CN115244674B - 基板处理设备 - Google Patents

基板处理设备 Download PDF

Info

Publication number
CN115244674B
CN115244674B CN202080095482.7A CN202080095482A CN115244674B CN 115244674 B CN115244674 B CN 115244674B CN 202080095482 A CN202080095482 A CN 202080095482A CN 115244674 B CN115244674 B CN 115244674B
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
end effector
link
substrate holding
arm
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202080095482.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN115244674A (zh
Inventor
A·克鲁皮舍夫
J·哈利齐
K·布尔贝奥
E·奥德布兰德
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Borucos Automation Usa Co ltd
Original Assignee
Borucos Automation Usa Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Borucos Automation Usa Co ltd filed Critical Borucos Automation Usa Co ltd
Priority to CN202311462157.1A priority Critical patent/CN117524952A/zh
Publication of CN115244674A publication Critical patent/CN115244674A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN115244674B publication Critical patent/CN115244674B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/0095—Manipulators transporting wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0014—Gripping heads and other end effectors having fork, comb or plate shaped means for engaging the lower surface on a object to be transported
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0052—Gripping heads and other end effectors multiple gripper units or multiple end effectors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/0096—Programme-controlled manipulators co-operating with a working support, e.g. work-table
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B25J9/043—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm double selective compliance articulated robot arms [SCARA]
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
    • H01L21/67167—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers surrounding a central transfer chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67196—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67201—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67754—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a batch of workpieces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Abstract

本公开涉及一种基板运输设备，其具有：驱动部段；以及至少一个铰接式多连杆臂，其具有在一个端部处联结到驱动部段的上臂以及联结到上臂的前臂。上臂是基本上刚性的非铰接连杆。双末端执行器连杆是分开的并且彼此不同，它们各自绕公共旋转轴线可旋转地且单独地联结到前臂的公共端部。每个末端执行器连杆具有至少一个保持站。至少一个末端执行器连杆的保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个保持站，所述至少一个末端执行器连杆在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的，并且在相对端部中的一个处的保持站与每个其他末端执行器连杆的保持站基本上共面。

