KR20220096615A - 정전척을 이용한 기판 얼라인 장치, 증착장치 및 기판 얼라인 방법 - Google Patents

정전척을 이용한 기판 얼라인 장치, 증착장치 및 기판 얼라인 방법 Download PDF

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KR20220096615A
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강재규
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주식회사 선익시스템
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Abstract

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 하면이 노출되도록 상기 기판을 지지하는 기판 홀더와; 상기 기판 상부에 위치하며 정전기의 힘에 의해 상기 기판이 부착되는 정전척과; 상기 정전척 상부에 위치하고, 판 상으로 자력을 제공하며 하강에 따라 상기 마스크가 부착되어 상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 마그넷 플레이트와; 상기 기판 하면에 대향하여 배치되는 마스크를 홀딩하는 마스크 홀더와; 상기 마그넷 플레이트에 결합되어 상기 마그넷 플레이트의 위치를 제어하는 마그넷 플레이트 위치제어부와; 상기 정전척과 결합되어 상기 정전척의 위치를 제어하는 정전척 위치제어부를 포함하며, 상기 마그넷 플레이트와 상기 정전척은 개별적으로 위치제어되는, 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치가 제공된다.

Description

정전척을 이용한 기판 얼라인 장치, 증착장치 및 기판 얼라인 방법{Appratus for aligning substrate using electrostatic chuck, Appratus of deposition having the same and method for aligning substrate }
본 발명은 정전척을 이용한 기판 얼라인 장치, 증착장치 및 기판 얼라인 방법에 관한 것이다.
최근 디스플레이 소자로 액정 표시 소자(Liquid Crystal Display, LCD), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel, PDP), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes, OLED) 등 평판 표시 소자(Flat Panel Display)가 널리 이용되고 있다. 이러한 평판 표지 소자는 유리기판에 일정 패턴으로 금속박막이나 유기박막을 증착하는 증착공정 등의 일련의 공정을 진행하여 제조된다.
금속박막이나 유기박막의 증착은 진공열증착방법에 의해 이루어질 수 있는데, 진공열증착방법은 증착 챔버 내에 기판을 배치하고, 일정 패턴이 형성된 마스크와 기판을 얼라인(align)하고 합착시킨 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
따라서, 기판과 마스크를 얼라인하는 공정은 이후 증착공정에 있어서 초석이 되므로 그 정밀도를 높이는 것은 매우 중요하다.
그런데, 유리기판에 금속박막이나 유기박막을 증착하기 위해서는 유리기판의 증착면이 노출되도록 유리기판 양단부를 지지하여야 하는데, 최근 평판 표지 소자가 대형화됨에 따라 유리기판이 대형화되어 유리기판의 중앙부에 큰 처짐이 발생하여 기판과 마스크의 얼라인 과정에서 오차가 발생할 수 있고 이에 따라 증착의 정밀도가 떨어져 유기발광소자의 수율이 저하되는 문제점이 있다.
또한, 기판의 대형화됨에 따라 마스크 또한 대형화되면서, 대형의 마스크 중량에 의해 얼라인을 위한 마스크의 핸들링에 시간이 소요되어 기판의 얼라인에 많은 시간이 소요되는 문제가 있다.
대한민국 등록특허 10-0759578호(2007. 09. 18 공고)
본 발명은 기판을 척킹하는 정전척을 마그넷 플레이트와 기판 사이에 배치하되, 기판이 척킹되는 정전척을 마그넷 플레이트와 별개로 위치 제어하여 기판과 마스크를 정렬하고 합착하는, 정전척을 이용한 기판 얼라인 장치, 증착장치 및 기판 얼라인 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 하면이 노출되도록 상기 기판을 지지하는 기판 홀더와; 상기 기판 상부에 위치하며 정전기의 힘에 의해 상기 기판이 부착되는 정전척과; 상기 정전척 상부에 위치하고, 판 상으로 자력을 제공하며 하강에 따라 상기 마스크가 부착되어 상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 마그넷 플레이트와; 상기 기판 하면에 대향하여 배치되는 마스크를 홀딩하는 마스크 홀더와; 상기 마그넷 플레이트에 결합되어 상기 마그넷 플레이트의 위치를 제어하는 마그넷 플레이트 위치제어부와; 상기 정전척과 결합되어 상기 정전척의 위치를 제어하는 정전척 위치제어부를 포함하며, 상기 마그넷 플레이트와 상기 정전척은 개별적으로 위치제어되는, 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치가 제공된다.
