TW202126445A - 基板處理裝置 - Google Patents

Abstract

一種基板處理裝置，具有驅動部分以及至少一個關節型多連桿臂，其具有在一端處接合於驅動部分的上臂、及接合於上臂的前臂。上臂為實質剛性的無關節連桿。彼此獨立且不同的雙端接器連桿分別繞著共同旋轉軸線可旋轉且獨立地接合到前臂的共同端。每一個端接器連桿具有至少一個保持站。至少一個端接器連桿的保持站包括在至少一個端接器連桿的相對端處的一個保持站，其在相對端之間為實質剛性且無關節的，且在相對端中的一者處的保持站與每一個其他端接器連桿的保持站為實質上共面的。

Description

基板處理裝置

本申請案為非臨時案，且主張以下美國臨時專利申請案的優先權：2019年12月2日申請之第62/942,530號、2019年12月2日申請之第62/942,544號、以及2020年9月21日申請之第63/081,186號，其全文在此處藉由引用被併入。

本說明書的例示性實施例大致關於基板處理工具，且更具體地，關於基板輸送裝置。

半導體製造設施可利用基板處理系統，其包括被耦接到共同的真空輸送系統的雙處理模組。在一些傳統系統中，半導體基板(亦稱作基板或晶圓)通常藉由輸送裝置被傳遞到雙處理模組，輸送裝置包括並排的伸縮臂，其可到達雙處理模組之並排的基板保持站中。在其他傳統系統中，長距離的“偏航”(yaw)型輸送裝置(例如，具有包含臂連桿的臂，臂連桿允許非徑向對準的基板保持件延伸)被使用來一次地將基板輸送到雙處理模組的每一個基板保持站。這些傳統輸送裝置的基板交換時間(例如，從雙處理模組的一個或兩個基板保持站移除已處理基板以及將未處理基板導入同樣的一個或兩個基板保持站所需的時間)可能會導致基板處理系統之減少的產量。

與

圖1A顯示根據本揭露內容的面向之例示性基板處理裝置100。雖然將參照圖式描述本揭露內容的面向，應理解的是，本揭露內容的面向能夠以許多形式來實施。此外，元件或材料之任何適合的尺寸、形狀或類型可被使用。

本揭露內容的面向提供基板處理裝置100，其包括基板輸送裝置130。基板輸送裝置包括臂131，其具有至少兩個臂連桿及可旋轉地相互接合的端接器(在本文中亦稱作基板保持件)，且在一個面向中，具有在固定位置處的肩關節/軸線SX。基板輸送裝置130配置為實質上同時地拾取(及/或放置)基板到並列的基板處理(或其他保持)站190-191、192-193、194-195、196-197，同時提供基板S的快速交換。基板輸送裝置130的配置使得能夠實質上同時地拾取基板到在輸送室125、125A(如同在本文中所描述)的每一側上的每一個並排的基板處理站，且每一個基板的獨立自動晶圓定心與藉由基板輸送裝置130的基板輸送重合。應注意的是，簡單參照圖7E至7J，基板S的快速交換為實質上同時地藉由基板輸送裝置130將基板S(S1、S2)從一組或一對並排基板處理站(例如，像是基板處理站190-191)移除、以及實質上同時地藉由基板輸送裝置130將其他不同的基板S(S3、S4)放置到相同的並排基板處理站(亦即，基板處理站188-189)，其中，移除和放置以快速連續的方式進行，而沒有任何被移除的基板S(S1、S2)的中間放置(亦即，被移除的基板S(S1、S2)由基板輸送裝置保持)。在其他面向中，在基板的拾取與放置之間實質上沒有中間Z軸線動作的情況下進行基板的快速交換。換言之，除了抬起(拾取)或降低(放置)基板到基板保持站以外，實質上沒有基板輸送裝置130的中間Z軸線動作。例如，基板保持件平面(如同在本文中所描述，以及雙面基板保持件的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2是否形成一個或多個平面)的每一個平面499、499A(參見圖2D、10及11)與在共同輸送室中的輸送開口的至少一平面(參見圖1B及1C)相對應且對準，以在輸送開口平面的指定Z位置處進行輸送，如同將在本文中進一步描述的。

亦參照圖2，根據本揭露內容的面向，臂131包括至少兩個基板保持件或端接器203、204。在一個面向中，基板保持件203、204為雙盤基板保持件的兩端，其中，每一個基板保持件具有兩個縱向地獨立的端，且在每一端處具有至少一個基板保持站或盤；然而，在其他面向中，基板保持件具有任何適合的配置，例如，在本文中所描述的那些配置。至少兩個基板保持件203、204獨立且相對於彼此繞著基板輸送裝置130的腕軸線WX旋轉，以在並排的基板處理站190-191、192-193、194-195、196-197之間造成自動晶圓定心和容納不同節距中的一者或多者。

再次參照圖1A，顯示出根據本揭露內容的面向之基板處理裝置100，例如，半導體工具站。雖然半導體工具站在圖式中被顯示，在本文中所描述之本揭露內容的面向可被應用到採用機器操縱器(robotic manipulator)的任何的工具站或應用中。在一個面向中，基板處理裝置100被顯示為具有群集佈置(例如，具有被連接到中央或共同室的基板處理站190-197)，而在其他面向中，處理裝置可為線性地佈置的工具，然而，本揭露內容的面向可被應用到任何適合的工具站。基板處理裝置100通常包括大氣前端101、兩個或多個真空加載鎖102A、102B、以及真空後端103。在任何適合的佈置中，兩個或多個真空加載鎖102A、102B可被耦接到前端101及/或後端103之任何適合的埠或開口。例如，在一個面向中，兩個或多個真空加載鎖102A、102B(以及在輸送室壁125W中的各個開口)可能以並排佈置的方式被佈置在共同水平面中，如同圖1B中可見的。在其他面向中，兩個或多個真空加載鎖102A、102B可被佈置為網格形式，使得兩個或多個真空加載鎖102A、102B、102C、102D(以及在輸送室壁125W中的各個開口)被佈置為列(例如，具有間隔開的水平面)和行(例如，具有間隔開的垂直面)，如圖1C所示。

應理解的是，雖然兩個或多個真空加載鎖102A、102B被顯示在輸送室125的端100E1上，在其他面向中，兩個或多個真空加載鎖102A、102B可被佈置在輸送室125的任何數量的側100S1、100S2、及/或端100E1、100E2上。兩個或多個真空加載鎖102A、102B、102C、102D中的每一者亦可包括一個或多個晶圓/基板支承面WRP(圖1B及1C)，其中，基板被保持在各個真空加載鎖102A、102B、102C、102D中的適合的支撐件上。在其他面向中，基板處理裝置100可具有任何適合的配置。

前端101、兩個或多個真空加載鎖102A、102B及後端103可被連接到控制器110，控制器110可為任何適合的控制架構的一部分，例如，群集架構控制。控制系統可為閉迴路控制器，其具有主控制器、群集控制器、及自動遠端控制器，例如，在2011年3月8日公告的名稱為“Scalable Motion Control System”的美國專利第7,904,182號中所揭露的那些控制器，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在其他面向中，可運用任何適合的控制器及/或控制系統。

在一個面向中，前端101通常包括加載埠模組105及微型環境106，例如，設備前端模組(EFEM)。加載埠模組105可為符合300 mm加載埠的SEMI標準E15.1、E47.1、E62、E19.5或E1.9之盒打開器/加載器對工具標準(box opener/loader to tool standard，BOLTS)介面、前開口或底開口盒/艙及卡匣。在其他面向中，裝載埠模組可配置為200mm晶圓/基板介面、450mm晶圓/基板介面、或任何其他適合的基板介面，例如，較大或較小的半導體晶圓/基板、用於平板顯示器(flat panel display)的平板、太陽能板、標線片、或任何其他適合的物件。雖然在圖1A中顯示兩個加載埠模組105，在其他面向中，可將任何適合數量的加載埠模組併入到前端101中。加載埠模組105可配置為從高架的輸送系統、自動引導車輛、人力引導車輛、軌道引導車輛、或從任何適合的輸送方法接收基板載具或卡匣C。加載埠模組105可透過加載埠107與微型環境106介接。加載埠107可允許基板S通過基板卡匣C和微型環境106之間。微型環境106通常包括任何適合的輸送機器人108，其可併入在本文中所描述之本揭露內容的一個或多個面向。在一個面向中，機器人108可為履帶式機器人，例如，1999年12月14日公告的美國專利第6,002,840號；2013年4月16日公告的美國專利第8,419,341號；以及2010年1月19日公告的美國專利第7,648,327號中所描述的履帶式機器人，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在其他面向中，機器人108可為實質上類似於在本文中相對於後端103所描述的那樣。微型環境106可提供受控制、乾淨的區域，供基板在多個加載埠模組之間的輸送。

兩個或多個真空加載鎖102A、102B(以及102C、102D)可被定位在微型環境106與後端103之間，且被連接於微型環境106與後端103。在其他面向中，加載埠105可實質地被直接耦接到至少一個加載鎖102A、102B或輸送室125，其中，基板載具C被向下泵送到輸送室125的真空中，且在基板載具C與各個加載鎖102A、102B或輸送室125之間直接地輸送基板S。在此面向中，基板載具C可作用為加載鎖，使得輸送室的處理真空延伸到基板載具C中。如同可實現的，基板載具C透過適合的加載埠被實質地直接耦接到真空加載鎖102A、102B，可在加載鎖中設置任何適合的輸送裝置、或具有進入載具C的其他方式，供輸送基板S到基板載具C或從基板載具C輸送基板S。應注意的是，在本文中所使用的詞語真空可表示高度真空，例如，10^-5 Torr或以下，基板S在其中被處理。兩個或多個真空加載鎖102A、102B通常包括大氣槽/縫隙閥ASV及真空槽/縫隙閥VSV(在本文中通常稱為槽閥SV)。加載鎖102A、102B的槽閥SV(同樣用於基板站模組150)可提供環境隔離，環境隔離在從大氣前端101加載基板S之後被應用來抽空加載鎖102A、102B，以及當以惰性氣體(例如，氮氣)使加載鎖102A、102B排氣時維持輸送室125中的真空。處理裝置100的槽閥SV可被定位在相同平面或垂直地堆疊的不同平面中(如同上述關於真空加載鎖102A、102B、102C、102D所描述的)，以適應對至少基板站模組150及被耦接到輸送室125的加載鎖102A、102B之基板的輸送以及從至少基板站模組150及被耦接到輸送室125的加載鎖102A、102B之基板的輸送。兩個或多個加載鎖102A、102B(及/或前端101)亦可包括對準器109，用於使基板S的基準點對準加工或任何其他適合的基板計量設備的理想位置。在其他面向中，兩個或多個真空加載鎖102A、102B可被定位在處理裝置之任何適合的位置，且具有任何適合的配置。

真空後端103通常包括輸送室125、一個或多個基板站模組150、以及任何適合數量的基板輸送裝置130，基板輸送裝置130可包括在本文中所描述之本揭露內容的一個或多個面向。基板輸送室125配置為在其中保持隔離大氣，並具有側壁125W，側壁125W具有超過一個基板輸送開口(例如，槽閥SV、或與其對應的開口，例如，如圖1B及1C在壁125W中所顯示的，槽閥被耦接到開口以密封地關閉開口)，超過一個基板輸送開口沿著側壁125W在共同的水平上(圖1B)相對於彼此為獨立且並列的，或者，在其他面向中，超過一個基板輸送開口為成列且成行的(圖1C)。輸送室125可具有適合的形狀及尺寸，例如，其符合SEMI標準E72的規範。基板輸送裝置130將在下文中被描述，且可至少部分地被定位在輸送室125中，以在兩個或多個真空加載鎖102A、102B(或在位在加載埠處的卡匣C之間)及各個不同的基板站模組150之間輸送基板。在一個面向中，基板輸送裝置130可為能夠作為模組單元從輸送室125移除的，使得基板輸送裝置130符合SEMI標準E72的規範。

基板站模組150可被並排地佈置在輸送室125的共同側或面上，及/或單獨基板站模組150可被設置在輸送室125的單一側或面上；然而，在其他面向中，基板站模組可為單獨基板站模組150S(圖8)、三基板站模組150T (圖12)、及/或具有位在單一殼體中或以其他方式被並排地佈置在輸送室125的共同側/面之任何適合數量的基板處理/保持站的基板站模組。在一個面向中，並排的基板處理站被佈置在共同的(亦即，相同的)處理模組殼體150H(參見圖1A)中，以形成可稱為雙或串聯基板處理模組150D；而在其他面向中，並排的基板處理站為單獨基板處理站150S，其彼此獨立且並未共享相同殼體(圖7A)。應理解的是，雙基板站模組150D、單獨基板站模組150S、三基板站模組150T、以及具有任何適合數量的基板處理站之任何其他基板處理模組能夠以任何適合的組合(參見，例如，圖8，其中，單獨和雙基板站模組被耦接到相同的輸送室)被耦接到相同(亦即，共同)的輸送室125。

例如，參照圖1A及在輸送室125的側100S1上的基板站模組150，基板處理站190、191被並排地佈置在共同殼體150H中，且可從輸送室125當中通過單一槽閥進入(參見，例如，基板處理站192、193)，單一槽閥為兩個基板處理站所共用的，或者，每一個基板處理站可具有可各別獨立地操作的槽閥(參見，例如，基板處理站190、191)。並排的基板處理站，例如，190、191藉由適合的距離或節距D彼此分開或間隔開，如同將在本文中所描述的，適合的距離或節距D可藉由改變基板輸送裝置130的至少兩個雙端基板保持件203、204的基板處理站之間的距離來適應。

基板站模組150可透過各種沉積、蝕刻或其他類型的處理在基板S上操作，以在基板上形成電子電路或其他理想結構。典型的處理包括但不限於使用真空的薄膜處理，例如，電漿蝕刻或其他蝕刻處理、化學氣相沉積(CVD)、電漿氣相沉積(PVD)、像是離子植入的植入、計量學、快速熱處理(RTP)、乾揭膜(dry strip)原子層沉積(ALD)、氧化/擴散、氮化物形成、真空微影術、磊晶術(EPI)、引線接合及蒸鍍、或使用真空壓力的其他薄膜處理。基板站模組150被任何適合的方式可通信地連接到輸送室125，例如，透過槽閥SV，以允許基板從輸送室125通過到基板站模組150，且反之亦然。輸送室125的槽閥SV可被佈置，以允許雙處理模組的連接。

應注意的是，當基板輸送裝置130的至少兩個雙端基板保持件203、204的至少一部分被與並排的基板處理站190-191、192-193、194-195、196-197中的預定組或對的相應基板處理站對準時，可能在基板站模組150和被耦接到輸送室125的加載鎖102A、102B(或卡匣C)之間發生基板的輸送。根據本揭露內容的面向，兩個基板S可實質同時地(例如，當以在本文中所描述的方式從雙處理模組拾取/放置基板時)被輸送到各個預定的基板站模組150。

基板輸送裝置130在本文中大致上被描述為具有至少一個關節型多連桿臂131、以及在固定位置處被連接到輸送室125的驅動部分220、220A、220B、220C；然而，在其他面向中，基板輸送裝置130可被安裝在吊臂(boom arm)或線性台車上，例如，2014年10月16日申請之名稱為“處理裝置”的美國專利申請第15/103,268號、以及2013年2月11日申請之名稱為“基板處理裝置”的國際專利申請第PCT/US13/25513號中所描述的那樣，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。至少一個關節型多連桿臂131具有上臂201和位在輸送室125中的前臂202。上臂201的近端201E1在固定位置處被可旋轉地接合到驅動部分220、220A、220B、220C。前臂202在上臂201的遠端201E2處被可旋轉地接合到上臂201，且上臂201是在近端201E1和遠端201E2之間的實質剛性的無關節連桿。

在本文中所描述之本揭露內容的這些面向中，至少一個端接器連桿(如同將在本文中描述的)在前臂202的一端處被可旋轉地接合到關節(例如，腕關節或軸線WX)，使得至少一個端接器連桿相對於前臂202在關節處繞著共同旋轉軸線旋轉，至少一個端接器連桿具有依附於其的超過一個基板保持站(如同將在本文中描述的)，其沿著共同平面499(參見，例如，圖2D、10及11)相對於彼此並列，且配置為使得至少一個端接器連桿繞著共同旋轉軸線的旋轉使超過一個基板保持站繞著共同旋轉軸線旋轉。如同將在本文中所描述的，基板輸送裝置130的驅動部分220、220A、220B、220C被配置來沿著非徑向線性路徑相對於固定位置至少延伸和收回多連桿臂131(以及被耦接於其上的至少一個端接器)，使超過一個並列的基板保持站隨著臂131的延伸和收回分別沿著非徑向路徑線性地橫越，並在共同水平上實質同時地通過超過一個並列的基板輸送開口(例如，槽閥SV、或與其相對應的開口，相對應的開口為如圖1B和1C所示之在槽閥被耦接以密封地關閉開口之壁125W中的開口)的獨立對應的開口。在其他面向中，基板輸送裝置130的驅動部分220、220A、220B、220C被配置來沿著徑向線性路徑和非徑向線性路徑中的一者或兩者相對於固定位置延伸和收回多連桿臂131，用於輸送基板，如同在本文中所描述的。

仍參照圖1A且亦參照圖2A至2D，基板輸送裝置130包括框體220F、被連接到框體220F的驅動部分220、以及至少一個關節型多連桿臂131(僅顯示單一個臂用於例示性目的)。在一個面向中，臂131為選擇性兼容的關節型機器人臂(在本文中稱為“SCARA臂”)，但在其他面向中，臂可具有任何適合的配置。例如，臂131包括上臂連桿201、前臂連桿202、及至少一個端接器連桿203、204(亦即，具有至少一個端接器的雙連桿SCARA)；雖然在其他面向中，臂131可具有任何適合數量的臂連桿及基板保持件。上臂連桿201為實質剛性的連桿(亦即，上臂連桿201在縱向端201E1、201E2之間為無關節的)。上臂連桿201在一個縱向端201E1(形成可被稱為肩關節或軸線SX之物)處被可旋轉地耦接到驅動部分220，以繞著臂131的肩軸線SX旋轉。在一個面向中，肩關節或軸線SX為在固定位置處(在圖式中顯示為沿著輸送室的對稱軸線，但在其他面向中可從輸送室的對稱軸線偏離)。前臂連桿202為實質剛性的連桿(亦即，前臂連桿202在縱向端202E1、202E2之間為無關節的)。前臂連桿202的縱向端202E1被可旋轉地耦接到上臂連桿201的縱向端201E2，使得前臂連桿202繞著臂131的肘軸線EX旋轉。在此處，前臂連桿202和上臂連桿201為類似長度(例如，從關節中心到關節中心)，但在其他面向中，前臂連桿202和上臂連桿201可具有不同的長度(例如，從關節中心到關節中心)。

在一個面向中，至少一個端接器連桿203、204(在本文中亦稱作基板保持件)包括兩個雙(端)基板保持件203、204；然而，在其他面向中，如同在本文中所描述的，至少一個基板保持件可具有任何適合的配置。雙基板保持件203、204為彼此獨立且不同的。雙基板保持件203、204中的每一者在前臂連桿202的共同端處被可旋轉且獨立地接合到關節，使得每一個基板保持件203、204相對於前臂連桿202繞著關節、或由關節所形成的共同旋轉軸線旋轉(參見，例如，腕軸線或關節WX)。雙基板保持件203、204中的每一者具有依附於其且延伸自關節的對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2，使得超過一個基板保持件203、204相對於彼此沿著共同平面499並列(參見圖2D、4、10及11)。共同平面499藉由超過一個基板保持件203、204的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2中的至少三者來確定，其中，至少三個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2中的兩個基板保持站(例如，基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)對應到超過一個基板保持件203、204的共同基板保持件203、204。如同在本文中所描述的，兩個基板保持站(例如，基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)被設置為分別位在共同基板保持件203、204的相對端處。

依附於至少一個基板保持件203、204的對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2包括在至少一個基板保持件203、204的相對端處的一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2。至少一個基板保持件203、204在相對端之間為實質剛性且無關節的，且在相對端中的一端處的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2與每一個其他獨立且不同的基板保持件203、204之對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2為實質共面的。在一個面向中，在至少一個基板保持件203、204的相對端處的基板保持站(參見基板保持件203的基板保持站203H1、203H2和基板保持件204的基板保持站204H1、204H2)為實質上彼此共面的。在其他面向中，在至少一個基板保持件(參見基板保持件203或204中的一者)的相對端處的基板保持站(參見基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)與每一個獨立且不同的端接器連桿(參見基板保持件203或204中的另一者)之對應的至少一個基板保持站(參見基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)為實質共面的。在又其他面向中，每一個獨立且不同的基板保持件(參見基板保持件203、204中的每一者)之對應的至少一個基板保持站(參見基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2)包括在至少一個基板保持件203、204的相對端處的一個基板保持站，且每一個獨立且不同的基板保持件203、204在相對端之間為實質剛性且無關節的。

仍參照圖2A至2D，雙基板保持件203、204將被更詳細地描述。例如，在一個面向中，雙基板保持件203、204中的每一者包括縱向地延伸的框體203F、204F(圖2A)，縱向地延伸的框體203F、204F具有各自的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2，其被設置在框體203F、204F的相對縱向端處。在一個面向中，在共同基板保持件的相對端處的兩個基板保持站(例如，基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)為實質上彼此共面的；而在其他面向中，兩個基板保持件可位在不同的堆疊平面(參見，例如，圖10)。如同上面所提及的，基板保持件平面(如同在本文中所描述的，以及雙面基板保持件的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2是否形成一個或多個平面)中的每一個平面499、499A(參見圖2D、10及11)與在共同輸送室中的輸送開口的至少一個平面(參見圖1B及1C)相對應且對準，以在輸送開口平面的指定Z位置處進行輸送，使得在實質上沒有Z軸線移動的情況下藉由每一個雙面基板保持件203、204的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2造成通過在每一個平面上的每一個相應開口之基板輸送，亦即，藉由在基板保持件203、204的一端處的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸進入基板處理站(用於每一個平面)、在基板處理站處拾取及/或放置基板、從基板處理站收回、以及藉由在雙面基板保持件203、204的相同或不同端處之相同或不同的雙基板延伸進入每一個其他不同的基板處理站造成(獨立於中間Z軸線移動、或與基板輸送之間的中間Z軸線移動分離)實質上獨立於Z軸線移動的基板的快速交換。每一個框體203F、204F形成從各個基板保持站203H1、204H1到各個基板保持站203H2、204H2之實質剛性的連桿(亦即，雙面基板保持件203、204在其各自的縱向地獨立的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2之間為無關節的)。每一個雙面基板保持件203、204包括從框體203F、204F側向地延伸的偏置安裝突起210、211。雙面基板保持件203、204的偏置安裝突起210、211繞著腕軸線WX被可旋轉地耦接到上臂202，使得雙面基板保持件203、204中的每一者彼此獨立地繞著腕軸線WX旋轉。

偏置安裝突起210、211可具有任何適合的長度，其設定或以其他方式界定任何適合的基節(base pitch) BP(在並排的基板保持站203H1-204H1之間、以及(與基節BP相對應地)在並排的基板保持站203H2-204H2之間)、及/或每一個基板保持位置203H1、203H2、204H1、204H2相對於腕軸線WX之任何適合的基板保持件的偏置距離SD。在一個面向中，基節BP可與並排的基板處理站(例如，190、191)之間的節距D(參見圖1A)為實質相等的。在其他面向中，如同在本文中所描述的，藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站203H1-204H1、203H2-204H2之間的距離可被增加或減少)來造成自動晶圓定心，以適應節距D的變化、及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197處的自動晶圓定心。例如，一個或多個基板保持件203、204可繞著腕軸線WX被獨立地旋轉，以增加或減少(或以其他方式改變)各個偏置距離SD，並做成在基節BP中的相應變化，如同在本文中所描述的。在一個面向中，如同在本文中所描述的，驅動部分220配置為使每一個基板保持件203、204之對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2相對於另一個基板保持件203、204之對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2獨立地對準。

雙面基板保持件203、204以任何適合的方式被配置，使得基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2被設置在共同平面499中(參見圖2D及4)。例如，偏置安裝突起210、211可分別包括第一部分230、231，其實質上與相應的框體203F、204F共面。偏置安裝突起210、211可分別包括第二部分232、233，其為偏離的，以延伸到由相應的框體203F、204F所界定之平面的外側。第二部分232、233的偏離為使得當第二部分一個在另一個上方地堆疊在一起(參見圖2D)且繞著腕軸線WX可旋轉地耦接到前臂202時，基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2被設置在共同平面499中。

雙面基板保持件203、204被設置為使得臂131的軸線延伸和收回造成每一個基板保持件203、204之對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2通過輸送室壁125W(圖1A)中的各個獨立開口(參見槽閥SV)的同時延伸和收回，各個獨立開口在實質共同的水平處(參見圖1B及1C中的一個或多個晶圓/基板支承面WRP)相對於彼此並列。在其他面向中，基板保持件203、204可延伸通過被堆疊在不同平面中的輸送室壁中的開口。

