KR20220167213A - 시험 방법, 시험 장치 및 프로그램 - Google Patents

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마사유키 카와바타
타카유키 아키타
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주식회사 아도반테스토
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Abstract

피시험 디바이스에 구비되며 싱글 엔드의 신호를 출력하는 복수의 단자 중 일부의 단자 각각에 대하여, 복수의 단자 중, 해당 단자와는 상이한 기준 단자의 출력값과의 차분값을 측정하는 측정 단계와, 일부의 단자 각각의 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정 단계를 구비하고, 측정 단계에서는, 복수의 단자 중, 적어도 1개의 단자 각각의 출력값을 추가로 측정하고, 판정 단계에서는, 적어도 1개의 단자 각각의 출력값이 제2의 기준 범위인지의 여부 및 적어도 1개의 단자 각각의 출력값 사이의 차분값이 제3의 기준 범위 내인지의 여부에 더 기초하여, 피시험 디바이스의 양부를 판정한다.

Description

시험 방법, 시험 장치 및 프로그램{TEST METHOD, TEST APPARATUS AND PROGRAM}
본 발명은, 시험 방법, 시험 장치 및 프로그램에 관한 것이다.
특허문헌 1에는, 「각 출력핀의 전압은, 측정된 전압차를 n번째의 전압 측정 유닛(Vun)으로부터 순서대로 누적 가산함으로써 얻어진다」(단락 0007)라고 기재되어 있다.
일본특허공개 H8-62307호 공보
본 발명의 제1의 태양에 있어서는, 시험 방법이 제공된다. 시험 방법은, 피시험 디바이스에 구비되며 싱글 엔드의 신호를 출력하는 복수의 단자 중 일부의 단자 각각에 대하여, 복수의 단자 중, 해당 단자와는 상이한 기준 단자의 출력값과의 차분값을 측정하는 측정 단계를 구비할 수 있다. 시험 방법은, 일부의 단자 각각의 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정 단계를 구비할 수 있다.
측정 단계에서는, 복수의 단자 중, 적어도 1개의 단자 각각의 출력값을 추가로 측정할 수 있다. 판정 단계에서는, 적어도 1개의 단자 각각의 출력값이 제2의 기준 범위인지의 여부 및 적어도 1개의 단자 각각의 출력값 사이의 차분값이 제3의 기준 범위 내인지의 여부에 더 기초하여, 피시험 디바이스의 양부를 판정할 수 있다.
복수의 단자는, 각 단자가 순서대로 기준 단자로서 이용되는 연쇄 관계를 적어도 1개 형성할 수 있다. 측정 단계에서는, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자의 사이 각각에서, 일방의 단자에 대해, 타방의 단자를 기준 단자로서 이용할 수 있다.
측정 단계는, 각 연쇄 관계에 있어서의 일단의 단자의 출력값을 추가로 측정할 수 있다.
측정 단계에서는, 일부의 단자 중 2개 이상의 단자를 갖는 적어도 1개의 단자 그룹 내의 단자 각각의 출력값과, 복수의 단자 중 해당 단자 그룹에 대응지어진 공통의 기준 단자의 출력값의 차분값을 측정할 수 있다.
복수의 단자를 그룹화한 복수의 단자 그룹에 의해, 2개 이상의 단자 그룹 사이에서 기준 단자가 순서대로 이용되는 연쇄 관계가 적어도 1개 형성될 수 있다. 측정 단계에서는, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자 그룹의 사이 각각에서, 일방의 단자 그룹에 대해, 타방의 단자 그룹 내의 어느 한 단자를 기준 단자로서 이용할 수 있다.
측정 단계에서는, 각 연쇄 관계에 있어서의 일단의 단자 그룹 내의 단자 각각의 출력값을 추가로 측정할 수 있다.
피시험 디바이스는, 각 단자로부터 복수의 계조의 출력이 가능할 수 있다. 측정 단계에서는, 복수의 단자로 하여금 각 계조의 출력을 행하게 하여 측정을 행할 수 있다. 판정 단계에서는, 각 계조에서의 측정 결과에 기초하여 판정을 행할 수 있다.
피시험 디바이스는, 디스플레이의 복수의 화소를 제어하는 복수의 단자를 갖는 디스플레이 드라이버일 수 있다. 출력값은, 전압의 크기로 나타나는 값일 수 있다.
측정 단계에서는, 복수의 단자 중, 디스플레이 내에서 서로 인접하는 화소에 대응하는 단자 사이에서 차분값을 측정할 수 있다.
본 발명의 제2의 태양에 있어서는, 시험 장치가 제공된다. 시험 장치는, 피시험 디바이스에 구비되며 싱글 엔드의 신호를 출력하는 복수의 단자 중 일부의 단자 각각에 대하여, 복수의 단자 중, 해당 단자와는 상이한 기준 단자의 출력값과의 차분값을 측정하는 측정부를 구비할 수 있다. 시험 장치는, 일부의 단자 각각의 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부를 구비할 수 있다.
본 발명의 제3의 태양에 있어서는, 컴퓨터 가독 기억 매체에 기억된 프로그램이 제공된다. 프로그램은, 컴퓨터를, 피시험 디바이스에 구비되며 싱글 엔드의 신호를 출력하는 복수의 단자 중 일부의 단자 각각에 대하여, 복수의 단자 중, 해당 단자와는 상이한 기준 단자의 출력값과의 차분값을 측정하는 측정부로서 기능시킬 수 있다. 프로그램은, 컴퓨터를, 일부의 단자 각각의 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부로서 기능시킬 수 있다.
한편, 상기의 발명의 개요는, 본 발명의 필요한 특징 모두를 열거한 것이 아니다. 또한, 이들 특징군의 서브 컴비네이션도 또한, 발명이 될 수 있다.
도 1은 실시 형태에 따른 시험 시스템(1)을 나타낸다.
도 2는 측정부(202)를 단자(10)와 함께 나타낸다.
도 3은 측정부(202)를 단자(10)와 함께 나타낸다.
도 4는 측정부(202)를 단자(10)와 함께 나타낸다.
도 5는 시험 장치(200)의 동작을 나타낸다.
도 6은 변형예 (1)에 따른 시험 시스템(1A)을 나타낸다.
도 7은 변형예 (2)에 따른 측정부(202C)를 나타낸다.
도 8은 본 발명의 복수의 태양이 전체적 또는 부분적으로 구현화될 수 있는 컴퓨터(2200)의 예를 나타낸다.
이하, 발명의 실시의 형태를 통해 본 발명을 설명하나, 이하의 실시 형태는 특허 청구의 범위에 관련된 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 실시 형태 중에서 설명되고 있는 특징의 조합 모두가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.
[1. 시험 시스템(1)]
도 1은, 본 실시 형태에 따른 시험 시스템(1)을 나타낸다. 시험 시스템(1)은, 피시험 디바이스(100)와, 시험 장치(200)를 구비한다.
[1-1. 피시험 디바이스(100)]
피시험 디바이스(100)는, 복수의 단자(10)를 갖고 있으며, 단자(10)로부터의 출력이 시험 장치(200)에 의해 시험된다. 피시험 디바이스(100)는, 각 단자(10)로부터 복수의 계조(일례로서 256 계조나 1024 계조, 4096 계조 등)의 출력이 가능할 수 있다. 피시험 디바이스(100)는, 디스플레이(도시하지 않음)의 복수의 화소를 제어하는 복수의 단자(10)를 갖는 디스플레이 드라이버일 수 있다. 각 단자는, 싱글 엔드의 신호를 출력할 수 있다. 싱글 엔드의 신호란, 어떤 기준(일례로서 제로)에 대해 높은지 낮은지에 따라 신호값을 표현하는 신호일 수 있다. 각 단자(10)는, 디스플레이의 화소를 구성하는 어느 한 표시색과 대응지어져 있으며, 피시험 디바이스(100)에 있어서의 단자(10)의 나열은, 디스플레이 내에서의 대응 화소의 나열에 대응할 수 있다.
복수의 단자(10)는, 시험 장치(200)에 의해 복수의 단자 그룹(11)으로 그룹화될 수 있다. 예를 들어, 복수의 단자(10)는, 피시험 디바이스(100) 내에서의 단자(10)의 위치에 따라서 그룹화될 수 있다. 또한, 각 단자 그룹(11)에 포함되는 단자(10)끼리는, 서로 근접하여 피시험 디바이스(100) 내에 배치되어 있을 수 있다. 한편, 각 단자 그룹(11)에는 적어도 1개의 단자(10)가 포함될 수 있다. 또한, 각 단자 그룹(11)에는 동수(同數)의 단자(10)가 포함될 수도 있고, 각기 다른 수의 단자(10)가 포함될 수도 있다.
[1-2. 시험 장치(200)]
시험 장치(200)는, 피시험 디바이스(100)의 양부를 시험한다. 시험 장치(200)는, 테스트 컨트롤러(201)와, 측정부(202)와, 판정부(203)를 갖는다.
[1-2-1. 테스트 컨트롤러(201)]
테스트 컨트롤러(201)는, 시험 장치(200)의 각 부를 제어하는 동시에, 시험 조건에 따른 동작을 피시험 디바이스(100)로 하여금 행하게 한다. 예를 들어, 테스트 컨트롤러(201)는, 피시험 디바이스(100)에 테스트 패턴 신호를 공급함으로써, 지정한 계조에 따른 출력값을 적어도 일부의 단자(10)로부터 원하는 타이밍으로 출력시킬 수 있다. 단자(10)로부터 출력된 출력값은, 출력값을 전송하기 위한 전송로(Ch)에 공급될 수 있다. 한편, 테스트 컨트롤러(201)는, 소프트웨어가 프로세서 등으로 실행됨으로써 실현될 수 있다.
