KR20220060513A - 개선된 기판 스토리지 및 프로세싱 - Google Patents

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KR20220060513A
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토마스 쇼버
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

상술되는 시스템, 방법 및 장치는 일반적으로 기판 스토리지 및 프로세싱에 관련된 디바이스에 관한 것이다. 일 예의 실시예는 기판 수송, 분류 및 세정을 위한 하나 또는 둘 이상의 예에 사용되는 현존하는 디바이스들을 개선하는 기판 스토리지 및 프로세싱 모듈의 방법들, 장치 및 시스템들에 관한 것이다. 일체형 설계 시스템은 표준 클램핑 기술들의 사용 없이 혁신적인 지지 시스템을 사용함으로써 그 내용물들에 대한 변형을 감소시키는 방법으로 기판들을 보관 및 지지할 수 있고, 이러한 또는 다른 반복들로의 그러한 적층 방법들은 표면들의 차핑(chaffing)을 최소화할 수 있다. 따라서, 디바이스는 보관된 기판들을 원래 그대로의 상태로 보존하는 능력을 현저하게 개선한다.

Description

개선된 기판 스토리지 및 프로세싱{IMPROVED SUBSTRATE STORAGE AND PROCESSING}
본 발명은 적어도 2016년 6월 28일 출원된(파일번호 TEC001-PRO) "기판 스토리지 및 프로세싱"을 발명의 명칭으로 하는 미국 특허가출원 62/355,856에 대한 우선권을 주장한다.
본 개시물은 일반적으로 기판 스토리지 및 프로세싱에 관한 것이다. 하나의 예시적 실시예에서, 특히 기판 스토리지, 프로세싱 및 소팅(sorting)에 관한 것일 수 있는, 개선된 기판 스토리지 및 프로세싱 모듈의 방법들, 장치들, 그리고 시스템들에 관한 것이다.
300mm 웨이퍼 반도체 재료의 도입 이후로, 전단 개방 통합 포드들(Front Opening Unified Pods) 또는 "FOUP들"은 기판 및 유사 재료의 표준 스토리지 및 수송 방법이 되어왔다. FOUP들은 반도체 생산에 사용하기 위한 실리콘 웨이퍼를 격리시켜서 보관하기 위해 사용되어왔다. 디지털 회로, 마이크로프로세서, 및 트랜지스터의 설계에 있어서 핵심적인 반도체는 스토리지 유닛이 허용하는 가능한 한도로 극히 청정한 상태(immaculate condition)에 가깝게 이러한 웨이퍼를 유지시키는 것을 요구한다. 따라서, FOUP들은 웨이퍼의 프로세싱 및 측정에 사용되는 다른 기계들 사이에서 웨이퍼들이 이송될 수 있게 한다.
종래의 FOUP들은 일반적으로 주변 클린룸 환경으로부터 웨이퍼를 보존하도록 작동한다. 종래의 반도체 프로젝트에서, FOUP들은 웨이퍼가 로드 포트(load port) 및 전단 개방 도어를 통하여 장치에 진입하도록 허용한다. 종종, 로봇 핸들링 기구는 웨이퍼를 FOUP 내에 배치할 수 있고, 여기서 이들이 핀에 의해 제자리에 클램핑되어 이후에 사용을 위해 유지된다. 그러나 오늘날 FOUP들은 이들의 내용물을 오염시키고, 웨이퍼를 쓸리게 하고(chafe), 다양한 구조의 결과로 기판 웨이퍼 내용물의 로딩 및 언로딩을 지연시킬 수 있는 방법 및 시스템 설계에 의해 방해를 받는다. 따라서, FOUP들의 원하는 작업을 보다 효율적이고 정확하게 달성하는 발명이 필요할 수 있다.
현재의 기판 스토리지 장치들은 비지향성(undirected) 가압 액체, 가스, 및/또는 기타 매질로 하여금 내부의 웨이퍼들이 세정될 수 있도록 한다. 이제껏 FOUP들은 헤이즈 현상에 대해 취약한 것으로 여겨져 왔기에, 이러한 비지향성 매질들은 부적절한 세정을 제공하고, 원치않는 입자체(particulate matter)를 타겟으로 하지 못했다. 통상적인 FOUP 구조로 인해, 개별적인 기판들 - 오염되었거나 그렇지 않거나 - 클램핑 장치들 내에서의 부동성(immovability) 때문에 제거되지 못할 것이다. 따라서 프런트 엔드 팩토리(Frong End Factory)에서 웨이퍼를 프로세싱하는 동안 FOUP들을 여러 번 옮기는 것이 표준이 되었다. 그러나 일률적이거나 개선된 세정 방법을 갖는 대안적 장치를 만들어 낸다면, 이와같이 잦은 비율로 옮길 필요없이 시간과 에너지를 아낄 수 있을 것이므로, 반도체 업계에서는 그 자체로 핵심적인 툴이 될 것이다.
최근 기술의 급속한 발전은 규모의 경제(economies of scale)에서 속도에 대한 점증하는 요구에 맞출 수 있는 새로운 장치를 만들어 낼 것을 요구해 왔다. 그러나 제품의 연구와 개발에 있어서 일회성 비용, 또는 재현되지 않는 엔지니어링으로 인해, 기존 장치상에 새로운 디자인을 입히는(base) 것은 타당하지 않다고 간주될 수 있다. 따라서, 규모의 경제는 반도체 생산 업계에서 대규모의 제조 주문과 출하가 있어야만 달성될 수 있을 것이다. 또한, 완성된 제품의 수리가 실용적이지 못하게 여겨질 수 있기 때문에, 생산 단계에서 신뢰성에 유연성까지 더하는 것이 필수적이게 되어왔다. 이러한 결정적 단계에서의 반도체 제품들의 신뢰성은 조립, 사용, 그리고 환경적인 조건들에 의존하기 때문에, 기판 스토리지 장치는 이러한 가치에 직접적인 영향을 미친다. 따라서 기판 스토리지 장치의 개선은 반도체 제조의 생산성과 관련되어 있다.
현재 시판되는 기판 스토리지 장치들은 기계적 스트레스, 먼지 오염, 압력, 및 온도 취약성을 포함하는 - 그러나 이에 한정되지 않는 - 다양한 신뢰성 문제에 의해 영향을 받는다. 종전 기판 스토리지 시스템들은 웨이퍼들을 제자리에 유지할 수 있도록 해주는 핀(fin)들을 구비할 수 있다. 이러한 핀들은 다른 표면들과의 마찰에 취약한, 100-200 마이크로미터 두께의 웨이퍼들을 클램핑하여, 기판의 양표면을 따라 불필요한 쓸림(chafing)을 초래한다. 종전의 기판 스토리지 장치들은, 다양한 수준을 갖는 복수의 과정반복(iteration)을 통해, 극한 수준의 기계적 압력 부하를 받게 되어, 해당 장치의 전도성 표면들을 따라 존재하는 복수의 스트레스 포인트들 - 복수의 과정반복에서 복수의 부분들에 생성됨 - 로 인해 교체 주기가 가속화된다. 이러한 종래의 장치들은 제작 방법의 결과로 불필요한 갭을 포함한다는 점, 그리고 과도한 크기로 존재하여 재료 운송 시스템에서 패킹 능력을 저해하는 뻣뻣하고 유연하지 않은 구조를 제공한다는 점에서 특정 용도에 있어 만족스럽지 못한 것으로 입증되었다.
종래의 기판 스토리지 디바이스들의 문제들은 300mm 웨이퍼 피브(fibs)의 최대 25 웨이퍼 작업 및 330mm 이상의 디바이스 높이를 전형적으로 유지하는, 다중(multiple) 부품의 다중 스테이지에서 제조될 수 있는 전형적인 FOUP들의 구조 크기 때문에 악화된다. 대용량 선적이 필수적이라는 점을 상기하면, 이러한 FOUP들의 크기는 스케일링(scaling) 노력을 방해하고, 특히 동일한 부피의 기판을 보관하는데 더 작은 크기의 컨테이너가 생성될 수 있는 경우, 단계들 및 부분들에서 스토리지 FOUP들의 제작을 요구함으로써 효율성을 감소시킨다. 따라서, 제작(construction) 프로세스들을 간소화하는 기판 스토리지 장치는 제조(manufacturing) 프로세스에 있어서 반복 용이성과 스토리지, 생성의 효율성을 증가시킬 수 있다.
