KR20220098939A - 가스센싱모듈 검사장치 - Google Patents

가스센싱모듈 검사장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 양상에 따른 가스센싱모듈 검사장치는, 측면 일영역이 개방된 수용공간을 가지는 본체부와 본체부의 수용공간 하면에 배치되고, 내부에 일단에서 타단방향으로 테스트가스가 통과하며, 상부에 안착된 가스센싱모듈의 센싱영역에 테스트가스를 전달하는 챔버와 챔버부의 상방에 위치하여 수직방향으로 승강하고, 수직 하강하여 상기 챔버부의 상부에 안착된 가스센싱모듈을 챔버부 방향으로 가압하는 가압부 및 본체부 내부에 위치하여 가압부의 승강을 제어하고, 챔버부의 안착영역에 안착된 가스센싱모듈과 전기적으로 연결되어, 가스센싱모듈에 작동 전원을 제공하며, 상기 가스센싱모듈의 센싱결과를 수신하는 제어부를 포함한다.

Description

가스센싱모듈 검사장치{INSPECTION DEVICE OF GAS SENSING MODULE}
본 발명은, 가스센싱모듈의 검사를 수행하는 검사장치에 관한 것이다.
가스센서는 일반적으로 공기중에 포함된 특정 물질의 포화도 및 존재여부를 확인하기 위한 목적으로 사용된다.
이러한 가스센서는 적용되는 장치 및 사용목적에 따라 다양한 사양으로 준비되어야 하나, 근래에는 다양한 작동환경에서 쉽게 적용 가능하도록 가스센서와 가스센서의 작동을 보조하는 각종 구성요소(Component)가 인쇄회로기판(PCB)에 실장된 모듈 타입으로 제작되어진다.
이렇듯, 모듈 형태로 제작되어지는 가스센서는 기기 및 환경에 적용하기에 앞서, 작동 여부 및 센싱 결과를 확인하여야하는 검사가 반드시 선행되어야 한다.
이러한 기술의 일환으로, 대한민국 등록특허공보 제10-186283호(출원일: 2017.11.17., 공고일: 2018.05.23., 이하 ‘종래기술’이라 함.)에서는 가스센서를 공급컵으로 덮은 뒤, 공급컵 내부공간 상에 테스트 가스를 순환시켜 가스센서의 작동을 검사하는 기술이 개시된바 있다.
하지만, 종래기술은 단일의 센서에 대한 검사 시에 밀폐, 테스트가스 공급, 센싱결과 확인, 테스트가스 제거의 과정이 순차적으로 이루어져야하기 때문에, 동시에 다수의 가스센서에 대한 검사가 어려우며, 테스트가스의 종류에 따라서는 가스센서의 센싱영역 외의 영역이 오염될 수 있는 문제점이 있었다.
또한 종래기술의 공급컵 크기를 단순히 확장시켜 복수의 센서의 검사를 수행한다 하더라도, 공급컵 내부의 센서에 테스트가스가 동일하게 공급되는 것을 기대하기 어려움은 물론, 공급컵 내부로 테스트가스를 공급 또는 배출하는 배관의 복잡도 또한 증가하게 되며, 공급컵의 크기가 증가하면 테스트 가스가 컵 내부에 충진 되어야 하는 시간 또한 증가하게 되어 결과적으로 검사시간이 지연될 수 밖에 없는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해, 가스센싱모듈의 센싱영역에만 부분적인 테스트가스를 공급하여 복수의 가스센싱모듈에 대한 동시 검사가 가능하면서, 테스트가스의 공급 및 배출 구조의 복잡도를 완화시킴과 동시에 테스트 가스가 통과하는 내부 체적을 줄여 검사시간을 단축시킬 수 있는 가스센싱모듈 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치는, 측면 일영역이 개방된 수용공간을 가지는 본체부; 상기 본체부의 수용공간 하면에 배치되고, 내부에 일단에서 타단방향으로 테스트가스가 통과하며, 상부에 안착된 가스센싱모듈의 센싱영역에 테스트가스를 전달하는 챔버부; 상기 챔버부의 상방에 위치하여 수직방향으로 승강하고, 수직 하강하여 상기 챔버부의 상부에 안착된 상기 가스센싱모듈을 상기 챔버부 방향으로 가압하는 가압부; 및 상기 본체부 내부에 위치하여 상기 가압부의 승강을 제어하고, 상기 챔버부의 안착영역에 안착된 상기 가스센싱모듈과 전기적으로 연결되어, 상기 가스센싱모듈에 작동 전원을 제공하며, 상기 가스센싱모듈의 센싱결과를 수신하는 제어부;를 포함하고, 상기 챔버부는 상부에 안착된 상기 가스센싱모듈의 센싱영역과 