[1-2-2. 측정부(202)]
측정부(202)는, 전송로(Ch)를 통하여 단자(10)와 접속될 수 있다. 측정부(202)는, 복수의 단자 그룹(11) 중 2개 이상의 단자(10)를 갖는 적어도 1개의 단자 그룹(11)(비대표 단자 그룹(11H)이라고도 칭한다) 내의 단자(10)(비대표 단자(10H)라고도 칭한다) 각각의 출력값과, 복수의 단자(10) 중 해당 비대표 단자 그룹(11H) 각각에 대한 기준 단자(10K)의 출력값의 차분값을 측정할 수 있다. 기준 단자(10K)는, 비대표 단자 그룹(11H)마다 상이할 수 있다. 하나의 비대표 단자 그룹(11H)에 대한 차분값의 측정에서 이용되는 기준 단자(10K)는, 해당 하나의 비대표 단자 그룹과는 다른 단자 그룹(11)의 단자일 수 있다. 한편, 본 실시 형태에 있어서는 일례로서 단자(10)로부터의 출력값은 기준값(일례로서 제로)에 대한 차분으로서 측정될 수 있다. 또한, 단자(10)로부터의 출력값은, 전압의 크기로 나타나는 값일 수 있다.
여기서, 복수의 단자 그룹(11)은, 2개 이상의 단자 그룹(11) 사이에서 기준 단자(10K)가 순서대로 이용되는 연쇄 관계를 적어도 1개 형성할 수 있다. 도 1에서는 일례로서 모든 단자 그룹(11)이 도면 중의 상하 방향으로 1개의 연쇄 관계를 형성하고 있다. 한편, 2개의 단자 그룹(11)이 연쇄 관계를 형성하는 경우에, 해당 2개의 단자 그룹(11) 사이에서 기준 단자(10K)가 순서대로 이용된다는 것은, 일방의 단자 그룹(11)에 대해, 타방의 단자 그룹(11) 내의 단자(10)가 기준 단자(10K)로서 이용되는 것일 수 있다. 연쇄 관계에 있어서 인접하는 단자 그룹(11)끼리는, 서로 인접하여 피시험 디바이스(100) 내에 배치되어 있을 수 있고, 환언하면, 디스플레이에 있어서 서로 인접하는 화소에 대응할 수 있다.
측정부(202)는, 단자 그룹(11)의 연쇄 관계가 형성되는 경우에는, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자 그룹(11)의 사이 각각에서, 일방의 단자 그룹(11)에 대해, 타방의 단자 그룹(11) 내의 어느 한 단자(10)를 기준 단자(10K)로서 이용하여, 차분값의 측정을 행할 수 있다.
또한, 측정부(202)는, 각 연쇄 관계에 있어서의 일단의 단자 그룹(11)(대표 단자 그룹(11D)이라고도 칭한다) 내의 단자(10)(대표 단자(10D)라고도 칭한다) 각각의 출력값을 추가로 측정할 수 있다. 대표 단자 그룹(11D)은 비대표 단자 그룹(11H)과는 다른 단자 그룹(11)일 수 있다. 피시험 디바이스(100)의 모든 단자(10)에 대한 대표 단자(10D)의 비율은, 일례로서 1/64 ~ 1/4일 수 있다.
이와 같이 연쇄 관계의 일단의 대표 단자 그룹(11D) 내의 단자(10)에 대하여 출력값이 측정되고, 연쇄 관계에 있어서 기준 단자가 순서대로 이용되어 차분값이 측정됨으로써, 연쇄 관계에 포함되는 각 비대표 단자 그룹(11H) 내의 단자(10)에 대하여 출력값을 산출할 수 있게 된다. 본 실시 형태에 있어서는 일례로서 비대표 단자 그룹(11H) 각각은 어느 하나의 연쇄 관계에 포함될 수 있다. 예를 들어, 비대표 단자 그룹(11H) 각각은, 어느 1개의 연쇄 관계에 포함될 수 있다. 하나의 비대표 단자 그룹(11H)을 포함하여 복수의 연쇄 관계가 형성되어 있는 경우에는, 해당 하나의 비대표 단자 그룹(11H)은 해당 복수의 연쇄 관계에 각각 포함될 수 있다.
한편, 연쇄 관계에 있어서의 비대표 단자 그룹(11H) 내의 단자(10)의 출력값을 산출하려면, 예를 들어, 해당 비대표 단자 그룹(11H) 내의 비대표 단자(10H)의 차분값에 대해, 연쇄 관계에 있어서 일단의 측으로 순차적으로, 인접하는 각 비대표 단자 그룹(11H) 내의 기준 단자(10K)에 대하여 측정되는 차분값과, 연쇄 관계에 있어서의 일단의 대표 단자 그룹(11D) 내의 기준 단자에 대하여 측정되는 출력값을 누적 가산하면 된다.
측정부(202)는, 측정 결과를 판정부(203)에 공급할 수 있다. 예를 들어, 측정부(202)는, 차분값이나 신호값의 아날로그 값을 디지털 값으로 변환하여 판정부(203)에 공급할 수 있다.
[1-2-3. 판정부(203)]
판정부(203)는, 측정부(202)에 의한 측정 결과에 기초하여 피시험 디바이스(100)의 양부를 판정한다. 판정부(203)는, 측정된 차분값에 기초하여 피시험 디바이스(100)의 양부를 판정할 수 있고, 예를 들어 비대표 단자(10H) 각각의 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 피시험 디바이스(100)의 양부를 판정할 수 있다. 또한, 판정부(203)는, 대표 단자(10D) 각각의 출력값이 제2의 기준 범위인지의 여부와, 대표 단자(10D) 각각의 출력값 사이의 차분값이 제3의 기준 범위 내인지의 여부 중 적어도 일방에 더 기초하여 피시험 디바이스(100)의 양부를 판정할 수도 있다. 판정부(203)는, 피시험 디바이스(100)의 양부를 나타내는 판정결과를 출력할 수 있다. 한편, 판정부(203)는, 소프트웨어가 프로세서 등으로 실행됨으로써 실현될 수 있다.
이상의 시험 장치(200)에 따르면, 2개 이상의 단자(10)를 갖는 비대표 단자 그룹(11H) 내의 단자(10) 각각의 출력값과, 해당 비대표 단자 그룹(11H)에 대한 기준 단자(10K)의 출력값의 차분값이 측정되어 시험이 행해진다. 따라서, 비대표 단자 그룹(11H) 내의 2개 이상의 단자(10)에 대하여, 공통의 기준 단자(K)를 이용하여 차분값을 측정하여 시험을 행할 수 있다. 따라서, 각 단자(10)를 다른 단자(10)의 기준 단자(10K)로 하여 순서대로 이용하여 차분값을 측정하는 경우와 달리, 차분값으로부터 출력값을 산출하기 위한 누적 가산의 횟수를 저감할 수 있으므로, 출력값의 산출을 용이화할 수 있다. 또한, 누적 가산의 횟수가 저감됨으로써, 차분값이나 출력값의 측정에서 발생하는 노이즈를 포함하여 산출되는 출력값의 수를 저감할 수 있으므로, 산출되는 출력값을 이용하는 경우의 시험 정밀도를 높일 수 있다.
또한, 차분값의 측정 결과를 이용하여 시험이 행해짐으로써, 출력값을 측정하는 횟수, 더 나아가서는, 노이즈의 영향으로 인해 이상값(異常値)을 측정하는 횟수를 저감할 수 있으므로, 시험 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 이상값의 영향을 저감하는 평균화를 위해 측정 횟수를 늘릴 필요가 없으므로, 시험 시간을 단축할 수 있다.
또한, 2개 이상의 단자 그룹(11) 사이에서 기준 단자(10K)가 순서대로 이용되는 연쇄 관계가 적어도 1개 형성되어 있으며, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자 그룹(11)의 사이 각각에서, 일방의 단자 그룹(11)에 대해, 타방의 단자 그룹(11) 내의 어느 한 단자(10)가 기준 단자(10K)로서 이용된다. 따라서, 연쇄 관계에 포함되는 각 그룹에 대하여 순차적으로 단자(10)로부터의 출력값을 산출할 수 있다.
또한, 각 연쇄 관계의 일단에 위치하는 대표 단자 그룹(11D) 내의 단자(10) 각각의 출력값이 측정되므로, 해당 출력값과의 차분값에 의해, 연쇄 관계에 포함되는 각 단자 그룹(11) 내의 각 단자(10)의 출력값을 산출할 수 있다.
또한, 비대표 단자 그룹(11H) 각각이 어느 하나의 연쇄 관계에 포함되므로, 비대표 단자 그룹 내의 단자(10) 각각에 대하여 출력값을 산출할 수 있다.
[1-3. 측정부(202)의 구성예]
도 2 내지 도 4는, 측정부(202)를 단자(10)와 함께 나타낸다.
본 구성예에 있어서는 일례로서 피시험 디바이스(100)는 1536개의 단자(10)를 갖고 있으며, 도 2 내지 도 4에는, 이 중 전송로(Ch(1) ~ Ch(32))에 접속된 32개의 단자(10)(단자(10(1) ~ 10(32))라고도 칭한다)를 측정 대상으로 하는 부분의 측정부(202)의 구성을 나타낸다. 측정부(202)는, 32개의 단자(10)마다 동일한 구성을 각기 다른 기판(도시하지 않음) 상에 가질 수 있다. 전송로(Ch(n))는, 각 단자(10(n))로부터의 출력값을 측정부(202)에 공급할 수 있다. 한편, 단자(10(1)) 등의 기재에 있어서의 첨자인 괄호 내의 숫자 1 ~ 32는, 대응하는 전송로(Ch)의 번호를 나타낼 수 있다. 첨자에 있어서의 괄호 내의 n은 1 ~ 32 중 어느 한 정수를 나타낼 수 있다. 본 구성예에 있어서, 단자(10)의 개수나, 측정부(202)에 있어서의 각 구성의 개수는 다른 수일 수도 있다.
