KR20230017651A - Pheripheral exposure apparatus and method - Google Patents

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KR20230017651A KR1020210099431A KR20210099431A KR20230017651A KR 20230017651 A KR20230017651 A KR 20230017651A KR 1020210099431 A KR1020210099431 A KR 1020210099431A KR 20210099431 A KR20210099431 A KR 20210099431A KR 20230017651 A KR20230017651 A KR 20230017651A
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Abstract

The present invention provides a peripheral exposure apparatus which comprises: a plurality of light guide holes (100) each extending in a first direction, one end in the first direction being blocked while the other end is open, spaced at a predetermined interval in a second direction crossing the first direction, or formed parallel to each other; a plurality of light emitting units (200) disposed on one side of the first direction of the different light guiding holes (100) toward the other side of the first direction; and a plurality of lens units (300) disposed on the other side of each light guiding hole (100) in the first direction than the light emitting unit (200) disposed on one side in the first direction and refracting light emitted from the light emitting unit (200). In the present invention, since there is no need to use a reflector or the like, the peripheral exposure apparatus (10) can be miniaturized.

Description

주변 노광 장치 및 방법{PHERIPHERAL EXPOSURE APPARATUS AND METHOD}Peripheral exposure apparatus and method {PHERIPHERAL EXPOSURE APPARATUS AND METHOD}

본 발명은 주변 노광 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 노광 대상물(W)의 소정의 영역에 광이 균일하게 조사되고 소형화할 수 있는 주변 노광 장치에 관한 것이다.[0001] The present invention relates to a peripheral exposure apparatus, and more particularly, to a peripheral exposure apparatus capable of uniformly radiating light to a predetermined area of an exposure target W and miniaturizing the exposure target W easily and at low cost with a simple structure.

종래부터 액정용 유리 기판, 반도체 웨이퍼, 감광 필름 등의 노광 대상물의 주변 소정 위치를 노광하기 위한 주변 노광 장치가 제공되어 실용화되어 있다.Conventionally, a peripheral exposure apparatus for exposing a predetermined position around an object to be exposed, such as a glass substrate for liquid crystal, a semiconductor wafer, or a photosensitive film, has been provided and put into practical use.

액정 표시 패널, 또는 반도체 웨이퍼 등의 기판에 배선 패턴을 형성할 때는, 우선 기판 전면(全面)에 레지스트를 도포하고, 포토리소그래피법에 의해 원하는 형상으로 패터닝하여 배선 패턴이 제작되는데, 통상은 기판 주변부에 폭이 수 mm 정도인 띠형상의 여백이 만들어지도록 마스크 패턴의 노광 위치가 정해지고 있다.When forming a wiring pattern on a substrate such as a liquid crystal display panel or a semiconductor wafer, first, a resist is applied to the entire surface of the substrate and patterned into a desired shape by photolithography to produce a wiring pattern, usually around the substrate The exposure position of the mask pattern is determined so that a band-shaped blank with a width of about several mm is created.

이 때문에, 포토리소그래피 공정에서 포지티브형 레지스트를 사용하면, 현상 처리 후, 기판 주변부에 미(未)노광 레지스트가 띠형상으로 잔존하게 된다. 이 잔존 레지스트는 불필요할 뿐만 아니라, 후속 제조 공정에 있어서 더스트가 되므로, 스루풋 저하 요인 중 하나로서 큰 문제가 된다. 그래서, 기판 주변부의 불필요한 레지스트 영역을 노광·현상하여 제거할 필요가 있다.For this reason, when a positive resist is used in the photolithography process, unexposed resist remains in the form of a strip at the periphery of the substrate after development. This residual resist is not only unnecessary, but also becomes dust in the subsequent manufacturing process, and thus becomes a major problem as one of the factors for reducing the throughput. Therefore, it is necessary to expose and develop the unnecessary resist region in the peripheral portion of the substrate to remove it.

주변 노광 장치와 관련된 선행기술은 다음과 같다.Prior art related to the peripheral exposure apparatus is as follows.

한국공개특허 제10-2001-0040008호는 워크의 주연부분에서 둘레방향 두께분포가 편향되어 있는 포토레지스트막의 주변노광을, 택트타임을 증가시키지 않고 노광불균일의 발생을 억제하여 행할 수 있는 주변노광장치의 광학계에 관한 것이다.Korean Patent Publication No. 10-2001-0040008 discloses a peripheral exposure device capable of performing peripheral exposure of a photoresist film having a biased circumferential thickness distribution at the periphery of a workpiece without increasing the tact time and suppressing exposure unevenness. It is about the optics of

그러나, 상기 선행기술에서는 주변노광장치가 미러 및 복수 개의 프리즘을 포함하므로 주변노광장치의 구조가 복잡하고 고가이고 크기가 크다.However, in the prior art, since the peripheral exposure device includes a mirror and a plurality of prisms, the structure of the peripheral exposure device is complicated, expensive, and large in size.

KR 10-2001-0040008KR 10-2001-0040008

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 실시예들은 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 노광 대상물(W)의 소정의 영역에 광이 균일하게 조사되고 소형화할 수 있는 주변 노광 장치 및 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and embodiments of the present invention are peripheral exposure devices capable of uniformly radiating light to a predetermined area of an exposure target W and miniaturizing it easily and at low cost with a simple configuration. Its purpose is to provide a method and method.

또한, 본 발명의 실시예들은 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있는 주변 노광 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.Further, an object of the embodiments of the present invention is to provide a peripheral exposure apparatus that can be easily manufactured and maintained/managed at low cost with a simple configuration.

상술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 노광 대상물(W)보다 제1방향의 일측에 배치되고 상기 노광 대상물(W)에 광을 조사하는 주변 노광 장치에 있어서, 각각 제1방향으로 연장되고 제1방향의 일단이 막히되 타단이 개방되고, 제1방향과 교차하는 제2방향으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성되는 복수 개의 도광홀(100); 각각 서로 다른 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 제1방향의 타방을 향하여 배치되는 복수 개의 발광부(200); 및 각각 서로 다른 상기 도광홀(100)에 배치되되 각 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)보다 제1방향의 타측에 배치되고 발광부(200)에서 방출된 광을 굴절시키는 복수 개의 렌즈부(300)를 포함하는, 주변 노광 장치를 제공한다.In order to solve the above problems, the present invention is a peripheral exposure device disposed on one side of an exposure object (W) in a first direction and radiating light to the exposure object (W), each extending in the first direction and a plurality of light guide holes 100, one end of which is blocked but the other end is open, spaced at a predetermined interval in a second direction that intersects the first direction, or formed parallel to each other; a plurality of light emitting units 200 disposed on one side of the first direction of the different light guiding holes 100 toward the other side of the first direction; And each disposed in the different light guide holes 100, but disposed on the other side of the light guiding holes 100 in the first direction than the light emitting part 200 disposed on one side in the first direction, and emits light from the light emitting part 200. A peripheral exposure apparatus including a plurality of lens units 300 for refracting light is provided.

상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)는 제1방향과 수직한 방향의 단면이 다각형 형상(P)을 가지고, 이에 따라 각각의 상기 발광부(200)는 상기 다각형 형상(P)과 대응하는 형상의 광 조사영역(R)을 가진다.The other end 130 in the first direction of the light guide hole 100 has a polygonal shape P in cross section in a direction perpendicular to the first direction, and accordingly, each light emitting part 200 has the polygonal shape ( P) and has a light irradiation area R having a corresponding shape.

상기 도광홀(100)이 상기 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 각각의 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제2방향의 일측 변을 이루는 부분이 제2방향의 일방으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제2방향의 타측 변을 이루는 부분과 접한다.When the light guiding hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 in the first direction, the light emitting units 200 disposed on one side of each light guiding hole 100 in the first direction. A light emitting unit disposed on one side of the first direction of the light guide hole 100 adjacent to one side of the polygonal shape P in the second direction in the light irradiation area R of ). In the light irradiation area R of 200, it comes into contact with a portion forming the other side of the polygonal shape P in the second direction.

일 실시예에서, 각각의 상기 도광홀(100)은 상기 렌즈부(300)가 배치되는 렌즈홀부(110) 및, 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)와 상기 렌즈홀부(110)의 사이에 형성되고 제1방향으로 길게 연장되는 연장홀부(120)를 포함한다.In one embodiment, each of the light guiding holes 100 includes a lens hole part 110 where the lens part 300 is disposed, the other end 130 of the light guiding hole 100 in the first direction, and the lens hole part. It is formed between the (110) and includes an extension hole (120) extending long in the first direction.

일 실시예에서, 상기 주변 노광 장치는, 단일한 하우징(H)을 더 포함하고, 상기 복수 개의 도광홀(100)은 상기 하우징(H)의 내부에 형성된다.In one embodiment, the peripheral exposure apparatus further includes a single housing H, and the plurality of light guide holes 100 are formed inside the housing H.

일 실시예에서, 상기 렌즈부(300)는 제1렌즈(310) 및 상기 제1렌즈(310)보다 직경이 큰 제2렌즈(320)를 포함하고, 상기 제1렌즈(310)가 제2렌즈(320)보다 제1방향의 일측에 배치된다.In one embodiment, the lens unit 300 includes a first lens 310 and a second lens 320 having a larger diameter than the first lens 310, and the first lens 310 has a second lens 310. It is disposed on one side of the first direction rather than the lens 320 .

일 실시예에서, 상기 제1렌즈(310) 및 제2렌즈(320)는 제1방향의 타면이 제1"?향?* 타방을 향하여 볼록하게 돌출된다.In one embodiment, the other surface of the first lens 310 and the second lens 320 in the first direction protrudes convexly toward the other direction.

일 실시예에서, 상기 제1렌즈(310)의 곡률이 상기 제2렌즈(320)의 곡률보다 크다.In one embodiment, the curvature of the first lens 310 is greater than the curvature of the second lens 320 .

일 실시예에서, 상기 주변 노광 장치는, 상기 복수 개의 도광홀(100)이 내부에 형성되는 단일한 하우징(H)을 더 포함한다.In one embodiment, the peripheral exposure apparatus further includes a single housing H in which the plurality of light guide holes 100 are formed.

각각의 상기 도광홀(100)은 상기 제1렌즈(310)가 배치되는 제1렌즈홀부(112) 및 상기 제2렌즈(320)가 배치되는 제2렌즈홀부(114)를 포함한다.Each light guiding hole 100 includes a first lens hole part 112 where the first lens 310 is disposed and a second lens hole part 114 where the second lens 320 is disposed.

상기 제1렌즈홀부(112)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적이 상기 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적보다 작다.A cross-sectional area of the first lens hole portion 112 on a plane perpendicular to the first direction is smaller than a cross-sectional area of the second lens hole portion 114 on a plane perpendicular to the first direction.

상기 하우징(H)은 복수 개의 상기 제1렌즈홀부(112)가 내부에 형성되는 단일한 제1하우징몸체부(H12) 및 복수 개의 상기 제2렌즈홀부(114)가 내부에 형성되고 상기 제1하우징몸체부(H12)와 결합되는 단일한 제2하우징몸체부(H14)를 포함한다.The housing H has a single first housing body H12 in which a plurality of first lens holes 112 are formed and a plurality of second lens holes 114 formed therein, and the first A single second housing body portion H14 coupled to the housing body portion H12 is included.

일 실시예에서, 상기 렌즈부(300)는 제1방향과 평행한 광축(X)을 가지고, 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의 상기 광축(X)과 수직한 평면에서의 단면적은 상기 렌즈부(300)의 상기 광축(X)과 수직한 평면에서의 최대 단면적보다 작다.In one embodiment, the lens unit 300 has an optical axis (X) parallel to the first direction, and is perpendicular to the optical axis (X) of the other end portion 130 of the light guide hole 100 in the first direction. The cross-sectional area in a plane is smaller than the maximum cross-sectional area in a plane perpendicular to the optical axis X of the lens unit 300 .

