KR20220100436A - 기판처리장치용 가이드부 및 기판처리장치 - Google Patents

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김종식
강명선
노재성
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이호민
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주성엔지니어링(주)
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Abstract

본 발명은 챔버; 상기 챔버의 내부에서 적어도 하나의 기판을 지지하는 기판지지부; 상기 기판을 상기 기판지지부의 상면에 로딩 또는 언로딩하는 리프트핀; 상기 챔버의 내부에서 상기 기판지지부를 향해 가스를 분사하는 가스분사부; 및 상기 기판의 측면을 지지하는 가이드부를 포함하되, 상기 기판지지부는 상기 가이드부가 삽입되는 결합홈을 포함하고, 상기 가이드부는 상기 결합홈에 삽입되는 가이드본체 및 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 제1개구부를 포함하는 기판처리장치에 관한 것이다.

Description

기판처리장치용 가이드부 및 기판처리장치{Guide Device of Substrate Processing Apparatus and Substrate Processing Apparatus}
본 발명은 기판에 대한 증착공정, 식각공정 등과 같은 처리공정을 수행하는 기판처리장치에 관한 것이다.
일반적으로, 태양전지(Solar Cell), 반도체 소자, 평판 디스플레이 등을 제조하기 위해서는 기판 상에 소정의 박막층, 박막 회로 패턴, 또는 광학적 패턴을 형성하여야 한다. 이를 위해, 기판에 특정 물질의 박막을 증착하는 증착공정, 감광성 물질을 사용하여 박막을 선택적으로 노출시키는 포토공정, 선택적으로 노출된 부분의 박막을 제거하여 패턴을 형성하는 식각공정 등과 같은 기판에 대한 처리공정이 이루어진다. 이러한 기판에 대한 처리공정은 기판처리장치에 의해 이루어진다.
종래 기술에 따른 기판처리장치는 기판을 지지하는 기판지지부, 상기 기판지지부를 향해 가스를 분사하는 가스분사부, 및 상기 기판의 측면을 지지하는 가이드부를 포함한다. 상기 가이드부는 상기 기판의 측면을 지지하여 상기 기판의 이동을 제한한다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판처리장치는 상기 가이드부가 상기 기판지지부에 형성된 결합홈에 삽입된 형태로 배치되었다. 따라서, 상기 가스분사부가 분사한 가스가 상기 가이드부와 상기 기판지지부 사이의 틈새를 통해 상기 결합홈으로 유입된 후에 상기 결합홈으로부터 유출되면서 상기 가이드부를 들어올리는 힘을 발생시킴에 따라, 상기 결합홈으로부터 분리되는 가이드부가 발생하였다. 따라서, 종래 기술에 따른 기판처리장치는 상기 가이드부의 분리로 인해 상기 기판의 지지력이 약화되고, 이로 인해 상기 기판이 지정된 위치를 벗어남에 따라 상기 기판에 대한 처리공정의 품질이 저하되는 문제가 있었다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 기판지지부의 결합홈으로부터 가이드부가 분리되는 것을 방지할 수 있는 기판처리장치용 가이드부 및 기판처리장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치는 챔버; 상기 챔버의 내부에서 적어도 하나의 기판을 지지하는 기판지지부; 상기 기판을 상기 기판지지부의 상면에 로딩 또는 언로딩하는 리프트핀; 상기 챔버의 내부에서 상기 기판지지부를 향해 가스를 분사하는 가스분사부; 및 상기 기판의 측면을 지지하는 가이드부를 포함할 수 있다. 상기 기판지지부는 상기 가이드부가 삽입되는 결합홈을 포함할 수 있다. 상기 가이드부는 상기 결합홈에 삽입되는 가이드본체, 및 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 제1개구부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판처리장치용 가이드부는 기판처리장치의 기판지지부에 안착된 기판의 이탈을 방지하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 기판처리장치용 가이드부는 상기 기판지지부에 안착된 기판을 지지하는 가이드본체; 및 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 제1개구부를 포함할 수 있다. 상기 가이드본체는 상기 제1개구부의 적어도 일부가 상기 기판지지부의 상면으로 노출되도록 상기 기판지지부에 형성된 결합홈에 삽입될 수 있다.