단자(10(1) ~ 10(32))은, 4개씩의 단자(10)를 포함하는 8개의 단자 그룹(11)(단자 그룹(11G1 ~ 11G8)이라고도 칭한다)으로 그룹화될 수 있다. 한편, 첨자인 G1 ~ G8은 단자 그룹(11)의 번호를 나타낸다. 또한, 각 단자 그룹(11)에 있어서의 단자(10)의 개수는, 후술하는 증폭부(220)의 집적 개수에 대응할 수 있다.
단자 그룹(11G1 ~ 11G8)은, 기준 단자(10K)가 순서대로 이용되는 단일의 연쇄 관계를 형성할 수 있다. 연쇄 관계의 일단의 단자 그룹(11G8)은 대표 단자 그룹(11D)일 수 있고, 다른 단자 그룹(11G1 ~ 11G7)은 비대표 단자 그룹(11H)일 수 있다.
단자 그룹(11G1) 내의 단자(10(1) ~ 10(4))에 대한 기준 단자(10K)는 단자 그룹(11G2) 내의 단자(10(5))일 수 있다. 마찬가지로, 단자 그룹(11G2) 내의 단자(10(5) ~ 10(8))에 대한 기준 단자(10K)는 단자 그룹(11G3) 내의 단자(10(9))일 수 있다. 단자 그룹(11G3) 내의 단자(10(9) ~ 10(12))에 대한 기준 단자(10K)는 단자 그룹(11G4) 내의 단자(110(13))일 수 있다. 단자 그룹(11G4) 내의 단자(10(13) ~ 10(16))에 대한 기준 단자(10K)는 단자 그룹(11G5) 내의 단자(10(17))일 수 있다. 단자 그룹(11G5) 내의 단자(10(17) ~ 10(20))에 대한 기준 단자(10K)는 단자 그룹(11G6) 내의 단자(10(21))일 수 있다. 단자 그룹(11G6) 내의 단자(10(21) ~ 10(24))에 대한 기준 단자(10K)는 단자 그룹(11G7) 내의 단자(10(25))일 수 있다. 단자 그룹(11G7) 내의 단자(10(25) ~ 10(28))에 대한 기준 단자(10K)는 단자 그룹(11G8) 내의 단자(10(29))일 수 있다.
측정부(202)는, 복수의 증폭부(220)(증폭부(220(n))라고도 칭한다) 및 복수의 출력부(221)(출력부(221(n))라고도 칭한다)를 가질 수 있으며, 본 구성예에서는 일례로서 전송로(Ch)마다 증폭부(220) 및 출력부(221)를 가질 수 있다. 또한, 측정부(202)는, 1 또는 복수의 전환부(222)(전환부(222(n))라고도 칭한다)를 가질 수 있다.
[1-3-1. 증폭부(220)]
각 증폭부(220(n))는, 대응하는 단자(10(n))로부터의 출력값과, 다른 값의 차분을 증폭한다. 각 증폭부(220(n))는, 대응하는 출력부(221(n))에 대해, 증폭한 값을 공급할 수 있다. 각 증폭부(220)는, 게인 가변일 수 있다.
본 구성예에 있어서는 일례로서 각 증폭부(220(n))는 연산 증폭기(OP 앰프) 등의 차동 증폭기일 수 있고, 4개씩 집적되어 기판 상에 배치될 수 있다. 각 증폭부(220(n))의 비반전 입력 단자에는, 대응하는 전송로(Ch(n))를 통하여 단자(10(n))의 출력값이 입력될 수 있다. 예를 들어, 도 2에서는, 증폭부(220(1) ~ 220(4))가 집적되어 있으며, 이들의 비반전 입력 단자에는, 전송로(Ch(1) ~ Ch(4))를 통하여 단자 그룹(11G1) 내의 단자(10(1) ~ 10(4))의 출력값이 입력되어 있다. 마찬가지로, 도 3에서는, 증폭부(220(5) ~ 220(8))가 집적되어 있으며, 이들의 비반전 입력 단자에는, 전송로(Ch(5) ~ Ch(8))를 통하여 단자 그룹(11G2) 내의 단자(10(5) ~ 10(8))의 출력값이 입력되어 있다. 그리고, 도 4에서는, 증폭부(220(29) ~ 220(32))가 집적되어 있으며, 이의 비반전 입력 단자에는, 전송로(Ch(29) ~ Ch(32))를 통하여 단자 그룹(11G8) 내의 단자(10(29) ~ 10(32))의 출력값이 입력되어 있다. 한편, 도면에서는 간략화를 위해, 반전 입력 단자에는 반전을 의미하는 원표시를 하여, 비반전 입력 단자와 구별하고 있다.
각 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자에 입력되는 값은, 단자(10(n))의 출력값이 측정되는 경우에는, 일례로서 그라운드 전압 등의 기준값일 수 있고, 차분값이 측정되는 경우에는, 기준 단자(10K)의 출력값일 수 있다. 이들 값은, 전환부(222(n))에 의해 전환할 수 있다.
[1-3-2. 출력부(221)]
각 출력부(221(n))는, 대응하는 증폭부(220(n))에 의해 증폭된 값에 따른 측정값을 출력한다. 본 구성예에 있어서는 일례로서 출력부(221)는 16 비트 등의 AD 컨버터일 수 있고, 증폭된 아날로그 값을 디지털 값으로 변환하고, 측정값으로서 출력할 수 있다. 출력부(221)는, 측정값을 판정부(203)에 공급할 수 있다.
[1-3-3. 전환부(222)]
1 또는 복수의 전환부(222(n))는, 대응하는 전송로(Ch(n))에 접속된 단자(10(n))에 대한 측정 모드를 전환한다. 예를 들어, 각 전환부(222)는, 어느 한 단자 그룹(11) 내의 단자와 일대일로 대응하고, 대응하는 단자 그룹(11) 내의 단자(10)에 대하여 측정 모드를 전환할 수 있다. 본 구성예에 있어서는 일례로서 측정부(202)에는 단자(10(1) ~ 10(32))와 동수의 전환부(222(1) ~ 220(32))가 구비되어 있으며, 이들 전환부(222(1) ~ 220(32))는 각 단자 그룹(11) 내의 단자(10(1) ~ 10(32))에 대하여 측정 모드를 전환할 수 있다.
각 전환부(222)는, 차분값을 측정하는 차동 측정 모드와, 제1의 측정 범위에서 출력값을 측정하는 대진폭 측정 모드와, 제1의 측정 범위보다 좁은 제2의 측정 범위에서 출력값을 측정하는 고감도 측정 모드 중, 적어도 2개의 사이에서 측정 모드를 전환할 수 있다. 한편, 고감도 측정 모드에서는, 서로 폭이 같고 상하한값이 상이한 복수(본 구성예에서는 일례로서 4개 또는 5개)의 제2의 측정 범위 중 어느 하나에서 출력값을 측정할 수 있다. 복수의 제2의 측정 범위 각각은, 적어도 일부가 제1의 측정 범위에 포함될 수 있다. 또한, 복수의 제2의 측정 범위는, 서로 일부가 중첩되어 있을 수도 있다.
본 구성예에서는 일례로서 도 2, 도 3에 나타내는 바와 같이, 단자 그룹(11G1 ~ 11G7)의 단자(10(1) ~ 10(28)), 즉 비대표 단자 그룹(11H) 내의 각 비대표 단자(10H)에 대응하는 각 전환부(222(1) ~ 222(28))는, 해당 단자 그룹(11G1 ~ 11G7) 내의 단자(10(1) ~ 10(28)) 각각에 대하여, 차동 측정 모드와, 대진폭 측정 모드와, 고감도 측정 모드의 어디에서 측정을 행할지를 전환한다. 이에 따라, 각 전환부(222(1) ~ 222(28))에 의해 차분값을 측정할지, 출력값을 측정할지가 전환된다. 한편, 각 전환부(222(1) ~ 222(28))는, 차동 측정 모드와, 대진폭 측정 모드 또는 고감도 측정 모드의 2개의 모드 사이에서 전환을 행할 수 있다. 각 전환부(222(1) ~ 222(28))는, 고감도 측정 모드에서 측정을 행하는 경우에는, 복수의 제2의 측정 범위 중 어디에서 출력값을 측정할지를 추가로 전환할 수 있다.
또한, 도 4에 나타내는 바와 같이, 단자 그룹(11G8)의 단자(10(29) ~ 10(32)), 즉 대표 단자 그룹(11D) 내의 각 대표 단자(10D)에 대응하는 각 전환부(222(29) ~ 222(32))는, 해당 단자 그룹(11G8) 내의 단자(10(29) ~ 10(32)) 각각에 대하여, 대진폭 측정 모드와 고감도 측정 모드의 어디에서 측정을 행할지를 전환할 수 있다. 각 전환부(222(29) ~ 222(32))는, 고감도 측정 모드에서 측정을 행하는 경우에는, 복수의 제2의 측정 범위 중 어디에서 출력값을 측정할지를 추가로 전환할 수 있다.
각 전환부(222(n))는, 멀티플렉서(223(n))와, 변경부(224(n))를 가질 수 있으며, 적용해야 할 측정 모드를 지시하는 신호(측정 모드 지시 신호라고도 칭한다)를 수신함에 따라 측정 모드를 전환할 수 있다. 측정 모드 지시 신호는, 유저에 의해 시험 프로그램에 기술되는 조건 설정에 따라서, 테스트 컨트롤러(201)로부터 전환부(222)에 공급될 수 있다.
[1-3-3(1). 멀티플렉서(223)]
멀티플렉서(223(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라, 대응하는 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자의 접속처를 전환한다.
(비대표 단자(10H)에 대응하는 멀티플렉서(223))
비대표 단자(10H)인 단자(10(1) ~ 10(28))에 대응하는 멀티플렉서(223(n))는, 그라운드 전압(GND)과, 4개의 기준 전압(Vref1 ~ Vref4) 중 어느 하나와, 대응하는 전송로(Ch(n))에 접속된 단자(10)(본 구성예에서는 일례로서 단자(10(n)))의 단자 그룹(11)에 대응지어진 기준 단자(10K)로부터의 출력값의 전송로(Ch) 사이에서 접속처를 전환할 수 있다.