Description

基板处理设备
相关申请的交叉引用
本申请是以下美国临时专利申请号的非临时申请并要求其权益：2019年12月2日提交的62/942,530、2019年12月2日提交的62/942,544和2020年9月21日提交的63/081,186，以上专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。
技术领域
示例性实施例总体上涉及基板处理工具，且更特别地涉及基板运输设备。
背景技术
半导体制造设施可利用基板处理系统，这些基板处理系统包括联接到公共真空运输系统的双过程模块。在一些常规系统中，半导体基板(也称为基板或晶片)通常由包括并排伸缩臂的运输设备递送到双过程模块，这些并排伸缩臂可以伸入双过程模块的并排的基板保持站中。在其他常规系统中，使用长距离“偏航”型搬运设备(例如，具有包括臂连杆的臂，这些臂连杆允许非径向对齐的基板保持器延伸)来将基板一次一个搬运到双过程模块的基板保持站中的每一个。这些常规搬运设备的基板交换时间(例如，从双过程模块的一个或两个基板保持站移除处理过的基板并将未处理的基板引入到相同的一个或两个基板保持站所花费的时间)可能导致基板处理系统的总处理能力降低。
发明内容
无。
附图说明
在以下描述中，结合附图解释了本公开的前述方面和其他特征，其中：
图1A是结合了本公开的方面的示例性基板处理设备的示意性图示；
图1B和图1C是根据本公开的方面的图1A的基板处理设备的部分的示意性图示；
图2A、图2B、图2C和图2D是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图3是根据本公开的方面的基板运输设备的示例性驱动部段的示意性截面图示；
图3A是根据本公开的方面的基板运输设备的示例性驱动部段的示意性截面图示；
图3B是根据本公开的方面的基板运输设备的示例性驱动部段的示意性截面图示；
图3C是根据本公开的方面的基板运输设备的示例性驱动部段的示意性截面图示；
图4是根据本公开的方面的图2A、图2B、图2C和图2D的基板运输设备的一部分的示意性截面图示；
图5A和图5B是根据本公开的方面的图2A、图2B、图2C和图2D的基板运输设备的一部分的示意性透视图示；
图5C、图5D、图5E和图5F是根据本公开的方面的图2A、图2B、图2C和图2D的基板运输设备的部分的示意性图示；
图6A和图6B是根据本公开的方面的图2A、图2B、图2C和图2D的基板运输设备的部分的示意性图示；
图7A-7L是根据本公开的方面的结合了图2A、图2B、图2C和图2D的基板运输设备的示例性基板处理设备的示意性图示；
图8是根据本公开的方面的结合了基板运输设备的基板处理设备的示意性图示；
图9是结合了本公开的特征的基板运输设备的示意性图示；
图10是用于如本文中所描述并且结合了本公开的特征的运输设备的示例性基板保持器的示意性侧视图示；
图11是用于如本文中所描述并且结合了本公开的特征的运输设备的示例性基板保持器的示意性侧视图示；
图12是根据本公开的方面的结合了基板运输设备的基板处理设备的示意性图示；
图13是结合了本公开的特征的基板运输设备的示意性图示；
图14是根据本公开的方面的示例性方法的流程图；
图15是根据本公开的方面的结合了基板运输设备的基板处理设备的示意性图示；
图16是根据本公开的方面的结合了基板运输设备的基板处理设备的示意性图示；
图17是根据本公开的方面的示例性方法的流程图；
图18A-18C是根据本公开的方面的多轴自动晶片定心的示例性示意性图示；
图19是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图20是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图21是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图22是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图23是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图23A是根据本公开的方面的结合了图23的基板运输设备的示例性基板处理设备的示意性图示；
图24是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图25是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图26A、图26B、图26C和图26D是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图27A、图27B和图27C是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图28是根据本公开的方面的图1的基板处理设备的基板运输设备的示意性图示；
图29是根据本公开的方面的示例性方法的流程图；
图30A和图30B是根据本公开的方面的基板运输设备的一部分的示例性图示；
图31是根据本公开的方面的图30A和图30B的基板运输设备的该部分的示意性剖视图示；
图32A-32F是根据本公开的方面的结合了图30A和图30B的基板运输设备的该部分的基板处理设备的示意性图示；
图33A-33C是根据本公开的方面的图30A和图30B的基板运输设备的该部分的示例性平面图(前臂和基板保持器为清楚起见被省略)并示出了运输设备的占地面积；
图34A是根据本公开的方面的图31中的示例性驱动传动装置的一部分的示意性侧视图；
图34B是根据本公开的方面的图34A的示例性驱动传动装置的该部分的示意性平面图；
图35是根据本公开的方面的示例性方法的流程图；
图36是根据本公开的方面的示例性方法的流程图；
图37是根据本公开的方面的示例性方法的流程图；以及
图38A、图38B、图39A、图39B、图40A、图40B、图41A和图41B是根据本公开的方面的基板保持器移动的示例性流程图。
具体实施方式
图1A图示了根据本公开的方面的示例性基板处理设备100。虽然将参考附图来描述本公开的方面，但是应理解，本公开的方面可以以许多种形式来体现。另外，可使用任何合适的尺寸、形状或类型的元件或材料。
本公开的方面提供了包括基板运输设备130的基板处理设备100。该基板运输设备包括臂131，该臂具有至少两个臂连杆和末端执行器(本文中也称为基板保持器)，它们彼此可旋转地联结并且在一个方面中具有在固定位置中的肩部接头/轴线SX。基板运输设备130被构造成与并排基板处理(或其他保持)站190-191、192-193、194-195、196-197基本上同时拾取(和/或放置)基板，同时提供基板S的快速交换。基板运输设备130构型使得能够将基板基本上同时拾取到搬运室125、125A(如本文中所描述的)的每一侧上的每个并排的基板处理站，其中针对每个基板的独立的自动晶片定心与基板运输设备130的基板搬运是同时发生的(coincident)。应注意，简要参考图7E-7J，基板S的快速交换是利用基板运输设备130基本上同时从一组或一对并排的基板处理站(例如，诸如基板处理站190-191)移除基板S(S1、S2)、以及利用基板运输设备130将其他不同基板S(S3、S4)基本上同时放置到相同的并排的基板处理站(即，基板处理站188-189)，其中移除和放置快速连续地发生，而没有对所移除的基板S(S1，S2)进行任何干预放置(即，其中所移除的基板S(S1、S2)由基板运输设备保持)。在其他方面，基板快速交换基本上在(多个)基板的拾取和放置之间没有干预的Z轴运动的情况下发生。换言之，除了将基板提升(拾取)或降低(放置)到基板保持站之外，基板运输设备130基本上没有干预的Z轴运动。例如，基板保持器平面(如本文中所描述的，并且无论双侧基板保持器的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2形成一个或多个平面)中的每个平面499、499A(见图2D、图10和图11)与公共运输室中用于在运输开口平面的给定Z位置处搬运的运输开口的至少一个平面(见图1B和图1C)对应并对齐到所述至少一个平面，如本文中将进一步描述的。
还参考图2，根据本公开的方面，臂131包括至少两个基板保持器或末端执行器203、204。在一个方面，基板保持器203、204是双盘基板保持器的双端，其中每个基板保持器具有两个纵向分开的端部并且在每个端部处具有至少一个基板保持站或盘；然而，在其他方面，基板保持器具有任何合适的构型，诸如本文中所描述的那些构型。所述至少两个基板保持器203、204绕基板运输设备130的腕部轴线WX彼此独立且相对地旋转，以便实现自动晶片定心和适应并排的基板处理站190-191、192-193、194-195、196-197之间的不同节距中的一者或多者。
再次参考图1A，根据本公开的一个方面，示出了基板处理设备100，诸如例如半导体工具站。虽然在附图中示出了半导体工具站，但是本文中所描述的本公开的方面可以应用到采用机器人操纵者的任何工具站或应用。在一个方面，基板处理设备100被示出为具有集群式布置(例如，具有连接到中央或公共室的基板处理站190-197)，而在其他方面，处理设备可以是线性布置的工具，然而，本公开的方面可应用到任何合适的工具站。基板处理设备100通常包括大气前端101、两个或更多个真空负载锁102A、102B、以及真空后端103。所述两个或更多个真空负载锁102A、102B可以以任何合适的布置联接到前端101和/或后端103的任何合适的(多个)端口或开口。例如，在一个方面，所述两个或更多个真空负载锁102A、102B(以及运输室壁125W中的相应开口)可以以并排布置来布置在公共水平平面中，如图1B中可以看到的。在其他方面，所述两个或更多个真空负载锁102A、120B可以以网格格式布置，使得所述两个或更多个真空负载锁102A、102B、102C、102D(以及运输室壁125W中的相应开口)布置成行(例如，具有间隔开的水平平面)和列(例如，具有间隔开的竖直平面)，如图1C中所示。
应理解，尽管所述两个或更多个真空负载锁102A、102B被图示为在运输室125的端部100E1上，但在其他方面，所述两个或更多个真空负载锁102A、102B可布置在运输室125的任何数量的侧部100S1、100S2和/或端部100E1、100E2上。所述两个或更多个真空负载锁102A、102B、102C、102D中的每一个还可包括一个或多个晶片/基板搁置平面WRP(图1B和图1C)，其中基板被保持在相应的真空负载锁102A、102B、102C、102D内的合适支撑件上。在其他方面，基板处理设备100可具有任何合适的构型。
前端101、所述两个或更多个真空负载锁102A、102B、以及后端103中的每一者的部件可连接到控制器110，该控制器可以是任何合适的控制架构(诸如例如，集群式架构控制)的一部分。控制系统可以是具有主控制器的闭环控制器、集群控制器和自主远程控制器，诸如在2011年3月8日授权的题为“Scalable Motion Control System”的美国专利号7,904,182中公开的控制系统，该专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在其他方面，可利用任何合适的控制器和/或控制系统。
在一个方面，前端101通常包括负载端口模块105和微环境106，诸如例如，装备前端模块(EFEM)。负载端口模块105可以是符合用于300mm负载端口的SEMI标准E15.1、E47.1、E62、E19.5或E1.9的开盒器/加载器至工具标准(BOLTS)接口、前部开口或底部开口盒/舱和匣。在其他方面，负载端口模块可被构造为200mm晶片/基板接口、450mm晶片/基板接口或任何其他合适的基板接口，诸如例如更大或更小的半导体晶片/基板、用于平板显示器的平板、太阳能面板、调制盘(reticle)或任何其他合适的物体。虽然在图1A中示出了两个负载端口模块105，但在其他方面，任何合适数量的负载端口模块可被结合到前端101中。负载端口模块105可被构造成从顶置运输系统、自动引导车辆、个人引导车辆、导轨引导车辆或从任何其他合适运输方法来接收基板载体或匣110。负载端口模块105可通过负载端口107与微环境106对接。负载端口107可允许基板S在基板匣C和微环境106之间通过。微环境106通常包括任何合适的搬运机器人108，该搬运机器人可结合本文中所描述的本公开的一个或多个方面。在一个方面，机器人108可以是轨道安装的机器人，诸如，在例如以下各者中所描述的轨道安装的机器人：1999年12月14日授权的美国专利号6,002,840；2013年4月16日授权的美国专利号8,419,341；以及2010年1月19日授权的美国专利号7,648,327，以上专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在其他方面，机器人108可与本文中关于后端103所描述的机器人基本上类似。微环境106可提供用于在多个负载端口模块之间进行基板搬运的受控清洁区。
所述两个或更多个真空负载锁102A、102B(和102C、120D)可位于微环境106和后端103之间并且连接到微环境106和后端103。在其他方面，负载端口105可基本上直接联接到所述至少一个负载锁102A、102B或运输室125，其中基板载体C被抽空至运输室125的真空并且基板S直接在基板载体C和相应的负载锁102A、120B或搬运室125之间搬运。在这个方面，基板载体C可充当负载锁，使得运输室的处理真空延伸到基板载体C中。如可认识到的，在基板载体C通过合适的负载端口基本上直接联接到真空负载锁102A、120B的情况下，任何合适的搬运设备均可提供在负载锁内或以其他方式接近载体C以便将基板S搬运到基板载体C和从基板载体C搬运基板S。注意，如本文中所使用的术语真空可表示在其中处理基板S的高真空(诸如，10-5Torr或以下)。所述两个或更多个真空负载锁102A、102B通常包括大气槽/狭缝阀ASV和真空槽/狭缝阀VSV(本文中通常称为槽阀SV)。负载锁102A、102B(以及用于基板站模块150)的槽阀SV可提供环境隔离，环境隔离被采用来在从大气前端101装载基板S之后排空负载锁102A、120B以及在利用惰性气体(诸如，氮气)来排通负载锁102A、120B时保持运输室125中的真空。处理设备100的槽阀SV可位于相同平面或不同的竖直堆叠平面中(如上文关于真空负载锁102A、102B、120C、120D所描述的)以适应至少往返于基板站模块150和联接到运输室125的负载锁102A、102B的基板搬运。所述两个或更多个负载锁102A、102B(和/或前端101)还可包括用于将基板S的基准点对齐到用于处理的期望位置的对齐器109、或任何其他合适的基板计量装备。在其他方面，所述两个或更多个真空负载锁102A、120B可位于处理设备的任何合适位置中并且具有任何合适的构型。
真空后端103通常包括运输室125、一个或多个基板站模块150、以及任何合适数量的基板运输设备130，基板运输设备可包括本文中所描述的本公开的一个或多个方面。基板运输室125被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁125W，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁125W(图1B)或在其他方面以行和列(图1C)相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口(诸如，槽阀SV或对应于槽阀SV的开口(诸如，图1B和图1C中所示的在壁125W中的开口)，槽阀联接到这些开口以密封地闭合这些开口)。运输室125可具有例如遵从SEMI标准E72准则的任何合适的形状和尺寸。基板运输设备130将在下文进行描述并且可至少部分地位于运输室125内以在所述两个或更多个真空负载锁102A、102B和各种基板站模块150之间(或在位于负载端口处的匣C和各种基板站模块150之间)运输基板。在一个方面，基板运输设备130可能够从作为模块化单元的运输室125移除，使得基板运输设备130遵从SEMI标准E72准则。
基板站模块150可并排布置在搬运室125的公共侧部或小面上和/或单个基板站模块150可设置在搬运室125的单个侧部或小面上；然而，在其他方面，基板站模块可以是单基板站模块150S(图8)、三基板站模块150T(图12)和/或具有任何合适数量的基板处理/保持站的基板站模块，基板处理/保持站位于单个壳体内或以其他方式并排布置在运输室125的公共侧/小面上。在一个方面，并排的基板处理站布置在公共(即，同一个)过程模块壳体150H(图1A)内以形成所谓的双或串联基板处理模块150D；而在其他方面，并排的基板处理站是单个基板处理站150S，它们彼此分开并且不共享公共壳体(图7A)。应理解，双基板站模块150D、单基板站模块150S、三基板站模块150T、以及具有任何合适数量的基板处理站的任何其他基板站模块可以以任何合适的组合联接到同一个(即，公共)搬运室125(见例如图8，其中单基板站模块和双基板站模块联接到同一个搬运室)。
参考图1A和在例如搬运室125的侧部100S1上的基板站模块150，基板处理站190、191并排布置在公共壳体150H中并且可通过单个槽阀(见例如基板处理站192、193)从搬运室125内接近，该单个槽阀为两个基板处理站所共用，或者每个基板处理站可具有相应的可独立操作的槽阀(见例如基板处理站190、191)。并排的基板处理站(诸如，例如190、191)彼此分开或间隔开任何合适的距离或节距D，如本文中将描述的，该距离或节距可通过改变基板运输设备130的所述至少两个双端基板保持器203、204的基板处理站之间的距离来适应。
基板站模块150可通过各种沉积、蚀刻、或者其他类型的过程对基板S进行操作，以在基板上形成电路或其他期望的结构。典型过程包括但不限于使用真空的薄膜过程，诸如等离子体蚀刻或其他蚀刻过程、化学气相沉积(CVD)、等离子体气相沉积(PVD)、注入(诸如，离子注入)、计量、快速热处理(RTP)、干式剥离原子层沉积(ALD)、氧化/扩散、氮化物的形成、真空光刻、外延(EPI)、金属丝键合器和蒸发或使用真空压力的其他薄膜过程。基板站模块150以任何合适的方式(诸如，通过槽阀SV)可连通地连接到输送室运输室125，以允许将基板从运输室125传递到基板站模块150，且反之亦然。运输室125的槽阀SV可布置成允许连接双过程模块。
注意，当基板运输设备130的所述至少两个双端基板保持器203、204的至少一部分与预定的一组或一对并排的基板处理站190-191、192-193、194-195、196-197中的相应一个基板处理站对齐时，可发生往返于基板站模块150和联接到搬运室125的负载锁102A、102B(或匣C)的基板搬运。根据本公开的方面，两个基板S可基本上同时被搬运到相应的预定基板站模块150(例如，诸如当以本文中所描述的方式从双处理模块拾取/放置基板时)。
基板运输设备130通常在本文中被描述为具有至少一个铰接式多连杆臂131，所述至少一个铰接式多连杆臂具有在固定位置处连接到运输室125的驱动部段220、200A、220B、220C；然而，在其他方面，基板运输设备130可安装在吊臂或线性托架上，诸如在2014年10月16日提交的题为“Processing Apparatus”的美国专利申请号15/103,268和2013年2月11日提交的题为“Substrate Processing Apparatus”的国际专利申请号PCT/US13/25513中所描述的吊臂或线性托架，以上专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。所述至少一个铰接式多连杆臂131具有位于运输室125中的上臂201和前臂202。上臂201的接近端201E1在固定位置处可旋转地联结到驱动部段220、220A、220B、220C。前臂202在上臂201的远端201E2处可旋转地联结到上臂201，并且上臂201是接近端201E1和远端201E2之间的基本上刚性的非铰接连杆。
在本文中所描述的本公开的方面，至少一个末端执行器连杆(如本文中将描述的)在前臂202的端部处可旋转地联结到接头(例如，腕部接头或轴线WX)，使得所述至少一个末端执行器连杆绕该接头处的公共旋转轴线相对于前臂202旋转，所述至少一个末端执行器连杆具有如下的多于一个基板保持站(如本文中将描述的)，即，所述多于一个基板保持站自其悬垂、相对于彼此沿着公共平面499(见例如图2D、图10和图11)并置并且被构造成使得所述至少一个末端执行器连杆绕公共旋转轴线的旋转使所述多于一个基板保持站绕公共旋转轴线旋转。如本文中将描述的，基板运输设备130的驱动部段220、220A、220B、220C被构造成至少使多连杆臂131(以及联接到其的所述至少一个执行器)相对于固定位置沿着非径向线性路径延伸和缩回，因此所述多于一个并置的基板保持站各自随着臂131的延伸和缩回而沿着非径向路径线性地横过，并且基本上同时穿过公共水平面上的所述多于一个并置的基板运输开口(诸如，槽阀SV或对应于槽阀SV的开口(诸如，图1B和图1C中所示的在壁125W中的开口)，槽阀联接到这些开口以密封地闭合这些开口)中的单独的对应开口。在其他方面，基板运输设备130的驱动部段220、220A、220B、220C被构造成使多连杆臂131相对于固定位置沿着径向线性路径和非径向线性路径中的一者或两者延伸和缩回以用于运输基板，如本文中所描述的。
仍参考图1A并且还参考图2A-2D，基板运输设备130包括框架220F、连接到框架220F的驱动部段220、以及至少一个铰接式多连杆臂131(仅出于示例性目的而图示了单个臂)。在一个方面，臂131是选择性顺从的铰接式机器人臂(本文中称为“SCARA臂”)，但在其他方面，臂可具有任何合适的构型。例如，臂131包括上臂连杆201、前臂连杆202和至少一个末端执行器连杆203、204(即，具有至少一个末端执行器的双连杆SCARA)；不过在其他方面，臂131可具有任何合适数量的臂连杆和基板保持器。上臂连杆201是基本上刚性的连杆(即，上臂连杆201在纵向端部201E1、201E2之间是非铰接的)。上臂连杆201在一个纵向端部201E1(形成可被称为肩部接头或轴线SX的端部)处可旋转地联接到驱动部段220，以便绕臂131的肩部轴线SX旋转。在一个方面，肩部接头或轴线SX是在固定位置(在图中被示出为沿着运输室的对称轴线，不过在其他方面可从运输室的对称轴线偏移)处。前臂连杆202是基本上刚性的连杆(即，前臂连杆202在纵向端部202E1、202E2之间是非铰接的)。前臂连杆202的纵向端部202E1可旋转地联接到上臂连杆201的纵向端部201E2，使得前臂连杆202绕臂131的肘部轴线EX旋转。此处，前臂连杆202和上臂连杆201具有类似的长度(例如，从接头中心到接头中心)，不过在其他方面，前臂连杆202和上臂连杆201可具有不同的长度(例如，从接头中心到接头中心)。
在一个方面，所述至少一个末端执行器连杆203、204(本文中也称为基板保持器)包括两个双(端)基板保持器203、204；然而，在其他方面，如本文中所描述的，所述至少一个基板保持器可具有任何合适的构型。双基板保持器203、204是分开的并且彼此不同。双基板保持器203、204中的每一个在前臂连杆202的公共端部处可旋转地且单独地联结到接头，使得基板保持器203、204的每个端部绕该接头或由此形成的公共旋转轴线(见例如腕部轴线或接头WX)相对于前臂连杆202旋转。双基板保持器203、204中的每一者具有如下的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2，即，所述对应的至少一个基板保持站自其悬垂并从接头延伸，使得所述多于一个基板保持器203、204相对于彼此沿着公共平面499(见图2D、图4、图10和图11)并置。公共平面499由多于一个基板保持器203、204的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2中的至少三个基板保持站来确定，其中所述至少三个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2中的两个基板保持站(例如，基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)对应于所述多于一个基板保持器203、204中的公共基板保持器203、204。如本文中所描述的，两个基板保持站(例如，基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)以每个端部一个的方式设置在公共基板保持器203、204的相对端部处。
自至少一个基板保持器203、204悬垂的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2包括在所述至少一个基板保持器203、204的相对端部处的一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2。所述至少一个基板保持器203、204在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的，并且在相对端部中的一个处的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2与彼此分开且不同的基板保持器203、204的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2基本上共面。在一个方面，在所述至少一个基板保持器203、204的相对端部处的基板保持站(见基板保持器203的基板保持站203H1、203H2和基板保持器204的基板保持站204H1、204H2)彼此基本上共面。在其他方面，在所述至少一个基板保持器(见基板保持器203或204中的一个)的相对端部处的基板保持站(见基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)与彼此分开且不同的末端执行器连杆(见基板保持器203或204中的另一个)的对应的至少一个基板保持站(见基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2中的另一个)基本上共面。在再其他方面，每个分开且不同的基板保持器(见基板保持器203、204中的每一个)的对应的至少一个基板保持站(见基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2)包括在所述至少一个基板保持器203、204的相对端部处的一个基板保持站，并且分开且不同的基板保持器203、204中的每一个在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的。
仍参考图2A-2D，将更详细地描述双基板保持器203、204。例如，在一个方面，双基板保持器203、204中的每一个包括纵向延伸的框架203F、204F(图2A)，该框架具有设置在框架203F、204F的相对纵向端部处的相应的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2。在一个方面，两个基板保持站(例如，基板保持站203H1、203H2或204H1、204H2)在公共基板保持器的相对端部处彼此基本上共面；而在其他方面，两个基板保持器可在不同的堆叠平面中(见例如图10)。如上所述，基板保持器平面(如本文中所描述的，并且无论双侧基板保持器的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2形成一个或多个平面)中的每个平面499、499A(见图2D、图10和图11)与公共运输室中用于在运输开口平面的给定Z位置处搬运的运输开口的至少一个平面(见图1B和图1C)对应并对齐到所述至少一个平面，使得通过每个平面上的每个相应开口实现基板搬运并且每个双端基板保持器203、204的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2基本上没有Z轴移动，即，随基板保持器203、204的一个端部处的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸到基板处理站(用于每个平面)中、在基板处理站处拾取和/或放置(多个)基板、从基板处理站缩回、以及延伸到每个其他不同的基板处理站(在双端基板保持器203、204的相同或不同端部处具有相同或不同的双基板)中实现了(在基板搬运之间独立于干预的Z轴移动或脱离干预的Z轴移动)基本上独立于Z轴移动的基板快速交换。框架203F、204F中的每一者形成从相应的基板保持站203H1、204H1到相应的基板保持站203H2、204H2的基本上刚性的连杆(即，双端基板保持器203、204在它们各自的纵向分开的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2之间是非铰接的)。双端基板保持器203、204中的每一者包括从框架203F、204F侧向地延伸的偏移安装突起210、211。双端基板保持器203、204的偏移安装突起210、211绕腕部轴线WX可旋转地联接到上臂202，使得双端基板保持器203、204中的每一者绕腕部轴线WX彼此独立地旋转。
偏移安装突起210、211可具有任何合适的长度，该长度设定或以其他方式限定任何合适的基节距BP(在并排的基板保持站203H1-204H1之间以及(以便与基节距BP相称的)并排的基板保持站203H2-204H2之间)和/或基板保持位置203H1、203H2、204H1、204H2中的每一者相对于腕部轴线WX的任何合适的基板保持器偏移距离SD。在一个方面，基节距BP可基本上等于并排的基板处理站之间的节距D，诸如例如190、191(见图1A)。在其他方面，如本文中所描述的，自动晶片定心是通过以下方式来实现的：改变基节距BP(例如，可增加或减小并排的基板保持站203H1-204H1、203H2-204H2之间的距离)，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197处。例如，基板保持器203、204中的一者或多者可绕腕部轴线WX独立地旋转，以便增加或减小(或以其他方式改变)相应的偏移距离SD并在基节距BP中做出对应的改变，如本文中所描述的。在一个方面，如本文中所描述的，驱动部段220被构造成将基板保持器203、204中的每一者的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2相对于基板保持器203、204中的另一者的对应的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2独立地对齐。
双端基板保持器203、204以任何合适的方式被构造成使得基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2设置在公共平面499(见图2D和图4)中。例如，偏移安装突起210、211可各自包括第一部分230、231，该第一部分与相应框架203F、204F基本上共面。偏移安装突起210、211可各自包括第二部分232、233，该第二部分被偏移以便延伸到由相应框架203F、204F限定的平面之外。第二部分232、233的偏移使得当第二部分以一者在另一者之上的方式堆叠时，基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2设置在公共平面499中(见图2D)并且绕腕部轴线WX可旋转地联接到前臂202。
双基板保持器203、204设置成使得臂131的径向延伸和缩回实现了每个基板保持器203、204的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2通过运输室壁125W(图1A)中的相应的单独开口(见槽阀SV)而基本上同时延伸和缩回，这些开口在基本上公共水平面(见图1B和图1C中的所述一个或多个晶片/基板搁置平面WRP)处相对于彼此并置。在其他方面，基板保持器203、204可延伸穿过运输室壁中的堆叠在不同平面中的开口。
现在参考图2A-3A，示出了根据本公开的方面的示例性驱动部段220。在一个方面，驱动部段220被构造成以径向延伸来延伸(和缩回)臂131，在该径向延伸中，腕部轴线WX的移动沿着延伸穿过肩部轴线SX(图7B)的径向延伸/缩回轴线或路径700被保持，使得基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2(这些基板保持站从径向轴线偏移)从并排的基板处理站拾取和放置基板S。在另一个方面，驱动部段220被构造成以非径向延伸来延伸(和缩回)臂131，在该非径向延伸中，腕部的移动沿着从径向延伸/缩回轴线700偏移和/或成角度的路径701(图7F)(即，路径701不穿过肩部轴线SX或不从肩部轴线SX辐射-注意，图7C图示了径向延伸路径702，其中腕部轴线WX沿着延伸穿过肩部轴线SX或从肩部轴线SX辐射的移动路径移动)行进。在再其他方面，驱动部段220被构造成使臂沿着径向和非径向两条路径(见图7A-7L)延伸。
在一个方面，驱动器可具有同轴驱动布置，而在其他方面，驱动部段可具有任何合适的驱动布置，包括但不限于并排马达、谐波驱动器、开关或可变磁阻马达等。在以下美国专利号中描述了驱动部段布置的合适示例：6,485,250；5,720,590；5,899,658；5,813,823；8,283,813；8,918,203；以及9,186,799，以上专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在这个方面，驱动部段220包括壳体310，该壳体用于至少部分地容纳具有四个驱动轴301-304的四同轴驱动轴组件300(也见图4)和四个马达342、344、346、348(例如，四自由度马达)。在本公开的其他方面，驱动部段220可具有任何合适数量的驱动轴和马达，诸如例如两个或三个同轴马达或多于四个同轴马达以及相关联的驱动轴。驱动部段220还可包括被构造成例如升高和降低用于拾取和放置基板S的臂131的Z轴驱动器312；然而，在其他方面，联接到臂131所在的搬运室的基板处理站可包括用于从臂131提升基板和将基板降低到臂131的Z轴驱动器，以代替或补充驱动部段220的Z轴驱动器312。
在一个方面，驱动部段220是多轴驱动部段，其为至少一个基板保持器203、204相对于另一基板保持器203、204限定独立自由度；而在其他方面，对于多个基板保持器中的至少一个基板保持器，存在独立自由度；而在再其他方面，对于每个基板保持器都存在独立自由度。每个基板保持器203、204的独立自由度使得能够在双基板保持器203、204中的每一者的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、2034H1、204H2处进行独立的自动晶片定心。在一个方面，驱动部段220是多轴驱动部段，其被构造成在双基板保持器203、204中的每一者的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、2034H1、204H2处实现独立的自动晶片定心，这与双基板保持器203、204中的每一者的对应的至少一个基板保持站203H1、203H2、2034H1、204H2基本上同时延伸穿过运输室壁125W中的相应的单独开口(见槽阀SV)是基本上同时发生的。
参考图3A，驱动部段包括至少马达342、344、346、348。驱动部段220的第一马达342包括连接到外轴304的定子342S和转子342R。第二马达344包括连接到轴303的定子344S和转子344R。第三马达346包括连接到轴302的定子346S和转子346R。第四马达348包括连接到第四或内轴301的定子348S和转子348R。四个定子342S、344S、346S、348S在310壳体内的不同竖直高度或位置处固定地附接到该壳体。每个定子342S、344S、346S、348S通常包括电磁线圈。转子342R、344R、346R、348R中的每一者通常包括永磁体，但可替代地包括不具有永磁体的磁感应转子。在再其他方面，马达342、344、346、348可以是可变或开关磁阻马达，诸如在美国专利号10,348,172和9,948,155以及2014年11月13日提交的题为“PositionFeedback for Sealed Environments”的美国专利申请号14/540,058中所描述的可变或开关磁阻马达，以上专利和专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在再其他方面，马达342、344、346、348可以是谐波驱动器，诸如在美国专利号9,656,386中所描述的谐波驱动器，该专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在基板运输设备130用于密封环境(诸如，仅出于非限制性示例性目的的真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342R、344R、346R、3418R和定子342S、344S、346S、348S之间，使得同轴驱动轴组件300位于密封环境中并且定子位于密封环境之外。应认识到，如果基板运输设备130仅旨在用于大气环境中(诸如，在基板处理设备100(图1)的大气部段105内)，则不需要提供套筒362。
第四或内轴301从底部或第四定子348S延伸并且包括转子348R，该转子与定子348S基本上对齐。轴302从第三定子346S延伸并且包括转子346R，该转子与定子346S基本上对齐。轴303从第二定子344S延伸并且包括转子344R，该转子与定子344S基本上对齐。轴304从顶部或第一定子342S延伸并且包括转子342R，该转子与定子342S基本上对齐。绕轴301-304和壳体310提供了各种轴承350-353以允许每个轴301-304相对于彼此和壳体310可独立地旋转。注意，每个轴可设置有位置传感器371-374。位置传感器371-374可用于向任何合适的控制器(诸如，控制器170)提供关于相应轴301-304相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-374可以是任何合适的传感器，诸如出于非限制性示例性目的的光学或感应传感器。
参考图3A，在其他方面，示例性驱动部段220A(其与驱动部段220基本上类似)包括壳体310，该壳体用于至少部分地容纳具有三个驱动轴302-304的三同轴驱动轴组件300A和三个马达342、344、346(例如，三自由度马达)。驱动部段220A还可包括被构造成例如升高和降低基板运输设备130的用于拾取和放置基板S的臂(诸如，本文中所描述的臂)的Z轴驱动器312；然而，在其他方面，联接到臂所在的搬运室的基板保持站可包括用于从臂131提升基板和将基板降低到臂131的Z轴驱动器，以代替或补充驱动部段220的Z轴驱动器312。
驱动部段220A的第一马达342包括连接到外轴304的定子342S和转子342R。第二马达344包括连接到轴303的定子344S和转子344R。第三马达346包括连接到轴302的定子346S和转子346R。三个定子342S、344S、346S在壳体310内的不同竖直高度或位置处固定地附接到该壳体。每个定子342S、344S、346S通常包括电磁线圈。转子342R、344R、346R中的每一者通常包括永磁体，但可替代地包括不具有永磁体的磁感应转子。在再其他方面，马达342、344、346可以是可变或开关磁阻马达，诸如在美国专利号10,348,172和9,948,155以及2014年11月13日提交的题为“Position Feedback for Sealed Environments”的美国专利申请号14/540,058中所描述的可变或开关磁阻马达，以上专利和专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在再其他方面，马达342、344、346可以是谐波驱动器，诸如在美国专利号9,656,386中所描述的谐波驱动器，该专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在基板运输设备130用于密封环境(诸如，仅出于非限制性示例性目的的真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342R、344R、346R和定子342S、344S、346S之间，使得同轴驱动轴组件300A位于密封环境中并且定子位于密封环境之外。应认识到，如果基板运输设备130仅旨在用于大气环境中(诸如，在基板处理设备100(图1)的大气部段105内)，则不需要提供套筒362。
轴302从第三定子346S延伸并且包括转子346R，该转子与定子346S基本上对齐。轴303从第二定子344S延伸并且包括转子344R，该转子与定子344S基本上对齐。轴304从顶部或第一定子342S延伸并且包括转子342R，该转子与定子342S基本上对齐。绕轴302-304和壳体310提供了各种轴承350-353以允许每个轴302-304相对于彼此和壳体310可独立地旋转。注意，每个轴可设置有位置传感器371-373。位置传感器371-373可用于向任何合适的控制器(诸如，控制器170)提供关于相应轴302-304相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-373可以是任何合适的传感器，诸如出于非限制性示例性目的的光学或感应传感器。
参考图3B，在其他方面，示例性驱动部段220B(其与驱动部段220基本上类似)包括壳体310，该壳体用于至少部分地容纳具有六个驱动轴301-306的六同轴驱动轴组件300B和六个马达342、344、346、348、343、345(例如，六自由度马达)。驱动部段220B还可包括被构造成例如升高和降低基板运输设备130的用于拾取和放置基板S的臂(诸如，本文中所描述的臂)的Z轴驱动器312；然而，在其他方面，联接到臂所在的搬运室的基板保持站可包括用于从臂提升基板和将基板降低到臂的Z轴驱动器，以代替或补充驱动部段220的Z轴驱动器312。
驱动部段220A的第一马达342包括连接到外轴304的定子342S和转子342R。第二马达344包括连接到轴303的定子344S和转子344R。第三马达346包括连接到轴302的定子346S和转子346R。第四马达348包括连接到轴301的定子348S和转子348R。第五马达343包括连接到轴305的定子343S和转子343R。第六马达345包括连接到轴306的定子345S和转子345R。六个定子342S、344S、346S、348S、343S、345S在310壳体310内的不同竖直高度或位置处固定地附接到该壳体。每个定子342S、344S、346S、348S、343S、345S通常包括电磁线圈。转子342R、344R、346R、348R、343R、345R中的每一者通常包括永磁体，但可替代地包括不具有永磁体的磁感应转子。在再其他方面，马达342、344、346、348、343、345可以是可变或开关磁阻马达，诸如在美国专利号10,348,172和9,948,155以及2014年11月13日提交的题为“PositionFeedback for Sealed Environments”的美国专利申请号14/540,058中所描述的可变或开关磁阻马达，以上专利和专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在再其他方面，马达342、344、346、348、343、345可以是谐波驱动器，诸如在美国专利号9,656,386中所描述的谐波驱动器，该专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在基板运输设备130用于密封环境(诸如，仅出于非限制性示例性目的的真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342R、344R、346R、348R、343R、345R和定子342S、344S、346S、348S、343S、345S之间，使得同轴驱动轴组件300B位于密封环境中并且定子位于密封环境之外。应认识到，如果基板运输设备130仅旨在用于大气环境中(诸如，在基板处理设备100(图1)的大气部段105内)，则不需要提供套筒362。
