KR20220152133A - 연삭 장치 및 피가공물의 연삭 방법 - Google Patents

연삭 장치 및 피가공물의 연삭 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 적절한 가공 이송 속도로 피가공물을 연삭하는 것이 가능한 연삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
피가공물을 연삭하는 연삭 장치로서, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과, 스핀들을 가지며 스핀들의 선단부에 장착된 연삭 휠로 척 테이블에 의해 유지된 피가공물을 연삭하는 연삭 유닛과, 척 테이블과 연삭 유닛을 유지면과 평행한 가공 이송 방향을 따라 미리 정해진 가공 이송 속도로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 피가공물의 연삭 중에 연삭 휠에 가해지는 부하에 대응하는 값을 측정하는 가공 부하 측정 유닛과, 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값에 따라 가공 이송 속도를 조정하는 제어 유닛을 구비한다.

Description

연삭 장치 및 피가공물의 연삭 방법{GRINDING APPARATUS AND METHOD OF GRINDING WORKPIECE}
본 발명은 피가공물을 연삭하는 연삭 장치, 및 연삭 장치를 이용하여 피가공물을 연삭하는 피가공물의 연삭 방법에 관한 것이다.
디바이스 칩의 제조 프로세스에서는, 서로 교차하는 복수의 스트리트(분할 예정 라인)에 의해 구획된 복수의 영역에 각각 디바이스가 형성된 웨이퍼가 이용된다. 이 웨이퍼를 스트리트에 따라 분할함으로써, 디바이스를 각각 구비하는 복수의 디바이스 칩이 얻어진다. 디바이스 칩은, 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 여러 가지 전자 기기에 편입된다.
최근에는, 전자 기기의 소형화에 따라, 디바이스 칩에 박형화가 요구되고 있다. 그래서, 분할 전의 웨이퍼를 연삭 장치로 연삭하여 박화(薄化)하는 공정이 실시되는 경우가 있다. 연삭 장치는, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과, 피가공물을 연삭하는 연삭 유닛을 구비하고 있고, 연삭 유닛에는 연삭 지석을 포함하는 연삭 휠이 장착된다. 연삭 장치는, 연삭 휠을 회전시켜 연삭 지석을 피가공물에 접촉시킴으로써, 피가공물을 연삭한다.
연삭 장치를 이용하여 웨이퍼 등의 피가공물을 연삭할 때에는, 척 테이블에 의해 유지된 피가공물의 중심이 연삭 지석의 궤적과 겹치도록, 척 테이블과 연삭 유닛의 위치 관계가 조절된다. 그리고, 척 테이블과 연삭 휠을 각각 회전시키면서 연삭 휠을 척 테이블의 유지면을 향해 하강시키면, 연삭 지석의 하면이 피가공물의 상면측에 접촉하여 피가공물이 연삭된다. 이러한 연삭 방식은, 인피드 연삭이라고 불린다.
한편, 피가공물의 연삭에는, 크리프 피드 연삭(creep feed grinding)이라고 칭해지는 연삭 방식이 이용되는 경우도 있다. 크리프 피드 연삭에서는, 연삭 지석이 피가공물의 외측에 위치되고, 또한, 연삭 지석의 하면이 피가공물의 상면보다 하방에 위치되도록, 척 테이블과 연삭 유닛의 위치 관계가 조절된다. 그리고, 연삭 휠을 회전시키면서 척 테이블을 유지면과 평행한 가공 이송 방향(수평 방향)을 따라 이동시킨다. 이에 의해, 피가공물의 상면측이 연삭 지석에 의해 피가공물의 측면으로부터 원호형으로 깎여져, 피가공물이 연삭된다(특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2005-28550호 공보
크리프 피드 연삭에서는, 연삭 지석이 피가공물의 측면에 충돌하기 때문에, 연삭 지석에는 가공 이송 방향과 평행한 횡방향의 힘(횡부하)이 가해진다. 그리고, 피가공물의 연삭 시에 연삭 지석에 큰 횡부하가 작용하면, 연삭 지석의 파손(부러짐 등)이 발생하는 경우가 있다.
또한, 예컨대 실리콘 웨이퍼와 같은 원반형의 피가공물에 크리프 피드 연삭을 실시하는 경우에는, 가공 이송이 진행됨에 따라 피가공물 중 연삭 지석과 접촉하는 영역의 면적이 서서히 증가하여, 연삭 지석에 가해지는 횡부하의 크기가 변화한다. 그 때문에, 피가공물 전체를 동일한 컨디션으로 연삭하는 것이 어렵고, 피가공물의 피연삭면에 불규칙한 패턴(농담)을 갖는 가공흔(加工痕)[소 마크(saw mark)]이 잔존하기 쉽다. 그 결과, 연삭 후의 피가공물의 표면 거칠기가 불균일해지기 쉬워진다.
또한, 연삭 지석에 작용하는 횡부하는, 가공 이송 속도가 클수록 증대된다. 그 때문에, 가공 이송 속도를 낮게 설정하여 연삭 지석에 작용하는 횡부하를 저감하면, 연삭 지석의 파손이 발생하기 어려워지고, 피가공물의 피연삭면에 불규칙한 가공흔이 형성되기 어려워진다. 그러나, 가공 이송 속도를 저속으로 유지하면, 피가공물의 연삭에 요하는 시간이 증대되어, 가공 효율이 저하되어 버린다.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 적절한 가공 이송 속도로 피가공물을 연삭하는 것이 가능한 연삭 장치, 및 상기 연삭 장치를 이용한 피가공물의 연삭 방법의 제공을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태에 의하면, 피가공물을 연삭하는 연삭 장치로서, 상기 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과, 스핀들을 가지며 상기 스핀들의 선단부에 장착된 연삭 휠로 상기 척 테이블에 의해 유지된 상기 피가공물을 연삭하는 연삭 유닛과, 상기 척 테이블과 상기 연삭 유닛을 상기 유지면과 평행한 가공 이송 방향을 따라 미리 정해진 가공 이송 속도로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 피가공물의 연삭 중에 상기 연삭 휠에 가해지는 부하에 대응하는 값을 측정하는 가공 부하 측정 유닛과, 상기 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정하는 제어 유닛을 구비하는 연삭 장치가 제공된다.
