JP2023522536A - 基板処理装置 - Google Patents

基板処理装置 Download PDF

Info

Publication number
JP2023522536A
JP2023522536A JP2022547831A JP2022547831A JP2023522536A JP 2023522536 A JP2023522536 A JP 2023522536A JP 2022547831 A JP2022547831 A JP 2022547831A JP 2022547831 A JP2022547831 A JP 2022547831A JP 2023522536 A JP2023522536 A JP 2023522536A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
link
pulley
arm
modules
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022547831A
Other languages
English (en)
Inventor
ビュシエール、クリストファー
エム ブルボー、ケビン
ジョセフ クロード オードブランド、エミリアン
エム ハリシー、ジョセフ
Original Assignee
ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー filed Critical ブルックス オートメーション ユーエス、エルエルシー
Publication of JP2023522536A publication Critical patent/JP2023522536A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/104—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
    • B25J9/1682—Dual arm manipulator; Coordination of several manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/904—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with rotary movements only
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67196—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67745—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber characterized by movements or sequence of movements of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022—Flat
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067—Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

支持フレームと、支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を備える基板搬送装置。可動アームリンクは、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングと、モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、そこを通って伸長するプーリシステムとを有する再構成可能なアームリンクであり、堅固に連結されたリンクケースモジュールは、可動アームリンクの長さを決定する所定の特性を有する少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、再構成可能なアームリンクを形成するリンクケースエンドモジュールへの接続のために、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールが選択可能である。