轴306从第六定子345S延伸并且包括转子345R，该转子与定子345S基本上对齐。轴305从第五定子343S延伸并且包括转子343R，该转子与定子343S基本上对齐。轴302从第三定子346S延伸并且包括转子346R，该转子与定子346S基本上对齐。轴301从第四定子348S延伸并且包括转子348R，该转子与定子348S基本上对齐。轴303从第二定子344S延伸并且包括转子344R，该转子与定子344S基本上对齐。轴304从顶部或第一定子342S延伸并且包括转子342R，该转子与定子342S基本上对齐。绕轴301-306和壳体310提供了各种轴承(诸如，上文所描述的轴承)以允许每个轴301-306相对于彼此和壳体310可独立地旋转。注意，每个轴可设置有位置传感器371-376。位置传感器371-376可用于向任何合适的控制器(诸如，控制器170)提供关于相应轴301-306相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-376可以是任何合适的传感器，诸如出于非限制性示例性目的的光学或感应传感器。
参考图3C，在其他方面，示例性驱动部段220C(其与驱动部段220基本上类似)包括壳体310，该壳体用于至少部分地容纳具有五个驱动轴301-305的五同轴驱动轴组件300C和五个马达342、344、346、348、343(例如，五自由度马达)。驱动部段220C还可包括被构造成例如升高和降低基板运输设备130的用于拾取和放置基板S的臂(诸如，本文中所描述的臂)的Z轴驱动器312；然而，在其他方面，联接到臂131所在的搬运室的基板保持站可包括用于从臂提升基板和将基板降低到臂的Z轴驱动器，以代替或补充驱动部段220的Z轴驱动器312。
驱动部段220A的第一马达342包括连接到外轴304的定子342S和转子342R。第二马达344包括连接到轴303的定子344S和转子344R。第三马达346包括连接到轴302的定子346S和转子346R。第四马达348包括连接到轴301的定子348S和转子348R。第五马达343包括连接到轴305的定子343S和转子343R。五个定子342S、344S、346S、348S、343S在壳体310内的不同竖直高度或位置处固定地附接到该壳体。每个定子342S、344S、346S、348S、343S通常包括电磁线圈。转子342R、344R、346R、348R、343R中的每一者通常包括永磁体，但可替代地包括不具有永磁体的磁感应转子。在再其他方面，马达342、344、346、348、343可以是可变或开关磁阻马达，诸如在美国专利号10,348,172和9,948,155以及2014年11月13日提交的题为“Position Feedback for Sealed Environments”的美国专利申请号14/540,058中所描述的可变或开关磁阻马达，以上专利和专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在再其他方面，马达342、344、346、348、343可以是谐波驱动器，诸如在美国专利号9,656,386中所描述的谐波驱动器，该专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。在基板运输设备130用于密封环境(诸如，仅出于非限制性示例性目的的真空环境)中的情况下，套筒362可位于转子342R、344R、346R、348R、343R和定子342S、344S、346S、348S、343S之间，使得同轴驱动轴组件300C位于密封环境中并且定子位于密封环境之外。应认识到，如果基板运输设备130仅旨在用于大气环境中(诸如，在基板处理设备100(图1)的大气部段105内)，则不需要提供套筒362。
轴305从第五定子343S延伸并且包括转子343R，该转子与定子343S基本上对齐。轴302从第三定子346S延伸并且包括转子346R，该转子与定子346S基本上对齐。轴301从第四定子348S延伸并且包括转子348R，该转子与定子348S基本上对齐。轴303从第二定子344S延伸并且包括转子344R，该转子与定子344S基本上对齐。轴304从顶部或第一定子342S延伸并且包括转子342R，该转子与定子342S基本上对齐。绕轴301-305和壳体310提供各种轴承(诸如，上文所描述的轴承)以允许每个轴301-305相对于彼此和壳体310可独立地旋转。注意，每个轴可设置有位置传感器371-375。位置传感器371-375可用于向任何合适的控制器(诸如，控制器170)提供关于相应轴301-306相对于彼此和/或相对于壳体310的旋转位置的信号。传感器371-375可以是任何合适的传感器，诸如出于非限制性示例性目的的光学或感应传感器。
如本文中所描述的，驱动部段220、220A、220B、220C被构造成：使至少一个多连杆臂131沿着非径向线性路径延伸和缩回并且基本上同时使每个末端执行器连杆(例如，基板保持器)的所述至少一个对应的基板保持站分别穿过沿着例如搬运室125的侧壁并置的分开的基板运输开口(诸如，图1B和图1C中所示的基板运输开口)；以及将所述至少一个对应的基板保持站相对于所述多于一个末端执行器连杆(例如，基板保持器)中的另一者独立地对齐。
参考图2A、图3A和图4，如上文所描述的，基板运输设备130包括具有两个双端基板保持器203、204的至少一个臂131。注意，本文中所描述的基板搬运机器人130的两个双端基板保持器203、204可允许基本上同时进行本文中所描述的拾取和放置基板(例如，两个双端基板保持器203、204在基本上相同时间延伸到并排的基板处理站190-191、192-193、194-195、196-197的相应基板处理站和从这些相应基板处理站缩回，以便基本上拾取和/或放置基板)。
在本公开的在一个方面，上臂连杆201由外轴304驱动为绕肩部轴线SX旋转，前臂连杆202由内轴301驱动为绕肘部轴线EX旋转，双端基板保持器203由轴303驱动为绕腕部轴线WX旋转，并且双端基板保持器204由轴302驱动为绕腕部轴线WX旋转。例如，上臂连杆201固定地附接到外轴304，使得上臂连杆201与轴304作为一个单元关于(on)中心旋转轴线(例如，肩部轴线SX)旋转。
前臂连杆202通过任何合适的传动装置联接到内轴301。例如，带轮480固定地附接到轴301。上臂连杆201包括支柱481。带轮482可旋转地安装到支柱481或以其他方式由支柱481支撑。支柱481固定地安装到上臂连杆201的内表面。第一组传动构件490在带轮480和带轮482之间延伸。应认识到，任何合适类型的传动构件都可用于联接带轮480、482，诸如例如皮带、带或链条。还应认识到，尽管两个传动构件被示出(见图5A和图5B)为联接带轮480、482，但在其他方面，任何合适数量的传动构件可用于联接带轮480、482(例如，多于或少于两个)。轴482S固定地联接到带轮482，使得轴482S与带轮482一起绕肘部轴线EX旋转。轴482S可以以任何合适的方式可旋转地支撑在支柱481上。前臂连杆202固定地安装到轴482S，使得前臂连杆202与轴482S作为一个单元绕肘部轴线EX旋转。
双端基板保持器203通过任何合适的传动装置联接到轴303。例如，带轮488固定地联接到轴303，使得带轮488与轴303作为一个单元绕肩部轴线SX旋转。带轮491可旋转地联接到支柱481或以其他方式支撑在支柱481上。第二组传动构件492(与传动构件490基本上类似)在带轮488和带轮491之间延伸。轴491S固定地联接到带轮491，使得轴491S与带轮491作为一个单元绕肘部轴线EX旋转。轴491S可以以任何合适的方式可旋转地支撑在支柱481上。前臂连杆202包括带轮470，该带轮固定地安装到轴491S的顶端部，使得带轮470与轴491S(和带轮491)作为一个单元绕肘部轴线EX旋转。前臂连杆202还包括支柱471和带轮472，该带轮可旋转地安装到支柱471或以其他方式由支柱471支撑。第三组传动构件493(与传动构件490基本上类似)在带轮470、472之间延伸并联接这些带轮。双端基板保持器203通过轴472S固定地安装到带轮472，使得带轮472和双端基板保持器203作为一个单元绕腕部轴线WX旋转。
双端基板保持器204通过任何合适的传动装置联接到轴302。例如，带轮484固定地联接到轴302，使得带轮484与轴302作为一个单元绕肩部轴线SX旋转。带轮486可旋转地联接到支柱481或以其他方式支撑在支柱481上。第四组传动构件494(与传动构件490基本上类似)在带轮484和带轮486之间延伸。轴486S固定地联接到带轮486，使得轴486S与带轮486作为一个单元绕肘部轴线EX旋转。轴486S可以以任何合适的方式可旋转地支撑在支柱481上。前臂连杆202包括带轮474，该带轮固定地安装到轴486S的顶端部，使得带轮474与轴486S(和带轮486)作为一个单元绕肘部轴线EX旋转。前臂连杆202还包括带轮476，该带轮可旋转地安装到支柱471或以其他方式由支柱471支撑。第五组传动构件495(与传动构件490基本上类似)在带轮474、476之间延伸并联接这些带轮。双端基板保持器204通过轴476S固定地安装到带轮476，使得带轮476和双端基板保持器204作为一个单元绕腕部轴线WX旋转。
参考图2A-2C、图3A和图4，如可认识到的，上臂连杆201、前臂连杆204、双端基板保持器203和双端基板保持器204中的每一个由相应马达342、344、346、348独立地驱动为绕相应轴线(例如，肩部轴线SX、肘部轴线AX和腕部轴线WX)旋转。每个双端基板保持器203、204绕腕部轴线WX的独立旋转提供了每个基板S在基板保持站203H1、204H1、203H2、204H2中的每一者处的的独立的自动晶片定心，这与由双端基板保持器203、204将基板运输通过相应的并置基板处理站的开口(见图1B、图1C)是基本上同时发生的。本文中所描述的自动晶片定心可利用任何合适的设置在运输室125、125A中/上、槽阀SV上、运输臂130上等的传感器(诸如例如，传感器3299-图32A)以与以下各者中所描述的方式类似的方式来执行：2019年1月25日提交且题为“Automatic Wafer Centering Method and Apparatus”的美国专利申请号16/257,595、2018年11月20日授权且题为“On The Fly Automatic Wafer CenteringMethod and Apparatus”的美国专利号10,134,623、2016年12月6日授权且题为“ProcessApparatus with On-The-Fly Substrate Centering”的美国专利号9,514,974、2010年9月7日授权且题为“Wafer Center Finding”的美国专利号7,792,350、2015年1月13日授权且题为“Wafer Center Finding with Kalman Filter”的美国专利号8,934,706、以及2011年4月12日授权且题为“Process Apparatus with On-The-Fly Workpiece Centering”的美国专利号7,925,378，以上各者的公开内容通过引用以其整体并入本文中。相应地，自动晶片定心是通过改变并排的基板保持站203H1、204H1之间和并排的基板保持站203H2、204H2之间的基节距BP来实现的。例如，通过沿相反方向旋转轴203、303，引起双端基板保持器203、204绕腕部轴线WX沿相反方向旋转。例如，可沿相反方向驱动轴302、303来增加并排的基板保持站203H1、204H1之间的距离(图2B)，以便实现并排的基板保持站203H1、204H1之间的任何合适的增加的节距WP(以及基板保持站203H2、204H2之间的任何合适的对应减小的节距NP)。还可沿相反方向驱动轴302、303来减小并排的基板保持站203H1、204H1之间的距离(图2C)，以便实现并排的基板保持站203H1、204H1之间的任何合适的减小的节距NP(以及基板保持站203H2、204H2之间的任何合适的对应增加的节距WP)。轴302、303沿相同方向、基本上以相同旋转速率的旋转使双端基板保持器203、204作为一个单元绕腕部轴线WX旋转，以实现基板S的快速交换。因而，传动装置490、492、493、494、495被构造成使得双端基板保持器203、204作为一个单元绕腕部轴线WX旋转至少旋转180°(度)旋转的量。再次，基板保持器平面(如本文中所描述的，并且无论双侧基板保持器的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2形成一个或多个平面)中的每个平面499、499A(见图2D、图10和图11)与公共运输室中用于在运输开口平面的给定Z位置处搬运的运输开口的至少一个平面(见图1B和图1C)对应并对齐到所述至少一个平面，使得通过每个平面上的每个相应开口实现基板搬运并且每个双端基板保持器203、204的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2基本上没有Z轴移动，即，随基板保持器203、204的一个端部处的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸到基板处理站(用于每个平面)中、在基板处理站处拾取和/或放置(多个)基板、从基板处理站缩回、以及延伸到每个其他不同的基板处理站(在双端基板保持器203、204的相同或不同端部处具有相同或不同的双基板)中实现了(在基板搬运之间独立于干预的Z轴移动或脱离干预的Z轴移动)基本上独立于Z轴移动的基板快速交换。
注意，带轮480、484、488、470、474可称为“驱动”带轮，而带轮482、486、491、472、476可称为“从动”或“惰轮”带轮。参考图4和图5A-5F，将描述至少部分位于前臂连杆202内的第三组传动构件493和第五组传动构件495。
惰轮带轮472具有末端执行器接口，其中惰轮带轮472的表面抵靠相应的双端基板保持器203安置，或者在其他方面，末端执行器接口由如上文所描述的轴472S形成。惰轮带轮472通过相应的分段式传动回路661(即，第三组传动构件493)联接到相应的肘部驱动带轮470。分段式传动回路661包括联接到惰轮带轮472和肘部驱动带轮470两者的单独的带段661A、661B或任何其他合适的传动连杆(诸如，线缆段)，从而实现惰轮带轮472的旋转。
惰轮带轮472包括周边边缘650，该周边边缘形成与分段式传动回路661的相应带661A、661B对接的带缠绕表面635、636。带锚固点643、644(图5A)将单独的带段661A、661B中的每一者联结到惰轮带轮472。例如，周边边缘650形成上带缠绕表面635，带661B围绕带缠绕表面635缠绕。周边边缘652形成下带缠绕表面636，带661A围绕下带缠绕表面636缠绕。上带缠绕表面635和下带缠绕表面636设置在惰轮带轮472上的不同高度处，使得带661A、661B相对于彼此设置在不同平面中(即，一个带不缠绕在另一个带上)。参考图5B，肘部驱动带轮470与上文所描述的惰轮带轮472基本上类似。
类似地，惰轮带轮476具有末端执行器接口，其中惰轮带轮476的表面抵靠相应的双端基板保持器204安置，或者在其他方面，末端执行器接口由如上文所描述的轴476S形成。惰轮带轮476通过相应的分段式传动回路660(即，第五组传动构件495)联接到相应的肘部驱动带轮474。分段式传动回路660包括联接到惰轮带轮476和肘部驱动带轮474两者的单独的带段660A、660B或任何其他合适的传动连杆(诸如，线缆段)，从而实现惰轮带轮476的旋转。
惰轮带轮476包括周边边缘650，该周边边缘形成与分段式传动回路660的相应带660A、660B对接的带缠绕表面635、636。带锚固点643、644(图5A)将单独的带段660A、660B中的每一者联结到惰轮带轮476。例如，周边边缘650形成上带缠绕表面635，带660B围绕上带缠绕表面635缠绕。周边边缘652形成下带缠绕表面636，带660A围绕下带缠绕表面636缠绕。上带缠绕表面635和下带缠绕表面636设置在惰轮带轮476上的不同高度处，使得带660A、660B相对于彼此设置在不同平面中(即，一个带不缠绕在另一个带上)。参考图5B，肘部驱动带轮474与上文所描述的惰轮带轮476基本上类似。
参考图4和图5A-5F，每个带锚固点643、644在相应的惰轮带轮472、476(和/或驱动带轮470、474)上的位置限定与相应的惰轮带轮472、476的带接合弧B1、B2、B11、B12，使得带接合弧B1、B2、B11、B12和切点TT1、TT2、TT11、TT12(在该切点处，带锚固点643、644在相应的带段660A、660B、661A、661B和相应的惰轮带轮472、474之间形成切线)之间的旋转夹角θ1、θ2、θ11、θ12为约90度或更小。
在一个方面，惰轮带轮472、476和相应的肘部驱动带轮470、474(惰轮带轮472、476通过分段式传动回路660、661联接到该相应的肘部驱动带轮)具有任何合适的驱动比，这提供了相应的双端基板保持器203、204的充分旋转以旋转至少约±90°并使用于拾取和放置(以及快速交换)基板的臂131(图2A)延伸到预定的基板处理站/位置和从预定的基板处理站/位置缩回，这些预定的基板处理站/位置布置成距肩部轴线SX一预定距离。例如，肘部驱动带轮470、474和相应的惰轮带轮472、476之间的比率被构造成使得带锚固点643、644在惰轮带轮472、476上的位置使得相应的双端基板保持器203、204相对于用于臂131延伸运动的前臂连杆202(即，驱动轴线旋转以实现惰轮带轮472、476旋转以使臂131完全延伸和缩回-见例如图7A-7J)的旋转角度在惰轮带轮472、476上产生至少一个弧(例如，弧B1、B2、B11、B12)，使得在相应的惰轮带轮472、476的一个周边部分651、652上在弧B1、B2、B11、B12的一个端部EE1处的一个带段660A、660B、661A、661B的带锚固点643、644不再与在相应的惰轮带轮472、476的另一个周边部分651、652上的相对带段660A、660B、661A、661B的带锚固点643、644一致。例如，如图5A中所图示的，用于相对带段661A、661B的带锚固点643、644基本上以一者在另一者上方的方式定位，并且相对带段660A、660B的带锚固点643、644基本上以一者在另一者上方的方式定位。在其他方面，一个带段660A、660B、661A、661B的带锚固点643、644可与相应的相对带段660A、660B、661A、661B的带锚固点643、644周向地分开任何合适的量。
如在图5A中还可以看出，将带段660A、660B、661A、661B联接到相应的肘部驱动带轮470、474的带段660A、660B、661A、661B的带锚固点645、646以一者在另一者上方的方式定位。因而，在图5A-5F中所示的示例中(注意，肘部驱动带轮470、474和相应的惰轮带轮472、476之间的直径比为约1∶1，不过在其他方面，可提供任何合适的比率)，带锚固点645、646在肘部驱动带轮470、474上间隔开并且带锚固点643、644在惰轮带轮472、476上间隔开，使得肘部驱动带轮470、474的约±90°旋转导致相应的惰轮带轮472、476的约±90°旋转(注意，在图5A-5F中图示了带和带轮传动装置的0°构型，其中带锚固点643、644基本上直接背对肘部驱动带轮470、474)，但在其他方面，在肘部驱动带轮470、474与惰轮带轮472、476的驱动比大于约1∶1时，带锚固点之间的沿着肘部驱动带轮470、474和/或惰轮带轮472、476的圆周的相对位置可与上文所描述的情况不同。
在弧B1、B2、B11、B12的另一端部EE2上，带锚固点643、644定位成使得带接合弧B1、B2、B11、B12的端部EE1和切点TT1、TT2、TT11、TT12之间的旋转夹角θ1、θ2、θ11、θ12为约90°或更小(即，带段660A、660B、661A、661B与相应的惰轮带轮472、476相切并且处于纯张力状态，并且带段660A、660B、661A、661B围绕相应的惰轮带轮472、476没有弯曲)。
参考图6A和图6B，将关于带轮470、472和第三组传动构件493来描述带锚固点643、644(仅图示了带锚固点643，但应理解，包括带锚固点644在内的其他带锚固点与关于带锚固点643所描述的情况基本上类似)。尽管关于带轮470、472和第三组传动构件493来描述带锚固点，但应理解，用于带轮474、476、480、482、484、486、488、491的带锚固点643、644基本上类似。带锚固点643、644将相应的带段661A、661B联接到相应的带轮470、472。例如，在一个方面，每个带锚固点643包括基部1084，销1062安装到该基部。每个带段661A、661B的端部包括孔，销1062的柄1080突出穿过该孔。保持弹簧夹1082或其他合适的保持器附接到柄1080以将带段661A、661B固定到柄1080。柄1080从基部1084突出以提供用于带段661A、661B的附接位置。在其他方面，柄1080可直接从带轮472的周向边缘或侧部突出。在一个方面，带段661A、661B中的孔略大于柄1080，并且保持夹1082不紧紧地保持带段661A、661B，使得带段661A、661B围绕柄1080自由枢转。在一个方面，基部1084是可调节的基部，其提供对销1062的位置调节以由此调节带段661A、661B的张力。例如，螺钉1086进入带轮472中的阈值开口中并保持张紧楔1088邻近带轮572。张紧楔1088的一个面接合基部1084的对角面1090。为了增加带段661A、661B中的张力，张紧螺钉1086，沿着箭头A的方向向下推动张紧楔1088。这抵靠对角表面1090推动楔1088，由此迫使基部1084沿着箭头B的方向滑动。相反，为减小带段661A、661B中的张力，松开螺钉1086。在其他方面，带段661A、661B可以以任何合适的方式联接到带轮472。可在1998年7月14日授权的美国专利号5,778,730中找到带锚固点的合适示例，该专利的全部公开内容通过引用以其整体并入本文中。
第一组传动构件490、第二组传动构件492、第四组传动构件494、肩部驱动带轮480、484、488、以及肘部惰轮带轮482、486、491与上文关于惰轮带轮472、476、驱动带轮470、474、以及分段式传动回路660、661(见图5A和图5B)所描述的情况基本上类似。如上所述，用于第一组传动构件490、第二组传动构件492、第四组传动构件494的带锚固点与上文关于带锚固点643所描述的情况基本上类似。
尽管上文将基板运输设备130描述为具有双盘基板保持器203、204，但在其他方面，基板保持器可具有任何合适的构型。例如，参考图8、图9和图10，多于一个末端执行器连杆(例如，基板保持器)中的每一者具有如下的多于一个并置的(例如，并排的)基板保持站中的多于一个对应的基板保持站，即，所述多于一个对应的基板保持站自其悬垂并且分别是自相应的末端执行器连杆(例如，基板保持器)悬垂的所述多于一个对应的基板保持站之间的基本上刚性的非铰接式连杆。例如，基板运输设备130包括与上文所描述的双盘基板保持器基本上类似的双盘基板保持器203A、204A；然而，在这个方面，基板保持站203H1、204H1并排设置在公共平面中(相隔基节距BP)，而基板保持站203H2、204H2位于不同平面中并且以一者在另一者之上的方式堆叠(相隔任何合适的高度H10，该高度可对应于堆叠的基板处理站150的堆叠的保持站、堆叠的真空负载锁102A、102B、102C、102D、或任何其他合适的堆叠的基板保持位置之间的距离-见图1C)。此处，通向基板处理站的运输室开口可处于不同平面/水平面处(见图1C)，其中每个平面与两个双/双重端基板保持器203、204的并置的基板保持站203H1-204H1、203H2-204H2的平面/水平面对应。在再其他方面，如图11中所示，基板保持站203H1、204H1并排设置在公共平面中(相隔基节距BP)，而基板保持器203A、204A中的仅一者被构造为双盘基板保持器(在该示例中，基板保持器203A包括双基板保持站203H1、203H2，整个基板保持器204A包括单个基板保持站204H1)。再次，基板保持器平面(如本文中所描述的，并且无论双侧基板保持器的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2形成一个或多个平面)中的每个平面499、499A(见图2D、图10和图11)与公共运输室中用于在运输开口平面的给定Z位置处搬运的运输开口的至少一个平面(见图1B和图1C)对应并对齐到所述至少一个平面，使得通过每个平面上的每个相应开口实现基板搬运并且每个双端基板保持器203、204的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2基本上没有Z轴移动，即，随基板保持器203、204的一个端部处的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸到基板处理站(用于每个平面)中、在基板处理站处拾取和/或放置(多个)基板、从基板处理站缩回、以及延伸到每个其他不同的基板处理站(在双端基板保持器203、204的相同或不同端部处具有相同或不同的双基板)中实现了(在基板搬运之间独立于干预的Z轴移动或脱离干预的Z轴移动)基本上独立于Z轴移动的基板快速交换。自动晶片定心(诸如，在图8、图9和图10中所图示的本公开的方面的情况下)是通过以与上文所描述的方式基本上类似的方式改变基板保持站203H1、204H1之间的基节距BP(例如，可增加或减小)来实现的。如可认识到的，(多个)基板保持器203H2、204H2也可绕腕部轴线WX独立地旋转，以独立于基板保持站204H2实现针对基板保持站203H2的自动晶片定心和/或独立于基板保持站203H2实现针对基板保持站204H2的自动晶片定心。
参考图12和图13，在这个方面，基板运输设备130被图示为包括三个双盘基板保持器。例如，基板运输设备130包括基板保持器203、204(如上文所描述的)以及基板保持器205。基板保持器203、204由驱动部段220以上文所描述的方式驱动为相对于彼此和基板保持器205沿方向1300、1301绕腕部轴线WX枢转。在该示例中，驱动部段包括附加的驱动轴线(例如，五自由度驱动器)以使基板保持器205相对于基板保持器203、204中的每一者沿方向1302绕腕部轴线WX独立地旋转；而在其他方面，基板保持器205可从属于基板运输设备130的任何合适部分(诸如例如，上臂201)，以便保持与穿过肩部轴线SX的径向延伸轴线对齐。再次，基板保持器平面(如本文中所描述的，并且无论双侧基板保持器的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2形成一个或多个平面)中的每个平面499、499A(见图2D、图10和图11)与公共运输室中用于在运输开口平面的给定Z位置处搬运的运输开口的至少一个平面(见图1B和图1C)对应并对齐到所述至少一个平面，使得通过每个平面上的每个相应开口实现基板搬运并且每个双端基板保持器203、204的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2基本上没有Z轴移动，即，随基板保持器203、204的一个端部处的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸到基板处理站(用于每个平面)中、在基板处理站处拾取和/或放置(多个)基板、从基板处理站缩回、以及延伸到每个其他不同的基板处理站(在双端基板保持器203、204的相同或不同端部处具有相同或不同的双基板)中实现了(在基板搬运之间独立于干预的Z轴移动或脱离干预的Z轴移动)基本上独立于Z轴移动的基板快速交换。在该示例中，实现自动晶片定心，使得可增加或减小基板保持器203和基板保持器204之间的基节距BP，可增加或减小基板保持器203和基板保持器205之间的基节距BP，可增加或减小基板保持器204和基板保持器205之间的基节距BP等，以实现针对基板保持站203H1、204H1、205H1、203H2、204H2、205H2中任何一者或多者相对于并排的基板处理站190-198和199A-199C(见图12)的自动晶片定心。在其他方面，以与图10中所示的方式类似的方式，可以以一者在另一者上方的方式堆叠基板保持站203H2-205H2(或203H1-205H1)。在再其他方面，以与图11中所示的方式类似的方式，基板保持器203-205中的一者或多者可以是单盘基板保持器。
在再其他方面，基板运输设备130可具有带有用于往返于单个基板站运输基板的任何合适的构型的基板保持器、并排布置的任何合适数量的基板站、以一者在另一者之上的方式布置成堆叠的任何合适数量的基板站等。在腕部轴线WX的相对侧部上可采用并排的基板保持器和多个堆叠的(或单个)基板保持器的组合，诸如在双、单、三等(见图1A、图8和图12)基板站模块的组合联接到搬运室125的情况下。例如，参考图19，基板运输设备130包括一个双重(并排的)基板保持器1900，该基板保持器以与上文所描述的方式类似的方式可旋转地联接到臂131。在这个方面，臂131和基板保持器1900可由三轴驱动部段220A(图3A)驱动为旋转和/或延伸(例如，沿着径向和/或非径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，且一条驱动轴线使基板保持器1900绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器1900中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到三轴驱动部段220A(图3A)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。此处，基板保持器1900包括(即，为以下各者所共用)与上文所描述的并排的基板保持站基本上类似的两个并排的基板保持站1900H1、1900H2。并排的基板保持站1900H1、1900H2之间的距离可与并排的基板处理站190-197(图1A)之间的节距D基本上相同。基板保持器1900具有第一端部1900E1、第二端部1900E2并且是第一端部1900E1和第二端部1900E2之间的基本上刚性的非铰接连杆。基板保持器1900在位于第一端部1900E1和第二端部1900E2之间的位置处绕腕部轴线WX可旋转地联接到前臂202。如上文所描述的，基板保持站1900H1、1900H2设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上。可由运输臂131和驱动部段220A以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器1900沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。
参考图20，基板运输设备130与上文关于图19所描述的基板运输设备基本上类似；然而，在这个方面，基板运输设备130包括绕腕部轴线WX可旋转地联接到臂131的两个基板保持器1900A和1900B。基板保持器1900A、1900B中的每一者与基板保持器1900基本上类似。此处，臂131和基板保持器1900A、1900B由例如四轴驱动部段220(图3)驱动为旋转和/或延伸(沿着非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，一条驱动轴线使基板保持器1900A绕腕部轴线WX旋转，且一条驱动轴线使基板保持器1900B绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器1900A、1900B中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到四轴驱动部段220(图3)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。在这个方面，基板保持器1900A包括基板保持站1900H1、1900H2，并且基板保持器1900B包括基板保持站1900H3、1900H4。以与上文所描述的方式类似的方式，基板保持站1900H1、1900H2、1900H3、1900H4设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上。可由运输臂131和驱动部段220以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器1900A、1900B沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。臂131和/或基板保持器1900A、1900B也可以以与本文中所描述的方式基本上类似的方式被驱动为旋转以快速交换基板保持器1900A、1900B(以及由此拾取或放置的基板)。
参考图21，基板运输设备130与上文关于图19所描述的基板运输设备基本上类似；然而，在这个方面，基板运输设备130包括绕腕部轴线WX可旋转地联接到臂131的两个单侧基板保持器2100A和2100B。基板保持器2100A、2100B中的每一者具有：相应的第一端部2100AE1、2100BE1，其绕腕部轴线联接到前臂202；以及相应的第二端部2100AE2、2100BE2，相应的基板保持站2100H1、2100H2位于该相应的第二端部处。此处，臂131和基板保持器2100A、2100B由例如四轴驱动部段220(图3)驱动为旋转和/或延伸(沿着非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，一条驱动轴线使基板保持器2100A绕腕部轴线WX旋转，且一条驱动轴线使基板保持器2100B绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器2100A、2100B中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到四轴驱动部段220(图3)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。在这个方面，基板保持器2100A包括基板保持站2100H1，并且基板保持器2100B包括基板保持站2100H2。以与上文所描述的方式类似的方式，基板保持站2100H1、2100H2设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上。
可由运输臂131和驱动部段220以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器2100A、2100B沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。注意，基板保持器2100A、2100B绕腕部轴线WX的独立旋转提供了通过以下方式进行的自动晶片定心：改变基节距BP(例如，可以以与图2B和图2C中所图示的方式类似的方式增加或减小并排的基板保持站2100H1、2100H2之间的距离)，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197(见图1A)处。
参考图22，基板运输设备130包括基板保持器2200，该基板保持器以与上文所描述的方式类似的方式可旋转地联接到臂131。在这个方面，臂131和基板保持器2200可由三轴驱动部段220A(图3A)驱动为旋转和/或延伸(例如，沿着径向和/或非径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，且一条驱动轴线使基板保持器2200绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器2200中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到三轴驱动部段220A(图3A)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。此处，基板保持器2200包括(即，为以下各者所共用)与上文所描述的基板保持站基本上类似的两个并排的基板保持站2200H1、2200H2和一个相对的基板保持站2200H3，并且基板保持器2200是基板保持站2200H1、2200H2、2200H3之间的基本上刚性的非铰接连杆。两个并排的基板保持站2100H1、2100H2之间的距离可与并排的基板处理站190-197(图1A)之间的节距D基本上相同。
并排的基板保持站2100H1、2100H2提供了基本上同时从并排的基板处理站190-197(图1)拾取基板S和将基板S放置到这些并排的基板处理站，而相对的基板保持站2200H3提供了以与上文关于图8和图9所描述的方式基本上类似的方式将单个基板拾取和放置到单个基板处理站(其可以是并排的基板处理站190-197(图1A)或基板处理站150S(图8)中的一个)。基板保持器2200在位于基板保持站2200H1、2200H2、2200H3之间的位置处绕腕部轴线WX可旋转地联接到前臂202。在一个方面，三个基板保持站2200H1、2200H2、2200H3以与上文关于图2D、图10和图11所描述的方式基本上类似的方式设置在公共平面499中；而在其他方面，基板保持站2200H1、2200H2、2200H3中的一个或多个可设置在不同的堆叠平面中。可由运输臂131和驱动部段220A以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器2200沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便利用并排的基板保持站2200H1、2200H2基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块150、或利用基板保持站2200H3从基板站模块150、150S拾取基板和/或将基板放置到该基板站模块。在一个方面，臂131和/或末端执行器2200也可(以与本文中所描述的方式基本上类似的方式)被驱动为旋转以使用并排的基板保持站2200H1、2200H2中的一者和相对的基板保持站2200H3快速交换基板，诸如在由并排的基板保持站2200H1、2200H2拾取基板并由相对的基板保持站2200H3将基板放置在刚好由并排的基板保持站2200H1、2200H2拾取基板的位置中的一个的情况下。
参考图23，基板运输设备130包括基板保持器1900、2300，这些基板保持器以与上文所描述的方式类似的方式可旋转地联接到臂131。在这个方面，臂131和基板保持器1900、2300可由四轴驱动部段220(图3)驱动为旋转和/或延伸(例如，沿着径向和/或非径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，一条驱动轴线使基板保持器1900绕腕部轴线WX旋转，且一条驱动轴线使基板保持器2300绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器1900、2300中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到四轴驱动部段220(图3)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。此处，基板保持器1900包括两个并排的基板保持站1900H1、1900H2，如上文所描述的。基板保持器2300是具有单个基板保持站2300H1的相对的基板保持器(即，以与上文关于图8、图9和图22所描述的方式基本上类似的方式与基板保持器1900相对)。基板保持站2300H1与上文所描述的基板保持站基本上类似。基板保持器2300具有：第一端部(或接近端)，其在腕部轴线WX处联接到前臂202；以及相对的端部(或远端)，基板保持站2300H1设置在该端部处。基板保持器2300是接近端和远端之间的基本上刚性的非铰接连杆。如上文所描述的，两个并排的基板保持站2100H1、2100H2之间的距离可与并排的基板处理站190-197(图1A)之间的节距D基本上相同。
如上所述，并排的基板保持站1900H1、1900H2提供了基本上同时从并排的基板处理站190-197(图1)拾取基板S和将基板S放置到这些并排的基板处理站，而相对的基板保持站2300H1提供了以与上文关于图8和图9所描述的方式基本上类似的方式将单个基板拾取和放置到单个基板处理站(其可以是并排的基板处理站190-197(图1A)或基板处理站150S(图8)中的一个)。
基板保持器2300的独立旋转提供了在拾取/放置操作期间使由基板保持站2300H1保持的基板的自动晶片定心(如本文中所描述的)。基板保持器1900、2300的独立旋转还可提供基板运输设备130与搬运室125A的(例如，内侧壁125W的)形状的基板保持器符合性。例如，还参考图23A，基板保持器1900、2300可由驱动部段220旋转，使得单个基板保持器2300随着臂延伸移动而旋转，以便延伸到基板处理站150中，同时基板保持器1900旋转以保持基板保持器1900和搬运室125A的壁125W之间的间隙。尽管在图23A中图示了六侧搬运室125A，但在其他方面，搬运室可具有任何合适数量的侧部并且基板保持器1900、2300可由驱动部段以任何合适的方式旋转以符合搬运室的壁的形状。
在一个方面，三个基板保持站1900H1、1900H2、2300H1以与上文关于图2D、图10和图11所描述的方式基本上类似的方式设置在公共平面499中；而在其他方面，基板保持站1900H1、1900H2、2300H1中的一者或多者可设置在不同的堆叠平面中。可由运输臂131和驱动部段220以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器1900、2300沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便利用并排的基板保持站1900H1、1900H2基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块150、或利用基板保持站2300H1从基板站模块150、150S拾取基板和/或将基板放置到该基板站模块。在一个方面，臂131和/或末端执行器2200也可(以与本文中所描述的方式基本上类似的方式)被驱动为旋转以使用并排的基板保持站1900H1、1900H2中的一者和相对的基板保持站2300H1快速交换基板，诸如在由并排的基板保持站1900H1、1900H2拾取基板并由相对的基板保持站2300H1将基板放置在刚好由并排的基板保持站1900H1、1900H2拾取基板的位置中的一个的情况下。