상기 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치는, 상기 마스크 홀더에 결합되어 상기 마스크 홀더의 위치를 제어하는 마스크 홀더 위치제어부와; 상기 기판 홀더에 결합되어 상기 기판 홀더의 위치를 제어하는 기판 홀더 위치제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 마그넷 플레이트 위치제어부가 상기 마그넷 플레이트의 위치를 제어하여, 상기 마그넷 플레이트와 상기 마스크를 정렬할 수 있다.
상기 정전척이 상기 기판을 척킹한 상태에서, 상기 정전척 위치제어부가 상기 정전척의 위치를 제어하여, 상기 마그넷 플레이트 또는 상기 마스크와 상기 기판을 정렬할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판이 내부에 로딩되는 증착 챔버와; 상기 증착 챔버의 내부에 배치되는 상기 기판 얼라인 장치와; 상기 기판에 대향하여 증발물질을 분사하는 증발원을 포함하는, 증착 장치가 제공된다.
그리고, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 기판을 기판 홀더에 로딩하는 단계와; 마그넷 플레이트 위치제어부의 제어에 따라 마그넷 플레이트와 마스크를 정렬하는 단계와; 정전척 위치제어부의 제어에 따라 상기 기판을 척킹하고 상기 기판을 상기 마스크 플레이트 또는 상기 마스크와 정렬하는 단계와; 상기 마그넷 플레이트의 하강에 따라 상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 단계를 포함하는, 기판 얼라인 방법이 제공된다.
상기 마그넷 플레이트와 마스크를 정렬하는 단계는, 상기 마스크 홀더 위치제어부의 제어에 따라 상기 마그넷 플레이트와 상기 마스크를 정렬하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 기판을 척킹하는 정전척을 마그넷 플레이트와 기판 사이에 배치하되, 기판이 척킹되는 정전척을 마그넷 플레이트와 별개로 위치 제어하여 기판과 마스크를 정렬하고 합착할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척을 이용한 기판 얼라인 장치를 포함하는 증착장치를 간략히 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 마그넷 플레이트, 정전척, 기판 및 마스크가 정렬된 상태를 도시한 도면.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 마그넷 플레이트, 정전척, 기판 및 마스크가 정렬된 상태를 도시한 측면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 따라 마그넷 플레이트, 정전척, 기판 및 마스크가 정렬과정을 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 방법의 순서도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 정전척을 이용한 기판 얼라인 장치, 증착장치 및 기판 얼라인 방법을 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부한 도면을 참조하여 설명함에 있어서, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 정전척을 이용한 기판 얼라인 장치를 포함하는 증착장치를 간략히 도시한 도면이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 마그넷 플레이트, 정전척, 기판 및 마스크가 정렬된 상태를 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 마그넷 플레이트, 정전척, 기판 및 마스크가 정렬된 상태를 도시한 측면도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따라 따라 마그넷 플레이트, 정전척, 기판 및 마스크가 정렬과정을 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 4에는, 기판(10), 기판 얼라인 장치(11), 증착 챔버(12), 