일 실시예에서, 상기 주변 노광 장치는, 상기 복수 개의 도광홀(100)이 내부에 형성되는 단일한 하우징(H)을 더 포함한다.In one embodiment, the peripheral exposure apparatus further includes a single housing H in which the plurality of light guide holes 100 are formed.

상기 하우징(H)은 상기 복수 개의 도광홀(100)의 상기 제1방향의 타단부(130)를 제외한 나머지 부분이 내부에 형성되는 단일한 하우징몸체부(H1) 및 상기 복수 개의 도광홀(100)의 상기 제1방향의 타단부(130)가 내부에 형성되고 상기 하우징몸체부(H1)와 결합되는 단일한 하우징단부(H2)를 포함한다.The housing H includes a single housing body H1 formed inside of the plurality of light guide holes 100 except for the other end 130 in the first direction and the plurality of light guide holes 100. The other end 130 in the first direction of ) is formed inside and includes a single housing end H2 coupled to the housing body H1.

일 실시예에서, 상기 굴절된 광 중에서 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과한 광은 제1방향과 평행한 방향으로 조사되거나 제1방향으로부터 소정의 각도(A) 이하로 기울어져서 조사된다.In one embodiment, among the refracted light, the light passing through the other end 130 in the first direction of the light guide hole 100 is irradiated in a direction parallel to the first direction or at a predetermined angle (A) from the first direction. ) is tilted below.

상기 소정의 거리(D1)는 상기 소정의 각도(A)와, 제2방향으로 서로 이웃하는 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130) 사이의 거리(D2)를 기초로 산출된다.The predetermined distance D1 is calculated based on a distance D2 between the predetermined angle A and the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction adjacent to each other in the second direction. do.

일 실시예에서, 상기 복수 개의 도광홀(100)은 제2방향과, 제1방향 및 제2방향과 교차하는 제3방향으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성된다.In one embodiment, the plurality of light guiding holes 100 are spaced apart from each other at predetermined intervals or formed parallel to each other in a second direction and a third direction crossing the first and second directions.

상기 도광홀(100)이 상기 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 각각의 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제3방향의 일측 변을 이루는 부분이 제3방향의 일방으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제3방향의 타측 변을 이루는 부분과 접한다.When the light guiding hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 in the first direction, the light emitting units 200 disposed on one side of each light guiding hole 100 in the first direction. A light emitting unit disposed on one side of the first direction of the light guide hole 100 adjacent to one side of the polygonal shape P in the third direction in the light irradiation area R of the ). In the light irradiation area R of 200, it comes into contact with a portion forming the other side of the polygonal shape P in the third direction.

일 실시예에서, 상기 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력(radiant power)이 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작다.In one embodiment, the output (radiant power) of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guide hole 100 formed inside of the plurality of light guide holes 100 in the first direction is formed outside the light guide hole 100. ) is smaller than the output of the light emitting unit 200 disposed on one side of the first direction.

일 실시예에서, 상기 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200) 및 복수 개의 도광홀(100) 중에서 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)는 서로 구분되어서 2 이상의 서로 다른 채널에 속한다.In one embodiment, the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guide hole 100 formed inside of the plurality of light guide holes 100 in the first direction and the light guide hole formed outside among the plurality of light guide holes 100 The light emitting units 200 disposed on one side of the first direction of (100) are distinguished from each other and belong to two or more different channels.

상기 주변 노광 장치는, 상기 2 이상의 채널에 속한 발광부(200)의 출력을 채널 별로 조절하는 제어부를 포함한다.The peripheral exposure apparatus includes a control unit that adjusts the output of the light emitting unit 200 belonging to the two or more channels for each channel.

또한, 상술한 과제를 해결하기 위해 본 발명은, 상기 도광홀(100)을 상기 노광 대상물(W)로부터 제1방향의 일방으로 상기 소정의 거리(D1)가 되는 지점에 위치시키는 배치단계; 및 상기 복수 개의 발광부(200)를 점등하는 노광단계를 포함하는 주변 노광 방법을 제공한다.In addition, in order to solve the above-described problems, the present invention provides a disposition step of locating the light guide hole 100 at a point at which the predetermined distance D1 is from the exposure object W in one direction in a first direction; and an exposure step of turning on the plurality of light emitting units 200 .

일 실시예에서, 상기 노광단계에서는, 상기 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력(radiant power)을 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작게 한다.In one embodiment, in the exposure step, the output (radiant power) of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guiding hole 100 formed in the inside of the plurality of light guiding holes 100 in the first direction is directed to the outside. The output of the light emitting unit 200 disposed on one side of the formed light guide hole 100 in the first direction is smaller than that of the light emitting unit 200 .

본 발명의 실시예들에 따르면, 노광 대상물(W)보다 제1방향의 일측에 배치되고 노광 대상물(W)에 광을 조사하는 주변 노광 장치에 있어서, 주변 노광 장치가 각각 제1방향으로 연장되고 제1방향의 일단이 막히되 타단이 개방되고, 제1방향과 교차하는 제2방향으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성되는 복수 개의 도광홀(100); 각각 서로 다른 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 제1방향의 타방을 향하여 배치되는 복수 개의 발광부(200); 및 각각 서로 다른 상기 도광홀(100)에 배치되되 각 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)보다 제1방향의 타측에 배치되고 발광부(200)에서 방출된 광을 굴절시키는 복수 개의 렌즈부(300)를 포함할 수 있다. 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)는 제1방향과 수직한 방향의 단면이 다각형 형상(P)을 가지고, 이에 따라 각각의 상기 발광부(200)는 상기 다각형 형상(P)과 대응하는 형상의 광 조사영역(R)을 가질 수 있다. 상기 도광홀(100)이 상기 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 각각의 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제2방향의 일측 변을 이루는 부분이 제2방향의 일방으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제2방향의 타측 변을 이루는 부분과 접할 수 있다.According to the embodiments of the present invention, in the peripheral exposure device disposed on one side of the exposure object W in a first direction and radiating light to the exposure object W, the peripheral exposure devices each extend in the first direction. a plurality of light guiding holes 100, one end of which is blocked in the first direction but the other end is open, spaced apart from each other at a predetermined interval in a second direction crossing the first direction, or formed parallel to each other; a plurality of light emitting units 200 disposed on one side of the first direction of the different light guiding holes 100 toward the other side of the first direction; And each disposed in the different light guide holes 100, but disposed on the other side of the light guiding holes 100 in the first direction than the light emitting part 200 disposed on one side in the first direction, and emits light from the light emitting part 200. It may include a plurality of lens units 300 for refracting light. The other end 130 in the first direction of the light guide hole 100 has a polygonal shape P in cross section in a direction perpendicular to the first direction, and accordingly, each light emitting part 200 has the polygonal shape ( P) may have a light irradiation area R having a corresponding shape. When the light guiding hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 in the first direction, the light emitting units 200 disposed on one side of each light guiding hole 100 in the first direction. A light emitting unit disposed on one side of the first direction of the light guide hole 100 adjacent to one side of the polygonal shape P in the second direction in the light irradiation area R of ). In the light irradiation area R of 200, it may come into contact with a portion forming the other side of the polygonal shape P in the second direction.

이에 따라, 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 노광 대상물(W)의 소정의 영역에 광이 균일하게 조사될 수 있다. 또한, 반사경 등을 사용할 필요가 없으므로 주변 노광 장치(10)가 소형화될 수 있다.Accordingly, light can be uniformly irradiated to a predetermined area of the exposure target W easily and at low cost with a simple configuration. Also, since there is no need to use a reflector or the like, the peripheral exposure apparatus 10 can be miniaturized.

본 발명의 실시예에 따르면, 각각의 도광홀(100)은 렌즈부(300)가 배치되는 렌즈홀부(110) 및, 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)와 렌즈홀부(110)의 사이에 형성되고 제1방향으로 길게 연장되는 연장홀부(120)를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, each light guiding hole 100 includes a lens hole 110 where the lens unit 300 is disposed, the other end 130 of the light guiding hole 100 in the first direction, and the lens hole portion ( 110) and may include an extension hole portion 120 extending long in the first direction.

이에 따라, 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 렌즈부(300)에서 굴절된 후에 연장홀부(120)를 반드시 통과해야만 도광홀(100)을 빠져나오게 되므로 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 대부분 각각의 도광홀(100)과 제1방향으로 마주하는 소정의 광 조사영역(R)에만 조사될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, the light of the light emitting unit 200 disposed in each light guiding hole 100 must pass through the extension hole 120 after being refracted by the lens unit 300 to exit the light guiding hole 100. Most of the light from the light emitting unit 200 disposed in the light guiding hole 100 may be irradiated only to a predetermined light irradiation area R facing each light guiding hole 100 in the first direction. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved.

본 발명의 실시예에 따르면, 주변 노광 장치는, 단일한 하우징(H)을 더 포함할 수 있다. 복수 개의 도광홀(100)은 하우징(H)의 내부에 형성 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the peripheral exposure apparatus may further include a single housing H. A plurality of light guiding holes 100 may be formed inside the housing H.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다.Accordingly, the peripheral exposure apparatus 10 can be easily manufactured and maintained/managed with a simple configuration at low cost.

본 발명의 실시예에 따르면, 렌즈부(300)는 제1렌즈(310) 및 제1렌즈(310)보다 직경이 큰 제2렌즈(320)를 포함하고, 제1렌즈(310)가 제2렌즈(320)보다 제1방향의 일측에 배치할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the lens unit 300 includes a first lens 310 and a second lens 320 having a larger diameter than the first lens 310, and the first lens 310 has a second lens 310. It may be disposed on one side of the first direction rather than the lens 320 .

이에 따라, 발광부(200)에서 방출된 광이 예컨대 제1방향과 대략 평행한 광으로 변환될 수 있다. 따라서, 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 렌즈부(300)에서 굴절된 후에 도광홀(100)을 빠져나오게 되므로 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 대부분 각각의 도광홀(100)과 제1방향으로 마주하는 소정의 광 조사영역(R)에만 조사될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다. 특히, 제1렌즈(310)는 발광부(200)와 가까워서 발광부(200)와 먼 제2렌즈(320)보다 크기가 작아도 발광부(200)에서 방출된 광 중에서 다량 또는 대부분을 굴절시킬 수 있다. 이에, 제1렌즈(310)의 직경을 작게함으로써 큰 광 손실없이 주변 노광 장치를 소형화할 수 있다.Accordingly, light emitted from the light emitting unit 200 may be converted into light substantially parallel to the first direction, for example. Therefore, since the light of the light emitting unit 200 disposed in each light guiding hole 100 exits the light guiding hole 100 after being refracted by the lens unit 300, the light emitting unit disposed in each light guiding hole 100 Most of the light of 200 may be irradiated only to a predetermined light irradiation area R facing each light guide hole 100 in the first direction. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved. In particular, since the first lens 310 is closer to the light emitting unit 200 and is smaller in size than the second lens 320 far from the light emitting unit 200, a large amount or most of the light emitted from the light emitting unit 200 can be refracted. there is. Therefore, by reducing the diameter of the first lens 310, the peripheral exposure apparatus can be miniaturized without a large loss of light.

본 발명의 실시예에 따르면, 제1렌즈(310) 및 제2렌즈(320)는 제1방향의 타면이 제1"?향?* 타방을 향하여 볼록하게 돌출될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the other surfaces of the first lens 310 and the second lens 320 in the first direction may protrude convexly toward the first "? direction?" other side.

이에 따라, 발광부(200)에서 방출된 광이 집광되면서 예컨대 제1방향과 대략 평행한 광으로 변환될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, the light emitted from the light emitting unit 200 may be condensed and converted into light substantially parallel to the first direction, for example. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved.

본 발명의 실시예에 따르면, 제1렌즈(310)의 곡률이 상기 제2렌즈(320)의 곡률보다 클 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the curvature of the first lens 310 may be greater than the curvature of the second lens 320 .