参考图24，基板运输设备130与上文关于图2A-2D所描述的基板运输设备基本上类似；然而，在这个方面，基板保持器2403、2404具有“S”形构型并且彼此交叉。例如，基板保持器2403具有：第一部分2403A；第二部分2403B，其具有基本上正交于第一部分2403A的纵向轴线设置的纵向轴线；以及第三部分，其具有与第一部分2403A的纵向轴线基本上平行设置的纵向轴线，以便形成基本上“S”形的基板保持器。第一部分的远端形成基板保持器2403的第一端部2403E1，并且第三部分2403C的远端形成基板保持器2403的第二端部2403E2。第二部分2403B绕腕部轴线WX联接到前臂202，其中基板保持器2403是第一端部2403E1和第二端部2403E2之间的基本上刚性的非铰接连杆。基板保持器2404的构型与基板保持器2403基本上类似，但在相对侧。
此处，臂131和基板保持器2403、2404由例如四轴驱动部段220(图3)驱动为旋转和/或延伸(沿着非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，一条驱动轴线使基板保持器2403绕腕部轴线WX旋转，且一条驱动轴线使基板保持器2404绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器2100A、2100B中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到四轴驱动部段220(图3)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。在这个方面，基板保持器2403包括基板保持站2403H1、2403H2，并且基板保持器2404包括基板保持站2404H1、2404H2。以与上文所描述的方式类似的方式，基板保持站2403H1、2403H2、2404H1、2404H2设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上。可由运输臂131和驱动部段220以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器2403H1、2403H2、2404H1、2404H2沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。注意，基板保持器2403、2404绕腕部轴线WX的独立旋转提供了通过以下方式进行的自动晶片定心：改变基节距BP(例如，可以以与图2B和图2C中所图示的方式类似的方式增加或减小并排的基板保持站2100H1、2100H2之间的距离)，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197(见图1A)处。在一个方面，臂131和/或末端执行器2403、2404也可以以与上文关于图7A-7L所描述的方式类似的方式被驱动为旋转以快速交换基板(以与本文中所描述的方式基本上类似的方式)。
参考图25，基板运输设备130与上文关于图21所描述的基板运输设备基本上类似；然而，在这个方面的基板中，基板运输设备还包括与上文关于图23所描述的相对的基板保持器类似的相对的基板保持器2300。此处，臂131和基板保持器2100A、2100B、2300由例如五轴驱动部段220C(图3C)驱动为旋转和/或延伸(沿着非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，一条驱动轴线使基板保持器2100A绕腕部轴线WX旋转，一条驱动轴线使基板保持器旋转2100B绕腕部轴线WX，并且一条驱动轴线使基板保持器2300绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器2100A、2100B、2300中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到五轴驱动部段220C(图3C)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。在这个方面，基板保持器2100A包括基板保持站2100H1，基板保持器2100B包括基板保持站2100H2，并且基板保持器2300包括基板保持站2300H1。以与上文所描述的方式类似的方式，基板保持站2100H1、2100H2、2300H1设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上。可由运输臂131和驱动部段220C以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器2100H1、2100H2、2300H1沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。
注意，基板保持器2100H1、2100H2绕腕部轴线WX的独立旋转提供了通过以下方式进行的用于将基板S拾取/放置在并排的基板站模块150中的自动晶片定心：改变基节距BP(例如，可以以与图2B和图2C中所图示的方式类似的方式增加或减小并排的基板保持站2100H1、2100H2之间的距离)，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197(见图1A)处。进一步注意，相对的基板保持站2300H1提供了以与上文关于图8和图9所描述的方式基本上类似的方式将单个基板拾取和放置到单个基板处理站(其可以是并排的基板处理站190-197(图1A)或基板处理站150S(图8)中的一个)。基板保持器2300的独立旋转提供了在拾取/放置操作期间使由基板保持站2300H1保持的基板的自动晶片定心(如本文中所描述的)。在一个方面，臂131和/或末端执行器2100A、2100B、2300也可(以与本文中所描述的方式基本上类似的方式)被驱动为旋转以使用并排的基板保持站2100H1、2100H2中的一个和相对的基板保持站2300H1快速交换基板，诸如在由并排的基板保持站2100H1、2100H2拾取基板并由相对的基板保持站2300H1将基板放置在刚好由并排的基板保持站2100H1、2100H2拾取基板的位置中的一个的情况下。
在一个方面，基板保持器2100A、2100B、2300的独立旋转还可以以与上文关于图23A所描述的方式类似的方式提供基板运输设备130与搬运室125A的(例如，内壁125W的)形状的基板保持器符合性。然而，在这个方面，基板保持器2100A、2100B中的一者或多者可由驱动部段220C旋转以保持相应的基板保持器2100A、2100B和搬运室125A的壁125W之间的间隙。
参考图26A、图26B、图26C和图26D，基板运输设备130与上文关于图24所描述的基板运输设备基本上类似；然而，在这个方面，基板保持器2403、2404中的至少一者可沿Z方向移动，使得基板保持器2403、2404(以及相应的基板保持站2403H1、2404H1、2403H2、3404H2)彼此越过。例如，腕部Z驱动器2660(补充或代替Z驱动器312-见图3-3C)被提供在前臂202中或联接到该前臂。腕部Z驱动器2660被构造成使基板保持器2403、2404中的一者或多者相对于基板保持器2403、2404中的另一者沿Z方向移动。在图26C中所图示的示例中，腕部Z驱动器2660被构造成使基板保持器2403相对于基板保持器2404和前臂202沿Z方向移动；然而，在其他方面，两个基板保持器都可相对于前臂202和/或彼此沿Z方向移动。腕部Z驱动器2660可具有用于实现Z移动的任何合适的构型，包括但不限于线性致动器、起重螺杆和磁悬浮升降机中的一者或多者。在这个方面，带轮476联接到轴476S，其中轴476S包括外轴部分476B和内轴部分476A。内轴部分476A和外轴部分476B被构造成使得内轴部分476A可在与外轴部分476B作为一个单元旋转的同时沿Z方向相对于外轴部分476B移动。例如，内轴部分476B包括内花键，并且外轴部分476A包括被构造成与内花键配合的外花键。尽管提供了腕部Z驱动器2660和轴276S的示例性构型，但在其他方面，腕部Z驱动器2660和轴276S可具有任何合适的构型以实现基板保持器2403的Z轴移动。
腕部Z驱动器2660被构造成升高和降低基板保持器2403，使得以与上文所描述的方式类似的方式，基板保持站2403H1、2403H2、2404H1、2404H2设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上(如图26C中所图示的)，以便将基板拾取/放置到并排的基板站模块150。如上所述，可由运输臂131和驱动部段220以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器2403H1、2403H2、2404H1、2404H2沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。注意，基板保持器2403、2404绕腕部轴线WX的独立旋转提供了通过以下方式进行的自动晶片定心：改变基节距BP(例如，可以以与图2B和图2C中所图示的方式类似的方式增加或减小并排的基板保持站2100H1、2100H2之间的距离)，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197(见图1A)处。在一个方面，臂131和/或末端执行器2403、2404也可以以与上文关于图7A-7L所描述的方式类似的方式被驱动为旋转以进行快速交换(以与本文中所描述的方式基本上类似的方式)。
腕部Z驱动器2660还被构造成升高和降低基板保持器2403，使得基板保持器24033的基板保持站2403H1、2403H3设置在与基板保持器2404的基板保持站2404H1、2404H2不同的平面中，如图26D中可以看到的。此处，基板保持站2403H1、2403H2设置在平面499A中，而基板保持站2404H1、2404H2设置在平面499中。平面499、499A可相隔上文所描述的距离或高度H10。在基板保持器2403、2404位于不同平面499、499A中的情况下，基板保持器2403、2404可相对于彼此绕腕部轴线WX旋转，使得由基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)中的每一者保持的基板S的中心C沿着Z方向彼此基本上一致，如图26B中所示的。
还参考图1C，基板保持器2403、2404可绕腕部轴线独立地旋转，并且基板保持器2403、2404中的一者或多者可通过腕部Z驱动器2660沿Z方向移动以实现从各种堆叠的和/或并排的基板保持位置拾取基板。例如，在一个方面，基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)沿着公共平面设置，诸如用于基本上同时从并排的负载锁102A、102B或并排的负载锁102C、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。在一个方面，基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)以一者在另一者之上的方式设置(见如上文所描述的图26B)在堆叠平面中，诸如用于基本上同时从堆叠的负载锁102A、102C或从堆叠的负载锁102B、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。在再其他方面，基板保持站2403H1、2404H1(或2403H2、2404H2)设置在不同平面中并且水平地偏移，诸如用于基本上同时从堆叠的且水平地偏移的负载锁102A、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。
参考图27A、图27B和图27C，基板运输设备130与上文关于图25所描述的基板运输设备基本上类似；然而，在这个方面，基板保持器2100A、2100B、2300中的至少一者可沿Z方向移动，使得基板保持器2100A、2100B、2300(以及相应的基板保持站2100H1、2100H2、2300H1)彼此越过。例如，腕部Z驱动器2660(补充或代替Z驱动器312-见图3-3C)被提供在前臂202中或联接到该前臂。腕部Z驱动器2660被构造成使基板保持器2100A、2100B、2300中的一者或多者相对于其他基板保持器2100A、2100B、2300沿Z方向移动。在图27C中所图示的示例中，腕部Z驱动器2660被构造成使基板保持器2100B相对于基板保持器2100A、2300和前臂202沿Z方向移动；然而，在其他方面，两个基板保持器2100A、2100B或所有三个基板保持器2100A、2100B、2300都可相对于前臂202和/或彼此沿Z方向移动。注意，带轮2770、轴2770S和传动构件2791被图示为用于驱动基板保持器2100A绕腕部轴线WX旋转，其中带轮2770通过与图4中所图示和上文所描述的传动装置类似的传动装置联接到驱动部段220C。
腕部Z驱动器2660被构造成升高和降低基板保持器2100B，使得以与上文所描述的方式类似的方式，基板保持站2100H1、2100H2、2300H1设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上以便拾取/放置基板，如上文关于图8、图9和图25所描述的。腕部Z驱动器2660还被构造成升高和降低基板保持器2100B，使得基板保持器2100B的基板保持站2100H2设置在与基板保持器2100A、2300的基板保持站2100H1、2300H1不同的平面中，如图26C中可以看到的。此处，基板保持站2100H2设置在平面499A中，而基板保持站2100H1、2300H1设置在平面499中。平面499、499A可相隔上文所描述的距离或高度H10。在基板保持器2100A、2100B位于不同平面499、499A中的情况下，基板保持器2100A、2100B可相对于彼此绕腕部轴线WX旋转，使得由基板保持站21000H1、2100H2中的每一者保持的基板S的中心C沿着Z方向彼此基本上一致，如图27B中所示的。
如上所述，可由运输臂131和驱动部段220以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器2100A、2100B、2300沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。注意，基板保持器2100A、2100B绕腕部轴线WX的独立旋转提供了通过以下方式进行的自动晶片定心：改变基节距BP(例如，可以以与图2B和图2C中所图示的方式类似的方式增加或减小并排的基板保持站2100H1、2100H2之间的距离)，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197(见图1A)处。如上文所描述的，基板保持器2300的独立旋转还提供了在拾取/放置操作期间使由基板保持站2300H1保持的基板的自动晶片定心。如上文还描述的，在一个方面，臂131和/或末端执行器2200也可(以与本文中所描述的方式基本上类似的方式)被驱动为旋转以使用并排的基板保持站2100H1、2100H2中的一者和相对的基板保持站2300H1快速交换基板，诸如在由并排的基板保持站2100H1、2100H2拾取基板并由相对的基板保持站2300H1将基板放置在刚好由并排的基板保持站2100H1、2100H2拾取基板的位置中的一个的情况下。
还参考图1C，基板保持器2100A、2100B可绕腕部轴线独立地旋转，并且基板保持器2100A、2100B中的一者或多者可通过腕部Z驱动器2660沿Z方向移动以实现从各种堆叠的和/或并排的基板保持位置拾取基板。例如，在一个方面，基板保持站2100H1、2100H2沿着公共平面设置，诸如用于基本上同时从并排的负载锁102A、102B或并排的负载锁102C、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。在一个方面，基板保持站2100H1、2100H2以一者在另一者之上的方式设置(见如上文所描述的图27B、图27C)在堆叠平面中，诸如用于基本上同时从堆叠的负载锁102A、102C或从堆叠的负载锁102B、102D(或其他基板保持位置)拾取/放置基板。
应理解，尽管关于图26A-26D和图27A-27C图示和描述了腕部Z驱动器2660，但在其他方面，腕部Z驱动器可以以与图26C、图26D和图27C中所图示的方式基本上类似的方式结合到本文中所描述的任何臂构型(其中采用多于一个基板保持器)中，使得基板可被搬运到公共平面中的并排的基板站模块150或堆叠平面中的堆叠的基板站模块150(见图1C)，如本文中所描述的。
在一个方面，与上文关于图23和图25所描述的情况类似，基板保持器2100A、2100B、2300的独立旋转还可以以与上文关于图23A所描述的方式类似的方式提供基板运输设备130与搬运室125A的(例如，内壁125W的)形状的基板保持器符合性。然而，在这个方面，基板保持器2100A、2100B中的一个或多个可由驱动部段220C旋转以保持相应的基板保持器2100A、2100B和搬运室125A的壁125W之间的间隙。例如，还参考图29以及图23、图23A和图25，基板运输设备130可如图23A中所示来定位，使得基板保持器1900(或基板保持器2100A、2100B)的基板保持站被对齐以便从基板处理站2333A、2333B中的相应一者拾取/放置基板。使运输臂131延伸(图29，框2900)。在一个方面，(诸如，其中基板保持器2100A、2100B可独立地旋转)，以与本文中所描述的方式类似的方式提供独立的自动晶片定心(图29，框2910)，使得基板保持器2100A、2100B的基板保持站在要拾取的基板下方定心或者要放置的基板在基板处理站2333A、2333B处定心。基板由基板保持器1900(或基板保持器2100A、2100B)同时从基板处理站2333A、2333B拾取或放置到这些基板处理站(图29，框2920)。使基板运输臂131缩回并且使基板运输臂131和/或基板保持器1900(或2100A、2100B)和基板保持器2300旋转(图29，框2930)，以便将(单个)基板保持器2300与例如基板处理站2333B对齐。使运输臂131延伸(图29，框2940)，并且可提供自动晶片定心(图29，框2950)以便利用基板保持器2300来拾取或放置基板。如图23A中可以看到的，为了使单个基板保持器2300延伸到基板处理站2333B中，基板保持器1900(或基板保持器2100A、2100B中的一者或多者)(例如，并排的基板保持站)旋转(图29，框2960)以提供基板保持器1900(或基板保持器2100A、2100B中的一者或多者)和搬运室125的内侧壁125W之间的间隙，从而实现基板保持器2300延伸到基板保持站2333B中。在基板保持器1900(或基板保持器2100A、2100B中的一者或多者)旋转以提供上述间隙的情况下，利用单个基板保持器2300从基板处理站2333B拾取基板或将基板放置到该基板处理站(图29，框2970)。
参考图28，基板运输设备130与上文关于图21所描述的基板运输设备基本上类似；然而，在这个方面，基板运输设备130包括绕腕部轴线WX可旋转地联接到臂131的两个相对的单基板保持器2100C和2100D，这两个单基板保持器相对于基板保持器2100A、2100B成相对的关系。基板保持器2100C、2100D与基板保持器2100A、2100B基本上类似，并且包括相应的基板保持站2100H3、2100H4。此处，臂131和基板保持器2100A、2100B、2100C、2100D由例如六轴驱动部段220B(图3B)驱动为旋转和/或延伸(沿着非径向线性路径和/或径向线性路径)，其中一条驱动轴线使上臂201绕肩部轴线SX旋转，一条驱动轴线使前臂201绕肘部轴线EX旋转，一条驱动轴线使基板保持器2100A绕腕部轴线WX旋转，一条驱动轴线使基板保持器2100B绕腕部轴线WX旋转，一条驱动轴线使基板保持器2100C绕腕部轴线WX旋转，且一条驱动轴线使基板保持器2100D绕腕部轴线WX旋转。上臂201、前臂202和基板保持器2100A、2100B、2100C、2100D中的每一者可通过任何合适的传动装置联接到六轴驱动部段220B(图3B)，诸如通过与上文关于图4所描述的带和带轮传动装置基本上类似的带和带轮传动装置。在这个方面，基板保持器2100A包括基板保持站2100H1，基板保持器2100B包括基板保持站2100H2，基板保持器2100C包括基板保持器2100H3，并且基板保持器2100D包括基板保持器2100H4。以与上文所描述的方式类似的方式，基板保持站2100H1、2100H2、2100H3、2100H4设置在公共平面(与如上文关于图2D、图10和图11所描述的平面499基本上类似)上；而在其他方面，基板保持站中的一者或多者可通过腕部Z驱动器以与上文所描述的方式类似的方式沿Z方向移动。
可由运输臂131和驱动部段220B以与本文中所描述的方式基本上类似的方式使基板保持器2100A、2100B、2100C、2100D沿着非径向线性路径和/或径向线性路径延伸，以便基本上同时沿着公共平面499将基板拾取和/或放置到并排的基板站模块。注意，基板保持器2100A、2100B和/或基板保持器2100C、2100D绕腕部轴线WX的独立旋转提供了通过以下方式进行的自动晶片定心：改变基节距BP(例如，可以以与图2B和图2C中所图示的方式类似的方式增加或减小并排的基板保持站2100H1、2100H2或2100H3、2100H4之间的距离)，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197(见图1A)处。在一个方面，臂131和/或末端执行器2403、2404也可以以与上文关于图7A-7L所描述的方式类似的方式被驱动为旋转以快速交换基板(以与本文中所描述的方式基本上类似的方式)。
参考图19、图20、图22和图23，在一个方面，多于一个并置的(例如，并排的)基板保持站自公共末端执行器连杆(例如，基板保持器)悬垂，该公共末端执行器连杆是所述多于一个并置的基板保持站之间的基本上刚性的非铰接连杆。
参考图2A-2D、图8-9、图20、图21、图23、图24、图25、图26A-26D、图27A-27C和图28，至少一个末端执行器连杆(例如，基板保持器)包括多于一个末端执行器连杆(例如，基板保持器)，所述多于一个末端执行器连杆联结到前臂202的远端202E2以绕公共旋转轴线(例如，腕部轴线WX)相对于前臂202旋转，并且所述多于一个末端执行器连杆(例如，基板保持器)中的每一个具有多于一个并置的(例如，并排的)基板保持站中的自其悬垂的至少一个对应的基板保持站。
参考图2A-2D、图8、图9、图21、图24、图25、图26A-26D、图27A-27C和图28，至少一个末端执行器连杆(例如，基板保持器)包括多于一个末端执行器连杆，所述多于一个末端执行器连杆联结到前臂202的远端202E2以绕公共旋转轴线(例如，腕部轴线WX)相对于前臂202旋转，其中，驱动部段220、220A、220B、220C被构造成使得所述多于一个末端执行器连杆中的每一者分别独立于所述多于一个末端执行器连杆中的另一者绕公共旋转轴线旋转，并且所述多于一个末端执行器连杆中的每个相应的末端执行器连杆具有所述多于一个并置的(例如，并排的)基板保持站中的自其悬垂的至少一个对应的基板保持站。
参考图23、图23A、图25和图27A-27C，在一个方面，多连杆臂131具有至少一个基板保持器(例如，末端执行器连杆)1900、2100A、2100B、2300，所述至少一个基板保持器在前臂202的端部处可旋转地联结到接头(例如，腕部接头/轴线WX)，使得所述至少一个基板保持器1900、2100A、2100B、2300绕腕部接头/轴线WX处的公共旋转轴线相对于前臂202旋转。所述至少一个基板保持器1900、2100A、2100B、2300具有如下的多于一个基板保持站1900H1、1900H2、2100H1、2100H2、2300H1，即，所述多于一个基板保持站自其悬垂并相对于彼此设置在公共平面(例如，平面499-见例如图2D和图4)上并且被构造成使得所述至少一个基板保持器1900、2100A、2100B、2300绕腕部旋转轴线WX的旋转使所述多于一个基板保持站1900H1、1900H2、2100H1、2100H2、2300H1中的每一者绕腕部轴线WX旋转。此处，驱动部段220、220C被构造成至少使多连杆臂131相对于肩部轴线SX(固定位置)沿着径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此所述多于一个基板保持站中的至少两个并置的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2各自随着臂131的延伸和缩回而沿着径向或非径向路径线性地横过，并且基本上同时穿过公共水平面上的所述多于一个并置的基板运输开口中的单独的对应开口(见例如图1B和图1C)，并且因此所述多于一个基板保持站中的至少另一个2300H1(不同于两个并置的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2中的每一者)可独立于所述至少两个并置的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2绕腕部轴线WX旋转。
仍参考图23、图23A、图25和图27A-27C，所述至少两个并置的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2和所述至少另一个基板保持站2300H1设置在所述至少一个基板保持器1900、2100A、2100B、2300上，使得所述至少两个并置的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2和所述至少另一个基板保持站2300H1布置在腕部轴线WX的相对侧部上。在一个方面，如图23A中可以看到的，所述至少两个并置的基板保持站1900H1、1900H2或2100H1、2100H2和所述至少另一个基板保持站2300H1设置在所述至少一个基板保持器1900、2100A、2100B、2300上以随着臂131沿着径向或非径向路径的延伸和缩回绕腕部轴线WX旋转，从而使所述至少一个基板保持器的位置可选择地符合运输室125的不同于侧壁125W的另一个侧壁125W，运输室的开口位于该另一个侧壁上并且所述至少一个基板保持器1900、2100A、2100B、2300的所述多于一个基板保持站1900H1、1900H2、2100H1、2100H2、2300H1中的所述至少一个随着臂的延伸和缩回而穿过该另一个侧壁。
参考图23，所述至少两个并置的基板保持站1900H1、1900H2设置在所述至少一个基板保持器1900上，所述至少一个基板保持器可操作地连接到驱动部段220并且布置成使得所述至少一个基板保持器1900使所述至少两个并置的基板保持站1900H1、1900H2以公共独立自由度绕腕部旋转轴线WX旋转。
参考图25和图27A-27C，所述至少两个并置的基板保持站2100H1、2100H2设置在所述至少一个基板保持器2100A、2100B上，所述至少一个基板保持器可操作地连接到驱动部段220C并且布置成使得所述至少一个基板保持器2100A、2100B使所述至少两个并置的基板保持站2100H1、2100H2中的每一者以不同的相应的独立自由度绕腕部旋转轴线WX旋转，从而使得所述至少两个并置的基板保持站2100H1、2100H2中的每一者相对于彼此绕腕部旋转轴线WX独立地旋转。
参考图26A-26D和图27A-27C，在一个方面，多连杆臂131具有至少一个基板保持器2403、2404或2100A、2100B，所述至少一个基板保持器在前臂202的端部处可旋转地联结到接头(例如，腕部轴线WX)，使得所述至少一个基板保持器2403、2404或2100A、2100B绕腕部轴线WX处的公共旋转轴线相对于前臂202旋转，所述至少一个基板保持器2403、2404或2100A、2100B具有如下的多于一个基板保持站3403H1、3403H2、3404H1、2404H2、2100H1、2100H2，即，所述多于一个基板保持站自其悬垂、沿着不同平面499、499A(图26D、图27C)并置、相对于彼此在高度上偏移，并且被构造成使得所述至少一个基板保持器2403、2404或2100A、2100B绕腕部旋转轴线WX的旋转使所述多于一个基板保持站3403H1、3403H2、3404H1、2404H2、2100H1、2100H2中的每一者绕腕部旋转轴线WX旋转。驱动部段220、220C被构造成至少使多连杆臂131相对于肩部轴线SX(例如，固定位置)沿着径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此所述多于一个基板保持站3403H1、3403H2、3404H1、2404H2、2100H1、2100H2中的至少两个并置的基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2100H1、2100H2各自随着臂的延伸和缩回而沿着径向或非径向路径线性地横过，并且各自可彼此独立地绕腕部旋转轴线WX旋转，以便单独地穿过公共水平面499上的所述多于一个并置的基板运输开口中的相应的(或在其他方面，公共)开口(见例如图1B和图1C)，并且所述多于一个基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2300H1中的至少另一者(不同于两个并置的基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2100H1、2100H2中的每一者)在所述至少一个基板保持器2403、2404、2300上设置成与所述至少两个并置的基板保持站2403H1、2404H1或2403H2、2404H2或2100H1、2100H2中的每一者基本上相对。此处，驱动部段220、220C包括腕部Z驱动器2660，该腕部Z驱动器被构造成使所述至少一个末端执行器连杆的所述多于一个基板保持站在高度上相对于彼此移动，以便在公共水平面上将所述多于一个基板保持站放置成彼此并置。
如上文所描述的，基板运输设备130(具有任何合适的(多个)末端执行器，诸如本文中所描述的末端执行器)可安装在吊臂上。出于示例性目的，图15图示了安装到两连杆吊臂1500的臂131。两连杆吊臂1500包括上连杆1501和前臂连杆1502。上连杆1501的第一端部绕吊臂肩部轴线BSX可旋转地联接到驱动部段(诸如，本文中所描述的驱动部段220)。前臂连杆1502的第一端部绕吊臂肘部轴线BEX可旋转地联接到上连杆1501的第二端部。臂131绕臂肩部轴线SX可旋转地联接到前臂连杆1502的第二端部。上连杆1501和前臂连杆1502中的每一者在相应端部之间是基本上刚性的和非铰接的。在另一个方面，图16图示了安装到单连杆吊臂1600的臂131。单连杆吊臂1600包括吊臂连杆1601。吊臂连杆1601的第一端部绕吊臂肩部轴线BSX可旋转地联接到驱动部段(诸如，本文中所描述的驱动部段220)。臂131绕臂肩部轴线SX可旋转地联接到吊臂连杆1601的第二端部。吊臂连杆1601在吊臂连杆1601的两个端部之间是基本上刚性的和非铰接的。虽然图示了单连杆吊臂1600和两连杆吊臂1500，但应理解，吊臂可具有任何合适数量的连杆。
还参考图3，为了使吊臂1500、1600旋转，驱动部段220、220A、220B、220C可包括至少一条吊臂驱动轴线(或至少一个马达)390、391。例如，在例如采用单连杆吊臂1600的情况下，可提供单条吊臂驱动轴线390。在两连杆吊臂1500的前臂连杆1502绕吊臂肘部轴线BEX的旋转从属于例如壳体310的情况下，也可提供单条吊臂驱动轴线390。在其他方面，在两连杆吊臂1500的上连杆1501和前臂连杆1502绕相应的吊臂肩部轴线BSX和吊臂肘部轴线BEX独立地旋转的情况下，可提供两条吊臂驱动轴线390、391。吊臂驱动轴线390、391可与马达342、344、346、348同轴地布置；而在其他方面，吊臂驱动轴线390、391可具有任何合适的构型，诸如并排的马达构型；而在再其他方面，吊臂驱动轴线390、391可布置在吊臂肩部轴线BEX处，而驱动马达342、344、346、348布置在臂131的肩部轴线SX处。提供任何合适的传动装置(例如，其在一个方面与图4-6B中所示的带和带轮传动装置基本上类似)以将吊臂1500、1600的(多个)连杆联接到一条/多条驱动轴线390、391。
参考图18A和图18B，由本公开的方面提供的自动晶片定心可提供基本上同时放置(或拾取)双基板S，而不管双基板S中的每一个和相应的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2之间的相对偏心距如何。例如，在基板保持站203H1、204H1处于基节距BP的情况下，自动晶片定心可确定基板S1的偏心距EC2比基板保持站203H1的中心203H1C更靠近肩部轴线SX，并且基板S2的偏心距EC1将例如在基板保持站204H1的中心204H1C的右边(注意，此处仅为方便解释而使用方向术语“右边”)。因此，为了将基板S1、S2放置在例如基板处理站190、191处，每个基板S1、S2的位置不仅经由自动晶片定心相对于基板处理站190、191之间的距离D来独立地调节，而且还沿延伸/缩回方向17700来独立地调节，以适应两个偏心距EC1、EC2。例如，基板保持器203、204各自绕腕部轴线WX(其中腕部轴线沿着径向延伸轴线700(见图7B)或非径向延伸路径701(见图7F)定位)独立地旋转，以实现基板S1、S2在相应基板处理站190、191处的独立的自动晶片定心。类似地，参考图18C，自动晶片定心还可实现将基板放置在距例如基板运输设备130的肩部轴线SX有不同的径向距离17020、17021的基板处理站190、191处，其中每个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2绕腕部轴线的独立旋转和/或腕部轴线的放置实现了并排的基板保持站203H1-204H1、203H2、204H2中的一者相对于并排的基板保持站203H1-204H1、203H2、204H2中的另一者的延伸距离增加(相对于肩部轴线)。
参考图2A-2D、图7A-7L和图15，将描述利用基板运输设备130来运输基板的示例性方法。在所描述的示例中，基板处理设备100包括搬运室125A，该搬运室具有六个侧部，但在其他方面与上文关于图1所描述的情况基本上类似；然而，在其他方面，搬运室可具有任何合适数量的侧部，其中并排的基板站模块以与图1A、图7A、图8、图12、图15和图16中所图示的方式类似的方式联接到搬运室的相应侧部。进一步地，在所描述的示例中，臂131包括双基板保持器203、204，这些双基板保持器中的每一者在相应的基板保持器203、204的相对端部处具有基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2；然而，应理解，本文中所描述的方法同样适用于臂131以及在图8-16中图示并关于它们描述的本公开的方面。
如下文将描述的，控制器110可操作地联接到驱动部段220，并且被构造成使臂131延伸以便利用双基板保持器203、204的对应的至少一个基板保持站(例如，基板保持站203H1、204H1或203H2、204H2)通过运输室壁125W中的相应的单独开口(见槽阀SV)来基本上同时拾取或放置双第一基板(见例如基板S1、S2)。如下文还将描述的，控制器110被构造成通过搬运室壁125W中的相应的单独开口来基本上同时用被保持在双基板保持器203、204的对应的至少一个基板保持站(例如，基板保持站203H1、204H1或203H2、204H2)上的至少一个第二基板(见例如基板S3、S4)快速交换双第一基板，其中双第一基板S1、S2被同时保持在双基板保持器203、204的对应的至少一个基板保持站(例如，基板保持站203H1、204H1或203H2、204H2)上。在一些方面，在控制器110的控制下，驱动部段被构造成将对应的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2中的至少一者相对于(多个)基板保持器中的另一者独立地对齐。
根据本公开的方面，具有至少一个末端执行器(和/或如本文中所描述的其他臂构型)的双连杆SCARA实现了随着臂131和其上的末端执行器203、204遍及搬运室的内部空间的延伸和缩回(即，在/从双SCARA臂的任何角θ位置/取向)(图17，框1710)绕肩部轴线SX(见例如图1A和图7A)的大于或约360°的SCARA臂旋转θ(图17，框1700)。具有如本文中所描述的所述至少一个末端执行器(和/或如本文中所描述的其他臂构型)的双连杆SCARA提供了共同(common)随着臂131和末端执行器203、204的延伸而在每个末端执行器处的独立的自动晶片定心(图17，框1720)，如下文所描述的。如本文中还描述的，具有所述至少一个末端执行器的双连杆SCARA提供了在没有Z轴移动情况下的双“快速交换”(如本文中所描述的，在一个方面，在末端执行器203、204的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2位于公共平面499上(见例如图2D和图11)的情况下，并且在其他方面，在末端执行器203、204的基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2位于不同平面499、499A上(见例如图10)的情况下)(图7，框1730)，其中末端执行器203、204具有并排的基板保持站并且末端执行器203、204中的至少一个是双侧末端执行器(例如，具有位于末端执行器的相对的纵向间隔端部处的至少一个基板保持站)。
在示例性方法中，提供了本文中所描述的基板运输设备130(图14，框1401)。还可提供控制器110(图14，框1420)，并且该控制器连接到基板运输设备130。控制器被构造成使基板运输设备130的所述至少一个臂131延伸，使得基板保持器203、204(并且在图13的情况下，基板保持器205)延伸穿过运输室125、125A的侧壁125W。例如，图7A图示了基板运输设备130的臂131相对于肩部轴线SX处于原位或缩回构型。在该示例中，缩回构型是其中臂连杆201、202以一者在另一者之上的方式定位并且彼此基本上对齐；而在其他方面，缩回构型是其中腕部轴线WX基本上设置在肩部轴线SX上方，诸如当上连杆201和前臂连杆202从接头中心到接头中心具有基本上相同长度时。控制器110被构造成实现驱动部段220的运动以实现每个基板的独立的自动晶片定心，其中基板保持站203H2、204H2的基节距BP增加(图2B)或减小(图2C)以实现自动晶片定心(在这种情况下为基板S3、S4在相应的基板保持站203H2、204H2上的定心)，使得基板保持站203H2、204H2之间的距离与基板处理站196、197之间的节距基本上匹配。如上所述，自动晶片定心可沿着多于一条轴线(例如，沿着对应于基板处理站之间的间距的轴线和沿着对应于基板保持器的延伸方向的轴线)来实现。控制器110进一步被构造成实现驱动部段220的运动，使得在一个方面腕部轴线WX沿径向方向700移动并且基板保持站203H2、204H2延伸穿过运输室125A的壁125W中的开口而进入负载锁102A、102B中(见图7B和图7C)。
在一个方面，控制器110可实现对Z轴驱动器312的致动以提升基板保持站203H2、204H2(而在其他方面，Z运动可至少部分地由基板处理站196、197提供)，以便基本上同时从负载锁102A、102B的基板处理站196、197拾取双基板S3、S4。在基板S3、S4被保持在基板保持站203H2、204H2上的情况下，控制器110实现驱动部段220的运动以将臂131缩回到例如缩回构型，使得从负载锁102A、102B移除基板S3、S4(见图7D)。臂131沿方向111旋转，以便将基板保持站203H1、204H1定位成邻近将从中拾取另一组双基板S1、S2的任何合适的基板处理站(诸如，处理站188、189)。
以与上文所描述的方式类似的方式，控制器110被构造成实现驱动部段220的运动以使臂131延伸(图14，框1410)并且使得基板保持站203H1、204H1的基节距BP增加(图2B)或减小(图2C)以实现自动晶片定心(图14，框1430-在这种情况下为基板S1、S2在相应的基板保持站203H1、204H1上的定心)，从而使得基板保持站203H1、204H1之间的距离与基板处理站188、189之间的节距基本上匹配(见图7E)。注意，自动晶片定心(例如，基节距BP的增加或减小)可与臂延伸/缩回基本上同时执行，或者在臂131基本上处于缩回构型(在臂131延伸之前)的情况下执行。为了从基板处理站188、189拾取/放置基板，控制器110被构造成实现驱动部段220的运动，使得腕部轴线WX以非径向延伸来移动，在该非径向延伸中，在一个方面，腕部WX的移动沿着从径向延伸/缩回轴线偏移和/或成角度的路径701(图7F)(即，路径701不穿过肩部轴线SX或不从肩部轴线SX辐射)行进。腕部WX沿着路径701的移动使基板保持站203H1、204H1延伸穿过运输室125A的壁125W中的开口而进入基板处理站188、189中。
在一个方面，控制器110可实现对Z轴驱动器312的致动以提升基板保持站203H1、204H1(而在其他方面，Z运动可至少部分地由基板处理站188、189提供)，以便基本上同时从并排的基板站模块150的基板处理站188、189拾取双基板S1、S2(图14，框1440)。在基板S1、S2被保持在基板保持站203H1、204H1上的情况下，控制器110实现驱动部段220的运动以将臂131缩回到例如缩回构型，使得从并排的基板站模块150移除基板S1、S2(见图7G)。基板保持站203H1、204H1的基节距BP可在臂131从基板处理站188、189缩回期间(基本上同时)恢复，或者在臂基本上处于缩回构型(见图7G)的情况下恢复。
在一个方面，以上文所描述的方式实现了以基板S3、S4快速交换基板S1、S2(图14，框1450)，其中基板保持器平面(如本文中所描述的，并且无论双侧基板保持器的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2形成一个或多个平面)中的每个平面499、499A(见图2D、图10和图11)与公共运输室中用于在运输开口平面的给定Z位置处搬运的运输开口的至少一个平面(见图1B和图1C)对应并对齐到所述至少一个平面，使得通过每个平面上的每个相应开口实现基板搬运并且每个双端基板保持器203、204的至少一个基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2基本上没有Z轴移动，即，随基板保持器203、204的一个端部处的(多个)基板保持站203H1、203H2、204H1、204H2延伸到基板处理站(用于每个平面)中、在基板处理站处拾取和/或放置(多个)基板、从基板处理站缩回、以及延伸到每个其他不同的基板处理站(在双端基板保持器203、204的相同或不同端部处具有相同或不同的双基板)中实现了(在基板搬运之间独立于干预的Z轴移动或脱离干预的Z轴移动)基本上独立于Z轴移动的基板快速交换。例如，臂131沿方向777(见图7G-7I)旋转，以便将基板保持站203H2、204H2(具有由臂131保持的基板S1-S4)定位成邻近将从中移除基板S1、S2并且将放置有双基板S3、S4的处理站188、189。控制器110实现驱动部段220的运动以使臂131延伸(图14，框1410)并且使得基板保持站203H2、204H2的基节距BP增加(图2B)或减小(图2C)以实现自动晶片定心(图14，框1430-在这种情况下为基板S3、S4在相应基板处理站188、189上的定心)，从而使得基板保持站203H2、204H2之间的距离与基板处理站188、189之间的节距基本上匹配(见图7I)。注意，自动晶片定心(例如，基节距BP的增加或减小)可与臂延伸/缩回基本上同时执行，或者在臂131基本上处于缩回构型(在臂131延伸之前)的情况下执行。为了将基板S3、S4放置到相应基板处理站188、189，控制器110被构造成实现驱动部段220的运动，使得腕部轴线WX沿着路径701(图7J)以非径向延伸来移动。腕部WX沿着路径701的移动使基板保持站203H2、204H2延伸穿过运输室125A的壁125W中的开口而进入基板处理站188、189中。