본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명은 가이드부와 기판지지부 사이의 틈새를 통해 결합홈에 유입된 가스의 유량을 줄일 수 있도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명은 결합홈에서 가이드부를 들어올리는 힘을 감소시킬 수 있으므로, 가이드부가 결합홈으로부터 분리되는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명은 처리공정이 이루어지는 동안 기판의 측면을 안정적으로 지지할 수 있으므로, 처리공정이 완료된 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치의 개략적인 구성도
도 2는 본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서 기판지지부의 개략적인 사시도
도 3은 본 발명에 따른 기판처리장치에 있어서 기판지지부와 리프트핀을 도 2의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 기판처리장치를 도 2의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 7 내지 도 9는 본 발명에 따른 기판처리장치용 가이드부를 도 2의 I-I 선을 기준으로 나타낸 개략적인 측단면도
도 10은 본 발명에 따른 기판처리장치용 가이드부의 개략적인 사시도
이하에서는 본 발명에 따른 기판처리장치의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명에 따른 기판처리장치용 가이드부는 본 발명에 따른 기판처리장치에 포함될 수 있으므로, 본 발명에 따른 기판처리장치의 실시예를 설명하면서 함께 설명한다. 도 1에 도시된 본 발명에 따른 기판처리장치의 개략적인 구성도는 도 2의 I-I 선을 기준으로 하는 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 기판(100)에 대한 처리공정을 수행하는 것이다. 상기 기판(100)은 실리콘기판, 유리기판, 메탈기판 등일 수 있다. 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 기판(100)에 박막을 증착하는 증착공정, 상기 기판(100)에 증착된 박막의 일부를 제거하는 식각공정 등을 수행할 수 있다. 이하에서는 본 발명에 따른 기판처리장치(1)가 상기 증착공정을 수행하는 실시예를 기준으로 설명하나, 이로부터 본 발명에 따른 기판처리장치(1)가 상기 식각공정 등과 같이 다른 처리공정을 수행하는 실시예를 도출하는 것은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 자명할 것이다.
본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 챔버(2), 기판지지부(3), 가스분사부(4), 및 가이드부(5)를 포함할 수 있다.
<챔버>
도 1을 참고하면, 상기 챔버(2)는 처리공간(20)을 제공하는 것이다. 상기 처리공간(20)에서는 상기 기판(100)에 대한 증착공정, 식각공정 등과 같은 처리공정이 이루어질 수 있다. 상기 처리공간(20)은 상기 챔버(2)의 내부에 배치될 수 있다. 상기 챔버(2)에는 상기 처리공간(20)으로부터 가스를 배기시키는 배기구(미도시)가 결합될 수 있다. 상기 챔버(2)의 내부에는 상기 기판지지부(3)와 상기 가스분사부(4)가 배치될 수 있다.
<기판지지부>
도 1 내지 도 3을 참고하면, 상기 기판지지부(3)는 상기 기판(100)을 지지하는 것이다. 상기 기판(100)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에 지지될 수 있다. 상기 기판지지부(3)는 하나의 기판(100)을 지지할 수도 있고, 복수개의 기판(100)을 지지할 수도 있다. 상기 기판지지부(3)에 복수개의 기판(100)이 지지된 경우, 한번에 복수개의 기판(100)에 대한 처리공정이 이루어질 수 있다. 상기 기판지지부(3)는 상기 챔버(2)에 결합될 수 있다. 상기 기판지지부(3)는 상기 챔버(2)의 내부에 배치될 수 있다. 상기 기판지지부(3)는 회전축(3a, 도 2에 도시됨)을 중심으로 회전될 수도 있다.
