스형의 회로는 전압 프로그래밍 또는 전류 프로그래밍 회로이어도 된다. 구동회로는 화소마다 화소 회로를 갖는다. 화소 회로는, 발광 소자, 발광 소자의 휘도를 제어하는 트랜지스터, 발광 타이밍을 제어하는 트랜지스터, 발광 휘도를 제어하는 트랜지스터의 게이트 전압을 유지하는 용량과, 발광 소자를 거치지 않고 GND에 접속하기 위한 트랜지스터를 가져도 된다.
발광장치는, 표시 영역과, 표시 영역 주위의 주변 영역을 갖는다. 표시 영역은 화소 회로를 갖고, 주변 영역은 표시 제어회로를 갖는다. 화소 회로를 구성하는 트랜지스터의 이동도는 표시 제어회로를 구성하는 트랜지스터의 이동도보다도 작아도 된다.
화소 회로를 구성하는 트랜지스터의 전류 전압 특성의 기울기는 표시 제어회로를 구성하는 트랜지스터의 전류 전압 특성의 기울기보다도 작아도 된다. 전류 전압 특성의 기울기는 소위 Vg-Ig 특성에 의해 측정할 수 있다.
화소 회로를 구성하는 트랜지스터는 제1 발광 소자를 포함하는 발광 소자에 접속되어 있는 트랜지스터이다.
화소
유기 발광장치는 복수의 화소를 가져도 된다. 화소들은 다른 색들과는 다른 색의 빛을 발광하는 부화소들을 갖는다. 부화소들은, 예를 들면, RGB의 색을 발광한다.
화소들 각각은 화소 개구로도 불리는 영역으로부터 발광한다. 이 영역은 제1영역과 같다.
화소 개구는 15㎛ 이하 또는 5㎛ 이상의 크기를 가져도 된다. 더욱 구체적으로는, 화소 개구는, 예를 들어, 11㎛, 9.5㎛, 7.4㎛, 또는 6.4㎛어도 된다.
부화소들 사이의 거리는, 10㎛ 이하이어도 되고, 구체적으로는, 8㎛, 7.4㎛ 또는 6.4㎛이어도 된다.
화소들은, 평면 뷰에 있어서 공지의 배치 형태를 가질 수 있다. 예를 들면, 이 배치 형태는, 스트라이프 배치, 델타 배치, 펜타일 배치 또는 베이어 배치이어도 된다. 각각의 부화소는 평면 뷰에 있어서의 공지의 형상을 취해도 된다. 예를 들면, 이 형상은, 직사각형 및 마름모꼴 등의 사각형과, 또는 육각형이어도 된다. 물론, 정확한 직사각형이 아니라 직사각형에 가까운 형상도 직사각형으로 간주된다. 각각의 부화소의 형상과 화소 배열을 조합해서 사용할 수 있다.
본 발명의 실시형태에 따른 유기 발광 소자의 용도
본 발명의 일 실시형태에 따른 유기 발광 소자는, 표시장치나 조명장치의 구성부재로서 사용될 수 있다. 더구나, 유기 발광 소자는, 예를 들어, 전자사진 방식의 화상 형성장치의 노광 광원, 액정 표시장치의 백라이트, 및 백색 광원과 칼라 필터를 갖는 발광장치에 사용된다.
표시장치는, 에어리어 CCD, 리니어 CCD, 메모리카드 등으로부터 화상 정보가 입력되는 화상 입력부와, 입력된 정보를 처리하도록 구성된 정보 처리부를 갖고, 입력된 화상을 표시부에 표시하는 화상 정보 처리장치이어도 된다.
촬상장치나 잉크젯 프린터에 포함된 표시부는 터치패널 기능을 갖고 있어도 된다. 이 터치패널 기능은, 적외선, 정전 용량, 저항막, 또는 전자유도를 사용하여 구동되어도 되지만, 구동방식은 특별하게 한정되지 않는다. 표시장치는 멀티펑션 프린터의 표시부에 사용되어도 된다.
다음에, 첨부도면을 참조하면서 본 실시형태에 따른 표시장치에 대해 설명한다.
