KR20220150883A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20220150883A
KR20220150883A KR1020227022754A KR20227022754A KR20220150883A KR 20220150883 A KR20220150883 A KR 20220150883A KR 1020227022754 A KR1020227022754 A KR 1020227022754A KR 20227022754 A KR20227022754 A KR 20227022754A KR 20220150883 A KR20220150883 A KR 20220150883A
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KR
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substrate
end effector
link
substrate holding
arm
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KR1020227022754A
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알렉산더 크루피셰브
조세프 할리세이
케빈 부르보
에밀리앙 오더브랜드
Original Assignee
브룩스 오토메이션 유에스, 엘엘씨
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Abstract

기판 이송 장치(substrate transport apparatus)는 구동 섹션, 및 일 단부에서 구동 섹션에 연결된 상부 아암과 상부 아암에 연결된 포어아암을 가지는 적어도 하나의 관절식(articulated) 다중-링크 아암을 가진다. 상부 아암은 실질적으로 강성의 비관절식(unarticulated) 링크이다. 서로 분리되고 구별되는 듀얼 엔드 이펙터 링크들은 각각 공통 회전축 둘레로 회전가능하게 포어아암의 공통 단부에 별개로 연결된다. 각각의 엔드 이펙터 링크는 적어도 하나의 홀딩 스테이션을 가진다. 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 홀딩 스테이션은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 하나의 홀딩 스테이션을 포함하며, 대향하는 단부들 중 하나에 있는 홀딩 스테이션은 각각 다른 엔드 이펙터 링크의 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있다.

Description

기판 처리 장치
관련 출원에 대한 상호 참조
이 출원은 다음의 미국 가특허출원 번호: 2019년 12월 2일에 출원된 제62/942,530호, 2019년 12월 2일에 출원된 제62/942,544호, 및 2020년 9월 21일에 출원된 제63/081,186호의 정규 출원이며 그 이익을 청구하며, 이 출원들의 개시 내용은 그 전체가 여기에 참조로서 통합된다.
예시적인 실시예들은 일반적으로 기판 처리 툴에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는, 기판 이송 장치(substrate transport apparatus)에 관한 것이다.
반도체 제조 설비는 공통 진공 이송 시스템에 결합된 트윈 프로세스 모듈을 포함하는 기판 처리 시스템을 사용할 수 있다. 일부 종래의 시스템에서, 반도체 기판(기판 또는 웨이퍼로도 언급됨)은 일반적으로 트윈 프로세스 모듈의 나란한 기판 홀딩 스테이션에 도달할 수 있는 나란한 텔레스코핑 아암을 포함하는 이송 장치에 의해 트윈 프로세스 모듈에 전달된다. 다른 종래의 시스템에서, 멀리까지 이르는 “요(yaw)”유형 이송 장치(예를 들어, 비반경방향으로 정렬된 기판 홀더 연장을 허용하는 아암 링크로 구성되는 아암을 갖음)가 트윈 프로세스 모듈의 기판 홀딩 스테이션의 각각에 한 번에 하나씩 기판을 이송하도록 사용된다. 이들 종래의 이송 장치의 기판 교체 시간(예를 들어, 처리된 기판을 트윈 프로세스 모듈의 기판 홀딩 스테이션 중 하나 또는 둘 모두로부터 제거하고 비처리된 기판을 기판 홀딩 스테이션 중 하나 또는 둘 모두로 도입하는데 걸리는 시간)은 기판 처리 시스템의 처리량을 감소시킬 수 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 이송 장치(substrate transport apparatus)는:
프레임;
상기 프레임에 연결된 구동 섹션;
상부 아암과 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식(articulated) 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암은 일 단부에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 반대편 단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 일 단부와 반대편 단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식(unarticulated) 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암; 및
서로 분리되고 구별되는 듀얼 엔드 이펙터 링크들로서, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대하여 회전하도록, 상기 포어아암의 공통 단부에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 듀얼 엔드 이펙터 링크들;을 포함하며,
상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하고, 대향하는 단부들 중 하나에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들은 상기 다중-링크 아암의 반경방향 연장 및 후퇴가 실질적으로 공통 레벨에서 서로에 대해 병치된 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장 및 후퇴를 실행하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 서로 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에서 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하고, 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크 각각은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 다른 엔드 이펙터 링크에 대해 독립적인 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 위한 자유도를 정의하는 다축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 엔드 이펙터 링크를 위한 독립적인 자유도는 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 가능하게 한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구성된 다축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합되고 상기 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 다중-링크 아암을 연장시키도록 구성된 제어기를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 제어기는 상기 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 빠르게 교체하도록 구성되고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 처리 장치(substrate processing apparatus)는:
내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버;
고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 구동 섹션을 가지며, 상기 이송 챔버 내에 위치한 상부 아암 및 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암은 일 단부에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 반대편 단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 일 단부와 반대편 단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식(unarticulated) 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며,
상기 다중-링크 아암은 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들을 가지며, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 조인트에서 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대하여 회전하도록, 상기 포어아암의 공통 단부에서 상기 조인트에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지며, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들이 서로에 대해 공통 평면을 따라 병치되도록 상기 조인트로부터 연장되고,
상기 구동 섹션은 반경방향 축을 따라 상기 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되며, 상기 연장 및 후퇴는 상기 측벽을 따라 병치된 분리된 개구부들을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장 및 후퇴를 각각 실행하고, 상기 구동 섹션은 대응되는 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 하나를 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 중 다른 하나에 대해 독립적으로 정렬시키도록 구성된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 상기 엔드 이펙터 링크들 각각의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 상기 엔드 이펙터 링크들 중 다른 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션에 대해 독립적으로 정렬시키도록 구성된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인 상기 엔드 이펙터 링크들의 적어도 하나의 대향하는 단부들에 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 대향하는 단부들 중 하나에 있는 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나의 대향하는 단부들에 있는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 서로 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 다른 엔드 이펙터 링크에 대해 독립적인 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 위한 자유도를 정의하는 다축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 엔드 이펙터 링크에 대한 독립적인 자유도는 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 가능하게 한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 상기 이송 챔버의 측벽들 내의 각개의 기판 이송 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구성된 다축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합되고 상기 이송 챔버의 측벽 내의 각개의 기판 이송 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 다중-링크 아암을 연장시키도록 구성된 제어기를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 제어기는 상기 각개의 기판 이송 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 빠르게 교체하도록 구성되고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 이송 장치는:
프레임;
상기 프레임에 연결된 구동 섹션;
적어도 하나의 2링크 스카라(SCARA) 아암으로서, 상기 스카라 아암은 상기 스카라 아암의 엘보우 조인트에서 서로 연결된 제1 아암 링크와 제2 아암 링크를 가지며, 상기 제1 아암 링크는 어깨 조인트에서 상기 구동 섹션에 연결되는, 적어도 하나의 2링크 스카라 아암; 및
서로 분리되고 구별되는 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들로서, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 공통 손목(wrist) 조인트에서 공통 회전축 둘레로 상기 제2 아암 링크에 대해 회전하도록, 상기 공통 손목 조인트에서 상기 제2 아암 링크에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들;을 포함하며,
상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 세 개에 의해 결정된 공통 평면 상에서 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 중 각각 다른 엔드 이펙터 링크에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 적어도 세 개 중 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 공통 엔드 이펙터 링크에 대응된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 상기 공통 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 각각 하나씩 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 공통 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 서로 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 공통 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 공통 엔드 이펙터 링크는 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들은, 상기 스카라 아암의 반경방향 연장 및 후퇴가 실질적으로 공통 레벨에서 서로에 대해 병치된 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장 및 후퇴를 실행하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 중 다른 엔드 이펙터 링크들에 대해 독립적인 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 위한 자유도를 정의하는 다축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 엔드 이펙터 링크를 위한 독립적인 자유도는 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 가능하게 한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구성된 다축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 기판 이송 장치는, 상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합되고 상기 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 스카라 아암을 연장시키도록 구성된 제어기를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 제어기는 상기 각개의 분리된 개구부들을 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 빠르게 교체하도록 구성되고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판을 이송하기 위한 방법은:
기판 이송 장치를 제공하는 단계로서, 상기 기판 이송 장치는:
프레임;
상기 프레임에 연결된 구동 섹션;
상부 아암과 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식(articulated) 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암은 일 단부에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 반대편 단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 일 단부와 반대편 단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식(unarticulated) 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암; 및
서로 분리되고 구별되는 듀얼 엔드 이펙터 링크들로서, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대하여 회전하도록, 상기 포어아암의 공통 단부에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 듀얼 엔드 이펙터 링크들;을 포함하며,
상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하고, 대향하는 단부들 중 하나에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 단계; 및
상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들이 이송 챔버의 측벽을 통해 연장되도록 상기 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암을 연장시키는 단계로서, 상기 측벽은 공통 레벨 상에서 상기 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는, 단계;를 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 다축 구동 섹션이며, 상기 방법은, 상기 구동 섹션에 의해, 상기 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하는 단계를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은:
상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합된 제어기를 제공하는 단계; 및
이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암의 연장을 실행하는 단계;를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은, 상기 제어기에 의해, 상기 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들의 실질적으로 동시에 빠른 교체를 실행하는 단계를 더 포함하고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 처리 장치는:
내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버;
고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 구동 섹션을 가지며, 상기 이송 챔버 내에 위치한 상부 아암 및 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암의 근접 단부는 상기 고정된 위치에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 말단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 근접 단부(예를 들어, 고정된 위치)와 말단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며,
적어도 하나의 이펙터 링크가 조인트에서 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대해 회전하도록, 상기 다중-링크 아암은 상기 포어아암의 단부에서 조인트에 회전가능하게 연결된 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 가지며, 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되며 서로에 대해 공통 평면을 따라 병치된 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 가지고, 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션은 공통 회전축 둘레로 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 회전이 공통 회전축 둘레로 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 회전시키도록 구성되며;
상기 구동 섹션은, 상기 고정된 위치에 대해, 비반경방향 선형 경로를 따라 상기 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되고, 그래서 상기 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션은 각각, 상기 아암의 연장과 후퇴에 의해, 상기 비반경방향 경로를 따라 선형으로 이동하며, 공통 레벨 상의 하나보다 많은 병치된 기판 이송 개구부들 중 분리된 대응되는 개구부들을 실질적으로 동시에 통과한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션은 상기 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크인 공통 엔드 이펙터 링크에 지지된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크는 공통 회전축 둘레로 포어아암에 대해 회전하도록 포어아암의 단부에 연결된 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크를 포함하고, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크 각각은, 상기 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션 중, 이에 지지되는 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 가진다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크 각각은, 상기 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션 중, 이에 지지되는 하나보다 많은 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 가지며, 각개의 엔드 이펙터 링크에 지지되는 하나보다 많은 대응되는 기판 홀딩 스테이션 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 구동 섹션은 비반경방향 선형 경로를 따라 적어도 하나의 다중-링크 아암을 연장 및 후퇴시키며, 측벽을 따라 병치된 분리된 기판 이송 개구부들을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크의 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 실질적으로 동시에 통과시키도록 구성되고, 상기 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 중 다른 하나에 대해 독립적으로 정렬시키도록 구성된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크는 공통 회전축 둘레로 포어아암에 관련해 회전하도록 포어아암의 단부에 연결된 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크를 포함하고, 상기 구동 섹션은 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크 각각이 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크 중 다른 하나와는 독립적으로 공통 회전축 둘레로 회전하도록 구성되고, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크 각각의 하나는, 상기 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션 중, 이에 지지되는 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 가진다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 처리 장치는:
내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버;
고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 구동 섹션을 가지며, 상기 이송 챔버 내에 위치한 상부 아암 및 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암의 근접 단부는 상기 고정된 위치에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 말단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 근접 단부(고정된 위치)와 말단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며,
적어도 하나의 이펙터 링크가 조인트에서 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대해 회전하도록, 상기 다중-링크 아암은 상기 포어아암의 단부에서 조인트에 회전가능하게 연결된 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 가지며, 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되며 서로에 대해 공통 평면을 따라 병치된 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 가지고, 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션은 공통 회전축 둘레로 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 회전이 공통 회전축 둘레로 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 회전시키도록 구성되며;
상기 구동 섹션은, 상기 고정된 위치에 대해, 반경방향 또는 비반경방향 선형 경로를 따라 상기 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되고, 그래서 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 각각은, 상기 아암의 연장과 후퇴에 의해, 상기 반경방향 또는 비반경방향 경로를 따라 선형으로 이동하며, 공통 레벨 상의 하나보다 많은 병치된 기판 이송 개구부들 중 분리된 대응되는 개구부들을 실질적으로 동시에 통과하며,
그래서, 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 각각과는 상이한 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 다른 하나는 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션과는 독립적으로 공통 회전축 둘레로 회전가능하다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 및 적어도 다른 하나의 기판 홀딩 스테이션이 공통 회전축의 대향하는 측면들에 배치되도록, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 및 적어도 다른 하나의 기판 홀딩 스테이션은 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 및 적어도 다른 하나의 기판 홀딩 스테이션은, 아암의 연장 및 후퇴에 의해 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 하나가 통과하는 개구부들이 관통된 측벽과는 다른 상기 이송 챔버의 다른 하나의 측벽에 적어도 하나의 엔드 이펙터의 위치를 선택적으로 일치시키도록, 반경방향 또는 비반경방향 경로를 따른 아암의 연장 및 후퇴에 의해, 공통축 둘레로 회전하도록 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 적어도 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은, 상기 구동 섹션에 작동가능하게 연결되며 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크가 공통의 독립적인 자유도로 공통 회전축 둘레로 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션을 회전시키도록 배열된 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에, 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 적어도 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은, 상기 구동 섹션에 작동가능하게 연결되며, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션의 각각이 공통 회전축 둘레로 서로에 대해 독립적으로 회전되도록, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크가 다른 각각의 독립적인 자유도로 공통 회전축 둘레로 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션의 각각을 회전시키도록 배열된, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에, 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 처리 장치는:
내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버;
고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 구동 섹션을 가지며, 상기 이송 챔버 내에 위치한 상부 아암 및 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암의 근접 단부는 상기 고정된 위치에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 말단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 근접 단부(고정된 위치)와 말단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며,
상기 다중-링크 아암은, 적어도 하나의 이펙터 링크가 조인트에서 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대해 회전하도록, 상기 포어아암의 단부에서 조인트에 회전가능하게 연결된 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 가지며, 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되며 서로에 대해 높이에서 오프셋된 상이한 평면들을 따라서 병치된 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 가지고, 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션은 공통 회전축 둘레로 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 회전이 공통 회전축 둘레로 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션 각각을 회전시키도록 구성되며;
상기 구동 섹션은, 상기 고정된 위치에 대해, 반경방향 또는 비반경방향 선형 경로를 따라 상기 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되고, 그래서 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 각각은, 상기 아암의 연장과 후퇴에 의해, 상기 반경방향 또는 비반경방향 경로를 따라 선형으로 이동하며, 공통 레벨 상의 하나보다 많은 병치된 기판 이송 개구부들 중 공통 개구부를 별개로 통과하도록 서록 독립적으로 공통 회전축 둘레로 회전 가능하며,
두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 각각과는 상이한 상기 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 다른 하나는 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 각각과 실질적으로 대향하는 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 적어도 하나의 엔드 이펙터는, 적어도 다른 하나의 기판 홀딩 스테이션이 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션과는 독립적으로 공통 회전축 둘레로 회전가능하도록 구성된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 및 적어도 다른 하나의 기판 홀딩 스테이션이 공통 회전축의 대향하는 측면들에 배치되도록, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 및 적어도 다른 하나의 기판 홀딩 스테이션은 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션들 및 적어도 다른 하나의 기판 홀딩 스테이션은, 아암의 연장 및 후퇴에 의해 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 하나가 통과하는 개구부들이 관통된 측벽과는 다른 상기 이송 챔버의 다른 하나의 측벽에 적어도 하나의 엔드 이펙터의 위치를 선택적으로 일치시키도록, 반경방향 또는 비반경방향 경로를 따른 아암의 연장 및 후퇴에 의해, 공통축 둘레로 회전하도록 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 적어도 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은, 상기 구동 섹션에 작동가능하게 연결되며, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션의 각각이 공통 회전축 둘레로 서로에 대해 독립적으로 회전되도록, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크가 다른 각각의 독립적인 자유도로 공통 회전축 둘레로 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션의 각각을 회전시키도록 배열된, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크 상에, 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 서로 병치된 공통 레벨 상에 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 배치하도록 서로에 대해 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 높이로 이동시키도록 구성된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 처리 장치는: 내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버; 고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 5 자유도 구동 섹션; 및 상기 구동 섹션에 피봇식으로 장착된, 공통 상부 아암 링크를 가진 적어도 하나의 상부 아암과, 상기 공통 상부 아암 링크의 단부들에 피봇식으로 장착된 두 개의 포어아암들을 가지는 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 두 개의 포어아암들 각각은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 각각 가지며, 상기 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며, 상기 5 자유도 구동 섹션은, 상기 구동 섹션의 5 자유도가 고정된 위치에 대해 선형 경로를 따라 상기 관절식 다중-링크 아암의 적어도 연장 및 후퇴를 정의하도록 구성되고, 각각의 포어아암은 공통 상부 아암 링크에 대해 독립적으로 회전가능하며, 각개의 포어아암의 각각의 일 단부에 있는 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 각개의 포어아암의 일 단부 둘레로 독립적으로 피봇가능하다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 두 개의 엔드 이펙터 링크들은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에서 조인트에 피봇식으로 장착된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 조인트에서 공통 회전축 둘레로 각개의 포어아암에 대해 회전한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 상부 아암 링크는 고정된 위치와 두 개의 포어아암들 각각과 공통 상부 아암 링크의 각개의 조인트 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 포어아암은 각각 다른 포어아암과는 독립적으로 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 해결하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 포어아암은, 각각 다른 포어아암과는 독립적으로, 측벽을 따라 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 통해 기판의 빠른 교체를 실행하도록 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 각각 해결하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 처리 장치는: 내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버; 고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 적어도 하나의 구동 축을 가진 구동 섹션; 및 상기 구동 섹션에 피봇식으로 장착된, 공통 상부 아암 링크를 가진 적어도 하나의 상부 아암과, 상기 공통 상부 아암 링크의 단부들에 피봇식으로 장착된 두 개의 포어아암들을 가지는 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 두 개의 포어아암들 각각은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 각각 가지며, 상기 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며, 상기 구동 섹션의 적어도 하나의 구동축은 고정된 위치에 대해 선형 경로를 따라 상기 관절식 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되고, 각개의 포어아암은 공통 상부 아암 링크에 대해 독립적으로 피봇가능하며; 각개의 포어아암은 각개의 포어아암에 대해 엔드 이펙터 링크를 회전시키는, 각개의 포어아암마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크들에 대해 공통 자유도를 정의하는 적어도 하나의 구동축의 공통 구동축에 작동가능하게 결합된 각각의 포어아암의 일 단부에 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 엔드 이펙터 링크를 갖고, 두 개의 포어아암들 중 적어도 하나의 포어아암의 일 단부에서 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 다른 하나는 공통 자유도와는 독립적으로 적어도 하나의 포어아암 둘레로 다른 엔드 이펙터 링크를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 구동 섹션은 5 구동축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 자유도는 각개의 포어아암에 대해 일제히 각개의 포어아암마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 회전시킨다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 두 개의 엔드 이펙터 링크들은 각각의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에서 조인트에 피봇식으로 장착된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 조인트에서 공통 회전축 둘레로 각개의 포어아암에 대해 회전한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 상부 아암 링크는 고정된 위치와 두 개의 포어아암들 각각과 공통 상부 아암 링크의 각개의 조인트 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각개의 포어아암은 각각 다른 포어아암과는 독립적으로 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 해결하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각개의 포어아암은, 각각 다른 포어아암과는 독립적으로, 측벽을 따라 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 통해 기판의 빠른 교체를 실행하도록 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 각기 해결하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 기판 처리 장치는: 내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버; 고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 적어도 하나의 구동 축을 가진 구동 섹션; 및 상기 구동 섹션에 피봇식으로 장착된, 공통 상부 아암 링크를 가진 적어도 하나의 상부 아암과, 상기 공통 상부 아암 링크의 단부들에 피봇식으로 장착된 두 개의 포어아암들을 가지는 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 두 개의 포어아암들 각각은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 각각 가지며, 상기 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며, 상기 구동 섹션의 적어도 하나의 구동축은 고정된 위치에 대해 선형 경로를 따라 상기 관절식 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되고; 두 개의 포어아암들 중 제1 포어아암에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 제1 엔드 이펙터 링크와, 두 개의 포어아암들 중 제2 포어아암에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 제1 엔드 이펙터 링크는 대응되는 제1 및 제2 포어아암에 대해 각개의 제1 엔드 이펙터 링크를 회전시키는 제1 포어아암의 제1 엔드 이펙터 링크 및 제2 포어아암의 제1 엔드 이펙터 링크에 대해 공통 자유도를 정의하는, 적어도 하나의 구동축의, 공통 구동축에 작동가능하게 결합되고, 제1 포어아암의 제2 엔드 이펙터 링크는 공통 자유도와는 독립적으로 제1 포어아암 둘레로 제2 엔드 이펙터 링크를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 포어아암은 공통 상부 아암 링크에 대해 독립적으로 회전가능하다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 구동 섹션은 5 구동축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 자유도는 각각의 포어아암에 대해 일제히 각각의 포어아암마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 회전시킨다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 두 개의 엔드 이펙터 링크들은 각각의 포어아암에 대해 회전하도록 각각의 포어아암의 일 단부에서 조인트에 피봇식으로 장착된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 조인트에서 공통 회전축 둘레로 각각의 포어아암에 대해 회전한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 상부 아암 링크는 고정된 위치와 두 개의 포어아암들 각각 및 공통 상부 아암 링크의 각개의 조인트 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 포어아암은 각각 다른 포어아암과는 독립적으로 각각의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 해결하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 포어아암은 각각 다른 포어아암과는 독립적으로, 측벽을 따라 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 통해 기판의 빠른 교체를 실행하도록 각각의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 각기 해결하도록 배치된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 방법은: 내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한 이송 챔버를 제공하는 단계; 5 자유도 구동 섹션에 피봇식으로 장착된, 공통 상부 아암 링크를 가진 적어도 하나의 상부 아암과, 상기 공통 상부 아암 링크의 단부들에 피봇식으로 장착된 두 개의 포어아암들을 가지는 관절식 다중-링크 아암을 제공하는 단계로서, 상기 두 개의 포어아암들 각각은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 각각 가지며, 상기 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 단계; 및 고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 5 자유도 구동 섹션에 의해 상기 관절식 다중-링크 아암을 구동시키는 단계;를 포함하며, 5 자유도 구동 섹션은 고정된 위치에 대해 선형 경로를 따라 상기 관절식 다중-링크 아암의 적어도 연장 및 후퇴를 정의하고, 각각의 포어아암은 공통 상부 아암 링크에 관련해 독립적으로 회전가능하며, 각개의 포어아암의 각각의 일 단부에 있는 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 각개의 포어아암의 일 단부 둘레로 독립적으로 피봇가능하다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 두 개의 엔드 이펙터 링크들은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에서 조인트에 피봇식으로 장착된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 조인트에서 공통 회전축 둘레로 각개의 포어아암에 대해 회전한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 상부 아암 링크는 고정된 위치와 두 개의 포어아암들 각각과 공통 상부 아암 링크의 각개의 조인트 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은, 각각의 포어아암으로, 각각 다른 포어아암과는 독립적으로 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 해결하는 단계를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은, 각각의 포어아암으로, 각각 다른 포어아암과는 독립적으로, 측벽을 따라 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 통해 기판의 빠른 교체를 실행하도록 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 각각 해결하는 단계를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 방법은: 내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한 이송 챔버를 제공하는 단계; 구동 섹션에 피봇식으로 장착된, 공통 상부 아암 링크를 가진 적어도 하나의 상부 아암과, 상기 공통 상부 아암 링크의 단부들에 피봇식으로 장착된 두 개의 포어아암들을 가지는 관절식 다중-링크 아암을 제공하는 단계로서, 상기 두 개의 포어아암들 각각은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 각각 가지며, 상기 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 단계; 및 고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 적어도 하나의 구동축을 가진 구동 섹션으로 관절식 다중-링크 아암을 구동시키는 단계;를 포함하며, 상기 구동 섹션의 적어도 하나의 구동축은 고정된 위치에 대해 선형 경로를 따라 상기 관절식 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되고, 각개의 포어아암은 공통 상부 아암 링크에 대해 독립적으로 피봇가능하며; 각개의 포어아암은 각개의 포어아암에 대해 엔드 이펙터 링크를 회전시키는, 각개의 포어아암마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크들에 대해 공통 자유도를 정의하는 적어도 하나의 구동축의 공통 구동축에 작동가능하게 결합된 각각의 포어아암의 일 단부에 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 엔드 이펙터 링크를 갖고, 두 개의 포어아암들 중 적어도 하나의 포어아암의 일 단부에서 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 다른 하나는 공통 자유도와는 독립적으로 적어도 하나의 포어아암 둘레로 다른 엔드 이펙터 링크를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 구동 섹션은 5 구동축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 자유도는 각개의 포어아암에 대해 일제히 각개의 포어아암마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 회전시킨다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 두 개의 엔드 이펙터 링크들은 각각의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에서 조인트에 피봇식으로 장착된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 조인트에서 공통 회전축 둘레로 각개의 포어아암에 대해 회전한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 상부 아암 링크는 고정된 위치와 두 개의 포어아암들 각각과 공통 상부 아암 링크의 각개의 조인트 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은, 각개의 포어아암으로, 각각 다른 포어아암과는 독립적으로 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 해결하는 단계를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은, 각개의 포어아암으로, 각각 다른 포어아암과는 독립적으로, 측벽을 따라 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 통해 기판의 빠른 교체를 실행하도록 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 각기 해결하는 단계를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따른 방법은: 내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한 이송 챔버를 제공하는 단계; 구동 섹션에 피봇식으로 장착된, 공통 상부 아암 링크를 가진 적어도 하나의 상부 아암과, 상기 공통 상부 아암 링크의 단부들에 피봇식으로 장착된 두 개의 포어아암들을 가지는 관절식 다중-링크 아암을 제공하는 단계로서, 상기 두 개의 포어아암들 각각은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 각각 가지며, 상기 두 개의 엔드 이펙터 링크들 각각은 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 단계; 및 고정된 위치에서 이송 챔버에 연결된 적어도 하나의 구동축을 가진 구동 섹션으로 관절식 다중-링크 아암을 구동시키는 단계;를 포함하며, 상기 구동 섹션의 적어도 하나의 구동축은 고정된 위치에 대해 선형 경로를 따라 상기 관절식 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되고; 두 개의 포어아암들 중 제1 포어아암에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 제1 엔드 이펙터 링크와, 두 개의 포어아암들 중 제2 포어아암에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크들 중 제1 엔드 이펙터 링크는 대응되는 제1 및 제2 포어아암에 대해 각개의 제1 엔드 이펙터 링크를 회전시키는 제1 포어아암의 제1 엔드 이펙터 링크 및 제2 포어아암의 제1 엔드 이펙터 링크에 대해 공통 자유도를 정의하는, 적어도 하나의 구동축의, 공통 구동축에 작동가능하게 결합되고, 제1 포어아암의 제2 엔드 이펙터 링크는 공통 자유도와는 독립적으로 제1 포어아암 둘레로 제2 엔드 이펙터 링크를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각각의 포어아암은 공통 상부 아암 링크에 대해 독립적으로 회전가능하다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 구동 섹션은 5 구동축 구동 섹션이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 공통 자유도는 각각의 포어아암에 대해 일제히 각각의 포어아암마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크들을 회전시킨다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 두 개의 엔드 이펙터 링크들은 각개의 포어아암에 대해 회전하도록 각각의 포어아암의 일 단부에서 조인트에 피봇식으로 장착된다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 각개의 포어아암의 일 단부에 피봇식으로 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크들의 각각은 조인트에서 공통 회전축 둘레로 각개의 포어아암에 대해 회전한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 공통 상부 아암 링크는 상기 고정된 위치와 두 개의 포어아암들 및 공통 상부 아암 링크의 각각의 각개의 조인트 사이의 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은, 각각의 포어아암에 의해, 각각 다른 포어아암으로부터 독립적으로 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을 해결하는 단계를 더 포함한다.
본 개시의 하나 이상의 측면들에 따르면, 상기 방법은, 각각의 포어아암에 의해, 상기 측벽을 따라 상기 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 통해 기판들의 빠른 교체를 실행하기 위해 각개의 포어아암의 두 개의 엔드 이펙터들의 기판 홀딩 스테이션들에서 각각의 기판의 자동화된 센터링을, 각각 다른 포어아암으로부터 독립적으로, 해결하는 단계를 더 포함한다.