대응되는 위치에 테스트가스가 통과하는 내부와 연결되는 관통 홀이 형성되어, 상기 챔버부의 내부를 통과하는 테스트가스가 상기 가스센싱모듈의 센싱영역에 부분적으로 전달되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 챔버부는, 길이방향을 따라 내부공간을 가지는 몸체부분; 상상기 몸체부분의 길이방향을 기준으로 일측 단부에 위치하고, 테스트가스가 공급되는 공급관과 연결되어 상기 공급관으로부터 공급된 테스트가스를 상기 몸체부분의 내부공간에 공급하는 제1 연결부분; 상기 몸체부분의 길이방향을 기준으로 타측 단부에 위치하고, 상기 몸체부분의 내부공간에 공급된 테스트가스가 배출되는 배출관과 연결되는 제2 연결부분; 및 상기 몸체부분의 상면에 위치하여, 상기 가스센싱모듈에 대응되는 홈 형상으로 마련되되 상기 가스센싱모듈의 센싱영역에 대응되는 영역이 상기 몸체부분의 내부공간과 연결되는 관통 홀이 형성된 안착부분;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 안착부분은 상기 안착부분에 안착된 상기 가스센싱모듈의 센싱영역 주변을 지지하도록, 상기 가스센싱모듈의 안착방향을 향해 관통 홀의 둘레를 따라 연질의 실링부재가 구비된 것을 특징으로 한다.
게다가, 상기 가압부의 하면에는 상기 안착부분에 안착된 상기 가스센싱모듈의 센싱영역 후면을 가압하여 상기 가스센싱모듈과 상기 실링부재를 밀착시키며, 하방으로 상기 실링부재의 형상과 대응되게 돌출된 돌출영역을 가지는 완충부재가 구비된 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 안착부분의 관통 홀은 상기 제1 연결부분과 제2 연결부분을 상호 연결시킨 가상의 선상에서 수직 상부 위치에 형성된 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 챔버부는 상기 몸체부분의 내부공간 하면에 위치하여, 상기 제1 연결부분을 통해 공급된 테스트가스의 적어도 일부를 상기 안착부분의 관통 홀 방향으로 안내하는 안내부분;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
덧붙여, 상기 안내부분은 상기 제1 연결부분과 제2 연결부분을 상호 연결시킨 가상의 선상에 위치하고, 상기 제1 연결부분을 통해 공급된 테스트가스의 적어도 일부를 상기 안착부분의 관통 홀 방향으로 안내하는 경사면을 가진 돌출구조 형태로 마련되는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 안내부분 상기 몸체부분의 내부공간이 이루는 높이보다 낮은 높이로 돌출된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 가스센싱모듈 검사장치는, 테스트가스를 내부공간 상에 공급 또는 배출시키는 연결부분과 가스센싱모듈의 센싱영역에 테스트가스가 공급되는 안착부분의 관통 홀 및 내부공간을 통과하는 테스트가스의 일부를 관통 홀 방향으로 안내하는 안내부분의 위치를 동일 선상에 배치시킨 챔버부의 구조에 의해, 단일의 경로로 통과되는 테스트가스를 통해 복수의 가스센싱모듈에 대한 동시 검사가 가능하게 되어, 검사 대상 수 대비 검사시간을 단축시킬 수 있고, 테스트가스 이송경로의 복잡도가 완화되어 장치의 설계 및 구조 변경이 용이하며, 더 나아가 생산단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 가스센싱모듈 검사장치는, 가스센싱모듈이 안착되는 안착부분에 구비된 실링부재 및 가압부의 가스센싱모듈을 가압하는 가압면에 구비된 완충부재에 의해, 가스센싱모듈이 안착부분에 밀착되면서 센싱영역(가스센서)에만 테스트가스가 부분적으로 공급되고, 검사과정에서 챔버부의 내부를 통과하는 테스트가스가 외부로 유출되지 않아, 테스트가스에 의한 가스센싱모듈의 오염을 최소화하면서 작업자 및 검사 환경이 테스트가스에 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치를 간략하게 도시한 것이다.