상기 기판지지부(3)에는 리프트핀(3b)이 마련될 수 있다. 상기 리프트핀(3b)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에 상기 기판(100)을 로딩 또는 언로딩하기 위한 것이다. 상기 리프트핀(3b)은 상기 지판지지부(3)에 형성된 관통부(3c)에 위치되어서 승강부(3d)에 의해 승하강될 수 있다. 상기 승강부(3d)에 의해 상기 리프트핀(3b)이 상승되면, 상기 리프트핀(3b)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로부터 돌출될 수 있다. 이 상태에서 상기 리프트핀(3b)에 상기 기판(100)이 안착되면, 상기 리프트핀(3b)이 상기 승강부(3d)에 의해 하강될 수 있다. 상기 리프트핀(3b)의 하강에 의해 상기 기판(100)이 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에 안착됨으로써, 상기 기판(100)이 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에 로딩될 수 있다. 이 경우, 상기 리프트핀(3b)은 상기 관통부(3c)에 의해 상기 기판지지부(3)의 내부에 위치할 수 있다. 상기 기판(100)에 대한 처리공정이 완료되면, 상기 리프트핀(3b)은 상기 승강부(3d)에 의해 상승됨으로써 상기 기판(100)을 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로부터 이격시킬 수 있다. 이 상태에서 상기 리프트핀(3b)에 안착된 상기 기판(100)이 언로딩될 수 있다. 상기 기판(100)에 대한 로딩과 언로딩은 상기 기판(100)을 운반하는 기판이송장치(미도시)에 의해 이루어질 수 있다.
<가스분사부>
도 1을 참고하면, 상기 가스분사부(4)는 상기 기판지지부(3)를 향해 가스를 분사하는 것이다. 상기 가스분사부(4)는 가스공급부(40)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 가스분사부(4)는 상기 가스공급부(40)로부터 공급된 가스를 상기 기판지지부(3)를 향해 분사할 수 있다. 상기 가스분사부(4)는 상기 챔버(2)의 내부에 배치될 수 있다. 상기 가스분사부(4)는 상기 기판지지부(3)에 대향되게 배치될 수 있다. 상기 가스분사부(4)는 상기 기판지지부(3)의 상측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 가스분사부(4)와 상기 기판지지부(3)의 사이에는 상기 처리공간(20)이 배치될 수 있다. 상기 가스분사부(4)는 리드(미도시)에 결합될 수 있다. 상기 리드는 상기 챔버(2)의 상부를 덮도록 상기 챔버(2)에 결합될 수 있다.
<가이드부>
도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 가이드부(5)는 상기 기판(100)의 측면을 지지하는 것이다. 이 경우, 상기 기판(100)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에 안착된 상태일 수 있다. 상기 가이드부(5)는 상기 기판지지부(3)에 형성된 결합홈(31, 도 5에 도시됨)에 삽입될 수 있다. 상기 결합홈(31)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에서 일정 깊이로 형성된 홈(Groove)일 수 있다. 상기 가이드부(5)의 일부는 상기 결합홈(31)에 삽입되고, 나머지 일부는 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로부터 돌출될 수 있다. 상기 가이드부(5)는 상기 기판(100)의 측면으로부터 이격되어 배치될 수도 있다. 이 경우, 상기 처리공정이 이루어지는 과정에서 상기 기판(100)이 이동할 때, 상기 가이드부(5)는 상기 기판(100)이 이동 가능한 거리를 제한할 수 있다.
상기 가이드부(5)는 가이드본체(51), 및 제1개구부(52)를 포함할 수 있다.
상기 가이드본체(51)는 상기 결합홈(31)에 삽입되는 것이다. 상기 가이드본체(51)는 상기 가이드부(5)의 하부(下部)에 해당할 수 있다. 상기 가이드본체(51)가 상기 결합홈(31)에 삽입되면, 상기 가이드부(5)의 상부(上部)는 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로부터 상측으로 돌출될 수 있다. 상기 가이드본체(51)와 상기 결합홈(31)은 서로 상보적인 형태로 형성될 수 있다. 예컨대, 상기 가이드본체(51)가 원통형태로 형성된 경우, 상기 결합홈(31) 또한 원통형태로 형성될 수 있다.