또한, 바람직하게는, 상기 제어 유닛은, 상기 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값이 허용 범위의 상한값을 초과하는 경우에, 상기 가공 이송 속도를 감소시킨다. 또한, 바람직하게는, 상기 제어 유닛은, 상기 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값이 허용 범위의 하한값 미만인 경우에, 상기 가공 이송 속도를 증가시킨다.
또한, 바람직하게는, 상기 이동 기구는, 상기 척 테이블에 연결된 볼나사와, 상기 볼나사를 회전시키는 볼나사 모터를 포함하고, 상기 가공 부하 측정 유닛은, 상기 볼나사 모터의 전류값을 측정하며, 상기 제어 유닛은, 상기 볼나사 모터의 전류값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정한다. 또한, 바람직하게는, 상기 연삭 유닛은, 상기 스핀들을 회전시키는 스핀들 모터를 포함하고, 상기 가공 부하 측정 유닛은, 상기 스핀들 모터의 전류값을 측정하며, 상기 제어 유닛은, 상기 스핀들 모터의 전류값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정한다.
또한, 본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 연삭 장치를 이용하여 피가공물을 연삭하는 피가공물의 연삭 방법으로서, 상기 연삭 장치는, 상기 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과, 스핀들을 가지며 상기 스핀들의 선단부에 장착된 연삭 휠로 상기 척 테이블에 의해 유지된 상기 피가공물을 연삭하는 연삭 유닛을 구비하고, 상기 피가공물을 상기 유지면으로 유지하는 유지 단계와, 상기 유지면과 평행한 가공 이송 방향에 있어서 상기 피가공물과 상기 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석이 서로 이격되고, 또한, 상기 연삭 지석의 하면이 상기 피가공물의 상면으로부터 미리 정해진 거리 하방에 위치되도록, 상기 척 테이블과 상기 연삭 유닛의 위치 관계를 조절하는 준비 단계와, 상기 연삭 휠을 회전시키면서 상기 피가공물과 상기 연삭 휠을 상기 가공 이송 방향을 따라 미리 정해진 가공 이송 속도로 상대적으로 이동시켜, 상기 연삭 지석에 의해 상기 피가공물을 일단측으로부터 타단측까지 연삭하는 연삭 단계를 포함하며, 상기 연삭 단계에서는, 상기 피가공물의 연삭 중에 상기 연삭 휠에 가해지는 부하에 대응하는 값을 측정하고, 상기 값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정하는 피가공물의 연삭 방법이 제공된다.
또한, 바람직하게는, 상기 연삭 단계에서는, 상기 값이 허용 범위의 상한값을 초과하는 경우에 상기 가공 이송 속도를 감소시킨다. 또한, 바람직하게는, 상기 연삭 단계에서는, 상기 값이 허용 범위의 하한값 미만인 경우에 상기 가공 이송 속도를 증가시킨다.
본 발명의 일 양태에 따른 연삭 장치는, 피가공물의 연삭 중에 연삭 휠에 가해지는 부하에 대응하는 값을 측정하는 가공 부하 측정 유닛과, 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값에 따라 가공 이송 속도를 조정하는 제어 유닛을 구비한다. 이에 의해, 연삭 휠에 가해지는 부하에 따라 가공 이송 속도를 적당히 증감시키는 것이 가능해지고, 가공 이송 속도를 필요 이상으로 저속으로 하지 않고 연삭 휠에 과도한 가공 부하가 가해지는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 연삭 장치를 도시한 일부 단면 측면도이다.
도 2의 (A)는 준비 단계에서의 척 테이블 및 연삭 유닛을 도시한 측면도이고, 도 2의 (B)는 연삭 단계에서의 척 테이블 및 연삭 유닛을 도시한 측면도이다.
도 3은 제어 유닛을 도시한 블록도이다.
도 4는 가공 이송 속도의 조정 방법을 도시한 흐름도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 일 양태에 따른 실시형태를 설명한다. 먼저, 본 실시형태에 따른 연삭 장치의 구성예에 대해 설명한다. 도 1은 연삭 장치(2)를 도시한 일부 단면 측면도이다. 또한, 도 1에서, X축 방향(가공 이송 방향, 제1 수평 방향, 전후 방향)과 Y축 방향(제2 수평 방향, 좌우 방향)은, 서로 수직인 방향이다. 또한, Z축 방향(연직 방향, 상하 방향, 높이 방향)은, X축 방향 및 Y축 방향과 수직인 방향이다.
연삭 장치(2)는, 연삭 장치(2)를 구성하는 각 구성 요소를 지지 또는 수용하는 베이스(4)를 구비한다. 베이스(4)의 상면측에는, 직육면체형의 개구(4a)가 형성되어 있다. 그리고, 개구(4a)의 내측에는, 연삭 장치(2)에 의한 가공의 대상이 되는 피가공물(11)을 유지하는 척 테이블(유지 테이블)(6)이 설치되어 있다.
척 테이블(6)의 상면은, 수평 방향(XY 평면 방향)과 대략 평행한 평탄면이고, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(6a)을 구성하고 있다. 유지면(6a)은, 척 테이블(6)의 내부에 형성된 유로(도시하지 않음), 밸브(도시하지 않음) 등을 통해, 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다.
또한, 베이스(4)의 내측에는, 척 테이블(6)을 X축 방향을 따라 이동시키는 이동 기구(이동 유닛)(8)가 설치되어 있다. 이동 기구(8)는, 척 테이블(6)에 연결된 볼나사(10)를 구비한다. 볼나사(10)는, X축 방향을 따라 배치되어 있고, 척 테이블(6) 또는 척 테이블(6)을 지지하는 이동 플레이트(도시하지 않음)에 형성된 너트부(도시하지 않음)에 나사 결합되어 있다. 또한, 볼나사(10)의 단부에는, 볼나사(10)를 회전시키는 볼나사 모터(12)가 연결되어 있다. 볼나사 모터(12)로서는, 예컨대 펄스 모터가 이용된다.
볼나사 모터(12)에 의해 볼나사(10)를 미리 정해진 회전 속도로 회전시키면, 척 테이블(6)이 볼나사(10)의 회전 속도에 대응하는 가공 이송 속도로 X축 방향을 따라 이동한다. 이에 의해, 척 테이블(6)과 후술하는 연삭 유닛(28)이 유지면(6a)과 평행한 가공 이송 방향을 따라 미리 정해진 가공 이송 속도로 상대적으로 이동한다.