도 2 내지 도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치의 챔버부를 도시한 것이다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치에 가압부에 의한 가스센싱모듈과 챔버부 간의 밀착 안착상태를 단계적으로 도시한 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 가스센싱모듈 검사장치의 실시 예를 상세히 설명한다.
각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다. 또한 본 발명의 실시 예들에 대해서 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는 것이 바람직하다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치를 간략하게 도시한 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치(10)의 구성을 설명함에 앞서, 본 발명의 가스센싱모듈 검사장치(10)의 검사대상인 가스센싱모듈(M)에 대하여 간략하게 설명하도록 한다. 가스센싱모듈(M)은 기체에 함유된 특정 물질의 존재여부 또는 농도 등을 측정하는 가스센서와 해당 가스센서의 작동 오류 검출 및 초기화 등을 수행하는 구성요소(Component)가 인쇄회로기판(PCB: Printed Circuit Board) 상에 구현된 형태로 마련될 수 있다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치(10)는 상술한 가스센싱모듈(M)의 작동유무, 회로이상 여부를 판단함과 동시에 가스센서를 통한 특정 물질의 존재여부 또는 농도 측정결과를 확인하고 측정결과를 기 저장된 데이터와 비교하여 가스센서 자체의 이상 유무를 검사할 수 있다.
도 1을 참조하여 설명하자면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치(10)는 본체부(100), 챔버부(200), 가압부(300), 제어부(400), 조작부(500) 및 디스플레이부(600)를 포함할 수 있다.
본체부(100)는 측면 일영역이 개방되어 수용공간을 가지는 형태로 마련될 수 있다. 여기서, 본체부(100)의 수용공간 상에는 후술할 챔버부(200), 가압부(300)가 배치될 수 있고, 제어부(400)의 경우 본체부(100)의 내측에 실장될 수 있으며, 조작부(500) 및 디스플레이부(600)는 조작영역과 출력영역이 본체부(100)의 외측을 향하도록 본체부(100)에 측면에 결합될 수 있다.
도 2 내지 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치의 챔버부를 도시한 것이다.
도 2 내지 도 3를 참조하여 설명하자면, 챔버부(200)는 본체부(100)의 수용공간 하면에 배치되고, 내부에 일단에서 타단방향으로 테스트가스가 통과하며, 상부에 안착된 가스센싱모듈(M)의 센싱영역에 테스트가스를 전달할 수 있고, 몸체부분(210),제1 연결부분(220), 제2 연결부분(230), 안착부분(240), 통신부분(250) 및 안내부분(260)을 포함할 수 있다. 여기서, 테스트가스를 가스센싱모듈(M)의 센싱영역에 전달한다 함은, 테스트가스를 가스센싱모듈(M)에서 가스세선(Ms)가 위치하는 영역에 제한적으로 전달함을 의미한다.
몸체부분(210)은 길이방향을 따라 내부공간을 가질 수 있다. 여기서, 몸체부분(210)의 내부공간은 후술할 제1 및 제2 연결부분(220, 230)에 의해 이송된 테스트가스가 통과하는 영역을 의미한다.
제1 연결부분(220)은 몸체부분(210)의 길이방향을 기준으로 일측 단부에 위치하고, 테스트가스가 공급되는 공급관(P1)과 연결되어 공급관(P1)으로부터 공급된 테스트가스를 몸체부분(210)의 내부공간에 공급할 수 있다.
제2 연결부분(230)은 몸체부분(210)의 길이방향을 기준으로 타측 단부에 위치하고, 몸체부분(210)의 내부공간에 공급된 테스트가스가 배출되는 배출관(P2)과 연결될 수 있다.
즉, 제1 및 제2 연결부분(220, 230)이 연결된 몸체부분(210)의 내부공간에는 제1 연결부분(220)에 의해 테스트가스가 채워지고, 제2 연결부분(230)에 의해 내부에 채워진 테스트가스가 배출됨으로써, 몸체부분(210)의 내부공간에는 길이방향을 따라 테스트가스가 통과하게 된다. 이때, 제1 및 제2 연결부분(220, 230)은 몸체부분(210)의 내부공간 상의 저면에 인접하게 몸체부분(210)에 연결될 수 있으며, 이러한 제1 및 제2 연결부분(220, 230)의 연결 위치는 후술할 안내부분(260)에 의한 테스트가스의 최적 이동 안내를 위해 설정된 것이며, 안내부분(260)의 구성 설명부분에서 좀 더 자세히 설명하도록 한다.