在一个方面，控制器110可实现对Z轴驱动器312的致动以降低基板保持站203H2、204H2(而在其他方面，Z运动可至少部分地由基板处理站188、189提供)，以便将双基板S3、S4基本上同时放置(图14，框1440)到并排的基板站模块150的基板处理站188、189。控制器110实现驱动部段220的运动以将臂131缩回到例如缩回构型，使得从并排的基板站模块150移除基板保持站203H2、204H2。基板保持站203H1、204H1的基节距BP可在臂131从基板处理站188、189缩回期间(基本上同时)恢复，或者在臂基本上处于缩回构型的情况下恢复。尽管描述了以基板S3、S4快速交换基板S1、S2，但应理解，在其他方面，基板S3、S4可放置在不同于基板S1、S2被拾取的位置的另一个位置中。
控制器110可以以上文所描述的方式实现驱动部段220的操作使得臂131延伸到负载锁102A、102B中，以便以与上文关于基板S3、S4在基板处理站188、189处的放置所描述的方式基本上类似的方式将双基板S1、S2放置到基板处理站196、197(见图7K)。臂131从负载锁102A、102B缩回到例如缩回构型(见图7L)以便进一步拾取/放置基板。
现在参考图30A、图30B、图31和图32A-32F，图示了根据本公开的另一个方面的示例性基板运输设备130。在这个方面，基板运输设备130包括臂131，该臂例如是可称为双SCARA臂的铰接式多连杆臂。臂131具有：公共上臂3001，其枢转地安装到驱动部段220C(或任何其他合适的驱动部段)；两个前臂3002A、3002B(每个前臂3002A、3002B联接到公共上臂3001的每个端部)；以及两个基板保持器或末端执行器3100A、3100B、3100C、3100D(也称为末端执行器连杆)，其联接到每个相应前臂3002A、3002B，其中每个基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D具有基板保持位置/站3023、3024、3025、3026。
此处，公共上臂由两个前臂3002A、3002B共享或为它们所共用，并且包括肩部轴线SX、具有第一端部3001E1的第一臂部分3001A、以及具有第二端部3001E2的第二臂部分3001B，其中肩部轴线SX位于第一端部3001E1和第二端部3001E2之间。在一个或多个方面，第一臂部分3001A和第二臂部分3001B形成单个整体构件(即，一件式)臂连杆而在第一端部3001E1和第二端部3001E2之间没有铰接/可调节接头，并且公共上臂连杆3001是肩部轴线SX(其相对于基板搬运室125的框架位于固定位置处)和两个前臂3002A、3002B中的每一者与公共上臂连杆3001的相应接头EX1、EX2之间的基本上刚性的非铰接连杆。在其他方面，还参考图33A-33C，第一臂部分3001A和第二臂部分3001B以可调节的方式彼此联接，使得臂部分3001A、3001B之间的夹角是可调节的以适应不同长度L(见图30A)的基板保持器，同时以与2013年2月19日授权且题为“Dual SCARA Arm”的美国专利号8,376,685中所描述的方式基本上类似的方式针对给定的基板保持器长度来保持最紧凑的(即，最小的)占地面积FP，该专利的公开内容通过引用以其整体并入本文中。例如，如图33A-33C中所图示的，对运输臂占地面积FP的调节、以及对基板保持器3100A-3100D的最佳定位是通过调节公共上臂3001的相对臂部分3001A、3001B的相对角位置来实现的。图33A-33C分别示出了处于三个不同位置中的臂部分3001A、3001B，这三个不同位置对应于具有长度L1、L2、L3的基板保持器，其中长度L1大于长度L2并且长度L2大于长度L3。因此，在图33A中，上臂部分3001A、3001B相对于彼此定位以形成夹角α，在图33B中，上臂部分3001A、3001B相对于彼此定位以形成夹角α1，并且在图33C中，上臂部分3001A、3001B相对于彼此定位以形成夹角α2。角α2比角α1浅，角α1又比角α浅。因此，如图33A-33C中看到的，上臂部分3001A、3001B之间的夹角的大小随着基板保持器的长度L1、L2、L3的增加而减小。当臂组件处于配准位置(例如，缩回或原位位置)时，随着上臂部分3001A、3001B之间的夹角减小，臂部分3001A、3001B进一步向后(与延伸方向相反)旋转。这进而使前臂和基板保持器向后移动，从而允许较长长度的末端执行器保持在设备的最小占地面积FP内。
为了使相对的臂部分3001A、3001B相对于彼此绕肩部轴线SX移动，上臂3001包括任何合适的紧固件，这些紧固件在被释放时允许臂部分3001A、3001B之间进行相对移动并且在被锁定(或紧固)时防止臂部分3001A、3001B之间进行相对移动，使得公共上臂3001是上臂3001的端部3001E1、3001E2(或肘部轴线EX1、EX2)之间的基本上刚性的非铰接臂连杆。例如，公共上臂3001包括将臂部分3001A、3001B锁定在一起的螺栓3333(见图33A)。当螺栓3333被释放时，允许一个或两个臂部分3001A、3001B相对于另一臂部分3001A、3001B绕肩部轴线SX枢转，直到获得期望的夹角α、α1、α2。然后重新引入螺栓3333，由此再次在新位置中将臂部段彼此锁定。在重新定位上臂部分3001A、3001B(这进而重新定位由上臂3001承载的前臂和基板保持器)之后，控制器110被编程为设定驱动器220C的驱动马达的配准位置(如先前通过引用并入本文中的美国专利8,376,685中所描述的)，其中教导/编程运输臂131的搬运移动然后以任何合适的方式完成。
前臂3002A在肘部轴线EX1处在一个端部处可旋转地联接到公共上臂3001的第一端部3001E1。基板保持器3100A、3100B绕公共腕部轴线WX1(即，腕部轴线WX1为基板保持器3100A、3100B所共用或由它们共享)可旋转地联接到前臂3002A的另一端部。前臂3002B在另一条肘部轴线EX2处在一个端部处可旋转地联接到公共上臂3001的第二端部3001E2。基板保持器3100C、3100D绕另一条公共腕部轴线WX2(即，腕部轴线WX2为基板保持器3100C、3100D所共用或由它们共享)可旋转地联接到前臂3002B的另一端部。此处，每个前臂3002A、3002B设置成独立于每个其他前臂3002A、3002B来解决每个基板S在相应前臂3002A、3002B的两个末端执行器的基板保持位置/站3023、3024、3025、3026处的自动化定心。每个前臂3002A、3002B设置成分别独立于每个其他前臂302A、3002B来解决每个基板S在相应前臂3002A、3002B的两个末端执行器3100A、3100B、3100C、3100D的基板保持位置3023、3024、3025、3026处的自动化定心，以便通过沿着例如搬运室125的侧壁的所述多于一个基板运输开口(诸如，槽阀SV)实现基板S的快速交换。在这个方面，臂131的构型比常规运输臂(其中前臂通过公共驱动器链接)更有利，因为可以主要通过利用前臂3002A、3002B(每一者均独立(即，在延伸时))解决自动晶片定心来实现基板S的快速交换。此处，不同前臂3002A、3002B上的基板保持器3100A、3100C以及3100B、3100D(如本文中所描述的)在不同的可独立地旋转的前臂3002A、3002B上的交叉联接型旋转运动(即，基板保持器交叉联接/共享一个自由度)还引起与缩回臂(例如，在图30B中，缩回臂包括公共上臂3001的臂部分3001B、前臂3002B和末端执行器3100C、3100D)的基板保持器3100A-3100D上的基板S的最小/最小化的惯性联接，因为由缩回臂保持的基板S在SCARA臂的旋转中心(例如，肩部轴线SX)附近，不过所联接的末端执行器3100A、3100C以及3100B、3100D的角速度与本文中所描述的情况相同。
联接到前臂3002A的基板保持器3100A、3100B可具有任何合适的长度L和形状(例如，构型)，该长度L和形状至少部分地设定或以其他方式限定基板保持器3100A、3100B的并排的基板保持位置(也称为基板保持站)3023、3024之间的任何合适的基节距BP。类似地，联接到前臂3002B的基板保持器3100C、3100D可具有任何合适的长度L和形状(例如，构型)，该长度L和形状至少部分地设定或以其他方式限定基板保持器3100C、3100D的并排的基板保持位置3025、3026之间的任何合适的基节距BP。基板保持位置3023、3024之间的基节距BP以及基板保持位置3025、3026之间的基节距BP以与上文所描述的方式类似的方式而彼此相称和/或与基板保持位置2023-2026中的每一者相对于相应的腕部轴线WX1、WX2的任何合适的基板保持器偏移距离SD相称。在一个方面，基节距BP可基本上等于并排的基板处理站之间的节距D，诸如例如190、191(见图1A和图32A)。在其他方面，如本文中所描述的，自动晶片定心是通过以下方式来实现的：改变基节距BP(例如，可增加或减小并排的基板保持站3023-3024、3025-3026之间的距离)或每个相应的基板保持器的基板保持器偏移距离SD，以适应节距D的差异和/或实现自动晶片定心以便将晶片放置在基板处理站190-197处。例如，基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D中的一者或多者可相对于基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D中的所述一者或多者绕相应的腕部轴线WX1、WX2独立地旋转，以便增加或减小(或以其他方式改变)相应的偏移距离SD并在基节距BP中做出相应的改变，如本文中所描述的。在一个方面，如本文中所描述的，驱动部段300C被构造成将基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者的对应的至少一个基板保持站3023、3024、3025、3026相对于基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D中的另一者的对应的(多个)基板保持站3023、3024、3025、3026独立地对齐。
参考图30A、图30B和图31，在这个方面，运输臂131被构造为单向延伸型双SCARA臂，使得基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D沿相同的延伸方向3099延伸，而基板运输臂131作为一个单元(例如，处于缩回构型)绕肩部轴线SX不旋转，并且基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D绕相应的腕部轴线WX1、WX2基本上不进行180°旋转。每组基板保持器延伸(即，基板保持器3100A、3100B一起延伸和缩回，而基板保持器3100C、3100D一起延伸和缩回)，而运输臂131作为一个单元绕肩部轴线SX不旋转并且基板保持器3100A-3100B、3100C-3100D作为它们各自的单元绕相应的腕部轴线WX1、WX2不旋转，这实现了基板快速交换，其中基板保持器3100A-3100B从相应的保持位置拾取基板并且基板保持器3100C、3100D继拾取后立即将基板放置在相同的基板保持位置中(和/或反之亦然)。
在这个方面，基板保持器3100A和3100C绕它们各自的腕部轴线WX1、WX2的旋转被联接，使得基板保持器3100A、3100C由公共(例如，由单条/个)驱动轴线或马达驱动。类似地，基板保持器3100B和3100C绕它们各自的腕部轴线WX1、WX2的旋转被联接，使得基板保持器3100B、3100D由公共(例如，由单条/个)驱动轴线或马达驱动。每个前臂3002A、3002B由相应的驱动轴线驱动为绕相应的肘部轴线EX1、EX2旋转，并且上臂3001由相应的驱动轴线驱动为绕肩部轴线SX旋转。因而，仅利用五自由度驱动器(驱动部段220C具有本文中所描述的五同轴驱动轴组件300C(具有五个驱动轴301-305)和五个马达342、344、346、348、343)就能提供臂131作为一个单元的延伸、缩回、绕肩部轴线SX的旋转、以及每个基板保持器3100A、3100B、3100C、3100D绕相应的腕部轴线的独立旋转。
在一个或多个方面，驱动部段220C具有至少一条驱动轴线，所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂131相对于驱动部段220C的固定位置(以及如本文中所描述的肩部轴线SX)沿着线性路径(例如，沿着箭头3099-图30A)延伸和缩回，其中每个相应前臂3002A、3002B相对于公共上臂连杆3001可独立地枢转。此处，每个相应前臂3002A、3002B具有安装到相应前臂3002A、3002B的该一个端部的两个末端执行器连杆3100A、3100B以及3100C、3100D中的可操作地联接到所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线(见如本文中所描述的图31)的一个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D，该公共驱动轴线为两个末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)(每个相应前臂3002A、3002B上一个末端执行器连杆)限定公共自由度，从而使末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)相对于相应前臂3002A、3002B旋转，并且在两个前臂3002A、3002B中的至少一个前臂3002A、3002B的该一个端部处的两个末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)中的至少另一者具有另一个自由度，从而使另一末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)独立于公共自由度绕所述至少一个前臂3002A、3002B旋转。
在一个或多个方面，驱动部段220C的所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂131相对于固定位置沿着线性路径延伸和缩回，如上文所描述的。此处，两个末端执行器连杆3100A、3100B(或3100C、3100D)中的第一末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)(对应于两个前臂3002A、3002B中的第一前臂3002A、3002B)、以及两个末端执行器连杆3100A、3100B(或3100C、3100D)中的第一末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)(对应于两个前臂3002A、3002B中的第二前臂3002A、3002B)可操作地联接到驱动器220C的所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线，该公共驱动轴线为第一前臂3002A或3002B的第一末端执行器连杆3100A或3100C以及第二前臂3002A或3002B的第一末端执行器连杆3100A或3100C限定公共自由度，从而使每个相应的第一末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)相对于对应的第一前臂和第二前臂3002A、3002B旋转，并且第一前臂3002A或3002B的第二末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)具有另一个自由度，从而使第二末端执行器连杆3100A、3100C(或3100B、3100D)独立于公共自由度绕第一前臂3002A或3002B旋转。
根据一个或多个方面，五自由度驱动部段220C被构造成使得驱动部段220C的五个自由度至少限定铰接式多连杆臂131相对于固定位置(例如，肩部轴线SX以与上文所描述的方式类似的方式相对于运输室125框架被固定)沿着线性路径的延伸和缩回，其中每个相应前臂3002A、3002B相对于公共上臂连杆3001可独立地枢转，并且在相应前臂3002A、3002B中的每一者的该一个端部处的两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者绕相应前臂3002A、3002B的该一个端部可独立地枢转。如本文中所描述的，基板保持器旋转的联接(即，基板保持器3100A和3100C的旋转被联接，并且基板保持器3100B和3100D的旋转被联接)减少了将搬运臂作为一个单元驱动为延伸、缩回、旋转以及每个基板保持器的独立旋转所需的轴线的数量(例如，利用五自由度驱动器提供了相当于七个自由度的臂移动)。在一个或多个方面，还以与本文中所描述的方式类似的方式提供Z轴驱动器，以向臂131提供Z轴运动。
如图31中可以看到的，公共上臂3001联接到轴304并与该轴作为一个单元绕肩部轴线SX旋转。前臂3002A通过任何合适的传动装置(诸如，本文中所描述的传动装置)联接到轴301。例如，驱动带轮3140联接到轴301并与该轴作为一个单元绕肩部轴线SX旋转。从动带轮3141绕肘部轴线EX2可旋转地安装，并且联接到轴3145并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX2旋转。带轮3140、3141通过与本文中所描述的分段式传动回路基本上类似的任何合适的分段式传动回路3146彼此联接。前臂3002A联接到轴3145并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX2旋转。
前臂3002B通过任何合适的传动装置(诸如，本文中所描述的传动装置)联接到轴305。例如，驱动带轮3150联接到轴305并与该轴作为一个单元绕肩部轴线SX旋转。从动带轮3151绕肘部轴线EX1可旋转地安装，并且联接到轴3155并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX1旋转。带轮3150、3151通过与本文中所描述的分段式传动回路基本上类似的任何合适的分段式传动回路3156彼此联接。前臂3002B联接到轴3155并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX1旋转。
如上所述，基板保持器3100A绕腕部轴线WX1的旋转联接到基板保持器3100C绕腕部轴线WX2的旋转。例如，当基板保持器3100A绕腕部轴线WX1旋转时，基板保持器3100C沿相同方向绕腕部轴线WX2旋转相同的旋转量。此处，两个基板保持器3100A、3100C都联接到轴303并由该轴驱动。例如，驱动带轮3110在一些方面可称为“分体式(splitting)驱动带轮”，并且联接到轴303并与该轴作为一个单元绕肩部轴线SX旋转。(公共上臂3001的)惰轮带轮3111和(前臂3002A的)惰轮带轮3160绕肘部轴线EX2可旋转地安装，并且联接到轴3164并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX2旋转。驱动带轮3110以任何合适的方式联接到惰轮带轮3111，诸如通过与本文中所描述的分段式传动回路基本上类似的分段式传动回路3166。驱动带轮3110以任何合适的方式联接到惰轮带轮3112，诸如通过与本文中所描述的分段式传动回路基本上类似的分段式传动回路3167。在一个方面，分段式传动回路3166、3167位于驱动带轮3110上的不同高度处，而在其他方面，这些分段式传动回路的至少一部分可共享驱动带轮的公共水平面，如本文中所描述的。从动带轮3161安装到前臂3002A以便绕腕部轴线WX1旋转，并且通过与本文中所描述的分段式传动回路类似的分段式传动回路3168联接到惰轮带轮3160。从动带轮3161联接到轴3170并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX1旋转。基板保持器3100A联接到轴3170并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX1旋转。(公共上臂3001的)惰轮带轮3112和(前臂3002A的)惰轮带轮3162绕肘部轴线EX1可旋转地安装，并且联接到轴3165并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX1旋转，其中如上所述，驱动带轮3110联接到惰轮带轮3112。从动带轮3163安装到前臂3002B以便绕腕部轴线WX2旋转，并且通过与本文中所描述的分段式传动回路类似的分段式传动回路3169联接到惰轮带轮3162。从动带轮3163联接到轴3171并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX2旋转。基板保持器3100C联接到轴3171并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX2旋转。
以与上文所描述的方式类似的方式，两个基板保持器3100B、3100D都联接到轴302并由该轴驱动，使得当基板保持器3100B绕腕部轴线WX1旋转时，基板保持器3100D沿相同方向绕腕部轴线WX旋转相同的旋转量。例如，驱动带轮3130在一些方面可称为“分体式驱动带轮”(如本文中将进一步描述的)，并且联接到轴302并与该轴作为一个单元绕肩部轴线SX旋转。(公共上臂3001的)惰轮带轮3131和(前臂3002A的)惰轮带轮3180绕肘部轴线EX2可旋转地安装，并且联接到轴3184并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX2旋转。驱动带轮3130以任何合适的方式联接到惰轮带轮3131，诸如通过与本文中所描述的分段式传动回路基本上类似的分段式传动回路3186。驱动带轮3130以任何合适的方式联接到惰轮带轮3132，诸如通过与本文中所描述的分段式传动回路基本上类似的分段式传动回路3187。在一个方面，分段式传动回路3186、3187位于驱动带轮3130上的不同高度处，而在其他方面，这些分段式传动回路的至少一部分可共享驱动带轮的公共水平面，如本文中所描述的。从动带轮3181安装到前臂3002A以便绕腕部轴线WX1旋转，并且通过与本文中所描述的分段式传动回路类似的分段式传动回路3188联接到惰轮带轮3180。从动带轮3181联接到轴3190并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX1旋转。基板保持器3100B联接到轴3190并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX1旋转。(公共上臂3001的)惰轮带轮3132和(前臂3002A的)惰轮带轮3182绕肘部轴线EX1可旋转地安装，并且联接到轴3185并与该轴作为一个单元绕肘部轴线EX1旋转，其中如上所述，驱动带轮3130联接到惰轮带轮3132。从动带轮3183安装到前臂3002B以便绕腕部轴线WX2旋转，并且通过与本文中所描述的分段式传动回路类似的分段式传动回路3189联接到惰轮带轮3182。从动带轮3183联接到轴3191并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX2旋转。基板保持器3100D联接到轴3191并与该轴作为一个单元绕腕部轴线WX2旋转。
如上所述，参考图34A和图34B，在一个或多个方面，驱动带轮3110、3130是与2017年6月27日提交且题为“Substrate Processing Apparatus”的美国专利申请号15/634,871中所描述的分体式驱动带轮基本上类似的分体式驱动带轮，该专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。例如，驱动带轮3110、3130中的每一者包括三个带界面层3406L1、3406L2、3406L3，这些带界面层容纳相应的分段式传动回路3186-3187(用于驱动带轮3130)和3166-3177(用于驱动带轮3110)的四个带段：(传动回路3167的)3420、3421和(传动回路3166的)3422、3423(传动回路3187和3186具有类似的带段)。出于示例性目的，将描述传动回路3167、3166到驱动带轮3110的联接，注意，传动回路3187、3186以类似的方式联接到驱动带轮3130。此处，传动回路3167的带段3420在界面层3406L1处联接到驱动带轮3110，而传动回路3167的带段3421在界面层3406L2处联接到驱动带轮3110。传动回路3166的带段3422在界面层3406L2处联接到驱动带轮3110，而传动回路3166的带段3423在界面层3406L3处联接到驱动带轮3110。如图34中可以看到的，带段3421、3422共享公共界面层(即，界面层3406L2)，其中每个带段3421、3422以非重叠方式围绕驱动带轮被缠绕并在锚固点3470、3471(与本文中所描述的锚固点类似)处联接到驱动带轮，这些锚固点相对于驱动带轮3110的圆周基本上分开180°。与常规的带轮和传动装置构型(其中每个带位于它自己的在带轮上的相应水平面上)相比，这种带构型提供了高度降低的带轮和传动装置。上文关于图31所描述的带轮可具有任何合适的驱动/从动比(诸如例如，2∶1或任何其他合适的比率)，以实现运输臂131的期望的使延伸/缩回运动。
现在参考图30A和图32A-32F，由本公开的方面提供的自动晶片定心可提供基本上同时放置(或拾取)双基板S，而不管双基板S中的每一者和相应的(多个)基板保持站3023、3024、3025、3026之间的相对偏心距如何。例如，以与上文关于图18A-18C所描述的方式基本上类似的方式，在基板保持站3023、3024处于基节距BP的情况下，自动晶片定心(诸如，利用传感器3299实现)可确定基板S1的偏心距EC2比基板保持站203H1的中心203H1C更靠近肩部轴线SX，并且基板S2的偏心距EC1将例如在基板保持站3023的中心3023C的右边(注意，此处仅为方便解释而使用方向术语“右边”)。因此，为了将基板S1、S2放置在例如基板处理站192、193处，每个基板S1、S2的位置不仅经由自动晶片定心相对于基板处理站192、193之间的距离D来独立地调节，而且还沿延伸/缩回方向3290来独立地调节，以适应两个偏心距EC1、EC2。例如，基板保持器3100A、3100B各自绕腕部轴线WX1(其中腕部轴线沿着径向延伸轴线3297(见图32B)或非径向延伸路径定位(例如，以与见图7F的方式类似的方式)独立地旋转，以实现基板S1、S2在相应基板处理站192、193处的独立的自动晶片定心。类似地，以与上文关于图18C所描述的方式类似的方式，自动晶片定心还可实现将基板放置在距例如基板运输设备的肩部轴线SX有不同的径向距离的基板处理站处，其中每个基板保持站绕相应的腕部轴线的独立旋转和/或相应的腕部轴线的放置实现了并排的基板保持站中的一者相对于并排的基板保持站中的另一者的延伸距离增加(相对于肩部轴线)。
仍参考图32A-32F，图示了基板保持器3100A-3100D的各种位置移动以举例说明基板保持器3100A、3100C的旋转联接和基板保持器3100B、3100D的旋转联接。例如，图32B图示了基板保持器3100A、3100B延伸到基板处理站192、193，其中基板保持器3100A、3100B的基板保持位置3032、3024之间的基节距BP基本上等于基板处理站192、193之间的距离D。此处，由于基板保持器3100A-3100C和3100B-3100D的联接的旋转，基板保持位置3025、3026之间的距离也等于基节距BP。
图32C是示例性图示，其中基板保持器3100A、3100B延伸到基板处理位置192、193并且基板保持器3100A、3100B中的一者或多者绕腕部轴线WX1独立地(例如，顺时针)旋转到在相应基板处理站192、193右边(表述“右边”仅用于示例性目的并且可使用任何其他空间术语)的位置。例如，使基板保持器3100A(例如，第一臂的第一基板保持器-第一臂是上臂部分3001A、前臂3002A和基板保持器3100A、3100B)旋转，使得基板保持位置3023和肩部轴线SX之间的距离从SD增加到SD10(图38A，框3800)，并且使基板保持器3100B(例如，第一臂的第二基板保持器)旋转，使得基板保持位置3024和肩部轴线SX之间的距离从SD减小到SD9(图38A，框3820)。由于第一臂的第一基板保持器3100A和第二臂(例如，第二臂是上臂部分3001B、前臂3002B和基板保持器3100C、3100D)的第一基板保持器3100C之间的旋转联接，基板保持器3100C的基板保持位置3025和肩部轴线SX之间的距离也从SD增加到SD10(图38A，框3810)。由于第一臂的第二基板保持器3100B和第二臂的第二基板保持器3100D的旋转联接，基板保持器3100D的基板保持位置3026和肩部轴线SX之间的距离也从SD减小到SD9(图38A，框3830)。以与上文所描述的方式基本上相反的方式提供了第一臂的基板保持器3100A、3100B的类似的联接操作，诸如其中第二臂延伸到(多个)基板处理/保持位置中，并且使第二臂的基板保持器3100C、3100D旋转以实现自动晶片定心(见图38B，框3840-3870)。
图32D是示例性图示，其中基板保持器3100A、3100B延伸到基板处理位置192、193并且基板保持器3100A、3100B中的一者或多者绕腕部轴线WX1独立地(例如，逆时针)旋转到在相应基板处理站192、193左边(表述“左边”仅用于示例性目的并且可使用任何其他空间术语)的位置。例如，使第一臂的第一基板保持器3100A旋转，使得基板保持位置3023和肩部轴线SX之间的距离从SD减小到SD12(图39A，框3900)，并且使第一臂的第二基板保持器3100B旋转，使得基板保持位置3024和肩部轴线SX之间的距离从SD增加到SD11(图39A，框3920)。由于第一基板保持器3100A、3100C的旋转联接，第二臂的第一基板保持器3100C的基板保持位置3025和肩部轴线SX之间的距离也从SD减小到SD12(图39A，框3910)。由于第二基板保持器3100B、3100D的旋转联接，第二臂的第二基板保持器3100D的基板保持位置3026和肩部轴线SX之间的距离也从SD增加到SD11(图39A，框3930)。以与上文所描述的方式基本上相反的方式提供第一臂的基板保持器3100A、3100B的类似的联接操作，诸如其中第二臂延伸到(多个)基板处理/保持位置中，并且使第二臂的基板保持器3100C、3100D旋转以实现自动晶片定心(见图39B，框3940-3970)。
图32E是示例性图示，其中基板保持器3100A、3100B延伸到基板处理位置192、193并且基板保持器3100A、3100B中的一者或多者独立地旋转。此处，第一基板保持器3100A绕腕部轴线WX1旋转到在相应基板处理站192右边(表述“右边”仅用于示例性目的并且可使用任何其他空间术语)的位置，而第二基板保持器3100B绕腕部轴线WX1独立地旋转到在相应基板处理站193左边(表述“左边”仅用于示例性目的并且可使用任何其他空间术语)的位置。例如，使第一臂的第一基板保持器3100A旋转，使得基板保持位置3023和肩部轴线SX之间的距离从SD增加到SD14(图40A，框4000)，并且使第一臂的第二基板保持器3100B旋转，使得基板保持位置3024和肩部轴线SX之间的距离从SD增加到SD13(图40A，框4020)。由于第一基板保持器3100A、3100C的旋转联接，第二臂的第一基板保持器3100C的基板保持位置3025和肩部轴线SX之间的距离也从SD增加到SD14(图40A，框4010)。由于第二基板保持器3100B、3100D的旋转联接，第二臂的第二基板保持器3100D的基板保持位置3026和肩部轴线SX之间的距离也从SD增加到SD13(图40A，框4030)。以与上文所描述的方式基本上相反的方式提供了第一臂的基板保持器3100A、3100B的类似的联接操作，诸如其中第二臂延伸到(多个)基板处理/保持位置中，并且使第二臂的基板保持器3100C、3100D旋转以实现自动晶片定心(见图40B，框4040-4070)。
图32F是示例性图示，其中基板保持器3100A、3100B延伸到基板处理位置192、193并且基板保持器3100A、3100B中的一者或多者独立地旋转。此处，第一基板保持器3100A绕腕部轴线WX1旋转到在相应基板处理站192左边(表述“左边”仅用于示例性目的并且可使用任何其他空间术语)的位置，而第二基板保持器3100B绕腕部轴线WX1独立地旋转到在相应基板处理站193右边(表述“右边”仅用于示例性目的并且可使用任何其他空间术语)的位置。例如，使第一臂的第一基板保持器3100A旋转，使得基板保持位置3023和肩部轴线SX之间的距离从SD减小到SD16(图41A，框4100)，并且使第一臂的第二基板保持器3100B旋转，使得基板保持位置3024和肩部轴线SX之间的距离从SD减小到SD15(图41A，框4210)。由于第一基板保持器3100A、3100C的旋转联接，第二臂的第一基板保持器3100C的基板保持位置3025和肩部轴线SX之间的距离也从SD减小到SD16(图41A，框4110)。由于第二基板保持器3100B、3100D的旋转联接，第二臂的第二基板保持器3100D的基板保持位置3026和肩部轴线SX之间的距离也从SD减小到SD15(图41A，框4130)。以与上文所描述的方式基本上相反的方式提供了第一臂的基板保持器3100A、3100B的类似的联接操作，诸如其中第二臂延伸到(多个)基板处理/保持位置中，并且使第二臂的基板保持器3100C、3100D旋转以实现自动晶片定心(见图41B，框4140-4170)。
如上文可以看到的，基板保持器3100A-3100D可以独立地旋转，以将相应的基板保持器偏移距离SD增加或减小任何合适的量，如由自动晶片定心所确定的，其中缩回的前臂/上臂部分的基板保持器3100A-3100B、3100C-3100D以对应于如图32B-32D中所图示的延伸的前臂/上臂部分的基板保持器3100A-3100B、3100C-3100D中的相应一者的方式绕相应的腕部轴线WX1、WX2旋转。注意，虽然已描述了偏移距离SD和基节距BP的一些示例性移动/调节，但这些调节/移动不限于此并且可进行任何合适的调节组合。此处，在成对的基板保持器3100A-3100B、3100C-3100D之间提供可变节距，并且图30A-31中所图示的运输臂131的双SCARA臂布置提供具有独立的自动晶片定心的基板快速交换(如本文中所描述的)，并且所联接的基板保持器提供数量减小的驱动器，同时保持独立的自动晶片定心。
参考图3C、图30A、图30B、图31、图32A和图35，将描述根据本公开的方面的示例性方法。根据该方法，提供具有运输臂131的基板运输设备130，该运输臂具有图30A-31的双SCARA臂构型(图35，框3500)。移动基板运输设备130的一个运输臂(例如，其中运输臂131的一个臂包括上臂部分3001A、前臂3002A和基板保持器3100A、3100B，而运输臂131的另一个臂包括上臂部分3001B、前臂3002B和基板保持器3100C、3100D)，使得被延伸的臂的基板保持器(例如，末端执行器)(基板保持器3100A-3100B抑或基板保持器3100C-3100D，具体取决于哪个臂被延伸)移动或以其他方式延伸到并排的基板处理站中的相应基板处理站192、193(图35，框3510)。随着基板保持器3100A-3100B、3100C-3100D的延伸，传感器3299检测由基板保持器3100A-3100B、3100C-3100D承载的基板S，以利用控制器110以任何合适的方式(诸如，本文中所描述的方式)实现自动片定心。基于自动晶片定心信息，控制器110控制驱动部段220C使该一个臂延伸并独立地调节该一个臂的基板保持器3100A-3100D中的一个或多个的基板保持站偏移SD，以在每个相应基板处理站192、193处实现独立的自动晶片定心(图35，框3520)。如上所述，将基板保持器3100A、3100C绕相应的腕部轴线WX1、WX2的旋转联接到单条驱动轴线并且将基板保持器3100B、3100D绕相应的腕部轴线WX1、WX2的旋转联接到另一单条驱动轴线提供了对四个基板保持器3100A-3100D的调节，以仅利用两条驱动轴线来实现自动晶片定心。在基板S1、S2与相应基板处理站192、193对齐的情况下，利用基板保持器来放置这些基板(图35，框3530)。使该一个臂缩回且使双SCARA臂的另一臂(或同一臂)延伸，从而以上文所描述的方式拾取或放置基板。
参考图3C、图30A、图30B、图31、图32A和图36，将描述根据本公开的方面的示例性方法。该方法包括提供运输室125(图36，框3600)，该运输室被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口(诸如，槽阀SV)。提供铰接式多连杆臂131(图36，框3610)，并且该铰接式多连杆臂具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂3001，所述至少一个上臂枢转地安装到五自由度驱动部段220C；以及枢转地安装到公共上臂连杆的端部的两个前臂3002A、3002B，这两个前臂3002A、3002B中的每一者分别具有两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D，所述末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂3002A、3002B的一个端部处以相对于相应前臂3002A、3002B旋转，所述两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者在其上具有基板保持站3023、3024、3025、3026。该方法包括利用在固定位置处连接到运输室125的五自由度驱动部段220C来驱动铰接式多连杆臂131(图36，框3620)，其中，五自由度驱动部段220C至少限定铰接式多连杆臂131相对于固定位置沿着线性路径(例如，沿箭头3099的方向)的延伸和缩回，其中每个相应前臂3002A、3002B相对于公共上臂连杆3001可独立地枢转，并且在相应前臂3002A、3002B中的每一者的该一个端部处的两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者绕相应前臂3002A、3002B的该一个端部可独立地枢转。
参考图3C、图30A、图30B、图31、图32A和图37，将描述根据本公开的方面的示例性方法。该方法包括提供运输室125(图37，框3700)，该运输室被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口(例如，槽阀SV)。该方法还包括提供铰接式多连杆臂131(图37，框3710)，该铰接式多连杆臂具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂3001，该公共上臂连杆枢转地安装到驱动部段220C(例如，具有至少一条驱动轴线并且在固定位置处连接到运输室)；以及枢转地安装到公共上臂连杆3001的端部的两个前臂3002A、3002B，这两个前臂3002A、3002B中的每一者分别具有两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D，所述两个末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂3002A、3002B的一个端部处以相对于相应前臂3002A、3002B旋转，所述两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的每一者在其上具有基板保持站3023、3024、3025、3026。该方法包括利用在固定位置处连接到运输室125的具有至少一条驱动轴线的驱动部段220C来驱动铰接式多连杆臂131(图37，框3720)。
在一个方面，驱动部段220C的所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂131相对于固定位置沿着线性路径(例如，沿箭头3099的方向)延伸和缩回，其中每个相应前臂3002A、3002B相对于公共上臂连杆3001可独立地枢转。每个相应前臂3002A、3002B具有安装到相应前臂3002A、3002B的该一个端部的两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的可操作地联接到所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线的一个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D，该公共驱动轴线为两个末端执行器连杆3100A、3100C或3100B、3100D(每个相应前臂3002A、3002B上一个末端执行器连杆)限定公共自由度，从而使末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D相对于相应前臂3002A、3002B旋转，并且在两个前臂3002A、3002B中的至少一个前臂3002A、3002B的该一个端部处的两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的至少另一者具有另一个自由度，从而使另一末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D独立于公共自由度绕所述至少一个前臂3002A、3002B旋转。
