KR20220071399A - 반도체 모듈 - Google Patents

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KR20220071399A
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KR
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pcb
tec
semiconductor module
disposed
heat sink
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KR1020200158451A
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변재범
황태회
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삼성전자주식회사
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Abstract

반도체 모듈은 제 1 PCB, 적어도 하나의 제 1 반도체 칩, 히트 싱크 및 적어도 하나의 제 1 TEC를 포함할 수 있다. 상기 적어도 하나의 제 1 반도체 칩은 상기 제 1 PCB에 배치될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 제 1 PCB 및 상기 제 1 반도체 칩을 둘러쌀 수 있다. 상기 제 1 TEC는 상기 제 1 PCB에 배치되어 상기 제 1 PCB의 열을 냉각시킬 수 있다. 반도체 모듈의 성능이 열에 의해 열화되는 것이 방지될 수 있다.

Description

반도체 모듈{SEMICONDUCTOR MODULE}
본 발명은 반도체 모듈에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 컨트롤 칩과 메모리 칩들을 포함하는 반도체 모듈에 관한 것이다.
반도체 모듈은 패키지 기판, 컨트롤 칩, 복수개의 메모리 칩들 등과 같은 반도체 칩 또는 반도체 패키지를 포함할 수 있다. 반도체 모듈의 동작 중에, 컨트롤 칩과 메모리 칩들로부터 고열이 발생될 수 있다.
고열은 반도체 모듈의 성능을 열화시킬 수 있다. 따라서, 컨트롤 칩과 메모리 칩으로부터 발생된 고열을 신속하게 냉각시킬 수 있는 구조가 반도체 모듈에 구비될 것이 요구되고 있다.
본 발명은 반도체 칩 또는 반도체 패키지로부터 발생된 열을 신속하게 냉각시킬 수 있는 반도체 모듈을 제공한다.
본 발명의 일 견지에 따른 반도체 모듈은 제 1 인쇄회로기판(printed circuit board : PCB), 복수개의 제 1 메모리 칩들, 컨트롤 칩, 히트 싱크, 적어도 하나의 제 1 열전 냉각소자(thermoelectric cooler : TEC), 제 1 열계면재(thermal interface material ; TIM) 및 제 1 온도 센서를 포함할 수 있다. 상기 제 1 메모리 칩들은 상기 제 1 PCB의 상부면과 하부면에 배치될 수 있다. 상기 컨트롤 칩은 상기 제 1 PCB의 상기 하부면에 배치될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 제 1 PCB, 상기 제 1 메모리 칩 및 상기 컨트롤 칩을 둘러쌀 수 있다. 상기 제 1 TEC는 상기 제 1 PCB의 상기 상부면에 배치되어 상기 제 1 PCB의 열을 냉각시킬 있다. 상기 제 1 TIM은 상기 제 1 TEC와 상기 제 1 PCB 사이, 및 상기 제 1 TEC와 상기 히트 싱크 사이에 개재될 수 있다. 상기 제 1 온도 센서는 상기 제 1 TEC의 동작 제어를 위해 상기 제 1 PCB의 온도를 측정할 수 있다. 상기 제 1 TEC와 접촉된 상기 히트 싱크의 내측면 부위는 제 1 굴곡홈을 가질 수 있다. 상기 제 1 TIM은 상기 제 1 굴곡홈에 삽입되는 제 1 굴곡부를 가질 수 있다. 상기 제 1 TEC는 상기 제 1 PCB의 면적의 50% 이하의 면적을 가질 수 있다.
본 발명의 다른 견지에 따른 반도체 모듈은 제 1 PCB, 복수개의 제 1 메모리 칩들, 적어도 하나의 컨트롤 칩, 히트 싱크 및 적어도 하나의 제 1 TEC를 포함할 수 있다. 상기 제 1 메모리 칩들은 상기 제 1 PCB의 상부면과 하부면에 배치될 수 있다. 상기 컨트롤 칩은 상기 제 1 PCB의 상기 하부면에 배치될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 제 1 PCB, 상기 제 1 메모리 칩 및 상기 컨트롤 칩을 둘러쌀 수 있다. 상기 제 1 TEC는 상기 제 1 PCB의 상기 상부면에 배치되어 상기 제 1 PCB의 열을 냉각시킬 수 있다.
본 발명의 또 다른 견지에 따른 반도체 모듈은 제 1 PCB, 적어도 하나의 제 1 반도체 칩, 히트 싱크 및 적어도 하나의 제 1 TEC를 포함할 수 있다. 상기 적어도 하나의 제 1 반도체 칩은 상기 제 1 PCB에 배치될 수 있다. 상기 히트 싱크는 상기 제 1 PCB 및 상기 제 1 반도체 칩을 둘러쌀 수 있다. 상기 제 1 TEC는 상기 제 1 PCB에 배치되어 상기 제 1 PCB의 열을 냉각시킬 수 있다.