또한, 척 테이블(6)에는, 척 테이블(6)을 유지면(6a)과 대략 수직인 회전축(Z축 방향과 대략 평행한 회전축)의 주위로 회전시키는 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)이 연결되어 있다. 즉, 척 테이블(6)의 회전축은 유지면(6a)과 수직인 방향을 따라 설정되어 있다.
척 테이블(6) 및 이동 기구(8)의 후방[도 1의 지면(紙面) 우측]에는, 직육면체형의 지지 구조(14)가 설치되어 있다. 그리고, 지지 구조(14)의 표면측(전면측)에는, 이동 기구(이동 유닛)(16)가 설치되어 있다.
이동 기구(16)는, 지지 구조(14)의 표면측에 고정된 한 쌍의 가이드 레일(18)을 구비한다. 한 쌍의 가이드 레일(18)은, Y축 방향에 있어서 서로 이격된 상태로, Z축 방향을 따라 배치되어 있다. 또한, 한 쌍의 가이드 레일(18)에는, 평판형의 이동 플레이트(20)가 가이드 레일(18)을 따라 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.
이동 플레이트(20)의 이면측(배면측)에는, 너트부(22)가 형성되어 있다. 또한, 한 쌍의 가이드 레일(18) 사이에는 볼나사(24)가 Z축 방향을 따라 형성되어 있고, 볼나사(24)는 너트부(22)에 나사 결합되어 있다. 그리고, 볼나사(24)의 단부에는, 볼나사(24)를 회전시키는 볼나사 모터(26)가 연결되어 있다. 볼나사 모터(26)로서는, 예컨대 펄스 모터가 이용된다.
이동 플레이트(20)의 표면측(전면측)에는, 피가공물(11)을 연삭하는 연삭 유닛(28)이 장착되어 있다. 연삭 유닛(28)은, 이동 플레이트(20)의 표면측에 고정된 중공의 원기둥형의 지지 부재(30)를 구비한다. 지지 부재(30)에는, 원기둥형의 하우징(32)이 수용되어 있다. 하우징(32)의 하면측은, 고무 등을 포함하는 완충 부재(34)를 통해 지지 부재(30)의 바닥면에 의해 지지되어 있다.
하우징(32)에는, Z축 방향을 따라 배치된 원기둥형의 스핀들(36)이 수용되어 있다. 스핀들(36)의 선단부(하단부, 일단부)는, 하우징(32)으로부터 노출되어 있고, 지지 부재(30)의 바닥부에 형성된 개구를 통해 지지 부재(30)의 하면으로부터 하방으로 돌출되어 있다. 또한, 스핀들(36)의 기단부(상단부, 타단부)에는, 스핀들(36)을 회전시키는 스핀들 모터(38)가 연결되어 있다.
스핀들(36)의 선단부에는, 금속 등을 포함하는 원반형의 마운트(40)가 고정되어 있다. 그리고, 마운트(40)의 하면측에, 피가공물(11)을 연삭하는 환형의 연삭 휠(42)이 장착된다. 예컨대 연삭 휠(42)은, 볼트 등의 고정구(도시하지 않음)에 의해 마운트(40)에 고정된다. 이에 의해, 스핀들(36)의 선단부에 연삭 휠(42)이 장착된다.
연삭 휠(42)은, 알루미늄, 스테인리스 등의 금속을 포함하고 마운트(40)와 대략 동일 직경으로 형성된 환형의 베이스(44)를 구비하며, 베이스(44)의 상면측이 마운트(40)의 하면측에 고정된다. 또한, 베이스(44)의 하면측에는 복수의 연삭 지석(46)이 고정되어 있다. 예컨대, 복수의 직육면체형의 연삭 지석(46)이, 베이스(44)의 둘레 방향을 따라 대략 등간격으로 환형으로 배열된다. 연삭 지석(46)은, 다이아몬드, cBN(cubic Boron Nitride) 등을 포함하는 지립을, 메탈 본드, 레진 본드, 비트리파이드 본드 등의 결합재(본드재)로 고정함으로써 형성된다. 단, 연삭 지석(46)의 재질, 형상, 구조, 크기 등에 제한은 없다. 또한, 연삭 지석(46)의 수도 임의로 설정할 수 있다.
볼나사 모터(26)에 의해 볼나사(24)를 미리 정해진 회전 속도로 회전시키면, 이동 플레이트(20)가 볼나사(24)의 회전 속도에 대응하는 속도로 가이드 레일(18)을 따라 이동(승강)한다. 이에 의해, 척 테이블(6)과 연삭 유닛(28)이, 유지면(6a)과 수직인 방향(Z축 방향)을 따라 미리 정해진 속도로 상대적으로 이동한다.
또한, 연삭 휠(42)은, 스핀들 모터(38)로부터 스핀들(36) 및 마운트(40)를 통해 전달되는 동력에 의해, 척 테이블(6)의 유지면(6a)과 대략 수직인 회전축(Z축 방향과 대략 평행한 회전축)의 주위를 회전한다. 즉, 연삭 휠(42)의 회전축은 유지면(6a)과 수직인 방향을 따라 설정되어 있다.
척 테이블(6)에 의해 유지된 피가공물(11)의 상면측에 회전하는 연삭 지석(46)을 접촉시키면, 피가공물(11)의 상면측이 깎여진다. 이에 의해, 피가공물(11)에 연삭 가공이 실시되어, 피가공물(11)이 박화된다.
또한, 연삭 장치(2)는, 피가공물(11)의 연삭 중에 연삭 휠(42)에 가해지는 부하(가공 부하)에 대응하는 값(부하 대응값)을 측정하는 가공 부하 측정 유닛을 구비한다. 도 1에는, 이동 기구(8)에 접속된 가공 부하 측정 유닛(48)과, 연삭 유닛(28)에 접속된 가공 부하 측정 유닛(50)을 도시하고 있다.