Description

［関連出願への相互参照］
本出願は、２０２０年２月５日に出願された米国仮特許出願番号６２／９７０，５６５の非仮出願であり、その利益を主張し、その開示全体は引用により本明細書に組み込まれる。
［技術分野］
例示的な実施形態は、概して、基板処理ツールに関し、より具体的には、基板搬送装置に関する。
半導体製造施設は、共通の真空搬送システムに連結されたツインプロセスモジュールを含む基板処理システムを利用し得る。いくつかの従来のシステムでは、半導体基板（基板またはウエハとも呼ばれる）は、概して、ツインプロセスモジュールの並んだ基板保持ステーションに到達することができる並んだ伸縮式アームを含む搬送装置によってツインプロセスモジュールに送達される。他の従来のシステムでは、ロングリーチ「ヨー」型の移送装置（たとえば、非半径方向に整列させられた基板ホルダの伸長を可能にするアームリンクから構成されるアームを有する）が、ツインプロセスモジュールの基板保持ステーションの各々に基板を一度に１つずつ移送するために使用される。
概して、基板を基板保持ステーションへ、基板保持ステーションから移送する、上述のヨー型移送装置および他の関節式リンクの基板移送装置（水平多関節ロボット（スカラ（SCARA））型の搬送装置など）は、ヨー型の移送装置のアームリンクの少なくとも一部への運動を伝えるように金属バンドおよびプーリトランスミッションを利用する。金属バンドおよびプーリトランスミッションのサイズ制約によって、たとえばアームリンクの高さおよび／または全体のサイズが少なくとも部分的に決定される。またアームリンクの長さが長いと、バンドとプーリの位置合わせに影響を与え得る重力負荷によってアームが撓み得る。
上述の移送装置は、概して、アームリンク間の回転関節でベアリングクランプを用いてシャフトに保持された組合せベアリングペアを利用している。組合せベアリングは、シャフトに取り付けるように構成された２つのベアリングのセットであり、予圧をかけると共にインナーリングとアウターリングを一緒にクランプして、軸方向および半径方向の剛性がより高められる。金属バンドの場合と同様に、組合せベアリングペアのサイズの制約によって、アームリンクの高さおよび／または全体のサイズが少なくとも部分的に決定される。理解され得るように、基板搬送アームのサイズによって、搬送アームが動作する搬送チャンバのサイズが少なくとも部分的に決定され、ここで、搬送チャンバのサイズは半導体スループットに影響を与え得る。組合せベアリングは、概して、組合せベアリングを加熱し、その後、組合せベアリングを冷却してシャフト上で収縮させて、組合せベアリングとシャフトとの間に焼き嵌めを生成することによって設置される。高温環境での組合せベアリングの動作は、組合せベアリングとシャフトの間の焼き嵌めの剛性に影響を与え得る。
本開示の前述の態様および他の特徴は、添付の図面に関連して得られる以下の記載において説明される。
本開示の態様を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図１Ａの基板処理装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図１Ａの基板処理装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の例示的な駆動セクションの概略断面図である。 本開示の態様による基板搬送装置の例示的な駆動セクションの概略断面図である。 本開示の態様による基板搬送装置の例示的な駆動セクションの概略断面図である。 本開示の態様による基板搬送装置の例示的な駆動セクションの概略断面図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略断面図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略側面図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略正面図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置のモジュール式アームリンクの概略斜視図である。 本開示の態様による図５Ｃのモジュール式アームリンクの別の概略斜視図である。 本開示の態様による図５Ｃのモジュール式アームリンクの一部の概略端面図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略斜視図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の一部の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の例示的なケーブルまたはワイヤおよびプーリトランスミッションの概略側面図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置の例示的なケーブルまたはワイヤおよびプーリトランスミッションの概略平面図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置のインラインケーブルまたはワイヤテンショナの概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置のインラインケーブルまたはワイヤテンショナの概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置のクロスローラプーリの概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置のクロスローラベアリングの概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図２Ａ、２Ｂ、２Ｃ、および２Ｄの基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置を組み込んだ基板処理装置の概略図である。 本開示の特徴を組み込んだ基板搬送装置の概略図である。 本明細書に記載される、および本開示の特徴が組み込まれた搬送装置用の例示的な基板ホルダの概略側面図である。 本明細書に記載される、および本開示の特徴が組み込まれた搬送装置用の例示的な基板ホルダの概略側面図である。 本開示の態様による基板搬送装置を組み込んだ基板処理装置の概略図である。 本開示の特徴を組み込んだ基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による例示的な方法のフロー図である。 本開示の態様による基板搬送装置を組み込んだ基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置を組み込んだ基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による例示的な方法のフロー図である。 本開示の態様による多軸自動ウエハセンタリングの例示的な概略図である。 本開示の態様による多軸自動ウエハセンタリングの例示的な概略図である。 本開示の態様による多軸自動ウエハセンタリングの例示的な概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図２３の基板搬送装置を組み込んだ例示的な基板処理装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による図１の基板処理装置の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による例示的な方法のフロー図である。 本開示の態様による例示的な方法のフロー図である。 本開示の態様による例示的な方法のフロー図である。 本開示の態様による図１９の基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による基板搬送装置の概略図である。 本開示の態様による形成された通りの端部連結部（as formed end coupling）と完成された端部連結部（finished end coupling）との概略比較図である。 本開示の態様による別の形成された通りの端部連結部と完成された端部連結部との概略比較図である。 本開示の態様による形成された通りの中央アームセクションと完成された中央アームセクションとの概略比較図である。 本開示の態様による伸縮式中央アームセクションの概略斜視図である。 本開示の態様によるセグメント化されたアームセクションの概略図である。 本開示の態様による端部連結部と中央アームセクションとの間の連結の概略断面図である。 本開示の態様による端部連結部と中央アームセクションとの間の連結の概略断面図である。 本開示の態様による端部連結部と中央アームセクションとの間の連結の概略断面図である。 本開示の態様による基板搬送装置の一部の概略図および中央アームセクションのそれぞれの断面である。 本開示の態様による基板搬送装置の中央アームセクションの概略断面図である。 本開示の態様による基板搬送装置の中央アームセクションの概略断面図である。 本開示の態様による基板搬送装置の中央アームセクションの概略断面図である。 本開示の態様による基板搬送装置の一部の概略斜視図である。 本開示の態様による基板搬送装置の一部の概略斜視図である。 本開示の態様による基板搬送装置の一部の概略斜視図である。 本開示の態様による基板搬送アームリンクのコンポーネントの熱膨張の概略図である。
図１Ａは、本開示の態様による例示的な基板処理装置１００を例示している。本開示の態様が、図面を参照して説明されるが、多くの形態で具体化され得ることを理解されたい。さらに、任意の適切なサイズ、形状、またはタイプの要素または材料が使用され得る。
本開示の態様は、基板搬送装置１３０を含む基板処理装置１００を提供する。基板搬送装置１３０は、互いに回転可能に接合された少なくとも２つのアームリンクおよびエンドエフェクタ（本明細書では基板ホルダとも呼ばれる）を有し、一態様では固定位置にショルダ関節／軸ＳＸを有する、アーム１３１を含む。基板搬送装置１３０は、基板Ｓの高速スワッピングを提供しながら、並んだ基板処理（または他の保持）ステーション１９０－１９１、１９２－１９３、１９４－１９５、１９６－１９７に略同時に基板をピッキング（および／または配置）するように構成されている。基板搬送装置１３０の構成によって、基板搬送装置１３０による基板移送と一致した各基板のための独立した自動ウエハセンタリングを用いて、（本明細書で記載されるような）搬送チャンバ１２５、１２５Ａの各側面上の各々の並んだ基板処理ステーションに略同時に基板をピッキングすることが可能になる。図７Ｅ～７Ｊを簡単に参照すると、基板Ｓの高速スワッピングが、基板搬送装置１３０を用いた並んだ基板処理ステーションの１つのセットまたはペア（たとえば、基板処理ステーション１９０～１９１など）からの略同時の基板Ｓ（Ｓ１、Ｓ２）の取り外し、および基板搬送装置１３０を用いた同じ並んだ基板処理ステーション（すなわち、基板処理ステーション１８８～１８９）への略同時の他の異なる基板Ｓ（Ｓ３、Ｓ４）の配置であり、ここで、取り外しおよび配置が、取り外された基板Ｓ（Ｓ１、Ｓ２）の配置に介入することなく（すなわち、取り外された基板Ｓ（Ｓ１、Ｓ２）が基板搬送装置によって保持された状態で）迅速に連続して行われることが留意される。他の態様では、基板の高速スワッピングは、（１つまたは複数の）基板のピッキングと配置との間のＺ軸運動を実質的に介入させることなく行われる。換言すれば、基板を基板保持ステーションに上げる（ピッキングする）または下げる（配置する）以外に、基板搬送装置１３０の介入するＺ軸運動は実質的に存在しない。たとえば、基板ホルダ平面の各平面４９９、４９９Ａ（図２Ｄ、１０、および１１を参照）（本明細書に記載されるようなもの、およびデュアル側部基板ホルダの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が、１つまたは複数の平面を形成するかどうか）は、本明細書でさらに説明されるように、搬送開口平面の所与のＺ位置での移送のための共通の移送チャンバ内の搬送開口部の少なくとも１つの平面（図１Ｂおよび１Ｃを参照）に対応し、それに対して整列させられる。
本開示の態様はまた、従来のバンドおよびプーリトランスミッションと比較して少なくとも移送アームリンクの高さを減少させる、ケーブルまたはワイヤおよびプーリを利用する搬送アームトランスミッションシステムを提供する。記載されるケーブルまたはワイヤおよびプーリトランスミッション（本明細書では説明を簡単にするためにケーブルおよびプーリトランスミッションと呼ばれる）はまた、従来のバンドおよびプーリトランスミッションと比較して、ケーブルとそれぞれのプーリとの間の位置合わせの問題を実質的に排除または低減し得、重力によるアームリンクの撓みによる影響を受けずに動作し得る。ケーブルとそれぞれのプーリとの間の位置合わせの問題を実質的に排除または低減することによって、アームリンクの長さがより長くされ得、基板搬送アームのより長いリーチがもたらされる。
本開示の態様は、（たとえば、組合せベアリングの従来の利用と比較して）搬送アームの回転関節でクロスローラベアリングを含めることにより、より堅固でコンパクトな搬送アームを提供し得る。いくつかの態様では、クロスローラベアリングは、搬送アームトランスミッションシステムのプーリを形成して、搬送アームリンクの高さをさらに減少させ、搬送アームの部品数を減少させ得る。本開示の態様によれば、クロスローラベアリングは、基板搬送アームの動作環境の高い動作温度および／または動作温度の変動による影響を実質的に受けない方法で、それぞれのシャフトに連結され得る。
また図２を参照すると、本開示の態様によれば、アーム１３１は少なくとも２つの基板ホルダ（エンドエフェクタまたはエンドエフェクタリンクとも呼ばれる）２０３、２０４を含む。アーム１３１は、少なくとも２つの基板ホルダを有するものとして記載されているが、他の態様では、アームは、２つ未満（たとえば、１つまたは少なくとも１つ）の基板ホルダまたは２つを超える基板ホルダを有してもよい。一態様では、基板ホルダ２０３、２０４は、デュアルエンドまたはデュアルパン基板ホルダであり、ここで、各基板ホルダは、各端部に少なくとも１つの基板保持ステーションまたはパンを有する２つの長手方向に分離された端部を有しているが、他の態様では、基板ホルダは、本明細書に記載される構成などの、任意の適切な構成を有し得る。少なくとも２つの基板ホルダ２０３、２０４は、自動ウエハセンタリングおよび並んだ基板処理ステーション１９０－１９１、１９２－１９３、１９４－１９５、１９６－１９７間の変動ピッチの適応の１つまたは複数をもたらすように、基板搬送装置１３０のリスト軸ＷＸを中心に互いに独立してかつ互いに対して回転する。
再び図１Ａを参照すると、たとえば半導体ツールステーションなどの、基板処理装置１００が、本開示の一態様に従って示されている。半導体ツールステーションが図面に示されているが、本明細書に記載される本開示の態様は、任意のツールステーションまたはロボットマニピュレータを利用するアプリケーションに適用することができる。一態様では、基板処理装置１００は、クラスター化された配置を有する（たとえば、中央または共通のチャンバに接続された基板処理ステーション１９０～１９７を有する）ものとして示されているが、他の態様では、基板処理装置は、線形に配置されたツールでもよい。しかし、本開示は、任意の適切なツールステーションに適用され得る。基板処理装置１００は、概して、大気フロントエンド１０１（本明細書では大気セクションとも呼ばれる）、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、および真空バックエンド１０３を含む。２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂは、任意の適切な配置で、フロントエンド１０１および／またはバックエンド１０３の（１つまたは複数の）任意の適切なポートまたは開口部に連結され得る。たとえば、一態様では、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ（および搬送チャンバ壁１２５Ｗにおけるそれぞれの開口部）は、図１Ｂで見ることができるように、並んだ配置で共通の水平面に配置され得る。他の態様では、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１２０Ｂは、図１Ｃに示されるように、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄ（および搬送チャンバ壁１２５Ｗにおけるそれぞれの開口部）が、行（たとえば離間した水平面を有する）および列（たとえば離間した垂直面を有する）に配置されるように、格子状に配置され得る。
２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂが搬送チャンバ１２５の端部１００Ｅ１に例示されているが、他の態様では、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂは、搬送チャンバ１２５の任意の数の側部１００Ｓ１、１００Ｓ２および／または端部１００Ｅ１、１００Ｅ２に配置されてもよいことが理解されるべきである。２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄの各々はまた、１つまたは複数のウエハ／基板静止面ＷＲＰ（図１Ｂおよび図１Ｃ）を含み得、そこで、基板はそれぞれの真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄ内の適切な支持体上に保持される。他の態様では、基板処理装置１００は任意の適切な構成を有し得る。
フロントエンド１０１、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、および真空バックエンド１０３の各々のコンポーネントは、たとえば、クラスター化アーキテクチャ制御部などの任意の適切な制御アーキテクチャの一部であり得るコントローラ１１０に接続され得る。制御システムは、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１１年３月８日に発行された「Ｓｃａｌａｂｌｅ Ｍｏｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｓｙｓｔｅｍ」と題される米国特許第７，９０４，１８２号明細書に開示されるものなどの、マスタコントローラ、クラスタコントローラ、および自律リモートコントローラを有する閉ループコントローラであり得る。他の態様では、任意の適切なコントローラおよび／または制御システムが利用されてもよい。
一態様では、フロントエンド１０１は、概して、ロードポートモジュール１０５と、たとえば、機器フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）などのミニエンバイロメント１０６とを含む。ロードポートモジュール１０５は、３００ｍｍのロードポート、前面開口部または底面開口のボックス／ポッドおよびカセットのためのＳＥＭＩ規格Ｅ１５．１、Ｅ４７．１、Ｅ６２、Ｅ１９．５またはＥ１．９に準拠するボックスオープナ／ローダーとツール間のスタンダード（ＢＯＬＴＳ）インターフェースであり得る。他の態様では、ロードポートモジュールは、２００ｍｍのウエハ／基板のインターフェース、４５０ｍｍのウエハ／基板のインターフェース、またはたとえば、より大きいもしくはより小さい半導体ウエハ／基板、フラットパネルディスプレイ用のフラットパネル、ソーラパネル、レチクルまたは任意の他の適切なオブジェクトなどの、任意の他の適切な基板インターフェースとして構成されてもよい。図１Ａには２つのロードポートモジュール１０５が示されているが、他の態様では、任意の適切な数のロードポートモジュールが、フロントエンド１０１に組み込まれてもよい。ロードポートモジュール１０５は、オーバーヘッド搬送システム、無人搬送車、有人搬送車、有軌道式無人搬送車から、または任意の他の適切な搬送方法から、基板キャリアまたはカセットＣを受けるように構成され得る。ロードポートモジュール１０５は、ロードポート１０７を介してミニエンバイロメント１０６とインターフェース接続し得る。ロードポート１０７によって、基板カセットＣとミニエンバイロメント１０６との間の基板Ｓの通過が可能になり得る。ミニエンバイロメント１０６は、概して、本明細書に記載される本開示の１つまたは複数の態様を組み込み得る任意の適切な移送ロボット１０８を含む。一態様では、ロボット１０８は、たとえば、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、１９９９年１２月１４日に発行された米国特許第６，００２，８４０号明細書、２０１３年４月１６日に発行された米国特許第８，４１９，３４１号明細書、および２０１０年１月１９日に発行された米国特許第７，６４８，３２７号明細書に記載されるものなどの、トラック搭載ロボットであり得る。他の態様では、ロボット１０８は、真空バックエンド１０３に関して本明細書に記載されるものに略類似し得る。ミニエンバイロメント１０６は、複数のロードポートモジュール間の基板移送のための制御された清浄な区域を提供し得る。
２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ（および１０２Ｃ、１２０Ｄ）は、ミニエンバイロメント１０６とバックエンド１０３との間に配置され、それらに接続され得る。他の態様では、ロードポート１０５は、少なくとも１つのロードロック１０２Ａ、１０２Ｂまたは搬送チャンバ１２５に実質的に直接連結され得、ここで、基板キャリアＣは、搬送チャンバ１２５の真空まで真空引きされ（pumped down）、基板Ｓは、基板キャリアＣとそれぞれのロードロック１０２Ａ、１０２Ｂまたは移送チャンバ１２５との間で直接移送される。本態様では、基板キャリアＣは、搬送チャンバの処理真空が基板キャリアＣ内に伸長するようにロードロックとして機能し得る。理解され得るように、基板キャリアＣが、適切なロードポートを介して真空ロードロック１０２Ａ、１２０Ｂに実質的に直接連結される場合、任意の適切な移送装置が、ロードロック内に提供され得るか、またはそうでなければ基板Ｓを基板キャリアＣへと、およびそこから移送するための基板キャリアＣへのアクセスを有する。なお、本明細書で使用されるような真空という用語が、基板Ｓが処理される１０-5Ｔｏｒｒ以下などの高真空を意味し得る。２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂは、概して、大気スロット／スリットバルブＡＳＶおよび真空スロット／スリットバルブＶＳＶ（本明細書ではまとめてスロットバルブＳＶと呼ばれる）を含む。ロードロック１０２Ａ、１０２ＢのスロットバルブＳＶ（基板ステーションモジュール１５０に対するものも）は、大気フロントエンド１０１から基板Ｓを積載した後にロードロック１０２Ａ、１０２Ｂを排気するために、および窒素などの不活性ガスを用いてロードロック１０２Ａ、１０２Ｂを通気するときに搬送チャンバ１２５内を真空に維持するために利用される環境分離を提供し得る。処理装置１００のスロットバルブＳＶは、少なくとも基板ステーションモジュール１５０（本明細書では処理ステーションとも呼ばれる）と搬送チャンバ１２５に連結されたロードロック１０２Ａ、１０２Ｂとへの、およびそれらからの基板の移送に適応するために、（真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１２０Ｃ、１２０Ｄに関して上記されるような）同じ平面または異なる垂直に積み重ねられた平面に配置され得る。２つまたは３つ以上のロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ（および／またはフロントエンド１０１）はまた、基板Ｓの基準を処理のための所望の位置に整列させるためのアライナ１０９、または任意の他の適切な基板計測機器を含み得る。他の態様では、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１２０Ｂは、処理装置の任意の適切な場所に配置され、任意の適切な構成を有してもよい。
真空バックエンド１０３は、概して、搬送チャンバ１２５、１つまたは複数の基板ステーションモジュール１５０、および本明細書に記載される本開示の１つまたは複数の態様を含み得る任意の適切な数の基板搬送装置１３０を含む。基板搬送チャンバ１２５は、その中に隔離された雰囲気を保持するように構成され、側壁１２５Ｗを有し、側壁１２５Ｗは複数の基板搬送開口部（スロットバルブＳＶ、または側壁１２５Ｗにおける図１Ｂおよび図１Ｃに示されるものなどの、スロットバルブＳＶに対応する開口部であって、側壁１２５Ｗにスロットバルブが連結されて開口部を密閉する、開口部など）を備え、複数の基板搬送開口部は、共通のレベルで（図１Ｂ）または他の態様では行および列で（図１Ｃ）側壁１２５Ｗに沿って互いに別個に並置されている。搬送チャンバ１２５は、たとえば、ＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠する任意の適切な形状およびサイズを有し得る。基板搬送装置１３０は、以下で説明され、２つまたは３つ以上の真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ（またはロードポートに配置されたカセットＣ）とさまざまな基板ステーションモジュール１５０との間で基板を搬送するために少なくとも部分的に搬送チャンバ１２５内に配置され得る。一態様では、基板搬送装置１３０は、基板搬送装置１３０がＳＥＭＩ規格Ｅ７２ガイドラインに準拠するように、モジュール式ユニットとして搬送チャンバ１２５から取り外し可能であり得る。
基板ステーションモジュール１５０は、移送チャンバ１２５の共通の側面またはファセットに並べて配置され得る、および／または単一の基板ステーションモジュール１５０が、移送チャンバ１２５の単一の側面またはファセットに配置され得るが、他の態様では、基板ステーションモジュールは、単一の基板ステーションモジュール１５０Ｓ（図８）、三重基板ステーションモジュール１５０Ｔ（図１２）、および／または単一のハウジング内に配置されているか、または搬送チャンバ１２５の共通の側面／ファセットに並べて配置されている任意の適切な数の基板処理／保持ステーションを有する基板ステーションモジュールであり得る。一態様では、並んだ基板処理ステーションは、共通の（すなわち、同じ）処理モジュールハウジング１５０Ｈ（図１Ａ）内に配置されて、ツインまたはタンデム基板処理モジュール１５０Ｄと呼ばれ得るものを形成し、一方、他の態様では、並んだ基板処理ステーションは、互いに分離され、共通のハウジング（図７Ａ）を共有しない、単一の基板処理ステーション１５０Ｓである。ツイン基板ステーションモジュール１５０Ｄ、単一の基板ステーションモジュール１５０Ｓ、三重基板ステーションモジュール１５０Ｔ、および任意の適切な数の基板処理ステーションを有する任意の他の基板ステーションモジュールは、任意の適切な組み合わせで同じ（すなわち、共通の）移送チャンバ１２５に連結され得る（たとえば、単一の基板ステーションモジュールおよびツイン基板ステーションモジュールが同じ移送チャンバに連結されている図８を参照）。
図１Ａおよび移送チャンバ１２５の側部１００Ｓ１上の基板ステーションモジュール１５０を参照すると、たとえば、基板処理ステーション１９０、１９１は、共通のハウジング１５０Ｈ内に並んで配置され、基板処理ステーションの両方に共通である単一のスロットバルブ（たとえば、基板処理ステーション１９２、１９３を参照）を通って移送チャンバ１２５内からアクセス可能であり得るか、または各基板処理ステーションは、それぞれ独立して動作可能なスロットバルブ（たとえば、基板処理ステーション１９０、１９１を参照）を有し得る。たとえば１９０、１９１などの並んだ基板処理ステーションは、任意の適切な距離またはピッチＤだけ互いに分離または離間され、これは、本明細書で説明されるように、基板搬送装置１３０の少なくとも２つのデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の基板処理ステーション間の距離を変えることによって適応され得る。
基板ステーションモジュール１５０は、さまざまな沈着、エッチング、または他のタイプのプロセスを介して基板Ｓ上で動作して、基板上に電気回路または他の所望の構造を形成し得る。典型的なプロセスは、限定されないが、プラズマエッチングまたは他のエッチングプロセスなどの真空を使用する薄膜プロセス、化学蒸着（ＣＶＤ）、プラズマ蒸着（ＰＶＤ）、イオン注入などの注入、計測、ラピッドサーマルプロセス（ＲＴＰ）、ドライストリップ原子層蒸着（ＡＬＤ）、酸化／拡散、窒化物の形成、真空リソグラフィー、エピタキシー（ＥＰＩ）、ワイヤボンダおよび蒸発、または真空圧を使用する他の薄膜プロセスを含む。基板ステーションモジュール１５０は、スロットバルブＳＶを介するなど、任意の適切な方法で搬送チャンバ１２５に連通可能に接続され、基板を搬送チャンバ１２５から基板ステーションモジュール１５０に、またはその逆に通過させることが可能になる。搬送チャンバ１２５のスロットバルブＳＶは、ツイン処理モジュールの接続を可能にするように配置され得る。
基板ステーションモジュール１５０および搬送チャンバ１２５に連結されたロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ（またはカセットＣ）への、およびそれらからの基板の移送は、基板搬送装置１３０の少なくとも２つのデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の少なくとも一部が並んだ基板処理ステーション１９０－１９１、１９２－１９３、１９４－１９５、１９６－１９７の所定のセットまたはペアのそれぞれの基板処理ステーションと整列させられるときに行われ得ることが留意される。本開示の態様によれば、２つの基板Ｓは、（たとえば、基板が本明細書に記載される方法でツイン処理モジュールからピッキング／配置されるときなどに）略同時にそれぞれの所定の基板ステーションモジュール１５０に移送され得る。
基板搬送装置１３０は、概して、固定位置で搬送チャンバ１２５に接続された駆動セクション２２０、２００Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃを備えた少なくとも１つの関節式マルチリンクアーム１３１を有するものとして本明細書で説明されているが、他の態様では、基板搬送装置１３０は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１４年１０月１６日に出願された「Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国特許出願番号１５／１０３，２６８および２０１３年２月１１日に出願された「Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された国際特許出願番号ＰＣＴ／ＵＳ１３／２５５１３に記載されるものなどの、ブームアームまたはリニアキャリッジに取り付けられ得る。少なくとも１つの関節式マルチリンクアーム１３１は、搬送チャンバ１２５内に配置されたアッパーアーム２０１およびフォアアーム２０２を有する。アッパーアーム２０１の近接端２０１Ｅ１が、固定位置で駆動セクション２２０、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃに回転可能に接合されている。フォアアーム２０２は、アッパーアーム２０１の遠位端２０１Ｅ２でアッパーアーム２０１に回転可能に接合され、アッパーアーム２０１は、近位端２０１Ｅ１と遠位端２０１Ｅ２との間の実質的に剛性の非関節リンクである。
本明細書に記載される本開示の態様では、（本明細書に記載されるような）少なくとも１つのエンドエフェクタリンクが、関節（たとえば、リスト関節または軸ＷＸ）での共通の回転軸を中心にフォアアーム２０２に対して回転するように、フォアアーム２０２の端部で関節に回転可能に接合され、少なくとも１つのエフェクタリンクは、そこに従属した（本明細書に記載されるような）複数の基板保持ステーションを有し、複数の基板保持ステーションは、互いに対して共通の平面４９９（たとえば、図２Ｄ、図１０、および図１１を参照）に沿って並置され、共通の回転軸を中心にした少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの回転により、複数の基板保持ステーションが共通の回転軸を中心に回転するように構成されている。本明細書に記載されるように、基板搬送装置１３０の駆動セクション２２０、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃは、マルチリンクアーム１３１（およびそれに連結された少なくとも１つのエフェクタ）を、固定位置に対して、非半径方向の線形経路に沿って少なくとも伸長および収縮させるように構成され、そのため、複数の並置された基板保持ステーションは各々、アーム１３１の伸長および収縮で、非半径方向の経路に沿って線形に横断し、略同時に共通のレベルで複数の並置された基板搬送開口部の別個の対応する開口部（スロットバルブＳＶ、またはそれに対応する開口部であって、スロットバルブが開口部を密閉するために連結される壁１２５Ｗにおける図１Ｂおよび１Ｃに示されるものなどの開口部）を通過する。他の態様では、基板搬送装置１３０の駆動セクション２２０、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃは、本明細書に記載されるように基板を搬送するために、マルチリンクアーム１３１を、固定位置に対して、半径方向の線形経路および非半径方向の線形経路の１つまたは両方に沿って伸長および収縮させるように構成されている。
依然として図１Ａを参照し、また図２Ａ～２Ｄも参照すると、基板搬送装置１３０は、フレーム２２０Ｆ（本明細書では支持フレームとも呼ばれる）と、フレーム２２０Ｆに接続された駆動セクション２２０と、少なくとも１つの可動アームリンク２０１、２０２、および可動アームリンクに接続されたエンドエフェクタリンク２０３、２０４を有する少なくとも１つの関節式アーム１３１（例示目的のみで単一のアームが例示されている）とを含み、エンドエフェクタリンク２０３、２０４は、その上に基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が配置されている。本態様では、関節式アームはマルチリンクアーム１３１である。一態様では、アーム１３１は、水平多関節ロボットアーム（本明細書では「スカラアーム」と呼ばれる）であるが、他の態様では、アームは任意の適切な構成を有してもよい。たとえば、アーム１３１は、アッパーアームリンク２０１、フォアアームリンク２０２、および少なくとも１つのエンドエフェクタリンク２０３、２０４（すなわち、少なくとも１つのエンドエフェクタを備えたデュアルリンクスカラ）を含むが、他の態様では、アーム１３１は、任意の適切な数のアームリンクおよび基板ホルダを有してもよい。アッパーアームリンク２０１は、実質的に剛性のリンクである（すなわち、アッパーアームリンク２０１は、長手方向端部２０１Ｅ１、２０１Ｅ２間で非関節式である）。アッパーアームリンク２０１は、アーム１３１のショルダ軸ＳＸを中心に回転するように、一方の長手方向端部２０１Ｅ１（ショルダ関節または軸ＳＸと呼ばれるものを形成する）で駆動セクション２２０に回転可能に連結されている。一態様では、ショルダ関節または軸ＳＸは固定位置にある（搬送チャンバの対称軸に沿って図面に示されているが、他の態様では、搬送チャンバの対称軸からオフセットされ得る）。フォアアームリンク２０２は実質的に剛性のリンクである（すなわち、フォアアームリンク２０２は、長手方向端部２０２Ｅ１、２０２Ｅ２間で非関節式である）。フォアアームリンク２０２の長手方向端部２０２Ｅ１は、フォアアームリンク２０２がアーム１３１のエルボ軸ＥＸを中心に回転するように、アッパーアームリンク２０１の長手方向端部２０１Ｅ２に回転可能に連結されている。ここで、フォアアームリンク２０２およびアッパーアームリンク２０１は、（たとえば、関節中心間で）同様の長さであるが、他の態様では、フォアアームリンク２０２およびアッパーアームリンク２０１は、（たとえば、関節中心間で）異なる長さを有してもよい。
図５Ａ～５Ｅも参照すると、一態様では、可動アームリンク２０１、２０２は、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃ、およびモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃの実質的に端から端まで（たとえば、アームリンクの各端部での回転軸ＳＸ、ＥＸ、ＷＸの間で）、堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、そこを通って伸長する（たとえば、トランスミッション部材およびプーリのペアで形成される）プーリシステム６５５を有する再構成可能なアームリンク２０１Ｒ、２０２Ｒである。ここで、本明細書でより詳細に説明されるように、堅固に連結されたリンクケースモジュールは、可動アームリンク２０１、２０２の長さＯＡＬを決定する所定の特性を有する少なくとも１つの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ（本明細書では交換可能なリンクケース伸長モジュールまたは押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントとも呼ばれる）によって接続された端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４（本明細書ではリンクケースエンドモジュールとも呼ばれる）を含む。本開示の態様によれば、少なくとも１つの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃおよび再構成可能なアームリンク２０１Ｒ、２０２Ｒを、複数の所定のアームリンク長さＯＡＬｎ（各々の異なる長さＯＡＬｎが、異なる中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの異なる長さＣＡＬ１～ＣＡＬｎに対応している）から所定のアームリンク長さＯＡＬに選択可能に設定するように、各々が可動アームリンク２０１、２０２の対応する異なる長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる中央アームセクション（交換可能なリンクケース伸長モジュール）５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎから、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４への接続のために選択可能であり、再構成可能なアームリンク２０１Ｒ、２０２Ｒを形成する。
例として、アッパーアームリンク２０１およびフォアアームリンク２０２の各々は、それぞれの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂおよびそれぞれの端部連結部５１１～５１４を有するモジュール式アームリンクである。たとえば、アッパーアームリンク２０１は、アッパーアームリンク２０１の近位端２０１Ｅ１を形成する近位端部連結部５１１を含む。中央アームセクション５１０Ａが、任意の適切な取り外し可能な留め具などを用いて、任意の適切な方法で近位端部連結部５１１に連結される。遠位端部連結部５１２が、アッパーアーム２０１の遠位端２０１Ｅ２を形成するように、近位端部連結部５１１の反対側で中央アームセクション５１０Ａに連結される。同様に、フォアアームリンク２０２は、フォアアームリンク２０２の近位端２０２Ｅ１を形成する近位端部連結部５１３を含む。中央アームセクション５１０Ｂが、任意の適切な取り外し可能な留め具などを用いて、任意の適切な方法で近位端部連結部５１１に連結される。遠位端部連結部５１４が、フォアアームリンク２０２の遠位端２０２Ｅ２を形成するように、近位端部連結部５１３の反対側で中央アームセクション５１０Ｂに連結される。
アッパーアームリンク２０１のための端部連結部５１１、５１２は、互いに略類似しており、それにより、端部連結部５１１、５１２は互いに交換可能である（すなわち、端部連結部５１１は、アッパーアームリンク２０１の遠位端２０１Ｅ２または近位端２０１Ｅ１のいずれかを形成するように、中央アームセクション５１０Ａのいずれかの端部に連結することができ、端部連結部５１２は、アッパーアームリンク２０１の遠位端２０１Ｅ２または近位端２０１Ｅ１のいずれかを形成するように、中央アームセクション５１０Ａのいずれかの端部に連結することができる）。同様に、フォアアームリンク２０２のための端部連結部５１３、５１４は、互いに略類似しており、それにより、端部連結部５１３、５１４は互いに交換可能である（すなわち、端部連結部５１３は、フォアアームリンク２０２の遠位端２０２Ｅ２または近位端２０２Ｅ１のいずれかを形成するように、中央アームセクション５１０Ｂのいずれかの端部に連結することができ、端部連結部５１４は、フォアアームリンク２０２の遠位端２０２Ｅ２または近位端２０２Ｅ１のいずれかを形成するように、中央アームセクション５１０Ｂのいずれかの端部に連結することができる）。いくつかの態様では、アッパーアームリンク２０１のための端部連結部は、フォアアームリンク２０２の端部連結部と交換可能であり得る。交換可能な端部連結部によって、搬送アームの部品数が減少され、さまざまな部品の製造に関連するコストが削減され得る。
中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、本明細書に記載されるように、閉じた断面（たとえば、閉じたボックス形状）を有している。たとえば、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、任意の適切な断面を有し得るモノリシックチューブフレーム５１０Ｆを備える。図５Ａ～５Ｅに例示される例では、チューブフレーム５１０Ｆは、長方形の断面を有するものとして示されているが、他の態様では、断面は、正方形、円形、卵形、「Ｉ」ビーム形状などであってもよい（ケーブルが「Ｉ」ビームの内部（断面Ａ－Ａ）または「Ｉ」ビームの外部（図４４Ａ）に伸長する図４４を参照）。さらに他の態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、開いたボックス形状を有してもよい（（たとえば、（１つまたは複数の）開いた側面を閉じるための（１つまたは複数の）パネル４４００の有無にかかわらず）フレーム５１０Ｆ’の１つまたは複数の側面が開いている図４４Ｂを参照）。他の態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、図４４Ｃに例示されるようにハイブリッドの開閉ボックス形状であるフレーム５１０Ｆ”を有してもよく、ここで、フレーム５１０Ｆ”の一部は閉じたボックスであるが、フレーム５１０Ｆ”の別の隣接部分は開いたボックスである（たとえば、ここで、プーリトランスミッションのケーブルは、開いたボックスおよび閉じたボックスの１つまたは複数を通って伸長する）。理解され得るように、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの開いたボックス形状、閉じたボックス形状、「Ｉ」ビーム形状、または任意の他の適切な断面形状は、押し出し成型などによって、本明細書に記載される方法で形成され得る。（たとえば、「Ｕ」字形の断面に対して選択される材料の剛性に依存する）開いたボックス形状（たとえば、「Ｕ」字形）の断面と比較して、閉じたボックス形状では、基板搬送装置１３０の剛性および性能が向上され得ることが留意される。
中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃを形成するために、（それぞれの）端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の各々に機械的に固定され、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃが、選択された所定のアームリンク長さＯＡＬ、ＯＡＬｎ（図５Ｃ）に対する、（それぞれの）プーリシステム（プーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅなど（図４））のプーリホイール（プーリ４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６など（図４））を接続するプーリトランスミッション（トランスミッション部材４９０、４９２、４９３、４９４、４９５など（図４））のミスアライメント公差（misalignment tolerance）に適合する（match）ように配置される。一態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃを形成するために、（本明細書に記載されるような取り外し可能な機械的留め具を含む）機械的留め具継ぎ手で、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の各々に機械的に固定され、機械的留め具継ぎ手は、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃが、選択された所定のアームリンク長さに対する、プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように構成されている。例として、継ぎ手の機械的留め具の嵌合および／または補完部分間の適合および逆にクリアランス、たとえば、各々の個々の界面および継ぎ手での対応する孔への、および集合的にアームリンクを横切る、ボルトまたはピンの適合は、所与のアームリンク長さでのプーリシステムのミスアライメントの許容可能な設計公差に（機械的留め具の適合が過剰な遊びを引き起こさないように）適合するように構成されている。さらなる例として、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、（米国付与前公開番号２０１８／０２８６７２８として２０１８年１０月４日に公開された）２０１８年１月２５日に出願され、「Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｆｏｒ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ａｐｐａｒａｔｕｓ Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｃｏｍｐｅｎｓａｔｉｏｎ」と題された、米国特許出願番号１５／８８０，３８７に記載されるように、図６Ｂを簡単に参照すると、アームリンク２０１、２０２の長さが増加するにつれて、アームの自由端も、重力の影響および／または所定の量のアームリンク２０１、２０２に対する負荷により撓み得るか、または垂れ下がり得る。アームリンクの下降は、それぞれのプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのミスアライメント公差内に適応されなければならないさらなるミスアライメント（すなわち、トランスミッションセグメントが、実質的にアーム位置の誤差を引き起こすことなく、それぞれのプーリに対して角度を付けられるか、または軸方向に移動し得る許容量）を画定し得る。アームリンク２０１、２０２のこの垂れ下がりによって、（図６Ｂにおいてケーブル（またはワイヤ）セグメント６６０Ａ、６６０Ｂを含む）プーリトランスミッションは、プーリ４７６の回転平面に対して（所定のミスアライメント公差内で）角度βだけ角度を付けられるようになるか、またはプーリの外周面／側面に沿って（所定のミスアライメント公差内で）軸方向に移動する。いくつかの態様では、ケーブルセグメント６６０Ａ、６６０Ｂの角度βによって、ケーブルセグメント６６０Ａ、６６０Ｂはプーリ４７６との位置をずらされ得る。ここで、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂと端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４との間の連結は、連結における任意の公差が、プーリトランスミッションとプーリ４７６との間のミスアライメント公差に適合する（または、いくつかの態様では、打ち消すまたは矯正する）ようなものである。
チューブフレーム５１０Ｆは、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４のいずれか１つをチューブフレーム５１０Ｆに連結するように構成された端部フランジ５４０、５４１を含む。フランジ５４０、５４１は、任意の適切な方法で、チューブフレーム５１０Ｆと一体的に形成され得るか、またはチューブフレーム５１０Ｆに連結され得る。たとえば、フランジ５４０、５４１は、チューブフレーム５１０Ｆと共に鍛造、鋳造、または成型され得るが、他の態様では、フランジ５４０、５４１は、溶接、機械的留め具、接着剤、摩擦嵌め（たとえば、焼き嵌め、圧入など）、クランプ、または任意の他の適切な方法によってチューブフレームに連結されてもよい。端部フランジ５４０、５４１は、位置決め特徴部（孔５４５およびスロット５４６など）を含み得、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、少なくとも２の自由度でアッパーアームリンク２０１の端部連結部５１１、５１２の各々（またはフォアアームリンク２０２に関して、端部連結部５１３、５１４）を中央アームセクション５１０Ａ（またはフォアアームリンク２０２に関して、中央アームセクション５１０Ｂ）に、および互いに対して配向する／位置決めする、嵌合位置決め特徴部（たとえば、ピン５４７または端部フランジ５４０、５４１の位置決め特徴部と係合する他の突起など（図５Ｃを参照））を含み得る。位置決め特徴部および嵌合位置決め特徴部は、一態様では、連結がポカよけ（poka-yoke）であるように非対称である（たとえば、非対称位置決め特徴部は、端部連結部がそれぞれの中央アームセクションに連結されるときの組み立て誤差を実質的に回避する）。また図４１を参照すると、位置決め特徴部は、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂおよび端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４に形成される突起４１００および凹部４１１０を含み得、ここで、突起４１００および凹部４１１０は、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４、５１０Ｂを、それぞれの中央アームセクション５１０Ａに対して所定の位置に位置決めするように構成されている。たとえば、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは（１つまたは複数の）凹部４１１０を含み得、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は（１つまたは複数の）突起４１００を含み得、ここで、凹部４１１０は、それぞれの突起４１００を受けて、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４を、それぞれの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂに対して所定の位置に位置決めする。他の態様では、端部連結部は凹部を含んでもよく、中央アームセクションは突起を含んでもよい。一態様では、凹部および突起は、連続しており、それぞれの端部連結部および中央アームセクションの全周囲縁部の周りに伸長し得るが、他の態様では、凹部および突起は、それぞれの端部連結部および中央アームセクションの周囲縁部の所定の部分の周りに伸長するように不連続であってもよい。一態様では、突起および凹部は、ピン／穴／スロットが、中央アームセクションに対する端部連結部の方向性のあるアセンブリ配向（たとえば、端部連結部のどの面が上部、下部などであるかなど）を画定するように、１つまたは複数のピン／穴／スロットとともに利用され得、一方で、凹部および突起は、端部連結部を中央アームセクションに対して所定の位置に位置決めする。一態様では、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、端部連結部および中央アームセクションのアセンブリが、１つの端部連結部から反対側の端部連結部までの所定の寸法公差になるように二次的に機械加工される特徴部を位置決めすることなく、それぞれの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂに連結され得る。
一態様では、端部フランジ５４０、５４１はまた留め具連結部５６０～５６３を含み、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂへの端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の連結を一緒にもたらす嵌合留め具連結部５６０Ａ～５６３Ａを含む。たとえば、留め具連結部５６０～５６３および嵌合留め具連結部５６０Ａ～５６３Ａは、ボルト／ねじが挿入されるねじ孔および開口、または任意の他の取り外し可能な留め具システムの形態であり得る。また図４２を参照すると、本明細書で留意されるように、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、クランプ４２００で中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂに連結されているものとして例示されており、ここで、各クランプは、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４および中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの両方と係合し、それにより、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４と中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂとの間に圧縮連結を形成する。また図４３を参照すると、本明細書で留意されるように、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、摩擦嵌め（たとえば、焼き嵌め、圧入など）によって中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂに連結されているものとして例示されており、ここで、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４上の突起４３００が、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ上の凹部４３１０（またはその内面または外面）と摩擦係合し（またはその逆もしかり）、それにより、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４を中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂに連結する。凹部４３１０および突起４３００は、（図４１のような）滑り嵌め（たとえば、端部連結部および中央アームセクションは組み立て中に互いに対して容易にスライドする － 組み立てられている部品間にクリアランスがある）よりもむしろ、摩擦嵌め（部品が強制的に一緒に押圧された後に摩擦によって達成される２つの部品間の締結である圧入または締り嵌めとしても知られている － 組み立てられている部品間にクリアランスはない）（図４３）を有することを除いて、上記の凹部４１１０および突起４１００と略類似している。
一態様では、端部フランジ５４０、５４１は、端部フランジ５４０、５４１がアームの遠位端２０１Ｅ２、２０２Ｅ２または近位端２０１Ｅ１、２０２Ｅ１に向かった状態で（またはその逆もしかり）、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂがアッパーアームリンク２０１またはフォアアームリンク２０２に設置されるように、互いに略類似し得る。
一態様では、チューブフレーム５１０Ｆは、アッパーアームリンク２０１およびフォアアームリンク２０２のそれぞれ１つの内部へのアクセスを提供するように構成されている１つまたは複数の開口５８８を含む。内部へのアクセスは、基板搬送装置および／またはそのアームリンクを実質的に分解することなく、アッパーアームリンク２０１およびフォアアームリンク２０２の任意の適切な保守を促進し得る。一態様では、アームリンクによって生成され得る任意の微粒子を含むなど、１つまたは複数のアクセス開口５８８を覆うために、カバー５１０Ｃ（図５Ｃ）が設けられ得る。理解され得るように、また図５Ｆを参照すると、カバー５１０Ｃの取り外しによって、アクセス開口５８８を通った、それぞれのアームリンクの内部へのアクセスが提供される。たとえば、調整が、アクセス開口部５８８を介して本明細書に記載されるケーブルおよびプーリトランスミッションに対して行われ得る（たとえば、本明細書に記載されるように、インラインケーブルテンショナ６９１を操作することによってケーブル／ケーブルセグメントの１つまたは複数の張力を調整するなど）。
一態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、それぞれの端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４とともに、それぞれのアッパーアームリンク２０１またはフォアアームリンク２０２の全長ＯＡＬ（関節中心から関節中心まで（図５Ｃ参照））を画定する長さＣＡＬを有し得る。アーム１３１（および本明細書に記載される他のアーム）は、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの長さＣＡＬを変更することによって構成／再構成され得る。本明細書で留意されるように、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、さまざまな所定の長さＣＡＬ、ＣＡＬ１～ＣＡＬｎを有するように、本明細書に記載される通りに製造され得る。したがって、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの各々は、複数の中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎから選択可能であり得、ここで、「ｎ」は中央アームセクションの数の上限を示す整数である。選択可能な中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの各々は、選択可能な中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの別のものの長さとは異なる長さＣＡＬ１～ＣＡＬｎを有し得る。ここで、それぞれのアッパーアームリンク２０１またはフォアアームリンク２０２における設置のための選択可能なアームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの選択によって、それぞれの端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４と共に、アッパーアームリンク２０１またはフォアアームリンク２０２の可変（すなわち、中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの選択を介する）長さが画定される。理解され得るように、アッパーアームリンク２０１およびフォアアームリンク２０２の１つまたは複数の全長ＯＡＬは、選択可能な中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの選択を介して増加または減少され得る。
他の態様では、また図４０を参照すると、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの１つまたは複数は、伸縮式中央アームセクション５１０Ｔであってもよい（たとえば、伸縮式アーム部分のアーム部分が、セグメント化された光学望遠鏡と同様に互いにスライドして長さを変更させる）。本態様では、伸縮式中央アームセクション５１０Ｔは、第１のフレーム部分５１０Ｔ１および第２のフレーム部分５１０Ｔ２を含む。第１のフレーム部分５１０Ｔ１は、第１のフレーム部分５１０Ｔ１または第２のフレーム部分５１０Ｔ２が第１のフレーム部分５１０Ｔ１または第２のフレーム部分５１０Ｔ２の他方に対して長手方向に直線的にスライドして、伸縮式中央アームセクション５１０Ｔの長さＣＡＬを増加または減少させるように、滑り嵌めで第２のフレーム部分５１０Ｔ２を受容するように成形および寸法決めされる。伸縮式中央アームセクション５１０Ｔは、伸縮式中央アームセクション５１０Ｔの長さＣＡＬを設定／固定するように第２のフレーム部分５１０Ｔ２に対する第１のフレーム部分５１０Ｔ１の移動をロックするための任意の適切な取り外し可能なまたは取り外し不可能な留め具４０００（たとえば、ねじ、ボルト、ピン、クリップ、溶接など）を含み得る。留め具が取り外し可能である場合、アームリンクの長さは、追加のまたは取り外された基板処理モジュール、移送チャンバ部分に適合するように必要に応じて調整され得る（たとえば、アームのリーチは必要に応じて増加または減少され得る）。
