KR20220109263A - 퀵 릴리즈 지지 기구를 갖는 레티클 포드 - Google Patents

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KR20220109263A
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Abstract

본 발명은 하부 커버 및 지지 기구를 포함하는 레티클 포드를 제공한다. 하부 커버는 운반면 및 상기 운반면 상에 분포된 복수의 고정 시트를 포함한다. 지지 기구는 레티클 또는 레티클 캐리어를 지지하기 위해 위쪽으로 뻗어 있는 지지부와 상기 지지부 반대편에 고정부를 포함하며, 상기 고정부는 해당 고정 시트와 탈착식으로 연결되어 지지 기구가 하부 커버에 선택적으로 설치될 수 있다.

Description

퀵 릴리즈 지지 기구를 갖는 레티클 포드{RETICLE POD WITH QUICK-RELEASE SUPPORT MECHANISM}
본 발명은 레티클 포드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 퀵 릴리스 기구를 갖는 레티클 포드에 관한 것이다.
레티클은 반도체 산업에서 제조 공정 동안 수송을 위해 레티클 포드에 배치된다. 레티클이 종래 기술의 레티클 포드 내부에 배치될 경우, 레티클을 지지하는 지지 기구의 경사면, 구 또는 실린더가 반복적인 충돌로 인해 (레티클에 접하는) 접촉면이 마모될 수 있다. 이러한 충돌은 지지 기구를 더욱 마모시켜 원하지 않는 입자를 생성할 수 있다. 일반적으로, 마모가 심할 때, 유일한 해결책은 레티클 포드를 교체하는 것인데, 이는 자원 낭비일 수 있다.
따라서, 지지 기구의 마모로 인한 입자와 관련된 상술한 문제를 해결하고, 제조 비용뿐만 아니라 자원 낭비를 줄이기 위해 개선된 레티클 포드가 필요하다.
본 발명은 잦은 마모 및 하드웨어 낭비를 통해 레티클의 접촉면에서 발생되는 입자와 같은 상술한 문제를 해결하기 위해 퀵 릴리스 메커니즘을 갖는 레티클 포드를 제공한다.
본 발명은 운반면 및 상기 운반면으로부터 돌출한 복수의 장착 시트를 갖는 하부 커버; 및 레티클 또는 레티클 캐리어를 지지하기 위해 위쪽으로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재의 반대편에 있는 장착 부재를 갖는 지지 기구를 포함하는 레티클 포드를 제공한다. 상기 장착 부재는 대응하는 하나의 상기 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 상기 지지 기구가 하부 커버에 선택적으로 적재된다.
일 실시예에서, 장착 부재는 적어도 하나의 고정 부재가 레그의 원위 단부에 제공된 적어도 하나의 가요성 레그를 가지며, 대응하는 장착 시트는 가요성 레그의 고정 부재를 수용하고 고정하도록 구성된 적어도 하나의 노치를 갖는다.
일 실시예에서, 장착 부재는 스레딩에 의해 대응하는 장착 시트에 연결되도록 구성되고, 상기 장착 시트는 운반면으로부터 위쪽으로 뻗어 있는 스레드 포스트이다.
일 실시예에서, 장착 부재는 지지 기구가 대응하는 장착 시트에 대해 상대적으로 회전하는 것을 방지하기 위해 암수 연결에 의해 대응하는 장착 시트에 연결되도록 구성된다.
일 실시예에서, 장착 부재는 암 커넥터이고 대응하는 장착 시트는 수 커넥터이다.
일 실시예에서, 지지 부재는 레티클의 바닥과 접촉하기 위한 적어도 하나의 제 1 지지 포스트 및 상기 레티클의 측면 변위를 제한하기 위한 적어도 하나의 제 2 지지 포스트를 포함한다.
본 발명은 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버; 운반면 및 상기 운반면 상에 위치된 복수의 하부 커버 장착 시트를 갖는 하부 커버; 레티클 또는 레티클 캐리어의 바닥을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재의 반대편에 있는 장착 부재를 갖는 적어도 하나의 제 1 지지 기구; 및 레티클 또는 레티클 캐리어의 상단에 접촉하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부와 연결하는 조인트부를 갖는 적어도 하나의 제 2 지지 기구를 포함하고, 상기 장착 부재는 대응하는 하부 커버 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 상기 제 1 지지 기구가 하부 커버에 선택적으로 장착되며, 상기 조인트부는 대응하는 상부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 제 2 지지 기구가 상부 커버에 선택적으로 장착되는 또 다른 레티클 포드를 제공한다.
일 실시예에서, 상부 장착 시트는 대응하는 조인트부에 결합되는 다수의 돌출 윙부를 갖는다.
일 실시예에서, 제 2 지지 기구의 조인트부는 이를 통해 정의된 개구를 갖고, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 그 내부로 들어가거나 이로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 상기 개구에 대해 상대적으로 회전하게 하는 제 2 채널을 갖는다.
일 실시예에서, 개구는 적어도 하나의 제 1 리브를 갖고, 상부 커버 장착 시트는 적어도 하나의 제 2 리브를 가지며, 상기 개구는 제 2 리브가 제 1 회전 방향을 따라 제 1 리브 위로 미끄러질 수 있으나 제 2 리브가 제 2 회전 방향을 따라 회전하는 것을 방지하도록 형성된다.
본 발명은 또한 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버; 운반면 및 상기 운반면 상에 위치된 복수의 하부 커버 장착 시트를 갖는 하부 커버; 및 레티클 또는 레티클 캐리어의 바닥 또는 상단에 접촉하기 위한 적어도 하나의 지지 기구를 포함하고, 상기 지지 기구는 대응하는 상부 커버 장착 시트 또는 대응하는 하부 커버 장착 시트에 회전 가능하게 탈착식으로 연결되도록 구성된 레티클 포드를 더 제공한다.
일 실시예에서, 상부 커버 장착 시트는 다수의 돌출 윙부를 갖는다.
일 실시예에서, 지지 기구는 레티클의 상단과 접촉하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부과 연결되는 조인트부를 가지며, 상기 조인트부는 이를 통해 형성된 개구가 있고, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 그 내부로 들어가거나 그로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 상기 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있게 하는 제 2 채널을 갖는다.
일 실시예에서, 개구는 적어도 하나의 제 1 리브를 갖고, 상부 커버 장착 시트는 적어도 하나의 제 2 리브를 가지며, 상기 개구는 제 1 회전 방향을 따라 제 1 리브 위로 미그러지게 하지만 제 2 리브가 제 2 회전 방향을 따라 회전하는 것을 방지한다.
일 실시예에서, 지지 기구는 레티클의 바닥을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재에 대향하는 장착 부재를 갖는다.
일 실시예에서, 하부 커버 장착 시트는 그를 통해 형성된 개구가 있고, 상기 개구는 지지 기구의 장착 부재가 그 내부로 들어가거나 그로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 지지 기구의 장착 부재가 상기 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있게 하는 제 2 채널을 갖는다.
일 실시예에서, 지지 부재는 제 1 경사면, 제 2 경사면 및 제 3 경사면을 가지며, 상기 제 1 경사면 및 상기 제 2 경사면은 레티클과 접촉하도록 구성되는 반면, 상기 제 3 경사면은 상기 제 1 및 제 2 경사면에서 떨어진 입자를 배출하기 위해 상기 제 1 경사면과 상기 제 2 경사면 사이에 끼워진다.