예컨대, 가공 부하 측정 유닛(48)은 볼나사 모터(12)의 전류값을 측정하는 전류계이고, 가공 부하 측정 유닛(50)은 스핀들 모터(38)의 전류값을 측정하는 전류계이다. 또한, 가공 부하 측정 유닛(48)은 볼나사 모터(12)에 내장되어 있어도 좋고, 가공 부하 측정 유닛(50)은 스핀들 모터(38)에 내장되어 있어도 좋다.
볼나사 모터(12)로 볼나사(10)를 회전시켜 척 테이블(6)을 X축 방향을 따라 이동시키고 있는 동안에 연삭 지석(46)이 피가공물(11)에 접촉하면, 피가공물(11) 및 연삭 휠(42)에 부하가 가해진다. 그리고, 척 테이블(6)의 이동 속도를 유지하기 위해서 필요한 볼나사 모터(12)의 토크 및 전류값이 증대된다. 그 결과, 가공 부하 측정 유닛(48)에 의해 측정되는 볼나사 모터(12)의 전류값이 변화한다.
또한, 스핀들 모터(38)로 스핀들(36)을 회전시키고 있는 동안에 연삭 지석(46)이 피가공물(11)에 접촉하면, 피가공물(11) 및 연삭 휠(42)에 부하가 가해진다. 그리고, 스핀들(36)의 회전 속도를 유지하기 위해서 필요한 스핀들 모터(38)의 토크 및 전류값이 증대된다. 그 결과, 가공 부하 측정 유닛(50)에 의해 측정되는 스핀들 모터(38)의 전류값이 변화한다.
상기한 바와 같이, 피가공물(11)의 연삭 중에 연삭 휠(42)에 가해지는 부하의 변화는, 볼나사 모터(12) 및 스핀들 모터(38)의 전류값에 반영된다. 그 때문에, 가공 부하 측정 유닛(48, 50)에 의해 측정되는 전류값은, 연삭 휠(42)의 부하 대응값에 상당한다.
또한, 연삭 장치(2)에 탑재되는 가공 부하 측정 유닛의 종류에 제한은 없다. 예컨대 연삭 장치(2)는, 척 테이블(6)에 가해지는 부하를 측정하는 하중 측정기(로드 셀)이나, 스핀들(36)에 가해지는 부하를 측정하는 하중 측정기(로드 셀)를 갖고 있어도 좋다. 이 경우, 하중 측정기에 의해 측정되는 하중값이 부하 대응값에 상당한다. 또한, 볼나사 모터(26)에 접속된 전류계를 가공 부하 측정 유닛으로서 이용할 수도 있다.
연삭 장치(2)의 각 구성 요소[척 테이블(6), 이동 기구(8), 이동 기구(16), 연삭 유닛(28), 가공 부하 측정 유닛(48, 50) 등]는, 연삭 장치(2)를 제어하는 제어 유닛(제어부, 제어 장치)(52)에 접속되어 있다. 제어 유닛(52)은, 연삭 장치(2)의 구성 요소의 동작을 제어하는 제어 신호를 생성하여, 연삭 장치(2)의 가동을 제어한다.
예컨대 제어 유닛(52)은, 컴퓨터에 의해 구성되고, 연삭 장치(2)의 가동에 필요한 연산을 행하는 연산부와, 연삭 장치(2)의 가동에 이용되는 각종의 정보(데이터, 프로그램 등)를 기억하는 기억부를 포함한다. 연산부는, CPU(Central Processing Unit) 등의 프로세서를 포함하여 구성된다. 또한, 기억부는, ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등의 메모리를 포함하여 구성된다.
상기한 연삭 장치(2)에 의해 피가공물(11)이 연삭된다. 예컨대 피가공물(11)은, 실리콘 등의 반도체를 포함하는 원반형의 웨이퍼이고, 서로 대략 평행한 표면(제1 면)(11a) 및 이면(제2 면)(11b)을 포함한다. 피가공물(11)은, 서로 교차하도록 격자형으로 배열된 복수의 스트리트(분할 예정 라인)에 의해, 복수의 직사각형 형상의 영역으로 구획되어 있다. 그리고, 스트리트에 의해 구획된 복수의 영역의 표면(11a)측에는 각각, IC(Integrated Circuit), LSI(Large Scale Integration), LED(Light Emitting Diode), MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 디바이스 등의 디바이스(도시하지 않음)가 형성되어 있다.
피가공물(11)을 스트리트를 따라 분할함으로써, 디바이스를 각각 구비하는 복수의 디바이스 칩이 얻어진다. 또한, 피가공물(11)의 분할 전에, 피가공물(11)의 이면(11b)측을 연삭 장치(2)에 의해 연삭하여 피가공물(11)을 박화함으로써, 박형화된 디바이스 칩이 얻어진다.
또한, 피가공물(11)의 종류, 재질, 크기, 형상, 구조 등에 제한은 없다. 예컨대 피가공물(11)은, 실리콘 이외의 반도체(GaAs, InP, GaN, SiC 등), 유리, 세라믹스, 수지, 금속 등을 포함하는 원반형의 웨이퍼(기판)여도 좋다. 또한, 피가공물(11)은, CSP(Chip Size Package) 기판, QFN(Quad Flat Non-leaded package) 기판 등의 패키지 기판이어도 좋다.
본 실시형태에서는, 척 테이블(6)과 연삭 휠(42)을 유지면(6a)과 평행한 가공 이송 방향을 따라 상대적으로 이동시켜 피가공물(11)을 연삭하는 크리프 피드 연삭을 실시함으로써, 피가공물(11)을 박화한다. 이하, 연삭 장치(2)를 이용한 피가공물의 연삭 방법의 구체예를 설명한다.
먼저, 피가공물(11)을 척 테이블(6)의 유지면(6a)으로 유지한다(유지 단계). 예컨대 피가공물(11)은, 표면(11a)측이 유지면(6a)에 대향하고, 이면(11b)측이 상방으로 노출되도록, 척 테이블(6) 상에 배치된다. 이 상태에서 유지면(6a)에 흡인원의 흡인력(부압)을 작용시키면, 피가공물(11)이 척 테이블(6)에 의해 흡인 유지된다. 또한, 피가공물(11)의 표면(11a)측에는, 수지 등을 포함하고 피가공물(11)의 표면(11a)측(디바이스 등)을 보호하는 보호 시트가 부착되어 있어도 좋다. 이 경우에는, 피가공물(11)이 보호 시트를 통해 척 테이블(6)의 유지면(6a)으로 유지된다.