상기 가이드본체(51)는 삽입방향(ID 화살표 방향)으로 이동하여 상기 결합홈(31)에 삽입될 수 있다. 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)은 상기 가스분사부(4)와 상기 기판지지부(3)가 서로 이격된 수직방향(Z축 방향)에 대해 평행한 방향으로, 상기 가스분사부(4)에서 상기 기판지지부(3)를 향하는 하측방향에 해당할 수 있다. 상기 가이드본체(51)가 상기 결합홈(31)에 삽입되는 것만으로, 상기 가이드부(5)의 상기 기판지지부(3)에 대한 결합이 이루어질 수 있다. 이 경우, 상기 가이드부(5)와 상기 기판지지부(3) 간에 용접, 체결, 접착, 부착 등과 같은 별도의 고정작업이 이루어지지 않으므로, 상기 가이드부(5)와 상기 기판지지부(3) 간의 결합으로 인해 불필요한 파티클(Paticle) 등이 발생하는 것을 차단할 수 있다. 그러나, 상기 가이드본체(51)가 상기 결합홈(31)에 삽입되는 것만으로 상기 가이드부(5)의 상기 기판지지부(3)에 대한 결합이 이루어짐에 따라, 상기 가스분사부(4)가 분사한 가스가 상기 가이드본체(51)와 상기 기판지지부(3) 사이의 틈새를 통해 상기 결합홈(31)에 유입된 후에 상기 결합홈(31)으로부터 유출되면서 상기 가이드본체(51)를 분리방향(SD 화살표 방향)으로 들어올리는 힘을 발생시키면, 상기 가이드본체(51)가 상기 결합홈(31)으로부터 분리될 수 있다. 상기 분리방향(SD 화살표 방향)은 상기 수직방향(Z축 방향)에 대해 평행하면서 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)에 대해 반대되는 방향이다. 상기 가이드본체(51)가 상기 결합홈(31)으로부터 분리되는 것을 방지하기 위해, 상기 가이드본체(51)에는 상기 제1개구부(52)가 형성될 수 있다.
상기 제1개구부(52)는 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성된 것이다. 상기 제1개구부(52)를 통해, 상기 가스분사부(4)가 분사한 가스는 상기 가이드본체(51)를 통과할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 가이드본체(51)와 상기 기판지지부(3) 사이의 틈새를 통해 상기 결합홈(31)에 유입되는 가스의 유량을 줄일 수 있으므로, 상기 결합홈(31)에서 상기 가이드본체(51)를 상기 분리방향(SD 화살표 방향)으로 들어올리는 힘을 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 제1개구부(52)를 이용하여 상기 가이드부(5)가 상기 결합홈(31)으로부터 분리되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 처리공정이 이루어지는 동안 상기 기판(100)의 측면을 안정적으로 지지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 처리공정이 완료된 기판(100)의 품질을 향상시킬 수 있다. 상기 제1개구부(52)를 통해서는 상기 가스분사부(4)가 분사한 가스뿐만 아니라 상기 처리공간(20)에 존재하는 내부기체도 통과할 수 있다. 이하에서는 상기 가스분사부(4)가 분사한 가스와 상기 처리공간(20)에 존재하는 내부기체 등을 기체로 통합하여 설명한다. 상기 제1개구부(52)는 전체적으로 원통형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 기체가 통과할 수 있는 형태이면 다각형의 장방체 형태 등과 같이 다양한 형태로 형성될 수도 있다.
상기 제1개구부(52)는 적어도 일부가 상기 기판지지부(3)의 상면으로 노출될 수 있다. 이 경우, 상기 가이드본체(51)는 상기 제1개구부(52)의 적어도 일부가 상기 기판지지부(3)의 상면으로 노출되도록 상기 결합홈(31)에 삽입될 수 있다. 상기 기판지지부(3)의 상면으로 노출된 상기 제1개구부(52)의 적어도 일부를 통해 상기 기판(100)의 측면과 상기 가이드부(5)의 사이로 유입된 기체가 상기 기판(100)의 외측방향으로 원활하게 유동될 수 있다.
상기 제1개구부(52)는 상기 기판지지부(3)의 상면에 대해 평행하게 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 기판(100)의 측면과 상기 가이드부(5)의 사이로 유입된 기체가 상기 제1개구부(52)를 통해 상기 기판(100)의 외측방향으로 원활하게 유동되도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 제1개구부(52)는 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)에 대해 수직한 방향으로 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제1개구부(52)는 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)에 대해 상이한 방향으로 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 제1개구부(52)는 상기 기판(100)의 측면을 향하는 일측에서 상기 기판(100)의 외측방향을 향하는 타측 쪽으로 연장될수록 높이가 높아지거나 높이가 낮아지도록 경사지게 형성될 수 있다.
