JPH10326813A - 圧力センサの特性測定装置 - Google Patents
圧力センサの特性測定装置Info
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- JPH10326813A JPH10326813A JP13497097A JP13497097A JPH10326813A JP H10326813 A JPH10326813 A JP H10326813A JP 13497097 A JP13497097 A JP 13497097A JP 13497097 A JP13497097 A JP 13497097A JP H10326813 A JPH10326813 A JP H10326813A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 機械的応力の発生を抑え、高精度で特性測定
のできる圧力センサの特性測定装置を提供する。 【解決手段】 ＩＣソケット４１が設置された配線基板
４と、内部の中空部５３につながり圧力導入管１７を差
し込む圧力導入孔５４を複数有する圧力印加治具５とを
有してなり、圧力導入孔５４を圧力導入管１７の外周形
状より大きく形成し、圧力導入孔５４の内周面には弾性
を有する材料で形成され、内部に気体を注入することに
より膨張するリング状部材５５を設置し、圧力導入管１
７を圧力導入孔５４に挿入した状態でリング状部材５５
の内部に気体を注入することにより、圧力導入孔５４の
内周面と圧力導入管１７の外周面との隙間を埋めるよう
にし、圧力印加治具５から圧力導入管１７を介して圧力
をダイアフラム１６に印加し、ダイアフラム１６のたわ
みに応じて発生した電気信号を外部端子１８を介して取
り出すようにした。
のできる圧力センサの特性測定装置を提供する。 【解決手段】 ＩＣソケット４１が設置された配線基板
４と、内部の中空部５３につながり圧力導入管１７を差
し込む圧力導入孔５４を複数有する圧力印加治具５とを
有してなり、圧力導入孔５４を圧力導入管１７の外周形
状より大きく形成し、圧力導入孔５４の内周面には弾性
を有する材料で形成され、内部に気体を注入することに
より膨張するリング状部材５５を設置し、圧力導入管１
７を圧力導入孔５４に挿入した状態でリング状部材５５
の内部に気体を注入することにより、圧力導入孔５４の
内周面と圧力導入管１７の外周面との隙間を埋めるよう
にし、圧力印加治具５から圧力導入管１７を介して圧力
をダイアフラム１６に印加し、ダイアフラム１６のたわ
みに応じて発生した電気信号を外部端子１８を介して取
り出すようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧力センサの圧力
特性を測定する特性測定装置に関するものである。
特性を測定する特性測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ダイアフラム構造を有する圧力センサ
は、ピエゾ効果を利用したものであり、図３に示すよう
に、シリコン基板からなる半導体基板１１の表面にはピ
エゾ抵抗１２、フィールド酸化膜１３、シリコン窒化膜
１４及びピエゾ抵抗１２から電極を取り出すための電極
配線１５が形成されており、裏面側は異方性エッチング
技術により半導体基板１１を異方性エッチングし、ダイ
アフラム１６が形成されている。そして、これらをカバ
ーで覆って圧力センサ本体をなす。この圧力センサ本体
と後述の圧力導入管及び電極配線１５に接続された外部
端子とで圧力センサが構成される。１９は電極配線１５
とオーミックに接続する電極パッドである。
は、ピエゾ効果を利用したものであり、図３に示すよう
に、シリコン基板からなる半導体基板１１の表面にはピ
エゾ抵抗１２、フィールド酸化膜１３、シリコン窒化膜
１４及びピエゾ抵抗１２から電極を取り出すための電極
配線１５が形成されており、裏面側は異方性エッチング
技術により半導体基板１１を異方性エッチングし、ダイ
アフラム１６が形成されている。そして、これらをカバ
ーで覆って圧力センサ本体をなす。この圧力センサ本体
と後述の圧力導入管及び電極配線１５に接続された外部
端子とで圧力センサが構成される。１９は電極配線１５
とオーミックに接続する電極パッドである。
【０００３】この圧力センサの動作原理は、ダイアフラ
ム１６が圧力を受けてたわむと、ピエゾ抵抗１２にはた
わみ量に応じた応力が発生する。この応力に応じてピエ
ゾ抵抗１２の抵抗値が変化し、これを電気信号の変化と
して検知するものである。
ム１６が圧力を受けてたわむと、ピエゾ抵抗１２にはた
わみ量に応じた応力が発生する。この応力に応じてピエ
ゾ抵抗１２の抵抗値が変化し、これを電気信号の変化と
して検知するものである。
【０００４】この圧力センサの特徴としては、シリコン
