KR20220092858A

KR20220092858A - 진공 펌프

Info

Publication number: KR20220092858A
Application number: KR1020227010416A
Authority: KR
Inventors: 요시유키 다카이; 도오루 미와타
Original assignee: 에드워즈 가부시키가이샤
Priority date: 2019-11-05
Filing date: 2020-10-27
Publication date: 2022-07-04
Also published as: WO2021090738A1; EP4056855A1; JP2021076025A; US11680585B2; JP7356869B2; US20220397124A1; CN114555951A; EP4056855A4

Abstract

나사 홈을 구비하는 진공 펌프의 나사 홈보다 하류측의 유로에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있는 진공 펌프를 제공한다. 흡기구(12) 또는 배기구(21)를 갖는 케이싱(11)과, 복수의 로터 날개(32) 및 로터 원통부(33)를 구비하는 로터(30)와, 구동부(80)와, 베어링과, 스테이터 날개(43)와, 스테이터 날개(43)보다 하류측에 배치되어 로터 원통부(33)의 외주면과 대면하는 내주면을 갖는 나사 홈 스테이터(50)와, 나사 홈(51)보다 하류측에 배치되는 단열벽(90)을 갖는 진공 펌프(1)이다. 단열벽(90)은, 링 형상의 환상부(92)와, 환상부(92)의 경방향의 내측부로부터 상류측으로 연장되어 외주면 측에 유로를 형성하는 대략 원통 형상의 벽부(93)를 갖고, 환상부(92)의 상류측의 면과 벽부(93)의 외주면 사이에 제1 모서리부(97)가 형성되고, 제1 모서리부(97)는, 원호 형상으로 형성되어 있다.

Description

진공 펌프

본 발명은, 진공 펌프에 관한 것이며, 특히, 반도체 제조 장치나 분석 장치 등에 사용되는 진공 펌프에 관한 것이다.

메모리나 집적 회로 등의 반도체 장치를 제조할 때에는, 절연막, 금속막 및 반도체막 등의 성막을 행하는 처리나 에칭을 행하는 처리가 행해진다. 이들 처리는, 공기 중의 먼지 등에 의한 영향을 방지하기 위해, 고진공 상태의 챔버 내에서 행해진다. 챔버는, 내부에 도입된 가스(기체)를 배기하여 소정의 고진공도로 하기 위해, 진공 펌프에 접속된다. 사용되는 진공 펌프의 예로서, 예를 들면, 터보 분자 펌프와 나사 홈 펌프를 조합한 복합 펌프를 들 수 있다.

터보 분자 펌프와 나사 홈 펌프를 조합한 진공 펌프는, 예를 들면 특허문헌 1에 개시되어 있는 바와 같이, 축방향으로 교호로 배열된 회전 날개 및 고정 날개를 갖는 터보 펌프의 하류측에, 나사 홈 펌프가 배치된다. 흡기구로부터 거두어들여진 배기 가스는, 터보 분자 펌프와 나사 홈 펌프에 의해 압축되어, 배기구로부터 진공 펌프의 외부에 배출된다.

나사 홈 펌프는, 회전하는 로터 원통부와, 로터를 수용하는 케이싱 측의 나사 홈 스테이터에 의해 구성된다. 로터 원통부 또는 나사 홈 스테이터의 대향하는 표면에는, 나사 홈이 형성된다. 이 때문에, 로터 원통부가 나사 홈 스테이터의 내부에서 회전함으로써, 기체를 배기구 측으로 이송할 수 있다.

배기 가스는, 터보 분자 펌프에서는, 분자류의 거동을 나타내는데, 나사 홈 펌프 및 그보다 하류의 유로에 있어서는, 비교적 압력이 높아짐으로써, 점성류와 같은 거동을 나타낸다. 이 때문에, 나사 홈 펌프 및 그보다 하류의 유로의, 배기 가스의 흐름이 정체되는 개소에서, 부생성물이 석출되기 쉽다. 이 때문에, 나사 홈 스테이터는, 배기 가스 중의 부생성물의 석출에 의해 유로가 폐색되지 않도록, 히터 등으로 고온화된다.

부생성물로서는, 염소계나 황화 불소계 가스가 일반적이다. 이들 가스는 진공도가 낮아지고, 압력이 높아질수록 승화 온도가 높아져, 진공 펌프의 내부에 가스가 고화되어 퇴적되기 쉬워진다. 부생성물이 진공 펌프 내부에 퇴적되면, 부생성물이 유로를 좁혀 진공 펌프의 압축 성능, 배기 성능이 저하될 가능성이 있다.

한편, 로터를 회전 구동하는 전자석이나 모터 등의 전장품을 내포하는 스테이터 컬럼은, 전장품의 성능 저하 및 고장 방지를 위해, 수랭관 등으로 소정 온도 이하가 되도록 냉각되어 있다. 이 때문에, 유로가, 고온화된 고온부와 냉각된 냉각부 사이에 형성되면, 가스가, 저온부에 있어서 부생성물로서 석출되기 쉽다.

이 때문에, 나사 홈보다 하류측의 유로에 인접하는 저온의 부재의 일부를, 고온의 단열벽으로 덮는 것이 행해지고 있다. 단열벽은, 나사 홈보다 하류측의 배기 가스가, 저온부에 접촉하는 것을 제한한다.

일본국 특허공개 2019-090384 공보

나사 홈 펌프의 가스의 출구는, 나사의 줄 수만큼, 둘레 방향으로 여러개 있다. 이에 반해, 배기구로 연결되는 유로는 1개소뿐이다. 이 때문에, 단열벽은, 둘레 방향의 1개소에 형성되는 배출구로 가스를 이송하기 위해, 링 형상으로 형성되어 있다. 링 형상의 열 격벽의 유로를 형성하는 면에는, 오목부가 형성되면, 가스의 흐름의 정체가 발생하고, 부생성물이 석출되어 퇴적되기 쉽다는 문제가 있다.