본 개시에 관해 앞서 언급된 측면 및 다른 특징은 첨부된 도면에 관련해서 취해진, 다음의 기재에서 설명되고, 여기서:
도 1a는 본 개시의 측면을 병합하는 예시적인 기판 처리 장치의 개략도이고;
도 1b 및 도 1c는 본 개시의 측면에 따른 도 1a의 기판 처리 장치의 부분의 개략도이고;
도 2a, 도 2b, 도 2c, 및 도 2d는 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이고;
도 3은 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치의 예시적인 구동 섹션의 개략적인 횡단면도이며;
도 3a는 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치의 예시적인 구동 섹션의 개략적인 횡단면도이며;
도 3b는 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치의 예시적인 구동 섹션의 개략적인 횡단면도이며;
도 3c는 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치의 예시적인 구동 섹션의 개략적인 횡단면도이며;
도 4는 본 개시의 측면에 따른 도 2a, 도 2b, 도 2c, 및 도 2d의 기판 이송 장치의 일부의 개략적인 횡단면도이며;
도 5a 및 도 5b는 본 개시의 측면에 따른 도 2a, 도 2b, 도 2c, 및 도 2d의 기판 이송 장치의 일부의 개략적인 사시도이며;
도 5c, 도 5d, 도 5e, 및 도 5f는 본 개시의 측면에 따른 도 2a, 도 2b, 도 2c, 및 도 2d의 기판 이송 장치의 부분의 개략도이고;
도 6a 및 도 6b는 본 개시의 측면에 따른 도 2a, 도 2b, 도 2c, 및 도 2d의 기판 이송 장치의 부분의 개략도이고;
도 7a-도 7l는 본 개시의 측면에 따른 도 2a, 도 2b, 도 2c, 및 도 2d의 기판 이송 장치를 병합하는 예시적인 기판 처리 장치의 개략도이고;
도 8은 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치를 병합하는 기판 처리 장치의 개략도이며;
도 9는 본 개시의 특징을 병합하는 기판 이송 장치의 개략도이고;
도 10은 여기 기재된 바와 같이 그리고 본 개시의 병합된 특징으로서 이송 장치를 위한 예시적인 기판 홀더의 개략적인 측면도이고;
도 11은 여기 기재된 바와 같이 본 개시의 병합된 특징으로서 이송 장치를 위한 예시적인 기판 홀더의 개략적인 측면도이고;
도 12는 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치를 병합하는 기판 처리 장치의 개략도이며;
도 13은 본 개시의 특징을 병합하는 기판 이송 장치의 개략도이고;
도 14는 본 개시의 측면에 따른 예시적인 방법의 흐름도이고;
도 15는 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치를 병합하는 기판 처리 장치의 개략도이며;
도 16은 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치를 병합하는 기판 처리 장치의 개략도이며;
도 17은 본 개시의 측면에 따른 예시적인 방법의 흐름도이고;
도 18a-도 18c는 본 개시의 측면에 따른 다축 자동 웨이퍼 센터링의 예시적인 개략도이고;
도 19은 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이며;
도 20은 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이며;
도 21은 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이고;
도 22는 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이며;
도 23는 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이며;
도 23a는 본 개시의 측면에 따른 도 23의 기판 이송 장치를 병합하는 예시적인 기판 처리 장치의 개략도이며;
도 24는 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이며;
도 25는 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이며;
도 26a, 도 26b, 도 26c, 및 도 26d는 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이고;
도 27a, 도 27b, 및 도 27c는 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이고;
도 28은 본 개시의 측면에 따른 도 1의 기판 처리 장치의 기판 이송 장치의 개략도이며;
도 29는 본 개시의 측면에 따른 예시적인 방법의 흐름도이고;
도 30a 및 도 30b는 본 개시의 측면에 따른 기판 이송 장치의 일부의 예시도이고;
도 31은 본 개시의 측면에 따른 도 30a 및 도 30b의 기판 이송 장치의 일부의 개략적인 단면도이고;
도 32a 내지 도 32f는 본 개시의 측면에 따른 도 30a 및 도 30b의 기판 이송 장치의 일부를 병합하는 기판 처리 장치의 개략도이고;
도 33a-도 33c는 도 30a 및 도 30b의 기판 이송 장치의 예시적인 평면도이고(포어아암 및 기판 홀더는 명료함을 위해 생략됨), 본 개시의 측면에 따라 이송 장치의 풋프린트를 도시하고;
도 34a는 본 개시의 측면에 따른 도 31에 예시적인 구동 트랜스미션의 부분의 개략적인 측면도이며;
도 34b는 본 개시의 측면에 따른 도 30a의 예시적인 구동 트랜스미션의 일부의 개략적인 평면도이고;
도 35는 본 개시의 측면에 따른 예시적인 방법의 흐름도이고;
도 36은 본 개시의 측면에 따른 예시적인 방법의 흐름도이고;
도 37은 본 개시의 측면에 따른 예시적인 방법의 흐름도이고;
도 38a, 도 38b, 도 39a, 도 39b, 도 40a, 도 40b, 도 41a, 및 도 41b는 본 개시의 측면에 따른 기판 홀더 움직임의 예시적인 흐름도이다.
도 1a은 본 개시의 측면에 따른 예시적인 기판 처리 장치(100)를 도시한다. 본 개시의 측면이 도면을 참조하여 기재될 것임에도, 본 개시의 측면이 여러 형태로 실시될 수 있다는 것이 이해되어야만 한다. 덧붙여, 임의의 적합한 크기, 형태, 또는 유형의 요소 또는 소재가 사용될 수 있다.
본 개시의 측면은 기판 이송 장치(130)를 포함하는 기판 처리 장치(100)를 제공한다. 기판 이송 장치는 적어도 두 개의 아암 링크를 갖는 아암(131), 및 서로 회전가능하게 연결되고, 일 측면에서 고정된 위치에 어깨 조인트/축(SX)을 갖는 엔드 이펙터(여기서 기판 홀더로도 언급됨)를 포함한다. 기판 이송 장치(130)는 나란한 기판 처리(또는 다른 홀딩) 스테이션(190-191, 192-193, 194-195, 196-197)으로 실질적으로 동시에 기판을 픽킹하는(및/또는 배치하는) 한편, 기판(S)의 빠른 교체를 제공하도록 구성된다. 기판 이송 장치(130) 구성은 기판 이송 장치(130)에 의한 기판 이송과 일치하여 각각의 기판에 대해 독립적인 자동 웨이퍼 센터링으로 (여기 기재된 바와 같이) 이송 챔버(125, 125A)의 각각의 측면 상의 각각의 나란한 기판 처리 스테이션에 실질적으로 동시에 기판을 픽킹하는 것을 가능하게 한다. 도 7e-도 7j를 간략히 참조하여, 기판(S)의 빠른 교체는 기판 이송 장치(130)로 나란한 기판 처리 스테이션(예를 들어, 기판 처리 스테이션(190-191)과 같음)의 하나의 세트 또는 쌍으로부터 실질적으로 동시에 기판(S(S1, S2))의 제거, 및 기판 이송 장치(130)로 동일한 나란한 기판 처리 스테이션(즉, 기판 처리 스테이션(188-189))에 실질적으로 동시에 또 다른 기판(S(S3, S4))의 배치이고, 제거 및 배치는 제거된 기판(S(S1, S2))의 임의의 개입 배치 없이(즉, 제거된 기판(S(S1, S2))이 기판 이송 장치에 의해 홀딩되는 것으로) 신속하게 연속적으로 발생함이 언급된다. 다른 측면에서, 기판의 빠른 교체는 실질적으로 기판(들)의 픽킹 및 배치 사이의 Z 축 움직임의 개입 없이 발생한다. 달리 말해서, 기판 홀딩 스테이션에 기판을 들어올리거나(픽킹하거나) 내리는(배치하는) 것이 아닌 어떠한 기판 이송 장치(130)의 Z 축 움직임 개입도 실질적으로 없다. 예를 들어, 기판 홀더 평면(여기에 기재된 바와 같이, 그리고 듀얼 사이디드 기판 홀더의 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 하나 이상의 평면을 형성하든 아니든)의 각각의 평면(499, 499A)(도 2d, 도 10, 및 도 11 참조)은 여기 더 기재될 바와 같이, 이송 개구부 평면의 소정 Z 위치에서 이송을 위한 공통 이송 챔버에 이송 개구부의 적어도 하나의 평면(들)(도 1b 및 도 1c 참조)에 상응하고 그와 정렬된다.
또한, 도 2를 참조하여, 본 개시의 측면에 따라, 아암(131)은 적어도 두 개의 기판 홀더 또는 엔드 이펙터(203, 204)를 포함한다. 일 측면에서, 기판 홀더(203, 204)는 듀얼 팬 기판 홀더의 듀얼 단부이고, 각각의 기판 홀더는 각각의 단부에서 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 또는 팬으로 두 개의 종방향으로 분리된 단부를 가지지만; 다른 측면에서, 기판 홀더는 여기 기재된 구성들과 같은 임의의 적합한 구성을 가진다. 적어도 두 개의 기판 홀더(203, 204)는 자동 웨이퍼 센터링 및 나란한 기판 처리 스테이션(190-191, 192-193, 194-195, 196-197) 사이의 피치를 변경하는 수용 중 하나 이상을 실행하도록, 기판이송 장치(130)의 손목(wrist) 축(WX) 둘레로 서로 독립적으로 서로에 대해서 회전한다.
도 1a를 다시 참조하여, 예를 들어, 반도체 툴 스테이션과 같은 기판 처리 장치(100)가 본 개시의 일 측면에 따라 도시된다. 반도체 툴 스테이션이 도면에 도시됨에도, 여기 기재된 본 개시의 측면이 임의의 툴 스테이션 또는 로봇 머니퓰레이터를 채용하는 어플리케이션에 적용될 수 있다. 일 측면에서, 기판 처리 장치(100)는 클러스터 배열을 갖는(예를 들어, 중심 또는 공통 챔버에 연결된 기판 처리 스테이션(190-197)을 갖는) 것으로 도시되는 한편, 다른 측면에서, 처리 장치는 선형으로 배열된 툴일 수 있지만, 본 개시의 측면은 임의의 적합한 툴 스테이션에 적용될 수 있다. 기판 처리 장치(100)는 일반적으로 대기 전방 단부(101), 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B) 및 진공 후방 단부(103)를 포함한다. 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B)가 임의의 적합한 배열에서 전방 단부(101)의 그리고/또는 후방 단부(103)의 임의의 적합한 포트(들) 또는 개구부(들)에 결합될 수 있다. 예를 들어, 일 측면에서, 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B)(및 이송 챔버 벽(125W)에서 각각의 개구부)는 도 1b에 도시될 수 있는 바와 같이 나란한 배열에서 공통 수평면에 배열될 수 있다. 다른 측면에서, 도 1c에 도시된 바와 같이, 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B, 102C, 102D)(그리고 이송 챔버 벽(125W)에서 각각의 개구부)가 행(예를 들어, 이격된 수평 평면을 갖음)과 열(예를 들어, 이격된 수직 평면을 갖음)로 배열되는 바와 같이, 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 120B)는 그리드 포맷으로 배열될 수 있다.
두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B)가 이송 챔버(125)의 단부(100E1) 상에 도시되는 한편, 다른 측면에서, 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B)가 이송 챔버(125)의 임의의 개수의 측면(100S1, 100S2) 및/또는 단부(100E1, 100E2) 상에 배열될 수 있음이 이해되어야만 한다. 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B, 102C, 102D)의 각각은, 또한 기판이 각각의 진공 부하 로크(102A, 102B, 102C, 102D) 내에 적합한 지지부 상에 홀딩되는 하나 이상의 웨이퍼/기판 안착 평면(WRP)(도 1b 및 도 1c)을 포함할 수 있다. 다른 측면에서, 기판 처리 장치(100)는 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다.
전방 단부(101), 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B), 및 후방 단부(103)의 각각의 구성요소는 예를 들어, 클러스터 아키텍처 제어와 같은 임의의 적합한 제어 아키텍처의 일부일 수 있는 제어기(110)에 연결될 수 있다. 제어 시스템은 그 개시가 전체로서 참조에 의해 여기 병합된 2011년 5월 8일에 허여된 “스케일러블 모션 제어 시스템”으로 명명된 미국 특허 제7,904,182호에 개시된 것과 같은 마스터 제어기, 클러스터 제어기, 및 자율 원격 제어기를 갖는 폐 루프 제어기일 수 있다. 다른 측면에서, 임의의 적합한 제어기 및/또는 제어 시스템이 사용될 수 있다.
일 측면에서, 전방 단부(101)는 일반적으로 부하 포트 모듈(105) 및 예를 들어, 설비 전방 단부 모듈(EFEM)과 같은 미니-환경(106)을 포함한다. 부하 포트 모듈(105)은 300 mm 부하 포트, 전방 열림 또는 바닥 열림 박스/포드 및 카세트용 SEMI 표준 E15.1, E47.1, E62, E19.5, 또는 El.9를 따르는 툴 표준(BOLTS) 인터페이스에 대한 박스 오프너/로더일 수 있다. 다른 측면에서, 부하 포트 모듈은 200 mm 웨이퍼/기판 인터페이스, 450 mm 웨이퍼/기판 인터페이스 또는 예를 들어, 더 크거나 더 작은 반도체 웨이퍼/기판, 평판 디스플레이용 평판, 솔라 패널, 레티클, 또는 임의의 다른 적합한 대상과 같은 임의 다른 적합한 기판 인터페이스로서 구성될 수 있다. 두 개의 부하 포트 모듈(105)이 도 1a에 도시됨에도, 다른 측면에서, 임의의 적합한 개수의 부하 포트 모듈이 전방 단부(101)에 병합될 수 있다. 부하 포트 모듈(105)은 오버헤드 이송 시스템, 자동 안내 차량, 개인 안내 차량, 레일 안내 차량으로부터 또는 임의의 다른 적합한 이송 방법으로부터 기판 캐리어 또는 카세트(C)를 수용하도록 구성될 수 있다. 부하 포트 모듈(105)은 부하 포트(107)를 통해 미니-환경(106)과 접속할 수 있다. 부하 포트(107)는 기판 카세트(C)와 미니-환경(106) 사이에 기판(S)의 통과를 허용한다. 미니-환경(106)은 일반적으로 여기 기재된 본 개시의 하나 이상의 측면을 병합할 수 있는 임의의 적합한 이송 로봇(108)을 포함한다. 일 측면에서, 로봇(108)은 예를 들어, 그 개시가 전체로 여기에 참조에 의해 병합된 1999년 12월 14일에 허여된 미국 특허 제6,002,840호; 2013년 4월 16일 허여된 미국 특허 제8,419,341호; 및 2010년 1월 19일에 허여된 미국 특허 제7,648,327호에 기재된 것과 같은 트랙 장착 로봇일 수 있다. 일 측면에서, 로봇(108)은 후방 단부(103)에 대해 여기에 기재된 것과 실질적으로 유사할 수 있다. 미니-환경(106)은 다중 부하 포트 모듈 사이의 기판 이송을 위한 제어된 클린 존을 제공할 수 있다.
두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B (및 102C, 120D))는 미니환경(106)과 후방 단부(103) 사이에 위치될 수 있고 그들에 연결될 수 있다. 일 측면에서, 부하 포트(105)는 적어도 하나의 부하 로크(102A, 102B) 또는 이송 챔버(125)에 실질적으로 직접 결합될 수 있고, 기판 캐리어(C)는 이송 챔버(125)의 진공으로 펌핑 다운되고 기판(S)은 기판 캐리어(C)와 각각의 부하 로크(102A, 120B) 또는 이송 챔버(125) 사이에 직접 이송된다. 이러한 측면에서, 이송 챔버의 처리 진공이 기판 캐리어(C)로 연장하는 바와 같이, 기판 캐리어(C)는 부하 로크로서 기능할 수 있다. 구현될 수 있는 바와 같이, 기판 캐리어(C)가 적합한 부하 포트를 통해 진공 부하 로크(102A, 120B)에 실질적으로 직접 결합되고, 임의의 적합한 이송 장치가 부하 로크 내에 제공될 수 있거나 그렇지 않으면 기판 캐리어(C)로 그리고 그로부터 기판(S)을 이송하도록 캐리어(C)에 접근할 수 있다. 여기에 사용된 바와 같은 용어 진공은 기판(S)이 처리되는 1CT5 토르 이하와 같은 고진공을 의미할 수 있음이 언급된다. 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B)는 일반적으로 대기 슬롯/슬릿 밸브(ASV) 및 진공 슬롯/슬릿 밸브(VSV)(일반적으로 여기서 슬롯 밸브(SV)로서 언급됨)를 포함한다. (기판 스테이션 모듈(150)에 관해서는 물론) 부하 로크(102A, 102B)의 슬롯 밸브(SV)는 대기 전방 단부(101)로부터 기판(S)을 부하한 후에, 부하 로크(102A, 120B)를 소개시키도록, 그리고 질소와 같은 불활성 기체로 부하 로크(102A, 102B)를 벤팅할 때 이송 챔버(125)에서 진공을 유지하도록 채용된 환경적 격리를 제공할 수 있다. 처리 기판(100)의 슬롯 밸브(SV)는 이송 챔버(125)에 결합된 적어도 기판 스테이션 모듈(150) 및 부하 로크(102A, 102B)로 그리고 그로부터 기판의 이송을 수용하도록 (진공 부하 로크(102A, 102B, 120C, 120D)에 대해 위에 기재된 바와 같이) 동일한 평면 또는 다른 수직으로 적층된 평면에 위치될 수 있다. 두 개 이상의 부하 로크(102A, 102B)(및/또는 전방 단부(101))는 또한 처리를 위해 소망하는 위치에 기판(S)의 기준을 정렬하기 위한 얼라이너(109) 또는 임의의 다른 적합한 기판 계측 장비를 포함할 수 있다. 다른 측면에서, 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 120B)는 처리 장치의 임의의 적합한 위치에 위치될 수 있고, 임의의 적절한 구성 가질 수 있다.
진공 후방 단부(103)는 일반적으로, 여기 기재된 본 개시의 하나 이상의 측면을 포함할 수 있는 이송 챔버(125), 하나 이상의 기판 스테이션 모듈(150), 및 임의의 적합한 개수의 기판 이송 장치(130)를 포함한다. 기판 이송 챔버(125)는 그 안에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽(125W)을 따라(도 1b), 또는 다른 측면에서 행과 열에서(도 1c) 서로에 대해 분리되고 병치되는 (슬롯 밸브가 개구부를 밀폐식으로 닫도록 결합되는 벽(125W)에서 도 1b 및 도 1c에 도시된 바와 같이 이에 대응되는, 슬롯 밸브(SV) 또는 개구부와 같은) 하나보다 많은 기판 이송 개구부를 갖는 측벽(125W)을 가진다. 이송 챔버(125)는 예를 들어, SEMI 표준 E72 가이드라인을 따르는 임의의 적합한 형상 및 크기를 가질 수 있다. 기판 이송 장치(130)는 아래에 기재될 것이고, 두 개 이상의 진공 부하 로크(102A, 102B)(또는 부하 포트에 위치된 카세트(C))와 다양한 기판 스테이션 모듈(150) 사이에 기판을 이송하도록 이송 챔버(125) 내에 적어도 부분적으로 위치될 수 있다. 일 측면에서, 기판 이송 장치(130)가 SEMI 표준 E72 가이드라인을 따르는 바와 같이, 기판 이송 장치(130)는 모듈식 유닛으로서 이송 챔버(125)로부터 제거될 수 있다.
기판 스테이션 모듈(150)은 이송 챔버(125)의 공통 측면 또는 패싯 상에 나란히 배열될 수 있고 그리고/또는 단일 기판 스테이션 모듈(150)은 이송 챔버(125)의 단일 측면 또는 패싯 상에 배치될 수 있지만; 다른 측면에서, 기판 스테이션 모듈은 단일 기판 스테이션 모듈(150S)(도 8), 삼중 기판 스테이션 모듈(150T)(도 2), 및/또는 단일 하우징 내에 위치되거나 그렇지 않으면 이송 챔버(125)의 공통 측면/패싯 상에 나란히 배열된 임의의 적합한 개수의 기판 처리/홀딩 스테이션(들)을 갖는 기판 스테이션 모듈일 수 있다. 일 측면에서, 나란한 기판 처리 스테이션은 트윈 또는 탠덤 기판 처리 모듈(150D)로 언급될 수 있는 것을 형성하도록 공통(즉, 동일한) 프로세스 모듈 하우징(150H)(도 1a) 내에 배열되는 한편; 다른 측면에서 나란한 기판 처리 스테이션은 서로 분리되고 공통 하우징(도 7a)을 공유하지 않는 단일 기판 처리 스테이션(150S)이다. 트윈 기판 스테이션 모듈(150D), 단일 기판 스테이션 모듈(150S), 삼중 기판 스테이션 모듈(150T), 및 임의의 적합한 개수의 기판 처리 스테이션을 갖는 임의의 다른 기판 스테이션 모듈이 임의의 적합한 조합(예를 들어, 도 8을 참조, 여기서 단일 및 트윈 기판 스테이션 모듈이 동일한 이송 챔버에 결합된다)으로 동일한(즉, 공통) 이송 챔버(125)에 결합될 수 있다는 것이 이해되어야만 한다.
도 1a 및 예를 들어, 이송 챔버(125)의 측면(100S1) 상의 기판 스테이션 모듈(150)을 참조하면, 기판 처리 스테이션(190, 191)은 공통 하우징(150H)에 나란히 배열되고 양 기판 처리 스테이션에 공통인 단일 슬롯 밸브(예를 들어, 기판 처리 스테이션(192, 193)을 참조)를 통해 이송 챔버(125)로부터 그 내에 접근가능할 수 있거나, 각각의 기판 처리 스테이션은 각각의 독립적으로 작동가능한 슬롯 밸브(예를 들어, 기판 처리 스테이션(190, 191) 참조)를 가질 수 있다. (190, 191)과 같은 나란한 기판 처리 스테이션은 예를 들어, 여기에 기재될 바와 같은 임의의 적합한 거리 또는 피치(D)에 의해 서로 분리되거나 이격되고, 기판 이송 장치(130)의 적어도 두 개의 듀얼 엔디드(ended) 기판 홀더(203, 204)의 기판 처리 스테이션 사이의 거리를 변경함으로써 수용될 수 있다.
기판 스테이션 모듈(150)은 다양한 증착, 에칭, 또는 기판 상에 전기 회로 또는 다른 소망하는 구조를 형성하기 위한 다른 유형의 공정을 통해 기판(S) 상에 작동할 수 있다. 일반적인 공정은 플라즈마 식각 또는 다른 에칭 공정과 같은 진공을 사용하는 박막 공정, 화학 기상 증착법(CVD), 플라즈마 기상 증착법(PVD), 이온 주입과 같은 주입, 계량, 급속 열 처리(RTP), 건식 스트립 원자층 증착(ALD), 산화/확산, 질화물의 형성, 진공 리소그래피, 에피택시(EPI), 와이어 본더, 및 증착(evaporation) 또는 진공 압력을 사용하는 다른 박막 공정을 포함하지만 이에 한정되지 않는다. 기판 스테이션 모듈(150)은 기판이 이송 챔버(125)로부터 기판 스테이션 모듈(150)로 통과되는 것을 허용하도록 슬롯 밸브(SV)를 통한 것과 같은 임의의 적합한 방식으로 이송 챔버(125)에 연통가능하게 연결되고, 그 역도 성립한다. 이송 챔버(125)의 슬롯 밸브(SV)는 트윈 프로세스 모듈의 연결을 감안하여 배열될 수 있다.
기판 이송 챔버(125)에 결합된 기판 스테이션 모듈(150) 및 부하 로크(102A, 102B) (또는 카세트(C))로 그리고 그로부터 기판의 이송은 기판 이송 장치(130)의 적어도 두 개의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 적어도 일부가 나란한 기판 처리 스테이션(190-191, 192-193, 194-195, 196-197)의 미리결정된 세트 또는 쌍의 각각의 기판 처리 스테이션과 정렬될 때 발생할 수 있음이 언급된다. 본 개시의 측면들에 따르면, 두 개의 기판(S)은 (예를 들어, 기판이 여기 기재된 방식으로 트윈 처리 모듈로부터 픽킹될 때/배치할 때와 같이) 실질적으로 동시에 각각의 미리결정된 기판 스테이션 모듈(150)에 이송될 수 있다.
기판 이송 장치(130)은 고정된 위치에서 이송 챔버(125)에 연결된 구동 섹션(220, 200A, 220B, 220C)을 갖는 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암(131)을 구비한 것으로 여기에 일반적으로 기재되지만, 다른 측면에서 기판 이송 장치(130)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기 병합된, “처리 장치”로 명명되고 2014년 10월 16일 출원된 미국 특허 출원 번호 제15/103,268호, “기판 처리 장치”로 명명되고 2013년 2월 11일에 출원된 국제 특허 출원 번호 제PCT/US13/25513호에 기재된 바와 같은 붐 아암 또는 선형 캐리지 상에 장착될 수 있다. 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암(131)은 이송 챔버(125)에 위치된 상부 아암(201) 및 포어아암(202)을 가진다. 상부 아암(201)의 근접 단부(201E1)는 고정된 위치에서 구동 섹션(220, 220A, 220B, 220C)에 회전가능하게 연결된다. 포어아암(202)은 상부 아암(201)의 말단부(201E2)에서 상부 아암(201)에 회전가능하게 연결되고 상부 아암(201)은 근접 단부(201E1)와 말단부(201E2) 사이의 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다.
여기 기재된 본 개시의 측면에서, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크가 조인트에서 공통 회전축 둘레로 포어아암(202)에 관련해 회전하도록, (여기에 기재될 바와 같은) 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크는 포어아암(202)의 단부에서 조인트(예를 들어, 손목(wrist) 조인트 또는 축(WX))에 회전가능하게 연결되고, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되며, 서로에 대해 공통 평면(499)(예를 들어, 도 2d, 도 10, 및 도 11 참조)을 따라 병치되고, 공통 회전축 둘레로의 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 회전이 공통 회전축 둘레로 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 회전시키도록 구성된 (여기 기재될 바와 같이) 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 가진다. 여기에 기재될 바와 같이, 기판 이송 장치(130)의 구동 섹션(220, 220A, 220B, 220C)은 고정된 위치에 관련해서, 비반경방향 선형 경로를 따라 다중-링크 아암(131) (및 그에 결합된 적어도 하나의 이펙터)을 적어도 연장시키고 후퇴시키도록 구성되어서, 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션 각각은 아암(131)의 연장 또는 후퇴로 비반경방향 경로를 따라 선형으로 이동하고, 공통 레벨 상의 (슬롯 밸브가 개구부를 밀폐식으로 닫도록 결합되는 벽(125W)에서 도 1b 및 도 1c에 도시된 바와 같이 이에 대응되는, 슬롯 밸브(SV) 또는 개구부와 같은) 하나보다 많은 병치된 기판 이송 개구부들 중 분리된 대응되는 개구부를 통해 실질적으로 동시에 통과한다. 다른 측면에서, 기판 이송 장치(130)의 구동 섹션(220, 220A, 220B, 220C)은 여기 기재된 바와 같이 기판을 이송하도록 고정된 위치에 관련해서, 반경방향 선형 경로 및 비반경방향 선형 경로 중 하나 또는 둘 모두를 따라 다중-링크 아암(131)을 연장시키고 후퇴시키도록 구성된다.
여전히 도 1a를 참조하여 그리고 역시 도 2a 내지 도 2d를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 프레임(220F), 프레임(220F)에 연결된 구동 섹션(220), 및 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암(131)(단일 아암이 본보기 목적만을 위해 도시된다)을 포함한다. 일 측면에서, 아암(131)은 선택적 순응 관절식 로봇 아암(여기서 “스카라(SCARA) 아암”으로 언급됨)이지만 다른 측면에서 아암은 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다. 다른 측면에서, 아암(131)은 임의의 적합한 개수의 아암 링크 및 기판 홀더를 가질 수 있음에도; 예를 들어, 아암(131)은 상부 아암 링크(201), 포어아암 링크(202), 및 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크(203, 204)(즉, 적어도 하나의 엔드 이펙터를 갖는 듀얼 링크 스카라)를 포함한다. 상부 아암 링크(201)는 실질적으로 강성 링크이다(즉, 상부 아암 링크(201)는 종방향 단부들(201E1, 201E2) 사이에서 비관절식이다). 상부 아암 링크(201)는 아암(131)의 어깨 축(SX) 둘레로 회전하도록 (어깨 조인트 또는 축(SX)으로 언급될 수 있는 것을 형성하는) 하나의 종방향 단부(201E1)에서 구동 섹션(220)에 회전가능하게 결합된다. 일 측면에서, 어깨 조인트 또는 축(SX)은 (다른 측면에서, 이송 챔버의 대칭축으로부터 상쇄될 수 있음에도, 이송 챔버의 대칭축을 따라 도면에 도시된) 고정된 위치에 있다. 포어아암 링크(202)는 실질적으로 강성 링크이다(즉, 포어아암 링크(202)는 종방향 단부들(202E1, 202E2) 사이에서 비관절식이다). 포어아암 링크(202)가 아암(131)의 엘보우축(EX) 둘레로 회전하도록, 포어아암 링크(202)의 종방향 단부(202E1)는 상부 아암 링크(201)의 종방향 단부(201E2)에 회전가능하게 결합된다. 다른 측면에서, 포어아암 링크(202) 및 상부 아암 링크(201)가 (예를 들어, 조인트 센터로부터 조인트 센터까지) 다른 길이를 가질 수 있음에도, 여기서, 포어아암 링크(202) 및 상부 아암 링크(201)는 (예를 들어, 조인트 센터로부터 조인트 센터까지) 유사한 길이이다.
일 측면에서, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크(203, 204)(여기에 기판 홀더로도 언급됨)는 두 개의 듀얼 (엔디드) 기판 홀더(203, 204)를 포함하지만; 다른 측면에서, 여기 기재된 바와 같이, 적어도 하나의 기판 홀더는 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다. 듀얼 기판 홀더(203, 204)는 서로로부터 분리되고 구별된다. 각각의 단부 기판 홀더(203, 204)가 그로써 형성된 조인트 또는 공통 회전축(예를 들어, 손목 축 또는 조인트(WX) 참조) 둘레로 포어아암 링크(202)에 관련해 회전하도록, 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 각각은 포어아암 링크(202)의 공통 단부에서 조인트에 회전가능하게 별개로 연결된다. 하나보다 많은 기판 홀더(203, 204)가 서로에 대해 공통 평면(499)(도 2d, 도 4, 도 10, 및 도 11 참조)을 따라 병치되도록, 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 각각은 이에 지지되며, 조인트로부터 연장되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)을 가진다. 공통 평면(499)은 하나보다 많은 기판 홀더(203, 204)의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2) 중 적어도 세 개에 의해 결정되고, 적어도 세 개의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2) 중 두 개의 기판 홀딩 스테이션(예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2 또는 204H1, 204H2)이 하나보다 많은 기판 홀더(203, 204)의 공통 기판 홀더(203, 204)에 상응한다. 여기 기재된 바와 같이, 두 개의 기판 홀딩 스테이션(예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2 또는 204H1, 204H2))은 공통 기판 홀더(203, 204)의 반대편 단부에 각기 하나씩 배치된다.
적어도 하나의 기판 홀더(203, 204)에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)은 적어도 하나의 기판 홀더(203, 204)의 반대편 단부에 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)을 포함한다. 적어도 하나의 기판 홀더(203, 204)는 실질적으로 강성이고, 대향하는 단부들 사이에서 비관절식이며, 대향하는 단부들 중 하나에서 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)은, 각각 다른 분리되고 구별되는 기판 홀더(203, 204)의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)과 실질적으로 동일 평면 상에 있다. 일 측면에서, 적어도 하나의 기판 홀더(203, 204)의 대향하는 단부에서 기판 홀딩 스테이션(기판 홀더(203)의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2) 및 기판 홀더(204)의 기판 홀딩 스테이션(204H1, 204H2) 참조)은 서로 실질적으로 동일 평면 상에 있다. 다른 측면에서, 적어도 하나의 기판 홀더(기판 홀더(203 또는 204) 중 하나 참조)의 대향하는 단부에서 기판 홀딩 스테이션(기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2 또는 204H1, 204H2) 참조)은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크(기판 홀더(203 또는 204)의 다른 하나 참조)의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2 또는 204H1, 204H2)의 다른 하나 참조)과 실질적으로 동일 평면 상에 있다. 여전히 다른 측면에서, 각각의 분리되고 다른 기판 홀더(기판 홀더(203, 204)의 각각을 참조)의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)을 참조)은 적어도 하나의 기판 홀더(203, 204)의 대향하는 단부에서 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하고, 분리되고 다른 기판 홀더(203, 204)의 각각은 실질적으로 강성이고 대향하는 단부들 사이에서 비관절식이다.