홀딩된 기판 웨이퍼 품질을 보존하는 것이 이러한 스토리지 장치들의 주요 목적이기 때문에, 개선된 기판 스토리지 장치는 시스템 또는 웨이퍼 그 자체의 구조적 무결성을 희생하지 않고서 내용물을 세정할 수 있도록 해야 한다. 따라서 단일 기판 스택 또는 모듈을 이동시키는 능력과 같은 획기적이고 유연한 적용은 FOUP과 같은 현재의 스토리지 장치에 비해 개선된 스택킹(stacking), 이동, 그리고 트랙킹(tracking)을 부여할 수 있을 것이다.
따라서, 반도체 제조 또는 이와 유사한 프로세스에서 기판 또는 웨이퍼의 오염, 이송, 및 홀딩에 이용될 수 있는 장치를 제공하는 것이 본 발명의 목적이 될 수 있다. 본 발명의 다른 목적은 교번적인(alternating) 기판과 지지 레스트 래치(supporting rest latch)들의 시스템을 이용하는 단일 재료를 갖는 단일품 디자인(single piece design)의 스토리지 장치를 제공하는 것일 수 있다. 본 발명의 다른 목적은 담겨진 기판들을 가로지르는 지향성 층류 가스상 유동(directional laminar gaseous flow)일 수 있는 제어가능한 버퍼 스토리지 퍼지(purge) 옵션들을 제공하는 것일 수 있다. 본 발명의 다른 목적은 기판 스택들 및/또는 모듈들의 이동을 가능하게 할 수 있는 기판 배향(orientation) 능력과 셀프-센터링(self-centering) 장치 능력을 제공하는 것일 수 있다.
개선된 특징들을 갖는 기판 홀딩 장치를 제공하는 방법, 장치, 및 시스템이 개시된다.
본 발명은 여러 분야 중에서 제조, 프로세싱 또는 스토리지에 사용되는 기판 홀딩 장치를 개시한다. 바람직한 실시예에서, 기판 홀딩 장치는 장기간 스토리지, 단기간 스토리지 또는 버퍼와 같은, 스토리지 또는 스톡커(stocker)일 수 있다. 상기 기판 홀더는 오염, 손상을 줄이고 다른 프로세스들, 장치 및 사용에 대해 더 놓은 품질의 기판을 제공하도록, 종래 기술에 비해 개선될 수 있다.
상기 기판 홀더는 복수의 모듈을 포함할 수 있다. 각 모듈은 적어도 하나의 기판이 모듈에 의해 홀딩될 수 있게 하는 능력을 포함할 수 있다. 상기 기판은 기판상에 압력이 가해지거나, 그렇지 않으면 클램핑되지 않는 방법으로 홀딩될 수 있다.
상이한(disparate) 모듈들은 모듈의 내부 리세스의 중심으로 연장하는 기판 홀딩 암(arm)들을 가져서, 모듈이 기판 홀딩 암들을 통해 기판을 홀딩할 수 있다. 암들은 아치형 디자인을 가질 수 있고, 아치의 내측면상에 노치(notch)를 갖는데, 상기 노치는 기판에 대하여 아래쪽으로 각이진다(angle downward). 이렇게 각이진 노치(angled notch)는, 기판이 암들에 의해 홀딩되고 암 위에 놓이도록, 하지만 홀딩된 기판에 대한 충격을 줄일 수 있도록 접촉 부위(contact patch)는 가급적 작은 크기로 제한될 수 있도록, 기판이 암에 놓여질 수 있게 해준다. 또한 상술한 각은 상기 접촉 부위가 기판의 최말단에 위치하게 할 수 있어서, 기판의 윗면과 아랫면이 오염과 손상으로부터 보호될 수 있다. 이와 더불어, 각이진 암들은 기판들이 암에서 셀프 센터링(self-center)하도록 도와주어, 암들의 아래로 향하는 각이 기판으로 하여금 암들의 위치내로 낙하하도록 하고, 이때 암들은 복수 개, 바람직한 실시예에서는, 사각형 기판 모듈의 대각선 쪽(diagonal side) 각각에 네 개씩일 수 있다.
상기 기판 홀더 - 기판 홀더는 상이한 모듈들을 포함함 - 는 오염, 쓸림 및 기판에 대한 기타 손상, 및 기판들과 접촉하는 내부 환경의 정도를 감소시키도록 디자인될 수 있다. 이후, 모듈들은 단일품 디자인을 통해 제작될 수 있어, 모듈이 이음매 없는(seamless) 프로세스에 의해 제작될 수 있고, 여기서 단일품 디자인이 쓸림을 최소화하고, 기판들과 접할 수 있는 환경을 통한 오염물 전파를 최소화한다.
기판 모듈들 - 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함함 - 은 모듈들이 기판 홀더를 형성하도록 적층될 수 있도록 디자인될 수 있어서, 적층된 모듈들이 복수의 기판 - 적층된 각 모듈이 적어도 하나의 기판을 포함함 - 들을 저장할 수 있다. 적층된 기판들은 모듈들에 의해 주변 환경으로부터 격리될 수 있고, 내부 환경을 허용할 수 있다. 내부 환경은, 위쪽과 아래쪽 뚜껑(cap) 부품에 통해, 그리고 사이에 낀 적층된 모듈들을 통해 강제된 공기(forced air) 등의 가스를, 기판 적층(stack) 전체에 걸쳐서 층류 형태로 기판들에 접촉하게끔 제공할 수 있어서, 기판들이 오염 또는 손상없이 보관 또는 처리될 수 있는데, 여기에는 홀더내로 가스를 넣는 것이 포함되고, 이는 모듈들 전체에 퍼져서 리세스들이나 채널들을 통해 각 기판 위로 전파된다.
모듈들은 자체적으로 리세스들 및 노치들을 포함할 수 있고, 각 모듈은 위 아래 모듈로 노치가 연장(notch into)할 수 있어서, 적층되었을 때 모듈들이 임의의 범위(reach)로 스택의 추락을 방지하는 것을 도울 수 있다. 노치들은 또한 모듈들 사이에서 가스, 공기 또는 데이터를 전달하기 위해 포트(port)와 같은 수단을 포함하여, 공기가 각 모듈을 통해 각 기판으로 퍼질 수 있다.
기판 모듈들 - 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함함 - 은 모듈들이 각 모듈, 또는 기판을 가진 모듈, 또는 단지 개별적인 기판들의 로딩 및 언로딩을 허용할 수 있도록 디자인될 수 있다. 부가적인 기능으로는 모듈식 디자인으로 인한 세정의 용이함, 및 오염원의 감소가 포함될 수 있고, 그 외에도 쓸림 감소를 위한 단일품 디자인과 같은 기타 특징들이 포함될 수 있다. 부수적인 기능으로 생산 단계의 감소, 기판들과 모듈 구조물 사이에 마찰 및 접촉 부위의 감소가 있다. 이것은 또한 홀더 또는 홀더들 내에서 기판들과 모듈들의 효과적인 이송, 트랙킹 및 전파를 제공하기 위해, 기판들, 모듈들, 및 홀더들로 하여금, 이를테면 조립 라인상에 외부 시스템들과 디바이스들을 갖는 것은 물론, 센서들 및 데이터 트랙킹을 갖도록 하는 능력을 포함한다.
본 명세서에 개시된 방법 및 시스템은 다양한 양상들을 달성하기 위한 임의의 수단으로 구현될 수 있다. 다른 특징들과 실시예들은 첨부된 도면들 및 하기의 상세한 설명으로부터 드러나게 된다.
예시적인 실시예들이 예시를 통해 보여지게 되나, 유사한 도면부호들이 유사한 요소들을 지시하고 있는, 첨부 도면들에 제한되는 것은 아니다.
도 1은 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더 일 실시예의 사시도이다.
도 2는 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 상부 캡을 제거한 일 실시예의 사시도이다.
도 3은 본 발명 기판 홀더의 개별 모듈이 기판을 구비한 상태의 일 실시예의 평면도이다.
도 4는 본 발명 기판 홀더의 개별 모듈이 기판을 구비하지 않은 상태의 일 실시예의 평면도이다.
도 5는 본 발명 기판 홀더의 개별 모듈이 기판을 구비하지 않은 상태의 일 실시예의 사시도이다.
도 6은 본 발명 기판 홀더의 기판 홀딩 암의 일 실시예의 확대 부분도이다.
