KR20220169612A - 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터 - Google Patents

다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 내부가 중공된 회전몸체; 일단이 상기 회전몸체의 중공에 배치되는 피스톤몸체를 포함하는 피스톤부; 및 상기 회전몸체의 중공 내면과 상기 피스톤몸체의 일단 외면 사이에 개재되는 가이드부;를 포함하며, 상기 가이드부는, 복수의 모서리가 형성된 다각형의 가이드몸체와, 상기 가이드몸체 상에 삽입되는 복수의 볼을 포함하는 다각형 가이드 및 이를 이용한 다기능 액추에이터에 관한 것이다.

Description

다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터{POLYGONAL GUIDE STRUCTURE AND MULTI FUNCTION ACTUATOR USING THE SAME}
본 발명은 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터에 관한 것으로, 보다 상세히는 반도체소자 등의 대상물 자세를 제어하거나 위치를 이동시킬 수 있는 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터에 관한 것이다.
반도체공정은 일반적으로 전공과 후공정으로 나뉘며, 상기 전공정은 식각, 증착 및 연마 등의 공정을 거쳐 웨이퍼 상에 반도체 회로를 새기는 과정을, 상기 후공정은 가공 후 웨이퍼에 대한 절단, 본더(Bonder), 테스트 및 패키징 공정을 거쳐 반도체소자를 완성하는 과정을 각각 의미한다. 아울러 상기 반도체소자는 용도에 따라 RAM, LSI 및 LED 등으로 나뉘며, 동일 용도의 반도체소자들 또한 종류가 다양해지고 있는 추세이다.
상기 반도체공정은 일반적으로 클린룸 내에서 반도체소자를 제조하고 있으며, 각 공정을 수행하는 장비로 웨이퍼를 이송하는 과정에서 별도의 이송장치를 흔히 사용하고 있다. 이에 대한 예시로 한국공개특허공보 제10-2012-0105121호("두 개의 노즐을 구비한 픽커장치", 2012.09.25. 공개, 이하, '선행문헌'이라 함.)가 현재 공개되어 있다. 도 1을 참조하여 위 선행문헌을 간략히 설명하자면, 선행문헌의 픽커장치는 픽업수단(1), 간격조절수단(2) 및 회전수단(3)을 포함하여 구성된다. 이때 상기 픽업수단(1)은 두 개의 반도체 칩을 한 번에 이송시키기 위해 두 개의 반도체 칩을 각각 핍업하는 두 노즐을 포함하고, 상기 회전수단(3)은 상기 픽업수단(1)의 상하를 회전시켜 상기 픽업수단(1)의 자세를 제어하도록 구성된다. 상술한 바와 같은 구성들을 통해 선행문헌의 픽커장치는 다수의 반도체 칩을 한번에 이송시킬 수 있는 장점이 있다.
다만, 현재 반도체소자는 점진적으로 소형화됨에 따라 이송장치의 정밀 제어 기능이 보다 고도화되어야 하는 것에 반하여, 위 선행문헌은 다수의 반도체소자를 픽업할 수 있는 기능만을 제공하고 있을 뿐, 위 선행문헌에서는 반도체소자의 정밀하게 제어할 수 있는 기능을 별도로 기재되어 있지 않은 문제점이 있다. 보다 상세히는 기존 이송장치에서 사용되는 구름운동용 액추에이터는 LM(Linear Motion) 또는 Key-Way 등의 형태로 구성된 가이드를 채택하고 있음에 따라 상기 반도체소자를 회전시키는 기능을 부가하는 경우에 서로 다른 축에서 직진운동과 회전운동이 병행되어 미소 모멘트가 발생되는 문제점이 있다. 이는 회전운동의 정밀도가 낮아지는 단점으로 이어짐과 더불어 내구성 또한 낮아지는 단점으로 이어질 수 있다.
KR 10-2012-0105121 A (2012.09.25.) KR 10-2017-0140963 A (2017.12.22.)