증발원(14), 기판 홀더(16), 마스크(17), 마스크 홀더(18), 마그넷 플레이트(20), 정전척(22), 마스크 홀더 위치제어부(24), 기판 홀더 위치제어부(26), 정전척 위치제어부(28), 마그넷 플레이트 위치제어부(30)가 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치(11)는, 기판(10)의 하면이 노출되도록 상기 기판(10)을 지지하는 기판 홀더(16)와; 상기 기판(10) 상부에 위치하며 정전기의 힘에 의해 상기 기판(10)이 부착되는 정전척(22)과; 상기 정전척(22) 상부에 위치하고, 판 상으로 자력을 제공하며 하강에 따라 상기 마스크(17)가 부착되어 상기 기판(10)과 상기 마스크(17)를 합착하는 마그넷 플레이트(20)와; 상기 기판(10) 하면에 대향하여 배치되는 마스크(17)를 홀딩하는 마스크 홀더(18)와; 상기 마그넷 플레이트(20)에 결합되어 상기 마그넷 플레이트(20)의 위치를 제어하는 마그넷 플레이트 위치제어부(30)와; 상기 정전척(22)과 결합되어 상기 정전척(22)의 위치를 제어하는 정전척 위치제어부(28)를 포함한다. 본 실시예에 따른 정전척을 이용한 기판 얼라인 장치(11)의 상기 마그넷 플레이트(20)와 상기 정전척(22)은 개별적으로 위치제어될 수 있다.
본 실시예에 따른 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치(11)를 설명하기에 앞서 이를 포함하는 증착장치에 대해 먼저 살펴 보기로 한다.
도 1을 참조하면, 증착장치는, 기판(10)이 내부에 로딩되는 증착 챔버(12)와, 증착 챔버(12)의 내부에 배치되는 본 실시예에 따른 기판 얼라인 장치(11)와, 기판(10)에 대향하여 증발물질을 분사하는 증발원(14)을 포함한다.
증착 챔버(12)의 내부는 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(10)이 증착 챔버(12)의 내부에 위치한 기판 얼라인 장치(11)에 로딩된다.
기판 얼라인 장치(11)에 로딩된 기판(10)은 마스크(17)와 얼라인되면서 합착이 이루어지고, 기판(10)과 마스크(17)의 합착이 이루어진 상태에서 증발원(14)에서 기체 상태의 증발물질이 기판(10)을 향하여 분출되어 기판(10) 상에 증착이 이루어진다.
증발원(14)에는 증발물질이 수용되며 증발원(14)의 가열에 따라 증발물질이 증발되면서 기판(10) 상으로 분출이 이루어진다.
이하에서는 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 실시예에 따른 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치(11)의 구성 및 그 작동 과정에 대해 자세히 살펴보기로 한다.
기판 홀더(16)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 하면이 노출되도록 기판(10)을 지지한다. 로봇암에 의해 리프팅된 기판(10)은 기판 홀더(16)에 로딩되는데, 기판(10)의 하면이 아래의 증발원(14)을 향하여 노출되도록 기판(10)의 양단부를 서로 이격되어 배치되는 기판 지지부가 각각 지지하게 된다
기판 홀더(16)의 기판 지지부가 기판(10)의 양단부를 각각 지지함에 따라 기판(10)의 자체 중량에 의해 기판(10)의 중앙부에서 처짐이 발생하게 된다. 이러한 처짐은 기판(10)이 크기가 증가함에 따라 이에 연동되어 증가하게 된다.
상술한 바와 같이, 기판 홀더(16)에 놓여진 기판(10)에는 처짐이 발생하고 처짐이 발생한 상태에 마스크(17)와 얼라인하는 경우 얼라인 정밀도가 떨어져 반복적인 얼라인 공정을 수행할 우려가 있다.
정전척(22)은, 기판(10) 상부에 위치하며 하강에 따라 정전기의 힘에 의해 기판(10)이 부착된다. 정전척(22) (Electrostatic Chuck)은 정전기의 힘을 이용하여 기판(10)을 고정하는 척킹 장치로서, 정전척(22)에 '+', '-'를 인가시키면 대상물에는 반대의 전위가 대전('-', '+')되고, 대전된 전위에 의하여 서로 끌어당기는 힘이 발생하는 원리를 이용하여 정전척(22)에 기판(10)을 부착시켜 고정하게 된다.