現在參照圖2A至3A，顯示根據本揭露內容的面向之例示性的驅動部分220。在一個面向中，驅動部分220配置為以徑向延伸的方式使臂131延伸(和收回)，其中，腕軸線WX的移動被維持為沿著徑向延伸/收回700(其延伸通過肩軸線SX(圖7B))的軸線或路徑，使得基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2(其偏離徑向軸線)從並排的基板處理站拾取和放置基板S。在另一個面向中，驅動部分220配置為以非徑向延伸的方式使臂131延伸(和收回)，其中，腕軸線的移動沿著路徑701(圖7F)行進，路徑701從徑向延伸/收回700的軸線偏離及/或傾斜(亦即，路徑701不會通過肩軸線SX或從肩軸線SX輻射出去，應注意的是，圖7C顯示延伸的徑向路徑702，在此處，腕軸線WX沿著延伸通過肩軸線SX或從肩軸線SX輻射出去之移動路徑移動)。在又其他面向中，驅動部分220配置為沿著徑向和非徑向路徑兩者來延伸臂(參見圖7A至7L)。

在一個面向中，驅動部分可為同軸驅動佈置，而在其他面向中，驅動部分可具有任何適合的驅動佈置，包括但不限於並排馬達、簡諧驅動(harmonic drive)、切換式或可變式磁阻馬達(reluctance motor)等。在美國專利號第6,485,250、5,720,590、5,899,658、5,813,823、8,283,813、8,918,203及9,186,799號中描述驅動部分佈置的適合範例，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在此面向中，驅動部分220包括殼體310，用於至少部分地容納四同軸驅動軸組件300(亦參見圖4)，其具有四個驅動軸301-304及四個馬達342、344、346、348(例如，四自由度馬達)。在本揭露內容的其他面向中，驅動部分220可具有任何適合數量的驅動軸及馬達，例如，兩個或三個同軸馬達、或超過四個同軸馬達及相關的驅動軸。驅動部分220亦可包括Z軸線驅動312，配置來，例如，抬起和降低臂131，用於拾取和放置基板S；然而，在其他面向中，替代或附加於驅動部分220的Z驅動軸線312，被耦接到臂131位於其中的輸送室之基板處理站可包括Z軸線驅動，用於從臂131上抬起基板和將基板降低到臂131上。

在一個面向中，驅動部分220為多軸線驅動部分，其界定出至少一個基板保持件203、204相對於其他基板保持件203、204的獨立自由度；而在其他面向中，多個基板保持件的至少一個基板保持件具有獨立自由度；而在又其他面向中，每一個基板保持件具有獨立自由度。每一個基板203、204的獨立自由度使得能夠達成在雙基板保持件203、204中的每一者之對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2處的獨立自動晶圓定心。在一個面向中，驅動部分220為多軸線驅動部分，其配置來在與雙基板保持件203、204中的每一者之對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2通過輸送室壁125W中的各個獨立開口(參見槽閥SV)的實質同時延伸實質一致的情況下造成在雙基板保持件203、204中的每一者之對應的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2處的獨立自動晶圓定心。

參照圖3A，驅動部分至少包括馬達342、344、346、348。驅動部分220的第一馬達342包括定子342S及被連接到外側軸304的轉子342R。第二馬達344包括定子344S及被連接到軸303的轉子344R。第三馬達346包括定子346S及被連接到軸302的轉子346R。第四馬達348包括定子348S及被連接到第四或內側軸301的轉子348R。四個定子342S、344S、346S、348S在殼體中的不同垂直高度或位置處被固定地附接到殼體310。每一個定子342S、344S、346S、348S通常包括電磁線圈。每一個轉子342R、344R、346R、348R通常包括永久磁鐵，但亦可包括不具有永久磁鐵的磁感應轉子。在又其他面向中，馬達342、344、346、348可為可變式或切換式磁阻馬達，例如，美國專利第10,348,172及9,948,155號、以及2014年11月13日申請之名稱為“Position Feedback for Sealed Environments”的美國專利申請號第14/540,058號中所描述的可變式或切換式磁阻馬達，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在又其他面向中，馬達342、344、346、348可為簡諧驅動，例如，美國專利第9,656,386號中所描述的簡諧驅動，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在基板輸送裝置130被使用於密封環境中時，例如，僅用於非限制性例示目的，真空環境，套筒362可被定位在轉子342R、344R、346R、348R和定子342S、344S、346S、348S之間，使得同軸驅動軸組件300被定位在密封環境中，且定子被定位在密封環境的外側。應當意識到的是，若基板輸送裝置130僅意圖在大氣環境中使用(例如，在基板處理裝置100(圖1)的大氣部分105中)，則不需要設置套筒362。

第四或內側軸301延伸自底部或第四定子348S，且包括實質地與定子348S對準的轉子348R。軸302延伸自第三定子346S，且包括實質地與定子346S對準的轉子346R。軸303延伸自第二定子344S，且包括實質地與定子344S對準的轉子344R。軸304延伸自頂部或第一定子342S，且包括實質地與定子342S對準的轉子342R。繞著軸301-304與殼體310設置各種軸承350-353，以允許每一個軸301-304相對於彼此和殼體310獨立地旋轉。應注意的是，每一個軸可被設置有位置感測器371-374。位置感測器371-374可被使用來將訊號提供給任何適合的控制器，例如，控制器170，關於各個軸301-304相對於彼此及/或相對於殼體310的旋轉位置。感測器371-374可為任何適合的感測器，例如，僅用於非限制性例示目的，光學或感應感測器。

參照圖3A，在其他面向中，例示性驅動部分220A(其實質上類似於驅動部分220)包括殼體310，用於至少部分地容納三同軸驅動軸組件300A，其具有三個驅動軸302-304及三個馬達342、344、346(例如，三自由度馬達)。驅動部分220A亦可包括Z軸線驅動312，配置來，例如，抬起和降低基板輸送裝置130的臂(例如，在本文中所描述的那些臂)，用於拾取和放置基板S；然而，在其他面向中，替代或附加於驅動部分220的Z驅動軸線312，被耦接到臂位於其中的輸送室之基板處理站可包括Z軸線驅動，用於從臂上抬起基板和將基板降低到臂上。

驅動部分220A的第一馬達342包括定子342S及被連接到外側軸304的轉子342R。第二馬達344包括定子344S及被連接到軸303的轉子344R。第三馬達346包括定子346S及被連接到軸302的轉子346R。三個定子342S、344S、346S在殼體中的不同垂直高度或位置處被固定地附接到殼體310。每一個定子342S、344S、346S通常包括電磁線圈。每一個轉子342R、344R、346R通常包括永久磁鐵，但亦可包括不具有永久磁鐵的磁感應轉子。在又其他面向中，馬達342、344、346可為可變式或切換式磁阻馬達，例如，美國專利第10,348,172及9,948,155號、以及2014年11月13日申請之名稱為“Position Feedback for Sealed Environments”的美國專利申請號第14/540,058號中所描述的可變式或切換式磁阻馬達，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在又其他面向中，馬達342、344、346可為簡諧驅動，例如，美國專利第9,656,386號中所描述的簡諧驅動，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在基板輸送裝置130被使用於密封環境中時，例如，僅用於非限制性例示目的，真空環境，套筒362可被定位在轉子342R、344R、346R和定子342S、344S、346S之間，使得同軸驅動軸組件300A被定位在密封環境中，且定子被定位在密封環境的外側。應當意識到的是，若基板輸送裝置130僅意圖在大氣環境中使用(例如，在基板處理裝置100(圖1)的大氣部分105中)，則不需要設置套筒362。

軸302延伸自第三定子346S，且包括實質地與定子346S對準的轉子346R。軸303延伸自第二定子344S，且包括實質地與定子344S對準的轉子344R。軸304延伸自頂部或第一定子342S，且包括實質地與定子342S對準的轉子342R。繞著軸302-304與殼體310設置各種軸承350-353，以允許每一個軸302-304相對於彼此和殼體310獨立地旋轉。應注意的是，每一個軸可被設置有位置感測器371-373。位置感測器371-373可被使用來將訊號提供給任何適合的控制器，例如，控制器170，關於各個軸302-304相對於彼此及/或相對於殼體310的旋轉位置。感測器371-373可為任何適合的感測器，例如，僅用於非限制性例示目的，光學或感應感測器。

參照圖3B，在其他面向中，例示性驅動部分220B(其實質上類似於驅動部分220)包括殼體310，用於至少部分地容納六同軸驅動軸組件300B，其具有六個驅動軸301-306及六個馬達342、344、346、348、343、345(例如，六自由度馬達)。驅動部分220B亦可包括Z軸線驅動312，配置來，例如，抬起和降低基板輸送裝置130的臂(例如，在本文中所描述的那些臂)，用於拾取和放置基板S；然而，在其他面向中，替代或附加於驅動部分220的Z驅動軸線312，被耦接到臂位於其中的輸送室之基板處理站可包括Z軸線驅動，用於從臂上抬起基板和將基板降低到臂上。

驅動部分220A的第一馬達342包括定子342S及被連接到外側軸304的轉子342R。第二馬達344包括定子344S及被連接到軸303的轉子344R。第三馬達346包括定子346S及被連接到軸302的轉子346R。第四馬達348包括定子348S及被連接到軸301的轉子348R。第五馬達343包括定子343S及被連接到軸305的轉子343R。第六馬達345包括定子345S及被連接到軸306的轉子345R。六個定子342S、344S、346S、348S、343S、345S在殼體中的不同垂直高度或位置處被固定地附接到殼體310。每一個定子342S、344S、346S、348S、343S、345S通常包括電磁線圈。每一個轉子342R、344R、346R、348R、343R、345R通常包括永久磁鐵，但亦可包括不具有永久磁鐵的磁感應轉子。在又其他面向中，馬達342、344、346、348、343、345可為可變式或切換式磁阻馬達，例如，美國專利第10,348,172及9,948,155號、以及2014年11月13日申請之名稱為“Position Feedback for Sealed Environments”的美國專利申請號第14/540,058號中所描述的可變式或切換式磁阻馬達，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在又其他面向中，馬達342、344、346、348、343、345可為簡諧驅動，例如，美國專利第9,656,386號中所描述的簡諧驅動，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在基板輸送裝置130被使用於密封環境中時，例如，僅用於非限制性例示目的，真空環境，套筒362可被定位在轉子342R、344R、346R、348R、343R、345R和定子342S、344S、346S、348S、343S、345S之間，使得同軸驅動軸組件300B被定位在密封環境中，且定子被定位在密封環境的外側。應當意識到的是，若基板輸送裝置130僅意圖在大氣環境中使用(例如，在基板處理裝置100(圖1)的大氣部分105中)，則不需要設置套筒362。

軸306延伸自第六定子345S，且包括實質地與定子345S對準的轉子345R。軸305延伸自第五定子343S，且包括實質地與定子343S對準的轉子343R。軸302延伸自第三定子346S，且包括實質地與定子346S對準的轉子346R。軸301延伸自第四定子348S，且包括實質地與定子348S對準的轉子348R。軸303延伸自第二定子344S，且包括實質地與定子344S對準的轉子344R。軸304延伸自頂部或第一定子342S，且包括實質地與定子342S對準的轉子342R。繞著軸301-306與殼體310設置各種軸承(例如，上面所描述的那些軸承)，以允許每一個軸301-306相對於彼此和殼體310獨立地旋轉。應注意的是，每一個軸可被設置有位置感測器371-376。位置感測器371-376可被使用來將訊號提供給任何適合的控制器，例如，控制器170，關於各個軸301-306相對於彼此及/或相對於殼體310的旋轉位置。感測器371-376可為任何適合的感測器，例如，僅用於非限制性例示目的，光學或感應感測器。

參照圖3C，在其他面向中，例示性驅動部分220C(其實質上類似於驅動部分220)包括殼體310，用於至少部分地容納五同軸驅動軸組件300C，其具有五個驅動軸301-305及五個馬達342、344、346、348、343(例如，五自由度馬達)。驅動部分220C亦可包括Z軸線驅動312，配置來，例如，抬起和降低基板輸送裝置130的臂(例如，在本文中所描述的那些臂)，用於拾取和放置基板S；然而，在其他面向中，替代或附加於驅動部分220的Z驅動軸線312，被耦接到臂131位於其中的輸送室之基板處理站可包括Z軸線驅動，用於從臂上抬起基板和將基板降低到臂上。

驅動部分220A的第一馬達342包括定子342S及被連接到外側軸304的轉子342R。第二馬達344包括定子344S及被連接到軸303的轉子344R。第三馬達346包括定子346S及被連接到軸302的轉子346R。第四馬達348包括定子348S及被連接到軸301的轉子348R。第五馬達343包括定子343S及被連接到軸305的轉子343R。五個定子342S、344S、346S、348S、343S在殼體中的不同垂直高度或位置處被固定地附接到殼體310。每一個定子342S、344S、346S、348S、343S通常包括電磁線圈。每一個轉子342R、344R、346R、348R、343R通常包括永久磁鐵，但亦可包括不具有永久磁鐵的磁感應轉子。在又其他面向中，馬達342、344、346、348、343可為可變式或切換式磁阻馬達，例如，美國專利第10,348,172及9,948,155號、以及2014年11月13日申請之名稱為“Position Feedback for Sealed Environments”的美國專利申請號第14/540,058號中所描述的可變式或切換式磁阻馬達，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在又其他面向中，馬達342、344、346、348、343可為簡諧驅動，例如，美國專利第9,656,386號中所描述的簡諧驅動，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。在基板輸送裝置130被使用於密封環境中時，例如，僅用於非限制性例示目的，真空環境，套筒362可被定位在轉子342R、344R、346R、348R、343R和定子342S、344S、346S、348S、343S之間，使得同軸驅動軸組件300C被定位在密封環境中，且定子被定位在密封環境的外側。應當意識到的是，若基板輸送裝置130僅意圖在大氣環境中使用(例如，在基板處理裝置100(圖1)的大氣部分105中)，則不需要設置套筒362。

軸305延伸自第五定子343S，且包括實質地與定子343S對準的轉子343R。軸302延伸自第三定子346S，且包括實質地與定子346S對準的轉子346R。軸301延伸自第四定子348S，且包括實質地與定子348S對準的轉子348R。軸303延伸自第二定子344S，且包括實質地與定子344S對準的轉子344R。軸304延伸自頂部或第一定子342S，且包括實質地與定子342S對準的轉子342R。繞著軸301-305與殼體310設置各種軸承(例如，上面所描述的那些軸承)，以允許每一個軸301-305相對於彼此和殼體310獨立地旋轉。應注意的是，每一個軸可被設置有位置感測器371-375。位置感測器371-375可被使用來將訊號提供給任何適合的控制器，例如，控制器170，關於各個軸301-306相對於彼此及/或相對於殼體310的旋轉位置。感測器371-375可為任何適合的感測器，例如，僅用於非限制性例示目的，光學或感應感測器。

如同在本文中所描述的，驅動部分220、220A、220B、220C被配置為使至少一個關節型多連桿臂131沿著非徑向線性路徑延伸和收回以及實質上同時地分別透過沿著(例如，輸送室125)側壁並排之獨立基板輸送開口(例如，圖1B和1C所示)通過每一個端接器連桿(例如，基板保持件)的至少一個對應的基板保持站，並且配置為使至少一個對應的基板保持站相對於超過一個端接器連桿(例如，基板保持件)的另一者獨立地對準。

參照圖2A、3A及4，如同上面所描述的，基板輸送裝置130包括至少一個臂131，其具有兩個雙面基板保持件203、204。應注意的是，在本文中所描述的基板輸送機器人130的兩個雙面基板保持件203、204可允許實質同時地拾取和放置在本文中所描述的基板(例如，兩個雙面基板保持件203、204實質上同時地被延伸到並排的基板處理站190-191、192-193、194-195、196-197和從並排的基板處理站190-191、192-193、194-195、196-197收回，用於實質地拾取及/或放置基板)。

在本揭露內容的一個面向中，上臂連桿201由外側軸304驅動來繞著肩軸線SX旋轉，前臂連桿202臂由內側軸301驅動來繞著肘軸線EX旋轉，雙面基板保持件203由軸303驅動來繞著腕軸線WX旋轉，且雙面基板保持件204由軸302驅動來繞著腕軸線WX旋轉。例如，上臂連桿201被固定地附接到外側軸304，使得上臂連桿201與軸304作為一個單元在旋轉中心軸線(例如，肩軸線SX)上旋轉。

前臂連桿202藉由任何適合的傳動裝置被耦接到內側軸301。例如，滑輪480被固定地附接到軸301。上臂連桿201包括立柱481。滑輪482被可旋轉地安裝到立柱481，或以其他方式由立柱481所支撐。立柱481被固定地安裝到上臂連桿201的內表面。第一組的傳動構件490在滑輪480和滑輪482之間延伸。應當意識到的是，任何適合類型的傳動構件可被使用來耦接滑輪480、482，例如，皮帶、條帶或鏈條。同樣應當意識到的是，雖然顯示了耦接滑輪480、482的兩個傳動構件(參見圖5A及5B)，在其他面向中，可使用任何適合數量的傳動構件來耦接滑輪480、482(例如，多於或少於兩個傳動構件)。軸482S被固定地耦接到滑輪482，使得軸482S與滑輪482一起繞著肘軸線EX旋轉。軸482S能夠以任何適合的方式被可旋轉地支撐在立柱481上。前臂連桿202被固定地安裝到軸482S，使得前臂連桿202與軸482S作為一個單元繞著肘軸線EX旋轉。

雙面基板保持件203藉由任何適合的傳動裝置被耦接到軸303。例如，滑輪488被固定地耦接到軸303，使得滑輪488與軸303作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉。滑輪491被可旋轉地耦接到或以其他方式被支撐在立柱481上。第二組的傳動構件492(實質上類似於傳動構件490)在滑輪488和滑輪491之間延伸。軸491S被固定地耦接到滑輪491，使得軸491S與滑輪491作為一個單元繞著肘軸線EX旋轉。軸491S能夠以任何適合的方式被可旋轉地支撐在立柱481上。前臂連桿202包括滑輪470，其被固定地安裝於軸491S的頂端，使得滑輪470與軸491S(以及滑輪491)作為一個單元繞著肘軸線EX旋轉。前臂連桿202還包括立柱471、及被可旋轉地安裝或以其他方式支撐在立柱471上的滑輪472。第三組的傳動構件493(實質上類似於傳動構件490)在滑輪470、472之間延伸並耦接滑輪470、472。雙面基板保持件203透過軸472S被固定地安裝到滑輪472，使得滑輪472和雙面基板保持件203作為一個單元繞著腕軸線WX旋轉。

雙面基板保持件204藉由任何適合的傳動裝置被耦接到軸302。例如，滑輪484被固定地耦接到軸302，使得滑輪484與軸302作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉。滑輪486被可旋轉地耦接到立柱481，或以其他方式被支撐在立柱481上。第四組的傳動構件494(實質上類似於傳動構件490)在滑輪484和滑輪486之間延伸。軸486S被固定地耦接到滑輪486，使得軸486S與滑輪486作為一個單元繞著肘軸線EX旋轉。軸486S能夠以任何適合的方式被可旋轉地支撐在立柱481上。前臂連桿202包括滑輪474，其被固定地安裝於軸486S的頂端，使得滑輪474與軸486S(以及滑輪486)作為一個單元繞著肘軸線EX旋轉。前臂連桿202還包括滑輪476，其被可旋轉地安裝於立柱471或以其他方式由立柱471所支撐。第五組的傳動構件495(實質上類似於傳動構件490)在滑輪474、476之間延伸並耦接滑輪474、476。雙面基板保持件204透過軸476S被固定地安裝到滑輪476，使得滑輪476和雙面基板保持件204作為一個單元繞著腕軸線WX旋轉。

參照圖2A至2C、3A及4，如同可意識到的，上臂連桿201、前臂連桿202、雙面基板保持件203、及雙面基板保持件204中的每一者被各個驅動馬達342、344、346、348獨立地驅動來繞著各個軸線(例如，肩軸線SX、肘軸線AX、及腕軸線WX)旋轉。每一個雙面基板保持件203、204繞著腕軸線WX的獨立旋轉與基板通過各個並列的基板處理站的開口(參見圖1B、1C)的輸送實質上一致地藉由雙面基板保持件203、204提供在基板保持站203H1、204H1、203H2、204H2處的每一個基板S的獨立自動晶圓定心。以類似於2019年1月25日申請之名稱為“Automatic Wafer Centering Method and Apparatus”的美國專利申請號第16/257,595號、2018年11月20日公告之名稱為“On The Fly Automatic Wafer Centering Method and Apparatus”的美國專利號第10,134,623號、2016年12月6日公告之名稱為“Process Apparatus with On-The-Fly Substrate Centering”的美國專利號第9,514,974號、2010年9月7日公告之名稱為“Wafer Center Finding”的美國專利號第7,792,350號、2015年1月13日公告之名稱為“Wafer Center Finding with Kalman Filter”的美國專利號第8,934,706號、以及2011年4月12日公告之名稱為“Process Apparatus with On-The-Fly Workpiece Centering”的美國專利號第7,925,378號中所描述的方式(其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中)，在本文中所描述的自動晶圓定心能夠藉由設置在輸送室125、125A中/上、槽閥SV上、輸送臂130上等的任何適合的感測器來執行(例如，感測器3299，圖32A)。藉由改變並排的基板保持站203H1、204H1之間和並排的基板保持站203H2、204H2之間的基節BP來造成對應的自動晶圓定心。例如，藉由在相反方向上旋轉軸203、303使得雙面基板保持件203、204在相反方向上繞著腕軸線WX旋轉。例如，軸302、303能夠在相反方向上被驅動，以增加並排的基板保持站203H1、204H1之間的距離(圖2B)，以造成並排的基板保持站203H1、204H1之間的任何適合的增加節距WP(以及基板保持站203H2、204H2之間的任何適合的對應減少節距NP)。軸302、303亦能夠在相反方向上被驅動，以減少並排的基板保持站203H1、204H1之間的距離(圖2C)，以造成並排的基板保持站203H1、204H1之間的任何適合的減少節距WP(以及基板保持站203H2、204H2之間的任何適合的對應增加節距NP)。軸302、303以實質上相同的旋轉速率在相同方向上的旋轉使雙面基板保持件203、204作為一個單元繞著腕軸線WX旋轉，以造成基板S的快速交換。因此，傳動裝置490、492、493、494、495配置為使得雙面基板保持件203、204作為一個單元繞著腕軸線WX旋轉至少180度的旋轉量。再次地，基板保持件平面(如同在本文中所描述，以及雙面基板保持件的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2是否形成一個或多個平面)的每一個平面499、499A(參見圖2D、10及11)與在共同輸送室中的輸送開口的至少一個平面(參見圖1B及1C)相對應且對準，以在輸送開口平面的指定Z位置處進行輸送，使得在實質上沒有Z軸線移動的情況下藉由每一個雙面基板保持件203、204的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2造成通過在每一個平面上的每一個相應開口之基板輸送，亦即，藉由在基板保持件203、204的一端處的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸進入基板處理站(用於每一個平面)、在基板處理站處拾取及/或放置基板、從基板處理站收回、以及藉由在雙面基板保持件203、204的相同或不同端處之相同或不同的雙基板延伸進入每一個其他不同的基板處理站造成(獨立於中間Z軸線移動、或與基板輸送之間的中間Z軸線移動分離)實質上獨立於Z軸線移動的基板的快速交換。

應注意的是，滑輪480、484、488、470、474可被稱為“驅動”滑輪，而滑輪482、486、491、472、476可被稱為“從動”或“惰輪(idler)”滑輪。參照圖4及5A至5F，將描述至少部分地位在前臂連桿202中的第三組及第五組的傳動構件493、495。

惰輪滑輪472具有端接器介面，其中，惰輪滑輪472的表面抵靠在相應的雙面基板保持件203，或在其他面向中，端接器介面由軸472S所形成，如同上面所描述的。惰輪滑輪472由相應的分段式傳動迴路661(亦即，第三組的傳動構件493)耦接到相應的肘驅動滑輪470。分段式傳動迴路661包括獨立的條帶區段661A、661B，或被耦接到惰輪滑輪472及肘驅動滑輪470以造成惰輪滑輪472的旋轉之任何其他適合的傳動連桿(例如，纜線區段)。

惰輪滑輪472包括周邊緣650，其形成條帶包覆表面635、636，條帶包覆表面635、636與分段式傳動迴路661的各個條帶661A、661B介接。條帶錨接點643、644(圖5A)將每一個獨立的條帶區段661A、661B接合到惰輪滑輪472。例如，周邊緣650形成上條帶包覆表面635，條帶661B包覆於其周圍。周邊緣652形成下條帶包覆表面636，條帶661A包覆於其周圍。上和下條帶包覆表面635、636被設置在惰輪滑輪472上的不同高度處，使得條帶661A、661B相對於彼此被設置在不同的平面(亦即，一個條帶不會包覆在另一個條帶上)。參照圖5B，肘驅動滑輪470實質上類似於上述的惰輪滑輪472。