이에 따라, 발광부(200)와 가까운 제1렌즈(310)가 발광부(200)에서 방출된 광의 각도를 큰 폭으로 변환시킬 수 있으므로, 제2렌즈(320)의 크기가 작더라도 제1렌즈(310)에서 굴절된 광이 제2렌즈(320)로 대부분 입사될 수 있다. 이에, 큰 광 손실없이 주변 노광 장치를 소형화할 수 있다.Accordingly, since the first lens 310 close to the light emitting unit 200 can greatly change the angle of light emitted from the light emitting unit 200, even if the size of the second lens 320 is small, the first lens 310 Most of the light refracted by 310 may be incident to the second lens 320 . Accordingly, the peripheral exposure device can be miniaturized without a large loss of light.

본 발명의 실시예에 따르면, 주변 노광 장치는, 복수 개의 도광홀(100)이 내부에 형성되는 단일한 하우징(H)을 더 포함할 수 있다. 각각의 도광홀(100)은 제1렌즈(310)가 배치되는 제1렌즈홀부(112) 및 제2렌즈(320)가 배치되는 제2렌즈홀부(114)를 포함할 수 있다. 제1렌즈홀부(112)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적이 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적보다 작을 수 있다. 하우징(H)은 복수 개의 제1렌즈홀부(112)가 내부에 형성되는 단일한 제1하우징몸체부(H12) 및 복수 개의 제2렌즈홀부(114)가 내부에 형성되고 제1하우징몸체부(H12)와 결합되는 단일한 제2하우징몸체부(H14)를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the peripheral exposure apparatus may further include a single housing H in which a plurality of light guiding holes 100 are formed. Each light guide hole 100 may include a first lens hole 112 where the first lens 310 is disposed and a second lens hole 114 where the second lens 320 is disposed. A cross-sectional area of the first lens hole portion 112 on a plane perpendicular to the first direction may be smaller than a cross-sectional area of the second lens hole portion 114 on a plane perpendicular to the first direction. The housing H has a single first housing body portion H12 having a plurality of first lens holes 112 formed therein and a plurality of second lens holes 114 formed therein, and a first housing body portion ( H12) may include a single second housing body portion H14 coupled to the second housing body H14.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다. 특히, 제1렌즈홀부(112)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적이 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적보다 작더라도, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다.Accordingly, the peripheral exposure apparatus 10 can be easily manufactured and maintained/managed with a simple configuration at low cost. In particular, even if the cross-sectional area of the first lens hole portion 112 in a plane perpendicular to the first direction is smaller than the cross-sectional area of the second lens hole portion 114 in a plane perpendicular to the first direction, the peripheral exposure device 10 It can be easily manufactured and maintained/managed at low cost with a simple configuration.

본 발명의 실시예에 따르면, 렌즈부(300)는 제1방향과 평행한 광축(X)을 가지고, 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의 광축(X)과 수직한 평면에서의 단면적은 렌즈부(300)의 광축(X)과 수직한 평면에서의 최대 단면적보다 작을 수 있다According to an embodiment of the present invention, the lens unit 300 has an optical axis (X) parallel to the first direction, and is perpendicular to the optical axis (X) of the other end portion 130 of the light guide hole 100 in the first direction. The cross-sectional area in a plane may be smaller than the maximum cross-sectional area in a plane perpendicular to the optical axis X of the lens unit 300.

이에 따라, 렌즈부(300)에서 굴절된 광 중에서 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과하는 일부의 광만 노광 대상물(W)에 조사될 수 있으므로, 조사되는 광의 각도 및 위치범위를 용이하게 조절할 수 있다. 예를 들면 렌즈부(300)에서 굴절된 광 중에서 제1방향과 대략 평행한 방향의 광만 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과하여 노광 대상물(W)에 조사될 수 있다. 따라서, 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 대부분 각각의 도광홀(100)과 제1방향으로 마주하는 소정의 광 조사영역(R)에만 조사될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, only a part of the light passing through the other end 130 in the first direction of the light guiding hole 100 from among the light refracted by the lens unit 300 can be irradiated to the object W, so that the angle of the irradiated light and The position range can be easily adjusted. For example, among the light refracted by the lens unit 300, only light in a direction substantially parallel to the first direction may pass through the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction and be irradiated to the object W to be exposed. there is. Accordingly, most of the light from the light emitting unit 200 disposed in each light guiding hole 100 may be irradiated only to a predetermined light irradiation area R facing each light guiding hole 100 in the first direction. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved.

본 발명의 실시예에 따르면, 주변 노광 장치는, 복수 개의 도광홀(100)이 내부에 형성되는 단일한 하우징(H)을 더 포함하고, 하우징(H)은 복수 개의 도광홀(100)의 상기 제1방향의 타단부(130)를 제외한 나머지 부분이 내부에 형성되는 단일한 하우징몸체부(H1) 및 복수 개의 도광홀(100)의 상기 제1방향의 타단부(130)가 내부에 형성되고 하우징몸체부(H1)와 결합되는 단일한 하우징단부(H2)를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the peripheral exposure apparatus further includes a single housing H in which a plurality of light guide holes 100 are formed, and the housing H has the plurality of light guide holes 100 as described above. A single housing body portion H1 in which the rest except for the other end portion 130 in the first direction is formed inside and the other end portion 130 in the first direction of the plurality of light guide holes 100 is formed inside, A single housing end portion H2 coupled to the housing body portion H1 may be included.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다. 특히, 제1렌즈홀부(112)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적이 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적보다 작더라도, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다.Accordingly, the peripheral exposure apparatus 10 can be easily manufactured and maintained/managed with a simple configuration at low cost. In particular, even if the cross-sectional area of the first lens hole portion 112 in a plane perpendicular to the first direction is smaller than the cross-sectional area of the second lens hole portion 114 in a plane perpendicular to the first direction, the peripheral exposure device 10 It can be easily manufactured and maintained/managed at low cost with a simple configuration.

본 발명의 실시예에 따르면, 굴절된 광 중에서 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과한 광은 제1방향과 평행한 방향으로 조사되거나 제1방향으로부터 소정의 각도(A) 이하로 기울어져서 조사될 수 있다. 상기 소정의 거리(D1)는 소정의 각도(A)와, 제2방향으로 서로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130) 사이의 거리(D2)를 기초로 산출될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, among the refracted light, the light passing through the other end 130 in the first direction of the light guide hole 100 is irradiated in a direction parallel to the first direction or at a predetermined angle from the first direction ( A) can be irradiated with an inclination below. The predetermined distance D1 may be calculated based on a predetermined angle A and a distance D2 between the other ends 130 of the light guide holes 100 adjacent to each other in the second direction in the first direction. there is.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 올바른 위치에 용이하게 설치하여 효과적으로 사용할 수 있다.Accordingly, it is possible to easily install the peripheral exposure device 10 in a correct position and use it effectively.

복수 개의 도광홀(100)은 제2방향과, 제1방향 및 제2방향과 교차하는 제3방향으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성될 수 있다. 도광홀(100)이 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 각각의 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제3방향의 일측 변을 이루는 부분이 제3방향의 일방으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제3방향의 타측 변을 이루는 부분과 접할 수 있다.The plurality of light guiding holes 100 may be formed parallel to each other while being spaced apart from each other by a predetermined interval in the second direction and in a third direction crossing the first and second directions. When the light guiding hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 in the first direction, the light emitting unit 200 disposed on one side of each light guiding hole 100 in the first direction irradiates light. Of the region R, the portion forming one side of the polygonal shape P in the third direction is disposed on one side of the light guide hole 100 adjacent to one side in the third direction in the first direction of the light emitting unit 200. In the light irradiation area R, it may come into contact with a portion forming the other side of the polygonal shape P in the third direction.

이에 따라, 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 노광 대상물(W)의 소정의 영역에 광이 균일하게 조사될 수 있다. 또한, 반사경 등을 사용할 필요가 없으므로 주변 노광 장치(10)가 소형화될 수 있다.Accordingly, light can be uniformly irradiated to a predetermined area of the exposure target W easily and at low cost with a simple configuration. Also, since there is no need to use a reflector or the like, the peripheral exposure apparatus 10 can be miniaturized.

복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력(radiant power)이 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작을 수 있다.Among the plurality of light guide holes 100, the output of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guide hole 100 formed on the inside in the first direction is the output of the light guide hole 100 formed on the outside in the first direction. It may be smaller than the output of the light emitting unit 200 disposed on one side.

이에 따라, 노광 대상물(W)의 소정의 영역 중에서 주변 노광 장치(10)의 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200)와 마주하는 영역에 주변 노광 장치(10)의 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200)의 광이 산란되는 등의 이유로 조사되더라도 노광 대상물(W)의 소정의 영역 전체에 조사되는 광의 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, the light guide formed outside the peripheral exposure device 10 in a region facing the light emitting part 200 of the light guide hole 100 formed inside the peripheral exposure device 10 in a predetermined area of the exposure target W. Even if the light from the light emitting part 200 of the hole 100 is irradiated due to scattering or the like, the uniformity of the light irradiated to the entire predetermined area of the exposure object W can be improved.

본 발명의 실시예에 따르면, 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200) 및 복수 개의 도광홀(100) 중에서 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)는 서로 구분되어서 2 이상의 서로 다른 채널에 속할 수 있다. 주변 노광 장치는, 상기 2 이상의 채널에 속한 발광부(200)의 출력을 채널 별로 조절할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the light emitting unit 200 disposed on one side in the first direction of the light guide hole 100 formed on the inside of the plurality of light guide holes 100 and formed on the outside of the plurality of light guide holes 100 The light emitting units 200 disposed on one side of the light guide hole 100 in the first direction may be distinguished from each other and belong to two or more different channels. The peripheral exposure apparatus may adjust the output of the light emitting unit 200 belonging to the two or more channels for each channel.

이에 따라, 노광 대상물(W)의 소정의 영역에 전체에 조사되는 광의 균일도를 용이하게 조절할 수 있다.Accordingly, the uniformity of the light irradiated to the entire predetermined area of the exposure target W can be easily adjusted.

본 발명의 실시예에 따르면, 주변 노광 방법은 도광홀(100)을 노광 대상물(W)로부터 제1방향의 일방으로 상기 소정의 거리(D1)가 되는 지점에 위치시키는 배치단계; 및 복수 개의 발광부(200)를 점등하는 노광단계를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the peripheral exposure method includes an arrangement step of locating a light guide hole 100 at a point at a predetermined distance D1 from an exposure object W in one direction in a first direction; and an exposure step of turning on the plurality of light emitting units 200 .

이에 따라, 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 노광 대상물(W)의 소정의 영역에 광이 균일하게 조사될 수 있다.Accordingly, light can be uniformly irradiated to a predetermined area of the exposure target W easily and at low cost with a simple configuration.

본 발명의 실시예에 따르면, 노광단계에서는, 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력(radiant power)을 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작게 할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, in the exposure step, the output (radiant power) of the light emitting unit 200 disposed on one side in the first direction of the light guide hole 100 formed inside among the plurality of light guide holes 100 is transmitted to the outside. The output of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guiding hole 100 in the first direction may be smaller than that of the light guiding hole 100 formed on the side.

이에 따라, 노광 대상물(W)의 소정의 영역 중에서 주변 노광 장치(10)의 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200)와 마주하는 영역에 주변 노광 장치(10)의 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200)의 광이 산란되는 등의 이유로 조사되더라도 노광 대상물(W)의 소정의 영역 전체에 조사되는 광의 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, the light guide formed outside the peripheral exposure device 10 in a region facing the light emitting part 200 of the light guide hole 100 formed inside the peripheral exposure device 10 in a predetermined area of the exposure target W. Even if the light from the light emitting part 200 of the hole 100 is irradiated due to scattering or the like, the uniformity of the light irradiated to the entire predetermined area of the exposure object W can be improved.