본 발명은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 복수의 볼을 포함하는 가이드부를 이용하여 구름운동이 가능하도록 구성되어 직진운동과 회전운동의 축이 서로 일치되도록 하여 높은 정밀도를 유지할 수 있는 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다각형 가이드 구조체는, 내부가 중공된 회전몸체; 일부가 상기 회전몸체의 중공에 배치되는 피스톤몸체를 포함하는 피스톤부; 및 상기 회전몸체의 중공 내면과 상기 피스톤몸체의 외면 사이에 개재되는 가이드부;를 포함하며, 상기 가이드부는, 복수의 모서리가 형성된 다각형의 가이드몸체와, 상기 가이드몸체 상에 삽입되는 복수의 볼을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 다각형 가이드 구조체는 상기 가이드몸체의 내부가 중공되어 상기 피스톤몸체가 삽입되되, 상기 피스톤부는 상기 피스톤몸체의 외면이 상기 가이드부의 볼과 접촉되어 구름운동될 수 있다.
또한, 상기 가이드부는, 상기 가이드몸체의 내면에 복수의 모서리가 형성되어 상기 가이드몸체의 내부 중공이 다각형으로 이루어지되, 상기 피스톤부는, 상기 피스톤몸체의 외면이 상기 가이드몸체의 중공과 대응하는 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 상기 가이드부는, 상기 가이드몸체의 외면에 복수의 모서리가 형성되어 상기 가이드몸체의 외면이 다각형으로 이루어지되, 상기 볼이 상기 가이드몸체를 관통하도록 배치되어 상기 회전몸체의 내면과 접촉할 수 있다.
또한, 상기 피스톤부는, 상기 피스톤몸체의 양단에 형성된 흡착부 및 흡착조절부를 더 포함하고, 상기 피스톤몸체의 내부에 진공관이 형성될 수 있다.
아울러 상술한 다각형 가이드 구조체를 이용한 본 발명에 따른 다기능 액추에이터는, 상기 회전몸체를 일측 내부에 수용하는 하우징; 상기 하우징의 타측에 배치되되 직진운동되도록 제어되는 구동부재; 및 상기 하우징의 양측에서 각각 돌출된 상기 구동부재의 일단과 상기 피스톤부의 일단을 연결하는 연결부재;를 포함하며, 상기 구동부재 이동되면 상기 연결부재가 함께 이동될 수 있다.
또한, 상기 회전몸체는 회전운동이 가능하게 형성되며, 상기 회전몸체가 회전하면 상기 피스톤부가 함께 회전할 수 있다.
또한, 상기 회전몸체의 외면에는 하나 이상의 베인이 돌출 형성되어 공압에 의해 회전할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 다기능 액추에이터는, 상기 구동부재의 직진운동을 제어하는 제1공기조절부; 및 상기 회전몸체의 회전운동을 제어하는 제2공기조절부;를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 다기능 액추에이터는, 상기 회전몸체의 최대 회전반경을 제한하도록 상기 하우징 상에 배치되는 스토퍼;를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 회전몸체에는 외측으로 돌출된 각도제어부가 형성되고, 상기 스토퍼는 한 쌍으로 이루어져 상기 각도제어부의 양 방향의 회전반경을 각각 제한할 수 있다.
상기와 같은 구성에 의한 본 발명에 따른 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터는, 복수의 볼과 상기 복수의 볼이 삽입된 가이드몸체를 포함하는 가이드부를 중심으로 회전부 상에서 피스톤이 직선운동할 수 있음에 따라, 마찰력을 최소화하여 보다 효율적인 장치를 제공하는 장점이 있다.
아울러 본 발명에 따른 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터는, 회전부의 회전운동 축과 피스톤의 직선운동 축이 서로 일치됨에 따라 미소 모멘트가 발생되는 것을 억제할 수 있어, 보다 정밀한 위치 및 회전제어가 가능한 장점이 있다.
아울러 본 발명에 따른 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터는, 다각형의 가이드부를 통해 구름접촉 면적을 넓힘과 더불어 복수의 볼을 통해 내구성이 보다 향상되어 장기간 사용할 수 있는 장점이 있다.