안착부분(240)은 몸체부분(210)의 상면에 위치하여, 가스센싱모듈(M)에 대응되는 홈 형상으로 마련되되 가스센싱모듈(M)의 가스센서(Ms) 위치에 대응되는 영역이 몸체부분(210)의 내부공간과 연결되는 관통 홀(H)이 형성될 수 있다. 다시 말해, 안착부분(240)은 가스센서(Ms)가 몸체부분(210)의 내부를 통과하는 테스트가스에 노출된 형태로 가스센싱모듈(M)이 안착될 수 있다. 이때, 안착부분(240)은 안착부분(240)에 가스센싱모듈(M)이 안착되어 가스센서(Ms)가 관통 홀(H)에 삽입될 때, 가스센서(Ms)의 주변영역을 지지하면서 몸체부분(210)의 통과하는 테스트가스가 외부로 노출되지 않도록, 가스센싱모듈(M)의 안착방향을 향해 관통 홀(H)의 둘레를 따라 연질의 실링부재(242)가 구비될 수 있다. 실링부재(242)는 후술할 가압부(300)의 하강에 의해 가스센싱모듈(M)이 안착부분(240) 방향으로 밀착될 때, 가스센싱모듈(M)에 가해진 압력을 완화시킴은 물론, 가스센서(Ms)가 관통 홀(H)에 삽입되어진 채로 안착부분(240)에 안착된 가스센싱모듈(M)의 안착영역을 통해 몸체부분(210)을 통과하는 테스트가스가 외부로 유출되는 것을 방지할 수 있게 된다.
도 2를 참조하면 안착부분(240)은 몸체부분(210)의 길이방향을 따라 일정한 간격을 이루며 복수개가 배치될 수 있으며, 이때, 안착부분(240)이 복수의 행을 이루며 배치될 경우, 제1 연결부분(220)과 제2 연결부분(230)의 수 또한, 안착부분(240)이 이루는 행의 개수에 대응하여 몸체부분(210)에 연결된 형태로 마련될 수 있다. 즉, 각 안착부분(240)은 몸체부분(210)에서 테스트가스가 통과하는 방향을 따라 매치될 수 있으며, 이때, 제1 연결부분(220)과 제2 연결부분(230)은 몸체부분(210)의 길이방향과 수직을 이루는 가상의 선을 기준으로 상호 대칭을 이루며 배치되며, 각 안착부분(240)에 형성된 관통 홀(H)은 대칭을 이루는 한 쌍의 제1 및 제2 연결부분(220, 230)을 연결하는 가상의 선상에서 수직 상부 위치에 형성될 수 있다. 이렇듯, 제1 및 제2 연결부분(230)과 안착부분(240)에 형성된 관통 홀(H)의 위치에 대한 한정은 몸체부분(210)의 내부로 테스트가스가 통과될 때, 안착부분(240)에 안착된 가스센싱모듈(M)의 가스센서(Ms) 위치에 테스트가스가 올바르게 공급되면서도, 테스트가스의 통과방향을 기준으로 후단에 안착된 가스센싱모듈(M)의 가스센서(Ms)에도 테스트가스가 전달되도록 하기 위함이다.
통신부분(250)은 안착부분(240)에 안착된 가스센싱모듈(M)과 전기적으로 연결되어 후술할 제어부(400)로부터 제공된 작동전원을 가스센싱모듈(M)에 공급함은 물론, 가스센싱모듈(M)의 구성요소에 대한 작동결과 및 가스센서(Ms) 측정결과를 제어부(400)에 제공할 수 있다. 이때, 통신부분(250)은 안착부분(240)에 안착된 가스센싱모듈(M)의 통신단자와 연결되는 핀과 제어부(400)와 가스센싱모듈(M) 간의 전기적 신호를 전달하는 FPCB(Flexible PCB) 형태의 통신회로가 결합된 형태로 마련될 수 있으며, 제어부(400)를 통한 통신 대상의 식별이 가능하도록 각 안착영역(240)마다 개별적으로 구성될 수 있다.