を用いているので、従来のブルドン管式のものと比較し
て小型で高感度である点や、再現性が良く、信頼性も高
いという点があげられる。
を用いているので、従来のブルドン管式のものと比較し
て小型で高感度である点や、再現性が良く、信頼性も高
いという点があげられる。
【０００５】このような圧力センサの圧力特性を測定す
るための測定設備は、一般的には、圧力発生器、定電圧
電源または定電流電源、電圧計または電流計、恒温槽及
びこれらを自動制御するためのコントローラ等で構成さ
れている。そして、測定すべき圧力センサを、圧力を印
加するための圧力印加治具に組み込み、圧力センサから
圧力特性を示す信号を外部に出力するための出力取出し
部とともに恒温槽の中に入れて、所定の温度状態での諸
特性を測定する。
るための測定設備は、一般的には、圧力発生器、定電圧
電源または定電流電源、電圧計または電流計、恒温槽及
びこれらを自動制御するためのコントローラ等で構成さ
れている。そして、測定すべき圧力センサを、圧力を印
加するための圧力印加治具に組み込み、圧力センサから
圧力特性を示す信号を外部に出力するための出力取出し
部とともに恒温槽の中に入れて、所定の温度状態での諸
特性を測定する。
【０００６】ここで、図４に示すように、圧力印加治具
２は、アルミ等の金属製で、内部に中空部２１を有し、
中空部２１とつながり、圧力センサ本体１内のダイアフ
ラム１６に圧力を導入する圧力導入管１７に対応した複
数の圧力導入孔２２を有している。出力取出し部として
は、配線基板３に複数のＩＣソケット３１を装着したも
のを用いる。
２は、アルミ等の金属製で、内部に中空部２１を有し、
中空部２１とつながり、圧力センサ本体１内のダイアフ
ラム１６に圧力を導入する圧力導入管１７に対応した複
数の圧力導入孔２２を有している。出力取出し部として
は、配線基板３に複数のＩＣソケット３１を装着したも
のを用いる。
【０００７】配線基板３のＩＣソケット３１に、測定す
べき圧力センサの電気信号を外部へ取り出すための外部
端子１８を、圧力導入管１７が配線基板３側と逆方向を
向くようにして差し込み、次に、圧力導入孔２２に圧力
導入管１７が嵌まるようにして圧力印加治具２を装着す
る。この時、配線基板３と圧力印加治具２との間のスペ
ーサとしてのストッパー３２を両者間に介在させる。ス
トッパー３２は予め配線基板３に固定されており、圧力
印加治具２とストッパー３２とはネジ２３により固定す
る。圧力印加治具２には、圧力配管２４が設けられてお
り、圧力配管２４から中空部２１を介して圧力が圧力導
入孔２２に導入され、更には、圧力導入管１７を介して
圧力センサ本体１内のダイアフラム１６に導入されるよ
うになっている。
べき圧力センサの電気信号を外部へ取り出すための外部
端子１８を、圧力導入管１７が配線基板３側と逆方向を
向くようにして差し込み、次に、圧力導入孔２２に圧力
導入管１７が嵌まるようにして圧力印加治具２を装着す
る。この時、配線基板３と圧力印加治具２との間のスペ
ーサとしてのストッパー３２を両者間に介在させる。ス
トッパー３２は予め配線基板３に固定されており、圧力
印加治具２とストッパー３２とはネジ２３により固定す
る。圧力印加治具２には、圧力配管２４が設けられてお
り、圧力配管２４から中空部２１を介して圧力が圧力導
入孔２２に導入され、更には、圧力導入管１７を介して
圧力センサ本体１内のダイアフラム１６に導入されるよ
うになっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような圧力センサの圧力特性測定方法にあっては、圧力
センサの圧力導入管１７と圧力印加治具２の圧力導入孔
２２との間に水平方向の位置ずれが発生した場合に、圧
力導入管１７に圧力印加治具２により水平方向を主とし
た応力が加わる。この応力が圧力センサ本体１内のダイ
アフラム１６に加わり、圧力特性が変化してしまう。さ
らに、１つの圧力印加治具２で複数の圧力センサの特性
測定をするように、圧力印加治具２が一体型に形成され
ているので、１つの圧力センサの位置ずれが全体のずれ
となり、他の圧力センサにも応力がかかることになる。
ような圧力センサの圧力特性測定方法にあっては、圧力
センサの圧力導入管１７と圧力印加治具２の圧力導入孔
２２との間に水平方向の位置ずれが発生した場合に、圧
力導入管１７に圧力印加治具２により水平方向を主とし
た応力が加わる。この応力が圧力センサ本体１内のダイ
アフラム１６に加わり、圧力特性が変化してしまう。さ
らに、１つの圧力印加治具２で複数の圧力センサの特性
測定をするように、圧力印加治具２が一体型に形成され
ているので、１つの圧力センサの位置ずれが全体のずれ
となり、他の圧力センサにも応力がかかることになる。
【０００９】さらには、複数のネジ２３により圧力印加