도5는, 본 실시형태에 따른 표시장치의 일례를 나타내는 모식도다. 표시장치(1000)는, 상부 커버(1001) 및 하부 커버(1009)와, 상부 커버(1001) 및 하부 커버(009) 사이에 배치되는 터치패널(1003), 표시 패널(1005), 프레임(1006), 회로 기판(1007) 및 배터리(1008)를 가져도 된다. 터치패널(1003) 및 표시 패널(1005)은 플렉시블 프린트 회로 FPC 1002 및 1004에 각각 접속되어 있다. 회로 기판(1007)에는 트랜지스터가 프린트되어 있다. 배터리(1008)는, 표시장치가 휴대 기기가 아니면, 반드시 설치할 필요는 없으며, 표시장치가 휴대 기기라도, 다른 위치에 설치해도 된다.
본 실시형태에 따른 표시장치는, 적색, 녹색 및 청색 부분들을 갖는 칼라 필터를 가져도 된다. 칼라 필터의 적색, 녹색 및 청색 부분들이 델타 배열로 배치되어도 된다.
본 실시형태에 따른 표시장치는, 휴대 단말의 표시부에 사용되어도 된다. 이와 같은 경우에, 표시장치는 표시 기능과 조작 기능의 양쪽을 가져도 된다. 휴대 단말의 예로는, 스마트폰 등의 휴대전화, 태블릿, 및 헤드 마운트 디스플레이를 들 수 있다.
본 실시형태에 따른 표시장치는, 복수의 렌즈를 갖는 광학부와, 이 광학부를 통과한 빛을 수광하는 촬상 소자를 갖는 촬상장치의 표시부에 사용되어도 된다. 촬상장치는, 촬상 소자가 취득한 정보를 표시하는 표시부를 가져도 된다. 표시부는, 촬상장치의 외부에 노출된 표시부이거나, 뷰파인더 내에 배치된 표시부이어도 된다. 촬상장치는 디지털 카메라 또는 디지털 캠코더이어도 된다.
도6a는, 본 실시형태에 따른 촬상장치의 일례를 나타내는 모식도다. 촬상장치(1100)는, 뷰파인더(1101), 배면 디스플레이(1102), 조작부(1103) 및 하우징(1104)을 가져도 된다. 뷰파인더(1101)는, 본 실시형태에 따른 표시장치를 가져도 된다. 이 경우, 표시장치는, 촬상할 화상 뿐만 아니라, 예를 들면, 환경정보 및 촬영 지시를 표시해도 된다. 환경정보에는, 예를 들면, 외광의 강도, 외광의 방향, 피사체의 이동 속도, 및 피사체가 차폐물 뒤에 차폐될 가능성을 포함해도 된다.
촬영에 적합한 타이밍은 매우 짧은 기간이므로, 가능한한 빨리 정보를 표시하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 유기 발광 소자를 사용하는 표시장치를 사용할 수 있다. 이것은 이 유기 발광 소자가 높은 응답 속도를 갖기 때문이다. 유기 발광 소자를 사용하는 표시장치는, 높은 표시 속도가 요구되는, 이들 장치에서 사용하는데 액정 표시장치보다도 더 적합하다.
촬상장치(1100)는, 도면에 도시하지 않은 광학부를 갖는다. 광학부는 복수의 렌즈를 갖고, 하우징(1104) 내에 수납된 촬상 소자에 결상하도록 구성된다. 복수의 렌즈는, 그것의 상대 위치를 조정함으로써, 초점을 조정할 수 있다. 이 조작을 자동으로 행할 수 있다. 촬상장치는 광전 변환장치로 불러도 된다. 광전 변환장치는, 순차 촬상하는 방법 대신에, 이전 화상으로부터의 차분을 검출하는 방법과, 연속적으로 기록되어 있는 화상으로부터 화상을 잘라내는 방법 등의 촬상방법을 사용할 수 있다.
도6b는, 본 실시형태에 따른 전자기기의 일례를 나타낸 모식도다. 전자기기(1200)는, 표시부(1201), 조작부(1202) 및 하우징(1203)을 갖는다. 하우징(1203)은, 회로, 이 회로를 갖는 프린트 기판, 배터리, 및 통신부를 가져도 된다. 조작부(1202)는 버튼 또는 터치패널 방식의 반응부이어도 된다. 조작부(1202)는, 예를 들어, 지문을 인식해서 록을 해제하도록 구성된 생체 인식부이어도 된다. 통신부를 갖는 전자기기는 통신 기기라고 부를 수도 있다. 전자기기는, 렌즈와 촬상 소자를 갖고, 카메라 기능을 더 가져도 된다. 카메라 기능에 의해 촬상된 화상이 표시부에 표시된다. 전자기기의 예로는, 스마트폰 및 노트북 컴퓨터를 들 수 있다.