상술한 효과와 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the effects described above, specific effects of the present invention will be described together while explaining specific details for carrying out the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 주변 노광 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 주변 노광 장치에서 빛의 진행 경로 및 광 조사영역을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 3은 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에서 발광부 및 렌즈부의 형상과 도광홀에서 발광부 및 렌즈부가 배치되는 위치 및 방향을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치의 제1방향의 타단을 바라본 도면이다.
도 5는 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에서 방출된 광이 노광 대상물에 조사되는 상태를 나타낸 도면이다.
도 6은 도 4의 도면에 발광부를 표시하고 도광홀을 안쪽 및 바깥쪽으로 구분하는 사각형을 표시한 도면이다.
도 7 내지 도 9는 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에 있어서 도 6의 사각형에 의해 구분된 안쪽 및 바깥쪽의 도광홀에 배치된 발광부의 출력에 따라 노광 대상물에 조사되는 광의 광량을 위치별로 나타낸 도면이다.
도 10 및 도 11은 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에 있어서 안쪽 및 바깥쪽의 도광홀에 배치된 발광부의 출력을 조절한 경우에 노광 대상물에 조사되는 광의 광량을 위치별로 구체적으로 나타낸 도면 및 표이다.1 is a perspective view of a peripheral exposure apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a light traveling path and a light irradiation area in the peripheral exposure apparatus of FIG. 1 .
FIG. 3 is a view schematically showing the shapes of the light emitting unit and the lens unit in the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 and positions and directions in which the light emitting unit and the lens unit are disposed in the light guiding hole.
FIG. 4 is a view looking at the other end of the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 in a first direction.
FIG. 5 is a view showing a state in which light emitted from the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 is irradiated to an object to be exposed.
FIG. 6 is a view in which the light emitting part is displayed in the drawing of FIG. 4 and rectangles dividing light guiding holes into inner and outer parts are displayed.
7 to 9 show the amount of light irradiated to the exposure object according to the output of light emitting units disposed in inner and outer light guiding holes divided by rectangles in FIG. 6 in the peripheral exposure apparatus of FIGS. is the drawing shown.
10 and 11 are diagrams showing the amount of light irradiated to an object to be exposed in detail for each position when the output of light emitting units disposed in inner and outer light guide holes in the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 is adjusted; and It is a table.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조로 하여 상세히 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 다양한 변경을 가할 수 있고 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위하여 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라, 어느 하나의 실시예의 구성과 다른 실시예의 구성을 서로 치환하거나 부가하는 것은 물론 본 발명의 기술적 사상과 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.The present invention is not limited to the embodiments disclosed below, and various changes may be applied and may be implemented in various different forms. Only this embodiment is provided to complete the disclosure of the present invention and to fully inform those skilled in the art of the scope of the invention. Therefore, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but all changes and equivalents included in the technical spirit and scope of the present invention as well as substitution or addition of the configuration of one embodiment and the configuration of another embodiment each other to substitutes.

첨부된 도면은 본 명세서에 개시된 실시 예를 쉽게 이해할 수 있도록 하기 위한 것일 뿐, 첨부된 도면에 의해 본 명세서에 개시된 기술적 사상이 제한되지 않으며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 도면에서 구성요소들은 이해의 편의 등을 고려하여 크기나 두께가 과장되게 크거나 작게 표현될 수 있으나, 이로 인해 본 발명의 보호범위가 제한적으로 해석되어서는 아니 될 것이다.The accompanying drawings are only for easy understanding of the embodiments disclosed in this specification, and the technical idea disclosed in this specification is not limited by the accompanying drawings, and all changes and equivalents included in the spirit and technical scope of the present invention are included. It should be understood to include water or substitutes. In the drawings, components may be exaggeratedly large or small in size or thickness in consideration of convenience of understanding, etc., but due to this, the scope of protection of the present invention should not be construed as being limited.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 구현예나 실시예를 설명하기 위해 사용되는 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 그리고 단수의 표현은, 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 명세서에서 ~포함하다, ~이루어진다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이다. 즉 명세서에서 ~포함하다, ~이루어진다 등의 용어는. 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들이 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Terms used in this specification are only used to describe specific implementations or examples, and are not intended to limit the present invention. And expressions in the singular include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the specification, terms such as "comprise" and "consist of" are intended to designate that features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist. That is, in the specification, terms such as ~ include, ~ consist of, etc. It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of one or more other features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Terms including ordinal numbers, such as first and second, may be used to describe various components, but the components are not limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another.

어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다.It is understood that when an element is referred to as being "connected" or "connected" to another element, it may be directly connected or connected to the other element, but other elements may exist in the middle. It should be. On the other hand, when an element is referred to as “directly connected” or “directly connected” to another element, it should be understood that no other element exists in the middle.

어떤 구성요소가 다른 구성요소의 "상부에 있다"거나 "하부에 있다"고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소의 바로 위에 배치되어 있는 것뿐만 아니라 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.When an element is referred to as being “on top” or “under” another element, it should be understood that other elements may exist in the middle as well as being directly above the other element. .

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

이하의 실시예들에서 개시되는 주변 노광 장치에 대해 각 도면을 참조하여 보다 구체적으로 살펴보기로 한다.A peripheral exposure apparatus disclosed in the following embodiments will be described in more detail with reference to each drawing.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 주변 노광 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 주변 노광 장치에서 빛의 진행 경로 및 광 조사영역을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 3은 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에서 발광부 및 렌즈부의 형상과 도광홀에서 발광부 및 렌즈부가 배치되는 위치 및 방향을 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 4는 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치의 제1방향의 타단을 바라본 도면이다. 도 5는 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에서 방출된 광이 노광 대상물에 조사되는 상태를 나타낸 도면이다. 도 6은 도 4의 도면에 발광부를 표시하고 도광홀을 안쪽 및 바깥쪽으로 구분하는 사각형을 표시한 도면이다. 도 7 내지 도 9는 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에 있어서 도 6의 사각형에 의해 구분된 안쪽 및 바깥쪽의 도광홀에 배치된 발광부의 출력에 따라 노광 대상물에 조사되는 광의 광량을 위치별로 나타낸 도면이다. 도 10 및 도 11은 도 1 및 도 2의 주변 노광 장치에 있어서 안쪽 및 바깥쪽의 도광홀에 배치된 발광부의 출력을 조절한 경우에 노광 대상물에 조사되는 광의 광량을 위치별로 구체적으로 나타낸 도면 및 표이다.FIG. 1 is a perspective view of a peripheral exposure apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a diagram schematically illustrating a light traveling path and a light irradiation area in the peripheral exposure apparatus of FIG. 1 . FIG. 3 is a view schematically showing the shapes of the light emitting unit and the lens unit in the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 and positions and directions in which the light emitting unit and the lens unit are disposed in the light guiding hole. FIG. 4 is a view looking at the other end of the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 in a first direction. FIG. 5 is a view showing a state in which light emitted from the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 is irradiated to an object to be exposed. FIG. 6 is a view in which the light emitting part is displayed in the drawing of FIG. 4 and rectangles dividing light guiding holes into inner and outer parts are displayed. 7 to 9 show the amount of light irradiated to the exposure object according to the output of light emitting units disposed in inner and outer light guiding holes divided by rectangles in FIG. 6 in the peripheral exposure apparatus of FIGS. is the drawing shown. 10 and 11 are diagrams showing the amount of light irradiated to an object to be exposed in detail for each position when the output of light emitting units disposed in inner and outer light guide holes in the peripheral exposure apparatus of FIGS. 1 and 2 is adjusted; and It is a table.

도 1 및 도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 주변 노광 장치(10)는 복수 개의 도광홀(100), 복수 개의 발광부(200) 및 복수 개의 렌즈부(300)을 포함할 수 있다. 주변 노광 장치(10)는 단일한 하우징(H)을 더 포함할 수 있다. 주변 노광 장치(10)는 제어부를 더 포함할 수 있다.Referring to FIGS. 1 and 2 , the peripheral exposure apparatus 10 according to an exemplary embodiment may include a plurality of light guiding holes 100 , a plurality of light emitting units 200 , and a plurality of lens units 300 . The peripheral exposure apparatus 10 may further include a single housing H. The peripheral exposure apparatus 10 may further include a controller.

주변 노광 장치(10)는 노광 대상물(W)보다 제1방향(예컨대, 상하방향)의 일측(예컨대, 상측)에 배치될 수 있고, 노광 대상물(W)에 광을 조사할 수 있다(도 2).The peripheral exposure apparatus 10 may be disposed on one side (eg, upper side) of the exposure object W in the first direction (eg, up and down direction), and may irradiate light to the exposure object W (FIG. 2 ).

[도광홀][Guiding Hall]

도광홀(100)은 복수 개가 형성될 수 있다. 각각의 도광홀(100)은 제1방향으로 연장되고 제1방향의 일단이 막히되 타단이 개방될 수 있다. 도광홀(100)은 제1방향과 교차하는(예컨대, 직교하는) 제2방향(예컨대, 좌우방향)으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성될 수 있다.A plurality of light guide holes 100 may be formed. Each light guide hole 100 extends in a first direction, and one end in the first direction may be blocked while the other end may be open. The light guiding holes 100 may be formed parallel to or spaced apart from each other at a predetermined interval in a second direction (eg, a left-right direction) that intersects (eg, orthogonally crosses) the first direction.

도광홀(100)은 발광부(200)에서 방출된 광의 경로를 제공할 수 있다.The light guiding hole 100 may provide a path for light emitted from the light emitting unit 200 .

구체적으로 예를 들면, 도광홀(100)은 렌즈홀부(110), 연장홀부(120) 및 제1방향의 타단부(130, 예컨대 하단부)를 포함할 수 있다.Specifically, for example, the light guiding hole 100 may include a lens hole part 110, an extension hole part 120, and the other end part 130 in the first direction (eg, a lower end part).

렌즈홀부(110)에는 렌즈부(300)가 배치될 수 있다. 예를 들면, 렌즈홀부(110)의 내주면에 렌즈부(300)가 결합될 수 있다.A lens unit 300 may be disposed in the lens hole 110 . For example, the lens unit 300 may be coupled to the inner circumferential surface of the lens hole unit 110 .

예를 들면, 렌즈홀부(110)는 제1렌즈(310)가 배치되는 제1렌즈홀부(112) 및 제2렌즈(320)가 배치되는 제2렌즈홀부(114)를 포함할 수 있다.For example, the lens hole 110 may include a first lens hole 112 where the first lens 310 is disposed and a second lens hole 114 where the second lens 320 is disposed.

제1렌즈홀부(112)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적은 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적보다 작을 수 있다.A cross-sectional area of the first lens hole 112 on a plane perpendicular to the first direction may be smaller than that of the second lens hole 114 on a plane perpendicular to the first direction.

연장홀부(120)는 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)와 렌즈홀부(110)의 사이에 형성될 수 있다. 연장홀부(120)는 제1방향으로 길게 연장될 수 있다.The extension hole 120 may be formed between the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction and the lens hole 110 . The extension hole portion 120 may extend long in the first direction.

이에 따라, 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 렌즈부(300)에서 굴절된 후에 연장홀부(120)를 반드시 통과해야만 도광홀(100)을 빠져나오게 되므로 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 대부분 각각의 도광홀(100)과 제1방향으로 마주하는 소정의 광 조사영역(R)에만 조사될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, the light of the light emitting unit 200 disposed in each light guiding hole 100 must pass through the extension hole 120 after being refracted by the lens unit 300 to exit the light guiding hole 100. Most of the light from the light emitting unit 200 disposed in the light guiding hole 100 may be irradiated only to a predetermined light irradiation area R facing each light guiding hole 100 in the first direction. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved.

연장홀부(120)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적은 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적과 동일할 수 있다.A cross-sectional area of the extension hole 120 on a plane perpendicular to the first direction may be the same as that of the second lens hole 114 on a plane perpendicular to the first direction.

도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)에서는 제1방향과 수직한 방향의 단면이 다각형 형상(P, 예컨대 정사각형)을 가질 수 있다. 이에, 각각의 발광부(200)는 다각형 형상(P)과 대응하는 형상의 광 조사영역(R)을 가질 수 있다. 이와 관련하여, 후술한다.At the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction, a cross section in a direction perpendicular to the first direction may have a polygonal shape (P, for example, a square). Accordingly, each light emitting unit 200 may have a polygonal shape P and a light irradiation area R having a corresponding shape. In this regard, it will be described later.