여전히 도 2a 내지 도 2d를 참조하여, 듀얼 기판 홀더(203, 204)는 더 구체적으로 기재될 것이다. 예를 들어, 일 측면에서, 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 각각은 프레임(203F, 204F)의 대향하는 종방향 단부에 배치된 각각의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)을 갖는 종방향으로 연장된 프레임(203F, 204F)(도 2a)을 포함한다. 일 측면에서, 공통 기판 홀더의 반대편 단부에서 두 개의 기판 홀딩 스테이션(예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2 또는 204H1, 204H2))은 서로 실질적으로 동일한 평면 상에 있는 반면에; 다른 측면에서 두 개의 기판 홀더는 다른 적층된 평면에 있을 수 있다(예를 들어, 도 10 참조). 위에 언급된 바와 같이, 기판 홀더 평면(여기 언급된 바와 같이, 그리고 듀얼 사이디드 기판 홀더의 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 하나 이상의 평면을 형성하든 아니든)의 각각의 평면(499, 499A)(도 2d, 도 10, 및 도 11 참조)은 이송 개구부 평면의 소정 Z 위치에서 이송을 위한 공통 이송 챔버에서 이송 개구부의 적어도 하나의 평면(들)(도 1b 및 도 1c 참조)에 상응하고 그와 정렬되어서, 각각의 평면 상의 각기 각각의 개구부를 통한 기판 이송은 실질적으로, Z 축 움직임, 즉, 기판 홀더(203, 204)의 일 단부에서 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 (각각의 평면에 대한) 기판 처리 스테이션으로의 연장 없이, 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 실행되고, 기판 처리 스테이션에서 기판(들)의 픽킹 및/또는 배치, 기판 처리 스테이션으로부터의 후퇴, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 동일하거나 다른 단부에서 동일하거나 다른 듀얼 기판으로 서로 다른 기판 처리 스테이션으로의 연장은 Z 축 움직임으로부터 실질적으로 독립적인 기판의 빠른 교체를 (개입하는 Z 축 움직임으로부터 독립적으로 또는 기판 이송 사이에 개입하는 Z 축 움직임으로부터 결합해제되어) 실행한다. 프레임(203F, 204F)의 각각은 각각의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)으로부터 각각의 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)으로 실질적으로 강성의 링크를 형성한다(즉, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)는 각각의 종방향으로 분리된 기판 홀딩 스테이션들(203H1, 203H2, 204H1, 204H2) 사이에서 비관절식이다). 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 각각은 프레임(203F, 204F)으로부터 측방향으로 연장하는 오프셋 장착 돌출부(210, 211)를 포함한다. 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 각각이 손목 축(WX) 둘레로 서로 독립적으로 회전하도록, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 오프셋 장착 돌출부(210, 211)는 손목 축(WX) 둘레로 상부 아암(202)에 회전가능하게 결합된다.
오프셋 장착 돌출부(210, 211)는 (나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1-204H1) 사이에 그리고 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H2-204H2) 사이에 (베이스 피치(BP)와 비례하는 바와 같이)) 임의의 적합한 베이스 피치(BP) 및/또는 손목 축(WX)에 관련하여 기판 홀딩 위치(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)의 각각의 임의의 적합한 기판 홀더 오프셋 거리(SD)를 설정하거나 그렇지 않으면 형성하는 임의의 적합한 길이를 가질 수 있다. 일 측면에서, 베이스 피치(BP)는 예를 들어, (190, 191)과 같이 나란한 기판 처리 스테이션 사이의 피치(D)와 실질적으로 동일할 수 있다(도 1a 참조). 다른 측면에서, 여기 기재된 바와 같이, 자동 웨이퍼 센터링은 피치(D)에서 변화를 허용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션(190-197)에서 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 베이스 피치(BP)(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1-204H1, 203H2-204H2) 사이의 거리가 증가되거나 감소될 수 있다)를 변화시킴으로써 실행된다. 예를 들어, 기판 홀더(203, 204) 중 하나 이상이 여기 기재된 바와 같이, 각각의 오프셋 거리(SD)를 증가시키거나 감소시키도록 (또는 그렇지 않으면 변경하도록) 그리고 베이스 피치(BP)에서 대응되는 변화를 구성하도록 손목 축(WX) 둘레로 독립적으로 회전될 수 있다. 일 측면에서, 구동 섹션(220)은 여기 기재된 바와 같이, 기판 홀더(203, 204)의 또 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)에 관련하여 기판 홀더(203, 204)의 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)을 독립적으로 정렬하도록 구성된다.
기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 공통 평면(499)에 배치되도록, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)는 임의의 적합한 방식으로 구성된다(도 2d 및 도 4 참조). 예를 들어, 오프셋 장착 돌출부(210, 211)는 각각의 프레임(203F, 204F)과 실질적으로 동일한 평면 상에 있는 제 1 부분(230, 231)을 각기 포함할 수 있다. 오프셋 장착 돌출부(210, 211)는 각각의 프레임(203F, 204F)에 의해 형성된 평면의 외부로 연장하도록 상쇄되는 제 2 부분(232, 233)을 각기 포함할 수 있다. 제 2 부분(232, 233)의 오프셋은, 제 2 부분이 하나가 다른 하나 위에 적층되고(도 2d 참조) 손목 축(WX) 둘레로 포어아암(202)에 회전가능하게 결합될 때 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 공통 평면(499)에 배치되는 바와 같다.
아암(131)의 반경방향 연장 및 후퇴가 실질적으로 공통 레벨에서(도 1b 및 도 1c에서 하나 이상의 웨이퍼/기판 안착 평면(WRP)을 참조) 서로에 대해 병치된 이송 챔버 벽(125W)(도 1a)에서 각개의 분리된 개구부들을 통해(슬롯 밸브(SV) 참조) 각각의 기판 홀더(203, 204)의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)의 실질적으로 동시 연장 및 후퇴를 실행하도록, 듀얼 기판 홀더(203, 204)는 배치된다. 다른 측면에서, 기판 홀더(203, 204)는 다른 평면에서 적층된 이송 챔버 벽 내의 개구부를 통해 연장할 수 있다.
이제 도 2a-도 3a를 참조하여, 예시적인 구동 섹션(220)이 본 개시의 측면에 따라 도시된다. 일 측면에서, 구동 섹션(220)은 반경방향 연장에서 아암(131)을 연장시키도록 (그리고 후퇴시키도록) 구성되고, (반경방향 축으로부터 상쇄되는) 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 나란한 기판 처리 스테이션으로부터 기판(S)을 픽킹하고 배치하도록, 손목 축(WX)의 움직임은 어깨 축(SX)(도 7b)을 통해 연장하는 반경방향 연장/후퇴의 축 또는 경로(700)를 따라 유지된다. 또 다른 측면에서, 구동 섹션(220)은 비반경방향 연장으로 아암(131)을 연장시키도록 (그리고 후퇴시키도록) 구성되고, 손목 축의 움직임은 반경방향 연장/후퇴의 축(700)으로부터 상쇄되고 그리고/또는 각이지는 경로(701)(도 7f)를 따라 이동한다(즉, 경로(701)는 어깨축(SX)을 통과하지 않거나 그로부터 방사하지 않는다 - 도 7c는 연장의 반경방향 경로(702)를 도시하고, 손목 축(WX)은 어깨축(SX)을 통해 연장하거나 그로부터 방사하는 움직임의 경로를 따라 이동함이 언급된다). 여전히 다른 측면에서, 구동 섹션(220)은 반경방향 및 비반경방향 경로 모두를 따라 아암이 연장하도록 구성된다(도 7a 내지 도 7l 참조).
일 측면에 따라서, 구동은 동축 구동 배열을 가질 수 있는 반면에, 다른 측면에서, 구동 섹션은 나란한 모터, 하모닉 구동장치, 스위치드 또는 가변 릴럭턴스 모터 등을 포함하지만 그로 한정되지 않는 임의의 적합한 구동 배열을 가질 수 있다. 구동 섹션 배열의 적합한 예는 그 개시가 전체로 여기에 참조에 의해 병합되는 미국 특허 번호 제6,485,250호; 제5,720,590호; 제5,899,658호; 제5,813,823호; 제8,283,813호; 제8,918,203호; 및 제9,186,799호에 기재된다. 이러한 측면에서, 구동 섹션(220)은 네 개의 구동 샤프트(301-304) 및 4 개의 모터(342, 344, 346, 348)(예를 들어, 4 자유도 모터)를 갖는 사중 동축 구동 샤프트 조립체(300)(도 4 역시 참조)를 적어도 부분적으로 하우징하기 위한 하우징(310)을 포함한다. 본 개시의 다른 측면에서, 구동 섹션(220)은 예를 들어, 두 개 또는 세 개의 동축 모터 또는 4개보다 많은 동축 모터 및 연관된 구동 샤프트와 같은 임의의 적합한 개수의 구동 샤프트 및 모터를 가질 수 있다. 구동 섹션(220)은 또한 예를 들어, 기판(S)을 픽킹하고 배치하기 위한 아암(131)을 들어올리고 내리도록 구성된 Z 축 구동장치(312)를 포함할 수 있지만; 다른 측면에서, 아암(131)이 위치되는 이송 챔버에 결합된 기판 처리 스테이션은 구동 섹션(220)의 Z 구동장치 축(312) 대신에 또는 그에 덧붙여 아암(131)으로부터 그리고 그로 기판을 들어올리고 내리도록 Z 축 구동장치를 포함할 수 있다.
일 측면에서, 구동 섹션(220)은 다른 기판 홀더(203, 204)에 관련해 적어도 하나의 기판 홀더(203, 204)에 대해 독립적인 자유도를 정의하는 다축 구동 섹션인 한편, 다른 측면에서, 다중 기판 홀더의 적어도 하나의 기판 홀더에 대해 독립적인 자유도가 있는 한편; 여전히 다른 측면에서, 각각의 기판 홀더에 대해 독립적인 자유도가 있다. 각각의 기판 홀더(203, 204)에 대해 독립적인 자유도는 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 2034H1, 204H2)에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 가능하게 한다. 일 측면에서, 구동 섹션(220)은 이송 챔버 벽(125W) 내의 각개의 분리된 개구부들(슬롯 밸브(SV) 참조)을 통해 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 2034H1, 204H2)의 실질적으로 동시 연장과 실질적으로 일치하여 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 2034H1, 204H2)에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구성된 다축 구동 섹션이다.
도 3a를 참조하여, 구동 섹션은 적어도 모터(342, 344, 346, 348)를 포함한다. 구동 섹션(220)의 제 1 모터(342)는 고정자(342S) 및 외부 샤프트(304)에 연결된 회전자(342R)를 포함한다. 제 2 모터(344)는 고정자(344S) 및 샤프트(303)에 연결된 회전자(344R)를 포함한다. 제 3 모터(346)는 고정자(346S) 및 샤프트(302)에 연결된 회전자(346R)를 포함한다. 제 4 모터(348)는 고정자(348S) 및 제 4 또는 내부 샤프트(301)에 연결된 회전자(348R)를 포함한다. 네 개의 고정자(342S, 344S, 344S, 346S)는 하우징 내에 다른 수직 높이 또는 위치에서 하우징(310)에 고정되게 부착된다. 각각의 고정자(342S, 344S, 346S, 348S)는 일반적으로 전자기 코일을 포함한다. 회전자(342R, 344R, 346R, 348R)의 각각은 일반적으로 영구 자석을 포함하지만, 대안적으로 영구 자석을 갖지 않는 자기 유도 회전자를 포함할 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346, 348)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제10,348,172호 및 제9,948,155호 및, 2014년 11월 13일에 출원된 “밀폐된 환경을 위한 위치 피드백”으로 명명된 미국 특허 출원 번호 제14/540,058호에 기재된 가변 또는 스위치드 릴럭턴스 모터일 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346, 348)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제9,656,386호에 기재된 것과 같은 하모닉 구동장치일 수 있다. 기판 이송 장치(130)가 비제한적인 예시의 목적만을 위해 진공 환경과 같은 밀폐된 환경에 사용되고, 동축 구동 샤프트 조립체(300)가 밀폐된 환경에 위치되고 고정자가 밀폐된 환경의 외부에 위치되도록, 슬리브(362)는 회전자(342R, 344R, 346R, 3418R)와 고정자(342S, 344S, 346S, 348S) 사이에 위치될 수 있다. 기판 이송 장치(130)가 기판 처리 장치(100)(도 1)의 대기 섹션(105) 내에서와 같이, 대기 환경에서 사용을 위해서만 의도된다면, 슬리브(362)는 제공될 필요가 없는 것으로 구현되어야만 한다.
제 4 또는 내부 샤프트(301)는 바닥 또는 제 4 고정자(348S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(348S)와 정렬되는 회전자(348R)를 포함한다. 샤프트(302)는 제 3 고정자(346S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(346S)와 정렬되는 회전자(346R)를 포함한다. 샤프트(303)는 제 2 고정자(344S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(344S)와 정렬되는 회전자(344R)를 포함한다. 샤프트(304)는 최상부 또는 제 1 고정자(342S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(342S)와 정렬되는 회전자(342R)를 포함한다. 각각의 샤프트(301-304)가 서로에 관련해 그리고 하우징(310)에 관련해 독립적으로 회전가능하게 하도록 다양한 베어링(350-353)이 샤프트(301-304) 및 하우징(310) 둘레에 제공된다. 각각의 샤프트에는 위치 센서(371-374)가 제공될 수 있다는 것이 언급된다. 위치 센서(371-374)는 서로에 관련해 그리고/또는 하우징(310)에 관련해 각각의 샤프트(301-304)의 회전축에 대해 제어기(170)와 같은 임의의 적합한 제어기로 신호를 제공하도록 사용될 수 있다. 센서(371-374)는 비제한적인 예시의 목적을 위해, 광학 또는 유도 센서와 같은 임의의 적합한 센서일 수 있다.
도 3a를 참조하여, 다른 측면에서, 실질적으로 구동 섹션(220)과 유사한 예시적인 구동 섹션(220A)은 세 개의 구동 샤프트(302-304) 및 세 개의 모터(342, 344, 346)(예를 들어, 3 자유도 모터)를 갖는 삼중 동축 구동 샤프트 조립체(300A)를 적어도 부분적으로 하우징하기 위한 하우징(310)을 포함한다. 구동 섹션(220A)은 또한 예를 들어, 기판(S)을 픽킹하고 배치하도록 기판 이송 장치(130)의 (여기에 기재된 것과 같은) 아암을 들어올리고 내리도록 구성된 Z 축 구동장치(312)를 포함할 수 있지만; 다른 측면에서, 아암이 위치되는 이송 챔버에 결합된 기판 홀딩 스테이션은 구동 섹션(220)의 Z 구동장치 축(312) 대신에 또는 그에 덧붙여 아암으로부터 그리고 그로 기판을 들어올리고 내리도록 Z 축 구동장치를 포함할 수 있다.
구동 섹션(220A)의 제 1 모터(342)는 고정자(342S) 및 외부 샤프트(304)에 연결된 회전자(342R)를 포함한다. 제 2 모터(344)는 고정자(344S) 및 샤프트(303)에 연결된 회전자(344R)를 포함한다. 제 3 모터(346)는 고정자(346S) 및 샤프트(302)에 연결된 회전자(346R)를 포함한다. 세 개의 고정자(342S, 344S, 346S)는 하우징 내에 다른 수직 높이 또는 위치에서 하우징(310)에 고정되게 부착된다. 각각의 고정자(342S, 344S, 346S)는 일반적으로 전자기 코일을 포함한다. 회전자(342R, 344R, 346R)의 각각은 일반적으로 영구 자석을 포함하지만, 대안적으로 영구 자석을 갖지 않는 자기 유도 회전자를 포함할 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제10,348,172호 및 제9,948,155호 및, 2014년 11월 13일에 출원된 “밀폐된 환경을 위한 위치 피드백”으로 명명된 미국 특허 출원 번호 제14/540,058호에 기재된 것과 같은 가변 또는 스위치드 릴럭턴스 모터일 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제9,656,386호에 기재된 것과 같은 하모닉 구동장치일 수 있다. 기판 이송 장치(130)는 비제한적인 예시의 목적만을 위해 진공 환경과 같은 밀폐된 환경에 사용되고, 동축 구동 샤프트 조립체(300A)가 밀폐된 환경에 위치되고 고정자가 밀폐된 환경 외부에 위치되도록, 슬리브(362)는 회전자(342R, 344R, 346R)와 고정자(342S, 344S, 346S) 사이에 위치될 수 있다. 기판 이송 장치(130)가 기판 처리 장치(100)(도 1)의 대기 섹션(105) 내에서와 같이, 대기 환경에서 사용을 위해서만 의도된다면, 슬리브(362)는 제공될 필요가 없는 것으로 구현되어야만 한다.
샤프트(302)는 제 3 고정자(346S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(346S)와 정렬되는 회전자(346R)를 포함한다. 샤프트(303)는 제 2 고정자(344S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(344S)와 정렬되는 회전자(344R)를 포함한다. 샤프트(304)는 최상부 또는 제 1 고정자(342S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(342S)와 정렬되는 회전자(342R)를 포함한다. 각각의 샤프트(302-304)가 서로에 관련해 그리고 하우징(310)에 관련해 독립적으로 회전가능하게 하도록 다양한 베어링(350-353)이 샤프트(302-304) 및 하우징(310) 둘레에 제공된다. 각각의 샤프트에는 위치 센서(371-373)가 제공될 수 있다는 것이 언급된다. 위치 센서(371-373)는 서로에 관련해 그리고/또는 하우징(310)에 관련해 각각의 샤프트(302-304)의 회전 위치에 대해 제어기(170)와 같은 임의의 적합한 제어기로 신호를 제공하도록 사용될 수 있다. 센서(371-373)는 비제한적인 예시의 목적을 위해, 광학 또는 유도 센서와 같은 임의의 적합한 센서일 수 있다.
도 3b를 참조하여, 다른 측면에서, 실질적으로 구동 섹션(220)과 유사한 예시적인 구동 섹션(220B)은 여섯 개의 구동 샤프트(301-306) 및 여섯 개의 모터(342, 344, 346, 348, 343, 345)(예를 들어, 6 자유도 모터)를 갖는 육중 동축 구동 샤프트 조립체(300B)를 적어도 부분적으로 하우징하기 위한 하우징(310)을 포함한다. 구동 섹션(220B)은 또한 예를 들어, 기판(S)을 픽킹하고 배치하도록 기판 이송 장치(130)의 (여기 기재된 것과 같은)아암을 들어올리고 내리도록 구성된 Z 축 구동장치(312)를 포함할 수 있지만; 다른 측면에서, 아암이 위치되는 이송 챔버에 결합된 기판 홀딩 스테이션은 구동 섹션(220)의 Z 구동장치 축(312) 대신에 또는 그에 덧붙여 아암으로부터 그리고 그로 기판을 들어올리고 내리도록 Z 축 구동장치를 포함할 수 있다.
구동 섹션(220A)의 제 1 모터(342)는 고정자(342S) 및 외부 샤프트(304)에 연결된 회전자(342R)를 포함한다. 제 2 모터(344)는 고정자(344S) 및 샤프트(303)에 연결된 회전자(344R)를 포함한다. 제 3 모터(346)는 고정자(346S) 및 샤프트(302)에 연결된 회전자(346R)를 포함한다. 제 4 모터(348)는 고정자(348S) 및 샤프트(301)에 연결된 회전자(348R)를 포함한다. 제 5 모터(343)는 고정자(343S) 및 샤프트(305)에 연결된 회전자(343R)를 포함한다. 제 6 모터(345)는 고정자(345S) 및 샤프트(306)에 연결된 회전자(345R)를 포함한다. 여섯 개의 고정자(342S, 344S, 346S, 348S, 343S, 345S)는 하우징 내에 다른 수직 높이 또는 위치에서 하우징(310)에 고정되게 부착된다. 각각의 고정자(342S, 344S, 346S, 348S, 343S, 345S)는 일반적으로 전자기 코일을 포함한다. 회전자(342R, 344R, 346R, 348R, 343R, 345R)의 각각은 일반적으로 영구 자석을 포함하지만, 대안적으로 영구 자석을 갖지 않는 자기 유도 회전자를 포함할 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346, 348, 343, 345)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제10,348,172호 및 제9,948,155호 및, 2014년 11월 13일에 출원된 “밀폐된 환경을 위한 위치 피드백”으로 명명된 미국 특허 출원 번호 제14/540,058호에 기재된 것과 같은 가변 또는 스위치드 릴럭턴스 모터일 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346, 348, 343, 345)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제9,656,386호에 기재된 것과 같은 하모닉 구동장치일 수 있다. 기판 이송 장치(130)는 비제한적인 예시의 목적만을 위해 진공 환경과 같은 밀폐된 환경에 사용되고, 동축 구동 샤프트 조립체(300B)가 밀폐된 환경에 위치되고 고정자가 밀폐된 환경 외부에 위치되도록, 슬리브(362)는 회전자(342R, 344R, 346R, 348R, 343R, 345R)와 고정자(342S, 344S, 346S, 348S, 343S, 345S) 사이에 위치될 수 있다. 기판 이송 장치(130)가 기판 처리 장치(100)(도 1)의 대기 섹션(105) 내에서와 같이, 대기 환경에서 사용을 위해서만 의도된다면, 슬리브(362)는 제공될 필요가 없는 것으로 구현되어야만 한다.
샤프트(306)는 제 6 고정자(345S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(345S)와 정렬되는 회전자(345R)를 포함한다. 샤프트(305)는 제 5 고정자(343S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(343S)와 정렬되는 회전자(343R)를 포함한다. 샤프트(302)는 제 3 고정자(346S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(346S)와 정렬되는 회전자(346R)를 포함한다. 샤프트(301)는 제 4 고정자(348S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(348S)와 정렬되는 회전자(348R)를 포함한다. 샤프트(303)는 제 2 고정자(344S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(344S)와 정렬되는 회전자(344R)를 포함한다. 샤프트(304)는 최상부 또는 제 1 고정자(342S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(342S)와 정렬되는 회전자(342R)를 포함한다. 각각의 샤프트(301-306)가 서로에 대해 그리고 하우징(310)에 대해 독립적으로 회전가능하게 하도록 (위에 기재된 것과 같은) 다양한 베어링이 샤프트(301-306) 및 하우징(310) 둘레에 제공된다. 각각의 샤프트에는 위치 센서(371-376)가 제공될 수 있다는 것이 언급된다. 위치 센서(371-376)는 서로에 대해 그리고/또는 하우징(310)에 대해 각각의 샤프트(301-306)의 회전 위치에 대해 제어기(170)와 같은 임의의 적합한 제어기로 신호를 제공하도록 사용될 수 있다. 센서(371-376)는 비제한적인 예시의 목적을 위해, 광학 또는 유도 센서와 같은 임의의 적합한 센서일 수 있다.
도 3C 를 참조하여, 다른 측면에서, 실질적으로 구동 섹션(220)과 유사한 예시적인 구동 섹션(220C)은 다섯 개의 구동 샤프트(301-305) 및 다섯 개의 모터(342, 344, 346, 348, 343)(예를 들어, 5 자유도 모터)를 갖는 오중 동축 구동 샤프트 조립체(300C)를 적어도 부분적으로 하우징하기 위한 하우징(310)을 포함한다. 구동 섹션(220C)은 또한 예를 들어, 기판(S)을 픽킹하고 배치하도록 기판 이송 장치(130)의 (여기 기재된 것과 같은) 아암을 들어올리고 내리도록 구성된 Z 축 구동장치(312)를 포함할 수 있지만; 다른 측면에서, 아암(131)이 위치되는 이송 챔버에 결합된 기판 홀딩 스테이션은 구동 섹션(220)의 Z 구동장치 축(312) 대신에 또는 그에 덧붙여 아암으로부터 그리고 그로 기판을 들어올리고 내리도록 Z 축 구동장치를 포함할 수 있다.
구동 섹션(220A)의 제 1 모터(342)는 고정자(342S) 및 외부 샤프트(304)에 연결된 회전자(342R)를 포함한다. 제 2 모터(344)는 고정자(344S) 및 샤프트(303)에 연결된 회전자(344R)를 포함한다. 제 3 모터(346)는 고정자(346S) 및 샤프트(302)에 연결된 회전자(346R)를 포함한다. 제 4 모터(348)는 고정자(348S) 및 샤프트(301)에 연결된 회전자(348R)를 포함한다. 제 5 모터(343)는 고정자(343S) 및 샤프트(305)에 연결된 회전자(343R)를 포함한다. 다섯 개의 고정자(342S, 344S, 346S, 348S, 343S)는 하우징 내에 다른 수직 높이 또는 위치에서 하우징(310)에 고정되게 부착된다. 각각의 고정자(342S, 344S, 346S, 348S, 343S)는 일반적으로 전자기 코일을 포함한다. 회전자(342R, 344R, 346R, 348R, 343R)의 각각은 일반적으로 영구 자석을 포함하지만, 대안적으로 영구 자석을 갖지 않는 자기 유도 회전자를 포함할 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346, 348, 343)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제10,348,172호 및 제9,948,155호 및, 2014년 11월 13일에 출원된 “밀폐된 환경을 위한 위치 피드백”으로 명명된 미국 특허 출원 번호 제14/540,058호에 기재된 것과 같은 가변 또는 스위치드 릴럭턴스 모터일 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 모터(342, 344, 346, 348, 343)는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합되는, 미국 특허 번호 제9,656,386호에 기재된 것과 같은 하모닉 구동장치일 수 있다. 기판 이송 장치(130)는 비제한적인 예시의 목적만을 위해 진공 환경과 같은 밀폐된 환경에 사용되고, 동축 구동 샤프트 조립체(300C)가 밀폐된 환경에 위치되고 고정자가 밀폐된 환경 외부에 위치되도록, 슬리브(362)는 회전자(342R, 344R, 346R, 348R, 343R)와 고정자(342S, 344S, 346S, 348S, 343S) 사이에 위치될 수 있다. 기판 이송 장치(130)가 기판 처리 장치(100)(도 1)의 대기 섹션(105) 내에서와 같이, 대기 환경에서 사용을 위해서만 의도된다면, 슬리브(362)는 제공될 필요가 없는 것으로 구현되어야만 한다.
샤프트(305)는 제 5 고정자(343S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(343S)와 정렬되는 회전자(343R)를 포함한다. 샤프트(302)는 제 3 고정자(346S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(346S)와 정렬되는 회전자(346R)를 포함한다. 샤프트(301)는 제 4 고정자(348S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(348S)와 정렬되는 회전자(348R)를 포함한다. 샤프트(303)는 제 2 고정자(344S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(344S)와 정렬되는 회전자(344R)를 포함한다. 샤프트(304)는 최상부 또는 제 1 고정자(342S)로부터 연장하고 실질적으로 고정자(342S)와 정렬되는 회전자(342R)를 포함한다. 각각의 샤프트(301-305)가 서로에 대해 그리고 하우징(310)에 대해 독립적으로 회전가능하게 하도록 (위에 기재된 것과 같은) 다양한 베어링이 샤프트(301-305) 및 하우징(310) 둘레에 제공된다. 각각의 샤프트에는 위치 센서(371-375)가 제공될 수 있다는 것이 언급된다. 위치 센서(371-375)는 서로에 대해 그리고/또는 하우징(310)에 대해 각각의 샤프트(301-306)의 회전축에 대해 제어기(170)와 같은 임의의 적합한 제어기로 신호를 제공하도록 사용될 수 있다. 센서(371-375)는 비제한적인 예시의 목적을 위해, 광학 또는 유도 센서와 같은 임의의 적합한 센서일 수 있다.
여기 기재된 바와 같이, 구동 섹션(220, 220A, 220B, 220C)은 비반경방향 선형 경로를 따라 적어도 하나의 다중-링크 아암(131)을 연장시키고 후퇴시키며, 예를 들어, 이송 챔버(125)의 측벽을 따라 병치된 (도 1b 및 도 1c에 도시된 바와 같이) 분리된 기판 이송 개구부들 각각을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)의 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 실질적으로 동시에 통과하도록 구성되고, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)의 또 하나에 관련하여 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 독립적으로 정렬하도록 구성된다.
도 2a, 도 3a, 및 도 4를 참조하여, 위에 기재된 바와 같이, 기판 이송 장치(130)는 두 개의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)를 갖는 적어도 하나의 아암(131)을 포함한다. 여기 기재된 기판 이송 로봇(130)의 두 개의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)는 여기 기재된 기판의 실질적으로 동시 픽킹 및 배치를 허용할 수 있음(예를 들어, 두 개의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)는 기판을 실질적으로 픽킹하고 및/또는 배치하도록 실질적으로 동시에 나란한 기판 처리 스테이션(190-191, 192-193, 194-195, 196-197)의 각각의 기판 처리 스테이션으로 그리고 그로부터 연장되고 후퇴된다)이 언급된다.
본 개시의 일 측면에서, 상부 아암 링크(201)는 외부 샤프트(304)에 의해 어깨축(SX) 둘레로 회전에서 구동되고, 포어아암 링크(202)는 내부 샤프트(301)에 의해 엘보우축(EX) 둘레로 회전에서 구동되고, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203)는 샤프트(303)에 의해 손목 축(WX) 둘레로 회전에서 구동되고, 듀얼 엔디드 기판 홀더(204)는 샤프트(302)에 의해 손목 축(WX) 둘레로 회전에서 구동된다. 예를 들어, 상부 아암 링크(201)가 중심 회전축(예를 들어, 어깨축(SX)) 상에 유닛으로서 샤프트(304)와 회전하는 바와 같이, 상부 아암 링크(201)는 외부 샤프트(304)에 고정되게 부착된다.
포어아암 링크(202)는 임의의 적합한 트랜스미션에 의해 내부 샤프트(301)에 결합된다. 예를 들어, 풀리(480)가 샤프트(301)에 고정되게 부착된다. 상부 아암 링크(201)는 포스트(481)를 포함한다. 풀리(482)는 포스트(481)에 회전가능하게 장착되거나 그렇지 않으면 그에 의해 지지된다. 포스트(481)는 상부 아암 링크(201)의 내부 표면에 고정되게 장착된다. 트랜스미션 부재(490)의 제 1 세트는 풀리(480)와 풀리(482) 사이에 연장한다. 임의의 적합한 유형의 트랜스미션 부재가 예를 들어, 벨트, 밴드, 또는 체인과 같이 풀리(480, 482)를 결합하도록 사용될 수 있음이 구현되어야만 한다. 또한, 두 개의 트랜스미션 부재가 풀리(480, 482)를 결합하는 것으로 도시되는(도 5a 및 도 5b 참조) 한편, 다른 측면에서, 임의의 적합한 개수의 (예를 들어, 두 개보다 많거나 적은) 트랜스미션 부재가 풀리(480, 482)를 결합하도록 사용될 수 있음이 구현되어야만 한다. 샤프트(482S)가 엘보우축(EX) 둘레로 풀리(482)와 회전하도록 샤프트(482S)는 풀리(482)에 고정되게 결합된다. 샤프트(482S)는 임의의 적합한 방식으로 포스트(481) 상에 회전가능하게 지지될 수 있다. 포어아암 링크(202)가 엘보우축(EX) 둘레로 유닛으로서 샤프트(482S)와 회전하도록, 포어아암 링크(202)는 샤프트(482S)에 고정되게 장착된다.