도 7은 본 발명 기판 홀더의 기판 홀딩 암이 기판을 가진 상태의 일 실시예의 확대 부분도이다.
도 8a와 8b는 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 일 실시예의 단면 사시도이다.
도 9는 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 일 실시예의 단면 사시도이다.
도 10은 이동 메카니즘(movement mechanism)을 포함한, 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 단면 사시도이다.
본 발명의 다른 특징들은 첨부된 도면들과 이하의 상세한 설명으로부터 분명해질 것이다.
기판 스토리지 및 퍼지 디바이스를 제공할 수 있는 방법, 장치 및 시스템이 개시된다.
바람직한 실시예에서, 특징적 구성들이 기판 스토리지 및 프로세싱 디바이스를 보여줄 수 있는 임의의 다른 실시예들과 결합될 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 예시적 실시예는 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 예시적 실시예는 기판 스토리지에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 예시적 실시예는 기판 스토리지 디바이스에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 예시적 실시예는 기판 프로세서에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 예시적 실시예는 기판 프로세서 디바이스에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 예시적 실시예는, 기판들이 프로세싱될 수 있는, 기판 소팅(sorting) 및 스토리지 디바이스에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어진, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 각 모듈이 하나 또는 그 이상의 기판들을 홀딩하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 각 모듈이 하나의 기판을 홀딩하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 적층되어 멀티-기판 홀더를 형성할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 각각의 개별 모듈이 단일품 디자인(single piece design)으로 만들어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 각각 단일 재료로 된 단일품 디자인으로 만들어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 피가공물(workpiece)이 오염원을 덜 생성하도록 각 모듈들이 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
단일 재료이면서 단일품 디자인, 그리고 실시예들에 나열된 다른 특징들은 기판에 대한 오염의 양을 감소시킬 수 있을 것인데, 단일품 디자인으로 인해 생산 단계가 줄어드는 것은 물론, 피가공물 상에 이음매 또는 결함(flaw)이 더 적을 것이어서, 잠재적인 잔여물(debris), 또는 피가공물의 오염의 가능성이 줄어들게 된다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 단일품 및 단일 재료 디자인이 모듈들, 기판들 또는 기판 홀더를 전체적으로 세정하는 것을 용이하게 하도록 모듈들 각각이 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 단일품 및 단일 재료 디자인으로 인해 모듈로부터 기판의 언로딩 및 로딩이 용이하게, 또는 적층 위치 또는 구성으로부터 모듈의 언로딩이 용이하게 해 줄 수 있도록 모듈들이 각각 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 각각 단일품 디자인으로 만들어질 수 있고, 단일 재료가 피가공물에 요구되는 생산 단계를 줄일 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 가지고, 각 모듈이 하나의 기판 웨이퍼를 홀딩하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 하나의 기판을 클램핑이 아닌 방식(non-clamping method)으로 홀딩하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 하나의 기판을 클램핑 방식으로 홀딩하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 웨이퍼가 홀더 모듈상에 놓이는 것과 같이, 클램핑이 아닌 방식으로 기판 홀더가 하나의 기판을 홀딩하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 각 모듈 내에 기판을 셀프-센터링할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 홀더, 모듈, 홀딩된 기판, 또는 다른 구조물이 회전할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 홀더, 모듈, 홀딩된 기판, 또는 다른 구조물이 회전할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 예를 들어, 모듈 또는 기판이 제자리에 저장되기 전에, 모듈 또는 기판이 이동될 때, 또는 기판 또는 모듈이 제자리에 저장된 후에, 등과 같이 스토리지 동안의 임의의 시간에, 홀더, 모듈, 홀딩된 기판, 또는 다른 구조물이 회전할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 기판, 모듈 또는 구조물들이 제거, 진입, 저장, 세정, 또는 기타의 사용에 용이하게 위치되도록, 홀더, 모듈, 홀딩된 기판, 또는 다른 구조물이 회전할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 일 실시예에서, 회전에 관한 앞선 설명 또는 이후의 설명은 터닝(turn), 스피닝(spin), 또는 임의의 방향변경(reorient) 등의 유사한 의미 또는 움직임으로 교환 또는 교체될 수도 있다. 모듈, 기판 또는 임의의 다른 구조물이 또는 뒤집히거나(flipped) 터닝될 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 본 발명 내에 위치되거나 적층될 때, 또는 본 발명 내에 위치되기 전이나 후 등과 같이, 프로세싱이나 스토리지 도중의 임의의 시점에, 모듈 또는 기판이 회전, 스피닝 또는 그 외에 방향이나 위치가 변경 또는 이동될 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 각각 기판을 각 모듈 내에 보전(secure)할 수 있고, 모듈이 의도치 않은 힘 - 그것이 모듈 또는 모듈들, 기계류(machinery), 지진, 또는 기타의 힘들 중 어느 것에 기인한 것이든 - 으로부터, 기판을 클램핑하거나 그 외 기판에 압력을 가하지않고, 기판을 홀딩할 수 있음으로써, 압력의 부재로 인해 기판에 대한 쓸림, 오염 또는 손상을 줄일 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 모듈과 기판 사이에 접촉을 최소화하도록 디자인 될 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 최소의 접촉을 제공하도록 디자인 될 수 있고, 모듈과 기판 사이의 접촉이 최소화되고 실질적으로 기판의 표면(face)이 아니라 측면(side)에 접촉이 이루어져서, 기판 홀더가 기판 표면을 오염 또는 저하(degrade)시키지 않도록 하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 각각 하나의 재료로 된 단일품 디자인으로 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 둘 이상의 재료로 된 단일품 디자인으로 각각 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈들이 복수의 부품들과 재료들로 각각 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈 구조물이 하나의 재료로 이루어지고, 제어, 이동 또는 센서 판(surface)들 또는 디바이스들이 단일품 및 재료 디자인에 부착될 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 적어도 단일 기판, 예를 들어 둘 이상의 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 기판이 표준 300mm 원형 기판, 또는 임의의 다른 기판 또는 제품 등과 같이, 임의의 형상인, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더 구조물이 기판의 배치(placement)를 허용하고, 홀더가 기판을 셀프-센터링하여, 기판이 홀더 내에 홀딩되는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더가 복수의 모듈로 이루어져서, 병합되거나(incorporated) 별도의 장치가, 기판을 홀딩할 수 있는 모듈을 적층할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 홀더들은 서로 결합하는 방법, 또는 상하 홀더가 적층되도록 이들을 적층, 고정, 및 가이드하는 것을 돕는 임의의 방법으로 디자인될 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더가 복수의 모듈로 이루어져서, 병합된(incorporated), 또는 별도의 장치가, 기판을 홀딩할 수 있는 모듈을 적층할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 부가적으로, 각각의 상이한 모듈에서, 홀딩, 저장 또는 조작될 기판 또는 제품이 전술한 그리고 후술하는 바 - 이를테면 모듈상에서 기판이 센터링되도록 가이드할 수 있는 셀프-가이딩 핀들, 또는 세부적으로 바람직한 실시예에서, 기판 또는 제품이 모듈 홀더 내부에서 하강(fall) 또는 일정하고(routinely) 자연스럽게(naturally) 셀프-센터링할 수 있도록 하는 경사 구조물(sloping structure)을 포함하는 등의 임의의 방법이 포함됨 - 와 같이 모듈 내에서 셀프-센터링할 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더가 복수의 모듈로 이루어져서 모듈들이 본 발명내에 적층되고, 적층시 복수의 모듈들이 셀프-센터링 또는 셀프-정렬하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더가 복수의 모듈로 이루어져서 모듈들이 본 발명내에 적층되고, 능동 또는 수동적으로 적층시 복수의 모듈들이 셀프-센터링 또는 셀프-정렬하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더가 복수의 모듈로 이루어져서 복수의 모듈들이 본 발명내에 적층되고, 이를테면 전자적, IR, RFID, 레이저 지시자(indicator), 또는 스택이 정렬되거나 셀프-센터링될 때 메카니즘 또는 이동자(mover)에 제공하거나 또는 이동 메카니즘에 피드백을 제공하여 스택을 센터링하도록 조정하게 하는 임의의 다른 능동 지시자들을 포함하는 스택 모듈들과 같이, 적층시 복수의 모듈들이 능동적으로 셀프-센터링 또는 셀프-정렬하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더가 복수의 모듈로 이루어져서 모듈들이 본 발명내에 적층되고, 적층시 복수의 모듈들이 수동적으로 셀프-센터링 또는 셀프-정렬하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 형상으로 이루어질 수 있고, 홀더가 복수의 모듈로 이루어져서 모듈들이 본 발명내에 적층되고, 임의의 방법을 통해서, 하지만 중요하게는, 모듈들 사이에서 서로 끼워지는(key into) 구조물들과 같은 상호결합 구조물을 통해서, 적층시 복수의 모듈들이 수동적으로 셀프-센터링 또는 셀프-정렬하고, 이 때 각 모듈 구조물의 하단 및 상단이 돌출부들을 갖거나, 인접 또는 위 아래 모듈의 리세스로 들어가는 돌출부를 가지며, 두 개의 모듈들이 원하는 위치로 가이드 또는 센터링되는, 기판 홀더에 관한 것이다. 