기판(10)의 중앙부가 처짐이 발생한 상태에서 정전척(22)을 하강시켜 기판(10)을 부착시키게 되면, 처짐이 발생된 기판(10)이 정전척(22)에 편평하게 부착되고, 정전척(22)에 편평하게 부착된 기판(10)에 대해 마그넷 플레이트(20)가 하강하면서 기판(10) 하부의 마스크(17)와 부착되어 기판(10)과 마스크(17)의 합착이 이루어진다.
마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)와의 부착 전에 기판(10)의 처짐이 상쇄되도록 정전척(22)에 기판(10)을 편평하게 부착함으로써 기판(10)의 처짐에 따른 얼라인 오차를 줄일 수 있다.
한편, 본 실시예에 따른 정전척(22)은, 증착 챔버(12)의 상부에 설치되는 정전척 위치제어부(28)에 결합되어 개별적으로 위치가 제어된다.
마그넷 플레이트(20)는, 정전척(22) 상부에 위치하고 판 상으로 자력을 제공하며 하강에 따라 마스크(17)가 부착되어 기판(10)과 마스크(17)를 합착한다. 마그넷 플레이트(20)에는 판 상의 마스크(17)가 부착될 수 있도록 자력을 발생시키는 마그넷이 부착되어 있으며, 마그넷 플레이트(20)가 하강하여 마스크(17)와 가까워짐에 따라 마그넷 플레이트(20)에 마스크(17)가 부착되면서 그 사이의 기판(10)과 합착이 이루어진다.
상술한 바에 따르면, 기판(10)이 정전척(22)에 편평하게 밀착되어 부착될 수 있기 때문에 마스크(17)와 합착 과정에서도 처짐에 의한 기판(10)의 변위가 없어 얼라인의 정밀도를 높일 수 있다. 기판(10)이 정전척(22)에 편평하게 밀착된 상태에서 기판(10)과 마스크(17)의 얼라인이 이루어지기 때문에 얼라인의 시간을 단축할 수 있고, 이 상태에서 기판(10)과 마스크(17)의 합착이 이루어지기 때문에 기판(10)의 변위가 없어 얼라인의 정밀도를 높일 수 있다.
마스크 홀더(18)는, 기판(10) 하면에 대향하여 배치되는 마스크(17)를 지지하는 장치로서, 판 상의 마스크 시트와 마스크 시트의 단부가 고정되는 마스크 프레임을 포함하는 마스크(17)를 지지한다.
마스크(17)는 개구(開口) 형태로 일정 패턴이 형성된 얇은 마스크 시트를 구비하며, 기판(10)의 대형화에 따라 마스크의 크기도 대형화되고 있다. 일반적으로 마스크(17)는 일정 패턴이 형성되는 마스크 시트를 팽팽하게 인장시켜 단부를 마스크 프레임에 고정하여 구성하게 된다. 마스크 시트는 금속성의 재질로 이루어지며 후술할 마그넷 플레이트(20)의 마그넷의 자력에 의해 마그넷 플레이트(20)에 부착된다. 마스크 프레임은 마스크(17)의 틀을 이루는 것으로 마스크 시트를 지지하기 위한 일정한 강성을 지니게 된다. 이러한 마스크(17)는 마스크 홀더(18)에 의해 지지되며 상부의 마그넷 플레이트(20)가 마스크 홀더(18) 방향으로 하강하면서 기판(10)과 마스크(17)의 합착이 이루어진다.
마그넷 플레이트 위치제어부(30)는, 마그넷 플레이트(20)에 결합되어 마그넷 플레이트(20)의 위치를 제어한다. 마그넷 플레이트(20)는 증착 챔버(12)의 내부에 위치하고 이를 제어하기 위한 마그넷 플레이트 위치제어부(30)는 증착 챔버(12)의 상부에 위치한다.