상기된 본 발명에 따르면, 제 1 TEC가 제 1 PCB에 배치되어 있으므로, 반도체 칩으로부터 제 1 PCB로 전파된 열이 제 1 TEC에 의해 신속하게 냉각될 수 있다. 따라서, 반도체 모듈의 성능이 열에 의해 열화되는 것이 방지될 수 있다.
특히, 제 1 TEC가 제 1 PCB를 직접적으로 냉각하게 되므로, 제 1 PCB에 연결된 반도체 칩들도 간접적으로 냉각될 수 있다. 그러므로, 히트 싱크들을 반도체 칩들 각각에 부착시킬 필요가 없게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 반도체 모듈의 열전 냉각소자의 냉각판을 확대해서 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 반도체 모듈의 열전 냉각소자의 발열판을 확대해서 나타낸 단면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 반도체 모듈의 열전 냉각소자가 인쇄회로기판에 배치된 위치를 나타낸 평면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 5의 A 부위를 확대해서 나타낸 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 16은 도 1에 도시된 열전 냉각소자에 의한 반도체 모듈의 부품들의 냉각 온도를 나타낸 그래프이다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 반도체 모듈의 열전 냉각소자의 냉각판을 확대해서 나타낸 단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 반도체 모듈의 열전 냉각소자의 발열판을 확대해서 나타낸 단면도이며, 도 4는 도 1에 도시된 반도체 모듈의 열전 냉각소자가 인쇄회로기판에 배치된 위치를 나타낸 평면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 반도체 모듈(100)은 솔리드 스테이트 드라이브(solid state drive : SSD)를 포함할 수 있다. 그러나, 본 실시예의 반도체 모듈(100)은 특정 구조로 국한되지 않을 수 있다.
반도체 모듈(100)은 제 1 인쇄회로기판(printed circuit board : PCB)(110), 복수개의 반도체 칩들, 히트 싱크(150), 제 1 열전 냉각소자(thermoelectric cooler : TEC)(170), 제 1 열계면재(thermal interface material ; TIM)(178) 및 제 1 온도 센서(115)를 포함할 수 있다.
제 1 PCB(110)는 상부면(112)과 하부면(114)을 가질 수 있다. 단자들이 제 1 PCB(110)의 상부면(112)과 하부면(114)에 배치될 수 있다. 따라서, 제 1 PCB(110)는 듀얼 인라인 메모리 모듈(dual in-line memory module : DIMM)용으로 사용될 수 있다. 다른 실시예로서, 제 1 PCB(110)의 단자들은 상부면(112)과 하부면(114) 중 어느 하나에만 배치될 수도 있다. 이러한 제 1 PCB(110)는 싱글 인라인 메모리 모듈(single in-line memory module : SIMM)용으로 사용될 수 있다.
제 1 PCB(110)는 반도체 모듈(100)을 외부 기기에 전기적으로 연결시키기 위한 커넥터(160)에 연결될 수 있다. 본 실시예에서, 제 1 PCB(110)의 좌측 단부가 커넥터(160)에 연결될 수 있다.
반도체 칩들은 컨트롤 칩(120), 복수개의 메모리 칩들 등을 포함할 수 있다. 메모리 칩들은 DRAM 칩(130)들, NAND 플래시 메모리 칩(140)들 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로서, 반도체 모듈(100)은 반도체 패키지들을 포함할 수도 있다.
컨트롤 칩(120)은 제 1 PCB(110)의 하부면(114) 중앙부에 배치될 수 있다. DRAM 칩(130)들은 제 1 PCB(110)의 좌측 상부면(112)과 하부면(114)에 배치될 수 있다. NAND 플래시 메모리 칩(130)들은 제 1 PCB(110)의 우측 상부면(112)과 하부면(114)에 배치될 수 있다. 따라서, 반도체 모듈(100)의 동작 중에 컨트롤 칩(120), DRAM 칩(130)들 및 NAND 플래시 메모리 칩(140)들로부터 발생된 열은 제 1 PCB(110)로 전달될 수 있다. 특히, 반도체 모듈(100)의 동작 중에, 컨트롤 칩(120), DRAM 칩(130)들 및 NAND 플래시 메모리 칩(140)들 중에서 컨트롤 칩(120)으로부터 가장 높은 열이 발생될 수 있다.
히트 싱크(150)는 제 1 PCB(110)를 둘러쌀 수 있다. 히트 싱크(150)는 커넥터(160)를 매개로 제 1 PCB(110)에 연결될 수 있다. 따라서, 제 1 PCB(110)의 열은 히트 싱크(150)를 통해서 방출될 수 있다. 반도체 모듈(100)이 SSD일 경우, 히트 싱크(150)는 SSD의 케이스에 해당할 수 있다.