또한, 경사진 가이드 레일들과 같은 기타의 수동적 방법들이나, 모듈들이 아래로 또는 가로질러서 슬라이딩하도록 가이드 레일을 제공하는 본 발명과 같이, 외부의 수동 또는 능동 요소들을 통해서도 모듈이 셀프-센터링할 수 있고, 범프(bump) 또는 스톱(stop)과 같은 다른 양상의 레일들이나 노치들이 능동적 또는 수동적 셀프-센터링 또는 정렬을 제공한다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 적어도 하나의 모듈로 이루어지고, 모듈이 단일 기판을 홀딩 또는 지지할 수 있도록 하는 임의의 형상일 수 있고, 각 모듈은 아래 위의 상응하는 모듈상에 셀프-센터링할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 홀더 구조물과 상이하거나 그 일부분인 메카니즘에 의해 모듈이 스택으로부터 제거될 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 이것은 이를테면 스윙 암과 같은 임의의 디자인 또는 방법에 의해, 하지만 엘리베이터 방식의 메카니즘 등에 의해서도 이루어질 수 있다. 이 움직임이 단지 기판을 홀더로부터 제거할 수 있으나, 기판과 함께 홀더 자체를 제거하거나 스택으로부터 비워내는 것도 가능할 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 상이한 모듈들, 및 홀더가, 네트워크 연결, 결합, 밸브 연결, 전기적 연결, 또는 임의의 방법에 의해 연결된 센서들, 제어판(control surface)들 및 메카니즘들을 포함하여, 기판들의 임의의 상태를 센싱할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 이것은 각 모듈에 기판들이 존재하는지 여부, 얼마나 많은 모듈들이 적층되었는지, 그리고 오염 센서, 공기 유동 센서, 온도 센서, 및 기타 센서들을 포함한다. 제어 소소는 이를테면 공기 유동을 제어, 기판을 이동시키도록 암을 제어, 홀더를 이동시키도록 전기적 메카니즘을 제어할 수 있는 임의의 종류일 수 있다. 센서들, 및 제어판은 프로세싱 유닛, 수동 제어기, 또는 현장(local)이나 원격 네트워크, 또는 임의의 다른 디바이스나 방법에 연결될 수 있고, 유닛이 유저, 컴퓨터에 의해, 또는 자동으로 작동되어, 기판의 배치 또는 트래킹과 같은 작업을 제공하거나, 이를테면 기판을 세정하기 위해 공기흐름(airflow)을 이용하거나, 기판을 제거될 수 있게 준비시키기 위해 가판을 제공하는 작업 등을 제공한다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 또는 기판 웨이퍼와 같이 홀딩된 모듈 또는 개별 제품이 임의의 구성에서 아래 위는 물론이고 모든 측면으로 접근가능한, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 또는 기판 웨이퍼와 같이 홀딩된 모듈 또는 개별 제품이, 모듈들이 적층된 경우와 같은 임의의 구성에서, 아래 위는 물론이고 모든 측면으로 접근가능한, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 또는 기판 웨이퍼와 같이 홀딩된 모듈 또는 개별 제품이 임의의 구성에서 아래 위는 물론이고 모든 측면으로 접근가능하여, 이동 메카니즘이 모듈 또는 개별 기판을 모듈 또는 본 발명의 임의의 측면으로부터 제거할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 일 예로, 기판이 기판 모듈과 본 발명 적층 모듈들의 먼쪽 측면과 같은, 임의의 측면으로 언로딩될 수 있어서, 개방 메카니즘, 최종 도착지점, 또는 어떤 다른 이유 등에 따라서, 기판 또는 모듈이 임의의 방향으로 본 발명에서 제거, 언로딩되거나 본 발명으로 로딩, 진입될 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 또는 기판 웨이퍼와 같이 홀딩된 모듈 또는 개별 제품이, 공간적 제약, 또는 제조 라인에서 본 발명의 배향 등과 같은 임의의 특성이나 도착 지점 등에 따라 임의의 구성이나 방향에서, 아래 위는 물론이고 모든 측면으로 접근 가능한, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 스토리지용일 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 장기 또는 단기 스토리지용일 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 이를테면 장기 스토리지와 같은 스토리지용일 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 다른 실시예에서, 본 발명은 단기 스토리지, 또는 버퍼링 스토리지용일 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 오염제거(decontamination)와 같은 프로세싱용일 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가, 기판들을 임의의 기간 동안 테어링(tearing)하면서도, 공기 또는 가압 가스 등으로 기판들을 능동적으로 세정 또는 프로세싱하는 본 발명과 같이, 기판 홀더가 프로세싱과 아울러 스토리지용일 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 각 개별 모듈에서, 또는 전체적으로 기판들과 상호작용할 가스를 제공할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 각 개별 모듈에서 기판과 상호작용할 수 있는 가스를 제공할 수 있어서, 가스가 홀더로 제공되고, 이를테면 각 모듈 내의 연결 또는 상호결합 공동(cavity)을 통하는 등과 같은 라우팅(routing)을 통해 각 모듈로 도입되어, 가압 공기와 같은 가스가 각 모듈로 제공되고, 각 모듈 내의 리세스들이 각 기판상에 공기를 제공하여 오염을 감소 또는 제거하는, 기판 홀더에 관한 것이다. 가스는 가압된 주변 공기, 가열 또는 냉각된 공기이거나, 또는 순수 질소와 같은 가스이거나, 다른 불활성 또는 양성(benign) 가스일 수 있다. 또한 가스는 가열된 가스와 같은 효과를 제공할 수 있고, 하나의 요소로 이루어지거나, 또는 기판을 세정한다거나 가스제거(degas)하는 등의 기능을 제공하는 것을 도와주는 첨가물을 포함할 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 각 개별 모듈에서, 또는 전체적으로 홀딩된 기판들과 상호작용할 가스를 제공할 수 있고, 각 모듈에서 가스가 층류 기능으로 제공되는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 각 개별 모듈에서, 또는 전체적으로 홀딩된 기판들과 상호작용할 가스를 제공할 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 각 개별 모듈에서, 기판과 모듈 사이에 가능한 한 작은 접촉에 의해 기판이 홀딩될 수 있는 구조물을 개시하는, 기판 홀더에 관한 것이다. 일 실시예에서, 기판이 홀더상에 놓이거나 홀딩되는 지점들과 암들의 개수가 임의의 복수 개일 수 있다. 하나의 예시적 실시예에서, 암들이 기판을 홀딩하기 위해 홀더의 내부로 대각선 방향으로 연장할 수 있다. 기판이 홀딩되거나 놓여질 수 있는 노치가 상단부에 돌출해 있는 아치와 같은 윗방향 아치(upward arch)를 암이 형성할 수 있어서, 기판이 아치와 작은 접촉 지점(patch)에서만 접촉하는 방식으로 노치가 각이지게(angled) 된다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함하고, 상이한 모듈들이 적층되고, 이를테면 적층된 모듈들에서 모든 모듈들, 기판들 및 본 발명 전체에 걸쳐 고른(even), 혹은 층류인(laminar) 공기 흐름과 같은 가스 흐름이 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 기판이 이를테면 건조, 또는 단순한 먼지나 입자의 세정 또는 관리 등을 위해 세정, 프로세싱 또는 기타의 작업을 받을 수 있도록, 공기 흐름이 내부의 유동은 물론, 특정 출입 지점으로서 설계될 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함하고, 상이한 모듈들이 적층되고, 적층된 모듈들에서 공기 흐름과 같은 가스 흐름이 있을 수 있는데, 공기가 가스 입구로 들어가고, 그런 다음, 예컨대 본 발명의 측면에 있는, 유입 가스 분배 채널로 가스가 들어가고, 그런 다음 가스가 모듈들 전체에 걸쳐 층류로 고르게 분배되어, 가스가 각 기판과 고르게 상호작용한 다음, 본 발명을 빠져나가도록 가스를 안내하는 배출 가스 분배 채널로 들어가는, 기판 홀더에 관한 것이다. 일부 실시예에서 가스가 배출 가스 분배 채널을 빠져나가거나 들어가기 전에 본 발명 내에서 적어도 한 번 재순환할 수 있다. 임의의 형태일 수 있고, 또는 다른 명칭으로 지칭될 수 있는 유입 가스 분배 채널은, 층류를 제공하도록 유입 가스가 구조물 내에서 퍼지는 능력을 총체적으로(collectively) 제공한다. 배출 가스 분배 채널 또한 임의의 형태일 수 있고 다른 명칭으로 지칭될 수 있으나, 가스가 사용된 후에 그리고 구조물로부터 제거될 때, 재사용, 재활용, 처리 등을 위해 오염물 등과 함께 구조물로부터 모아지는 능력을 총체적으로 제공한다. 또한, 가스 분배 채널은 잔여물 트랩(trap), 스크린, 필터, 히터 등과 같은 구성을 가질 수 있다. 시일(seal)이, 별개로, 또는 모듈들의 구조들 사이를 통해서, 또는 본 발명 구조물 내부 전체를 통해서, 가스가 압력하에서 입구 및 출구로부터 부피로(by volume) 가이드되도록 할 수 있다. 임의의 실시예에서 입구 및 출구의 방향과 배치는 임의의 위치에 있을 수도 있고, 본 발명 구조물의 상단에 있는 입구, 그리고 하단에 있는 출구 등과 같은 의도를 가지고 디자인될 수도 있어서, 배출 가스 분배 채널에서, 입자체(particulate matter)가 리세스 트랩으로 떨어지거나, 또는 입자체가 가스 흐름과 함께 배출될 수 있고, 가스가 또한 후에 필터링, 재사용, 재활용 또는 다르게 처리될 수 있다.