상기 제1개구부(52)는 상기 기판지지부(3)에 안착된 기판(100) 쪽을 향하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 가이드본체(51)는 상기 제1개구부(52)가 상기 기판지지부(3)에 안착된 기판(100) 쪽을 향하도록 상기 결합홈(31)에 삽입될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 기판(100)의 측면과 상기 가이드부(5)의 사이로 유입된 기체가 상기 제1개구부(52)를 통해 상기 기판(100)의 외측방향으로 더 원활하게 유동되도록 구현될 수 있다. 상기 기판(100)이 원형인 경우, 상기 제1개구부(52)는 상기 기판(100)에 대한 법선방향으로 배치될 수 있다.
도 1 내지 도 6을 참고하면, 상기 가이드부(5)는 상측벽(53), 및 하측벽(54)을 포함할 수 있다.
상기 상측벽(53)은 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개구부(52)의 상측에 위치할 수 있다. 상기 상측벽(53)은 상기 가이드본체(51)에 상기 제1개구부(52)가 형성됨에 따라 형성된 내벽 중에서 상기 제1개구부(52)의 상측에 위치한 것일 수 있다.
상기 하측벽(54)은 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)을 기준으로 하여 상기 제1개구부(52)의 하측에 위치할 수 있다. 상기 하측벽(54)은 상기 가이드본체(51)에 상기 제1개구부(52)가 형성됨에 따라 형성된 내벽 중에서 상기 제1개구부(52)의 하측에 위치한 것일 수 있다. 상기 하측벽(54)과 상기 상측벽(53)의 사이에는 상기 제1개구부(52)가 위치할 수 있다.
여기서, 상기 상측벽(53)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)보다 더 높은 높이에 위치할 수 있다. 이에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 제1개구부(52)의 일부가 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로부터 상측으로 돌출되어서 상기 기판지지부(3)의 상측에 위치한 공간에 연통될 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이 상기 제1개구부(52)의 전부가 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로부터 상측으로 돌출되어서 상기 기판지지부(3)의 상측에 위치한 공간에 연통될 수도 있다. 이와 같이, 상기 가이드부(5)는 상기 제1개구부(52)의 적어도 일부가 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로 노출되도록 상기 결합홈(31)에 삽입될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 기판(100)의 측면과 상기 가이드부(5) 사이로 유입된 기체가 상기 제1개구부(52)를 통해 상기 기판(100)의 외측방향으로 원활하게 유동되도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로 노출된 상기 제1개구부(52)의 적어도 일부는 상기 기판지지부(3)의 상측에 위치한 공간에 연통될 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 상측벽(53)은 상기 기판지지부(3)에 안착된 기판(100)의 상면(110)과 동일한 높이에 위치할 수 있다. 즉, 상기 상측벽(53)의 높이는 상기 기판(100)의 상면(110)의 높이(110H)가 동일할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 제1개구부(52)를 통해 기체와 함께 파티클 등이 유동하더라도, 파티클 등이 상기 기판(100)의 상면(110)에 부착되는 것을 방지할 수 있도록 구현된다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 파티클 등으로 인해 상기 기판(100)의 상면(110)이 오염되는 것을 방지할 수 있으므로, 상기 처리공정이 완료된 기판(100)의 품질을 더 향상시킬 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 상기 상측벽(53)은 상기 기판지지부(3)에 안착된 기판(100)의 상면(110)보다 더 낮은 높이에 위치할 수도 있다. 즉, 상기 상측벽(53)의 높이는 상기 기판(100)의 상면(110)의 높이(110H)에 비해 더 낮을 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 제1개구부(52)를 통해 유동하는 파티클 등이 상기 기판(100)의 상면(110)에 부착되는 것을 방지하는 방지력을 더 강화할 수 있다. 이 경우에도, 상기 상측벽(53)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에 비해 더 높은 높이에 위치할 수 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 하측벽(54)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)과 동일한 높이에 위치할 수 있다. 즉, 상기 하측벽(54)의 높이는 상기 기판지지부(3)의 상면(30)의 높이가 동일할 수 있다. 이 경우, 상기 기판지지부(3)에 안착된 기판(100)의 상면(110)과 동일한 높이에 위치할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1개구부(52)가 상기 기판지지부(3)의 상측에 위치한 공간에 연통되는 면적이 증대될 수 있다. 따라서, 상기 제1개구부(52)를 통한 기체의 유동량을 증대시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1개구부(52)의 직경과 상기 기판(100)의 두께는 서로 동일하게 구현될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 상기 하측벽(54)은 상기 기판지지부(3)의 상면(30)에 비해 더 낮은 높이에 위치할 수도 있다. 즉, 상기 하측벽(54)의 높이는 상기 기판지지부(3)의 상면(30)의 높이에 비해 더 낮을 수 있다. 이에 따라, 상기 제1개구부(52)는 일부가 상기 기판지지부(3)의 상면(30)으로부터 상측으로 돌출되고, 나머지 일부가 상기 결합홈(31, 도 5에 도시됨)에 삽입될 수 있다. 즉, 상기 가이드부(5)는 상기 제1개구부(52)의 일부가 상기 결합홈(31)에 내삽되도록 배치될 수 있다.