도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의, 렌즈부(300)의 광축(X)과 수직한 평면에서의 단면적은 렌즈부(300)의 상기 광축(X)과 수직한 평면에서의 최대 단면적보다 작을 수 있다. 여기에서, 렌즈부(300)의 광축(X)은 제1방향과 평행할 수 있다. 또한, 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의 중심은 렌즈부(300)의 광축(X) 상에 위치할 수 있다.The cross-sectional area of the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction on the plane perpendicular to the optical axis X of the lens unit 300 is the plane perpendicular to the optical axis X of the lens unit 300. may be smaller than the maximum cross-sectional area in Here, the optical axis X of the lens unit 300 may be parallel to the first direction. In addition, the center of the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction may be located on the optical axis X of the lens unit 300 .

예를 들면, 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의, 제2렌즈(320)의 광축(X)과 수직한 평면에서의 단면적은 제2렌즈(320)의 상기 광축(X)과 수직한 평면에서의 단면적보다 작을 수 있다.For example, the cross-sectional area of the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction in a plane perpendicular to the optical axis X of the second lens 320 is the optical axis of the second lens 320 ( It may be smaller than the cross-sectional area in a plane perpendicular to X).

이에 따라, 렌즈부(300)에서 굴절된 전체 광 중에서 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과하는 일부의 광만 노광 대상물(W)에 조사될 수 있으므로, 노광 대상물(W)에 조사되는 광의 각도 및 위치범위를 용이하게 조절할 수 있다. 예를 들면 렌즈부(300)에서 굴절된 광 중에서 제1방향과 대략 평행한 방향의 광만 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과하여 노광 대상물(W)에 조사될 수 있다. 반면에, 렌즈부(300)에서 굴절된 광 중에서 제1방향과 각도 차이가 큰 광은 상기 타단부(300)를 통과하지 못할 수 있으므로 노광 대상물(W)에 조사될 수 없다. 따라서, 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 대부분 각각의 도광홀(100)과 제1방향으로 마주하는 소정의 광 조사영역(R)에만 조사될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, only a part of the light passing through the other end 130 in the first direction of the light guiding hole 100 from among all the light refracted by the lens unit 300 can be irradiated to the exposure object W, so that the exposure object W ) can easily adjust the angle and positional range of the light irradiated. For example, among the light refracted by the lens unit 300, only light in a direction substantially parallel to the first direction may pass through the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction and be irradiated to the object W to be exposed. there is. On the other hand, among the light refracted by the lens unit 300, the light having a large angular difference from the first direction may not pass through the other end 300 and thus cannot be irradiated to the object W. Accordingly, most of the light from the light emitting unit 200 disposed in each light guiding hole 100 may be irradiated only to a predetermined light irradiation area R facing each light guiding hole 100 in the first direction. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved.

한편, 복수 개의 도광홀(100)은 제2방향과, 제1방향 및 제2방향과 교차하는(예컨대, 직교하는) 제3방향(예컨대, 전후방향)으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성될 수 있다(도 1).On the other hand, the plurality of light guide holes 100 are formed side by side at a predetermined distance apart from each other in a second direction and in a third direction (eg, forward and backward directions) intersecting (eg, orthogonal to) the first and second directions. can be (Fig. 1).

[하우징][housing]

하우징(H)은 단일한 한 개가 주변 노광 장치(10)에 포함될 수 있다. 하우징(H)의 내부에는 전술한 복수 개의 도광홀(100)이 형성될 수 있다.A single housing H may be included in the peripheral exposure device 10 . The plurality of light guide holes 100 described above may be formed inside the housing H.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다.Accordingly, the peripheral exposure apparatus 10 can be easily manufactured and maintained at low cost with a simple configuration.

구체적으로 예를 들면, 하우징(H)은 하우징몸체부(H1) 및 하우징단부(H2)를 포함할 수 있다.Specifically, for example, the housing (H) may include a housing body (H1) and a housing end (H2).

하우징몸체부(H1)의 내부에는 복수 개의 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 제외한 나머지 부분(예컨대, 렌즈홀부 및 연장홀부)이 형성될 수 있다. 예를 들면, 하우징몸체부(H1)는 제1하우징몸체부(H12) 및 제2하우징몸체부(H14)를 포함할 수 있다.Inside the housing body part H1, other parts (eg, lens hole part and extension hole part) other than the other end part 130 of the plurality of light guiding holes 100 in the first direction may be formed. For example, the housing body part H1 may include a first housing body part H12 and a second housing body part H14.

제1하우징몸체부(H12)는 복수 개의 제1렌즈홀부(112)가 내부에 형성될 수 있다.The first housing body H12 may have a plurality of first lens holes 112 formed therein.

제2하우징몸체부(H14)는 복수 개의 제2렌즈홀부(114)가 내부에 형성될 수 있다. 제2하우징몸체부(H14)는 제1하우징몸체부(H12)와 결합될 수 있다.The second housing body H14 may have a plurality of second lens holes 114 formed therein. The second housing body part H14 may be coupled to the first housing body part H12.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다. 특히, 제1렌즈홀부(112)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적이 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적보다 작더라도, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다.Accordingly, the peripheral exposure apparatus 10 can be easily manufactured and maintained/managed with a simple configuration at low cost. In particular, even if the cross-sectional area of the first lens hole portion 112 in a plane perpendicular to the first direction is smaller than the cross-sectional area of the second lens hole portion 114 in a plane perpendicular to the first direction, the peripheral exposure device 10 It can be easily manufactured and maintained/managed at low cost with a simple configuration.

또한, 제2하우징몸체부(H14)의 내부에는 연장홀부(120)가 형성될 수 있다.In addition, an extension hole 120 may be formed inside the second housing body H14.

하우징단부(H2)의 내부에는 복수 개의 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)가 형성될 수 있다. 하우징단부(H2)는 하우징몸체부(H1)와 결합될 수 있다.The other end 130 of the plurality of light guiding holes 100 in the first direction may be formed inside the housing end H2. The housing end H2 may be coupled to the housing body H1.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다. 특히, 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의, 렌즈부(300)의 광축(X)과 수직한 평면에서의 단면적이 렌즈부(300)의 상기 광축(X)과 수직한 평면에서의 최대 단면적보다 작더라도, 주변 노광 장치(10)를 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 제조 및 유지/관리할 수 있다.Accordingly, the peripheral exposure apparatus 10 can be easily manufactured and maintained/managed with a simple configuration at low cost. In particular, the cross-sectional area of the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction on a plane perpendicular to the optical axis X of the lens unit 300 is perpendicular to the optical axis X of the lens unit 300. Even if it is smaller than the maximum cross-sectional area in one plane, the peripheral exposure apparatus 10 can be easily manufactured and maintained at low cost with a simple configuration.

[발광부][light emitting part]

발광부(200)는 복수 개가 주변 노광 장치(10)에 포함될 수 있다.A plurality of light emitting units 200 may be included in the peripheral exposure apparatus 10 .

복수 개의 발광부(200)는 각각 서로 다른 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 제1방향의 타방을 향하여 배치될 수 있다. 구체적으로 예를 들면, 발광부(200)는 도광홀(100)의 제1방향의 일측 단부에 배치되거나 도광홀(100)보다 제1방향의 일측에 배치될 수 있다.The plurality of light emitting units 200 may be disposed on one side of each different light guiding hole 100 in the first direction toward the other side of the first direction. Specifically, for example, the light emitting unit 200 may be disposed at one end of the light guide hole 100 in the first direction or disposed at one side of the light guide hole 100 in the first direction.

발광부(200)는 예를 들면 발광소자를 포함할 수 있다.The light emitting unit 200 may include, for example, a light emitting device.

발광부(200)는 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의 다각형 형상(P)과 대응하는 형상의 광 조사영역(R)을 가질 수 있다. 이와 관련하여, 후술한다.The light emitting unit 200 may have a light irradiation area R having a shape corresponding to the polygonal shape P of the other end 130 of the light guiding hole 100 in the first direction. In this regard, it will be described later.

발광부(200)의 중심은 렌즈부(300)의 광축(X) 상에 위치할 수 있다(도 3).The center of the light emitting unit 200 may be located on the optical axis X of the lens unit 300 (FIG. 3).

[렌즈부][Lens part]

렌즈부(200)는 복수 개가 주변 노광 장치(10)에 포함될 수 있다. 복수 개의 렌즈부(200)는 각각 서로 다른 도광홀(100)에 배치되되 각 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)보다 제1방향의 타측에 배치될 수 있다.A plurality of lens units 200 may be included in the peripheral exposure apparatus 10 . The plurality of lens units 200 are disposed in different light guiding holes 100 and may be disposed on the other side of each light guiding hole 100 in the first direction than the light emitting unit 200 disposed on one side in the first direction. .

렌즈부(200)는 발광부(200)에서 방출된 광을 굴절시킬 수 있다. 예를 들면, 렌즈부(200)는 발광부(200)에서 다양한 방향으로 방출된 광을 제1방향과 대략 평행한 방향으로 변환시킬 수 있다.The lens unit 200 may refract light emitted from the light emitting unit 200 . For example, the lens unit 200 may convert light emitted in various directions from the light emitting unit 200 into a direction substantially parallel to the first direction.

렌즈부(200)에는 무반사 코팅층이 형성될 수 있다. 이에, 광손실을 줄일 수 있다.An anti-reflection coating layer may be formed on the lens unit 200 . Thus, light loss can be reduced.

도 3을 더 참조하면, 렌즈부(300)는 제1렌즈(310) 및 제1렌즈(310)보다 직경이 큰 제2렌즈(320)를 포함할 수 있다. 제1렌즈(310)가 제2렌즈(320)보다 제1방향의 일측에 배치될 수 있다.Referring further to FIG. 3 , the lens unit 300 may include a first lens 310 and a second lens 320 having a larger diameter than the first lens 310 . The first lens 310 may be disposed on one side of the second lens 320 in the first direction.

이에 따라, 발광부(200)에서 방출된 광이 예컨대 제1방향과 대략 평행한 광으로 변환될 수 있다. 따라서, 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 렌즈부(300)에서 굴절된 후에 도광홀(100)을 빠져나오게 되므로 각각의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 광이 대부분 각각의 도광홀(100)과 제1방향으로 마주하는 소정의 광 조사영역(R)에만 조사될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다. 특히, 제1렌즈(310)는 발광부(200)와 가까워서 발광부(200)와 먼 제2렌즈(320)보다 크기가 작아도 발광부(200)에서 방출된 광 중에서 다량 또는 대부분의 광을 굴절시킬 수 있다. 이에, 제1렌즈(310)의 직경을 작게함으로써 큰 광 손실없이 주변 노광 장치(10)를 소형화할 수 있다.Accordingly, light emitted from the light emitting unit 200 may be converted into light substantially parallel to the first direction, for example. Therefore, since the light of the light emitting unit 200 disposed in each light guiding hole 100 exits the light guiding hole 100 after being refracted by the lens unit 300, the light emitting unit disposed in each light guiding hole 100 Most of the light of 200 may be irradiated only to a predetermined light irradiation area R facing each light guide hole 100 in the first direction. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved. In particular, the first lens 310 refracts a large amount or most of the light emitted from the light emitting unit 200 even though it is smaller in size than the second lens 320 that is closer to the light emitting unit 200 and far from the light emitting unit 200. can make it Therefore, by reducing the diameter of the first lens 310, the peripheral exposure apparatus 10 can be miniaturized without a large loss of light.

제1렌즈(310) 및 제2렌즈(320)는 제1방향의 타면이 제1"?향?* 타방을 향하여 볼록하게 돌출될 수 있다.The other surface of the first lens 310 and the second lens 320 in the first direction may protrude convexly toward the first "? direction? * other side.