다음으로, 척 테이블(6)과 연삭 유닛(28)의 위치 관계를 조절한다(준비 단계). 도 2의 (A)는 준비 단계에서의 척 테이블(6) 및 연삭 유닛(28)을 도시한 측면도이다.
준비 단계에서는, 유지면(6a)과 평행한 가공 이송 방향(X축 방향)에 있어서 피가공물(11)과 연삭 지석(46)이 서로 이격되고, 또한, 연삭 지석(46)의 하면이 피가공물(11)의 상면[이면(11b)]으로부터 미리 정해진 거리 하방에 위치되도록, 척 테이블(6)과 연삭 유닛(28)의 위치 관계가 조절된다.
구체적으로는, 먼저, 피가공물(11)이 연삭 휠(42)과 겹치지 않고 연삭 휠(42)의 전방[도 2의 (A)에서의 지면 좌측]에 배치되도록, 척 테이블(6)의 X축 방향에서의 위치가 이동 기구(8)(도 1 참조)에 의해 조절된다. 또한, 연삭 지석(46)의 하면이 피가공물(11)의 상면보다 하방에 위치되도록, 연삭 유닛(28)의 Z축 방향에서의 위치가 이동 기구(16)(도 1 참조)에 의해 조절된다. 이때의 피가공물(11)의 상면과 연삭 지석(46)의 하면의 높이 위치(Z축 방향에서의 위치)의 차(ΔH)가, 후술하는 연삭 단계에서의 피가공물(11)의 연삭량[연삭 전후의 피가공물(11)의 두께의 차]의 목표값에 상당한다.
다음으로, 연삭 휠(42)을 회전시키면서 척 테이블(6)과 연삭 유닛(28)을 가공 이송 방향(X축 방향)을 따라 상대적으로 이동시켜, 연삭 지석(46)에 의해 피가공물(11)을 일단측으로부터 타단측까지 연삭한다(연삭 단계). 도 2의 (B)는 연삭 단계에서의 척 테이블(6) 및 연삭 유닛(28)을 도시한 측면도이다.
연삭 단계에서는, 피가공물(11)을 크리프 피드 연삭에 의해 연삭한다. 구체적으로는, 먼저, 스핀들 모터(38)(도 1 참조)에 의해 스핀들(36)을 회전시킴으로써, 연삭 휠(42)을 척 테이블(6)의 유지면(6a)과 대략 수직인 회전축의 주위로 회전시킨다. 연삭 휠(42)의 회전수는, 예컨대 1000 rpm 이상 3000 rpm 이하로 설정된다.
그리고, 연삭 휠(42)이 회전하고, 또한, 척 테이블(6)이 회전하고 있지 않은 상태에서, 척 테이블(6)을 이동 기구(8)(도 1 참조)에 의해 이동시킨다. 구체적으로는, 볼나사 모터(12)에 의해 볼나사(10)를 미리 정해진 회전 속도로 회전시킴으로써, 척 테이블(6)을 미리 정해진 속도로 X축 방향을 따라 이동시킨다. 이에 의해, 척 테이블(6)과 연삭 휠(42)이 가공 이송 방향을 따라 미리 정해진 가공 이송 속도로 상대적으로 이동하여 접근한다. 가공 이송 속도[척 테이블(6)의 이동 속도]는, 예컨대 1 ㎜/s 이상 20 ㎜/s 이하로 설정된다.
척 테이블(6)이 이동하여 피가공물(11)의 일단[피가공물(11)의 이동 방향에서의 전단, 도 2의 (B)에서의 지면 우단]이 연삭 지석(46)의 궤도에 도달하면, 피가공물(11)의 일단부가 연삭 지석(46)에 의해 깎여진다. 그리고, 척 테이블(6)은, 피가공물(11)의 타단[피가공물(11)의 이동 방향에서의 후단, 도 2의 (B)에서의 지면 좌단]이 연삭 지석(46)의 궤적과 겹치는 위치에 배치될 때까지, X축 방향을 따라 이동한다. 그 결과, 피가공물(11)이 연삭 지석(46)에 의해 일단측으로부터 타단측까지 연삭되어, 피가공물(11) 전체가 박화된다.
또한, 연삭 유닛(28)의 내부 또는 근방에는, 순수(純水) 등의 액체(연삭액)를 공급하기 위한 연삭액 공급로(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 그리고, 피가공물(11)이 연삭 지석(46)에 의해 연삭될 때에는, 연삭액이 피가공물(11) 및 연삭 지석(46)에 공급된다. 이에 의해, 피가공물(11) 및 연삭 지석(46)이 냉각되고, 연삭 가공에 의해 발생한 부스러기(연삭 부스러기)가 씻겨진다.
상기한 바와 같이, 크리프 피드 연삭에서는 척 테이블(6)이 유지면(6a)과 평행한 가공 이송 방향(수평 방향)을 따라 이동하고, 연삭 지석(46)이 피가공물(11)의 측면에 충돌한다. 그 때문에, 연삭 지석(46)에는 가공 이송 방향과 평행한 횡방향의 힘(횡부하)이 가해진다. 그리고, 피가공물(11)의 연삭 시에 연삭 지석(46)에 큰 횡부하가 작용하면, 연삭 지석(46)의 파손(부러짐 등)이 발생하는 경우가 있다.
또한, 예컨대 실리콘 웨이퍼와 같은 원반형의 피가공물(11)에 크리프 피드 연삭을 실시하는 경우에는, 가공 이송이 진행됨에 따라 피가공물(11) 중 연삭 지석(46)과 접촉하는 영역의 면적이 서서히 증가하여, 연삭 지석(46)에 가해지는 횡부하의 크기가 변화한다. 그 때문에, 피가공물(11) 전체를 동일한 컨디션으로 연삭하는 것이 어렵고, 피가공물(11)의 피연삭면[이면(11b)]에 불규칙한 패턴(농담)을 갖는 가공흔(소 마크)이 잔존하기 쉽다. 그 결과, 연삭 후의 피가공물(11)의 표면 거칠기가 불균일해지기 쉬워진다.