가스는 주변 공기나 임의의 다른 타입의 가스일 수 있음은 물론, 임의의 타입일 수 있고, 가열, 냉각되거나 또는 달리 처리될 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함하고, 상이한 모듈들이 적층되고, 모듈들이 적층되거나, 컨베이어, 암, 또는 임의의 다른 메카니즘에 의해 본 발명 내부로 들어갈 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 이 메카니즘은 본 발명의 임의의 단부에서 모듈 또는 기판을 이동시키는 암들 또는 조작기구(manipulator)들을 포함할 수 있고, 개별 기판들을 이동시키고, 개별 모듈들을 이동시키거나 모듈들의 일부 스택이나 전체 스택을 이동시킬 수 있도록, 기판들 및 모듈들의 스택을 가로지르거나, 아래 위로 슬라이딩하는 기능을 포함할 수 있는 관절 암(articulating arm), 컨베이어, 또는 기타 방법을 포함할 수 있다. 또한, 복수의 조작기구들 각기 다른 위치에 있을 수 있으나, 동일한 측면, 슬라이드 또는 이동 메카니즘 상에 있을 수 있어서, 모듈들이 아래 위로 이동되면 다른 조작기구가 특정 기판이나 모듈과 상호작용할 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함하고, 상이한 모듈들이 적층되고, 모듈들이 적층되거나, 외부의 개방기(opener), 조작기구, 암 또는 기타 장치에 의해 본 발명 내부로 들어갈 수 있는, 기판 홀더에 관한 것이다. 버퍼 스토리지, 또는 컨디셔닝 타워가 개별모듈들을 처리된 기판들로 채울 수 있도록, 또는 다른 이유들, 이를테면 각 모듈 또는 복수의 모듈들 내의 기판들로의 진입을 제공하는 가스 통로를 위한 리세스 또는 길(avenue)을 제공함과 아울러, 기판과 같은 제품을 사용 또는 제조에서의 사용을 위해 추출하는 것 등이 가능하도록, 이 기기가 기판과 같은 제품에 접근하기 위해 모듈을 자동으로 개방할 수 있거나, 외부로부터 모듈을 자동으로 개방할 수 있다는 점에서 외부 개방기는 자동일 수 있다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함하고, 모듈 구조물이 기판의 제거, 접근 또는 기타 변동이나 이동을 용이하게 하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함하고, 모듈 구조물이 상이한 모듈, 기판, 또는 적층되어 스택을 형성하는 복수의 상이한 모듈들 또는 기판들의 용이한 제거를 허용하는, 기판 홀더에 관한 것이다.
임의의 다른 실시예들에 부가적일 수 있는 하나의 실시예는, 기판 홀더가 상이한 모듈들을 포함하고, 기판 홀더, 또는 기판들이 스택 내로 재배치되거나, 또는 이를테면 기판이나 기판 모듈을 제거하는 등 외부 장치로 건네져서 기판 또는 기판 모듈이 조립 라인에 배치되거나 기판 제조 장치와 같은 다른 장치에 의해 사용될 수 있도록, 모듈 구조물이 엘리베이터 메카니즘, 암 메카니즘 또는 기타 메카니즘과 같은 기계적 구동이나 메카니즘을 통해 제거를 용이하게 하는, 기판 홀더에 관한 것이다. 또한, 상기 메카니즘은 이를테면 일정한 기간동안 스토리지 내 또는 조립 라인 내 청정 환경에 기판을 보관 또는 저장하는 등, 기판을 또는 기판과 기판 모듈을 홀더 내로 수용할 수 있다.
본 실시예들은 특정한 예의 실시예들을 참조로 설명되었지만, 다양한 실시예들의 보다 넓은 사상과 범주를 벗어남이 없이 이러한 실시예들에 대해 다양한 변형들 및 변경들이 이루어질 수 있다는 것은 명백할 것이다. 프로세스, 제품, 엘리먼트, 또는 방법을 기술하는 용어들은 산업상 용어들이며 유사한 대안들을 지칭할 수 있다는 것은 통상의 당업자에 의해 이해되어야 한다. 또한, 도면들에 도시된 컴포넌트들, 이들의 연결, 결합, 관계 및 이들의 기능은 단지 예시적인 것으로 의도되며, 본 명세서에서 설명되는 실시예들을 제한하려는 의도가 아니다.
도 1은 본 발명인, 다중 모듈(multiple modules)을 구비한 기판 홀더 일 실시예의 사시도이다.
도 1은 기판 홀더(101)를 개시한다. 기판 홀더는 모듈(102)과 같이 적어도 하나의 상이한 모듈로 이루어질 수 있다. 각각의 상이한 모듈(102)이 적어도 하나의 기판을 홀딩할 수 있다. 상술한 모듈(102)을 포함할 수 있는 적층된 모듈(110)에서 볼 수 있듯이 모듈(102)들이 적층될 수 있다. 적층된 모듈들은 또한, 기판들과 모듈들이 제거될 수 있게 해주는 메카니즘 및 리세스를 포함할 수 있는 상단 모듈 또는 캡 부품(103)을 포함할 수 있는데, 이는 프로세싱 가스에 대한 플레넘(plenum)의 역할을 하거나, 내부 환경이 주위로부터 격리되게 할 수 있다.
예시적으로, 각 모듈은 적층되었을 때 기판이 홀딩된 환경을 주위로부터 밀봉한다. 상단 부품이 장착되면 적층된 모듈들과 기판들 전체가 주위로부터 격리되고, 그런 다음 부가적으로, 가스들 또는 기타 처리 방법들, 예를들어 가열, 강제된 공기나 가스 등이 내부로 도입되어 기판의 처리 또는 그 외 세정이나 저장을 할 수 있다.