아울러 본 발명에 따른 다각형 가이드 구조체 및 이를 이용한 다기능 액추에이터는, 공기와 베인부를 통해 회전운동을 발생시키고, 회전각을 스토퍼로 제한할 수 있어 운용 비용을 절감할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 종래기술에 따른 픽커장치의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 다기능 액추에이터의 사시도.
도 3 및 도 4는 본 발명에 따른 다기능 액추에이터의 정면도.
도 5는 본 발명에 따른 다기능 액추에이터의 평면도.
도 6은 본 발명에 따른 다기능 액추에이터의 정단면도.
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 다기능 액추에이터의 정단면도를 부분확대한 도면.
도 9는 본 발명에 따른 피스톤부, 회전부 및 가이드부를 분해한 도면.
도 10은 본 발명에 따른 제1하우징을 제거한 다기능 액추에이터의 사시도.
도 11은 본 발명에 따른 스토퍼의 작동을 도시한 다기능 액추에이터의 평단면도.
이하 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 다각형 가이드 구조체 및 다기능 액추에이터를 상세히 설명한다. 다음에 소개되는 도면들은 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 예로서 제공되는 것이다. 따라서 본 발명은 이하 제시되는 도면들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 또한 명세서 전반에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
이때 사용되는 기술 용어 및 과학 용어에 있어서 다른 정의가 없다면, 이 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 통상적으로 이해하고 있는 의미를 가지며, 하기의 설명 및 첨부 도면에서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 설명은 생략한다.
도 2 내지 도 5는 본 발명에 따른 다기능 액추에이터에 관한 것으로, 도 2는 다기능 액추에이터의 사시도를, 도 3 및 도 4는 다기능 액추에이터의 정면도를, 도 5는 다기능 액추에이터의 평면도를 각각 나타낸다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 따른 다기능 액추에이터(10)는, 하우징(100), 피스톤부(200), 구동부재(300) 및 연결부재(400)를 포함할 수 있다. 이때 상기 피스톤부(200)는 상기 하우징(100) 상에서 양 방향으로 왕복 이동되는 부재로 반도체소자 등의 대상물의 자세를 제어하거나 위치를 이동시킬 수 있으며, 보다 명확하게 설명하기 위해 상기 피스톤부(200)의 왕복 이동되는 방향을 상하방향으로 정의한다. 상기 피스톤부(200)는 상부가 상기 하우징(100) 상에 수용되는 피스톤몸체(210), 상기 피스톤몸체(210)의 하단에 배치되어 대상물을 진공 흡착하는 흡착부(220) 및 상기 피스톤몸체(210)의 상단에 배치되어 상기 흡착부(220)을 제어하는 흡착조절부(230)를 포함할 수 있다.
상기 구동부재(300)는 상하방향으로 왕복 이동이 가능하도록 제어될 수 있으며, 상기 피스톤부(200)로 동력을 전달할 수 있다. 이때 피스톤부(200)와 상기 구동부재(300)는 상기 연결부재(400)를 통해 일부가 서로 고정 결합됨에 따라 상기 구동부재(300)의 동력이 상기 피스톤부(200)로 전달될 수 있다. 그리고 상기 피스톤부(200) 및 구동부재(300)의 상부는 상기 하우징(100)의 일측 및 타측에 각각 배치될 수 있으며, 상기 피스톤부(200) 및 구동부재(300)의 하단에 상기 연결부재(400)가 연결될 수 있다. 이때 상기 연결부재(400)는 상기 피스톤몸체(210)의 하단에 연결되되, 상기 피스톤몸체(210)가 연결부재(400)를 관통하는 형태로 구성되어 상기 흡착부(220)가 상기 연결부재(400)의 하측에 배치될 수도 있다.