도 1 내지 도 8을 참고하면, 상기 가이드부(5)는 연결부(55)를 포함할 수 있다.
상기 연결부(55)는 상기 제1개구부(52)에 연결되도록 상기 가이드본체(51)에 형성된 것이다. 상기 연결부(55)는 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)을 기준으로 하여 상기 가이드본체(51)의 하면(下面)(51a)을 관통하여 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 연결부(55)의 일측은 상기 제1개구부(52)에 연결되고, 상기 연결부(55)의 타측은 상기 가이드본체(51)의 하면(51a)을 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판지지부(3)와 상기 가이드부(5) 사이의 틈새를 통해 상기 결합홈(31, 도 5에 도시됨)으로 기체가 유입되더라도, 해당 기체의 적어도 일부가 상기 연결부(55)와 상기 제1개구부(52)를 통해 상기 가이드부(5)의 외부로 배출될 수 있다. 또한, 상기 연결부(55)에 의해 상기 가이드본체(51)의 하면(51a)에 대한 면적이 감소되므로, 상기 결합홈(31)으로 유입된 기체의 압력이 상기 가이드본체(51)의 하면(51a)에 작용하는 면적이 감소될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 기체로 인해 상기 가이드부(5)가 상기 결합홈(31)으로부터 분리되는 것을 방지하는 방지력을 강화할 수 있다.
상기 연결부(55)는 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)에 대해 평행하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 연결부(55)를 통해 유동하는 기체의 압력이 상기 가이드부(5)를 기울어지게 하는 방향으로 작용하는 정도를 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 연결부(55)를 통해 기체가 유동하더라도, 상기 가이드부(5)에 발생하는 흔들림 등을 줄일 수 있다.
상기 가이드부(5)는 상기 연결부(55)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 연결부들(55, 55')(도 8에 도시됨)은 상기 제1개구부(52)의 서로 다른 부분에 연결되도록 서로 이격될 수 있다. 상기 연결부들(55, 55')은 상기 가이드본체(51)의 하면(51a)에서 서로 다른 부분을 관통하여 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 연결부들(55, 55')을 통해 상기 가이드부(5)의 외부로 배출시키는 기체의 유량을 증대시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 결합홈(31)으로 유입된 기체의 압력이 상기 가이드본체(51)의 하면(51a)에 작용하는 면적을 더 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 기체로 인해 상기 가이드부(5)가 상기 결합홈(31)으로부터 분리되는 것을 방지하는 방지력을 더 강화할 수 있다. 상기 연결부들(55, 55')은 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)에 대해 평행하게 형성될 수 있다. 도 8에는 상기 가이드본체(51)에 2개의 연결부들(55, 55')이 형성된 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 가이드본체(51)에는 3개 이상의 연결부(55)들이 형성될 수도 있다.
도 1 내지 도 8을 참고하면, 상기 가이드부(5)는 차단부(56)를 포함할 수 있다.