도7a 및 도7b는, 본 실시형태에 따른 표시장치의 일례를 각각 나타낸 모식도다. 도7a는 텔레비젼 모니터나 PC 모니터 등의 표시장치를 나타낸 것이다. 표시장치(1300)는 프레임(1301)과 표시부(1302)를 갖는다. 표시부(1302)에는 본 실시형태에 따른 발광 소자가 사용되어도 된다.
표시장치(1300)는 프레임(1301)과 표시부(1302)를 지지하는 베이스(1303)를 더 갖는다. 베이스(1303)는 도7a에 도시된 형태에 한정되지 않는다. 프레임(1301)의 하측변이 베이스를 겸해도 된다.
프레임(1301) 및 표시부(1302)는 절곡되어 있어도 된다. 그것의 곡률 반경은 5000mm 이상 6000mm 이하이어도 된다.
도7b는 본 실시형태에 따른 표시장치의 다른 예를 나타낸 모식도다. 도7b에 도시된 표시장치(1310)는, 절곡 가능하게 구성되어 있고, 소위 폴더블한 표시장치다. 표시장치(1310)는, 제1표시부(1311), 제2표시부(1312), 하우징(1313), 및 굴곡점(1314)을 갖는다. 제1표시부(1311)와 제2표시부(1312) 각각은 실시형태에 따른 발광 소자를 가져도 된다. 제1표시부(1311)와 제2표시부(1312)는, 이음매가 없는 1매의 표시장치이어도 된다. 제1표시부(1311)와 제2표시부(1312)는 굴곡점에서 분리될 수 있다. 제1표시부(1311) 및 제2표시부(1312)는 각각 다른 화상을 표시해도 된다. 이와 달리, 제1표시부(1311) 및 제2표시부(1312)의 세트 위에 1개의 화상을 표시해도 된다.
도8a는 본 실시형태에 따른 조명장치의 일례를 나타낸 모식도다. 조명장치(1400)는, 하우징(1401), 광원(1402), 회로 기판(1403), 광학 필름(1404)과, 광 확산부(1405)을 가져도 된다. 광원은, 본 실시형태에 따른 유기 발광 소자를 가져도 된다. 광학 필터는 광원의 연색성을 향상시키는 필터이어도 된다. 광 확산부(1405)은, 광원으로부터 방출된 빛을 효과적으로 확산하여, 예를 들어, 조명을 위해 넓은 범위에 빛이 도달하게 할 수 있다. 광학 필터 및 광 확산부는 조명의 광 출사측에 설치되어도 된다. 필요에 따라, 최외부에 커버를 설치해도 된다.
조명장치는, 예를 들어, 실내를 조명하는 장치이다. 조명장치는 백색, 주백색, 또는 기타 청색 내지 적색 중 색 등의 색을 갖는 빛을 발광해도 된다. 조명장치는 이와 같은 빛을 조광하도록 구성된 조광회로를 가져도 된다.
조명장치는 본 발명에 따른 유기 발광 소자와 이 유기 발광 소자에 접속되는 전원회로를 가져도 된다. 전원회로는, 교류전압을 직류전압으로 변환하도록 구성된 회로다. 백색은 4200K의 색온도를 갖는 색상이고, 주백색은 5000K의 색온도를 가는 색상이다. 조명장치는 칼라 필터를 가져도 된다.
본 실시형태에 따른 조명장치는 방열부를 갖고 있어도 된다. 방열부는 장치 내부의 열을 장치 외부로 방출한다. 방열부는, 예를 들면, 비열이 높은 금속 또는 액체 실리콘으로 형성되어도 된다.
도8b는 본 실시형태에 따른 이동체의 일례인 자동차의 모식도다. 이 자동차는 조명기구의 비제한적인 일례인 미등을 갖는다. 자동차(1500)는 미등(1501)을 갖고, 이 미등(1501)은, 예를 들면, 브레이크를 조작할 때, 점등한다.
미등(1501)은 본 실시형태에 따른 유기 발광 소자를 가져도 된다. 미등은 유기 EL 소자를 보호하는 보호부재를 가져도 된다. 보호부재는 적절히 높은 강도를 갖고 투명한 모든 재료로 형성되어도 되며, 폴리카보네이트 등으로 구성될 수 있다. 폴리카보네이트를 푸란디카르복실산 유도체, 및 아크릴로니트릴 유도체 등과 혼합해도 된다.