治具２を固定していた場合に、ネジ２３の締め付けトル
クにばらつきがあると、圧力印加治具２にわずかな傾き
や反りが生じ、圧力センサの圧力導入管１７に、前記と
同様の応力が加わり、圧力特性の変動が起こるという問
題があった。
治具２を固定していた場合に、ネジ２３の締め付けトル
クにばらつきがあると、圧力印加治具２にわずかな傾き
や反りが生じ、圧力センサの圧力導入管１７に、前記と
同様の応力が加わり、圧力特性の変動が起こるという問
題があった。
【００１０】本発明は、上記の点に鑑みてなしたもので
あり、その目的とするところは、機械的応力の発生を抑
え、高精度で特性測定のできる圧力センサの特性測定装
置を提供することにある。
あり、その目的とするところは、機械的応力の発生を抑
え、高精度で特性測定のできる圧力センサの特性測定装
置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイアフラム
に圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラムのた
わみに応じて出力される電気信号を外部に取り出す外部
端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定するた
めの特性測定装置であって、複数の圧力センサ本体を実
装できるＩＣソケットが設置された配線基板と、内部に
中空部を有し、該中空部につながり前記圧力導入管を差
し込む圧力導入孔を複数有する圧力印加治具とを有して
なり、前記圧力印加治具の圧力導入孔を前記圧力導入管
の外周形状より大きく形成するとともに、圧力導入孔の
内周面には弾性を有する材料で形成され、内部に気体を
注入することにより膨張するリング状部材を設置し、前
記ＩＣソケットに前記圧力センサの外部端子を装着し、
前記圧力導入管を前記圧力導入孔に挿入した状態で前記
リング状部材の内部に気体を注入することにより、圧力
導入孔の内周面と圧力導入管の外周面との隙間を埋める
ようにし、前記圧力印加治具の中空部から圧力導入管を
介して圧力をダイアフラムに印加するようにし、導入し
た圧力により生じたダイアフラムのたわみに応じて発生
した電気信号を外部端子及びＩＣソケットを介して取り
出すようにしたことを特徴とするものである。
圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイアフラム
に圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラムのた
わみに応じて出力される電気信号を外部に取り出す外部
端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定するた
めの特性測定装置であって、複数の圧力センサ本体を実
装できるＩＣソケットが設置された配線基板と、内部に
中空部を有し、該中空部につながり前記圧力導入管を差
し込む圧力導入孔を複数有する圧力印加治具とを有して
なり、前記圧力印加治具の圧力導入孔を前記圧力導入管
の外周形状より大きく形成するとともに、圧力導入孔の
内周面には弾性を有する材料で形成され、内部に気体を
注入することにより膨張するリング状部材を設置し、前
記ＩＣソケットに前記圧力センサの外部端子を装着し、
前記圧力導入管を前記圧力導入孔に挿入した状態で前記
リング状部材の内部に気体を注入することにより、圧力
導入孔の内周面と圧力導入管の外周面との隙間を埋める
ようにし、前記圧力印加治具の中空部から圧力導入管を
介して圧力をダイアフラムに印加するようにし、導入し
た圧力により生じたダイアフラムのたわみに応じて発生
した電気信号を外部端子及びＩＣソケットを介して取り
出すようにしたことを特徴とするものである。
【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記リング状部材に注入するための気体を
導入する気体導入配管を前記圧力印加治具の内部に設け
るようにしたことを特徴とするものである。
明において、前記リング状部材に注入するための気体を
導入する気体導入配管を前記圧力印加治具の内部に設け
るようにしたことを特徴とするものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を図面に基づき説明する。図１は、本発明の実施の形態
の一例に係る圧力センサの特性測定装置の断面を示す模
式図である。４は配線基板であり、表面側にはＩＣソケ
ット４１が実装されている。５は圧力印加治具であり、
アルミ等の金属製の上下の板状部５１、５２で構成さ
れ、内部に中空部５３を有し、板状部５２には、中空部
５３とつながり、圧力センサ本体１内のダイアフラム１
６に圧力を導入する圧力導入管１７に対応した複数の圧
力導入孔５４が形成されている。圧力導入孔５４は、圧
