KR20220051713A

KR20220051713A - Scribing apparatus

Info

Publication number: KR20220051713A
Application number: KR1020200135452A
Authority: KR
Inventors: 방규용; 김현정
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2020-10-19
Filing date: 2020-10-19
Publication date: 2022-04-26
Also published as: KR102626398B1; CN216890648U

Abstract

A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention may include: a slide member configured to hold a scribing wheel; a first driving part for applying a first driving force to the slide member in a first direction toward a substrate; and a second driving part for applying a second driving force to the slide member in a second direction opposite to the first direction. A scribing line may be formed on the surface of the substrate by pressing the scribing wheel against the surface of the substrate with a pressing force corresponding to the difference between the resultant force of the first driving force and the second driving force and the weight of the slide member.

Description

Scribing Device {SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 기판에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성되는 스크라이빙 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scribing apparatus configured to form a scribing line in a substrate.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '단위 기판'이라 함)을 사용한다.In general, liquid crystal display panels, organic electroluminescent display panels, inorganic electroluminescent display panels, transmissive projector substrates, reflective projector substrates, etc. used in flat panel displays are brittle mother glass panels (hereinafter referred to as 'substrates') such as glass. ), a unit glass panel cut to a predetermined size (hereinafter referred to as a 'unit substrate') is used.

기판을 절단하는 공정은, 기판이 절단될 가상의 절단 예정 라인을 따라 스크라이빙 휠을 기판에 가압하면서 이동시켜 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 공정을 포함한다.The process of cutting the substrate includes a scribing process of forming a scribing line by moving a scribing wheel while pressing the substrate along an imaginary cut line where the substrate is to be cut.

스크라이빙 휠에는 기판을 향하여 가압력이 작용된다. 가압력은 스크라이빙 휠을 유지하는 슬라이드 부재의 자중과 구동부에서 발생되는 구동력을 포함한다.A pressing force is applied to the scribing wheel toward the substrate. The pressing force includes the weight of the slide member holding the scribing wheel and the driving force generated by the driving unit.

최근, 두께가 매우 작은 초박판 기판을 절단하는 기술에 대한 요구가 증가하고 있다. 얇은 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하기 위해서는, 스크라이빙 휠에 가해지는 가압력을 저감할 필요가 있다.Recently, there is an increasing demand for a technique for cutting an ultra-thin substrate having a very small thickness. In order to form a scribing line on the surface of a thin substrate, it is necessary to reduce the pressing force applied to the scribing wheel.

가압력을 저감하기 위해 구동부에 의해 발생되는 구동력을 줄일 수 있지만, 슬라이드 부재의 자중을 줄이는 데에는 한계가 있다. 따라서, 가압력을 슬라이드 부재의 자중에 비하여 작은 가압력으로 조절할 수 없는 문제가 있다.In order to reduce the pressing force, the driving force generated by the driving unit can be reduced, but there is a limit in reducing the self-weight of the slide member. Accordingly, there is a problem in that the pressing force cannot be adjusted with a small pressing force compared to the weight of the slide member.

본 발명의 목적은 스크라이빙 휠을 통하여 기판의 표면에 가해지는 가압력을 슬라이드 부재의 자중보다 작은 가압력으로 조절할 수 있는 스크라이빙 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a scribing device capable of adjusting a pressing force applied to a surface of a substrate through a scribing wheel to a pressing force smaller than the weight of a slide member.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하도록 구성되는 슬라이드 부재; 기판을 향하는 제1 방향으로 슬라이드 부재에 제1 구동력을 인가하는 제1 구동부; 및 제1 방향에 반대되는 제2 방향으로 슬라이드 부재에 제2 구동력을 인가하는 제2 구동부를 포함할 수 있고, 슬라이드 부재의 자중 및 제1 구동력의 합력과 제2 구동력의 차이에 해당하는 가압력으로 스크라이빙 휠을 기판의 표면에 가압하여 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.A scribing apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a slide member configured to hold a scribing wheel; a first driving unit for applying a first driving force to the slide member in a first direction toward the substrate; and a second driving unit for applying a second driving force to the slide member in a second direction opposite to the first direction, wherein a pressing force corresponding to the difference between the weight of the slide member and the resultant force of the first driving force and the second driving force A scribing line may be formed on the surface of the substrate by pressing the scribing wheel against the surface of the substrate.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스크라이빙 휠을 유지하도록 구성되는 슬라이드 부재를 포함하는 가압 유닛; 및 가압 유닛을 기판에 대하여 이동시키도록 구성되는 이동 유닛을 포함할 수 있고, 가압 유닛은, 기판을 향하는 제1 방향으로 제1 구동력을 발생시키는 제1 구동부; 제1 방향으로 제2 구동력을 발생시키는 제2 구동부; 및 제2 구동력의 방향을 제1 방향으로부터 제1 방향에 반대되는 제2 방향으로 변환하는 방향 변환부를 포함할 수 있고, 슬라이드 부재의 자중 및 제1 구동력의 합력과 제2 구동력의 차이에 해당하는 가압력으로 스크라이빙 휠을 기판의 표면에 가압하여 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.In addition, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a pressing unit including a slide member configured to hold a scribing wheel; and a moving unit configured to move the pressing unit with respect to the substrate, wherein the pressing unit includes: a first driving unit for generating a first driving force in a first direction toward the substrate; a second driving unit generating a second driving force in a first direction; and a direction converting unit converting the direction of the second driving force from the first direction to a second direction opposite to the first direction, corresponding to the difference between the weight of the slide member and the resultant force of the first driving force and the second driving force A scribing line may be formed on the surface of the substrate by pressing the scribing wheel against the surface of the substrate with a pressing force.