도 3을 참조하여 설명하자면, 안내부분(260)은 몸체부분(210)의 내부공간 하면에 위치하여, 제1 연결부분(220)을 통해 공급된 테스트가스의 적어도 일부를 안착부분(240)의 관통 홀(H) 방향으로 안내할 수 있다. 여기서, 안내부분(260)은 제1 연결부분(220)과 제2 연결부분(230)을 상호 연결시킨 가상의 선상에 위치하고, 제1 연결부분(220)을 통해 공급된 테스트가스의 적어도 일부를 안착부분(240)의 관통 홀(H) 방향으로 안내하는 경사면을 가진 돌출구조 형태로 마련되되, 돌출구조의 최대 높이는 몸체부분의 내부공간이 이루는 높이보다 낮은 높이를 가지도록 마련될 수 있다. 따라서. 제1 연결부분(220)으로부터 공급된 테스트가스는 안내부분(260)의 경사면을 따라 상방의 관통 홀(H) 방향으로 안내되고, 제1 연결부분(220)을 통해 지속적으로 공급되는 테스트가스 및 가스센서(Ms)에 공급된 이후의 테스트 가스는 후방으로 통과하여, 몸체부분(210)의 내부공간을 통과하게 된다. 즉, 안착부분(240)에 형성된 관통 홀(H) 및 안내부분(260)의 형성 위치가 몸체부분(210)의 길이방향과 수직을 이루는 가상의 선을 기준으로 상호 대칭되게 배치된 제1 및 제2 연결부분(220, 230)이 이루는 가상의 선상에 위치하여, 몸체부분(210)의 내부공간을 통과하는 테스트가스의 일부를 상부에 안착된 가스센싱모듈(M)의 가스센서(Ms)에 전달하고 그 중 일부를 후단으로 통과시고, 마찬가지의 방식으로 후단에서도 테스트가스의 전달 및 통과가 연속적으로 이뤄질 수 있게 된다. 이때, 후술할 가압부(300)의 가압에 의해 실링부재(242)에 가스센싱모듈(M)이 안착부분(240)에 밀착된 채로 안착될 수 있게 되어, 가스센서(Ms)에 전달된 가스는 안착부분(240)을 통해 외부로 유출되지 않고, 몸체부분(210)의 테스트가스 통과 경로를 따라 후단으로 통과됨에 따라, 복수의 가스센싱모듈(M)에 개별적으로 테스트가스를 제공하지 않아도 단일의 테스트가스 경로 상에서의 복수의 가스센싱모듈(M)에 대한 동시 검사가 가능하게 된다.
도 4 내지 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치에 가압부에 의한 가스센싱모듈과 챔버부 간의 밀착 안착상태를 단계적으로 도시한 것이다.
도1, 도 4 내지 도 5를 참고하여 설명하자면, 가압부(300)는 챔버부(200)의 상방에 위치하여 후술할 제어부(400)의 제어에 의해 수직방향으로 승강하고, 수직 하강하여 챔버부(200)의 상부에 안착된 가스센싱모듈(M)을 챔버부(200) 방향으로 가압할 수 있다. 여기서, 가압부(300)의 하면에는 안착부분(240)에 안착된 가스센싱모듈(M)의 가스센서(Ms)의 센싱영역 후방을 가압하여 가스센서(Ms)가 관통 홀(H)에 위치한 상태로 가스센싱모듈(M)과 실링부재(242)를 밀착시키며, 하방으로 실링부재(242)의 형상과 대응되게 돌출된 돌출영역을 가지는 완충부재(310)가 구비될 수 있다.
여기서, 완충부재(310)는 탄성복원력을 가지는 재질로 마련되며, 도 4에서와 같이, 가압부(300)의 하면에 결합된 영역이 이루는 폭이, 가스센싱모듈(M)을 가압하는 영역이 이루는 폭보다 크게 마련된 상관하협한 구조를 가지고, 가스센싱모듈(M)을 가압하는 영역의 폭은 안착부분(240)이 이루는 폭보다 작고, 가압부(300)의 하면에 결합된 영역의 폭은 안착부분(240)이 이루는 폭보다 크게 마련되어 가압부(300)가 수직 하강되면서 완충부재(310)가 가스센싱모듈(M)을 가압하게 되면, 안착부분(240)의 상부 테두리를 따라 밀착되어 안착부분(240)을 밀폐시키게 된다.