도 3 내지 도 5를 함께 참조하면, 본 발명에 따른 다기능 액추에이터(10)는 공압에 의해서 상기 피스톤부(200) 또는 구동부재(300)를 제어하도록 공기조절부(500)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 피스톤부(200)의 피스톤몸체(210)는 회전 가능하도록 상기 연결부재(400)와 베어링 연결될 수 있으며, 상기 공기조절부(500)는 상기 피스톤부(200)의 회전운동을 조절하거나 상기 구동부재(300)의 직진운동을 조절할 수 있다. 여기서 상기 공기조절부(500)는 복수로 이루어져, 제1공기(F1)를 이용하여 상기 구동부재(300)의 직진운동을 조절하는 제1공기조절부(510)와, 제2공기(F2)를 이용하여 상기 피스톤부(200)의 회전운동을 조절하는 제2공기조절부(520)를 포함할 수도 있다.
본 발명에 따른 다기능 액추에이터(10)는 상기 피스톤부(200)의 회전운동, 구동부재(300)의 직진운동, 상기 피스톤부(200)의 흡착 등을 제어하는 하나 이상의 스위치(600)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 스위치(600)는 디지털 오토 스위치(Digital Auto Switch)로 형성되어 유무선 외부 입력 신호에 따라 운용될 수도 있다. 아울러 상기 스위치(600)는 상기 제1공기(F1) 및 제2공기(F2)의 공급유량에 따라 상기 구동부재(300)의 위치 및 상기 피스톤부(200)의 회전각에 대한 위치를 확인할 수 있다.
본 발명에 따른 다기능 액추에이터(10)는 상기 피스톤부(200)의 회전반경의 각도를 조절하는 스토퍼(700)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 피스톤부(200)의 회전반경이 일 예로 180°로 구성될 수 있으며, 상기 스토퍼(700)가 한 쌍으로 이루어져 상기 피스톤부(200)의 양 방향의 회전반경을 각각 제한할 수 있다.
상기 피스톤부(200)는 탄성스프링 등으로 구성되는 충격흡수부(240)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 충격흡수부(240)의 일단은 상기 연결부재(400)의 하면에 연결되고, 상기 충격흡수부(240)의 타단은 상기 흡착부(220)로 연결될 수도 있다.
상기 하우징(100)은 서로 양측으로 분할된 제1하우징(110) 및 제2하우징(120)을 포함할 수 있으며, 상기 제1하우징(110) 상에 상기 피스톤부(200)가 배치되고, 상기 제2하우징(120) 상에 상기 구동부재(300)가 배치될 수 있다. 그리고 상기 하우징(100)은 상기 제1하우징(110) 및 제2하우징(120)의 하측 및 상측에 각각 배치되는 제1고정부(130)와 제2고정부(140)를 더 포함할 수도 있다.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 따른 다기능 액추에이터에 관한 것으로, 도 6은 도 5의 A-A`선에 따른 다기능 액추에이터의 정단면도를, 도 7 및 도 8은 도 6을 부분확대한 다기능 액추에이터의 정단면도를 각각 나타낸다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 상기 제1하우징(110) 및 제2하우징(120)은 각각 내부에 제1중공(111) 및 제2중공(121)이 형성될 수 있다. 그리고 제1공기조절부(510)는 유로(511)가 형성되어 상기 제2중공(121)으로 제1공기(F1)를 유입시켜 상기 구동부재(300)가 하측으로 하강할 수 있도록 밀 수 있으며, 상기 제1공기(F1)가 배출되면 상기 구동부재(300)가 상측으로 상승할 수 있다. 아울러 상기 피스톤몸체(210)의 내부에는 진공관(211)이 형성되어 상기 흡착부(220)와 흡착조절부(230)로 연장될 수 있다. 이에 따라 상기 진공관(211)의 진공상태 조절을 통해 대상물의 흡착 또는 분리 작업이 가능할 수 있다.
상기 제1하우징(110)의 제1중공(111)에는 회전부(800)가 배치될 수 있으며, 상기 회전부(800)는 상술한 바와 같이 제2공기(F2)의 공압에 의해서 회전될 수 있다. 이때 상기 회전부(800)는 상하 방향으로 연장되되 상기 피스톤몸체(210)가 내부에 배치되는 회전몸체(810) 및, 상기 회전몸체(810)의 외측 방향으로 연장되어 상기 제2공기(F2)의 공압에 의해 회전력을 발생시키는 하나 이상의 베인부(820)를 더 포함할 수 있다. 그리고 상기 회전몸체(810)의 상부 및 하부에는 상기 제1중공(111)의 내면에서 회전될 수 있도록 베어링(710)이 배치될 수 있다. 그리고 상기 베인부(820)의 상측 및 하측에는 상기 제2공기(F2)가 외부로 배출되지 않도록 하는 패킹부(720)가 배치될 수 있다.