在另一个方面，驱动部段220C的所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂131相对于固定位置沿着线性路径(例如，沿箭头3099的方向)延伸和缩回。两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的第一末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D(对应于两个前臂3002A、3002B中的第一前臂3002A、3002B)、以及两个末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D中的第一末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D(对应于两个前臂3002A、3002B中的第二前臂3002A、3002B)可操作地联接到所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线，该公共驱动轴线为第一前臂3002A、3002B的第一末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D以及第二前臂3002A、3002B的第一末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D限定公共自由度，从而使每个相应的第一末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D相对于对应的第一前臂和第二前臂3002A、3002B旋转，并且第一前臂3002A、3002B的第二末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D具有另一个自由度，从而使第二末端执行器连杆3100A、3100B、3100C、3100D独立于公共自由度绕第一前臂3002A、3002B旋转。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板运输设备包括：
框架；
驱动部段，其连接到框架；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有上臂和前臂，上臂在一个端部处可旋转地联结到驱动部段，前臂在上臂的相对端部处可旋转地联结到上臂，并且上臂是该一个端部和相对端部之间的基本上刚性的非铰接连杆；
双末端执行器连杆，它们是分开的并且彼此不同，这些双末端执行器连杆中的每一者可旋转地且单独地联结到前臂的公共端部，使得每个末端执行器连杆相对于前臂绕公共旋转轴线旋转，每个末端执行器连杆具有自其悬垂的对应的至少一个基板保持站；
其中，自双末端执行器连杆中的至少一个末端执行器连杆悬垂的对应的至少一个基板保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，所述至少一个末端执行器连杆在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的，并且其中，在相对端部中的一个处的基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站基本上共面。
根据本公开的一个或多个方面，双末端执行器连杆设置成使得多连杆臂的径向延伸和缩回实现每个末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站通过运输室壁中的相应的单独开口而基本上同时延伸和缩回，这些开口在基本上公共水平面处相对于彼此并置。
根据本公开的一个或多个方面，在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的基板保持站彼此基本上共面。
根据本公开的一个或多个方面，在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站基本上共面。
根据本公开的一个或多个方面，彼此分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，并且这些分开且不同的末端执行器连杆中的每一者在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是多轴驱动部段，其为至少一个末端执行器连杆相对于其他末端执行器连杆限定独立自由度。
根据本公开的一个或多个方面，每个末端执行器连杆的独立自由度使得能够在双末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站处进行独立的自动晶片定心。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是多轴驱动部段，其被构造成在双末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与双末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过运输室壁中的相应的单独开口是基本上同时发生的。
根据本公开的一个或多个方面，基板运输设备进一步包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动部段并且被构造成使多连杆臂延伸，以便利用双末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站通过运输室壁中的相应的单独开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
根据本公开的一个或多个方面，控制器被构造成通过相应的单独开口来基本上同时用被保持在双末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换双第一基板，其中双第一基板被同时保持在双末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板处理设备包括：
运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有在固定位置处连接到运输室的驱动部段并且具有位于运输室中的上臂和前臂，上臂在一个端部处可旋转地联结到驱动部段，前臂在上臂的相对端部处可旋转地联结到上臂，并且上臂是该一个端部和相对端部之间的基本上刚性的非铰接连杆；并且
其中，多连杆臂具有多于一个分开且不同的末端执行器连杆，这些末端执行器连杆中的每一个在前臂的公共端部处可旋转地且单独地联结到接头，使得每个末端执行器连杆绕接头处的公共旋转轴线相对于前臂旋转，每个末端执行器连杆具有如下的对应的至少一个基板保持站，即，该对应的至少一个基板保持站自其悬垂并从接头延伸，使得所述多于一个末端执行器连杆相对于彼此沿着公共平面并置，
其中，驱动部段被构造成：至少使多连杆臂沿着径向轴线延伸和缩回，该延伸和缩回实现每个末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站分别通过沿着侧壁并置的分开的开口而基本上同时延伸和缩回；以及将对应的基板保持站中的至少一者相对于所述多于一个末端执行器连杆中的另一者独立地对齐。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段被构造成将末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站相对于末端执行器连杆中的另一者的对应的基板保持站独立地对齐。
根据本公开的一个或多个方面，自末端执行器连杆中的至少一个末端执行器连杆悬垂的对应的至少一个基板保持站包括在末端执行器连杆中的所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，所述至少一个末端执行器连杆在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的。
根据本发明的一个或多个方面，在相对端部中的一个处的对应的至少一个基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站基本上共面。
根据本公开的一个或多个方面，在末端执行器连杆中的所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的对应的至少一个基板保持站彼此基本上共面。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是多轴驱动部段，其为至少一个末端执行器连杆相对于其他末端执行器连杆限定独立自由度。
根据本公开的一个或多个方面，每个末端执行器连杆的独立自由度使得能够在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站处进行独立的自动晶片定心。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是多轴驱动部段，其被构造成在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过运输室侧壁中的相应的基板运输开口是基本上同时发生的。
根据本公开的一个或多个方面，基板运输设备进一步包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动部段并且被构造成使多连杆臂延伸，以便利用所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站通过运输室侧壁中的相应的基板运输开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
根据本公开的一个或多个方面，控制器被构造成通过相应的基板运输开口来基本上同时用被保持在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换双第一基板，其中双第一基板被同时保持在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板运输设备包括：
框架；
驱动部段，其连接到框架；
至少一个两连杆SCARA臂，其具有在SCARA臂的肘部接头处彼此联结的第一臂连杆和第二臂连杆，该第一臂连杆在肩部接头处联结到驱动部段；以及
多于一个末端执行器连杆，它们是分开的并且彼此不同，这些末端执行器连杆中的每一者在公共腕部接头处可旋转地且单独地联结到第二臂连杆，使得每个末端执行器连杆相对于第二臂连杆绕公共腕部接头处的公共旋转轴线旋转，每个末端执行器连杆具有自其悬垂的对应的至少一个基板保持站；
其中，自所述多于一个末端执行器连杆中的每一者悬垂的对应的至少一个基板保持站设置成在公共平面上与自所述多于一个末端执行器连杆中的每个其他末端执行器连杆悬垂的对应的至少一个基板保持站基本上共面，该公共平面由所述多于一个末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站中的至少三个基板保持站来确定。
根据本公开的一个或多个方面，对应的至少一个基板保持站中的所述至少三个基板保持站中的两个基板保持站对应于所述多于一个末端执行器连杆中的公共末端执行器连杆。
根据本公开的一个或多个方面，两个基板保持站以每个端部一个的方式设置在公共末端执行器连杆的相对端部处。
根据本公开的一个或多个方面，在公共末端执行器连杆的相对端部处的两个基板保持站彼此基本上共面。
根据本公开的一个或多个方面，在公共末端执行器连杆的相对端部处的两个基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站基本上共面。
根据本公开的一个或多个方面，公共末端执行器连杆在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的。
根据本公开的一个或多个方面，所述多于一个末端执行器连杆设置成使得SCARA臂的径向延伸和缩回实现每个末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站通过运输室壁中的相应的单独开口而基本上同时延伸和缩回，这些开口在基本上公共水平面处相对于彼此并置。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是多轴驱动部段，其为至少一个末端执行器连杆相对于所述多于一个末端执行器连杆中的其他末端执行器连杆限定独立自由度。
根据本公开的一个或多个方面，每个末端执行器连杆的独立自由度使得能够在所述多于一个执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站处进行独立的自动晶片定心。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是多轴驱动部段，其被构造成在所述多于一个末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与所述多于一个末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过运输室壁中的相应的单独开口是基本上同时发生的。
根据本公开的一个或多个方面，基板运输设备进一步包括控制器，该控制器可操作地联接到驱动部段并且被构造成使SCARA臂延伸，以便利用所述多于一个末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站通过运输室壁中的相应的单独开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
根据本公开的一个或多个方面，控制器被构造成通过相应的单独开口来基本上同时用被保持在所述多于一个末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换双第一基板，其中双第一基板被同时保持在所述多于一个末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上。
根据本公开的一个或多个方面，提供了一种用于运输基板的方法。该方法包括：
提供基板运输设备，该基板运输设备包括：
框架；
驱动部段，其连接到框架；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有上臂和前臂，上臂在一个端部处可旋转地联结到驱动部段，前臂在上臂的相对端部处可旋转地联结到上臂，并且上臂是该一个端部和相对端部之间的基本上刚性的非铰接连杆；
双末端执行器连杆，它们是分开的并且彼此不同，这些双末端执行器连杆中的每一者可旋转地且单独地联结到前臂的公共端部，使得每个末端执行器连杆相对于前臂绕公共旋转轴线旋转，每个末端执行器连杆具有自其悬垂的对应的至少一个基板保持站；
其中，自双末端执行器连杆中的至少一个末端执行器连杆悬垂的对应的至少一个基板保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，所述至少一个末端执行器连杆在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的，并且其中，在相对端部中的一个处的基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站基本上共面；以及
使所述至少一个铰接式多连杆臂延伸，使得双末端执行器连杆延伸穿过运输室的侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是多轴驱动部段，并且该方法进一步包括：利用驱动部段在双末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与双末端执行器连杆中的每一者的对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过运输室壁中的相应的单独开口是基本上同时发生的。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：
提供控制器，该控制器可操作地联接到驱动部段；以及
实现所述至少一个铰接式多连杆臂的延伸，以便利用双末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站通过运输室壁中的相应的单独开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：利用控制器实现通过相应的单独开口来基本上同时用被保持在双末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换双第一基板，其中双第一基板被同时保持在双末端执行器连杆的对应的至少一个基板保持站上。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板处理设备包括：
运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有在固定位置处连接到运输室的驱动部段并且具有位于运输室中的上臂和前臂，上臂的接近端在固定位置处可旋转地联结到驱动部段，前臂在上臂的远端处可旋转地联结到上臂，并且上臂是接近端(例如，固定位置)和远端之间的基本上刚性的非铰接连杆；并且
其中，多连杆臂具有至少一个末端执行器连杆，所述至少一个末端执行器连杆在前臂的端部处可旋转地联结到接头，使得所述至少一个末端执行器连杆绕该接头处的公共旋转轴线相对于前臂旋转，所述至少一个末端执行器连杆具有如下的多于一个基板保持站，即，所述多于一个基板保持站自其悬垂、相对于彼此沿着公共平面并置并且被构造成使得所述至少一个末端执行器连杆绕公共旋转轴线的旋转使所述多于一个基板保持站绕公共旋转轴线旋转；
其中，驱动部段被构造成至少使多连杆臂相对于固定位置沿着非径向线性路径延伸和缩回，因此所述多于一个并置的基板保持站各自随着臂的延伸和缩回而沿着非径向路径线性地横过，并且基本上同时穿过公共水平面上的所述多于一个并置的基板运输开口中的单独的对应开口。
根据本公开的一个或多个方面，所述多于一个并置的基板保持站自公共末端执行器连杆悬垂，该公共末端执行器连杆是所述多于一个并置的基板保持站之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少一个末端执行器连杆包括多于一个末端执行器连杆，所述多于一个末端执行器连杆联结到前臂的端部以绕公共旋转轴线相对于前臂旋转，并且所述多于一个末端执行器连杆中的每一者具有所述多于一个并置的的基板保持站中的自其悬垂的至少一个对应的基板保持站。
根据本发明的一个或多个方面，所述多于一个末端执行器连杆中的每一者具有所述多于一个并置的基板保持站中的如下的多于一个对应的基板保持站，即，所述多于一个对应的基板保持站自其悬垂并且分别是自相应的末端执行器连杆悬垂的所述多于一个对应的基板保持站之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段被构造成：使所述至少一个多连杆臂沿着非径向线性路径延伸和缩回并且基本上同时使每个末端执行器连杆的所述至少一个对应的基板保持站分别穿过沿着侧壁并置的分开的基板运输开口；以及将所述至少一个对应的基板保持站相对于所述多于一个末端执行器连杆中的另一者独立地对齐。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少一个末端执行器连杆包括多于一个末端执行器连杆，所述多于一个末端执行器连杆联结到前臂的端部以绕公共旋转轴线相对于前臂旋转，其中，驱动部段被构造成使得所述多于一个末端执行器连杆中的每一者分别独立于所述多于一个末端执行器连杆中的另一者绕公共旋转轴线旋转，并且所述多于一个末端执行器连杆中的每个相应的末端执行器连杆具有所述多于一个并置的基板保持站中的自其悬垂的至少一个对应的基板保持站。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板处理设备包括：
运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有在固定位置处连接到运输室的驱动部段并且具有位于运输室中的上臂和前臂，上臂的接近端在固定位置处可旋转地联结到驱动部段，前臂在上臂的远端处可旋转地联结到上臂，并且上臂是接近端(固定位置)和远端之间的基本上刚性的非铰接连杆；并且
其中，多连杆臂具有至少一个末端执行器连杆，所述至少一个末端执行器连杆在前臂的端部处可旋转地联结到接头，使得所述至少一个末端执行器连杆绕该接头处的公共旋转轴线相对于前臂旋转，所述至少一个末端执行器连杆具有如下的多于一个基板保持站，即，所述多于一个基板保持站自其悬垂并相对于彼此设置在公共平面上并且被构造成使得所述至少一个末端执行器连杆绕公共旋转轴线的旋转使所述多于一个基板保持站中的每一者绕公共旋转轴线旋转，
其中，驱动部段被构造成至少使多连杆臂相对于固定位置沿着径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此所述多于一个基板保持站中的至少两个并置的基板保持站各自随着臂的延伸和缩回而沿着径向或非径向路径线性地横过，并且基本上同时穿过公共水平面上的所述多于一个并置的基板运输开口中的单独的对应开口，并且因此
所述多于一个基板保持站中的至少另一者(不同于两个并置的基板保持站中的每一者)可独立于所述至少两个并置的基板保持站绕公共旋转轴线旋转。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少两个并置的基板保持站和所述至少另一个基板保持站设置在所述至少一个末端执行器连杆上，使得所述至少两个并置的基板保持站和所述至少另一个基板保持站布置在公共旋转轴线的相对侧部上。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少两个并置的基板保持站和所述至少另一个基板保持站设置在所述至少一个末端执行器连杆上以随着臂沿着径向或非径向路径的延伸和缩回绕公共轴线旋转，从而使所述至少一个末端执行器的位置可选择地符合运输室的不同于侧壁的另一个侧壁，所述至少一个末端执行器连杆的所述多于一个基板保持站中的所述至少一个的开口随着臂的延伸和缩回而穿过该另一个侧壁。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少两个并置的基板保持站设置在所述至少一个末端执行器连杆上，所述至少一个末端执行器连杆可操作地连接到驱动部段并且布置成使得所述至少一个末端执行器连杆使所述至少两个并置的基板保持站以公共独立自由度绕公共旋转轴线旋转。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少两个并置的基板保持站设置在所述至少一个末端执行器连杆上，所述至少一个末端执行器连杆可操作地连接到驱动部段并且布置成使得所述至少一个末端执行器连杆使所述至少两个并置的基板保持站中的每一者以不同的相应的独立自由度绕公共旋转轴线旋转，从而使得所述至少两个并置的基板保持站中的每一者相对于彼此绕公共旋转轴线独立地旋转。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板处理设备包括：
运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有在固定位置处连接到运输室的驱动部段并且具有位于运输室中的上臂和前臂，上臂的接近端在固定位置处可旋转地联结到驱动部段，前臂在上臂的远端处可旋转地联结到上臂，并且上臂是接近端(固定位置)和远端之间的基本上刚性的非铰接连杆；并且
其中，多连杆臂具有至少一个末端执行器连杆，所述至少一个末端执行器连杆在前臂的端部处可旋转地联结到接头，使得所述至少一个末端执行器连杆绕该接头处的公共旋转轴线相对于前臂旋转，所述至少一个末端执行器连杆具有如下的多于一个基板保持站，即，所述多于一个基板保持站自其悬垂、沿着不同平面并置、相对于彼此在高度上偏移，并且被构造成使得所述至少一个末端执行器连杆绕公共旋转轴线的旋转使所述多于一个基板保持站中的每一者绕公共旋转轴线旋转，
其中，驱动部段被构造成至少使多连杆臂相对于固定位置沿着径向或非径向线性路径延伸和缩回，因此所述多于一个基板保持站中的至少两个并置的基板保持站各自随着臂的延伸和缩回而沿着径向或非径向路径线性地横过，并且各自可彼此独立地绕公共旋转轴线旋转，以便单独地穿过公共水平面上的所述多于一个并置的基板运输开口中的公共开口，并且
所述多于一个基板保持站中的至少另一者(不同于两个并置的基板保持站中的每一者)在所述至少一个末端执行器连杆上设置成与所述至少两个并置的基板保持站中的每一者基本上相对。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少一个末端执行器被构造成使得所述至少另一个基板保持站可独立于所述至少两个并置的基板保持站绕公共旋转轴线旋转。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少两个并置的基板保持站和所述至少另一个基板保持站设置在所述至少一个末端执行器连杆上，使得所述至少两个并置的基板保持站和所述至少另一个基板保持站布置在公共旋转轴线的相对侧部上。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少两个并置的基板保持站和所述至少另一个基板保持站设置在所述至少一个末端执行器连杆上以随着臂沿着径向或非径向路径的延伸和缩回绕公共轴线旋转，从而使所述至少一个末端执行器的位置可选择地符合运输室的不同于侧壁的另一个侧壁，所述至少一个末端执行器连杆的所述多于一个基板保持站中的所述至少一个的开口随着臂的延伸和缩回而穿过该另一个侧壁。
根据本公开的一个或多个方面，所述至少两个并置的基板保持站设置在所述至少一个末端执行器连杆上，所述至少一个末端执行器连杆可操作地连接到驱动部段并且布置成使得所述至少一个末端执行器连杆使所述至少两个并置的基板保持站中的每一者以不同的相应的独立自由度绕公共旋转轴线旋转，从而使得所述至少两个并置的基板保持站中的每一者相对于彼此绕公共旋转轴线独立地旋转。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段被构造成使所述至少一个末端执行器连杆的所述多于一个基板保持站在高度上相对于彼此移动，以便在公共水平面上将所述多于一个基板保持站放置成彼此并置。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板处理设备包括：运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；五自由度驱动部段，其在固定位置处连接到运输室；以及铰接式多连杆臂，其具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂，该公共上臂连杆枢转地安装到驱动部段；以及枢转地安装到公共上臂连杆的端部的两个前臂，这两个前臂中的每一者分别具有两个末端执行器连杆，这两个末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂的一个端部处以相对于相应前臂旋转，这两个末端执行器连杆中的每一者在其上具有基板保持站；其中，五自由度驱动部段被构造成使得驱动部段的五个自由度至少限定铰接式多连杆臂相对于固定位置沿着线性路径的延伸和缩回，其中每个相应前臂相对于公共上臂连杆可独立地枢转，并且在相应前臂中的每一者的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一者绕相应前臂的该一个端部可独立地枢转。
根据本公开的一个或多个方面，两个末端执行器连杆在接头处枢转地安装在相应前臂的该一个端部处以相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，枢转地安装在相应前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一者绕接头处的公共旋转轴线相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，公共上臂连杆是固定位置和两个前臂中的每一者与公共上臂连杆的相应接头之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，每个前臂设置成独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心。
根据本公开的一个或多个方面，每个前臂设置成分别独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心，以便通过沿着侧壁的所述多于一个基板运输开口实现基板快速交换。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板处理设备包括：运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；具有至少一条驱动轴线的驱动部段，该驱动部段在固定位置处连接到运输室；以及铰接式多连杆臂，其具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂，该公共上臂连杆枢转地安装到驱动部段；以及枢转地安装到公共上臂连杆的端部的两个前臂，这两个前臂中的每一者分别具有两个末端执行器连杆，这两个末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂的一个端部处以相对于相应前臂旋转，这两个末端执行器连杆中的每一者在其上具有基板保持站；其中，驱动部段的所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂相对于固定位置沿着线性路径延伸和缩回，其中每个相应前臂相对于公共上臂连杆可独立地枢转；其中，每个相应前臂具有安装到相应前臂的该一个端部的两个末端执行器连杆中的可操作地联接到所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线的一个末端执行器连杆，该公共驱动轴线为两个末端执行器连杆(每个相应前臂上一个末端执行器连杆)限定公共自由度，从而使该末端执行器连杆相对于相应前臂旋转，并且在两个前臂中的至少一个前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的至少另一者具有另一个自由度，从而使另一末端执行器连杆独立于公共自由度绕所述至少一个前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是五驱动轴线型驱动部段。
根据本公开的一个或多个方面，公共自由度使两个末端执行器连杆(每个相应前臂上一个末端执行器连杆)相对于相应前臂一致地旋转。
根据本公开的一个或多个方面，两个末端执行器连杆在接头处枢转地安装在相应前臂的该一个端部处以相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，枢转地安装在相应前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一个绕接头处的公共旋转轴线相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，公共上臂连杆是固定位置和两个前臂中的每一者与公共上臂连杆的相应接头之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，每个前臂设置成独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心。
根据本公开的一个或多个方面，每个前臂设置成分别独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心，以便通过沿着侧壁的所述多于一个基板运输开口实现基板快速交换。
根据本公开的一个或多个方面，一种基板处理设备包括：运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；具有至少一条驱动轴线的驱动部段，该驱动部段在固定位置处连接到运输室；以及铰接式多连杆臂，其具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂，该公共上臂连杆枢转地安装到驱动部段；以及枢转地安装到公共上臂连杆的端部的两个前臂，这两个前臂中的每一者分别具有两个末端执行器连杆，这两个末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂的一个端部处以相对于相应前臂旋转，这两个末端执行器连杆中的每一者在其上具有基板保持站；其中，驱动部段的所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂相对于固定位置沿着线性路径延伸和缩回；并且其中，两个末端执行器连杆中的第一末端执行器连杆(对应于两个前臂中的第一前臂)、以及两个末端执行器连杆中的第一末端执行器连杆(对应于两个前臂中的第二前臂)可操作地联接到所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线，该公共驱动轴线为第一前臂的第一末端执行器连杆以及第二前臂的第一末端执行器连杆限定公共自由度，从而使每个相应的第一末端执行器连杆相对于对应的第一前臂和第二前臂旋转，并且第一前臂的第二末端执行器连杆具有另一个自由度，从而使第二末端执行器连杆独立于公共自由度绕第一前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，每个相应前臂相对于公共上臂连杆可独立地枢转。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是五驱动轴线型驱动部段。
根据本公开的一个或多个方面，公共自由度使两个末端执行器连杆(每个相应前臂上一个末端执行器连杆)相对于相应前臂一致地旋转。
根据本公开的一个或多个方面，两个末端执行器连杆在接头处枢转地安装在相应前臂的该一个端部处以相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，枢转地安装在相应前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一者绕接头处的公共旋转轴线相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，公共上臂连杆是固定位置和两个前臂中的每一者与公共上臂连杆的相应接头之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，每个前臂设置成独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心。
根据本公开的一个或多个方面，每个前臂设置成分别独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心，以便通过沿着侧壁的所述多于一个基板运输开口实现基板快速交换。
根据本公开的一个或多个方面，一种方法包括：提供运输室，该运输室被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；提供铰接式多连杆臂，该铰接式多连杆臂具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂，该公共上臂连杆枢转地安装到五自由度驱动部段；以及枢转地安装到公共上臂连杆的端部的两个前臂，这两个前臂中的每一者分别具有两个末端执行器连杆，这两个末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂的一个端部处以相对于相应前臂旋转，这两个末端执行器连杆中的每一者在其上具有基板保持站；以及利用五自由度驱动部段来驱动铰接式多连杆臂，该五自由度驱动部段在固定位置处连接到运输室，其中，五自由度驱动部段至少限定铰接式多连杆臂相对于固定位置沿着线性路径的延伸和缩回，其中每个相应前臂相对于公共上臂连杆可独立地枢转，并且在相应前臂中的每一者的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一者绕相应前臂的该一个端部可独立地枢转。
根据本公开的一个或多个方面，两个末端执行器连杆在接头处枢转地安装在相应前臂的该一个端部处以相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，枢转地安装在相应前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一者绕接头处的公共旋转轴线相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，公共上臂连杆是固定位置和两个前臂中的每一者与公共上臂连杆的相应接头之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：利用每个前臂独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：利用每个前臂分别独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心，以便通过沿着侧壁的所述多于一个基板运输开口实现基板快速交换。
根据本公开的一个或多个方面，一种方法包括：提供运输室，该运输室被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；提供铰接式多连杆臂，该铰接式多连杆臂具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂，该公共上臂连杆枢转地安装到驱动部段；以及枢转地安装到公共上臂连杆的端部的两个前臂，这两个前臂中的每一者分别具有两个末端执行器连杆，这两个末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂的一个端部处以相对于相应前臂旋转，这两个末端执行器连杆中的每一者在其上具有基板保持站；以及利用具有至少一条驱动轴线的驱动部段来驱动铰接式多连杆臂，该驱动部段在固定位置处连接到运输室，其中：驱动部段的所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂相对于固定位置沿着线性路径延伸和缩回，其中每个相应前臂相对于公共上臂连杆可独立地枢转；并且每个相应前臂具有安装到相应前臂的该一个端部的两个末端执行器连杆中的可操作地联接到所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线的一个末端执行器连杆，该公共驱动轴线为两个末端执行器连杆(每个相应前臂上一个末端执行器连杆)限定公共自由度，从而使该末端执行器连杆相对于相应前臂旋转，并且在两个前臂中的至少一个前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的至少另一者具有另一个自由度，从而使另一末端执行器连杆独立于公共自由度绕所述至少一个前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是五驱动轴线型驱动部段。
根据本公开的一个或多个方面，公共自由度使两个末端执行器连杆(每个相应前臂上一个末端执行器连杆)相对于相应前臂一致地旋转。
根据本公开的一个或多个方面，两个末端执行器连杆在接头处枢转地安装在相应前臂的该一个端部处以相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，枢转地安装在相应前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一者绕接头处的公共旋转轴线相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，公共上臂连杆是固定位置和两个前臂中的每一者与公共上臂连杆的相应接头之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：利用每个前臂独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：利用每个前臂独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心，以便通过沿着侧壁的所述多于一个基板运输开口实现基板快速交换。
根据本公开的一个或多个方面，一种方法包括：提供运输室，该运输室被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，该侧壁具有在公共水平面上沿着侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；提供铰接式多连杆臂，该铰接式多连杆臂具有：带有公共上臂连杆的至少一个上臂，该公共上臂连杆枢转地安装到驱动部段；以及枢转地安装到公共上臂连杆的端部的两个前臂，这两个前臂中的每一者分别具有两个末端执行器连杆，这两个末端执行器连杆枢转地安装在相应前臂的一个端部处以相对于相应前臂旋转，这两个末端执行器连杆中的每一者在其上具有基板保持站；以及利用具有至少一条驱动轴线的驱动部段来驱动铰接式多连杆臂，该驱动部段在固定位置处连接到运输室，其中：驱动部段的所述至少一条驱动轴线被构造成至少使铰接式多连杆臂相对于固定位置沿着线性路径延伸和缩回；并且两个末端执行器连杆中的第一末端执行器连杆(对应于两个前臂中的第一前臂)、以及两个末端执行器连杆中的第一末端执行器连杆(对应于两个前臂中的第二前臂)可操作地联接到所述至少一条驱动轴线中的公共驱动轴线，该公共驱动轴线为第一前臂的第一末端执行器连杆以及第二前臂的第一末端执行器连杆限定公共自由度，从而使每个相应的第一末端执行器连杆相对于对应的第一前臂和第二前臂旋转，并且第一前臂的第二末端执行器连杆具有另一个自由度，从而使第二末端执行器连杆独立于公共自由度绕第一前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，每个相应前臂相对于公共上臂连杆可独立地枢转。
根据本公开的一个或多个方面，驱动部段是五驱动轴线型驱动部段。
根据本公开的一个或多个方面，公共自由度使两个末端执行器连杆(每个相应前臂上一个末端执行器连杆)相对于相应前臂一致地旋转。
根据本公开的一个或多个方面，两个末端执行器连杆在接头处枢转地安装在相应前臂的该一个端部处以相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，枢转地安装在相应前臂的该一个端部处的两个末端执行器连杆中的每一者绕接头处的公共旋转轴线相对于相应前臂旋转。
根据本公开的一个或多个方面，公共上臂连杆是固定位置和两个前臂中的每一个与公共上臂连杆的相应接头之间的基本上刚性的非铰接连杆。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：利用每个前臂独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心。
根据本公开的一个或多个方面，该方法进一步包括：利用每个前臂独立于每个其他前臂来解决每个基板在相应前臂的两个末端执行器的基板保持站处的自动化定心，以便通过沿着侧壁的所述多于一个基板运输开口实现基板快速交换。
应理解，前述描述仅仅说明本公开的方面。在不脱离本公开的方面的情况下，本领域技术人员可以设计各种替代方案和修改。因此，本公开的方面旨在涵盖落入任何所附权利要求的范围内的所有这种替代方案、修改以及差异。进一步地，在互相不同的从属或者独立权利要求中叙述了不同的特征，这一不争的事实并不表明不能够有利地使用这些特征的组合，这种组合仍在本公开的方面的范围内。