力導入管１７の外周形状より大きく形成されており、圧
力導入管１７の挿入がしやすいようになっている。圧力
導入孔５４の内周面にはリング状部材５５が装着されて
いる。リング状部材５５は、ゴムチューブ等の柔軟性及
び弾性を有する部材で形成され、内部が中空になってお
り、中空の部分に気体を注入し膨らませることにより、
図２に示すように、リング状になり圧力導入管１７と密
着し、圧力導入孔５４と圧力導入管１７との隙間を埋め
るようになっている。従って、この状態では、圧力印加
治具５で印加される圧力が外部に漏れないようになって
いる。５６はリング状部材５５に注入する気体を導入す
る気体導入配管であり、圧力印加治具５を構成する圧力
導入孔５４が形成された方の板状部５２の内部に設けら
れる。リング状部材５５に注入する気体は空気や窒素ガ
ス等でよい。気体導入配管５６は板状部５２の内部に設
けておけば、気体導入配管５６が圧力印加治具５から脱
落することがなくなる。
を図面に基づき説明する。図１は、本発明の実施の形態
の一例に係る圧力センサの特性測定装置の断面を示す模
式図である。４は配線基板であり、表面側にはＩＣソケ
ット４１が実装されている。５は圧力印加治具であり、
アルミ等の金属製の上下の板状部５１、５２で構成さ
れ、内部に中空部５３を有し、板状部５２には、中空部
５３とつながり、圧力センサ本体１内のダイアフラム１
６に圧力を導入する圧力導入管１７に対応した複数の圧
力導入孔５４が形成されている。圧力導入孔５４は、圧
力導入管１７の外周形状より大きく形成されており、圧
力導入管１７の挿入がしやすいようになっている。圧力
導入孔５４の内周面にはリング状部材５５が装着されて
いる。リング状部材５５は、ゴムチューブ等の柔軟性及
び弾性を有する部材で形成され、内部が中空になってお
り、中空の部分に気体を注入し膨らませることにより、
図２に示すように、リング状になり圧力導入管１７と密
着し、圧力導入孔５４と圧力導入管１７との隙間を埋め
るようになっている。従って、この状態では、圧力印加
治具５で印加される圧力が外部に漏れないようになって
いる。５６はリング状部材５５に注入する気体を導入す
る気体導入配管であり、圧力印加治具５を構成する圧力
導入孔５４が形成された方の板状部５２の内部に設けら
れる。リング状部材５５に注入する気体は空気や窒素ガ
ス等でよい。気体導入配管５６は板状部５２の内部に設
けておけば、気体導入配管５６が圧力印加治具５から脱
落することがなくなる。
【００１４】なお、本実施形態では、気体導入配管５６
を板状部５２の内部に形成したが、これに限定されるも
のではない。
を板状部５２の内部に形成したが、これに限定されるも
のではない。
【００１５】本実施形態の圧力センサの特性測定装置に
より特性測定を行う場合には、まず、配線基板４のＩＣ
ソケット４１に外部端子１８を差し込み、次に、圧力印
加治具５の圧力導入孔５４に、圧力センサの圧力導入管
１７を差し込む。ここで、圧力印加治具５の板状部５２
内の気体導入配管５６を介して、外部からリング状部材
５５に空気を注入する。注入した空気によりリング状部
材５５を膨らませ圧力導入管１７と密着させることによ
り、圧力導入孔５４と圧力導入管１７との隙間が埋めら
れる。この状態で、圧力印加治具５の中空部５３を介し
て圧力を導入すると、その圧力は圧力センサの圧力導入
管１７を介して圧力センサ本体１内のダイアフラム１６
に印加される。ダイアフラム１６に印加される圧力に応
じて外部端子１８から出力される電気信号を外部端子１
８及びＩＣソケット４１を介して取り出すことにより、
圧力特性の測定を行うことができるのである。そして、
測定の終了後は、リング状部材５５内に注入した空気を
抜いてから圧力センサから圧力印加治具５を取り外すの
である。
より特性測定を行う場合には、まず、配線基板４のＩＣ
ソケット４１に外部端子１８を差し込み、次に、圧力印
加治具５の圧力導入孔５４に、圧力センサの圧力導入管
１７を差し込む。ここで、圧力印加治具５の板状部５２
内の気体導入配管５６を介して、外部からリング状部材
５５に空気を注入する。注入した空気によりリング状部
材５５を膨らませ圧力導入管１７と密着させることによ
り、圧力導入孔５４と圧力導入管１７との隙間が埋めら
れる。この状態で、圧力印加治具５の中空部５３を介し
て圧力を導入すると、その圧力は圧力センサの圧力導入
管１７を介して圧力センサ本体１内のダイアフラム１６
に印加される。ダイアフラム１６に印加される圧力に応
じて外部端子１８から出力される電気信号を外部端子１
８及びＩＣソケット４１を介して取り出すことにより、
圧力特性の測定を行うことができるのである。そして、
測定の終了後は、リング状部材５５内に注入した空気を
抜いてから圧力センサから圧力印加治具５を取り外すの
である。
【００１６】本実施形態によれば、圧力センサの圧力導