방향 변환부는, 슬라이드 부재와 연결되는 제1 부재; 제2 구동부와 연결되는 제2 부재; 및 제1 부재 및 제2 부재가 서로 반대 방향으로 이동하도록 제1 부재 및 제2 부재 사이에 연결되는 연결 부재를 포함할 수 있다.The direction changing unit may include: a first member connected to the slide member; a second member connected to the second driving unit; and a connecting member connected between the first member and the second member so that the first member and the second member move in opposite directions.

제1 부재, 연결 부재 및 제2 부재는 랙-피니언 연결 구조 또는 시소 연결 구조에 의해 서로 연결될 수 있다.The first member, the connecting member, and the second member may be connected to each other by a rack-and-pinion connecting structure or a seesaw connecting structure.

연결 부재는 제1 부재 및 제2 부재 사이에 위치된 회전축을 중심으로 회전되도록 구성될 수 있고, 회전축은 제2 부재보다 제1 부재에 가깝게 위치될 수 있다.The connecting member may be configured to rotate about an axis of rotation located between the first member and the second member, and the axis of rotation may be located closer to the first member than the second member.

본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠을 통하여 기판의 표면에 가해지는 가압력을 슬라이드 부재의 자중보다 작은 가압력으로 조절할 수 있으므로, 두께가 작은 기판을 손상시키지 않고 기판의 표면에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.According to the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention, since the pressing force applied to the surface of the substrate through the scribing wheel can be adjusted to a pressing force smaller than the self weight of the slide member, the thickness of the substrate is not damaged without damaging the substrate. Scribing lines can be formed on the surface.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 헤드가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3 내지 도 5는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 작동 과정이 순차적으로 도시된 도면이다.
도 6은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 변형예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 다른 변형예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 8은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 또 다른 변형예가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 9은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 구비되는 스크라이빙 헤드가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 10 내지 도 12는 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 작동 과정이 순차적으로 도시된 도면이다.1 is a diagram schematically showing a scribing apparatus according to a first embodiment of the present invention.
2 is a diagram schematically illustrating a scribing head provided in the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
3 to 5 are views sequentially illustrating an operation process of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
6 is a diagram schematically showing a modified example of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
7 is a diagram schematically illustrating another modified example of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
8 is a diagram schematically showing another modified example of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.
9 is a diagram schematically illustrating a scribing head provided in a scribing apparatus according to a second embodiment of the present invention.
10 to 12 are views sequentially illustrating an operation process of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1 및 도 2를 참조하면, 스크라이빙 공정이 수행될 기판(S)이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 교차하는 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판(S)이 놓이는 X-Y평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다. 또한, 스크라이빙 라인이라는 용어는 기판의 표면에서 소정 방향으로 연장되게 형성되는 홈 및/또는 크랙을 의미한다. 그리고, 절단 예정 라인이라는 용어는 스크라이빙 라인이 형성될 가상의 라인을 의미한다.1 and 2 , a direction in which a substrate S to be subjected to a scribing process is transferred is defined as a Y-axis direction, and a direction crossing the transfer direction (Y-axis direction) of the substrate S is defined as It is defined as the X-axis direction. And, a direction perpendicular to the X-Y plane on which the substrate S is placed is defined as the Z-axis direction. In addition, the term scribe line means a groove and/or crack formed to extend in a predetermined direction on the surface of the substrate. And, the term "to be cut line" means a virtual line on which a scribing line is to be formed.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치는, 스테이지(10), 기판 이송 유닛(20), 스크라이빙 유닛(30)을 포함할 수 있다.1 and 2 , the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention may include a stage 10 , a substrate transfer unit 20 , and a scribing unit 30 . .