상기 차단부(56)는 상기 제1개구부(52)의 상측에 배치된 것이다. 상기 차단부(56)는 상기 제1개구부(52)의 상부(上部)를 막도록 상기 가이드본체(51)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 차단부(56)는 상기 제1개구부(52)의 상측으로 기체가 유출되는 것을 차단할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 가이드부(5)가 상기 결합홈(31)으로부터 분리되는 것을 방지하는 방지력을 더 강화할 수 있다. 상기 제1개구부(52)의 상측으로 기체가 유출되는 경우 상기 가이드부(5)의 내부에서 유동하는 기체의 유동성이 과다하게 증가하여 상기 가이드부(5)를 상기 분리방향(SD 화살표 방향)으로 이동시키는 힘이 증가하는데, 상기 차단부(56)가 상기 제1개구부(52)의 상측으로 기체가 유출되는 것을 차단하여 상기 가이드부(5)의 내부에서 유동하는 기체의 유동성을 감소시킬 수 있기 때문이다. 상기 차단부(56)는 상기 가이드부(5)의 상부(上部)를 이룰 수 있다. 상기 차단부(56)와 상기 가이드본체(51)는 일체로 형성될 수도 있다.
도 1 내지 도 10을 참고하면, 상기 가이드부(5)는 제2개구부(57, 도 9과 도 10에 도시됨)를 포함할 수 있다.
상기 제2개구부(57)는 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성된 것이다. 기체는 상기 제2개구부(57)를 통해 상기 가이드본체(51)를 통과할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 제2개구부(57)와 상기 제1개구부(52)를 이용하여 기체를 통과시킬 수 있는 유량을 증대시킬 수 있으므로, 상기 가이드부(5)가 상기 결합홈(31)으로부터 분리되는 것을 방지하는 방지력을 더 강화할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 처리공정이 이루어지는 동안 상기 기판(100)의 측면을 더 안정적으로 지지할 수 있다.
상기 제2개구부(57)는 상기 기판지지부(3)의 상면에 대해 평행하게 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 기판(100)의 측면과 상기 가이드부(5)의 사이로 유입된 기체가 상기 제2개구부(57)를 통해 상기 기판(100)의 외측방향으로 원활하게 유동되도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 제2개구부(57)는 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)에 대해 수직한 방향으로 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 제2개구부(57)는 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)에 대해 상이한 방향으로 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 제2개구부(57)는 상기 기판(100)의 측면을 향하는 일측에서 상기 기판(100)의 외측방향을 향하는 타측 쪽으로 연장될수록 높이가 높아지거나 높이가 낮아지도록 경사지게 형성될 수 있다.
상기 제2개구부(57)와 상기 제1개구부(52)는 상기 삽입방향(ID 화살표 방향)을 따라 서로 이격될 수도 있다. 이에 따라, 상기 제2개구부(57)와 상기 제1개구부(52)는 상기 가이드본체(51)의 서로 다른 부분을 관통하여 형성될 수 있다. 상기 제2개구부(57)는 상기 제1개구부(52)에 비해 더 낮은 높이에 위치할 수 있다. 상기 연결부(55)는 상기 제2개구부(57)와 상기 제1개구부(52) 모두에 연결되도록 형성될 수 있다.
상기 제2개구부(57)와 상기 제1개구부(52)는 서로 상이한 방향으로 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 제2개구부(57)를 통과하는 기체와 상기 제1개구부(52)를 통과하는 기체가 서로 다른 방향으로 유동하므로, 기체의 압력이 어느 한 쪽으로 집중되는 것을 방지할 수 있다.
도시되지 않았지만, 상기 제2개구부(57)와 상기 제1개구부(52)는 서로 동일한 높이에서 서로 상이한 방향으로 상기 가이드본체(51)를 관통하여 형성될 수도 있다. 예컨대, 상기 제2개구부(57)와 상기 제1개구부(52)는 십자형태를 이루며 서로 직교하도록 형성될 수 있다. 도 6에는 상기 가이드부(5)에 2개의 개구부가 형성된 것으로 도시되어 있으나, 이에 한정되지 않으며 상기 가이드부(5)에는 3개 이상의 개구부가 형성될 수도 있다.