또한, 완충부재(310)의 하면 일영역에는 안착부분(240)에 구비된 실링부재(242)의 형상과 대응되게 하방으로 돌출된 돌출영역을 가질 수 있으며, 이러한 돌출영역에 의해 가스센싱모듈(M)과 실링부재(242) 간의 밀착력이 증대됨은 물론, 가스센서(Ms)의 위치가 아닌 이외의 영역에 압력에 가해짐으로 인해 발생할 수 있는 가스센싱모듈(M)의 구성요소의 파손 및 PCB 손상 등을 방지할 수 있게 된다.
제어부(400)는 본체부(100) 내부에 위치하여 가압부(300)의 승강을 제어하고, 통신부분(250)과 케이블 등으로 연결되어 통신부분(250)을 통해 가스센싱모듈(M)에 작동 전원을 제공하며, 가스센싱모듈(M)의 센싱결과를 수신할 수 있다. 여기서, 제어부(400)는 미리 설정된 작동 순서에 따라 가압부(300) 및 챔버부(200)의 통신부분(250)에 전기신호를 전송할 수 있다. 제어부(400)에 의한 작동 제어는 조작부(600)의 구성 설명 이후에 좀 더 자세히 설명하도록 한다.
조작부(500)는 조작에 따라 생성된 제어신호를 제어부(400)에 전달할 수 있다. 여기서, 조작부(500)는 가압에 의해 작동되는 푸쉬 스위치 형태로 마련될 수 있으며, 조작부(500)로부터 생성된 제어신호에 따른 제어부(400)의 작동 제어의 예는 다음과 같다.
우선, 챔버부(200)의 안착부분(240)에 가스센싱모듈(M)이 올린 뒤, 작업자가 조작부(500)를 조작하게 되면, 도 5에서와 같이, 제어부(400)는 조작부(500)로부터 생성된 제어신호를 통해 가압부(300)를 미리 설정된 높이만큼 하강시켜 압착부분(240)에 안착된 가스센싱모듈(M)을 챔버부(200)와 밀착시키게 된다. 가압부(300)의 하강이 완료되면, 제어부(400)는 가스센싱모듈(M)을 작동시킴과 동시에 가스센싱모듈(M)의 구성요소의 작동오류를 검출하기 위한 작동신호를 통신부분(250)을 통해 가스센싱모듈(M)에 공급할 수 있다. 여기서, 통신부분(250)은 접촉을 통해 가스센싱모듈(M)의 인쇄회로기판 또는 칩셋에 접속하는 프로브(Probe) 타입으로 마련될 수 있으며, 가압부(300)의 하강에 의해 가스센싱모듈(M)이 안착부분(240)의 하방으로 밀착되어질 때, 가스센싱모듈(M)과 접촉하여 전기적으로 연결될 수 있다.
이후, 제어부(400)는 통신부분(250)을 통해 수신된 가스센싱모듈(M)의 작동상태에 대한 정보로부터 가스센싱모듈(M) 자체의 이상 유무를 확인하고, 후술될 디스플레이부(600)를 통해 결과를 출력시킬 수 있다. 이후, 공급관(P1)과 배출관(P2)을 통해 챔버부(200)의 내부공간에 테스트가스가 통과하게 되면, 제어부(400)는 통신부분(250)을 통해 가스센서(Ms)의 센싱 결과를 가스센싱모듈(M)로부터 수신하여 디스플레이부(600)를 통해 센싱결과를 출력하게 된다.
여기서, 제어부(400)는 챔버부(200)의 내부공간에 테스트가스가 통과되도록 테스트가스의 이송을 제어할 수도 있으며, 테스트가스를 순환시키는 순환장치(미도시)를 직접적으로 제어하거나, 제1 및 제2 연결부분(220, 230)의 개폐를 제어하는 방식으로 테스트가스의 이송을 제어할 수 있다. 후자의 경우, 제1 및 제2 연결부분(220, 230)은 전기신호에 따라 개폐 및 개폐 정도의 제어가 가능한 솔레노이드 밸브(Solenoid Valve)형태로 마련될 수 있다. 제1 및 제2 연결부분(220, 230)가 솔레노이드 밸브로 마련될 경우, 제어부(400)는 가스센싱모듈(M)의 이상 유무 확인 이후에, 제1 및 제2 연결부분(220, 230)을 개폐를 제어하여 챔버부(200)의 내부공간에 테스트가스를 공급할 수 있으며, 테스트가스가 챔버부(200)의 내부공간 상에 충분히 공급된 이후에 가스센서(Ms)의 센싱결과를 수신하여 디스플레이부(600)에 출력시킬 수 있다.