듀얼 엔디드 기판 홀더(203)는 임의의 적합한 트랜스미션에 의해 샤프트(303)에 결합된다. 예를 들어, 풀리(488)가 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서 샤프트(303)와 회전하도록, 풀리(488)는 샤프트(303)에 고정되게 결합된다. 풀리(491)는 포스트(481)에 회전가능하게 결합되거나, 그렇지 않으면 그 위에 지지된다. (실질적으로 트랜스미션 부재(490)와 유사한) 트랜스미션 부재(492)의 제 2 세트는 풀리(488)와 풀리(491) 사이에 연장한다. 샤프트(491S)가 엘보우축(EX) 둘레로 유닛으로서 풀리(491)와 회전하도록 샤프트(491S)는 풀리(491)에 고정되게 결합된다. 샤프트(491S)는 임의의 적합한 방식으로 포스트(481) 상에 회전가능하게 지지될 수 있다. 풀리(470)가 엘보우축(EX) 둘레로 유닛으로서 샤프트(491S) (및 풀리(491))와 회전하도록, 포어아암 링크(202)는 샤프트(491S)의 최상단에 고정되게 장착된 풀리(470)를 포함한다. 포어아암 링크(202)는 또한 포스트(471) 및 포스트(471)에 회전가능하게 장착되거나 그렇지 않으면 그에 의해 지지되는 풀리(472)를 포함한다. (실질적으로 트랜스미션 부재(490)와 유사한) 트랜스미션 부재(493)의 제 3 세트는 풀리(470, 472) 사이에 연장하고 그들을 결합시킨다. 풀리(472) 및 듀얼 엔디드 기판 홀더(203)가 손목 축(WX) 둘레로 유닛으로서 회전하도록, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203)는 샤프트(472S)를 통해 풀리(472)에 고정되게 장착된다.
듀얼 엔디드 기판 홀더(204)는 임의의 적합한 트랜스미션에 의해 샤프트(302)에 결합된다. 예를 들어, 풀리(484)가 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서 샤프트(302)와 회전하도록, 풀리(484)는 샤프트(302)에 고정되게 결합된다. 풀리(486)는 포스트(481)에 회전가능하게 결합되거나, 그렇지 않으면 그 위에 지지된다. (실질적으로 트랜스미션 부재(490)와 유사한) 트랜스미션 부재(494)의 제 4 세트는 풀리(484)와 풀리(486) 사이에 연장한다. 샤프트(486S)가 엘보우축(EX) 둘레로 유닛으로서 풀리(486)와 회전하도록 샤프트(486S)는 풀리(486)에 고정되게 결합된다. 샤프트(486S)는 임의의 적합한 방식으로 포스트(481) 상에 회전가능하게 지지될 수 있다. 풀리(474)가 엘보우축(EX) 둘레로 유닛으로서 샤프트(486S) (및 풀리(486))와 회전하도록, 포어아암 링크(202)는 샤프트(486S)의 최상단에 고정되게 장착된 풀리(474)를 포함한다. 포어아암 링크(202)는 또한 포스트(471)에 회전가능하게 장착되거나 그렇지 않으면 그에 의해 지지되는 풀리(476)를 포함한다. (실질적으로 트랜스미션 부재(490)와 유사한) 트랜스미션 부재(495)의 제 5 세트는 풀리(474, 476) 사이에 연장하고 그들을 결합시킨다. 풀리(476) 및 듀얼 엔디드 기판 홀더(204)가 손목 축(WX) 둘레로 유닛으로서 회전하도록, 듀얼 엔디드 기판 홀더(204)는 샤프트(476S)를 통해 풀리(476)에 고정되게 장착된다. 도 2a-도 2c, 도 3a, 및 도 4를 참조하여, 구현될 수 있는 바와 같이, 상부 아암 링크(201)의 각각, 포어아암 링크(204), 듀얼 엔디드 기판 홀더(203), 및 듀얼 엔디드 기판 홀더(204)는 각각의 구동 모터(342, 344, 346, 348)에 의해 각각의 축(예를 들어, 어깨축(SX), 엘보우축(AX), 및 손목 축(WX)) 둘레로 회전에서 독립적으로 구동된다. 손목 축(WX) 주위의 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 독립적인 회전은 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)에 의해 각각의 병치된 기판 처리 스테이션의 개구부(도 1b, 도 1c 참조)를 통해 기판의 이송과 실질적으로 일치하여 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1, 203H2, 204H2)의 각각에서 기판(S)의 각각에 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 제공한다. 여기 기재된 자동 웨이퍼 센터링은, 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기 병합된, 2019년 1월 25일에 출원되고 “자동 웨이퍼 센터링 방법 및 장치”로 명명된 미국 특허 출원 번호 제16/257,595호, 2018년 11월 20일에 허여되고 “온 더 플라이 자동 웨이퍼 센터링 방법 및 장치”로 명명된 미국 특허 번호 제10,134,623호, 2016년 12월 6일에 허여되고 “온 더 플라이 기판 센터링을 갖는 프로세스 장치”로 명명된 미국 특허 번호 제9,514,974호, 2010년 9월 7일 허여되고 “웨이퍼 센터 파인딩(Finding)”으로 명명된 미국 특허 번호 제7,792,350호, 2015년 1월 13일에 허여되고 “칼만 필터를 갖는 웨이퍼 센터 파인딩”로 명명된 미국 특허 번호 제8,934,706호, 및 2011년 4월 12일에 허여되고 “온 더 플라이 워크피스 센터링을 갖는 프로세스 장치”로 명명된 미국 특허 번호 제7,925,378호에 기재된 것과 유사한 방식으로 이송 챔버(125, 125A)에/그 위에, 슬롯 밸브(SV) 상에, 이송 아암(130) 등 상에 배치된 (예를 들어, 센서(3299)와 같은-도 32a) 임의의 적합한 센서로 수행될 수 있다. 상응하게, 자동 웨이퍼 센터링은 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 사이의 그리고 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2) 사이의 베이스 피치(BP)의 변경에 의해 실행된다. 예를 들어, 반대편 방향으로 샤프트(203, 303)를 회전시킴으로써, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)는 손목축(WX) 둘레로 반대편 방향으로 회전하도록 야기된다. 예를 들어, 샤프트(302, 303)는 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 사이의 임의의 적합한 증가된 피치(WP) (및 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2) 사이의 임의의 적합한 대응되는 감소된 피치(NP))를 실행하도록 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 사이의 거리(도 2b)를 증가시키도록 반대편 방향으로 구동될 수 있다. 샤프트(302, 303)는 또한 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 사이의 임의의 적합한 감소된 피치(NP) (및 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2) 사이의 임의의 적합한 대응되는 증가된 피치(WP))를 실행하도록 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 사이의 거리(도 2c)를 감소시키도록 반대편 방향으로 구동될 수 있다. 실질적으로 동일한 회전 속도에서 동일한 방향으로 샤프트(302, 303)의 회전은 기판(S)의 빠른 교체를 실행하도록 손목축(WX) 둘레로 유닛으로서 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)를 회전시킨다. 그러한 바와 같이, 트랜스미션(490, 492, 493, 494, 495)은 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)가 적어도 180°(도) 회전인 양에 의해 손목축(WX) 둘레로 유닛으로서 회전하도록 구성된다. 다시, 기판 홀더 평면(여기 언급된 바와 같이, 그리고 듀얼 사이디드 기판 홀더의 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 하나 이상의 평면을 형성하지는 하든 아니든)의 각각의 평면(499, 499A)(도 2d, 도 10, 및 도 11 참조)은 이송 개구부 평면의 소정 Z 위치에서 이송을 위한 공통 이송 챔버에서 이송 개구부의 적어도 하나의 평면(들)(도 1b 및 도 1c 참조)에 상응하고 그와 정렬되어서, 각각의 평면 상의 각기 각각의 개구부를 통한 기판 이송은 실질적으로, Z 축 움직임 없이, 즉, 기판 홀더(203, 204)의 일 단부에서 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 (각각의 평면에 대한) 기판 처리 스테이션으로의 연장 없이, 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 실행되고, 기판 처리 스테이션에서 기판(들)의 픽킹 및/또는 배치, 기판 처리 스테이션으로부터의 후퇴, 및 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 동일하거나 다른 단부에서 동일하거나 다른 듀얼 기판으로 서로 다른 기판 처리 스테이션으로의 연장은 Z 축 움직임으로부터 실질적으로 독립적인 기판의 빠른 교체를 (개입하는 Z 축 움직임으로부터 독립적으로 또는 기판 이송 사이에 개입하는 Z 축 움직임으로부터 결합해제되어) 실행한다.
풀리(480, 484, 488, 470, 474)는 “구동” 풀리로도 언급될 수 있는 한편, 풀리(482, 486, 491, 472, 476)는 “구동되는” 또는 “아이들러” 풀리로 언급될 수 있음이 언급된다. 도 4 및 도 5a-도 5f를 참조하여, 적어도 부분적으로 포어아암 링크(202) 내에 위치되는 트랜스미션 부재(493, 495)의 제 3 및 제 5 세트가 기재될 것이다.
아이들러 풀리(472)는 엔드 이펙터 인터페이스를 갖고, 아이들러 풀리(472)의 표면은 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203)에 대해 안착되거나, 다른 측면에서 엔드 이펙터 인터페이스는 위에 기재된 바와 같이 샤프트(472S)에 의해 형성된다. 아이들러 풀리(472)는 각각의 세그멘티드(segmented) 트랜스미션 루프(661)(즉, 트랜스미션 부재(493)의 제 3 세트)에 의해 각각의 엘보우 구동 풀리(470)에 결합된다. 세그멘티드 트랜스미션 루프(661)는 분리 밴드 세그먼트(661A, 661B) 또는 아이들러 풀리(472) 및 아이들러 풀리(472)의 회전을 실행하는 엘보우 구동 풀리(470) 모두에 결합된 케이블 세그먼트와 같은 임의의 다른 적합한 트랜스미션 링크를 포함한다.
아이들러 풀리(472)는 세그멘티드 트랜스미션 루프(661)의 각각의 밴드(661A, 661B)와 접속하는 밴드 랩 표면(635, 636)을 형성하는 주변 에지(650)를 포함한다. 밴드 앵커 포인트(643, 644)(도 5a)는 분리 밴드 세그먼트(661A, 661B)의 각각을 아이들러 풀리(472)에 연결한다. 예를 들어, 주변 에지(650)는 둘레로 밴드(661B)가 랩핑되는 상부 밴드 랩 표면(635)을 형성한다. 주변 에지(652)는 둘레로 밴드(661A)가 랩핑되는 하부 밴드 랩 표면(636)을 형성한다. 밴드(661A, 661B)가 서로에 대해 다른 평면에서 배치되도록(즉, 하나의 밴드가 다른 밴드에 걸쳐 랩핑하지 않도록), 상부 및 하부 밴드 랩 표면(635, 636)은 아이들러 풀리(472) 상에 다른 높이에 배치된다. 도 5b를 참조하여, 엘보우 구동 풀리(470)는 위에 기재된 아이들러 풀리(472)와 실질적으로 유사하다.
유사하게, 아이들러 풀리(476)는 엔드 이펙터 인터페이스를 갖고, 아이들러 풀리(476)의 표면은 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(204)에 대해 안착되거나, 다른 측면에서 엔드 이펙터 인터페이스는 위에 기재된 바와 같이 샤프트(476S)에 의해 형성된다. 아이들러 풀리(476)는 각각의 세그멘티드 트랜스미션 루프(660)(즉, 트랜스미션 부재(495)의 제 5 세트)에 의해 각각의 엘보우 구동 풀리(474)에 결합된다. 세그멘티드 트랜스미션 루프(660)는 분리 밴드 세그먼트(660A, 660B) 또는 아이들러 풀리(476) 및 아이들러 풀리(476)의 회전을 실행하는 엘보우 구동 풀리(474) 모두에 결합된 케이블 세그먼트와 같은 임의의 다른 적합한 트랜스미션 링크를 포함한다.
아이들러 풀리(476)는 세그멘티드 트랜스미션 루프(660)의 각각의 밴드(660A, 660B)와 접속하는 밴드 랩 표면(635, 636)을 형성하는 주변 에지(650)를 포함한다. 밴드 앵커 포인트(643, 644)(도 5a)는 분리 밴드 세그먼트(660A, 660B)의 각각을 아이들러 풀리(476)에 연결한다. 예를 들어, 주변 에지(650)는 둘레로 밴드(660B)가 랩핑되는 상부 밴드 랩 표면(635)을 형성한다. 주변 에지(652)는 둘레로 밴드(660A)가 랩핑되는 하부 밴드 랩 표면(636)을 형성한다. 밴드(660A, 660B)가 서로에 대해 다른 평면에서 배치되도록(즉, 하나의 밴드가 다른 밴드에 걸쳐 랩핑하지 않도록), 상부 및 하부 밴드 랩 표면(635, 636)은 아이들러 풀리(476) 상에 다른 높이에 배치된다. 도 5b를 참조하여, 엘보우 구동 풀리(474)는 위에 기재된 아이들러 풀리(476)와 실질적으로 유사하다.
도 4 및 도 5a-도 5f를 참조하여, 밴드 맞물림 아크(Bl, B2, Bll, B12)와, 밴드 앵커 포인트(643, 644)가 각각의 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)와 각각의 아이들러 풀리(472, 474) 사이의 탄젠트를 형성하는 탄젠트 지점(TT1, TT2, TT11, TT12) 사이에 포함된 회전 각도(Q1, Q2, Q11, Q12)가 90도 이하이도록, 각각의 아이들러 풀리(472, 476) (및/또는 구동 풀리(470, 474)) 상의 각각의 밴드 앵커 포인트(643, 644)의 위치는 각각의 아이들러 풀리(472, 476)와 밴드 맞물림 아크(Bl, B2, Bll, B12)를 정의한다.
일 측면에서, 아이들러 풀리(472, 476), 및 아이들러 풀리(472, 476)가 세그멘티드 트랜스미션 루프(660, 661)에 의해 결합되는 각각의 엘보우 구동 풀리(470, 474)는 적어도 약 ± 90°회전하도록 그리고 어깨축(SX)으로부터 미리결정된 거리만큼 떨어져 배열된 미리결정된 기판 처리 스테이션/위치로부터 그리고 그로 기판을 픽킹하고 배치하도록 (그리고 빠르게 교체하도록) 아암(131)(도 2a)을 연장시키고 후퇴시키도록 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 충분한 회전을 제공하는 임의의 적합한 구동비를 가진다. 예를 들어, 아이들러 풀리(472, 476) 상의 밴드 앵커 포인트(643, 644) 위치는, 각각의 아이들러 풀리(472, 476)의 하나의 주변부(651, 652) 상의 아크(Bl, B2, Bll, B12)의 일 단부(EE1)에서 하나의 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)의 밴드 앵커 포인트(643, 644)가 각각의 아이들러 풀리(472, 476)의 또 다른 주변부(651, 652) 상의 반대편 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)의 밴드 앵커 포인트(643, 644)와 더 이상 일치하지 않도록, 아암(131) 연장 움직임을 위한 포어아암 링크(202)에 관련해 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 회전(즉, 아암(131)의 충분한 연장 및 후퇴를 위한 아이들러 풀리(472, 476) 회전을 실행하는 구동축 회전-예를 들어, 도 7a-7j 참조)의 각도가 아이들러 풀리(472, 476) 상에 적어도 하나의 아크(예를 들어, 아크(Bl, B2, Bll, B12))를 초래하기 위함이도록, 엘보우 구동 풀리(470, 474)와 각각의 아이들러 풀리(472, 476) 사이의 비율은 구성된다. 예를 들어, 도 5a에 도시된 바와 같이, 대향하는 밴드 세그먼트(661A, 661B)에 대한 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 실질적으로 하나가 다른 하나 위에 위치되고 대향하는 밴드 세그먼트(660A, 660B)의 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 실질적으로 하나가 다른 하나 위에 위치된다. 다른 측면에서, 하나의 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)의 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 임의의 적합한 양으로 각각의 반대편 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)의 밴드 앵커 포인트(643, 644)로부터 둘레를 따라 분리될 수 있다.
역시 도 5a에 도시될 수 있는 바와 같이, 각각의 엘보우 구동 풀리(470, 474)에 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)를 결합하는 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)의 밴드 앵커 포인트(645, 646)는 하나가 다른 하나 위에 위치된다. 그러한 바와 같이, (다른 측면에서 임의의 적합한 비율이 제공될 수 있음에도, 엘보우 구동 풀리(470, 474)와 각각의 아이들러 풀리(472, 476) 사이의 직경비가 약 1:1임을 언급함) 도 5a-5f에 도시된 예시에서, 엘보우 구동 풀리(470, 474)의 약 ± 90°회전이 각각의 아이들러 풀리(472, 476)의 약 ± 90°회전을 초래하도록(밴드 풀리 트랜스미션의 0°구성이 도 5a-도 5f에 도시되고, 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 엘보우 구동 풀리(470, 474)로부터 떨어져 실질적으로 직접 마주함을 언급함), 밴드 앵커 포인트(645, 646)는 엘보우 구동 풀리(470, 474) 상에 이격되고 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 아이들러 풀리(472, 476) 상에 이격되지만, 다른 측면에서, 엘보우 구동 풀리(470, 474) 대 아이들러 풀리(472, 476)의 구동비가 약 1:1보다 더 크고, 엘보우 구동 풀리(470, 474) 및/또는 아이들러 풀리(472, 476)의 둘레를 따른 밴드 앵커 포인트 사이의 상대 위치는 위에 기재된 것과 다를 수 있다.
아크(Bl, B2, Bll, B12)의 다른 단부(EE2) 상에, 밴드 앵커 포인트(643, 644)는, 밴드 맞물림 아크(Bl, B2, Bll, B12)의 단부(EE1)와, 탄젠트 포인트(TT1, TT2, TT11, TT12) 사이에 포함된 회전 각도(Q1, Q2, Q11, Q12)가 약 90°이하이도록(즉, 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)는 각각의 아이들러 풀리(472, 476)에 탄젠트이고, 각각의 아이들러 풀리(472, 476) 주위의 밴드 세그먼트(660A, 660B, 661A, 661B)의 어떠한 굽힘도 없이 순수한 장력상태에 있도록) 위치된다.
도 6a 및 도 6b를 참조하여, 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 풀리(470, 472) 및 트랜스미션 부재(493)의 제 3 세트에 대해 기재될 것이다(밴드 앵커 포인트(643)만이 도시되지만, 밴드 앵커 포인트(644)를 포함하는 다른 밴드 앵커 포인트는 밴드 앵커 포인트(643)에 대해 기재된 것과 실질적으로 유사함이 이해되어야만 한다). 밴드 앵커 포인트가 풀리(470, 472) 및 트랜스미션 부재(493)의 제 3 세트에 대해 기재되는 한편, 풀리(474, 476 480, 482, 484, 486, 488, 491)에 대해 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 실질적으로 유사함이 이해되어야만 한다. 밴드 앵커 포인트(643, 644)는 각각의 풀리(470, 472)에 각각의 밴드 세그먼트(661A, 661B)를 결합한다. 예를 들어, 일 측면에서, 각각의 밴드 앵커 포인트(643)는 핀(1062)이 장착되는 베이스(1084)를 포함한다. 각각의 밴드 세그먼트(661A, 661B)의 단부는 그를 통해 핀(1062)의 스포크(1080)가 돌출하는 홀을 포함한다. 유지 스프링 클립(1082), 또는 다른 적합한 리테이너가 스포크(1080)에 밴드 세그먼트(661A, 661B)를 고정하도록 스포크(1080)에 부착된다. 스포크(1080)는 밴드 세그먼트(661A, 661B)에 대한 부착 위치를 제공하도록 베이스(1084)로부터 돌출한다. 다른 측면에서, 스포크(1080)는 원주 에지 또는 풀리(472)의 측면으로부터 직접 돌출할 수 있다. 일 측면에서, 밴드 세그먼트(661A, 661B)가 스포크(1080) 둘레로 회전하기 자유롭도록, 밴드 세그먼트(661A, 661B)에 홀은 스포크(1080)보다 약간 더 크고, 유지 클립(1082)은 밴드 세그먼트(661A, 661B)를 타이트하게 홀딩하지 않는다. 일 측면에서, 베이스(1084)는 핀(1062)의 위치 조절을 제공하는 조절가능한 베이스이고, 그로써 밴드 세그먼트(661A, 661B)의 장력을 조절한다. 예를 들어, 스크류(1086)는 풀리(472)에서 임계 개구부로 통과하고 풀리(572)에 인접해 조임 웨지(1088)를 홀딩한다. 조임 웨지(1088)의 일면은 베이스(1084)의 사선면(1090)과 맞물린다. 밴드 세그먼트(661A, 661B)에서 장력을 증가시키기 위해, 스크류(1086)는 조여지고, 조임 웨지(1088)를 화살표(A) 방향으로 밀어 넣는다. 이는 웨지(1088)를 사선면(1090)에 대해 밀고, 그로써 화살표(B)의 방향으로 미끄러지도록 베이스(1084)를 강제한다. 역으로, 밴드 세그먼트(661A, 661B)에서 장력을 감소시키기 위해, 스크류(1086)는 느슨해진다. 다른 측면에서, 밴드 세그먼트(661A, 661B)는 임의의 적합한 방식으로 풀리(472)에 결합될 수 있다. 밴드 앵커 포인트의 적합한 예는 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기 병합된 1998년 7월 14일에 허여된 미국 특허 번호 제5,778,730호에서 발견될 수 있다.
트랜스미션 부재(490)의 제 1 세트, 트랜스미션 부재(492)의 제 2 세트, 트랜스미션 부재(494)의 제 4 세트, 어깨 구동 풀리(480, 484, 488), 및 엘보우 아이들러 풀리(482, 486, 491)는 아이들러 풀리(472, 476), 구동 풀리(470, 474), 및 세그멘티드 트랜스미션 루프(660, 661)에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하다(도 5a 및 5b 참조). 위에 언급된 바와 같이, 트랜스미션 부재(490)의 제 1 세트, 트랜스미션 부재(492)의 제 2 세트, 트랜스미션 부재(494)의 제 4 세트에 대한 밴드 앵커 포인트는 밴드 앵커 포인트(643)에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하다.
기판 이송 장치(130)가 듀얼 기판 홀더(203, 204)와 함께 위에 기재된 한편, 다른 측면에서, 기판 홀더는 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다. 예를 들어, 도 8, 도 9, 및 도 10을 참조하여, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)의 각각은 이에 지지되는 하나보다 많은 병치된 (예를 들어, 나란한) 기판 홀딩 스테이션의 하나보다 많은 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 갖고, 각기, 각각의 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)에 지지되는 하나보다 많은 대응되는 기판 홀딩 스테이션 사이의 실질적으로 강성인 비관절식 링크이다. 예를 들어, 기판 이송 장치(130)는 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 듀얼 팬 기판 홀더(203A, 204A)를 포함하지만; 그러나 이러한 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)은 (베이스 피치(BP)에 의해 분리된) 공통 평면에서 나란히 배치되는 한편, 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)은 다른 평면에 위치되고, (적층된 기판 처리 스테이션(150)의 적층된 홀딩 스테이션, 적층된 진공 부하 로크(102A, 102B, 102C, 102D), 또는 임의의 다른 적합한 적층된 기판 홀딩 위치 사이의 거리에 상응할 수 있는 임의의 적절한 높이(H10)에 의해 분리된 - 도 1c 참조) 하나가 다른 하나 위에 적층된다. 여기서, 기판 처리 스테이션에 대한 이송 챔버 개구부는 다른 평면/레벨에 있을 수 있고(도 1c 참조), 각각의 평면은 양 듀얼/더블 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 병치된 기판 홀딩 스테이션(203H1-204H1, 203H2-204H2)의 평면/레벨에 상응한다. 여전히 다른 측면에서, 도 11에 도시된 바와 같이, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)은 (베이스 피치(BP)에 의해 분리된) 공통 평면에 나란히 배치되는 한편, 기판 홀더(203A, 204A) 중 하나만이 듀얼 팬 기판 홀더로서 구성된다(본 예시에서, 기판 홀더(203A)는 듀얼 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2)을 포함하는 한편, 기판 홀더(204A)는 단일 기판 홀딩 스테이션(204H1)을 포함한다). 다시, 기판 홀더 평면(여기 언급된 바와 같이, 그리고 듀얼 사이디드 기판 홀더의 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 하나 이상의 평면을 형성하든 아니든)의 각각의 평면(499, 499A)(도 2d, 도 10, 및 도 11 참조)은 이송 개구부 평면의 소정 Z 위치에서 이송을 위한 공통 이송 챔버에서 이송 개구부의 적어도 하나의 평면(들)(도 1b 및 도 1c 참조)에 상응하고 그와 정렬되어서, 각각의 평면 상의 각기 각각의 개구부를 통한 기판 이송은 실질적으로, Z 축 움직임 없이, 즉, 기판 홀더(203, 204)의 일 단부에서 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 (각각의 평면에 대한) 기판 처리 스테이션으로의 연장 없이, 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 실행되고, 기판 처리 스테이션에서 기판(들)의 픽킹 및/또는 배치, 기판 처리 스테이션으로부터의 후퇴, 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 동일하거나 다른 단부에서 동일하거나 다른 듀얼 기판으로 서로 다른 기판 처리 스테이션으로의 연장은 Z 축 움직임으로부터 실질적으로 독립적인 기판의 빠른 교체를 (개입하는 Z 축 움직임으로부터 독립적으로 또는 기판 이송 사이에 개입하는 Z 축 움직임으로부터 결합해제되어) 실행한다. 도 8 및 도 9 및 도 10에 도시된 본 개시의 측면으로와 같은, 자동 웨이퍼 센터링은 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 사이의 베이스 피치(BP)를 변경(예를 들어, 증거되거나 감소될 수 있다)함으로써 실행된다. 구현될 수 있는 바와 같이, 기판 홀더(들)(203H2, 204H2)는 또한 기판 홀딩 스테이션(204H2)으로부터 독립적인 기판 홀딩 스테이션(203H2)에 대한 자동 웨이퍼 센터링 및/또는 기판 홀딩 스테이션(203H2)으로부터 독립적인 기판 홀딩 스테이션(204H2)에 대한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 손목축(WX) 둘레로 독립적으로 회전될 수 있다.
도 12 및 도 13을 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 일 측면에서, 세 개의 듀얼 팬 기판 홀더를 포함하는 것으로 도시된다. 예를 들어, 기판 이송 장치(130)는 기판 홀더(205)는 물론 기판 홀더(203, 204)(위에 기재된 바와 같음)를 포함한다. 기판 홀더(203, 204)는 서로에 대해 그리고 기판 홀더(205)에 대해 방향(1300, 1301)에서 손목축(WX) 둘레로 회전하도록 위에 기재된 방식으로 구동 섹션(220)에 의해 구동된다. 본 예시에서, 구동 섹션은 기판 홀더(203, 204)의 각각에 관련해 방향(1302)에서 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(205)를 독립적으로 회전시키도록 추가 구동축(예를 들어, 5 자유도 구동장치)을 포함하는 한편; 다른 측면에서, 기판 홀더(205)는 어깨축(SX)을 통과하는 반경방향 연장축과 정렬되어 남겨지도록 예를 들어, 상부 아암(201)과 같은 기판 이송 장치(130)의 임의의 적합한 부분에 슬레이브될 수 있다. 다시, 기판 홀더 평면(여기 언급된 바와 같이, 그리고 듀얼 사이디드 기판 홀더의 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 하나 이상의 평면을 형성하든 아니든)의 각각의 평면(499, 499A)(도 2d, 도 10, 및 도 11 참조)은 이송 개구부 평면의 소정 Z 위치에서 이송을 위한 공통 이송 챔버에서 이송 개구부의 적어도 하나의 평면(들)(도 1b 및 도 1c 참조)에 상응하고 그와 정렬되어서, 각각의 평면 상의 각기 각각의 개구부를 통한 기판 이송은 실질적으로, Z 축 움직임 없이, 즉, 기판 홀더(203, 204)의 일 단부에서 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 (각각의 평면에 대한) 기판 처리 스테이션으로의 연장 없이, 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 실행되고, 기판 처리 스테이션에서 기판(들)의 픽킹 및/또는 배치, 기판 처리 스테이션으로부터의 후퇴, 및 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 동일하거나 다른 단부에서 동일하거나 다른 듀얼 기판으로 서로 다른 기판 처리 스테이션으로의 연장은 Z 축 움직임으로부터 실질적으로 독립적인 기판의 빠른 교체를 (개입하는 Z 축 움직임으로부터 독립적으로 또는 기판 이송 사이에 개입하는 Z 축 움직임으로부터 결합해제되어) 실행한다. 본 예시에서, 나란한 기판 처리 스테이션(190-198 및 199A-199C)에 대해 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1, 205H1, 203H2, 204H2, 205H2) 중 임의의 하나 이상에 대한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록, 기판 홀더(203)와 기판 홀더(204) 사이의 베이스 피치(BP)가 증거되거나 감소될 수 있고, 기판 홀더(203)와 기판 홀더(205) 사이의 베이스 피치(BP)가 증가되거나 감소될 수 있고, 기판 홀더(204)와 기판 홀더(205) 사이의 베이스 피치(BP)가 증가되거나 감소될 수 있는 등과 같이, 자동 웨이퍼 센터링은 실행된다(도 12 참조). 다른 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(203H2-205H2 (또는 203H1-205H1))은 도 10에 도시된 것과 유사한 방식으로 하나가 다른 하나 위에 적층될 수 있다. 여전히 다른 측면에서, 기판 홀더(203-205) 중 하나 이상은 도 11에 도시된 것과 유사한 방식으로 단일 팬 기판 홀더일 수 있다.
여전히 다른 측면에서, 기판 이송 장치(130)는 단일 기판 스테이션, 나란히 배열된 임의의 적합한 개수의 기판 스테이션, 하나가 다른 하나 위에 적층으로 배열된 임의의 적합한 개수의 기판 스테이션 등으로 그로부터 기판을 이송하기 위한 임의의 적합한 구성을 갖는 기판 홀더일 수 있다. 나란한 기판 홀더 및 손목축(WX)의 반대편 측면 상의 다중 적층된 (또는 단일) 기판 홀더(들)의 조합이 트윈, 단일, 삼중 등(도 1a, 도 8 및 도 12 참조) 기판 스테이션 모듈의 조합이 이송 챔버(125)에 결합되는 것과 같이 채용될 수 있다. 예를 들어, 도 19를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 아암(131)에 회전가능하게 결합된 하나의 더블 (나란한) 기판 홀더(1900)를 포함한다. 이러한 측면에서, 아암(131) 및 기판 홀더(1900)는 3 축 구동 섹션(220A)(도 3a)에 의해 (예를 들어, 반경방향 및/또는 비반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동될 수 있고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(1900)를 회전시킨다 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(1900)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 3 축 구동 섹션(220A)(도 3a)에 결합될 수 있다. 여기서, 기판 홀더(1900)는 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 두 개의 나란한 기판 홀더 스테이션(1900H1, 1900H2)을 포함한다(즉, 그에 공통이다). 나란한 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2) 사이의 거리는 나란한 기판 처리 스테이션(190-197) 사이의 피치(D)와 실질적으로 동일할 수 있다(도 1a). 기판 홀더(1900)는 제 1 단부(1900E1), 제 2 단부(1900E2)를 가질 수 있고, 제 1 단부(1900E1)와 제 2 단부(1900E2) 사이의 실질적으로 강성인 비관절식 링크이다. 기판 홀더(1900)는 제 1 단부(1900E1)와 제 2 단부(1900E2) 사이인 위치에서 손목축(WX) 둘레로 포어아암(202)에 회전가능하게 결합된다. 위에 기재된 바와 같이, 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)은 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치된다. 기판 홀더(1900)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 경로 또는 반경방향 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220A)에 의해 연장될 수 있다.