본 실시예에 있어, 상술한 정전척 위치제어부(28)와 마그넷 플레이트 위치제어부(30)는 서로 독립적으로 작동하여 마그넷 플레이트(20)와 정전척(22)의 위치를 개별적으로 제어할 수 있다.
종래에는 정전척(22)을 마그넷 플레이트(20)와 연동되도록 정전척(22)이 마그넷 플레이트(20)에 결합된 상태에서, 마그넷 플레이트(20)의 위치를 제어함에 따라 정전척(22)도 마그넷 플레이트(20)와 연동되어 이동하였으나, 본 실시예에서는 정전척 위치제어부(28)를 별도로 설치하여 정전척(22)의 위치를 마그넷 플레이트(20)와 별도로 변경하도록 구성하였다. 이와 같이 정전척(22)의 위치제어를 별도 구성한 이유는 아래에서 자세히 설명하기로 한다.
마스크 홀더 위치제어부(24)는, 마스크 홀더(18)에 결합되어 마스크 홀더(18)의 위치를 제어하고, 기판 홀더 위치제어부(26)는 기판 홀더(16)에 결합되어 기판 홀더(16)의 위치를 제어한다.
도 1을 참조하면, 증착 챔버(12)의 상부에 마스크 홀더(18)의 위치를 제어하기 위한 마스크 홀더 위치제어부(24)가 결합되어 있고, 기판 홀더 위치제어부(26)는 마스크 홀더 위치제어부(24)의 상부에 결합되어 있다. 기판 홀더 위치제어부(26)와 마스크 홀더 위치제어부(24)의 위치 제어에 따라 기판(10) 또는 마스크(17)의 위치를 변경하면서 기판(10)과 마스크(17)를 얼라인할 수 있다.
이하에서는 도 2 내지 도 4를 참조하여, 본 실시예에 따른 기판 얼라인 장치(11)를 이용하여 기판(10)과 마스크(17)를 얼라인 하는 과정을 살펴보기로 한다.
먼저, 도 2에는 마그넷 플레이트(20), 정전척(22), 기판(10) 및 마스크(17)가 이상적으로 정렬된 상태를 도시하고 있다.
마그넷 플레이트(20), 정전척(22) 및 마스크(17)가 일정 기준에 따라 정렬된 상태에서, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(10)이 일정 정밀도로 정렬된 상태로 로딩되면, 정전척 위치제어부(28)에 의해 정전척(22)이 하강하여 기판(10)을 편평하게 척킹하고 정전척(22)에 부착된 기판(10)과 최하부의 마스크(17)의 최소한의 미세 정렬 후 마그넷 플레이트(20)를 하강하여 기판(10)과 마스크(17)를 합착하게 된다.
그런데, 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 마그넷 플레이트(20), 마스크(17)가 일정 기준에 따라 정렬된 상태에서, 기판(10)이 비틀어진 상태로 로딩되는 경우가 있을 수 있다. 이 경우, 정전척 위치제어부(28)에 의해 정전척(22)을 하강하여 기판(10)을 척킹한 상태에서, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 정전척 위치제어부(28)의 제어에 따라 기판(10)의 위치를 변경하여 기판(10)과 마스크(17)를 정렬한 후, 마그넷 플레이트(20)를 하강시켜 기판(10)과 마스크(17)를 합착하게 된다.
종래에는 기판(10)이 기판 홀더(16)에 로딩되면, 기판 홀더 위치제어부(26) 또는 마스크 홀더 위치제어부(24)의 제어에 따라 기판(10)과 마스크(17)를 정렬한 후 마그넷 플레이트(20)를 하강하여 마그넷 플레이트(20)에 연동되는 정전척(22)이 기판(10)을 편평하게 척킹한 상태에서 마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)가 부착되면서 기판(10)과 마스크(17)를 합착하였으나, 본 실시예에서는 정전척 위치제어부(28)가 정전척(22)을 개별적으로 제어하여 기판(10)과 마스크(17)를 정렬하도록 구성하였다. 이에 따라 중량의 기판 홀더(16), 마스크 홀더(18)의 위치제어를 최소화하여 기판(10)의 얼라인 시간을 단축할 수 있다.
본 실시예에 따르면 정전척 위치제어에 따른 기판(10)과 마스크(17)의 정렬 전에, 먼저 마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)의 정렬이 선행될 필요가 있는데, 마그넷 플레이트 위치제어부(30)가 마그넷 플레이트(20)의 위치를 제어하여 마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)를 정렬한 상태에서 정전척 위치제어부(28)가 정전척(22)의 위치를 제어하여, 마그넷 플레이트(20) 또는 마스크(17)와 정전척(22)에 부착된 기판(10)을 정렬하게 된다.
본 실시예에서는 마그넷 플레이트 위치제어부(30)의 위치 제어에 따라 마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)를 정렬하는 방식을 제시하였으나, 마스크 홀더 위치제어부(24)의 위치 제어에 따라 마스크(17)와 마그넷 플레이트(20)를 정렬하는 것도 가능하다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 방법의 순서도이다.
본 실시예에 따른 기판(10) 얼라인 방법은, 기판(10)을 기판 홀더(16)에 로딩하는 단계와; 마그넷 플레이트 위치제어부(30)의 제어에 따라 마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)를 정렬하는 단계와; 정전척 위치제어부(28)의 제어에 따라 상기 기판(10)을 척킹하고 상기 기판(10)을 상기 마스크(17)와 정렬하는 단계와; 상기 마그넷 플레이트(20)의 하강에 따라 상기 기판(10)과 상기 마스크(17)를 합착하는 단계를 포함한다.
도 1을 참조하면, 증착장치는, 기판(10)이 내부에 로딩되는 증착 챔버(12)와, 증착 챔버(12)의 내부에 배치되는 본 실시예에 따른 기판 얼라인 장치(11)와, 기판(10)에 대향하여 증발물질을 분사하는 증발원(14)을 포함할 수 있다.
이하에서는 도 4를 참조하여 본 실시예에 따른 기판 얼라인 방법을 설명한다.
먼저, 기판(10)을 기판 홀더(16)에 로딩한다(S100). 로봇암에 의해 리프팅된 기판(10)은 증착 챔버(12)의 내부에 위치하는 기판 홀더(16)에 로딩되는데, 기판(10)의 하면이 아래의 증발원(14)을 향하여 노출되도록 기판 홀더(16)에 로딩된다.
다음에, 마그넷 플레이트 위치제어부(30)의 제어에 따라 마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)를 정렬한다(S200). 마그넷 플레이트 위치제어부(30)는, 마그넷 플레이트(20)에 결합되어 마그넷 플레이트(20)의 위치를 제어하기 위한 구성으로서, 마그넷 플레이트 위치제어부(30)의 위치제어에 따라 마그넷 플레이트(20)와 하부의 마스크(17)를 일정 정도로 정렬한다.
본 실시예에서는 마그넷 플레이트 위치제어부(30)의 위치 제어에 따라 마그넷 플레이트(20)와 마스크(17)를 정렬하는 방식을 제시하였으나, 마스크 홀더 위치제어부(24)의 위치 제어에 따라 마스크(17)와 마그넷 플레이트(20)를 정렬하는 것도 가능하다.
다음에, 정전척 위치제어부(28)의 제어에 따라 기판(10)을 척킹하고 기판(10)을 마스크(17)와 정렬한다. 도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 마그넷 플레이트(20), 마스크(17)가 일정 기준에 따라 정렬된 상태에서, 기판(10)이 비틀어진 상태로 로딩되는 경우가 있을 수 있다. 이 경우, 정전척 위치제어부(28)에 의해 정전척(22)을 하강하여 기판(10)을 척킹한 상태에서, 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이, 정전척 위치제어부(28)의 제어에 따라 기판(10)의 위치를 변경하여 기판(10)과 마스크(17)를 정렬한다.