이에 따라, 발광부(200)에서 방출된 광이 집광되면서 예컨대 제1방향과 대략 평행한 광으로 변환될 수 있다. 이에, 노광 대상물(W)에 조사되는 광 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, the light emitted from the light emitting unit 200 may be condensed and converted into light substantially parallel to the first direction, for example. Accordingly, the uniformity of light irradiated to the object W may be improved.

제1렌즈(310) 및 제2렌즈(320)는 제1방향의 일면이 평면일 수 있다.Surfaces of the first lens 310 and the second lens 320 in the first direction may be flat.

제1렌즈(310) 및 제2렌즈(320)는 동일한 광축(X) 상에 배치될 수 있다.The first lens 310 and the second lens 320 may be disposed on the same optical axis (X).

제1렌즈(310)의 곡률이 제2렌즈(320)의 곡률보다 클 수 있다.The curvature of the first lens 310 may be greater than the curvature of the second lens 320 .

이에 따라, 발광부(200)와 가까운 제1렌즈(310)가 발광부(200)에서 방출된 광의 각도를 큰 폭으로 변환시킬 수 있으므로, 제2렌즈(320)의 크기가 작더라도 제1렌즈(310)에서 굴절된 광이 제2렌즈(320)로 대부분 입사될 수 있다. 이에, 큰 광 손실없이 주변 노광 장치(10)를 소형화할 수 있다.Accordingly, since the first lens 310 close to the light emitting unit 200 can greatly change the angle of light emitted from the light emitting unit 200, even if the size of the second lens 320 is small, the first lens 310 Most of the light refracted by 310 may be incident to the second lens 320 . Accordingly, the peripheral exposure apparatus 10 can be miniaturized without a large loss of light.

[광 조사영역][Light irradiation area]

도 4를 참조하면, 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)는 제1방향과 수직한 방향의 단면이 다각형 형상(P)을 가질 수 있다. 여기에서, 다각형 형상(P)은 도면과 같이 정사각형 형상일 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도면과 달리 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)는 제1방향과 수직한 방향의 단면이 정육각형 형상을 가질 수도 있다.Referring to FIG. 4 , the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction may have a polygonal shape P in cross section perpendicular to the first direction. Here, the polygonal shape P may be a square shape as shown in the drawing. However, it is not limited thereto. For example, unlike the drawings, the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction may have a regular hexagonal cross section in a direction perpendicular to the first direction.

도 5를 더 참조하면, 각각의 발광부(200)는 다각형 형상(P)과 대응하는 형상의 광 조사영역(R)을 가질 수 있다.Referring further to FIG. 5 , each light emitting unit 200 may have a polygonal shape P and a light irradiation area R having a corresponding shape.

도광홀(100)이 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1, 도 2)만큼 이격되면, 각각의 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P, 예컨대 정사각형 형상)의 제2방향(예컨대, 좌우방향)의 일측(예컨대, 우측) 변을 이루는 부분이 제2방향의 일방(예컨대, 우방)으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제2방향의 타측(예컨대, 좌측) 변을 이루는 부분과 접할 수 있다(도 5). 즉, 주변 노광 장치(10)의 복수 개의 발광부(200)에서 방출된 광이 주변 노광 장치(10)와 마주하는 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 중복되지 않으면서 빈틈없이 조사될 수 있다.When the light guiding hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 ( FIG. 2 ) in the first direction, the light emitting unit 200 disposed on one side of each light guiding hole 100 in the first direction Of the light irradiation area R of the polygonal shape P, for example, a portion constituting one side (eg, right side) of the second direction (eg, left-right direction) of the polygonal shape (eg, square shape) is one side (eg, right side) of the second direction. Forming the other (eg, left) side of the polygonal shape P in the second direction among the light irradiation areas R of the light emitting units 200 disposed on one side of the light guiding holes 100 adjacent to each other in the first direction. part can be contacted (Fig. 5). That is, the light emitted from the plurality of light emitting units 200 of the peripheral exposure apparatus 10 does not overlap with a predetermined area AR (FIG. 5) of the exposure target W facing the peripheral exposure apparatus 10. can be thoroughly investigated.

이와 같이, 주변 노광 장치(10)가 복수 개의 도광홀(100), 복수 개의 발광부(200) 및 복수 개의 렌즈부(300)를 포함하고, 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)는 제1방향과 수직한 방향의 단면이 다각형 형상(P)을 가지고, 도광홀(100)이 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 이웃하는 발광부(200)의 다각형 형상(P)의 광 조사영역이 서로 접할 수 있다.In this way, the peripheral exposure apparatus 10 includes a plurality of light guiding holes 100, a plurality of light emitting units 200, and a plurality of lens units 300, and the other end of the light guiding hole 100 in the first direction ( 130) has a polygonal shape (P) in cross section in a direction perpendicular to the first direction, and when the light guide hole (100) is spaced apart from the exposure object (W) by a predetermined distance (D1) in the first direction, neighboring light is emitted. Light irradiation areas of the polygonal shape P of the unit 200 may contact each other.

이에 따라, 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 광이 균일하게 조사될 수 있다. 또한, 반사경 등을 사용할 필요가 없으므로 주변 노광 장치(10)가 소형화될 수 있다.Accordingly, light can be uniformly irradiated to a predetermined area AR (FIG. 5) of the object W to be exposed easily and at low cost with a simple configuration. Also, since there is no need to use a reflector or the like, the peripheral exposure apparatus 10 can be miniaturized.

이 때에, 렌즈부(300)에서 굴절된 광 중에서 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과한 광은 제1방향과 평행한 방향으로 조사되거나 제1방향으로부터 소정의 각도(A) 이하로 기울어져서 조사될 수 있다(도 2).At this time, among the light refracted by the lens unit 300, the light passing through the other end 130 in the first direction of the light guide hole 100 is irradiated in a direction parallel to the first direction or at a predetermined angle from the first direction. It can be irradiated by tilting below (A) (FIG. 2).

상기 소정의 거리(D1)는 상기 소정의 각도(A)와, 제2방향으로 서로 이웃하는 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130) 사이의 거리(D2)를 기초로 산출될 수 있다. 예를 들면, 상기 소정의 거리(D1)는 다음의 수학식을 이용하여 산출될 수 있다(도 2 및 도 5).The predetermined distance D1 is calculated based on a distance D2 between the predetermined angle A and the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction adjacent to each other in the second direction. It can be. For example, the predetermined distance D1 may be calculated using the following equation (FIGS. 2 and 5).

[수학식][mathematical expression]

Figure pat00001
Figure pat00001

상기 수학식에서, 소정의 각도(A)와, 제2방향으로 서로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130) 사이의 거리(D2)는 미리 정해지므로, 도광홀(100)이 노광 대상물(W)과 제1방향으로 이격된 소정의 거리(D1)는 쉽게 산출될 수 있다.In the above equation, since the distance D2 between the predetermined angle A and the other end 130 in the first direction of the light guide hole 100 adjacent to each other in the second direction is predetermined, the light guide hole 100 A predetermined distance D1 separated from the exposure object W in the first direction can be easily calculated.

이에 따라, 주변 노광 장치(10)를 올바른 위치에 용이하게 설치하여 효과적으로 사용할 수 있다.Accordingly, it is possible to easily install the peripheral exposure device 10 in a correct position and use it effectively.

한편, 복수 개의 도광홀(100)이 제2방향과, 제1방향 및 제2방향과 교차하는 제3방향(예컨대, 전후방향)으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성되는 경우에는 다음과 같다. 도광홀(100)이 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 각각의 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P, 예컨대 정사각형 형상)의 제3방향의 일측(예컨대, 후측) 변을 이루는 부분이 제3방향의 일방(예컨대, 후방)으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제3방향의 타측(예컨대, 전측) 변을 이루는 부분과 접할 수 있다(도 2 및 도 5).On the other hand, when the plurality of light guide holes 100 are spaced apart at predetermined intervals or formed side by side in contact with the second direction and in a third direction (eg, front-back direction) intersecting the first and second directions, it is as follows. . When the light guide hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 in the first direction, the light emitting unit 200 disposed on one side of each light guide hole 100 in the first direction irradiates light. Of the region R, a portion constituting one (eg, rear) side of the polygonal shape (P, eg, square shape) in the third direction is adjacent to one side (eg, rear) of the light guide hole 100 in the third direction. Of the light irradiation area R of the light emitting unit 200 disposed on one side in the first direction, it may come into contact with a portion forming the other (eg, front) side of the polygonal shape P in the third direction (FIG. 2 and Fig. 5).

이에 따라, 간단한 구성으로 저비용으로 용이하게 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 광이 균일하게 조사될 수 있다. 또한, 반사경 등을 사용할 필요가 없으므로 주변 노광 장치(10)가 소형화될 수 있다.Accordingly, light can be uniformly irradiated to a predetermined area AR (FIG. 5) of the object W to be exposed easily and at low cost with a simple configuration. Also, since there is no need to use a reflector or the like, the peripheral exposure apparatus 10 can be miniaturized.

[제어부][control part]

제어부(미도시됨)는 복수 개의 발광부(200)를 점등 또는 소등할 수 있다.A controller (not shown) may turn on or off the plurality of light emitting units 200 .

또한, 제어부는 복수 개의 발광부(200)의 출력(radiant power)을 조절할 수 있다. 여기에서, 출력은 방사속(radiant flux, radiant power)을 의미할 수 있다. 방사속은 단위시간 당 어느 한 면적을 통해 사방으로 발산되거나 받아들여지는 에너지를 의미할 수 있다.Also, the control unit may adjust radiant power of the plurality of light emitting units 200 . Here, the output may mean radiant flux (radiant power). The radiant flux may refer to energy emitted or received in all directions through a certain area per unit time.

한편, 도 6을 참조하면, 복수 개의 도광홀(100) 중에서 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)과 안쪽에 형성된 도광홀(100)이 3개의 사각형(R1, R2, R3)을 기준으로 정해질 수 있다.Meanwhile, referring to FIG. 6 , among the plurality of light guiding holes 100, the light guiding hole 100 formed on the outside and the light guiding hole 100 formed on the inside may be determined based on three rectangles R1, R2, and R3. there is.

예를 들면, 사각형 R1의 내부에 형성된 도광홀(100)은 복수 개의 도광홀(100) 중에서 가장 안쪽에 형성된 도광홀(100)이다. 사각형 R1의 외부에 형성되되 사각형 R2의 내부에 형성된 도광홀(100)은 복수 개의 도광홀(100) 중에서 사각형 R1의 내부에 형성된 도광홀(100)보다 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)이지만 사각형 R2의 외부에 형성된 도광홀(100)보다 안쪽에 형성된 도광홀(100)이다. 사각형 R2의 외부에 형성되되 사각형 R3의 내부에 형성된 도광홀(100)은 복수 개의 도광홀(100) 중에서 사각형 R2의 내부에 형성된 도광홀(100)보다 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)이지만 사각형 R3의 외부에 형성된 도광홀(100)보다 안쪽에 형성된 도광홀(100)이다. 사각형 R3의 외부에 형성된 도광홀(100)은 복수 개의 도광홀(100) 중에서 사각형 R3의 내부에 형성된 도광홀(100)보다 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)이다.For example, the light guide hole 100 formed inside the rectangle R1 is the innermost light guide hole 100 among the plurality of light guide holes 100 . The light guiding hole 100 formed outside the square R1 but inside the square R2 is the light guiding hole 100 formed outside the light guiding hole 100 formed inside the square R1 among the plurality of light guiding holes 100, but the light guiding hole 100 formed inside the square R2 It is a light guide hole 100 formed inside than the light guide hole 100 formed outside. The light guiding hole 100 formed outside the square R2 but inside the square R3 is the light guiding hole 100 formed outside the light guiding hole 100 formed inside the square R2 among the plurality of light guiding holes 100, but the light guiding hole 100 formed inside the square R3 It is a light guide hole 100 formed inside than the light guide hole 100 formed outside. The light guiding hole 100 formed outside the square R3 is a light guiding hole 100 formed outside the light guiding hole 100 formed inside the square R3 among the plurality of light guiding holes 100 .