제 1 PCB(110)의 열을 효과적으로 냉각시키기 위해서, 제 1 TEC(170)가 제 1 PCB(110)와 히트 싱크(150) 사이에 배치될 수 있다. 제 1 TEC(170)는 펠티어 효과(Peltier Effect)를 이용해서 제 1 PCB(110)의 열을 냉각시킬 수 있다.
제 1 TEC(170)는 냉각판(172), 발열판(174) 및 반도체 소자(176)를 포함할 수 있다. 냉각판(172)과 발열판(174)은 대향하도록 배치될 수 있다. 반도체 소자(176)는 냉각판(172)과 발열판(174) 사이에 배치될 수 있다. 반도체 소자(176)는 N형 반도체 소자들과 P형 반도체 소자들이 교호적으로 배치된 구조를 가질 수 있다.
냉각판(172)은 제 1 PCB(110)의 상부면(112)에 접촉할 수 있다. 발열판(174)은 히트 싱크(150)의 내측면에 접촉할 수 있다. 냉각판(172)은 제 1 TIM(178)를 이용해서 제 1 PCB(110)의 상부면(112)에 부착될 수 있다. 발열판(174)도 제 1 TIM(178)을 이용해서 히트 싱크(150)의 상부 내측면에 부착될 수 있다. 제 1 TIM(178)은 실리콘, 아크릴, 레진 등을 포함할 수 있으나, 특정 물질로 국한되지 않을 수 있다.
발열판(174)으로 전류가 공급되면, 전류는 N형 반도체 소자(176), 냉각판(172) 및 P형 반도체 소자(176)를 따라 공급될 수 있다. 여기서, 발열판(174)에서는 열이 발산되는 반면에 냉각판(172)에서는 열이 흡수될 수 있다.
제 1 TEC(170)에 펠티어 효과가 제 1 TEC(170)에서 발현되도록 하는 전류를 제 1 TEC(170)로 공급하기 위한 전압이 인가될 수 있다. 이러한 전압은 제 1 PCB(110) 상의 임의의 단자를 통해 제 1 TEC(170)로 공급될 수 있다. 예를 들어서, 상기 전압에 의해 발열판(174)으로 공급된 전류는, N형 반도체 소자(176), 냉각판(172) 및 P형 반도체 소자(176)를 순차적으로 흘러서, 최종적으로는 발열판(174)을 통해 제 1 TEC(170) 밖으로 빠져나갈 수 있다. 이와 같이 전류가 흐를 경우, 펠티어 효과에 의해, 발열판(174)에서는 열이 발산되는 반면에 냉각판(172)에서는 열이 흡수될 수 있다. 따라서, 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 중앙부에 제 1 TIM(178)을 매개로 접촉된 냉각판(172)이 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 중앙부를 냉각시킬 수 있다. 물론, 전술한 전류의 흐름은 예시적인 것으로서, 제 1 TEC(170)의 구조 및/또는 구성 물질에 따라 변경될 수 있다.
이와 같이, 제 1 TEC(170)가 제 1 PCB(110)를 직접적으로 냉각하게 되므로, 제 1 PCB(110)에 연결된 컨트롤 칩(120), DRAM 칩(130)들 및 NAND 플래시 메모리 칩(140)들도 간접적으로 냉각될 수 있다. 그러므로, 히트 싱크(150)들을 컨트롤 칩(120), DRAM 칩(130)들 및 NAND 플래시 메모리 칩(140)들 각각에 부착시킬 필요가 없게 된다.
도 4를 참조하면, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 중앙부에 배치될 수 있다. 전술한 바와 같이, 컨트롤 칩(120), DRAM 칩(130)들 및 NAND 플래시 메모리 칩(140)들 중에서 컨트롤 칩(120)으로부터 가장 높은 열이 발생되므로, 컨트롤 칩(120)이 위치한 제 1 PCB(110)의 중앙부가 제 1 PCB(110)의 다른 부위들보다 상대적으로 높은 온도를 가질 수 있다. 따라서, 제 1 TEC(170)는 상대적으로 가장 높은 온도를 갖는 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 중앙부에 배치되어, 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 중앙부를 냉각시킬 수 있다. 그러나, 콘트롤 칩(120)이 항상 PCB(110)의 중앙부에 위치하는 것은 아니며, 때에 따라서는 커넥터와 가까운 쪽에 위치하는 경우도 있을 수 있다. 이러한 경우, 전체 온도 냉각을 위해서는 PCB(110)의 중앙부에 제 1 TEC(170)를 위치시키는 것에 의해서 우수한 냉각 효율이 발휘될 수 있다, 또한 콘트롤 칩, DRAM, NAND 등의 배치에 의해서 PCB(110)의 중앙부에 제 1 TEC(170)를 위치시키기 어려울 경우에도, 가능하면 제 1 TEC(170)를 PCB(100)의 중앙부에 가깝게 배치하는 것이 바람직하다.