도 20을 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 도 19에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 본 측면에서, 기판 이송 장치(130)는 손목축(WX) 둘레로 아암(131)에 회전가능하게 결합된 두 개의 기판 홀더(1900A 및 1900B)를 포함한다. 기판 홀더(1900A, 1900B)의 각각은 실질적으로 기판 홀더(1900)와 유사하다. 여기서, 아암(131) 및 기판 홀더(1900A, 1900B)는 예를 들어, 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 의해 (비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동될 수 있고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(1900A)를 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(1900B)를 회전시킨다. 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(1900A, 1900B)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 결합될 수 있다. 본 측면에서, 기판 홀더(1900A)는 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)을 포함하고 기판 홀더(1900B)는 기판 홀딩 스테이션(1900H3, 1900H4)을 포함한다. 위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2, 1900H3, 1900H4)은 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치된다. 기판 홀더(1900A, 1900B)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 경로 및/또는 반경방향 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220)에 의해 연장될 수 있다. 아암(131) 및/또는 기판 홀더(1900A, 1900B)는 또한 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 기판 홀더(1900A, 1900B) (및 그로써 픽킹되거나 배치된 기판)를 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
도 21을 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 도 19에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 본 측면에서, 기판 이송 장치(130)는 손목축(WX) 둘레로 아암(131)에 회전가능하게 결합된 두 개의 단일 사이디드 기판 홀더(2100A 및 2100B)를 포함한다. 기판 홀더(2100A, 2100B)의 각각은 손목축 둘레로 포어아암(202)에 결합된 각각의 제 1 단부(2100AE1, 2100BE1) 및 각각의 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)이 위치되는 각각의 제 2 단부(2100AE2, 2100Be2)를 가진다. 여기서, 아암(131) 및 기판 홀더(2100A, 2100B)는 예를 들어, 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 의해 (비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동될 수 있고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100A)를 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100B)를 회전시킨다. 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(2100A, 2100B)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 결합될 수 있다. 본 측면에서, 기판 홀더(2100A)는 기판 홀딩 스테이션(2100H1)을 포함하고 기판 홀더(2100B)는 기판 홀딩 스테이션(2100H2)을 포함한다. 위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)은 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치된다.
기판 홀더(2100A, 2100B)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220)에 의해 연장될 수 있다. 손목축(WX) 주위의 기판 홀더(2100A, 2100B)의 독립적 회전이 피치(D)에서 변화를 수용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션(190-197)에 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 베이스 피치(BP)를 변경(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 사이의 거리가 도 2b 및 도 2c에 도시된 것과 유사한 방식으로 증가되거나 감소될 수 있다)함으로써 자동 웨이퍼 센터링을 제공함이 언급된다(도 1a 참조).
도 22를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 아암(131)에 회전가능하게 결합된 기판 홀더(2200)를 포함한다. 이러한 측면에서, 아암(131) 및 기판 홀더(2200)는 3 축 구동 섹션(220A)(도 3a)에 의해 (예를 들어, 반경방향 및/또는 비반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동될 수 있고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2200)를 회전시킨다. 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(2200)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 3 축 구동 섹션(220A)(도 3a)에 결합될 수 있다. 여기서, 기판 홀더(2200)는 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한, 두 개의 나란한 기판 홀드 스테이션(2200H1, 2200H2) 및 하나의 반대편 기판 홀딩 스테이션(2200H3)을 포함하고(즉, 그에 공통이고), 기판 홀더(2200)는 기판 홀딩 스테이션들(2200H1, 2200H2, 2200H3) 사이의 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다. 두 개의 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 사이의 거리는 나란한 기판 처리 스테이션(190-197) 사이의 피치(D)와 실질적으로 동일할 수 있다(도 1a).
나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)은 나란한 기판 처리 스테이션(190-197)(도 1)으로부터 그리고 그로 기판(S)의 실질적으로 동시 픽킹 및 배치를 제공하는 한편, 반대편 기판 홀딩 스테이션(2200H3)은 도 8 및 도 9에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 (나란한 기판 처리 스테이션(190-197)(도 1a) 또는 기판 처리 스테이션(150S)(도 8) 중 하나일 수 있는) 단일 기판 처리 스테이션에 단일 기판의 픽킹 및 배치를 제공한다. 기판 홀더(2200)는 기판 홀딩 스테이션(2200H1, 2200H2, 2200H3) 사이인 위치에서 손목축(WX) 둘레로 포어아암(202)에 회전가능하게 결합된다. 일 측면에서, 세 개의 기판 홀딩 스테이션(2200H1, 2200H2, 2200H3)은 도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 공통 평면(499)에 배치되는 한편; 다른 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(2200H1, 2200H2, 2200H3) 중 하나 이상은 다른 적층 평면에 배치될 수 있다. 기판 홀더(2200)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈(150)로 나란한 기판 홀딩 스테이션(2200H1, 2200H2)으로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록, 또는 기판 홀딩 스테이션(2200H3)으로 기판 스테이션 모듈(150, 150S)로 그리고 그로부터 기판을 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록, 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220A)에 의해 연장될 수 있다. 일 측면에 따라서, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(2200H1, 2200H2)에 의해 픽킹되고, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(2200H1, 2200H2)에 의해 픽킹되었던 위치 중 하나에서 기판이 반대편 기판 홀딩 스테이션(2200H3)에 의해 위치되는 바와 같이, 아암(131) 및/또는 엔드 이펙터(2200)는 또한 반대편 기판 홀딩 스테이션(2200H3) 및 나란한 기판 홀딩 스테이션(2200H1, 2200H2) 중 하나를 사용하여 기판을 (여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로) 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
도 23를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 아암(131)에 회전가능하게 결합된 기판 홀더(1900, 2300)를 포함한다. 이러한 측면에서, 아암(131) 및 기판 홀더(1900, 2300)는 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 의해 (예를 들어, 반경방향 및/또는 비반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동될 수 있고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(1900)를 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2300)를 회전시킨다. 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(1900, 2300)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 결합될 수 있다. 여기서, 기판 홀더(1900)는 위에 기재된 바와 같이 두 개의 나란한 기판 홀드 스테이션(1900H1, 1900H2)을 포함한다. 기판 홀더(2300)는 단일 기판 홀딩 스테이션(2300H1)을 갖는 반대편 기판 홀더이다(즉, 도 8, 도 9 및 도 22에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 기판 홀더(1900)에 대향한다). 기판 홀딩 스테이션(2300H1)은 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하다. 기판 홀더(2300)는 손목축(WX)에서 포어아암(202)에 결합된 제 1 (또는 근접한) 단부 및 기판 홀딩 스테이션(2300H1)이 배치되는 반대편 단부 (또는 말단부)를 가진다. 기판 홀더(2300)는 근접 단부와 말단부 사이의 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다. 위에 기재된 바와 ƒˆ이, 두 개의 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 사이의 거리는 나란한 기판 처리 스테이션(190-197) 사이의 피치(D)와 실질적으로 동일할 수 있다(도 1a).
위에 언급된 바와 같이, 나란한 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)은 나란한 기판 처리 스테이션(190-197)(도 1)으로부터 그리고 그로 기판(S)의 실질적으로 동시 픽킹 및 배치를 제공하는 한편, 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1)은 도 8 및 도 9에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 (나란한 기판 처리 스테이션(190-197)(도 1a) 또는 기판 처리 스테이션(150S)(도 8) 중 하나일 수 있는) 단일 기판 처리 스테이션에 단일 기판의 픽킹 및 배치를 제공한다.
기판 홀더(2300)의 독립적인 회전은 픽킹/배치 동작 동안 기판 홀딩 스테이션(2300H1)에 의해 홀딩되는 기판의 (여기 기재된 바와 같은) 자동 웨이퍼 센터링을 제공한다. 기판 홀더(1900, 2300)의 독립적인 회전은 또한 이송 챔버(125A)의 (예를 들어, 내부 측벽(125W)의) 형상에 기판 이송 장치(130)의 기판 홀더 일치를 제공할 수 있다. 예를 들어, 또한 도 23a를 참조하여, 단일 기판 홀더(2300)가 기판 처리 스테이션(150)으로 연장하도록 아암 연장 움직임으로 회전되는 한편, 기판 홀더(1900)가 기판 홀더(1900)와 이송 챔버(125A)의 벽(125W) 사이의 간격을 유지하기 위해 회전되도록, 기판 홀더(1900, 2300)는 구동 섹션(220)에 의해 회전될 수 있다. 6 사이디드 이송 챔버(125A)가 도 23a에 도시되는 한편, 다른 측면에서, 이송 챔버는 임의의 적절한 개수의 측면을 가질 수 있고, 기판 홀더(1900, 2300)는 임의의 적절한 방식으로 이송 챔버의 벽의 형상에 일치하도록 구동 섹션에 의해 회전될 수 있다.
일 측면에서, 세 개의 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2, 2300H1)은 도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 공통 평면(499)에 배치되는 한편; 다른 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2, 2300H1) 중 하나 이상은 다른 적층 평면에 배치될 수 있다. 기판 홀더(1900, 2300)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈(150)로 나란한 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)으로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록, 또는 기판 홀딩 스테이션(2300H1)으로 기판 스테이션 모듈(150, 150S)로 그리고 그로부터 기판을 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록, 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220)에 의해 연장될 수 있다. 일 측면에 따라서, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)에 의해 픽킹되고, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)에 의해 픽킹되었던 위치 중 하나에서 기판이 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1)에 의해 위치되는 바와 같이, 아암(131) 및/또는 엔드 이펙터(2200)는 또한 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1) 및 나란한 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2) 중 하나를 사용하여 기판을 (여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로) 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
도 24를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 도 2a-2d에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 본 측면에서 기판 홀더(2403, 2404)는 “S”형상 구성을 갖고 서로 교차한다. 예를 들어, 기판 홀더(2403)는 실질적으로 “S”형상 기판 홀더를 형성하도록, 제 1 부분(2403A), 제 1 부분(2403A)의 종방향축에 실질적으로 직교하여 배치된 종방향축을 갖는 제 2 부분(2403B), 및 제 1 부분(2403A)의 종방향축과 실질적으로 평행하게 배치된 종방향축을 갖는 제 3 부분을 가진다. 제 1 부분의 말단부는 기판 홀더(2403)의 제 1 부분(2403E1)을 형성하고, 제 3 부분(2403C)의 말단부는 기판 홀더(2403)의 제 2 단부(2403E2)를 형성한다. 제 2 부분(2403B)은 손목축(WX) 둘레로 포어아암(202)에 결합되고, 기판 홀더(2403)는 제 1 단부(2403E1)와 제 2 단부(2403E2) 사이의 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다. 기판 홀더(2404)의 구성은 기판 홀더(2403)와 실질적으로 유사하지만 상황에서, 그에 대향한다.
여기서, 아암(131) 및 기판 홀더(2403, 2404)는 예를 들어, 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 의해 (비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동될 수 있고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2403)를 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2404)를 회전시킨다. 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(2100A, 2100B)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 4 축 구동 섹션(220)(도 3)에 결합될 수 있다. 본 측면에서, 기판 홀더(2403)는 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2403H2)을 포함하고 기판 홀더(2404)는 기판 홀딩 스테이션(2404H1, 2404H2)을 포함한다. 위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2403H2, 2404H1, 2404H2)은 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치된다. 기판 홀더(2403H1, 2403H2, 2404H1, 2404H2)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 경로 및/또는 반경방향 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220)에 의해 연장될 수 있다. 손목축(WX) 주위의 기판 홀더(2403, 2404)의 독립적 회전이 피치(D)에서 변화를 수용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션( 190-197)에 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 베이스 피치(BP)를 변경(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 사이의 거리가 도 2b 및 도 2c에 도시된 것과 유사한 방식으로 증가되거나 감소될 수 있다)함으로써 자동 웨이퍼 센터링을 제공함이 언급된다(도 1a 참조). 일 측면에서, 아암(131) 및/또는 엔드 이펙터(2403, 2404)는 또한 도 7a-7l에 대해 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 (여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로) 기판을 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
도 25를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 도 21에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 본 측면에서, 기판 이송 장치는 또한 도 23에 대해 위에 기재된 것과 유사한 반대편 기판 홀더(2300)를 포함한다. 여기서, 아암(131) 및 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300)는 예를 들어, 5 축 구동 섹션(220C)(도 3c)에 의해 (비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동되고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100A)를 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100B)를 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2300)를 회전시킨다. 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 5 축 구동 섹션(220C)(도 3c)에 결합될 수 있다. 본 측면에서, 기판 홀더(2100A)는 기판 홀딩 스테이션(2100H1)을 포함하고, 기판 홀더(2100B)는 기판 홀딩 스테이션(2100H2)을 포함하고, 기판 홀더(2300)는 기판 홀딩 스테이션(2300H1)을 포함한다. 위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2, 2300H1)은 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치된다. 기판 홀더(2100H1, 2100H2, 2300H1)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220C)에 의해 연장될 수 있다.
손목축(WX) 주위의 기판 홀더(2100H1, 2100H2)의 독립적 회전이 피치(D)에서 변화를 수용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션(190-197)에 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 베이스 피치(BP)를 변경(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 사이의 거리가 도 2b 및 도 2c에 도시된 것과 유사한 방식으로 증가되거나 감소될 수 있다)함으로써 나란한 기판 스테이션 모듈(150)에서 기판(S)의 픽킹/배치를 위한 자동 웨이퍼 센터링을 제공함이 언급된다(도 1a 참조). 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1)은 도 8 및 도 9에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 (나란한 기판 처리 스테이션(190-197)(도 1a) 또는 기판 처리 스테이션(150S)(도 8) 중 하나일 수 있는) 단일 기판 처리 스테이션에 단일 기판의 픽킹 및 배치를 제공함이 더 언급된다. 기판 홀더(2300)의 독립적인 회전은 픽킹/배치 동작 동안 기판 홀딩 스테이션(2300H1)에 의해 홀딩되는 기판의 (여기 기재된 바와 같은) 추가 자동 웨이퍼 센터링을 제공한다. 일 측면에서, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)에 의해 픽킹되고, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)에 의해 픽킹되었던 위치 중 하나에서 기판이 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1)에 의해 위치되는 바와 같이, 아암(131) 및/또는 엔드 이펙터(2100A, 2100B, 2300)는 또한 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1) 및 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 중 하나를 사용하여 기판을 (여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로) 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
일 측면에서, 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300)의 독립적인 회전은 또한 도 23a에 대해 위에 기대된 것과 유사한 방식으로 이송 챔버(125A)의 (예를 들어, 내부 벽(125W)의) 형상에 기판 이송 장치(130)의 기판 홀더 일치를 제공할 수 있다.
그러나, 일 측면에서, 기판 홀더(2100A, 2100B) 중 하나 이상은 각각의 기판 홀더(2100A, 2100B)와 이송 챔버(125A)의 벽(125W) 사이에 간격을 유지하도록 구동 섹션(220C)에 의해 회전될 수 있다.
도 26a, 도 26b, 도 26c, 및 도 26d를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 도 24에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 본 측면에서, 기판 홀더(2403, 2404) (및 각각의 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1, 2403H2, 3404H2))가 서로 통과하도록, 기판 홀더(2403, 2404) 중 적어도 하나는 Z 방향으로 이동가능하다. 예를 들어, (Z 구동장치(312)에 더하거나 그 대신에 - 도 3-도 3c 참조) 손목 Z 구동장치(2660)는 포어아암(202)에 제공되거나 그에 결합된다. 손목 Z 구동장치(2660)는 기판 홀더(2403, 2404) 중 다른 하나에 관련하여 Z 방향으로 기판 홀더(2403, 2404) 중 하나 이상을 이동하도록 구성된다. 도 26c에 도시된 예시에서, 손목 Z 구동장치(2660)는 기판 홀더(2404) 및 포어아암(202)에 관련해 Z 방향으로 기판 홀더(2403)를 이동시키도록 구성되지만; 다른 측면에서, 양 기판 홀더는 포어아암(202) 및/또는 서로에 관련해 Z 방향에서 이동가능할 수 있다. 손목 Z 구동장치(2660)는 선형 액추에이터, 잭 스크류, 및 자기 부상 리프트 중 하나 이상을 포함하지만 그로 한정되지 않는 Z 움직임을 실행하기 위한 임의의 적합한 구성을 가질 수 있다. 본 측면에서, 풀리(476)는 샤프트(476S)에 결합되고, 샤프트(476S)는 외부 샤프트 부분(476B) 및 내부 샤프트 부분(476A)을 포함한다. 내부 샤프트 부분(476A)이 Z 방향에서 외부 샤프트 부분(476B)에 관련해 이동가능한 한편, 유닛으로서 외부 샤프트 부분(476B)과 회전하도록, 내부 샤프트 부분(476A) 및 외부 샤프트 부분(476B)은 구성된다. 예를 들어, 내부 샤프트 부분(476B)은 내부 스플라인을 포함하고, 외부 샤프트 부분(476A)은 내부 스플라인과 정합하도록 구성된 외부 스플라인을 포함한다. 손목 Z 구동장치(2660) 및 샤프트(276S)의 예시적인 구성이 제공되는 한편, 다른 측면에서, 손목 Z 구동장치(2660) 및 샤프트(276S)는 기판 홀더(2403)의 Z 축 움직임을 실행하도록 임의의 적절한 구성을 가질 수 있다.
위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2403H2, 2404H1, 2404H2)은 나란한 기판 스테이션 모듈(150)로 기판을 픽킹하고/배치기 위한 도 26c에 도시된 바와 같은 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치되도록, 손목 Z 구동장치(2660)는 기판 홀더(2403)를 들어올리고 내리도록 구성된다. 위에 언급된 바와 같이, 기판 홀더(2403H1, 2403H2, 2404H1, 2404H2)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 경로 및/또는 반경방향 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220)에 의해 연장될 수 있다. 손목축(WX) 주위의 기판 홀더(2403, 2404)의 독립적 회전이 피치(D)에서 변화를 수용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션( 190-197)에 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 베이스 피치(BP)를 변경(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 사이의 거리가 도 2b 및 도 2c에 도시된 것과 유사한 방식으로 증가되거나 감소될 수 있다)함으로써 자동 웨이퍼 센터링을 제공함이 언급된다(도 1a 참조). 일 측면에서, 아암(131) 및/또는 엔드 이펙터(2403, 2404)는 또한 도 7a-7l에 대해 위에 기재된 바와 유사한 방식으로 (여기 기재된 바와 실질적으로 유사한 방식으로) 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
도 26d에 도시될 수 있는 바와 같이 기판 홀더(24033)의 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2403H3)이 기판 홀더(2404)의 기판 홀딩 스테이션(2404H1, 2404H2)과는 다른 평면에 배치되도록, 손목 Z 구동장치(2660)는 또한 기판 홀더(2403)를 들어올리고 내리도록 구성된다. 여기서, 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2403H2)은 평면(499A)에 배치되는 한편, 기판 홀딩 스테이션(2404H1, 2404H2)은 평면(499)에 배치된다. 평면(499, 499A)은 위에 기재된 거리 또는 높이(H10)에 의해 분리될 수 있다. 다른 평면(499, 499A)에 위치된 기판 홀더(2403, 2404)로, 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1 (또는 (2403H2, 2404H2))의 각각에 의해 홀딩된 기판(S)의 중심(C)이 도 26b에 도시된 바와 같이 Z 방향을 따라 서로 실질적으로 일치하도록, 기판 홀더(2403, 2404)는 서로에 대해 손목축(WX) 둘레로 회전될 수 있다.
또한 도 1c를 참조하여, 기판 홀더(2403, 2404)는 손목축 둘레로 독립적으로 회전될 수 있고, 기판 홀더(2403, 2404) 중 하나 이상은 다양한 적층 그리고/또는 나란한 기판 홀딩 위치로부터 기판을 픽킹하는 것을 실행하도록 손목 Z 구동장치(2660)에 의해 Z 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 일 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1)(또는 (2403H2, 2404H2)은 나란한 부하 로크(102A, 102B) 또는 나란한 부하 로크(102C, 102D) (또는 다른 기판 홀딩 위치)로부터 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고/배치하기 위한 것과 같이 공통 평면을 따라 배치된다. 일 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1)(또는 (2403H2, 2404H2))은 적층 부하 로크(102A, 102C)로부터 또는 적층 부하 로크(102B, 102D)(또는 다른 기판 홀딩 위치)로부터 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고/배치하기 위한 것과 같이 하나가 적층 평면에서 (위에 기재된 바와 같이 도 26b 참조) 다른 하나 위에 배치된다. 여전히 다른 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1 (또는 (2403H2, 2404H2))은 적층되고 수평으로 상쇄된 부하 로크(102A, 102D) (또는 다른 기판 홀딩 위치)로부터 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고/배치하기 위한 것과 같이, 다른 평면에 배치되고 수평으로 상쇄된다.
도 27a, 도 27b, 도 27c를 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 도 25에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 본 측면에서, 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300)(및 각각의 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2, 2300H1))가 서로 통과하도록, 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300) 중 적어도 하나는 Z 방향으로 이동가능하다. 예를 들어, (Z 구동장치(312)에 더하거나 그 대신에 - 도 3-3c 참조) 손목 Z 구동장치(2660)가 포어아암(202)에 제공되거나 그에 결합된다. 손목 Z 구동장치(2660)는 다른 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300)에 관련하여 Z 방향으로 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300) 중 하나 이상을 이동하도록 구성된다. 도 27c에 도시된 예시에서, 손목 Z 구동장치(2660)는 기판 홀더(2100A, 2300) 및 포어아암(202)에 관련해 Z 방향으로 기판 홀더(2100B)를 이동시키도록 구성되지만; 다른 측면에서, 양 기판 홀더(2100A, 2100B) 또는 세 개의 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300) 모두는 포어아암(202) 및/또는 서로에 대해 Z 방향으로 이동가능할 수 있다. 풀리(2770), 샤프트(2770S), 및 트랜스미션 부재(2791)는 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100A)의 회전을 구동하도록 도시되고, 풀리(2770)는 도 4에 도시되고 위에 기재된 것과 유사한 트랜스미션을 통해 구동 섹션(220C)에 결합됨이 언급된다.
위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2, 2300H1)이 도 8, 도 9, 및 도 25에 대해 위에 기재된 바와 같이 기판을 픽킹하고/배치하도록 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치되도록, 손목 Z 구동장치(2660)는 기판 홀더(2100B)를 들어올리고 내리도록 구성된다. 도 26d에 도시될 수 있는 바와 같이, 기판 홀더(2100B)의 기판 홀딩 스테이션(2100H2)이 기판 홀더(2100A, 2300)의 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2300H1)과는 다른 평면에 배치되도록, 손목 Z 구동장치(2660)는 또한 기판 홀더(2100B)를 들어올리고 내리도록 구성된다. 여기서, 기판 홀딩 스테이션(2100H2)은 평면(499A)에 배치되는 한편, 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2300H1)은 평면(499)에 배치된다. 평면(499, 499A)은 위에 기재된 거리 또는 높이(H10)에 의해 분리될 수 있다. 다른 평면(499, 499A)에 위치된 기판 홀더(2100A, 2100B)로, 기판 홀딩 스테이션(21000H1, 2100H2)의 각각에 의해 홀딩된 기판(S)의 중심(C)이 도 27b에 도시된 바와 같이 Z 방향을 따라 서로 실질적으로 일치하도록, 기판 홀더(2100A, 2100B)는 서로에 대해 손목축(WX) 둘레로 회전될 수 있다.
위에 언급된 바와 같이, 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220)에 의해 연장될 수 있다. 손목축(WX) 주위의 기판 홀더(2100A, 2100B)의 독립적 회전이 피치(D)에서 변화를 수용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션( 190-197)에 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 베이스 피치(BP)를 변경(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 사이의 거리가 도 2b 및 도 2c에 도시된 것과 유사한 방식으로 증가되거나 감소될 수 있다)함으로써 자동 웨이퍼 센터링을 제공함이 언급된다(도 1a 참조). 위에 기재된 바와 같이, 기판 홀더(2300)의 독립적인 회전은 또한 픽킹/배치 동작 동안 기판 홀딩 스테이션(2300H1)에 의해 홀딩되는 기판의 자동 웨이퍼 센터링을 제공한다. 또한, 위에 기재된 바와 같이, 일 측면에서, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)에 의해 픽킹되고, 기판이 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)에 의해 픽킹되었던 위치 중 하나에서 기판이 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1)에 의해 배치되는 바와 같이, 아암(131) 및/또는 엔드 이펙터(2200)는 또한 반대편 기판 홀딩 스테이션(2300H1) 및 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2) 중 하나를 사용하여 기판을 (여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로) 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
또한 도 1c를 참조하여, 기판 홀더(2100A, 2100B)는 손목축 둘레로 독립적으로 회전될 수 있고, 기판 홀더(2100A, 2100B) 중 하나 이상은 다양한 적층 그리고/또는 나란한 기판 홀딩 위치로부터 기판을 픽킹하는 것을 실행하도록 손목 Z 구동장치(2660)에 의해 Z 방향으로 이동될 수 있다. 예를 들어, 일 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)은 나란한 부하 로크(102A, 102B) 또는 나란한 부하 로크(102C, 102D) (또는 다른 기판 홀딩 위치)로부터 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고/배치하기 위한 것과 같이 공통 평면을 따라 배치된다. 일 측면에서, 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 21002)은 적층 부하 로크(102A, 102C)로부터 또는 적층 부하 로크(102B, 102D)(또는 다른 기판 홀딩 위치)로부터 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고/배치하기 위한 것과 같이 적층 평면에서 (위에 기재된 바와 같은 도 27b, 도 27c 참조) 하나가 다른 하나 위에 배치된다.
손목 Z 구동장치(2660)는 도 26a-도 26d 및 도 27a-도 27c를 참조하여 도시되고 기재되고, 다른 측면에서, 손목 Z 구동장치는 여기 기재된 아암 구성 중 어느 하나에 병합될 수 있고, 여기 기재된 바와 같이 기판이 공통 평면에서 나란한 기판 스테이션 모듈(150)로 이송될 수 있거나 적층 평면에서 적층 기판 스테이션 모듈(150)(도 1c 참조)에 이송될 수 있도록, 도 26c, 도 26d, 및 도 27c에 도시된 것과 실질적으로 유사한 방식으로, 하나보다 많은 기판이 채용됨이 이해되어야만 한다.
일 측면에서, 도 23 및 도 25에 대해 위에 기재된 것과 유사하게, 기판 홀더(2100A, 2100B, 2300)의 독립적인 회전은 또한 도 23a에 대해 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 이송 챔버(125A)의 (예를 들어, 내부 벽(125W)의) 형상에 기판 이송 장치(130)의 기판 홀더 일치를 제공할 수 있다. 그러나, 본 측면에서, 기판 홀더(2100A, 2100B) 중 하나 이상은 각각의 기판 홀더(2100A, 2100B)와 이송 챔버(125A)의 벽(125W) 사이에 간격을 유지하도록 구동 섹션(220C)에 의해 회전될 수 있다. 예를 들어, 또한 도 23, 도 23a, 및 도 25는 물론 도 29를 참조하여, 기판 홀더(1900)의 기판 홀딩 스테이션(또는 기판 홀더(2100A, 2100B))이 기판 처리 스테이션(2333A, 2333B) 중 각각의 하나로부터 기판을 픽킹하고/배치하도록 정렬되도록, 기판 이송 장치(130)는 도 23a에 도시된 바와 같이 위치될 수 있다. 이송 아암(131)은 연장된다 (도 29, 블록 (2900)). (독립적으로 회전가능하게 기판 홀더(2100A, 2100B)로와 같이) 일 측면에서, 기판 홀더(2100A, 2100B)의 기판 홀딩 스테이션이 픽킹될 기판 아래에 중심화되거나, 위치될 기판이 기판 처리 스테이션(2333A, 2333B)에 중심되도록, 독립적인 자동 웨이퍼 센터링이 여기 기재된 것과 유사한 방식으로 제공된다(도 29, 블록(2910)). 기판은 기판 처리 스테이션(2333A, 2333B)으로부터 또는 그로 기판 홀더(1900) (또는 기판 홀더(2100A, 2100B))에 의해 동시에 픽킹되거나 배치된다(도 29, 블록 (2920)). 기판 이송 아암(131)은 후퇴되고 기판 이송 아암(131) 및/또는 기판 홀더(1900) (또는 (2100A, 2100B)) 및 기판 홀더(2300)는 예를 들어, 기판 처리 스테이션(2333B)과 (단일) 기판 홀더(2300)를 정렬하도록 회전된다(도 29, 블록 (2930)). 이송 아암(131)은 연장되고(도 29, 블록 (2940)), 자동 웨이퍼 센터링이 기판 홀더(2300)로 기판을 픽킹하거나 배치하도록 제공될 수 있다(도 29, 블록 (2950)). 도 23a에 도시될 수 있는 바와 같이, 단일 기판 홀더(2300)를 기판 처리 스테이션(2333B)으로 연장하도록, 기판 홀더(1900)(또는 기판 홀더(2100A, 2100B) 중 하나 이상)(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션)가 기판 홀딩 스테이션(2333B)으로 기판 홀더(2300)의 연장을 실행하도록 기판 홀더(1900)(또는 기판 홀더(2100A, 2100B) 중 하나 이상)와 이송 챔버(125)의 내부 측벽(125W) 사이에 간격을 제공하도록 회전된다(도 29, 블록(2960)). 위에 언급된 간격을 제공하도록 회전된 기판 홀더(1900)(기판 홀더(2100A, 2100B) 중 하나 이상)로, 기판은 단일 기판 홀더(2300)로 기판 처리 스테이션(2333B)으로부터 또는 그로 픽킹되거나 배치된다. (도 29, 블록(2970)).