피가공물(11)에 작용하는 횡부하는, 가공 이송 속도가 클수록 증대된다. 그 때문에, 가공 이송 속도를 낮게 설정하여 연삭 지석(46)에 가해지는 횡부하를 저감하면, 연삭 지석(46)의 파손이 발생하기 어려워지고, 피가공물(11)에 불규칙한 가공흔이 형성되기 어려워진다. 그러나, 가공 이송 속도를 저속으로 유지하면, 피가공물(11)의 연삭에 요하는 시간이 증대되어, 가공 효율이 저하되어 버린다.
그래서, 연삭 단계에서는, 피가공물(11)의 연삭 중에 연삭 휠(42)에 가해지는 부하에 대응하는 값(부하 대응값)을 측정하고, 부하 대응값에 따라 가공 이송 속도를 조정한다. 이에 의해, 연삭 휠(42)에 가해지는 부하에 따라 가공 이송 속도가 적당히 증감된다. 그 결과, 가공 이송 속도를 필요 이상으로 저속으로 하지 않고 연삭 휠(42)에 과도한 가공 부하가 가해지는 것을 방지할 수 있다.
연삭 단계에서의 가공 이송 속도는, 제어 유닛(52)에 의해 제어된다. 도 3은 제어 유닛(52)을 도시한 블록도이다. 도 3에는, 제어 유닛(52)의 기능적인 구성을 나타내는 블록에 더하여, 이동 기구(8)의 볼나사 모터(12) 및 가공 부하 측정 유닛(48, 50)을 나타내는 블록을 도시하고 있다.
제어 유닛(52)은, 가공 이송 속도를 조정하는 속도 조정부(60)와, 속도 조정부(60)에 의한 가공 이송 속도의 조정에 이용되는 정보(데이터, 프로그램 등)를 기억하는 기억부(70)를 포함한다. 그리고, 제어 유닛(52)으로부터 볼나사 모터(12)에 제어 신호가 입력되어 볼나사(10)(도 1 참조)의 회전 속도가 제어됨으로써, 가공 이송 속도가 조정된다.
속도 조정부(60)는, 연삭 휠(42)(도 1 등 참조)에 가해지는 부하에 대응하는 값(부하 대응값)과 임계값을 비교하는 부하 비교부(62)를 포함한다. 부하 비교부(62)에는, 가공 부하 측정 유닛(48, 50)에 의해 측정된 측정값이 부하 대응값으로서 입력된다.
구체적으로는, 가공 부하 측정 유닛(48)이 볼나사 모터(12)의 전류값을 측정하는 전류계인 경우에는, 가공 부하 측정 유닛(48)으로부터 부하 비교부(62)에 볼나사 모터(12)의 전류값이 입력된다. 또한, 가공 부하 측정 유닛(50)이 스핀들 모터(38)(도 1 참조)의 전류값을 측정하는 전류계인 경우에는, 가공 부하 측정 유닛(50)으로부터 부하 비교부(62)에 스핀들 모터(38)의 전류값이 입력된다. 이하에서는 대표예로서, 가공 부하 측정 유닛(48)으로부터 부하 비교부(62)에 부하 대응값[볼나사 모터(12)의 전류값]이 입력되는 경우의 제어 유닛(52)의 동작에 대해 설명한다.
또한, 기억부(70)는, 부하 대응값의 임계값을 기억하는 임계값 기억부(72)를 포함한다. 예컨대 임계값 기억부(72)에는, 부하 대응값의 허용 범위를 정하는 상한값 및 하한값이 임계값으로서 기억된다. 가공 부하 측정 유닛(48)으로부터 부하 비교부(62)에 볼나사 모터(12)의 전류값이 입력되는 경우에는, 볼나사 모터(12)의 전류값의 상한값 및 하한값이 임계값으로서 임계값 기억부(72)에 기억된다.
가공 부하 측정 유닛(48)으로부터 부하 비교부(62)에 부하 대응값이 입력되면, 임계값 기억부(72)로부터 임계값(부하 대응값의 상한값 및 하한값)이 판독되어 부하 비교부(62)에 입력된다. 그리고, 부하 비교부(62)는 부하 대응값과 임계값을 비교함으로써, 부하 대응값이 허용 범위 내인지, 허용 범위의 상한값을 초과하고 있는지, 또는 허용 범위의 하한값 미만인지를 판정한다.
또한, 속도 조정부(60)는, 가공 이송 속도를 결정하는 속도 결정부(64)를 포함한다. 속도 결정부(64)에는 부하 비교부(62)에 의한 판정의 결과가 입력되고, 속도 결정부(64)는 부하 비교부(62)의 판정 결과에 기초하여 피가공물(11)의 연삭에 적합한 가공 이송 속도를 결정한다.
구체적으로는, 기억부(70)는, 가공 이송 속도의 결정에 이용되는 정보(속도 정보)를 기억하는 속도 정보 기억부(74)를 포함한다. 예컨대 속도 정보 기억부(74)에는, 현재의 가공 이송 속도와, 가공 이송 속도의 보정값(증감값)이 기억된다. 부하 비교부(62)로부터 속도 결정부(64)에 판정 결과가 입력되면, 속도 정보 기억부(74)로부터 속도 정보가 판독되어 속도 결정부(64)에 입력된다. 그리고, 속도 결정부(64)는, 부하 비교부(62)의 판정 결과와 속도 정보에 기초하여 가공 이송 속도를 결정한다.
예컨대, 부하 대응값이 허용 범위의 상한값을 초과하고 있다고 판정된 경우에는, 속도 결정부(64)는 현재의 가공 이송 속도로부터 보정값을 뺀 값을 변경 후의 가공 이송 속도로 설정한다. 이에 의해, 가공 이송 속도가 보정값분만큼 내려간다. 한편, 부하 대응값이 허용 범위의 하한값 미만이라고 판정된 경우에는, 속도 결정부(64)는 현재의 가공 이송 속도에 보정값을 가산한 값을 변경 후의 가공 이송 속도로 설정한다. 이에 의해, 가공 이송 속도가 보정값분만큼 올라간다.