일 실시예에서, 제 3 경사면은 다수의 경사면을 갖는다.
본 발명은 또한 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버; 운반면 및 상기 운반면 상에 위치된 복수의 하부 커버 장착 시트를 갖는 하부 커버; 레티클 또는 레티클 캐리어를 지지하기 위해 위쪽으로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재의 반대편에 있는 장착 부재를 갖는 적어도 하나의 제 1 지지 기구; 및 레티클의 상단에 접하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부와 연결되는 조인트부를 갖는 적어도 하나의 제 2 지지 기구를 포함하고, 상기 장착 부재는 대응하는 하부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 제 1 지지 기구가 선택적으로 하부 커버에 장착되며, 상기 장착 부재는 암수 연결에 의해 대응하는 하부 커버 장착 시트에 연결되도록 구성되고, 상기 조인트부는 대응하는 상부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 제 2 지지 기구가 상부 커버에 선택적으로 장착되며, 상기 조인트부는 암수 연결에 의해 상부 커버 장착 시트에 연결되도록 구성되는 레티클 포드를 제공한다.
일 실시예에서, 상부 커버 장착 시트는 다수의 돌출 윙부를 가지며, 상기 제 2 지지 기구의 조인트부는 그를 관통하는 개구가 있고, 상기 개구는 돌출 윙부가 그 안에 들어가거나 그로부터 이탈하게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 상기 돌출 윙부가 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있게 하는 제 2 채널을 갖는다.
일 실시예에서, 제 1 지지 기구의 장착 부재와 하부 커버 장착 시트 사이의 암수 연결은 상기 제 1 지지 기구가 하부 커버 장착 시트에 대해 상대적으로 회전하는 것을 방지한다.
일 실시예에서, 제 1 지지 기구는 측면 연장부, 제 1 경사암 및 제 2 경사암을 가지며, 상기 제 1 경사암 및 상기 제 2 경사암은 레티클 또는 레티클 캐리어를 지지하도록 구성된다.
본 발명은 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버; 및 레티클 또는 레티클 캐리어의 상단에 접촉하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부와 연결되는 조인트부를 갖는 지지 기구를 포함하고, 상기 조인트부는 대응하는 상부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 지지 기구가 상부 커버에 선택적으로 적재되는 레티클 포드를 제공한다.
일 실시예에서, 상부 커버 시트는 대응하는 조인트부에 결합되는 다수의 돌출 윙부를 갖는다.
일 실시예에서, 지지 기구의 조인트부는 그를 통해 정의된 개구가 있고, 상기 개구는 상부 커버 장착 시트가 그 내부로 들어가거나 그로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 상부 커버 장착 시트가 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있는 제 2 채널을 갖는다.
일 실시예에서, 개구는 적어도 하나의 제 1 리브를 갖고, 상부 커버 장착 시트는 적어도 하나의 제 2 리브를 가지며, 상기 개구는 제 2 리브가 제 1 회전 방향을 따라 제 1 리브 위로 미끄러지지만 제 2 리브가 제 2 회전 방향을 따라 회전하는 것을 방지하도록 형성된다.
본 발명의 내용에 포함됨.
본 발명의 실제 실시예에서, 도면에 도시된 요소의 스케일은 제한적인 의미로 해석되어서는 안된다.
도 1은 본 발명에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드와 레티클 사이의 관계를 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 포드의 지지 기구를 도시한 부분 확대 개략도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 포드의 지지 기구를 도시한 부분 확대 개략도이다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레티클 포드의 지지 기구를 도시한 부분 확대 개략도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 포드의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 포드의 외관을 나타내는 평면도이다.
도 6b는 도 6a의 AA 선을 따른 횡단면도이다.
도 7은 도 6b에 도시된 레티클 포드의 지지 기구의 부분 확대 단면도이다.
도 8은 상부 커버 고정 시트로부터 분리된 레티클 포드의 상부 커버 지지 기구를 도시한다.
도 9a는 제 1 상태의 레티클 포드의 상부 커버의 저면도이다.
도 9b는 도 9a에 도시된 상부 커버 지지 기구 중 하나의 확대도이다.
도 9c는 도 9a에 도시된 라인 BB를 따른 상부 커버 지지 기구의 부분 횡단면도이다.
도 10a는 제 2 상태에 있는 레티클 포드의 상부 커버의 저면도이다.
도 10b는 도 10a에 도시된 상부 커버 지지 기구 중 하나의 확대된 저면도이다.
도 10c는 도 10a에 도시된 선 CC를 따른 상부 커버 지지 기구의 부분 단면도이다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드와 레티클을 나타내는 사시도이다.
도 12a는 도 11에 도시된 라인 DD를 따른 본 개시 내용의 실시예에 따른 지지 기구의 횡단면도이다.
도 12b는 도 11에 도시된 라인 DD를 따른 본 개시 내용의 다른 실시예에 따른 지지 기구의 횡단면도이다.
도 12c는 도 11에 도시된 라인 DD를 따른 본 개시 내용의 또 다른 실시예에 따른 지지 기구의 횡단면도이다.
도 13a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드와 레티클을 도시하는 사시도이다.
도 13b는 도 13a에 도시된 (조립 단계 전) 지지 기구를 도시하는 사시도이다.
도 13c는 도 13a에 도시된 라인 EE를 따른 지지 기구의 횡단면도이다.
도 14a 내지 14c는 하부 커버의 고정 시트에 하부 커버 지지 기구를 설치하는 과정을 도시한다.
도 14d 내지 14f는 하부 커버의 고정 시트에 하부 커버 지지 기구를 설치하는 과정을 단면도로 도시한다.
도 15a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드와 레티클을 나타내는 정면도이다.
도 15b는 도 15a에 도시된 하나의 하부 커버 지지 기구와 레티클 사이의 접촉을 보여주는 부분 확대 단면도이다.
도 15c는 하부 커버 지지 기구와 레티클을 다른 관점에서 도시한 횡단면도이다.
도 15d는 하부 커버 지지 기구의 부분 사시도이다.
도 16a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드와 레티클 캐리어를 나타내는 사시도이다.
도 16b는 도 16a에 도시된 실시예를 도시하는 정면도이다.
도 16c는 레티클 포드의 하부 커버 지지 기구를 나타내는 사시도이다.
도 16d는 레티클 포드의 하부 커버 및 하부 커버 지지 기구를 도시하는 사시도이다.
도 16e는 도 16a에 도시된 바와 같은 라인 FF를 따른 하부 커버 지지 기구를 도시하는 횡단면도이다.
본 발명은 레티클 포드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 퀵 릴리스 기구를 갖는 레티클 포드에 관한 것이다. 본 명세서 포함된 첨부 도면은 본 발명의 실시예를 상세하게 예시한다. 이러한 첨부 도면에서, 동일 및/또는 동등한 요소는 동일한 참조 번호로 표시된다.