他の態様では、図４０Ａを参照すると、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの１つまたは複数は、セグメント化されたアームセクション５１０Ｓであってもよく、ここで、各セグメント４０２０は、固定長ＣＡＳを有し、端から端まで一緒に連結されたときにセグメントが中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの長さＣＡＬを有するように当接させて（たとえば、端から端）互いに連結させられる。一態様では、異なるセグメント４０２０の固定長ＣＡＳは同じであり得るが、他の態様では、セグメント４０２０の固定長は異なっていてもよい。さらに他の態様では、図４５を参照すると、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの１つまたは複数は、複数のケースモジュール４５００であってもよく、複数のケースモジュール４５００の各々は、並んで配置され、それぞれの端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４間で伸長して連結する、第１および第２のフレーム部材４５０１、４５０２（これらは各々、本明細書に記載されるフレーム５１０Ｆ、５１０Ｆ’、５１０Ｆ”に略類似し得る）を有している。ここで、トランスミッションシステムのケーブルは、それぞれの第１および第２のフレーム部材４５０１、４５０２内に伸長し得る。本態様では、第１および第２のフレーム部材４５０１、４５０１は、それぞれの端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４に別々に連結され得る（たとえば、端部連結部５１１へのフレーム部材４５０１の連結は、端部連結部５１２へのフレーム部材４５０２の連結から独立している）が、他の態様では、フレーム部材４５０１、４５０２はエンドプレート４０３０に連結されてもよく、ここで、エンドプレート４０３０は、それぞれの端部連結部５１３、５１４へのフレーム部材４５０１、４５０２の連結をもたらす。
異なる長さの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎは、本明細書で留意されるように任意の適切な材料から任意の適切な方法で製造され得る。たとえば、少なくとも１つの交換可能な中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、および複数の異なる交換可能な中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの各々は、それらに対応するボックス形状の断面５９８を有し、所定の特性は、交換可能な中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、および複数の異なる交換可能な中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの各々が、異なる対応する長さＣＡＬ、ＣＡＬ１～ＣＡＬｎを有するということである。
ボックス形状の断面５９８は、チューブフレーム５１０Ｆの管状の形状を提供し、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの低コストおよび／または大量生産方法での製造を促進する。たとえば、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎは、（たとえば、材料のビレットから機械加工される従来のアームリンクと比較して）機械加工要件を減らす押し出し成型または鋳造によって（たとえば、ボックス形状の断面５９８で押し出し部材を形成するように）製造され得る。利用され得る他の製造方法には、限定されないが、付加製造、従来の機械加工、折り畳まれたおよび溶接されたシートメタル、鍛造、および射出成形を含み得る。上述した製造プロセスによって達成され得るチューブフレーム５１０Ｆの管状の形態は、上述した従来の機械加工されたアームリンクと比較したときに著しくより堅固であるモノリシックボックスセクション５９８を備えた押し出し部材に影響を与える。より堅固なボックス形状の断面５９８によって、他の方法により従来の機械加工されたアームリンクで達成されるよりもアーム長が長くなり、より薄い側壁５１０Ｗを有するチューブフレーム５１０Ｆが製造され、これにより、アームリンクの重量が減り、基板搬送装置１３０の動作速度が増加する。
一態様では、対応するボックス形状の断面５９８は、異なる交換可能な中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎごとに所定の剛性（端から端まで）を維持するように、異なる対応する長さＣＡＬ、ＣＡＬ１～ＣＡＬｎに相応するサイズおよび形状である。別の態様では、対応するボックス形状の断面５９８は、異なる選択可能な所定のアームリンク長さＯＡＬ、ＯＡＬｎごとに所定の剛性（端から端まで）を維持するように、異なる対応する長さＣＡＬ、ＣＡＬ１～ＣＡＬｎに相応するサイズおよび形状である。たとえば、所定の剛性に関して、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの長さＣＡＬ、ＣＡＬ１～ＣＡＬｎが増加するにつれて、ボックス形状の断面５９８の壁５１０Ｗの１つまたは複数の厚さＴＨＫ（図５Ｅ）も増加し得る。他の態様では、壁５１０Ｗの１つまたは複数の厚さＴＨＫは、それぞれの長さＣＡＬ、ＣＡＬ１～ＣＡＬｎに沿って先細りになっていてもよく、壁は（ショルダ軸ＳＸに対する）アームリンクの近位端で最も厚く、（ショルダ軸ＳＸに対する；たとえば、アームリンク２０２を考慮すると、壁の厚さは、エルボ軸ＡＸに隣接する部分で最大であり、リスト軸ＷＸに隣接する部分で最も薄い）アームリンクの遠位端で最も薄い。他の態様では、たとえば、ボックス形状の断面５９８の押し出し中に、ボックス形状の断面５９８に補強リブが形成され得る。他の態様では、また図４６を参照すると、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂは、テーパー長さを有し得、ここで、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂのそれぞれの近位端（たとえば、支持端）は、それぞれの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂのそれぞれの遠位端（たとえば、自由端または非支持端）の高さＡＨＤＥ１、ＡＨＤＥ２より高い高さＡＨＰＥ１、ＡＨＰＥ２を有している。図４６に例示されるようなテーパー長さは、アームリンクの重量を減らしながら、アームリンクの所定の剛性を維持し得、これにより、基板搬送装置１３０の動作速度が増加し得る。他の態様では、ボックス形状の断面５９８は、異なる交換可能な中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎごとに所定の剛性（端から端まで）を維持するように、異なる対応する長さＣＡＬ、ＣＡＬ１～ＣＡＬｎに相応する任意の適切な方法でのサイズおよび形状である。
一態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎは、アルミニウム、ステンレス鋼、インコネル、または他の金属合金、または本明細書で留意されるような他の適切な材料などの、（本明細書に記載される）アームリンクトランスミッションケーブルに使用される材料と同じ材料から製造され得る（またはそれと同じ熱膨張係数を有し得る）（ステンレス鋼の使用が、コストおよび重量によりビレットから製造された従来のアームリンクでは禁止され得ることに留意されたい）。中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎを運動トランスミッションハードウェア（たとえば、ケーブル、バンド、プーリなど）と同じ材料から製造することによって、コンポーネント間の熱膨張係数が同じになり、基板搬送装置１３０のピッキング／配置運動の精度が向上する。一態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎは、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の一方または両方の材料と同じである（または同じ熱膨張係数を有する）材料で作られるが、他の態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎは、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の一方または両方の材料とは異なる材料で作られる。一態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎ、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４、および運動トランスミッションハードウェアは、同じ材料で作られる（または同じ熱膨張係数を有する）。図４８を参照すると、アームリンクコンポーネントの熱膨張が例示されており、ここで、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎはまとめて参照番号５１０で参照される。ここで、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎ、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４、および運動トランスミッションハードウェアの材料は、それぞれ、アームリンクの長さにわたって正規化されたアームリンクおよびその中のプーリトランスミッションのケーシングコンポーネントの熱膨張（および収縮）による長さの合計変化を表す以下の式を維持するように選択され得る：
Figure 2023522536000002
 式中、ｉは可動アームリンクセグメントのケーシングコンポーネントを表す整数であり（たとえば、図４８において、ｉ＝１は端部連結部５１１（または５１３）を表し、ｉ＝２は中央アームセクション５１０を表し、ｉ＝３は端部連結部５１２（または５１４）を表す）、ｊは運動トランスミッションハードウェアのコンポーネントを表す整数であり（たとえば、図４８において、ｊ＝１は第１のプーリを表し、ｊ＝２はケーブルを表し、ｊ＝３は第２のプーリを表す）、Ｌはそれぞれのアームリンクコンポーネントの長さであり、ｌはそれぞれの運動トランスミッションハードウェアのコンポーネントの（ケーブルの場合には）長さまたは（プーリの場合には）半径であり、ＬＬは関節中心間のアームリンクの長さであり、記号Δおよびｄは、熱膨張（および収縮）による対応する長さＬ、ｌの「変化」を示す。一態様では、ケーシングおよびプーリトランスミッションの対応するコンポーネントそれぞれに対してΔiＬi＝ｄjｌj（すなわち、ｉ＝ｊおよびＬi＝ｌj）であり、これは、それぞれのケーシングコンポーネント（ｉ）の熱膨張（および収縮）をその中の対応するプーリトランスミッションのコンポーネント（ｊ）と一致させることによって実質的に満たされる。しかし、少なくとも１つのケーシングコンポーネントが、対応するプーリトランスミッションコンポーネントとは異なる熱膨張（および収縮）を有する（たとえば、ΔiＬi＞ｄjｌj）異なる態様では、ΔiＬiとｄjｌjとの間の差を補償する（たとえば、大きな熱変化に対して実質的に寸法上不変であり得るか、またはそうでなければ無視できる熱膨張係数を有すると見なされ得る）熱膨張係数を有する任意の適切な熱膨張補償インサート４８００（セラミック、複合材料、金属、ポリマーなどの任意の適切な材料で作られる）が、上記方程式［１］が維持されるように可動アームリンクセグメントのケーシングコンポーネント（および十分な長さのもの）の１つまたは複数の間に提供され得る。このような熱膨張補償インサート４８００はまた、前述のようにケーシングコンポーネントに固定されたモジュール式であってもよいし、たとえば、所望の長さの中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂの形成と一体的に形成されてもよい。
一態様では、少なくとも１つの交換可能な中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、および複数の異なる交換可能な中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの各々の材料は、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の材料より高い剛性（ばね係数）を有する。一態様では、少なくとも１つの交換可能な中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、および複数の異なる交換可能な中央アームセクション５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの各々の材料は、それぞれのプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅ（図４）のプーリトランスミッション４９０、４９２、４９３、４９４、４９５の材料の剛性に相応する剛性を有する。
理解され得るように、モジュール式アームリンク構成はまた、アームリンクの端部の製造も簡素化する。たとえば、従来のアームリンクでは、アームプーリとプーリシャフトが連結されるアームリンクの端部は、アームの中央部分をユニットとして材料のビレットから機械加工される。本開示の態様によれば、アームリンクのモジュール形態によって、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４および中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎに別個の製造技術が利用される。たとえば、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎは、押し出し成型され得る（または本明細書に留意される他の方法で製造され得る）が、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、端部連結部の機械加工およびそのコストを減らし、ひいては基板搬送装置１３０の全体的なコストを削減するように、ニアネットシェイプで鋳造または鍛造される（すなわち、端部連結部の初期生産が、端部連結部の最終（ネット）シェイプに非常に近づき、表面仕上げの必要性を減らす）べく、鋳造、鍛造、付加製造、従来の機械加工、および射出成形によって製造されてもよい。いくつかの態様では、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、予め組み立てられた／製造されたアーム関節４７００として提供され得、ここで、１つのトランスミッション部材の少なくとも一部（トランスミッション部材４９０、４９２、４９３、４９４、４９５の１つまたは複数の少なくともプーリなど）は、予め組み立てられたアーム関節４７００に予め設置されている。アーム関節４７００を予め組み立てることによって、製造コストが削減され、搬送アームの組み立てのリードタイムが短縮され得る。
一態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの１つまたは複数および端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、たとえば、アルミニウム、ステンレス鋼、インコネル、または他の金属合金、または任意の他の適切な材料の１つまたは複数などの、金属部品で構築され得る。他の態様では、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの１つまたは複数および端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、限定されないが、セラミック、ポリマー、複合材料、および炭素繊維を含む非金属材料を含む任意の適切な材料で構築されてもよい。なお、本明細書に記載されるように、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの１つまたは複数および端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、ニアネットシェイプまたはラフシェイプ（これはニアネットシェイプの鋳造、鍛造、成形などよりも広範な二次機械加工操作を必要とする）の１つまたは複数における大量生産方法（たとえば、成形、鋳造、鍛造、押し出し成型など）を使用して構築され得、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎの１つまたは複数および端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の内部が、ニアネットシェイプに鍛造、鋳造などが行われ得る一方で、外部がラフシェイプに鍛造、鋳造などなどが行われ得る。二次機械加工操作には、限定されないが、従来の機械加工、切断、研削、電磁放電加工などが含まれる。（１つまたは複数の）形成された通りの（たとえば、鋳造、鍛造、押し出し成型など）表面および（１つまたは複数の）機械加工された表面／特徴部の両方を有するアーム構成要素の例が、図３７～３９に例示されている。図３７～３９において、二次機械加工された表面／特徴部が「陰影を付けられたもの（shaded）」（たとえば、暗い領域）として示されているが、形成された通りの（機械加工されていない）表面／特徴部は陰影を付けられていない。図３７は、形成された通りの（たとえば、ニアネットシェイプまたはラフシェイプの）端部連結部５１１、５１３、および（本明細書に留意されるような方法を使用して）機械加工された表面／特徴部を有する対応する完成された端部連結部５１１、５１３を例示している。図３８は、形成された通りの（たとえば、ニアネットシェイプまたはラフシェイプの）端部連結部５１２、５１４、および（本明細書に留意されるような方法を使用して）機械加工された表面／特徴部を有する対応する完成された端部連結部５１２、５１４を例示している。図３９は、形成された通りの（たとえば、ニアネットシェイプまたはラフシェイプの）中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ、および（本明細書に留意されるような方法を使用して）機械加工された表面／特徴部を有する対応する完成された中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂを例示している。
図５Ａ、５Ｂ、および５Ｃで見られるように、アッパーアームリンク２０１およびフォアアームリンク２０２の各々は、それぞれの高さＡＨを有する。一態様では、フォアアームリンク２０２の高さＡＨ１は、アッパーアームリンク２０１の高さＡＨ２より低くなり得る（またはその逆もしかり）が、他の態様では、フォアアームリンク２０２の高さＡＨ１は、アッパーアームリンク２０１の高さＡＨ２と略同じであり得る。一態様では、それぞれの高さＡＨ１、ＡＨ２は、アームに配置されたトランスミッション部材の数に依存し得る（たとえば、アッパーアームリンク２０１が３セットのトランスミッション部材４９０、４９２、４９４を含み、フォアアームリンク２０２が２セットのトランスミッション部材４９３、４９５を含む、図４を参照）。理解され得るように、アッパーアームリンク２０１およびフォアアームリンク２０２の高さが異なる場合、フォアアームリンク２０２の端部連結部５１３、５１４および（１つまたは複数の）中央アームセクション５１０Ｂは、アッパーアームリンク２０１の端部連結部５１１、５１２および（１つまたは複数の）中央アームセクション５１０Ａと交換可能でなくてもよい。
再び図１Ａおよび２Ａ～２Ｄを参照すると、一態様では、少なくとも１つのエンドエフェクタリンク２０３、２０４（本明細書では基板ホルダとも呼ばれる）は、２つのデュアル（端部）基板ホルダ２０３、２０４を備えるが、他の態様では、本明細書に記載されるように、少なくとも１つの基板ホルダは任意の適切な構成を有し得る。デュアル基板ホルダ２０３、２０４は、互いに分離しており、別個である。デュアル基板ホルダ２０３、２０４の各々は、各端部基板ホルダ２０３、２０４が、関節を中心にフォアアームリンク２０２に対して回転するか、またはそれにより形成された共通の軸を中心にして回転するように、フォアアームリンク２０２の共通の端部で関節に回転可能かつ別個に接合されている（たとえば、リスト軸または関節ＷＸを参照）。デュアル基板ホルダ２０３、２０４の各々は、それに従属しており、複数の基板ホルダ２０３、２０４が互いに対して共通の平面４９９（図２Ｄ、図４、図１０、および図１１を参照）に沿って並置されるように関節から伸長している、対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を有する。共通の平面４９９は、複数の基板ホルダ２０３、２０４の基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２の少なくとも３つによって決定され、ここで、少なくとも３つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２の２つの基板保持ステーション（たとえば、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２または２０４Ｈ１、２０４Ｈ２）は、複数の基板ホルダ２０３、２０４の共通の基板ホルダ２０３、２０４に対応している。本明細書に記載されるように、２つの基板保持ステーション（たとえば、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２または２０４Ｈ１、２０４Ｈ２）は、共通の基板ホルダ２０３、２０４の対向する両端部にそれぞれ１つずつ配置される。
少なくとも１つの基板ホルダ２０３、２０４に従属した、対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２は、少なくとも１つの基板ホルダ２０３、２０４の対向する両端部に１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を含む。少なくとも１つの基板ホルダ２０３、２０４は、対向する両端部間で、実質的に剛性であり、非関節式であり、対向する両端部の一方における基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２は、互いに別個で異なる基板ホルダ２０３、２０４の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２と略同一平面上にある。一態様では、少なくとも１つの基板ホルダ２０３、２０４の対向する両端部における基板保持ステーション（基板ホルダ２０３の基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２および基板ホルダ２０４の基板保持ステーション２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を参照）は、互いに略同一平面上にある。他の態様では、少なくとも１つの基板ホルダ（基板ホルダ２０３または２０４の１つを参照）の対向する両端部における基板保持ステーション（基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２または２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を参照）は、互いに別個で異なるエンドエフェクタリンク（基板ホルダ２０３または２０４の他方を参照）の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション（基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２または２０４Ｈ１、２０４Ｈ２の他方を参照）と略同一平面上にある。さらに他の態様では、各々の別個で異なる基板ホルダ（基板ホルダ２０３、２０４の各々を参照）の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション（基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を参照）は、少なくとも１つの基板ホルダ２０３、２０４の対向する両端部における１つの基板保持ステーションを含み、別個で異なる基板ホルダ２０３、２０４の各々は、対向する両端部間で、実質的に剛性であり、非関節式である。
依然として図２Ａ～図２Ｄを参照すると、デュアル基板ホルダ２０３、２０４がより詳細に説明される。たとえば、一態様では、デュアル基板ホルダ２０３、２０４の各々は、それぞれの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を有する長手方向に伸長されたフレーム２０３Ｆ、２０４Ｆ（図２Ａ）を含み、それぞれの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２は、フレーム２０３Ｆ、２０４Ｆの対向する長手方向端部に配置されている。一態様では、共通の基板ホルダの対向する両端部における２つの基板保持ステーション（たとえば、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２または２０４Ｈ１、２０４Ｈ２）は、互いに略同一平面上にあり、一方、他の態様では、２つの基板ホルダは、異なる積み重ねられた平面にあり得る（たとえば、図１０を参照）。上述のように、基板ホルダ面の各平面４９９、４９９Ａ（図２Ｄ、図１０、および図１１を参照）（本明細書に記載されるように、およびデュアル側部基板ホルダの（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が１つまたは複数の平面を形成するかどうか）は、搬送開口面の所与のＺ位置での移送のための共通の搬送チャンバにおける搬送開口部の少なくとも１つの平面（図１Ｂおよび図１Ｃを参照）に対応し、それに整列させられ、それによって、各平面上の各々のそれぞれの開口部を通る基板の移送は、実質的にＺ軸運動なしで、各デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２によりもたらされ、すなわち、基板ホルダ２０３、２０４の一端における（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を用いた（各平面に対する）基板処理ステーションへの伸長、基板処理ステーションでの（１つまたは複数の）基板のピッキングおよび／または配置、基板処理ステーションからの収縮、およびデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の同じまたは異なる端部における同じまたは異なるデュアル基板を伴なう互いに異なる基板処理ステーションへの伸長は、（介在するＺ軸運動とは独立して、または基板の移送間の介在するＺ軸運動から切り離されて）Ｚ軸運動とは実質的に独立した基板の高速スワッピングをもたらす。フレーム２０３Ｆ、２０４Ｆの各々は、それぞれの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１からそれぞれの基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２への実質的に剛性のリンクを形成する（すなわち、デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４は、それらのそれぞれの長手方向に分離された基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２間で非関節式である）。デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の各々は、フレーム２０３Ｆ、２０４Ｆから横方向に伸長するオフセット取り付け突起２１０、２１１を含む。デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４のオフセット取り付け突起２１０、２１１は、デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の各々がリスト軸ＷＸを中心に互いに独立して回転するように、リスト軸ＷＸを中心にフォアアーム２０２に回転可能に連結されている。
オフセット取り付け突起２１０、２１１は、（並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１－２０４Ｈ１間および並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ２－２０４Ｈ２間（のベースピッチＢＰに相応したものなど）の）任意の適切なベースピッチＢＰおよび／またはリスト軸ＷＸに対する基板保持位置２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２の各々の任意の適切な基板ホルダのオフセット距離ＳＤを設定するか、またはそうでなければ画定する任意の適切な長さを有し得る。一態様では、ベースピッチＢＰは、たとえば１９０、１９１などの、並んだ基板処理ステーション間のピッチＤに略等しくなり得る（図１Ａを参照）。他の態様では、本明細書に記載されるように、自動ウエハセンタリングは、ピッチＤの変動に適応するために、および／または基板処理ステーション１９０～１９７にウエハを配置するための自動ウエハセンタリングをもたらすために、ベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１－２０４Ｈ１、２０３Ｈ２－２０４Ｈ２間の距離は、増加または減少され得る）ことによってもたらされる。たとえば、基板ホルダ２０３、２０４の１つまたは複数は、それぞれのオフセット距離ＳＤを増加または減少させ（またはそうでなければ変化させ）、本明細書に記載されるようにベースピッチＢＰの対応する変化を引き起こすように、リスト軸ＷＸを中心に独立して回転させられ得る。一態様では、駆動セクション２２０は、本明細書に記載されるように、基板ホルダ２０３、２０４の各々の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を、基板ホルダ２０３、２０４の別の基板ホルダの（１つまたは複数の）対応する基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２に対して独立して整列させるように構成されている。
デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４は、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が共通の平面４９９内に配置されるように、任意の適切な方法で構成されている（図２Ｄおよび図４を参照）。たとえば、オフセット取り付け突起２１０、２１１は各々、それぞれのフレーム２０３Ｆ、２０４Ｆと略同一平面上にある第１の部分２３０、２３１を含み得る。オフセット取り付け突起２１０、２１１は各々、それぞれのフレーム２０３Ｆ、２０４Ｆによって画定される平面の外側に伸長するようにオフセットされている第２の部分２３２、２３３を含み得る。第２の部分２３２、２３３のオフセットは、第２の部分が上下に積み重ねられ（図２Ｄを参照）、リスト軸ＷＸを中心にフォアアーム２０２に回転可能に連結されたときに、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が共通の平面４９９内に配置されるようなものである。
デュアル基板ホルダ２０３、２０４は、アーム１３１の半径方向の伸長および収縮が、実質的に共通のレベル（図１Ｂおよび図１Ｃの１つまたは複数のウエハ／基板静止面ＷＲＰを参照）で互いに対して並置されている、搬送チャンバ壁１２５Ｗ（図１Ａ）におけるそれぞれの別個の開口部（スロットバルブＳＶを参照）を通る各基板ホルダ２０３、２０４の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２の略同時の伸長および収縮をもたらすように配置されている。他の態様では、基板ホルダ２０３、２０４は、異なる平面に積み重ねられている搬送チャンバ壁における開口部を通って伸長し得る。
ここで図２Ａ～図３Ａを参照すると、例示的な駆動セクション２２０が本開示の態様に従って示されている。一態様では、駆動セクション２２０は、半径方向の伸長でアーム１３１を伸長させる（および収縮させる）ように構成されており、ここで、（半径方向軸からオフセットされている）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が、並んだ基板処理ステーションから基板Ｓをピッキングして配置するように、リスト軸ＷＸの運動が、ショルダ軸ＳＸ（図７Ｂ）を通って伸長する半径方向の伸長／収縮７００の軸または経路に沿って維持される。別の態様では、駆動セクション２２０は、非半径方向の伸長でアーム１３１を伸長させる（および収縮させる）ように構成されており、ここで、リストの運動は、半径方向の伸長／収縮７００の軸からオフセットおよび／または角度を付けられている経路７０１（図７Ｆ）に沿って移動する（すなわち、経路７０１は、ショルダ軸ＳＸを通過しないか、またはそこから半径方向に伸びず、図７Ｃは、リスト軸ＷＸがショルダ軸ＳＸを通過するか、またはそこから半径方向に伸びる運動の経路に沿って移動する、伸長７０２の半径方向の経路を例示していることが留意される）。さらに他の態様では、駆動セクション２２０は、半径方向の経路と非半径方向の経路の両方に沿ってアームを伸長させるように構成されている（図７Ａ～図７Ｌを参照）。
一態様では、駆動セクションは同軸駆動配置を有し得るが、他の態様では、限定されないが、並んだモータ、ハーモニック駆動装置、スイッチドまたは可変リラクタンスモータなどを含む、任意の適切な駆動配置を有し得る。駆動セクションの配置の適切な例は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第６，４８５，２５０号明細書、第５，７２０，５９０号明細書、第５，８９９，６５８号明細書、第５，８１３，８２３号明細書、第８，２８３，８１３号明細書、第８，９１８，２０３号明細書、および第９，１８６，７９９号明細書に記載されている。本態様では、駆動セクション２２０は、４つの駆動シャフト３０１～３０４および４つのモータ３４２、３４４、３４６、３４８（たとえば４自由度のモータ）を有する四軸駆動シャフトアセンブリ３００（図４も参照）を少なくとも部分的に収容するためのハウジング３１０を含む。本開示の他の態様では、駆動セクション２２０は、たとえば、２つまたは３つの同軸モータまたは４つを超える同軸モータおよび関連する駆動シャフトなどの、任意の適切な数の駆動シャフトおよびモータを有し得る。駆動セクション２２０はまた、たとえば、基板Ｓをピッキングおよび配置するためにアーム１３１を上下させるように構成されたＺ軸駆動部３１２を含み得るが、他の態様では、アーム１３１が配置されている移送チャンバに連結された基板処理ステーションは、駆動セクション２２０のＺ駆動軸３１２の代わりに、またはそれに加えて、アーム１３１から、およびアーム１３１へ基板を上下させるためのＺ軸駆動部を含み得る。
一態様では、駆動セクション２２０は、少なくとも１つの基板ホルダ２０３、２０４のための他の基板ホルダ２０３、２０４に対する独立した自由度を画定する多軸駆動セクションであるが、他の態様では、複数の基板ホルダの少なくとも１つの基板ホルダのための独立した自由度が存在し、さらに他の態様では、各基板ホルダのための独立した自由度も存在する。各基板ホルダ２０３、２０４のための独立した自由度は、デュアル基板ホルダ２０３、２０４の各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０３４Ｈ１、２０４Ｈ２での独立した自動ウエハセンタリングを可能にする。一態様では、駆動セクション２２０は、搬送チャンバ壁１２５Ｗにおけるそれぞれの別個の開口部（スロットバルブＳＶを参照）を通る、デュアル基板ホルダ２０３、２０４の各々の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０３４Ｈ１、２０４Ｈ２の略同時の伸長と略一致する、デュアル基板ホルダ２０３、２０４の各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０３４Ｈ１、２０４Ｈ２での独立した自動ウエハセンタリングをもたらすように構成された多軸駆動セクションである。
図３Ａを参照すると、駆動セクションは、少なくともモータ３４２、３４４、３４６、３４８を含む。駆動セクション２２０の第１のモータ３４２は、ステータ３４２Ｓおよび外側シャフト３０４に接続されたロータ３４２Ｒを含む。第２のモータ３４４は、ステータ３４４Ｓおよびシャフト３０３に接続されたロータ３４４Ｒを含む。第３のモータ３４６は、ステータ３４６Ｓおよびシャフト３０２に接続されたロータ３４６Ｒを含む。第４のモータ３４８は、ステータ３４８Ｓおよび第４のシャフトまたは内側シャフト３０１に接続されたロータ３４８Ｒを含む。４つのステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓは、ハウジング内のさまざまな垂直高さまたは位置でハウジング３１０に固定して取り付けられている。各ステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓは、概して、電磁コイルを備える。ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒ、３４８Ｒの各々は、概して、永久磁石を備えるが、代替的に、永久磁石を有さない磁気誘導ロータを備えてもよい。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６、３４８は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第１０，３４８，１７２号明細書および第９，９４８，１５５号明細書、ならびに２０１４年１１月１３日に出願された「Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｆｅｅｄｂａｃｋ ｆｏｒ Ｓｅａｌｅｄ Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔｓ」と題された米国特許出願番号１４／５４０，０５８に記載されるものなどの、可変またはスイッチドリラクタンスモータであり得る。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６、３４８は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第９，６５６，３８６号明細書に記載されるものなどのハーモニック駆動装置であり得る。基板搬送装置１３０が、非限定的な例示目的のみで真空環境などの密閉環境で使用される場合、同軸駆動シャフトアセンブリ３００が密閉環境で配置され、ステータが密閉環境外で配置されるように、ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒ、３４１８Ｒとステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓとの間にスリーブ３６２が配置され得る。基板搬送装置１３０が、基板処理装置１００（図１）の大気セクション１０１内などの大気環境での使用のみを意図する場合、スリーブ３６２を提供する必要がないことが理解されるべきである。
第４のシャフトまたは内側シャフト３０１は、下部ステータまたは第４のステータ３４８Ｓから伸長し、ステータ３４８Ｓと実質的に整列させられているロータ３４８Ｒを含む。シャフト３０２は、第３のステータ３４６Ｓから伸長し、ステータ３４６Ｓと実質的に整列させられているロータ３４６Ｒを含む。シャフト３０３は、第２のステータ３４４Ｓから伸長し、ステータ３４４Ｓと実質的に整列させられているロータ３４４Ｒを含む。シャフト３０４は、上部ステータまたは第１のステータ３４２Ｓから伸長し、ステータ３４２Ｓと実質的に整列させられているロータ３４２Ｒを含む。シャフト３０１～３０４およびハウジング３１０の周りにさまざまなベアリング３５０～３５３が提供されることで、各シャフト３０１～３０４が互いにおよびハウジング３１０に対して独立して回転可能になる。各シャフトに位置センサ３７１～３７４が設けられ得ることが留意される。位置センサ３７１～３７４は、互いに対するおよび／またはハウジング３１０に対するそれぞれのシャフト３０１～３０４の回転位置に関して、コントローラ１７０などの任意の適切なコントローラに信号を提供するために使用され得る。センサ３７１～３７４は、非限定的な例示目的などで、光学センサまたは誘導センサなどの任意の適切なセンサであり得る。
図３Ａを参照すると、他の態様では、駆動セクション２２０に略類似した例示的な駆動セクション２２０Ａは、３つの駆動シャフト３０２～３０４および３つのモータ３４２、３４４、３４６（たとえば３自由度のモータ）を有する３重同軸駆動シャフトアセンブリ３００Ａを少なくとも部分的に収容するためのハウジング３１０を含む。駆動セクション２２０Ａはまた、たとえば、基板Ｓをピッキングおよび配置するために基板搬送装置１３０の（本明細書に記載されるものなどの）アームを上下させるように構成されたＺ軸駆動部３１２を含み得るが、他の態様では、アームが配置されている移送チャンバに連結された基板保持ステーションが、駆動セクション２２０のＺ駆動軸３１２の代わりに、またはそれに加えて、アームから、およびアームへ基板を上下させるためのＺ軸駆動部を含み得る。
駆動セクション２２０Ａの第１のモータ３４２は、ステータ３４２Ｓおよび外側シャフト３０４に接続されたロータ３４２Ｒを含む。第２のモータ３４４は、ステータ３４４Ｓおよびシャフト３０３に接続されたロータ３４４Ｒを含む。第３のモータ３４６は、ステータ３４６Ｓおよびシャフト３０２に接続されたロータ３４６Ｒを含む。３つのステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓは、ハウジング内のさまざまな垂直高さまたは位置でハウジング３１０に固定して取り付けられている。各ステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓは、概して、電磁コイルを備える。ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒの各々は、概して、永久磁石を備えるが、代替的に、永久磁石を有さない磁気誘導ロータを備えてもよい。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第１０，３４８，１７２号明細書および第９，９４８，１５５号明細書、ならびに２０１４年１１月１３日に出願された「Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｆｅｅｄｂａｃｋ ｆｏｒ Ｓｅａｌｅｄ Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔｓ」と題された米国特許出願番号１４／５４０，０５８に記載されるものなどの、可変またはスイッチドリラクタンスモータであり得る。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第９，６５６，３８６号明細書に記載されるものなどのハーモニック駆動装置であり得る。基板搬送装置１３０が、非限定的な例示目的のみで真空環境などの密閉環境で使用される場合、同軸駆動シャフトアセンブリ３００Ａが密閉環境で配置され、ステータが密閉環境外で配置されるように、ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒとステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓとの間にスリーブ３６２が配置され得る。基板搬送装置１３０が、基板処理装置１００（図１）の大気セクション１０１内などの大気環境での使用のみを意図する場合、スリーブ３６２を提供する必要がないことが理解されるべきである。
シャフト３０２は、第３のステータ３４６Ｓから伸長し、ステータ３４６Ｓと実質的に整列させられているロータ３４６Ｒを含む。シャフト３０３は、第２のステータ３４４Ｓから伸長し、ステータ３４４Ｓと実質的に整列させられているロータ３４４Ｒを含む。シャフト３０４は、上部ステータまたは第１のステータ３４２Ｓから伸長し、ステータ３４２Ｓと実質的に整列させられているロータ３４２Ｒを含む。シャフト３０２～３０４およびハウジング３１０の周りにさまざまなベアリング３５０～３５３が提供されることで、各シャフト３０２～３０４が互いにおよびハウジング３１０に対して独立して回転可能になる。各シャフトに位置センサ３７１～３７３が設けられ得ることが留意される。位置センサ３７１～３７３は、互いに対するおよび／またはハウジング３１０に対するそれぞれのシャフト３０２～３０４の回転位置に関して、コントローラ１７０などの任意の適切なコントローラに信号を提供するために使用され得る。センサ３７１～３７３は、非限定的な例示目的などで、光学センサまたは誘導センサなどの任意の適切なセンサであり得る。
図３Ｂを参照すると、他の態様では、駆動セクション２２０に略類似した例示的な駆動セクション２２０Ｂは、６つの駆動シャフト３０１～３０６および６つのモータ３４２、３４４、３４６、３４８、３４３、３４５（たとえば６自由度のモータ）を有する６重同軸駆動シャフトアセンブリ３００Ｂを少なくとも部分的に収容するためのハウジング３１０を含む。駆動セクション２２０Ｂはまた、たとえば、基板Ｓをピッキングおよび配置するための基板搬送装置１３０の（本明細書に記載されるものなどの）アームを上下させるように構成されたＺ軸駆動部３１２を含み得るが、他の態様では、アームが配置されている移送チャンバに連結された基板保持ステーションが、駆動セクション２２０のＺ駆動軸３１２の代わりに、またはそれに加えて、アームから、およびアームへ基板を上下させるためのＺ軸駆動部を含み得る。
駆動セクション２２０Ａの第１のモータ３４２は、ステータ３４２Ｓおよび外側シャフト３０４に接続されたロータ３４２Ｒを含む。第２のモータ３４４は、ステータ３４４Ｓおよびシャフト３０３に接続されたロータ３４４Ｒを含む。第３のモータ３４６は、ステータ３４６Ｓおよびシャフト３０２に接続されたロータ３４６Ｒを含む。第４のモータ３４８は、ステータ３４８Ｓおよびシャフト３０１に接続されたロータ３４８Ｒを含む。第５のモータ３４３は、ステータ３４３Ｓおよびシャフト３０５に接続されたロータ３４３Ｒを含む。第６のモータ３４５は、ステータ３４５Ｓおよびシャフト３０６に接続されたロータ３４５Ｒを含む。６つのステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓ、３４３Ｓ、３４５Ｓは、ハウジング内のさまざまな垂直高さまたは位置でハウジング３１０に固定して取り付けられている。各ステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓ、３４３Ｓ、３４５Ｓは、概して、電磁コイルを備える。ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒ、３４８Ｒ、３４３Ｒ、３４５Ｒの各々は、概して、永久磁石を備えるが、代替的に、永久磁石を有さない磁気誘導ロータを備えてもよい。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６、３４８、３４３、３４５は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第１０，３４８，１７２号明細書および第９，９４８，１５５号明細書、ならびに２０１４年１１月１３日に出願された「Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｆｅｅｄｂａｃｋ ｆｏｒ Ｓｅａｌｅｄ Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔｓ」と題された米国特許出願番号１４／５４０，０５８に記載されるものなどの、可変またはスイッチドリラクタンスモータであり得る。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６、３４８、３４３、３４５は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第９，６５６，３８６号明細書に記載されるものなどのハーモニック駆動装置であり得る。基板搬送装置１３０が、非限定的な例示目的のみで真空環境などの密閉環境で使用される場合、同軸駆動シャフトアセンブリ３００Ｂが密閉環境で配置され、ステータが密閉環境外で配置されるように、ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒ、３４８Ｒ、３４３Ｒ、３４５Ｒとステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓ、３４３Ｓ、３４５Ｓとの間にスリーブ３６２が配置され得る。基板搬送装置１３０が、基板処理装置１００（図１）の大気セクション１０１内などの大気環境での使用のみを意図する場合、スリーブ３６２を提供する必要がないことが理解されるべきである。
シャフト３０６は、第６のステータ３４５Ｓから伸長し、ステータ３４５Ｓと実質的に整列させられているロータ３４５Ｒを含む。シャフト３０５は、第５のステータ３４３Ｓから伸長し、ステータ３４３Ｓと実質的に整列させられているロータ３４３Ｒを含む。シャフト３０２は、第３のステータ３４６Ｓから伸長し、ステータ３４６Ｓと実質的に整列させられているロータ３４６Ｒを含む。シャフト３０１は、第４のステータ３４８Ｓから伸長し、ステータ３４８Ｓと実質的に整列させられているロータ３４８Ｒを含む。シャフト３０３は、第２のステータ３４４Ｓから伸長し、ステータ３４４Ｓと実質的に整列させられているロータ３４４Ｒを含む。シャフト３０４は、上部ステータまたは第１のステータ３４２Ｓから伸長し、ステータ３４２Ｓと実質的に整列させられているロータ３４２Ｒを含む。シャフト３０１～３０６およびハウジング３１０の周りに（上記のものなどの）さまざまなベアリングが提供されることで、各シャフト３０１～３０６が互いにおよびハウジング３１０に対して独立して回転可能になる。各シャフトに位置センサ３７１～３７６が設けられ得ることが留意される。位置センサ３７１～３７６は、互いに対するおよび／またはハウジング３１０に対するそれぞれのシャフト３０１～３０６の回転位置に関して、コントローラ１７０などの任意の適切なコントローラに信号を提供するために使用され得る。センサ３７１～３７６は、非限定的な例示目的などで、光学センサまたは誘導センサなどの任意の適切なセンサであり得る。
図３Ｃを参照すると、他の態様では、駆動セクション２２０に略類似した例示的な駆動セクション２２０Ｃは、５つの駆動シャフト３０１～３０５および５つのモータ３４２、３４４、３４６、３４８、３４３（たとえば５自由度のモータ）を有する５重同軸駆動シャフトアセンブリ３００Ｃを少なくとも部分的に収容するためのハウジング３１０を含む。駆動セクション２２０Ｃはまた、たとえば、基板Ｓをピッキングおよび配置するための基板搬送装置１３０の（本明細書に記載されるものなどの）アームを上下させるように構成されたＺ軸駆動部３１２を含み得るが、他の態様では、アーム１３１が配置されている移送チャンバに連結された基板保持ステーションが、駆動セクション２２０のＺ駆動軸３１２の代わりに、またはそれに加えて、アームから、およびアームへ基板を上下させるためのＺ軸駆動部を含み得る。
駆動セクション２２０Ａの第１のモータ３４２は、ステータ３４２Ｓおよび外側シャフト３０４に接続されたロータ３４２Ｒを含む。第２のモータ３４４は、ステータ３４４Ｓおよびシャフト３０３に接続されたロータ３４４Ｒを含む。第３のモータ３４６は、ステータ３４６Ｓおよびシャフト３０２に接続されたロータ３４６Ｒを含む。第４のモータ３４８は、ステータ３４８Ｓおよびシャフト３０１に接続されたロータ３４８Ｒを含む。第５のモータ３４３は、ステータ３４３Ｓおよびシャフト３０５に接続されたロータ３４３Ｒを含む。５つのステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓ、３４３Ｓは、ハウジング内のさまざまな垂直高さまたは位置でハウジング３１０に固定して取り付けられている。各ステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓ、３４３Ｓは、概して、電磁コイルを備える。ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒ、３４８Ｒ、３４３Ｒの各々は、概して、永久磁石を備えるが、代替的に、永久磁石を有さない磁気誘導ロータを備えてもよい。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６、３４８、３４３は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第１０，３４８，１７２号明細書および第９，９４８，１５５号明細書、ならびに２０１４年１１月１３日に出願された「Ｐｏｓｉｔｉｏｎ Ｆｅｅｄｂａｃｋ ｆｏｒ Ｓｅａｌｅｄ Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔｓ」と題された米国特許出願番号１４／５４０，０５８に記載されるものなどの、可変またはスイッチドリラクタンスモータであり得る。さらに他の態様では、モータ３４２、３４４、３４６、３４８、３４３は、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、米国特許第９，６５６，３８６号明細書に記載されるものなどのハーモニック駆動装置であり得る。基板搬送装置１３０が、非限定的な例示目的のみで真空環境などの密閉環境で使用される場合、同軸駆動シャフトアセンブリ３００Ｃが密閉環境で配置され、ステータが密閉環境外で配置されるように、ロータ３４２Ｒ、３４４Ｒ、３４６Ｒ、３４８Ｒ、３４３Ｒとステータ３４２Ｓ、３４４Ｓ、３４６Ｓ、３４８Ｓ、３４３Ｓとの間にスリーブ３６２が配置され得る。基板搬送装置１３０が、基板処理装置１００（図１）の大気セクション１０１内などの大気環境での使用のみを意図する場合、スリーブ３６２を提供する必要がないことが理解されるべきである。
シャフト３０５は、第５のステータ３４３Ｓから伸長し、ステータ３４３Ｓと実質的に整列させられているロータ３４３Ｒを含む。シャフト３０２は、第３のステータ３４６Ｓから伸長し、ステータ３４６Ｓと実質的に整列させられているロータ３４６Ｒを含む。シャフト３０１は、第４のステータ３４８Ｓから伸長し、ステータ３４８Ｓと実質的に整列させられているロータ３４８Ｒを含む。シャフト３０３は、第２のステータ３４４Ｓから伸長し、ステータ３４４Ｓと実質的に整列させられているロータ３４４Ｒを含む。シャフト３０４は、上部ステータまたは第１のステータ３４２Ｓから伸長し、ステータ３４２Ｓと実質的に整列させられているロータ３４２Ｒを含む。シャフト３０１～３０５およびハウジング３１０の周りに（上記のものなどの）さまざまなベアリングが提供されることで、各シャフト３０１～３０５が互いにおよびハウジング３１０に対して独立して回転可能になる。各シャフトに位置センサ３７１～３７５が設けられ得ることが留意される。位置センサ３７１～３７５は、互いに対するおよび／またはハウジング３１０に対するそれぞれのシャフト３０１～３０６の回転位置に関して、コントローラ１７０などの任意の適切なコントローラに信号を提供するために使用され得る。センサ３７１～３７５は、非限定的な例示目的などで、光学センサまたは誘導センサなどの任意の適切なセンサであり得る。
本明細書に記載されるように、駆動セクション２２０、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃは、非半径方向の線形経路に沿って少なくとも１つのマルチリンクアーム１３１を伸長および収縮させ、各エンドエフェクタリンク（たとえば基板ホルダ）の少なくとも１つの対応する基板保持ステーションを、それぞれ、たとえば移送チャンバ１２５の側壁に沿って並置された（図１Ｂおよび図１Ｃに示されるものなどの）別個の基板搬送開口部に略同時に通過させ、少なくとも１つの対応する基板保持ステーションを複数のエンドエフェクタリンク（たとえば基板ホルダ）の別の基板保持ステーションに対して独立して整列させるように構成されている。
図２Ａ、３Ａ、および４を参照すると、上記のように、基板搬送装置１３０は、２つのデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４を有する少なくとも１つのアーム１３１を含む。本明細書に記載される基板搬送装置１３０の２つのデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４が、本明細書に記載される基板の略同時のピッキングおよび配置を可能にし得る（たとえば、２つのデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４が、基板を実質的にピッキングおよび／または配置するために、略同時に、並んだ基板処理ステーション１９０－１９１、１９２－１９３、１９４－１９５、１９６－１９７のそれぞれの基板処理ステーションまで伸長され、そこから収縮される）ことが留意される。
本開示の一態様では、アッパーアームリンク２０１は、外側シャフト３０４によってショルダ軸ＳＸを中心に回転して駆動され、フォアアームリンク２０２は、内側シャフト３０１によってエルボ軸ＥＸを中心に回転して駆動され、デュアル端部基板ホルダ２０３は、シャフト３０３によってリスト軸ＷＸを中心に回転して駆動され、デュアル端部基板ホルダ２０４は、シャフト３０２によってリスト軸ＷＸを中心に回転して駆動される。たとえば、アッパーアームリンク２０１は、回転の中心軸（たとえばショルダ軸ＳＸ）上でユニットとしてシャフト３０４により回転するように、外側シャフト３０４に固定して取り付けられている。
フォアアームリンク２０２は、任意の適切なトランスミッションによって内側シャフト３０１に連結される。たとえば、プーリ４８０がシャフト３０１に固定して取り付けられている。アッパーアームリンク２０１はポスト４８１を含む。プーリ４８２が、ポスト４８１に回転可能に取り付けられるか、またはそうでなければポスト４８１によって支持される。ポスト４８１は、アッパーアームリンク２０１の内面に固定して取り付けられている。第１のセットのトランスミッション部材４９０が、プーリ４８０とプーリ４８２との間で伸長する。プーリ４８０、４８２を連結するために、たとえば、ベルト、バンド、またはチェーンなど、任意の適切なタイプのトランスミッション部材が使用され得ることが理解されるべきである。プーリ４８０、４８２を連結する２つのトランスミッション部材が示されているが（図６Ａおよび６Ｂを参照）、他の態様では、プーリ４８０、４８２（たとえば、２つより多いかまたは少ない）を連結するために、任意の適切な数のトランスミッション部材が使用され得ることも理解されるべきである。シャフト４８２Ｓが、エルボ軸ＥＸを中心にプーリ４８２により回転するように、プーリ４８２に固定して連結されている。シャフト４８２Ｓは、任意の適切な方法でポスト４８１上で回転可能に支持され得る。フォアアームリンク２０２は、エルボ軸ＥＸを中心にユニットとしてシャフト４８２Ｓにより回転するように、シャフト４８２Ｓに固定して取り付けられている。
デュアル端部基板ホルダ２０３は、任意の適切なトランスミッションによってシャフト３０３に連結される。たとえば、プーリ４８８は、ショルダ軸ＳＸを中心にユニットとしてシャフト３０３により回転するように、シャフト３０３に固定して連結されている。プーリ４９１が、ポスト４８１に回転可能に連結されているか、またはそうでなければポスト４８１上で支持されている。（トランスミッション部材４９０に略類似した）第２のセットのトランスミッション部材４９２が、プーリ４８８とプーリ４９１との間で伸長する。シャフト４９１Ｓが、エルボ軸ＥＸを中心に１つのユニットとしてプーリ４９１により回転するように、プーリ４９１に固定して連結されている。シャフト４９１Ｓは、任意の適切な方法でポスト４８１上で回転可能に支持され得る。フォアアームリンク２０２はプーリ４７０を含み、プーリ４７０は、エルボ軸ＥＸを中心にユニットとしてシャフト４９１Ｓ（およびプーリ４９１）により回転するように、シャフト４９１Ｓの上端に固定して取り付けられている。フォアアームリンク２０２はまた、ポスト４７１と、ポスト４７１に回転可能に取り付けられた、またはそうでなければポスト４７１によって支持されたプーリ４７２とを含む。（トランスミッション部材４９０に略類似した）第３のセットのトランスミッション部材４９３が、プーリ４７０、４７２間で伸長し、それらを連結する。デュアル端部基板ホルダ２０３は、プーリ４７２およびデュアル端部基板ホルダ２０３がリスト軸ＷＸを中心に１つのユニットとして回転するように、シャフト４７２Ｓを介してプーリ４７２に固定して取り付けられている。
デュアル端部基板ホルダ２０４は、任意の適切なトランスミッションによってシャフト３０２に連結される。たとえば、プーリ４８４は、ショルダ軸ＳＸを中心にユニットとしてシャフト３０２により回転するように、シャフト３０２に固定して連結されている。プーリ４８６が、ポスト４８１に回転可能に連結されているか、またはそうでなければポスト４８１上で支持されている。（トランスミッション部材４９０に略類似した）第４のセットのトランスミッション部材４９４が、プーリ４８４とプーリ４８６との間で伸長する。シャフト４８６Ｓが、エルボ軸ＥＸを中心に１つのユニットとしてプーリ４８６により回転するように、プーリ４８６に固定して連結されている。シャフト４８６Ｓは、任意の適切な方法でポスト４８１上で回転可能に支持され得る。フォアアームリンク２０２はプーリ４７４を含み、プーリ４７４は、エルボ軸ＥＸを中心にユニットとしてシャフト４８６Ｓ（およびプーリ４８６）により回転するように、シャフト４８６Ｓの上端に固定して取り付けられている。フォアアームリンク２０２はまた、ポスト４７１に回転可能に取り付けられた、またはポスト４７１によって支持されたプーリ４７６を含む。（トランスミッション部材４９０に略類似した）第５のセットのトランスミッション部材４９５が、プーリ４７４、４７６間で伸長し、それらを連結する。デュアル端部基板ホルダ２０４は、プーリ４７６およびデュアル端部基板ホルダ２０４がリスト軸ＷＸを中心に１つのユニットとして回転するように、シャフト４７６Ｓを介してプーリ４７６に固定して取り付けられている。