다음에, 마그넷 플레이트(20)의 하강에 따라 기판(10)과 마스크(17)를 합착한다. 마그넷 플레이트(20), 기판(10), 마스크(17)가 정렬된 상태에서 마그넷 플레이트(20)를 하강하면 마그넷 플레이트(20)의 자력이 기판(10) 하부의 마스크(17)를 잡아당겨 기판(10)과 마스크(17)의 합착이 이루어진다.
상기에는 본 발명의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 쉽게 이해할 수 있을 것이다.
10: 기판 11: 기판 얼라인 장치
12: 증착 챔버 14: 증발원
16: 기판 홀더 17: 마스크
18: 마스크 홀더 20: 마그넷 플레이트
22: 정전척 24: 마스크 홀더 위치제어부
26: 기판 홀더 위치제어부 28: 정전척 위치제어부
30: 마그넷 플레이트 위치제어부

Claims (7)

  1. 기판의 하면이 노출되도록 상기 기판을 지지하는 기판 홀더와;
    상기 기판 상부에 위치하며 정전기의 힘에 의해 상기 기판이 부착되는 정전척과;
    상기 정전척 상부에 위치하고, 판 상으로 자력을 제공하며 하강에 따라 상기 마스크가 부착되어 상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 마그넷 플레이트와;
    상기 기판 하면에 대향하여 배치되는 마스크를 홀딩하는 마스크 홀더와;
    상기 마그넷 플레이트에 결합되어 상기 마그넷 플레이트의 위치를 제어하는 마그넷 플레이트 위치제어부와;
    상기 정전척과 결합되어 상기 정전척의 위치를 제어하는 정전척 위치제어부를 포함하며,
    상기 마그넷 플레이트와 상기 정전척은 개별적으로 위치제어되는 것을 특징으로 하는, 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마스크 홀더에 결합되어 상기 마스크 홀더의 위치를 제어하는 마스크 홀더 위치제어부와;
    상기 기판 홀더에 결합되어 상기 기판 홀더의 위치를 제어하는 기판 홀더 위치제어부를 더 포함하는, 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 마그넷 플레이트 위치제어부가 상기 마그넷 플레이트의 위치를 제어하여, 상기 마그넷 플레이트와 상기 마스크를 정렬하는 것을 특징으로 하는, 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 정전척이 상기 기판을 척킹한 상태에서,
    상기 정전척 위치제어부가 상기 정전척의 위치를 제어하여, 상기 마그넷 플레이트 또는 상기 마스크와 상기 기판을 정렬하는 것을 특징으로 하는, 정전척을 구비하는 기판 얼라인 장치.
  5. 기판이 내부에 로딩되는 증착 챔버와;
    상기 증착 챔버의 내부에 배치되는 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 따른 기판 얼라인 장치와;
    상기 기판에 대향하여 증발물질을 분사하는 증발원을 포함하는, 증착 장치.
  6. 기판을 기판 홀더에 로딩하는 단계와;
    마그넷 플레이트 위치제어부의 제어에 따라 마그넷 플레이트와 마스크를 정렬하는 단계와;
    정전척 위치제어부의 제어에 따라 상기 기판을 척킹하고 상기 기판을 상기 마스크 플레이트 또는 상기 마스크와 정렬하는 단계와;
    상기 마그넷 플레이트의 하강에 따라 상기 기판과 상기 마스크를 합착하는 단계를 포함하는, 기판 얼라인 방법.
  7. 상기 마그넷 플레이트와 마스크를 정렬하는 단계는,
    상기 마스크 홀더 위치제어부의 제어에 따라 상기 마그넷 플레이트와 상기 마스크를 정렬하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 방법.
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