본 발명의 다양한 실시예가 본 명세서에 개시된다. 그럼에도 불구하고, 개시된 실시예가 본 발명의 다양한 형태를 입증하기 위한 예로서 사용된다는 것을 아는 것이 중요하다. 특정 실시예와 관련하여 제공된 각각의 도면은 제한이 아닌 예일 뿐이다. 또한, 도면은 반드시 실제 축척에 비례할 필요가 없으며, 특정 요소의 세부 사항을 강조하기 위해 일부 특징을 확대할 수 있다(도면에 표시된 모든 축척, 재료 등은 제한이 아닌 예시일 뿐이다). 따라서, 본 명세서에 개시된 특정 구조 및 기능의 세부 사항은 제한으로 해석되어서는 안된다. 오히려, 이들은 본 명세서에 개시된 본 발명의 실시예를 실행하는 방법을 당업자에게 교시하기 위한 기초로서만 사용된다.
도 1은 본 개시에 따른 레티클 포드(100) 및 레티클(10)을 도시한 개략도이다; 특히, 도면은 레티클 포드(100) 내에 레티클(10)이 수용되는 도면을 도시한다(상부 커버는 도시하지 않았다). 레티클 포드(100)는 하부 커버(120) 및 상기 하부 커버(120)에 탈착가능한 수단에 의해 연결되는 복수의 지지 기구(140)를 포함한다. 이하 실시예에 대한 상세한 설명을 제공한다. 특히, 하부 커버(120)는 운반면(122) 및 지지 기구(140)에 연결하는데 사용되고 상기 운반면 상에 분포되는 복수의 장착 시트(124)를 포함한다. 장착 시트(124) 및 지지 기구(140)는 함께 운반면(122) 위로 레티클(10)을 들어 올린다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 레티클 포드(100)의 하나의 지지 기구(140)을 도시하는 부분 확대 개략도이다. 지지 기구(140)는 레티클(10)을 지지하기 위해 위쪽으로 뻗어 있는 지지 부재(142) 및 하부 커버(120)를 향하도록 지지 부재(142)의 반대편에 있는 장착 부재(144)를 포함하며, 상기 장착 부재(144)는 대응하는 장착 시트(124)와 탈착식으로 연결되어, 지지 기구(140)가 하부 커버(120)에 선택적으로 설치될 수 있다. 실시예에서, 장착 부재(144)는 2 개의 가요성 레그(145)를 포함하고, 각각의 가요성 레그(145)는 단부에 고정 부재(146)를 갖는다. 장착 시트(124)는 가요성 레그(145)의 고정 부재(146)를 받아들여 안정적으로 수용하도록 구성된 2 개의 노치(147)를 포함한다. 예를 들어, 장착 시트(124)에는 지지 기구(140)의 가요성 레그(145)의 고정 부재(146)가 장착 시트(124)의 표면을 따라 대응하는 노치(147)로 슬라이딩하게 하는 슬라이딩 그루브가 제공될 수 있다. 지지 기구(140)에는 가요성 레그(145)의 고정 부재(146)를 대응하는 노치(147)로부터 방출하도록 작동될 수 있는 가압 메커니즘이 제공될 수 있고, 상기 고정 부재(146)는 후크 형상이거나 다른 구성을 가질 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레티클 포드(100)의 지지 기구(140)를 도시하는 부분 확대 개략도이다. 지지 기구(140)는 레티클(10)을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지 부재(142) 및 하부 커버(120)를 향하도록 지지 부재(142)의 반대편에 있는 장착 부재(144)를 포함하며, 상기 장착 부재(144)는 대응하는 장착 시트(124)와 탈착식으로 연결되어 상기 지지 기구(140)가 하부 커버(120) 상에 선택적으로 설치될 수 있다. 장착 부재(144)는 잠금 가능한 방식으로 장착 시트(124)와 연결되도록 구성된다; 장착 시트(124)는 운반면(122)으로부터 위쪽으로 뻗어 있는 고정 포스트이고 상단에 캡부(125)를 포함한다. 지지 기구(140)의 장착 부재(144)와 캡부(125)는 적절한 끼워 맞춤에 의해 연결될 수 있다. 예를 들어, 장착 부재(144)와 캡부(125)는 교합 구조 형태를 가질 수 있어서, 장착 부재(144)가 캡부(125)에 끼워질 수 있고 교합 구조로 인해 회전이 방지될 수 있다. 대안으로, 장착 부재(144)는 마찰에 의해 캡부(125)와 연결될 수 있다.
다른 실시예에서, 장착 부재(144)는 스레드로 구성될 수 있는 반면, 대응하는 장착 포스트(124) 또는 캡부(125)는 장착 부재(144) 상의 스레드과 결합할 수 있는 다른 스레드를 갖는다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 레티클 포드(100)의 지지 기구(140)를 도시하는 부분 확대 개략도이다. 마찬가지로, 지지 기구(140)는 레티클(10)을 지지하기 위해 위쪽으로 뻗어 있는 지지 부재(142) 및 상기 지지 부재(142) 반대편에 있는 장착 부재(144)를 포함하며, 상기 장착 부재(144)는 대응하는 장착 시트(124)와 탈착식으로 연결되어, 상기 지지 기구(140)가 하부 커버(120) 상에 선택적으로 설치될 수 있다. 장착 부재(144)와 고정 시트(124)는 결합 연결을 형성하도록 구성되며, 장착 부재(144)는 암 커넥터이고 장착 시트(124)는 수 커넥터이며 그 반대의 경우도 마찬가지이다. 도 3에 도시된 실시예와 유사하게, 암 커넥터 및 수 커넥터는 교합 구조 형태를 가질 수 있어, 장착 시트(124)에 대한 장착 부재(144)의 회전을 방지한다.
도 2-4를 참조한다. 일 실시예에서, 지지 부재(142)는 레티클(10)의 바닥면과 접촉하기 위한 적어도 하나의 제 1 지지 포스트(143a) 및 레티클(10)의 측면부의 변위를 방지하기 위한 적어도 하나의 제 2 지지 포스트(143b)를 더 포함한다. 그러나, 본 발명에서는 지지 포스트의 수에 제한이 없다.
도 5는 일 실시예에 따른 레티클 포드(500)의 외관을 도시하는 사시도이다. 레티클 포드(500)는 내부 레티클 포드 또는 레티클 캐리어를 수용하기 위한 외부 레티클 포드일 수 있다. 도 6a는 레티클 포드(500)의 평면도이다. 도 6b는 도 6a의 AA 선을 따른 레티클 포드(500)의 횡단면도이다. 도 5, 6a 및 6b는 레티클 포드(500)와 레티클(10) 사이의 관계를 설명한다. 레티클(10)은 하부 커버(520), 하부 커버 지지 기구(540), 상부 커버(560) 및 상부 커버 지지 기구(580)를 포함하는 레티클 포드(500)에 수용된다. 상부 커버(560) 및 하부 커버(520)는 레티클 포드(500) 내의 수용 공간을 정의한다. 대안으로, 레티클(10)을 수용하는 것 외에, 레티클 포드(500)는 또한 내부 레티클 포드 또는 다른 유형의 캐리어(예를 들어, 펠리클 포장 용기)를 수용할 수 있다. 하부 커버(520)는 운반면(522) 및 상기 운반면(522) 상에 분포된 복수의 하부 커버 장착 시트(524)를 포함한다. 각각의 하부 커버 지지 기구(540)는 탈착식 수단에 의해 하부 커버(520)상의 하부 커버 장착 시트(524)와 연결된다. 하부 커버 지지 기구(540)는 레티클(10)의 바닥을 지지하기 위해 사용된다. 상부 커버(560)는 접촉면(562) 및 상기 접촉면(562) 상에 분포된 복수의 상부 커버 장착 시트(564)를 포함한다. 각각의 상부 커버 지지 기구(580)는 탈착식 수단에 의해 상부 커버(560)상의 상부 커버 장착 시트(564)와 연결된다. 상부 커버 지지 기구(580)는 레티클(10)의 상단에 접촉하기 위해 사용된다.