図２Ａ～２Ｃ、３Ａ、および４を参照すると、理解され得るように、アッパーアームリンク２０１、フォアアームリンク２０２、デュアル端部基板ホルダ２０３、およびデュアル端部基板ホルダ２０４の各々は、それぞれの駆動モータ３４２、３４４、３４６、３４８によって、それぞれの軸（たとえば、ショルダ軸ＳＸ、エルボ軸ＡＸ、およびリスト軸ＷＸ）を中心にした回転で独立して駆動される。リスト軸ＷＸを中心にした各デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の独立した回転によって、デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４によるそれぞれの並置された基板処理ステーションの開口部（図１Ｂ、１Ｃを参照）を通る基板の搬送と略一致した、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ２の各々における基板Ｓの各々での独立した自動ウエハセンタリングが提供される。本明細書に記載される自動ウエハセンタリングは、開示全体が引用により本明細書に組み込まれる、２０１９年１月２５日に出願された「Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国特許出願番号１６／２５７，５９５、２０１８年１１月２０日に発行された「Ｏｎ Ｔｈｅ Ｆｌｙ Ａｕｔｏｍａｔｉｃ Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ Ｍｅｔｈｏｄ ａｎｄ Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題された米国特許第１０，１３４，６２３号明細書、２０１６年１２月６日に発行された「Ｐｒｏｃｅｓｓ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｏｎ－Ｔｈｅ－Ｆｌｙ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ Ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ」と題された米国特許第９，５１４，９７４号明細書、２０１０年９月７日に発行された「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ」と題された米国特許第７，７９２，３５０号明細書、２０１５年１月１３日に発行された「Ｗａｆｅｒ Ｃｅｎｔｅｒ Ｆｉｎｄｉｎｇ ｗｉｔｈ Ｋａｌｍａｎ Ｆｉｌｔｅｒ」と題された米国特許第８，９３４，７０６号明細書、および２０１１年４月１２日に発行された「Ｐｒｏｃｅｓｓ Ａｐｐａｒａｔｕｓ ｗｉｔｈ Ｏｎ－Ｔｈｅ－Ｆｌｙ Ｗｏｒｋｐｉｅｃｅ Ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ」と題された米国特許第７，９２５，３７８号明細書に記載される方法に類似した方法で、搬送チャンバ１２５、１２５Ａ内／上、スロットバルブＳＶ上、搬送アーム１３１上などに配置された任意の適切なセンサを用いて実施され得る。これに応じて、自動ウエハセンタリングは、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１間、および並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２間でベースピッチＢＰを変化させることによってもたらされる。たとえば、シャフト３０２、３０３を反対方向に回転させることによって、デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４は、リスト軸ＷＸを中心に反対方向に回転させられる。たとえば、シャフト３０２、３０３は、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１間の任意の適切な増加したピッチＷＰ（および基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２間の任意の適切な対応する減少したピッチＮＰ）をもたらすように、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１間の距離（図２Ｂ）を増加させるために反対方向に駆動され得る。たとえば、シャフト３０２、３０３は、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１間の任意の適切な減少したピッチＮＰ（および基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２間の任意の適切な対応する増加したピッチＷＰ）をもたらすように、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１間の距離（図２Ｃ）を減少させるために反対方向に駆動され得る。略同じ回転速度での同じ方向のシャフト３０２、３０３の回転によって、デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４がリスト軸ＷＸを中心にユニットとして回転して、基板Ｓの高速スワッピングがもたらされる。このように、トランスミッション４９０、４９２、４９３、４９４、４９５は、デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４が、少なくとも１８０°（度）回転する量だけリスト軸ＷＸを中心にユニットとして回転するように構成されている。再び、基板ホルダ面の各平面４９９、４９９Ａ（図２Ｄ、１０、および１１を参照）（本明細書に記載されるように、およびデュアル側部基板ホルダの（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が１つまたは複数の平面を形成するかどうか）は、搬送開口面の所与のＺ位置での移送のための共通の搬送チャンバ内の搬送開口部の少なくとも１つの平面（図１Ｂおよび１Ｃを参照）に対応し、それに整列させられ、それによって、各平面上の各々のそれぞれの開口部を通る基板の移送は、実質的にＺ軸運動なしで、各デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２によりもたらされ、すなわち、基板ホルダ２０３、２０４の一端における（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を用いた（各平面に対する）基板処理ステーションへの伸長、基板処理ステーションでの（１つまたは複数の）基板のピッキングおよび／または配置、基板処理ステーションからの収縮、およびデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の同じまたは異なる端部における同じまたは異なるデュアル基板を伴なう互いに異なる基板処理ステーションへの伸長は、（介在するＺ軸運動とは独立して、または基板の移送間の介在するＺ軸運動から切り離されて）Ｚ軸運動とは実質的に独立した基板の高速スワッピングをもたらす。
トランスミッション部材４９０、４９２、４９３、４９４、４９５およびプーリ４８０、４８４、４８８、４７０、４７４、４８２、４８６、４９１、４７２、４７６は、本明細書に記載されるそれぞれのプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅを形成する。本明細書に記載されるように、プーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅの１つまたは複数は、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃに係合され、駆動セクション２２０によって動力を供給されて、１つまたは複数のプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅが、少なくとも１つのアームリンク２０１、２０２またはエンドエフェクタ２０３、２０４の関節運動をもたらすように配置される。プーリ４８０、４８４、４８８、４７０、４７４が「駆動」プーリと呼ばれ得る一方で、プーリ４８２、４８６、４９１、４７２、４７６が「従動」または「アイドラ」プーリと呼ばれ得ることが留意される。図５Ｄ、６Ａ、および６Ｊを参照すると、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の少なくとも１つは、プーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのうちの少なくとも１つの少なくとも１つのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４７０、４７４、４８２、４８６、４９１、４７２、４７６を収容する。一例として、プーリの１つまたは複数（プーリ４８８、４８４、４８０、４８６、４８２、４７０、４７４、４７２など）は、たとえば、クロスローラベアリング６００（テーブルベアリングとも呼ばれ、たとえば、端部連結部は、プーリホイールの位置および位置合わせが本明細書に記載されるようにクロスローラベアリングとの係合に従属する、およびクロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、クロスローラベアリングを取り付けられたプーリシステムのプーリホイールを収容する）によって、または任意の他の適切な方法で、それぞれの端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４に連結される。一態様では、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４は、ベアリングシート５６６（図５Ｄおよび６Ａを参照）を含み、ベアリングシート５６６に、クロスローラベアリング６００のアウターレース６０１（またはベアリングシートの構成に応じてインナーレース）が連結されている。たとえば、アウターレース６０１は、任意の適切な留め具またはリテーナ特徴部６６３でベアリングシート５６６に連結され得、アウターレース６０１およびベアリングシート５６６の両方に伸長する任意の適切な位置決めピン６６４でアームに対して配置され得る。他の態様では、アウターレース６０１は、任意の適切な方法でベアリングシート５６６に連結されてもよい。プーリ（明確にするために省略された他のプーリと共に図６Ａに例示されるプーリ４７４など）は、任意の適切な留め具６６８および任意の適切な位置決めピン６６９を使用して、インナーレース６０２（またはベアリングシートの構成に応じてアウターレース）に連結され得る。他の態様では、インナーレース６０２は、任意の適切な方法でプーリ４７４に連結されてもよい。シャフト４８６Ｓなどのシャフトは、シャフト１８６Ｓおよびプーリ４７４がそれぞれの回転軸（ＥＸ軸など）を中心にユニットとして回転するように、摩擦嵌合、クランプなどによって任意の適切な方法で、または任意の他の適切な方法でプーリに連結され得る。
クロスローラベアリング６００は、組合せ（すなわち対になった）ベアリングおよび半導体搬送アームで概して利用される他のタイプのベアリングに勝るいくつかの利点を提供する。たとえば、クロスローラベアリング６００は、（同じサイズのシャフトおよび負荷要件に対して組合せベアリングまたは他の概して利用されるベアリングの高さ／厚さと比較した）高さ／厚さ６６５の減少によって、所与のベアリング直径に対するアームリンク高さＡＨがより低くなることが可能になるように、より薄い形状因子を有する。クロスローラベアリングをアームリンクおよびプーリに連結するためにベアリングクランプ（組合せベアリングまたは他の概して利用されるベアリングと共に使用されるものなど）が必要とされないため、クロスローラベアリング６００によって基板搬送装置１３０の部品数、コスト、および複雑さも低減され得る。加えて、クロスローラベアリング６００をアームリンクおよびプーリに連結するために留め具が使用されるため、ベアリングの設置は、（典型的に焼き嵌め／締り嵌めによって設置される）組合せベアリングまたは他の概して利用されるベアリングの取り付けと比較してより容易になる。クロスローラベアリング６００は、搬送アームの剛性を高め得、（たとえば、摩擦嵌めが機械加工公差および動作温度の１つまたは複数によって影響を受け得る、摩擦嵌めの組合せベアリングまたは他の概して利用されるベアリングと比較して）アームリンクの機械加工公差および動作温度にそれほど依存していない。
モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃが、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４の少なくとも１つに収容されたプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのうちの少なくとも１つの（上記のような）クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応した、選択された所定のアーム長ＯＡＬ、ＯＡＬｎに対するコンパクトな高さＡＨ（図５Ｃおよび５Ｅ）を有する薄型ケーシングであることが留意される。コンパクトな高さＡＨは、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い。たとえば、図４Ａを簡単に参照すると、アームリンク２０１は、コンパクトな高さＡＨおよび長さＯＡＬを有する。本例では、アームリンク２０１は３つのプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｃを含み、ここで、各プーリシステムは、（本明細書に記載されるような）対向するケーブルセグメントおよび一対のプーリを含む。各プーリシステムが従来の組合せベアリングを含む、同じ長さＯＡＬおよび同じ数のプーリシステムを有するアームリンクと比較すると、本明細書に記載されるケーブル／プーリトランスミッションおよびクロスローラベアリングの３つを含むアームリンク２０１の高さＡＨは、バンド／プーリトランスミッションおよび従来の組合せベアリングの３つを含むアームリンクの高さよりも低い。
また図４および４Ａを参照すると、クロスローラベアリング６００によって、プーリ４８６およびそれぞれのシャフト４８６Ｓが、それぞれのクロスローラベアリング６００Ａの共通のフランジに取り付けられる。図４Ａに見られるように、プーリ４８６およびシャフト４８６Ｓの両方は、任意の適切な方法でねじまたはボルトなどの任意の適切な留め具４６１によって、クロスローラベアリング６００Ａの同じフランジ（たとえば、インナーレース６０２のフランジ）に取り付けられる。たとえば、留め具４６１は、プーリ４８６およびシャフト４８６Ｓのフランジの両方を通って伸長して、プーリ４８６およびシャフト４８６Ｓの両方をクロスローラベアリング６００Ａに連結し得るが、他の態様では、プーリ４８６およびシャフト４８６Ｓは、それぞれの留め具４６１によってクロスローラベアリング６００Ａに連結されてもよく、ここで、図４Ｂに関して本明細書に記載される方法に類似した方法でプーリ４８６およびシャフト４８６Ｓをクロスローラベアリング６００Ａに連結するために、クロスローラベアリング６００Ａのインナーレース６０２の交互のねじ孔が使用される。
図４Ａにも見られるように、また図４Ｂを参照すると、アーム関節の積み重ね高さが低くされ得、ここで、それぞれの駆動シャフトのプーリおよびフランジは一緒にインターロック／インターリーブされて、それぞれのクロスローラベアリングへのプーリおよびそれぞれのシャフトの連結を促進する。たとえば、クロスローラベアリング６００Ｂのアウターレース６０１は、クロスローラベアリング６００Ｂがポスト４８１の下に懸架されるように、ポスト４８１に連結され得る（しかし、他の態様では、ポスト４８１は任意の適切な構成を有し得、クロスローラベアリングはポストに着座させられたり、ポストから懸架されたりしてもよい）。本例では、プーリ４９１およびシャフト４９１Ｓの両方は、クロスローラベアリング６００Ｂのインナーレース６０２に連結されている。プーリ４９１はハブ４９１Ｈを含み、シャフト４９１Ｓはフランジ４９１ＳＦを含み、ここで、ハブ４９１Ｈおよびフランジ４９１ＳＦは、クロスローラベアリング６００Ｂに連結されたときに同一平面上にある（同じ平面内にあり、上下に積み重ねられない（図４Ａおよび４Ｂを参照））ように相補形状（complimentary shapes）を有する。たとえば、ハブ４９１Ｈは、留め具４６１が、ハブ４９１Ｈを通って伸長し、クロスローラベアリング６００Ｂのインナーレース６０２のひとつおきの留め具用の孔と係合するように成形および寸法決めされている中央開口４９１ＨＡを含む。フランジ４９１ＳＦは、中央開口４９１ＨＡの境界を補完し、境界内に適合する（たとえば、フランジ４９１ＳＦは、ハブ４９１Ｈとインターロックする／インターリーブされる）ように、および留め具４６１が、フランジ４９１ＳＦを通って伸長し、クロスローラベアリング６００Ｂのインナーレース６０２の（プーリ４９１をインナーレース６０２に連結するためには使用されない）ひとつおきの留め具用の孔と係合する（たとえば、プーリ４９１およびシャフト４９１Ｓは交互にクロスローラベアリング６００Ｂに連結される）ように成形および寸法決めされる。
一態様では、クロスローラベアリング６００は、一体型または連結型のクロスローラプーリ６００ＰＢとして構成され得る。たとえば、また図６Ｉおよび６Ｊを参照すると、本明細書に記載されるプーリの１つまたは複数は、プーリおよびそれぞれのベアリングの積み重ねをさらに排除するように、クロスローラプーリ６００ＰＢに置き換えられ、少なくとも搬送アームリンクの高さをさらに低くし得る。本態様では、クロスローラプーリ６００ＰＢは、プーリ４７０、４７４、４８２、４８６、４９１、４７２、４７６（およびそれらのベアリング）の代わりに固定シャフト（たとえば、図４のシャフト４９１Ｓ、４７６Ｓのいずれか１つなど）に取り付けられ、ここで、クロスローラプーリ６００ＰＢのアウターレース６０１の周囲縁部は、異なるプーリに関して本明細書に記載される方法に略類似した方法で、溝６３５、６３６およびケーブルアンカー６４３、６４４を含む。本態様では、別個のプーリおよびベアリングの対は排除され、クロスローラプーリ６００ＰＢに置き換えられ得、搬送アームの部品数を減らしてコストを削減する。
図４および図６Ａ～図６Ｊを参照すると、少なくとも部分的にフォアアームリンク２０２内に配置された第３および第５のセットのトランスミッション部材４９３、４９５が記載される。第３および第５のセットのトランスミッション部材４９３、４９５が、本明細書に記載される他のトランスミッション部材４９０、４９２、４９４に略類似し得ることが留意される。
アイドラプーリ４７２は、アイドラプーリ４７２の表面がそれぞれのデュアル端部基板ホルダ２０３に対して着座するエンドエフェクタインターフェースを有するか、または他の態様では、エンドエフェクタインターフェースは上記のようにシャフト４７２Ｓによって形成される。アイドラプーリ４７２は、それぞれのセグメント化されたトランスミッションループ６６１（すなわち、第３のセットのトランスミッション部材４９３）によって、それぞれのエルボ駆動プーリ４７０に連結される。セグメント化されたトランスミッションループ６６１は、別個のケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂ、またはアイドラプーリ４７２とアイドラプーリ４７２の回転をもたらすエルボ駆動プーリ４７０の両方に連結されたバンドセグメントなどの任意の他の適切なトランスミッションリンクを含む。
アイドラプーリ４７２は、セグメント化されたトランスミッションループ６６１のそれぞれのケーブル６６１Ａ、６６１Ｂとインターフェース接続するケーブルラップ溝６３５、６３６を形成する（なお、ケーブルがプーリの周りに巻き付けられると、本明細書に記載されるプーリ溝がそれぞれのケーブルの追跡／誘導をもたらす）周囲縁部６５０を含む。たとえば、周囲縁部６５０は上部ケーブルラップ溝６３５を形成し、その周りにケーブル６６１Ｂが巻かれる。周囲縁部６５０はまた下部ケーブルラップ溝６３６を形成し、その周りにケーブル６６１Ａが巻かれる。上部ケーブルラップ溝６３５および下部ケーブルラップ溝６３６は、ケーブル６６１Ａ、６６１Ｂが、互いに対して異なる平面に配置される（すなわち、一方のケーブルが他方のケーブルに巻き付かない）ように、アイドラプーリ４７２上で異なる高さに配置される。図６Ｄを参照すると、エルボ駆動プーリ４７０は、上記のアイドラプーリ４７２に略類似している。
任意の適切なケーブルアンカーポイント６４３、６４４（図６Ｂ～６Ｊ）が、別個のケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂのそれぞれをアイドラプーリ４７２に接合する。たとえば、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの各末端は、任意の適切な方法でケーブルセグメント端部に連結されている（または一体的に形成されている）リテーナ特徴部６６６（たとえば、ボール、シリンダなど）を含む。プーリ４７０、４７２は、それぞれの嵌合保持特徴部６６７（溝など）を含む。嵌合保持特徴部６６７の各々は、それぞれのプーリ４７０、４７２の上部ケーブルラップ溝６３５および下部ケーブルラップ溝６３６のそれぞれ１つと交差する。ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂのリテーナ特徴部６６６は、それぞれの嵌合保持特徴部６６７に挿入され、少なくとも部分的に上部ケーブルラップ溝６３５および下部ケーブルラップ溝６３６のそれぞれ１つ内でそれぞれのプーリ４７０、４７２の周りに巻き付けられ得る。他の態様では、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの末端は、任意の適切な方法でそれぞれのプーリ４７０、４７２に連結され得る。本明細書に記載されるケーブルセグメントは、他にバンドおよびプーリトランスミッションで達成されるよりも低いアームリンク高さＡＨ１、ＡＨ２をもたらす従来のバンドと比較して、より薄い（たとえば、高さがより低い）ことが留意される。
本態様において、また図６Ｇおよび６Ｈを参照すると、対向するケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの１つまたは複数は、任意の適切なインラインケーブルテンショナ６９１を含む。ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの各々がインラインケーブルテンショナ６９１を含むものとして例示されているが、他の態様では、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの１つのみがインラインケーブルテンショナ６９１を含んでよい。一態様では、図６Ｇに示されるように、インラインケーブルテンショナ６９１は、本体６９１Ｂおよびねじ付き部分６９１Ｔを含むターンバックルケーブルテンショナ６９１ＴＢＫ１である。バンドに張力をかけるために複数の対向するウェッジおよびねじを利用する従来のバンド張力装置と比較して、インラインケーブルテンショナ６９１によって、トランスミッションアームの部品数およびコストが削減され得ることが留意される。本体６９１Ｂは、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂのそれぞれの部分ＣＰ１に連結され得、それにより、本体６９１Ｂが回転させられると、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂが方向６９２に捻じれないように、本体６９１Ｂは、ケーブルの回転から独立してその長手方向軸を中心に方向６９２に回転する。ねじ付き部分６９１Ｔは、任意の適切な方法で、および一態様では、本体６９１Ｂに関して上記した方法に略類似した方法で、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂのそれぞれの部分ＣＰ２に連結され得る。ここで、本体６９１Ｂは、ねじ付き部分６９１Ｔが本体にねじ込まれたり、本体から緩められたりして、それぞれのケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの張力を調整するように、方向６９２に回転させられる。ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂ（ならびに本明細書に記載される他のケーブルセグメント）が、通常の（たとえば、設計された）負荷の下（ケーブルセグメントは搬送アームの通常の動作負荷下では引き伸ばされない）での搬送アームの動作中にケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂの引き伸ばしを実質的に排除するように、予め引き伸ばされている（たとえば、予め張力がかけられている）ことが留意される。
図６Ｈは、本開示の態様によるターンバックル式ケーブルテンショナ６９１ＴＢＫ２の別の例を例示している。本例では、各ケーブル部分ＣＰ１、ＣＰ２は、上記のものに略類似したねじ付き部分６９１Ｔ１、６９１Ｔ２を含む。ねじ付き部分６９１Ｔ１、６９１Ｔ２は、ターンバックル本体６９１Ｂ１と係合され、それにより、ターンバックル本体６９１Ｂ１が方向６９２に回転すると、ねじ付き部分６９１Ｔ１、６９１Ｔ２は、ケーブルセグメント６６１Ａにおける張力を増加または減少させるように互いに向かって、または互いから離れて移動する。
インラインケーブルテンショナ６９１は、ターンバックル式ケーブルテンショナとして上で説明されているが、（上述のように）他の態様では、インラインケーブルテンショナ６９１は、ケーブルに張力を加えるようにケーブル長を短縮させる任意の適切なケーブルテンショナであり得る。たとえば、一態様では、インラインケーブルテンショナ６９１は、図６Ｇおよび６Ｈに関して上記した方法に類似した方法で、それぞれのケーブルセグメントのケーブル部分ＣＰ１、ＣＰ２の各々に連結される弾性タイプのケーブルテンショナ６９１ＲＭ（図６Ｃおよび６Ｆ）であり得る。ここで、弾性タイプのケーブルテンショナ６９１ＲＭは、ケーブル部分ＣＰ１、ＣＰ２の各々を互いに連結させる弾性部材６９１ＢＲを含む。弾性部材６９１ＢＲは、本明細書に記載される基板搬送アームの動作中にケーブル６６１Ａ、６６１Ｂ、６６０Ａ、６６０Ｂにかけられる動作負荷よりも大きなばね力を有するばね、または他の適切な弾性部材であり得、それにより、弾性部材６９１ＢＲの弾性にもかかわらず、それぞれのケーブル６６１Ａ、６６１Ｂ、６６０Ａ、６６０Ｂの張力は定常状態（または一定）のままである。本態様では、弾性部材６９１ＢＲは、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂ、６６０Ａ、６６０Ｂをそれぞれのプーリに設置するために引き伸ばされ得、ここで、ケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂ、６６０Ａ、６６０Ｂがそれぞれのプーリに設置されると、弾性部材６９１ＢＲは、少なくとも部分的に弛緩して、対向するそれぞれのケーブルセグメント６６１Ａ、６６１Ｂ、６６０Ａ、６６０Ｂに対して所定の張力を自動的に設定する。
同様に、アイドラプーリ４７６は、アイドラプーリ４７６の表面がそれぞれのデュアル端部基板ホルダ２０４に対して着座するエンドエフェクタインターフェースを有するか、または他の態様では、エンドエフェクタインターフェースは上記のようにシャフト４７６Ｓによって形成される。アイドラプーリ４７６は、それぞれのセグメント化されたトランスミッションループ６６０（すなわち、第５のセットのトランスミッション部材４９５）によって、それぞれのエルボ駆動プーリ４７４に連結される。セグメント化されたトランスミッションループ６６０は、別個のケーブルセグメント６６０Ａ、６６０Ｂ、またはアイドラプーリ４７６とアイドラプーリ４７６の回転をもたらすエルボ駆動プーリ４７４の両方に連結されたバンドセグメントなどの任意の他の適切なトランスミッションリンクを含む。
アイドラプーリ４７６は、セグメント化されたトランスミッションループ６６０のそれぞれのケーブル６６０Ａ、６６０Ｂとインターフェース接続するケーブルラップ溝６３５、６３６を形成する周囲縁部６５０を含む。ケーブルアンカーポイント６４３、６４４（図６Ｃ）は、別個のケーブルセグメント６６０Ａ、６６０Ｂの各々をアイドラプーリ４７６に接合する。たとえば、周囲縁部６５０は上部ケーブルラップ溝６３５を形成し、その周りにケーブル６６０Ｂが巻かれる。周囲縁部６５０はまた下部ケーブルラップ溝６３６を形成し、その周りにケーブル６６０Ａが巻かれる。上部ケーブルラップ溝６３５および下部ケーブルラップ溝６３６は、ケーブル６６０Ａ、６６０Ｂが、互いに対して異なる平面に配置される（すなわち、一方のケーブルが他方のケーブルに巻き付かない）ように、アイドラプーリ４７６上で異なる高さに配置される。図６Ｄを参照すると、エルボ駆動プーリ４７４は、上記のアイドラプーリ４７６に略類似している。
一態様では、アイドラプーリ４７２、４７６、およびアイドラプーリ４７２、４７６がセグメント化されたトランスミッションループ６６０、６６１によって連結されているそれぞれのエルボ駆動プーリ４７０、４７４は、図７Ａ～７Ｌに示されるような基板の搬送のために、それぞれのデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の十分な回転を提供する任意の適切な駆動比を有する。たとえば、アイドラプーリ４７２、４７６とエルボプーリ４７０、４７４との間の比率は、１：２または任意の他の適切な比率であり得る。従来のバンドおよびプーリトランスミッションが、リスト関節ＷＸでエンドエフェクタの約＋／－１６０°の回転を提供することが留意される。ケーブルおよびプーリトランスミッションを利用する本開示の態様は、リスト関節ＷＸでのエンドエフェクタの、またはそれぞれの軸ＳＸ、ＥＸ、ＷＸを中心にしたプーリ（本明細書に記載されるものなど）の±１６０°を超える回転を提供する。
たとえば、一態様では、プーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのそれぞれのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６の、プーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６に対するプーリトランスミッション４９０、４９２、４９３、４９４、４９５の係合が、それぞれのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６上のプーリトランスミッション４９０、４９２、４９３、４９４、４９５の巻き付き位置と巻き付き解除位置との間のそれぞれのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６の少なくとも３６０°の回転を介したプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのそれぞれのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６の回転を決定するように配置されている。たとえば、図４を参照すると、プーリシステム６５５Ｅのプーリトランスミッション４９３は、（プーリ４７０の回転によって駆動された）プーリ４７２が、プーリ４７２上のプーリトランスミッション４９３の巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の少なくとも３６０°の回転を介して回転するように、プーリ４７０、４７２の周りに巻き付けられ得る。プーリシステム６５５Ｄのプーリトランスミッション４９５はまた、（プーリ４７４の回転によって駆動された）プーリ４７６が、プーリ４７６上のプーリトランスミッション４９５の巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の少なくとも３６０°の回転を介して回転するように、プーリ４７４、４７６の周りに巻き付けられ得る。いくつかの態様では、他のプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｃは、従動プーリが少なくとも３６０°回転するように同様に構成され得る。
一態様では、プーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのそれぞれのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６の、プーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６に対するプーリトランスミッション４９０、４９２、４９３、４９４、４９５の係合が、それぞれのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６上のプーリトランスミッション４９０、４９２、４９３、４９４、４９５の巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の少なくとも１つの可動アームリンク２０１、２０２に対するエンドエフェクタ２０３、２０４の少なくとも３６０°の回転を介したそれぞれのエンドエフェクタ２０３、２０４の回転を決定するように配置されている。たとえば、図４を参照すると、プーリシステム６５５Ｅのプーリトランスミッション４９３は、（プーリ４７２の回転によって駆動された）エンドエフェクタ２０３が、プーリ４７２上のプーリトランスミッション４９３の巻き付き位置と巻き付き解除位置との間のアームリンク２０１、２０２に対する少なくとも３６０°の回転を介して回転するように、プーリ４７０、４７２の周りに巻き付けられ得る。プーリシステム６５５Ｄのプーリトランスミッション４９５は、（プーリ４７６の回転によって駆動された）エンドエフェクタ２０４が、プーリ４７６上のプーリトランスミッション４９５の巻き付き位置と巻き付き解除位置との間のアームリンク２０１、２０２に対する少なくとも３６０°の回転を介して回転するように、プーリ４７４、４７６の周りに巻き付けられ得る。
一態様では、また図６Ｅおよび６Ｆを参照すると、例示的なケーブルおよびプーリトランスミッションが例示されている。ケーブルおよびプーリトランスミッションは、本明細書に記載されるものに略類似し得る。本態様では、溝６３５、６３６の各々は、ケーブルがそれら自体にまたは互いに重ならずに螺旋状の経路に沿ってそれぞれのプーリ４７０、４７２の周りのそれぞれのケーブル６６１Ａ、６６１Ｂの巻き付けを誘導するように構成されている螺旋を形成するように、それぞれのプーリ４７０、４７２の外周面に形成され得る。それぞれのプーリ４７０、４７２の周りのケーブル６６１Ａ、６６１Ｂのこの螺旋状の巻き付きによって、ケーブルは、リスト関節ＷＸでのエンドエフェクタの、またはそれぞれの軸ＳＸ、ＥＸ、ＷＸを中心にしたプーリホイールの±１６０°を超える、または少なくとも３６０°の回転を提供するように、それぞれのプーリ４７０、４７２の各々の周りを１回転を超えて（たとえば、任意の適切な回転数（図６Ｆを参照））巻くことが可能になる。
図６Ｅおよび６Ｆのプーリ４７０、４７２は、実質的に１：１の駆動比を有するものとして例示されているが、他の態様では、プーリは、リスト軸を中心にしたエンドエフェクタの回転量を（単独で、または螺旋状に巻き付けられたケーブルと組み合わせて）増加させるように、２：１または３：１の駆動比などの任意の適切な駆動比を有し得る。ケーブルおよびプーリトランスミッションに関して本明細書に記載されるプーリ対プーリの駆動比が、バンドおよびプーリトランスミッションで使用されるプーリと比較して、より小さい直径のプーリでもたらされ得ることが留意される。たとえば、本明細書に記載されるケーブルは、概して、バンドよりも柔軟であり、バンドと比較したときに、より小さな曲げ半径を提供し得る。ケーブルの曲げ半径がより小さいと、プーリの直径は、バンド式トランスミッションの場合よりも、本明細書に記載されるケーブル式トランスミッションでより小さくなる。
第１のセットのトランスミッション部材４９０、第２のセットのトランスミッション部材４９２、第４のセットのトランスミッション部材４９４、ショルダ駆動プーリ４８０、４８４、４８８、およびエルボアイドラプーリ４８２、４８６、４９１は、アイドラプーリ４７２、４７６、駆動プーリ４７０、４７４、およびセグメント化されたトランスミッションループ６６０、６６１に関して上で説明したものに略類似している（図６Ｃおよび６Ｄを参照）。上述したように、第１のセットのトランスミッション部材４９０、第２のセットのトランスミッション部材４９２、第４のセットのトランスミッション部材４９４のためのケーブルアンカーポイントは、ケーブルアンカーポイント６４３に関して上で説明したものに略類似している。
本明細書で述べたように、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃは、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、それぞれのプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのそれぞれのプーリホイールを接続する、左右対称に可撓性のプーリトランスミッション（トランスミッション部材４９０、４９２、４９３、４９４、４９５などの）に相応する、選択された所定のアーム長ＯＡＬ、ＯＡＬｎに対するコンパクトな高さＡＨ（図５Ｃおよび５Ｅ）を有する薄型ケーシングである。たとえば、ケーブルセグメント（図６Ａおよび６Ｂに例示されるケーブルセグメント６６０Ａ、６６０Ｂなど）は、略円形の断面を有するが、任意の他の適切な左右対称の断面を有し得る。コンパクトな高さＡＨは、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い。たとえば、図４Ａを簡単に参照すると、アームリンク２０１は、コンパクトな高さＡＨおよび長さＯＡＬを有する。本例では、アームリンク２０１は３つのプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｃを含み、ここで、各プーリシステムは、（本明細書に記載されるような）対向するケーブルセグメントおよび一対のプーリを含む。各プーリシステムが対向するバンドセグメントおよび一対のプーリを含む同じ長さＯＡＬおよび同じ数のプーリシステムを有するアームリンクと比較すると、本明細書に記載されるケーブル／プーリトランスミッションの３つを含むアームリンク２０１の高さＡＨは、バンド／プーリトランスミッションの３つを含むアームリンクの高さよりも低い。
基板搬送装置１３０は、デュアルパン基板ホルダ２０３、２０４とともに上記で説明されたが、他の態様では、基板ホルダは任意の適切な構成を有し得る。たとえば、図８、９、および１０を参照すると、複数のエンドエフェクタリンク（たとえば基板ホルダ）の各々は、それに従属した、複数の並置された（たとえば並んだ）基板保持ステーションの、複数の対応する基板保持ステーションを有し、それぞれ、それぞれのエンドエフェクタリンク（たとえば基板ホルダ）に従属した複数の対応する基板保持ステーション間で実質的に剛性の非関節リンクである。たとえば、基板搬送装置１３０は、上記のものに略類似したデュアルパン基板ホルダ２０３Ａ、２０４Ａを含むが、本態様では、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１は、（ベースピッチＢＰによって分離される）共通の平面に並べて配置され、一方で、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２は、異なる平面に配置され、互いに積み重ねられている（積み重ねられた基板処理ステーション１５０の積み重ねられた保持ステーション、積み重ねられた真空ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ、１０２Ｃ、１０２Ｄ、または任意の他の適切な積み重ねられた基板保持位置間の距離に対応し得る任意の適切な高さＨ１０によって分離される（図１Ｃを参照））。ここで、基板処理ステーションへの搬送チャンバの開口部は、異なる平面／レベルにあり得（図１Ｃを参照）、ここで、各平面は、デュアル／二重端部基板ホルダ２０３、２０４の両方の並置された基板保持ステーション２０３Ｈ１－２０４Ｈ１、２０３Ｈ２－２０４Ｈ２の平面／レベルに対応している。さらに他の態様では、図１１に示されるように、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１は、（ベースピッチＢＰによって分離される）共通の平面に並べて配置され、一方で、基板ホルダ２０３Ａ、２０４Ａの１つのみがデュアルパン基板ホルダとして構成されている（本例では、基板ホルダ２０３Ａはデュアル基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２を含み、一方で、基板ホルダ２０４Ａは単一の基板保持ステーション２０４Ｈ１を含む）。再び、基板ホルダ面の各平面４９９、４９９Ａ（図２Ｄ、１０、および１１を参照）（本明細書に記載されるように、およびデュアル側部基板ホルダの（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が１つまたは複数の平面を形成するかどうか）は、搬送開口面の所与のＺ位置での移送のための共通の搬送チャンバ内の搬送開口部の少なくとも１つの平面（図１Ｂおよび１Ｃを参照）に対応し、それに整列させられ、それによって、各平面上の各々のそれぞれの開口部を通る基板の移送は、実質的にＺ軸運動なしで、各デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２によりもたらされ、すなわち、基板ホルダ２０３、２０４の一端における（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を用いた（各平面に対する）基板処理ステーションへの伸長、基板処理ステーションでの（１つまたは複数の）基板のピッキングおよび／または配置、基板処理ステーションからの収縮、およびデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の同じまたは異なる端部における同じまたは異なるデュアル基板を伴なう互いに異なる基板処理ステーションへの伸長は、（介在するＺ軸運動とは独立して、または基板の移送間の介在するＺ軸運動から切り離されて）Ｚ軸運動とは実質的に独立した基板の高速スワッピングをもたらす。図８、９、および１０に例示される本開示の態様などによる自動ウエハセンタリングは、上記に略類似した方法で、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１間でベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、増加または減少され得る）ことによってもたらされる。理解され得るように、（１つまたは複数の）基板ホルダ２０３Ｈ２、２０４Ｈ２はまた、リスト軸ＷＸを中心に独立して回転され、基板保持ステーション２０４Ｈ２とは独立した基板保持ステーション２０３Ｈ２に対する自動ウエハセンタリングおよび／または基板保持ステーション２０３Ｈ２とは独立した基板保持ステーション２０４Ｈ２に対する自動ウエハセンタリングをもたらす。
図１２および１３を参照すると、基板搬送装置１３０は、本態様では、３つのデュアルパン基板ホルダを含むものとして例示されている。たとえば、基板搬送装置１３０は、（上記のような）基板ホルダ２０３、２０４に加えて、基板ホルダ２０５も含む。基板ホルダ２０３、２０４は、上記の方法で駆動セクション２２０によって、リスト軸ＷＸを中心に、互いに対して、および基板ホルダ２０５に対して方向１３００、１３０１に枢動するように駆動される。本例では、駆動セクションは、リスト軸ＷＸを中心に基板ホルダ２０３、２０４の各々に対して方向１３０２に基板ホルダ２０５を独立して回転させるための追加の駆動軸（たとえば５自由度の駆動）を含むが、他の態様では、基板ホルダ２０５は、たとえば、ショルダ軸ＳＸを通過する半径方向の伸長軸と整列されたままであるようなアッパーアーム２０１などの基板搬送装置１３０の任意の適切な部分に従属させられ得る。再び、基板ホルダ面の各平面４９９、４９９Ａ（図２Ｄ、１０、および１１を参照）（本明細書に記載されるように、およびデュアル側部基板ホルダの（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が１つまたは複数の平面を形成するかどうか）は、搬送開口面の所与のＺ位置での移送のための共通の搬送チャンバ内の搬送開口部の少なくとも１つの平面（図１Ｂおよび１Ｃを参照）に対応し、それに整列させられ、それによって、各平面上の各々のそれぞれの開口部を通る基板の移送は、実質的にＺ軸運動なしで、各デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２によりもたらされ、すなわち、基板ホルダ２０３、２０４の一端における（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を用いた（各平面に対する）基板処理ステーションへの伸長、基板処理ステーションでの（１つまたは複数の）基板のピッキングおよび／または配置、基板処理ステーションからの収縮、およびデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の同じまたは異なる端部における同じまたは異なるデュアル基板を伴なう互いに異なる基板処理ステーションへの伸長は、（介在するＺ軸運動とは独立して、または基板の移送間の介在するＺ軸運動から切り離されて）Ｚ軸運動とは実質的に独立した基板の高速スワッピングをもたらす。本例では、基板ホルダ２０３と基板ホルダ２０４との間のベースピッチＢＰが増加または減少され得る、基板ホルダ２０３と基板ホルダ２０５との間のベースピッチＢＰが増加または減少され得る、基板ホルダ２０４と基板ホルダ２０５との間のベースピッチＢＰが増加または減少され得るなどして、並んだ基板処理ステーション１９０－１９８および１９９Ａ－１９９Ｃ（図１２を参照）に対する基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１、２０５Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ２、２０５Ｈ２のうちのいずれか１つまたは複数に対する自動ウエハセンタリングをもたらすように、自動ウエハセンタリングがもたらされる。他の態様では、基板保持ステーション２０３Ｈ２－２０５Ｈ２（または２０３Ｈ１－２０５Ｈ１）は、図１０に示される方法に類似した方法で上下に積み重ねられ得る。さらに他の態様では、基板ホルダ２０３～２０５のうちの１つまたは複数は、図１１に示される方法に類似した方法での単一のパン基板ホルダであり得る。
さらに他の態様では、基板搬送装置１３０は、基板を、単一の基板ステーション、並んで配置された任意の適切な数の基板ステーション、上下に積み重ねられて配置された任意の適切な数の基板ステーションなどへ、およびそれらから搬送するための任意の適切な構成を備えた基板ホルダを有し得る。ツイン、シングル、トリプルなどの（図１Ａ、８、および１２を参照）基板ステーションモジュールの組み合わせが移送チャンバ１２５に連結される場合などに、リスト軸ＷＸの対向する両側における並んだ基板ホルダおよび複数の積み重ねられた（または単一の）基板ホルダの組み合わせが利用され得る。たとえば、図１９および３２を参照すると、基板搬送装置１３０は、上記した方法に類似した方法でアーム１３１に回転可能に連結された１つの二重（並んだ）基板ホルダ１９００を含む。本態様では、アーム１３１および基板ホルダ１９００は、３軸駆動セクション２２０Ａ（図３Ａ）によって回転および／または（たとえば、半径方向および／または非半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され得、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ１９００をリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ１９００の各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、３軸駆動セクション２２０Ａ（図３Ａ）に連結され得る。ここで、基板ホルダ１９００は、上記のものに略類似した２つの並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２を含む（すなわち、それらに共通している）。並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２間の距離は、並んだ基板処理ステーション１９０～１９７間のピッチＤと略同じであり得る（図１Ａ）。基板ホルダ１９００は、第１の端部１９００Ｅ１、第２の端部１９００Ｅ２を有し、第１の端部１９００Ｅ１と第２の端部１９００Ｅ２との間で実質的に剛性の非関節リンクである。基板ホルダ１９００は、第１の端部１９００Ｅ１と第２の端部１９００Ｅ２との間の位置でリスト軸ＷＸを中心にフォアアーム２０２に回転可能に連結されている。上記のように、基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２は、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記されるような平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されている。基板ホルダ１９００は、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０Ａによって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。
図２０を参照すると、基板搬送装置１３０は、図１９に関して上記されたものに略類似しているが、本態様では、基板搬送装置１３０は、リスト軸ＷＸを中心にアーム１３１に回転可能に連結された２つの基板ホルダ１９００Ａおよび１９００Ｂを含む。基板ホルダ１９００Ａ、１９００Ｂの各々は、基板ホルダ１９００に略類似している。ここで、アーム１３１および基板ホルダ１９００Ａ、１９００Ｂは、たとえば４軸駆動セクション２２０（図３）によって回転および／または（非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ１９００Ａをリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ１９００Ｂをリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ１９００Ａ、１９００Ｂの各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、４軸駆動セクション２２０（図３）に連結され得る。本態様では、基板ホルダ１９００Ａは基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２を含み、基板ホルダ１９００Ｂは基板保持ステーション１９００Ｈ３、１９００Ｈ４を含む。上記した方法に類似した方法で、基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、１９００Ｈ３、１９００Ｈ４は、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記されるような平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されている。基板ホルダ１９００Ａ、１９００Ｂは、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０によって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。アーム１３１および／または基板ホルダ１９００Ａ、１９００Ｂはまた、本明細書に記載される方法に略類似した方法で基板ホルダ１９００Ａ、１９００Ｂ（およびそれによってピッキングまたは配置された基板）を高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
図２１を参照すると、基板搬送装置１３０は、図１９に関して上記されたものに略類似しているが、本態様では、基板搬送装置１３０は、リスト軸ＷＸを中心にアーム１３１に回転可能に連結された２つのシングル側部基板ホルダ２１００Ａおよび２１００Ｂを含む。基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの各々は、リスト軸を中心にフォアアーム２０２に連結されたそれぞれの第１の端部２１００ＡＥ１、２１００ＢＥ１、およびそれぞれの基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２が配置されているそれぞれの第２の端部２１００ＡＥ２、２１００ＢＥ２を有する。ここで、アーム１３１および基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂは、たとえば４軸駆動セクション２２０（図３）によって回転および／または（非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ａをリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ｂをリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、４軸駆動セクション２２０（図３）に連結され得る。本態様では、基板ホルダ２１００Ａは基板保持ステーション２１００Ｈ１を含み、基板ホルダ２１００Ｂは基板保持ステーション２１００Ｈ２を含む。上記した方法に類似した方法で、基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２は、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記されるような平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されている。
基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂは、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０によって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。なお、リスト軸ＷＸを中心にした基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの独立した回転によって、ピッチＤの変動に適応するように、および／またはウエハを基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａを参照）に配置するための自動ウエハセンタリングをもたらすようにベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２間の距離は、図２Ｂおよび２Ｃに例示される方法に類似した方法で増加または減少され得る）ことによって自動ウエハセンタリングが提供される。
図２２を参照すると、基板搬送装置１３０は、上記した方法に類似した方法でアーム１３１に回転可能に連結されている基板ホルダ２２００を含む。本態様では、アーム１３１および基板ホルダ２２００は、３軸駆動セクション２２０Ａ（図３Ａ）によって回転および／または（たとえば、半径方向および／または非半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され得、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２２００をリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ２２００の各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、３軸駆動セクション２２０Ａ（図３Ａ）に連結され得る。ここで、基板ホルダ２２００は、上記のものに略類似した２つの並んだ基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２および１つの対向する基板保持ステーション２２００Ｈ３を含み（すなわち、それらに共通しており）、基板ホルダ２２００は、基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２、２２００Ｈ３間で実質的に剛性の非関節リンクである。２つの並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２間の距離は、並んだ基板処理ステーション１９０～１９７間のピッチＤと略同じであり得る（図１Ａ）。
図８および９に関して上記した方法に略類似した方法で、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２によって、基板Ｓを並んだ基板処理ステーション１９０～１９７（図１）から、およびそれらへ略同時にピッキングおよび配置し、一方で、対向する基板保持ステーション２２００Ｈ３によって、単一の基板を（並んだ基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａ）または基板処理ステーション１５０Ｓ（図８）の１つであり得る）単一の基板処理ステーションにピッキングおよび配置する。基板ホルダ２２００は、基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２、２２００Ｈ３間にある位置で、リスト軸ＷＸを中心にフォアアーム２０２に回転可能に連結されている。一態様では、３つの基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２、２２００Ｈ３は、図２Ｄ、１０、および１１に関して上記した方法に略類似した方法で、共通の平面４９９内に配置され、一方で、他の態様では、基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２、２２００Ｈ３の１つまたは複数は、さまざまな積み重ねられた平面に配置され得る。基板ホルダ２２００は、並んだ基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２を用いて、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュール１５０に略同時にピッキングおよび／または配置する、または基板保持ステーション２２００Ｈ３を用いて、基板を基板ステーションモジュール１５０、１５０Ｓから、およびそこへピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載される方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０Ａによって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。一態様では、アーム１３１および／またはエンドエフェクタ２２００はまた、基板が、並んだ基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２によってピッキングされ、基板が、並んだ基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２によってまさにピッキングされた位置の１つにおいて対向する基板保持ステーション２２００Ｈ３によって配置される場合などに、対向する基板保持ステーション２２００Ｈ３と、並んだ基板保持ステーション２２００Ｈ１、２２００Ｈ２の１つとを使用して、基板を（本明細書に記載される方法に略類似した方法で）高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
図２３を参照すると、基板搬送装置１３０は、上記した方法に類似した方法でアーム１３１に回転可能に連結されている基板ホルダ１９００、２３００を含む。本態様では、アーム１３１および基板ホルダ１９００、２３００は、４軸駆動セクション２２０（図３）によって回転および／または（たとえば、半径方向および／または非半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され得、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ１９００をリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２３００をリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ１９００、２３００の各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、４軸駆動セクション２２０（図３）に連結され得る。ここで、基板ホルダ１９００は、上記のような２つの並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２を含む。基板ホルダ２３００は、単一の基板保持ステーション２３００Ｈ１を有する対向する基板ホルダである（すなわち、図８、９、および２２に関して上記した方法に略類似した方法で基板ホルダ１９００に対向する）。基板保持ステーション２３００Ｈ１は上記のものに略類似している。基板ホルダ２３００は、リスト軸ＷＸでフォアアーム２０２に連結された第１の（または近位）端部と、基板保持ステーション２３００Ｈ１が配置されている対向する（または遠位）端部とを有する。基板ホルダ２３００は、近位端と遠位端との間で実質的に剛性の非関節リンクである。上記のように、２つの並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２間の距離は、並んだ基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａ）間のピッチＤと略同じであり得る。
上述のように、図８および９に関して上記した方法に略類似した方法で、並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２によって、基板Ｓを並んだ基板処理ステーション１９０～１９７（図１）から、およびそれらへ略同時にピッキングおよび配置し、一方で、対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１によって、単一の基板を（並んだ基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａ）または基板処理ステーション１５０Ｓ（図８）の１つであり得る）単一の基板処理ステーションにピッキングおよび配置する。