入管１７を圧力印加治具５の圧力導入孔５４に差し込む
際に、圧力導入孔５４が圧力導入管１７の外周形状より
大きく形成されているので、容易に差し込むことができ
る。また、圧力特性測定時には、圧力導入孔５４に挿入
された圧力導入管１７は弾性を有するリング状部材５５
により押さえられているので、圧力センサ本体１に加わ
る機械的応力はリング状部材５５により吸収され、機械
的応力は緩和される。更には、測定の終了後は、リング
状部材５５内に注入した空気を抜いてから圧力センサか
ら圧力印加治具５を取り外すようにすれば、容易に取り
外すことができる。
入管１７を圧力印加治具５の圧力導入孔５４に差し込む
際に、圧力導入孔５４が圧力導入管１７の外周形状より
大きく形成されているので、容易に差し込むことができ
る。また、圧力特性測定時には、圧力導入孔５４に挿入
された圧力導入管１７は弾性を有するリング状部材５５
により押さえられているので、圧力センサ本体１に加わ
る機械的応力はリング状部材５５により吸収され、機械
的応力は緩和される。更には、測定の終了後は、リング
状部材５５内に注入した空気を抜いてから圧力センサか
ら圧力印加治具５を取り外すようにすれば、容易に取り
外すことができる。
【００１７】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の発明によ
れば、圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイア
フラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラ
ムのたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出
す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定
するための特性測定装置であって、複数の圧力センサ本
体を実装できるＩＣソケットが設置された配線基板と、
内部に中空部を有し、該中空部につながり前記圧力導入
管を差し込む圧力導入孔を複数有する圧力印加治具とを
有してなり、前記圧力印加治具の圧力導入孔を前記圧力
導入管の外周形状より大きく形成するとともに、圧力導
入孔の内周面には弾性を有する材料で形成され、内部に
気体を注入することにより膨張するリング状部材を設置
し、前記ＩＣソケットに前記圧力センサの外部端子を装
着し、前記圧力導入管を前記圧力導入孔に挿入した状態
で前記リング状部材の内部に気体を注入することによ
り、圧力導入孔の内周面と圧力導入管の外周面との隙間
を埋めるようにし、前記圧力印加治具の中空部から圧力
導入管を介して圧力をダイアフラムに印加するように
し、導入した圧力により生じたダイアフラムのたわみに
応じて発生した電気信号を外部端子及びＩＣソケットを
介して取り出すようにしたので、圧力印加治具と圧力セ
ンサとの間で位置ずれ等が発生しても、機械的応力は前
記リング状部材により吸収されることになり機械的応力
の発生を抑え、高精度で特性測定のできる圧力センサの
特性測定装置が提供できた。
れば、圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内のダイア
フラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダイアフラ
ムのたわみに応じて出力される電気信号を外部に取り出
す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特性を測定
するための特性測定装置であって、複数の圧力センサ本
体を実装できるＩＣソケットが設置された配線基板と、
内部に中空部を有し、該中空部につながり前記圧力導入
管を差し込む圧力導入孔を複数有する圧力印加治具とを
有してなり、前記圧力印加治具の圧力導入孔を前記圧力
導入管の外周形状より大きく形成するとともに、圧力導
入孔の内周面には弾性を有する材料で形成され、内部に
気体を注入することにより膨張するリング状部材を設置
し、前記ＩＣソケットに前記圧力センサの外部端子を装
着し、前記圧力導入管を前記圧力導入孔に挿入した状態
で前記リング状部材の内部に気体を注入することによ
り、圧力導入孔の内周面と圧力導入管の外周面との隙間
を埋めるようにし、前記圧力印加治具の中空部から圧力
導入管を介して圧力をダイアフラムに印加するように
し、導入した圧力により生じたダイアフラムのたわみに
応じて発生した電気信号を外部端子及びＩＣソケットを
介して取り出すようにしたので、圧力印加治具と圧力セ
ンサとの間で位置ずれ等が発生しても、機械的応力は前
記リング状部材により吸収されることになり機械的応力
の発生を抑え、高精度で特性測定のできる圧力センサの
特性測定装置が提供できた。