자동차(1500)는, 차체(1503)와, 차체(1503)에 설치된 창문(1502)을 가져도 된다. 창문은, 자동차의 전후를 확인하기 위한 창문이 아니면, 투명한 디스플레이이어도 된다. 이 투명한 디스플레이는 본 실시형태에 따른 유기 발광 소자를 가져도 된다. 이 경우, 유기 발광 소자의 전극 등의 구성 재료는 투명한 재료로 형성된다.
본 실시형태에 따른 이동체는, 예를 들어, 선박, 항공기, 또는 드론이어도 된다. 이동체는, 몸체와 이 몸체에 설치된 조명기구를 가져도 된다. 조명기구는 몸체의 위치를 표시하기 위한 발광을 해도 된다. 조명기구는 본 실시형태에 따른 유기 발광 소자를 갖는다.
도9a 및 도9b를 참조하여, 각 실시형태에 따른 표시장치의 적용 예에 대해 설명한다. 표시장치는, 스마트 글래스, 헤드마운트 디스플레이(HMD) 및 스마트 콘택 렌즈 등의 웨어러블 디바이스로서 착용가능한 시스템에 적용할 수 있다. 이러한 적용 예에 사용되는 촬상 표시장치는, 가시광을 광전 변환가능한 촬상장치와, 가시광을 발광가능한 표시장치를 갖는다.
도9a는, 적용예에 따른 안경(1600)(스마트 글래스)을 나타낸 것이다. 안경(1600)의 렌즈(1601)의 전방측에, 상보성 금속 산화물 반도체(CMOS) 센서나 single-photon avalanche photodiode(SPAD)와 같은 촬상장치(1602)가 설치되어 있다. 렌즈(1601)의 이면측에는 전술한 각 실시형태에 따른 표시장치가 설치되어 있다.
안경(1600)은 제어장치(1603)를 더 구비한다. 제어장치(1603)는, 촬상장치(1602)와 본 실시예에 따른 표시장치에 전력을 공급하는 전원으로서 기능한다. 제어장치(1603)는, 촬상장치(1602)와 표시장치의 동작을 제어한다. 렌즈(1601)에는 촬상장치(1602)에 빛을 집광하기 위한 광학계가 형성된다.
도9b는, 적용예에 따른 안경(1610)(스마트 글래스)을 나타낸 것이다. 안경(1610)은 제어장치(1612)를 갖고 있다. 제어장치(1612)는 촬상장치 1602에 해당하는 촬상장치와, 표시장치를 갖는다. 렌즈(1611)에는, 제어장치(1612)의 촬상장치와 표시장치로부터의 발광을 투영하기 위한 광학계가 형성되고, 렌즈(1611)에는 화상이 투영된다. 제어장치(1612)는 촬상장치 및 표시장치에 전력을 공급하는 전원으로서 기능하고, 촬상장치 및 표시장치의 동작을 제어한다. 제어장치는 장착자의 시선을 검지하는 시선 검지부를 가져도 된다. 시선의 검지는 적외선을 사용해도 된다. 적외 발광부는 표시 화상을 주시하고 있는 유저의 안구에 적외광을 발생한다. 안구에 의해 발생된 적외광이 반사되고, 반사된 빛이 수광 소자를 갖는 촬상부에 의해 검출됨으로써, 안구의 촬상 화상을 제공한다. 평면도에 있어서 적외 발광부로부터 표시부에의 빛을 저감하는 저감부를 설치하여 화상 품위의 저하를 저감한다.
적외광으로 촬상된 안구의 촬상 화상으로부터 표시 화상에 대한 유저의 시선을 검출한다. 안구의 촬상 화상을 사용한 시선 검출에는 임의의 공지의 수법을 적용할 수 있다. 비제한적인 일례로서, 각막에 대한 조사광의 반사에 의해 형성된 풀키니에 상에 근거한 시선 검출방법을 사용할 수 있다.
더욱 구체적으로는, 동공-각막 반사법에 근거한 시선 검출처리가 행해진다. 동공 각막 반사법을 사용하여, 안구의 촬상 화상에 포함되는 동공의 상과 풀키니에 상에 근거하여, 안구의 방향(회전 각도)을 나타내는 시선 벡터를 산출함으로써, 유저의 시선을 검출한다.
본 발명의 일 실시형태에 따른 표시장치는, 수광 소자를 갖는 촬상장치를 가져도 되고, 촬상장치로부터의 유저의 시선 정보에 근거하여 표시장치의 표시 화상을 제어해도 된다.