가공 이송 속도의 보정값(증감값)은, 피가공물(11)의 연삭에 지장이 없는 범위 내에서 적절히 설정된다. 예컨대, 가공 이송 속도의 보정값은, 현재의 가공 이송 속도의 1/10 이상 1/2 이하로 설정할 수 있다. 또한, 부하 대응값이 허용 범위 내인 경우에는, 현재의 가공 이송 속도가 유지된다.
또한, 속도 정보 기억부(74)에 기억되는 속도 정보에 제한은 없다. 예컨대 속도 정보 기억부(74)에는, 부하 대응값이 취할 수 있는 수치 범위와, 부하 대응값이 그 수치 범위 내인 경우에 적합한 가공 이송 속도를 나타내는 데이터 세트를 복수 세트 포함하는 테이블이, 속도 정보로서 기억되어도 좋다. 이 경우에는, 측정된 부하 대응값이 속하는 수치 범위에 대응하는 가공 이송 속도가, 변경 후의 가공 이송 속도로 설정된다.
또한, 속도 조정부(60)는, 볼나사 모터(12)를 제어하는 모터 제어부(66)를 포함한다. 모터 제어부(66)에는, 속도 결정부(64)에 의해 결정된 가공 이송 속도가 입력된다. 그리고, 모터 제어부(66)는 볼나사 모터(12)에 제어 신호를 출력하여, 척 테이블(6)(도 1 참조)의 이동 속도가 속도 결정부(64)에 의해 결정된 가공 이송 속도와 일치하도록, 볼나사 모터(12)의 회전 속도[볼나사(10)의 회전 속도]를 제어한다.
이와 같이 하여, 가공 이송 속도가 연삭 휠(42)(도 1 등 참조)에 가해지는 부하에 따라 조정된다. 또한, 상기에서는 가공 부하 측정 유닛(48)으로부터 속도 조정부(60)에 부하 대응값[볼나사 모터(12)의 전류값]이 입력되는 경우에 대해 설명하였으나, 가공 부하 측정 유닛(50)으로부터 속도 조정부(60)에 부하 대응값[스핀들 모터(38)의 전류값]이 입력되는 경우에도, 마찬가지로 가공 이송 속도가 조정된다. 이 경우에는, 임계값 기억부(72)에 스핀들 모터(38)의 전류값의 상한값 및 하한값이 임계값으로서 기억되고, 부하 비교부(62)는 스핀들 모터(38)의 전류값과 임계값을 비교한다.
다음으로, 연삭 단계에서의 가공 이송 속도의 조정 방법의 구체예에 대해 설명한다. 도 4는 가공 이송 속도의 조정 방법을 도시한 흐름도이다. 이하, 주로 도 3 및 도 4를 참조하여, 가공 이송 속도를 조정하는 순서에 대해 설명한다.
연삭 장치(2)(도 1 참조)로 피가공물(11)을 연삭할 때에는, 먼저, 전술한 바와 같이 유지 단계 및 준비 단계가 실시된다. 그 후, 연삭 휠(42)을 회전시키면서 척 테이블(6)과 연삭 유닛(28)을 가공 이송 방향을 따라 상대적으로 이동시킨다[도 2의 (B) 참조]. 이에 의해, 피가공물(11)의 연삭(연삭 단계)이 개시된다(단계 S1).
피가공물(11)의 연삭이 개시되면, 가공 부하 측정 유닛에 의한 부하 대응값의 측정도 개시된다(단계 S2). 예컨대, 가공 부하 측정 유닛(48)에 의해 볼나사 모터(12)의 전류값이 측정된다. 또는, 가공 부하 측정 유닛(50)에 의해 스핀들 모터(38)의 전류값이 측정된다. 그리고, 측정된 부하 대응값이 제어 유닛(52)의 부하 비교부(62)에 입력된다.
부하 비교부(62)는, 가공 부하 측정 유닛(48, 50)으로부터 입력된 부하 대응값과, 임계값 기억부(72)에 기억되어 있는 임계값을 비교한다(단계 S3). 그리고, 부하 대응값이 허용 범위 내인 경우에는(단계 S3에서 '예'), 현재의 가공 이송 속도가 적절하다고 판정되어, 가공 이송 속도가 유지된다(단계 S4). 한편, 부하 대응값이 허용 범위 외인 경우에는(단계 S3에서 '아니오'), 현재의 가공 이송 속도가 부적절하다고 판정되어, 가공 이송 속도가 변경된다.
구체적으로는, 부하 대응값이 허용 범위의 상한값을 초과하고 있는 경우에는(단계 S5에서 '예'), 속도 결정부(64)에 의해 현재의 가공 이송 속도보다 작은 변경 후의 가공 이송 속도가 결정된다. 그리고, 모터 제어부(66)는 볼나사 모터(12)를 제어하여, 척 테이블(6)의 이동 속도를 변경 후의 가공 이송 속도와 일치시킨다. 이에 의해, 가공 이송 속도가 내려가(단계 S6), 연삭 휠(42)(도 1 등 참조)에 가해지는 가공 부하가 저감된다.
한편, 부하 대응값이 허용 범위의 하한값 미만인 경우에는(단계 S5에서 '아니오'), 속도 결정부(64)에 의해 현재의 가공 이송 속도보다 큰 변경 후의 가공 이송 속도가 결정된다. 그리고, 모터 제어부(66)는 볼나사 모터(12)를 제어하여, 척 테이블(6)의 이동 속도를 변경 후의 가공 이송 속도와 일치시킨다. 이에 의해, 가공 이송 속도가 올라가(단계 S7), 피가공물(11)의 연삭에 요하는 시간이 단축된다.
가공 이송 속도의 조정 후에는, 피가공물(11)의 가공이 속행되고(단계 S8에서 '아니오'), 계속해서 부하 대응값의 측정과 가공 이송 속도의 조정이 계속된다. 그리고, 피가공물(11)의 연삭이 완료되면(단계 S8에서 '예'), 가공 이송이 정지된다.
상기한 연삭 장치(2)에 의한 피가공물(11)의 연삭은, 제어 유닛(52)으로 연삭 장치(2)(도 1 등 참조)의 각 구성 요소의 동작을 제어함으로써 실현된다. 구체적으로는, 제어 유닛(52)의 메모리[기억부(70)]에는, 유지 단계, 준비 단계, 연삭 단계를 순서대로 실시하기 위해서 필요한 연삭 장치(2)의 각 구성 요소의 일련의 동작을 기술하는 프로그램이 기억되어 있다. 그리고, 피가공물(11)의 연삭을 실행할 때에는, 제어 유닛(52)은 상기 프로그램을 실행하여, 연삭 장치(2)의 각 구성 요소에 제어 신호를 순차 출력한다. 이에 의해, 연삭 장치(2)의 가동이 제어되어, 본 실시형태에 따른 피가공물의 연삭 방법이 자동으로 실시된다.