이때, 챔버부(200) 내에 테스트가스를 통과시키기 위한 제어부(400)의 제1 및 제2 연결부분(220, 230) 개폐조작 시에, 제1 연결부분(220)을 제2 연결부분(230)보다 더 개방시킬 수 있다. 다시 말해, 챔버부(200) 내부에 공급되는 테스트가스량은 배출되는 양보다 적게 유지시켜, 챔버부(200) 내부공간 상에 테스트가스가 골고루 분포된 이후에 가스센서(Ms)의 센싱결과를 확인하여 가스센서(Ms) 자체의 이상 유무 확인의 정확도를 높일 수 있다. 또한, 제어부(400)는 센싱결과가 출력된 이후에는 테스트가스의 공급이 차단된 상태에서 제1 연결부분(220)의 제2 연결부분(230)을 완전 개방시킨 상태에서 소정의 시간동안 챔버부(200)의 내부공간에 잔류된 테스트가스를 배출시킨 뒤, 가압부(300)를 미리 설정된 높이만큼 상승시켜 작업자가 가스센싱모듈(M)을 안착부분(240)으로부터 분리함으로써 복수의 가스센싱모듈(M)에 대한 동시 검사가 완료되어진다.
디스플레이부(6)0)는 제어부(400)에 의해 판단된 가스센싱모듈(M)의 작동유무, 회로 이상 및 센싱결과를 시각적으로 출력시킬 수 있다. 여기서, 디스플레이부(600)는 제어부(400)의 제어에 의한 단계적 작동상태를 표시하는 작동확인부분(610) 및 가스센싱모듈(M)의 작동 상태와 가스센서(Ms)에 의한 센싱 결과가 출력되는 결과출력부분(620)이 포함될 수 있다. 여기서, 작동확인부분(610) 및 결과출력부분(620)에 출력되는 결과에는 안착부분(240)에 안착된 가스센싱모듈(M)의 안착 위치(예를 들면, ‘1행 2열’, ‘2행 1열’)에 대한 정보가 함께 출력될 수 있다.
즉, 본 발명의 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치는, 테스트가스를 내부공간 상에 공급 또는 배출시키는 연결부분과 가스센싱모듈의 센싱영역에 테스트가스가 공급되는 안착부분의 관통 홀 및 내부공간을 통과하는 테스트가스의 일부를 관통 홀 방향으로 안내하는 안내부분의 위치를 동일 선상에 배치시킨 챔버부의 구조에 의해, 단일의 경로로 통과되는 테스트가스를 통해 복수의 가스센싱모듈에 대한 동시 검사가 가능하게 되어, 검사 대상 수 대비 검사시간을 단축시킬 수 있고, 테스트가스 이송경로의 복잡도가 완화되어 장치의 설계 및 구조 변경이 용이하며, 더 나아가 생산단가를 낮출 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 가스센싱모듈 검사장치는, 가스센싱모듈이 안착되는 안착부분에 구비된 실링부재 및 가압부의 가스센싱모듈을 가압하는 가압면에 구비된 완충부재에 의해, 가스센싱모듈이 안착부분에 밀착되면서 센싱영역(가스센서)에만 테스트가스가 부분적으로 공급되고, 검사과정에서 챔버부의 내부를 통과하는 테스트가스가 외부로 유출되지 않아, 테스트가스에 의한 가스센싱모듈의 오염을 최소화하면서 작업자 및 검사 환경이 테스트가스에 오염되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
상기한 본 발명의 실시 예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대해 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 하기의 특허 청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.