구체적으로는, 표시장치에서는, 시선 정보에 근거하여, 유저가 주시하는 제1 시야 영역과, 제1 시야 영역 이외의 제2 시야 영역을 결정한다. 제1 시야 영역 및 제2 시야 영역은 표시장치의 제어장치가 결정하거나, 외부의 제어장치에 의해 결정된 것을 수신해서 결정해도 된다. 표시장치의 표시 영역에 있어서, 제1 시야 영역의 표시 해상도를 제2 시야 영역의 표시 해상도보다 높게 제어해도 된다. 즉, 제2 시야 영역의 해상도를 제1 시야 영역의 해상도보다 낮게 제어해도 된다.
표시 영역은, 제1 표시 영역과, 제1 표시 영역과는 다른 제2 표시 영역을 갖는다. 시선 정보에 근거하여 제1 표시 영역 및 제2 표시 영역으로부터 더 높은 우선도의 영역이 결정된다. 제1 표시 영역 및 제2 표시 영역은, 표시장치의 제어장치가 결정하거나, 외부의 제어장치에 의해 결정된 것을 수신하여 결정해도 된다. 우선도가 높은 영역의 해상도를 우선도가 높은 영역 이외의 영역의 해상도보다 높게 제어해도 된다. 즉, 우선도가 상대적으로 낮은 영역의 해상도를 낮게 제어해도 된다.
제1 시야 영역이나 우선도가 높은 영역은 인공 지능(AI)에 의해 결정해도 된다. AI는 안구의 화상과 이 화상에서 안구의 실제 시선 방향을 교사 데이터로 사용하여 안구의 화상으로부터 시선의 각도와 시선 방향에 놓인 목적물까지의 거리를 추정하도록 구성된 모델이어도 된다. AI 프로그램은, 표시장치, 촬상장치, 또는 외부장치에 기억되어도 된다. 외부장치에 AI 프로그램이 기억될 때, AI 프로그램은 통신을 거쳐 표시장치에 전해진다.
시인 검지에 근거하여 표시를 제어하는 경우, 외부를 촬상하는 촬상장치를 더 갖는 스마트 글래스를 적용할 수 있다. 스마트 글래스는 촬상한 외부 정보를 실시간으로 표시할 수 있다.
이상에서 설명한 것과 같이, 본 실시형태에 따른 유기 발광 소자를 사용하는 장치를 사용하여, 장기간 동안에도 고품질의 화상을 안정적으로 표시할 수 있다.
본 발명에 따르면, 현상액에 포함되어 있는 성분을 저감함으로써, 신뢰성이 높은 유기 발광장치를 제공할 수 있다.
예시적인 실시형태들을 참조하여 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 이러한 실시형태에 한정되지 않는다는 것은 자명하다. 이하의 청구범위의 보호범위는 가장 넓게 해석되어 모든 변형, 동등물 구조 및 기능을 포괄하여야 한다.

Claims (23)

  1. 절연층과,
    상기 절연층의 주면 위에 배치된 제1 유기 발광 소자 및 제2 유기 발광 소자와,
    상기 제1 유기 발광 소자 위에 평면 뷰에 있어서 중첩하고 제1 파장을 갖는 빛을 투과하는 제1 칼라 필터와 상기 제2 유기 발광 소자 위에 중첩하고 상기 제1 파장과 다른 제2 파장을 갖는 빛을 투과하는 제2 칼라 필터를 갖는 칼라 필터층을 갖고,
    상기 제1 칼라 필터 및 상기 제2 칼라 필터 각각은, 상기 제1 유기 발광 소자 및 상기 제2 유기 발광 소자 각각을 향하는 제1면과 상기 제1면과 반대측의 제2면을 갖고,
    상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1 칼라 필터의 상기 제1면으로부터 상기 절연층까지의 거리와 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제2 칼라 필터의 상기 제1면으로부터 상기 절연층까지의 거리의 차이가, 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제1 칼라 필터의 상기 제2면으로부터 상기 절연층까지의 거리와 상기 절연층의 주면에 수직한 방향에 있어서 상기 제2 칼라 필터의 상기 제2면으로부터 상기 절연층까지의 거리의 차이보다도 작고,
    상기 칼라 필터층에 함유되는 질소 원자와 수산기를 갖는 유기 알칼리의 농도가 108.2ng/㎠ 미만인 유기 발광장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 알칼리는 테트라메틸암모늄 하이드록사이드인 유기 발광장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 알칼리의 농도는 40ng/㎠ 이하인 유기 발광장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 알칼리의 농도는 10ng/㎠ 이하인 유기 발광장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 알칼리의 농도는 0ng/㎠보다 큰 유기 발광장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 유기 알칼리의 농도는 0.08ng/㎠ 이상인 유기 발광장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 칼라 필터층은 100℃ 이하에서 경화가능한 수지로 구성되어 있는 유기 발광장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 유기 발광 소자에 포함된 유기층은 글래스 전이 온도가 100℃ 이상인 유기 화합물로 구성되어 있는 유기 발광장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 유기 발광 소자로부터의 발광을 집광하는 렌즈를 더 갖고,