제어부는 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력이 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작도록 설정할 수 있다. 이와 관련하여, 후술한다.The control unit outputs the output of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guide hole 100 formed in the inside of the plurality of light guide holes 100 in the first direction to one side of the light guide hole 100 formed on the outside in the first direction. It can be set to be smaller than the output of the disposed light emitting unit 200 . In this regard, it will be described later.

한편, 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200) 및 복수 개의 도광홀(100) 중에서 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)는 서로 구분되어서 2 이상의 서로 다른 채널에 속할 수 있다.On the other hand, the light guiding part 200 disposed on one side of the light guiding hole 100 formed on the inside among the plurality of light guiding holes 100 in the first direction and the light guiding hole 100 formed on the outside among the plurality of light guiding holes 100 The light emitting units 200 disposed on one side of the first direction may be distinguished from each other and belong to two or more different channels.

예를 들면, 도 6에서, 사각형 R1의 내부에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)가 제1채널에 속할 수 있다. 사각형 R1의 외부에 형성되되 사각형 R2의 내부에 형성된 도광홀(100)들의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)들이 제2채널에 속할 수 있다. 사각형 R2의 외부에 형성되되 사각형 R3의 내부에 형성된 도광홀(100)들의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)들이 제3채널에 속할 수 있다. 사각형 R3의 외부에 형성된 도광홀(100)들의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)들이 제4채널에 속할 수 있다.For example, in FIG. 6 , the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guide hole 100 formed inside the rectangle R1 in the first direction may belong to the first channel. The light emitting units 200 disposed on one side of the light guiding holes 100 formed outside the square R1 but inside the square R2 in the first direction may belong to the second channel. The light emitting units 200 disposed on one side of the light guiding holes 100 formed outside the square R2 but inside the square R3 in the first direction may belong to the third channel. The light emitting units 200 disposed on one side of the light guiding holes 100 formed outside the rectangle R3 in the first direction may belong to the fourth channel.

제어부는 2 이상의 채널에 속한 발광부(200)의 출력을 채널 별로 조절할 수 있다. 이와 관련하여, 후술한다.The controller may adjust the output of the light emitting unit 200 belonging to two or more channels for each channel. In this regard, it will be described later.

[안쪽 및 바깥쪽 발광부의 출력조절][Output control of inner and outer light emitting parts]

도 7을 참조하면, 전술한 제1/제2/제3/제4채널에 속한 발광부(200)의 출력을 모두 동일하게 한 경우에는 주변 노광 장치(10)와 마주하는 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 조사되는 광의 위치 별 광량의 균일도가 82.4%로 낮다. 구체적으로, 주변 노광 장치(10)와 마주하는 노광 대상물(W)의 소정의 영역 중에서 안쪽의 광량이 클 수 있다.Referring to FIG. 7 , when the outputs of the light emitting units 200 belonging to the aforementioned first/second/third/fourth channels are all the same, the exposure target W facing the peripheral exposure apparatus 10 The uniformity of the amount of light for each position of the light irradiated to the predetermined area (AR, FIG. 5) of the is as low as 82.4%. Specifically, in a predetermined area of the object W to be exposed facing the peripheral exposure apparatus 10, the amount of light inside may be large.

이러한 현상은 제1/제2/제3/제4채널에 속한 각각의 발광부(200)의 광이 개별적으로는 균일하게 조사되더라도 발생할 수 있다. 예를 들면, 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5) 중에서 제1채널에 속한 발광부(200)와 마주하는 영역(안쪽 영역)에 제2/제3/제4채널에 속한 발광부(200)에서 조사된 광이 산란되어 조사되기 때문일 수 있다.This phenomenon may occur even if the light of each of the light emitting units 200 belonging to the first/second/third/fourth channels is individually and uniformly irradiated. For example, an area (inner area) facing the light emitting unit 200 belonging to the first channel among a predetermined area (AR, FIG. 5 ) of the exposure object W belongs to the second/third/fourth channels. This may be because the light emitted from the light emitting unit 200 is scattered and irradiated.

도 8을 참조하면, 제1/제2/제3채널에 속한 발광부(200)의 출력을 모두 동일하게 70%로 설정하고 제4채널에 속한 발광부(200)의 출력을 모두 85%로 설정한 경우에는 주변 노광 장치(10)와 마주하는 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 조사되는 광의 위치 별 광량의 균일도가 89.2%로 높아질 수 있다.Referring to FIG. 8, the outputs of the light emitting units 200 belonging to the first/second/third channels are all equally set to 70%, and the outputs of the light emitting units 200 belonging to the fourth channel are all set to 85%. In the case of setting, the uniformity of the amount of light for each position of the light irradiated to the predetermined area (AR, FIG. 5 ) of the exposure object W facing the peripheral exposure apparatus 10 can be increased to 89.2%.

도 9를 참조하면, 제1/제2채널에 속한 발광부(200)의 출력을 모두 동일하게 55%로 설정하고 제3채널에 속한 발광부(200)의 출력을 모두 동일하게 70%로 설정하며 제4채널에 속한 발광부(200)의 출력을 모두 85%로 설정한 경우에는 주변 노광 장치(10)와 마주하는 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 조사되는 광의 위치 별 광량의 균일도가 96.1%로 더 높아질 수 있다.Referring to FIG. 9, the outputs of the light emitting units 200 belonging to the first and second channels are all equally set to 55%, and the outputs of the light emitting units 200 belonging to the third channel are all equally set to 70%. and when all the outputs of the light emitting units 200 belonging to the fourth channel are set to 85%, the amount of light irradiated to a predetermined area AR (FIG. 5) of the exposure target W facing the peripheral exposure apparatus 10 The uniformity of the amount of light for each position can be higher to 96.1%.

이처럼, 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200, 예컨대, 제1/제2/제3채널 또는 제1/제2채널에 속한 발광부)의 출력이 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200, 예컨대, 제4채널 또는 제3/제4채널에 속한 발광부)의 출력보다 작을 수 있다.In this way, among the plurality of light guide holes 100, the light emitting unit 200 disposed on one side in the first direction of the light guide hole 100 formed inside (eg, first/second/third channels or first/second channels) The output of the light emitting unit (200, for example, the light emitting unit belonging to the fourth channel or the third/fourth channels) disposed on one side of the light guiding hole 100 formed outside in the first direction can be small

이에 따라, 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5) 중에서 주변 노광 장치(10)의 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200)와 마주하는 영역에 주변 노광 장치(10)의 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200)의 광이 산란되는 등의 이유로 조사되더라도 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5) 전체에 조사되는 광의 균일도가 향상될 수 있다.Accordingly, in the area facing the light emitting part 200 of the light guide hole 100 formed inside the peripheral exposure device 10 in the predetermined area AR of FIG. 5 of the exposure object W, the peripheral exposure device 10 Even if the light from the light emitting part 200 of the light guiding hole 100 formed outside of the light guiding hole 100 is irradiated for reasons such as scattering, the uniformity of the light irradiated to the entire predetermined area AR of FIG. 5 of the exposure object W can be improved. can

이 때에, 전술한 바와 같이 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200) 및 복수 개의 도광홀(100) 중에서 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 발광부(200)는 서로 구분되어서 2 이상의 서로 다른 채널에 속할 수 있고, 2 이상의 채널에 속한 발광부(200)의 출력은 제어부에 의해 채널 별로 조절될 수 있다.At this time, as described above, the light emitting part 200 of the light guiding hole 100 formed inside among the plurality of light guiding holes 100 and the light emitting part of the light guiding hole 100 formed outside among the plurality of light guiding holes 100 ( 200) may be distinguished from each other and belong to two or more different channels, and the output of the light emitting unit 200 belonging to two or more channels may be controlled for each channel by a controller.

이에 따라, 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 전체에 조사되는 광의 균일도를 용이하게 조절할 수 있다.Accordingly, it is possible to easily adjust the uniformity of the light irradiated to the entire predetermined area AR of the object W to be exposed (FIG. 5).

도 10 및 도 11을 참조하면, 주변 노광 장치(10)에 있어서 안쪽 및 바깥쪽의 도광홀(100)에 배치된 발광부(200)의 출력을 조절한 경우에 노광 대상물(W)에 조사되는 광의 광량이 위치별로 균일해질 수 있다. 도 10 및 11에서 주변 노광 장치(10)와 마주하는 노광 대상물(W)의 소정의 영역(AR, 도 5)에 조사되는 광의 위치 별 광량의 균일도는 95.9%일 수 있다.10 and 11, when the output of the light emitting units 200 disposed in the inner and outer light guiding holes 100 in the peripheral exposure apparatus 10 is adjusted, the exposure object W is irradiated. The amount of light may be uniform for each location. In FIGS. 10 and 11 , the uniformity of the amount of light for each position of the light irradiated to the predetermined area (AR, FIG. 5 ) of the exposure object W facing the peripheral exposure apparatus 10 may be 95.9%.

[주변 노광 방법][Peripheral exposure method]

주변 노광 방법은 배치단계 및 노광단계를 포함할 수 있다.The peripheral exposure method may include an arrangement step and an exposure step.

배치단계에서는, 도광홀(100)을 노광 대상물(W)로부터 제1방향의 일방으로 상기 소정의 거리(D1)가 되는 지점에 위치시킬 수 있다.In the arranging step, the light guide hole 100 may be positioned at a point at which the predetermined distance D1 is from the exposure object W in one direction in the first direction.

노광단계에서는, 복수 개의 발광부(200)를 점등할 수 있다.In the exposure step, the plurality of light emitting units 200 may be turned on.

이 때에, 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력(radiant power)을 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작게 할 수 있다.At this time, the output (radiant power) of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guide hole 100 formed on the inside among the plurality of light guide holes 100 in the first direction is transmitted through the light guide hole 100 formed on the outside. It may be smaller than the output of the light emitting unit 200 disposed on one side of one direction.

이상과 같이 본 발명에 대해서 예시한 도면을 참조로 하여 설명하였으나, 본 명세서에 개시된 실시예와 도면에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 기술사상의 범위 내에서 통상의 기술자에 의해 다양한 변형이 이루어질 수 있음은 자명하다. 아울러 앞서 본 발명의 실시예를 설명하면서 본 발명의 구성에 따른 작용 효과를 명시적으로 기재하여 설명하지 않았을 지라도, 해당 구성에 의해 예측 가능한 효과 또한 인정되어야 함은 당연하다.As described above, the present invention has been described with reference to the drawings illustrated, but the present invention is not limited by the embodiments and drawings disclosed herein, and various modifications are made by those skilled in the art within the scope of the technical idea of the present invention. It is obvious that variations can be made. In addition, although the operation and effect according to the configuration of the present invention have not been explicitly described and described while describing the embodiments of the present invention above, it is natural that the effects predictable by the corresponding configuration should also be recognized.