基板ホルダ２３００の独立した回転によって、ピッキング／配置操作中に基板保持ステーション２３００Ｈ１によって保持される基板の（本明細書に記載されるような）自動ウエハセンタリングが提供される。基板ホルダ１９００、２３００の独立した回転によって、移送チャンバ１２５Ａの形状（たとえば、内側壁１２５Ｗ）への基板搬送装置１３０の基板ホルダ適合性も提供され得る。たとえば、図２３Ａも参照すると、基板ホルダ１９００、２３００は、シングル基板ホルダ２３００が、アーム伸長運動によって、基板処理ステーション１５０内に伸長するように回転させられ、基板ホルダ１９００が、基板ホルダ１９００と移送チャンバ１２５Ａの壁１２５Ｗとの間のクリアランスを維持するべく回転させられるように、駆動セクション２２０によって回転させられ得る。６面移送チャンバ１２５Ａが図２３Ａに例示されているが、他の態様では、移送チャンバは任意の適切な数の側面を有し得、基板ホルダ１９００、２３００は、駆動セクションによって、任意の適切な方法で搬送チャンバの壁の形状に適合するように回転させられ得る。
一態様では、３つの基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、２３００Ｈ１は、図２Ｄ、１０、および１１に関して上記した方法に略類似した方法で、共通の平面４９９内に配置され、一方で、他の態様では、基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、２３００Ｈ１の１つまたは複数は、さまざまな積み重ねられた平面に配置され得る。基板ホルダ１９００、２３００は、並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２を用いて、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュール１５０に略同時にピッキングおよび／または配置する、または基板保持ステーション２３００Ｈ１を用いて、基板を基板ステーションモジュール１５０、１５０Ｓから、およびそこへピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載される方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０によって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。一態様では、アーム１３１および／またはエンドエフェクタ２２００はまた、基板が、並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２によってピッキングされ、基板が、並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２によってまさにピッキングされた位置の１つにおいて対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１によって配置される場合などに、対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１と、並んだ基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２の１つとを使用して、基板を（本明細書に記載される方法に略類似した方法で）高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
図２４を参照すると、基板搬送装置１３０は、図２Ａ～２Ｄに関して上記したものに略類似しているが、本態様では、基板ホルダ２４０３、２４０４は、「Ｓ」字形の構成を有し、互いに交差している。たとえば、基板ホルダ２４０３は、第１の部分２４０３Ａと、第１の部分２４０３Ａの長手方向軸に略直交して配置された長手方向軸を有する第２の部分２４０３Ｂと、第１の部分２４０３Ａの長手方向軸と略平行に配置された長手方向軸を有する第３の部分とを有することで、略「Ｓ」字型の基板ホルダを形成する。第１の部分の遠位端は、基板ホルダ２４０３の第１の端部２４０３Ｅ１を形成し、第３の部分２４０３Ｃの遠位端は、基板ホルダ２４０３の第２の端部２４０３Ｅ２を形成する。第２の部分２４０３Ｂは、リスト軸ＷＸを中心にフォアアーム２０２に連結され、ここで、基板ホルダ２４０３は、第１の端部２４０３Ｅ１と第２の端部２４０３Ｅ２との間で実質的に剛性の非関節リンクである。基板ホルダ２４０４の構成は、基板ホルダ２４０３に略類似しているが、逆手になっている。
ここで、アーム１３１および基板ホルダ２４０３、２４０４は、たとえば４軸駆動セクション２２０（図３）によって回転および／または（非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２４０３をリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２４０４をリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、４軸駆動セクション２２０（図３）に連結され得る。本態様では、基板ホルダ２４０３は基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０３Ｈ２を含み、基板ホルダ２４０４は基板保持ステーション２４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２を含む。上記した方法に類似した方法で、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２は、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記されるような平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されている。基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２は、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０によって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。リスト軸ＷＸを中心にした基板ホルダ２４０３、２４０４の独立した回転によって、ピッチＤの変動に適応する、および／またはウエハを基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａを参照）に配置するための自動ウエハセンタリングをもたらすようにベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２間の距離は、図２Ｂおよび２Ｃに例示される方法に類似した方法で増加または減少され得る）ことによって自動ウエハセンタリングが提供されることが留意される。一態様では、アーム１３１および／またはエンドエフェクタ２４０３、２４０４はまた、図７Ａ～７Ｌに関して上記した方法に類似した方法で（本明細書で記載した方法に略類似した方法で）基板を高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
図２５を参照すると、基板搬送装置１３０は、図２１に関して上記したものに略類似しているが、本態様では、基板搬送装置はまた、図２３に関して上記したものに類似した対向する基板ホルダ２３００を含む。ここで、アーム１３１および基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００は、たとえば５軸駆動セクション２２０Ｃ（図３Ｃ）によって回転および／または（非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ａをリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ｂをリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２３００をリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００の各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、５軸駆動セクション２２０Ｃ（図３Ｃ）に連結され得る。本態様では、基板ホルダ２１００Ａは基板保持ステーション２１００Ｈ１を含み、基板ホルダ２１００Ｂは基板保持ステーション２１００Ｈ２を含み、基板ホルダ２３００は基板保持ステーション２３００Ｈ１を含む。上記した方法に類似した方法で、基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２３００Ｈ１は、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記されるような平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されている。基板ホルダ２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２３００Ｈ１は、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０Ｃによって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。
リスト軸ＷＸを中心にした基板ホルダ２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の独立した回転によって、ピッチＤの変動に適応する、および／またはウエハを基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａを参照）に配置するための自動ウエハセンタリングをもたらすようにベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２間の距離は、図２Ｂおよび２Ｃに例示される方法に類似した方法で増加または減少され得る）ことによって、並んだ基板ステーションモジュール１５０における基板Ｓのピッキング／配置のための自動ウエハセンタリングが提供されることが留意される。対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１によって、図８および９に関して上記した方法に略類似した方法で、単一の基板を（並んだ基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａ）または基板処理ステーション１５０Ｓ（図８）の１つであり得る）単一の基板処理ステーションにピッキングおよび配置することがさらに留意される。基板ホルダ２３００の独立した回転によって、ピッキング／配置操作中に基板保持ステーション２３００Ｈ１によって保持される基板の（本明細書に記載されるような）さらなる自動ウエハセンタリングが提供される。一態様では、アーム１３１および／またはエンドエフェクタ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００はまた、基板が、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２によってピッキングされ、基板が、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２によってまさにピッキングされた位置の１つにおいて対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１によって配置される場合などに、対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１と、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の１つとを使用して、基板を（本明細書に記載される方法に略類似した方法で）高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
一態様では、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００の独立した回転によって、図２３Ａに関して上記した方法に類似した方法で、移送チャンバ１２５Ａの形状（たとえば、内側壁１２５Ｗ）への基板搬送装置１３０の基板ホルダ適合性も提供され得る。しかし、本態様では、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの１つまたは複数は、駆動セクション２２０Ｃによって、それぞれの基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂと移送チャンバ１２５Ａの壁１２５Ｗとの間のクリアランスを維持するように回転させられ得る。
図２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、および２６Ｄを参照すると、基板搬送装置１３０は、図２４に関して上記したものに略類似しているが、本態様では、基板ホルダ２４０３、２４０４の少なくとも１つは、基板ホルダ２４０３、２４０４（およびそれぞれの基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１、２４０３Ｈ２、３４０４Ｈ２）が互いの上を通過するように、Ｚ方向に移動可能である。たとえば、（Ｚ駆動部３１２に加えて、またはその代わりに（図３～３Ｃを参照））リストＺ駆動部２６６０が、フォアアーム２０２内に提供されるか、またはそれに連結される。リストＺ駆動部２６６０は、基板ホルダ２４０３、２４０４の１つまたは複数を、基板ホルダ２４０３、２４０４の別の基板ホルダに対してＺ方向に移動させるように構成されている。図２６Ｃに例示される例では、リストＺ駆動部２６６０は、基板ホルダ２４０３を、基板ホルダ２４０４およびフォアアーム２０２に対してＺ方向に移動させるように構成されているが、他の態様では、両方の基板ホルダが、フォアアーム２０２に対して、および／または互いに対してＺ方向に移動可能であり得る。リストＺ駆動部２６６０は、限定されないが、リニアアクチュエータ、ねじジャッキ、および磁気浮上リフトの１つまたは複数を含むＺ運動をもたらすための任意の適切な構成を有し得る。本態様では、プーリ４７６はシャフト４７６Ｓに連結され、ここで、シャフト４７６Ｓは、外側シャフト部分４７６Ｂおよび内側シャフト部分４７６Ａを含む。内側シャフト部分４７６Ａおよび外側シャフト部分４７６Ｂは、内側シャフト部分４７６Ａが、外側シャフト部分４７６Ｂとユニットとして回転しながら、外側シャフト部分４７６Ｂに対してＺ方向に移動可能であるように構成されている。たとえば、内側シャフト部分４７６Ａは内部スプラインを含み、外側シャフト部分４７６Ｂは、内部スプラインと嵌合するように構成された外部スプラインを含む。リストＺ駆動部２６６０およびシャフト２７６Ｓの例示的な構成が提供されているが、他の態様では、リストＺ駆動部２６６０およびシャフト２７６Ｓは、基板ホルダ２４０３のＺ軸運動をもたらすための任意の適切な構成を有してもよい。
リストＺ駆動部２６６０は、上記した方法に類似した方法で、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２が、並んだ基板ステーションモジュール１５０への基板のピッキング／配置に関する図２６Ｃに例示されるような、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記した平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されるように、基板ホルダ２４０３を上下させるように構成されている。上述のように、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２は、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０によって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。リスト軸ＷＸを中心にした基板ホルダ２４０３、２４０４の独立した回転によって、ピッチＤの変動に適応する、および／またはウエハを基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａを参照）に配置するための自動ウエハセンタリングをもたらすようにベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２間の距離は、図２Ｂおよび２Ｃに例示される方法に類似した方法で増加または減少され得る）ことによって自動ウエハセンタリングが提供されることが留意される。一態様では、アーム１３１および／またはエンドエフェクタ２４０３、２４０４はまた、図７Ａ～７Ｌに関して上記した方法に類似した方法で（本明細書で記載した方法に略類似した方法で）高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
リストＺ駆動部２６６０はまた、基板ホルダ２４０３３の基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０３Ｈ３が、図２６Ｄで見ることができるように基板ホルダ２４０４の基板保持ステーション２４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２とは異なる平面に配置されるように、基板ホルダ２４０３を上下させるように構成されている。ここで、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０３Ｈ２は平面４９９Ａに配置されている一方で、基板保持ステーション２４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２は平面４９９に配置されている。平面４９９、４９９Ａは、上記の距離または高さＨ１０によって分離され得る。基板ホルダ２４０３、２４０４が異なる平面４９９、４９９Ａに配置されていることで、基板ホルダ２４０３、２４０４は、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１（または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２）の各々によって保持される基板Ｓの中心Ｃが、図２６Ｂに示されるようにＺ方向に沿って互いに略一致するように、互いに対してリスト軸ＷＸを中心に回転させられ得る。
図１Ｃも参照すると、基板ホルダ２４０３、２４０４はリスト軸を中心に独立して回転させられ得、基板ホルダ２４０３、２４０４の１つまたは複数は、リストＺ駆動部２６６０によって、さまざまな積み重ねられたおよび／または並んだ基板保持位置からの基板のピッキングをもたらすように、Ｚ方向に移動させられ得る。たとえば、一態様では、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１（または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２）は、並んだロードロック１０２Ａ、１０２Ｂまたは並んだロードロック１０２Ｃ、１０２Ｄ（または他の基板保持位置）から基板を略同時にピッキング／配置するなどのために、共通の平面に沿って配置される。一態様では、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１（または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２）は、積み重ねられたロードロック１０２Ａ、１０２Ｃまたは積み重ねられたロードロック１０２Ｂ、１０２Ｄ（または他の基板保持位置）から基板を略同時にピッキング／配置するなどのために、積み重ねられた平面に上下に配置される（上記の図２６Ｂを参照）。さらに他の態様では、基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１（または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２）は、積み重ねられ水平方向にオフセットされたロードロック１０２Ａ、１０２Ｄ（または他の基板保持位置）から基板を略同時にピッキング／配置するなどのために、異なる平面に配置され、水平方向にオフセットされる。
図２７Ａ、２７Ｂ、および２７Ｃを参照すると、基板搬送装置１３０は、図２５に関して上記したものに略類似しているが、本態様では、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００の少なくとも１つは、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００（およびそれぞれの基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２３００Ｈ１）が互いの上を通過するように、Ｚ方向に移動可能である。たとえば、（Ｚ駆動部３１２に加えて、またはその代わりに（図３～３Ｃを参照））リストＺ駆動部２６６０が、フォアアーム２０２内に提供されるか、またはそれに連結される。リストＺ駆動部２６６０は、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００の１つまたは複数を、別の基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００に対してＺ方向に移動させるように構成されている。図２７Ｃに例示される例では、リストＺ駆動部２６６０は、基板ホルダ２１００Ｂを、基板ホルダ２１００Ａ、２３００およびフォアアーム２０２に対してＺ方向に移動させるように構成されているが、他の態様では、両方の基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、または３つすべての基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００が、フォアアーム２０２に対しておよび／または互いに対してＺ方向に移動可能であり得る。プーリ２７７０、シャフト２７７０Ｓ、およびトランスミッション部材２７９１が、リスト軸ＷＸを中心にした基板ホルダ２１００Ａの回転を駆動させるために例示され、ここで、プーリ２７７０が、図４に例示および上記したものに類似したトランスミッションを介して駆動セクション２２０Ｃに連結されることが留意される。
リストＺ駆動部２６６０は、上記した方法に類似した方法で、基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２３００Ｈ１が、図８、９、および２５に関して上記したような基板のピッキング／配置のために、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記したような平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されるように、基板ホルダ２１００Ｂを上下させるように構成されている。リストＺ駆動部２６６０はまた、基板ホルダ２１００Ｂの基板保持ステーション２１００Ｈ２が、図２６Ｃで見られるように基板ホルダ２１００Ａ、２３００の基板保持ステーション２１００Ｈ１、２３００Ｈ１とは異なる平面に配置されるように、基板ホルダ２１００Ｂを上下させるように構成されている。ここで、基板保持ステーション２１００Ｈ２は平面４９９Ａに配置される一方で、基板保持ステーション２１００Ｈ１、２３００Ｈ１は平面４９９に配置される。平面４９９、４９９Ａは、上記の距離または高さＨ１０によって分離され得る。基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂが異なる平面４９９、４９９Ａに配置されていることで、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂは、基板保持ステーション２１０００Ｈ１、２１００Ｈ２の各々によって保持される基板Ｓの中心Ｃが、図２７Ｂに示されるようにＺ方向に沿って互いに略一致するように、互いに相対的にリスト軸ＷＸを中心に回転させられ得る。
上述のように、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００は、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０によって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。リスト軸ＷＸを中心にした基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの独立した回転によって、ピッチＤの変動に適応する、および／またはウエハを基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａを参照）に配置するための自動ウエハセンタリングをもたらすようにベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２間の距離は、図２Ｂおよび２Ｃに例示される方法に類似した方法で増加または減少され得る）ことによって自動ウエハセンタリングが提供されることが留意される。上記したように、基板ホルダ２３００の独立した回転によっても、ピッキング／配置操作中に基板保持ステーション２３００Ｈ１によって保持される基板の自動ウエハセンタリングが提供される。また上記したように、一態様では、アーム１３１および／またはエンドエフェクタ２２００はまた、基板が、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２によってピッキングされ、基板が、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２によってまさにピッキングされた位置の１つにおいて対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１によって配置される場合などに、対向する基板保持ステーション２３００Ｈ１と、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の１つとを使用して、基板を（本明細書に記載される方法に略類似した方法で）高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
図１Ｃも参照すると、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂはリスト軸を中心に独立して回転させられ得、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの１つまたは複数は、リストＺ駆動部２６６０によって、さまざまな積み重ねられたおよび／または並んだ基板保持位置からの基板のピッキングをもたらすように、Ｚ方向に移動させられ得る。たとえば、一態様では、基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２は、並んだロードロック１０２Ａ、１０２Ｂまたは並んだロードロック１０２Ｃ、１０２Ｄ（または他の基板保持位置）から基板を略同時にピッキング／配置するなどのために、共通の平面に沿って配置される。一態様では、基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２は、積み重ねられたロードロック１０２Ａ、１０２Ｃまたは積み重ねられたロードロック１０２Ｂ、１０２Ｄ（または他の基板保持位置）から基板を略同時にピッキング／配置するなどのために、積み重ねられた平面に上下に配置される（上記の図２７Ｂ、２７Ｃを参照）。
リストＺ駆動部２６６０は図２６Ａ～２６Ｄおよび図２７Ａ～２７Ｃに関して例示および説明されているが、他の態様では、リストＺ駆動部は、基板が、共通の平面内の並んだ基板ステーションモジュール１５０または本明細書に記載されるような積み重ねられた平面内の積み重ねられた基板ステーションモジュール１５０（図１Ｃを参照）に移送され得るように、図２６Ｃ、２６Ｄ、および２７Ｃに例示される方法に略類似した方法で、複数の基板ホルダが利用される本明細書に記載されるアーム構成のいずれかに組み込まれ得ることが理解されるべきである。
一態様では、図２３および２５に関して上記したように、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００の独立した回転によって、図２３Ａに関して上記した方法に類似した方法で、移送チャンバ１２５Ａの形状（たとえば、内側壁１２５Ｗ）への基板搬送装置１３０の基板ホルダ適合性も提供され得る。しかし、本態様では、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの１つまたは複数は、駆動セクション２２０Ｃによって、それぞれの基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂと移送チャンバ１２５Ａの壁１２５Ｗとの間のクリアランスを維持するように回転させられ得る。たとえば、図２３、２３Ａ、および２５も参照すると、基板搬送装置１３０は、基板ホルダ１９００（または基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ）の基板保持ステーションが、基板処理ステーション２３３３Ａ、２３３３Ｂのそれぞれ１つから基板をピッキング／配置するために整列させられるように、図２３Ａに示されるように位置づけられ得る。搬送アーム１３１は伸長させられる（図２９、ブロック２９００）。（独立して回転可能な基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂなどを用いる）一態様では、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの基板保持ステーションが、ピッキングされる基板の下で中心に置かれるか、または配置される基板が基板処理ステーション２３３３Ａ、２３３３Ｂで中心に置かれるように、本明細書に記載される方法に類似した方法で、独立した自動ウエハセンタリングが提供される（図２９、ブロック２９１０）。基板は、基板ホルダ１９００（または基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ）によって、基板処理ステーション２３３３Ａ、２３３３Ｂから、または基板処理ステーション２３３３Ａ、２３３３Ｂへと同時にピッキングまたは配置される（図２９、ブロック２９２０）。基板搬送アーム１３１が収縮され、基板搬送アーム１３１および／または基板ホルダ１９００（または２１００Ａ、２１００Ｂ）および基板ホルダ２３００は、（シングル）基板ホルダ２３００を、たとえば、基板処理ステーション２３３３Ｂと整列させるように回転させられる（図２９、ブロック２９３０）。搬送アーム１３１は伸長させられ（図２９、ブロック２９４０）、基板ホルダ２３００で基板をピッキングまたは配置するために自動ウエハセンタリングが提供され得る（図２９、ブロック２９５０）。図２３Ａで見ることができるように、シングル基板ホルダ２３００を基板処理ステーション２３３３Ｂに伸長させるために、基板ホルダ１９００（または基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの１つまたは複数）（たとえば、並んだ基板保持ステーション）は、基板ホルダ１９００（または基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの１つまたは複数）と移送チャンバ１２５の内側壁１２５Ｗとの間にクリアランスを提供して、基板保持ステーション２３３３Ｂへの基板ホルダ２３００の伸長をもたらすように、回転させられる（図２９、ブロック２９６０）。基板ホルダ１９００（または基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂの１つまたは複数）が上記のクリアランスを提供するように回転させられることで、基板が、シングル基板ホルダ２３００を用いて基板処理ステーション２３３３Ｂから、および基板処理ステーション２３３３Ｂへピッキングまたは配置される（図２９、ブロック２９７０）。
図２８を参照すると、基板搬送装置１３０は、図２１に関して上記されたものに略類似しているが、本態様では、基板搬送装置１３０は、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂに対して対向する関係性で、リスト軸ＷＸを中心にアーム１３１に回転可能に連結された２つの対向するシングル側部基板ホルダ２１００Ｃおよび２１００Ｄを含む。基板ホルダ２１００Ｃ、２１００Ｄは、基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂに略類似しており、それぞれの基板保持ステーション２１００Ｈ３、２１００Ｈ４を含む。ここで、アーム１３１および基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２１００Ｃ、２１００Ｄは、たとえば６軸駆動セクション２２０Ｂ（図３Ｂ）によって回転および／または（非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って）伸長して駆動され、ここで、１つの駆動軸がアッパーアーム２０１をショルダ軸ＳＸを中心に回転させ、１つの駆動軸がフォアアーム２０２をエルボ軸ＥＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ａをリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ｂをリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ｃをリスト軸ＷＸを中心に回転させ、１つの駆動軸が基板ホルダ２１００Ｄをリスト軸ＷＸを中心に回転させる。アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２１００Ｃ、２１００Ｄの各々は、図４に関して上記したものに略類似したケーブルおよびプーリトランスミッションなどの任意の適切なトランスミッションによって、６軸駆動セクション２２０Ｂ（図３Ｂ）に連結され得る。本態様では、基板ホルダ２１００Ａは基板保持ステーション２１００Ｈ１を含み、基板ホルダ２１００Ｂは基板保持ステーション２１００Ｈ２を含み、基板ホルダ２１００Ｃは基板ホルダ２１００Ｈ３を含み、基板ホルダ２１００Ｄは基板ホルダ２１００Ｈ４を含む。上記した方法に類似した方法で、基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２１００Ｈ３、２１００Ｈ４は、（図２Ｄ、１０、および１１に関して上記されるような平面４９９に略類似した）共通の平面上に配置されているが、一方、他の態様では、基板保持ステーションの１つまたは複数は、上記した方法に類似した方法で、リストＺ駆動部によってＺ方向に移動可能であり得る。
基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ、２１００Ｃ、２１００Ｄは、基板を共通の平面４９９に沿って並んだ基板ステーションモジュールに略同時にピッキングおよび／または配置するための本明細書に記載された方法に略類似した方法で、搬送アーム１３１および駆動セクション２２０Ｂによって非半径方向の線形経路および／または半径方向の線形経路に沿って伸長され得る。リスト軸ＷＸを中心にした基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂおよび／または基板ホルダ２１００Ｃ、２１００Ｄの独立した回転によって、ピッチＤの変動に適応する、および／またはウエハを基板処理ステーション１９０～１９７（図１Ａを参照）に配置するための自動ウエハセンタリングをもたらすようにベースピッチＢＰを変化させる（たとえば、並んだ基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、または２１００Ｈ３、２１００Ｈ４間の距離は、図２Ｂおよび２Ｃに例示される方法に類似した方法で増加または減少され得る）ことによって自動ウエハセンタリングが提供されることが留意される。一態様では、アーム１３１および／またはエンドエフェクタ２４０３、２４０４はまた、図７Ａ～７Ｌに関して上記した方法に類似した方法で（本明細書で記載した方法に略類似した方法で）基板を高速スワッピングするように回転して駆動され得る。
図１９、２０、２２、および２３を参照すると、一態様では、複数の並置された（たとえば、並んだ）基板保持ステーションが、複数の並置された基板保持ステーション間の実質的に剛性の非関節リンクである共通のエンドエフェクタリンク（たとえば、基板ホルダ）に従属している。
図２Ａ～２Ｄ、８～９、２０、２１、２３、２４、２５、２６Ａ～２６Ｄ、２７Ａ～２７Ｃ、および２８を参照すると、少なくとも１つのエンドエフェクタリンク（たとえば、基板ホルダ）は、共通の回転軸（たとえば、リスト軸ＷＸ）を中心にフォアアーム２０２に対して回転するためにフォアアーム２０２の遠位端２０２Ｅ２に接合された複数のエンドエフェクタリンク（たとえば、基板ホルダ）を備え、複数のエンドエフェクタリンク（たとえば、基板ホルダ）の各々は、それに従属した、複数の並置した（並んだ）基板保持ステーションのうちの、少なくとも１つの対応する基板保持ステーションを有する。
図２Ａ～２Ｄ、８、９、２１、２４、２５、２６Ａ～２６Ｄ、２７Ａ～２７Ｃ、および２８を参照すると、少なくとも１つのエンドエフェクタリンク（たとえば、基板ホルダ）は、共通の回転軸（たとえば、リスト軸ＷＸ）を中心にフォアアーム２０２に対して回転するためにフォアアーム２０２の遠位端２０２Ｅ２に接合された複数のエンドエフェクタリンクを備え、ここで、駆動セクション２２０、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃは、複数のエンドエフェクタリンクの各々が、それぞれ、共通の回転軸を中心に複数のエンドエフェクタリンクの別のエンドエフェクタリンクとは独立して回転するように構成され、複数のエンドエフェクタリンクの各々のそれぞれ１つは、それに従属した、複数の並置した（並んだ）基板保持ステーションのうちの、少なくとも１つの対応する基板保持ステーションを有する。
図２３、２３Ａ、２５、および２７Ａ～２７Ｃを参照すると、一態様では、マルチリンクアーム１３１は、少なくとも１つの基板ホルダ（たとえば、エンドエフェクタリンク）１９００、２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００を有し、少なくとも１つの基板ホルダ１９００、２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００は、リスト関節／軸ＷＸで共通の回転軸を中心にフォアアーム２０２に対して回転するように、フォアアーム２０２の端部で関節（たとえば、リスト関節／軸ＷＸ）に回転可能に接合されている。少なくとも１つの基板ホルダ１９００、２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００は、それに従属した、および互いに対して共通の平面（たとえば、平面４９９（たとえば、図２Ｄおよび４を参照）に配置された、複数の基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２３００Ｈ１を有し、これらは、回転のリスト軸ＷＸを中心にした少なくとも１つの基板ホルダ１９００、２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００の回転によって、複数の基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２３００Ｈ１の各々がリスト軸ＷＸを中心に回転するように構成されている。ここで、駆動セクション２２０、２２０Ｃは、ショルダ軸ＳＸ（固定位置）に対して、半径方向または非半径方向の線形経路に沿ってマルチリンクアーム１３１を少なくとも伸長および収縮させるように構成されているため、各々が半径方向または非半径方向の経路に沿って線形に横断する複数の基板保持ステーションのうちの、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２が、アーム１３１の伸長および収縮によって、共通のレベルで複数の並置された基板搬送開口部の別個の対応する開口部（たとえば、図１Ｂおよび１Ｃを参照）を略同時に通過し、そのため、２つの並置された基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の各々とは異なる、複数の基板保持ステーション２３００Ｈ１の別の基板保持ステーションが、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２とは独立して、リスト軸ＷＸを中心に回転可能である。
依然として図２３、２３Ａ、２５、および２７Ａ～２７Ｃを参照すると、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、および少なくとももう１つの基板保持ステーション２３００Ｈ１は、リスト軸ＷＸの対向する両側に配置されるように、少なくとも１つの基板ホルダ１９００、２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００上に配置されている。一態様では、図２３Ａで見ることができるように、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、および少なくとも別の基板保持ステーション２３００Ｈ１は、半径方向または非半径方向の経路に沿ったアーム１３１の伸長および収縮により、リスト軸ＷＸを中心に回転し、少なくとも１つの基板ホルダの位置を、搬送チャンバの開口部が配置されている、および少なくとも１つの基板ホルダ１９００、２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００の複数の基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２、２１００Ｈ１、２１００Ｈ２、２３００Ｈ１の少なくとも１つがアームの伸長および収縮により通過する側壁１２５Ｗとは異なる、搬送チャンバ１２５のもう１つの側壁１２５Ｗに選択的に適合させるように、少なくとも１つの基板ホルダ１９００、２１００Ａ、２１００Ｂ、２３００上に配置されている。
図２３を参照すると、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２は、駆動セクション２２０に動作可能に接続された少なくとも１つの基板ホルダ１９００上に配置され、少なくとも１つの基板ホルダ１９００によって、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション１９００Ｈ１、１９００Ｈ２が共通の独立した自由度で回転のリスト軸ＷＸを中心に回転するように、配置されている。
図２５および２７Ａ～２７Ｃを参照すると、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２は、駆動セクション２２０Ｃに動作可能に接続された少なくとも１つの基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂ上に配置され、少なくとも１つの基板ホルダ２１００Ａ、２１００Ｂによって、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の各々が異なるそれぞれの独立した自由度で回転のリスト軸ＷＸを中心に回転するように、配置されており、それにより、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の各々は、回転のリスト軸ＷＸを中心に互いに対して独立して回転させられる。
図２６Ａ～２６Ｄおよび２７Ａ～２７Ｃを参照すると、一態様では、マルチリンクアーム１３１は、少なくとも１つの基板ホルダ２４０３、２４０４、または２１００Ａ、２１００Ｂを有し、少なくとも１つの基板ホルダ２４０３、２４０４、または２１００Ａ、２１００Ｂは、リスト軸ＷＸで共通の回転軸を中心にフォアアーム２０２に対して回転するように、フォアアーム２０２の端部で関節（たとえば、リスト軸ＷＸ）に回転可能に接合されており、少なくとも１つの基板ホルダ２４０３、２４０４、または２１００Ａ、２１００Ｂは、そこに従属した、互いに対する高さがオフセットされた、異なる平面４９９、４９９Ａ（図２６Ｄ、２７Ｃ）に沿って並置された複数の基板保持ステーション３４０３Ｈ１、３４０３Ｈ２、３４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２、２１００Ｈ１、２１００Ｈ２を有し、回転のリスト軸ＷＸを中心にした少なくとも１つの基板ホルダ２４０３、２４０４、または２１００Ａ、２１００Ｂの回転によって、回転のリスト軸ＷＸを中心に複数の基板保持ステーション３４０３Ｈ１、３４０３Ｈ２、３４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２、２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の各々を回転させるように構成されている。駆動セクション２２０、２２０Ｃは、ショルダ軸ＳＸ（たとえば、固定位置）に対して、半径方向または非半径方向の線形経路に沿ってマルチリンクアーム１３１を少なくとも伸長および収縮させるように構成されているため、各々が半径方向または非半径方向の経路に沿って線形に横断する複数の基板保持ステーション３４０３Ｈ１、３４０３Ｈ２、３４０４Ｈ１、２４０４Ｈ２、２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の少なくとも２つの並置された基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１、または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２が、アームの伸長および収縮により、共通の面（またはレベル）４９９で複数の並置された基板搬送開口部のそれぞれの（または一態様では、共通の）開口部（たとえば、図１Ｂおよび１Ｃを参照）を別々に通過するように、各々が互いに独立して回転のリスト軸ＷＸを中心に回転可能であり、２つの並置された基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１、または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の各々とは異なる、複数の基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１、または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２、または２３００Ｈ１の少なくとも別の基板保持ステーションは、少なくとも２つの並置された基板保持ステーション２４０３Ｈ１、２４０４Ｈ１、または２４０３Ｈ２、２４０４Ｈ２、または２１００Ｈ１、２１００Ｈ２の各々に実質的に対向した少なくとも１つの基板ホルダ２４０３、２４０４、２３００上に配置される。ここで、駆動セクション２２０、２２０Ｃは、複数の基板保持ステーションを互いに並置された共通のレベルに配置するように、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの複数の基板保持ステーションを互いに対する高さに移動させるように構成されているリストＺ駆動部２６６０を含む。
上記のように、基板搬送装置１３０（本明細書に記載されるものなどの（１つまたは複数の）任意の適切なエンドエフェクタを備える）は、ブームアームに取り付けられ得る。例示目的で、図１５は、２リンクブームアーム１５００に取り付けられたアーム１３１を例示している。２リンクブームアーム１５００は、アッパーリンク１５０１およびフォアアームリンク１５０２を含む。アッパーリンク１５０１の第１の端部が、ブームショルダ軸ＢＳＸを中心に駆動セクション（本明細書に記載される駆動セクション２２０など）に回転可能に連結されている。フォアアームリンク１５０２の第１の端部は、ブームエルボ軸ＢＥＸを中心にアッパーリンク１５０１の第２の端部に回転可能に連結されている。アーム１３１は、アームショルダ軸ＳＸを中心にフォアアームリンク１５０２の第２の端部に回転可能に連結されている。アッパーリンク１５０１およびフォアアームリンク１５０２の各々は、それぞれの端部間で実質的に剛性であり、非関節式である。別の態様では、図１６は、シングルリンクブームアーム１６００に取り付けられたアーム１３１を例示している。シングルリンクブームアーム１６００はブームリンク１６０１を含む。ブームリンク１６０１の第１の端部は、ブームショルダ軸ＢＳＸを中心に駆動セクション（本明細書に記載される駆動セクション２２０など）に回転可能に連結されている。アーム１３１は、アームショルダ軸ＳＸを中心にブームリンク１６０１の第２の端部に回転可能に連結されている。ブームリンク１６０１は、ブームリンク１６０１の２つの端部間で実質的に剛性であり、非関節式である。シングルリンクブームアーム１６００および２リンクブームアーム１５００が例示されているが、ブームアームが任意の適切な数のリンクを有し得ることが理解されるべきである。
図３も参照すると、ブームアーム１５００、１６００を回転させるために、駆動セクション２２０、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃは、少なくとも１つのブームアーム駆動軸（またはモータ）３９０、３９１を含み得る。たとえば、シングルブームアーム駆動軸３９０は、たとえばシングルリンクブームアーム１６００が利用される場合に提供され得る。ブームエルボ軸ＢＥＸを中心にした２リンクブームアーム１５００のフォアアームリンク１５０２の回転が、たとえばハウジング３１０に従属する場合に、シングルブームアーム駆動軸３９０も提供され得る。他の態様では、２つのリンクブームアーム１５００のアッパーリンク１５０１およびフォアアームリンク１５０２が、それぞれのブームショルダ軸ＢＳＸおよびブームエルボ軸ＢＥＸを中心に独立して回転させられる場合に、２つのブームアーム駆動軸３９０、３９１が提供され得る。ブームアーム駆動軸３９０、３９１は、モータ３４２、３４４、３４６、３４８と同軸に配置され得るが、他の態様では、ブームアーム駆動軸３９０、３９１は、並んだモータ構成などの任意の適切な構成を有し得、さらに他の態様では、ブームアーム駆動軸３９０、３９１が、ブームアームショルダ軸ＢＥＸに配置され得る一方で、駆動モータ３４２、３４４、３４６、３４８は、アーム１３１のショルダ軸ＳＸに配置される。ブームアーム１５００、１６００の（１つまたは複数の）リンクを駆動軸３９０、３９１に連結するために、任意の適切なトランスミッション（たとえば、一態様では、図４～６Ｂに示されるケーブルおよびプーリトランスミッションに略類似している）が提供される。
図１８Ａおよび１８Ｂを参照すると、本開示の態様によって提供される自動ウエハセンタリングは、デュアル基板Ｓの各々とそれぞれの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２との間の相対的な偏心にかかわらず、デュアル基板Ｓの略同時の配置（またはピッキング）を提供し得る。たとえば、ベースピッチＢＰでの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１を用いると、自動ウエハセンタリングは、基板Ｓ１の偏心ＥＣ２が、基板保持ステーション２０３Ｈ１の中心２０３Ｈ１Ｃよりもショルダ軸ＳＸに近く、基板Ｓ２の偏心ＥＣ１が、たとえば、基板保持ステーション２０４Ｈ１の中心２０４Ｈ１Ｃの右側（「右側」という方向の用語が単に説明の便宜上ここで使用されていることに留意）にあることを判定し得る。したがって、基板Ｓ１、Ｓ２を、たとえば基板処理ステーション１９０、１９１に配置するために、各基板Ｓ１、Ｓ２の位置は、基板処理ステーション１９０、１９１間の距離Ｄに対して、自動ウエハセンタリングを介して、独立して調整されるだけでなく、両方の偏心ＥＣ１、ＥＣ２に適応するように伸長／収縮の方向１７７００にも独立して調整される。たとえば、基板ホルダ２０３、２０４は、各々、リスト軸ＷＸ（ここで、リスト軸は半径方向の伸長７００（図７Ｂを参照）または伸長の非半径方向の経路７０１（図７Ｆを参照）の軸に沿って位置づけられている）を中心に独立して回転させられて、それぞれの基板処理ステーション１９０、１９１での基板Ｓ１、Ｓ２の独立した自動ウエハセンタリングをもたらす。同様に、図１８Ｃを参照すると、自動ウエハセンタリングはまた、たとえば、基板搬送装置１３０のショルダ軸ＳＸから、異なる半径方向距離１７０２０、１７０２１を有する基板処理ステーション１９０、１９１での基板の配置をもたらすことができ、ここで、リスト軸を中心にした各基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２の独立した回転および／またはリスト軸の配置は、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１－２０４Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ２のうちの１つの基板保持ステーションの、並んだ基板保持ステーション２０３Ｈ１－２０４Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ２の別の基板保持ステーションに対する（ショルダ軸に対する）伸長距離の増加をもたらす。
図２Ａ～２Ｄ、７Ａ～７Ｌ、および１５を参照すると、基板搬送装置１３０を用いて基板を搬送する例示的な方法が説明される。記載された例では、基板処理装置１００は、６つの側面を有するが、それ以外は図１に関して上記したものに略類似した移送チャンバ１２５Ａを含むが、他の態様では、移送チャンバは、任意の適切な数の側面を有し得、ここで、並んだ基板ステーションモジュールは、図１Ａ、７Ａ、８、１２、１５、および１６に例示される方法に類似した方法で移送チャンバのそれぞれの側面に連結されている。さらに、記載される例では、アーム１３１はデュアル基板ホルダ２０３、２０４を含み、その各々は、それぞれの基板ホルダ２０３、２０４の対向する両端部に基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を有するが、本明細書に記載される方法が、アーム１３１、および図８～１６に例示され、図８～１６に関して記載される本開示の態様に等しく適用可能であることを理解されるべきである。
以下に記載されるように、コントローラ１１０は、駆動セクション２２０に動作可能に連結され、第１のデュアル基板（たとえば、基板Ｓ１、Ｓ２を参照）と、デュアル基板ホルダ２０３、２０４の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション（たとえば、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１、または２０３Ｈ２、２０４Ｈ２）とを、搬送チャンバ壁１２５Ｗにおけるそれぞれの別個の開口部（スロットバルブＳＶを参照）に通して、同時にピッキングまたは配置するように、アーム１３１を伸長させるように構成されている。以下にも記載されるように、コントローラ１１０は、第１のデュアル基板と、デュアル基板ホルダ２０３、２０４の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション（たとえば、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１、または２０３Ｈ２、２０４Ｈ２）上に保持された少なくとも１つの第２の基板（たとえば、基板Ｓ３、Ｓ４を参照）とを、第１のデュアル基板Ｓ１、Ｓ２が、デュアル基板ホルダ２０３、２０４の対応する少なくとも１つの基板保持ステーション（たとえば、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１、または２０３Ｈ２、２０４Ｈ２）上に同時に保持されている状態で、移送チャンバ壁１２５Ｗにおけるそれぞれの別個の開口部に通して、略同時に高速スワッピングするように構成されている。いくつかの態様では、駆動セクションは、コントローラ１１０の制御下で、対応する基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２のうちの少なくとも１つを（１つまたは複数の）基板ホルダの別の基板ホルダとは独立して整列させるように構成されている。
本開示の態様によれば、少なくとも１つのエンドエフェクタ（および／または本明細書に記載されるような他のアーム構成）を備えたデュアルリンクスカラは、移送チャンバの内部空間の全体にわたるアーム１３１およびその上のエンドエフェクタ２０３、２０４の伸長および収縮（図１７、ブロック１７１０）による（すなわち、デュアルスカラアームの任意の角度Ｑの位置／配向での／からの）、ショルダ軸ＳＸ（たとえば、図１Ａおよび７Ａを参照）を中心にした３６０°を超えるまたは約３６０°のスカラアームの回転Ｑ（図１７、ブロック１７００）を満たす。本明細書に記載されるような少なくとも１つのエンドエフェクタ（および／または本明細書に記載されるような他のアーム構成）を備えたデュアルリンクスカラは、本明細書に記載されるようなアーム１３１およびエンドエフェクタ２０３、２０４の伸長と共通した各エンドエフェクタでの独立した自動ウエハセンタリングを提供する（図１７、ブロック１７２０）。また本明細書に記載されるように、少なくとも１つのエンドエフェクタを備えたデュアルリンクスカラは、（エンドエフェクタ２０３、２０４の基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２とともに本明細書で記載されるように、一態様では、共通の平面４９９（たとえば、図２Ｄおよび１１を参照）上での、および他の態様では、異なる平面４９９、４９９Ａ（たとえば、図１０を参照）上のエンドエフェクタ２０３、２０４の基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を用いた）Ｚ軸運動を伴なわないデュアル「高速スワッピング」を提供し（図７、ブロック１７３０）、ここで、エンドエフェクタ２０３、２０４は並んだ基板保持ステーションを有し、エンドエフェクタ２０３、２０４の少なくとも１つはデュアル側部エンドエフェクタである（たとえば、エンドエフェクタの対向する長手方向に離間された両端部に配置された少なくとも１つの基板保持ステーションを有する）。
例示的な方法で、本明細書に記載される基板搬送装置１３０が提供される（図１４、ブロック１４０１）。コントローラ１１０も提供され（図１４、ブロック１４２０）、基板搬送装置１３０に接続され得る。コントローラは、基板ホルダ２０３、２０４（および図１３の場合、基板ホルダ２０５）が搬送チャンバ１２５、１２５Ａの側壁１２５Ｗを通って伸長するように、基板搬送装置１３０の少なくとも１つのアーム１３１を伸長させるように構成されている。たとえば、図７Ａは、ショルダ軸ＳＸに対するホームまたは収縮構成での基板搬送装置１３０のアーム１３１を例示している。本例では、収縮構成は、アームリンク２０１、２０２が上下に配置され、実質的に互いに整列させられている構成であるが、他の態様では、収縮構成は、アッパーリンク２０１およびフォアアームリンク２０２が関節中心間で略同じ長さであるときなどに、リスト軸ＷＸが実質的にショルダ軸ＳＸの上に配置される構成である。コントローラ１１０は、駆動セクション２２０の運動をもたらして、各基板の独立した自動ウエハセンタリングをもたらすように構成され、ここで、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２間の距離は、基板処理ステーション１９６、１９７間のピッチと略一致するように、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２のベースピッチＢＰが増加（図２Ｂ）または減少（図２Ｃ）されて、自動ウエハセンタリング（この場合、それぞれの基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２上の基板Ｓ３、Ｓ４のセンタリング）をもたらす。上述のように、自動ウエハセンタリングは、複数の軸に沿って（たとえば、基板処理ステーション間の間隔に対応する軸に沿って、および基板ホルダの伸長方向に対応する軸に沿って）もたらされ得る。コントローラ１１０はさらに、リスト軸ＷＸが、一態様では半径方向７００に移動し、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２が、搬送チャンバ１２５Ａの壁１２５Ｗの開口部を通って、ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ（図７Ｂおよび７Ｃを参照）に伸長するように、駆動セクション２２０の運動をもたらすように構成されている。
一態様では、コントローラ１１０は、Ｚ軸駆動部３１２の作動をもたらして、デュアル基板Ｓ３、Ｓ４をロードロック１０２Ａ、１０２Ｂの基板処理ステーション１９６、１９７から略同時にピッキングするために基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２を上昇させ得る（他の態様では、Ｚ運動は、少なくとも部分的に基板処理ステーション１９６、１９７によって提供され得る）。基板Ｓ３、Ｓ４が基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２上に保持されることで、コントローラ１１０は、駆動セクション２２０の運動をもたらして、アーム１３１を、たとえば、収縮構成に収縮し、それにより、基板Ｓ３、Ｓ４はロードロック１０２Ａ、１０２Ｂ（図７Ｄを参照）から取り外される。アーム１３１は、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１を任意の適切な基板処理ステーション（処理ステーション１８８、１８９など）に隣接させて位置づけるように方向７７７に回転させられ、基板処理ステーションから別のセットのデュアル基板Ｓ１、Ｓ２がピッキングされる。