본 발명은, 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것이며, 나사 홈을 구비하는 진공 펌프의 나사 홈보다 하류측의 유로에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있는 진공 펌프를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하는 본 발명에 따른 진공 펌프는, 외부로부터 기체를 흡인하는 흡기구 또는 흡인한 기체를 외부로 배출하는 배기구를 갖는 케이싱과, 상기 케이싱 내에 회전 가능하게 배치되어, 복수의 로터 날개 및 당해 로터 날개보다 하류측에 로터 원통부를 구비하는 로터와, 상기 로터를 회전 구동하는 구동부와, 상기 로터를 회전 가능하게 지지하는 베어링과, 상기 로터의 축방향에 있어서 상기 로터 날개와 교호로 배치된 스테이터 날개와, 상기 스테이터 날개보다 하류측에 배치되어 상기 로터 원통부의 외주면과 대면하는 내주면을 갖는 나사 홈 스테이터와, 상기 로터 원통부의 외주면 또는 상기 나사 홈 스테이터의 내주면에 형성되는 나사 홈보다 하류측에 배치되는 단열벽을 갖는 진공 펌프로서, 상기 단열벽은, 링 형상의 환상부와, 상기 환상부의 경방향의 내측부로부터 상류측으로 연장되어, 외주면 측에 유로를 형성하는 대략 원통 형상의 벽부를 갖고, 상기 환상부의 상류측의 면과 상기 벽부의 외주면 사이에 제1 모서리부가 형성되고, 상기 로터의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 상기 제1 모서리부는, 원호 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 구성한 본 발명에 따른 진공 펌프는, 제1 모서리부가 원호 형상으로 형성되어 있기 때문에, 나사 홈보다 하류측에서 단열벽을 따라 둘레 방향으로 흘러 배기구로 향하는 기체가, 제1 모서리부에서 정체되기 어려워진다. 이 때문에, 단열벽의 제1 모서리부에 있어서, 부생성물이 석출 및 퇴적되기 어려워진다. 따라서, 본 진공 펌프는, 나사 홈 펌프의 나사 홈보다 하류측의 유로에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있다.

상기 벽부는, 대략 원통 형상의 통 형상 벽부와, 상기 통 형상 벽부의 상류측의 단부로부터 경방향의 외측으로 돌출되는 링 형상의 꺾임부를 가져도 된다. 이로 인해, 꺾임부의 경방향의 두께를, 적절한 길이로 확보하면서, 통 형상 벽부를 얇게 할 수 있다. 통 형상 벽부가 얇아짐으로써, 통 형상 벽부의 경방향의 외측의 유로를 넓게 확보할 수 있다. 또한, 로터의 회전축과 직교하는 통 형상 벽부의 단면적이 작아지기 때문에, 통 형상 벽부의 열저항이 상승하여, 환상부 측으로부터 꺾임부로 열이 전달되기 어려워진다. 이 때문에, 꺾임부의 온도 상승을 제한하여, 단열벽으로부터 로터로의 열전도를 저감할 수 있다.

상기 로터의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 상기 통 형상 벽부의 외주면과 상기 꺾임부의 하류측의 면 사이에 제2 모서리부가 형성되고, 상기 제2 모서리부는 원호 형상으로 형성되어도 된다. 이로 인해, 나사 홈보다 하류측에서 단열벽을 따라 둘레 방향으로 흘러 배기구로 향하는 기체가, 제2 모서리부에서 정체되기 어려워진다. 이 때문에, 단열벽의 제2 모서리부에 있어서, 부생성물이 석출 및 퇴적되기 어려워진다. 따라서, 본 진공 펌프는, 나사 홈 펌프보다 하류측의 유로에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있다.

상기 케이싱은, 상기 단열벽보다 하류측에 형성되는 통로와, 상기 배기구가 형성되는 대략 원통 형상의 배기관을 갖고, 상기 통로의 내벽면과, 상기 배기관의 내벽면은, 단차없이 연속해서 형성되어도 된다. 이로 인해, 단열벽보다 하류측에서 배기구로 향하는 기체가, 배기관의 입구에서 정체되기 어려워진다. 이 때문에, 본 진공 펌프는, 배기구가 형성되는 배기관의 입구에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있다.

상기 단열벽은, 당해 단열벽보다 하류측 및/또는 경방향의 내측에 배치되어 당해 단열벽보다 온도가 낮은 상기 케이싱의 저온부를 덮도록 배치되어도 된다. 이로 인해, 단열벽은, 배기구로 향하는 기체가 저온부에 접촉하는 것을 제한하여, 저온부에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있다.

상기 나사 홈 스테이터 또는 상기 나사 홈 스테이터에 연결되는 부재는, 가열 히터가 배치되고, 상기 단열벽은, 상기 나사 홈 스테이터 또는 상기 나사 홈 스테이터에 연결되어 가열 히터가 배치되는 부재에 연결되어도 된다. 이로 인해, 단열벽은, 가열되기 때문에, 기체에 접촉하는 것에 의한 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있다.

상기 벽부의 상류측의 단면은, 상기 로터 원통부의 하류측의 단면과 축방향에 있어서 근접하여 대면해도 된다. 이로 인해, 단열벽의 단면과 로터 원통부의 단면이, 시일 구조를 구성한다. 이 때문에, 단열벽과 로터 원통부 사이에서 기체가 누설되기 어려워져, 저온의 부위에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있다.

상기 단열벽은, 상기 나사 홈 스테이터 또는 상기 나사 홈 스테이터에 연결되는 부재의 내주면과, 상기 환상부의 상류측의 면 사이에 제3 모서리부가 형성되고, 상기 로터의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 상기 제3 모서리부는 원호 형상으로 형성되어도 된다. 이로 인해, 나사 홈보다 하류측에서 단열벽을 따라 둘레 방향으로 흘러 배기구로 향하는 기체가, 제3 모서리부에서 정체되기 어려워진다. 이 때문에, 단열벽의 제3 모서리부에 있어서, 부생성물이 석출 및 퇴적되기 어려워진다. 따라서, 본 진공 펌프는, 나사 홈 펌프의 나사 홈보다 하류측의 유로에 있어서의, 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제할 수 있다.

도 1은, 제1 실시 형태에 따른 진공 펌프를 나타내는 단면도이다.
도 2는, 진공 펌프의 단열벽 및 배기구의 근방에 있어서의, 회전축과 직교하는 개략 단면도이다.
도 3은, 제1 실시 형태에 있어서의 배기관 및 통로의 근방을 나타내는 부분 단면도이다.
도 4는, 제1 실시 형태에 있어서의 단열벽 및 나사 홈 스테이터의 근방을 나타내는 부분 단면도이다.
도 5는, 제2 실시 형태에 따른 진공 펌프를 나타내는 단면도이다.
도 6은, 제2 실시 형태에 있어서의 단열벽 및 나사 홈 스테이터의 근방을 나타내는 부분 단면도이다.
도 7은, 제2 실시 형태에 있어서의 배기관 및 통로의 근방을 나타내는 부분 단면도이다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 또한, 도면의 치수는, 설명의 형편상, 과장되어 실제의 치수와는 상이한 경우가 있다. 또, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙임으로써 중복 설명을 생략한다. 또한, 본 발명의 실시 형태에서는, 편의상, 로터의 직경 방향을 「경방향」, 로터의 직경 방향과 수직인 방향을 「축방향」으로서 설명한다.