예를 들어, 멀티플렉서(223(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라 대진폭 측정 모드의 적용이 지시된 경우에는, 대응하는 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자에 그라운드 전압(GND)을 접속할 수 있다. 이에 따라, 증폭부(220(n)) 및 출력부(221(n))에서는, 그라운드 전압(GND)을 기준으로 한 단자(10(n))의 출력 전압을 측정할 수 있게 된다.
또한, 멀티플렉서(223(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라 차동 측정 모드의 적용이 지시된 경우에는, 대응하는 단자(10(n))의 단자 그룹(11)에 대응지어진 기준 단자(10K)의 출력값의 전송로(Ch)를, 대응하는 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자에 접속할 수 있다. 이에 따라, 증폭부(220(n)) 및 출력부(221(n))에서는, 기준 단자(10K)의 출력값을 기준으로 한 단자(10(n))의 출력 전압, 즉, 단자(10(n))의 출력값과 기준 단자(10K)의 출력값의 차분값을 측정할 수 있게 된다.
또한, 멀티플렉서(223(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라 고감도 측정 모드의 적용이 지시된 경우에는, 대응하는 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자에 대해, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4) 중, 측정 모드 지시 신호로 지시되는 어느 하나의 기준 전압을 접속할 수 있다. 이에 따라, 증폭부(220(n)) 및 출력부(221(n))에서는, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4)을 기준으로 한 단자(10(n))의 출력 전압을 측정할 수 있게 된다.
여기서, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4)은, 모두 그라운드 전압(GND)보다 높은 전압일 수 있고, 단계적으로 높아질 수 있다. 이에 따라, 고감도 측정 모드에서의 출력값의 측정 범위, 즉 복수(여기서는 4개)의 제2의 측정 범위 각각은 단계적으로 높아진다. 한편, 본 구성예에서는 일례로서 기준 전압(Vref1 ~ Vref4)은, 그라운드 전압(GND) 및 기준 전압(Vref1 ~ Vref4)이 등간격이 되도록 고정값으로 설정되어 있는데, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4)은 각각 가변일 수도 있다.
한편, 본 구성예에서는 일례로서 도 2에 나타내는 바와 같이, 멀티플렉서(223(1) ~ 223(4))에는 차동 측정 모드의 적용이 지시되어 있으며, 단자(10(1) ~ 10(4))의 단자 그룹(11G1)에 대응지어진 기준 단자(10K(5))의 전송로(Ch(5))가 증폭부(220(1) ~ 220(4))의 반전 입력 단자에 접속되어 있다.
또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, 멀티플렉서(223(5) ~ 223(8))에는 차동 측정 모드의 적용이 지시되어 있으며, 단자(10(5) ~ 10(8))의 단자 그룹(11G2)에 대응지어진 기준 단자(10K(9))의 전송로(Ch(9))가 증폭부(220(5) ~ 220(8))의 반전 입력 단자에 접속되어 있다.
이후, 마찬가지로, 본 구성예에서는, 멀티플렉서(223(9) ~ 223(12), 223(13) ~ 223(16), 223(17) ~ 223(20), 223(21) ~ 223(24), 223(25) ~ 223(29))에 각각 차동 측정 모드의 적용이 지시되어 있으며, 단자 그룹(11G2 ~ 11G7)에 대응지어진 기준 단자(10K(13), 10(17), 10(21), 10(25), 10(29))의 전송로(Ch(13), Ch(17), Ch(21), Ch(25), Ch(29))가, 증폭부(220(9) ~ 220(12), 220(13) ~ 220(16), 220(17) ~ 220(20), 220(21) ~ 220(24), 220(25) ~ 220(29))의 반전 입력 단자에 각각 접속되어 있다.
(대표 단자(10D)에 대응하는 멀티플렉서(223))
대표 단자(10D(29) ~ 10D(32))에 대응하는 멀티플렉서(223(n))는, 그라운드 전압(GND)과, 5개의 기준 전압(Vref11 ~ Vref15) 중 어느 하나와의 사이에서 접속처를 전환할 수 있다.
예를 들어, 멀티플렉서(223(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라 대진폭 측정 모드의 적용이 지시된 경우에는, 대응하는 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자에 그라운드 전압(GND)을 접속할 수 있다. 이에 따라, 증폭부(220(n)) 및 출력부(221(n))에서는, 그라운드 전압(GND)을 기준으로 한 단자(10(n))의 출력 전압을 측정할 수 있게 된다.
또한, 멀티플렉서(223(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라 고감도 측정 모드의 적용이 지시된 경우에는, 대응하는 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자에 대해, 기준 전압(Vref11 ~ Vref15) 중, 측정 모드 지시 신호로 지시되는 어느 하나의 기준 전압을 접속할 수 있다. 이에 따라, 증폭부(220(n)) 및 출력부(221(n))에서는, 기준 전압(Vref11 ~ Vref15)을 기준으로 한 단자(10(n))의 출력 전압을 측정할 수 있게 된다.
여기서, 기준 전압(Vref11 ~ Vref15)은, 모두 그라운드 전압(GND)보다 높은 전압일 수 있고, 단계적으로 높아질 수 있다. 이에 따라, 고감도 측정 모드에서의 출력값의 측정 범위, 즉 복수(여기서는 5개)의 제2의 측정 범위 각각은 단계적으로 높아진다. 한편, 본 구성예에서는 일례로서 기준 전압(Vref11 ~ Vref15)은, 그라운드 전압(GND) 및 기준 전압(Vref11 ~ Vref15)이 등간격이 되도록 고정값으로 설정되어 있는데, 기준 전압(Vref11 ~ Vref15)은 각각 가변일 수도 있다. 기준 전압(Vref11 ~ Vref15) 중 어느 하나는 기준 전압(Vref1 ~ Vref4) 중 어느 하나와 같을 수도 있다.
본 구성예에서는 일례로서 도 4에 나타내는 바와 같이, 멀티플렉서(223(29) ~ 223(32))에는 고감도 측정 모드의 적용이 지시되어 있으며, 기준 전압 Vref15가 증폭부(220(29) ~ 220(32))의 반전 입력 단자에 접속되어 있다.
한편, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4, Vref11 ~ Vref15)의 전압원(도시하지 않음)은, 32개씩의 단자(10)에 대응하는 상술한 기판의 어디에도 탑재되지 않고 복수의 기판의 사이에서 공유되며, 이들 기판 상의 각 증폭부(220)의 반전 입력 단자에 기준 전압을 공급할 수 있다. 이것을 대신하여, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4, Vref11 ~ Vref15)의 전압원은, 32개의 단자(10(1) ~ 10(32))에 대응하는 상술한 기판 상에 탑재되어, 해당 기판 상의 각 증폭부(220(1) ~ 220(32))의 반전 입력 단자에 기준 전압(Vref1 ~ Vref4, Vref11 ~ Vref15)을 공급할 수도 있다. 이 경우에는, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4, Vref11 ~ Vref15)은 기판의 그라운드 전위에 따라 변동할 수도 있다.
[1-3-3(2). 변경부(224)]
변경부(224(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라 증폭부(220(n))의 게인을 변경한다. 변경부(224(n))는, 전환부(222(n))에 의해 대진폭 측정 모드가 적용되는 경우에는, 대진폭 측정 모드가 적용되지 않는 경우(본 구성예에서는 일례로서 고감도 측정 모드나 차동 측정 모드가 적용되는 경우)와 비교하여 게인을 작게 할 수 있다. 대진폭 측정 모드가 적용되는 경우의 게인은, 다른 측정 모드가 적용되는 경우의 게인에 대하여 10분의 1일 수 있고, 일례로서 전자의 게인은 0.2, 후자의 게인은 2일 수 있다.
이에 따라, 전환부(222(n))에 의해 대진폭 측정 모드가 적용되어 있는 경우, 즉 제1의 측정 범위 내에서 출력값이 측정되도록 전환이 행해지고 있는 경우에는, 해당 전환이 행해지고 있지 않은 경우와 비교하여 증폭부(220(n))의 게인이 작아지고, 그 결과, 대진폭 측정 모드에서의 측정 범위, 즉 제1의 측정 범위는 커져, 넓은 측정 범위에서의 측정이 가능해진다.
한편, 전환부(222(n))에 의해 고감도 측정 모드가 적용되어 있는 경우, 즉 제2의 측정 범위 내에서 출력값이 측정되도록 전환이 행해지고 있는 경우에는, 증폭부(220(n))의 게인이 커지고, 그 결과, 고감도에서의 측정이 가능해지고, 또한, 고감도 측정 모드에서의 측정 범위, 즉 4개의 제2의 측정 범위 각각은 대진폭 측정 모드에서의 측정 범위, 즉 제1의 측정 범위보다 작아진다. 한편, 본 실시 형태에서는 상술한 바와 같이, 복수의 제2의 측정 범위 각각은, 멀티플렉서(223)에 의한 기준 전압(Vref1 ~ Vref4)의 선택에 따라 단계적으로 높아지는데, 모두 제1의 측정 범위 내에 속하는 크기일 수 있다.
또한, 전환부(222(n))에 의해 차동 측정 모드가 적용되도록 전환이 행해지고 있는 경우에는, 증폭부(220(n))의 게인이 커지고, 그 결과, 고감도에서의 측정이 가능해지고, 차동 측정 모드에서의 측정 범위의 크기는 제2의 측정 범위와 동일한 크기가 된다.
이상의 측정부(202)에 따르면, 대표 단자(10D)인 단자(10(29) ~ 10(32)) 각각에 대하여, 대진폭 측정 모드에 의해 제1의 측정 범위 내에서 출력값을 측정할지, 고감도 측정 모드에 의해 해당 제1의 측정 범위보다 좁은 제2의 측정 범위 내에서 출력값을 측정할지를 전환하므로, 제1의 측정 범위 내에 포함되는 출력값을 확실하게 측정하는 동시에, 제2의 측정 범위 내에 포함되는 출력값을 고감도로 측정할 수 있다.