상기 회전부(800)는 상기 회전몸체(810)의 외주면에서 외측으로 돌출된 각도제어부(830)를 더 포함할 수 있다. 이때 상기 각도제어부(830)와 상기 스토퍼(700)가 서로 대향하도록 배치됨에 따라, 상기 각도제어부(830)가 상기 스토퍼(700)에 의해서 회전각도가 제한될 수 있다. 그리고 상기 베인부(820)와 각도제어부(830)는 상하로 이격 배치되되 그 사이에 베어링(710) 및 패킹부(720)가 배치될 수도 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 다기능 액추에이터는 상기 제1하우징(110)의 제1중공(111)에 회전몸체(810)가 위치하고, 상기 회전몸체(810)의 내부에 상기 피스톤몸체(210)가 배치될 수 있다. 이때 본 발명에 따른 다기능 액추에이터는 상기 피스톤몸체(210)의 외면과 상기 회전몸체(810) 내면 사이에 배치되는 가이드부(900)를 더 포함할 수 있다. 아울러 상기 가이드부(900)는 상하방향으로 연장되어 상기 피스톤몸체(210)를 감싸는 가이드몸체(910)와 상기 가이드몸체(910) 상에 삽입되는 복수의 볼을 포함할 수 있다. 여기서 상기 가이드몸체(910)의 하측에는 이탈방지부(730)가 형성되어 상기 가이드몸체(910)가 외부로 분리되지 않도록 방지할 수 있다. 그리고 상기 피스톤몸체(210)는 상기 구동부재(300)에 의해서 상하 방향으로 왕복 이동될 때 상기 볼(920)에 접촉하여 구름이동될 수 있다.
도 9 내지 도 11은 본 발명에 따른 다기능 액추에이터에 관한 것으로, 도 9는 피스톤, 회전부 및 가이드부를 분해한 도면을, 도 10은 제1하우징을 제거한 다기능 액추에이터의 사시도를, 도 11은 스토퍼의 작동을 도시한 다기능 액추에이터의 평단면도를 각각 나타낸다.
도 9를 참조하면, 상기 가이드몸체(910)는 다각형 형상으로 구성될 수 있으며, 일 예로 평단면이 사각으로 형성된 막대 형상의 가이드몸체(910)를 도시하고 있다. 이때 상기 가이드몸체(910)는 내부 중공이 다각형 형상이거나, 외부면이 다각형일 수 있다. 여기서 상기 가이드몸체(910)의 내부 중공이 다각형 형상인 경우, 상기 가이드몸체(910)에 삽입되는 상기 피스톤몸체(210)에 일부 또한 외면이 다각형 형상으로 구성됨에 따라 상기 회전몸체(810)가 회전 시에 함께 회전될 수 있다.
도 10을 참조하면, 상기 베인부(820)는 복수로 이루어져, 상기 회전몸체(810)의 원주 방향을 따라 서로 이격 배치될 수 있다. 이때 상기 회전부(800)는 상기 베인부(820) 측으로 공기가 유입될 수 있도록 복수의 베인부(820) 사이에 개재되는 회전씰(821)을 더 포함할 수도 있다.