스테이지(10)에는 기판(S)이 탑재된다. 스테이지(10)는 기판(S)이 스크라이빙 유닛(30)을 향하여 이동되는 동안 기판(S)을 지지하는 역할을 한다. 또한, 스테이지(10)는 기판(S)에 스크라이빙 라인을 형성하는 과정에서 기판(S)을 지지하는 역할을 할 수 있다.A substrate S is mounted on the stage 10 . The stage 10 serves to support the substrate S while the substrate S is moved toward the scribing unit 30 . In addition, the stage 10 may serve to support the substrate S in the process of forming a scribing line on the substrate S.

예를 들면, 스테이지(10)는 복수의 벨트(13)를 포함할 수 있다. 복수의 벨트(13)는 X축 방향으로 서로 이격되게 배치될 수 있다.For example, the stage 10 may include a plurality of belts 13 . The plurality of belts 13 may be disposed to be spaced apart from each other in the X-axis direction.

본 발명은 스테이지(10)가 복수의 벨트(13)를 포함하는 구성에 한정되지 않으며, 기체를 분사하여 기판(S)을 부양하도록 구성되는 에어 테이블이 스테이지(10)로서 구비되는 구성에도 본 발명이 적용될 수 있다.The present invention is not limited to the configuration in which the stage 10 includes a plurality of belts 13 , and the present invention is also provided in a configuration in which an air table configured to float the substrate S by spraying gas is provided as the stage 10 . This can be applied.

기판 이송 유닛(20)은 기판(S)의 이송 방향으로의 후방측 단부인 기판(S)의 후행단을 파지하여 기판(S)을 이송하도록 구성된다. 기판 이송 유닛(20)은 기판(S)의 후행단을 파지하는 파지 모듈(21)과, Y축 방향으로 연장되어 파지 모듈(21)의 이동을 안내하는 가이드 레일(22)을 포함할 수 있다.The substrate transfer unit 20 is configured to transfer the substrate S by holding the trailing end of the substrate S, which is the rear end in the transfer direction of the substrate S. The substrate transfer unit 20 may include a gripping module 21 for gripping the trailing end of the substrate S, and a guide rail 22 extending in the Y-axis direction to guide the movement of the gripping module 21 . .

파지 모듈(21)과 가이드 레일(22) 사이에는 공압 또는 유압에 의하여 작동하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 구비될 수 있다. 따라서, 파지 모듈(21)이 기판(S)의 후행단을 파지한 상태에서, 직선 이동 기구에 의해 파지 모듈(21)이 가이드 레일(22)을 따라 Y축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)이 Y축 방향으로 이송될 수 있다. 이때, 벨트(13)는 파지 모듈(21)의 이동과 동기화된다. 따라서, 벨트(13)는 파지 모듈(21)과 동일한 속도로 구동되면서 기판(S)의 하면을 안정적으로 지지할 수 있다.An actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure, a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism may be provided between the gripping module 21 and the guide rail 22 . Accordingly, as the gripping module 21 moves in the Y-axis direction along the guide rail 22 by a linear movement mechanism in a state in which the gripping module 21 grips the trailing end of the substrate S, the substrate S ) can be transferred in the Y-axis direction. At this time, the belt 13 is synchronized with the movement of the gripping module 21 . Accordingly, the belt 13 can stably support the lower surface of the substrate S while being driven at the same speed as the gripping module 21 .

파지 모듈(21)은 기판(S)의 후행단을 물리적으로 가압하여 유지하는 클램프일 수 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 파지 모듈(21)이 진공원과 연결된 진공홀을 구비하여 기판(S)의 후행단을 흡착하도록 구성되는 구성에도 본 발명이 적용될 수 있다.The gripping module 21 may be a clamp that physically presses and holds the trailing end of the substrate S. However, the present invention is not limited thereto, and the present invention may also be applied to a configuration in which the holding module 21 is provided with a vacuum hole connected to a vacuum source to adsorb the trailing end of the substrate S.

가이드 레일(22)은 X축 방향으로 복수로 구비될 수 있다. 복수의 가이드 레일(22)은 X축 방향으로 서로 이격될 수 있다. 복수의 가이드 레일(22)은 복수의 벨트(13) 사이에 배치될 수 있다. 가이드 레일(22)은 파지 모듈(21)의 Y축 방향으로의 이동을 안내하는 역할을 한다.A plurality of guide rails 22 may be provided in the X-axis direction. The plurality of guide rails 22 may be spaced apart from each other in the X-axis direction. The plurality of guide rails 22 may be disposed between the plurality of belts 13 . The guide rail 22 serves to guide the movement of the gripping module 21 in the Y-axis direction.