도 28을 참조하여, 기판 이송 장치(130)는 도 21에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 본 측면에서, 기판 이송 장치(130)는 기판 홀더(2100A, 2100B)에 대해 대향하는 관계에서 손목축(WX) 둘레로 아암(131)에 회전가능하게 결합된 두 개의 대향하는 단일 사이디드 기판 홀더(2100C 및 2100D)를 포함한다. 기판 홀더(2100C, 2100D)는 기판 홀더(2100A, 2100B)와 실질적으로 유사하고 각각의 기판 홀딩 스테이션(2100H3, 2100H4)을 포함한다. 여기서, 아암(131) 및 기판 홀더(2100A, 2100B, 2100C, 2100D)는 예를 들어, 6 축 구동 섹션(220B)(도 3b)에 의해 (비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라) 회전 및/또는 연장에서 구동되고, 하나의 구동축은 어깨축(SX) 둘레로 상부 아암(201)을 회전시키고, 하나의 구동축은 엘보우축(EX) 둘레로 포어아암(201)을 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100A)를 회전시키고, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100B)를 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100C)를 회전시키며, 하나의 구동축은 손목축(WX) 둘레로 기판 홀더(2100D)를 회전시킨다. 상부 아암(201), 포어아암(202), 및 기판 홀더(2100A, 2100C, 2100B, 2100D)의 각각은 도 4에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 밴드 및 풀리 트랜스미션에 의한 것과 같이 임의의 적절한 트랜스미션에 의해 6 축 구동 섹션(220B)(도 3b)에 결합될 수 있다. 본 측면에서, 기판 홀더(2100A)는 기판 홀딩 스테이션(2100H1)을 포함하고, 기판 홀더(2100B)는 기판 홀딩 스테이션(2100H2)을 포함하고, 기판 홀더(2100C)는 기판 홀더(2100H3)를 포함하고,기판 홀더(2100D)는 기판 홀더(2100H4)를 포함한다. 위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2, 2100H3, 2100H4)은 (도 2d, 도 10, 및 도 11에 대해 위에 기재된 바와 같이 평면(499)과 실질적으로 유사한) 공통 평면 상에 배치되는 한편; 다른 측면에서, 기판 홀딩 스테이션 중 하나 이상은 위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 손목 Z 구동장치에 의해 Z 방향으로 이동가능할 수 있다.
기판 홀더(2100A, 2100B, 2100C, 2100D)는 공통 평면(499)을 따라 나란한 기판 스테이션 모듈로 기판을 실질적으로 동시에 픽킹하고 그리고/또는 배치하도록 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 비반경방향 선형 경로 및/또는 반경방향 선형 경로를 따라 이송 아암(131) 및 구동 섹션(220B)에 의해 연장될 수 있다. 손목축(WX) 주위의 기판 홀더(2100A, 2100B) 및/또는 기판 홀더(2100C, 2100D)의 독립적 회전이 피치(D)에서 변화를 수용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션(190-197)에 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 베이스 피치(BP)를 변경(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2, 또는 2100H3, 2100H4) 사이의 거리가 도 2b 및 도 2c에 도시된 것과 유사한 방식으로 증가되거나 감소될 수 있다)함으로써 자동 웨이퍼 센터링을 제공함이 언급된다(도 1a 참조). 일 측면에서, 아암(131) 및/또는 엔드 이펙터(2403, 2404)는 또한 도 7a-7l에 대해 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 (여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로) 기판을 빠르게 교체하도록 회전에서 구동될 수 있다.
도 19, 도 20, 도 22, 및 도 23을 참조하여, 일 측면에서, 하나보다 많은 병치된 (예를 들어, 나란한) 기판 홀딩 스테이션은 하나보다 많은 병치된 기판 홀딩 스테이션 사이의 실질적으로 강성의 비관절식 링크인 공통 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)에 지지된다.
도 2a-도 2d, 도 8-도 9, 도 20, 도 21, 도 23, 도 24, 도 25, 도 26a-도 26d, 도 27a-도 27c, 및 도 28을 참조하여, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)는 공통 회전축(예를 들어, 손목축(WX)) 둘레로 포어아암(202)에 관련해 회전하도록 포어아암(202)의 말단부(202E2)에 연결된 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)를 포함하고, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)의 각각은 이에 지지되는 하나보다 많은 병치된 (예를 들어, 나란한) 기판 홀딩 스테이션의 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 가진다.
도 2a-2d, 도 8, 도 9, 도 21, 도 24, 도 25, 도 26a-도 26d, 도 27a-도 27c, 및 도 28을 참조하여, 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크(예를 들어, 기판 홀더)는 공통 회전축(예를 들어, 손목축(WX)) 둘레로 포어아암(202)에 관련해 회전하도록 포어아암(202)의 말단부(202E2)에 연결된 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크를 포함하고, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크의 각각은 각기 공통 회전축 둘레로 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크의 또 하나로부터 독립적으로 회전하고, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크의 각기 각각의 하나는 이에 지지되는 하나보다 많은 병치된 (예를 들어, 나란한) 기판 홀딩 스테이션의 적어도 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션을 갖도록, 구동 섹션(220, 220A, 220B, 220C)은 구성된다.
도 23, 도 23a, 도 25, 및 도 27a-도 27c을 참조하여, 일 측면에서, 적어도 하나의 기판 홀더(1900, 2100A, 2100B, 2300)가 손목 조인트/축(WX)에서 공통 회전축 둘레로 포어아암(202)에 관련해 회전하도록, 다중-링크 아암(131)은 포어아암(202)의 단부에서 조인트(예를 들어, 손목 조인트/축(WX))에 회전가능하게 연결된 적어도 하나의 기판 홀더(예를 들어, 엔드 이펙터 링크)(1900, 2100A, 2100B, 2300)를 가진다. 적어도 하나의 기판 홀더(1900, 2100A, 2100B, 2300)는, 이에 지지되며, 서로에 대해 공통 평면(예를 들어, 평면(499) - 예를 들어, 도 2d 및 도 4 참조) 상에 배치되고, 회전 손목축(WX) 둘레로 적어도 하나의 기판 홀더(1900, 2100A, 2100B, 2300)의 회전이 손목축(WX) 둘레로 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2, 2100H1, 2100H2, 2300H1)의 각각을 회전시키도록 구성된, 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2, 2100H1, 2100H2, 2300H1)을 가진다. 여기서, 구동 섹션(220, 220C)은 어깨축(SX)(고정된 위치)에 관련해 반경방향 또는 비반경방향 선형 경로를 따라 다중-링크 아암(131)을 적어도 연장시키고 후퇴시키도록 구성되고, 그래서 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션의 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2 또는 2100H1, 2100H2)은 각기 아암(131)의 연장 및 후퇴로 반경방향 또는 비반경방향 경로를 따라 선형으로 이동하고, 공통 레벨 상의 하나보다 많은 병치된 기판 이송 개구부들 중 분리된 대응되는 개구부(예를 들어, 도 1b 및 도 1c 참조)를 실질적으로 동시에 통과하고, 그리고 그래서 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2 또는 2100H1, 2100H2)의 각각과 다른 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(2300H1)의 적어도 또 하나는 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2 또는 2100H1, 2100H2)에 독립적인 손목축(WX) 둘레로 회전가능하다.
여전히, 도 23, 도 23a, 도 25, 및 도 27a-도 27c를 참조하여, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2 또는 2100H1, 2100H2) 및 적어도 또 다른 기판 홀딩 스테이션(2300H1)이 손목축(WX)의 반대편 측면 상에 배열되도록, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2 또는 2100H1, 2100H2) 및 적어도 또 다른 기판 홀딩 스테이션(2300H1)은 적어도 하나의 기판 홀더(1900, 2100A, 2100B, 2300) 상에 배치된다. 일 측면에서, 도 23a에 도시될 수 있는 바와 같이, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2 또는 2100H1, 2100H2) 및 적어도 또 다른 기판 홀딩 스테이션(2300H1)은 이송 챔버의 개구부가 위치되고 적어도 하나의 기판 홀더(1900, 2100A, 2100B, 2300)의 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2, 2100H1, 2100H2, 2300H1) 중 적어도 하나가 아암의 연장 및 후퇴로 통과하는 측벽(125W)과는 다른 이송 챔버(125)의 또 다른 측벽(125W)에 적어도 하나의 기판 홀더의 위치를 선택적으로 일치시키도록, 반경방향 또는 비반경방향 경로를 따라 아암(131)의 연장 및 후퇴로, 손목축(WX) 둘레로 회전하도록 적어도 하나의 기판 홀더(1900, 2100A, 2100B, 2300) 상에 배치된다.
도 23을 참조하여, 구동 섹션(220)에 작동가능하게 연결되고 적어도 하나의 기판 홀더(1900)가 공통의 독립적인 자유도를 갖는 회전의 손목축(WX) 둘레로 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)을 회전시키도록 배열된 적어도 하나의 기판 홀더(1900) 상에, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(1900H1, 1900H2)이 배치된다.
도 25 및 도 27a-도 27c을 참조하여, 구동 섹션(220C)에 작동가능하게 연결되고, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)의 각각이 회전 손목축(WX) 둘레로 서로에 대해 독립적으로 회전되도록, 적어도 하나의 기판 홀더(2100A, 2100B)가 다른 각각의 독립적인 자유도를 갖는 회전의 손목축(WX) 둘레로 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)의 각각을 회전시키도록 배열된, 적어도 하나의 기판 홀더(2100A, 2100B) 상에, 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(2100H1, 2100H2)이 배치된다.
도 26a-도 26d 및 도 27a-도 27c를 참조하여, 일 측면에서, 다중-링크 아암(131)은 적어도 하나의 기판 홀더(2403, 2404 또는 2100A, 2100B)가 손목축(WX)에서 공통 회전축 둘레로 포어아암(202)에 관련해 회전하도록 포어아암(202)의 단부에서 조인트(예를 들어, 손목축(WX))에 회전가능하게 연결된 적어도 하나의 기판 홀더(2403, 2404 또는 2100A, 2100B)를 갖고, 적어도 하나의 기판 홀더(2403, 2404 또는 2100A, 2100B)는 이에 지지되며 다른 평면(499, 499A)(도 26d, 도 27c)을 따라 병치되고, 서로에 대해 높이에서 상쇄되고, 회전의 손목축(WX) 둘레로 적어도 하나의 기판 홀더(2403, 2404 또는 2100A, 2100B)의 회전이 회전의 손목축(WX) 둘레로 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(3403H1, 3403H2, 3404H1, 2404H2, 2100H1, 2100H2)의 각각을 회전시키도록 구성된 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(3403H1, 3403H2, 3404H1, 2404H2, 2100H1, 2100H2)을 가진다. 구동 섹션(220, 220C)은 어깨축(SX)(고정된 위치)에 관련해 반경방향 또는 비반경방향 선형 경로를 따라 다중-링크 아암(131)을 적어도 연장시키고 후퇴시키도록 구성되고, 그래서 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(3403H1, 3403H2, 3404H1, 2404H2, 2100H1, 2100H2)의 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1 또는 2403H2, 2404H2 또는 2100H1, 2100H2)은 각기 아암의 연장 및 후퇴로 반경방향 또는 비반경방향 경로를 따라 선형으로 이동하고, 공통 레벨(499) 상의 하나보다 많은 병치된 기판 이송 개구부의 각각의(또는 다른 측면에서 공통의) 개구부(도 1b 및 도 1c 참조)를 별개로 통과하도록 서로 독립적인 회전의 손목축 둘레로 각기 화전가능하고, 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1 또는 2403H2, 2404H2 또는 2100H1, 2100H2)의 각각과 다른 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1 또는 2403H2, 2404H2 또는 2300H1)의 적어도 또 하나는 적어도 두 개의 병치된 기판 홀딩 스테이션(2403H1, 2404H1 또는 2403H2, 2404H2 또는 2100H1, 2100H2)의 각각에 실질적으로 반대편인 적어도 하나의 기판 홀더(2403, 2404, 2300) 상에 배치된다. 여기서, 구동 섹션(220, 220C)은 서로 병치된 공통 레벨 상에 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 배치하도록 서로에 대해 높이에서 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 하나보다 많은 기판 홀딩 스테이션을 이동시키도록 구성된 손목 Z 구동장치(2660)를 포함한다.
위에 기재된 바와 같이, (여기 기재된 것과 같은 임의의 적합한 엔드 이펙터(들)를 갖는) 기판 이송 장치(130)는 붐 아암 상에 장착될 수 있다. 예시적인 목적을 위해, 도 15는 두 개의 링크 붐 아암(1500)에 장착된 아암(131)을 도시한다. 두 개의 링크 붐 아암(1500)은 상부 링크(1501) 및 포어아암 링크(1502)를 포함한다. 상부 링크(1501)의 제 1 단부는 붐 어깨축(BSX) 둘레로 (여기 기재된 구동 섹션(220)과 같은) 구동 섹션에 회전가능하게 결합된다. 포어아암 링크(1502)의 제 1 단부는 붐 엘보우축(BEX) 둘레로 상부 링크(1501)의 제 2 단부에 회전가능하게 결합된다. 아암(131)은 아암 어깨축(SX) 둘레로 포어아암 링크(1502)의 제 2 단부에 회전가능하게 결합된다. 상부 링크(1501) 및 포어아암 링크(1502)의 각각은 각각의 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식이다. 또 다른 목적을 위해, 도 16은 단일 링크 붐 아암(1600)에 장착된 아암(131)을 도시한다. 단일 링크 붐 아암(1600)은 붐 링크(1601)를 포함한다. 붐 링크(1601)의 제 1 단부는 붐 어깨축(BSX) 둘레로 (여기 기재된 구동 섹션(220)과 같은) 구동 섹션에 회전가능하게 결합된다. 아암(131)은 아암 어깨축(SX) 둘레로 붐 링크(1601)의 제 2 단부에 회전가능하게 결합된다. 붐 링크(1601)는 붐 링크(1601)의 두 개의 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식이다. 단일 링크 붐 아암(1600) 및 두 개의 링크 붐 아암(1500)이 도시되는 한편, 붐 아암은 임의의 적합한 개수의 링크를 가질 수 있음이 이해되어야만 한다.
도 3을 역시 참조하여, 붐 아암(1500, 1600)을 회전시키기 위해, 구동 섹션(220, 220A, 220B, 220C)은 적어도 하나의 붐 아암 구동축(또는 모터)(390, 391)을 포함할 수 있다. 예를 들어, 단일 붐 아암 구동축(390)이 제공될 수 있고, 예를 들어, 단일 링크 붐 아암(1600)이 채용된다. 단일 붐 아암 구동축(390)이 또한 제공될 수 있고, 붐 엘보우축(BEX) 둘레로 두 개의 링크 붐 아암(1500)의 포어아암 링크(1502)의 회전이 예를 들어, 하우징(310)에 슬레이브된다. 다른 측면에서, 두 개의 붐 아암 구동축(390, 391)이 제공될 수 있고, 두 개의 링크 붐 아암(1500)의 상부 링크(1501) 및 포어아암 링크(1502)는 각각의 붐 어깨축(BSX) 및 붐 엘보우축(BEX) 둘레로 독립적으로 회전된다. 붐 아암 구동축(390, 391)은 모터(342, 344, 346, 348)와 동축으로 배열될 수 있는 한편; 다른 측면에서, 붐 아암 구동축(390, 391)은 나란한 모터 구성과 같은 임의의 적합한 구성을 가질 수 있는 한편; 여전히 다른 측면에서, 붐 아암 구동축(390, 391)은 붐 아암 어깨축(BEX)에 배열될 수 있는 한편, 구동 모터(342, 344, 346, 348)는 아암(131)의 어깨축(SX)에 배열된다. (예를 들어, 다른 측면에서, 도 4-도 6b에 도시된 밴드 및 풀리 트랜스미션과 실질적으로 유사한) 임의의 적합한 트랜스미션이 구동축/축들(390, 391)에 붐 아암(1500, 1600)의 링크(들)를 결합하도록 제공된다.
도 18a 및 도 18b를 참조하여, 본 개시의 측면에 의해 제공된 자동 웨이퍼 센터링은 듀얼 기판(S)의 각각과 각각의 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2) 사이의 상대적 편심에 상관없이 듀얼 기판(S)의 실질적으로 동시 배치(또는 픽킹)를 제공할 수 있다. 예를 들어, 베이스 피치(BP)에서 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)으로, 자동 웨이퍼 센터링은 기판(S1)의 편심(EC2)이 기판 홀딩 스테이션(203H1)의 중심(203H1C)보다 어깨축(SX)에 더 가깝고, 기판(S2)의 편심(ECl)은 예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(204H1)의 중심(204H1C)의 오른쪽(방향 용어 “오른쪽”은 여기서 설명의 편의성만을 위해 사용됨이 언급함)에 있음을 판단할 수 있다. 따라서, 예를 들어, 기판 처리 스테이션(190, 191)에서 기판(S1, S2)을 배치하도록, 각각의 기판(S1, S2)의 위치는 기판 처리 스테이션(190, 191) 사이의 거리(D)에 대해 자동 웨이퍼 센터링을 통해 독립적으로 조절될 뿐만아니라, 편심(ECl, EC2) 모두를 수용하도록 연장/후퇴(17700)의 방향으로 독립적으로 조절된다. 예를 들어, 기판 홀더(203, 204)는 각각의 기판 처리 스테이션(190, 191)에서 기판(S1, S2)의 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 손목축(WX)(반경방향 연장의 축(700)(도 7b 참조) 또는 연장의 비반경방향 경로(701)(도 7f 참조)를 따라 위치된 손목축) 둘레로 각기 독립적으로 회전된다. 유사하게, 도 18c를 참조하여, 자동 웨이퍼 센터링은 또한 예를 들어, 기판 이송 장치(130)의 어깨축(SX)으로부터 다른 반경방향 거리(17020, 17021)를 갖는 기판 처리 스테이션(190, 191)에서 기판의 배치를 실행할 수 있고, 손목축 주위의 각각의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)의 독립적인 회전 및/또는 손목축의 배치는 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1-204H1, 203H2, 204H2)의 또 하나에 관련해 나란한 기판 홀딩 스테이션(203H1-204H1, 203H2, 204H2) 중 하나의 (어깨축에 관련한) 증가된 연장 거리를 실행한다.
도 2a-도 2d, 도 7a-도 7l, 및 도 15를 참조하여, 기판 이송 장치(130)로 기판을 이송하는 예시적인 방법이 기재될 것이다. 기재된 예시에서, 기판 처리 장치(100)는 여섯 개의 측면을 갖는 이송 챔버(125A)를 포함하는 것을 제외하고, 도 1에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사하지만; 다른 측면에서, 이송 챔버는 임의의 적합한 개수의 측면을 가질 수 있고, 나란한 기판 스테이션 모듈은 도 1a, 도 7a, 도 8, 도 12, 도 15, 및 도 16에 도시된 것과 유사한 방식으로 이송 챔버의 각각의 측면에 결합된다. 또한, 기재된 예시에서, 아암(131)은 그 각각이 각각의 기판 홀더(203, 204)의 대향하는 단부에서 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)을 갖는 듀얼 기판 홀더(203, 204)를 포함하지만; 여기 기재된 방법은 아암(131) 및 도 8-도 16에 도시되고 그에 대해 기재된 본 개시의 측면에 동일하게 적용가능함이 이해되어야만 한다.
아래에 기재될 바와 같이, 제어기(110)는 구동 섹션(220)에 작동가능하게 결합되고, 이송 챔버 벽(125W) 내의 각개의 분리된 개구부들(슬롯 밸브(SV) 참조)을 통해 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1 또는 203H2, 204H2))으로 듀얼 제 1 기판(예를 들어, 기판(S1, S2) 참조)을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 아암(131)을 연장하도록 구성된다. 또한 아래에 기재될 바와 같이, 제어기(110)는 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1 또는 203H2, 204H2)) 상에 동시에 홀딩된 듀얼 제 1 기판(S1, S2)으로, 이송 챔버 벽(125W) 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해, 듀얼 기판 홀더(203, 204)의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1 또는 203H2, 204H2)) 상에 홀딩된 적어도 하나의 제 2 기판(예를 들어, 기판(S3, S4) 참조)과 듀얼 제 1 기판을 실질적으로 동시에 빠르게 교체하도록 구성된다. 일부 측면에서, 제어기(110)의 제어 하에 구동 섹션은 기판 홀더(들) 중 또 하나에 관련하여 대응되는 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2) 중 적어도 하나를 독립적으로 정렬하도록 구성된다.
본 개시의 측면에 따라서, 적어도 하나의 엔드 이펙터(및/또는 여기 기재된 바와 같은 다른 아암 구성)를 갖는 듀얼 링크 스카라는 이송 챔버의 내부 공간에 걸쳐 그 위에 아암(131) 및 엔드 이펙터(203, 204)의 연장 및 후퇴로(즉, 듀얼 스카라 아암의 임의의 각도(Q) 위치/배향에서/그로부터)(도 17, 블록(1710)), 어깨축(SX) 둘레로(예를 들어, 도 1a 및 도 7a 참조) 약 360°이거나 그보다 더 큰 스카라 아암 회전(Q)을 수행한다(도 17, 블록(1700)). 여기 기재된 바와 같은 적어도 하나의 엔드 이펙터를 갖는 듀얼 링크 스카라 (및/또는 여기 기재된 바와 같은 다른 아암 구성)는 아래 기재된 바와 같이 아암(131) 및 엔드 이펙터(203, 204)의 연장과 공통인 각각의 엔드 이펙터에 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 제공한다(도 17, 블록(1720)). 또한 여기 기재된 바와 같이, 적어도 하나의 엔드 이펙터를 갖는 듀얼 링크 스카라는 Z 축 움직임 없이(여기 기재된 바와 같이, 공통 평면(499) 상의, 일 측면에서, 엔드 이펙터(203, 204)의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로(예를 들어, 도 2d 및 도 11 참조), 그리고 다른 측면에서, 다른 평면(499, 499A) 상에 엔드 이펙터(203, 204)의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로(예를 들어, 도 10 참조))(도 7, 블록(1730)) 이중의 “빠른 교체”를 제공하고, 엔드 이펙터(203, 204)는 나란한 기판 홀딩 스테이션을 갖고, 엔드 이펙터(203, 204) 중 적어도 하나는 더블 사이디드 엔드 이펙터이다(예를 들어, 엔드 이펙터의 반대편에 종방향으로 이격된 단부에 위치된 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가진다).
예시적인 방법에서, 여기 기재된 기판 이송 장치(130)가 제공된다(도 14, 블록(1401)). 제어기(110) 역시 제공될 수 있고(도 14, 블록(1420)) 기판 이송 장치(130)에 연결될 수 있다. 기판 홀더(203, 204)(및 도 13의 경우에, 기판 홀더(205))가 이송 챔버(125, 125A)의 측벽(125W)를 통해 연장하도록, 제어기는 기판 이송 장치(130)의 적어도 하나의 아암(131)을 연장하도록 구성된다. 예를 들어, 도 7a는 홈(home) 또는 어깨축(SX)에 관련해 후퇴된 구성에 기판 이송(130)의 아암(131)을 도시한다. 본 실시예에서, 후퇴된 구성은, 아암 링크(201, 202)가 하나가 다른 하나 위에 위치되고 서로 실질적으로 정렬되는 것인 한편; 다른 측면에서, 후퇴된 구성은, 상부 링크(201) 및 포어아암 링크(202)가 조인트 중심으로부터 조인트 중심까지 실질적으로 동일한 길이를 가질 때와 같이 손목축(WX)이 실질적으로 어깨축(SX) 위에 배치되는 것이다. 제어기(110)는 각각의 기판의 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구동 섹션(220)의 움직임을 실행하도록 구성되고, 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2) 사이의 거리가 기판 처리 스테이션(196, 197) 사이의 피치와 실질적으로 일치하도록, 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)의 베이스 피치(BP)는 자동 웨이퍼 센터링(본 경우에, 각각의 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2) 상의 기판(S3, S4)의 센터링)을 실행하도록 증가되거나(도 2b) 감소된다(도 2c). 위에 언급된 바와 같이, 자동 웨이퍼 센터링은 하나보다 많은 축을 따라(예를 들어, 기판 처리 스테이션 사이의 간격에 대응되는 축을 따라 그리고 기판 홀더의 연장 방향에 대응되는 축을 따라) 유효할 수 있다. 손목축(WX)이 일 측면에서, 반경방향 방향(700)으로 이동하고 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)이 이송 챔버(125A)의 벽(125W) 내의 개구부를 통해 부하 로크(102A, 102B)로 연장하도록, 제어기(110)는 구동 섹션(220)의 움직임을 실행하도록 더 구성된다(도 7b 및 도 7c 참조).
일 측면에서, 제어기(110)는 부하 로크(102A, 102B)의 기판 처리 스테이션(196, 197)으로부터 실질적으로 동시에 듀얼 기판(S3, S4)을 픽킹하도록 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)을 들어올리도록 Z 축 구동장치(312)의 액추에이션을 실행할 수 있다(한편, 다른 측면에서, Z 움직임은 적어도 부분적으로 기판 처리 스테이션(196, 197)에 의해 제공될 수 있다). 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2) 상에 홀딩된 기판(S3, S4)으로, 기판(S3, S4)이 부하 로크(102A, 102B)로부터 제거되도록, 제어기(110)는 아암(131)을 예를 들어, 후퇴된 구성으로 후퇴시키도록 구동 섹션(220)의 움직임을 실행한다(도 7d 참조). 아암(131)은 그로부터 듀얼 기판(S1, S2)의 또 다른 세트가 픽킹되어야 하는 (처리 스테이션(188, 189)과 같은) 임의의 적합한 기판 처리 스테이션에 인접한 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)을 배치하도록 방향(111)으로 회전된다
위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 제어기(110)는 아암(131)을 연장하도록 구동 섹션(220)의 움직임을 실행하고(도 14, 블록(1410)), 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 사이의 거리가 기판 처리 스테이션(188, 189) 사이의 피치와 실질적으로 일치하도록(도 7e 참조), 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)의 베이스 피치(BP)는 자동 웨이퍼 센터링(도 14, 블록(1430) - 본 경우에, 각각의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 상의 기판(S1, S2)의 센터링)을 실행하도록 증가되거나(도 2b) 감소되도록(도 2c) 구성된다. 자동 웨이퍼 센터링(예를 들어, 베이스 피치(BP)의 증가 또는 감소)이 아암 연장/후퇴로 또는 아암(131)의 연장 전에 실질적으로 후퇴된 구성에서 아암(131)으로 실질적으로 동시에 수행될 수 있음이 언급된다. 기판 처리 스테이션(188, 189)으로부터 기판을 픽킹하고/배치하기 위해, 손목축(WX)이 비반경방향 연장으로 이동하도록, 제어기(110)는 구동 섹션(220)의 움직임을 실행하도록 구성되고, 손목축(WX)의 움직임은 일 측면에서, 반경방향 연장/후퇴의 축으로부터 상쇄되고 그리고/또는 각이지는 경로(701)(도 7f)를 따라 이동한다(즉, 경로(701)는 어깨축(SX)을 통과하지 않거나 그로부터 방사하지 않는다). 경로(701)를 따른 손목(WX)의 움직임은 기판 처리 스테이션(188, 189)으로 이송 챔버(125A)의 벽(125W) 내의 개구부를 통해 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)을 연장한다.
일 측면에서, 제어기(110)는 나란한 기판 스테이션 모듈(150)의 기판 처리 스테이션(188, 189)으로부터 실질적으로 동시에 듀얼 기판(S1, S2)(도 14, 블록(1440))을 픽킹하도록 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)을 들어올리도록 Z 축 구동장치(312)의 액추에이션을 실행할 수 있다(한편, 다른 측면에서, Z 움직임은 적어도 부분적으로 기판 처리 스테이션(188, 189)에 의해 제공될 수 있다). 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1) 상에 홀딩된 기판(S1, S2)으로, 기판(S1, S2)이 나란한 기판 스테이션 모듈(150)로부터 제거되도록, 제어기(110)는 예를 들어, 후퇴된 구성으로 아암(131)을 후퇴시키도록 구동 섹션(220)의 움직임을 실행한다(도 7g 참조). 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)의 베이스 피치(BP)는 기판 처리 스테이션(188, 189)으로부터 아암(131)의 후퇴 중에(실질적으로 그와 동시에) 또는 후퇴된 구성에서 실질적으로 아암으로 복원될 수 있다(도 7g 참조).
일 측면에서, 기판(S3, S4)과 기판(S1, S2)과의 빠른 교체는 위에 기재된 방식으로 실행되고(도 14, 블록(1450)), 기판 홀더 평면(여기 언급된 바와 같이, 그리고 듀얼 사이디드 기판 홀더의 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)이 하나 이상의 평면을 형성하든 아니든)의 각각의 평면(499, 499A)(도 2d, 도 10, 및 도 11 참조)은 이송 개구부 평면의 소정 Z 위치에서 이송을 위한 공통 이송 챔버에서 이송 개구부의 적어도 하나의 평면(들)(도 1b 및 도 1c 참조)에 상응하고 그와 정렬되어서, 각각의 평면 상의 각기 각각의 개구부를 통한 기판 이송은 실질적으로, Z 축 움직임 없이, 즉, 기판 홀더(203, 204)의 일 단부에서 기판 홀딩 스테이션(들)(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 (각각의 평면에 대한) 기판 처리 스테이션으로의 연장 없이, 각각의 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(203H1, 203H2, 204H1, 204H2)으로 실행되고, 기판 처리 스테이션에서 기판(들)의 픽킹 및/또는 배치, 기판 처리 스테이션으로부터의 후퇴, 및 듀얼 엔디드 기판 홀더(203, 204)의 동일하거나 다른 단부에서 동일하거나 다른 듀얼 기판으로 서로 다른 기판 처리 스테이션으로의 연장은 Z 축 움직임으로부터 실질적으로 독립적인 기판의 빠른 교체를 (개입하는 Z 축 움직임으로부터 독립적으로 또는 기판 이송 사이에 개입하는 Z 축 움직임으로부터 결합해제되어) 실행한다. 예를 들어, 아암(131)은 그로부터 기판(S1, S2)이 제거되었고 듀얼 기판(S3, S4)이 위치될 처리 스테이션(188, 189)에 인접해서, (아암(131)에 의해 홀딩된 기판(S1-S4)을 갖는) 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)을 배치하도록 방향(111)에서 회전된다(도 7g-7i). 제어기(110)는 아암(131)을 연장하도록 구동 섹션(220)의 움직임을 실행하고(도 14, 블록(1410)), 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2) 사이의 거리가 기판 처리 스테이션(188, 189) 사이의 피치와 실질적으로 일치하도록(도 7i 참조), 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)의 베이스 피치(BP)는 자동 웨이퍼 센터링(도 14, 블록(1430) - 본 경우에, 각각의 기판 처리 스테이션(188, 189)에서 기판(S3, S4)의 센터링)을 실행하도록 증가되거나(도 2b) 감소되도록(도 2c) 한다. 자동 웨이퍼 센터링(예를 들어, 베이스 피치(BP)의 증가 또는 감소)이 아암 연장/후퇴로 또는 아암(131)의 연장 전에 실질적으로 후퇴된 구성에서 아암(131)으로 실질적으로 동시에 수행될 수 있음이 언급된다. 각각의 기판 처리 스테이션(188, 189)에 기판(S3, S4)을 배치시키기 위해, 손목축(WX)이 경로(701)를 따라 비반경방향 연장으로 이동하도록 제어기(110)는 구동 섹션(220)의 움직임을 실행하도록 구성된다(도 7j). 경로(701)를 따른 손목(WX)의 움직임은 기판 처리 스테이션(188, 189)으로 이송 챔버(125A)의 벽(125W) 내의 개구부를 통해 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)을 연장한다.