    상기 렌즈는 상기 제1 칼라 필터의 제2면을 향해서 배치되어 있는 유기 발광장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 렌즈 위에 중공 구조를 개재하여 보호부재를 갖는 유기 발광장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 유기 발광 소자와 상기 칼라 필터층 사이에 투습성의 보호층을 갖는 유기 발광장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 제1 칼라 필터 및 상기 제2 칼라 필터 위에 수지층이 배치되고,
    상기 제1 칼라 필터와 상기 제2 칼라 필터 사이에 상기 수지층이 배치되는 유기 발광장치.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 제1 파장 및 상기 제2 파장과 다른 제3 파장을 갖는 빛을 투과하는 제3 칼라 필터를 더 갖고,
    상기 수지층이 상기 제3 칼라 필터 위에 배치되고,
    상기 제1 칼라 필터와 상기 제3 칼라 필터 사이에 상기 수지층이 배치되는 유기 발광장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 제1 칼라 필터, 상기 제2 칼라 필터 및 상기 제3 칼라 필터가 델타 배치로 배열되어 있는 유기 발광장치.
  15. 복수의 화소를 갖고,
    상기 복수의 화소의 적어도 한개가, 청구항 1 내지 14 중 어느 한 항에 기재된 유기 발광장치와, 상기 유기 발광장치에 접속된 트랜지스터를 갖는 표시장치.
  16. 복수의 렌즈를 갖는 광학부와,
    상기 광학부를 통과한 빛을 수광하는 촬상 소자와,
    상기 촬상 소자가 촬상한 화상을 표시하는 표시부를 갖고,
    상기 표시부는 청구항 1 내지 14 중 어느 한 항에 기재된 유기 발광장치를 갖는 촬상장치.
  17. 청구항 1 내지 14 중 어느 한 항에 기재된 유기 발광장치를 갖는 표시부와,
    상기 표시부가 설치된 하우징과,
    상기 하우징 내부에 배치되고 외부와 통신하는 통신부를 갖는 전자기기.
  18. 유기 발광장치의 제조방법으로서,
    절연층의 주면 위에 유기 발광 소자를 형성하는 단계와,
    상기 유기 발광 소자 위에 칼라 필터층을 형성하는 단계를 갖고,
    상기 칼라 필터층을 형성하는 단계는, 상기 유기 발광 소자에 수지를 부여하는 단계와, 질소 원자 및 수산기를 갖는 현상액을 사용해서 상기 수지를 현상하는 단계를 갖고,
    상기 제조방법은,
    상기 현상하는 단계 후에 상기 현상액을 저감하는 단계를 더 갖는 유기 발광장치의 제조방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 현상액을 저감하는 단계는, 80% 이상의 순수를 포함하는 액체를 사용한 세정인 유기 발광장치의 제조방법.
  20. 제 18항에 있어서,
    상기 현상액을 저감하는 단계 후에, 상기 칼라 필터층을 가열하는 단계를 갖고,
    상기 가열하는 단계는, 상기 칼라 필터층의 가열시에 상기 유기 발광 소자에 포함된 유기층을 구성하는 유기 화합물의 글래스 전이 온도 이하의 온도에서 행해지는 유기 발광장치의 제조방법.
  21. 제 18항에 있어서,
    상기 현상액을 저감하는 단계 후에, 상기 칼라 필터층을 가열하는 단계를 갖고,
    상기 가열하는 단계는, 상기 칼라 필터층의 가열시에 상기 현상액의 분해 온도 이하의 온도에서 행해지는 유기 발광장치의 제조방법.
  22. 제 18항 내지 제 21항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 칼라 필터층 위에, 상기 유기 발광 소자로부터의 발광을 집광하는 렌즈를 형성하는 단계를 갖는 유기 발광장치의 제조방법.
  23. 제 22항에 있어서,
    상기 렌즈 위에 공극을 개재하여 보호부재가 설치되는 유기 발광장치의 제조방법.
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