하단 캡(104)이 사용될 수 있는데, 이 캡은 모듈 스택(110)이 장착되거나 놓여질 수 있는 구조를 제공하고, 또한 상단 캡과 유사한 기능인 내부 환경을 외부로부터 격리시킬 수 있는 기능을 제공하여 기판들이나 모듈들의 내부가 주위로부터 격리되도록 한다. 하단 캡은 노즐 또는 커넥터(151)를 포함할 수 있는데, 이는 가스 공급부 또는 유출부(return)에 연결될 수 있어서, 기판들이 가스와 상호작용하거나 처리되고, 또는 특정한 이유로 도움받게 되는 내부 환경으로 가스가 도입될 수 있도록 한다. 가스 노즐(151)은 임의의 디자인일 수 있고 복수 개일 수도 있으며, 하단 캡의 어떤 면에도, 또한 상단 캡이나 모듈 스택의 면에도 위치될 수 있다. 바람직한 실시예에서, 두 개의 노즐이 있어서, 하나는 가스의 유입 노즐이고 다른 하나는 유출(return) 혹은 폐기(waste) 노즐일 수 있다. 상기 노즐들은 어떤 가스이던지 또는 다른 제품, 이를테면 어떤 이유에서 액체를 유입시킬 수 있으며, 가스나 다른 제품을 제공하거나 가압, 처리하는 디바이스 또는 다른 기계에 연결될 수 있고 어떤 위치에도 있을 수 있다.
도 2는 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 상부 캡을 제거한 일 실시예의 사시도이다.
도 2는 적층된 모듈들(212)과 같은, 적층된 상이한 모듈(202)들을 가질 수 있는 기판 홀더(201)를 개시한다. 각 모듈은, 모듈(202)이 상응하는 기판(203)을 갖듯이, 기판 암(231)에 의해 홀딩될 수 있는 기판을 가질 수 있다. 모듈들(212)의 스택이 기판들(213)의 스택을 포함 - 각각의 상이한 모듈이 개별 기판을 홀딩함 - 한다. 이는 기판(203)을 홀딩하는 개별적인 상이한 모듈(202), 그리고 기판들(213)의 스택을 홀딩하는 모듈들(212)의 스택으로 예시될 수 있다. 임의의 복수 개의 기판들이 홀딩될 수도 있고, 어떤 실시예에서는 모듈이 기판을 홀딩하고 있지 않은, 빈 모듈들의 스택일 수도 있다. 또한, 모듈들은 임의 개의 복수의 암을 가질 수 있고, 암들은 임의의 디자인일 수 있다. 또한 개별 기판들을 홀딩하는 모듈들은 상술된 바와 같이 그리고 묘사된(pictured) 바와 같이, 적층된 기판들과 모듈들이 이격(separated)되고 접촉하지 않아서 오염이 제한될 수 있도록 각각의 개별 홀더가 구성될 수 있게끔 디자인될 수 있다.
또한 대안적인 실시예에서 각 기판이 스택내에서 바로 위 또는 아래의 기판으로부터 이격 또는 격리될 수 있도록 배리어(barrier)가 각 모듈과 기판 사이에 있을 수 있다. 배리어는 어떤 실시예에서, 기판들과 접촉하지 않고, 기판이 오염된 경우 또는 기판이 갈라지거나 부서진 경우, 오염되거나 부서진 기판들로부터 나온 물질이 떨어지지 않도록 또는 다른 기판들을 오염시키지 않도록 기판이 격리되게끔 배리어를 제공할 수 있다. 배리어는 얇은 플라스틱 필름으로 만들어질 수 있으나, 충분히 금속, 알루미늄 등일 수도 있고, 혹은 스크린이나 메쉬(mesh)일 수 있다. 어떤 실시예에서는 배리어가 기판들과 접촉할 수 있다. 또한 배리어는, 예컨대 오염된 먼지나 파편(piece) 등과 접촉하였을 때 오염을 제한시키도록 이를 홀딩할 수 있는 물질로 이루어지거나 정전하를 띄는 것과 같이, 오염을 제한시키는 특성을 가질 수 있다. 어떤 실시예에서는, 배리어가 모듈들과 일체(same piece)로 만들어지거나, 모듈에 기판이 놓이기 전 또는 후에 다른 부품(another piece)으로 삽입될 수 있다. 어떤 실시예에서는, 배리어가 모듈과 별개의 부품 또는 재료로, 모듈과 다른 시간에 만들어질 수 있다.
특히, 기판, 모듈, 및 스택에 사용된 형상들이 바람직한 실시예이나, 다른 실시예에서 형상들, 디자인, 크기와 적층 방법이 어떤 타입이나 디자인일 수 있다.
도 3은 본 발명 기판 홀더의 개별 모듈이 기판을 구비한 상태의 일 실시예의 평면도이다.
도 3은 기판(302)을 홀딩할 수 있는 기판 모듈(301)을 개시한다. 기판(302)은 암들(305a, 305b, 305c, 및 305d)에 놓일 수 있다. 다른 실시예에서 임의의 다른 개수의 암들이 임의의 위치에 있을 수 있다.
또한, 기판 모듈(301)이 모듈의 외부, 상단, 및 하단면을 따라 가이드 또는 래치(311a 및 311b)를 포함하여, 모듈들이 적층되었을 때 결속(secured) 또는 상호작용하는 식으로, 가이드들이 아래 또는 위의 모듈들과 접속(interface)될 수 있어, 스택이 떨어지거나 오정렬(misaligned)되지 않게 할 수 있다. 가이드 또는 래치는 임의의 타입일 수 있으나, 바람직한 실시예에서는, 한 모듈의 돌출부가 아래 또는 위의 모듈내 리세스로 끼워져서 두 모듈들이 횡방향 이동에 저항할 수 있게 된다. 상기 가이드 또는 래치는 임의의 복수개일 수 있고, 모듈의 어떤 면에도 있을 수 있다.
또한, 모듈들 내에 돌출부(310a)와 리세스(310b)가 있을 수 있다. 돌출부(310a)는 위쪽 또는 아래쪽 모듈의 상응하는 리세스 내로 끼워져서, 모든 위 아래 모듈이 이러한 돌출부 및 리세스 장착에 의해 연결될 수 있다. 돌출부와 리세스는 임의의 복수 개일 수 있고, 모듈 상의 임의의 면 또는 위치에 있을 수 있다. 이러한 돌출부들은 아래 또는 윗 모듈과의 횡방향 이동 및 이탈(dealignment) 저항 능력을 돕는 것과 아울러, 각 모듈의 셀프 센터링과 셀프 정렬 능력에도 도움을 줄 수 있다. 또한 돌출부들은 가스가 부품들 내에서 유동 가능하게 하여, 모듈들 사이로 가스가 흐를 수 있도록 한다. 또한, 돌출부들과 리세스들은 임의의 방식으로 모듈들과 기판들로 가스를 분배하는 것을 도울 수 있어서, 도 8b에서와 같이 공기가 각 기판에 층류 형태로 제공될 수 있도록 한다.
또한, 도 3은 퍼지 가스 분배 채널들(321) - 한쪽은 공급부이고 다른 한쪽은 제거 또는 수집부이고, 대각선 방향으로 대칭될 수 있으며, 임의의 디자인 또는 조합일 수 있음 - 의 평면도는 나타낸 것이다. 상기 채널들은 임의의 복수 개일 수 있고, 임의의 치수일 수 있고, 도시된 바와 같은, 또는 이 분야의 전문가가 예상할 수 있는 디자인일 수 있다. 또한, 채널들은 임의의 방식으로 기판들에 가스를 분배하는 것을 도와서, 도 8b에서와 같이 각 기판에 층류 형태로 공기가 제공되도록 할 수 있다.
도 4는 본 발명 기판 홀더의 개별 모듈이 기판을 구비하지 않은 상태의 일 실시예의 평면도이다. 도 3과 유사하지만 기판이 없는 상태이다.
도 4는 기판 홀더의 센터로 돌출할 수 있는 기판 홀딩 암들(405a, 405b, 405c 및 405d)을 구비한 모듈(401)을 개시한다. 암들은 임의의 길이를 가질 수 있다. 또한 바람직한 실시예에서, 암들이 상기 홀더와 단일 주형(mold)이나 부품으로 제작될 수 있어서, 그 길이가 고정되지만, 다른 실시예에서 암들이 행거(hanger) 또는 연장부를 이용하여 조절될 수 있다. 또한 상기 길이는 의도하는 기판의 치수에 의해 정해질 수 있다.
도 5는 본 발명 기판 홀더의 개별 모듈이 기판을 구비하지 않은 상태의 일 실시예의 사시도이다.
도 5는 도 3 및 도 4에서 보여진 것과 동일할 수 있는 기판 홀더(501)를 개시한다.