일 측면에서, 제어기(110)는 나란한 기판 스테이션 모듈(150)의 기판 처리 스테이션(188, 189)으로 실질적으로 동시에 듀얼 기판(S3, S4)을 픽킹하도록(도 14, 블록(1440)) 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)을 낮추도록 Z 축 구동장치(312)의 액추에이션을 실행할 수 있다(한편, 다른 측면에서, Z 움직임은 적어도 부분적으로 기판 처리 스테이션(188, 189)에 의해 제공될 수 있다). 기판 홀딩 스테이션(203H2, 204H2)이 나란한 기판 스테이션 모듈(150)로부터 제거되도록, 제어기(110)는 아암(131)을 예를 들어, 후퇴된 구성으로 후퇴시키도록 구동 섹션(220)의 움직임을 실행한다. 기판 홀딩 스테이션(203H1, 204H1)의 베이스 피치(BP)는 기판 처리 스테이션(188, 189)으로부터 아암(131)의 후퇴 중에(실질적으로 그와 동시에) 또는 후퇴된 구성에서 실질적으로 아암으로 복원될 수 있다. 기판(S3, S4)으로 기판(S1, S2)의 빠른 교체가 기재되는 한편, 다른 측면에서 기판(S3, S4)은 기판(S1, S2)이 픽킹되었던 곳과는 다른 또 다른 위치에 배치될 수 있음이 이해되어야만 한다.
기판 처리 스테이션(188, 189)에서 기판(S3, S4)의 배치에 대해 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 기판 처리 스테이션(196, 197)(도 7k 참조)에 듀얼 기판(S1, S2)을 배치하도록, 아암(131)이 위에 기재된 방식으로 부하 로크(102A, 102B)로 연장하도록, 제어기(110)는 구동 섹션(220)의 작동을 유효하게 할 수 있다. 아암(131)은 기판의 또 다른 픽킹/배치를 위해 부하 로크(102A, 102B)로부터 예를 들어, 후퇴된 구성으로(도 7l 참조) 후퇴된다.
이제 도 30a, 도 30b, 도 31, 및 도 32a-도 32f를 참조하여, 예시적인 기판 이송 장치(130)가 본 개시의 또 다른 측면에 따라 도시된다. 이러한 측면에서, 기판 이송 장치(130)는 듀얼 스카라 아암으로 언급될 수 있는 예를 들어, 관절식 다중-링크 아암인 아암(131)을 포함한다. 아암(131)은 구동 섹션(220C)(또는 임의의 다른 적합한 구동 섹션)에 피봇식으로 장착된 공통 상부 아암(3001), 두 개의 포어아암(3002A, 3002B) (각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 공통 상부 아암(3001)의 각각의 단부에 결합됨), 및 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)에 결합된 두 개의 기판 홀더 또는 엔드 이펙터(3100A, 3100B, 3100C, 3100D) (엔드 이펙터 링크로도 언급됨)를 갖고, 각각의 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)는 기판 홀딩 위치/스테이션(3023, 3024, 3025, 3026)을 가진다.
여기서 공통 상부 아암은 포어아암(3002A, 3002B) 둘 모두에 의해 공유되거나 그에 공통이고 어깨축(SX), 제 1 단부(3001E1)을 갖는 제 1 아암 부분(3001A), 제 2 단부(3001E2)를 갖는 제 2 아암 부분(3001B)을 포함하고, 어깨축(SX)은 제 1 및 제 2 단부(3001E1, 3001E2) 사이에 위치된다. 하나 이상의 측면에서, 제 1 및 제 2 아암 부분(3001A, 3001B)은 제 1 및 제 2 단부(3001E1, 3001E2) 사이에 어떠한 관절식/조절가능한 조인트를 갖지 않는 단일의 통합 부재(즉, 하나의 피스) 아암 링크를 형성하고, 공통 상부 아암 링크(3001)는 (기판 이송 챔버(125)의 프레임에 관련해 고정된 위치에 위치된) 어깨축(SX)과, 공통 상부 아암 링크(3001)의 두 개의 포어 아암(3002A, 3002B)의 각각의 각각의 조인트(EX1, EX2) 사이의 실질적으로 강성의 비관절식 링크이다. 다른 측면에서, 도 33a-도 33c를 또한 참조하여, 아암 부분(3001A, 3001B) 사이의 포함 각도가 다른 길이(L) (도 30a 참조) 기판 홀더를 수용하도록 조절가능한 한편, 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기 병합된 2013년 2월 19일에 허여되고 “듀얼 스카라 아암”으로 명명된 미국 특허 번호 제8,376,685호에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로 소정 기판 홀더 길이를 위한 가장 컴팩트(즉, 최소) 풋프린트(FP)를 유지하도록, 제 1 및 제 2 아암 부분(3001A, 3001B)은 조절가능한 방식으로 서로 결합된다. 예를 들어, 이송 아암 풋프린트(FP)의 조절 및 기판 홀더(3100A-3100D)의 최적 배치는 공통 상부 아암(3001)의 대향하는 아암 부분(3001A, 3001B)의 상대적 각도 위치를 조절함으로써 도 33a-도 33c에 도시된 바와 같이 실행된다. 도 33a-도 33c는 길이(L1, L2, L3)를 갖는 기판 홀더에 대응되는 세 개의 다른 위치에서 아암 부분(3001A, 3001B)을 각기 도시하고, 길이(L1)는 길이(L2)보다 더 크고 길이(L2)는 길이(L3)보다 더 크다. 따라서, 도 33a에서, 상부 아암 부분(3001A, 3001B)은 도 33b에서 포함 각도(α)를 형성하도록 서로에 대해 위치되고, 상부 아암 부분(3001A, 3001B)은 포함 각도(α1)을 형성하도록 서로에 대해 위치되고, 도 33c에서, 상부 아암 부분(3001A, 3001B)은 포함 각도(α2)를 형성하도록 서로에 대해 위치된다. 각도(α2)는 결국 각도(α)보다 더 얕은 각도(α1)보다 더 얕다. 따라서, 도 33a-도 33c에 도시되는 바와 같이, 기판 홀더의 길이(L1, L2, L3)가 증가함에 따라, 상부 아암 부분(3001A, 3001B) 사이의 포함 각도의 크기는 감소된다. 상부 아암 부분(3001A, 3001B) 사이의 포함 각도가 감소됨에 따라, 아암 조립체가 등록된 위치(예를 들어, 후퇴 위치 또는 홈 위치)에 있을 때, 아암 부분(3001A, 3001B)은 (연장의 방향과는 반대로) 더 뒤로 회전된다. 이는 결국 포어아암 및 기판 홀더를 뒤로 이동시켜 더 긴 길이 엔드 이펙터가 장치의 최소 풋프린트(FP) 내에 머무는 것을 허용한다.
어깨축(SX) 둘레로 서로에 관련해 대향하는 아암 부분(3001A, 3001B)을 이동시키기 위해, 상부 아암(3001)은, 공통 상부 아암(3001)이 상부 아암(3001)의 단부(3001E1, 3001E2)(또는 엘보우축(EX1, EX2)) 사이의 실질적으로 강성인 비관절식 아암 링크이도록, 해제될 때, 아암 부분(3001A, 3001B) 사이의 상대적 움직임을 허용하고, 잠길 때(체결될 때), 아암 부분(3001A, 3001B) 사이의 상대적 움직임을 방지하는 임의의 적합한 패스너를 포함한다. 예를 들어, 공통 상부 아암(3001)은 함께 아암 위치(3001A, 3001B)를 잠그는 볼트(3333)를 포함한다(도 33a 참조). 볼트(3333)가 해제될 때, 하나 또는 두 개의 아암 부분(3001A, 3001B)은, 소망하는 포함 각도(α, α1, α2)가 달성될 때까지 어깨축(SX) 둘레로 다른 아암 부분(3001A, 3001B)에 관련해 회전하도록 허용된다. 볼트(3333)는 그런 후에 재도입되고, 그로써 다시 아암 섹션을 새로운 위치에서 서로 잠근다. 결국 상부 아암(3001)에 의해 전달된 포어아암 및 기판 홀더를 재위치시키는 상부 아암 부분(3001A, 3001B)을 재위치시킨 후에, 제어기(110)는 (여기 참조에 의해 앞서 병합된 미국 특허 제8,376,685호에 기재된 바와 같은) 구동장치(220C)의 구동 모터의 등록 위치를 설정하도록 프로그램되고, 이송 아암(131)의 이송 움직임 교시/프로그래밍이 그런 후에 임의의 적합한 방식으로 수행된다.
포어아암(3002A)은 엘보우축(EX1)에 공통 상부 아암(3001)의 제 1 단부(3001E1)에 일 단부에서 회전가능하게 결합된다. 기판 홀더(3100A, 3100B)는 공통 손목축(WX1) 둘레로 포어아암(3002A)의 다른 단부에 회전가능하게 결합된다(즉, 손목축(WX1)은 기판 홀더(3100A, 3100B)에 공통이거나 그에 의해 공유된다). 포어아암(3002B)은 또 다른 엘보우축(EX2)에 공통 상부 아암(3001)의 제 2 단부(3001E2)에 일 단부에서 회전가능하게 결합된다. 기판 홀더(3100C, 3100D)는 또 다른 공통 손목축(WX2) 둘레로 포어아암(3002B)의 다른 단부에 회전가능하게 결합된다(즉, 손목축(WX2)은 기판 홀더(3100C, 3100D)에 공통이거나 그에 의해 공유된다). 여기서, 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 포어아암(3002A, 3002B) 서로로부터 독립적인 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 두 개의 엔드 이펙터의 기판 홀딩 위치/스테이션(3023, 3024, 3025, 3026)에서 각각의 기판(S)의 자동화된 센터링을 해결하도록 배치된다. 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 예를 들어, 이송 챔버(125)의 측벽을 따라 (슬롯 밸브(SV)와 같은) 하나보다 많은 기판 이송 개구부를 통해 기판(S)의 빠른 교체를 실행하도록 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 두 개의 엔드 이펙터(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 기판 홀딩 위치(3023, 3024, 3025, 3026)에서 각각의 기판(S)의 자동화된 센터링을 포어아암(302A, 3002B) 서로로부터 독립적으로 각기 해결하도록 배치된다. 이러한 측면에서, 아암(131)의 구성은 종래의 이송 아암에 비해 유리하고, 기판 스캔의 빠른 교체가 주로, 포어아암(302A, 3002B)으로 각기 독립적으로(즉, 연장 상에) 자동 웨이퍼 센터링을 해결함으로서, 실행될 수 있기 때문에, 포어아암은 공통 구동장치에 의해 연결된다. 여기서, 결합된 엔드 이펙터(3100A, 3100C 및 3100B, 3100D)의 각속도가 여기 기재된 바와 동일함에도, 후퇴된 아암에 의해 홀딩된 기판(S)은 스카라 아암(예를 들어, 어깨축(SX))의 회전의 중심 부근에 있기 때문에, 다른 독립적으로 회전가능한 포어아암(3002A, 3002B) 상의 다른 포어아암(3002A, 3002B)(즉, 하나의 자유도의 기판 홀더 교차 결합/공유) 상의 (여기 기재된 바와 같은) 기판 홀더(3100A, 3100C, 및 3100B, 3100D)의 교차 결합된 회전 움직임은 또한 후퇴된 아암의 기판 홀더(3100A-3100D) 상의 기판(S)에 최소/최소화된 관성 결합을 야기한다(예를 들어, 도 30b에서, 후퇴된 아암은 공통 상부 아암(3001)의 아암 부분(3001B), 포어아암(3002B) 및 엔드 이펙터(3100C, 3100D)로 구성된다).
포어아암(3002A)에 결합된 기판 홀더(3100A, 3100B)는 기판 홀더(3100A, 3100B)의 (기판 홀딩 스테이션으로도 언급되는) 나란한 측면 기판 홀딩 위치(3023, 3024) 사이에 임의의 적합한 베이스 피치(BP)를 적어도 부분적으로 설정하거나 그렇지 않으면 형성하는 임의의 적절한 길이(L) 및 형상(예를 들어, 구성)을 가질 수 있다. 유사하게, 포어아암(3002B)에 결합된 기판 홀더(3100C, 3100D)는 기판 홀더(3100C, 3100D)의 나란한 측면 기판 홀딩 위치(3025, 3026) 사이에 임의의 적합한 베이스 피치(BP)를 적어도 부분적으로 설정하거나 그렇지 않으면 형성하는 임의의 적절한 길이(L) 및 형상(예를 들어, 구성)을 가질 수 있다. 기판 홀딩 위치(3023, 3024) 사이의 그리고 기판 홀딩 위치(3025, 3026) 사이의 베이스 피치(BP)는 서로 그리고/또는 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 각각의 손목축(WX1, Wx2)에 관련해 기판 홀딩 위치(2023-2026)의 각각의 임의의 적합한 기판 홀더 오프셋 거리(SD)와 비례한다. 일 측면에서, 베이스 피치(BP)는 예를 들어, (190, 191)와 같이 나란한 기판 처리 스테이션 사이의 피치(D)와 실질적으로 동일할 수 있다(도 1a 및 32a 참조). 다른 측면에서, 여기 기재된 바와 같이, 자동 웨이퍼 센터링은 피치(D)에서 변화를 허용하도록 그리고/또는 기판 처리 스테이션(190-197)에서 웨이퍼를 배치하기 위한 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록, 베이스 피치(BP)(예를 들어, 나란한 기판 홀딩 스테이션(3023-3024, 3025-3026) 사이의 거리가 증가되거나 감소될 수 있다) 또는 각기 각각의 기판 홀더의 기판 홀더 오프셋 거리(SD)를 변화시킴으로써 실행된다. 예를 들어, 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D) 중 하나 이상이 여기 기재된 바와 같이, 각각의 오프셋 거리(SD)를 증가시키거나 감소시키도록 (또는 그렇지 않으면 변경하도록) 그리고 베이스 피치(BP)에서 대응되는 변화를 구성하도록 각각의 손목축(WX1, WX2) 둘레로 다른 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D) 중 하나 이상에 관련해 독립적으로 회전될 수 있다. 일 측면에서, 구동 섹션(300C)은 여기 기재된 바와 같이, 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 또 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션(들)(3023, 3024, 3025, 3026)에 관련하여 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션(3023, 3024, 3025, 3026)을 독립적으로 정렬하도록 구성된다.
도 30a, 도 30b, 및 도 31을 참조하여, 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)가 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서(예를 들어, 후퇴된 구성으로) 기판 이송 아암(131)의 회전 없이, 그리고 각각의 손목축(WX1, WX2) 둘레로 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 180°회전 없이, 동일한 연장 방향(3099)으로 연장하도록, 본 측면에서 이송 아암(131)은 단일 방향의 연장 듀얼 스카라 아암으로 구성된다. 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서 이송 아암(131)의 회전 없이 그리고 각각의 손목축(WX1, WX2) 둘레로 각각의 유닛으로서 기판 홀더(3100A-3100B, 3100C-3100D)의 회전 없이 기판 홀더의 각각의 세트의 연장(즉, 기판 홀더(3100A, 3100B)는 함께 연장되고 후퇴되는 한편, 기판 홀더(3100C, 3100D)는 함께 연장되고 후퇴된다)은 기판의 빠른 교체를 실행하고, 기판 홀더(3100A-3100B)는 각각의 홀딩 위치로부터 기판을 픽킹하고, 기판 홀더(3100C, 3100D)는 즉시 연속적으로 동일한 기판 홀딩 위치에 기판을 픽킹하고 배치한다(그리고/또는 그 역도 성립한다).
이러한 측면에서, 각각의 손목축(WX1, WX2) 주위의 기판 홀더(3100A 및 3100C)의 회전은 기판 홀더(3100A, 3100C)가 공통의(예를 들어, 단일의) 구동 축 또는 모터에 의해 구동되도록 결합된다. 이러한 측면에서, 각각의 손목축(WX1, WX2) 주위의 기판 홀더(3100B 및 3100D)의 회전은 기판 홀더(3100B, 3100D)가 공통의(예를 들어, 단일의) 구동 축 또는 모터에 의해 구동되도록 결합된다. 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 각각의 구동축에 의해 각각의 엘보우축(EX1, EX2) 둘레로 회전에서 구동되고, 상부 아암(3001)은 각각의 구동축에 의해 어깨축(SX) 둘레로 회전에서 구동된다. 그러한 바와 같이, 어깨축(SX) 주위의 유닛으로서 아암(131)의 연장, 후퇴, 회전, 및 각각의 손목축 주위의 각각의 기판 홀더(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 독립적인 회전에는 5 자유도 구동장치(여기 기재된 다섯 개의 구동 샤프트(301-305) 및 다섯 개의 모터(342, 344, 346, 348, 343)를 갖는 오중 동축 구동 샤프트 조립체(300C)를 갖는 구동 섹션(220C))가 제공된다.
하나 이상의 측면에서, 구동 섹션(220C)은 구동 섹션(220C)의 고정된 위치(및 여기 기재된 바와 같은 어깨축(SX))에 관련해 선형 경로를 따라(예를 들어, 화살표(3099)를 따라 -도 30a) 관절식 다중-링크 아암(131)을 적어도 연장시키고 후퇴시키도록 구성된 적어도 하나의 구동축을 갖고, 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 공통 상부 아암 링크(3001)에 관련해 독립적으로 회전가능하다. 여기서, 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 각각의 포어아암(3002A, 3002B)에 관련해 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D))를 회전시키는 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C)(또는 3100B, 3100D)에 대해 공통 자유도를 정의하는 적어도 하나의 구동축의 공통 구동축(여기 기재된 바와 같이 도 31 참조)에 작동가능하게 결합된 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부에 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B 및 3100C, 3100D)의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 갖고, 두 개의 포어아암(3002A, 3002B) 중 적어도 하나의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부에서 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D))의 적어도 또 다른 하나는 공통 자유도로부터 독립적인 적어도 하나의 포어아암(3002A, 3002B) 주위의 다른 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D))를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
하나 이상의 측면에서, 구동 섹션(220C)의 적어도 하나의 구동축은 위에 기재된 바와 같이 고정 위치에 관련해 선형 경로를 따라 관절식 다중-링크 아암(131)을 적어도 연장시키고 후퇴시키도록 구성된다. 여기서, 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)의 제 1 포어아암(3002A, 3002B)에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B (또는 3100C, 3100D))의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D)), 및 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)의 제 2 포어아암(3002A, 3002B)에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B (또는 3100C, 3100D))의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D))는 대응되는 제 1 및 제 2 포어아암(3002A, 3002B)에 관련해 각기 각각의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D))를 회전시키는, 제 1 포어아암(3002A 또는 3002B)의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A 또는 3100C) 및 제 2 포어아암(3002A 또는 3002B)의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A 또는 3100C)에 대해 공통 자유도를 정의하는 구동장치(220C)의 적어도 하나의 구동축의 공통 구동축에 작동가능하게 결합되고, 제 1 포어아암(3002A 또는 3002B)의 제 2 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D))는 공통 자유도로부터 독립적인 제 1 포어아암(3002A 또는 30022B) 주위의 제 2 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C (또는 3100B, 3100D))를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
하나 이상의 측면에 따라, 구동 섹션(220C)의 5 자유도가 고정된 위치(예를 들어, 어깨축(SX)은 이송 챔버(125) 프레임에 관련해 위에 기재된 것과 유사한 방식으로 고정된다)에 관련해 선형 경로를 따라 관절식 다중-링크 아암(131)의 적어도 연장 및 후퇴를 형성하도록, 5 자유도 구동 섹션(220C)은 구성되고, 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 공통 상부 아암 링크(3001)에 관련해 독립적으로 회전가능하고, 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 각각의 일 단부에 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 각각은 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부 둘레로 독립적으로 회전가능하다. 여기 기재된 바와 같은 기판 홀더 회전의 결합(즉, 기판 홀더(3100A 및 3100C)의 회전이 결합되고, 기판 홀더(3100B 및 3100D)의 회전이 결합된다)은 유닛으로서 연장, 후퇴, 회전에서 이송 아암을 구동시키기 위해 요구되는 구동축의 개수, 및 각각의 기판 홀더의 독립적인 회전을 감소시킨다(예를 들어, 5 자유도 구동장치로 7 자유도 아암 움직임의 등가를 제공한다). 하나 이상의 측면에서, Z 축 구동장치는 또한 Z 축 움직임으로 아암(131)을 제공하도록 여기 기재된 것과 유사한 방식으로 제공된다.
도 31에 도시될 수 있는 바와 같이, 공통 상부 아암(3001)은 샤프트(304)를 갖는 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 포어아암(3002A)은 여기 기재된 것과 같이 임의의 적합한 트랜스미션에 의해 샤프트(301)에 결합된다. 예를 들어, 구동 풀리(3140)는 샤프트(301)를 갖는 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 구동 풀리(3141)는 엘보우축(EX2) 둘레로 회전하게능하게 장착되고 샤프트(3145)를 갖는 엘보우축(EX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 풀리(3140, 3141)는 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 임의의 적합한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3146)에 의해 서로 결합된다. 포어아암(3002A)은 샤프트(3145)를 갖는 엘보우축(EX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다.
포어아암(3002B)은 여기 기재된 것과 같이 임의의 적합한 트랜스미션에 의해 샤프트(305)에 결합된다. 예를 들어, 구동 풀리(3150)는 샤프트(305)를 갖는 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 구동 풀리(3151)는 엘보우축(EX1) 둘레로 회전하게능하게 장착되고 샤프트(3155)를 갖는 엘보우축(EX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 풀리(3150, 3151)는 여기 기재된 것과 실질적으로 유사한 임의의 적합한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3156)에 의해 서로 결합된다. 포어아암(3002B)은 샤프트(3155)를 갖는 엘보우축(EX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다.
위에 언급된 바와 같이, 손목축(WX1) 주위의 기판 홀더(3100A)의 회전은 손목축(WX2) 주위의 기판 홀더(3100C)의 회전에 결합된다. 예를 들어, 기판 홀더(3100A)가 손목축(WX1) 둘레로 회전함에 따라, 기판 홀더(3100C)는 동일한 방향으로 그리고 동일한 회전량에 의해 손목축(WX2) 둘레로 회전한다. 여기서, 양 기판 홀더(3100A, 3100C)는 샤프트(303)에 의해 결합되고 구동된다. 예를 들어, 구동 풀리(3110)는 일부 측면에서, “스플리팅 구동 풀리”로 언급될 수 있고, 샤프트(303)를 갖는 어깨축(SX) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. (공통 상부 아암(3001)의) 아이들러 풀리(3111) 및 (포어아암(3002A)의) 아이들러 풀리(3160)는 엘보우축(EX2) 둘레로 회전가능하게 장착되고 샤프트(3164)를 갖는 엘보우축(EX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 그로서 회전한다. 구동 풀리(3110)는 여기에 기재된 것과 실질적으로 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3166)에 의한 것과 같이 임의의 적합한 방식으로 아이들러 풀리(3111)에 결합된다. 구동 풀리(3110)는 여기에 기재된 것과 실질적으로 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3167)에 의한 것과 같이 임의의 적합한 방식으로 아이들러 풀리(3112)에 결합된다. 일 측면에서, 세그멘티드 트랜스미션 루프(3166, 3167)는 구동 풀리(3110) 상의 다른 높이에 위치되는 한편, 다른 측면에서, 세그멘티드 트랜스미션 루프의 적어도 일부는 여기 기재된 바와 같은 구동 풀리의 공통 레벨을 공유할 수 있다. 구동 풀리(3161)는 손목축(WX1) 둘레로 회전을 위해 포어아암(3002A)에 장착되고 여기 기재된 것과 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3168)에 의해 아이들러 풀리(3160)에 결합된다. 구동 풀리(3161)는 샤프트(3170)를 갖는 손목축(WX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 기판 홀더(3100A)은 샤프트(3170)를 갖는 손목축(WX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. (공통 상부 아암(3001)의) 아이들러 풀리(3112) 및 (포어아암(3002A)의) 아이들러 풀리(3162)는 엘보우축(EX1) 둘레로 회전가능하게 장착되고 샤프트(3165)를 갖는 엘보우축(EX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전하고, 구동 풀리(3110)는 위에 언급된 바와 같이 아이들러 풀리(3112)에 결합된다. 구동 풀리(3163)는 손목축(WX2) 둘레로 회전을 위해 포어아암(3002B)에 장착되고 여기 기재된 것과 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3169)에 의해 아이들러 풀리(3162)에 결합된다. 구동 풀리(3163)는 샤프트(3171)를 갖는 손목축(WX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 기판 홀더(3100C)는 샤프트(3171)를 갖는 손목축(WX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다.
위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 기판 홀더(3100B)가 손목축(WX1) 둘레로 회전함에 따라, 기판 홀더(3100D)가 동일한 방향에서 동일한 회전량에 의해 손목축(WX) 둘레로 회전하도록, 기판 홀더(3100B, 3100D) 둘 모두는 샤프트(302)에 결합되고 그에 의해 구동된다. 예를 들어, 구동 풀리(3130)는 일부 측면에서, (여기에 더 기재될 바와 같이)“스플리팅 구동 풀리”로 언급될 수 있고, 샤프트(302)를 갖는 어깨축(SX) 둘레로 유닛에 결합되고 회전한다. (공통 상부 아암(3001)의) 아이들러 풀리(3131) 및 (포어아암(3002A)의) 아이들러 풀리(3180)는 엘보우축(EX2) 둘레로 회전가능하게 장착되고 샤프트(3184)를 갖는 엘보우축(EX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 구동 풀리(3130)는 여기에 기재된 것과 실질적으로 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3186)에 의한 것과 같이 임의의 적합한 방식으로 아이들러 풀리(3131)에 결합된다. 구동 풀리(3130)는 여기에 기재된 것과 실질적으로 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3187)에 의한 것과 같이 임의의 적합한 방식으로 아이들러 풀리(3132)에 결합된다. 일 측면에서, 세그멘티드 트랜스미션 루프(3186, 3187)는 구동 풀리(3130) 상의 다른 높이에 위치되는 한편, 다른 측면에서, 세그멘티드 트랜스미션 루프의 적어도 일부는 여기 기재된 바와 같은 구동 풀리의 공통 레벨을 공유할 수 있다. 구동 풀리(3181)는 손목축(WX1) 둘레로 회전을 위해 포어아암(3002A)에 장착되고 여기 기재된 것과 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3188)에 의해 아이들러 풀리(3180)에 결합된다. 구동 풀리(3181)는 샤프트(3190)를 갖는 손목축(WX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 기판 홀더(3100B)는 샤프트(3190)를 갖는 손목축(WX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. (공통 상부 아암(3001)의) 아이들러 풀리(3132) 및 (포어아암(3002A)의) 아이들러 풀리(3182)는 엘보우축(EX1) 둘레로 회전가능하게 장착되고 샤프트(3185)를 갖는 엘보우축(EX1) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전하고, 구동 풀리(3130)는 위에 언급된 바와 같이 아이들러 풀리(3132)에 결합된다. 구동 풀리(3183)는 손목축(WX2) 둘레로 회전을 위해 포어아암(3002B)에 장착되고 여기 기재된 것과 유사한 세그멘티드 트랜스미션 루프(3189)에 의해 아이들러 풀리(3182)에 결합된다. 구동 풀리(3183)는 샤프트(3191)를 갖는 손목축(WX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다. 기판 홀더(3100D)는 샤프트(3191)를 갖는 손목축(WX2) 둘레로 유닛으로서 결합되고 회전한다.
위에 언급된 바와 같이, 도 34a 및 도 34b를 참조하여, 구동 풀리(3110, 3130)는 하나 이상의 측면에서, 그 개시가 전체로 참조에 의해 여기에 병합된, 2017년 6월 27일 출원되고 “기판 처리 장치”로 명명된 미국 특허 출원 번호 제15/634,871호에 기재된 것과 실질적으로 유사한 스플리팅 구동 풀리이다. 예를 들어, 구동 풀리(3110, 3130)의 각각은 각각의 세그멘티드 트랜스미션 루프, (구동 풀리(3130)를 위한) (3186-3187) 및 (구동 풀리(3110)를 위한) (3166-3177)의 네 개의 밴드 세그먼트, (트랜스미션 루프(3167)의) (3420, 3421) 및 (트랜스미션 루프(3166)의) (3422, 3423)(트랜스미션 루프(3187 및 3186)는 유사한 밴드 세그먼트를 가진다)를 수용하는 세 개의 밴드 인터페이스 레벨(3406L1, 3406L2, 3406L3)을 포함한다. 예시의 목적을 위해, 구동 풀리(3110)에 대한 트랜스미션 루프(3167, 3166)의 결합이 기재될 것이고, 트랜스미션 루프(3187, 3186)는 유사한 방식으로 구동 풀리(3130)에 결합됨을 언급한다. 여기서, 트랜스미션 루프(3167)의 밴드 세그먼트(3420)는 인터페이스 레벨(3406L1)에서 구동 풀리(3110)에 결합되는 한편, 트랜스미션 루프(3167)의 밴드 세그먼트(3421)는 인터페이스 레벨(3406L2)에서 구동 풀리(3110)에 결합된다. 트랜스미션 루프(3166)의 밴드 세그먼트(3422)는 인터페이스 레벨(3406L2)에서 구동 풀리(3110)에 결합되는 한편, 트랜스미션 루프(3166)의 밴드 세그먼트(3423)는 인터페이스 레벨(3406L3)에서 구동 풀리(3110)에 결합된다. 도 34에 도시될 수 있는 바와 같이, 밴드 세그먼트(3421, 3422)는 공통 인터페이스 레벨(즉, 인터페이스 레벨(3406L2))을 공유하고, 각각의 밴드 세그먼트(3421, 3422)는 비중복 방식으로 구동 풀리 둘레로 랩핑되고 구동 풀리(3110)의 둘레에 대해 실질적으로 180° 떨어져 (여기 기재된 것과 유사한) 앵커 포인트(3470, 3471)에서 구동 풀리에 결합된다. 이러한 밴드 구성은 종래의 풀리 및 트랜스미션 구성에 비해 감소된 높이의 풀리 및 트랜스미션을 제공하고, 각각의 밴드는 풀리의 그 자신의 각각의 레벨 상에 위치된다. 도 31을 참조하여 위에 기재된 풀리는 이송 아암(131)의 소망하는 연장/후퇴 움직임을 실행하도록 예를 들어, 2:1과 같은 임의의 적합한 구동/구동된 비율 또는 임의의 다른 적합한 비율을 가질 수 있다.