스크라이빙 유닛(30)은 기판 이송 유닛(20)에 의해 이송된 기판(S)에 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다.The scribing unit 30 is configured to form scribing lines in the X-axis direction and/or the Y-axis direction on the substrate S transferred by the substrate transfer unit 20 .

스크라이빙 유닛(30)은 X축 방향으로 연장되는 프레임(40)과, 프레임(40)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치되는 스크라이빙 헤드(50)를 포함할 수 있다.The scribing unit 30 may include a frame 40 extending in the X-axis direction and a scribing head 50 movably installed in the frame 40 in the X-axis direction.

도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(50)는, 가압 유닛(60), 이동 유닛(70)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 2 , the scribing head 50 may include a pressing unit 60 and a moving unit 70 .

가압 유닛(60)은 기판(S)의 표면을 가압하여 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다.The pressing unit 60 is configured to press the surface of the substrate S to form a scribing line on the surface of the substrate S.

가압 유닛(60)은, 스크라이빙 휠(61), 스크라이빙 휠 홀더(62), 슬라이드 부재(63), 제1 구동부(64), 제2 구동부(65), 방향 변환부(66)를 포함할 수 있다.The pressing unit 60 includes a scribing wheel 61 , a scribing wheel holder 62 , a slide member 63 , a first driving unit 64 , a second driving unit 65 , and a direction changing unit 66 . may include

스크라이빙 휠 홀더(62)는 스크라이빙 휠(61)을 유지하도록 구성된다. 스크라이빙 휠 홀더(62)는 슬라이드 부재(63)에 연결된다.The scribing wheel holder 62 is configured to hold the scribing wheel 61 . The scribing wheel holder 62 is connected to the slide member 63 .

슬라이드 부재(63)는 스크라이빙 휠 홀더(62)를 지지하도록 구성된다. 스크라이빙 휠(61)은 슬라이드 부재(63)를 통하여 제1 구동부(64) 및 제2 구동부(65)에 연결될 수 있다. 슬라이드 부재(63)는 제1 구동부(64) 및 제2 구동부(65)에 의해 발생된 구동력을 스크라이빙 휠(61)에 전달하는 역할을 한다.The slide member 63 is configured to support the scribing wheel holder 62 . The scribing wheel 61 may be connected to the first driving unit 64 and the second driving unit 65 through the slide member 63 . The slide member 63 serves to transmit the driving force generated by the first driving unit 64 and the second driving unit 65 to the scribing wheel 61 .

제1 구동부(64)는 기판(S)을 향하는 방향인 제1 방향(슬라이드 부재(63)의 자중 방향, 중력 방향)으로 제1 구동력을 발생시키도록 구성된다. 일 예로서, 제1 구동부(64)는 공압 또는 유압에 의해 작동하는 액추에이터로 구성될 수 있다. 다른 예로서, 제1 구동부(64)는 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다.The first driving unit 64 is configured to generate a first driving force in a first direction (a self-weight direction of the slide member 63 and a direction of gravity) that is a direction toward the substrate S. As an example, the first driving unit 64 may be configured as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure. As another example, the first driving unit 64 may be configured as a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism.

제2 구동부(65)는 제1 방향으로 제2 구동력을 발생시키도록 구성된다. 일 예로서, 제2 구동부(65)는 공압 또는 유압에 의해 작동하는 액추에이터로 구성될 수 있다. 다른 예로서, 제2 구동부(65)는 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구로 구성될 수 있다. 또 다른 예로서, 제2 구동부(65)는 탄성력을 제공하는 스프링 등의 탄성 부재로 구성될 수 있다.The second driving unit 65 is configured to generate a second driving force in the first direction. As an example, the second driving unit 65 may be configured as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure. As another example, the second driving unit 65 may be configured as a linear motor operated by electromagnetic interaction, or a linear movement mechanism such as a ball screw mechanism. As another example, the second driving unit 65 may be formed of an elastic member such as a spring that provides an elastic force.

방향 변환부(66)는 제1 부재(661), 제2 부재(662), 연결 부재(663)를 포함할 수 있다.The direction changing unit 66 may include a first member 661 , a second member 662 , and a connecting member 663 .