＜제1 실시 형태＞

본 발명의 제1 실시 형태에 따른 진공 펌프(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 로터 날개(32)를 구비한 로터(30)가 고속 회전함으로써, 기체 분자를 튕겨냄으로써 기체를 배기하는 터보 분자 펌프와, 터보 분자 펌프의 하류측에 배치되는 나사 홈 펌프를 갖는 복합 펌프이다. 진공 펌프(1)는, 기체를 흡인하여 배기하기 위한 진공 펌프 본체(2)와, 진공 펌프 본체(2)를 제어하는 제어 장치(3)를 갖고 있다.

진공 펌프 본체(2)는, 예를 들면 반도체 제조 장치나 분석 장치 등의 챔버로부터 기체를 흡인하여 배기한다. 진공 펌프 본체(2)는, 흡기구(12) 및 배기구(21)가 형성되는 고정부(10)와, 고정부(10)의 내부에서 회전 가능한 로터(30)와, 로터(30)를 회전 가능하게 지지하는 베어링과, 로터(30)의 변위를 검출하는 변위 센서와, 로터(30)를 회전 구동하는 모터(80)(구동부)를 갖고 있다.

고정부(10)는, 흡기구(12)가 형성되는 케이싱(11)과, 스테이터 날개(43)가 설치되는 고정 날개부(40)와, 케이싱(11)에 연결되는 수랭 스페이서(14)와, 나사 홈(51)이 형성되는 나사 홈 스테이터(50)와, 배기구(21)가 형성되는 배기관(20)과, 베이스(100)를 갖고 있다. 고정부(10)는, 또한, 나사 홈 스테이터(50)와 수랭 스페이서(14)를 단열하는 단열 스페이서(18)와, 나사 홈 스테이터(50) 및 수랭 스페이서(14)를 베이스(100)로부터 단열하는 단열재(19)와, 나사 홈(51)의 하류측에 설치되는 단열벽(90)을 갖고 있다.

케이싱(11)은, 반도체 제조 장치 등의 챔버에 장착되는 플랜지(13)와, 챔버에 연통하는 흡기구(12)를 갖고 있다.

고정 날개부(40)는, 케이싱(11)의 내측에 배치되어 있다. 고정 날개부(40)는, 다단의 스테이터(41)와, 각 단의 스테이터(41)를 협지하도록 적층된 복수의 스테이터용 스페이서(42)를 갖고 있다. 각각의 스테이터(41)는, 복수의 스테이터 날개(43)를 갖고 있다. 스테이터 날개(43)는, 샤프트(35)의 축방향에 수직인 평면으로부터 소정의 각도로 경사져 형성되어 있다. 스테이터 날개(43)는, 로터 날개(32)의 단과 엇갈리게 배치되어 있다. 스테이터 날개(43)의 외주측의 단부는, 복수의 적층된 링 형상의 스테이터용 스페이서(42) 사이에 끼워져 지지되어 있다. 스테이터용 스페이서(42)는, 케이싱(11)의 내측에 적층되어 배치된다. 스테이터 날개(43)는, 후술하는 로터(30)의 로터 날개(32)와 함께, 터보 분자 펌프를 구성한다.

수랭 스페이서(14)는, 대략 원통 형상으로 형성되고, 케이싱(11)의 하류측에 배치되어 있다. 수랭 스페이서(14)는, 볼트(15)에 의해 케이싱(11)에 연결되어 있다. 수랭 스페이서(14)에는, 수랭관(16) 및 제1 온도 센서(17)가 매설되어 있다. 제1 온도 센서(17)는, 수랭 스페이서(14)의 온도를 조절하기 위해, 수랭 스페이서(14)의 온도를 검출한다. 수랭관(16)은, 수랭 스페이서(14)의 온도를 조절하기 위해, 냉각수의 유통이 제어된다. 이로 인해, 수랭 스페이서(14)는, 소정의 온도(예를 들면, 50℃~100℃)로 유지된다.

나사 홈 스테이터(50)는, 대략 원통 형상으로 형성되고, 수랭 스페이서(14)의 내측에, 수랭 스페이서(14)로부터 단열을 위해 간극을 두고 배치되어 있다. 나사 홈 스테이터(50)는, 나사 홈(51)에 있어서의 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제하기 위해, 가열되는 구조를 구비하고 있다. 또한, 수랭 스페이서(14)와 나사 홈 스테이터(50) 사이에는, 단열재가 배치되어도 된다.

나사 홈 스테이터(50)의 내주면에는, 나선형의 나사 홈(51)이 형성되어 있다. 또, 나사 홈 스테이터(50)에는, 가열 수단으로서의 카트리지 히터(52)(가열 히터)와, 나사 홈 스테이터(50) 내의 온도를 검출하는 제2 온도 센서(53)가 설치되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 나사 홈 스테이터(50)의 내주면에 나사 홈(51)이 형성되어 있다. 그러나, 이와는 반대로, 로터 원통부(33)의 외주면에 나사 홈이 형성되어도 된다.

나사 홈(51)의 나선의 방향은, 로터(30)의 회전 방향으로 기체의 분자가 이동했을 때에, 이 분자가 배기구(21) 쪽으로 이송되는 방향이다. 나사 홈 스테이터(50) 및 로터 원통부(33)는, 나사 홈 펌프를 구성한다. 나사 홈 스테이터(50)는, 예를 들면 알루미늄, 스테인리스 강, 구리, 철, 또는 이들 금속을 성분으로 하는 합금 등의 금속에 의해 구성된다. 일례로서, 나사 홈 스테이터(50)는, 알루미늄에 의해 구성된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 나사 홈 스테이터(50)는, 가열 수단인 카트리지 히터(52)가 배치되어 있기 때문에, 열전도성이 높은 재료에 의해 구성되어 있다. 그러나, 나사 홈 스테이터(50)가, 가열 수단인 카트리지 히터(52)가 설치되는 부재(히터 스페이서)와 별개의 구성인 경우, 카트리지 히터(52)가 설치되는 부재를 열전도성이 높은 재료(예를 들면, 알루미늄)에 의해 구성하고, 나사 홈 스테이터(50)를, 고온 시의 강도 확보를 위해, 강도가 높은 재료(예를 들면, 스테인리스 강)에 의해 구성해도 된다.