본 실시예에서, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 면적의 50% 이하의 면적을 가질 수 있다. 그러나, 제 1 TEC(170)의 면적은 특정 수치로 국한되지 않을 수 있다.
다른 실시예로서, 컨트롤 칩(120)이 제 1 PCB(110)의 상부면(112)에 배치된다면, 제 1 TEC(170)는 컨트롤 칩(120)의 반대인 제 1 PCB(110)의 하부면(114)에 배치될 수 있다.
제 1 온도 센서(115)는 제 1 PCB(110)의 온도를 측정하여, 제 1 TEC(170)의 동작을 제어할 수 있다. 즉, 제 1 온도 센서(115)가 측정한 제 1 PCB(110)의 온도가 설정된 상한 임계 온도에 도달하면, 제 1 TEC(170)가 작동되어 제 1 PCB(110)를 냉각시킬 수 있다. 제 1 온도 센서(115)가 측정한 제 1 PCB(110)의 온도가 설정된 하한 임계 온도에 도달하면, 제 1 TEC(170)는 정지될 수 있다.
본 실시예에서, 제 1 온도 센서(115)는 제 1 PCB(110)의 내부 또는 표면에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서, 제 1 온도 센서(115)는 컨트롤 칩(120), DRAM 칩(130) 및/또는 NAND 플래시 메모리 칩(140) 내에 배치될 수도 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이고, 도 6은 도 5의 A 부위를 확대해서 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100a)은 히트 싱크와 제 1 TEC의 형상들을 제외하고는 도 1에 도시된 반도체 모듈(100)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 제 1 TEC(170)의 발열판(174)과 접촉하는 히트 싱크(150)의 상부 내측면 부위에 제 1 굴곡홈(152)이 형성될 수 있다. 제 1 TEC(170)의 발열판(174)과 히트 싱크(150) 사이에 개재된 제 1 TIM(178)은 제 1 굴곡부(179)를 가질 수 있다. 제 1 굴곡부(179)는 제 1 TIM(178)의 상부면(112)에 형성되어, 제 1 굴곡홈(152)에 삽입될 수 있다. 즉, 제 1 굴곡부(179)는 제 1 굴곡홈(152)의 내측면에 전체적으로 맞대어질 수 있다. 제 1 굴곡홈(152)과 제 1 굴곡부(179)의 형상들은 특정 형상으로 국한되지 않을 수 있다. 예를 들어서, 제 1 굴곡홈(152)과 제 1 굴곡부(179)는 물결 형상, 요철 형상 등을 가질 수 있다.
이와 같이, 제 1 TIM(178)의 제 1 굴곡부(179)가 히트 싱크(150)의 제 1 굴곡홈(152)에 삽입되는 것에 의해서, 제 1 TIM(178)과 히트 싱크(150) 사이의 접촉 면적이 확장될 수 있다. 따라서, 제 1 TEC(170)의 발열판(174)으로부터 히트 싱크(150)로의 열전달율이 향상될 수 있고, 또한 기능적으로 제 1 TEC(170)의 위치 변동이 방지될 수 있다.
다른 실시예로서, 반도체 모듈(100)이 제 1 TIM(178)을 포함하지 않는 경우, 즉 제 1 TEC(170)의 발열판(174)이 직접 히트 싱크(150)의 내측면에 접촉하는 경우, 제 1 굴곡부(179)는 제 1 TEC(170)의 발열판(174) 상부면에 형성될 수도 있다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100b)은 컨트롤 칩과 제 1 TEC의 위치들을 제외하고는 도 1에 도시된 반도체 모듈(100)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 7을 참조하면, 컨트롤 칩(120)은 제 1 PCB(110)의 하부면(114) 좌측 부위에 배치될 수 있다. 이에 따라, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 좌측 부위에 배치될 수 있다. 따라서, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 좌측 부위를 신속하게 냉각시킬 수 있다.
다른 실시예로서, 히트 싱크(150)의 상부 내측면은 도 5에 도시된 굴곡홈(152)을 가질 수 있고, 제 1 TIM(178)은 도 5에 도시된 굴곡부(179)를 가질 수 있다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100c)은 제 1 TEC의 위치를 제외하고는 도 7에 도시된 반도체 모듈(100b)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 8을 참조하면, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 우측 부위에 배치될 수 있다. 즉, 제 1 TEC(170)는 NAND 플래시 메모리 칩(140)들에 인접하게 배치될 수 있다. 따라서, 제 1 TEC(170)는 NAND 플래시 메모리 칩(140)들로부터 발생된 열이 전파된 제 1 PCB(110)의 상부면(112) 우측 부위를 신속하게 냉각시킬 수 있다.