上記した方法に類似した方法で、コントローラ１１０は、駆動セクション２２０の運動をもたらして、アーム１３１を伸長させ（図１４、ブロック１４１０）、それにより、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１のベースピッチＢＰが増加（図２Ｂ）または減少（図２Ｃ）されて、自動ウエハセンタリング（この場合、それぞれの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１上の基板Ｓ１、Ｓ２のセンタリング）をもたらして（図１４、ブロック１４３０）、それにより、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１間の距離が、基板処理ステーション１８８、１８９（図７Ｅを参照）間のピッチと略一致するように構成されている。自動ウエハセンタリング（たとえば、ベースピッチＢＰの増加または減少）が、アーム１３１の伸長／収縮と略同時に、またはアーム１３１がアーム１３１の伸長前に実質的に収縮構成にある状態で実施され得ることが留意される。基板処理ステーション１８８、１８９から基板をピッキング／配置するために、コントローラ１１０は、リスト軸ＷＸが非半径方向の伸長で移動するよう、駆動セクション２２０の運動をもたらすように構成され、ここで、リストＷＸの運動は、一態様では、半径方向の伸長／収縮の軸からオフセットされているおよび／または角度が付けられている経路７０１（図７Ｆ）に沿って移動する（すなわち、経路７０１は、ショルダ軸ＳＸを通過せず、そこから半径方向に伸びない）。経路７０１に沿ったリストＷＸの移動によって、基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１を、搬送チャンバ１２５Ａの壁１２５Ｗの開口部に通して、基板処理ステーション１８８、１８９に伸長する。
一態様では、コントローラ１１０は、Ｚ軸駆動部３１２の作動をもたらして、デュアル基板Ｓ１、Ｓ２を並んだ基板ステーションモジュール１５０の基板処理ステーション１８８、１８９から略同時にピッキングする（図１４、ブロック１４４０）ために基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１を上昇させ得る（他の態様では、Ｚ運動は、少なくとも部分的に基板処理ステーション１８８、１８９によって提供され得る）。基板Ｓ１、Ｓ２が基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１上に保持されることで、コントローラ１１０は、駆動セクション２２０の運動をもたらして、アーム１３１を、たとえば、収縮構成に収縮し、それにより、基板Ｓ１、Ｓ２は並んだ基板ステーションモジュール１５０（図７Ｇを参照）から取り外される。基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１のベースピッチＢＰは、基板処理ステーション１８８、１８９からのアーム１３１の収縮の間に（略同時に）、またはアームが実質的に収縮構成（図７Ｇを参照）にある状態で回復され得る。
一態様では、基板Ｓ１、Ｓ２と基板Ｓ３、Ｓ４との高速スワッピングは、上記した方法でもたらされ（図１４、ブロック１４５０）、ここで、基板ホルダ面の各平面４９９、４９９Ａ（図２Ｄ、１０、および１１を参照）（本明細書に記載されるように、およびデュアル側部基板ホルダの（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２が１つまたは複数の平面を形成するかどうか）は、搬送開口面の所与のＺ位置での移送のための共通の搬送チャンバ内の搬送開口部の少なくとも１つの平面（図１Ｂおよび１Ｃを参照）に対応し、それに整列させられ、それによって、各平面上の各々のそれぞれの開口部を通る基板の移送は、実質的にＺ軸運動なしで、各デュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の少なくとも１つの基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２によりもたらされ、すなわち、基板ホルダ２０３、２０４の一端における（１つまたは複数の）基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０３Ｈ２、２０４Ｈ１、２０４Ｈ２を用いた（各平面に対する）基板処理ステーションへの伸長、基板処理ステーションでの（１つまたは複数の）基板のピッキングおよび／または配置、基板処理ステーションからの収縮、およびデュアル端部基板ホルダ２０３、２０４の同じまたは異なる端部における同じまたは異なるデュアル基板を伴なう互いに異なる基板処理ステーションへの伸長は、（介在するＺ軸運動とは独立して、または基板の移送間の介在するＺ軸運動から切り離されて）Ｚ軸運動とは実質的に独立した基板の高速スワッピングをもたらす。たとえば、アーム１３１は、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２（基板Ｓ１－Ｓ４がアーム１３１によって保持されている）を、処理ステーション１８８、１８９に隣接させて位置づけるように、方向７７７（図７Ｇ～７Ｉを参照）に回転させられ、処理ステーション１８８、１８９から基板Ｓ１、Ｓ２が取り外され、処理ステーション１８８、１８９にデュアル基板Ｓ３、Ｓ４が配置される。コントローラ１１０は、駆動セクション２２０の運動をもたらして、アーム１３１を伸長させ（図１４、ブロック１４１０）、それにより、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２のベースピッチＢＰが増加（図２Ｂ）または減少（図２Ｃ）されて、自動ウエハセンタリング（この場合、それぞれの基板処理ステーション１８８、１８９での基板Ｓ３、Ｓ４のセンタリング）をもたらして（図１４、ブロック１４３０）、それにより、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２間の距離は、基板処理ステーション１８８、１８９（図７Ｉを参照）間のピッチと略一致する。自動ウエハセンタリング（たとえば、ベースピッチＢＰの増加または減少）が、アーム１３１の伸長／収縮と略同時に、またはアーム１３１がアーム１３１の伸長前に実質的に収縮構成にある状態で実施され得ることが留意される。基板処理ステーション１８８、１８９に基板Ｓ３、Ｓ４を配置するために、コントローラ１１０は、リスト軸ＷＸが経路７０１（図７Ｊ）に沿って非半径方向の伸長で移動するよう、駆動セクション２２０の運動をもたらすように構成されている。経路７０１に沿ったリストＷＸの移動によって、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２を、搬送チャンバ１２５Ａの壁１２５Ｗの開口部に通して、基板処理ステーション１８８、１８９に伸長する。
一態様では、コントローラ１１０は、Ｚ軸駆動部３１２の作動をもたらして、デュアル基板Ｓ３、Ｓ４を並んだ基板ステーションモジュール１５０の基板処理ステーション１８８、１８９に略同時に配置する（図１４、ブロック１４４０）ために基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２を下降させ得る（他の態様では、Ｚ運動は、少なくとも部分的に基板処理ステーション１８８、１８９によって提供され得る）。コントローラ１１０は、駆動セクション２２０の運動をもたらして、アーム１３１を、たとえば、収縮構成に収縮し、それにより、基板保持ステーション２０３Ｈ２、２０４Ｈ２が並んだ基板ステーションモジュール１５０から取り外される。基板保持ステーション２０３Ｈ１、２０４Ｈ１のベースピッチＢＰは、基板処理ステーション１８８、１８９からのアーム１３１の収縮の間に（略同時に）、またはアームが実質的に収縮構成にある状態で回復され得る。基板Ｓ１、Ｓ２と基板Ｓ３、Ｓ４との高速スワッピングが説明されているが、他の態様では、基板Ｓ３、Ｓ４は、基板Ｓ１、Ｓ２がピッキングされた位置とは異なる別の位置に配置され得ることが理解されるべきである。
コントローラ１１０は、駆動セクション２２０の動作をもたらし、それにより、アーム１３１は、基板処理ステーション１８８、１８９での基板Ｓ３、Ｓ４の配置に関して上記した方法に略類似した方法で、デュアル基板Ｓ１、Ｓ２を基板処理ステーション１９６、１９７（図７Ｋを参照）に配置するように、上記した方法で、ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂへと伸長し得る。アーム１３１は、基板のさらなるピッキング／配置のために、ロードロック１０２Ａ、１０２Ｂから、たとえば、収縮構成（図７Ｌを参照）に収縮される。
図４、５Ａ～５Ｆ、および３０を参照すると、本開示の態様に従って、方法は、上記のものなどの基板搬送装置を提供する工程（図３０、ブロック３０００）を含む。基板搬送装置の可動アームリンク２０１、２０２が再構成され（図３０、ブロック３０１０）、ここで、可動アームリンク２０１、２０２は、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃ、およびモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃの実質的に端から端まで、堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、そこを通って伸長するプーリシステム２５５Ａ～２５５Ｅを有する再構成可能なアームリンク２０１Ｒ、２０２Ｒである。上記のように、堅固に連結されたリンクケースモジュールは、可動アームリンク２０１、２０２の長さＯＡＬ、ＯＡＬｎを決定する所定の特性を有する少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュール（たとえば、中央アームセクション５１０Ａ、５１０Ｂ）によって接続されたリンクケースエンドモジュール（たとえば、端部連結部５１１、５１２、５１３、５１４）を含む。可動アームリンク２０１、２０２を再構成する際、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュール５１０Ａ、５１０Ｂは、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃおよび再構成可能なアームリンク２０１Ｒ、２０２Ｒを、複数の所定のアームリンク長さＯＡＬ、ＯＡＬｎから所定のアームリンク長さＯＡＬ、ＯＡＬｎに選択可能に設定するように、各々が可動アームリンク２０１、２０２の対応する異なる長さＯＡＬ、ＯＡＬｎを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュール（たとえば、中央アームセクション）５１０Ａ、５１０Ａ１～５１０Ａｎ、５１０Ｂ、５１０Ｂ１～５１０Ｂｎから、リンクケースエンドモジュール５１１、５１２、５１３、５１４への接続および再構成可能なアームリンク２０１Ｒ、２０２Ｒの形成のために選択可能である。
図４、５Ａ～５Ｆ、および３１を参照すると、本開示の態様に従って、方法は、上記のものなどの基板搬送装置を提供する工程（図３１、ブロック３１００）を含む。少なくとも１つの可動アームリンクまたは少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの関節運動（サブ基板を異なる基板保持位置に搬送するための上記の関節運動など）は、少なくとも１つの可動アームリンク２０１、２０２のモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃに取り付けられ、係合されているプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅによりもたらされ（図３１、ブロック３１１０）、ここで、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃは、互いに堅固に連結された（上記のような）リンクケースモジュールで形成され、プーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅは、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃの実質的に端から端まで、堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、そこを通って伸長する。堅固に連結されたケースリンクモジュールは、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュール（たとえば、中央アームセクション）によって接続されたリンクケースエンドモジュール（たとえば、端部連結部）５１１、５１２、５１３、５１４を含み、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュール（たとえば、中央アームセクション）は、モジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃを形成するためにリンクケースエンドモジュール５１１、５１２、５１３、５１４の各々に機械的に固定され、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃが、リンクケースエンドモジュール５１１、５１２、５１３、５１４に収容されたプーリシステム６５５Ａ～６５５Ｅのプーリホイール４８０、４８４、４８８、４８２、４８６、４９１、４７０、４７４、４７２、４７６をモジュール式複合アームリンクケーシング２０１Ｃ、２０２Ｃの端部に接続するプーリトランスミッション（トランスミッション４９０、４９２、４９３、４９４、４９５など）のミスアライメント公差に適合するように配置される。
図３３Ａ～３６Ｂを参照すると、他の例示的な基板搬送装置１３０が例示されており、ここで、本開示の上記の態様が利用され得る。図３３Ａ～３６Ｂでは、（１つまたは複数の）アームリンクおよび（１つまたは複数の）エンドエフェクタは独立して回転させられ得るか、またはいくつかの態様では、（１つまたは複数の）アームリンクおよび（１つまたは複数の）エンドエフェクタのうちの１つまたは複数の回転が、別のアームリンクに従属させられ得る。アームリンクおよびエンドエフェクタが、たとえば、上記のものに略類似したモータ／駆動部およびプーリシステムによって回転駆動され得ることが留意される。たとえば、図３３Ａおよび３３Ｂは、アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、およびシングル端部基板ホルダを有する基板搬送アーム１３１を例示している。図３４Ａおよび３４Ｂは、アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および単一の二重端部エンドエフェクタを有する搬送アーム１３１を例示している。図３５Ａおよび３５Ｂは、単一のアームリンク（たとえば、アッパーアーム２０１）および２つの独立して回転可能なシングル端部エンドエフェクタを有する搬送アーム１３１を例示している。図３６Ａおよび３６Ｂは、アッパーアーム２０１、フォアアーム２０２、および２つの独立して回転可能なシングル端部エンドエフェクタを有する搬送アーム１３１を例示している。搬送アームの例が本明細書に提供されているが、他の態様では、本明細書に記載される本開示の態様を利用する搬送アームは、任意の適切な構成（たとえば、任意の適切な数のアームリンク、任意の適切な数のエンドエフェクタであり、ここで、各エンドエフェクタは、単一の基板または複数の基板などを保持し得る）を有し得る。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、
支持フレームと、
支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を備え、
可動アームリンクは、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングと、モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、堅固に連結されたリンクケースモジュールを通って伸長するプーリシステムとを有する再構成可能なアームリンクであり、堅固に連結されたリンクケースモジュールは、可動アームリンクの長さを決定する所定の特性を有する少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、
少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールは、モジュール式複合アームリンクケーシングおよび再構成可能なアームリンクを、複数の所定のアームリンク長さから所定のアームリンク長さに選択可能に設定するように、各々が可動アームリンクの対応する異なる長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから、リンクケースエンドモジュールへの接続および再構成可能なアームリンクの形成のために選択可能である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、リンクケースエンドモジュール（の１つまたは両方）の材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性（ばね係数）を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、プーリシステムのプーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムは、モジュール式複合アームリンクケーシングに係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、プーリシステムが少なくとも１つのアームリンクまたはエンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置される。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールは、モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するためにリンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置される。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールは、モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために機械的留め具継ぎ手（取り外し可能な機械的留め具を含む）でリンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、機械的留め具継ぎ手は、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように構成されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つは、プーリシステムのプーリホイールを収容する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、モジュール式複合アームリンクケーシングは、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、プーリシステムのプーリホイールを接続する、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、コンパクトな高さは、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリホイールを接続する可撓性のプーリトランスミッションは、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つは、プーリホイールの位置および位置合わせが、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリシステムのプーリホイールを収容する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、モジュール式複合アームリンクケーシングは、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容されたプーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、それぞれのプーリホイールの上のプーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間のそれぞれのプーリホイールの少なくとも３６０°の回転を介したプーリシステムのそれぞれのプーリホイールの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、それぞれのプーリホイールの上のプーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介したエンドエフェクタの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、
支持フレームと、
支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、少なくとも１つの可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を備え、
少なくとも１つの可動アームリンクは、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングと、モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、堅固に連結されたリンクケースモジュールを通って伸長するプーリシステムとを有し、プーリシステムは、モジュール式複合アームリンクケーシングに取り付けられて係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、プーリシステムが少なくとも１つの可動アームリンクまたは少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置され、および
堅固に連結されたケースリンクモジュールは、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールは、モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するためにリンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングが、モジュール式複合アームリンクケーシングの端部においてリンクケースエンドモジュールに収容されたプーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの可動アームリンクは再構成可能なアームリンクであり、リンクケース伸長モジュールは、各々が少なくとも１つの可動アームリンクの長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから交換可能である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、リンクケースエンドモジュール（の１つまたは両方）の材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性（ばね係数）を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、プーリシステムのプーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリトランスミッションは、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションであり、モジュール式複合アームリンクケーシングは、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、プーリシステムのプーリホイールを接続する、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、コンパクトな高さは、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリホイールを接続する可撓性のプーリトランスミッションは、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、モジュール式複合アームリンクケーシングは、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容されたプーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのプーリホイールの少なくとも１つには、プーリホイールのうちの少なくとも１つの位置および位置合わせが、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、クロスローラベアリングが取り付けられている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、プーリホイールの少なくとも１つの上のプーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間のプーリホイールの少なくとも１つの少なくとも３６０°の回転を介したプーリシステムのプーリホイールの少なくとも１つの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、プーリホイールの少なくとも１つの上のプーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介したエンドエフェクタの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、方法は、
基板搬送装置を提供する工程であって、基板搬送装置が、
支持フレームと、
支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を含む、工程と、
可動アームリンクを再構成する工程であって、可動アームリンクが、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングと、モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、堅固に連結されたリンクケースモジュールを通って伸長するプーリシステムとを有する再構成可能なアームリンクであり、堅固に連結されたリンクケースモジュールが、可動アームリンクの長さを決定する所定の特性を有する少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含む、工程と、を含み、
少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールは、モジュール式複合アームリンクケーシングおよび再構成可能なアームリンクを、複数の所定のアームリンク長さから所定のアームリンク長さに選択可能に設定するように、各々が可動アームリンクの対応する異なる長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから、リンクケースエンドモジュールへの接続および再構成可能なアームリンクの形成のために選択可能である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、リンクケースエンドモジュール（の１つまたは両方）の材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性（ばね係数）を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、プーリシステムのプーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムは、モジュール式複合アームリンクケーシングに係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、プーリシステムが少なくとも１つのアームリンクまたはエンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置される。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールをリンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定する工程であって、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合する、工程をさらに含む。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールを機械的留め具継ぎ手（取り外し可能な機械的留め具を含む）でリンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定する工程をさらに含み、機械的留め具継ぎ手は、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように構成されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つは、プーリシステムのプーリホイールを収容する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、モジュール式複合アームリンクケーシングは、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、プーリシステムのプーリホイールを接続する、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、コンパクトな高さは、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリホイールを接続する可撓性のプーリトランスミッションは、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つは、プーリホイールの位置および位置合わせは、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリシステムのプーリホイールを収容する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、モジュール式複合アームリンクケーシングは、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容されたプーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、それぞれのプーリホイールの上のプーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間のそれぞれのプーリホイールの少なくとも３６０°の回転を介したプーリシステムのそれぞれのプーリホイールの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、それぞれのプーリホイールの上のプーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介したエンドエフェクタの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、方法は、
基板搬送装置を提供する工程であって、基板搬送装置が、
支持フレームと、
支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、少なくとも１つの可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を含む、工程と、
少なくとも１つの可動アームのモジュール式複合アームリンクケーシングに取り付けられ、係合されているプーリシステムを用いて、少なくとも１つの可動アームリンクまたは少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの関節運動をもたらす工程であって、モジュール式複合アームリンクケーシングが、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成され、プーリシステムが、モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、そこを通って伸長する、工程と、を含み、
堅固に連結されたケースリンクモジュールは、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールは、モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するためにリンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングが、モジュール式複合アームリンクケーシングの端部においてリンクケースエンドモジュールに収容されたプーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、当該方法は、少なくとも１つの可動アームリンクを再構成する工程であって、リンクケース伸長モジュールが、各々が少なくとも１つの可動アームリンクの長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから交換可能である、工程をさらに含む。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、それらに対応するボックス形状の断面を有し、所定の特性は、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して（端から端まで）所定の剛性を維持するように異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、リンクケースエンドモジュール（の１つまたは両方）の材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性（ばね係数）を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料は、プーリシステムのプーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、リンクケース伸長モジュールおよび複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々は、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリトランスミッションは、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションであり、モジュール式複合アームリンクケーシングは、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、プーリシステムのプーリホイールを接続する、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、コンパクトな高さは、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリホイールを接続する可撓性のプーリトランスミッションは、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、モジュール式複合アームリンクケーシングは、リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容されたプーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのプーリホイールの少なくとも１つには、プーリホイールのうちの少なくとも１つの位置および位置合わせが、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、クロスローラベアリングが取り付けられている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、プーリホイールの少なくとも１つの上のプーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間のプーリホイールの少なくとも１つの少なくとも３６０°の回転を介したプーリシステムのプーリホイールの少なくとも１つの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリシステムのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合は、プーリホイールの少なくとも１つの上のプーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介したエンドエフェクタの回転を決定するように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、
フレームと、
フレームに接続された駆動セクションと、
アッパーアームおよびフォアアームを有する少なくとも１つの関節式マルチリンクアームであって、アッパーアームが、一端で駆動セクションに回転可能に接合され、フォアアームが、アッパーアームの対向する端部でアッパーアームに回転可能に接合され、アッパーアームが、一端と対向する端部との間で実質的に剛性の非関節リンクであり、アッパーアームおよびフォアアームの１つまたは複数が、端部連結部および中央アームセクションを含み、中央アームセクションが、各々が関節中心間のそれぞれのアームリンク長さを画定するように異なる長さを有する、複数の異なる中央アームセクションから選択可能である、少なくとも１つの関節式マルチリンクアームと、
フォアアームに回転可能に接合された少なくとも１つのエンドエフェクタリンクと、を備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクは、互いに別個で異なるデュアルエンドエフェクタリンクを含み、その各々は、共通の回転軸を中心にフォアアームに対して回転するように、フォアアームの共通の端部に回転可能かつ別個に接合されており、各エンドエフェクタリンクは、それに従属した対応する少なくとも１つの基板保持ステーションを有する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、デュアルエンドエフェクタリンクの少なくとも１つのエンドエフェクタリンクに従属した対応する少なくとも１つの基板保持ステーションは、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの対向する両端部に１つの基板保持ステーションを含み、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクは、対向する両端部間で、実質的に剛性であり、非関節式であり、対向する両端部の１つにおける基板保持ステーションは、互いに別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションと略同一平面上にある。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、デュアルエンドエフェクタリンクは、マルチリンクアームの半径方向の伸長および収縮が、実質的に共通のレベルで互いに並置されている、搬送チャンバ壁におけるそれぞれの別個の開口部を通る各エンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションの略同時の伸長および収縮をもたらすように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの対向する両端部における基板保持ステーションは、互いに略同一平面上にある。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの対向する両端部における基板保持ステーションは、互いに別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションと略同一平面上にある。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各々の別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションは、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの対向する両端部における１つの基板保持ステーションを含み、別個で異なるエンドエフェクタリンクの各々は、対向する両端部間で、実質的に剛性であり、非関節式である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクのもう１つのエンドエフェクタリンクに対する独立した自由度を画定する多軸駆動セクションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各エンドエフェクタリンクに対する独立した自由度は、デュアルエンドエフェクタリンクの各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションでの独立した自動ウエハセンタリングを可能にする。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、搬送チャンバ壁におけるそれぞれの別個の開口部を通る、デュアルエンドエフェクタリンクの各々の対応する少なくとも１つの基板保持ステーションの略同時の伸長と略一致する、デュアルエンドエフェクタリンクの各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションでの独立した自動ウエハセンタリングをもたらすように構成された多軸駆動セクションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、駆動セクションに動作可能に連結され、搬送チャンバ壁におけるそれぞれの別個の開口部を通るデュアルエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションにより第１のデュアル基板を略同時にピッキングまたは配置するためにマルチリンクアームを伸長させるように構成されている、コントローラをさらに備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、コントローラは、第１のデュアル基板と、デュアルエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションに保持された少なくとも１つの第２の基板とを、第１のデュアル基板が、デュアルエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーション上に同時に保持された状態で、それぞれの別個の開口部に通して、略同時に高速スワッピングするように構成されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板処理装置は、
搬送チャンバであって、その中に隔離された雰囲気を保持するように構成され、複数の基板搬送開口部を備えた側壁を有し、複数の基板搬送開口部が、共通のレベルで側壁に沿って互いに対して別個に並置されている、搬送チャンバと、
固定位置で搬送チャンバに接続された駆動セクションを備え、搬送チャンバに配置されたアッパーアームおよびフォアアームを有する、少なくとも１つの関節式マルチリンクアームであって、アッパーアームが、一端で駆動セクションに回転可能に接合され、フォアアームが、アッパーアームの対向する端部でアッパーアームに回転可能に接合され、アッパーアームが、一端と対向する端部との間で実質的に剛性の非関節リンクであり、アッパーアームおよびフォアアームの１つまたは複数が、端部連結部および中央アームセクションを含み、中央アームセクションが、各々が関節中心間のそれぞれのアームリンク長さを画定するように異なる長さを有する、複数の異なる中央アームセクションから選択可能である、少なくとも１つの関節式マルチリンクアームと、を備え、
マルチリンクアームは、複数の別個で異なるエンドエフェクタリンクを有し、その各々は、関節で共通の回転軸を中心にフォアアームに対して回転するように、フォアアームの共通の端部で関節に回転可能かつ別個に接合され、各エンドエフェクタリンクは、それに従属した、対応する少なくとも１つの基板保持ステーションを有し、複数のエンドエフェクタリンクが互いに対して共通の平面に沿って並置されるように、関節から伸長する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、半径方向軸に沿ってマルチリンクアームを少なくとも伸長および収縮させるように構成され、その伸長および収縮は、それぞれ、側壁に沿って並置された別個の開口部を通る、各エンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションの略同時の伸長および収縮をもたらし、駆動セクションはまた、複数のエンドエフェクタリンクのうちの別のエンドエフェクタリンクに対して、対応する基板保持ステーションの少なくとも１つを独立して整列させるように構成されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、エンドエフェクタリンクの各々の対応する少なくとも１つの基板保持ステーションを、エンドエフェクタリンクのうちの別のエンドエフェクタリンクの対応する基板保持ステーションに対して、独立して整列させるように構成されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタリンクの少なくとも１つに従属した対応する少なくとも１つの基板保持ステーションは、対向する両端部間で、実質的に剛性であり、非関節式である、エンドエフェクタリンクの少なくとも１つの対向する両端部において１つの基板保持ステーションを含む。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対向する両端部の１つにおける対応する少なくとも１つの基板保持ステーションは、互いに別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションと略同一平面上にある。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、エンドエフェクタリンクの少なくとも１つの対向する両端部における対応する少なくとも１つの基板保持ステーションは、互いに略同一平面上にある。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの、別のエンドエフェクタリンクに対する独立した自由度を画定する多軸駆動セクションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各エンドエフェクタリンクに対する独立した自由度は、複数の別個で異なるエンドエフェクタリンクの各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションでの独立した自動ウエハセンタリングを可能にする。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、搬送チャンバの側壁におけるそれぞれの基板搬送開口部を通る、複数の別個で異なるエンドエフェクタリンクの各々の対応する少なくとも１つの基板保持ステーションの略同時の伸長と略一致する、複数の別個で異なるエンドエフェクタリンクの各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションでの独立した自動ウエハセンタリングをもたらすように構成された多軸駆動セクションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、駆動セクションに動作可能に連結され、搬送チャンバの側壁におけるそれぞれの基板搬送開口部を通して、複数の別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションにより第１のデュアル基板を略同時にピッキングまたは配置するために、マルチリンクアームを伸長させるように構成されている、コントローラをさらに備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、コントローラは、第１のデュアル基板を、複数の別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーション上に同時に保持された状態で、それぞれの基板搬送開口部に通して、複数の別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションに保持された少なくとも１つの第２の基板と略同時に高速スワッピングするように構成されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、アッパーアームおよびフォアアームの１つまたは複数は、共通の回転軸を中心にしたデュアルエンドエフェクタリンクのうちの少なくとも１つの＋／－１６０°を超える回転をもたらす少なくとも１つのケーブルおよびプーリトランスミッションを含む。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つのケーブルおよびプーリトランスミッションの各々は、プーリとプーリに巻き付けられた対向するケーブルセグメントとを含む。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各プーリはガイド溝を含み、ガイド溝において、対向するケーブルのそれぞれ１つが受容され、それぞれのプーリの巻き付き運動でガイドされる。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対向するケーブルセグメントの１つまたは複数はインラインケーブルテンショナを含む。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、インラインケーブルテンショナはターンバックルケーブルテンショナを備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、インラインケーブルテンショナは弾性ケーブルテンショナを備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、プーリの１つまたは複数はクロスローラプーリを備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、少なくとも１つの関節式マルチリンクアームは、少なくとも１つの関節式マルチリンクアームの関節継ぎ手に少なくとも１つのクロスローラベアリングを備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、
フレームと、
フレームに接続された駆動セクションと、
第１のアームリンクおよび第２のアームリンクを有する少なくとも１つの２リンクスカラアームであって、第１のアームリンクおよび第２のアームリンクがスカラアームのエルボ関節で互いに接合され、第１のアームリンクがショルダ関節で駆動セクションに接合されている、少なくとも１つの２リンクスカラアームと、
互いに別個で異なる複数のエンドエフェクタリンクであって、その各々が、共通のリスト関節で共通の回転軸を中心に第２のアームリンクに対して回転するように、共通のリスト関節で第２のアームリンクに回転可能かつ別個に接合されており、各エンドエフェクタが、それに従属した対応する少なくとも１つの基板保持ステーションを有する、複数のエンドエフェクタリンクと、を備え、
エルボ関節、ショルダ関節および共通のリスト関節のうちの１つまたは複数は、クロスローラベアリングを含み、クロスローラベアリングは、少なくとも１つの２リンクスカラアームの駆動トランスミッションのプーリを形成する。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、トランスミッションは、ケーブルおよびプーリトランスミッションを備え、ケーブルは、クロスローラベアリングの外周面の周りに巻き付けられる。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、ケーブルは、対向する巻き付き方向にクロスローラベアリングの周りに巻き付けられる２つの対向するケーブルセグメントを備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対向するケーブルセグメントの１つまたは複数はインラインケーブルテンショナを含む。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、インラインケーブルテンショナはターンバックルケーブルテンショナを備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、インラインケーブルテンショナは弾性ケーブルテンショナを備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、ケーブルおよびプーリトランスミッションは、共通の回転軸を中心にした複数のエンドエフェクタリンクのうちの少なくとも１つの＋／－１６０°を超える回転をもたらす。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、第１のアームリンクおよび第２のアームリンクの１つまたは複数は、端部連結部および中央アームセクションを含み、中央アームセクションは、各々が関節中心間のそれぞれのアームリンク長さを画定するように異なる長さを有する、複数の異なる中央アームセクションから選択可能である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、複数のエンドエフェクタリンクの各々に従属した対応する少なくとも１つの基板保持ステーションは、複数のエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションのうちの少なくとも３つによって決定された共通の平面上の、複数のエンドエフェクタリンクの互いに従属した対応する少なくとも１つの基板保持ステーションと略同一平面上に配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、対応する少なくとも１つの基板保持ステーションのうちの少なくとも３つのうちの２つの基板保持ステーションは、複数のエンドエフェクタリンクの共通のエンドエフェクタリンクに対応している。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、２つの基板保持ステーションは、共通のエンドエフェクタリンクの対向する両端部にそれぞれ１つずつ配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、共通のエンドエフェクタリンクの対向する両端部における２つの基板保持ステーションは、互いに略同一平面上にある。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、共通のエンドエフェクタリンクの対向する両端部における２つの基板保持ステーションは、互いに別個で異なるエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションと略同一平面上にある。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、共通のエンドエフェクタリンクは、対向する両端部間で、実質的に剛性であり、非関節式である。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、複数のエンドエフェクタリンクは、スカラアームの半径方向の伸長および収縮が、実質的に共通のレベルで互いに対して並置されている、搬送チャンバ壁におけるそれぞれの別個の開口部を通る各エンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションの略同時の伸長および収縮をもたらすように配置されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、複数のエンドエフェクタリンクのうちの少なくとも１つのエンドエフェクタリンクの、別のエンドエフェクタリンクに対する独立した自由度を画定する多軸駆動セクションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、各エンドエフェクタリンクに対する独立した自由度は、複数のエンドエフェクタリンクの各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションでの独立した自動ウエハセンタリングを可能にする。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、駆動セクションは、搬送チャンバ壁におけるそれぞれの別個の開口部を通る、複数のエンドエフェクタリンクの各々の対応する少なくとも１つの基板保持ステーションの略同時の伸長と略一致する、複数のエンドエフェクタリンクの各１つの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションでの独立した自動ウエハセンタリングをもたらすように構成された多軸駆動セクションである。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、駆動セクションに動作可能に連結され、搬送チャンバ壁におけるそれぞれの別個の開口部を通して、複数のエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションにより第１のデュアル基板を略同時にピッキングまたは配置するためにスカラアームを伸長させるように構成されている、コントローラをさらに備える。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、コントローラは、第１のデュアル基板と、複数のエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーションに保持された少なくとも１つの第２の基板とを、第１のデュアル基板が、複数のエンドエフェクタリンクの対応する少なくとも１つの基板保持ステーション上に同時に保持された状態で、それぞれの別個の開口部に通して、略同時に高速スワッピングするように構成されている。
本開示の１つまたは複数の態様によれば、基板搬送装置は、
支持フレームと、
支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、少なくとも１つの可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を備え、
少なくとも１つの可動アームリンクは、モジュール式複合アームリンクケーシングを有し、モジュール式複合アームリンクケーシングが、少なくとも１つの押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントと、モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、押し出し成型されたアームケーシングコンポーネント内に収容され、押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントを通って伸長するプーリシステムとを有し、プーリシステムは、モジュール式複合アームリンクケーシングに取り付けられて係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、プーリシステムが少なくとも１つの可動アームリンクまたは少なくとも１つの可動アームリンクに対するエンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置され、
モジュール式複合アームリンクケーシングは、少なくとも１つの押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、少なくとも１つの押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントは、モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するためにリンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングが、モジュール式複合アームリンクケーシングの端部においてリンクケースエンドモジュールに収容されたプーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置されている。
前述の説明が、本開示の態様の例示にすぎないことが理解されるべきである。本開示の態様から逸脱することなく、当業者によってさまざまな代替および補正が企図され得る。したがって、本開示の態様は、本明細書に添付された任意の請求項の範囲内にあるすべてのそのような代替、補正、および変形を包含することを意図している。さらに、異なる特徴が相互に異なる従属請求項または独立請求項に記載されているという単なる事実は、これらの特徴の組み合わせが利点を有して使用することができず、そのような組み合わせが本開示の態様の範囲内にとどまることを示すものではない。