도 7은 도 6b에 예시된 레티클 포드(500)의 횡단면도의 다른 사시도를 도시한다. 레티클 포드(500)에 수용된 레티클(10)은 하부 커버 지지 기구(540)와 상부 커버 지지 기구(580) 사이에 갇혀 있음을 알 수 있다. 하부 커버 지지 기구(540)는 레티클을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지부(542) 및 상기 지지부(542)와 대향하여 하부 커버(520)와 마주보는 장착 부재(544)를 포함한다. 장착 부재(544)는 해당 장착 시트(524)와 탈착식으로 연결되어 하부 커버 지지 기구(540)가 하부 커버(520)에 선택적으로 설치될 수 있다. 이 실시예에서, 장착 부재(544)는 잠금 가능한 방식으로 장착 시트(524)와 연결된다; 장착 부재(544)는 스레드로 추가 구성될 수 있는 반면, 대응하는 장착 시트(524)는 장착 부재(544)상의 스레드와 결합할 수 있는 또 다른 스레드를 가질 수 있다.
도 8은 상부 커버 지지 기구(580)가 상부 커버 장착 시트(564)로부터 분리된 것을 도시한다. 상부 커버(560)는 접촉면(562) 및 상기 접촉면(562) 상에 분포된 복수의 상부 커버 장착 시트(564)를 포함한다. 접촉면(562)은 상부 커버(560) 내측의 하향면이고, 이 하향면은 하부 커버(520)와 접촉하지 않는다. 각각의 상부 커버 장착 시트(564)는 접촉면(562)에서 아래로 뻗어 있는 구조이다. 이 실시예에서, 상부 커버 장착 시트(564)는 실린더부 및 상기 실린더부로부터 측방향으로 뻗어 있는 2 개의 돌출 윙부(565a 및 565b)을 포함한다. 다른 가능한 실시예에서, 상부 커버 장착 시트(564)는 상부 커버(560) 내부의 측면에 배열될 수 있다. 각각의 상부 커버 지지 기구(580)는 탈착식 수단에 의해 상부 커버(560)상의 상부 커버 장착 시트(564)에 연결되며, 이하에서 연결 방법이 제공된다.
도 9a는 제 1 상태에 있는 레티클 포드(500)의 상부 커버(560)의 저면도이다. 도 9b는 도 9a의 상부 커버 지지 기구(580) 중 하나가 하나의 상부 커버 장착 시트(564)와 연결될 때의 제 1 상태를 도시한다; 제 1 상태에서, 상부 커버 지지 기구(580)는 장착 시트(564)로부터 인출 및 분리될 수 있다. 도 9c는 도 9a에 도시된 라인 BB를 따른 상부 커버 지지 기구(580)의 횡단면도이다. 도 10a는 제 2 상태의 레티클 포드(500)의 상부 커버(560)의 저면도이다. 도 10b는 도 10a의 상부 커버 지지 기구(580) 중 하나가 하나의 상부 커버 장착 시트(564)와 연결될 때의 제 2 상태를 도시한다; 제 2 상태에서, 상부 커버 지지 기구(580)는 장착 시트(564)로부터 인출 및 분리될 수 없다. 도 10c는 도 10a에 도시된 선 CC를 따른 상부 커버 지지 기구(580)의 횡단면도이다.
구체적으로, 도 9a 내지 도 9c는 상부 커버 지지 기구(580)가 상부 커버 장착 시트(564)와 연결되는 반면, 상부 커버 지지 기구(580)는 상부 커버 장착 시트(564)에 대해 제 1 배향에 있음을 보여준다. 도 10a 내지 도 10c는 상부 커버 지지 기구(580)가 상부 커버 장착 시트(564)에 대해 제 2 배향이 되도록 선회되고, 상기 제 2 배향으로 인해 상부 커버 지지 기구(580)가 단단히 고정되고 따라서 상부 커버(560)로부터 분리될 수 없음을 보여준다.
도 9b 및 도 10b에 도시된 바와 같이, 상부 커버 지지 기구(580)는 레티클의 상단에 접촉하는 접촉부(582) 및 상기 접촉부(582)에 연결되는 조인트부(583)를 포함한다. 접촉부(582)는 형상이 삼각형이며, 그 폭은 조인트부(583)에서 말단부까지 점차 좁아진다. 또한, 접촉부(582)는 원위 단부 근처에서 벤딩 구조를 갖는다; 벤딩 구조는 도 7에 도시된 바와 같이 상부 커버(560)와 하부 커버(520)가 결합될 때 레티클의 상단 림 또는 인근 상부면과 적절하게 접촉하도록 구성되지만, 접촉부(582)의 구조 또는 구성은 예시된 실시예에 도시된 것에 국한되지 않는다. 상부 커버 지지 기구(580)의 조인트부(583)는 상부 커버 장착 시트(564)를 수용하기 위해 사용되며 상부 커버 장착 시트(564)가 그 안에서 선회할 수 있게 하는 개구(584)를 포함한다. 개구(584)는 버터플라이형 형상을 가지며, 윙부(565a, 565b)가 선회할 공간을 제공한다. 조인트부(583)는 개구(584)를 향하는 내측에 복수의 제 1 리브(586)를 포함하고, 상부 커버 장착 시트(564)는 실린더부의 표면에 제 2 리브(588)를 포함한다. 도면에 도시된 바와 같이, 4 개의 제 1 리브(586)는 기본적으로 상부 커버 장착 시트(564)의 실린더부상의 표면과 접촉한다. 개구의 형상은 상부 커버 장착 시트(564)의 제 2 리브(588)가 제 1 회전 방향(R1)(도면에서 시계 방향)으로, 즉, 도 9b의 상태에서 도 10b의 상태로 제 1 리브(586)를 지나 미끄러지지만, 도 9b의 제 2 리브(588)가 제 2 회전 방향(R2)(시계 반대 방향)으로 회전하지 못하게 하도록 구성된다. 도 9b에 도시된 바와 같이, 상부 커버 장착 시트(564)가 R2 방향으로 회전하는 것을 방지하기 위해 2 개의 인접한 제 1 리브(586) 사이에 구조가 형성된다. 도 10b의 상태에서 다시 도 9b의 상태로 돌아가려면, 더 큰 힘을 가하여 제 2 리브(588)가 제 1 리브(586)를 지나서 스냅되도록 하여 상부 커버 지지 기구(580)가 인출될 수 있는 상태로 되돌아 가도록 한다. 제 1 회전 방향(R1) 및 제 2 회전 방향(R2)은 상부 커버 지지 기구(580) 및 상부 커버 고정 시트(584)의 상대적인 방향을 표현하는데 사용된 것임을 이해해야 한다; 실제로, 회전되는 것은 상부 커버 지지 기구(580)이다. 도 9b의 상태에서 도 10b의 상태로 변경하기 위해, 적절한 힘이 상부 커버 지지 기구(580)에 가해질 수 있어, 그 결과 제 1 리브(586)가 제 2 리브(588)를 지나서 스냅하여 상부 커버 지지 기구(580)의 설치를 마칠 수 있다. 반대로, 도 10b의 상태에서 도 9b의 상태로 되돌리려면, 반대 방향으로 더 큰 힘이 상부 커버 지지 기구(580)에 가해져 제 1 리브(586)가 제 2 리브(588)를 지나서 스냅되도록 하여 상부 커버 지지 기구(580)가 분리될 수 있는 상태로 되돌아 가도록 한다.