類似地，惰輪滑輪476具有端接器介面，其中，惰輪滑輪476的表面抵靠在相應的雙面基板保持件204，或在其他面向中，端接器介面由軸476S所形成，如同上面所描述的。惰輪滑輪476由相應的分段式傳動迴路660(亦即，第五組的傳動構件495)耦接到相應的肘驅動滑輪474。分段式傳動迴路660包括獨立的條帶區段660A、660B，或被耦接到惰輪滑輪476及肘驅動滑輪474以造成惰輪滑輪476的旋轉之任何其他適合的傳動連桿(例如，纜線區段)。

惰輪滑輪476包括周邊緣650，其形成條帶包覆表面635、636，條帶包覆表面635、636與分段式傳動迴路660的各個條帶660A、660B介接。條帶錨接點643、644 (圖5A)將每一個獨立的條帶區段660A、660B接合到惰輪滑輪476。例如，周邊緣650形成上條帶包覆表面635，條帶660B包覆於其周圍。周邊緣652形成下條帶包覆表面636，條帶660A包覆於其周圍。上和下條帶包覆表面635、636被設置在惰輪滑輪476上的不同高度處，使得條帶660A、660B相對於彼此被設置在不同的平面(亦即，一個條帶不會包覆在另一個條帶上)。參照圖5B，肘驅動滑輪474實質上類似於上述的惰輪滑輪476。

參照圖4及5A至5F，各個惰輪滑輪472、476(及/或驅動滑輪470、474)上的每一個條帶錨接點643、644的位置界定出與各個惰輪滑輪472、476的條帶接合弧B1、B2、B11、B12，使得在條帶接合弧B1、B2、B11、B12和切點TT1、TT2、TT11、TT12(條帶錨接點643、644在此處形成各個條帶區段660A、660B、661A、661B與各個惰輪滑輪472、474之間的切線)之間的旋轉夾角(included angle of rotation)θ1、θ2、θ11、θ12為約90度或更少。

在一個面向中，惰輪滑輪472、476及惰輪滑輪472、476藉由分段式傳動迴路660、661所耦接的各個肘驅動滑輪470、474具有任何適合的驅動比，其提供各個雙面基板保持件203、204的充分旋轉，以旋轉至少約±90度，並使臂131(圖2A)延伸和收回，用於從被佈置為與肩軸線SX相距預定距離之預定基板處理站/位置拾取及放置(及快速交換)基板。例如，肘驅動滑輪470、474及各個惰輪滑輪472、476之間的比配置為使得在惰輪滑輪472、476上的條帶錨接點643、644位置為使得各個雙面基板保持件203、204相對於前臂連桿202之用於臂131延伸動作(亦即，驅動軸線旋轉造成惰輪滑輪472、476旋轉，以完全地延伸和收回臂131，參見，例如，圖7A至7J)的旋轉角度在惰輪滑輪472、476上造成至少一個弧(例如，弧B1、B2、B11、B12)，使得在各個惰輪滑輪472、476的一個周邊部分651、652上之弧B1、B2、B11、B12的一端EE1處的一個條帶區段660A、660B、661A、661B的條帶錨接點643、644與在各個惰輪滑輪472、476的另一個周邊部分651、652上之相反的條帶區段660A、660B、661A、661B的條帶錨接點643、644不超過重合。例如，如圖5A所示，相反的條帶區段661A、661B的條帶錨接點643、644實質上被定位為一個在另一個上方，且相反的條帶區段660A、660B的條帶錨接點643、644實質上被定位為一個在另一個上方。在其他面向中，一個條帶區段660A、660B、661A、661B的條帶錨接點643、644能夠與各個相反的條帶區段660A、660B、661A、661B的條帶錨接點643、644在周向上分開任何適合的量。

如同可從圖5A中所見的，將條帶區段660A、660B、661A、661B耦接到各個肘驅動滑輪470、474之條帶區段660A、660B、661A、661B的條帶錨接點645、646被定位為一個在另一個上方。因此，在圖5A至5F所顯示的範例中(注意，肘驅動滑輪470、474和各個惰輪滑輪472、476之間的直徑比為約1：1，但在其他面向中，可提供任何適合的比)，條帶錨接點645、646在肘驅動滑輪470、474上被間隔開，且條帶錨接點643、644在惰輪滑輪472、476上被間隔開，使得肘驅動滑輪470、474之約±90度的旋轉導致各個惰輪滑輪472、476之約±90度的旋轉(注意，條帶滑輪傳動裝置的0度配置被顯示於圖5A至5F中，且條帶錨接點643、644實質上直接地背對肘驅動滑輪470、474)，但在肘驅動滑輪470、474與惰輪滑輪472、476的驅動比大於約1：1的其他面向中，條帶錨接點沿著肘驅動滑輪470、474及/或惰輪滑輪472、476的周圍的相對位置可能不同於上面所描述的位置。

在弧B1、B2、B11、B12的另一端EE2上，條帶錨接點643、644被定位為使得條帶接合弧B1、B2、B11、B12與切點TT1、TT2、TT11、TT12之間的旋轉夾角θ1、θ2、θ11、θ12為約90度或更少(亦即，條帶區段660A、660B、661A、661B與各個惰輪滑輪472、476相切，且處於純張力狀態且圍繞各個惰輪滑輪472、476的條帶區段660A、660B、661A、661B沒有彎曲)。

參照圖6A及6B，將相對於滑輪470、472以及第三組的傳動構件493來描述條帶錨接點643、644(僅顯示條帶錨接點643，但應理解的是，包含條帶錨接點644的另一個條帶錨接點為實質上類似於關於條帶錨接點643所描述的那樣)。雖然相對於滑輪470、472以及第三組的傳動構件493來描述條帶錨接點，應理解的是，用於滑輪474、476、480、482、484、486、488、491的條帶錨接點643、644為實質上類似的。條帶錨接點643、644將各個條帶區段661A、661B耦接到各個滑輪470、472。例如，在一個面向中，每一個條帶錨接點643包括銷1062被安裝於其上的基部1084。每一個條帶區段661A、661B的端包括孔，銷1062的輻條1080通過孔突出。固定彈簧夾1082或其他適合的固定件被附接到輻條1080，以將條帶區段661A、661B固定到輻條1080。輻條1080從基部1084突出，以提供條帶區段661A、661B附接位置。在其他面向中，輻條1080可直接地從滑輪472的周邊緣或側邊突出。在一個面向中，條帶區段661A、661B中的孔稍微大於輻條1080，且固定夾1082不會緊密地保持條帶區段661A、661B，使得條帶區段661A、661B能夠自由地圍繞輻條1080樞轉。在一個面向中，基部1084為可調整基部，其提供銷1062的位置調整，從而調整條帶區段661A、661B的張力。例如，螺釘1086進入滑輪472中的閾值開口，並在滑輪472附近保持緊固楔子1088。緊固楔子1088的一面接合基部1084的斜面1090。為了增加條帶區段661A、661B中的張力，螺釘1086被擰緊，沿著箭頭A的方向將緊固楔子1088向下推動。這將楔子1088推抵於斜面1090，從而迫使基部1084在箭頭B的方向上滑動。相反地，為了減少條帶區段661A、661B中的張力，螺釘1086被鬆開。在其他面向中，條帶區段661A、661B能夠以任何適合的方式被耦接到滑輪472。能夠在1998年7月14日公告之美國專利號第5,778,730號中找到條帶錨接點的適合範例，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。

第一組的傳動構件490、第二組的傳動構件492、第四組的傳動構件494、肩驅動滑輪480、484、488、及肘惰輪滑輪482、486、491為實質上類似於上面關於惰輪滑輪472、476、驅動滑輪470、474、及分段式傳動迴路660、661(參見圖5A及5B)所描述的那樣。如上所述，第一組的傳動構件490、第二組的傳動構件492、第四組的傳動構件494的條帶錨接點為實質上類似於上面關於條帶錨接點643所描述的那樣。

雖然上面描述了具有雙盤基板保持件203、204的基板輸送裝置130，在其他面向中，基板保持件可具有任何適合的配置。例如，參照圖8、9及10，超過一個端接器連桿(例如，基板保持件)的每一者具有依附於其的超過一個並列(例如，並排)的基板保持站中的超過一個對應的基板保持站，且其在依附於各個端接器連桿(例如，基板保持件)之超過一個對應的基板保持站之間各自為實質剛性的無關節連桿。例如，基板輸送裝置130包括雙盤基板保持件203A、204A，其實質上類似於上面所描述的那些基板保持件；然而，在此面向中，基板保持站203H1、204H1被並排地設置在共同平面中(藉由基節BP隔開)，而基板保持站203H2、204H2被定位在不同的平面中，且一個被堆疊在另一個上(藉由任何適合的高度H10隔開，其可對應於被堆疊的基板處理站150之被堆疊的保持站、被堆疊的真空加載鎖102A、102B、102C、102D、或任何其他適合的堆疊基板保持位置之間的距離，參見圖1C)。在此處，到基板處理站的輸送室開口可為位在不同的平面/水平(參見圖1C)，其中，每一個平面對應到雙面基板保持件203、204兩者之並列的基板保持站203H1-204H1、203H2-204H2的平面/水平。在又其他面向中，如圖11所示，基板保持站203H1、204H1被並排地設置在共同平面中(藉由基節BP隔開)，而只有一個基板保持件203A、204A被配置為雙盤基板處理件(在此範例中，基板保持件203A包括雙基板保持站203H1、203H2，而基板保持件204包括單一基板保持站204H1)。再次地，基板保持件平面(如同在本文中所描述，以及雙面基板保持件的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2是否形成一個或多個平面)的每一個平面499、499A(參見圖2D、10及11)與在共同輸送室中的輸送開口的至少一個平面(參見圖1B及1C)相對應且對準，以在輸送開口平面的指定Z位置處進行輸送，使得在實質上沒有Z軸線移動的情況下藉由每一個雙面基板保持件203、204的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2造成通過在每一個平面上的每一個相應開口之基板輸送，亦即，藉由在基板保持件203、204的一端處的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸進入基板處理站(用於每一個平面)、在基板處理站處拾取及/或放置基板、從基板處理站收回、以及藉由在雙面基板保持件203、204的相同或不同端處之相同或不同的雙基板延伸進入每一個其他不同的基板處理站造成(獨立於中間Z軸線移動、或與基板輸送之間的中間Z軸線移動分離)實質上獨立於Z軸線移動的基板的快速交換。例如，藉由圖8、9及10所顯示之本揭露內容的面向，以實質上類似於上面所描述的方式，藉由改變基板保持站203H1、204H1之間的基節BP(例如，可被增加或減少)來造成自動晶圓定心。如同可意識到的，基板保持件203H2、204H2亦可獨立地繞著腕軸線WX被旋轉，以獨立於基板保持站204H2造成基板保持站203H2的自動晶圓定心，及/或獨立於基板保持站203H2造成基板保持站204H2的自動晶圓定心。

參照圖12及13，在此面向中，基板輸送裝置130被顯示為包括三個雙盤基板保持件。例如，基板輸送裝置130包括基板保持件203、204(如同上面所描述的)、以及基板保持件205。藉由驅動部分220以上面所描述的方式驅動基板保持件203、204，以繞著腕軸線WX在方向1300、1301上相對於彼此及相對於基板保持件205樞轉。在此範例中，驅動部分包括附加驅動軸線(例如，五自由度驅動)，以繞著腕軸線WX在方向1302上相對於基板保持件203、204中的每一者獨立地旋轉基板保持件205；而在其他面向中，基板保持件205可被役使到基板輸送裝置130之任何適合的部分，例如，上臂201，以保持與通過肩軸線SX的徑向延伸軸線對準。再次地，基板保持件平面(如同在本文中所描述，以及雙面基板保持件的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2是否形成一個或多個平面)的每一個平面499、499A(參見圖2D、10及11)與在共同輸送室中的輸送開口的至少一個平面(參見圖1B及1C)相對應且對準，以在輸送開口平面的指定Z位置處進行輸送，使得在實質上沒有Z軸線移動的情況下藉由每一個雙面基板保持件203、204的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2造成通過在每一個平面上的每一個相應開口之基板輸送，亦即，藉由在基板保持件203、204的一端處的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸進入基板處理站(用於每一個平面)、在基板處理站處拾取及/或放置基板、從基板處理站收回、以及藉由在雙面基板保持件203、204的相同或不同端處之相同或不同的雙基板延伸進入每一個其他不同的基板處理站造成(獨立於中間Z軸線移動、或與基板輸送之間的中間Z軸線移動分離)實質上獨立於Z軸線移動的基板的快速交換。在此範例中，造成自動晶圓定心，使得基板保持件203和基板保持件204之間的基節BP可被增加或減少、基板保持件203和基板保持件205之間的基節BP可被增加或減少、基板保持件204和基板保持件205之間的基節BP可被增加或減少等，以造成基板保持站203H1、204H1、205H1、203H2、204H2、205H2中的一者或多者相對於並排的基板處理站190-198及199A-199C (參見圖12)的自動晶圓定心。在其他面向中，基板保持站203H2-205H2(或203H1-205H1)能夠以類似於圖10所顯示的方式被堆疊為一個在另一個上方。在又其他面向中，以類似於圖11所顯示的方式，一個或多個基板保持件203-205可為單盤基板保持件。

在又其他面向中，基板輸送裝置130可具有基板保持件，其具有任何適合的配置，用於輸送基板進出單一基板站、並排地佈置的任何適合數量的基板站、一個堆疊於另一個上之任何適合數量的基板站等。並排的基板保持件與在腕軸線WX的相反側上之多個堆疊(或單一)基板保持件的組合可被運用，例如，雙、單、三(參見圖1A、8及12)基板站模組的組合被耦接到輸送室125。例如，參照圖19，基板輸送裝置130包括一個雙(並排)基板保持件1900，其以類似於上面所描述的方式被可旋轉地耦接到臂131。在此面向中，臂131及基板保持件1900可藉由三軸線驅動部分220A(圖3A)而被驅動來旋轉及/或延伸(例如，沿著徑向及/或非徑向路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件1900繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件1900中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到三軸線驅動部分220A(圖3A)。在此處，基板保持件1900包括(亦即，共同於)兩個並排的基板保持站1900H1、1900H2，其實質上類似於上面所描述的基板保持站。並排的基板保持站1900H1、1900H2之間的距離可為實質上相同於並排的基板處理站190-197(圖1A)之間的節距D。基板保持件1900具有第一端1900E1、第二端1900E2，且在第一端1900E1和第二端1900E2之間為實質剛性的無關節連桿。基板保持件1900在第一端1900E1和第二端1900E2之間的位置處繞著腕軸線WX被可旋轉地耦接到前臂202。如上所述，基板保持站1900H1、1900H2被設置在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)。以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件1900可藉由輸送臂131及驅動部分220A而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。

參照圖20，基板輸送裝置130為實質上類似於上面關於圖19所描述的基板輸送裝置；然而，在此面向中，基板輸送裝置130包括兩個基板保持件1900A及1900B，其繞著腕軸線WX被可旋轉地耦接到臂131。基板保持件1900A、1900B中的每一者為實質上類似於基板保持件1900。在此處，臂131和基板保持件1900A、1900B藉由，例如，四軸線驅動部分220(圖3)而被驅動來旋轉及/或延伸(沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件1900A繞著腕軸線WX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件1900B繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件1900A、1900B中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到四軸線驅動部分220(圖3)。在此面向中，基板保持件1900A包括基板保持站1900H1、1900H2，且基板保持件1900B包括基板保持站1900H3、1900H4。以類似於上面所描述的方式，基板保持站1900H1、1900H2、1900H3、1900H4被設置在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)。以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件1900A、1900B可藉由輸送臂131及驅動部分220而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。以實質上類似於在本文中所描述的方式，臂131及/或基板保持件1900A、1900B亦可被驅動來旋轉，以快速交換基板保持件1900A、1900B(以及被由其拾取或放置的基板)。

參照圖21，基板輸送裝置130為實質上類似於上面關於圖19所描述的基板輸送裝置；然而，在此面向中，基板輸送裝置130包括兩個單面基板保持件2100A及2100B，其繞著腕軸線WX被可旋轉地耦接到臂131。基板保持件2100A、2100B中的每一者具有繞著腕軸線被耦接到前臂202之各自的第一端2100AE1、2100BE1、以及各個基板保持站2100H1、2100H2位於此處之各自的第二端2100AE2、2100BE2。在此處，臂131和基板保持件2100A、2100B藉由，例如，四軸線驅動部分220(圖3)而被驅動來旋轉及/或延伸(沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件2100A繞著腕軸線WX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件2100B繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件2100A、2100B中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到四軸線驅動部分220(圖3)。在此面向中，基板保持件2100A包括基板保持站2100H1，且基板保持件2100B包括基板保持站2100H2。以類似於上面所描述的方式，基板保持站2100H1、2100H2被設置在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)。

以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件2100A、2100B可藉由輸送臂131及驅動部分220而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。應注意的是，基板保持件2100A、2100B繞著腕軸線WX的獨立旋轉藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站2100H1、2100H2之間的距離能夠以類似於圖2B及2C所顯示的方式來增加或減少)來提供自動晶圓定心，以適應節距D的變化，及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197(參見圖1A)的自動晶圓定心。

參照圖22，基板輸送裝置130包括基板保持件2200，其以類似於上面所描述的方式被可旋轉地耦接到臂131。在此面向中，臂131和基板保持件2200可藉由三軸線驅動部分220A(圖3A)而被驅動來旋轉及/或延伸(例如，沿著徑向及/或非徑向路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件2200繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件2200中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到三軸線驅動部分220A(圖3A)。在此處，基板保持件2200包括(亦即，共同於)兩個並排的基板保持站2200H1、2200H2以及一個相反的基板保持站2200H3，其實質上類似於上面所描述的基板保持站，且基板保持件2200在基板保持站2200H1、2200H2、2200H3之間為實質剛性的無關節連桿。兩個並排的基板保持站2200H1、2200H2之間的距離可為實質上相同於並排的基板處理站190-197(圖1A)之間的節距D。

以類似於上面關於圖8及9所描述的方式，並排的基板保持站2200H1、2200H2提供基板S從並排的基板處理站190-197(圖1)之實質上同時的拾取及放置，而相反的基板保持站2200H3提供單一基板到單一基板處理站(其可為並排的基板處理站190-197(圖1A)中的一者、或基板處理站150S(圖8))的拾取及放置。基板保持件2200在基板保持站2200H1、2200H2、2200H3之間的位置處繞著腕軸線WX被可旋轉地耦接到前臂202。在一個面向中，基板保持站2200H1、2200H2、2200H3以實質上類似於上面關於圖2D、10及11所描述的方式被設置在共同平面499中；而在其他面向中，基板保持站2200H1、2200H2、2200H3中的一者或多者可被設置在不同的堆疊平面中。以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件2200可藉由輸送臂131和驅動部分220A而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於藉由並排的基板保持站2200H1、2200H2實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組、或藉由基板保持站2200H3拾取及/或放置基板到基板站模組150、150S。在一個面向中，臂131及/或端接器2200亦可被驅動來旋轉，以使用相反的基板保持站2200H3及並排的基板保持站2200H1、2200H2中的一者來快速交換(以實質上類似於在本文中所描述的方式)基板，例如，藉由並排的基板保持站2200H1、2200H2來拾取基板，且在基板正藉由並排的基板保持站2200H1、2200H2而被拾取的位置中的一個位置藉由相反的基板保持站2200H3來放置基板。

參照圖23，基板輸送裝置130包括基板保持件1900、2300，其以類似於上面所描述的方式被可旋轉地耦接到臂131。在此面向中，在此處，臂131和基板保持件1900、2300可藉由，例如，四軸線驅動部分220(圖3)而被驅動來旋轉及/或延伸(沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件1900繞著腕軸線WX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件2300繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件1900、2300中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到四軸線驅動部分220(圖3)。在此處，基板保持件1900包括兩個並排的基板保持站1900H1、1900H2，如同上面所描述的。基板保持件2300為相反的基板保持件(亦即，以實質上類似於上面關於圖8、9及22所描述的方式相反於基板保持件1900)，其具有單一基板保持站2300H1。基板保持站2300H1為實質上類似於上面所描述的基板保持站。基板保持件2300具有在腕軸線EX處被耦接到前臂202的第一(或近)端、以及基板保持站2300H1被設置於此的相對(或遠)端。基板保持件2300在近端和遠端之間為實質剛性的無關節連桿。如上所述，兩個並排的基板保持站2100H1、2100H2之間的距離可為實質上相同於並排的基板處理站190-197(圖1A)之間的節距D。

如上所述，以實質上類似於上面關於圖8及9所描述的方式，並排的基板保持站1900H1、1900H2提供基板S從並排的基板處理站190-197(圖1)之實質上同時的拾取及放置，而相反的基板保持站2300H1提供單一基板到單一基板處理站(其可為並排的基板處理站190-197(圖1A)中的一者、或基板處理站150S(圖8))的拾取及放置。

在拾取/放置操作的過程中，基板保持件2300的獨立旋轉提供由基板保持站2300H1所保持的基板的自動晶圓定心(如同在本文中所描述的)。基板保持件1900、2300的獨立旋轉還可提供基板輸送裝置130之對於輸送室125A的形狀(例如，內部側壁125W的形狀)的基板保持件一致性。例如，亦參照圖23A，可藉由驅動部分220來旋轉基板保持件1900、2300，使得單一基板保持件2300被旋轉，且進行臂延伸移動，以延伸進入基板處理站150，而基板保持件1900被旋轉以維持基板保持件1900和輸送室125A的壁125W之間的間隙。雖然在圖23A中顯示六面輸送室125A，在其他面向中，輸送室可具有任何適合數量的面，且基板保持件1900、2300可藉由驅動部分被旋轉，以用任何適合的方式來符合輸送室的壁的形狀。

在一個面向中，三個基板保持站1900H1、1900H2、2300H1以實質上類似於上面關於圖2D、10及11所描述的方式被設置在共同平面499中；而在其他面向中，基板保持站1900H1、1900H2、2300H1中的一者或多者可被設置在不同的堆疊平面中。以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件1900、2300可藉由輸送臂131和驅動部分220而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於藉由並排的基板保持站1900H1、1900H2實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組150、或藉由基板保持站2300H1拾取及/或放置基板到基板站模組150、150S。在一個面向中，臂131及/或端接器2200亦可被驅動來旋轉，以使用相反的基板保持站2300H1及並排的基板保持站1900H1、1900H2中的一者來快速交換(以實質上類似於在本文中所描述的方式)基板，例如，藉由並排的基板保持站1900H1、1900H2來拾取基板，且在基板正藉由並排的基板保持站1900H1、1900H2而被拾取的位置中的一個位置藉由相反的基板保持站2300H1來放置基板。

參照圖24，基板輸送裝置130為實質上類似於上面關於圖2A至2D所描述的基板輸送裝置；然而，在此面向中，基板保持件2403、2404具有“S”形狀配置，且相互交叉。例如，基板保持件2403具有第一部分2403A、第二部分2403B、及第三部分2403C，第二部分2403B具有被設置為實質上正交於第一部分2403A的縱向軸線之縱向軸線，第三部分2403C具有被設置為實質上平行於第一部分2403A的縱向軸線之縱向軸線，以形成實質上為“S”形的基板保持件。第一部分的遠端形成基板保持件2403的第一端2403E1，且第三部分2403C的遠端形成基板保持件2403的第二端2403E2。第二部分2403B繞著腕軸線WX被耦接到前臂202，其中，基板保持件2403在第一端2403E1和第二端2403E2之間為實質剛性的無關節連桿。基板保持件2404的配置為實質上類似於基板保持件2403，但方向相反。

在此處，臂131和基板保持件2403、2404藉由，例如，四軸線驅動部分220(圖3)而被驅動來旋轉及/或延伸(沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件2403繞著腕軸線WX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件2404繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件2100A、2100B中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到四軸線驅動部分220(圖3)。在此面向中，基板保持件2403包括基板保持站2403H1、2403H2，且基板保持件2404包括基板保持站2404H1、2404H2。以類似於上面所描述的方式，基板保持站2403H1、2403H2、2404H1、2404H2被設置在在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)。以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件2403H1、2403H2、2404H1、2404H2可藉由輸送臂131及驅動部分220而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。應注意的是，基板保持件2403、2404繞著腕軸線WX的獨立旋轉藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站2100H1、2100H2之間的距離能夠以類似於圖2B及2C所顯示的方式來增加或減少)來提供自動晶圓定心，以適應節距D的變化，及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197(參見圖1A)的自動晶圓定心。在一個面向中，以類似於上面關於圖7A至7L所描述的方式，臂131及/或端接器2403、2404亦可被驅動來旋轉，以快速交換(以實質上類似於本文中所描述的方式)基板。