부가적으로, 본 실시예의 반도체 모듈(100c)은 도 7에 도시된 제 1 TEC(170)를 더 포함할 수도 있다. 또한, 히트 싱크(150)의 상부 내측면은 도 5에 도시된 굴곡홈(152)을 가질 수 있고, 제 1 TIM(178)은 도 5에 도시된 굴곡부(179)를 가질 수 있다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100d)은 제 1 TEC를 제외하고는 도 7에 도시된 반도체 모듈(100b)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 9를 참조하면, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 상부면(112)에 수평하게 배열된 적어도 2개로 이루어질 수 있다. 따라서, 수평 방향을 따라 배열된 적어도 2개의 제 1 TEC(170)들을 이용해서 제 1 PCB(110)를 보다 신속하게 냉각시킬 수 있다.
다른 실시예로서, 히트 싱크(150)의 상부 내측면은 도 5에 도시된 굴곡홈(152)을 가질 수 있고, 수평 방향을 따라 배열된 적어도 2개의 제 1 TEC(170)들과 히트 싱크(150) 사이에 개재된 제 1 TIM(178)들 각각은 도 5에 도시된 굴곡부(179)를 가질 수 있다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100e)은 제 1 TEC를 제외하고는 도 7에 도시된 반도체 모듈(100b)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 10을 참조하면, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 상부면(112)에 수직 방향으로 적층된 적어도 2개로 이루어질 수 있다. 따라서, 수직 방향을 따라 적층된 적어도 2개의 제 1 TEC(170)들을 이용해서 제 1 PCB(110)를 보다 신속하게 냉각시킬 수 있다.
다른 실시예로서, 히트 싱크(150)의 상부 내측면은 도 5에 도시된 굴곡홈(152)을 가질 수 있고, 수직 방향을 따라 적층된 적어도 2개의 제 1 TEC(170)들 중 최상부에 배치된 제 1 TEC(170)와 히트 싱크(150) 사이에 개재된 제 1 TIM(178)은 도 5에 도시된 굴곡부(179)를 가질 수 있다.
도 11은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100f)은 제 2 PCB 및 제 2 온도 센서를 더 포함한다는 점을 제외하고는 도 7에 도시된 반도체 모듈(100b)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다. 그러나, 본 실시예의 반도체 모듈(100f)은 제 2 온도 센서를 포함하지 않을 수도 있다.
도 11을 참조하면, 본 실시예의 반도체 모듈(100f)은 제 2 PCB(180)를 더 포함할 수 있다. 제 2 PCB(180)는 제 1 PCB(110)의 상부에 배치될 수 있다. 제 2 NAND 플래시 메모리 칩(142)들이 제 2 PCB(180)의 상부면과 하부면에 배치될 수 있다.
제 2 PCB(180)는 홀(182)을 가질 수 있다. 홀(182)은 제 1 TEC(170)의 상부에 위치할 수 있다. 따라서, 제 1 TEC(170)는 홀(182)을 통해서 제 2 PCB(180)를 통과하여 히트 싱크(150)의 상부 내측면에 접촉될 수 있다.
제 2 온도 센서(117)는 제 2 PCB(180)의 온도를 측정하여, 제 1 TEC(170)의 동작을 제어할 수 있다. 제 2 온도 센서(117)는 제 2 PCB(180)의 내부 또는 표면에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서, 제 2 온도 센서(117)는 NAND 플래시 메모리 칩(142) 내에 배치될 수도 있다. 또한, 전술한 바와 같이, 제 2 온도 센서(117)없이 제 1 온도 센서(115)만을 사용해서 반도체 모듈(100f)의 온도 제어가 이루어질 수도 있다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100g)은 제 2 TEC를 더 포함한다는 점을 제외하고는 도 11에 도시된 반도체 모듈(100f)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 12를 참조하면, 본 실시예의 반도체 모듈(100g)은 제 2 TEC(190)를 더 포함할 수 있다. 제 2 TEC(190)는 제 2 PCB(180)의 상부면에 배치될 수 있다. 제 2 TEC(190)는 히트 싱크(150)의 상부 내측면에 접촉될 수 있다. 제 2 TIM(178a)가 제 2 TEC(190)와 제 2 PCB(180) 사이, 및 제 2 TEC(190)와 히트 싱크(150) 사이에 개재될 수 있다. 제 2 TIM(178a)는 도 1에 도시된 제 1 TIM(178)과 실질적으로 동일한 물질을 포함할 수 있다.
이러한 제 2 TEC(190)는 제 2 PCB(180)를 냉각시킬 수 있다. 제 2 TEC(190)는 제 1 TEC(170)의 구조 및 기능과 실질적으로 동일한 구조 및 기능을 가지므로, 제 2 TEC(190)의 구조 및 기능에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
본 실시예의 반도체 모듈(100h)은 컨트롤 칩, 제 1 TEC 및 제 2 PCB를 제외하고는 도 12에 도시된 반도체 모듈(100g)의 구성요소들과 실질적으로 동일한 구성요소들을 포함할 수 있다. 따라서, 동일한 구성요소들은 동일한 참조부호들로 나타내고, 또한 동일한 구성요소들에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
도 13을 참조하면, 컨트롤 칩(120)은 제 1 PCB(110)의 상부면(112)에 배치될 수 있다. 이에 따라, 제 1 TEC(170)는 제 1 PCB(110)의 하부면(114)에 배치될 수 있다. 따라서, 제 1 TEC(170)는 히트 싱크(150)의 하부 내측면에 접촉될 수 있다.