Claims (71)

  1. 基板搬送装置であって、前記基板搬送装置が、
    支持フレームと、
    前記支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、前記可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を備え、
    前記可動アームリンクが、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングと、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、前記堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、前記堅固に連結されたリンクケースモジュールを通って伸長するプーリシステムとを有する再構成可能なアームリンクであり、前記堅固に連結されたリンクケースモジュールが、前記可動アームリンクの長さを決定する所定の特性を有する少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、
    前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールは、前記モジュール式複合アームリンクケーシングおよび再構成可能なアームリンクを、複数の所定のアームリンク長さから所定のアームリンク長さに選択可能に設定するように、各々が前記可動アームリンクの対応する異なる長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから、前記リンクケースエンドモジュールへの接続および前記再構成可能なアームリンクの形成のために選択可能である、基板搬送装置。
  2. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項１記載の基板搬送装置。
  3. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項１記載の基板搬送装置。
  4. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である、請求項１記載の基板搬送装置。
  5. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、前記リンクケースエンドモジュールの材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する、請求項１記載の基板搬送装置。
  6. 前記少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性を有する、請求項１記載の基板搬送装置。
  7. 前記少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記プーリシステムのプーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する、請求項１記載の基板搬送装置。
  8. 前記プーリシステムが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングに係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、前記プーリシステムが前記少なくとも１つの可動アームリンクまたは前記エンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置される、請求項１記載の基板搬送装置。
  9. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する、請求項１記載の基板搬送装置。
  10. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールは、前記モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために前記リンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成された前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、前記プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置される、請求項１記載の基板搬送装置。
  11. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために機械的留め具継ぎ手で前記リンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、前記機械的留め具継ぎ手は、形成された前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、前記プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように構成されている、請求項１記載の基板搬送装置。
  12. 前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つが、前記プーリシステムのプーリホイールを収容する、請求項１記載の基板搬送装置。
  13. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、前記プーリシステムのプーリホイールを接続する、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項１記載の基板搬送装置。
  14. 前記コンパクトな高さが、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い、請求項１３記載の基板搬送装置。
  15. 前記プーリホイールを接続する前記可撓性のプーリトランスミッションが、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである、請求項１３記載の基板搬送装置。
  16. 前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つは、プーリホイールの位置および位置合わせが、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、クロスローラベアリングが取り付けられた前記プーリシステムのプーリホイールを収容する、請求項１記載の基板搬送装置。
  17. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングは、前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容された前記プーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項１記載の基板搬送装置。
  18. 前記プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、前記それぞれのプーリホイールの上の前記プーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記それぞれのプーリホイールの少なくとも３６０°の回転を介した前記プーリシステムの前記それぞれのプーリホイールの回転を決定するように配置されている、請求項１記載の基板搬送装置。
  19. 前記プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、前記それぞれのプーリホイールの上の前記プーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記少なくとも１つの可動アームリンクに対する前記エンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介した前記エンドエフェクタの回転を決定するように配置されている、請求項１記載の基板搬送装置。
  20. 基板搬送装置であって、前記基板搬送装置が、
    支持フレームと、
    前記支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、前記少なくとも１つの可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を備え、
    前記少なくとも１つの可動アームリンクが、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングと、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、前記堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、前記堅固に連結されたリンクケースモジュールを通って伸長するプーリシステムとを有し、前記プーリシステムが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングに取り付けられて係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、前記プーリシステムが前記少なくとも１つの可動アームリンクまたは前記少なくとも１つの可動アームリンクに対する前記エンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置され、
    前記堅固に連結されたケースリンクモジュールが、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、前記少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールは、前記モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために前記リンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成された前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの端部において前記リンクケースエンドモジュールに収容された前記プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置されている、基板搬送装置。
  21. 前記少なくとも１つの可動アームリンクが再構成可能なアームリンクであり、前記リンクケース伸長モジュールは、各々が前記少なくとも１つの可動アームリンクの長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから交換可能である、請求項２０記載の基板搬送装置。
  22. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項２１記載の基板搬送装置。
  23. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項２１記載の基板搬送装置。
  24. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である、請求項２１記載の基板搬送装置。
  25. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、前記リンクケースエンドモジュールの材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する、請求項２１記載の基板搬送装置。
  26. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性を有する、請求項２１記載の基板搬送装置。
  27. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記プーリシステムの前記プーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する、請求項２１記載の基板搬送装置。
  28. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する、請求項２１記載の基板搬送装置。
  29. 前記プーリトランスミッションが、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションであり、前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、前記プーリシステムの前記プーリホイールを接続する、前記左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項２１記載の基板搬送装置。
  30. 前記コンパクトな高さが、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い、請求項２９記載の基板搬送装置。
  31. 前記プーリホイールを接続する前記可撓性のプーリトランスミッションが、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである、請求項２９記載の基板搬送装置。
  32. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングは、前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容された前記プーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項２１記載の基板搬送装置。
  33. 前記プーリシステムの前記プーリホイールの少なくとも１つには、前記プーリホイールのうちの少なくとも１つの位置および位置合わせが、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、前記クロスローラベアリングが取り付けられている、請求項２０記載の基板搬送装置。
  34. 前記プーリシステムの前記プーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、前記プーリホイールの少なくとも１つの上の前記プーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記プーリホイールの少なくとも１つの少なくとも３６０°の回転を介した前記プーリシステムの前記プーリホイールの少なくとも１つの回転を決定するように配置されている、請求項２０記載の基板搬送装置。
  35. 前記プーリシステムの前記プーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、前記プーリホイールの少なくとも１つの上の前記プーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記少なくとも１つの可動アームリンクに対する前記エンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介した前記エンドエフェクタの回転を決定するように配置されている、請求項２０記載の基板搬送装置。
  36. 基板搬送装置を提供する工程であって、前記基板搬送装置が、
    支持フレームと、
    前記支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、前記可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を含む、工程と、
    前記可動アームリンクを再構成する工程であって、前記可動アームリンクが、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成されたモジュール式複合アームリンクケーシングと、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、前記堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、前記堅固に連結されたリンクケースモジュールを通って伸長するプーリシステムとを有する再構成可能なアームリンクであり、前記堅固に連結されたリンクケースモジュールが、前記可動アームリンクの長さを決定する所定の特性を有する少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含む、工程と、を含み、
    前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールは、前記モジュール式複合アームリンクケーシングおよび再構成可能なアームリンクを、複数の所定のアームリンク長さから所定のアームリンク長さに選択可能に設定するように、各々が前記可動アームリンクの対応する異なる長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから、前記リンクケースエンドモジュールへの接続および前記再構成可能なアームリンクの形成のために選択可能である、方法。
  37. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項３６記載の方法。
  38. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項３６記載の方法。
  39. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である、請求項３６記載の方法。
  40. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、前記リンクケースエンドモジュールの材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する、請求項３６記載の方法。
  41. 前記少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性を有する、請求項３６記載の方法。
  42. 前記少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記プーリシステムのプーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する、請求項３６記載の方法。
  43. 前記プーリシステムが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングに係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、前記プーリシステムが前記少なくとも１つの可動アームリンクまたは前記エンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置される、請求項３６記載の方法。
  44. 前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する、請求項３６記載の方法。
  45. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールを前記リンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定する工程であって、形成された前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、前記プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合する、工程をさらに含む、請求項３６記載の方法。
  46. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために前記少なくとも１つの交換可能なリンクケース伸長モジュールを機械的留め具継ぎ手で前記リンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定する工程をさらに含み、前記機械的留め具継ぎ手は、形成された前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、選択された所定のアームリンク長さに対する、前記プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように構成されている、請求項３６記載の方法。
  47. 前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つが、前記プーリシステムのプーリホイールを収容する、請求項３６記載の方法。
  48. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、前記プーリシステムのプーリホイールを接続する、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項３６記載の方法。
  49. 前記コンパクトな高さが、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い、請求項４８記載の方法。
  50. 前記プーリホイールを接続する前記可撓性のプーリトランスミッションが、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである、請求項４８記載の方法。
  51. 前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つは、プーリホイールの位置および位置合わせが、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、クロスローラベアリングが取り付けられた前記プーリシステムのプーリホイールを収容する、請求項３６記載の方法。
  52. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングは、前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容された前記プーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項３６記載の方法。
  53. 前記プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、前記それぞれのプーリホイールの上の前記プーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記それぞれのプーリホイールの少なくとも３６０°の回転を介した前記プーリシステムのそれぞれのプーリホイールの回転を決定するように配置されている、請求項３６記載の方法。
  54. 前記プーリシステムのそれぞれのプーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、それぞれのプーリホイールの上の前記プーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記少なくとも１つの可動アームリンクに対する前記エンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介した前記エンドエフェクタの回転を決定するように配置されている、請求項３６記載の方法。
  55. 基板搬送装置を提供する工程であって、前記基板搬送装置が、
    支持フレームと、
    前記支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、前記少なくとも１つの可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を含む、工程と、
    前記少なくとも１つの可動アームリンクのモジュール式複合アームリンクケーシングに取り付けられ、係合されているプーリシステムを用いて、前記少なくとも１つの可動アームリンクまたは前記少なくとも１つの可動アームリンクに対する前記エンドエフェクタの関節運動をもたらす工程であって、前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、互いに堅固に連結されたリンクケースモジュールで形成され、前記プーリシステムが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、前記堅固に連結されたリンクケースモジュール内に収容され、前記堅固に連結されたリンクケースモジュールを通って伸長する、工程と、を含み、
    前記堅固に連結されたケースリンクモジュールが、少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、前記少なくとも１つのリンクケース伸長モジュールは、前記モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために前記リンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成された前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの端部において前記リンクケースエンドモジュールに収容された前記プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置されている、方法。
  56. 前記少なくとも１つの可動アームリンクを再構成する工程であって、前記リンクケース伸長モジュールが、各々が前記少なくとも１つの可動アームリンクの長さを決定する異なる対応する所定の特性を有する、複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールから交換可能である、工程をさらに含む、請求項５５記載の方法。
  57. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項５６記載の方法。
  58. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、それらに対応するボックス形状の断面を有し、前記所定の特性は、前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、異なる対応する長さを有し、前記対応するボックス形状の断面が、各々の異なる選択可能な所定のアームリンク長さに対して所定の剛性を維持するように前記異なる対応する長さに相応して寸法決めおよび成形されていることである、請求項５６記載の方法。
  59. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ボックス形状の断面を有する押し出し部材である、請求項５６記載の方法。
  60. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、前記リンクケースエンドモジュールの材料とは異なる材料で作られたボックス形状の断面を有する、請求項５６記載の方法。
  61. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記リンクケースエンドモジュールの材料よりも高い剛性を有する、請求項５６記載の方法。
  62. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々の材料が、前記プーリシステムの前記プーリトランスミッションの材料の剛性に相応した剛性を有する、請求項５６記載の方法。
  63. 前記リンクケース伸長モジュールおよび前記複数の異なる交換可能なリンクケース伸長モジュールの各々が、ステンレス鋼で作られたボックス形状の断面を有する、請求項５６記載の方法。
  64. 前記プーリトランスミッションが、左右対称に可撓性のプーリトランスミッションであり、前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、コンパクトで実質的に左右対称な断面を有する、前記プーリシステムの前記プーリホイールを接続する、前記左右対称に可撓性のプーリトランスミッションに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項５６記載の方法。
  65. 前記コンパクトな高さが、同等の長さを有する同等数のプーリシステムに対するバンドプーリトランスミッションのハウジング高さよりも低い、請求項６４記載の方法。
  66. 前記プーリホイールを接続する前記可撓性のプーリトランスミッションが、ケーブルまたはワイヤのプーリトランスミッションである、請求項６４記載の方法。
  67. 前記モジュール式複合アームリンクケーシングは、前記リンクケースエンドモジュールの少なくとも１つに収容された前記プーリシステムの、クロスローラベアリングが取り付けられたプーリホイールに相応する、選択された所定のアーム長さに対するコンパクトな高さを有する薄型ケーシングである、請求項５６記載の方法。
  68. 前記プーリシステムの前記プーリホイールの少なくとも１つには、前記プーリホイールのうちの少なくとも１つの位置および位置合わせが、クロスローラベアリングとの係合に依存し、クロスローラベアリングとの係合によって制御されるように、前記クロスローラベアリングが取り付けられている、請求項５５記載の方法。
  69. 前記プーリシステムの前記プーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、前記プーリホイールの少なくとも１つの上の前記プーリトランスミッションの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記プーリホイールの少なくとも１つの少なくとも３６０°の回転を介した前記プーリシステムの前記プーリホイールの少なくとも１つの回転を決定するように配置されている、請求項５５記載の方法。
  70. 前記プーリシステムの前記プーリホイールのプーリホイールに対するプーリトランスミッションの係合が、前記プーリホイールの少なくとも１つの上の前記プーリトランスミッショの巻き付き位置と巻き付き解除位置との間の前記少なくとも１つの可動アームリンクに対する前記エンドエフェクタの少なくとも３６０°の回転を介した前記エンドエフェクタの回転を決定するように配置されている、請求項５５記載の方法。
  71. 基板搬送装置であって、前記基板搬送装置が、
    支持フレームと、
    前記支持フレームに接続され、少なくとも１つの可動アームリンクと、前記少なくとも１つの可動アームリンクに接続され、基板保持ステーションが上に配置されたエンドエフェクタとを有する、関節式アームと、を備え、
    前記少なくとも１つの可動アームリンクが、モジュール式複合アームリンクケーシングを有し、前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、少なくとも１つの押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントと、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの実質的に端から端まで、前記押し出し成型されたアームケーシングコンポーネント内に収容され、前記押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントを通って伸長するプーリシステムとを有し、前記プーリシステムが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングに取り付けられて係合され、駆動セクションによって動力を供給されて、前記プーリシステムが前記少なくとも１つの可動アームリンクまたは前記少なくとも１つの可動アームリンクに対する前記エンドエフェクタの関節運動をもたらすように配置され、
    前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、前記少なくとも１つの押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントによって接続されたリンクケースエンドモジュールを含み、前記少なくとも１つの押し出し成型されたアームケーシングコンポーネントは、前記モジュール式複合アームリンクケーシングを形成するために前記リンクケースエンドモジュールの各々に機械的に固定され、形成された前記モジュール式複合アームリンクケーシングが、前記モジュール式複合アームリンクケーシングの端部において前記リンクケースエンドモジュールに収容された前記プーリシステムのプーリホイールを接続するプーリトランスミッションのミスアライメント公差に適合するように配置されている、基板搬送装置。
JP2022547831A 2020-02-05 2021-02-05 基板処理装置 Pending JP2023522536A (ja)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US202062970565P 2020-02-05 2020-02-05
US62/970,565 2020-02-05
US17/167,831 US20210257241A1 (en) 2020-02-05 2021-02-04 Substrate processing apparatus
US17/167,831 2021-02-04
PCT/US2021/016855 WO2021158942A1 (en) 2020-02-05 2021-02-05 Substrate processing apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2023522536A true JP2023522536A (ja) 2023-05-31