제2 온도 센서(53)는, 나사 홈 스테이터(50)의 온도를 조절하기 위해, 나사 홈 스테이터(50)의 온도를 검출한다. 카트리지 히터(52)는, 나사 홈 스테이터(50)에 수용되어 있다. 카트리지 히터(52)는, 통전됨으로써 발열하고, 나사 홈 스테이터(50)의 온도를 조절한다. 카트리지 히터(52)는, 제2 온도 센서(53)의 검출 결과에 의거하여 전력 공급이 제어된다. 이로 인해, 나사 홈 스테이터(50)는, 소정의 온도(예를 들면 100℃~150℃)로 유지된다.

나사 홈 스테이터(50)는, 나사 홈(51)이 형성되는 부위보다 하류측에, 경방향으로 관통하는 1개의 통로(54)가 형성되어 있다. 또한, 통로(54)가 형성되는 부재는, 나사 홈(51)보다 하류측에 설치되는 부재이면, 나사 홈 스테이터(50)로 한정되지 않는다. 도 1~3에 나타내는 바와 같이, 통로(54)는, 나사 홈 스테이터(50)의 내측에서 나사 홈(51)으로부터 이송되는 기체를, 경방향의 외측에 형성되는 배기구(21)를 향해 유통시킨다. 통로(54)는, 나사 홈 스테이터(50)의 내주측의 통로 입구부(55)로부터, 나사 홈 스테이터(50)의 외주측의 통로 출구부(56)까지, 일정한 내경으로 형성된다. 통로(54)의 연장 방향은, 로터(30)의 회전축과 직교하고 있다. 나사 홈 스테이터(50)는, 통로 출구부(56)보다 배기구(21) 측에, 배기관(20)이 끼워맞춰지는 끼워맞춤부(57)와, 끼워맞춤부(57)보다 경방향의 외측에서 O링(59)이 수용되는 링 수용부(58)가 형성되어 있다. 끼워맞춤부(57)의 내경은, 통로(54)의 내경보다 크고, 링 수용부(58)의 내경은, 끼워맞춤부(57)의 내경보다 크다.

배기관(20)은, 볼트(22)에 의해, 나사 홈 스테이터(50)에 연결된다. 배기관(20)은, 배기관 통로(23)와, 배기관 통로(23)의 배기 측에 위치하는 배기구(21)와, 배기구(21)의 반대측에서 나사 홈 스테이터(50)의 끼워맞춤부(57)에 끼워맞춰지는 배기관 기단부(24)와, 나사 홈 스테이터(50)의 외주면과 접하는 배기관 플랜지(25)를 갖고 있다. 배기구(21)은, 도시하지 않은 보조 펌프에 연통하도록 접속된다. 배기관 통로(23)의 내경은, 통로(54)의 내경과 일치한다. 배기관 통로(23)의 내주면은, 통로(54)의 내주면과 단차없이 매끄럽게 연속하고 있다. 배기관 통로(23)의 연장 방향은, 통로(54)의 연장 방향과 일치하고, 로터(30)의 회전축과 직교하고 있다. 배기관 통로(23)와 통로(54)의 경계부에 있어서의, 배기관 통로(23)의 내경과 통로(54)의 내경의 차는, 작을수록 바람직하고, 예를 들면 0.6mm 이하, 바람직하게는 0.4mm 이하, 보다 바람직하게는 0.2mm 이하이다. 배기관 통로(23)와 통로(54)의 경계부에 있어서의, 배기관 통로(23)의 축심과 통로(54)의 축심의 차는, 작을수록 바람직하고, 예를 들면 0.3mm 이하, 바람직하게는 0.2mm 이하, 보다 바람직하게는 0.1mm 이하이다. 배기관(20)은, 수랭 스페이서(14)에 접촉하지 않고, 수랭 스페이서(14)를 관통하고 있다. 이 때문에, 배기관(20)은, 카트리지 히터(52)가 설치되어 고온이 되는 나사 홈 스테이터(50)에 의해 가열된다. 이 때문에, 배기관(20)에 있어서, 부생성물은 석출되어 퇴적되기 어렵다.

단열 스페이서(18)는, 고온이 되는 나사 홈 스테이터(50)와 수랭 스페이서(14) 사이를 단열하는 단열 수단이다. 단열 스페이서(18)는, 열전도율이 낮은, 즉 열이 전달되기 어려운 재료에 의해 형성된다. 단열 스페이서(18)의 구성 재료는, 예를 들면 알루미늄이나 스테인리스 강 등이다. 또, 단열 스페이서(18)는, 하단측(하류측)의 복수의 스테이터(41)에 밀착하여 배치되어 있음과 더불어, 상단측(상류측)의 복수의 스테이터(41)와 연결되어 있는 수랭 스페이서(14)의 내주면으로부터, 단열용 간극을 갖고 떨어져 있다.

수랭 스페이서(14) 및 나사 홈 스테이터(50)는, 모두, 단열재(19)를 개재하여 베이스(100)의 베이스 본체(101)에 연결되어 있다. 따라서, 수랭 스페이서(14) 및 나사 홈 스테이터(50)는, 모두, 단열재(19)에 의해 베이스(100)와 단열되어 있다.

베이스(100)는, 나사 홈 스테이터(50) 및 수랭 스페이서(14)가 연결되는 베이스 본체(101)와, 베이스 본체(101)의 중앙으로부터 상방측(상류측)을 향해 돌출되는 스테이터 컬럼(102)을 갖고 있다. 스테이터 컬럼(102)은, 모터(80)의 스테이터로서 기능한다.

베이스 본체(101)에는, 수랭관(103)이 매설되어 있다. 수랭관(103)은, 내부에 냉각수가 유통됨으로써, 베이스 본체(101), 스테이터 컬럼(102), 후술하는 자기 베어링, 보조 베어링(65), 모터(80) 등을 상시 냉각한다. 본 실시 형태에서는, 수랭관(103)은, 항상 냉각수가 유통됨으로써, 25~70℃의 온도를 유지하고 있다.