이상과 같이, 본 실시형태에 따른 연삭 장치는, 피가공물(11)의 연삭 중에 연삭 휠(42)에 가해지는 부하에 대응하는 값을 측정하는 가공 부하 측정 유닛(48, 50)과, 가공 부하 측정 유닛(48, 50)에 의해 측정된 값에 따라 가공 이송 속도를 조정하는 제어 유닛(52)을 구비한다. 이에 의해, 연삭 휠(42)에 가해지는 부하에 따라 가공 이송 속도를 적당히 증감시키는 것이 가능해지고, 가공 이송 속도를 필요 이상으로 저속으로 하지 않고 연삭 휠(42)에 과도한 가공 부하가 가해지는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 따른 피가공물의 연삭 방법에 있어서, 크리프 피드 연삭(준비 단계 및 연삭 단계)의 실시 횟수는, 피가공물(11)의 재질, 연삭량 등에 따라 적절히 설정할 수 있다. 즉, 준비 단계 및 연삭 단계는 2회 이상 실시되어도 좋다. 또한, 연삭 단계에서의 가공 이송 속도의 조정의 횟수(빈도)도 자유롭게 설정할 수 있다.
그 외, 상기 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
11: 피가공물 11a: 표면(제1 면)
11b: 이면(제2 면) 2: 연삭 장치
4: 베이스 4a: 개구
6: 척 테이블(유지 테이블) 6a: 유지면
8: 이동 기구(이동 유닛) 10: 볼나사
12: 볼나사 모터 14: 지지 구조
16: 이동 기구(이동 유닛) 18: 가이드 레일
20: 이동 플레이트 22: 너트부
24: 볼나사 26: 볼나사 모터
28: 연삭 유닛 30: 지지 부재
32: 하우징 34: 완충 부재
36: 스핀들 38: 스핀들 모터
40: 마운트 42: 연삭 휠
44: 베이스 46: 연삭 지석
48, 50: 가공 부하 측정 유닛 52: 제어 유닛(제어부, 제어 장치)
60: 속도 조정부 62: 부하 비교부
64: 속도 결정부 66: 모터 제어부
70: 기억부 72: 임계값 기억부
74: 속도 정보 기억부

Claims (8)

  1. 피가공물을 연삭하는 연삭 장치로서,
    상기 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과,
    스핀들을 가지며 상기 스핀들의 선단부에 장착된 연삭 휠로 상기 척 테이블에 의해 유지된 상기 피가공물을 연삭하는 연삭 유닛과,
    상기 척 테이블과 상기 연삭 유닛을, 상기 유지면과 평행한 가공 이송 방향을 따라, 미리 정해진 가공 이송 속도로 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
    상기 피가공물의 연삭 중에 상기 연삭 휠에 가해지는 부하에 대응하는 값을 측정하는 가공 부하 측정 유닛과,
    상기 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정하는 제어 유닛
    을 구비하는 것을 특징으로 하는 연삭 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은, 상기 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값이 허용 범위의 상한값을 초과하는 경우에, 상기 가공 이송 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 연삭 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 제어 유닛은, 상기 가공 부하 측정 유닛에 의해 측정된 값이 허용 범위의 하한값 미만인 경우에, 상기 가공 이송 속도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 연삭 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이동 기구는, 상기 척 테이블에 연결된 볼나사와, 상기 볼나사를 회전시키는 볼나사 모터를 포함하고,
    상기 가공 부하 측정 유닛은, 상기 볼나사 모터의 전류값을 측정하며,
    상기 제어 유닛은, 상기 볼나사 모터의 전류값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정하는 것을 특징으로 하는 연삭 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 연삭 유닛은, 상기 스핀들을 회전시키는 스핀들 모터를 포함하고,
    상기 가공 부하 측정 유닛은, 상기 스핀들 모터의 전류값을 측정하며,
    상기 제어 유닛은, 상기 스핀들 모터의 전류값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정하는 것을 특징으로 하는 연삭 장치.
  6. 연삭 장치를 이용하여 피가공물을 연삭하는 피가공물의 연삭 방법으로서,
    상기 연삭 장치는, 상기 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 척 테이블과, 스핀들을 가지며 상기 스핀들의 선단부에 장착된 연삭 휠로 상기 척 테이블에 의해 유지된 상기 피가공물을 연삭하는 연삭 유닛을 구비하고,
    상기 피가공물을 상기 유지면으로 유지하는 유지 단계와,
    상기 유지면과 평행한 가공 이송 방향에 있어서 상기 피가공물과 상기 연삭 휠에 포함되는 연삭 지석이 서로 이격되고, 또한, 상기 연삭 지석의 하면이 상기 피가공물의 상면으로부터 미리 정해진 거리 하방에 위치되도록, 상기 척 테이블과 상기 연삭 유닛의 위치 관계를 조절하는 준비 단계와,
    상기 연삭 휠을 회전시키면서 상기 피가공물과 상기 연삭 휠을, 상기 가공 이송 방향을 따라, 미리 정해진 가공 이송 속도로 상대적으로 이동시켜, 상기 연삭 지석에 의해 상기 피가공물을 일단측으로부터 타단측까지 연삭하는 연삭 단계
    를 포함하며,
    상기 연삭 단계에서는, 상기 피가공물의 연삭 중에 상기 연삭 휠에 가해지는 부하에 대응하는 값을 측정하고, 상기 값에 따라 상기 가공 이송 속도를 조정하는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 연삭 단계에서는, 상기 값이 허용 범위의 상한값을 초과하는 경우에 상기 가공 이송 속도를 감소시키는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서, 상기 연삭 단계에서는, 상기 값이 허용 범위의 하한값 미만인 경우에 상기 가공 이송 속도를 증가시키는 것을 특징으로 하는 피가공물의 연삭 방법.

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