한편, 본 발명에 따른 기판처리장치(1)는 상기 가이드부(5)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 가이드부(5)들은 상기 기판(100)의 측면을 따라 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 가이드부(5)들은 서로 다른 위치에서 상기 기판(100)의 서로 다른 부분을 지지할 수 있다. 상기 기판지지부(3)에 상기 기판(100)이 복수개 지지되는 경우, 상기 기판(100)들 각각마다 복수개의 가이드부(5)들이 배치될 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
1 : 기판처리장치 2 : 챔버
3 : 기판지지부 4 : 가스분사부
5 : 가이드부 20 : 처리공간
3a : 회전축 30 : 기판지지부의 상면
31 : 결합홈 40 : 가스공급부
51 : 가이드본체 51a : 가이드본체의 하면
52 : 제1개구부 53 : 상측벽
54 : 하측벽 55, 55' : 연결부
56 : 차단부 57 : 제2개구부
100 : 기판 110 : 기판의 상면

Claims (16)

  1. 챔버;
    상기 챔버의 내부에서 적어도 하나의 기판을 지지하는 기판지지부;
    상기 기판을 상기 기판지지부의 상면에 로딩 또는 언로딩하는 리프트핀;
    상기 챔버의 내부에서 상기 기판지지부를 향해 가스를 분사하는 가스분사부; 및
    상기 기판의 측면을 지지하는 가이드부를 포함하고,
    상기 기판지지부는 상기 가이드부가 삽입되는 결합홈을 포함하며,
    상기 가이드부는 상기 결합홈에 삽입되는 가이드본체, 및 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 제1개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1개구부는 상기 기판지지부의 상면에 대해 평행하게 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1개구부는 상기 가이드본체가 상기 결합홈에 삽입되는 삽입방향에 대해 상이한 방향으로 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가이드본체는 상기 제1개구부가 상기 기판지지부에 안착된 기판 쪽을 향하도록 상기 결합홈에 삽입된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 제2개구부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2개구부와 상기 제1개구부는 상기 가이드본체가 상기 결합홈에 삽입되는 삽입방향을 따라 서로 이격된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 제2개구부와 상기 제1개구부는 서로 상이한 방향으로 상기 가이드본체를 관통하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 가이드본체가 상기 결합홈에 삽입되는 삽입방향을 기준으로 하여 상기 제1개구부의 상측에 위치하는 상측벽을 포함하고,
    상기 상측벽은 상기 기판의 상면과 동일하거나 더 낮은 높이에 위치하고, 상기 기판지지부의 상면보다 더 높은 위치에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 가이드본체가 상기 결합홈에 삽입되는 삽입방향을 기준으로 하여 상기 제1개구부의 상측에 위치하는 하측벽을 포함하고,
    상기 하측벽은 상기 기판의 상면보다 낮은 위치에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 제1개구부에 연결되도록 상기 가이드본체에 형성된 연결부를 포함하고,
    상기 연결부는 상기 가이드본체가 상기 결합홈에 삽입되는 삽입방향을 기준으로 상기 가이드본체의 하면(下面)을 관통하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 연결부는 상기 삽입방향에 대해 평행하게 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 연결부를 복수개 포함하고,
    상기 연결부들은 상기 제1개구부의 서로 다른 부분에 연결되도록 서로 이격된 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 가이드부는 상기 제1개구부의 상부(上部)를 막는 차단부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  14. 기판처리장치의 기판지지부에 안착된 기판의 이탈을 방지하기 위한 것으로,
    상기 기판지지부에 안착된 기판을 지지하는 가이드본체; 및
    상기 가이드본체를 관통하여 형성된 제1개구부를 포함하고,
    상기 가이드본체는 상기 제1개구부의 적어도 일부가 상기 기판지지부의 상면으로 노출되도록 상기 기판지지부에 형성된 결합홈에 삽입되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치용 가이드부.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제1개구부에 연결되도록 상기 가이드본체에 형성된 연결부를 포함하고,
    상기 연결부는 상기 가이드본체가 상기 결합홈에 삽입되는 삽입방향을 기준으로 하여 상기 가이드본체의 하면(下面)을 관통하여 형성된 것을 특징으로 하는 기판처리장치용 가이드부.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 가이드본체가 상기 결합홈에 삽입되는 삽입방향을 기준으로 하여 상기 제1개구부의 상측에 위치하는 상측벽을 포함하고,
    상기 상측벽은 상기 기판의 상면과 동일하거나 더 낮은 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치용 가이드부.
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