10: 가스센싱모듈 검사장치
100: 본체부
200: 챔버부
210: 몸체부분
220: 제1 연결부분
230: 제2 연결부분
240: 안착부분
242: 실링부재
250: 통신부분
260: 안내부분
300: 가압부
310: 완충부재
400: 제어부
500: 조작부
600: 디스플레이부
610: 작동확인부분
620: 결과출력부분
H: 관통 홀
M: 가스센싱모듈
Ms: 가스센서
P1: 공급관
P2: 배출관

Claims (8)

  1. 측면 일영역이 개방된 수용공간을 가지는 본체부;
    상기 본체부의 수용공간 하면에 배치되고, 내부에 일단에서 타단방향으로 테스트가스가 통과하며, 상부에 안착된 가스센싱모듈의 센싱영역에 테스트가스를 전달하는 챔버부;
    상기 챔버부의 상방에 위치하여 수직방향으로 승강하고, 수직 하강하여 상기 챔버부의 상부에 안착된 상기 가스센싱모듈을 상기 챔버부 방향으로 가압하는 가압부; 및
    상기 본체부 내부에 위치하여 상기 가압부의 승강을 제어하고, 상기 챔버부의 안착영역에 안착된 상기 가스센싱모듈과 전기적으로 연결되어, 상기 가스센싱모듈에 작동 전원을 제공하며, 상기 가스센싱모듈의 센싱결과를 수신하는 제어부;를 포함하고,
    상기 챔버부는 상부에 안착된 상기 가스센싱모듈의 센싱영역과 대응되는 위치에 테스트가스가 통과하는 내부와 연결되는 관통 홀이 형성되어, 상기 챔버부의 내부를 통과하는 테스트가스가 상기 가스센싱모듈의 센싱영역에 부분적으로 전달되는 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 챔버부는,
    길이방향을 따라 내부공간을 가지는 몸체부분;
    상기 몸체부분의 길이방향을 기준으로 일측 단부에 위치하고, 테스트가스가 공급되는 공급관과 연결되어 상기 공급관으로부터 공급된 테스트가스를 상기 몸체부분의 내부공간에 공급하는 제1 연결부분;
    상기 몸체부분의 길이방향을 기준으로 타측 단부에 위치하고, 상기 몸체부분의 내부공간에 공급된 테스트가스가 배출되는 배출관과 연결되는 제2 연결부분; 및
    상기 몸체부분의 상면에 위치하여, 상기 가스센싱모듈에 대응되는 홈 형상으로 마련되되 상기 가스센싱모듈의 센싱영역에 대응되는 영역이 상기 몸체부분의 내부공간과 연결되는 관통 홀이 형성된 안착부분;을 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 안착부분은 상기 안착부분에 안착된 상기 가스센싱모듈의 센싱영역 주변을 지지하도록, 상기 가스센싱모듈의 안착방향을 향해 관통 홀의 둘레를 따라 연질의 실링부재가 구비된 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 가압부의 하면에는 상기 안착부분에 안착된 상기 가스센싱모듈의 센싱영역 후면을 가압하여 상기 가스센싱모듈과 상기 실링부재를 밀착시키며, 하방으로 상기 실링부재의 형상과 대응되게 돌출된 돌출영역을 가지는 완충부재가 구비된 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 안착부분의 관통 홀은 상기 제1 연결부분과 제2 연결부분을 상호 연결시킨 가상의 선의 수직 상부 위치에 형성된 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 챔버부는 상기 몸체부분의 내부공간 하면에 위치하여, 상기 제1 연결부분을 통해 공급된 테스트가스의 적어도 일부를 상기 안착부분의 관통 홀 방향으로 안내하는 안내부분;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 안내부분은 상기 제1 연결부분과 제2 연결부분을 상호 연결시킨 가상의 선상에 위치하고, 상기 제1 연결부분을 통해 공급된 테스트가스의 적어도 일부를 상기 안착부분의 관통 홀 방향으로 안내하는 경사면을 가진 돌출구조 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 안내부분 상기 몸체부분의 내부공간이 이루는 높이보다 낮은 높이로 돌출된 것을 특징으로 하는 가스센싱모듈 검사장치.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0318939Y2 (ko) * 1983-08-05 1991-04-22
JPH0521906U (ja) * 1991-09-06 1993-03-23 住友電気工業株式会社 ガス分圧測定用センサの較正装置
JPH10326813A (ja) * 1997-05-26 1998-12-08 Matsushita Electric Works Ltd 圧力センサの特性測定装置
KR101613655B1 (ko) * 2015-05-27 2016-04-29 주식회사 그린솔루스 가스상 악취물질 측정센서의 테스트 장치 및 방법

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0318939Y2 (ko) * 1983-08-05 1991-04-22
JPH0521906U (ja) * 1991-09-06 1993-03-23 住友電気工業株式会社 ガス分圧測定用センサの較正装置
JPH10326813A (ja) * 1997-05-26 1998-12-08 Matsushita Electric Works Ltd 圧力センサの特性測定装置
KR101613655B1 (ko) * 2015-05-27 2016-04-29 주식회사 그린솔루스 가스상 악취물질 측정센서의 테스트 장치 및 방법

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