단열벽(90)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 나사 홈 스테이터(50)의 하류측의 단면에 볼트(91)에 의해 연결되어 있다. 단열벽(90)은, 나사 홈 스테이터(50)와 열적으로 접속되어 있기 때문에, 고온화된다. 이 때문에, 단열벽(90)은, 열전도성이 우수한 재료에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 열전도성이 우수한 재료는, 예를 들면 알루미늄 등이다. 또한, 단열벽(90)이 연결되는 부재는, 나사 홈(51)보다 하류측의 부재이면, 나사 홈 스테이터(50)가 아니어도 된다. 단열벽(90)이 연결되는 부재는, 나사 홈 스테이터(50)와 마찬가지로 가열 수단(가열 히터)에 의해 가열된 고온부인 것이 바람직하다. 따라서, 예를 들면, 나사 홈 스테이터(50)가, 가열 수단이 설치되는 부재와 별개의 구성인 경우, 단열벽(90)은, 가열 수단이 설치되는 부재에 연결되어도 된다. 단열벽(90)은, 나사 홈(51)보다 하류측의 유로에 근접하는 저온부인 스테이터 컬럼(102) 및 베이스 본체(101)의 적어도 일부를 덮고 있다. 단열벽(90)은, 나사 홈(51)보다 하류측의 기체가, 수랭관(103)에 의해 냉각되는 저온의 스테이터 컬럼(102)이나 베이스(100)에 접촉하는 것을 제한하여, 저온부에 있어서의 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제한다.

단열벽(90)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 나사 홈(51)으로부터 배출되는 기체를, 둘레 방향의 1개소에 형성되는 배기구(21)에 연통하는 통로(54)로, 기체를 이송할 수 있도록 형성되어 있다. 단열벽(90)은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 나사 홈 스테이터(50)의 하류측의 부위로부터 경방향의 내측을 향하는 링 형상의 환상부(92)와, 환상부(92)의 경방향의 내측부로부터 상류측으로 연장되어, 외주면 측에 유로를 형성하는 대략 원통 형상의 벽부(93)를 갖고 있다. 벽부(93)는, 환상부(92) 측에 위치하는 원통 형상의 통 형상 벽부(94)와, 통 형상 벽부(94)의 상류측의 단부로부터 경방향의 외측으로 돌출되는 꺾임부(95)를 갖고 있다.

벽부(93)는, 온도가 낮은 스테이터 컬럼(102)의 외주면으로부터, 단열용 간극을 갖고 떨어져 있다. 벽부(93)의 상류측의 단면은, 로터(30)의 로터 원통부(33)의 하류측의 단면과 축방향에 있어서 대면하고 있다. 통 형상 벽부(94)의 경방향의 두께 L3은, 꺾임부(95)의 경방향의 두께 L1보다 짧다. 이 때문에, 꺾임부(95)의 경방향의 두께 L3을, 적절한 길이로 확보하면서, 통 형상 벽부(94)를 얇게 할 수 있다. 통 형상 벽부(94)가 얇아짐으로써, 통 형상 벽부(94)의 경방향의 외측의 유로를 넓게 확보할 수 있다. 또한, 로터(30)의 회전축과 직교하는 통 형상 벽부(94)의 단면적이 작아지기 때문에, 통 형상 벽부(94)의 열저항이 상승하여, 환상부(92) 측으로부터 꺾임부(95)로 열이 전달되기 어려워진다. 이 때문에, 꺾임부(95)의 온도 상승을 제한하여, 단열벽(90)으로부터 로터(30)로의 열전도를 저감할 수 있다. 또한, 꺾임부(95)는, 설치되지 않아도 된다.

나사 홈 스테이터(50)의 나사 홈(51)보다 하류측의 내주면(고정부(10)의 내주면)과, 환상부(92)의 상류측의 면 사이에는, 제3 모서리부(96)가 형성된다. 또, 환상부(92)의 상류측의 면과, 벽부(93)의 외주면 사이에는, 제1 모서리부(97)가 형성된다. 로터(30)의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 제3 모서리부(96) 및 제1 모서리부(97)는, 기체가 정체되기 어렵도록, 원호 형상의 오목 형상(R 형상)으로 형성되어 있다. 로터(30)의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 제3 모서리부(96) 및 제1 모서리부(97)의 곡률 반경은, 특별히 한정되지 않지만, 크면 클수록 좋다. 예를 들면, 본 실시 형태에서는 5mm이다.

단열벽(90)과 로터(30)의 간극 부분은, 비접촉의 시일 구조로 되어 있다. 벽부(93)의 상류측의 단면은, 로터 원통부의 하류측의 단면에 대해, 시일성을 확보하기 위해 적절한 간극(G)(갭)과, 적절한 대향 면적으로 대면하고 있다. 일례로서, 벽부(93)의 상류측의 단면과, 로터 원통부의 하류측의 단면 사이의 축방향의 간극(G)은, 정지 시에 1.5mm 정도이다. 또, 일례로서, 적절한 대향 면적을 형성하기 위해, 벽부(93)의 상류측의 단면의 경방향의 두께 L1은 4mm 정도이며, 단열벽(90)과 대향하는 로터 원통부(33)의 하류측의 단면의 경방향의 두께 L2는 8mm 정도이다.

로터(30)는, 케이싱(11)의 내방으로 회전 가능하게 배치되어 있다. 로터(30)는, 샤프트(35)와, 축방향으로 다단의 로터 날개(32)와, 로터 날개(32)보다 하류에 배치되는 로터 원통부(33)를 갖고 있다. 로터 날개(32)는, 터보 분자 펌프를 구성하고, 기체를 흡인 배기하기 위한 블레이드이다. 각 단의 복수의 로터 날개(32)는, 둘레 방향으로 방사상으로 늘어서 있다.

로터(30)는, 대략 원통 형상이며, 내측에 샤프트(35)가 관통 고정되어 있다. 각각의 로터 날개(32)는, 기체의 분자를 충돌에 의해 하방향으로 이송하기 위해, 샤프트(35)의 축방향에 수직인 평면으로부터 소정의 각도로 경사져 형성되어 있다. 로터 날개(32)는, 로터(30)의 외주면에 일체로 형성되어 있다. 또는, 로터 날개(32)는, 로터(30)의 외주면에 고정되어 있어도 된다.

로터 원통부(33)는, 로터 날개(32)보다 하류에 배치되어, 원통 형상으로 형성되어 있다. 이 로터 원통부(33)는, 나사 홈 스테이터(50)의 내주면을 향해 돌출되어 형성되어 있다. 로터 원통부(33)는, 나사 홈 스테이터(50)의 내주면과 소정의 간극을 두고 근접하고 있다.

샤프트(35)는, 로터(30)의 회전 중심에 배치된다. 샤프트(35)는, 원기둥 형상의 주축부(36)와, 주축부(36)의 하부에 배치되는 원판 형상의 디스크(37)를 갖고 있다. 주축부(36) 및 디스크(37)는, 자기에 의해 흡인 가능한 고투자율재(철 등)에 의해 형성되어 있다. 주축부(36)는, 후술하는 상류측 경방향 전자석(61) 및 하류측 경방향 전자석(62)의 자력에 의해, 흡인되어 위치가 제어된다.

베어링은, 예를 들면, 이른바 5축 제어의 자기 베어링이며, 샤프트(35)를 부상 지지 또한 위치 제어한다. 베어링은, 주축부(36)의 상류측을 흡인하는 상류측 경방향 전자석(61)과, 주축부(36)의 하류측을 흡인하는 하류측 경방향 전자석(62)과, 디스크(37)을 흡인하는 축방향 전자석(63A, 63B)과, 보조 베어링(65)을 갖고 있다. 보조 베어링(65)은, 로터(30)의 축 떨림이 커졌을 때에 주축부(36)와 접촉하여, 로터(30)가 고정자 측에 직접 접촉하여 파손되는 것을 억제한다.

상류측 경방향 전자석(61)은, 회전축과 수직인 면에서 직교하는 2축 각각에 있어서 쌍을 이루어 배치되는 4개의 전자석을 갖고 있다. 하류측 경방향 전자석(62)은, 회전축과 수직인 면에서 직교하는 2축 각각에 있어서 쌍을 이루어 배치되는 4개의 전자석을 갖고 있다. 축방향 전자석(63A, 63B)은, 디스크(37)를 상하로 끼워 배치되어 있다.

변위 센서는, 로터(30)의 변위를 검출하기 위해, 스테이터 컬럼(102)에 배치되어 있다. 변위 센서는, 상류측 경방향 센서(71)와, 하류측 경방향 센서(72)와, 축방향 센서(73)를 갖고 있다. 상류측 경방향 센서(71)는, 4개의 상류측 경방향 전자석(61)에 근접 또한 대응하여 배치되는 4개의 비접촉형 센서이다. 상류측 경방향 센서(71)는, 샤프트(35)의 주축부(36)의 상부의 경방향 변위를 검출하고, 그 변위 신호를 제어 장치(3)에 송신하도록 구성되어 있다. 상류측 경방향 센서(71)로서 이용되는 센서의 예로서는, 인덕턴스식 센서나 와전류식 센서 등이 있다.

하류측 경방향 센서(72)는, 4개의 하류측 경방향 전자석(62)에 근접 또한 대응하여 배치되는 4개의 비접촉형 센서이다. 하류측 경방향 센서(72)는, 주축부(36)의 하부의 경방향 변위를 검출하고, 그 변위 신호를 제어 장치(3)에 송신하도록 구성되어 있다. 하류측 경방향 센서(72)로서 이용되는 센서의 예로서는, 인덕턴스식 센서나 와전류식 센서 등이 있다.

축방향 센서(73)는, 디스크(37)의 하방에 배치된다. 축방향 센서(73)는, 샤프트(35)의 축방향 변위를 검출하고, 그 변위 신호를 제어 장치(3)에 송신하도록 구성되어 있다.

제어 장치(3)는, 상류측 경방향 센서(71)가 검출한 변위 신호에 의거하여, PID 조절 기능을 갖는 보상 회로를 통해 상류측 경방향 전자석(61)을 여자 제어하여, 주축부(36)의 상류측의 경방향 위치를 조정한다. 이 조정은, 회전축과 수직인 면에서 직교하는 2축 각각에 있어서 독립적으로 행해진다.

또, 제어 장치(3)는, 하류측 경방향 센서(72)가 검출한 변위 신호에 의거하여, PID 조절 기능을 갖는 보상 회로를 통해 하류측 경방향 전자석(62)을 여자 제어하여, 주축부(36)의 하류측의 경방향 위치를 조정한다. 이 조정은, 회전축과 수직인 면에서 직교하는 2축 각각에 있어서 독립적으로 행해진다.

또한, 제어 장치(3)에서는, 축방향 센서(73)가 검출한 변위 신호에 의거하여, 축방향 전자석(63A, 63B)을 여자 제어한다. 이 때, 축방향 전자석(63A)은, 자력에 의해 디스크(37)를 상방으로 흡인하고, 축방향 전자석(63B)은, 디스크(37)를 하방으로 흡인한다. 이와 같이, 자기 베어링은, 샤프트(35)에 미치는 자력을 적당하게 조절함으로써, 샤프트(35)를 자기 부상시켜, 비접촉으로 회전 가능하게 지지할 수 있다.

모터(80)는, 회전자 측에 배치되는 복수의 영구 자석인 자극(81)과, 고정자 측에 배치되는 모터 전자석(82)을 갖고 있다. 자극(81)은, 모터 전자석(82)으로부터, 샤프트(35)를 회전시키는 토크 성분을 부여받는다. 이로 인해, 로터(30)가 회전 구동된다.

또, 모터(80)는, 도시하지 않은 회전수 센서 및 모터 온도 센서가 장착되어 있다. 회전수 센서 및 모터 온도 센서는, 검출한 결과를, 검출 신호로서 제어 장치(3)에 송신한다. 제어 장치(3)는, 회전수 센서 및 모터 온도 센서로부터 수신한 신호를, 샤프트(35)의 회전의 제어에 이용한다.

상술한 진공 펌프 본체(2)는, 샤프트(35)가 모터(80)에 의해 구동되면, 로터 날개(32) 및 로터 원통부(33)가 회전한다. 이로 인해, 로터 날개(32)와 스테이터 날개(43)의 작용에 의해, 흡기구(12)를 통해 챔버로부터의 기체가 흡기된다.