도 5는 기판 암들을 갖는 기판 홀더를 개시하고 있는데, 사시도에서 기판 홀딩 암들(505)이 있음을 쉽게 확인할 수 있다. 이 사시도에서, 암(505)이 한 지점(506)에서 위로 아치형을 이루고 있고, 암이 홀더 몸체에 연결되는 곳보다 높은 지점에서 노치를 포함한다. 상기 홀더 몸체에 대한 아치와 노치의 각(angle), 길이 및 각도(degree)는 임의의 특징을 가질 수 있다. 또한, 적층되었을 때, 위 또는 아래의 홀더 및 기판이 암을 이용하여 아래의 기판으로부터 오프셋되어서, 기판들이 서로 접촉하지 않도록, 또는 서로 오염시키지 않도록 하고, 기판들 사이에 작은 간격, 이를테면 0.5mm가 유지될 수 있도록 한다. 또한 상기 아치들은 스택의 상당한 하중이, 기판 또는 암 자체를 통해서가 아니라, 홀더 몸체와 홀더 몸체 사이에서 전달되도록 한다.
도 6은 본 발명 기판 홀더의 기판 홀딩 암의 일 실시예의 확대 부분도이다.
도 6은 기판 홀더 암(601)의 일 부분을 나타낸 것이다. 이 실시예는 앞에서 언급된 바와 같이 아치(602) 및 노치(603)를 포함하는 암(601)을 개시한다. 아치(602)는 임의의 각, 각도 또는 길이일 수 있고 노치는 임의의 길이일 수 있다. 기판이 이동되거나, 떠밀리거나, 또는 도 7에서 상세히 설명될, 노치(603)상에 놓인 지점으로부터 무의식적이거나 의식적으로 이동되는 것으로부터 도와줄 수 있는 약간의 돌출부(605)가 포함될 수 있다.
도 7은 본 발명 기판 홀더의 기판 홀딩 암이 기판을 가진 상태의 일 실시예의 확대 부분도이다.
도 7은 기판(709)가 홀딩될 수 있는 기판 홀더 암(701)을 개시한다. 기판과 직접 접촉할 수 있는 노치(703)는 기판뿐아니라 암(701) 구조물의 나머지 부분에 비해 아래쪽으로 각이질 수 있다. 이로 인해 가능한 한 최소의 접촉 지점(740)이 형성되므로, 기판상에 쓸림, 오염을 줄여주고, 기판의 가장 먼 가장자리에 접촉부(740)가 형성되도록 하여, 기판의 표면이 임의의 다른 지점에서 기판 암과 접촉하거나 오염될 가능성을 제거한다. 또한, 슬롯 돌출부(705)가 암의 주요 구조물로부터 돌출하는 것으로 도시될 수 있는데, 이로 인해, 기판이 이동, 떠밀림 또는 무의식적으로 제거되는 경우, 기판이 낙하하거나 그렇지 않으면 기판 홀딩 암으로부터 움직이는 것을 노치가 예방(heed)할 것이다.
도 8a와 8b는 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 일 실시예의 단면 사시도이다.
도 8a는 복수의 모듈(802) 스택을 갖는 본 발명의 실시예(801)에 대해 세부적으로 도시한 것인데, 모듈들이 복수의 기판들 또는 제품들(809)을 포함할 수 있고, 모듈들 및 제품들 또는 기판들이 제한된 공간 구성으로 본 발명 내에 적층될 수 있어서, 본 발명이 제한된 공간 내에 많은 기판들 또는 제품들을 저장 또는 홀딩할 수 있고, 기판들 및 모듈들이 센터링(centered) 또는 정렬된다. 모듈들은 공기 또는 가스가 채널(821)과 같은 채널들을 통해 스토커(stocker), 홀더 스토리지 등의 전체로 유동할 수 있도록 디자인될 수 있다.
도 8b는 예시적인 가스 유동 다이어그램을 나타낸 예시적인 실시예의 개관을 세부적으로 제공할 수 있다. 가스 유동이 그와 연관된 구조물을 포함하여 바람직한 실시예로 상세히 설명되고 개시되었지만, 실시예가 적합하다면, 이들은 상이한 구조, 형상 또는 유동 방향으로 제공될 수도 있을 것이다. 이 바람직한 실시예에서, 가스(821a)가 유입구(890)로 들어갈 수 있고, 그런 다음 가스 분배 채널들(891)로 들어가서, 다른 실시예에서는 임의의 면에 있을 수 있는, 측면 가스 유동 버퍼 패널을 가로질러서 가로와 세로 방향으로 분배될 수 있다. 그 후 가스 유동이 본 발명으로 퍼져 전체적으로 이동하게 되고, 앞서 설명한 대로, 제품들 또는 기판들 및 모듈들을 가로지르는 층류의 그리고 고른(even) 유동을 제공할 수 있다. 그 후 가스 유동은 가스 유동 배출 리세스(892)로 들어가고, 여기서 가스 유동이 가스 배출구(893)로 밀려서 가스(821b)와 같이 본 발명을 빠져나갈 수 있다. 그러면 가스(821b)는 오염되고, 추가로 처리, 방출, 재사용(reused) 및 재활용(recycled)될 수 있다.
도 9는 본 발명인, 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 일 실시예의 단면 사시도이다. 이 도면에서, 본 발명(901)은 도 8에 도시된 것의 보다 상세한 컴퓨터 모듈을 제공하며, 추가적인 리세스들은 물론 본 발명의 구조에 대한 세부 사항들을 제공한다. 이는 가스들의 유입 또는 배출을 위한 공기 리세스를 제공하는 리세스들(905)를 포함하며, 이 가스들은 내측 리세스들을 통해 이동하여 기판들에 층류를 제공할 수 있다.
도 10은 본 발명인 다중 모듈을 구비한 기판 홀더의 일 실시예의 단면도일 수 있는데, 본 발명의 링 또는 모듈들과 상호작용할 수 있는 적어도 하나의 암(1011a)을 포함할 수 있는 이동 메카니즘을 포함하고, 또한 동일 모듈 또는 다른 모듈들과 상호작용할 수 있는 암(1011b)과 같은 다중 암들을 포함할 수도 있다. 암들은 기판들 자체와 상호작용할 수 있는 것은 물론, 별개의, 동일 또는 임의의 개수 및 조합의 모듈들과 상호작용할 수 있다. 이 도면은 본 발명의 한쪽 모서리(코너)만 나타낸 것인데, 유사한 암들과 구조들이 발명의 다른 모서리에서 발견될 수 있고, 또는 일부 모서리들에 모터와 같은 능동(active) 요소가 있을 수 있고, 이 경우 매칭되는 모서리들이 상기 능동 요소들로 하여금 제품들, 기판들 또는 모듈들의 이동, 제거, 배치 또는 그 외 상호작용하는 것을 수동 요소들을 가질 수 있다. 암들은 유압식 슬라이드에 의해서, 또는 컨베이어나 밴드(band) 및 기어 방식 등과 같은 임의의 방식에 의해서도 본 발명을 가로질러, 위로, 아래로 이동할 수 있다. 암들은 전술한 기판 또는 제품 홀딩 암들(1005)을 가질 수 있고, 이는 제품들 또는 기판들(1003)의 홀딩 및 셀프-센터링(centering) 또는 정렬을 도울 수 있다.
다수의 실시예들이 기술되었다. 그럼에도 불구하고, 청구된 발명의 사상과 범주를 벗어남이 없이 다양한 변형들이 이루어질 수 있다는 것을 이해할 것이다. 또한, 도면들에 도시된 논리 흐름들은 바람직한 결과들을 달성하기 위해, 도시된 특정 순서, 또는 순차적 순서를 요구하지 않는다. 또한, 다른 단계들이 제공될 수 있거나, 또는 기술된 흐름들로부터 단계들이 제거될 수 있으며, 기술된 시스템들에 다른 컴포넌트들이 부가될 수 있거나 기술된 시스템들로부터 다른 컴포넌트들이 제거될 수 있다. 따라서, 다른 실시예들은 이하의 청구범위의 범주 내에 있을 수 있다.
여기에 개시된 다양한 시스템들, 방법들, 및 장치는 데이터 프로세싱 시스템(예: 컴퓨터 시스템)과 호환되는 기계-인식 가능 매체 및/또는 기계-접근 가능한 매체의 형태로 구현될 수 있고 임의의 순서로 수행될 수 있을 것이다.