구체적으로, 개구(584)는 상부 커버 장착 시트(564)가 들어가거나 나갈 수 있도록 하는 제 1 통로 및 상부 커버 장착 시트(564)가 개구(584)에 대해 회전할 수 있게 하는 제 2 통로를 갖는다. 도 9c에 도시된 바와 같이, 개구(584)는 상부 커버 지지 기구(580)가 제 1 배향에 있을 때 상부 커버 장착 시트(564)가 제 1 통로를 통해 개구(584)에 들어가고 나갈 수 있도록 구성된다. 도 10c에 도시된 바와 같이, 개구(584)는 상부 커버 지지 기구(580)가 제 2 배향에 있을 때 상부 커버 장착 시트(564)가 제 2 통로를 통해 스토퍼(589)에 의해 개구(584)에서 제한되도록 구성된다. 즉, 스토퍼(589)는 상부 커버 장착 시트(564)의 윙부(565a, 565b)와 접촉 및 구속하여 상부 커버 지지 기구(580)가 위로 인출될 수 없도록 한다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드(600) 및 레티클(10)을 도시한다. 도 12a-12c는 지지 기구의 상이한 실시예를 각각 도시한, 도 11에 도시된 선 DD를 따른 지지 기구의 횡단면도이다. 도 11은 레티클 포드(600)와 레티클(10) 사이의 관계를 도시한다. 레티클(10)은 (도 7에 도시된 바와 같이) 레티클 포드(600)에 지지되고 수용된다. 레티클 포드(600)는 하부 커버(620) 및 복수의 하부 커버 지지 기구(640)를 포함한다.
도 12a의 실시예에 도시된 바와 같이, 각각의 하부 커버 지지 기구(640)는 레티클(10)을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지 부재(642) 및 상기 지지 부재(642) 반대편에 있고 하부 커버(620)를 향하는 장착 부재(644)를 포함한다. 장착 부재(644)는 하부 커버(620)의 대응하는 고정부(이 실시예에서 구멍)와 탈착식으로 연결되어, 상기 하부 커버 지지 기구(640)가 하부 커버(620)에 선택적으로 설치될 수 있다. 이 실시예에서, 장착 부재(644)는 2 개의 가요성 레그(645)를 가지며, 각각의 가요성 레그(645)는 단부에 고정 부재(646)를 갖는다. 하부 커버(620)의 고정부(구멍)는 가요성 레그(645)의 고정 부재(646)를 받아들이고 안정적으로 수용하도록 구성된다. 예를 들어, 하부 커버(620)에는 슬라이딩 그루브를 따라 구멍에 들어가기 위해 하부-커버 지지 기구(640)의 가요성 레그(645)의 고정 부재(646)를 위한 슬라이딩 그루브(미도시)가 제공될 수 있다; 따라서, 고정 부재(646)가 구멍의 숄더부에 접할 수 있어서, 하부 커버 지지 기구(640)가 하부 커버(640)에 고정될 수 있다. 밀봉 수단(예를 들어, 기밀 밀봉 링)이 지지 부재(642) 및 하부 커버 지지 기구(640)의 장착 부재(644) 사이에 제공될 수 있어 레티클 포드의 수용 공간이 구멍을 통해 커버 외부 공간과 연통하는 것을 방지한다. 더욱이, 하부 커버 지지 기구(640)에는 대응하는 그루브로부터 가요성 레그(645)의 고정 부재(646)를 방출하도록 작동될 수 있는 가압 기구가 제공될 수 있다. 대안으로, 하부 커버(620)의 구멍을 통해 가요성 레그(645)를 방출하기 위한 도구가 사용될 수 있다; 또한, 고정 부재(646)는 후크 형상이거나 다른 구성을 가질 수 있다.
도 12b의 실시예에 도시된 바와 같이, 하부 커버 지지 기구(640)의 장착 부재(644)(본 실시예의 구멍)는 하부 커버(620)에 제공된 스크류와 탈착식으로 연결되어 하부 커버 지지 기구(640)가 하부 커버(620)에 선택적으로 설치될 수 있다. 장착 부재(644)는 스크류 결합을 위한 스레드 구멍일 수 있어 하부 커버 지지 기구(640)가 하부 커버(620)에 체결될 수 있다. 장착 부재(644) 단부에 위치 결정 구조(647)가 제공될 수 있다; 위치 결정 구조(647)는 스크류가 하부 커버(620)에 제공되기 전에 하부 커버 지지 기구(640)를 설치 위치와 정렬하는데 사용될 수 있다.
도 12c의 실시예에 도시된 바와 같이, 하부 커버 지지 기구(640)의 장착 부재(644)는 구멍이다; 장착 부재(644)는 위에서 대응하는 장착 시트(624)에 끼워 져서 하부 커버 지지 기구(640)가 하부 커버(620)에 선택적으로 설치될 수 있다. 따라서, 장착 부재(644)가 암 커넥터이고, 장착 시트(624)가 수 커넥터이거나, 그 반대도 마찬가지로, 결합 연결이 형성될 수 있다. 장착 부재(644) 및 장착 시트(624)는 교합 구조 형태를 가질 수 있다; 특히, 이러한 구조 형태는 장착 부재(644)가 장착 시트(624)에 대해 회전하는 것을 방지하기 위해 특정 각도를 포함할 수 있다.
도 13a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드(700) 및 레티클(10)을 도시한다. 도 13b는 하부 커버 지지 기구(740) 및 하부 커버(720)의 하부 커버 고정 시트(구멍)를 도시한다. 도 13c는 도 13a에 도시된 라인 EE를 따른 하나의 하부 커버 지지 기구(740)의 횡단면도이다. 각각의 하부 커버 지지 기구(740)는 레티클(10)을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지부(742), 및 상기 지지부(742)의 반대편에 있고 하부 커버(720)를 향하는 고정부(744)를 포함한다. 상기 고정부(744)는 대응하는 하부 커버 고정 시트(724)와 탈착식으로 연결되어 하부 커버 지지 기구(740)가 하부 커버(720)에 선택적으로 설치될 수 있도록 한다. 고정부(744)는 기본적으로 실린더부과 상기 실린더부의 표면으로부터 뻗어 있는 2 개의 윙부를 포함한다. 도 13b에 도시된 바와 같이, 하부 커버 고정 시트(724)는 고정부(744)의 형상과 교합되는 형상을 갖는 개구(725)를 가지며, 이에 의해 하부 커버 지지 기구(740)의 고정부(744)가 개구(725)를 통해 출입할 수 있게한다. 도 9에 도시된 구조와 마찬가지로, 개구(725)는 또한 고정부(744)이 출입할 수 있도록 하는 제 1 통로 및 고정부(744)가 개구(725)에 대해 상대적으로 회전할 수 있게 하는 제 2 통로를 포함하도록 구성된다. 하부 커버(720)의 하부 커버 고정 시트(724)에 하부 커버 지지 기구(740)를 장착하는 과정은 다음과 같이 설명된다.
도 14a 내지 14c는 하부 커버(720) 상에 하부 커버 지지 기구(740)를 설치하는 과정을 도시한다. 먼저, 도 14a에 도시된 바와 같이, 하부 커버 지지 기구(740)는 도 13b에 도시된 방향으로 개구(725)에 삽입된다. 다음으로, 도 14b에 도시된 바와 같이, 하부 커버 지지 기구(740)는 방향(R3)으로 회전된다. 마지막으로, 하부 커버 지지 기구(740)는 도 14c에 도시된 바와 같은 방향에서 유지되고 인출될 수 없다.
도 14d 내지 도 14f는 하부 커버(720) 상에 하부 커버 지지 기구(740)를 설치하는 과정을 횡단면도로 도시한다. 도 14d는 제 1 배향에 있는 하부 커버 지지 기구(740)가 개구(725)와 정렬될 수 있음을 도시한다; 도 14e는 하부 커버 지지 기구(740)가 개구(725)에 삽입된 후를 도시한다. 도 14f는 하부 커버 지지 기구(740)가 회전 후 제 2 방향에 있고, 개구(725)에 있는 스토퍼(미도시)가 하부 커버 지지 기구(740)의 윙부과 접촉 및 제한하여 하부 커버 지지 기구(740)가 인출될 수 없도록 한다.
도 15a는 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드(800)와 레티클(10)을 나타내는 정면도이다. 도 15b는 레티클(10) 및 하나의 하부 커버 지지 기구(840)를 나타내는 횡단면도이다. 도 15c는 하부 커버 지지 기구(840) 및 레티클(10)을 도시한 부분 확대 단면도이다. 도 15d는 하부 커버 지지 기구(840)의 지지부(842)의 실시예를 도시한다. 하부 커버 지지 기구(840)의 고정부는 이전 실시예에서 설명된 바와 같은 임의의 형태일 수 있다.
도 15d를 참조하라. 하부 커버 지지 기구(840)는 바닥으로부터 위로 뻗어 있는 제 1 벽(841) 및 제 2 벽(842)을 갖는다. 제 1 벽(841) 및 제 2 벽(842)의 상단(즉, 지지부)에는 각각 제 1 경사면(841a) 및 제 2 경사면(842a)이 제공된다; 2 개의 경사면은 상단부로부터 제 1 벽(841)과 제 2 벽(842)의 교차점을 향하여 아래쪽으로 경사져 있다. 레티클(10)이 하부 커버 지지 기구(840)에 배치될 때, 레티클(10)의 하부 에지가 각 하부 커버 지지 기구(840)의 제 1 경사면(841a) 및 제 2 경사면(842a)과 접촉할 것이다. 이러한 설계는 레티클(10)이 제 1 경사면(841a) 및 제 2 경사면(842a)을 따라 점차 아래로 미끄러진 후에 정확하게 배치되도록 한다. 더욱이, 제 1 경사면(841a)과 제 2 경사면(842a)의 교차점에는 하나 이상의 제 3 경사면(843)에 의해 정의되는 집진기구가 제공된다. 예시된 실시예에서, 2 개의 제 3 경사면(843)이 있다. 도 15b 내지 도 15d에 도시된 바와 같이, 2 개의 제 3 경사면(843)은 동일한 방향(예를 들어, 레티클에서 멀어지는 방향)으로 기울어지므로 레티클(10)의 하단 가장자리와 제 1 및 제 2 경사면(841a, 842a) 사이의 마찰에 의해 발생하는 먼지 또는 미세 입자가 제 3 경사면(843)에 떨어질 수 있고, 그런 후 레티클(10)의 바닥면의 오염을 피하기 위해 레티클(10)에서 멀어는 방향으로 하부 커버로 미끄러질 수 있다.
본 발명에 따른 하부 커버 지지 기구의 기능은 레티클을 지지하는데 국한되지 않는다. 도 16a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 (상부 커버가 제거된) 레티클 포드(900) 및 레티클 캐리어(901)를 도시하고, 도 16b는 동일한 실시예를 도시하는 정면도이다. 도 16c는 실시예에 따른 하부 커버 지지 기구(940)를 도시하는 사시도이다. 도 16d는 하부 커버 및 그 위에 장착된 하부 커버 지지 기구(940)를 도시한다. 도 16e는 도 16a에 도시된 바와 같은 라인 FF를 따라 하부 커버 지지 기구(940)를 도시하는 횡단면도이다.
도 16c에 도시된 바와 같이, 하부 커버 지지 기구(940)는 측면 연장부(941), 제 1 경사암(942a) 및 제 2 경사암(942b)을 갖는다. 측면 연장부(941)는 이전 실시예에서 설명된 고정부와 유사하게 기능할 수 있고 하부 커버(920)와 연결될 수 있다; 예를 들어, 도 16e에 도시된 실시예는 도 12c에 도시된 실시예와 비교될 수 있다. 제 1 경사암(942a) 및 제 2 경사암(942b)은 각각 측면 연장부(941)로부터 뻗어 있다. 구체적으로, 제 1 경사암(942a) 및 제 2 경사암(942b) 각각은 본 실시예에서 편평한 연장부와 경사 연장부로 구성된다. 도 16d는 측면 연장부(941)가 레티클 캐리어(901) 방향을 향해 약간 뻗어 있다; 한편, 제 1 경사암(942a)과 제 2 경사암(942b)은 하부 커버(920) 주변으로, 특히 하부 커버(920)의 서로 다른 가장자리를 향해 뻗어 있다. 도 16e에 도시된 바와 같이, 제 1 경사암(942a) 및 제 2 경사암(942b)은 레티클 캐리어(901)가 점차 아래로 미끄러져 적절하게 배치되도록하여, 레티클 캐리어(901)의 심한 경사를 방지한다.
종래 기술에서, 레티클을 지지하는 지지 기구의 사면, 구 또는 실린더는 반복적인 충돌로 인해 (레티클에 접하는) 접촉면이 마모될 수 있다. 이러한 충돌은 지지 기구를 더욱 마모시켜 원하지 않는 입자를 생성할 수 있다. 그리고, 마모가 심해지면, 유일한 해결책은 레티클 포드를 교체하거나 파괴식으로 레티클 포드를 분해하는 것인데, 이는 자원 낭비일 수 있다. 상기 주어진 다양한 실시예에서 설명된 바와 같이, 본 발명은 레티클이 배치될 때 버퍼를 제공할 수도 있는 퀵 릴리스 지지 기구를 제공한다. 본 발명에 따른 지지 기구가 마모되었을 때, 신속하게 교체하여 입자 발생을 줄일 수 있다. 이러한 방식으로, 전체 레티클 포드를 교체할 필요가 없다; 따라서 제조 비용과 자원 낭비를 모두 줄일 수 있다.
본 발명을 설명하기 위해 하나 이상의 실시예가 제공되었지만, 본 발명은 여기에 개시된 실시예로 국한되지 않는다는 것을 알아야 한다. 예를 들어, 본 발명에 따른 지지 기구의 구조적 형태는 실시예에 개시된 것에 국한되지 않는다. 또한, 상부 커버와 하부 커버는 동일한 구성을 갖도록 설계될 수 있다; 또는, 대안으로, 상부 커버 지지 기구 및 하부 커버 지지 기구는 상이한 구성을 갖도록 설계될 수 있다. 첨부된 청구범위에 정의된 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 모든 수정 및 유사한 배열은 본 발명에 포함되는 가장 넓은 의미로 해석되어야 한다. 본 발명의 개시는 또한 하기에 첨부된 청구 범위에 설명된 모든 실시예를 포함한다.
10: 레티클
100: 레티클 포드
120: 하부 커버
122: 운반면
124: 장착 시트
125: 캡부
140: 지지 기구
142: 지지 부재
143a: 제 1 지지 포스트
143b: 제 2 지지 포스트
144: 장착 부재
145: 가요성 레그
146: 고정 부재
147: 노치
500: 레티클 포드
520: 하부 커버
522: 운반면
524: 하부 커버 장착 시트
540: 하부 커버 지지 기구
542: 지지부
544: 장착 부재
560: 상부 커버
562: 접촉면
564: 상부 커버 장착 시트
565a: 돌출 윙부
565b: 돌출 윙부
580: 상부 커버 지지 기구
582: 접촉부
583: 조인트부
584: 개구
586: 제 1 리브
588: 제 2 리브
589: 스토퍼
600: 레티클 포드
620: 하부 커버
624: 장착 시트
640: 하부 커버 지지 기구
642: 지지 부재
644: 장착 부재
645: 가요성 레그
646: 고정 부재
700: 레티클 포드
720: 하부 커버
724: 하부 커버 고정 시트
725: 개구
740: 하부 커버 지지 기구
742: 지지부
744: 고정부
800: 레티클 포드
820: 하부 커버
840: 하부 커버 지지 기구
841: 제 1 벽
841a: 제 1 경사면
842: 제 2 벽
842a: 제 2 경사면
843: 제 3 경사면
900: 레티클 포드
901: 레티클 캐리어
920: 하부 커버
940: 하부 커버 지지 기구
941: 측면 연장부
942a: 제 1 경사암
942b: 제 2 경사암
R1: 제 1 회전 방향
R2: 제 2 회전 방향
R3: 선회방향

Claims (26)

  1. 운반면 및 상기 운반면으로부터 돌출한 복수의 장착 시트를 갖는 하부 커버; 및
    레티클 또는 레티클 캐리어를 지지하기 위해 위쪽으로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재의 반대편에 있는 장착 부재를 갖는 지지 기구를 포함하며,
    상기 장착 부재는 대응하는 하나의 상기 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 상기 지지 기구가 하부 커버에 선택적으로 적재되는 레티클 포드.
  2. 제 1 항에 있어서,
    장착 부재는 적어도 하나의 고정 부재가 레그의 원위 단부에 제공된 적어도 하나의 가요성 레그를 가지며, 대응하는 장착 시트는 가요성 레그의 고정 부재를 수용하고 고정하도록 구성된 적어도 하나의 노치를 갖는 레티클 포드.
  3. 제 1 항에 있어서,
    장착 부재는 스레딩에 의해 대응하는 장착 시트에 연결되도록 구성되고, 상기 장착 시트는 운반면으로부터 위쪽으로 뻗어 있는 스레드 포스트인 레티클 포드.
  4. 제 1 항에 있어서,
    장착 부재는 지지 기구가 대응하는 장착 시트에 대해 상대적으로 회전하는 것을 방지하기 위해 암수 연결에 의해 대응하는 장착 시트에 연결되도록 구성되는 레티클 포드.
  5. 제 3 항에 있어서,
    장착 부재는 암 커넥터이고 대응하는 장착 시트는 수 커넥터인 레티클 포드.
  6. 제 1 항에 있어서,
    지지 부재는 레티클의 바닥과 접촉하기 위한 적어도 하나의 제 1 지지 포스트 및 상기 레티클의 측면 변위를 제한하기 위한 적어도 하나의 제 2 지지 포스트를 포함하는 레티클 포드.
  7. 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버;
    운반면 및 상기 운반면 상에 위치된 복수의 하부 커버 장착 시트를 갖는 하부 커버;
    레티클 또는 레티클 캐리어의 바닥을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재의 반대편에 있는 장착 부재를 갖는 적어도 하나의 제 1 지지 기구; 및
    레티클 또는 레티클 캐리어의 상단에 접촉하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부와 연결하는 조인트부를 갖는 적어도 하나의 제 2 지지 기구를 포함하고,
    상기 장착 부재는 대응하는 하부 커버 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 상기 제 1 지지 기구가 하부 커버에 선택적으로 장착되며,
    상기 조인트부는 대응하는 상부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 제 2 지지 기구가 상부 커버에 선택적으로 장착되는 레티클 포드.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상부 장착 시트는 대응하는 조인트부에 결합되는 다수의 돌출 윙부를 갖는 레티클 포드.
  9. 제 8 항에 있어서,
    제 2 지지 기구의 조인트부는 이를 통해 정의된 개구를 갖고, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 그 내부로 들어가거나 이로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 상기 개구에 대해 상대적으로 회전하게 하는 제 2 채널을 갖는 레티클 포드.
  10. 제 9 항에 있어서,
    개구는 적어도 하나의 제 1 리브를 갖고, 상부 커버 장착 시트는 적어도 하나의 제 2 리브를 가지며, 상기 개구는 제 2 리브가 제 1 회전 방향을 따라 제 1 리브 위로 미끄러질 수 있으나 제 2 리브가 제 2 회전 방향을 따라 회전하는 것을 방지하도록 형성되는 레티클 포드.
  11. 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버;
    운반면 및 상기 운반면 상에 위치된 복수의 하부 커버 장착 시트를 갖는 하부 커버; 및
    레티클 또는 레티클 캐리어의 바닥 또는 상단에 접촉하기 위한 적어도 하나의 지지 기구를 포함하고,
    상기 지지 기구는 대응하는 상부 커버 장착 시트 또는 대응하는 하부 커버 장착 시트에 회전 가능하게 탈착식으로 연결되도록 구성된 레티클 포드.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상부 커버 장착 시트가 다수의 돌출 윙부를 갖는 레티클 포드.
  13. 제 12 항에 있어서,
    지지 기구는 레티클의 상단과 접촉하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부과 연결되는 조인트부를 가지며, 상기 조인트부는 이를 통해 형성된 개구가 있고, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 그 내부로 들어가거나 그로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 대응하는 상부 커버 장착 시트가 상기 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있게 하는 제 2 채널을 갖는 레티클 포드.
  14. 제 13 항에 있어서,
    개구는 적어도 하나의 제 1 리브를 갖고, 상부 커버 장착 시트는 적어도 하나의 제 2 리브를 가지며, 상기 개구는 제 1 회전 방향을 따라 제 1 리브 위로 미그러지게 하지만 제 2 리브가 제 2 회전 방향을 따라 회전하는 것을 방지하는 레티클 포드.
  15. 제 11 항에 있어서,
    지지 기구는 레티클의 바닥을 지지하기 위해 위로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재에 대향하는 장착 부재를 갖는 레티클 포드.
  16. 제 15 항에 있어서,
    하부 커버 장착 시트는 그를 통해 형성된 개구가 있고, 상기 개구는 지지 기구의 장착 부재가 그 내부로 들어가거나 그로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 지지 기구의 장착 부재가 상기 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있게 하는 제 2 채널을 갖는 레티클 포드.
  17. 제 11 항에 있어서,
    지지 부재는 제 1 경사면, 제 2 경사면 및 제 3 경사면을 가지며, 상기 제 1 경사면 및 상기 제 2 경사면은 레티클과 접촉하도록 구성되는 반면, 상기 제 3 경사면은 상기 제 1 및 제 2 경사면에서 떨어진 입자를 배출하기 위해 상기 제 1 경사면과 상기 제 2 경사면 사이에 끼워지는 레티클 포드.
  18. 제 17 항에 있어서,
    제 3 경사면은 다수의 경사면을 갖는 레티클 포드.
  19. 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버;
    운반면 및 상기 운반면 상에 위치된 복수의 하부 커버 장착 시트를 갖는 하부 커버;
    레티클 또는 레티클 캐리어를 지지하기 위해 위쪽으로 뻗어 있는 지지 부재 및 상기 지지 부재의 반대편에 있는 장착 부재를 갖는 적어도 하나의 제 1 지지 기구; 및
    레티클의 상단에 접하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부와 연결되는 조인트부를 갖는 적어도 하나의 제 2 지지 기구를 포함하고,
    상기 장착 부재는 대응하는 하부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 제 1 지지 기구가 선택적으로 하부 커버에 장착되며, 상기 장착 부재는 암수 연결에 의해 대응하는 하부 커버 장착 시트에 연결되도록 구성되고,
    상기 조인트부는 대응하는 상부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 제 2 지지 기구가 상부 커버에 선택적으로 장착되며, 상기 조인트부는 암수 연결에 의해 상부 커버 장착 시트에 연결되도록 구성되는 레티클 포드.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상부 커버 장착 시트는 다수의 돌출 윙부를 가지며, 상기 제 2 지지 기구의 조인트부는 그를 관통하는 개구가 있고, 상기 개구는 돌출 윙부가 그 안에 들어가거나 그로부터 이탈하게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 상기 돌출 윙부가 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있게 하는 제 2 채널을 갖는 레티클 포드.
  21. 제 19 항에 있어서,
    제 1 지지 기구의 장착 부재와 하부 커버 장착 시트 사이의 암수 연결은 상기 제 1 지지 기구가 하부 커버 장착 시트에 대해 상대적으로 회전하는 것을 방지하는 레티클 포드.
  22. 제 19 항에 있어서,
    제 1 지지 기구는 측면 연장부, 제 1 경사암 및 제 2 경사암을 가지며, 상기 제 1 경사암 및 상기 제 2 경사암은 레티클 또는 레티클 캐리어를 지지하도록 구성되는 레티클 포드.
  23. 접촉면 및 상기 접촉면 상에 위치된 복수의 상부 커버 장착 시트를 갖는 상부 커버; 및
    레티클 또는 레티클 캐리어의 상단에 접촉하기 위한 접촉부 및 상기 접촉부와 연결되는 조인트부를 갖는 지지 기구를 포함하고,
    상기 조인트부는 대응하는 상부 커버 장착 시트에 탈착식으로 연결되도록 구성되어 지지 기구가 상부 커버에 선택적으로 적재되는 레티클 포드.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상부 커버 시트는 대응하는 조인트부에 결합되는 다수의 돌출 윙부를 갖는 레티클 포드.
  25. 제 23 항에 있어서,
    지지 기구의 조인트부는 그를 통해 정의된 개구가 있고, 상기 개구는 상부 커버 장착 시트가 그 내부로 들어가거나 그로부터 이탈할 수 있게 하는 제 1 채널을 가지며, 상기 개구는 상부 커버 장착 시트가 개구에 대해 상대적으로 회전할 수 있는 제 2 채널을 갖는 레티클 포드.
  26. 제 23 항에 있어서,
    개구는 적어도 하나의 제 1 리브를 갖고, 상부 커버 장착 시트는 적어도 하나의 제 2 리브를 가지며, 상기 개구는 제 2 리브가 제 1 회전 방향을 따라 제 1 리브 위로 미끄러지지만 제 2 리브가 제 2 회전 방향을 따라 회전하는 것을 방지하도록 형성되는 레티클 포드.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000006949U (ko) * 1998-09-24 2000-04-25 원철우 반도체 포토마스크 보관케이스
KR200213357Y1 (ko) * 1998-12-02 2001-04-02 조승열 마스크 보관케이스
US8083063B2 (en) * 2009-12-29 2011-12-27 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd Reticle POD and supporting components therebetween
KR101247940B1 (ko) * 2011-01-11 2013-04-01 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 고정 구조를 구비한 ｅｕｖ 포드
US20200144086A1 (en) * 2018-11-07 2020-05-07 Entegris, Inc. Reticle support for a container

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2725087A (en) * 1954-02-23 1955-11-29 Clifford S Potter Collapsible container
US5604958A (en) * 1995-11-06 1997-02-25 National Molding Corp. Attachment system for backpacks, vests, belts and the like
US6216873B1 (en) * 1999-03-19 2001-04-17 Asyst Technologies, Inc. SMIF container including a reticle support structure
JP4357048B2 (ja) 1999-10-04 2009-11-04 信越ポリマー株式会社 精密基板収納容器
US6906783B2 (en) * 2002-02-22 2005-06-14 Asml Holding N.V. System for using a two part cover for protecting a reticle
JP4496842B2 (ja) * 2004-05-07 2010-07-07 株式会社荒川樹脂 マスクケース
US7607543B2 (en) 2005-02-27 2009-10-27 Entegris, Inc. Reticle pod with isolation system
TWM295333U (en) * 2005-10-18 2006-08-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd Positioning structure of mask box
TWM331743U (en) * 2007-08-10 2008-05-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd Photomask pod, photomask transport pod and the supporter thereof
TWI485796B (zh) * 2008-11-21 2015-05-21 Gudeng Prec Industral Co Ltd 容置薄板之容器
US7931146B2 (en) * 2009-05-19 2011-04-26 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. Photomask case structure
JP5005778B2 (ja) 2010-02-15 2012-08-22 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 レチクルポッド
TWI501910B (zh) 2011-11-17 2015-10-01 Gudeng Prec Ind Co Ltd 具有排水結構之極紫外光光罩儲存傳送盒

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000006949U (ko) * 1998-09-24 2000-04-25 원철우 반도체 포토마스크 보관케이스
KR200213357Y1 (ko) * 1998-12-02 2001-04-02 조승열 마스크 보관케이스
US8083063B2 (en) * 2009-12-29 2011-12-27 Gudeng Precision Industrial Co, Ltd Reticle POD and supporting components therebetween
KR101185750B1 (ko) * 2009-12-29 2012-09-26 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 레티클 포드 및 그 지지부재
KR101247940B1 (ko) * 2011-01-11 2013-04-01 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 고정 구조를 구비한 ｅｕｖ 포드
US20200144086A1 (en) * 2018-11-07 2020-05-07 Entegris, Inc. Reticle support for a container

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CN114815491A (zh) 2022-07-29
JP7234277B2 (ja) 2023-03-07
KR102537773B1 (ko) 2023-05-30
JP2022115767A (ja) 2022-08-09
TW202230022A (zh) 2022-08-01
US20220238362A1 (en) 2022-07-28

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