흡기구(12)로부터 흡기된 기체는, 로터 날개(32)와 스테이터 날개(43)에 의해, 로터 원통부와 나사 홈 스테이터(50) 사이로 이송된다. 이 때, 기체가 로터 날개(32)에 접촉할 때에 발생하는 마찰열이나, 모터(80)에서 발생한 열의 전도 등에 의해, 로터 날개(32)의 온도는 상승한다. 그러나, 이 열은 복사 또는 기체의 기체 분자 등에 의한 전도에 의해, 스테이터 날개(43) 측에 전달된다. 또한, 스테이터용 스페이서(42)는, 외주부에서 서로 접합되어 있다. 이 때문에, 스테이터 날개(43)가 로터 날개(32)로부터 받은 열이나, 기체가 스테이터 날개(43)에 접촉할 때에 발생하는 마찰열 등은, 스테이터용 스페이서(42)를 통해 외부로 전달된다.

또, 로터 원통부(33)와 나사 홈 스테이터(50) 사이로 이송된 기체는, 나사 홈 스테이터(50)의 나사 홈(51)에 의해 하류측으로 이송된다. 나사 홈 스테이터(50)는, 카트리지 히터(52)에 의해 가열된다. 이로 인해, 저온이 되면 부생성물이 석출되어 퇴적되기 쉬운 나사 홈(51)을 고온으로 유지하여, 나사 홈(51)에 부생성물이 석출되어 퇴적되는 것을 억제한다. 따라서, 나사 홈(51)의 유로가 부생성물에 의해 좁아지는 것을 억제할 수 있다.

또, 흡기구(12)로부터 흡인된 기체가, 모터(80), 하류측 경방향 전자석(62), 하류측 경방향 센서(72), 상류측 경방향 전자석(61), 상류측 경방향 센서(71) 등으로 구성되는 전장부 측에 침입하는 일이 없도록, 전장부의 바깥 주위는, 스테이터 컬럼(102)으로 덮여 있다. 전장부를 둘러싸는 스테이터 컬럼(102) 내는, 퍼지 가스에 의해 소정압으로 유지되어 있다. 스테이터 컬럼(102)은, 도시하지 않은 배관이 배설되어, 이 배관을 통해 퍼지 가스가 도입된다. 이 도입된 퍼지 가스는, 보조 베어링(65)과 샤프트(35) 사이, 모터(80) 사이, 스테이터 컬럼(102)과 로터 날개(32) 사이의 간극을 통해 배기구(21)로 송출된다.

베이스 본체(101)는, 수랭관(103)에 의해 냉각된다. 이로 인해, 베이스 본체(101)와, 베이스 본체(101)에 열적으로 접속되는 스테이터 컬럼(102), 자기 베어링, 보조 베어링(65), 모터(80) 등이, 상시 냉각된다. 이로 인해, 진공 펌프 본체(2)의 내부에, 기체가 부착되어 퇴적되는 것을 억제한다.

나사 홈(51)보다 하류측으로 이송된 기체는, 도 2, 도 4에 나타내는 바와 같이, 나사 홈 스테이터(50)의 하류측에 고정된 링 형상의 단열벽(90)에 의해, 하방으로의 이동이 제한되어, 둘레 방향의 1개소에 형성되는 나사 홈 스테이터(50)의 통로 입구부(55)로 이송된다. 단열벽(90)은, 나사 홈(51)보다 하류측의 유로에 근접하는 저온의 스테이터 컬럼(102)이나 베이스 본체(101)를 덮고 있다. 이 때문에, 단열벽(90)은, 나사 홈(51)보다 하류측의 기체가, 저온의 스테이터 컬럼(102)이나 베이스(100)에 접촉하는 것을 제한하여, 저온부에 있어서의 부생성물의 석출 및 퇴적을 억제한다. 단열벽(90)의 제3 모서리부(96) 및 제1 모서리부(97)는, 로터(30)의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 원호 형상의 오목 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 제3 모서리부(96) 및 제1 모서리부(97)에 있어서, 흐름의 정체가 생기기 어려워져, 제3 모서리부(96) 및 제1 모서리부(97)에, 부생성물이 석출되어 퇴적되는 것이 억제된다. 또, 단열벽(90)은, 나사 홈 스테이터(50)와 열적으로 접속되어 고온화되기 때문에, 부생성물의 석출 및 퇴적이 더 억제된다.

또, 단열벽(90)의 상류측의 단면과, 로터(30)의 로터 원통부(33)의 하류측의 단면은, 적절한 간극(G)과, 적절한 대향 면적으로 대면하고 있기 때문에, 적절한 시일성이 확보되어 있다. 이로 인해, 단열벽(90)과 로터 원통부(33)의 간극(G)으로부터, 기체가 스테이터 컬럼(102), 베이스 본체(101), 스테이터 컬럼(102)의 내부 등에 도달하여, 부생성물이 석출되어 퇴적되는 것을 억제한다.

통로 입구부(55)로 이송된 기체는, 도 1 ~ 도 3에 나타내는 바와 같이, 통로(54)를 지나 배기관(20)에 도달하고, 배기관(20)의 배기구(21)로부터 외부로 배기된다. 나사 홈 스테이터(50)의 통로(54)와 배기관 통로(23)는, 단차없이 매끄럽게 연속하고 있다. 이 때문에, 통로 입구부(55)로부터 배기구(21) 사이에서, 흐름의 정체가 생기기 어려워져, 부생성물이 석출되어 퇴적되는 것이 억제된다.

＜제2 실시 형태＞

본 발명의 제2 실시 형태에 따른 진공 펌프(1)는, 도 5 ~ 도 7에 나타내는 바와 같이, 단열벽(90) 및 나사 홈 스테이터(50)의 형상만이, 제1 실시 형태와 상이하다.

단열벽(90)은, 통 형상 벽부(94)의 외주면과 꺾임부(95)의 하류측의 면 사이에, 제2 모서리부(98)가 형성되어 있다. 그리고, 제2 모서리부(98)는, 로터(30)의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 원호 형상의 오목 형상으로 형성되어 있다. 이 때문에, 나사 홈(51)으로부터 이송된 기체가 단열벽(90)을 따라 둘레 방향으로 흐를 때에, 제2 모서리부(98)에 있어서, 흐름의 정체가 생기기 어려워진다. 이 때문에, 제2 모서리부(98)에, 부생성물이 석출되어 퇴적되는 것이 억제된다. 제2 모서리부(98)의 곡률 반경은, 특별히 한정되지 않지만, 크면 클수록 좋다. 예를 들면, 본 실시 형태에서는 2mm이다.