도면들에서 구조들 및 모듈들은 일부 특정 구조들과만 통신하고 다른 것들과는 통신하지 않는 것으로 도시되고 별개(distinct)인 것으로 도시될 수 있다. 구조들은 서로 병합될 수 있고, 중첩하는 기능들을 수행할 수 있으며, 도면들에서 연결되는 것으로 도시되지 않은 다른 구조들과 통신할 수 있다. 따라서, 명세서 및/또는 도면들은 제한적인 관점이라기 보다는 예시적인 것으로 간주될 수 있다.

Claims (20)

  1. 기판 이송 시스템으로서, 적어도:
    하나 또는 둘 이상의 모듈들로 이루어진 기판 홀더를 포함하고, 상기 모듈들이:
    적층가능하고,
    상기 모듈들의 중심 내부 리세스(center interior recess) 내로 연장하는 하나 또는 둘 이상의 홀딩 암들을 구비하여, 상기 홀딩 암들을 통해 상기 모듈들이 기판을 홀딩하고,
    각 기판이 적층되었을 때 기판들 간에 공간이 존재하도록 각각 하나의 기판을 홀딩하고,
    각각 단일품(one piece)으로 형성되며,
    상기 기판 홀더의 상단에 배치되며 상기 기판에 가스를 제공하는 유입구를 포함하는 상단 캡;
    상기 기판 홀더의 하단에 배치되며 상기 가스를 배출하는 배출구를 포함하는 하단 캡; 및
    상기 모듈들이 적층될 때, 상기 모듈들의 구멍들이, 상기 중심 내부 리세스에 수직 방향과 평행하도록 연장되는 퍼지 가스 분배 채널을 집합적으로 정의하도록, 상기 중심 내부 리세스와 상기 기판 홀더의 외부 엣지 사이에 위치한 구멍을 포함하고,
    상기 구멍은, 상기 기판이 놓이는 위치의 바깥둘레의 일부분을 따라 형성된 것인,
    기판 이송 시스템.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들이 쓸림(chaffing)에 의한 것을 포함하는 기판에 대한 오염 손상을 감소시키는,
    기판 이송 시스템.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들에 의해 홀딩된 기판들이 클램핑되지 않거나 상기 모듈들에 의해 가해지는 압력을 받지 않는,
    기판 이송 시스템.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 홀딩 암들이 정사각형 단면을 갖는 모듈의 코너에 근접하게 배치되며 상기 정사각형 단면에 있어서 대각선 방향으로 연장되는 4개의 암인,
    기판 이송 시스템.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 홀딩 암들이 각이진 아치(angled arch) 디자인을 가지고, 아치의 내측면상에 노치가 구비되고, 상기 노치는 상기 기판에 대해 아래방향으로 각이진,
    기판 이송 시스템.
  6. 제 5항에 있어서,
    각이진 상기 노치가 상기 기판으로 하여금 상기 홀딩 암들 위에 놓일 수 있게 함으로써 상기 기판이 상기 홀딩 암들에 의해 홀딩되고 상기 노치 위에 놓일 때, 최소한의 접촉 부위를 형성하는,
    기판 이송 시스템.
  7. 제 6항에 있어서,
    각이진 상기 홀딩 암들이 상기 기판의 최말단부상에 상기 접촉 부위가 위치되도록 하는,
    기판 이송 시스템.
  8. 제 5항에 있어서,
    각이진 상기 홀딩 암들이 상기 기판으로 하여금 상기 홀딩 암들 위에서 셀프-센터링하도록 하는,
    기판 이송 시스템.
  9. 제 5항에 있어서,
    상기 노치가 상기 기판들로 하여금 상기 홀딩 암들 내에서 셀프-센터링하도록 하는,
    기판 이송 시스템.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들이 리세스들과 돌출부들을 포함하고, 하나의 모듈의 상기 돌출부들이 위쪽 모듈의 리세스들과 끼워져서, 복수의 모듈들이 적층되었을 때 떨어지거나 오정렬되지 않도록 도와주는,
    기판 이송 시스템.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들이 적층시 셀프-센터링 또는 셀프-정렬되는,
    기판 이송 시스템.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들이 적층되었을 때 상기 기판들을 고밀도로 홀딩하는,
    기판 이송 시스템.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들과 기판들이 하나의 컨테이너 또는 컴파트먼트(compartment) 내에 하우징되고, 상기 기판 홀더의 외부의 주위 환경으로부터 격리되는,
    기판 이송 시스템.
  14. 제 1항에 있어서,
    상기 기판들이 처리되거나 오염 또는 손상으로부터 보호되도록, 상기 모듈들 및 컴파트먼트 또는 컨테이너 내의 리세스들을 통해 가압된 가스가 주입되어 상기 기판과 모듈 스택 전체에 걸쳐 층류 형태로 상기 기판들에 접촉할 수 있는,
    기판 이송 시스템.
  15. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들의 단일품 구조가 생산 단계를 줄이는,
    기판 이송 시스템.
  16. 제 1항에 있어서,
    상기 모듈들의 단일품 구조가 상기 기판들과 모듈 구조물 사이에 마찰 및 접촉 부위를 감소시키는,
    기판 이송 시스템.
  17. 제 1항에 있어서,
    기판들 및 모듈들과 아울러, 이를테면 조립 라인 상의 디바이스들 및 외부 시스템들의 효율적인 이송, 트랙킹 및 전파(propagation)를 제공하기 위해, 상기 기판들과 모듈들이 센서들 및 상기 센서들과 연계된 데이터 트랙킹 기능을 갖는,
    기판 이송 시스템.
  18. 기판 이송 시스템으로서, 적어도:
    하나 또는 둘 이상의 모듈들로 이루어진 기판 홀더를 포함하고, 상기 모듈들이:
    상기 시스템이 기판들을 고밀도로 홀딩하도록 적층가능하고,
    상기 모듈들의 중심 내부 리세스(center interior recess) 내로 연장하는 하나 또는 둘 이상의 홀딩 암들 - 상기 홀딩 암들은 각각 정사각형 모듈의 4개의 코너에 근접하여 상기 정사각형 모듈의 대각선 방향으로 연장되는 4개의 암이고, 각이진 아치 디자인이고, 아치의 내측면상에 노치가 구비되고, 기판이 암들에 의해 홀딩되고 상기 노치 위에 놓일 때 최소한의 접촉 부위를 형성하고 상기 기판이 셀프 센터링하도록, 상기 노치가 상기 기판에 대해 아래방향으로 각이짐 - 을 구비하여, 상기 홀딩 암들을 통해 상기 모듈이 기판을 홀딩하고,
    각 기판이 적층되었을 때 기판들 간에 공간이 존재하도록 각각 하나의 기판을 홀딩하고,
    각각 단일품으로 형성되고, 상기 모듈들은 쓸림에 의한 것을 포함하는 기판에 대한 오염 손상을 감소시키고,
    상기 기판들을 클램핑 가압하지 않으며,
    상기 기판 홀더의 상단에 배치되며 상기 기판에 가스를 제공하는 유입구를 포함하는 상단 캡;
    상기 기판 홀더의 하단에 배치되며 상기 가스를 배출하는 배출구를 포함하는 하단 캡; 및
    상기 모듈들이 적층될 때, 상기 모듈들의 구멍들이, 상기 중심 내부 리세스에 수직 방향과 평행하도록 연장되는 퍼지 가스 분배 채널을 집합적으로 정의하도록, 상기 중심 내부 리세스와 상기 기판 홀더의 외부 엣지 사이에 위치한 구멍을 포함하고,
    상기 구멍은, 상기 기판이 놓이는 위치의 바깥둘레의 일부분을 따라 형성된 것인,
    기판 이송 시스템.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 모듈이 리세스들과 돌출부들을 포함하고, 하나의 모듈의 돌출부들이 위쪽 모듈의 리세스들과 끼워져서, 복수의 모듈들이 적층되었을 때 떨어지거나 오정렬되지 않도록 도와주고 상기 모듈들이 적층시 셀프-센터링 또는 셀프-정렬하는,
    기판 이송 시스템.
  20. 제 18항에 있어서,
    상기 기판들이 처리되거나 오염 또는 손상으로부터 보호되도록, 상기 적층된 모듈들이 리세스들을 통해 가압된 가스를 주입할 수 있고, 이것이 상기 모듈 및 기판 스택 전체에 걸쳐 층류 형태로 상기 기판들에 접촉할 수 있는,
    기판 이송 시스템.
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