10: 주변 노광 장치
100: 도광홀 110: 렌즈홀부
112: 제1렌즈홀부 114: 제2렌즈홀부
120: 연장홀부 130: 타단부
200: 발광부
300: 렌즈부 310: 제1렌즈
320: 제2렌즈10: peripheral exposure device
100: light guide hole 110: lens hole
112: first lens hole 114: second lens hole
120: extension hole 130: other end
200: light emitting unit
300: lens unit 310: first lens
320: second lens

Claims (15)

노광 대상물(W)보다 제1방향의 일측에 배치되고 상기 노광 대상물(W)에 광을 조사하는 주변 노광 장치에 있어서,
각각 제1방향으로 연장되고 제1방향의 일단이 막히되 타단이 개방되고, 제1방향과 교차하는 제2방향으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성되는 복수 개의 도광홀(100);
각각 서로 다른 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 제1방향의 타방을 향하여 배치되는 복수 개의 발광부(200); 및
각각 서로 다른 상기 도광홀(100)에 배치되되 각 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)보다 제1방향의 타측에 배치되고 발광부(200)에서 방출된 광을 굴절시키는 복수 개의 렌즈부(300)를 포함하고,
상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)는 제1방향과 수직한 방향의 단면이 다각형 형상(P)을 가지고, 이에 따라 각각의 상기 발광부(200)는 상기 다각형 형상(P)과 대응하는 형상의 광 조사영역(R)을 가지고,
상기 도광홀(100)이 상기 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 각각의 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제2방향의 일측 변을 이루는 부분이 제2방향의 일방으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제2방향의 타측 변을 이루는 부분과 접하는,
주변 노광 장치.
In the peripheral exposure apparatus disposed on one side of an exposure target (W) in a first direction and radiating light to the exposure target (W),
a plurality of light guide holes 100 each extending in a first direction, one end in the first direction being blocked while the other end is open, spaced at a predetermined interval in a second direction crossing the first direction, or formed parallel to each other;
a plurality of light emitting units 200 disposed on one side of the first direction of the different light guiding holes 100 toward the other side of the first direction; and
Disposed in the different light guide holes 100, but disposed on the other side in the first direction than the light emitting part 200 disposed on one side of the first direction of each light guide hole 100 and emitted from the light emitting part 200 It includes a plurality of lens units 300 that refract light,
The other end 130 in the first direction of the light guide hole 100 has a polygonal shape P in cross section in a direction perpendicular to the first direction, and accordingly, each light emitting part 200 has the polygonal shape ( P) has a light irradiation area (R) of a shape corresponding to,
When the light guiding hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 in the first direction, the light emitting units 200 disposed on one side of each light guiding hole 100 in the first direction. A light emitting unit disposed on one side of the first direction of the light guide hole 100 adjacent to one side of the polygonal shape P in the second direction in the light irradiation area R of ). Of the light irradiation area (R) of (200), it is in contact with the portion constituting the other side of the polygonal shape (P) in the second direction,
Peripheral exposure device.
 청구항 1에 있어서,
각각의 상기 도광홀(100)은 상기 렌즈부(300)가 배치되는 렌즈홀부(110) 및, 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)와 상기 렌즈홀부(110)의 사이에 형성되고 제1방향으로 길게 연장되는 연장홀부(120)를 포함하는, 주변 노광 장치.
The method of claim 1,
Each of the light guide holes 100 is formed between the lens hole part 110 where the lens part 300 is disposed and the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction and the lens hole part 110. A peripheral exposure apparatus including an extension hole portion 120 formed in and elongated in a first direction.
 청구항 1에 있어서,
상기 주변 노광 장치는,
단일한 하우징(H)을 더 포함하고,
상기 복수 개의 도광홀(100)은 상기 하우징(H)의 내부에 형성되는,
주변 노광 장치.
The method of claim 1,
The peripheral exposure device,
Further comprising a single housing (H),
The plurality of light guide holes 100 are formed inside the housing (H),
Peripheral exposure device.
 청구항 1에 있어서,
상기 렌즈부(300)는 제1렌즈(310) 및 상기 제1렌즈(310)보다 직경이 큰 제2렌즈(320)를 포함하고,
상기 제1렌즈(310)가 제2렌즈(320)보다 제1방향의 일측에 배치되는, 주변 노광 장치.
The method of claim 1,
The lens unit 300 includes a first lens 310 and a second lens 320 having a larger diameter than the first lens 310,
The peripheral exposure apparatus, wherein the first lens 310 is disposed on one side of the second lens 320 in a first direction.
 청구항 4에 있어서,
상기 제1렌즈(310) 및 제2렌즈(320)는 제1방향의 타면이 제1"?향?* 타방을 향하여 볼록하게 돌출되는, 주변 노광 장치.
The method of claim 4,
The other surface of the first lens 310 and the second lens 320 in the first direction protrudes convexly toward the first "? direction? * other side, peripheral exposure apparatus.
 청구항 5에 있어서,
상기 제1렌즈(310)의 곡률이 상기 제2렌즈(320)의 곡률보다 큰, 주변 노광 장치.
The method of claim 5,
The peripheral exposure apparatus, wherein the curvature of the first lens (310) is greater than the curvature of the second lens (320).
 청구항 4에 있어서,
상기 주변 노광 장치는,
상기 복수 개의 도광홀(100)이 내부에 형성되는 단일한 하우징(H)을 더 포함하고,
각각의 상기 도광홀(100)은 상기 제1렌즈(310)가 배치되는 제1렌즈홀부(112) 및 상기 제2렌즈(320)가 배치되는 제2렌즈홀부(114)를 포함하고,
상기 제1렌즈홀부(112)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적이 상기 제2렌즈홀부(114)의 제1방향과 수직한 평면에서의 단면적보다 작고,
상기 하우징(H)은 복수 개의 상기 제1렌즈홀부(112)가 내부에 형성되는 단일한 제1하우징몸체부(H12) 및 복수 개의 상기 제2렌즈홀부(114)가 내부에 형성되고 상기 제1하우징몸체부(H12)와 결합되는 단일한 제2하우징몸체부(H14)를 포함하는, 주변 노광 장치.
The method of claim 4,
The peripheral exposure device,
Further comprising a single housing H in which the plurality of light guide holes 100 are formed,
Each of the light guide holes 100 includes a first lens hole part 112 where the first lens 310 is disposed and a second lens hole part 114 where the second lens 320 is disposed,
The cross-sectional area of the first lens hole portion 112 on a plane perpendicular to the first direction is smaller than the cross-sectional area of the second lens hole portion 114 on a plane perpendicular to the first direction;
The housing H has a single first housing body H12 in which a plurality of first lens holes 112 are formed and a plurality of second lens holes 114 formed therein, and the first A peripheral exposure apparatus including a single second housing body portion H14 coupled to the housing body portion H12.
 청구항 1에 있어서,
상기 렌즈부(300)는 제1방향과 평행한 광축(X)을 가지고,
상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)의 상기 광축(X)과 수직한 평면에서의 단면적은 상기 렌즈부(300)의 상기 광축(X)과 수직한 평면에서의 최대 단면적보다 작은, 주변 노광 장치.
The method of claim 1,
The lens unit 300 has an optical axis (X) parallel to the first direction,
The cross-sectional area of the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction on a plane perpendicular to the optical axis X is the maximum cross-sectional area of the lens unit 300 on a plane perpendicular to the optical axis X. A smaller, peripheral exposure device.
 청구항 8에 있어서,
상기 주변 노광 장치는,
상기 복수 개의 도광홀(100)이 내부에 형성되는 단일한 하우징(H)을 더 포함하고,
상기 하우징(H)은 상기 복수 개의 도광홀(100)의 상기 제1방향의 타단부(130)를 제외한 나머지 부분이 내부에 형성되는 단일한 하우징몸체부(H1) 및 상기 복수 개의 도광홀(100)의 상기 제1방향의 타단부(130)가 내부에 형성되고 상기 하우징몸체부(H1)와 결합되는 단일한 하우징단부(H2)를 포함하는, 주변 노광 장치.
The method of claim 8,
The peripheral exposure device,
Further comprising a single housing H in which the plurality of light guide holes 100 are formed,
The housing H includes a single housing body H1 formed inside of the plurality of light guide holes 100 except for the other end 130 in the first direction and the plurality of light guide holes 100. ) is formed inside the other end 130 in the first direction and includes a single housing end H2 coupled to the housing body H1.
 청구항 1에 있어서,
상기 굴절된 광 중에서 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130)를 통과한 광은 제1방향과 평행한 방향으로 조사되거나 제1방향으로부터 소정의 각도(A) 이하로 기울어져서 조사되고,
상기 소정의 거리(D1)는 상기 소정의 각도(A)와, 제2방향으로 서로 이웃하는 상기 도광홀(100)의 제1방향의 타단부(130) 사이의 거리(D2)를 기초로 산출되는, 주변 노광 장치.
The method of claim 1,
Among the refracted light, the light passing through the other end 130 in the first direction of the light guiding hole 100 is irradiated in a direction parallel to the first direction or tilted below a predetermined angle A from the first direction. being investigated,
The predetermined distance D1 is calculated based on a distance D2 between the predetermined angle A and the other end 130 of the light guide hole 100 in the first direction adjacent to each other in the second direction. , the peripheral exposure device.
 청구항 1에 있어서,
상기 복수 개의 도광홀(100)은 제2방향과, 제1방향 및 제2방향과 교차하는 제3방향으로 소정간격 이격되거나 접하면서 나란하게 형성되고,
상기 도광홀(100)이 상기 노광 대상물(W)로부터 제1방향으로 소정의 거리(D1)만큼 이격되면, 각각의 상기 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 상기 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제3방향의 일측 변을 이루는 부분이 제3방향의 일방으로 이웃하는 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 광 조사영역(R) 중에서 상기 다각형 형상(P)의 제3방향의 타측 변을 이루는 부분과 접하는, 주변 노광 장치.
The method of claim 1,
The plurality of light guide holes 100 are formed side by side while being spaced apart from or in contact with a second direction and a third direction intersecting the first and second directions,
When the light guiding hole 100 is spaced apart from the exposure object W by a predetermined distance D1 in the first direction, the light emitting units 200 disposed on one side of each light guiding hole 100 in the first direction. A light emitting unit disposed on one side of the first direction of the light guide hole 100 adjacent to one side of the polygonal shape P in the third direction in the light irradiation area R of the ). A peripheral exposure apparatus that contacts a portion forming the other side of the polygonal shape (P) in the third direction in the light irradiation area (R) of (200).
 청구항 1 또는 청구항 11에 있어서,
상기 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력(radiant power)이 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작은, 주변 노광 장치.
According to claim 1 or claim 11,
Among the plurality of light guiding holes 100, the radiant power of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guiding hole 100 formed on the inside in the first direction is transmitted in the first direction of the light guiding hole 100 formed on the outside. A peripheral exposure device that is smaller than the output of the light emitting unit 200 disposed on one side of the.
 청구항 1 또는 청구항 11에 있어서,
상기 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200) 및 복수 개의 도광홀(100) 중에서 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)는 서로 구분되어서 2 이상의 서로 다른 채널에 속하고,
상기 주변 노광 장치는,
상기 2 이상의 채널에 속한 발광부(200)의 출력을 채널 별로 조절하는 제어부를 포함하는,
주변 노광 장치.
According to claim 1 or claim 11,
The light emitting part 200 disposed on one side of the light guiding hole 100 formed on the inside among the plurality of light guiding holes 100 in the first direction and the light guiding hole 100 formed on the outside among the plurality of light guiding holes 100 The light emitting units 200 disposed on one side of one direction are distinguished from each other and belong to two or more different channels,
The peripheral exposure device,
Including a control unit for adjusting the output of the light emitting unit 200 belonging to the two or more channels for each channel,
Peripheral exposure device.
 청구항 1 내지 청구항 11 중에서 어느 한 항의 주변 노광 장치를 이용한 주변 노광 방법으로서,
상기 도광홀(100)을 상기 노광 대상물(W)로부터 제1방향의 일방으로 상기 소정의 거리(D1)가 되는 지점에 위치시키는 배치단계; 및
상기 복수 개의 발광부(200)를 점등하는 노광단계를 포함하는,
주변 노광 방법.
A peripheral exposure method using the peripheral exposure device according to any one of claims 1 to 11,
arranging the light guiding hole 100 at a point where the light guide hole 100 is at the predetermined distance D1 in one direction in a first direction from the exposure object W; and
Including an exposure step of turning on the plurality of light emitting units 200,
Ambient exposure method.
 청구항 14에 있어서,
상기 노광단계에서는, 상기 복수 개의 도광홀(100) 중에서 안쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력(radiant power)을 바깥쪽에 형성된 도광홀(100)의 제1방향의 일측에 배치된 발광부(200)의 출력보다 작게 하는, 주변 노광 방법.
The method of claim 14,
In the exposure step, the output (radiant power) of the light emitting unit 200 disposed on one side of the light guiding hole 100 formed on the inside among the plurality of light guiding holes 100 in the first direction is transmitted to the light guiding hole 100 formed on the outside. ), which is smaller than the output of the light emitting unit 200 disposed on one side of the first direction, a peripheral exposure method.
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