Family

ID=77199412

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022547831A Pending JP2023522536A (ja) 2020-02-05 2021-02-05 基板処理装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20210257241A1 (ja)
EP (1) EP4100995A1 (ja)
JP (1) JP2023522536A (ja)
KR (1) KR20220137673A (ja)
CN (1) CN115362540A (ja)
WO (1) WO2021158942A1 (ja)

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6485250B2 (en) * 1998-12-30 2002-11-26 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation
US8668422B2 (en) * 2004-08-17 2014-03-11 Mattson Technology, Inc. Low cost high throughput processing platform
US8078311B2 (en) * 2004-12-06 2011-12-13 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and substrate transfer method adopted in substrate processing apparatus
DE202014101342U1 (de) * 2014-03-24 2014-04-09 Igus Gmbh Roboterarm und Montageset
KR102050149B1 (ko) * 2015-02-13 2019-11-28 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 기판 반송 로봇 및 그것의 운전 방법
CN204725494U (zh) * 2015-04-16 2015-10-28 浙江理工大学 360度多自由度仿人气动肌肉机械手
WO2018065913A1 (en) * 2016-10-04 2018-04-12 Ecole Polytechnique Federale De Lausanne (Epfl) Modular and minimally constraining lower limb exoskeleton for enhanced mobility and balance augmentation
US20180308728A1 (en) * 2017-02-07 2018-10-25 Brooks Automation, Inc. Method and apparatus for substrate transport
US11883958B2 (en) * 2019-06-07 2024-01-30 Applied Materials, Inc. Robot apparatus including dual end effectors with variable pitch and methods

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220137673A (ko) 2022-10-12
CN115362540A (zh) 2022-11-18
US20210257241A1 (en) 2021-08-19
WO2021158942A1 (en) 2021-08-12
EP4100995A1 (en) 2022-12-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20210023698A1 (en) Dual arm robot
JP7263641B2 (ja) 基板搬送装置
US11201073B2 (en) Substrate transport apparatus
US11569111B2 (en) Substrate processing apparatus
JP2010527149A (ja) 機械的スイッチ機構を利用する複数の可動アームを有する基板搬送装置
US11235935B2 (en) Substrate transport apparatus
JP2023522536A (ja) 基板処理装置
TW202147497A (zh) 基材處理設備
TWI803777B (zh) 基板搬運裝置

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426

Effective date: 20230209

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20240202