이와 같이, 제 1 PCB(110)의 하부면(114)에 배치된 제 1 TEC(170)는 히트 싱크(150)의 하부 내측면에 접촉되므로, 제 2 PCB(110)는 제 1 TEC(170)를 통과시키기 위한 홀을 갖지 않을 수 있다.
또한, 히트 싱크(150)의 하부 내측면은 도 5에 도시된 굴곡홈(152)을 가질 수 있고, 제 1 TEC(170)와 히트 싱크(150) 사이에 개재된 제 1 TIM(178)은 도 5에 도시된 굴곡부(179)를 가질 수 있다.
도 14은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 14를 참조하면, 본 실시예의 반도체 모듈(200)은 시스템 인 패키지(system in package : SIP) 또는 멀티-칩 모듈(multi-chip module)을 포함할 수 있다. 이러한 반도체 모듈(200)은 PCB(210), 로직 칩(220), 휘발성 메모리 칩(230), 비휘발성 메모리 칩(240), TEC(270), 온도 센서(215), 몰딩 부재(250), 히트 싱크(260) 및 외부접속단자(280)들을 포함할 수 있다.
로직 칩(220), 휘발성 메모리 칩(230) 및 비휘발성 메모리 칩(240)은 PCB(210)의 상부면에 배치될 수 있다. 외부접속단자(280)들은 PCB(210)의 하부면에 배치될 수 있다.
TEC(270)는 PCB(210)의 상부면에 배치될 수 있다. TEC(270)는 도 1에 도시된 TEC(170)의 구조 및 기능과 실질적으로 동일한 구조 및 기능을 가지므로, TEC(270)에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
온도 센서(215)는 PCB(210)의 온도를 측정하여, TEC(270)의 동작을 제어할 수 있다. 온도 센서(215)는 PCB(210)의 내부 또는 표면에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서, 온도 센서(215)는 로직 칩(220), 휘발성 및/또는 비휘발성 메모리 칩(230, 240)들 내에 배치될 수도 있다.
몰딩 부재(250)는 PCB(210)의 상부면에 형성되어, 로직 칩(220), 휘발성 메모리 칩(230) 및 비휘발성 메모리 칩(240)을 덮을 수 있다. 또한, 몰딩 부재(250)는 TEC(270)의 상부면을 제외한 TEC(270)의 측면들을 둘러쌀 수 있다. 이에 따라, TEC(270)의 상부면이 위를 향해 노출될 수 있다.
히트 싱크(260)는 몰딩 부재(250)의 상부면에 배치되어, 노출된 TEC(270)의 상부면에 접촉될 수 있다. 따라서, TEC(270)의 발열판으로부터의 열은 히트 싱크(260)로 전달될 수 있다.
도 15는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반도체 모듈을 나타낸 단면도이다.
도 15를 참조하면, 본 실시예의 반도체 모듈(300)은 메모리 모듈을 포함할 수 있다. 따라서, 반도체 모듈(300)은 PCB(310), 복수개의 휘발성 메모리 칩(320)들, 히트 싱크(330)들, 상하부 TEC(340, 350)들 및 온도 센서(315)를 포함할 수 있다.
휘발성 메모리 칩(320)들은 PCB(310)의 상부면과 하부면에 배치될 수 있다. 히트 싱크(330)들은 PCB(310)의 상부면과 하부면으로부터 이격되도록 배치될 수 있다.
상부 TEC(340)는 PCB(310)의 상부면과 히트 싱크(330) 사이에 배치될 수 있다. 하부 TEC(350)는 PCB(310)의 하부면과 히트 싱크(330) 사이에 배치될 수 있다. 상하부 TEC(340, 350)들은 도 1에 도시된 TEC(170)의 구조 및 기능과 실질적으로 동일한 구조 및 기능을 가지므로, 상하부 TEC(340, 350)에 대한 반복 설명은 생략할 수 있다.
온도 센서(315)는 PCB(310)의 온도를 측정하여, 상하부 TEC(340, 350)의 동작을 제어할 수 있다. 온도 센서(315)는 PCB(310)의 내부 또는 표면에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서, 온도 센서(315)는 휘발성 메모리 칩(320)들 내에 배치될 수도 있다.
다른 실시예로서, 본 실시예의 반도체 모듈(300)은 상하부 TEC(340, 350)들 중에서 어느 하나만을 포함할 수도 있다.
도 16은 도 1에 도시된 열전 냉각소자에 의한 반도체 모듈의 부품들의 냉각 온도를 나타낸 그래프이다. 도 16에서, 수평축은 전류를 나타내고, 수직축은 온도를 나타낸다. 또한, 도 16에서, 선 ①은 PCB의 온도를 나타내고, 선 ②는 컨트롤 칩의 온도를 나타내며, 선 ③은 DRAM 칩의 온도를 나타내고, 선 ④는 NAND 플래시 메모리 칩의 온도를 나타낸다.
도 16에 나타난 바와 같이, TEC가 작동되면, TEC는 PCB를 직접적으로 냉각시킬 수 있다. PCB가 냉각됨에 따라, PCB에 연결된 컨트롤 칩, DRAM 칩 및 NAND 플래시 메모리 칩도 간접적으로 냉각됨을 확인할 수 있다.
상기된 본 실시예들에 따르면, 제 1 TEC가 제 1 PCB에 배치되어 있으므로, 반도체 칩으로부터 제 1 PCB로 전파된 열이 제 1 TEC에 의해 신속하게 냉각될 수 있다. 따라서, 반도체 모듈의 성능이 열에 의해 열화되는 것이 방지될 수 있다.
특히, 제 1 TEC가 제 1 PCB를 직접적으로 냉각하게 되므로, 제 1 PCB에 연결된 반도체 칩들도 간접적으로 냉각될 수 있다. 그러므로, 히트 싱크들을 반도체 칩들 각각에 부착시킬 필요가 없게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 ; 제 1 PCB 115 ; 제 1 온도 센서
120 ; 컨트롤 칩 130 ; DRAM 칩
140 ; NAND 플래시 메모리 칩 150 ; 히트 싱크
160 ; 커넥터 170 ; 제 1 TEC
172 ; 냉각판 174 ; 발열판
176 ; 반도체 소자 178 ; 제 1 TIM
180 ; 제 2 PCB 182 ; 홀
190 ; 제 2 TEC 210 ; PCB
220 ; 로직 칩 230 ; 휘발성 메모리 칩
240 ; 비휘발성 메모리 칩 250 ; 몰딩 부재
260 ; 히트 싱크 270 ; TEC
280 ; 외부접속단자 310 ; PCB
320 ; 휘발성 메모리 칩 330 ; 히트 싱크
340 ; 상부 TEC 350 ; 하부 TEC
117 ; 제 2 온도 센서 215, 315 ; 온도 센서
152 ; 굴곡홈 179 ; 굴곡부

Claims (10)

  1. 제 1 인쇄회로기판(printed circuit board : PCB);
    상기 제 1 PCB의 상부면과 하부면에 배치된 복수개의 제 1 메모리 칩들;
    상기 제 1 PCB의 상기 하부면에 배치된 컨트롤 칩;
    상기 제 1 PCB, 상기 제 1 메모리 칩 및 상기 컨트롤 칩을 둘러싸는 히트 싱크(heat sink);
    상기 제 1 PCB의 상기 상부면에 배치되어 상기 제 1 PCB의 열을 냉각하는 하나의 제 1 열전 냉각소자(thermoelectric cooler : TEC);
    상기 제 1 TEC와 상기 제 1 PCB 사이, 및 상기 제 1 TEC와 상기 히트 싱크 사이에 개재된 제 1 열계면재(thermal interface material ; TIM); 및
    상기 제 1 TEC의 동작 제어를 위해 상기 제 1 PCB의 온도를 측정하는 제 1 온도 센서를 포함하고,
    상기 제 1 TEC와 접촉된 상기 히트 싱크의 내측면 부위는 제 1 굴곡홈을 갖고, 상기 제 1 TIM은 상기 제 1 굴곡홈에 삽입되는 제 1 굴곡부를 가지며,
    상기 제 1 TEC는 상기 제 1 PCB의 면적의 50% 이하의 면적을 갖는 반도체 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 PCB의 상부에 배치된 제 2 PCB;
    상기 제 2 PCB의 상부면과 하부면에 배치된 복수개의 제 2 메모리 칩들;
    상기 제 2 PCB의 상부면에 배치되어 상기 제 2 PCB의 열을 냉각하는 적어도 하나의 제 2 TEC;
    상기 제 2 TEC와 상기 제 2 PCB 사이, 및 상기 제 2 TEC와 상기 히트 싱크 사이에 개재된 제 2 TIM; 및
    상기 제 2 TEC의 동작 제어를 위해 상기 제 2 PCB의 온도를 측정하는 제 2 온도 센서를 더 포함하는 반도체 모듈.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 PCB는 상기 제 1 TEC가 통과하는 홀을 갖는 반도체 모듈.
  4. 제 2 항에 있어서, 상기 제 2 TEC와 접촉된 상기 히트 싱크의 내측면 부위는 제 2 굴곡홈을 갖고, 상기 제 2 TIM은 상기 제 2 굴곡홈에 삽입되는 제 2 굴곡부를 갖는 반도체 모듈.
  5. 제 1 PCB;
    상기 제 1 PCB의 상부면과 하부면에 배치된 복수개의 제 1 메모리 칩들;
    상기 제 1 PCB의 상기 하부면에 배치된 컨트롤 칩;
    상기 제 1 PCB, 상기 제 1 메모리 칩 및 상기 컨트롤 칩을 둘러싸는 히트 싱크; 및
    상기 제 1 PCB의 상기 상부면에 배치되어 상기 제 1 PCB의 열을 냉각하는 적어도 하나의 제 1 TEC를 포함하는 반도체 모듈.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 TEC와 상기 제 1 PCB 사이, 및 상기 제 1 TEC와 상기 히트 싱크 사이에 개재된 제 1 열계면재(thermal interface material ; TIM)을 더 포함하는 반도체 모듈.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 제 1 TEC와 접촉된 상기 히트 싱크의 내측면 부위는 제 1 굴곡홈을 갖고, 상기 제 1 TIM은 상기 제 1 굴곡홈에 삽입된 제 1 굴곡부를 갖는 반도체 모듈.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 제 1 TEC의 동작 제어를 위해 상기 제 1 PCB의 온도를 측정하는 제 1 온도 센서를 더 포함하는 반도체 모듈.
  9. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 PCB의 상부에 배치된 제 2 PCB; 및
    상기 제 2 PCB의 상부면과 하부면에 배치된 복수개의 제 2 메모리 칩들;
    상기 제 2 PCB의 상부면에 배치되어 상기 제 2 PCB의 열을 냉각하는 적어도 하나의 제 2 TEC;
    상기 제 2 TEC와 상기 제 2 PCB 사이, 및 상기 제 2 TEC와 상기 히트 싱크 사이에 개재된 제 2 TIM; 및
    상기 제 2 TEC의 동작 제어를 위해 상기 제 2 PCB의 온도를 측정하는 제 2 온도 센서를 더 포함하는 반도체 모듈.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 제 2 PCB는 상기 제 1 TEC가 통과하는 홀을 갖는 반도체 모듈.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6586835B1 (en) 1998-08-31 2003-07-01 Micron Technology, Inc. Compact system module with built-in thermoelectric cooling
US6559538B1 (en) 2000-10-20 2003-05-06 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration Inc. Integrated circuit device having a built-in thermoelectric cooling mechanism
US6548894B2 (en) 2000-11-30 2003-04-15 International Business Machines Corporation Electronic module with integrated programmable thermoelectric cooling assembly and method of fabrication
US6489551B2 (en) 2000-11-30 2002-12-03 International Business Machines Corporation Electronic module with integrated thermoelectric cooling assembly
CA2877959C (en) 2006-08-22 2017-06-13 Charles F. Barry Apparatus and method for thermal stabilization of pcb-mounted electronic components within an enclosed housing
KR20080082355A (ko) 2007-03-08 2008-09-11 삼성전자주식회사 반도체 모듈 및 그 냉각방법
KR101589441B1 (ko) * 2009-08-07 2016-01-28 삼성전자주식회사 반도체 모듈
TWI407545B (zh) 2009-08-19 2013-09-01 Ind Tech Res Inst 整合熱電元件與晶片的封裝體
US8649179B2 (en) * 2011-02-05 2014-02-11 Laird Technologies, Inc. Circuit assemblies including thermoelectric modules
KR101928005B1 (ko) * 2011-12-01 2019-03-13 삼성전자주식회사 열전 냉각 패키지 및 이의 열관리 방법
TWI463633B (zh) 2011-12-30 2014-12-01 Ind Tech Res Inst 晶片封裝結構
KR20150027583A (ko) 2013-09-04 2015-03-12 삼성전자주식회사 열전 소자를 갖는 반도체 소자
KR102222988B1 (ko) * 2014-09-24 2021-03-04 삼성전자주식회사 반도체 패키지의 멀티 적층체
US9559283B2 (en) 2015-03-30 2017-01-31 International Business Machines Corporation Integrated circuit cooling using embedded peltier micro-vias in substrate
US9491865B1 (en) 2015-04-24 2016-11-08 Unimicron Technology Corp. Circuit board and method for manufacturing the same
US9746889B2 (en) 2015-05-11 2017-08-29 Qualcomm Incorporated Package-on-package (PoP) device comprising bi-directional thermal electric cooler
KR102492527B1 (ko) * 2015-10-12 2023-01-31 삼성전자주식회사 데이터 스토리지 소자 및 그를 포함하는 전자 장치
US10504816B2 (en) 2017-09-06 2019-12-10 Google Llc Thermoelectric cooler (TEC) for spot cooling of 2.5D/3D IC packages
US10775861B2 (en) * 2018-09-18 2020-09-15 Dell Products L.P. Apparatus and method to improve thermal management for one or more heat generating components within an information handling system

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