Claims (34)

1.一种基板运输设备，其包括：
框架；
驱动部段，其连接到所述框架；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有上臂和前臂，所述上臂在一个端部处可旋转地联结到所述驱动部段，所述前臂在所述上臂的相对端部处可旋转地联结到所述上臂，并且所述上臂是所述一个端部和所述相对端部之间的基本上刚性的非铰接连杆；
双末端执行器连杆，它们是分开的并且彼此不同，所述双末端执行器连杆中的每一者可旋转地且单独地联结到所述前臂的公共端部，使得每个末端执行器连杆相对于所述前臂绕公共旋转轴线旋转，每个末端执行器连杆具有自其悬垂的对应的至少一个基板保持站；
其中：
自所述双末端执行器连杆中的至少一个末端执行器连杆悬垂的所述对应的至少一个基板保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，所述至少一个末端执行器连杆在所述相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的，并且其中，在所述相对端部中的一个处的所述基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站基本上共面；并且
所述驱动部段是多轴驱动部段，其为至少一个末端执行器连杆相对于其他末端执行器连杆限定独立自由度。
2.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，所述双末端执行器连杆设置成使得所述多连杆臂的径向延伸和缩回实现每个末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站通过运输室壁中的相应的单独开口而基本上同时延伸和缩回，所述开口在基本上公共水平面处相对于彼此并置。
3.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的所述基板保持站彼此基本上共面。
4.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的所述基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站基本上共面。
5.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，彼此分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，并且所述分开且不同的末端执行器连杆中的每一者在相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的。
6.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，每个末端执行器连杆的所述独立自由度使得能够在所述双末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站处进行独立的自动晶片定心。
7.根据权利要求1所述的基板运输设备，其中，所述多轴驱动部段被构造成在所述双末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与所述双末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过运输室壁中的相应的单独开口是基本上同时发生的。
8.根据权利要求7所述的基板运输设备，其进一步包括控制器，所述控制器可操作地联接到所述驱动部段并且被构造成使所述多连杆臂延伸，以便利用所述双末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站通过所述运输室壁中的所述相应的单独开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
9.根据权利要求8所述的基板运输设备，其中，所述控制器被构造成通过所述相应的单独开口来基本上同时用被保持在所述双末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换所述双第一基板，其中所述双第一基板被同时保持在所述双末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上。
10.一种基板处理设备，其包括：
运输室，其被构造成在其中保持隔离的气氛，并且具有侧壁，所述侧壁具有在公共水平面上沿着所述侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有在固定位置处连接到所述运输室的驱动部段并且具有位于所述运输室中的上臂和前臂，所述上臂在一个端部处可旋转地联结到所述驱动部段，所述前臂在所述上臂的相对端部处可旋转地联结到所述上臂，并且所述上臂是所述一个端部和所述相对端部之间的基本上刚性的非铰接连杆；并且
其中，所述多连杆臂具有多于一个分开且不同的末端执行器连杆，所述末端执行器连杆中的每一者在所述前臂的公共端部处可旋转地且单独地联结到接头，使得每个末端执行器连杆绕所述接头处的公共旋转轴线相对于所述前臂旋转，每个末端执行器连杆具有如下的对应的至少一个基板保持站，即，所述对应的至少一个基板保持站自所述末端执行器连杆悬垂并从所述接头延伸，使得所述多于一个末端执行器连杆相对于彼此沿着公共平面并置，
其中，所述驱动部段被构造成：至少使所述多连杆臂沿着径向轴线延伸和缩回，所述延伸和缩回实现每个末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站分别通过沿着所述侧壁并置的所述分开的开口而基本上同时延伸和缩回；以及将所述对应的基板保持站中的至少一者相对于所述多于一个末端执行器连杆中的另一者独立地对齐。
11.根据权利要求10所述的基板处理设备，其中，所述驱动部段被构造成将所述末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站相对于所述末端执行器连杆中的另一者的所述对应的基板保持站独立地对齐。
12.根据权利要求10所述的基板处理设备，其中，自所述末端执行器连杆中的至少一个末端执行器连杆悬垂的所述对应的至少一个基板保持站包括在所述末端执行器连杆中的所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，所述至少一个末端执行器连杆在所述相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的。
13.根据权利要求12所述的基板处理设备，其中，在所述相对端部中的一个处的所述对应的至少一个基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站基本上共面。
14.根据权利要求12所述的基板处理设备，其中，在所述末端执行器连杆中的所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的所述对应的至少一个基板保持站彼此基本上共面。
15.根据权利要求10所述的基板处理设备，其中，所述驱动部段是多轴驱动部段，其为至少一个末端执行器连杆相对于其他末端执行器连杆限定独立自由度。
16.根据权利要求15所述的基板处理设备，其中，每个末端执行器连杆的所述独立自由度使得能够在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站处进行独立的自动晶片定心。
17.根据权利要求10所述的基板处理设备，其中，所述驱动部段是多轴驱动部段，其被构造成在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过所述运输室的所述侧壁中的相应的基板运输开口是基本上同时发生的。
18.根据权利要求10所述的基板处理设备，其进一步包括控制器，所述控制器可操作地联接到所述驱动部段并且被构造成使所述多连杆臂延伸，以便利用所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站通过所述运输室的所述侧壁中的相应的基板运输开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
19.根据权利要求18所述的基板处理设备，其中，所述控制器被构造成通过所述相应的基板运输开口来基本上同时用被保持在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换所述双第一基板，其中所述双第一基板被同时保持在所述多于一个分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上。
20.一种基板运输设备，其包括：
框架；
驱动部段，其连接到所述框架；
至少一个两连杆SCARA臂，其具有在所述SCARA臂的肘部接头处彼此联结的第一臂连杆和第二臂连杆，所述第一臂连杆在肩部接头处联结到所述驱动部段；以及
多于一个末端执行器连杆，它们是分开的并且彼此不同，所述末端执行器连杆中的每一者在公共腕部接头处可旋转地且单独地联结到所述第二臂连杆，使得每个末端执行器连杆相对于所述第二臂连杆绕所述公共腕部接头处的公共旋转轴线旋转，每个末端执行器连杆具有自其悬垂的对应的至少一个基板保持站；
其中：
自所述多于一个末端执行器连杆中的每一者悬垂的所述对应的至少一个基板保持站设置成在公共平面上与自所述多于一个末端执行器连杆中的每个其他末端执行器连杆悬垂的所述对应的至少一个基板保持站基本上共面，所述公共平面由所述多于一个末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站中的至少三个基板保持站来确定；并且
所述驱动部段是多轴驱动部段，其为至少一个末端执行器连杆相对于所述多于一个末端执行器连杆中的其他末端执行器连杆限定独立自由度。
21.根据权利要求20所述的基板运输设备，其中，所述对应的至少一个基板保持站中的所述至少三个基板保持站中的两个基板保持站对应于所述多于一个末端执行器连杆中的公共末端执行器连杆。
22.根据权利要求21所述的基板运输设备，其中，所述两个基板保持站以每个端部一个的方式设置在所述公共末端执行器连杆的相对端部处。
23.根据权利要求21所述的基板运输设备，其中，在所述公共末端执行器连杆的相对端部处的所述两个基板保持站彼此基本上共面。
24.根据权利要求21所述的基板运输设备，其中，在所述公共末端执行器连杆的相对端部处的所述两个基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站基本上共面。
25.根据权利要求21所述的基板运输设备，其中，所述公共末端执行器连杆在所述公共末端执行器连杆的相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的。
26.根据权利要求20所述的基板运输设备，其中，所述多于一个末端执行器连杆设置成使得所述SCARA臂的径向延伸和缩回实现每个末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站通过运输室壁中的相应的单独开口而基本上同时延伸和缩回，所述开口在基本上公共水平面处相对于彼此并置。
27.根据权利要求20所述的基板运输设备，其中，每个末端执行器连杆的所述独立自由度使得能够在所述多于一个执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站处进行独立的自动晶片定心。
28.根据权利要求20所述的基板运输设备，其中，所述多轴驱动部段被构造成在所述多于一个末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与所述多于一个末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过运输室壁中的相应的单独开口是基本上同时发生的。
29.根据权利要求28所述的基板运输设备，其进一步包括控制器，所述控制器可操作地联接到所述驱动部段并且被构造成使所述SCARA臂延伸，以便利用所述多于一个末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站通过所述运输室壁中的所述相应的单独开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
30.根据权利要求29所述的基板运输设备，其中，所述控制器被构造成通过所述相应的单独开口来基本上同时用被保持在所述多于一个末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换所述双第一基板，其中所述双第一基板被同时保持在所述多于一个末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上。
31.一种用于运输基板的方法，所述方法包括：
提供基板运输设备，所述基板运输设备包括：
框架；
多轴驱动部段，其连接到所述框架；
至少一个铰接式多连杆臂，其具有上臂和前臂，所述上臂在一个端部处可旋转地联结到所述多轴驱动部段，所述前臂在所述上臂的相对端部处可旋转地联结到所述上臂，并且所述上臂是所述一个端部和所述相对端部之间的基本上刚性的非铰接连杆；
双末端执行器连杆，它们是分开的并且彼此不同，所述双末端执行器连杆中的每一者可旋转地且单独地联结到所述前臂的公共端部，使得每个末端执行器连杆相对于所述前臂绕公共旋转轴线旋转，每个末端执行器连杆具有自其悬垂的对应的至少一个基板保持站，
其中：
自所述双末端执行器连杆中的至少一个末端执行器连杆悬垂的所述对应的至少一个基板保持站包括在所述至少一个末端执行器连杆的相对端部处的一个基板保持站，所述至少一个末端执行器连杆在所述相对端部之间是基本上刚性的和非铰接的，并且其中，在所述相对端部中的一者处的所述基板保持站与彼此分开且不同的末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站基本上共面；并且
所述多轴驱动部段为至少一个末端执行器连杆相对于其他末端执行器连杆限定独立自由度；以及
使所述至少一个铰接式多连杆臂延伸，使得所述双末端执行器连杆延伸穿过运输室的侧壁，所述侧壁具有在公共水平面上沿着所述侧壁相对于彼此分开并且并置的多于一个基板运输开口。
32.根据权利要求31所述的方法，进一步包括：利用所述多轴驱动部段在所述双末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站处实现独立的自动晶片定心，这与所述双末端执行器连杆中的每一者的所述对应的至少一个基板保持站基本上同时延伸穿过运输室壁中的相应的单独开口是基本上同时发生的。
33.根据权利要求31所述的方法，其进一步包括：
提供控制器，所述控制器可操作地联接到所述多轴驱动部段；以及
实现所述至少一个铰接式多连杆臂的延伸，以便利用所述双末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站通过所述运输室的侧壁中的相应的单独基板运输开口来基本上同时拾取或放置双第一基板。
34.根据权利要求33所述的方法，其进一步包括：利用所述控制器实现通过相应的单独开口来基本上同时用被保持在所述双末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上的至少一个第二基板快速交换所述双第一基板，其中所述双第一基板被同时保持在所述双末端执行器连杆的所述对应的至少一个基板保持站上。
CN202080095482.7A 2019-12-02 2020-12-02 基板处理设备 Active CN115244674B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202311462157.1A CN117524952A (zh) 2019-12-02 2020-12-02 基板处理设备