또한, 비대표 단자(10H)인 단자(10(1) ~ 10(28)) 각각에 대하여 차분값을 측정할지, 출력값을 측정할지가 전환되므로, 비대표 단자(10H)에 대하여 적절히, 차분값이 아닌 출력값을 측정할 수 있다.
또한, 비대표 단자(10H)인 단자(10(1) ~ 10(28)) 각각에 대하여, 제1의 측정 범위 내에서 출력값을 측정할지, 해당 제1의 측정 범위보다 좁은 제2의 측정 범위 내에서 출력값을 측정할지를 추가로 전환하므로, 비대표 단자(10H)에 대해서도 제1의 측정 범위 내에 포함되는 출력값을 확실하게 측정하는 동시에, 제2의 측정 범위 내에 포함되는 출력값을 고감도로 측정할 수 있다.
또한, 제1의 측정 범위 내에서 출력값이 측정되도록 전환이 행해지고 있지 않은 경우에는 게인이 커지므로, 고감도 측정 모드 및 차동 측정 모드에서 고감도로 측정을 행할 수 있다. 또한, 고감도 측정 모드 및 차동 측정 모드에서는 크게 증폭된 측정 결과가 취득되므로, 측정 결과에 가해지는 노이즈를 상대적으로 작게 하여, 시험 정밀도를 높일 수 있다.
[2. 동작]
도 5는, 시험 장치(200)의 동작을 나타낸다. 시험 장치(200)는, 스텝 S11 ~ S29의 처리에 의해 피시험 디바이스(100)를 시험한다.
스텝 S11에 있어서 테스트 컨트롤러(201)는, 각 단자(10)에 대해 출력 대상의 계조와, 출력 타이밍을 설정한다. 일례로서, 스텝 S11이 최초로 행해지는 경우에는, 테스트 컨트롤러(201)는 계조를 최소값으로 설정할 수 있다. 스텝 S11이 2회째 이후에 행해지는 경우에는, 테스트 컨트롤러(201)는, 전회의 스텝 S11보다 1개 큰 값으로 계조를 설정할 수 있다. 테스트 컨트롤러(201)는, 비대표 단자(10H)와, 이의 기준 단자(10K)의 출력 타이밍을 후술하는 스텝 S13의 처리 타이밍으로 하고, 대표 단자(10D)의 출력 타이밍을 후술하는 스텝 S15의 처리 타이밍으로 할 수 있다. 이에 따라, 스텝 S13, S15의 타이밍으로 단자(10)가 출력을 행한다.
스텝 S13에 있어서 측정부(202)는, 비대표 단자 그룹(11H) 내의 비대표 단자(10H) 각각의 출력값과, 해당 비대표 단자 그룹(11H)에 대응지어진 공통의 기준 단자(10K)의 출력값의 차분값을 측정한다. 측정부(202)는, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자 그룹(11)의 사이 각각에서, 일방의 단자 그룹(11)에 대해, 타방의 단자 그룹(11) 내의 어느 한 단자(10)를 기준 단자(10K)로서 이용할 수 있다. 측정부(202)는, 디스플레이 드라이버인 피시험 디바이스(100)의 복수의 단자(10) 중, 디스플레이 내에서 서로 인접하는 화소에 대응하는 단자(10)의 사이에서 차분값을 측정할 수 있다. 측정부(202)는, 도시하지 않는 기억 장치에 비대표 단자(10H) 각각의 차분값을 기억시킬 수 있다.
스텝 S15에 있어서 측정부(202)는, 대표 단자(10D) 각각의 출력값을 측정한다. 측정부(202)는, 각 연쇄 관계에 있어서의 일단의 단자 그룹(11) 내의 단자(10) 각각의 출력값을 측정할 수 있다. 측정부(202)는, 대진폭 측정 모드에서 측정을 행할 수도 있고, 고감도 측정 모드에서 측정을 행할 수도 있다. 일례로서, 측정부(202)는, 제1의 측정 범위 내에서 대진폭 측정 모드에 의해 측정을 행한 후, 복수의 제2의 측정 범위 중, 대진폭 측정 모드에서 측정된 출력값이 포함되는 제2의 측정 범위 내에서 고감도 측정 모드에 의해 측정을 행할 수 있다. 측정부(202)는, 기억 장치에 대표 단자(10D) 각각의 출력값을 기억시킬 수 있다. 한편, 스텝 S15의 처리는, 스텝 S13과 병행하여 동시에 행해질 수 있다. 이 경우에는, 스텝 S13, S15의 처리가 순서대로 행해지는 경우와 비교하여 시험 시간이 단축된다.
스텝 S17에 있어서 테스트 컨트롤러(201)는, 모든 계조에 대하여 측정이 행해졌는지의 여부를 판정한다. 1개 이상의 계조에 대하여 측정이 행해져 있지 않다고 판정된 경우(스텝 S17; 아니오)에는 스텝 S11로 처리가 이행할 수 있다. 이에 따라, 스텝 S11 ~ S15에 의해 복수의 단자(10)로 하여금 각 계조의 출력을 행하게 하여 측정이 행해진다. 모든 계조에 대하여 측정이 행해졌다고 판정된 경우(스텝 S17; 예)에는 스텝 S21로 처리가 이행할 수 있다.
스텝 S21에 있어서 판정부(203)는, 각 계조에서의 측정 결과를 기억 장치로부터 독출하여, 비대표 단자(10H)의 차분값과, 제1의 기준 범위의 경계값을 비교할 수 있다. 제1의 기준 범위는, 다음의 식 (1)이나 식 (2)로 표시되는 범위일 수 있다. 식 중, a는 양의 실수일 수 있다. a의 값은, 차분값이 측정되었을 때의 출력 대상의 계조에 관계없이, 일정할 수도 있고, 계조에 따라 상이한 값일 수도 있다.
-a≤차분값≤a (식 (1))
|차분값|≤a (식 (2))
판정부(203)는, 식 (1)을 이용하여 비교하는 경우에는, 측정된 복수의 차분값을 제1의 기준 범위의 상한값 a, 하한값 -a와 각각 비교할 수도 있고, 측정된 복수의 차분값 중, 최대 및 최소의 차분값을 제1의 기준 범위의 상한값 a, 하한값 -a와 비교할 수도 있다. 또한, 판정부(203)는, 식 (2)를 이용하여 비교하는 경우에는, 측정된 복수의 차분값의 절대값을 산출하고, 제1의 기준 범위의 상한값 a와 각각 비교할 수도 있고, 산출한 절대값의 최대값을 상한값 a와 비교할 수도 있다.
스텝 S23에 있어서 판정부(203)는, 대표 단자(10D)의 출력값과, 제2의 기준 범위의 경계값을 비교할 수 있다. 제2의 기준 범위는, 다음의 식 (3)으로 표시되는 범위일 수 있다. 한편, 식 중, b, c는 실수일 수 있다. b, c의 값은, 출력값이 측정되었을 때의 출력 대상의 계조에 따라 설정될 수 있다.
b≤출력값≤c (식 (3))
판정부(203)는, 측정된 복수의 출력값을 제2의 기준 범위의 상하한값 b, c와 각각 비교할 수도 있고, 측정된 복수의 출력값 중, 최대 및 최소의 출력값을 제2의 기준 범위의 상한값 b, 하한값 c와 비교할 수도 있다.
스텝 S25에 있어서 판정부(203)는, 대표 단자(10D)의 출력값 사이의 차분값과, 제3의 기준 범위의 경계값을 비교할 수 있다. 제3의 기준 범위는 다음의 식 (4)나 식 (5)로 표시되는 범위일 수 있고, 판정부(203)는 상술한 스텝 S21과 동일하게 하여 판정을 행할 수 있다. 식 중, d는 양의 실수일 수 있고, 식 (1), 식 (2)의 a와 같은 값일 수도 있고, 상이한 값일 수도 있다. d의 값은, 차분값이 측정되었을 때의 출력 대상의 계조에 관계없이, 일정할 수도 있고, 계조에 따라 상이한 값일 수도 있다.
-d≤차분값≤d (식 (4))
|차분값|≤d (식 (5))
스텝 S29에 있어서 판정부(203)는, 스텝 S21 ~ S25 각각에 있어서 차분값이나 출력값이 기준 범위 내였는지의 여부를 판정한다. 이에 따라, 비대표 단자(10H) 각각의 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 피시험 디바이스(100)의 양부가 판정된다. 또한, 대표 단자(10D) 각각의 출력값이 제2의 기준 범위인지의 여부 및 대표 단자(10D) 각각의 출력값 사이의 차분값이 제3의 기준 범위 내인지의 여부에 더 기초하여, 피시험 디바이스(100)의 양부가 판정된다.
판정부(203)는, 각 계조에서의 측정 결과에 기초하여 판정을 행할 수 있다. 본 실시 형태에서는 일례로서 판정부(203)는, 계조마다 반복하여 행해진 스텝 S21 ~ S25 각각에 있어서 차분값이나 출력값이 범위 내였는지의 여부를 판정할 수 있다.
스텝 S21 ~ S25 중 1개 이상의 스텝에 있어서 차분값이나 출력값이 범위 외였다고 판정된 경우(스텝 S29; 아니오)에는, 판정부(203)는, 피시험 디바이스(100)를 불량품으로서 Fail 판정을 출력할 수 있다. 스텝 S21 ~ S25 전체에 있어서 차분값이나 출력값이 범위 내였다고 판정된 경우(스텝 S29; 예)에는, 판정부(203)는, 피시험 디바이스(100)를 양품으로서 Pass 판정을 출력할 수 있다.
이상의 동작에 따르면, 비대표 단자(10H) 각각에 대하여 기준 단자(10K)의 출력값을 기준으로 하는 차분값이 측정되고, 측정된 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 피시험 디바이스(100)의 양부가 판정되므로, 단자(10) 사이에서 출력값의 차분값이 제1의 기준 범위 밖이 되는 피시험 디바이스(100)를 불량으로 할 수 있다. 또한, 차분값의 측정 결과를 이용하여 시험이 행해짐으로써, 출력값을 측정하는 횟수, 더 나아가서는, 노이즈의 영향으로 인해 이상값을 측정하는 횟수를 저감할 수 있으므로, 시험 정밀도를 높일 수 있다. 또한, 이상값의 영향을 저감하는 평균화를 위해 측정 횟수를 늘릴 필요가 없으므로, 시험 시간을 단축할 수 있다. 또한, 반드시 모든 단자(10)의 출력값을 측정이나 산출에 의해 취득하는 일 없이 시험을 행할 수 있으므로, 시험 시간을 더욱 단축할 수 있다.
또한, 디스플레이 내에서 서로 인접하는 화소에 대응하는 단자(10)의 사이에서 차분값이 측정되므로, 서로 인접하는 화소에 대해 적절한 출력을 하지 못하고 표시 불균일이 인식되기 쉬운 피시험 디바이스(100)를 불량으로 할 수 있다.
또한, 복수의 단자(10) 중, 대표 단자(10D) 각각의 출력값이 추가로 측정되고, 해당 대표 단자(10D) 각각의 출력값이 제2의 기준 범위인지의 여부 및 해당 대표 단자(10D) 각각의 출력값 사이의 차분값이 제3의 기준 범위 내인지의 여부에 더 기초하여 양부가 판정되므로, 시험 정밀도를 한층 높일 수 있다.
또한, 2개 이상의 단자(10)를 갖는 비대표 단자 그룹(11H) 내의 단자(10) 각각의 출력값과, 해당 단자 그룹(11)에 대응지어진 공통의 기준 단자(10K)의 출력값의 차분값이 측정되어 시험이 행해진다. 따라서, 비대표 단자 그룹(11H) 내의 2개 이상의 단자(10)에 대하여, 공통의 기준 단자(K)를 이용하여 차분값을 측정하여 시험을 행할 수 있다. 따라서, 각 단자(10)를 다른 단자(10)의 기준 단자(10K)로 하여 순서대로 이용하여 차분값을 측정하는 경우와 달리, 차분값으로부터 출력값을 산출하기 위한 누적 가산의 횟수를 저감할 수 있으므로, 출력값의 산출을 용이화할 수 있다. 또한, 누적 가산의 횟수가 저감됨으로써, 차분값이나 출력값의 측정에서 발생하는 노이즈를 포함하여 산출되는 출력값의 수를 저감할 수 있으므로, 산출되는 출력값을 이용하는 경우의 시험 정밀도를 높일 수 있다.
또한, 2개 이상의 단자 그룹(11) 사이에서 기준 단자(10K)가 순서대로 이용되는 연쇄 관계가 적어도 1개 형성되어 있으며, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자 그룹(11)의 사이 각각에서, 일방의 단자 그룹(11)에 대해, 타방의 단자 그룹(11) 내의 어느 한 단자(10)가 기준 단자(10K)로서 이용된다. 따라서, 연쇄 관계에 포함되는 각 그룹에 대하여, 순차적으로, 단자(10)로부터의 출력값을 산출할 수 있다.
또한, 각 연쇄 관계의 일단에 위치하는 대표 단자 그룹 내의 단자(10) 각각의 출력값이 측정되므로, 해당 출력값과의 차분값에 의해, 연쇄 관계에 포함되는 각 단자 그룹(11) 내의 각 단자(10)의 출력값을 산출할 수 있다.
[3. 변형예]
도 6은, 변형예 (1)에 따른 시험 시스템(1A)을 나타낸다. 한편, 본 변형예 (1)나, 후술하는 변형예 (2)에 있어서, 도 1 내지 도 5에 나타난 시험 시스템(1)의 동작과 실질적으로 동일한 것에는 동일한 부호를 부여하여, 설명을 생략한다. 시험 시스템(1A)의 시험 장치(200A)는, 1 또는 복수의 전환부(222A)를 추가로 구비한다.
1 또는 복수의 전환부(222A)는, 제3의 전환부의 일례이며, 복수의 단자(10) 중 어느 단자(10)를 측정부(202)에 접속할지를 전환한다. 본 구성예에 있어서는 일례로서, 측정부(202)에는, 전송로(Ch)마다 전환부(222A)가 마련될 수 있고, 각각 복수의 단자 중 어느 하나를 택일적으로 전송로(Ch)에 접속할 수 있다. 이 경우에는, 동일한 측정 타이밍으로 전송로(Cn)에 접속되는 복수의 단자(10)가 복수의 단자 그룹(11)으로 그룹화될 수 있다. 전환부(222A)는 4입력 1출력 등의 멀티플렉서일 수 있다.
한편, 본 변형예 (1)에 있어서는, 측정부(202)에 있어서의 멀티플렉서(223(n))(도 2 내지 4 참조)의 입력 단자에 대해, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4) 중 적어도 1개를 대신하여 전송로(Ch(m))(단, m은 n≠m을 만족하는 1 ~ 32 중 어느 한 정수)가 접속될 수도 있다. 이에 따라, 보다 많은 다른 단자 그룹(11) 내의 단자(10)를 기준 단자(10K)로 하여 차동 측정 모드에서 차분값을 측정할 수 있다.
이상의 변형예 (1)에 따르면, 전환부(222A)에 의해 복수의 단자(10) 중 어느 단자(10)를 측정부(202)에 접속할지가 전환되므로, 복수의 단자(10)의 사이에서 증폭부(220)나 출력부(221)를 공유하여, 측정부(202)의 구성을 간략화할 수 있다.
도 7은, 변형예 (2)에 따른 측정부(202C)를 나타낸다. 한편, 도 7에 나타나는 측정부(202C)는, 하나의 전송로(Ch(n))에 접속된 단자(10(n))를 측정 대상으로 하는 부분이며, 측정부(202C)는, 전송로(Ch)마다 동일한 구성을 가질 수 있다. 측정부(202C)는, 게인 고정의 2개의 증폭부(220C(n), 220D(n))와, 전환부(222C(n))를 가질 수 있다.
증폭부(220C(n))는, 단자(10(n))로부터의 출력값과, 그라운드 전압의 차분을 증폭하여 전환부(222C(n))에 공급한다. 증폭부(220D(n))는, 단자(10(n))로부터의 출력값과, 멀티플렉서(223)로부터 공급되는 다른 값의 차분을 증폭하여 전환부(222C(n))에 공급한다. 다른 값은, 전송로(Ch(m))에 접속된 단자(10(m))의 출력값, 기준 전압(Vref1 ~ Vref4) 또는 그라운드 전압일 수 있다.
증폭부(220D(n))의 게인은 증폭부(220C(n))의 게인보다 클 수 있고, 예를 들어 증폭부(220D(n))의 게인은 증폭부(220C(n))의 게인의 10배일 수 있다. 본 변형예에서는 일례로서 증폭부(220D(n))의 게인은 2, 증폭부(220C(n))의 게인은 0.2로 되어 있다.
전환부(222C(n))는, 멀티플렉서(225(n))를 추가로 갖는다. 멀티플렉서(225(n))는, 증폭부(220C(n), 220D(n)) 중 어느 일방의 출력 단자를 출력부(221(n))에 접속한다. 멀티플렉서(225(n))는, 측정 모드 지시 신호에 따라 전환을 행할 수 있고, 대진폭 측정 모드가 적용되는 경우에는 증폭부(220C(n))를 출력부(221(n))에 접속하고, 고감도 측정 모드 및 차동 측정 모드가 적용되는 경우에는 증폭부(220D(n))를 출력부(221(n))에 접속할 수 있다.
이상의 변형예 (2)에 의해서도 상술한 실시 형태와 마찬가지로, 대진폭 측정 모드에 의해 제1의 측정 범위 내에서 출력값이 측정되도록 전환이 행해지고 있지 않은 경우에는 게인이 커지므로, 고감도 측정 모드 및 차동 측정 모드에서는 고감도로 측정이 행해진다. 또한, 크게 증폭된 측정 결과가 취득되므로, 측정 결과에 가해지는 노이즈를 상대적으로 작게 하여, 시험 정밀도를 높일 수 있다.
[4. 기타 변형예]
한편, 상기의 실시 형태 및 변형예에 있어서는, 단자 그룹(11)의 연쇄 관계에 있어서의 어느 일방의 측을 일단으로 하고, 해당 일단의 단자 그룹(11)을 대표 단자 그룹(11D)으로 하여 설명하였으나, 연쇄 관계에 있어서의 일단의 측과 타단의 측은 반전 가능할 수도 있다. 예를 들어, 시험 장치(200)는, 연쇄 관계에 있어서의 일단과 타단을 반전하는 전환부(222E)를 구비할 수 있다. 전환부(222E)는, 제2의 전환부의 일례이며, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자 그룹(11)의 사이 각각에서, 일방의 단자 그룹(11) 내의 단자(10)를 타방의 단자 그룹(11)에 대한 기준 단자(10K)로 할지, 타방의 단자 그룹(11) 내의 단자(10)를, 일방의 단자 그룹(11)에 대한 기준 단자(10K)로 할지를 전환할 수 있다. 일례로서, 단자 그룹(11Gi)(단 i는 정수) 내의 어느 한 단자(10(n))에 대응하는 전환부(222EGi)는, 연쇄 관계에 있어서의 양 옆의 단자 그룹(11Gi-1, 11Gi+1) 내의 기준 단자(10KGi-1, 10KGi+1)에 접속되는 전송로(ChGi-1, ChGi+1)를 각각 증폭부(220(n))의 반전 입력 단자에 접속 가능하게 할 수 있다. 이 경우에는, 반전 전후의 측정 결과를 이용함으로써 시험 정밀도를 한층 높일 수 있다.
또한, 측정부(202)는 비대표 단자 그룹(11H)에 포함되는 2개 이상의 비대표 단자(10H) 각각의 출력값과 공통의 기준 단자의 출력값의 차분값을 측정하는 것으로서 설명하였으나, 다른 태양으로 차분값을 측정할 수 있다. 예를 들어, 측정부(202)는, 피시험 디바이스(100)의 복수의 단자(10) 중, 일부의 단자(10)(비대표 단자(10H)라고도 칭한다) 각각에 대하여, 해당 단자(10)와는 상이한 기준 단자(10K)의 출력값과의 차분값을 측정할 수 있다. 일 예로서, 측정부(202)는, 피시험 디바이스(100)의 복수의 단자(10)에 의해, 각 단자(10)가 순서대로 기준 단자(10K)로서 이용되는 연쇄 관계가 적어도 1개 형성되어 있는 경우에는, 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자(10)의 사이 각각에서, 일방의 단자(10)를 비대표 단자(10H)로 하고, 타방의 단자(10)를 해당 비대표 단자(10H)에 대한 기준 단자(10K)로서 이용하여 차분값을 측정할 수 있다. 또한, 이 경우에, 측정부(202)는, 각 연쇄 관계에 있어서의 일단의 단자(10)를 대표 단자(10D)로 하고, 그 출력값을 측정할 수 있다.
또한, 판정부(203)는 비대표 단자(10H)에 대한 차분값을 이용하여 양부의 판정을 행하는 것으로서 설명하였으나, 차분값과 대표 단자(10D)의 출력값으로부터 산출되는 출력값을 추가로 이용하여 판정을 행하는 것으로 할 수도 있다. 예를 들어, 판정부(203)는, 비대표 단자(10H) 각각에 대하여 출력값을 산출할 수 있고, 산출된 출력값이 기준 범위 내에 있는지의 여부에 더 기초하여 판정을 행할 수도 있다.
또한, 출력값을 전압의 크기로 나타나는 값으로서 설명하였으나, 전류의 크기로 나타나는 값으로 할 수도 있다. 이 경우에는, 피시험 디바이스(100)는 LED 드라이버일 수 있다.
본 발명의 여러 가지 실시 형태는, 플로우 차트 및 블록도를 참조하여 기재될 수 있으며, 여기에 있어서 블록은, (1) 조작이 실행되는 프로세스의 단계 또는 (2) 조작을 실행하는 역할을 갖는 장치의 섹션을 나타낼 수 있다. 특정 단계 및 섹션이, 전용 회로, 컴퓨터 가독 매체 상에 저장되는 컴퓨터 가독 명령과 함께 공급되는 프로그래머블 회로 및/또는 컴퓨터 가독 매체 상에 저장되는 컴퓨터 가독 명령과 함께 공급되는 프로세서에 의해 실장될 수 있다. 전용 회로는, 디지털 및/또는 아날로그 하드웨어 회로를 포함할 수 있고, 집적 회로(IC) 및/또는 디스크리트 회로를 포함할 수 있다. 프로그래머블 회로는, 논리 AND, 논리 OR, 논리 XOR, 논리 NAND, 논리 NOR 및 다른 논리 조작, 플립플롭, 레지스터, 필드 프로그래머블 게이트 어레이(FPGA), 프로그래머블 로직 어레이(PLA) 등과 같은 메모리요소 등을 포함하는, 재구성 가능한 하드웨어 회로를 포함할 수 있다.
컴퓨터 가독 매체는, 적절한 디바이스에 의해 실행되는 명령을 저장할 수 있는 임의의 유형의 디바이스를 포함할 수 있고, 그 결과, 거기에 저장되는 명령을 갖는 컴퓨터 가독 매체는, 플로우 차트 또는 블록도로 지정된 조작을 실행하기 위한 수단을 작성하기 위해 실행될 수 있는 명령을 포함하는 제품을 구비하게 된다. 컴퓨터 가독 매체의 예로는, 전자(電子) 기억 매체, 자기 기억 매체, 광 기억 매체, 전자(電磁) 기억 매체, 반도체 기억 매체 등이 포함될 수 있다. 컴퓨터 가독 매체의 보다 구체적인 예로는, 플로피(등록 상표) 디스크, 디스켓, 하드 디스크, 랜덤 액세스 메모리(RAM), 리드 온리 메모리(ROM), 소거 가능 프로그래머블 리드 온리 메모리(EPROM 또는 플래시 메모리), 전기적 소거 가능 프로그래머블 리드 온리 메모리(EEPROM), 정적 랜덤 액세스 메모리(SRAM), 콤팩트 디스크 리드 온리 메모리(CD-ROM), 디지털 다용도 디스크(DVD), 블루레이(RTM) 디스크, 메모리 스틱, 집적 회로 카드 등이 포함될 수 있다.
컴퓨터 가독 명령은, 어셈블러 명령, 명령 세트 아키텍처(ISA) 명령, 머신 명령, 머신 의존 명령, 마이크로코드, 펌웨어 명령, 상태 설정 데이터 또는 Smalltalk(등록 상표), JAVA(등록 상표), C++ 등과 같은 오브젝트 지향 프로그래밍 언어 및 「C」 프로그래밍 언어 또는 동일한 프로그래밍 언어와 같은 종래의 절차형 프로그래밍 언어를 포함하는, 1 또는 복수의 프로그래밍 언어의 임의의 조합으로 기술된 소스 코드 또는 오브젝트 코드 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
컴퓨터 가독 명령은, 범용 컴퓨터, 특수 목적의 컴퓨터, 혹은 다른 프로그램 가능한 데이터 처리 장치의 프로세서 또는 프로그래머블 회로에 대해, 로컬로 또는 로컬 에어리어 네트워크(LAN), 인터넷 등과 같은 와이드 에어리어 네트워크(WAN)를 통해 제공되며, 플로우 차트 또는 블록도로 지정된 조작을 실행하기 위한 수단을 작성하기 위해, 컴퓨터 가독 명령을 실행할 수 있다. 프로세서의 예로는, 컴퓨터 프로세서, 처리 유닛, 마이크로프로세서, 디지털 신호 프로세서, 컨트롤러, 마이크로 컨트롤러 등을 포함한다.
도 8은, 본 발명의 복수의 태양이 전체적 또는 부분적으로 구현화될 수 있는 컴퓨터(2200)의 예를 나타낸다. 컴퓨터(2200)에 인스톨된 프로그램은, 컴퓨터(2200)로 하여금, 본 발명의 실시 형태에 따른 장치에 관련지어진 조작 또는 해당 장치의 1 또는 복수의 섹션으로서 기능시킬 수 있고 또는 해당 조작 또는 해당 1 또는 복수의 섹션을 실행시킬 수 있고 그리고/또는 컴퓨터(2200)로 하여금, 본 발명의 실시 형태에 따른 프로세스 또는 해당 프로세스의 단계를 실행시킬 수 있다. 그러한 프로그램은, 컴퓨터(2200)로 하여금, 본 명세서에 기재된 플로우 차트 및 블록도의 블록 중 어느 하나 또는 모두에 관련지어진 특정 조작을 실행시키기 위해, CPU(2212)에 의해 실행될 수 있다.
본 실시 형태에 따른 컴퓨터(2200)는, CPU(2212), RAM(2214), 그래픽 컨트롤러(2216) 및 디스플레이 디바이스(2218)를 포함하며, 그들은 호스트 컨트롤러(2210)에 의해 상호 접속되어 있다. 컴퓨터(2200)는 또한, 통신 인터페이스(2222), 하드 디스크 드라이브(2224), DVD-ROM 드라이브(2226) 및 IC 카드 드라이브와 같은 입/출력 유닛을 포함하며, 그들은 입/출력 컨트롤러(2220)를 통하여 호스트 컨트롤러(2210)에 접속되어 있다. 컴퓨터는 또한, ROM(2230) 및 키보드(2242)와 같은 레거시의 입/출력 유닛을 포함하며, 그들은 입/출력 칩(2240)을 통하여 입/출력 컨트롤러(2220)에 접속되어 있다.
CPU(2212)는, ROM(2230) 및 RAM(2214) 내에 저장된 프로그램에 따라서 동작하며, 그에 의해 각 유닛을 제어한다. 그래픽 컨트롤러(2216)는, RAM(2214) 내에 제공되는 프레임 버퍼 등 또는 그 자체 중에 CPU(2212)에 의해 생성된 이미지 데이터를 취득하고, 이미지 데이터가 디스플레이 디바이스(2218) 상에 표시되도록 한다.
통신 인터페이스(2222)는, 네트워크를 통해 다른 전자 디바이스와 통신한다. 하드 디스크 드라이브(2224)는, 컴퓨터(2200) 내의 CPU(2212)에 의해 사용되는 프로그램 및 데이터를 저장한다. DVD-ROM 드라이브(2226)는, 프로그램 또는 데이터를 DVD-ROM(2201)으로부터 판독하고, 하드 디스크 드라이브(2224)에 RAM(2214)을 통하여 프로그램 또는 데이터를 제공한다. IC 카드 드라이브는, 프로그램 및 데이터를 IC 카드로부터 판독하고 그리고/또는 프로그램 및 데이터를 IC 카드에 기입한다.
ROM(2230)은 그 안에, 액티브화 시에 컴퓨터(2200)에 의해 실행되는 부트 프로그램 등 및/또는 컴퓨터(2200)의 하드웨어에 의존하는 프로그램을 저장한다. 입/출력 칩(2240)은 또한, 여러 가지 입/출력 유닛을 패럴렐 포트, 시리얼 포트, 키보드 포트, 마우스 포트 등을 통하여, 입/출력 컨트롤러(2220)에 접속할 수 있다.
프로그램이, DVD-ROM(2201) 또는 IC 카드와 같은 컴퓨터 가독 매체에 의해 제공된다. 프로그램은, 컴퓨터 가독 매체로부터 판독되며, 컴퓨터 가독 매체의 예이기도 한 하드 디스크 드라이브(2224), RAM(2214) 또는 ROM(2230)에 인스톨되고, CPU(2212)에 의해 실행된다. 이들 프로그램 내에 기술되는 정보 처리는, 컴퓨터(2200)에 판독되며, 프로그램과, 상기 여러 가지 타입의 하드웨어 리소스의 사이의 연계를 가져온다. 장치 또는 방법이, 컴퓨터(2200)의 사용에 따라서 정보의 조작 또는 처리를 실현함으로써 구성될 수 있다.
예를 들어, 통신이 컴퓨터(2200) 및 외부 디바이스 사이에서 실행되는 경우, CPU(2212)는, RAM(2214)에 로드된 통신 프로그램을 실행하고, 통신 프로그램에 기술된 처리에 기초하여, 통신 인터페이스(2222)에 대해, 통신 처리를 명령할 수 있다. 통신 인터페이스(2222)는, CPU(2212)의 제어하, RAM(2214), 하드 디스크 드라이브(2224), DVD-ROM(2201) 또는 IC 카드와 같은 기록 매체 내에 제공되는 송신 버퍼 처리 영역에 저장된 송신 데이터를 판독하고, 판독된 송신 데이터를 네트워크에 송신하거나 또는 네트워크로부터 수신된 수신 데이터를 기록 매체 상에 제공되는 수신 버퍼 처리 영역 등에 기입한다.
또한, CPU(2212)는, 하드 디스크 드라이브(2224), DVD-ROM 드라이브(2226)(DVD-ROM(2201)), IC 카드 등과 같은 외부 기록 매체에 저장된 파일 또는 데이터베이스의 전부 또는 필요한 부분이 RAM(2214)에 판독되도록 하고, RAM(2214) 상의 데이터에 대해 여러 가지 타입의 처리를 실행할 수 있다. CPU(2212)는 다음에, 처리된 데이터를 외부 기록 매체에 라이트백한다.
여러 가지 타입의 프로그램, 데이터, 테이블 및 데이터베이스와 같은 여러 가지 타입의 정보가 기록 매체에 저장되어, 정보 처리를 받을 수 있다. CPU(2212)는, RAM(2214)으로부터 판독된 데이터에 대해, 본 개시의 곳곳에 기재되며, 프로그램의 명령 시퀀스에 의해 지정되는 여러 가지 타입의 조작, 정보 처리, 조건 판단, 조건 분기, 무조건 분기, 정보의 검색/치환 등을 포함하는, 여러 가지 타입의 처리를 실행할 수 있고, 결과를 RAM(2214)에 대해 라이트백한다. 또한, CPU(2212)는, 기록 매체 내의 파일, 데이터베이스 등에 있어서의 정보를 검색할 수 있다. 예를 들어, 각각이 제2의 속성의 속성값에 관련지어진 제1의 속성의 속성값을 갖는 복수의 엔트리가 기록 매체 내에 저장되는 경우, CPU(2212)는, 제1의 속성의 속성값이 지정되는, 조건에 일치하는 엔트리를 해당 복수의 엔트리 중에서 검색하고, 해당 엔트리 내에 저장된 제2의 속성의 속성값을 판독하고, 그에 따라 미리 정해진 조건을 만족하는 제1의 속성에 관련지어진 제2의 속성의 속성값을 취득할 수 있다.
위에서 설명한 프로그램 또는 소프트웨어 모듈은, 컴퓨터(2200) 상 또는 컴퓨터(2200) 근방의 컴퓨터 가독 매체에 저장될 수 있다. 또한, 전용 통신 네트워크 또는 인터넷에 접속된 서버 시스템 내에 제공되는 하드 디스크 또는 RAM과 같은 기록 매체가, 컴퓨터 가독 매체로서 사용 가능하며, 그에 따라 프로그램을, 네트워크를 통해 컴퓨터(2200)에 제공한다.
이상, 본 발명을 실시의 형태를 이용하여 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시의 형태에 기재된 범위로는 한정되지 않는다. 상기 실시의 형태에, 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능한 것이 당업자에게 분명하다. 그러한 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이, 특허 청구의 범위의 기재로부터 분명하다.
특허 청구의 범위, 명세서 및 도면 중에 있어서 나타낸 장치, 시스템, 프로그램 및 방법에 있어서의 동작, 수순, 스텝 및 단계 등의 각 처리의 실행순서는, 특별히 「보다 앞에」, 「앞서」 등으로 명시하고 있지 않으며, 또한, 전의 처리의 출력을 후의 처리에서 이용하는 것이 아닌 한, 임의의 순서로 실현할 수 있음에 유의해야 한다. 특허 청구의 범위, 명세서 및 도면 중의 동작 플로우에 관해, 편의상 「우선,」, 「다음에,」 등을 이용하여 설명하였다고 하여도, 이 순서로 실시하는 것이 필수인 것을 의미하는 것은 아니다.
1 시험 시스템
10 단자
11 단자 그룹
100 피시험 디바이스
200 시험 장치
201 테스트 컨트롤러
202 측정부
203 판정부
220 증폭부
221 출력부
222 전환부
223 멀티플렉서
224 변경부
225 멀티플렉서
2200 컴퓨터
2201 DVD-ROM
2210 호스트 컨트롤러
2212 CPU
2214 RAM
2216 그래픽 컨트롤러
2218 디스플레이 디바이스
2220 입/출력 컨트롤러
2222 통신 인터페이스
2224 하드 디스크 드라이브
2226 DVD-ROM 드라이브
2230 ROM
2240 입/출력 칩
2242 키보드

Claims (12)

  1. 피시험 디바이스에 구비되며 싱글 엔드의 신호를 출력하는 복수의 단자 중 일부의 단자 각각에 대하여, 상기 복수의 단자 중, 해당 단자와는 상이한 기준 단자의 출력값과의 차분값을 측정하는 측정 단계와,
    상기 일부의 단자 각각의 상기 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 상기 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정 단계를 구비하는, 시험 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 측정 단계에서는, 상기 복수의 단자 중, 적어도 1개의 단자 각각의 출력값을 추가로 측정하고,
    상기 판정 단계에서는, 상기 적어도 1개의 단자 각각의 출력값이 제2의 기준 범위인지의 여부 및 상기 적어도 1개의 단자 각각의 출력값 사이의 차분값이 제3의 기준 범위 내인지의 여부에 더 기초하여, 상기 피시험 디바이스의 양부를 판정하는, 시험 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 복수의 단자는, 각 단자가 순서대로 상기 기준 단자로서 이용되는 연쇄 관계를 적어도 1개 형성하고 있으며,
    상기 측정 단계에서는, 상기 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자의 사이 각각에서, 일방의 단자에 대해, 타방의 단자를 상기 기준 단자로서 이용하는, 시험 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 측정 단계는, 각 연쇄 관계에 있어서의 일단의 단자의 출력값을 추가로 측정하는, 시험 방법.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 측정 단계에서는, 상기 일부의 단자 중 2개 이상의 단자를 갖는 적어도 1개의 단자 그룹 내의 단자 각각의 출력값과, 상기 복수의 단자 중 해당 단자 그룹에 대응지어진 공통의 기준 단자의 출력값의 차분값을 측정하는, 시험 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수의 단자를 그룹화한 복수의 단자 그룹에 의해, 2개 이상의 단자 그룹 사이에서 상기 기준 단자가 순서대로 이용되는 연쇄 관계가 적어도 1개 형성되어 있으며,
    상기 측정 단계에서는, 상기 연쇄 관계에 있어서 인접하는 2개의 단자 그룹의 사이 각각에서, 일방의 단자 그룹에 대해, 타방의 단자 그룹 내의 어느 한 단자를 상기 기준 단자로서 이용하는, 시험 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 측정 단계에서는, 각 연쇄 관계에 있어서의 일단의 단자 그룹 내의 단자 각각의 출력값을 추가로 측정하는, 시험 방법.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피시험 디바이스는, 각 단자로부터 복수의 계조의 출력이 가능하고,
    상기 측정 단계에서는, 상기 복수의 단자로 하여금 각 계조의 출력을 행하게 하여 측정을 행하고,
    상기 판정 단계에서는, 각 계조에서의 측정 결과에 기초하여 판정을 행하는, 시험 방법.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피시험 디바이스는, 디스플레이의 복수의 화소를 제어하는 상기 복수의 단자를 갖는 디스플레이 드라이버이고,
    상기 출력값은, 전압의 크기로 나타나는 값인, 시험 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 측정 단계에서는, 상기 복수의 단자 중, 상기 디스플레이 내에서 서로 인접하는 화소에 대응하는 단자 사이에서 상기 차분값을 측정하는, 시험 방법.
  11. 피시험 디바이스에 구비되며 싱글 엔드의 신호를 출력하는 복수의 단자 중 일부의 단자 각각에 대하여, 상기 복수의 단자 중, 해당 단자와는 상이한 기준 단자의 출력값과의 차분값을 측정하는 측정부와,
    상기 일부의 단자 각각의 상기 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 상기 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부를 구비하는, 시험 장치.
  12. 컴퓨터를,
    피시험 디바이스에 구비되며 싱글 엔드의 신호를 출력하는 복수의 단자 중 일부의 단자 각각에 대하여, 상기 복수의 단자 중, 해당 단자와는 상이한 기준 단자의 출력값과의 차분값을 측정하는 측정부와,
    상기 일부의 단자 각각의 상기 차분값이 제1의 기준 범위 내인지의 여부에 기초하여 상기 피시험 디바이스의 양부를 판정하는 판정부로서 기능시키는, 컴퓨터 가독 기억 매체에 기억된 프로그램.
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JPH0862307A (ja) 1994-08-17 1996-03-08 Advantest Corp 高精度電圧試験装置

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