나사 홈 스테이터(50)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 축방향에 있어서, 통로(54)의 내벽면 중 하류측의 내벽면(54A)의 위치가, 제3 모서리부(96)와 제1 모서리부(97) 사이에 위치하는 가장 하류측(축방향을 따라 흡기구(12)가 설치되는 측의 반대측)의 가장 안쪽부(99)의 위치와 일치한다. 이 때문에, 나사 홈 스테이터(50)의 통로 입구부(55)는, 제3 모서리부(96)를 관통하여, 가장 안쪽부(99)에 평활하게 연속하고 있다. 따라서, 단열벽(90)을 따라 둘레 방향으로 흐르는 기체는, 나사 홈 스테이터(50)의 통로(54)로 원활하게 들어가, 배기구(21)로 원활하게 흐를 수 있다. 따라서, 통로 입구부(55)의 근방에 있어서, 부생성물이 석출되어 퇴적되는 것이 억제된다. 또한, 단열벽(90)은, 둘레 방향에 있어서 통로 입구부(55)와 통하는 부위 이외에는, 제1 실시 형태와 마찬가지로 제3 모서리부(96)가 형성되어 있다. 또한, 변형예로서, 단열벽(90)의 둘레 방향에 있어서 통로 입구부(55)와 통하는 부위 이외의 제3 모서리부(96)는, 로터(30)의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 원호 형상이 아니어도 되고, 곡률 반경이 대략 0인 오목 형상이어도 된다.

또, 나사 홈 스테이터(50)는, 축방향에 있어서, 통로(54)의 내벽면 중 상류측의 내벽면(54B)의 위치가, 꺾임부(95)의 하류측의 면(95A)의 위치와 일치한다. 이 때문에, 단열벽(90)을 따라 둘레 방향으로 흐르는 기체는, 꺾임부(95)의 제2 모서리부(98)와 환상부(92)의 제1 모서리부(97) 사이의 유로로부터, 나사 홈 스테이터(50)의 통로(54)로 원활하게 들어가, 배기구(21)로 원활하게 흐를 수 있다. 따라서, 통로 입구부(55)의 근방에 있어서, 부생성물이 석출되어 퇴적되는 것이 억제된다.

또한, 본 발명은, 상술한 실시 형태로만 한정되는 것이 아니라, 본 발명의 기술적 사상 내에 있어서 당업자에 의해 여러 가지 변경이 가능하다. 예를 들면, 베어링은, 자기 베어링이 아니어도 된다. 또, 케이싱(11)은, 배기구(21)가 형성되어도 된다. 또, 케이싱(11)은, 흡기구(12) 및 배기구(21) 둘 다 형성되어도 된다.

1: 진공 펌프 2: 진공 펌프 본체
11: 케이싱 12: 흡기구
18: 단열 스페이서 20: 배기관
21: 배기구 23: 배기관 통로
30: 로터 32: 로터 날개
41: 스테이터 43: 스테이터 날개
50: 나사 홈 스테이터 51: 나사 홈
54: 통로 55: 통로 입구부
80: 모터(구동부) 90: 단열벽
92: 환상부 93: 벽부
94: 통 형상 벽부 95: 꺾임부
96: 제3 모서리부 97: 제1 모서리부
98: 제2 모서리부

Claims

외부로부터 기체를 흡인하는 흡기구 또는 흡인한 기체를 외부로 배출하는 배기구를 갖는 케이싱과,
상기 케이싱 내에 회전 가능하게 배치되어, 복수의 로터 날개 및 당해 로터 날개보다 하류측에 로터 원통부를 구비하는 로터와,
상기 로터를 회전 구동하는 구동부와,
상기 로터를 회전 가능하게 지지하는 베어링과,
상기 로터의 축방향에 있어서 상기 로터 날개와 교호로 배치된 스테이터 날개와,
상기 스테이터 날개보다 하류측에 배치되어 상기 로터 원통부의 외주면과 대면하는 내주면을 갖는 나사 홈 스테이터와,
상기 로터 원통부의 외주면 또는 상기 나사 홈 스테이터의 내주면에 형성되는 나사 홈보다 하류측에 배치되는 단열벽을 갖는 진공 펌프로서,
상기 단열벽은, 링 형상의 환상부와, 상기 환상부의 경방향의 내측부로부터 상류측으로 연장되어, 외주면 측에 유로를 형성하는 대략 원통 형상의 벽부를 갖고,
상기 환상부의 상류측의 면과 상기 벽부의 외주면 사이에 제1 모서리부가 형성되고,
상기 로터의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 상기 제1 모서리부는, 원호 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1에 있어서,
상기 벽부는, 대략 원통 형상의 통 형상 벽부와, 상기 통 형상 벽부의 상류측의 단부로부터 경방향의 외측으로 돌출되는 링 형상의 꺾임부를 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 2에 있어서,
상기 로터의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 상기 통 형상 벽부의 외주면과 상기 꺾임부의 하류측의 면 사이에 제2 모서리부가 형성되고,
상기 제2 모서리부는 원호 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 케이싱은, 상기 단열벽보다 하류측에 형성되는 통로와, 상기 배기구가 형성되는 대략 원통 형상의 배기관을 갖고,
상기 통로의 내벽면과, 상기 배기관의 내벽면은, 단차없이 연속해서 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
상기 단열벽은, 당해 단열벽보다 하류측 및/또는 경방향의 내측에 배치되어 당해 단열벽보다 온도가 낮은 상기 케이싱의 저온부를 덮도록 배치되는, 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
상기 나사 홈 스테이터 또는 상기 나사 홈 스테이터에 연결되는 부재는, 가열 히터가 배치되고,
상기 단열벽은, 상기 나사 홈 스테이터 또는 상기 나사 홈 스테이터에 연결되어 가열 히터가 배치되는 부재에 연결되는, 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
상기 벽부의 상류측의 단면은, 상기 로터 원통부의 하류측의 단면과 축방향에 있어서 근접하여 대면하는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 단열벽은, 상기 나사 홈 스테이터 또는 상기 나사 홈 스테이터에 연결되는 부재의 내주면과, 상기 환상부의 상류측의 면 사이에 제3 모서리부가 형성되고,
상기 로터의 회전축을 통과하는 단면에 있어서, 상기 제3 모서리부는 원호 형상으로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.