도 30a 및 도 32a-도 32f를 참조하여, 본 개시의 측면에 의해 제공된 자동 웨이퍼 센터링은 듀얼 기판(S)의 각각과 각각의 기판 홀딩 스테이션(들)(3023, 3024, 3025, 3026) 사이의 상대적 편심에 상관없이 듀얼 기판(S)의 실질적으로 동시 배치(또는 픽킹)를 제공할 수 있다. 예를 들어, 도 18a-도 18c를 참조하여 위에 기재된 것과 실질적으로 유사한 방식으로, 베이스 피치(BP)에서 기판 홀딩 스테이션(3023, 3024)으로, (센서(3299)로 실행된 것과 같은) 자동 웨이퍼 센터링은 기판(S1)의 편심(EC2)이 기판 홀딩 스테이션(203H1)의 중심(203H1C)보다 어깨축(SX)에 더 가깝고, 기판(S2)의 편심(ECl)은 예를 들어, 기판 홀딩 스테이션(3023)의 중심(3023C)의 오른쪽(방향 용어 “오른쪽”은 여기서 설명의 편의성만을 위해 사용됨을 언급함)에 있음을 판단할 수 있다. 따라서, 예를 들어, 기판 처리 스테이션(192, 193)에 기판(S1, S2)을 배치하도록, 각각의 기판(S1, S2)의 위치는 기판 처리 스테이션(192, 193) 사이의 거리(D)에 대해 자동 웨이퍼 센터링을 통해 독립적으로 조절될 뿐만아니라, 편심(ECl, EC2) 모두를 수용하도록 연장/후퇴(3290)의 방향으로 독립적으로 조절된다. 예를 들어, 기판 홀더(3100A, 3100B)는 각각의 기판 처리 스테이션(192, 193)에서 기판(S1, S2)의 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 손목축(WX1) 둘레로 각기 독립적으로 회전된다(손목축은 반경방향 연장(3297)의 축(도 32b 참조) 또는 연장의 비반경방향 경로(예를 들어, 도 7f 참조하여 그와 유사한 방식으로)를 따라 위치된다). 유사하게, 위에 기재된 것과 유사한 방식으로, 도 18c를 참조하여, 자동 웨이퍼 센터링은 또한 예를 들어, 기판 이송 장치의 어깨축(SX)으로부터 다른 반경방향 거리를 갖는 기판 처리 스테이션에서 기판의 배치를 실행할 수 있고, 각각의 손목축 주위의 각각의 기판 홀딩 스테이션의 독립적인 회전 및/또는 각각의 손목축의 배치는 나란한 기판 홀딩 스테이션의 또 하나에 관련해 나란한 기판 홀딩 스테이션 중 하나의 (어깨축에 관련한) 증가된 연장 거리를 실행한다.
여전히 도 32a-도 32f를 참조하여, 기판 홀더(3100A-3100D)의 다양한 위치 움직임이 기판 홀더(3100A, 3100C)의 회전 결합 및 기판 홀더(3100B, 3100D)의 회전 결합을 예시화하도록 도시된다. 예를 들어, 도 32b는 기판 처리 스테이션(192, 193)으로의 기판 홀더(3100A, 3100B)의 연장을 도시하고, 기판 홀더(3100A, 3100B)의 기판 홀딩 위치(2032, 3024) 사이의 베이스 피치(BP)는 기판 처리 스테이션(192, 193) 사이의 거리(D)와 실질적으로 동일하다. 여기서, 기판 홀더(3100A-3100C 및 3100B-3100D)의 결합된 회전 때문에, 기판 홀딩 위치(3025, 3026) 사이의 거리는 베이스 피치(BP)와 역시 동일하다.
도 32c는 예시적인 도시이고, 기판 홀더(3100A, 3100B)는 기판 처리 위치(192, 193)로 연장되고, 기판 홀더(3100A, 3100B) 중 하나 이상은 각각의 기판 처리 스테이션(192, 193)의 오른쪽(표현 “오른쪽”은 예시의 목적만을 위해 사용되고 임의의 다른 공간 용어가 사용될 수 있다)에 있는 위치에 손목축(WX1) 둘레로 독립적으로(예를 들어, 시계방향으로) 회전된다. 예를 들어, 기판 위치(3023)와 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD10로 증가되도록(도 38a, 블록(3800)), 기판 홀더(3100A)(예를 들어, 제 1 아암의 제 1 기판 홀더 - 제 1 아암은 상부 아암 부분(3001A), 포어아암(3002A), 및 기판 홀더(3100A, 3100B)임)는 회전되고, 기판 홀딩 위치(3024)와 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD9로 감소되도록(도 38a, 블록(3820)), 기판 홀더(3100B)(예를 들어, 제 1 아암의 제 2 기판 홀더)는 회전된다. 제 1 아암의 제 1 기판 홀더(3100A) 및 제 2 아암의 제 1 기판 홀더(3100C)(예를 들어, 제 2 아암은 상부 아암 부분(3001B), 포어아암(3002B), 및 기판 홀더(3100C, 3100D)임)의 회전 결합으로 인해, 기판 홀더(3100C)의 기판 홀딩 위치(3025)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD10으로 증가된다(도 38a, 블록(3810)). 제 1 아암의 제 2 기판 홀더(3100B) 및 제 2 아암의 제 2 기판 홀더(3100D)의 회전 결합으로 인해, 기판 홀더(3100D)의 기판 홀딩 위치(3026)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD9으로 감소된다(도 38a, 블록(3830)). 제 1 아암의 기판 홀더(3100A, 3100B)의 유사한 결합 작동은, 제 2 아암이 기판 처리/홀딩 위치(들)로 연장되고 제 2 아암의 기판 홀더(3100C, 3100D)가 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 회전되는 것과 같이 위에 기재된 것과 실질적으로 반대의 방식으로 제공된다(도 38b, 블록(3840-3870) 참조).
도 32d는 예시적인 도시이고, 기판 홀더(3100A, 3100B)는 기판 처리 위치(192, 193)로 연장하고, 기판 홀더(3100A, 3100B) 중 하나 이상은 각각의 기판 처리 스테이션(192, 193)의 왼쪽(표현 “왼쪽”은 예시의 목적만을 위해 사용되고 임의의 다른 공간 용어가 사용될 수 있다)에 있는 위치에 손목축(WX1) 둘레로 독립적으로(예를 들어, 반시계방향으로) 회전된다. 예를 들어, 기판 홀딩 위치(3023)과 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD12로 감소되도록(도 39a, 블록(3900)), 제 1 아암의 제 1 기판 홀더(3100A)는 회전되고, 기판 홀딩 위치(3024)와 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD11로 증가되도록(도 39a, 블록(3920)), 제 1 아암의 제 2 기판 홀더(3100B)는 회전된다. 제 1 기판 홀더(3100A, 3100C)의 회전 결합으로 인해, 제 2 아암의 제 1 기판 홀더(3100C)의 기판 홀딩 위치(3025)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD12로 감소된다(도 39A, 블록(3910)). 제 2 기판 홀더(3100B, 3100D)의 회전 결합으로 인해, 제 2 아암의 제 2 기판 홀더(3100D)의 기판 홀딩 위치(3026)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD11으로 증가된다(도 39a, 블록(3930)). 제 1 아암의 기판 홀더(3100A, 3100B)의 유사한 결합 작동은, 제 2 아암이 기판 처리/홀딩 위치(들)로 연장되고 제 2 아암의 기판 홀더(3100C, 3100D)가 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 회전된 것과 같이 위에 기재된 것과 실질적으로 반대의 방식으로 제공된다(도 39b, 블록(3940-3970) 참조).
도 32e는 예시적인 도시이고, 기판 홀더(3100A, 3100B)는 기판 처리 위치(192, 193)로 연장되고, 기판 홀더(3100A, 3100B) 중 하나 이상은 독립적으로 회전된다. 여기서, 제 1 기판 홀더(3100A)는 각각의 기판 처리 스테이션(192)의 오른쪽에 있는(표현 “오른쪽”은 예시적인 목적만을 위해 사용되고 임의의 다른 공간 용어가 사용될 수 있다) 위치로 손목축(WX1) 둘레로 회전되는 한편, 제 2 기판 홀더(3100B)는 각각의 기판 처리 스테이션(193)의 왼쪽(표현 “왼쪽”은 예시의 목적만을 위해 사용되며 임의의 다른 공간 용어가 사용될 수 있다)인 위치로 손목축(WX1) 둘레로 독립적으로 회전된다. 예를 들어, 기판 홀딩 위치(3023)와 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD14로 증가되도록(도 40a, 블록(4000)), 제 1 아암의 제 1 기판 홀더(3100A)는 회전되고, 기판 홀딩 위치(3024)와 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD13로 증가되도록(도 40a, 블록(4020)), 제 1 아암의 제 2 기판 홀더(3100B)는 회전된다. 제 1 기판 홀더(3100A, 3100C)의 회전 결합으로 인해, 제 2 아암의 제 1 기판 홀더(3100C)의 기판 홀딩 위치(3025)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD14로 증가된다(도 40A, 블록(4010)). 제 2 기판 홀더(3100B, 3100D)의 회전 결합으로인해, 제 2 아암의 제 2 기판 홀더(3100D)의 기판 홀딩 위치(3026)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD13로 증가된다(도 40A, 블록(4030)). 제 1 아암의 기판 홀더(3100A, 3100B)의 유사한 결합 작동은, 제 2 아암이 기판 처리/홀딩 위치(들)로 연장되고 제 2 아암의 기판 홀더(3100C, 3100D)가 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 회전된 것과 같이 위에 기재된 것과 실질적으로 반대의 방식으로 제공된다(도 40b, 블록(4040-4070) 참조).
도 32f는 예시적인 도시이고, 기판 홀더(3100A, 3100B)는 기판 처리 위치(192, 193)로 연장되고, 기판 홀더(3100A, 3100B) 중 하나 이상은 독립적으로 회전된다. 여기서, 제 1 기판 홀더(3100A)는 각각의 기판 처리 스테이션(192)의 왼쪽에 있는(표현 “왼쪽”은 예시적인 목적만을 위해 사용되고 임의의 다른 공간 용어가 사용될 수 있다) 위치로 손목축(WX1) 둘레로 회전되는 한편, 제 2 기판 홀더(3100B)는 각각의 기판 처리 스테이션(193)의 오른쪽에 있는(표현 “오른쪽”은 예시의 목적만을 위해 사용되며 임의의 다른 공간 용어가 사용될 수 있다) 위치로 손목축(WX1) 둘레로 독립적으로 회전된다. 예를 들어, 기판 홀딩 위치(3023)와 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD16로 감소되도록(도 41a, 블록(4100)), 제 1 아암의 제 1 기판 홀더(3100A)는 회전되고, 기판 홀딩 위치(3024)와 어깨축(SX) 사이의 거리가 SD로부터 SD15로 감소되도록(도 41a, 블록(4210)), 제 1 아암의 제 2 기판 홀더(3100B)는 회전된다. 제 1 기판 홀더(3100A, 3100C)의 회전 결합으로인해, 제 2 아암의 제 1 기판 홀더(3100C)의 기판 홀딩 위치(3025)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD16으로 감소된다(도 41A, 블록(4110)). 제 2 기판 홀더(3100B, 3100D)의 회전 결합으로 인해, 제 2 아암의 제 2 기판 홀더(3100D)의 기판 홀딩 위치(3026)와 어깨축(SX) 사이의 거리 역시 SD로부터 SD15로 감소된다(도 41A, 블록(4130)). 제 1 아암의 기판 홀더(3100A, 3100B)의 유사한 결합 작동은, 제 2 아암이 기판 처리/홀딩 위치(들)로 연장되고 제 2 아암의 기판 홀더(3100C, 3100D)가 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 회전되는 것과 같이 위에 기재된 것과 실질적으로 반대의 방식으로 제공된다(도 41b, 블록(4140-4170) 참조).
위에 도시될 수 있는 바와 같이, 기판 홀더(3100A-3100D)는 자동 웨이퍼 센터링에 의해 결정된 바와 같이, 임의의 적절한 양에 의해 각각의 기판 홀더 오프셋 거리(SD)를 증가시키거나 감소시키도록 독립적으로 회전될 수 있고, 후퇴된 포어아암/상부 아암 부분의 기판 홀더(3100A-3100B, 3100C-3100D)는 도 32b-32d에 도시된 바와 같이 연장된 포어아암/상부 아암 부분의 기판 홀더(3100A-3100B, 3100C-3100D)의 각각의 하나에 대응되는 방식으로 각각의 손목축(WX1, WX2) 둘레로 회전한다. 오프셋 거리(SD) 및 베이스 피치(BP)의 일부 예시적인 움직임/조절이 기재되는 한편, 조절/움직임은 그로 한정되지 않고 임의의 적절한 조절의 조합이 이루어질 수 있음이 언급된다. 여기서, 가변 피치가 기판 홀더(3100A-3100B, 3100C-3100D)의 쌍 사이에 제공되고, 도 30a-도 31에 도시된 이송 아암(131)의 듀얼 스카라 아암 배열은 독립적인 자동 웨이퍼 센터링으로 (여기 기재된 바와 같이) 기판의 빠른 교체를 제공하고, 결합된 기판 홀더는 감소된 수의 구동장치를 제공하는 한편, 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 유지한다.
도 3c, 도 30a, 도 30b, 도 31, 도 32a, 및 도 35를 참조하여, 예시적인 방법이 본 개시의 측면에 따라 기재될 것이다. 방법에 따라서, 도 30a-도 31의 듀얼 스카라 아암 구성으로 이송 아암(131)을 갖는 기판 이송 장치(130)가 제공된다(도 35, 블록(3500)). 연장된 아암의 기판 홀더(예를 들어, 엔드 이펙터)(아암이 연장되는 것에 따른 기판 홀더(3100C-3100D)의 기판 홀더(3100A-3100B) 중 어느 하나)가 이동하거나 그렇지 않으면 나란한 기판 처리 스테이션의 각각의 기판 처리 스테이션(192, 193)으로 연장하도록, 기판 이송 장치(130)의 하나의 이송 아암(예를 들어, 이송 아암(131)의 하나의 아암은 상부 아암 부분(3001A), 포어아암(3002A), 및 기판 홀더(3100A, 3100B)를 포함하는 한편, 이송 아암(131)의 또 다른 아암은 상부 아암 부분(3001B), 포어아암(3002B), 및 기판 홀더(3100C, 3100D)를 포함한다)은 이동된다(도 35, 블록(3510)). 기판 홀더(3100A-3100B, 3100C-3100D)가 연장됨에 따라, 센서(3299)는 제어기(110)로, (여기 기재된 바와 같이) 임의의 적절한 방식으로 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 기판 홀더(3100A-3100B, 3100C-3100D)에 의해 전달된 기판(S)을 검출한다. 자동 웨이퍼 센터링 정보에 기반해서, 제어기(110)는 구동 섹션(220C)이 하나의 아암을 연장하고 각기 각각의 기판 처리 스테이션(192, 193)에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 하나의 아암의 기판 홀더(3100A-3100D) 중 하나 이상의 기판 홀딩 스테이션 오프셋(SD)을 독립적으로 조절하도록 제어한다(도 35, 블록 3520). 위에 언급된 바와 같이, 단일 구동축에 대한 각각의 손목축(WX1, WX2) 주위의 기판 홀더(3100A, 3100C)의 결합 회전 및 또 다른 단일 구동축에 대한 각각의 손목축(WX1, WX2) 주위의 기판 홀더(3100B, 3100D)의 결합 회전은 단지 두 개의 구동축으로만 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 네 개의 기판 홀더(3100A-3100D)의 조절을 제공한다. 각각의 기판 처리 스테이션(192, 193)과 정렬된 기판(S1, S2)으로, 기판은 기판 홀더로 위치된다(도 35, 블록(3530)). 하나의 아암은 후퇴되고 듀얼 스카라 아암의 다른 아암(또는 동일한 아암)은 위에 기재된 방식으로 기판을 픽킹하거나 배치하도록 연장된다.
도 3c, 도 30a, 도 30b, 도 31, 도 32a, 및 도 36를 참조하여, 예시적인 방법이 본 개시의 측면에 따라 기재될 것이다. 방법은 그 안에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 (슬롯 밸브(SV)와 같은) 하나보다 많은 기판 이송 개구부를 갖는 측벽을 구비한, 이송 챔버(125)를 제공하는 단계를 포함한다(도 36, 블록(3600)) 관절식 다중-링크 아암(131)이 제공되고(도 36, 블록(3610)), 이는 5 자유도 구동 섹션(220C)에 피봇식으로 장착된 공통 상부 아암 링크를 갖는 적어도 하나의 상부 아암(3001)을 구비하고, 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)은 공통 상부 아암 링크의 단부에 피봇식으로 장착되고, 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)의 각각은 각각의 포어아암(3002A, 3002B)에 관련해 회전하도록 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부에 피봇식으로 장착된 각기 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 갖고, 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 각각은 그 위에 기판 홀딩 스테이션(3023, 3024, 3025, 3026)을 가진다. 방법은 고정된 위치에서 이송 챔버(125)에 연결된 5 자유도 구동 섹션(220C)를 갖는 관절식 다중-링크 아암(131)을 구동하는 단계를 포함하고(도 36, 블록(3620)), 5 자유도 구동 섹션(220C)은 고정된 위치에 관련해 선형 경로(예를 들어, 화살표(3099) 방향으로)를 따라 관절식 다중-링크 아암(131)의 적어도 연장 및 후퇴를 정의하고, 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 공통 상부 아암 링크(3001)에 관련해 독립적으로 회전가능하고, 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 각각의 일 단부에서 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 각각은 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부 둘레로 독립적으로 회전가능하다.
도 3c, 도 30a, 도 30b, 도 31, 도 32a, 및 도 37를 참조하여, 예시적인 방법이 본 개시의 측면에 따라 기재될 것이다. 방법은 그 안에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부(예를 들어, 슬롯 밸브(SV))를 갖는 측벽을 구비한, 이송 챔버(125)를 제공하는 단계를 포함한다(도 37, 블록(3700)) 방법은 또한 구동 섹션(220C)(예를 들어, 고정된 위치에 이송 챔버에 연결된 적어도 하나의 구동축을 갖음)에 피봇식으로 장착된 공통 상부 아암 링크를 갖는 적어도 하나의 상부 아암(3001)을 구비한 관절식 다중-링크 아암(131)을 제공하고(도 37, 블록(3710)), 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)은 공통 상부 아암 링크(3001)의 단부에 피봇식으로 장착되고, 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)의 각각은 각각의 포어아암(3002A, 3002B)에 관련해 회전하도록 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부에 피봇식으로 장착된 각기 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 갖고, 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 각각은 그 위에 기판 홀딩 스테이션(3023, 3024, 3025, 3026)을 가진다. 방법은 고정된 위치에서 이송 챔버(125)(도 37, 블록(3720))에 연결된 적어도 하나의 구동축을 갖는 구동 섹션(220C)으로 관절식 다중-링크 아암(131)을 구동하는 단계를 포함한다.
일 측면에서, 구동 섹션(220C)의 적어도 하나의 구동축은 고정된 위치에 관련해 선형 경로를 따라(예를 들어, 화살표(3099) 방향을 따라) 관절식 다중-링크 아암(131)을 적어도 연장시키고 후퇴시키도록 구성되고, 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 공통 상부 아암 링크(3001)에 관련해 독립적으로 회전가능하다. 여기서, 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002B)은 각각의 포어아암(3002A, 3002B)에 관련해 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 회전시키는 각기 각각의 포어아암(3002A, 3002Bb)마다 하나씩, 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100C 또는 3100B, 3100D)에 대해 공통 자유도를 정의하는 적어도 하나의 구동축의 공통 구동축에 작동하게 결합된 각각의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부에 장착된 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 갖고, 두 개의 포어아암(3002A, 3002B) 중 적어도 하나의 포어아암(3002A, 3002B)의 일 단부에서 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 적어도 또 다른 하나는 공통 자유도로부터 독립적인 적어도 하나의 포어아암(3002A, 3002B) 주위의 다른 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
또 다른 측면에서, 구동 섹션(220C)의 적어도 하나의 구동축은 고정된 위치에 관련해 선형 경로를 따라(예를 들어, 화살표(3099) 방향으로) 관절식 다중-링크 아암(131)을 적어도 연장시키고 후퇴시키도록 구성된다. 여기서, 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)의 제 1 포어아암(3002A, 3002B)에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D), 및 두 개의 포어아암(3002A, 3002B)의 제 2 포어아암(3002A, 3002B)에 대응되는 두 개의 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)는 대응되는 제 1 및 제 2 포어아암(3002A, 3002B)에 관련해 각기 각각의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 회전시키는, 제 1 포어아암(3002A, 3002B)의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D) 및 제 2 포어아암(3002A, 3002B)의 제 1 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)에 대해 공통 자유도를 정의하는 적어도 하나의 구동축의 공통 구동축에 작동가능하게 결합되고, 제 1 포어아암(3002A, 3002B)의 제 2 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)는 공통 자유도로부터 독립적인 제 1 포어아암(3002A, 3002B) 둘레로 제 2 엔드 이펙터 링크(3100A, 3100B, 3100C, 3100D)를 회전시키는 또 다른 자유도를 가진다.
앞서 언급된 기재가 본 개시의 측면에 관해 도시적일 뿐임이 이해되어야만 한다. 다양한 대안 및 수정이 본 개시의 측면으로부터 벗어나지 않고 해당 기술분야의 당업자에 의해 고안될 수 있다. 따라서, 본 개시의 측면은 여기에 첨부된 임의의 청구항의 범위 내에 해당하는 모든 그러한 대안, 수정, 및 변화를 포괄하도록 의도된다. 또한, 다른 특징이 상호 다른 종속항 또는 독립항에 재인용된다는 단순 사실은 이들 특징의 조합이 유리하게 사용될 수 없음을 나타내지 않고, 그러한 조합은 본 개시의 측면의 범위 내에 해당한다.

Claims (36)

  1. 기판 이송 장치(substrate transport apparatus)로서:
    프레임;
    상기 프레임에 연결된 구동 섹션;
    상부 아암과 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식(articulated) 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암은 일 단부에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 반대편 단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 일 단부와 반대편 단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식(unarticulated) 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암; 및
    서로 분리되고 구별되는 듀얼 엔드 이펙터 링크들로서, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대하여 회전하도록, 상기 포어아암의 공통 단부에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 듀얼 엔드 이펙터 링크들;을 포함하며,
    상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하고, 대향하는 단부들 중 하나에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들은 상기 다중-링크 아암의 반경방향 연장 및 후퇴가 실질적으로 공통 레벨에서 서로에 대해 병치된 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장 및 후퇴를 실행하도록 배치되는, 기판 이송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 서로 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 기판 이송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 기판 이송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    각각의 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에서 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하고, 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크 각각은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인, 기판 이송 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 다른 엔드 이펙터 링크에 대해 독립적인 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 위한 자유도를 정의하는 다축 구동 섹션인, 기판 이송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    각각의 엔드 이펙터 링크를 위한 독립적인 자유도는 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 가능하게 하는, 기판 이송 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구성된 다축 구동 섹션인, 기판 이송 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합되고 상기 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 다중-링크 아암을 연장시키도록 구성된 제어기를 더 포함하는, 기판 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 빠르게 교체하도록 구성되고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩되는, 기판 이송 장치.
  11. 기판 처리 장치(substrate processing apparatus)로서:
    내부에 격리된 대기를 홀딩하도록 구성되고, 공통 레벨 상에서 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는 측벽을 구비한, 이송 챔버;
    고정된 위치에서 상기 이송 챔버에 연결된 구동 섹션을 가지며, 상기 이송 챔버 내에 위치한 상부 아암 및 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암은 일 단부에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 반대편 단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 일 단부와 반대편 단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식(unarticulated) 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암;을 포함하며,
    상기 다중-링크 아암은 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들을 가지며, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 조인트에서 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대하여 회전하도록, 상기 포어아암의 공통 단부에서 상기 조인트에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지며, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들이 서로에 대해 공통 평면을 따라 병치되도록 상기 조인트로부터 연장되고,
    상기 구동 섹션은 반경방향 축을 따라 상기 다중-링크 아암을 적어도 연장 및 후퇴시키도록 구성되며, 상기 연장 및 후퇴는 상기 측벽을 따라 병치된 분리된 개구부들을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장 및 후퇴를 각각 실행하고, 상기 구동 섹션은 대응되는 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 하나를 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 중 다른 하나에 대해 독립적으로 정렬시키도록 구성되는, 기판 처리 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 상기 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 상기 엔드 이펙터 링크들 중 다른 하나의 대응되는 기판 홀딩 스테이션에 대해 독립적으로 정렬시키도록 구성되는, 기판 이송 장치.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인 상기 엔드 이펙터 링크들의 적어도 하나의 대향하는 단부들에 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하는, 기판 이송 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    대향하는 단부들 중 하나에 있는 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 기판 이송 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나의 대향하는 단부들에 있는 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 서로 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 기판 이송 장치.
  16. 제11항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 다른 엔드 이펙터 링크에 대해 독립적인 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 위한 자유도를 정의하는 다축 구동 섹션인, 기판 이송 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    각각의 엔드 이펙터 링크에 대한 독립적인 자유도는 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 가능하게 하는, 기판 이송 장치.
  18. 제11항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 상기 이송 챔버의 측벽들 내의 각개의 기판 이송 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구성된 다축 구동 섹션인, 기판 이송 장치.
  19. 제11항에 있어서,
    상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합되고 상기 이송 챔버의 측벽 내의 각개의 기판 이송 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 다중-링크 아암을 연장시키도록 구성된 제어기를 더 포함하는, 기판 이송 장치.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 각개의 기판 이송 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 빠르게 교체하도록 구성되고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 하나보다 많은 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩되는, 기판 이송 장치.
  21. 기판 이송 장치로서:
    프레임;
    상기 프레임에 연결된 구동 섹션;
    적어도 하나의 2링크 스카라(SCARA) 아암으로서, 상기 스카라 아암은 상기 스카라 아암의 엘보우 조인트에서 서로 연결된 제1 아암 링크와 제2 아암 링크를 가지며, 상기 제1 아암 링크는 어깨 조인트에서 상기 구동 섹션에 연결되는, 적어도 하나의 2링크 스카라 아암; 및
    서로 분리되고 구별되는 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들로서, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 공통 손목(wrist) 조인트에서 공통 회전축 둘레로 상기 제2 아암 링크에 대해 회전하도록, 상기 공통 손목 조인트에서 상기 제2 아암 링크에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들;을 포함하며,
    상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 중 적어도 세 개에 의해 결정된 공통 평면 상에서 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 중 각각 다른 엔드 이펙터 링크에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 배치되는, 기판 이송 장치.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 적어도 세 개 중 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 공통 엔드 이펙터 링크에 대응되는, 기판 이송 장치.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 상기 공통 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 각각 하나씩 배치되는, 기판 이송 장치.
  24. 제22항에 있어서,
    상기 공통 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 서로 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 기판 이송 장치.
  25. 제22항에 있어서,
    상기 공통 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 있는 상기 두 개의 기판 홀딩 스테이션들은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 기판 이송 장치.
  26. 제22항에 있어서,
    상기 공통 엔드 이펙터 링크는 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인, 기판 이송 장치.
  27. 제21항에 있어서,
    상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들은, 상기 스카라 아암의 반경방향 연장 및 후퇴가 실질적으로 공통 레벨에서 서로에 대해 병치된 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 각각의 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장 및 후퇴를 실행하도록 배치되는, 기판 이송 장치.
  28. 제21항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 중 다른 엔드 이펙터 링크들에 대해 독립적인 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크를 위한 자유도를 정의하는 다축 구동 섹션인, 기판 이송 장치.
  29. 제28항에 있어서,
    각각의 엔드 이펙터 링크를 위한 독립적인 자유도는 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 가능하게 하는, 기판 이송 장치.
  30. 제21항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하도록 구성된 다축 구동 섹션인, 기판 이송 장치.
  31. 제30항에 있어서,
    상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합되고 상기 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 스카라 아암을 연장시키도록 구성된 제어기를 더 포함하는, 기판 이송 장치.
  32. 제 31항에 있어서,
    상기 제어기는 상기 각개의 분리된 개구부들을 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 빠르게 교체하도록 구성되고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 하나보다 많은 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩되는, 기판 이송 장치.
  33. 기판을 이송하기 위한 방법으로서, 상기 방법은:
    기판 이송 장치를 제공하는 단계로서, 상기 기판 이송 장치는:
    프레임;
    상기 프레임에 연결된 구동 섹션;
    상부 아암과 포어아암(forearm)을 가지는 적어도 하나의 관절식(articulated) 다중-링크 아암으로서, 상기 상부 아암은 일 단부에서 상기 구동 섹션에 회전가능하게 연결되고, 상기 포어아암은 상기 상부 아암의 반대편 단부에서 상기 상부 아암에 회전가능하게 연결되며, 상기 상부 아암은 일 단부와 반대편 단부 사이에서 실질적으로 강성의 비관절식(unarticulated) 링크인, 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암; 및
    서로 분리되고 구별되는 듀얼 엔드 이펙터 링크들로서, 상기 엔드 이펙터 링크들 각각은, 각각의 엔드 이펙터 링크가 공통 회전축 둘레로 상기 포어아암에 대하여 회전하도록, 상기 포어아암의 공통 단부에 회전가능하게 별개로 연결되고, 각각의 엔드 이펙터 링크는 이에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션을 가지는, 듀얼 엔드 이펙터 링크들;을 포함하며,
    상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 중 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크에 지지되는 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션은 대향하는 단부들 사이에서 실질적으로 강성이고 비관절식인 상기 적어도 하나의 엔드 이펙터 링크의 대향하는 단부들에 하나의 기판 홀딩 스테이션을 포함하고, 대향하는 단부들 중 하나에 있는 상기 기판 홀딩 스테이션은 각각 다른 분리되고 구별되는 엔드 이펙터 링크의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션과 실질적으로 동일 평면 상에 있는, 단계; 및
    상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들이 이송 챔버의 측벽을 통해 연장되도록 상기 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암을 연장시키는 단계로서, 상기 측벽은 공통 레벨 상에서 상기 측벽을 따라 서로에 대해 분리되고 병치된 하나보다 많은 기판 이송 개구부들을 가지는, 단계;를 포함하는 기판을 이송하기 위한 방법.
  34. 제33항에 있어서,
    상기 구동 섹션은 다축 구동 섹션이며, 상기 방법은, 상기 구동 섹션에 의해, 상기 이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 상기 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션의 실질적인 동시 연장과 실질적으로 일치하여 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들 각각의 하나의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에서 독립적인 자동 웨이퍼 센터링을 실행하는 단계를 더 포함하는, 기판을 이송하기 위한 방법.
  35. 제33항에 있어서,
    상기 구동 섹션에 작동가능하게 결합된 제어기를 제공하는 단계; 및
    이송 챔버 벽 내의 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션에 의해 듀얼 제1 기판들을 실질적으로 동시에 픽킹하거나 배치하기 위해 상기 적어도 하나의 관절식 다중-링크 아암의 연장을 실행하는 단계;를 더 포함하는, 기판을 이송하기 위한 방법.
  36. 제35항에 있어서,
    상기 제어기에 의해, 상기 각개의 분리된 개구부들을 통해 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 홀딩된 적어도 하나의 제2 기판으로 상기 듀얼 제1 기판들의 실질적으로 동시에 빠른 교체를 실행하는 단계를 더 포함하고, 상기 듀얼 제1 기판들은 상기 듀얼 엔드 이펙터 링크들의 대응되는 적어도 하나의 기판 홀딩 스테이션 상에 동시에 홀딩되는, 기판을 이송하기 위한 방법.
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