도 11을 참조하면, 상기 각도제어부(830)는 상기 제1하우징(110) 상에 형성된 중공에서 회전될 수 있으며, 한 쌍의 스토퍼(700)가 도시된 바와 같이 서로 이격 배치됨에 따라 상기 각도제어부(830)의 회전반경을 제한할 수 있다. 이때 상기 스토퍼(700)의 위치를 조절하여 상기 각도제어부(830)의 최대 회전반경을 제한할 수도 있다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 도면에 의해 설명되었으나, 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 일 실시예에 한정되는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니 되며, 후술되는 특허 청구 범위뿐 아니라 이 특허 청구 범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명의 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
10 : 다기능 액추에이터
100 : 하우징
110 : 제1하우징 111 : 제1중공
120 : 제2하우징 112 : 제2중공
130 : 제1고정부 140 : 제2고정부
200 : 피스톤부
210 : 피스톤몸체 211 : 진공관
220 : 흡착부 230 : 흡착조절부
240 : 충격흡수부
300 : 구동부재
400 : 연결부재
500 : 공기조절부
510 : 제1공기조절부 520 : 제2공기조절부
600 : 스위치
700 : 스토퍼 710 : 베어링
720 : 패킹부 730 : 이탈방지부
800 : 회전부
810 : 회전몸체 820 : 베인부
821 : 회전씰 830 : 각도제어부
900 : 가이드부
910 : 가이드몸체 920 : 볼

Claims (11)

  1. 내부가 중공된 회전몸체;
    일부가 상기 회전몸체의 중공에 배치되는 피스톤몸체를 포함하는 피스톤부; 및
    상기 회전몸체의 중공 내면과 상기 피스톤몸체의 외면 사이에 개재되는 가이드부;
    를 포함하며,
    상기 가이드부는,
    복수의 모서리가 형성된 다각형의 가이드몸체와, 상기 가이드몸체 상에 삽입되는 복수의 볼을 포함하는 것을 특징으로 하는 다각형 가이드 구조체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드몸체의 내부가 중공되어 상기 피스톤몸체가 삽입되되,
    상기 피스톤부는 상기 피스톤몸체의 외면이 상기 가이드부의 볼과 접촉되어 구름운동되는 것을 특징으로 하는 다각형 가이드 구조체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 가이드몸체의 내면에 복수의 모서리가 형성되어 상기 가이드몸체의 내부 중공이 다각형으로 이루어지되,
    상기 피스톤부는,
    상기 피스톤몸체의 외면이 상기 가이드몸체의 중공과 대응하는 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 다각형 가이드 구조체.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 가이드부는,
    상기 가이드몸체의 외면에 복수의 모서리가 형성되어 상기 가이드몸체의 외면이 다각형으로 이루어지되, 상기 볼이 상기 가이드몸체를 관통하도록 배치되어 상기 회전몸체의 내면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 다각형 가이드 구조체.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피스톤부는,
    상기 피스톤몸체의 양단에 형성된 흡착부 및 흡착조절부를 더 포함하고,
    상기 피스톤몸체의 내부에 진공관이 형성되는 것을 특징으로 하는 다각형 가이드 구조체.
  6. 제5항의 다각형 가이드 구조체를 이용한 다기능 액추에이터에 있어서,
    상기 회전몸체를 일측 내부에 수용하는 하우징;
    상기 하우징의 타측에 배치되되 직진운동되도록 제어되는 구동부재; 및
    상기 하우징의 양측에서 각각 돌출된 상기 구동부재의 일단과 상기 피스톤부의 일단을 연결하는 연결부재;
    를 포함하며,
    상기 구동부재 이동되면 상기 연결부재가 함께 이동되는 것을 특징으로 하는 다기능 액추에이터.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 회전몸체는 회전운동이 가능하게 형성되며,
    상기 회전몸체가 회전하면 상기 피스톤부가 함께 회전하는 것을 특징으로 하는 다기능 액추에이터.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 회전몸체의 외면에는 하나 이상의 베인부가 돌출 형성되어 공압에 의해 회전하는 것을 특징으로 하는 다기능 액추에이터.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 구동부재의 직진운동을 제어하는 제1공기조절부; 및
    상기 회전몸체의 회전운동을 제어하는 제2공기조절부;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 액추에이터.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 회전몸체의 최대 회전반경을 제한하도록 상기 하우징 상에 배치되는 스토퍼;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 액추에이터.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 회전몸체에는 외측으로 돌출된 각도제어부가 형성되고,
    상기 스토퍼는 한 쌍으로 이루어져 상기 각도제어부의 양 방향의 회전반경을 각각 제한하는 것을 특징으로 하는 다기능 액추에이터.
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