Applications Claiming Priority (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201962942544P 2019-12-02 2019-12-02
US201962942530P 2019-12-02 2019-12-02
US62/942544 2019-12-02
US62/942530 2019-12-02
US202063081186P 2020-09-21 2020-09-21
US63/081186 2020-09-21
US17/108530 2020-12-01
US17/108,530 US11569111B2 (en) 2019-12-02 2020-12-01 Substrate processing apparatus
PCT/US2020/062858 WO2021113338A1 (en) 2019-12-02 2020-12-02 Substrate processing apparatus

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311462157.1A Division CN117524952A (zh) 2019-12-02 2020-12-02 基板处理设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN115244674A CN115244674A (zh) 2022-10-25
CN115244674B true CN115244674B (zh) 2023-11-24

Family

ID=76221945

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311462157.1A Pending CN117524952A (zh) 2019-12-02 2020-12-02 基板处理设备
CN202080095482.7A Active CN115244674B (zh) 2019-12-02 2020-12-02 基板处理设备

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202311462157.1A Pending CN117524952A (zh) 2019-12-02 2020-12-02 基板处理设备

Country Status (6)

Country Link
US (2) US11569111B2 (zh)
EP (1) EP4070367A4 (zh)
JP (1) JP2023508262A (zh)
KR (1) KR20220150883A (zh)
CN (2) CN117524952A (zh)
WO (1) WO2021113338A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11569111B2 (en) * 2019-12-02 2023-01-31 Brooks Automation Us, Llc Substrate processing apparatus
US11413744B2 (en) * 2020-03-03 2022-08-16 Applied Materials, Inc. Multi-turn drive assembly and systems and methods of use thereof
CN115008478B (zh) * 2022-08-09 2022-10-25 北京航空航天大学 一种双臂机器人抓取位姿选择方法、系统和存储介质

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6121743A (en) * 1996-03-22 2000-09-19 Genmark Automation, Inc. Dual robotic arm end effectors having independent yaw motion
US6186722B1 (en) * 1997-02-26 2001-02-13 Fujitsu Limited Chamber apparatus for processing semiconductor devices
EP1152456A2 (en) * 2000-05-04 2001-11-07 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for robots having temperature sensitive applications
WO2008140728A2 (en) * 2007-05-08 2008-11-20 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism
CN103503127A (zh) * 2011-03-11 2014-01-08 布鲁克斯自动化公司 基底处理工具
CN107428001A (zh) * 2015-02-06 2017-12-01 柿子技术公司 具有不等连杆长度臂的机器人
CN109715347A (zh) * 2016-07-12 2019-05-03 布鲁克斯自动化公司 基底处理设备

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6986261B2 (en) 2002-11-15 2006-01-17 Tokyo Electron Limited Method and system for controlling chiller and semiconductor processing system
KR100968869B1 (ko) * 2008-07-09 2010-07-09 주식회사 로보스타 기판 반송 로봇
KR102060544B1 (ko) 2010-11-10 2019-12-30 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 이중 아암 로봇
TW202203356A (zh) * 2012-02-10 2022-01-16 美商布魯克斯自動機械公司 基材處理設備
KR102153608B1 (ko) 2012-07-05 2020-09-08 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 전자 디바이스 제조 시스템들에서 기판들을 운송하기 위한 붐 구동 장치, 멀티-아암 로봇 장치, 전자 디바이스 프로세싱 시스템들, 및 방법들
JP6705750B2 (ja) * 2014-01-28 2020-06-03 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板搬送装置
US11883958B2 (en) * 2019-06-07 2024-01-30 Applied Materials, Inc. Robot apparatus including dual end effectors with variable pitch and methods
US11569111B2 (en) * 2019-12-02 2023-01-31 Brooks Automation Us, Llc Substrate processing apparatus

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6121743A (en) * 1996-03-22 2000-09-19 Genmark Automation, Inc. Dual robotic arm end effectors having independent yaw motion
US6186722B1 (en) * 1997-02-26 2001-02-13 Fujitsu Limited Chamber apparatus for processing semiconductor devices
EP1152456A2 (en) * 2000-05-04 2001-11-07 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for robots having temperature sensitive applications
WO2008140728A2 (en) * 2007-05-08 2008-11-20 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus with multiple movable arms utilizing a mechanical switch mechanism
CN103503127A (zh) * 2011-03-11 2014-01-08 布鲁克斯自动化公司 基底处理工具
CN107428001A (zh) * 2015-02-06 2017-12-01 柿子技术公司 具有不等连杆长度臂的机器人
CN109715347A (zh) * 2016-07-12 2019-05-03 布鲁克斯自动化公司 基底处理设备

Also Published As

Publication number Publication date
US20210183675A1 (en) 2021-06-17
JP2023508262A (ja) 2023-03-02
KR20220150883A (ko) 2022-11-11
CN117524952A (zh) 2024-02-06
WO2021113338A1 (en) 2021-06-10
EP4070367A4 (en) 2023-12-13
EP4070367A1 (en) 2022-10-12
US11569111B2 (en) 2023-01-31
CN115244674A (zh) 2022-10-25
US20230245910A1 (en) 2023-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN115244674B (zh) 基板处理设备
JP2023062050A (ja) 基板搬送装置の位置補償のための方法および装置
US10134621B2 (en) Substrate transport apparatus
KR102512974B1 (ko) 온-더-플라이 기판 센터링을 갖는 처리 장치
WO2015031380A1 (en) Substrate transport apparatus
US11894252B2 (en) Substrate transport apparatus
US20230271792A1 (en) Substrate processing apparatus
TWI786199B (zh) 具獨立附件饋通線之基材運送設備，操作基材運送設備的方法，及工件運送設備
TW202126445A (zh) 基板處理裝置
US11830749B2 (en) Substrate transport apparatus
JP2023522536A (ja) 基板処理装置
EP3039714A1 (en) Substrate transport apparatus
TW202013569A (zh) 基板運送裝置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant