KR20220096761A - 터치 디스플레이 장치 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 54
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 71
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 51
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 39
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 10
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 244
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 24
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 20
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 17
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 16
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 10
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 10
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 8
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 5
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
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- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
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- G06F3/0412—Digitisers structurally integrated in a display
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- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
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- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
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- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
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- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/0416—Control or interface arrangements specially adapted for digitisers
- G06F3/04164—Connections between sensors and controllers, e.g. routing lines between electrodes and connection pads
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- G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
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- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/042—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by opto-electronic means
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- G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
- G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
- G06F3/0443—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means using a single layer of sensing electrodes
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- G06F3/041—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means
- G06F3/044—Digitisers, e.g. for touch screens or touch pads, characterised by the transducing means by capacitive means
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
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- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/40—OLEDs integrated with touch screens
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/805—Electrodes
- H10K59/8052—Cathodes
- H10K59/80521—Cathodes characterised by their shape
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- G06F2203/00—Indexing scheme relating to G06F3/00 - G06F3/048
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Position Input By Displaying (AREA)
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- Input Circuits Of Receivers And Coupling Of Receivers And Audio Equipment (AREA)
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Abstract
본 발명은 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지할 수 있는 터치 디스플레이 장치에 관한 것이다. 상기 터치 디스플레이 장치는 발광 영역들 상에 위치하는 상부 전극들을 포함할 수 있다. 상기 상부 전극들은 분리 영역 상에 위치하는 분리 격벽 및 뱅크 절연막의 제 2 개구부에 의해 분리될 수 있다. 각 상부 전극이 소자 기판과 상기 뱅크 절연막 사이에 위치하는 링크 배선들 중 하나와 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 터치 디스플레이 장치에서는 터치 감지를 위한 공정이 단순화되고, 공정 효율이 향상될 수 있다.
Description
본 발명은 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지할 수 있는 터치 디스플레이 장치에 관한 것이다.
일반적으로 이미지의 구현을 위하여 디스플레이 장치가 제공된다. 예를 들어, 상기 디스플레이 장치는 발광 소자들을 포함할 수 있다. 각 발광 소자는 특정한 색을 나타내는 빛을 방출할 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자는 두 개의 전극 사이에 위치하는 발광층을 포함할 수 있다.
상기 디스플레이 장치는 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지하여 특정 신호를 인가하는 터치 디스플레이 장치일 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 디스플레이 장치는 상기 발광 소자들을 덮는 봉지 부재 상에 나란히 위치하는 터치 전극들을 포함할 수 있다. 각 터치 전극은 상기 봉지 부재의 표면을 따라 연장하는 터치 링크들 중 하나를 통해 해당 터치 패드와 연결될 수 있다. 이에 따라, 상기 터치 디스플레이 장치에서는 상기 터치 전극들 및 상기 터치 링크들의 형성에 의해 공정이 복잡해지고, 공정 효율이 저하될 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 터치 감지를 위한 공정을 단순화할 수 있는 터치 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지하는 전극들을 위한 추가 공정을 최소화할 수 있는 터치 디스플레이 장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제들은 앞서 언급한 과제들로 한정되지 않는다. 여기서 언급되지 않은 과제들은 아래의 기재로부터 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 것이다.
상기 해결하고자 하는 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 터치 디스플레이 장치는 소자 기판을 포함한다. 소자 기판 상에는 링크 배선 및 상부 평탄화막이 위치한다. 상부 평탄화막은 링크 배선을 부분적으로 노출하는 링크 컨택홀을 포함한다. 상부 평탄화막 상에는 뱅크 절연막이 위치한다. 뱅크 절연막은 발광 영역을 정의하는 제 1 개구부 및 링크 배선과 중첩하는 제 2 개구부를 포함한다. 발광 영역 내에는 발광 소자가 위치한다. 발광 소자는 상부 평탄화막 상에 순서대로 적층된 화소 전극, 발광층 및 상부 전극을 포함한다. 뱅크 절연막 상에는 분리 격벽이 위치한다. 제 2 개구부의 측벽과 중첩하는 분리 격벽의 측면은 역테이퍼 형상을 갖는다. 뱅크 절연막, 발광 소자 및 분리 격벽 상에는 봉지 부재가 위치한다. 제 2 개구부는 제 1 개구부와 분리 격벽 사이에 위치한다. 발광 소자의 상부 전극은 제 2 개구부 내에 위치하는 단부를 포함한다. 상부 전극의 단부는 링크 배선과 연결된다.
소자 기판과 대향하는 분리 격벽의 상부면 상에는 전극 패턴이 위치할 수 있다. 전극 패턴은 상부 전극과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 전극 패턴은 상부 전극과 분리될 수 있다.
링크 배선과 접촉하는 연결 전극은 링크 컨택홀의 측면을 따라 상부 평탄화막과 뱅크 절연막 사이로 연장할 수 있다. 제 2 개구부는 연결 전극을 부분적으로 노출할 수 있다. 상부 전극의 단부는 제 2 개구부에 의해 노출된 연결 전극과 접촉할 수 있다.
연결 전극은 화소 전극과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상부 평탄화막과 뱅크 절연막 사이에는 제 1 중간 절연막이 위치할 수 있다. 링크 배선과 분리 격벽 사이에서 제 2 개구부를 향한 제 1 중간 절연막의 측면은 역테이퍼 형상을 가질 수 있다.
제 1 중간 절연막은 뱅크 절연막과 식각 선택비를 가질 수 있다.
제 1 중간 절연막과 뱅크 절연막 사이에는 제 2 중간 절연막이 위치할 수 있다. 링크 배선과 분리 격벽 사이에서 제 2 개구부를 향한 제 2 중간 절연막의 측면은 제 2 개구부를 향한 제 1 중간 절연막의 측면보다 제 2 개구부의 중심에 가까이 위치할 수 있다.
링크 배선과 분리 격벽 사이에서 제 2 개구부를 향한 제 2 중간 절연막의 측면은 역테이퍼 형상을 가질 수 있다.
제 2 중간 절연막은 뱅크 절연막과 식각 선택비를 가질 수 있다.
제 2 중간 절연막은 제 1 중간 절연막과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 해결하고자 하는 다른 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기술적 사상에 따른 터치 디스플레이 장치는 소자 기판을 포함한다. 소자 기판은 발광 영역 및 분리 영역을 포함한다. 소자 기판의 발광 영역 상에는 화소 전극이 위치한다. 화소 전극은 분리 영역과 이격된다. 소자 기판의 분리 영역 상에는 링크 배선이 위치한다. 링크 배선은 화소 전극과 이격된다. 소자 기판 상에는 뱅크 절연막이 위치한다. 뱅크 절연막은 화소 전극을 부분적으로 노출하는 제 1 개구부 및 링크 배선을 부분적으로 노출하는 제 2 개구부를 포함한다. 뱅크 절연막의 제 1 개구부에 의해 노출된 화소 전극의 일부 영역 상에는 발광층이 위치한다. 발광층 상에는 상부 전극이 위치한다. 상부 전극은 제 2 개구부를 통해 링크 배선과 연결된다. 뱅크 절연막 상에는 분리 격벽이 위치한다. 분리 격벽은 분리 영역과 중첩한다. 소자 기판과 뱅크 절연막 사이에는 제 1 중간 절연막이 위치한다. 링크 배선과 분리 격벽 사이에서 제 2 개구부를 향한 제 1 중간 절연막의 측면은 역테이퍼 형상을 갖는다. 상부 전극과 분리 격벽 상에는 봉지 부재가 위치한다. 제 2 개구부는 발광 영역과 분리 격벽 사이에 위치한다. 분리 격벽은 제 2 개구부의 측벽에 가까이 위치한다. 제 1 중간 절연막의 역테이퍼 형상을 갖는 측면은 링크 배선과 중첩한다.
제 2 개구부의 측벽은 제 1 개구부의 측벽보다 큰 기울기를 가질 수 있다.
소자 기판과 화소 전극 사이에는 상부 평탄화막이 위치할 수 있다. 상부 평탄화막은 링크 배선을 부분적으로 노출할 수 있다. 제 1 중간 절연막은 소자 기판과 상부 평탄화막 사이에 위치할 수 있다.
제 1 중간 절연막은 상부 평탄화막과 식각 선택비를 가질 수 있다.
제 1 중간 절연막과 상부 평탄화막 사이에는 제 2 중간 절연막이 위치할 수 있다. 링크 배선과 중첩하는 제 2 중간 절연막의 측면은 역테이퍼 형상을 가질 수 있다.
본 발명의 기술적 사상에 따른 터치 디스플레이 장치는 발광 영역들 상에 위치하고, 분리 영역 상에 위치하는 분리 격벽 및 뱅크 절연막의 제 2 개구부에 의해 분리되는 상부 전극들을 포함하되, 각 상부 전극이 소자 기판과 상기 뱅크 절연막 사이에 위치하는 링크 배선들 중 하나와 연결될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 기술적 사상에 따른 터치 디스플레이 장치는 소자 기판과 봉지 부재 사이에 위치하는 링크 배선들 및 상부 전극들을 이용하여 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지할 수 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 사상에 따른 터치 디스플레이 장치는 공정이 단순화되고, 공정 효율이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 K 영역을 확대한 도면이다.
도 3a는 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 3b는 도 2의 II-II'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 3c는 도 2의 III-III'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3a의 P1 영역을 확대한 도면이다.
도 5 내지 13은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치를 나타낸 도면들이다.
도 2는 도 1의 K 영역을 확대한 도면이다.
도 3a는 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 3b는 도 2의 II-II'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 3c는 도 2의 III-III'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다.
도 4는 도 3a의 P1 영역을 확대한 도면이다.
도 5 내지 13은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치를 나타낸 도면들이다.
본 발명의 상기 목적과 기술적 구성 및 이에 따른 작용 효과에 관한 자세한 사항은 본 발명의 실시 예를 도시하고 있는 도면을 참조한 이하 상세한 설명에 의해 더욱 명확하게 이해될 것이다. 여기서, 본 발명의 실시 예들은 당업자에게 본 발명의 기술적 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위하여 제공되는 것이므로, 본 발명은 이하 설명되는 실시 예들에 한정되지 않도록 다른 형태로 구체화될 수 있다.
또한, 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조 번호로 표시된 부분들은 동일한 구성 요소들을 의미하며, 도면들에 있어서 층 또는 영역의 길이와 두께는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수 있다. 덧붙여, 제 1 구성 요소가 제 2 구성 요소 "상"에 있다고 기재되는 경우, 상기 제 1 구성 요소가 상기 제 2 구성 요소와 직접 접촉하는 상측에 위치하는 것뿐만 아니라, 상기 제 1 구성 요소와 상기 제 2 구성 요소 사이에 제 3 구성 요소가 위치하는 경우도 포함한다.
여기서, 상기 제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성 요소를 설명하기 위한 것으로, 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용된다. 다만, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서는 제 1 구성 요소와 제 2 구성 요소는 당업자의 편의에 따라 임의로 명명될 수 있다.
본 발명의 명세서에서 사용하는 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용되는 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 예를 들어, 단수로 표현된 구성 요소는 문맥상 명백하게 단수만을 의미하지 않는다면 복수의 구성 요소를 포함한다. 또한, 본 발명의 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다"등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
덧붙여, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미가 있는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
(실시 예)
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다. 도 2는 도 1의 K 영역을 확대한 도면이다. 도 3a는 도 2의 I-I'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다. 도 3b는 도 2의 II-II'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다. 도 3c는 도 2의 III-III'선을 따라 절단한 단면을 나타낸 도면이다. 도 4는 도 3a의 P1 영역을 확대한 도면이다.
도 1 내지 4를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 표시 패널(DP) 및 구동부들(DD, SD, TD, TC)을 포함할 수 있다. 상기 구동부들(DD, SD, TD, TC)은 이미지의 구현을 위한 다양한 신호를 상기 표시 패널(DP)에 제공할 수 있다. 예를 들어, 상기 구동부들(DD, SD, TD, TC)은 데이터 신호를 인가하는 데이터 구동부(DD), 스캔 신호를 인가하는 스캔 구동부(SD) 및 타이밍 컨트롤러(TC)를 포함할 수 있다. 상기 타이밍 컨트롤러(TC)는 상기 데이터 구동부(DD)에 디지털 비디오 데이터들 및 소스 타이밍 제어 신호를 인가하고, 상기 스캔 구동부(SD)에 클럭 신호들, 리셋 클럭 신호들 및 스타트 신호들을 인가할 수 있다.
상기 표시 패널(DP)은 사용자에게 제공될 이미지를 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 표시 패널(DP)은 소자 기판(100) 상에 위치하는 발광 소자들(300)을 포함할 수 있다. 상기 소자 기판(100)은 다중층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(100)은 제 1 기판층(101), 기판 절연층(102) 및 제 2 기판층(103)의 적층 구조를 가질 수 있다. 상기 제 2 기판층(103)은 상기 제 1 기판층(101)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 기판층(101) 및 상기 제 2 기판층(103)은 폴리이미드(Poly-Imide; PI)와 같은 고분자 물질을 포함할 수 있다. 상기 기판 절연층(102)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 소자 기판(100)이 높은 유연성을 가질 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 외부 충격에 의한 상기 발광 소자들(300)의 손상이 방지될 수 있다.
상기 소자 기판(100) 상에는 구동 회로들이 위치할 수 있다. 각 구동 회로는 상기 발광 소자들(300) 중 하나와 전기적으로 연결될 수 있다. 각 구동 회로는 상기 구동부들(DD, SD, TD, TC)로부터 전달된 신호에 의해 제어될 수 있다. 예를 들어, 각 구동 회로는 상기 게이트 신호에 따라 상기 데이터 신호에 대응하는 구동 전류를 해당 발광 소자(300)에 공급할 수 있다. 각 구동 회로는 적어도 하나의 박막 트랜지스터(200)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 박막 트랜지스터(200)는 반도체 패턴(210), 게이트 절연막(220), 게이트 전극(230), 층간 절연막(240), 소스 전극(250) 및 드레인 전극(260)을 포함할 수 있다.
상기 반도체 패턴(210)은 반도체 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(210)은 비정질 실리콘(a-Si) 또는 다결정 실리콘(poly-Si)을 포함할 수 있다. 상기 반도체 패턴(210)은 산화물 반도체일 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(210)은 IGZO와 같은 금속 산화물을 포함할 수 있다. 상기 반도체 패턴(210)은 소스 영역, 드레인 영역 및 채널 영역을 포함할 수 있다. 상기 채널 영역은 상기 소스 영역과 상기 드레인 영역 사이에 위치할 수 있다. 상기 소스 영역 및 상기 드레인 영역은 상기 채널 영역보다 낮은 저항을 가질 수 있다.
상기 게이트 절연막(220)은 상기 반도체 패턴(210) 상에 위치할 수 있다. 상기 게이트 절연막(220)은 상기 반도체 패턴(210)의 외측으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(210)의 측면은 상기 게이트 절연막(220)에 의해 덮일 수 있다. 상기 게이트 절연막(220)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(220)은 실리콘 산화물(SiO) 및/또는 실리콘 질화물(SiN)을 포함할 수 있다. 상기 게이트 절연막(220)은 높은 유전율을 갖는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(220)은 하프늄 산화물(HfO)과 같은 High-K 물질을 포함할 수 있다. 상기 게이트 절연막(220)은 다중층 구조를 가질 수 있다.
상기 게이트 전극(230)은 상기 게이트 절연막(220) 상에 위치할 수 있다. 상기 게이트 전극(230)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 전극(230)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 게이트 전극(230)은 상기 게이트 절연막(220)에 의해 상기 반도체 패턴(210)과 절연될 수 있다. 상기 게이트 전극(230)은 상기 반도체 패턴(210)의 상기 채널 영역과 중첩할 수 있다. 예를 들어, 상기 반도체 패턴(210)의 상기 채널 영역은 상기 게이트 전극(230)에 인가된 전압에 대응하는 전기 전도도를 가질 수 있다.
상기 층간 절연막(240)은 상기 게이트 전극(230) 상에 위치할 수 있다. 상기 층간 절연막(240)은 상기 게이트 전극(230)의 외측으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 전극(230)의 측면은 상기 층간 절연막(240)에 의해 덮일 수 있다. 상기 층간 절연막(240)은 상기 게이트 전극(230)의 외측에서 상기 게이트 절연막(220)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 층간 절연막(240)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 층간 절연막(240)은 실리콘 산화물(SiO)을 포함할 수 있다.
상기 소스 전극(250)은 상기 층간 절연막(240) 상에 위치할 수 있다. 상기 소스 전극(250)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 소스 전극(250)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 소스 전극(250)은 상기 층간 절연막(240)에 의해 상기 게이트 전극(230)과 절연될 수 있다. 예를 들어, 상기 소스 전극(250)은 상기 게이트 전극(230)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 상기 소스 전극(250)은 상기 반도체 패턴(210)의 상기 소스 영역과 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(220) 및 상기 층간 절연막(240)은 상기 반도체 패턴(210)의 상기 소스 영역을 부분적으로 노출하는 소스 컨택홀을 포함할 수 있다. 상기 소스 전극(250)은 상기 반도체 패턴(210)의 상기 소스 영역과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 소스 전극(250)은 상기 소스 컨택홀 내에서 상기 반도체 패턴(210)의 상기 소스 영역과 직접 접촉할 수 있다.
상기 드레인 전극(260)은 상기 층간 절연막(240) 상에 위치할 수 있다. 상기 드레인 전극(260)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 드레인 전극(260)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 드레인 전극(260)은 상기 층간 절연막(240)에 의해 상기 게이트 전극(230)과 절연될 수 있다. 예를 들어, 상기 드레인 전극(260)은 상기 게이트 전극(230)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 상기 드레인 전극(260)은 상기 소스 전극(250)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 상기 드레인 전극(260)은 상기 반도체 패턴(210)의 상기 드레인 영역과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 드레인 전극(260)은 상기 소스 전극(250)과 이격될 수 있다. 예를 들어, 상기 게이트 절연막(220) 및 상기 층간 절연막(240)은 상기 반도체 패턴(210)의 상기 드레인 영역을 부분적으로 노출하는 드레인 컨택홀을 포함할 수 있다. 상기 드레인 전극(260)은 상기 반도체 패턴(210)의 상기 드레인 영역과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 드레인 전극(260)은 상기 드레인 컨택홀 내에서 상기 반도체 패턴(210)의 상기 드레인 영역과 직접 접촉할 수 있다.
상기 소자 기판(100)과 상기 구동 회로들 사이에는 제 1 버퍼층(110)이 위치할 수 있다. 상기 제 1 버퍼층(110)은 상기 박막 트랜지스터들(200)의 형성 공정에서 상기 소자 기판(100)에 의한 오염을 방지할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 버퍼층(110)은 상기 발광 소자들(300)을 향한 상기 소자 기판(100)의 상부면을 완전히 덮을 수 있다. 상기 제 1 버퍼층(110)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 버퍼층(110)은 실리콘 산화물(SiO) 및/또는 실리콘 질화물(SiN)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 버퍼층(110)은 다중층 구조를 가질 수 있다.
상기 제 1 버퍼층(110)과 각 박막 트랜지스터(200) 사이에는 차광 패턴(115)이 위치할 수 있다. 상기 차광 패턴(115)은 외광에 의한 각 박막 트랜지스터(200)의 특성 변화를 방지할 수 있다. 예를 들어, 상기 차광 패턴(115)은 각 박막 트랜지스터(200)의 상기 반도체 패턴(210)과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 상기 차광 패턴(115)은 빛을 차단할 수 있는 물질 또는 빛을 흡수할 수 있는 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 차광 패턴(115)은 알루미늄(Al), 은(Ag) 및 구리(Cu)와 같은 금속을 포함할 수 있다.
상기 차광 패턴(115)은 각 박막 트랜지스터(200)의 상기 반도체 패턴(210)과 절연될 수 있다. 예를 들어, 상기 차광 패턴(115)과 상기 박막 트랜지스터들(200) 사이에는 제 2 버퍼층(120)이 위치할 수 있다. 상기 제 2 버퍼층(120)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 버퍼층(120)은 실리콘 산화물(SiO) 또는 실리콘 질화물(SiN)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 버퍼층(120)은 상기 제 1 버퍼층(110)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 2 버퍼층(120)은 상기 차광 패턴(115)의 외측으로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 버퍼층(120)은 상기 차광 패턴(115)의 외측에서 상기 제 1 버퍼층(110)과 직접 접촉할 수 있다.
상기 구동 회로들 상에는 하부 보호막(130)이 위치할 수 있다. 상기 하부 보호막(130)은 외부 충격 및 수분에 의한 상기 구동 회로들의 손상을 방지할 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(100)과 대향하는 각 박막 트랜지스터(200)의 상부면은 상기 하부 보호막(130)에 의해 덮일 수 있다. 상기 하부 보호막(130)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 보호막(130)은 실리콘 산화물(SiO) 및 실리콘 질화물(SiN)과 같은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다.
상기 하부 보호막(130) 상에는 하부 평탄화막(140) 및 상부 평탄화막(150)이 순서대로 적층될 수 있다. 상기 하부 평탄화막(140) 및 상기 상부 평탄화막(150)은 상기 구동 회로들에 의한 단차를 제거할 수 있다. 예를 들어, 상기 발광 소자들(300)을 향한 상기 상부 평탄화막(150)의 상부면은 평평한 평면(flat surface)일 수 있다. 상기 하부 평탄화막(140) 및 상기 상부 평탄화막(150)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 하부 평탄화막(140) 및 상기 상부 평탄화막(150)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 상부 평탄화막(150)은 상기 하부 평탄화막(140)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 구동 회로들에 의한 단차가 효과적으로 제거될 수 있다.
상기 발광 소자들(300)은 상기 상부 평탄화막(150) 상에 위치할 수 있다. 각 발광 소자(300)는 특정한 색을 나타내는 빛을 방출할 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(300)는 상기 상부 평탄화막(150) 상에 순서대로 적층된 화소 전극(310), 발광층(320) 및 상부 전극(330)을 포함할 수 있다.
상기 화소 전극(310)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 상기 화소 전극(310)은 높은 반사율을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 화소 전극(310)은 알루미늄(Al) 및 은(Ag)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 화소 전극(310)은 다중층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 화소 전극(310)은 ITO 및 IZO와 같은 투명한 도전성 물질로 이루어진 투명 전극들 사이에 금속으로 이루어진 반사 전극이 위치하는 구조를 가질 수 있다.
상기 발광층(320)은 상기 화소 전극(310)과 상기 상부 전극(330) 사이의 전압 차에 대응하는 휘도의 빛을 생성할 수 있다. 예를 들어, 상기 발광층(320)은 발광 물질을 포함하는 발광 물질층(Emission Material Layer; EML)을 포함할 수 있다. 상기 발광 물질은 유기 물질, 무기 물질 또는 하이브리드 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치의 상기 표시 패널(DP)은 유기 물질로 이루어진 발광 물질층을 포함하는 유기 전계 발광 표시 장치일 수 있다. 상기 발광층(320)은 다중층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 발광층(320)은 정공 주입층(Hole Injection Layer; HIL), 정공 수송층(Hole Transport Layer; HTL), 전자 수송층(Electron Transport Layer; ETL) 및 전자 주입층(Eletron Injection Layer; EIL) 중 적어도 하나를 더 포함할 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 각 발광 소자(300)의 발광 효율이 향상될 수 있다.
상기 상부 전극(300)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 상기 상부 전극(300)은 상기 화소 전극(310)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 상기 상부 전극(330)은 상기 화소 전극(310)보다 높은 투과율을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 전극(330)은 ITO 및 IZO와 같은 투명한 도전성 물질로 이루어진 투명 전극일 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 발광층(320)에 의해 생성된 빛이 상기 상부 전극(330)을 통해 방출될 수 있다.
상기 상부 평탄화막(150) 상에는 뱅크 절연막(160)이 위치할 수 있다. 상기 뱅크 절연막(160)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 뱅크 절연막(160)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 뱅크 절연막(160)은 상기 하부 평탄화막(140) 및 상기 상부 평탄화막(150)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 상기 뱅크 절연막(160)은 상기 소자 기판(100) 상에 발광 영역들(EA)을 정의할 수 있다. 예를 들어, 상기 뱅크 절연막(160)은 각 발광 소자(300)의 상기 화소 전극(310)을 부분적으로 노출하는 제 1 개구부들(161h)을 포함할 수 있다. 각 발광 소자(300)의 상기 발광층(320) 및 상기 상부 전극(330)은 상기 뱅크 절연막(160)의 상기 제 1 개구부들(161h) 중 하나에 의해 노출된 해당 화소 전극(310)의 일부 영역 상에 적층될 수 있다.
각 발광 소자(300)의 상기 화소 전극(310)은 상기 박막 트랜지스터들(200) 중 하나와 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 하부 평탄화막(140)과 상기 상부 평탄화막(150) 사이에는 중간 전극들(510)이 위치할 수 있다. 상기 중간 전극들(510)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 중간 전극들(510)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 각 중간 전극(510)은 상기 하부 평탄화막(140)을 관통하여 상기 박막 트랜지스터들(200) 중 하나의 상기 드레인 전극(260)과 연결될 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(300)의 상기 화소 전극(310)은 상기 중간 전극들(510) 중 하나를 통해 해당 박막 트랜지스터(200)와 연결될 수 있다. 각 중간 전극(510)은 상기 박막 트랜지스터들(200) 중 하나의 상기 드레인 전극(260)과 중첩하는 영역 및 상기 발광 소자들(300) 중 하나의 상기 화소 전극(310)과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(300)의 상기 화소 전극(310)은 상기 상부 평탄화막(150)을 관통하여 해당 중간 전극(510)과 연결될 수 있다.
각 발광 소자(300)로부터 방출된 빛은 인접한 발광 소자(300)로부터 방출된 빛과 다른 색을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(300)의 상기 발광층(320)은 인접한 발광 소자(300)의 상기 발광층(320)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 각 발광 소자(300)의 상기 발광층(320)은 인접한 발광 소자(300)의 상기 발광층(320)과 이격될 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(300)의 상기 발광층(320)은 상기 뱅크 절연막(160) 상에 위치하는 단부를 포함할 수 있다.
각 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)에 인가되는 전압은 인접한 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)에 인가되는 전압과 동일할 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)은 인접한 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)과 전기적으로 연결될 수 있다. 각 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)은 인접한 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 각 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)은 인접한 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)과 동시에 형성될 수 있다.
상기 발광 영역들(EA)은 분리 영역(SA)에 의해 그룹화될 수 있다. 예를 들어, 상기 분리 영역(SA)은 제 1 방향 및 상기 제 1 방향과 수직한 제 2 방향으로 연장하는 격자 형상을 가지며, 상기 분리 영역(SA)에 의해 둘러싸인 상기 소자 기판(100)의 일부 영역 상에는 다수의 발광 영역(EA)이 위치할 수 있다. 상기 분리 영역(SA) 상에는 분리 격벽(175)이 위치할 수 있다. 상기 분리 격벽들(175)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 분리 격벽들(175)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 분리 격벽(175)은 역테이퍼 형상을 갖는 측면을 포함할 수 있다. 각 발광 영역(EA) 상에 위치하는 상기 상부 전극(330)은 상기 분리 격벽(175)에 의해 블록화될 수 있다. 예를 들어, 상기 분리 영역(SA)에 의해 둘러싸인 상기 소자 기판(100)의 일부 영역 상에 위치하는 상기 상부 전극(330)은 상기 분리 영역(SA)에 의해 둘러싸인 상기 소자 기판(100)의 다른 영역 상에 위치하는 상기 상부 전극(330)과 상기 분리 격벽(175)에 의해 분리될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 별도의 패터닝 공정 없이, 상기 상부 전극들(330)이 블록화될 수 있다. 상기 분리 영역(SA)에 의해 둘러싸인 상기 소자 기판(100)의 각 영역 상에 위치하는 상기 상부 전극들(330)은 동시에 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(100)과 대향하는 상기 분리 격벽(175)의 상부면 상에는 상기 상부 전극들(330)과 동일한 물질을 포함하는 전극 패턴(330p)이 위치할 수 있다. 상기 전극 패턴(330p)은 상기 상부 전극들(330)과 이격될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 공정 효율이 향상될 수 있다.
상기 뱅크 절연막(160)은 상기 분리 영역(SA) 상에 위치하는 제 2 개구부(162h)를 포함할 수 있다. 상기 분리 격벽(175)은 상기 뱅크 절연막(160)의 상기 제 2 개구부(162h)에 가까이 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 개구부(162h)의 일측 측벽은 상기 분리 격벽(175)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면과 중첩할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 제 2 개구부(162h)에 의한 단차로 인하여, 상기 상부 전극들(330)이 더욱 확실히 분리될 수 있다. 상기 제 2 개구부(162h)의 측벽은 상기 제 1 개구부(161h)의 측벽보다 큰 기울기를 가질 수 있다.
상기 하부 평탄화막(140)과 상기 상부 평탄화막(150) 사이에는 링크 배선들(550)이 위치할 수 있다. 상기 링크 배선들(550)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 링크 배선들(550)은 알루미늄(Al), 티타늄(Ti), 구리(Cu), 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo) 및 텅스텐(W)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 링크 배선들(550)은 상기 중간 전극들(510)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 상기 링크 배선들(550)은 상기 중간 전극들(510)과 절연될 수 있다. 상기 링크 배선들(550)은 상기 제 1 방향으로 나란히 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 링크 배선들(550)은 상기 제 2 방향으로 상기 중간 전극들(510)과 이격될 수 있다.
각 링크 배선(550)은 상기 제 2 방향으로 연장하는 상기 분리 영역(SA)과 중첩하는 영역을 포함할 수 있다. 각 상부 전극(330)은 상기 링크 배선들(550) 중 하나와 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 상부 평탄화막(150)은 각 링크 배선(550)의 일부 영역을 노출하는 링크 컨택홀들(150h)을 포함할 수 있다. 각 링크 컨택홀(150h)은 상기 뱅크 절연막(160)의 상기 제 2 개구부(162h)와 중첩할 수 있다. 예를 들어, 각 링크 컨택홀(150h)의 일측 측벽은 상기 분리 격벽(175)의 역테이퍼를 갖는 측면과 중첩할 수 있다. 각 상부 전극(330)은 상기 제 2 개구부(162h) 내에서 해당 링크 배선(550)과 전기적으로 연결되는 단부를 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 각 상부 전극(330)에 인접한 상부 전극(330)과 다른 신호가 인가될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 구동부들(DD, SD, TD, TC)이 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지하기 위한 터치 감지부(TD)를 포함하고, 상기 링크 배선들(550)이 상기 터치 감지부(TD)와 선택적으로 연결될 수 있다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 각 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)에 전원전압 또는 터치 신호가 인가될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 각 발광 소자(300)의 상기 상부 전극(330)을 이용하여 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지할 수 있다.
상기 상부 전극들(330) 및 상기 분리 격벽(175) 상에는 봉지 부재(400)가 위치할 수 있다. 상기 봉지 부재(400)는 외부의 충격 및 수분에 의한 상기 발광 소자들(400)의 손상을 방지할 수 있다. 상기 봉지 부재(400)는 다중층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 봉지 부재(400)는 순서대로 적층된 제 1 봉지층(410), 제 2 봉지층(420) 및 제 3 봉지층(430)을 포함할 수 있다. 상기 제 1 봉지층(410), 상기 제 2 봉지층(420) 및 상기 제 3 봉지층(430)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 2 봉지층(420)은 상기 제 1 봉지층(410) 및 상기 제 3 봉지층(430)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 봉지층(410) 및 상기 제 3 봉지층(430)은 무기 절연 물질을 포함하고, 상기 제 2 봉지층(420)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 외부의 충격 및 수분에 의한 상기 발광 소자들(300)의 손상이 효과적으로 방지될 수 있다. 상기 발광 소자들(300) 및 상기 분리 격벽(175)에 의한 단차는 상기 제 2 봉지층(420)에 의해 제거될 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(100)과 대향하는 상기 봉지 부재(400)의 상부면은 평평한 평면일 수 있다. 상기 분리 격벽(175)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면은 상기 봉지 부재(400)에 의해 덮일 수 있다.
상기 소자 기판(100) 상에는 적어도 하나의 봉지 댐(106)이 위치할 수 있다. 상기 봉지 댐(106)은 상대적으로 높은 유동성을 갖는 상기 제 2 봉지층(420)의 흐름을 차단할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 봉지층(420)은 상기 봉지 댐(106)에 의해 정의된 상기 소자 기판(100)의 일부 영역 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 봉지층(410) 및 상기 제 3 봉지층(430)은 상기 봉지 댐(106)의 표면을 따라 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 3 봉지층(430)은 상기 봉지 댐(106)의 외측에서 상기 제 1 봉지층(410)과 직접 접촉할 수 있다. 상기 봉지 댐(106)은 절연성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 봉지 댐(106)은 유기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 봉지 댐(106)은 상기 하부 보호막(130) 상에 위치할 수 있다. 예를 들어, 상기 봉지 댐(106)은 상기 하부 평탄화막(140)과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
상기 표시 패널(DP)은 패드들(104, 304)을 통해 상기 구동부들(DD, SD, TD, TC)과 전기적으로 연결될 수 있다. 예를 들어, 상기 소자 기판(100)의 일부 영역 상에는 각 구동 회로와 전기적으로 연결되는 표시 패드들(104)이 위치하는 표시 패드 영역(DA) 및 상기 링크 배선들(550)과 전기적으로 연결되는 터치 패드들(304)이 위치하는 터치 패드 영역(TA)이 위치할 수 있다. 각 표시 패드(104)는 제 1 연결 링크(610)를 통해 해당 구동 회로와 연결될 수 있다. 각 터치 패드(304)는 제 2 연결 링크(620)를 통해 해당 링크 배선(550)과 연결될 수 있다. 상기 표시 패드 영역(DA)은 상기 터치 패드 영역(TA)과 나란히 위치할 수 있다. 예를 들어, 각 제 2 연결 링크(620)는 적어도 하나의 상기 제 1 연결 링크(610)와 교차할 수 있다. 상기 제 2 연결 링크들(620)은 상기 제 1 연결 링크들(610)과 절연될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 2 연결 링크들(620)은 상기 제 1 연결 링크들(610)과 다른 층 상에 위치할 수 있다. 상기 제 1 연결 링크들(610) 및 상기 제 2 연결 링크들(620)은 상기 소자 기판(100)과 상기 화소 전극들(310) 사이에 위치하는 도전층들 중 하나와 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 연결 링크들(610)은 각 박막 트랜지스터(200)의 상기 게이트 전극(230)과 동일한 물질을 포함하고, 상기 제 2 연결 링크들(620)은 상기 차광 패턴(115)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 1 연결 링크들(610)은 상기 게이트 절연막(220)과 상기 층간 절연막(240) 사이에 위치할 수 있다. 상기 제 2 연결 링크들(620)은 상기 제 1 버퍼층(110)과 상기 제 2 버퍼층(120) 사이에 위치할 수 있다. 각 링크 배선(550)은 상기 제 2 버퍼층(120), 상기 게이트 절연막(220), 상기 층간 절연막(240), 상기 하부 보호막(130)을 관통하여 해당 제 2 연결 링크(620)와 연결될 수 있다. 상기 표시 패드들(104) 및 상기 터치 패드들(304)은 상기 제 1 연결 링크들(610) 및 상기 제 2 연결 링크들(620)과 다른 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 패드들(304)은 각 박막 트랜지스터(200)의 상기 소스 전극(250) 및 상기 드레인 전극(260)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 터치 패드들(304)은 상기 층간 절연막(240)과 상기 하부 보호막(130) 사이에 위치할 수 있다. 각 터치 패드(304)는 상기 제 2 버퍼층(120), 상기 게이트 절연막(220), 상기 층간 절연막(240), 상기 하부 보호막(130)을 관통하여 해당 제 2 연결 링크(620)와 연결될 수 있다. 상기 하부 보호막(130)은 각 터치 패드(304)를 부분적으로 노출할 수 있다. 상기 표시 패드들(104)은 상기 터치 패드들(304)과 동일한 물질을 포함할 수 있다.
결과적으로, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 상기 분리 영역(SA) 상에 위치하는 상기 분리 격벽(175) 및 상기 분리 격벽(175)에 의해 분리된 상부 전극들(330)을 포함하되, 각 상부 전극(330)이 상기 링크 배선들(550) 중 하나와 연결될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 상기 분리 격벽(175)에 의해 분리된 상기 상부 전극들(330)을 이용하여 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지할 수 있다. 즉, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 발광 소자들(300) 및 상기 분리 격벽(175) 상에 위치하는 상기 봉지 부재(400) 상에 별도의 터치 전극들 및 터치 링크들을 형성하기 위한 공정이 생략될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 공정이 단순화될 수 있다.
또한, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 상기 분리 영역(SA) 상에 위치하는 상기 뱅크 절연막(160)이 상기 링크 배선들(550)과 중첩하는 상기 제 2 개구부(162h)를 포함하되, 상기 제 2 개구부(162h)의 일측 측벽이 상기 분리 격벽(175)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면과 중첩할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 상부 전극들(330)의 블록화가 효과적으로 수행될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 공정 효율이 향상될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 상기 뱅크 절연막(160)의 상기 제 2 개구부(162h)가 상기 분리 격벽(175)의 일측 측면과 중첩하는 것으로 설명된다. 그러나, 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 분리 영역(SA) 내에서 상기 분리 격벽(175)의 주변에 위치하는 상기 뱅크 절연막(160)이 모두 제거될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 상부 전극들(330)의 분리가 더욱 효과적으로 수행될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 각 상부 전극(330)의 단부가 해당 링크 배선(550)과 직접 접촉하는 것으로 설명된다. 그러나, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 연결 전극(350)을 통해 각 상부 전극(330)이 해당 링크 배선(550)과 전기적으로 연결될 수 있다. 상기 연결 전극(350)은 상기 상부 평탄화막(150)을 관통하여 해당 링크 배선(550)과 연결될 수 있다. 상기 연결 전극(350)은 상기 상부 평탄화막(150)과 상기 뱅크 절연막(160) 사이로 연장할 수 있다. 예를 들어, 상기 뱅크 절연막(160)의 상기 제 2 개구부는 상기 연결 전극(350)을 부분적으로 노출할 수 있다. 각 상부 전극(330)의 단부는 상기 제 2 개구부에 의해 노출된 상기 연결 전극(350)의 일부 영역과 직접 접촉할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 상부 평탄화막(150)의 두께 및 링크 컨택홀의 측벽 기울기에 의한 각 상부 전극(330)의 분리가 방지될 수 있다. 상기 연결 전극(350)은 도전성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 연결 전극(350)은 알루미늄(Al) 및 은(Ag)과 같은 금속을 포함할 수 있다. 상기 연결 전극(350)은 상기 화소 전극(310)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 연결 전극(350)은 상기 화소 전극(310)과 동시에 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 공정 효율이 효과적으로 향상될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 상기 분리 격벽(175)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면 및 상기 뱅크 절연막(160)의 상기 제 2 개구부를 통해 상기 상부 전극들(330)이 블록화되는 것으로 설명된다. 그러나, 도 7 및 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상부 평탄화막(150)과 뱅크 절연막(160) 사이에 위치하며, 역테이퍼 형상의 측면을 갖는 중간 절연막(710, 720)에 의해 상부 전극들(330)이 분리될 수 있다. 상기 중간 절연막(710, 720)은 링크 배선(550)과 분리 격벽(180) 사이에서 상기 뱅크 절연막(160)의 제 2 개구부를 향한 일측 측면(710S, 720S)이 역테이퍼 형상을 가질 수 있다. 상기 중간 절연막(710, 720)은 상기 뱅크 절연막(160)과 식각 선택비를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 중간 절연막(710, 720)은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 중간 절연막(710, 720)은 다중층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 중간 절연막(710, 720)은 제 1 중간 절연막(710) 및 상기 제 1 중간 절연막(710)과 상기 뱅크 절연막(160) 사이에 위치하는 제 2 중간 절연막(720)을 포함할 수 있다. 상기 제 2 중간 절연막(720)은 상기 제 1 중간 절연막(710)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 분리 격벽(175)의 측면이 정테이퍼 형상을 가질 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 분리 격벽(175)의 형상에 대한 자유도가 향상될 수 있다.
상기 뱅크 절연막(160)의 제 1 개구부를 향한 상기 제 1 중간 절연막(710)의 측면 및 상기 제 2 중간 절연막(720)의 측면은 정테이퍼 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 발광 영역(EA)을 향한 상기 제 1 중간 절연막(710)의 측면 및 상기 제 2 중간 절연막(720)의 측면은 정테이퍼 형상을 가질 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 각 발광 영역(EA) 내에서 상부 전극(330)의 분리가 방지될 수 있다.
상기 제 2 중간 절연막(720)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면(720S)은 상기 제 1 중간 절연막(710)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면(710S)보다 상기 제 2 개구부의 중심에 가까이 위치할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 제 1 중간 절연막(710)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면(710S)과 상기 제 2 중간 절연막(720)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면(720S)에 의한 언더 컷 영역이 증가될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상기 중간 절연막(710, 720)에 의한 상기 상부 전극들(330)의 분리가 효과적으로 수행될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 도 9에 도시된 바와 같이, 하부 평탄화막(140)과 상부 평탄화막(150) 사이에 제 1 중간 절연막(710) 및 제 2 중간 절연막(720)이 적층될 수 있다. 상기 제 1 중간 절연막(710)의 일측 측면 및 상기 제 2 중간 절연막(720)의 일측 측면은 역테이퍼 형상을 가질 수 있다. 예를 들어, 상기 링크 배선(550)과 상기 분리 격벽(180) 사이에서 상기 제 1 중간 절연막(710)의 측면 및 상기 제 2 중간 절연막(720)의 측면은 역테이퍼 형상을 가질 수 있다. 상기 제 1 중간 절연막(710)은 상기 상부 평탄화막(150)과 식각 선택비를 가질 수 있다. 상기 제 2 중간 절연막(720)은 상기 제 1 중간 절연막(710)과 동일한 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 중간 절연막(710) 및 상기 제 2 중간 절연막(720)은 무기 절연 물질을 포함할 수 있다. 상기 제 1 중간 절연막(710)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면 및 상기 제 2 중간 절연막(720)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면은 상기 링크 배선(550)과 중첩할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 각 상부 전극(330)은 상기 링크 배선(550)에서 분리될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 분리 영역(SA)의 면적이 최소화될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 도 10에 도시된 바와 같이, 상부 평탄화막(150)과 뱅크 절연막(160) 사이에 위치하는 제 1 중간 절연막(710)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면 및 제 2 중간 절연막(720)의 역테이퍼 형상을 갖는 측면이 분리 격벽(175)이 역테이퍼 형상의 측면과 중첩할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 각 상부 전극(330)이 인접한 다른 상부 전극(330)과 확실히 분리될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 분리된 상부 전극들(330) 사이의 간섭이 방지될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 분리 영역(SA)에 의해 블록화된 상부 전극들(330)을 이용하여 자가 정전 용량(self capacitance) 방식을 통해 사용자 및/또는 도구의 터치를 감지하는 것으로 설명된다. 그러나, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 상호 정전 용량(mutual capacitance) 방식을 통해 터치를 감지할 수 있다. 예를 들어, 도 11에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 상부 전극들(330)이 링크 배선들(550)과 수직한 방향으로 연장하도록 분리되고, 각 상부 전극(330)이 서로 다른 링크 배선(550)과 연결될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 인접한 두 상부 전극들(330)에 터치 구동 신호(Tx) 및 터치 센싱 신호(Rx)가 각각 인가될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 터치 구동 방식에 대한 자유도가 향상될 수 있다.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치는 도 12 및 13에 도시된 바와 같이, 각 상부 전극(330)이 발광 영역들(EA) 상에 위치하는 제 1 전극 영역들(330a) 및 상기 발광 영역들(EA)의 외측에 위치하는 제 2 전극 영역(330b)으로 분리될 수 있다. 각 제 1 전극 영역(330a)은 제 1 링크 배선들(550) 중 하나와 연결되고, 상기 제 2 전극 영역(330b)은 제 2 링크 배선(520)과 연결될 수 있다. 상기 제 1 링크 배선들(550)과 상기 제 2 링크 배선(520)에는 서로 다른 신호가 인가될 수 있다. 예를 들어, 상기 제 1 링크 배선들(550)에는 전원전압 신호가 인가되고, 상기 제 2 링크 배선(520)에는 터치 신호가 인가될 수 있다. 상기 제 1 링크 배선들(550)과 상기 제 2 링크 배선(520) 사이에는 신호 배선(540)이 위치할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 각 발광 소자에 의한 이미지의 구현과 터치 감지가 동시에 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 터치 디스플레이 장치에서는 터치 감지의 신뢰성이 향상될 수 있다.
100: 소자 기판 175: 분리 격벽
200: 박막 트랜지스터 300: 발광 소자
330: 상부 전극 400: 봉지 부재
550: 링크 배선
200: 박막 트랜지스터 300: 발광 소자
330: 상부 전극 400: 봉지 부재
550: 링크 배선
Claims (15)
- 소자 기판 상에 위치하는 링크 배선;
상기 소자 기판 상에 위치하고, 상기 링크 배선을 부분적으로 노출하는 링크 컨택홀을 포함하는 상부 평탄화막;
상기 상부 평탄화막 상에 위치하고, 발광 영역을 정의하는 제 1 개구부 및 상기 링크 배선과 중첩하는 제 2 개구부를 포함하는 뱅크 절연막;
상기 발광 영역 내에 위치하고, 상기 상부 평탄화막 상에 순서대로 적층된 화소 전극, 발광층 및 상부 전극을 포함하는 발광 소자;
상기 뱅크 절연막 상에 위치하고, 상기 제 2 개구부의 측벽과 중첩하는 측면이 역테이퍼 형상을 갖는 분리 격벽; 및
상기 뱅크 절연막, 상기 발광 소자 및 상기 분리 격벽 상에 위치하는 봉지 부재를 포함하되,
상기 제 2 개구부는 상기 제 1 개구부와 상기 분리 격벽 사이에 위치하고,
상기 발광 소자의 상기 상부 전극은 상기 제 2 개구부 내에 위치하고, 상기 링크 배선과 연결되는 단부를 포함하는 터치 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 소자 기판과 대향하는 상기 분리 격벽의 상부면 상에 위치하고, 상기 상부 전극과 분리되는 전극 패턴을 더 포함하되,
상기 전극 패턴은 상기 상부 전극과 동일한 물질을 포함하는 터치 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 링크 배선과 접촉하고, 상기 링크 컨택홀의 측면을 따라 상기 상부 평탄화막과 상기 뱅크 절연막 사이로 연장하는 연결 전극을 더 포함하되,
상기 제 2 개구부는 상기 연결 전극을 부분적으로 노출하고,
상기 상부 전극의 상기 단부는 상기 제 2 개구부에 의해 노출된 상기 연결 전극과 접촉하는 터치 디스플레이 장치. - 제 3 항에 있어서,
상기 연결 전극은 상기 화소 전극과 동일한 물질을 포함하는 터치 디스플레이 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 상부 평탄화막과 상기 뱅크 절연막 사이에 위치하는 제 1 중간 절연막을 더 포함하되,
상기 링크 배선과 상기 분리 격벽 사이에서 상기 제 2 개구부를 향한 상기 제 1 중간 절연막의 측면은 역테이퍼 형상을 갖는 터치 디스플레이 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 중간 절연막은 상기 뱅크 절연막과 식각 선택비를 갖는 터치 디스플레이 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 제 1 중간 절연막과 상기 뱅크 절연막 사이에 위치하는 제 2 중간 절연막을 더 포함하되,
상기 링크 배선과 상기 분리 격벽 사이에서 상기 제 2 개구부를 향한 상기 제 2 중간 절연막의 측면은 상기 제 2 개구부를 향한 상기 제 1 중간 절연막의 측면보다 상기 제 2 개구부의 중심에 가까이 위치하는 터치 디스플레이 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 링크 배선과 상기 분리 격벽 사이에서 상기 제 2 개구부를 향한 상기 제 2 중간 절연막의 측면은 역테이퍼 형상을 갖는 터치 디스플레이 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 제 2 중간 절연막은 상기 뱅크 절연막과 식각 선택비를 갖는 터치 디스플레이 장치. - 제 9 항에 있어서,
상기 제 2 중간 절연막은 상기 제 1 중간 절연막과 동일한 물질을 포함하는 터치 디스플레이 장치. - 발광 영역 및 분리 영역을 포함하는 소자 기판;
상기 소자 기판의 상기 발광 영역 상에 위치하고, 상기 분리 영역과 이격되는 화소 전극;
상기 소자 기판의 상기 분리 영역 상에 위치하고, 상기 화소 전극과 이격되는 링크 배선;
상기 소자 기판 상에 위치하고, 상기 화소 전극을 부분적으로 노출하는 제 1 개구부 및 상기 링크 배선을 부분적으로 노출하는 제 2 개구부를 포함하는 뱅크 절연막;
상기 뱅크 절연막의 상기 제 1 개구부에 의해 노출된 상기 화소 전극의 일부 영역 상에 위치하는 발광층;
상기 발광층 상에 위치하고, 상기 제 2 개구부를 통해 상기 링크 배선과 연결되는 상부 전극;
상기 뱅크 절연막 상에 위치하고, 상기 분리 영역과 중첩하는 분리 격벽;
상기 소자 기판과 상기 뱅크 절연막 사이에 위치하고, 상기 링크 배선과 상기 분리 격벽 사이에서 상기 제 2 개구부를 향한 측면이 역테이퍼 형상을 갖는 제 1 중간 절연막; 및
상기 상부 전극과 상기 분리 격벽 상에 위치하는 봉지 부재를 포함하되,
상기 제 2 개구부는 상기 발광 영역과 상기 분리 격벽 사이에 위치하고,
상기 분리 격벽은 상기 제 2 개구부의 측벽에 가까이 위치하며,
상기 제 1 중간 절연막의 역테이퍼 형상을 갖는 측면은 상기 링크 배선과 중첩하는 터치 디스플레이 장치. - 제 11 항에 있어서,
상기 제 2 개구부의 측벽은 상기 제 1 개구부의 측벽보다 큰 기울기를 갖는 터치 디스플레이 장치. - 제 11 항에 있어서,
상기 소자 기판과 상기 화소 전극 사이에 위치하고, 상기 링크 배선을 부분적으로 노출하는 상부 평탄화막을 더 포함하되,
상기 제 1 중간 절연막은 상기 소자 기판과 상기 상부 평탄화막 사이에 위치하는 터치 디스플레이 장치. - 제 13 항에 있어서,
상기 제 1 중간 절연막은 상기 상부 평탄화막과 식각 선택비를 갖는 터치 디스플레이 장치. - 제 13 항에 있어서,
상기 제 1 중간 절연막과 상기 상부 평탄화막 사이에 위치하는 제 2 중간 절연막을 더 포함하되,
상기 링크 배선과 중첩하는 상기 제 2 중간 절연막의 측면은 역테이퍼 형상을 가지는 터치 디스플레이 장치.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200189502A KR20220096761A (ko) | 2020-12-31 | 2020-12-31 | 터치 디스플레이 장치 |
| CN202111571309.2A CN114690945A (zh) | 2020-12-31 | 2021-12-21 | 触摸显示设备 |
| JP2021210959A JP7324830B2 (ja) | 2020-12-31 | 2021-12-24 | タッチディスプレイ装置 |
| TW110148783A TWI802176B (zh) | 2020-12-31 | 2021-12-24 | 觸控顯示裝置 |
| US17/565,358 US11698694B2 (en) | 2020-12-31 | 2021-12-29 | Display apparatus realizing a large image |
| DE102021006471.2A DE102021006471A1 (de) | 2020-12-31 | 2021-12-29 | Berührungsanzeigevorrichtung |
| GB2119126.7A GB2604715B (en) | 2020-12-31 | 2021-12-30 | Touch display apparatus capable of simplifying a process for touch sensing |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020200189502A KR20220096761A (ko) | 2020-12-31 | 2020-12-31 | 터치 디스플레이 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20220096761A true KR20220096761A (ko) | 2022-07-07 |
Family
ID=80220028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020200189502A KR20220096761A (ko) | 2020-12-31 | 2020-12-31 | 터치 디스플레이 장치 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11698694B2 (ko) |
| JP (1) | JP7324830B2 (ko) |
| KR (1) | KR20220096761A (ko) |
| CN (1) | CN114690945A (ko) |
| DE (1) | DE102021006471A1 (ko) |
| GB (1) | GB2604715B (ko) |
| TW (1) | TWI802176B (ko) |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1643693A (zh) | 2002-03-20 | 2005-07-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 主动矩阵电致发光显示装置及其制造方法 |
| KR101634791B1 (ko) | 2008-11-28 | 2016-06-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 접촉 감지 기능이 있는 유기 발광 표시 장치 |
| KR102004305B1 (ko) * | 2011-02-11 | 2019-07-26 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 발광 장치 및 그 제작 방법, 그리고 조명 장치 및 표시 장치 |
| KR101679977B1 (ko) * | 2015-05-29 | 2016-11-28 | 엘지디스플레이 주식회사 | 자기 정전용량식 터치 센서 일체형 표시장치와 그 제조방법 |
| KR101992916B1 (ko) * | 2016-09-30 | 2019-06-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치 센서를 가지는 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
| US20190157355A1 (en) * | 2017-11-22 | 2019-05-23 | Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co. Ltd. | Touch screen panel and manufacturing method thereof |
| KR20200082355A (ko) | 2018-12-28 | 2020-07-08 | 엘지디스플레이 주식회사 | 터치표시장치 |
| CN111180497A (zh) | 2020-01-06 | 2020-05-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板、其制作方法及显示面板、显示装置 |
| CN111210732B (zh) * | 2020-03-06 | 2022-06-21 | 合肥维信诺科技有限公司 | 显示面板和显示装置 |
-
2020
- 2020-12-31 KR KR1020200189502A patent/KR20220096761A/ko unknown
-
2021
- 2021-12-21 CN CN202111571309.2A patent/CN114690945A/zh active Pending
- 2021-12-24 JP JP2021210959A patent/JP7324830B2/ja active Active
- 2021-12-24 TW TW110148783A patent/TWI802176B/zh active
- 2021-12-29 DE DE102021006471.2A patent/DE102021006471A1/de active Pending
- 2021-12-29 US US17/565,358 patent/US11698694B2/en active Active
- 2021-12-30 GB GB2119126.7A patent/GB2604715B/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114690945A (zh) | 2022-07-01 |
| US20220206621A1 (en) | 2022-06-30 |
| JP2022105299A (ja) | 2022-07-13 |
| GB2604715B (en) | 2023-09-13 |
| GB2604715A (en) | 2022-09-14 |
| TWI802176B (zh) | 2023-05-11 |
| GB202119126D0 (en) | 2022-02-16 |
| US11698694B2 (en) | 2023-07-11 |
| DE102021006471A1 (de) | 2022-06-30 |
| TW202240369A (zh) | 2022-10-16 |
| JP7324830B2 (ja) | 2023-08-10 |
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