【００１８】請求項２記載の発明によれば、請求項１の
発明において、前記リング状部材に注入するための気体
を導入する気体導入配管を前記圧力印加治具の内部に設
けるようにすれば、気体導入配管が圧力印加治具から脱
落することがなくなる。
発明において、前記リング状部材に注入するための気体
を導入する気体導入配管を前記圧力印加治具の内部に設
けるようにすれば、気体導入配管が圧力印加治具から脱
落することがなくなる。
【図１】本発明の一実施形態に係る圧力センサの特性測
定装置の概略構成の断面状態を示す模式図である。
定装置の概略構成の断面状態を示す模式図である。
【図２】同上に係る圧力センサの圧力印加治具への装着
状態を平面的に示す模式図である。
状態を平面的に示す模式図である。
【図３】圧力センサチップの断面を示す模式図である。
【図４】従来の圧力センサの特性測定装置の概略構成を
示す模式図である。
示す模式図である。
１ 圧力センサ本体 ４ 配線基板 ５ 圧力印加治具 １６ ダイアフラム １７ 圧力導入管 １８ 外部端子 ４１ ＩＣソケット ５１ 板状部 ５２ 板状部 ５３ 中空部 ５４ 圧力導入孔 ５５ リング状部材 ５６ 気体導入配管
Claims (2)
- 【請求項１】 圧力センサ本体と、該圧力センサ本体内
のダイアフラムに圧力を導入する圧力導入管と、前記ダ
イアフラムのたわみに応じて出力される電気信号を外部
に取り出す外部端子とを有してなる圧力センサの圧力特
性を測定するための特性測定装置であって、複数の圧力
センサ本体を実装できるＩＣソケットが設置された配線
基板と、内部に中空部を有し、該中空部につながり前記
圧力導入管を差し込む圧力導入孔を複数有する圧力印加
治具とを有してなり、前記圧力印加治具の圧力導入孔を
前記圧力導入管の外周形状より大きく形成するととも
に、圧力導入孔の内周面には弾性を有する材料で形成さ
れ、内部に気体を注入することにより膨張するリング状
部材を設置し、前記ＩＣソケットに前記圧力センサの外
部端子を装着し、前記圧力導入管を前記圧力導入孔に挿
入した状態で前記リング状部材の内部に気体を注入する
ことにより、圧力導入孔の内周面と圧力導入管の外周面
との隙間を埋めるようにし、前記圧力印加治具の中空部
から圧力導入管を介して圧力をダイアフラムに印加する
ようにし、導入した圧力により生じたダイアフラムのた
わみに応じて発生した電気信号を外部端子及びＩＣソケ
ットを介して取り出すようにしたことを特徴とする圧力
センサの特性測定装置。 - 【請求項２】 前記リング状部材に注入するための気体
を導入する気体導入配管を前記圧力印加治具の内部に設
けるようにしたことを特徴とする請求項１記載の圧力セ
ンサの特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13497097A JPH10326813A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 圧力センサの特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13497097A JPH10326813A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 圧力センサの特性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10326813A true JPH10326813A (ja) | 1998-12-08 |
Family
ID=15140866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13497097A Pending JPH10326813A (ja) | 1997-05-26 | 1997-05-26 | 圧力センサの特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10326813A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220098939A (ko) * | 2021-01-05 | 2022-07-12 | 주식회사 이랜텍 | 가스센싱모듈 검사장치 |
-
1997
- 1997-05-26 JP JP13497097A patent/JPH10326813A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220098939A (ko) * | 2021-01-05 | 2022-07-12 | 주식회사 이랜텍 | 가스센싱모듈 검사장치 |
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