參照圖25，基板輸送裝置130為實質上類似於上面關於圖21所描述的基板輸送裝置；然而，在此面向中，基板輸送裝置還包括類似於上面關於圖23所描述之相反的基板保持件2300。在此處，臂131和基板保持件2100A、2100B、2300藉由，例如，五軸線驅動部分220C(圖3C)而被驅動來旋轉及/或延伸(沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件2100A繞著腕軸線WX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件2100B繞著腕軸線WX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件2300繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件2100A、2100B、2300中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到五軸線驅動部分220C(圖3C)。在此面向中，基板保持件2100A包括基板保持站2100H1，基板保持件2100B包括基板保持站2100H2，且基板保持件2300包括基板保持站2300H1。以類似於上面所描述的方式，基板保持站2100H1、2100H2、2300H1被設置在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)。以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件2100H1、2100H2、2300H1可藉由輸送臂131及驅動部分220C而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。

應注意的是，基板保持件2100H1、2100H2繞著腕軸線WX的獨立旋轉藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站2100H1、2100H2之間的距離能夠以類似於圖2B及2C所顯示的方式來增加或減少)來提供用於在並排的基板站模組150中拾取/放置基板S的自動晶圓定心，以適應節距D的變化，及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197(參見圖1A)的自動晶圓定心。應進一步注意的是，以實質上類似於上面關於圖8及9所描述的方式，相反的基板保持站2300H1提供單一基板到單一基板處理站(其可為並排的基板處理站190-197(圖1A)中的一者、或基板處理站150S(圖8))的拾取及放置。在拾取/放置操作的過程中，基板保持件2300的獨立旋轉提供由基板保持站2300H1所保持的基板的自動晶圓定心(如同在本文中所描述的)。在一個面向中，臂131及/或端接器2100A、2100B、2300亦可被驅動來旋轉，以使用相反的基板保持站2300H1及並排的基板保持站2100H1、2100H2中的一者來快速交換(以實質上類似於在本文中所描述的方式)基板，例如，藉由並排的基板保持站2100H1、2100H2來拾取基板，且在基板正藉由並排的基板保持站2100H1、2100H2而被拾取的位置中的一個位置藉由相反的基板保持站2300H1來放置基板。

在一個面向中，以類似於上面關於圖23A所描述的方式，基板保持件2100A、2100B、2300的獨立旋轉還可提供基板輸送裝置130之對於輸送室125A的形狀(例如，內部側壁125W的形狀)的基板保持件一致性。然而，在此面向中，可藉由驅動部分220C來旋轉基板保持件2100A、2100B中的一者或多者，以維持基板保持件2100A、2100B和輸送室125A的壁125W之間的間隙。

參照圖26A、26B、26C及26D，基板輸送裝置130為實質上類似於上面關於圖24所描述的基板輸送裝置；然而，在此面向中，基板保持件2403、2404中的至少一者為可在Z方向上移動的，使得基板保持件2403、2404(以及各個基板保持站2403H1、2404H1、2403H2、2404H2)通過另一者上方。例如，腕Z軸驅動2660(附加或替代於Z驅動312，參見圖3至3C)被設置在前臂202中或被耦接到前臂202。腕Z軸驅動2660配置為在Z方向上相對於基板保持件2403、2404中的另一者移動基板保持件2403、2404中的一者或多者。在圖26C所顯示的範例中，腕Z軸驅動2660配置為在Z方向上相對於基板保持件2404和前臂202移動基板保持件2403；然而，在其他面向中，兩個基板保持件能夠在Z方向上相對於前臂202及/或相對於彼此移動。腕Z軸驅動2660可具有用於造成Z移動之任何適合的配置，包括但不限於線性致動器、螺旋千斤頂(jack screw)、及磁浮升降器(magnetic levitation lift)中的一者或多者。在此面向中，滑輪476被耦接到軸476S，其中，軸476S包括外側軸部分476B以及內側軸部分476A。內側軸部分476A和外側軸部分476B被配置為使得內側軸部分476A可相對於外側軸部分476B在Z方向上移動，同時與外側軸部分476B作為一個單元旋轉。例如，內側軸部分476B包括內栓槽(internal spline)，且外側軸部分476A包括外栓槽，其配置來與內栓槽配合。雖然已提供腕Z軸驅動2660和軸476S的例示性配置，但在其他面向中，腕Z軸驅動2660和軸476S可具有任何適合的配置，以造成基板保持件2403的Z軸線移動。

腕Z軸驅動2660配置為抬起和降低基板保持件2403，使得以類似於上面所描述的方式，基板保持站2403H1、2403H2、2404H1、2404H2被設置在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)，如圖26C所示，用於拾取/放置基板到並排的基板站模組150。如上所述，以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件2403H1、2403H2、2404H1、2404H2可藉由輸送臂131及驅動部分220而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。應注意的是，基板保持件2403、2404繞著腕軸線WX的獨立旋轉藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站2100H1、2100H2之間的距離能夠以類似於圖2B及2C所顯示的方式來增加或減少)來提供自動晶圓定心，以適應節距D的變化，及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197(參見圖1A)的自動晶圓定心。在一個面向中，以類似於上面關於圖7A至7L所描述的方式，臂131及/或端接器2403、2404亦可被驅動來旋轉，以快速交換(以實質上類似於本文中所描述的方式)基板。

腕Z軸驅動2660配置為抬起和降低基板保持件2403，使得基板保持件2403的基板保持站2403H1、2403H2被設置在不同於基板保持件2404的基板保持站2404H1、2404H2的平面中，如圖26D中所能看見的。在此處，基板保持站2403H1、2403H2被設置在平面499A中，而基板保持站2404H1、2404H2被設置在平面499中。平面499、499A可被分開上面所描述的距離或高度H10。藉由被定位在不同平面499、499A中的基板保持件2403、2404，基板保持件2403、2404可繞著腕軸線WX相對於彼此被旋轉，使得由基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)所保持的基板S的中心C實質上沿著Z方向彼此重合，如圖26B所示。

還參照圖1C，基板保持件2403、2404可繞著腕軸線被獨立地旋轉，且基板保持件2403、2404中的一者或多者可藉由腕Z軸驅動2660而在Z方向上被移動，以造成從各種堆疊及/或並排的基板保持位置拾取基板。例如，在一個面向中，基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)沿著共同平面被設置，例如，用於實質上同時地從並排的加載鎖102A、102B或並排的加載鎖102C、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。在一個面向中，基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)在堆疊平面中被設置為一個在另一個上方(參見圖26B，如同上面所描述的)，例如，用於實質上同時地從堆疊的加載鎖102A、102C或堆疊的加載鎖102B、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。在又其他面向中，基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)被設置為在不同的平面中，且水平地偏離，例如，用於實質上同時地從堆疊且水平地偏離的加載鎖102A、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。

參照圖27A、27B及27C，基板輸送裝置130為實質上類似於上面關於圖25所描述的基板輸送裝置；然而，在此面向中，基板保持件2100A、2100B、2300中的至少一者為可在Z方向上移動的，使得基板保持件2100A、2100B、2300(以及各個基板保持站2100H1、2100H2、2300H1)通過另一者上方。例如，腕Z軸驅動2660(附加或替代於Z軸驅動312，參見圖3至3C)被設置在前臂202中或被耦接到前臂202。腕Z軸驅動2660配置為在Z方向上相對於基板保持件2100A、2100B、2300中的另一者移動基板保持件2100A、2100B、2300中的一者或多者。在圖27C所顯示的範例中，腕Z軸驅動2660配置為在Z方向上相對於基板保持件2100A、2300和前臂202移動基板保持件2100B；然而，在其他面向中，兩個基板保持件2100A、2100B或所有三個基板保持件2100A、2100B、2300能夠在Z方向上相對於前臂202及/或相對於彼此移動。應注意的是，滑輪2770、軸2770S、及傳動構件2791被顯示，用於驅動基板保持件2100A繞著腕軸線WX旋轉，其中，滑輪2770透過類似於圖4所顯示且如上所述的傳動裝置而被耦接到驅動部分220C。

腕Z軸驅動2660配置為抬起和降低基板保持件2100B，使得以類似於上面所描述的方式，基板保持站2100H1、2100H2、2300H1被設置在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)，用於如同上面關於圖8、9及25所描述地拾取/放置基板。腕Z軸驅動2660配置為抬起和降低基板保持件2100B，使得基板保持件2100B的基板保持站2100H2被設置在不同於基板保持件2100A、2300的基板保持站2100H1、2300H1的平面中，如圖26C中所能看見的。在此處，基板保持站2100H2被設置在平面499A中，而基板保持站2100H1、2300H1被設置在平面499中。平面499、499A可被分開上面所描述的距離或高度H10。藉由被定位在不同平面499、499A中的基板保持件2100A、2100B，基板保持件2100A、2100B可繞著腕軸線WX相對於彼此被旋轉，使得由基板保持站2100H1、2100H2中的每一者所保持的基板S的中心C實質上沿著Z方向彼此重合，如圖27B所示。

如上所述，以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件2100A、2100B、2300可藉由輸送臂131和驅動部分220而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。應注意的是，基板保持件2100A、2100B繞著腕軸線WX的獨立旋轉藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站2100H1、2100H2之間的距離能夠以類似於圖2B及2C所顯示的方式來增加或減少)來提供自動晶圓定心，以適應節距D的變化，及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197(參見圖1A)的自動晶圓定心。如上所述，在拾取/放置操作的過程中，基板保持件2300的獨立旋轉提供由基板保持站2300H1所保持的基板的自動晶圓定心。同樣如同上面所描述的，在一個面向中，臂131及/或端接器2200亦可被驅動來旋轉，以使用相反的基板保持站2300H1及並排的基板保持站2100H1、2100H2中的一者來快速交換(以實質上類似於在本文中所描述的方式)基板，例如，藉由並排的基板保持站2100H1、2100H2來拾取基板，且在基板正藉由並排的基板保持站2100H1、2100H2而被拾取的位置中的一個位置藉由相反的基板保持站2300H1來放置基板。

還參照圖1C，基板保持件2100A、2100B可繞著腕軸線被獨立地旋轉，且基板保持件2100A、2100B中的一者或多者可藉由腕Z軸驅動2660而在Z方向上被移動，以造成從各種堆疊及/或並排的基板保持位置拾取基板。例如，在一個面向中，基板保持站2100H1、2100H2沿著共同平面被設置，例如，用於實質上同時地從並排的加載鎖102A、102B或並排的加載鎖102C、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。在一個面向中，基板保持站2100H1、2100H2在堆疊平面中被設置為一個在另一個上方(參見圖27B、27C，如同上面所描述的)，例如，用於實質上同時地從堆疊的加載鎖102A、102C或堆疊的加載鎖102B、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。

應理解的是，雖然關於圖26A至26D及27A至27C來顯示和描述腕Z軸驅動2660，在其他面向中，腕Z軸驅動可被合併到任何在本文中所描述的臂配置中，其中，超過一個基板保持件被運用，以實質上類似於圖26A至26D及27A至27C所顯示的方式，使得基板可被輸送到在共同平面中之並排的基板站模組150、或在堆疊平面中之堆疊的基板站模組150(參見圖1C)，如同在本文中所描述的。

在一個面向中，類似於上面關於圖23及25所描述的，基板保持件2100A、2100B、2300的獨立旋轉還可提供基板輸送裝置130之對於輸送室125A的形狀(例如，內部側壁125W的形狀)的基板保持件一致性，以類似於上面關於圖23A所描述的方式。然而，在此面向中，可藉由驅動部分220C來旋轉基板保持件2100A、2100B中的一者或多者，以維持基板保持件2100A、2100B和輸送室125A的壁125W之間的間隙。例如，亦參照圖29以及圖23、23A及25，基板輸送裝置130可被定位為如圖23A所示，使得基板保持件1900(或基板保持件2100A、2100B)的基板保持站被對準，用於從基板處理站2333A、2333B中的相應一者拾取/放置基板。輸送臂131被延伸(圖29，方塊2900)。在一個面向中(例如，藉由可獨立地旋轉的基板保持件2100A、2100B)，以類似於本文中所描述的方式來提供獨立自動晶圓定心(圖29，方塊2910)，使得基板保持件2100A、2100B的基板保持站在基板被拾取或基板被放置的情況下在基板處理站2333A、2333B處進行定心。藉由基板保持件1900(或基板保持件2100A、2100B)實質上同時地從基板處理站2333A、2333B拾取或放置基板(圖29，方塊2920)。基板輸送臂131被收回，且基板輸送臂131及/或基板保持件1900(或基板保持件2100A、2100B)及基板保持件2300被旋轉(圖29，方塊2930)，以使(單一)基板保持件2300與，例如，基板處理站2333B對準。基板輸送臂131被延伸(圖29，方塊2940)且可提供自動晶圓定心(圖29，方塊2950)，用於藉由基板保持件2300拾取或放置基板。如同可在圖23A中所見的，為了使單一基板保持件2300延伸進入基板處理站2333B，基板保持件1900(或基板保持件2100A、2100B中的一者或多者)(例如，並排的基板保持站)被旋轉(圖29，方塊2960)，以提供基板保持件1900(或基板保持件2100A、2100B中的一者或多者)與輸送室125的內部側壁125W之間的間隙，以造成單一基板保持件2300延伸進入基板處理站2333B。藉由被旋轉來提供上述的間隙之基板保持件1900(或基板保持件2100A、2100B中的一者或多者)，藉由單一基板保持件2300從基板處理站2333B拾取或放置基板(圖29，方塊2970)。

參照圖28，基板輸送裝置130為實質上類似於上面關於圖21所描述的基板輸送裝置；然而，在此面向中，基板輸送裝置130包括兩個相反的單面基板保持件2100C及2100D，其以相對於基板保持件2100A、2100B之相反的關係繞著腕軸線WX被可旋轉地耦接到臂131。基板保持件2100C、2100D為實質上類似於基板保持件2100A、2100B，且包括各自的基板保持站2100H3、2100H4。在此處，臂131和基板保持件2100A、2100B、2100C、2100D藉由，例如，六軸線驅動部分220B(圖3B)而被驅動來旋轉及/或延伸(沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑)，其中，一個驅動軸線使上臂201繞著肩軸線SX旋轉，一個驅動軸線使前臂201繞著肘軸線EX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件2100A繞著腕軸線WX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件2100B繞著腕軸線WX旋轉，一個驅動軸線使基板保持件2100C繞著腕軸線WX旋轉，以及一個驅動軸線使基板保持件2100D繞著腕軸線WX旋轉。上臂201、前臂202及基板保持件2100A、2100B、2100C、2100D中的每一者可藉由任何適合的傳動裝置(例如，藉由實質上類似於上面關於圖4所描述的那樣的條帶和滑輪傳動裝置)被耦接到六軸線驅動部分220B(圖3B)。在此面向中，基板保持件2100A包括基板保持站2100H1，基板保持件2100B包括基板保持站2100H2，基板保持件2100C包括基板保持站2100H3，且基板保持件2100D包括基板保持站2100H4。以類似於上面所描述的方式，基板保持站2100H1、2100H2、2100H3、2100H4被設置在共同平面上(實質上類似於上述關於圖2D、10及11所描述的平面499)；而在其他面向中，基板保持站中的一者或多者可為可在Z方向上藉由腕Z軸驅動以類似於上面所描述的方式來移動。

以實質上類似於在本文中所描述的方式，基板保持件2100A、2100B、2100C、2100D可藉由輸送臂131及驅動部分220B而沿著非徑向線性路徑及/或徑向線性路徑被延伸，用於實質上同時地拾取及/或放置基板到沿著共同平面499之並排的基板站模組。應注意的是，基板保持件2100A、2100B、及/或基板保持件2100C、2100D繞著腕軸線WX的獨立旋轉藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站2100H1、2100H2或2100H3、2100H4之間的距離能夠以類似於圖2B及2C所顯示的方式來增加或減少)來提供自動晶圓定心，以適應節距D的變化，及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197(參見圖1A)的自動晶圓定心。在一個面向中，以類似於上面關於圖7A至7L所描述的方式，臂131及/或端接器2403、2404亦可被驅動來旋轉，以快速交換(以實質上類似於本文中所描述的方式)基板。

參照圖19、20、22及23，在一個面向中，超過一個並列(例如，並排)的基板保持站依附於共同端接器連桿(例如，基板保持件)，共同端接器連桿在超過一個並列的基板保持站之間為實質剛性的無關節連桿。

參照圖2A至2D、8至9、20、21、23、24、25、26A至26D、27A至27C及28，至少一個端接器連桿(例如，基板保持件)包括超過一個端接器連桿(例如，基板保持件)，其被接合到前臂202的遠端202E2，以相對於前臂202繞著共同旋轉軸線(例如，腕軸線WX)旋轉，且超過一個端接器連桿(例如，基板保持件)中的每一者具有超過一個並列(例如，並排)的基板保持站中的依附於其的至少一個對應的基板保持站。

參照圖2A至2D、8、9、21、24、25、26A至26D、27A至27C及28，至少一個端接器連桿(例如，基板保持件)包括超過一個端接器連桿，其被接合到前臂202的遠端202E2，以相對於前臂202繞著共同旋轉軸線(例如，腕軸線WX)旋轉，其中，驅動部分220、220A、220B、220C配置為使得超過一個端接器連桿中的每一者分別獨立於超過一個端接器連桿中的另一者繞著共同旋轉軸線旋轉，且超過一個端接器連桿中的每一者具有超過一個並列(例如，並排)的基板保持站中的依附於其的至少一個對應的基板保持站。

參照圖23、23A、25及27A至27C，在一個面向中，多連桿臂131具有至少一個基板保持件(例如，端接器連桿)1900、2100A、2100B、2300，其在前臂202的一端處被可旋轉地接合到關節(例如，腕關節/軸線WX)，使得至少一個基板保持件1900、2100A、2100B、2300相對於前臂202在腕關節/軸線WX處繞著共同旋轉軸線旋轉。至少一個基板保持件1900、2100A、2100B、2300具有依附於其的超過一個基板保持站1900H1、1900H2、2100H1、2100H2、2300H1，且其相對於彼此被設置在共同平面(例如，平面499，參見，例如，圖2D及4)上並配置為使得至少一個基板保持件1900、2100A、2100B、2300繞著旋轉的腕軸線WX之旋轉使超過一個基板保持站1900H1、1900H2、2100H1、2100H2、2300H1中的每一者繞著腕軸線WX旋轉。在此處，驅動部分220、220C至少配置為使多連桿臂131相對於肩軸線SX(固定位置)沿著徑向或非徑向線性路徑延伸和收回，使超過一個基板保持站中的至少兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2隨著臂131的延伸和收回分別沿著徑向或非徑向路徑線性地橫越，且在共同水平上實質同時地通過超過一個並列的基板輸送開口之獨立對應的開口(參見，例如，圖1B及1C)，以及使超過一個基板保持站中不同於兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2中的每一者之至少另一個基板保持站2300H1可繞著腕軸線WX旋轉，獨立於至少兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2。

仍參照圖23、23A、25及27A至27C，至少兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2以及至少另一個基板保持站2300H1被設置在至少一個基板保持件1900、2100A、2100B、2300上，使得至少兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2以及至少另一個基板保持站2300H1被佈置在腕軸線WX的相對側上。在一個面向中，如同可在圖23A中所見的，至少兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2以及至少另一個基板保持站2300H1被設置在至少一個基板保持件1900、2100A、2100B、2300上，以隨著臂131沿著徑向或非徑向路徑的延伸和收回繞著腕軸線WX旋轉，以選擇性地使至少一個基板保持件的位置與輸送室125之不同於側壁125W(輸送室的開口位於其上，且超過一個基板保持站1900H1、1900H2、2100H1、2100H2、2300H1中的至少一者藉由臂的延伸和收回從此處通過)的另一側壁125W相一致。

參照圖23，至少兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2被設置在至少一個基板保持件1900上，至少一個基板保持件1900可操作地連接到驅動部分220，且被佈置為使得至少一個基板保持件1900以共同的獨立自由度使至少兩個並列的基板保持站1900H1、1900H2繞著旋轉的腕軸線WX旋轉。

參照圖25及27A至27C，至少兩個並列的基板保持站2100H1、2100H2被設置在至少一個基板保持件2100A、2100B上，至少一個基板保持件2100A、2100B可操作地連接到驅動部分220C，且被佈置為使得至少一個基板保持件2100A、2100B以各自不同的獨立自由度使至少兩個並列的基板保持站2100H1、2100H2繞著旋轉的腕軸線WX旋轉，使得至少兩個並列的基板保持站2100H1、2100H2中的每一者相對於彼此獨立地繞著旋轉的腕軸線WX旋轉。

參照圖26A至26D及27A至27C，在一個面向中，多連桿臂131具有至少一個基板保持件2403、2404或、2100A、2100B，其在前臂202的一端處被可旋轉地接合到關節(例如，腕軸線WX)，使得至少一個基板保持件2403、2404或、2100A、2100B相對於前臂202在腕軸線WX處繞著共同旋轉軸線旋轉，至少一個基板保持件2403、2404或、2100A、2100B具有依附於其的超過一個基板保持站2403H1、2403H2、2404H1、2404H2、2100H1、2100H2，且其沿著不同平面499、499A並列(圖26D、27C)、相對於彼此在高度中偏離，並配置為使得至少一個基板保持件2403、2404或、2100A、2100B繞著旋轉的腕軸線WX之旋轉使超過一個基板保持站2403H1、2403H2、2404H1、2404H2、2100H1、2100H2中的每一者繞著旋轉的腕軸線WX旋轉。驅動部分220、220C至少配置為使多連桿臂131相對於肩軸線SX(例如，固定位置)沿著徑向或非徑向線性路徑延伸和收回，使超過一個基板保持站2403H1、2403H2、2404H1、2404H2、2100H1、2100H2中的至少兩個並列的基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2100H1、2100H2隨著臂的延伸和收回分別沿著徑向或非徑向路徑線性地橫越，且可分別繞著旋轉的腕軸線WX獨立於彼此旋轉，以獨立地通過共同水平499上之超過一個並列的基板輸送開口的各個(或在其他面向中，共同)開口(參見圖1B及1C)，且不同於至少兩個並列的基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2100H1、2100H2中的每一者之超過一個基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2100H1、2100H2中的至少另一個被設置在實質上相對於至少兩個並列的基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2100H1、2100H2中的每一者的至少一個基板保持件2403、2404、2300上。在此處，驅動部分220、220C包括腕Z軸驅動2660，其配置為在高度中使至少一個端接器連桿的超過一個基板保持站相對於彼此移動，以將超過一個基板保持站放置在彼此並列的共同平面上。

如上所述，基板輸送裝置130(具有任何適合的端接器，例如在本文中所描述的端接器)可被安裝在吊臂上。為了例示性目的，圖15顯示被安裝到二連桿吊臂1500的臂131。二連桿吊臂1500包括上連桿1501和前臂連桿1502。上連桿1501的第一端繞著吊臂肩軸線BSX被可旋轉地耦接到驅動部分(例如，在本文中所描述的驅動部分220)。前臂連桿1502的第一端繞著吊臂肘軸線BEX被可旋轉地耦接到上連桿1501的第二端。臂131繞著臂肩軸線SX被可旋轉地耦接到前臂連桿1502的第二端。上連桿1501和前臂連桿1502中的每一者在各個端之間為實質剛性且無關節的。在另一個面向中，圖16顯示被安裝到單連桿吊臂1600的臂131。單連桿吊臂1600包括吊臂連桿1601。吊臂連桿1601的第一端繞著吊臂肩軸線BSX被可旋轉地耦接到驅動部分(例如，在本文中所描述的驅動部分220)。臂131繞著臂肩軸線SX被可旋轉地耦接到吊臂連桿1601的第二端。吊臂連桿1601在吊臂連桿1601的兩端之間為實質剛性且無關節的。雖然顯示單連桿吊臂1600和二連桿吊臂1500，應理解的是，吊臂可具有任何適合數量的連桿。

還參照圖3，為了使吊臂1500、1600旋轉，驅動部分220、220A、220B、220C可包括至少一個吊臂驅動軸線(或馬達)390、391。例如，單吊臂驅動軸線390可被設置於，例如，單連桿吊臂1600被運用之處。單吊臂驅動軸線390亦可被設置於二連桿吊臂1500的前臂連桿1502繞著吊臂肘軸線BEX的旋轉被役使到，例如，殼體310之處。在其他面向中，兩個吊臂驅動軸線390、391可被設置於二連桿吊臂1500的上連桿1501和前臂連桿1502被獨立地繞著相應的吊臂肩軸線BSX和吊臂肘軸線BEX旋轉之處。吊臂驅動軸線390、391可被與馬達342、344、346、348同軸地對準；而在其他面向中，吊臂驅動軸線390、391可具有任何適合的配置，例如，並排的馬達配置；而在又其他面向中，吊臂驅動軸線390、391可被佈置在吊臂肩軸線BEX處，而驅動馬達342、344、346、348被佈置在臂131的肩軸線SX處。任何適合的傳動裝置(例如，其在一個面向中為實質上類似於圖4至6B所顯示的條帶和滑輪傳動裝置)被設置來將吊臂1500、1600的連桿耦接到驅動軸線390、391。

參照圖18A及18B，由本揭露內容的面向所提供之自動晶圓定心可提供雙基板S實質同時地放置(或拾取)，無論雙基板S中的每一者與相應的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2之間的相對偏心率為何。例如，藉由基板保持站203H1、204H1在基節BP處的自動晶圓定心可決定基板S1的偏心率EC2為較基板保持站203H1的中心203H1C更靠近肩軸線SX，且基板S2的偏心率EC1為在，例如，基板保持站204H1的中心204H1C的右側(注意，方向詞語“右側”在此處只是為了方便說明而使用)。據此，為了將基板S1、S2放置在，例如，基板處理站190、191，不僅透過自動晶圓定心相對於基板處理站190、191之間的距離D獨立地調整每一個基板S1、S2的位置，且還在延伸/收回17700的方向上獨立地調整，以適應兩個偏心率EC1、EC2。例如，基板保持件203、204分別繞著腕軸線WX(其中，腕軸線沿著徑向延伸700的軸線(參見圖7B)或延伸的非徑向路徑701(參見圖7F)被定位)被獨立地旋轉，以造成基板S1、S2在各個基板處理站190、191處的獨立自動晶圓定心。類似地，參照圖18C，自動晶圓定心亦可造成在具有離，例如，基板輸送裝置130的肩軸線SX之不同的徑向距離17020、17021的基板處理站190、191處之基板的放置，其中，每一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2繞著腕軸線的獨立旋轉、及/或腕軸線的放置造成並排的基板保持站203H1-204H1、203H2、204H2中的一者相對於並排的基板保持站203H1-204H1、203H2、204H2中的另一者之增加的延伸距離(相對於肩軸線)。

參照圖2A至2D、7A至7L及15，將描述藉由基板輸送裝置130來輸送基板的例示性方法。在所描述的範例中，基板處理裝置100包括輸送室125A，其具有六面，但在其他方面實質上類似於上面關於圖1所描述的；然而，在其他面向中，輸送室可具有任何適合數量的面，其中，並排的基板站模組以類似於圖1A、7A、8、12、15及16所顯示的方式被耦接到輸送室的各個面。此外，在所描述的範例中，臂131包括雙基板保持件203、204，其每一者在各個基板保持件203、204的相對端處具有基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2；然而，應理解的是，在本文中所描述的方法同樣適用於臂131和關於圖8至16所顯示及描述之本揭露內容的面向。

如同將在下文中描述的，控制器110被可操作地耦接到驅動部分220，且配置來延伸臂131，用於藉由雙基板保持件203、204之對應的至少一個基板保持站(例如，基板保持站203H1、204H1或203H2、204H2)通過輸送室壁125W中的各個獨立開口(參見，槽閥SV)實質上同時地拾取或放置雙第一基板(參見，例如，基板S1、S2)。如同亦將在下文中描述的，控制器110配置為通過輸送室壁125W中的各個獨立開口實質上同時地以至少一個第二基板(參見，例如，基板S3、S4)來快速交換雙第一基板，至少一個第二基板被保持在雙基板保持件203、204之對應的至少一個基板保持站(例如，基板保持站203H1、204H1或203H2、204H2)上，且雙第一基板S1、S2被同時地保持在雙基板保持件203、204之對應的至少一個基板保持站(例如，基板保持站203H1、204H1或203H2、204H2)上。在一些面向中，驅動部分在控制器110的控制下被配置為相對於另一個基板保持件獨立地對準對應的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2中的至少一者。

根據本揭露內容的面向，具有至少一個端接器(及/或如同本文中所描述的其他臂配置)的雙連桿SCARA實現繞著肩軸線SX之大於或約為360°SCARA臂旋轉角度θ(參見，例如，圖1A和7A)(圖17，方塊1700)，且臂131與其上的端接器203、204(亦即，在雙SCARA臂的任何角度θ位置/方向處)在輸送室的整個內部空間中延伸和收回(圖17，方塊1710)。具有如同本文中所描述的(及/或如同本文中所描述的其他臂配置)至少一個端接器的雙連桿SCARA在與臂131和端接器203、204的延伸共用之每一個端接器處提供獨立自動晶圓定心(圖17，方塊1720)，如同下文中所描述的。如同亦在本文中所描述的，具有至少一個端接器的雙連桿SCARA在沒有Z軸線移動的情況下提供雙“快速交換”(如同在本文中所描述的，藉由端接器203、204的基板保持站203H1、204H1、203H2、204H2，其在一個面向中，位在共同平面499上(參見，例如，圖2D及11)；且在其他面向中，藉由位在不同平面499、499A上的端接器203、204的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2(參見，例如，圖10))(圖17，方塊1730)，其中，端接器203、204具有並排的基板保持站，且端接器203、204中的至少一者為雙面端接器(例如，具有至少一個基板保持站，其被定位在端接器之縱向相對地隔開的端處)。

在例示性方法中，提供在本文中所描述的基板輸送裝置130(圖14，方塊1401)。亦可提供控制器110(圖14，方塊1420)，且其被連接到基板輸送裝置130。控制器配置為使基板輸送裝置130的至少一個臂131延伸，使得基板保持件203、204(以及在圖13的情況下之基板保持件205)延伸通過輸送室125、125A的側壁125W。例如，圖7A顯示基板輸送裝置130的臂131相對於肩軸線SX處於原地或收回配置。在此範例中，收回配置為臂連桿201、202被定位為一個在另一個上方且實質上彼此對準；而在其他面向中，收回配置為腕軸線WX被實質地設置在肩軸線SX上方，例如，當上連桿201及前臂連桿202具有從關節中心到關節中心之實質相同的長度時。控制器110配置為造成驅動部分220的動作，以造成每一個基板的獨立自動晶圓定心，其中，基板保持站203H2、204H2的基節BP被增加(圖2B)或減少(圖2C)，以造成自動晶圓定心(在此情況下為各個基板保持站203H2、204H2上的基板S3、S4的定心)，使得基板保持站203H2、204H2之間的距離與基板處理站196、197之間的節距實質地匹配。如上所述，可沿著超過一個軸線(例如，沿著對應到基板處理站之間的空間的軸線、以及沿著對應到基板保持件的延伸方向的軸線)來造成自動晶圓定心。控制器110還配置為造成驅動部分220的動作，使得在一個面向中，腕軸線WX在徑向方向700上移動，且基板保持站203H2、204H2延伸通過輸送室125A的壁125W中的開口進入加載鎖102A、102B(參見圖7B及7C)。

在一個面向中，控制器110可造成Z軸線驅動312的致動，以抬起基板保持站203H2、204H2(而在其他面向中，可藉由基板處理站196、197來至少部分地提供Z動作)，用於從加載鎖102A、102B的基板處理站196、197實質上同時地拾取雙基板S3、S4。藉由被保持在基板保持站203H2、204H2上的基板S3、S4，控制器110造成驅動部分220的動作，以將臂131收回到，例如，收回配置，使得基板S3、S4從加載鎖102A、102B移除(參見圖7D)。臂131在方向777上被旋轉，以將基板保持站203H1、204H1定位在任何適合的基板處理站(例如，處理站188、189)旁邊，另一組的雙基板S1、S2將從此處被拾取。

以類似於上面所描述的方式，控制器110配置為造成驅動部分220的動作，以延伸臂131(圖14，方塊1410)，並使得基板保持站203H1、204H1的基節BP被增加(圖2B)或減少(圖2C)，以造成自動晶圓定心(圖14，方塊1430，在此情況下為各個基板保持站203H1、204H1上的基板S1、S2的定心)，使得基板保持站203H1、204H1之間的距離與基板處理站188、189之間的節距實質地匹配(參見圖7E)。應注意的是，可實質上與臂延伸/收回、或與在臂131的延伸之前實質上處於收回配置的臂131同時地來執行自動晶圓定心(例如，基節BP的增加或減少)。為了從基板處理站188、189拾取/放置基板，控制器110配置為造成驅動部分220的動作，使得腕軸線WX在非徑向延伸上移動，其中，腕軸線WX的移動在一個面向中沿著路徑701(圖7F)行進，路徑701從徑向延伸/收回的軸線偏離及/或傾斜(亦即，路徑701並未通過肩軸線SX或從肩軸線SX輻射出去)。腕軸線WX沿著路徑701的移動使基板保持站203H1、204H1延伸通過輸送室125A的壁125W中的開口，進入基板處理站188、189。

在一個面向中，控制器110可造成Z軸線驅動312的致動，以抬起基板保持站203H1、204H1(而在其他面向中，可藉由基板處理站188、189來至少部分地提供Z動作)，用於從並排的基板站模組150的基板處理站188、189實質上同時地拾取雙基板S1、S2(圖14，方塊1440)。藉由被保持在基板保持站203H1、204H1上的基板S1、S2，控制器110造成驅動部分220的動作，以將臂131收回到，例如，收回配置，使得基板S1、S2從並排的基板站模組150移除(參見圖7G)。在臂131從基板處理站188、189收回的過程(實質上與其同時地)中，或與臂實質地處於收回配置(參見圖7G)時，基板保持站203H1、204H1的基節BP可被恢復。

在一個面向中，以上面所描述的方式造成基板S3、S4與基板S1、S2的快速交換(圖14，方塊1450)，其中，基板保持件平面(如同在本文中所描述，以及雙面基板保持件的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2是否形成一個或多個平面)的每一個平面499、499A(參見圖2D、10及11)與在共同輸送室中的輸送開口的至少一個平面(參見圖1B及1C)相對應且對準，以在輸送開口平面的指定Z位置處進行輸送，使得在實質上沒有Z軸線移動的情況下藉由每一個雙面基板保持件203、204的至少一個基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2造成通過在每一個平面上的每一個相應開口之基板輸送，亦即，藉由在基板保持件203、204的一端處的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸進入基板處理站(用於每一個平面)、在基板處理站處拾取及/或放置基板、從基板處理站收回、以及藉由在雙面基板保持件203、204的相同或不同端處之相同或不同的雙基板延伸進入每一個其他不同的基板處理站造成(獨立於中間Z軸線移動、或與基板輸送之間的中間Z軸線移動分離)實質上獨立於Z軸線移動的基板的快速交換。例如，臂131在方向777上被旋轉(參見圖7G至7I)，以將基板保持站203H2、204H2(以及由臂131所保持的基板S1-S4)定位在處理站188、189旁邊，基板S1、S2會從此處被移除，且基板S3、S4將被放置到此處。控制器110造成驅動部分220的動作，以延伸臂131(圖14，方塊1410)，並使得基板保持站203H2、204H2的基節BP被增加(圖2B)或減少(圖2C)，以造成自動晶圓定心(圖14，方塊1430，在此情況下為各個基板處理站188、189上的基板S3、S4的定心)，使得基板保持站203H2、204H2之間的距離與基板處理站188、189之間的節距實質地匹配(參見圖7I)。應注意的是，可實質上與臂延伸/收回、或與在臂131的延伸之前實質上處於收回配置的臂131同時地來執行自動晶圓定心(例如，基節BP的增加或減少)。為了將基板S3、S4放置到各個基板處理站188、189，控制器110配置為造成驅動部分220的動作，使得腕軸線WX在非徑向延伸上沿著路徑701(圖7J)移動。腕軸線WX沿著路徑701的移動使基板保持站203H2、204H2延伸通過輸送室125A的壁125W中的開口，進入基板處理站188、189。

在一個面向中，控制器110可造成Z軸線驅動312的致動，以降低基板保持站203H2、204H2(而在其他面向中，可藉由基板處理站188、189來至少部分地提供Z動作)，用於實質上同時地將雙基板S3、S4放置到並排的基板站模組150的基板處理站188、189(圖14，方塊1440)。控制器110造成驅動部分220的動作，以將臂131收回到，例如，收回配置，使得基板保持站203H2、204H2從並排的基板站模組150移除。在臂131從基板處理站188、189收回的過程(實質上與其同時地)中，或與臂實質地處於收回配置時，基板保持站203H1、204H1的基節BP可被恢復。雖然描述了基板S3、S4與基板S1、S2的快速交換，應理解的是，在其他面向中，基板S3、S4可被放置在不同於基板S1、S2被拾取之處的另一個位置。

控制器110可造成驅動部分220的操作，使得臂131以上面所描述的方式延伸到加載鎖102A、102B中，以用實質上類似於上面關於將基板S3、S4放置到基板處理站188、189所描述的方式將雙基板S1、S2放置到基板處理站196、197(參見圖7K)。臂131從加載鎖102A、102B收回到，例如，收回配置(參見圖7L)，用於進一步拾取/放置基板。

現在參照圖30A、30B、31及32A至32F，顯示根據本揭露內容的另一個面向之例示性基板輸送裝置130。在此面向中，基板輸送裝置130包括臂131，其為，例如，關節型多連桿臂，亦可被稱為SCARA臂。臂131具有可樞轉地安裝到驅動部分220C(或任何其他適合的驅動部分)之共同上臂3001、兩個前臂3002A、3002B(每一個前臂3002A、3002B被耦接到共同上臂3001的每一端)、以及被耦接到每一個相應的前臂3002A、3002B之兩個基板保持件或端接器3100A、3100B、3100C、3100D(亦稱為端接器連桿)，其中，每一個基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D具有基板保持位置/站3023、3024、3025、3026。

在此處，共同上臂由兩個前臂3002A、3002B所共享或共用，且包括肩軸線SX、具有第一端3001E1的第一臂部分3001A、以及具有第二端3001E2的第二臂部分3001B，其中，肩軸線SX被定位在第一端3001E1和第二端3001E2之間。在一個或多個面向中，第一臂部分3001A和第二臂部分3001B形成單一構件(亦即，一件)臂連桿，而沒有第一端3001E1和第二端3001E2之間的關節式/可調整關節，且共同上臂連桿3001在肩關節SX(其相對於基板輸送室125的框體被定位在固定位置處)與兩個前臂3002A、3002B中的每一者與共同上臂連桿3001之各個關節EX1、EX2之間為實質剛性的無關節連桿。在其他面向中，亦參照圖33A至33C，第一臂部分3001A和第二臂部分3001B以可調整的方式被相互耦接，使得臂部分3001A、3001B之間的夾角α為可調整的，以適應不同長度L(參見圖30A)的基板保持件，同時在給定基板保持件長度下維持最緊湊(亦即，最小)覆蓋區FP，以實質上類似於2013年2月19日公告之名稱為“Dual SCARA Arm”的美國專利號第8,376,685號中所描述的方式，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。例如，如圖33A至33C所示，藉由調整共同上臂3001的相反臂部分3001A、3001B的相對角度位置來造成輸送臂覆蓋區FP的調整、以及基板保持件3100A-3100D的最佳定位。圖33A至33C分別顯示處於三個不同位置的臂部分3001A、3001B，對應於具有長度L1、L2、L3的基板保持件，其中，長度L1大於長度L2，且長度L2大於長度L3。因此，在圖33A中，上臂部分3001A、3001B相對於彼此被定位以形成夾角α，在圖33B中，上臂部分3001A、3001B相對於彼此被定位以形成夾角α1，且在圖33C中，上臂部分3001A、3001B相對於彼此被定位以形成夾角α2。角度α2比角度α1更淺，而角度α1又比角度α更淺。因此，如圖33A至33C中所見的，上臂部分3001A、3001B之間的夾角的尺寸隨著基板保持件的長度L1、L2、L3增加而減少。當上臂部分3001A、3001B之間的夾角被減少時，上臂部分3001A、3001B在臂組件處於對準位置(例如，收回或原地位置)時被進一步地往回旋轉(相對於延伸的方向)。這進而使前臂和基板保持件往回移動，允許較長長度的端接器保持在裝置的最小覆蓋區FP內。

為了使相反的臂部分3001A、3001B相對於彼此繞著肩軸線SX移動，上臂3001包括任何適合的緊固件，其在被釋放時允許臂部分3001A、3001B之間的相對移動，且在被鎖定(或緊固)時防止臂部分3001A、3001B之間的相對移動，使得共同上臂3001在上臂3001的端3001E1、3001E2(或肘軸線EX1、EX2)之間為實質剛性的無關節臂連桿。例如，共同上臂3001包括螺栓3333(參見圖33A)，其將臂部分3001A、3001B鎖定在一起。當螺栓3333被釋放時，允許臂部分3001A、3001B中的一者或兩者相對於其他的臂部分3001A、3001B繞著肩軸線SX樞轉，直到達成所欲的夾角α、α1、α2。螺栓3333接著被重新插入，從而在新位置使臂部分相對於彼此再次鎖定。在重新定位上臂部分3001A、3001B之後，其亦重新定位由上臂3001所承載的前臂和基板保持件，控制器110被編程以設定驅動部分220C的驅動馬達的對準位置(如同在先前藉由引用被併入本文中的美國專利號第8,376,685號中所描述的)，其中，以任何適合的方式完成輸送臂131的輸送移動的教示/編程。

前臂3002A的一端在肘軸線EX1處被可旋轉地耦接到共同上臂3001的第一端3001E1。基板保持件3100A、3100B繞著共同腕軸線WX1(亦即，腕軸線WX1由基板保持件3100A、3100B所共享或共用)被可旋轉地耦接到前臂3002A的另一端。前臂3002B的一端在肘軸線EX2處被可旋轉地耦接到共同上臂3001的第二端3001E2。基板保持件3100C、3100D繞著共同腕軸線WX2(亦即，腕軸線WX2由基板保持件3100C、3100D所共享或共用)被可旋轉地耦接到前臂3002B的另一端。在此處，每一個前臂3002A、3002B被設置來，獨立於每一個其他前臂3002A、3002B，決定每一個基板S在各個前臂3002A、3002B的兩個端接器的基板保持位置/站3023、3024、3025、3026處的自動定心。每一個前臂3002A、3002B分別被設置來獨立於每一個其他前臂3002A、3002B決定每一個基板S在各個前臂3002A、3002B的兩個端接器3100A、3100B、3100C、3100D的基板保持位置/站3023、3024、3025、3026處的自動定心，以造成基板S沿著，例如，輸送室125的側壁通過超過一個基板輸送開口(例如，槽閥SV)的快速交換。在此面向中，臂131的配置相較於傳統輸送臂為有利的，其中，前臂藉由共同驅動來鏈接，因為主要藉由決定各自獨立地(亦即，在延伸上)以前臂3002A、3002B的自動晶圓定心，可造成基板S的快速交換。在此處，在不同的可獨立地旋轉的前臂3002A、3002B上之基板保持件3100A、3100C及3100B、3100D在不同的前臂3002A、3002B上的交叉耦接旋轉動作(如同在本文中所描述的)(亦即，基板保持件交叉耦接/共享一個自由度)還會導致與被收回的臂的基板保持件3100A-3100D上的基板S之最小/最小化慣性耦接(例如，在圖30B中，被收回的臂由共同上臂3001的臂部分3001B、前臂3002B及端接器3100C、3100D所構成)，因為由被收回的臂所保持的基板S為靠近SCARA臂的旋轉中心(例如，肩軸線SX)，儘管被耦接的端接器3100A、3100C及3100B、3100D的角速度與在本文中所描述的相同。

被耦接到前臂3002A的基板保持件3100A、3100B可具有任何適合的長度L及形狀(例如，配置)，其至少部分地設定或以其他方式界定基板保持件3100A、3100B之並排的基板保持位置(亦稱為基板保持站)3023、3024之間的任何適合的基節BP。類似地，被耦接到前臂3002B的基板保持件3100C、3100D可具有任何適合的長度L及形狀(例如，配置)，其至少部分地設定或以其他方式界定基板保持件3100C、3100D之並排的基板保持位置3025、3026之間的任何適合的基節BP。基板保持位置3023、3024之間以及基板保持位置3025、3026之間的基節BP以類似於上面所描述的方式彼此相稱，及/或與基板保持位置3023-3026中的每一者相對於各個腕軸線WX1、WX2之任何適合的基板保持件偏置距離SD相稱。在一個面向中，基節BP可與並排的基板處理站(例如，基板處理站190、191(參見圖1A及32A))之間的節距D為實質相等的。在其他面向中，如同在本文中所描述的，藉由改變基節BP(例如，並排的基板保持站3203-3204、3205-3206之間的距離可被增加或減少)或每一個基板保持件的基板保持件偏置距離SD來造成自動晶圓定心，以適應節距D的變化、及/或造成用於將晶圓放置在基板處理站190-197處的自動晶圓定心。例如，基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D中的一者或多者可相對於其他基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D中的一者或多者繞著各個腕軸線WX1、WX2被獨立地旋轉，以增加或減少(或以其他方式改變)各個偏置距離SD，並做成在基節BP中的相應變化，如同在本文中所描述的。在一個面向中，如同在本文中所描述的，驅動部分300C被配置為基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者之對應的至少一個基板保持站3023、3024、3025、3026相對於基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D中的另一者之對應的基板保持站3023、3024、3025、3026獨立地對準。

參照圖30A、30B及31，輸送臂131在此面向中被配置來作為單向延伸雙SCARA臂，使得基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D在相同的延伸方向3099上延伸，而基板輸送臂131未作為一個單元(例如，在收回配置中)繞著肩軸線SX旋轉，且未使基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D繞著各個腕軸線WX1、WX2實質旋轉180度。在沒有輸送臂131作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉、以及沒有基板保持件3100A-3100B、3100C-3100D作為其各自的單元繞著各個腕軸線WX1、WX2旋轉的情況下，每一組基板保持件的延伸(亦即，基板保持件3100A、3100B被一起延伸和收回，而基板保持件3100C、3100D被一起延伸和收回)造成基板的快速交換，其中，基板保持件3100A-3100B從各個保持位置拾取基板，且基板保持件3100C、3100D緊接在拾取之後將基板放置在相同的基板保持位置(及/或反之亦然)。

在此面向中，基板保持件3100A及3100C繞著其各自的腕軸線WX1、WX2的旋轉被耦接，使得基板保持件3100A、3100C藉由共同(例如，藉由單一)驅動軸線或馬達來驅動。類似地，基板保持件3100B及3100D繞著其各自的腕軸線WX1、WX2的旋轉被耦接，使得基板保持件3100B、3100D藉由共同(例如，藉由單一)驅動軸線或馬達來驅動。每一個前臂3002A、3002B藉由各個驅動軸線被驅動以繞著各個肘軸線EX1、EX2旋轉，且上臂3001藉由各個驅動軸線被驅動以繞著肩軸線SX旋轉。因此，臂131作為一個單元繞著肩軸線SX的延伸、收回、旋轉、以及每一個基板保持件3100A、3100B、3100C、3100D繞著各個腕軸線的獨立旋轉被提供五自由度驅動(驅動部分220C具有五同軸驅動軸組件300C，其具有五個驅動軸301-305及五個馬達342、344、346、348、343，如同在本文中所描述的)。

在一個或多個面向中，驅動部分220C具有至少一個驅動軸線，其配置為，藉由可相對於共同上臂連桿3001獨立地樞轉的每一個前臂3002A、3002B，至少使關節型多連桿臂131沿著線性路徑(例如，沿著箭頭3099，圖30A)相對於驅動部份220C的固定位置(以及如同在本文中所描述的肩軸線SX)延伸和收回。在此處，每一個前臂3002A、3002B具有兩個端接器連桿3100A、3100B及3100C、3100D中的端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D，兩個端接器連桿3100A、3100B及3100C、3100D被安裝到各個前臂3002A、3002B的一端、可操作地耦接到至少一個驅動軸線中的共同驅動軸線(參見圖31，如同在本文中所描述的)，共同驅動軸線界定兩個端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)的共同自由度，其一者分別位在各個前臂3002A、3002B上，使端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)相對於各個前臂3002A、3002B旋轉，且在兩個前臂3002A、3002B中的至少一個前臂3002A、3002B的一端處的兩個端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)中的至少另一者具有另一個自由度，其獨立於共同自由度地使另一個端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)繞著至少一個前臂3002A、3002B旋轉。

在一個或多個面向中，驅動部分220C的至少一個驅動軸線配置為至少使關節型多連桿臂131沿著線性路徑相對於固定位置延伸和收回，如同在本文中所描述的。在此處，對應於兩個前臂3002A、3002B中的第一前臂3002A、3002B的兩個端接器連桿3100A、3100B(或3100C、3100D)中的第一端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)、以及對應於兩個前臂3002A、3002B中的第二前臂3002A、3002B的兩個端接器連桿3100A、3100B (或3100C、3100D)中的第一端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)被可操作地耦接到驅動部分220C的至少一個驅動軸線的共同驅動軸線，共同驅動軸線界定第一前臂3002A或3002B的第一端接器連桿3100A或3100C及第二前臂3002A或3002B的第一端接器連桿3100A或3100C的共同自由度，其使每一個相應的第一端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)相對於對應的第一和第二前臂3002A、3002B旋轉，且第一前臂3002A或3002B的第二端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)具有另一個自由度，其獨立於共同自由度地使第二端接器連桿3100A、3100C(或3100B、3100D)繞著第一前臂3002A或3002B旋轉。

根據一個或多個面向，藉由可相對於共同上臂連桿3001獨立地樞轉的每一個前臂3002A、3002B，五自由度驅動部分220C配置為使得驅動部分220C的五個自由度界定關節型多連桿臂131沿著線性路徑相對於固定位置(例如，以類似於上面關於輸送室125框體所描述的方式固定肩軸線SX)的延伸和收回，且在各個前臂3002A、3002B的每一者的一端處的兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者可繞著各個前臂3002A、3002B的該一端獨立地樞轉。如同在本文中所描述的基板保持件旋轉的耦接(亦即，基板保持件3100A及3100C的旋轉被耦接，且基板保持件3100B及3100D的旋轉被耦接)減少了驅動輸送臂作為一個單元延伸、收回、旋轉以及每一個基板保持件的獨立旋轉所需的驅動軸的數量(例如，提供相當於七自由度臂運動和五自由度驅動)。在一個或多個面向中，同樣以類似於本文中所描述的方式提供Z軸線驅動，以對臂131提供Z軸線動作。

如同可在圖31中所見的，共同上臂3001被耦接到軸304且與軸304作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉。前臂3002A藉由任何適合的傳動裝置(例如，本文中所描述的那些傳動裝置)被耦接到軸301。例如，驅動滑輪3140被耦接到軸301且與軸301作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉。從動滑輪3141繞著肘軸線EX2被可旋轉地安裝，且被耦接到軸3145且與軸3145作為一個單元繞著肘軸線EX2旋轉。滑輪3140、3141藉由任何適合的分段式傳動迴路3146(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)相互耦接。前臂3002A被耦接到軸3145且與軸3145作為一個單元繞著肘軸線EX2旋轉。

前臂3002B藉由任何適合的傳動裝置(例如，本文中所描述的那些傳動裝置)被耦接到軸305。例如，驅動滑輪3150被耦接到軸305且與軸305作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉。從動滑輪3151繞著肘軸線EX1被可旋轉地安裝，且被耦接到軸3155且與軸3155作為一個單元繞著肘軸線EX1旋轉。滑輪3150、3151藉由任何適合的分段式傳動迴路3156(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)相互耦接。前臂3002B被耦接到軸3155且與軸3155作為一個單元繞著肘軸線EX1旋轉。

如上所述，基板保持件3100A繞著腕軸線WX1的旋轉被耦接到基板保持件3100C繞著腕軸線WX2的旋轉。例如，當基板保持件3100A繞著WX1旋轉時，基板保持件3100C在相同方向上且以相同的旋轉量繞著腕軸線WX2旋轉。在此處，兩個基板保持件3100A、3100C被耦接到軸303且由軸303來驅動。例如，驅動滑輪3110在一些面向中可被稱為“分裂驅動滑輪(splitting drive pulley)”，且被耦接到軸303並與軸303作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉。(共同上臂3001的)惰輪滑輪3111及(前臂3002A的)惰輪滑輪3160繞著肘軸線EX2被可旋轉地安裝，且被耦接到軸3164並與軸3164作為一個單元繞著肘軸線EX2旋轉。驅動滑輪3110藉由任何適合的分段式傳動迴路3166(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3111。驅動滑輪3110藉由任何適合的分段式傳動迴路3167(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3112。在一個面向中，分段式傳動迴路3166、3167被定位在驅動滑輪3110上的不同高度處，而在其他面向中，分段式傳動迴路的至少一部分可共享驅動滑輪的共同水平，如同在本文中所描述的。從動滑輪3161被安裝到前臂3002A，用於繞著腕軸線WX1旋轉，且藉由分段式傳動迴路3168(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3160。從動滑輪3161被耦接到軸3170且與軸3170作為一個單元繞著腕軸線WX1旋轉。基板保持件3100A被耦接到軸3170且與軸3170作為一個單元繞著腕軸線WX1旋轉。(共同上臂3001的)惰輪滑輪3112及(前臂3002A的)惰輪滑輪3162繞著肘軸線EX1被可旋轉地安裝，且被耦接到軸3165並與軸3165作為一個單元繞著肘軸線EX1旋轉，其中，驅動滑輪3110被耦接到惰輪滑輪3112，如同上面所描述的。從動滑輪3163被安裝到前臂3002B，用於繞著腕軸線WX2旋轉，且藉由分段式傳動迴路3169(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3162。從動滑輪3163被耦接到軸3171且與軸3171作為一個單元繞著腕軸線WX2旋轉。基板保持件3100C被耦接到軸3171且與軸3171作為一個單元繞著腕軸線WX2旋轉。

以類似於上面所描述的方式，兩個基板保持件3100B、3100D被耦接到軸302且由軸302來驅動，使得當基板保持件3100B繞著WX1旋轉時，基板保持件3100D在相同方向上且以相同的旋轉量繞著腕軸線WX旋轉。例如，驅動滑輪3130在一些面向中可被稱為“分裂驅動滑輪”(如同將在本文中進一步描述的)，且被耦接到軸302並與軸302作為一個單元繞著肩軸線SX旋轉。(共同上臂3001的)惰輪滑輪3131及(前臂3002A的)惰輪滑輪3180繞著肘軸線EX2被可旋轉地安裝，且被耦接到軸3184並與軸3184作為一個單元繞著肘軸線EX2旋轉。驅動滑輪3130以任何適合的方式，例如，藉由分段式傳動迴路3186(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3131。驅動滑輪3130以任何適合的方式，例如，藉由分段式傳動迴路3187(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3132。在一個面向中，分段式傳動迴路3186、3187被定位在驅動滑輪3130上的不同高度處，而在其他面向中，分段式傳動迴路的至少一部分可共享驅動滑輪的共同水平，如同在本文中所描述的。從動滑輪3181被安裝到前臂3002A，用於繞著腕軸線WX1旋轉，且藉由分段式傳動迴路3188(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3180。從動滑輪3181被耦接到軸3190且與軸3190作為一個單元繞著腕軸線WX1旋轉。基板保持件3100B被耦接到軸3190且與軸3190作為一個單元繞著腕軸線WX1旋轉。(共同上臂3001的)惰輪滑輪3132及(前臂3002A的)惰輪滑輪3182繞著肘軸線EX1被可旋轉地安裝，且被耦接到軸3185並與軸3185作為一個單元繞著肘軸線EX1旋轉，其中，驅動滑輪3130被耦接到惰輪滑輪3132，如同上面所描述的。從動滑輪3183被安裝到前臂3002B，用於繞著腕軸線WX2旋轉，且藉由分段式傳動迴路3189(實質上類似於本文中所描述的那些分段式傳動迴路)被耦接到惰輪滑輪3182。從動滑輪3183被耦接到軸3191且與軸3191作為一個單元繞著腕軸線WX2旋轉。基板保持件3100D被耦接到軸3191且與軸3191作為一個單元繞著腕軸線WX2旋轉。

如上所述，參照圖34A及34B，在一個或多個面向中，驅動滑輪3110、3130為分裂驅動滑輪，其實質上類似於在2017年6月27日申請之名稱為“Substrate Processing Apparatus”的美國專利申請號第15/634,871號中所描述的那樣，其揭露內容的全文藉由引用被併入本文當中。例如，驅動滑輪3110、3130中的每一者包括三個條帶介面水平3406L1、3406L2、3406L3，其容納各個分段式傳動迴路3186-3187(用於驅動滑輪3130)及3166-3177(用於驅動滑輪3110)的四個條帶區段3420、3421(傳動迴路3167的)以及3422、3423(傳動迴路3166的)(傳動迴路3187及3186具有類似的條帶區段)。為了例示性目的，將描述傳動迴路3167、3166對驅動滑輪3110的耦接，應注意的是，傳動迴路3187、3186以類似的方式被耦接到驅動滑輪3130。在此處，傳動迴路3167的條帶區段3420在介面水平3406L1處被耦接到驅動滑輪3110，而傳動迴路3167的條帶區段3421在介面水平3406L2處被耦接到驅動滑輪3110。傳動迴路3166的條帶區段3422在介面水平3406L2處被耦接到驅動滑輪3110，而傳動迴路3166的條帶區段3423在介面水平3406L3處被耦接到驅動滑輪3110。如同可在圖34中所見的，條帶區段3421、3422共享共同介面水平(亦即，介面水平3406L2)，其中，每一個條帶區段3421、3422以未重疊的方式被包覆到驅動滑輪周圍，且在錨接點3470、3471處被耦接到驅動滑輪(類似於在本文中所描述的那樣)，錨接點3470、3471相對於驅動滑輪3110的周邊分開約180度。相較於傳統的滑輪及傳動裝置配置(其中，每一個條帶被定位在其各自的滑輪水平上)，這樣的條帶配置提供高度減少的滑輪及傳動裝置。上面關於圖31所描述的滑輪可具有任何適合的驅動/從動比，例如，2：1，或用於造成輸送臂131之所欲的延伸/收回動作之任何適合的比。

現在參照圖30A及32A至32F，由本揭露內容的面向所提供的自動晶圓定心可提供雙基板S實質同時地放置(或拾取)，無論雙基板S中的每一者與相應的基板保持站3023、3024、3025、3026之間的相對偏心率為何。例如，以實質上類似於上面關於圖18A至18C所描述的方式，藉由在基節BP處的基板保持站3023、3024，自動晶圓定心(例如，藉由感測器3299所造成)可確定的是，基板S1的偏心率EC2較基板保持站203H1的中心203H1C更靠近肩軸線SX，且基板S2的偏心率EC1為在，例如，基板保持站3023的中心3023C的右側(注意，方向詞語“右側”在此處只是為了方便說明而使用)。據此，為了將基板S1、S2放置在，例如，基板處理站192、193，每一個基板S1、S2的位置不僅透過自動晶圓定心相對於基板處理站192、193之間的距離被獨立地調整，且還在延伸/收回方向3290上獨立地調整，以適應兩個偏心率EC1、EC2。例如，基板保持件3100A、3100B繞著腕軸線WX1(其中，腕軸線沿著徑向延伸3297的軸線(參見圖32B)或非徑向的延伸路徑(例如，以類似於圖7F所見的方式)被定位)分別獨立地旋轉，以造成基板S1、S2在各個基板處理站192、193處的獨立自動晶圓定心。類似地，以類似於上面關於圖18C所描述的方式，自動晶圓定心亦可造成基板被放置在具有離，例如，基板輸送裝置的肩軸線SX，之不同徑向距離的基板處理站處，其中，每一個基板保持站繞著各個腕軸線的獨立旋轉、及/或各個腕軸線的放置造成並排的基板保持站中的一者相對於並排的基板保持站中的另一者之增加的延伸距離(相對於肩軸線)。

仍參照圖32A至32F，基板保持件3100A到3100D的各種位置移動被顯示，以例示基板保持件3100A、3100C的旋轉耦接以及基板保持件3100B、3100D的旋轉耦接。例如，圖32B顯示基板保持件3100A、3100B延伸到基板處理站192、193，其中，基板保持件3100A、3100B的基板保持位置3023、3024之間的基節BP實質上相當於基板處理站192、193之間的距離D。在此處，由於基板保持件3100A-3100C及3100B-3100D的旋轉被耦接，基板保持位置3025、3026之間的距離同樣相當於基節BP。

圖32C為例示性圖式，其中，基板保持件3100A、3100B被延伸到基板處理位置192、193，且一個或多個基板保持件3100A、3100B繞著腕軸線WX1被獨立地旋轉(例如，順時針)到各個基板處理站192、193的右側(詞語“右側”僅用於例示性目的被使用，且任何其他的空間詞語可被使用)的位置。例如，基板保持件3100A(例如，第一臂的第一基板保持件，第一臂為上臂部分3001A、前臂3002A及基板保持件3100A、3100B)被旋轉，使得基板保持位置3023和肩軸線SX之間的距離從SD被增加為SD10(圖38A，方塊3800)，且基板保持件3100B(例如，第一臂的第二基板保持件)被旋轉，使得基板保持位置3024和肩軸線SX之間的距離從SD被減少為SD9(圖38A，方塊3820)。由於第一臂的第一基板保持件3100A與第二臂的第一基板保持件3100C(例如，第二臂為上臂部分3001B、前臂3002B及基板保持件3100C、3100D)的旋轉耦接，基板保持件3100C的基板保持位置3025和肩軸線SX之間的距離亦從SD被增加為SD10(圖38A，方塊3810)。由於第一臂的第二基板保持件3100B與第二臂的第二基板保持件3100D的旋轉耦接，基板保持件3100D的基板保持位置3026和肩軸線SX之間的距離亦從SD被減少為SD9(圖38A，方塊3830)。以實質上相反於上面所描述的方式，提供了類似於第一臂的基板保持件3100A、3100B的耦接操作，例如，第二臂被延伸到基板處理/保持位置，且第二臂的基板保持件3100C、3100D被旋轉以造成自動晶圓定心(參見圖38B，方塊3840-3870)。

圖32D為例示性圖式，其中，基板保持件3100A、3100B被延伸到基板處理位置192、193，且一個或多個基板保持件3100A、3100B繞著腕軸線WX1被獨立地旋轉(例如，逆時針)到各個基板處理站192、193的左側(詞語“左側”僅用於例示性目的被使用，且任何其他的空間詞語可被使用)的位置。例如，第一臂的第一基板保持件3100A被旋轉，使得基板保持位置3023和肩軸線SX之間的距離從SD被減少為SD12(圖39A，方塊3900)，且第一臂的第二基板保持件3100B被旋轉，使得基板保持位置3024和肩軸線SX之間的距離從SD被增加為SD11(圖39A，方塊3920)。由於第一基板保持件3100A、3100C的旋轉耦接，第二臂的第一基板保持件3100C的基板保持位置3025和肩軸線SX之間的距離亦從SD被增加為SD12(圖39A，方塊3910)。由於第二基板保持件3100B、3100D的旋轉耦接，第二臂的第二基板保持件3100D的基板保持位置3026和肩軸線SX之間的距離亦從SD被增加為SD11(圖39A，方塊3930)。以實質上相反於上面所描述的方式，提供了類似於第一臂的基板保持件3100A、3100B的耦接操作，例如，第二臂被延伸到基板處理/保持位置，且第二臂的基板保持件3100C、3100D被旋轉以造成自動晶圓定心(參見圖39B，方塊3940-3970)。

圖32E為例示性圖式，其中，基板保持件3100A、3100B被延伸到基板處理位置192、193，且一個或多個基板保持件3100A、3100B被獨立地旋轉。在此處，第一基板保持件3100A繞著腕軸線WX1被旋轉到各個基板處理站192的右側(詞語“右側”僅用於例示性目的被使用，且任何其他的空間詞語可被使用)的位置，而第二基板保持件3100B繞著腕軸線WX1被獨立地旋轉到各個基板處理站193的左側(詞語“左側”僅用於例示性目的被使用，且任何其他的空間詞語可被使用)的位置。例如，第一臂的第一基板保持件3100A被旋轉，使得基板保持位置3023和肩軸線SX之間的距離從SD被增加為SD14(圖40A，方塊4000)，且第一臂的第二基板保持件3100B被旋轉，使得基板保持位置3024和肩軸線SX之間的距離從SD被增加為SD13(圖40A，方塊4020)。由於第一基板保持件3100A、3100C的旋轉耦接，第二臂的第一基板保持件3100C的基板保持位置3025和肩軸線SX之間的距離亦從SD被增加為SD14(圖40A，方塊4010)。由於第二基板保持件3100B、3100D的旋轉耦接，第二臂的第二基板保持件3100D的基板保持位置3026和肩軸線SX之間的距離亦從SD被增加為SD13(圖40A，方塊4030)。以實質上相反於上面所描述的方式，提供了類似於第一臂的基板保持件3100A、3100B的耦接操作，例如，第二臂被延伸到基板處理/保持位置，且第二臂的基板保持件3100C、3100D被旋轉以造成自動晶圓定心(參見圖40B，方塊4040-4070)。

圖32F為例示性圖式，其中，基板保持件3100A、3100B被延伸到基板處理位置192、193，且一個或多個基板保持件3100A、3100B被獨立地旋轉。在此處，第一基板保持件3100A繞著腕軸線WX1被旋轉到各個基板處理站192的左側(詞語“左側”僅用於例示性目的被使用，且任何其他的空間詞語可被使用)的位置，而第二基板保持件3100B繞著腕軸線WX1被獨立地旋轉到各個基板處理站193的右側(詞語“右側”僅用於例示性目的被使用，且任何其他的空間詞語可被使用)的位置。例如，第一臂的第一基板保持件3100A被旋轉，使得基板保持位置3023和肩軸線SX之間的距離從SD被減少為SD16(圖41A，方塊4100)，且第一臂的第二基板保持件3100B被旋轉，使得基板保持位置3024和肩軸線SX之間的距離從SD被減少為SD15(圖41A，方塊4120)。由於第一基板保持件3100A、3100C的旋轉耦接，第二臂的第一基板保持件3100C的基板保持位置3025和肩軸線SX之間的距離亦從SD被減少為SD16(圖41A，方塊4110)。由於第二基板保持件3100B、3100D的旋轉耦接，第二臂的第二基板保持件3100D的基板保持位置3026和肩軸線SX之間的距離亦從SD被減少為SD15(圖41A，方塊4130)。以實質上相反於上面所描述的方式，提供了類似於第一臂的基板保持件3100A、3100B的耦接操作，例如，第二臂被延伸到基板處理/保持位置，且第二臂的基板保持件3100C、3100D被旋轉以造成自動晶圓定心(參見圖41B，方塊4140-4170)。

如同上面可見的，基板保持件3100A-3100D可被獨立地旋轉，以使各個基板保持件偏置距離SD增加或減少任何適合的量，如同由自動晶圓定心所確定的，其中，以對應於如圖32B至32D所示之延伸的前臂/上臂部分的基板保持件3100A-3100B、3100C-3100D中的相應一者之方式，收回的前臂/上臂部分之基板保持件3100A-3100B、3100C-3100D繞著各個腕軸線WX1、WX2旋轉。應注意的是，雖然已描述偏置距離SD和基節BP的一些例示性移動/調整，但調整/移動不限於此，且可做成任何適合的調整的組合。在此處，在一對的基板保持件3100A-3100B、3100C-3100D之間提供可變節距，且圖30A至31所示之輸送臂131的雙SCARA臂佈置藉由獨立自動晶圓定心來提供基板的快速交換(如同在本文中所描述的)，且被耦接的基板保持件在維持獨立自動晶圓定心的同時提供減少數量的驅動。

參照圖3C、30A、30B、31、32A及35，將描述根據本揭露內容的面向之例示性方法。根據此方法，提供基板輸送裝置130，其具有輸送臂131，輸送臂131具有圖30A至31的雙SCARA臂配置(圖35，方塊3500)。基板輸送裝置130的一個輸送臂(例如，輸送臂131的一個臂包括上臂部分3001A、前臂3002A以及基板保持件3100A、3100B，而輸送臂131的另一個臂包括上臂部分3001B、前臂3002B以及基板保持件3100C、3100D)被移動，使得臂的基板保持件(例如，端接器)(基板保持件3100A-3100B或基板保持件3100C-3100D中的任一者，取決於延伸哪個臂)被延伸移動或以其他方式延伸到並排的基板處理站的各個基板處理站192、193(圖35，方塊3510)。當基板保持件3100A-3100B、3100C-3100D被延伸時，感測器3299檢測到由基板保持件3100A-3100B、3100C-3100D所承載的基板S，以藉由控制器110以任何適合的方式(如同在本文中所描述的那樣)來造成自動晶圓定心。基於自動晶圓定心資訊，控制器110控制驅動部分220C來使一個臂延伸，且獨立地調整一個臂的一個或多個基板保持件3100A-3100D的基板保持站偏置距離SD，以在每一個相應的基板處理站192、193處造成獨立自動晶圓定心(圖35，方塊3520)。如上所述，基板保持件3100A、3100C繞著各個腕軸線WX1、WX2對單一驅動軸線的耦接旋轉、以及基板保持件3100B、3100D繞著各個腕軸線WX1、WX2對另一個單一驅動軸線的耦接旋轉提供四個基板保持件3100A-3100D的調整，以造成藉由兩個驅動軸線的自動晶圓定心。當基板S1、S2與各個基板處理站192、193對準時，藉由基板保持件來放置基板(圖35，方塊3530)。一個臂被收回，且雙SCARA臂的另一個臂(或相同的臂)被延伸，以用上面所描述的方式來拾取或放置基板。

參照圖3C、30A、30B、31、32A及36，將描述根據本揭露內容的面向之例示性方法。方法包括提供輸送室125(圖36，方塊3600)，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有超過一個基板輸送開口(例如，槽閥SV)，超過一個基板輸送開口在共同水平上沿著側壁相對於彼此獨立且並列。提供關節型多連桿臂131(圖36，方塊3610)，且其具有至少一個上臂3001以及兩個前臂3002A、3002B，至少一個上臂3001具有共同上臂連桿，可樞轉地安裝到五自由度驅動部分220C，兩個前臂3002A、3002B被可樞轉地安裝到共同上臂連桿的端，兩個前臂3002A、3002B中的每一者分別具有兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D，其被可樞轉地安裝在各個前臂3002A、3002B的一端處，以相對於各個前臂3002A、3002B旋轉，兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者在其上具有基板保持站3023、3024、3025、3026。方法包括藉由五自由度驅動部分220C來驅動關節型多連桿臂131(圖36，方塊3620)，五自由度驅動部分220C在固定位置處被連接到輸送室125，其中，五自由度驅動部分220C界定出關節型多連桿臂131相對於固定位置沿著線性路徑(例如，在箭頭3099的方向上)的至少延伸和收回，且每一個相應的前臂3002A、3002B可獨立地相對於共同上臂連桿3001樞轉，且在各個前臂3002A、3002B的每一者的一端處的兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者可獨立地繞著各個前臂3002A、3002B的一端樞轉。

參照圖3C、30A、30B、31、32A及37，將描述根據本揭露內容的面向之例示性方法。方法包括提供輸送室125(圖37，方塊3700)，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有超過一個基板輸送開口(例如，槽閥SV)，超過一個基板輸送開口在共同水平上沿著側壁相對於彼此獨立且並列。方法還包括提供關節型多連桿臂131(圖37，方塊3710)，其具有至少一個上臂3001以及兩個前臂3002A、3002B，至少一個上臂3001具有共同上臂連桿，可樞轉地安裝到驅動部分220C(例如，具有在固定位置處被連接到輸送室的至少一個驅動軸線)，兩個前臂3002A、3002B被可樞轉地安裝到共同上臂連桿3001的端，兩個前臂3002A、3002B中的每一者分別具有兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D，其被可樞轉地安裝在各個前臂3002A、3002B的一端處，以相對於各個前臂3002A、3002B旋轉，兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者在其上具有基板保持站3023、3024、3025、3026。方法包括藉由具有在固定位置處被連接到輸送室125的至少一個驅動軸線的驅動部分220C來驅動關節型多連桿臂131(圖37，方塊3720)。

在一個面向中，驅動部分220C的至少一個驅動軸線配置為至少使關節型多連桿臂131沿著線性路徑(例如，在箭頭3099的方向上)相對於固定位置延伸和收回，且每一個相應的前臂3002A、3002B可相對於共同上臂連桿3001獨立地樞轉。每一個相應的前臂3002A、3002B具有兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的一個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D，兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D被安裝到各個前臂3002A、3002B的一端、可操作地耦接到至少一個驅動軸線中的共同驅動軸線，共同驅動軸線界定每一個相應的前臂3002A、3002B上各有一個的兩個端接器連桿3100A、3100C或3100B、3100D之共同自由度，其使端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D相對於各個前臂3002A、3002B旋轉，且在兩個前臂3002A、3002B的至少一個前臂3002A、3002B的一端處之兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的至少另一者具有另一個自由度，其獨立於共同自由度地使其他端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D繞著至少一個前臂3002A、3002B旋轉。

在另一個面向中，驅動部分220C的至少一個驅動軸線配置為至少使關節型多連桿臂131沿著線性路徑(例如，在箭頭3099的方向上)相對於固定位置延伸和收回。對應於兩個前臂3002A、3002B中的第一前臂3002A、3002B的兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的第一端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D、以及對應於兩個前臂3002A、3002B中的第二前臂3002A、3002B的兩個端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D中的第一端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D被可操作地耦接到至少一個驅動軸線的共同驅動軸線，共同驅動軸線界定第一前臂3002A、3002B的第一端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D及第二前臂3002A、3002B的第一端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D的共同自由度，其使每一個相應的第一端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D相對於對應的第一和第二前臂3002A、3002B旋轉，且第一前臂3002A、3002B的第二端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D具有另一個自由度，其獨立於共同自由度地使第二端接器連桿3100A、3100B、3100C、3100D繞著第一前臂3002A、3002B旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，基板輸送裝置包括：

框體；

被連接到框體的驅動部分；

至少一個關節型多連桿臂，具有上臂和前臂，上臂在一端處被可旋轉地接合到驅動部分，前臂在上臂的相對端處被可旋轉地接合到上臂，且上臂在一端和相對端之間為實質剛性的無關節連桿；

雙端接器連桿，其為彼此獨立且不同的，每一個雙端接器連桿被可旋轉且獨立地接合到前臂的共同端，使得每一個端接器連桿相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其之對應的至少一個基板保持站；

其中，依附於雙端接器連桿中的至少一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站包括在至少一個端接器連桿的相對端處的一個基板保持站，其在相對端之間為實質剛性且無關節的，且其中，在相對端中的一端處的基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站為實質共面的。

根據本發明的一個或多個面向，雙端接器連桿被設置為使得多連桿臂的徑向延伸和收回通過輸送室壁中的各個獨立開口實質上同時地造成每一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站的延伸和收回，各個獨立開口在實質共同的水平處相對於彼此並列。

根據本發明的一個或多個面向，在至少一個端接器連桿的相對端處的基板保持站為彼此實質上共面的。

根據本發明的一個或多個面向，在至少一個端接器連桿的相對端處的基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站為實質上共面的。

根據本發明的一個或多個面向，每一個獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站包括在至少一個端接器連桿的相對端處的一個基板保持站，且獨立且不同的端接器連桿中的每一者在相對端之間為實質剛性且無關節的。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為多軸線驅動部分，其界定出至少一個端接器連桿相對於另一者之獨立自由度。

根據本發明的一個或多個面向，每一個端接器連桿之獨立自由度使得在雙端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站處能夠進行獨立自動晶圓定心。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為多軸線驅動部分，其配置為在與雙端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站之通過輸送室壁中的各個獨立開口的實質同時延伸實質上一致的情況下，在雙端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。

根據本發明的一個或多個面向，基板輸送裝置還包括控制器，其可操作地耦接到驅動部分，且配置來延伸多連桿臂，用於通過輸送室壁中的各個獨立開口藉由雙端接器連桿之對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。

根據本發明的一個或多個面向，控制器配置為通過各個獨立開口，以至少一個第二基板實質同時地快速交換雙第一基板，至少一個第二基板被保持在雙端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上，且雙第一基板被同時地保持在雙端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上。

根據本發明的一個或多個面向，基板處理裝置包括：

輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；

至少一個關節型多連桿臂，具有在固定位置處被連接到輸送室的驅動部分，且具有上臂和位在輸送室中的前臂，上臂在一端處被可旋轉地接合到驅動部分，前臂在上臂的相對端處被可旋轉地接合到上臂，且上臂在一端和相對端之間為實質剛性的無關節連桿；以及

其中，多連桿臂具有超過一個獨立且不同的端接器連桿，其每一者在前臂的共同端處被可旋轉且獨立地接合到關節，使得每一個端接器連桿在關節處相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其之對應的至少一個基板保持站，且延伸自關節，使得超過一個端接器連桿沿著共同平面相對於彼此並列，

其中，驅動部分配置為至少使多連桿臂沿著徑向軸線延伸及收回，此延伸及收回分別通過沿著側壁並列的獨立開口造成每一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站的實質同時延伸及收回，且使對應的基板保持站中的至少一者相對於超過一個端接器連桿的另一者獨立地對準。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分配置為使端接器連桿中的每一者之對應的至少一個基板保持站相對於端接器連桿中的另一者之對應的基板保持站獨立地對準。

根據本發明的一個或多個面向，依附於至少一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站包括在至少一個端接器連桿的相對端處的一個基板保持站，至少一個端接器連桿在相對端之間為實質剛性且無連桿的。

根據本發明的一個或多個面向，在相對端的一者處之對應的至少一個基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站為實質共面的。

根據本發明的一個或多個面向，在至少一個端接器連桿的相對端處之對應的至少一個基板保持站彼此實質地共面。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為多軸線驅動部分，其界定出至少一個端接器連桿相對於另一者之獨立自由度。

根據本發明的一個或多個面向，每一個端接器連桿之獨立自由度使得在超過一個獨立且不同的端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站處能夠進行獨立自動晶圓定心。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為多軸線驅動部分，其配置為在與超過一個獨立且不同的端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站之通過輸送室的側壁中的各個基板輸送開口的實質同時延伸實質上一致的情況下，在超過一個獨立且不同的端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。

根據本發明的一個或多個面向，基板輸送裝置還包括控制器，控制器可操作地耦接到驅動部分，且配置來延伸多連桿臂，用於通過輸送室的側壁中的各個基板輸送開口藉由超過一個獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。

根據本發明的一個或多個面向，控制器配置為通過各個基板輸送開口，以至少一個第二基板實質同時地快速交換雙第一基板，至少一個第二基板被保持在超過一個獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上，且雙第一基板被同時地保持在超過一個獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上。

根據本發明的一個或多個面向，基板輸送裝置包括：

框體；

被連接到框體的驅動部分；

至少一個二連桿SCARA臂，具有在SCARA臂的肘關節處彼此接合的第一臂連桿及第二臂連桿，第一臂連桿在肩關節處被接合到驅動部分；以及

超過一個端接器連桿，其為彼此獨立且不同的，超過一個端接器連桿中的每一者在共同腕關節處被可旋轉且獨立地接合到第二臂連桿，使得每一個端接器連桿相對於第二臂連桿在共同腕關節處繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其之對應的至少一個基板保持站；

其中，在共同平面上，依附於超過一個端接器連桿中的每一者之對應的至少一個基板保持站被設置為與依附於超過一個端接器連桿中的每一個其他端接器連桿之對應的至少一個基板保持站實質共面的，共同平面藉由超過一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站中的至少三個來確定。

根據本發明的一個或多個面向，對應的至少一個基板保持站的至少三個中的兩個基板保持站對應到超過一個端接器連桿中的共同端接器連桿。

根據本發明的一個或多個面向，兩個基板保持站在共同端接器連桿的相對端處各佈置一個。

根據本發明的一個或多個面向，在共同端接器連桿的相對端處的兩個基板保持站為彼此實質共面的。

根據本發明的一個或多個面向，在共同端接器連桿的相對端處的兩個基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站為實質共面的。

根據本發明的一個或多個面向，共同端接器連桿在相對端之間為實質剛性且無關節的。

根據本發明的一個或多個面向，超過一個端接器連桿被設置為使得SCARA臂的徑向延伸和收回通過輸送室壁中的各個獨立開口造成每一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站的實質同時延伸和收回，輸送室壁中的各個獨立開口在實質共同的水平處相對於彼此並列。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為多軸線驅動部分，其界定出至少一個端接器連桿相對於超過一個端接器連桿中的其他端接器連桿之獨立自由度。

根據本發明的一個或多個面向，每一個端接器連桿的獨立自由度使得在超過一的端接器連桿中的每一者之對應的至少一個基板保持站處能夠進行獨立自動晶圓定心。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為多軸線驅動部分，其配置為在與超過一個端接器連桿中的每一者之對應的至少一個基板保持站之通過輸送室壁中的各個獨立開口的實質同時延伸實質上一致的情況下，在超過一個端接器連桿中的每一者之對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。

根據本發明的一個或多個面向，基板輸送裝置還包括控制器，其可操作地耦接到驅動部分，且配置來延伸SCARA臂，用於通過輸送室壁中的各個獨立開口藉由超過一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。

根據本發明的一個或多個面向，控制器配置為通過各個獨立開口，以至少一個第二基板實質同時地快速交換雙第一基板，至少一個第二基板被保持在超過一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上，且雙第一基板被同時地保持在超過一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上。

根據本發明的一個或多個面向，提供一種用於輸送基板的方法。此方法包括：

提供基板輸送裝置，其包括：

框體；

被連接到框體的驅動部分；

至少一個關節型多連桿臂，具有上臂和前臂，上臂在一端處被可旋轉地接合到驅動部分，前臂在上臂的相對端處被可旋轉地接合到上臂，且上臂在一端和相對端之間為實質剛性的無關節連桿；

雙端接器連桿，其為彼此獨立且不同的，雙端接器連桿中的每一者被可旋轉且獨立地接合到前臂的共同端，使得每一個端接器連桿相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其之對應的至少一個基板保持站；

其中，依附於雙端接器連桿中的至少一個端接器連桿之對應的至少一個基板保持站包括在至少一個端接器連桿的相對端處的一個基板保持站，至少一個端接器連桿在相對端之間為實質剛性且無關節的，且其中，在相對端中的一端處的基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之對應的至少一個基板保持站為實質共面的；以及

延伸至少一個關節型多連桿臂，使得雙端接器連桿延伸通過輸送室的側壁，側壁具有超過一個基板輸送開口，其相對於彼此在共同的水平上沿著側壁獨立且並列。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為多軸線驅動部分，且方法還包括在與雙端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站通過輸送室壁中的各個獨立開口的實質同時延伸實質一致的情況下，藉由驅動部分在雙端接器連桿的每一者之對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括：

提供可操作地耦接到驅動部分的控制器；以及

造成至少一個關節型多連桿臂的延伸，用於通過輸送室壁中的各個獨立開口藉由雙端接器連桿之對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括藉由控制器通過各個獨立開口造成以至少一個第二基板實質同時地快速交換雙第一基板，至少一個第二基板被保持在雙端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上，且雙第一基板被同時地保持在雙端接器連桿之對應的至少一個基板保持站上。

根據本發明的一個或多個面向，基板處理裝置包括：

輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；

至少一個關節型多連桿臂，具有在固定位置處被連接到輸送室的驅動部分，且具有上臂及位在輸送室中的前臂，上臂的近端在固定位置處被可旋轉地接合到驅動部分，前臂在上臂的遠端處被可旋轉地接合到上臂，且上臂在近端(例如，固定位置)與遠端之間為實質剛性的無關節連桿；以及

其中，多連桿臂具有至少一個端接器連桿，其在前臂的端處被可旋轉地接合到關節，使得至少一個端接器連桿在關節處相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，至少一個端接器連桿具有依附於其之超過一個基板保持站，其沿著共同平面相對於彼此並列，且配置為使得至少一個端接器連桿繞著共同旋轉軸線的旋轉使超過一個基板保持站繞著共同旋轉軸線旋轉；

其中，驅動部分配置來至少使多連桿臂相對於固定位置沿著非徑向線性路徑延伸和收回，使超過一個並列的基板保持站隨著臂的延伸和收回分別沿著非徑向路徑線性地橫越，並實質同時地通過在共同水平上之超過一個並列的基板輸送開口中的獨立對應開口。

根據本發明的一個或多個面向，超過一個並列的基板保持站依附於共同端接器連桿，其在超過一個並列的基板保持站之間為實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，至少一個端接器連桿包括超過一個端接器連桿，其被接合到前臂的端，以相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，且超過一個端接器連桿中的每一者具有依附於其之超過一個並列的基板保持站中的至少一個對應的基板保持站。

根據本發明的一個或多個面向，超過一個端接器連桿中的每一者具有依附於其之超過一個並列的基板保持站中的超過一個對應的基板保持站，且分別為依附於各個端接器連桿之超過一個對應的基板保持站之間的實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分配置來使至少一個多連桿臂沿著非徑向線性路徑延伸和收回，且實質同時地使每一個端接器連桿之至少一個對應的基板保持站通過沿著側壁並列之獨立基板輸送開口，且使至少一個對應的基板保持站相對於超過一個端接器連桿中的另一者獨立地對準。

根據本發明的一個或多個面向，至少一個端接器連桿包括超過一個端接器連桿，其被接合到前臂的端，以相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，其中，驅動部分配置為使得超過一個端接器連桿中的每一者分別獨立於超過一個端接器連桿中的另一者地繞著共同旋轉軸線旋轉，且超過一個端接器連桿中的每一者具有依附於其之超過一個並列的基板保持站中的至少一個對應的基板保持站。

根據本發明的一個或多個面向，基板處理裝置包括：

輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；

至少一個關節型多連桿臂，具有在固定位置處被連接到輸送室的驅動部分，且具有上臂及位在輸送室中的前臂，上臂的近端在固定位置處被可旋轉地接合到驅動部分，前臂在上臂的遠端處被可旋轉地接合到上臂，且上臂在近端(固定位置)與遠端之間為實質剛性的無關節連桿；以及

其中，多連桿臂具有至少一個端接器連桿，其在前臂的端處被可旋轉地接合到關節，使得至少一個端接器連桿在關節處相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，至少一個端接器連桿具有依附於其之超過一個基板保持站，且超過一個基板保持站相對於彼此被設置在共同平面上，且配置為使得至少一個端接器連桿繞著共同旋轉軸線的旋轉使超過一個基板保持站中的每一者繞著共同旋轉軸線旋轉；

其中，驅動部分配置來至少使多連桿臂相對於固定位置沿著徑向或非徑向線性路徑延伸和收回，使超過一個基板保持站中的至少兩個並列的基板保持站隨著臂的延伸和收回分別沿著徑向或非徑向路徑線性地橫越，並實質同時地通過在共同水平上之超過一個並列的基板輸送開口中的獨立對應開口，並使

不同於兩個並列的基板保持站中的每一者，超過一個基板保持站中的至少另一者可獨立於至少兩個並列的基板保持站繞著共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，至少兩個並列的基板保持站和至少另一個基板保持站被設置在至少一個端接器連桿上，使得至少兩個並列的基板保持站和至少另一個基板保持站被佈置在共同旋轉軸線的相對側上。

根據本發明的一個或多個面向，至少兩個並列的基板保持站和至少另一個基板保持站被設置在至少一個端接器連桿上，以隨著臂沿著徑向或非徑向路徑的延伸和收回而繞著共同軸線旋轉，以選擇性地使至少一個端接器的位置符合輸送室的另一個側壁，輸送室的另一個側壁不同於至少一個端接器連桿的超過一個基板保持站中的至少一者的開口隨著臂的延伸和收回通過之側壁。

根據本發明的一個或多個面向，至少兩個並列的基板保持站被設置在至少一個端接器連桿上，至少一個端接器連桿被可操作地連接到驅動部分，且佈置為使得至少一個端接器連桿繞著共同旋轉軸線以共同的獨立自由度使至少兩個並列的基板保持站旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，至少兩個並列的基板保持站被設置在至少一個端接器連桿上，至少一個端接器連桿被可操作地連接到驅動部分，且佈置為使得至少一個端接器連桿繞著共同旋轉軸線以各個不同的獨立自由度使至少兩個並列的基板保持站中的每一者旋轉，使得至少兩個並列的基板保持站中的每一者相對於彼此繞著共同旋轉軸線獨立地旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，基板處理裝置包括：

輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；

至少一個關節型多連桿臂，具有在固定位置處被連接到輸送室的驅動部分，且具有上臂及位在輸送室中的前臂，上臂的近端在固定位置處被可旋轉地接合到驅動部分，前臂在上臂的遠端處被可旋轉地接合到上臂，且上臂在近端(固定位置)與遠端之間為實質剛性的無關節連桿；以及

其中，多連桿臂具有至少一個端接器連桿，其在前臂的端處被可旋轉地接合到關節，使得至少一個端接器連桿在關節處相對於前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，至少一個端接器連桿具有依附於其之超過一個基板保持站，其相對於彼此在高度中偏離地沿著不同的平面並列，且配置為使得至少一個端接器連桿繞著共同旋轉軸線的旋轉使超過一個基板保持站中的每一者繞著共同旋轉軸線旋轉，

其中，驅動部分配置來至少使多連桿臂相對於固定位置沿著徑向或非徑向線性路徑延伸和收回，使超過一個基板保持站中的至少兩個並列的基板保持站隨著臂的延伸和收回分別沿著徑向或非徑向路徑線性地橫越，且分別可獨立於彼此繞著共同旋轉軸線旋轉，以獨立地通過在共同水平上之超過一個並列的基板輸送開口中的共同開口，並且

不同於兩個並列的基板保持站中的每一者，超過一個基板保持站中的至少另一者實質上相對於至少兩個並列的基板保持站中的每一者被設置在至少一個端接器連桿上。

根據本發明的一個或多個面向，至少一個端接器配置為使得至少另一個基板保持站可獨立於至少兩個並列的基板保持站地繞著共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，至少兩個並列的基板保持站和至少另一個基板保持站被設置在至少一個端接器連桿上，使得至少兩個並列的基板保持站和至少另一個基板保持站被佈置在共同旋轉軸向的相對側上。

根據本發明的一個或多個面向，至少兩個並列的基板保持站和至少另一個基板保持站被設置在至少一個端接器連桿上，以隨著臂沿著徑向或非徑向路徑的延伸和收回而繞著共同軸線旋轉，以選擇性地使至少一個端接器的位置符合輸送室的另一個側壁，輸送室的另一個側壁不同於至少一個端接器連桿的超過一個基板保持站中的至少一者的開口隨著臂的延伸和收回通過之側壁。

根據本發明的一個或多個面向，至少兩個並列的基板保持站被設置在至少一個端接器連桿上，至少一個端接器連桿被可操作地連接到驅動部分，且佈置為使得至少一個端接器連桿繞著共同旋轉軸線以各個不同的獨立自由度使至少兩個並列的基板保持站中的每一者旋轉，使得至少兩個並列的基板保持站中的每一者相對於彼此繞著共同旋轉軸線獨立地旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分配置為使至少一個端接器連桿的超過一個基板保持站在高度上相對於彼此移動，以將超過一個基板保持站放置在彼此並列的共同水平上。

根據本發明的一個或多個面向，基板處理裝置包括：輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；五自由度驅動部分，在固定位置處被連接到輸送室；以及關節型多連桿臂，具有可樞轉地安裝到驅動部分之至少一個上臂及共同上臂連桿、以及可樞轉地安裝到共同上臂連桿的端之兩個前臂，兩個前臂中的每一者分別具有兩個端接器連桿，其可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處，以相對於相應的前臂旋轉，兩個端接器連桿中的每一者在其上具有基板保持站；其中，五自由度驅動部分配置為使得驅動部分的五自由度至少界定關節型多連桿臂相對於固定位置沿著線性路徑之延伸和收回，且每一個相應的前臂可獨立地相對於共同上臂連桿樞轉，且在每一個相應的前臂的一端處之兩個端接器連桿中的每一者可獨立地繞著相應的前臂的一端樞轉。

根據本發明的一個或多個面向，兩端接器連桿被可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處的關節處，以相對於相應的前臂旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處之兩端接器連桿中的每一者相對於相應的前臂繞著在關節處的共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，共同上臂連桿為在固定位置和兩前臂中的每一者與共同上臂連桿的各個關節之間的實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，每一個前臂被設置來獨立於每一個其他前臂決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心。

根據本發明的一個或多個面向，每一個前臂被設置來獨立於每一個其他前臂分別地決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心，以造成沿著側壁之通過超過一個基板輸送開口的基板的快速交換。

根據本發明的一個或多個面向，基板處理裝置包括：輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；驅動部分，具有在固定位置處被連接到輸送室的至少一個驅動軸線；以及關節型多連桿臂，具有可樞轉地安裝到驅動部分的至少一個上臂以及共同上臂連桿、以及可樞轉地安裝到共同上臂連桿的端之兩個前臂，兩個前臂中的每一者分別具有兩個端接器連桿，其可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處，以相對於相應的前臂旋轉，兩個端接器連桿中的每一者在其上具有基板保持站；其中，驅動部分的至少一個驅動軸線至少配置來使關節型多連桿臂相對於固定位置沿著線性路徑延伸和收回，且每一個相應的前臂可獨立地相對於共同上臂連桿樞轉；其中，每一個相應的前臂具有被安裝到相應的前臂的一端的兩個端接器連桿中的一個端接器連桿，其被可操作地耦接到至少一個驅動軸線之共同驅動軸線，其界定兩個端接器連桿(每一個相應的前臂上各有一個)使端接器連桿相對於相應的前臂旋轉之共同的自由度，且在兩個前臂的至少一個前臂的該一端處之兩個端接器連桿中的至少另一個端接器連桿具有獨立於共同的自由度之使另一個端接器連桿繞著此至少一個前臂旋轉的另一個自由度。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為五驅動軸線驅動部分。

根據本發明的一個或多個面向，共同的自由度使分別位在相應的前臂上的兩個端接器連桿相對於相應的前臂一致地旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，兩端接器連桿被可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處的關節處，以相對於相應的前臂旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處之兩端接器連桿中的每一者相對於相應的前臂繞著在關節處的共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，共同上臂連桿為在固定位置和兩前臂中的每一者與共同上臂連桿的各個關節之間的實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，每一個前臂被設置來獨立於每一個其他前臂決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心。

根據本發明的一個或多個面向，每一個前臂被設置來獨立於每一個其他前臂分別地決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心，以造成沿著側壁之通過超過一個基板輸送開口的基板的快速交換。

根據本發明的一個或多個面向，基板處理裝置包括：輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；驅動部分，具有在固定位置處被連接到輸送室的至少一個驅動軸線；以及關節型多連桿臂，具有可樞轉地安裝到驅動部分的至少一個上臂以及共同上臂連桿、以及可樞轉地安裝到共同上臂連桿的端之兩個前臂，兩個前臂中的每一者分別具有兩個端接器連桿，其可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處，以相對於相應的前臂旋轉，兩個端接器連桿中的每一者在其上具有基板保持站；其中，驅動部分的至少一個驅動軸線至少配置來使關節型多連桿臂相對於固定位置沿著線性路徑延伸和收回；且其中，對應於兩個前臂中的第一前臂之兩個端接器連桿中的第一端接器連桿以及對應於兩個前臂中的第二前臂之兩個端接器連桿中的第一端接器連桿被可操作地耦接到至少一個驅動軸線之共同驅動軸線，其界定第一前臂的第一端接器連桿和第二前臂的第一端接器連桿使每一個相應的第一端接器連桿相對於對應的第一前臂和第二前臂旋轉之共同的自由度，且第一前臂的第二端接器連桿具有獨立於共同的自由度之使第二端接器連桿繞著第一前臂旋轉的另一個自由度。

根據本發明的一個或多個面向，每一個相應的前臂可相對於共同的上臂連桿獨立地樞轉。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為五驅動軸線驅動部分。

根據本發明的一個或多個面向，共同的自由度使分別位在相應的前臂上的兩個端接器連桿相對於相應的前臂一致地旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，兩端接器連桿被可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處的關節處，以相對於相應的前臂旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處之兩端接器連桿中的每一者相對於相應的前臂繞著在關節處的共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，共同上臂連桿為在固定位置和兩前臂中的每一者與共同上臂連桿的各個關節之間的實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，每一個前臂被設置來獨立於每一個其他前臂決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心。

根據本發明的一個或多個面向，每一個前臂被設置來獨立於每一個其他前臂分別地決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心，以造成沿著側壁之通過超過一個基板輸送開口的基板的快速交換。

根據本發明的一個或多個面向，方法包括：提供輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；提供關節型多連桿臂，具有可樞轉地安裝到五自由度驅動部分的至少一個上臂以及共同上臂連桿、以及可樞轉地安裝到共同上臂連桿的端的兩個前臂，兩個前臂中的每一者分別具有兩個端接器連桿，其可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處，以相對於相應的前臂旋轉，兩個端接器連桿中的每一者在其上具有基板保持站；以及驅動關節型多連桿臂以及五自由度驅動部分，五自由度驅動部分在固定位置處被連接到輸送室，其中，五自由度驅動部分至少界定出關節型多連桿臂沿著線性路徑相對於固定位置的延伸和收回，且每一個相應的前臂可獨立地相對於共同上臂連桿樞轉，且在每一個相應的前臂的一端處之兩個端接器連桿中的每一者可獨立地繞著相應的前臂的一端樞轉。

根據本發明的一個或多個面向，兩端接器連桿被可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處的關節處，以相對於相應的前臂旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處之兩端接器連桿中的每一者相對於相應的前臂繞著在關節處的共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，共同上臂連桿為在固定位置和兩前臂中的每一者與共同上臂連桿的各個關節之間的實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括藉由每一個前臂獨立於其他每一個前臂決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括分別藉由每一個前臂以獨立於其他每一個前臂的方式決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心，以造成沿著側壁之通過超過一個基板輸送開口的基板的快速交換。

根據本發明的一個或多個面向，方法包括：提供輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；提供關節型多連桿臂，具有可樞轉地安裝到驅動部分的至少一個上臂以及共同上臂連桿、以及可樞轉地安裝到共同上臂連桿的端的兩個前臂，兩個前臂中的每一者分別具有兩個端接器連桿，其可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處，以相對於相應的前臂旋轉，兩個端接器連桿中的每一者在其上具有基板保持站；以及驅動關節型多連桿臂以及驅動部分，驅動部分具有在固定位置處被連接到輸送室的至少一個驅動軸線，其中：驅動部分的至少一個驅動軸線至少配置為使關節型多連桿臂相對於固定位置沿著線性路徑延伸和收回，且每一個相應的前臂可獨立地相對於共同上臂連桿樞轉；並且，每一個相應的前臂具有被安裝到相應的前臂的一端的兩個端接器連桿中的一個端接器連桿，其被可操作地耦接到至少一個驅動軸線之共同驅動軸線，其界定兩個端接器連桿(每一個相應的前臂上各有一個)使端接器連桿相對於相應的前臂旋轉之共同的自由度，且在兩個前臂的至少一個前臂的該一端處之兩個端接器連桿中的至少另一個端接器連桿具有獨立於共同的自由度之使另一個端接器連桿繞著此至少一個前臂旋轉的另一個自由度。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為五驅動軸線驅動部分。

根據本發明的一個或多個面向，共同的自由度使分別位在相應的前臂上的兩個端接器連桿相對於相應的前臂一致地旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，兩端接器連桿被可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處的關節處，以相對於相應的前臂旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處之兩端接器連桿中的每一者相對於相應的前臂繞著在關節處的共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，共同上臂連桿為在固定位置和兩前臂中的每一者與共同上臂連桿的各個關節之間的實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括藉由每一個前臂獨立於其他每一個前臂決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括藉由每一個前臂以獨立於其他每一個前臂的方式決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心，以造成沿著側壁之通過超過一個基板輸送開口的基板的快速交換。

根據本發明的一個或多個面向，方法包括：提供輸送室，其配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，側壁具有沿著側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列之超過一個基板輸送開口；提供關節型多連桿臂，具有可樞轉地安裝到驅動部分的至少一個上臂以及共同上臂連桿、以及可樞轉地安裝到共同上臂連桿的端的兩個前臂，兩個前臂中的每一者分別具有兩個端接器連桿，其可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處，以相對於相應的前臂旋轉，兩個端接器連桿中的每一者在其上具有基板保持站；以及驅動關節型多連桿臂以及驅動部分，驅動部分具有在固定位置處被連接到輸送室的至少一個驅動軸線，其中：驅動部分的至少一個驅動軸線至少配置為使關節型多連桿臂相對於固定位置沿著線性路徑延伸和收回；並且，對應於兩個前臂中的第一前臂之兩個端接器連桿中的第一端接器連桿以及對應於兩個前臂中的第二前臂之兩個端接器連桿中的第一端接器連桿被可操作地耦接到至少一個驅動軸線之共同驅動軸線，其界定第一前臂的第一端接器連桿和第二前臂的第一端接器連桿使每一個相應的第一端接器連桿相對於對應的第一前臂和第二前臂旋轉之共同的自由度，且第一前臂的第二端接器連桿具有獨立於共同的自由度之使第二端接器連桿繞著第一前臂旋轉的另一個自由度。

根據本發明的一個或多個面向，每一個相應的前臂可相對於共同的上臂連桿獨立地樞轉。

根據本發明的一個或多個面向，驅動部分為五驅動軸線驅動部分。

根據本發明的一個或多個面向，共同的自由度使分別位在相應的前臂上的兩個端接器連桿相對於相應的前臂一致地旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，兩端接器連桿被可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處的關節處，以相對於相應的前臂旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，可樞轉地安裝在相應的前臂的一端處之兩端接器連桿中的每一者相對於相應的前臂繞著在關節處的共同旋轉軸線旋轉。

根據本發明的一個或多個面向，共同上臂連桿為在固定位置和兩前臂中的每一者與共同上臂連桿的各個關節之間的實質剛性的無關節連桿。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括藉由每一個前臂獨立於其他每一個前臂決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心。

根據本發明的一個或多個面向，方法還包括藉由每一個前臂以獨立於其他每一個前臂的方式決定每一個基板在相應的前臂的兩個端接器的基板保持站處的自動定心，以造成沿著側壁之通過超過一個基板輸送開口的基板的快速交換。

應理解的是，前述描述僅為本發明內容的面向的例示。在不偏離本說明內容的面向的情況下，熟知本領域技術人士可想出各種替代及修改。據此，本發明內容的面向意圖包含落入所附的申請專利範圍請求項的範疇內之所有這樣的替代、修改及變化。此外，僅僅在相互不同的附屬或獨立請求項中記載不同特徵的事實並不表示這些特徵的組合無法被有利地使用，這種組合仍保持在本發明內容的面向的範疇中。

100:基板處理裝置 100E1,100E2:端 100S1,100S2:側 101:大氣前端 102A,102B,102C,102D:真空加載鎖 103:真空後端 105:加載埠模組 106:微型環境 107:加載埠 108:輸送機器人 109:對準器 110:控制器 125,125A:輸送室 125W:輸送室壁 130:基板輸送裝置 131:(關節型多連桿)臂 150:基板站模組 150D:雙基板站模組 150H:處理模組殼體 150S:單獨基板站模組 150T:三基板站模組 170:控制器 188,189,190,191,192,193,194,195,196,197,198,199A,199B,199C:基板處理站 201:上臂(連桿) 201E1:近(縱向)端 201E2:遠(縱向)端 202:前臂(連桿) 202E1,202E2:縱向端 203,203A,204,204A,205:基板保持件 203F,204F:框體 203H1,203H2,204H1,204H2,205H1,205H2:基板保持站 203H1C,204H1C:中心 210,211:偏置安裝突起 220,220A,220B,220C:驅動部分 220F:框體 230,231:第一部分 232,233:第二部分 300,300A,300B,300C:同軸驅動軸組件 301,302,303,304,305,306:(驅動)軸 310:殼體 312:Z軸線驅動(Z驅動軸線) 342,343,344,345,346,348:馬達 342R,343R,344R,345R,346R,348R:轉子 342S,343S,344S,345S,346S,348S:定子 350,351,352,353:軸承 362:套筒 371,372,373,374,375,376:位置感測器 390,391:吊臂驅動軸線 470,472,474,476,480,482,484,486,488,491:滑輪 471,481:立柱 472S,476S,482S,486S,491S:軸 476A:內側軸部分 476B:外側軸部分 490,492,493,494,495:傳動構件 499,499A:平面 635,636:條帶包覆表面 643,644,645,646:條帶錨接點 650,652:周邊緣 660,661:分段式傳動迴路 660A,660B,661A,661B:條帶區段 700:徑向延伸/收回 701:路徑 702:延伸的徑向路徑 777:方向 1062:銷 1080:輻條 1082:固定彈簧夾 1084:基部 1086:螺釘 1088:緊固楔子 1090:斜面 1300,1301,1302:方向 1401,1410,1420,1430,1440,1450:方塊 1500:二連桿吊臂 1501:上連桿 1502:前臂連桿 1600:單連桿吊臂 1601:吊臂連桿 1700,1710,1720,1730:方塊 1900,1900A,1900B,2100A,2100B,2100C,2100D,2200,2300, 2403,2404:基板保持件 1900E1,2100AE1,2100BE1:第一端 1900E2,2100AE2,2100BE2:第二端 1900H1,1900H2,1900H3,1900H4,2100H1,2100H2,2100H3, 2100H4,2200H1,2200H2,2200H3,2300H1,2403H1,2403H2, 2404H1,2404H2:基板保持站 2333A,2333B:基板處理站 2403A:第一部分 2403B:第二部分 2403C:第三部分 2403E1:第一端 2403E2:第二端 2660:腕Z軸驅動 2770:滑輪 2770S:軸 2791:傳動構件 2900,2910,2920,2930,2940,2950,2960,2970:方塊 3001:共同上臂 3001A:第一臂部分 3001B:第二臂部分 3001E1:第一端 3001E2:第二端 3002A,3002B:前臂 3023,3024,3025,3026:基板保持站 3023C:中心 3099:延伸方向 3100A,3100B,3100C,3100D:基板保持件 3110,3130:驅動滑輪 3111,3112,3131,3132:惰輪滑輪 3140,3150,3160:(驅動)滑輪 3141,3151,3161,3163,3181,3183:(從動)滑輪 3145,3155,3164,3165,3170,3171,3184,3185,3190,3191:軸 3146,3156,3166,3167,3168,3169,3186,3187,3188,3189:分段式傳動迴路 3160,3162,3180,3182:惰輪滑輪 3290:延伸/收回方向 3299:感測器 3333:螺栓 3406L1,3406L2,3406L3:條帶介面水平 3420,3421,3422,3423:條帶區段 3470,3471:錨接點 3500,3510,3520,3530:方塊 3600,3610,3620:方塊 3700,3710,3720:方塊 3800,3810,3820,3830,3840,3850,3860,3870:方塊 3900,3910,3920,3930,3940,3950,3960,3970:方塊 4000,4010,4020,4030,4040,4050,4060,4070:方塊 4100,4110,4120,4130,4140,4150,4160,4170:方塊 17020,17021:徑向距離 17700:延伸/收回 A:箭頭 ASV:大氣槽/縫隙閥 B:箭頭 BEX:吊臂肘軸線 BP:基節 BSX:吊臂肩軸線 B1,B2,B11,B12:條帶接合弧 C:基板載具或卡匣 D:節距 EC1,EC2:偏心率 EE1:端 EX,EX1,EX2:肘軸線 EX1,EX2:關節 FP:覆蓋區 H10:高度 L,L1,L2,L3:長度 NP:節距 S,S1,S2,S3,S4:基板 SD,SD9,SD10,SD11,SD12,SD13,SD14,SD15,SD16:(偏置)距離 SV:槽閥 SX:肩軸線 TT1,TT2,TT11,TT12:切點 VSV:真空槽/縫隙閥 WX,WX1,WX2:腕軸線 WRP:晶圓/基板支承面 θ1,θ2,θ11,θ12:旋轉夾角 α,α1,α2:夾角

本揭露內容的前述面向及其他特徵在下面的描述中結合所附圖式進行說明，其中：

[圖1A]為包含本揭露內容的面向之例示性基板處理裝置的示意圖；

[圖1B及1C]為根據本揭露內容的面向之圖1A的基板處理裝置的部分之示意圖；

[圖2A、2B、2C及2D]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖3]為根據本揭露內容的面向之基板輸送裝置的例示性驅動部分的示意截面圖；

[圖3A]為根據本揭露內容的面向之基板輸送裝置的例示性驅動部分的示意截面圖；

[圖3B]為根據本揭露內容的面向之基板輸送裝置的例示性驅動部分的示意截面圖；

[圖3C]為根據本揭露內容的面向之基板輸送裝置的例示性驅動部分的示意截面圖；

[圖4]為根據本揭露內容的面向之圖2A、2B、2C及2D的基板輸送裝置的部分之示意截面圖；

[圖5A及5B]為根據本揭露內容的面向之圖2A、2B、2C及2D的基板輸送裝置的部分之示意透視圖；

[圖5C、5D、5E及5F]為根據本揭露內容的面向之圖2A、2B、2C及2D的基板輸送裝置的部分之示意圖；

[圖6A及6B]為根據本揭露內容的面向之圖2A、2B、2C及2D的基板輸送裝置的部分之示意圖；

[圖7A至7L]為根據本揭露內容的面向之包含圖2A、2B、2C及2D的基板輸送裝置之例示性基板處理裝置的示意圖；

[圖8]為根據本揭露內容的面向之包含基板輸送裝置的基板處理裝置的示意圖；

[圖9]為包含本揭露內容的特徵之基板輸送裝置的示意圖；

[圖10]為用於如本文所描述且包含本揭露內容的特徵之輸送裝置的例示性基板保持件的示意側視圖；

[圖11]為用於如本文所描述且包含本揭露內容的特徵之輸送裝置的例示性基板保持件的示意側視圖；

[圖12]為根據本揭露內容的面向之包含基板輸送裝置的基板處理裝置的示意圖；

[圖13]為包含本揭露內容的特徵之基板輸送裝置的示意圖；

[圖14]為根據本揭露內容的面向之例示性方法的流程圖；

[圖15]為根據本揭露內容的面向之包含基板輸送裝置的基板處理裝置的示意圖；

[圖16]為根據本揭露內容的面向之包含基板輸送裝置的基板處理裝置的示意圖；

[圖17]為根據本揭露內容的面向之例示性方法的流程圖；

[圖18A至18C]為根據本揭露內容的面向之多軸線自動晶圓定心(multi-axis automatic wafer centering)的例示性示意圖；

[圖19]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖20]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖21]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖22]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖23]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖23A]為根據本揭露內容的面向之包含圖23的基板輸送裝置之例示性基板處理裝置的示意圖；

[圖24]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖25]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖26A、26B、26C及26D]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖27A、27B及27C]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖28]為根據本揭露內容的面向之圖1的基板處理裝置的基板輸送裝置的示意圖；

[圖29]為根據本揭露內容的面向之例示性方法的流程圖；

[圖30A及30B]為根據本揭露內容的面向之基板輸送裝置的部分的示意圖；

[圖31]為根據本揭露內容的面向之圖30A及30B的基板輸送裝置的部分的示意截面圖；

[圖32A至32F]為根據本揭露內容的面向之包含圖30A及30B的基板輸送裝置的部分的基板處理裝置的示意圖；

[圖33A至33C]為圖30A及30B的基板輸送裝置的部分(為了清楚起見忽略前臂和基板保持件)的例示性平面圖，並顯示根據本揭露內容的面向之輸送裝置的覆蓋區(footprint)；

[圖34A]為根據本揭露內容的面向之圖31中的例示性驅動傳動裝置(drive transmission)的部分之示意側視圖；

[圖34B]為根據本揭露內容的面向之圖34A的例示性驅動傳動裝置的部分之示意平面圖；

[圖35]為根據本揭露內容的面向之例示性方法的流程圖；

[圖36]為根據本揭露內容的面向之例示性方法的流程圖；

[圖37]為根據本揭露內容的面向之例示性方法的流程圖；以及

[圖38A、38B、39A、39B、40A、40B、41A及41B]為根據本揭露內容的面向之基板保持件移動的例示性流程圖。

100:基板處理裝置

100E1,100E2:端

100S1,100S2:側

101:大氣前端

102A,102B:真空加載鎖

103:真空後端

105:加載埠模組

106:微型環境

107:加載埠

108:輸送機器人

109:對準器

110:控制器

125:輸送室

125W:輸送室壁

130:基板輸送裝置

131:(關節型多連桿)臂

150:基板站模組

150D:雙基板站模組

150H:處理模組殼體

190,191,192,193,194,195,196,197:基板處理站

ASV:大氣槽/縫隙閥

C:基板載具或卡匣

D:節距

SV:槽閥

SX:肩軸線

VSV:真空槽/縫隙閥

Claims (36)

1. 一種基板輸送裝置，包括： 框體； 驅動部分，被連接到該框體； 至少一個關節型多連桿臂，具有上臂及前臂，該上臂在一端處被可旋轉地接合到該驅動部分，該前臂在該上臂之相對端處被可旋轉地接合到該上臂，且該上臂在該一端和該相對端之間為實質剛性的無關節連桿； 雙端接器連桿，其為彼此獨立且不同的，該雙端接器連桿中的每一個端接器連桿可旋轉且獨立地接合到該前臂的共同端，使得每一個端接器連桿相對於該前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其的對應的至少一個基板保持站； 其中，依附於該雙端接器連桿的至少一個端接器連桿的該對應的至少一個基板保持站包括在該至少一個端接器連桿的相對端處的一個基板保持站，其在該相對端之間為實質剛性且無關節的，且其中，在該相對端中的一端處的該基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿的該對應的至少一個基板保持站為實質共面的。
2. 如請求項1之基板輸送裝置，其中，該雙端接器連桿被設置為使得該多連桿臂的徑向延伸和收回通過輸送室壁中的各個獨立開口實質上同時地造成每一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站的延伸和收回，該各個獨立開口在實質共同的水平處相對於彼此並列。
3. 如請求項1之基板輸送裝置，其中，在該至少一個端接器連桿的相對端處的該基板保持站為彼此實質上共面的。
4. 如請求項1之基板輸送裝置，其中，在該至少一個端接器連桿的相對端處的該基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站為實質上共面的。
5. 如請求項1之基板輸送裝置，其中，每一個獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站包括在該至少一個端接器連桿的相對端處的一個基板保持站，且該獨立且不同的端接器連桿中的每一者在相對端之間為實質剛性且無關節的。
6. 如請求項1之基板輸送裝置，其中，該驅動部分為多軸線驅動部分，其界定出至少一個端接器連桿相對於另一者之獨立自由度。
7. 如請求項6之基板輸送裝置，其中，每一個端接器連桿之該獨立自由度使得在該雙端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站處能夠進行獨立自動晶圓定心。
8. 如請求項1之基板輸送裝置，其中，該驅動部分為多軸線驅動部分，其配置為在與該雙端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站之通過輸送室壁中的各個獨立開口的實質同時延伸實質上一致的情況下，在該雙端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。
9. 如請求項8之基板輸送裝置，還包括控制器，該控制器可操作地耦接到該驅動部分，且配置來延伸該多連桿臂，用於通過該輸送室壁中的該各個獨立開口藉由該雙端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。
10. 如請求項9之基板輸送裝置，其中，該控制器配置為通過該各個獨立開口，以至少一個第二基板實質同時地快速交換該雙第一基板，該至少一個第二基板被保持在該雙端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上，且該雙第一基板被同時地保持在該雙端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上。
11. 一種基板處理裝置，包括： 輸送室，配置為在其中保持隔離大氣，且具有側壁，該側壁具有超過一個基板輸送開口，該等基板輸送開口沿著該側壁在共同的水平上相對於彼此獨立且並列； 至少一個關節型多連桿臂，具有在固定位置處被連接到該輸送室的驅動部分，且具有上臂及位在該輸送室中的前臂，該上臂在一端處被可旋轉地接合到該驅動部分，該前臂在該上臂的相對端處被可旋轉地接合到該上臂，且該上臂在該一端與該相對端之間為實質剛性且無關節的連桿；以及 其中，該多連桿臂具有超過一個獨立且不同的端接器連桿，該等端接器連桿中的每一者在該前臂的共同端處被可旋轉且獨立地接合到關節，使得每一個端接器連桿在該關節處相對於該前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其之對應的至少一個基板保持站，並延伸自該關節，使得該超過一個端接器連桿沿著共同平面相對於彼此並列， 其中，該驅動部分配置為至少沿著徑向軸線使該多連桿臂延伸和收回，該延伸和收回分別通過沿著該側壁並列的該等獨立開口造成每一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站的實質同時延伸和收回，且該驅動部分配置為使該對應的基板保持站中的至少一者相對於該超過一個端接器連桿的另一者獨立地對準。
12. 如請求項11之基板輸送裝置，其中，該驅動部分配置為使該等端接器連桿中的每一者之該對應的至少一個基板保持站相對於該等端接器連桿中的另一者之該對應的基板保持站獨立地對準。
13. 如請求項11之基板輸送裝置，其中，依附於該等端接器連桿中的至少一者之該對應的至少一個基板保持站包括在該等端接器連桿中的該至少一者的相對端處的一個基板保持站，該等端接器連桿中的該至少一者在該相對端之間為實質剛性且無關節的。
14. 如請求項13之基板輸送裝置，其中，在該相對端的一者處之該對應的至少一個基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站為實質共面的。
15. 如請求項13之基板輸送裝置，其中，在該等端接器連桿的該至少一者的相對端處之該對應的至少一個基板保持站彼此實質地共面。
16. 如請求項11之基板輸送裝置，其中，該驅動部分為多軸線驅動部分，其界定出至少一個端接器連桿相對於另一者之獨立自由度。
17. 如請求項16之基板輸送裝置，其中，每一個端接器連桿之該獨立自由度使得在該超過一個獨立且不同的端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站處能夠進行獨立自動晶圓定心。
18. 如請求項11之基板輸送裝置，其中，該驅動部分為多軸線驅動部分，其配置為在與該超過一個獨立且不同的端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站之通過該輸送室的該側壁中的各個基板輸送開口的實質同時延伸實質上一致的情況下，在該超過一個獨立且不同的端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。
19. 如請求項11之基板輸送裝置，還包括控制器，該控制器可操作地耦接到該驅動部分，且配置來延伸該多連桿臂，用於通過該輸送室的該側壁中的該各個基板輸送開口藉由該超過一個獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。
20. 如請求項19之基板輸送裝置，其中，該控制器配置為通過該各個基板輸送開口，以至少一個第二基板實質同時地快速交換該雙第一基板，該至少一個第二基板被保持在該超過一個獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上，且該雙第一基板被同時地保持在該超過一個獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上。
21. 一種基板輸送裝置，包括： 框體； 驅動部分，被連接到該框體； 至少一個二連桿SCARA臂，具有在該SCARA臂的肘關節處彼此接合的第一臂連桿及第二臂連桿，該第一臂連桿在肩關節處被接合到該驅動部分；以及 超過一個端接器連桿，其為彼此獨立且不同的，該等端接器連桿中的每一者在共同腕關節處被可旋轉且獨立地接合到該第二臂連桿，使得每一個端接器連桿相對於該第二臂連桿在該共同腕關節處繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其之對應的至少一個基板保持站， 其中，在共同平面上，依附於該超過一個端接器連桿中的每一者之該對應的至少一個基板保持站被設置為與依附於該超過一個端接器連桿中的每一個其他端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站實質共面的，該共同平面藉由該超過一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站中的至少三個來確定。
22. 如請求項21之基板輸送裝置，其中，該對應的至少一個基板保持站中的該至少三個中的兩個基板保持站對應到該超過一個端接器連桿中的共同端接器連桿。
23. 如請求項22之基板輸送裝置，其中，該兩個基板保持站在該共同端接器連桿的相對端處各佈置一個。
24. 如請求項22之基板輸送裝置，其中，在該共同端接器連桿的相對端處的該兩個基板保持站為彼此實質共面的。
25. 如請求項22之基板輸送裝置，其中，在該共同端接器連桿的相對端處的該兩個基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站為實質共面的。
26. 如請求項22之基板輸送裝置，其中，該共同端接器連桿在該相對端之間為實質剛性且無關節的。
27. 如請求項21之基板輸送裝置，其中，該超過一個端接器連桿被設置為使得該SCARA臂的徑向延伸和收回通過輸送室壁中的各個獨立開口造成每一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站的實質同時延伸和收回，該等獨立開口在實質共同的水平處相對於彼此並列。
28. 如請求項21之基板輸送裝置，其中，該驅動部分為多軸線驅動部分，其界定出至少一個端接器連桿相對於該超過一個端接器連桿中的其他端接器連桿的獨立自由度。
29. 如請求項28之基板輸送裝置，其中，每一個端接器連桿的該獨立自由度使得在該超過一個端接器連桿中的每一者之該對應的至少一個基板保持站處能夠進行獨立自動晶圓定心。
30. 如請求項21之基板輸送裝置，其中，該驅動部分為多軸線驅動部分，其配置為在與該超過一個端接器連桿中的每一者之該對應的至少一個基板保持站之通過輸送室壁中的各個獨立開口的實質同時延伸實質上一致的情況下，在該超過一個端接器連桿中的每一者之該對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。
31. 如請求項30之基板輸送裝置，還包括控制器，該控制器可操作地耦接到該驅動部分，且配置來延伸該SCARA臂，用於通過該輸送室壁中的該各個獨立開口藉由該超過一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。
32. 如請求項31之基板輸送裝置，其中，該控制器配置為通過該各個獨立開口，以至少一個第二基板實質同時地快速交換該雙第一基板，該至少一個第二基板被保持在該超過一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上，且該雙第一基板被同時地保持在該超過一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上。
33. 一種用於輸送基板的方法，該方法包括： 提供基板輸送裝置，其包括： 框體； 驅動部分，被連接到該框體； 至少一個關節型多連桿臂，具有上臂及前臂，該上臂在一端處被可旋轉地接合到該驅動部分，該前臂在該上臂的相對端處被可旋轉地接合到該上臂，且該上臂在該端與該相對端之間為實質剛性的無關節連桿； 雙端接器連桿，其為彼此獨立且不同的，該雙端接器連桿中的每一者被可旋轉且獨立地接合到該前臂的共同端，使得每一個端接器連桿相對於該前臂繞著共同旋轉軸線旋轉，每一個端接器連桿具有依附於其之對應的至少一個基板保持站； 其中，依附於該雙端接器連桿中的至少一個端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站包括在該至少一個端接器連桿的相對端處的一個基板保持站，該至少一個端接器連桿在該相對端之間為實質剛性且無關節的，且其中，在該相對端中的一端處的該基板保持站與每一個其他獨立且不同的端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站為實質共面的；以及 延伸該至少一個關節型多連桿臂，使得該雙端接器連桿延伸通過輸送室的側壁，該側壁具有超過一個基板輸送開口，該超過一個基板輸送開口相對於彼此在共同的水平上沿著該側壁獨立且並列。
34. 如請求項33之方法，其中，該驅動部分為多軸線驅動部分，該方法還包括在與該雙端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站通過該輸送室壁中的各個獨立開口的實質同時延伸實質一致的情況下，藉由該驅動部分在該雙端接器連桿的每一者之該對應的至少一個基板保持站處造成獨立自動晶圓定心。
35. 如請求項33之方法，還包括： 提供可操作地耦接到該驅動部分的控制器；以及 造成該至少一個關節型多連桿臂的延伸，用於通過該輸送室壁中的該各個獨立開口藉由該雙端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站實質同時地拾取或放置雙第一基板。
36. 如請求項35之方法，還包括藉由該控制器通過該各個獨立開口，造成以至少一個第二基板實質同時地快速交換該雙第一基板，該至少一個第二基板被保持在該雙端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上，且該雙第一基板被同時地保持在該雙端接器連桿之該對應的至少一個基板保持站上。

Images