제1 부재(661)는 슬라이드 부재(63)와 연결된다. 제1 부재(661)는 제1 구동부(64)와 연결된다. 제1 구동부(64)에 의해 발생되는 제1 구동력은 제1 부재(661)를 통하여 슬라이드 부재(63)에 전달될 수 있다. 제1 구동부(64)는 슬라이드 부재(63)를 하방(제1 방향)으로 미는 제1 구동력을 작용한다.The first member 661 is connected to the slide member 63 . The first member 661 is connected to the first driving unit 64 . The first driving force generated by the first driving unit 64 may be transmitted to the slide member 63 through the first member 661 . The first driving unit 64 applies a first driving force for pushing the slide member 63 downward (first direction).

제2 부재(662)는 제2 구동부(65)와 연결된다. 제2 구동부(65)에 의해 발생되는 제2 구동력은 제2 부재(662), 연결 부재(663) 및 제1 부재(661)를 통하여 슬라이드 부재(63)에 전달될 수 있다. 제2 구동부(65)는 제2 부재(662)를 하방(제1 방향)으로 미는 제2 구동력을 작용한다.The second member 662 is connected to the second driving unit 65 . The second driving force generated by the second driving unit 65 may be transmitted to the slide member 63 through the second member 662 , the connecting member 663 , and the first member 661 . The second driving unit 65 applies a second driving force that pushes the second member 662 downward (in the first direction).

본 발명의 제1 실시예에서는, 제1 구동부(64)가 제1 부재(661)를 통하여 슬라이드 부재(63)에 연결되는 구성이 제시되어 있지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 제1 구동부(64)는 슬라이드 부재(63)에 직접 연결될 수 있다. 이 경우, 제2 구동부(65)에 의해 발생된 제2 구동력은 제1 구동부(64)에 영향을 미치지 않고 제2 부재(662), 연결 부재(663) 및 제1 부재(661)를 통하여 슬라이드 부재(63)에 전달될 수 있다.In the first embodiment of the present invention, a configuration in which the first driving unit 64 is connected to the slide member 63 through the first member 661 is suggested, but the present invention is not limited thereto, and the first driving unit ( 64 may be directly connected to the slide member 63 . In this case, the second driving force generated by the second driving unit 65 slides through the second member 662 , the connecting member 663 and the first member 661 without affecting the first driving unit 64 . may be transmitted to the member 63 .

연결 부재(663)는 제1 부재(661) 및 제2 부재(662) 사이에 배치된다. 연결 부재(663)는 제1 부재(661) 및 제2 부재(662)가 서로 반대 방향으로 이동하도록 구성된다. 일 예로서, 연결 부재(663)는 랙-피니언 연결 구조를 통해 제1 부재(661) 및 제2 부재(662)에 연결될 수 있다. 즉, 연결 부재(663)는 회전축(C)을 중심으로 회전하는 피니언으로 구성되고, 제1 부재(661) 및 제2 부재(662)에는 랙이 부착될 수 있다.The connecting member 663 is disposed between the first member 661 and the second member 662 . The connecting member 663 is configured such that the first member 661 and the second member 662 move in opposite directions. As an example, the connection member 663 may be connected to the first member 661 and the second member 662 through a rack-and-pinion connection structure. That is, the connecting member 663 may be configured as a pinion rotating about the rotation axis C, and a rack may be attached to the first member 661 and the second member 662 .

이와 같은 구성에 따르면, 제1 부재(661), 연결 부재(663) 및 제2 부재(662)의 연결 구조에 의해, 제2 구동부(65)에 의해 발생된 제2 구동력의 방향이 제1 방향으로부터 제2 방향(제1 방향에 반대되는 방향, 슬라이드 부재(63)의 자중에 반대되는 방향)으로 변환된다. 따라서, 제1 부재(661), 연결 부재(663) 및 제2 부재(662)를 통해 방향이 변환된 제2 구동력은 슬라이드 부재(63)에 제2 방향으로 작용한다. 제2 구동력은 슬라이드 부재(63)를 제2 방향으로 이동시키는 구동력으로서 작용한다. 즉, 제2 구동력은 제1 구동력 및 슬라이드 부재(63)의 자중을 상쇄시키는 구동력으로서 작용한다.According to this configuration, the direction of the second driving force generated by the second driving unit 65 is the first direction due to the connection structure of the first member 661 , the connecting member 663 , and the second member 662 . to the second direction (a direction opposite to the first direction, a direction opposite to the weight of the slide member 63 ). Accordingly, the second driving force whose direction is changed through the first member 661 , the connecting member 663 , and the second member 662 acts on the slide member 63 in the second direction. The second driving force acts as a driving force for moving the slide member 63 in the second direction. That is, the second driving force acts as a driving force that cancels the first driving force and the weight of the slide member 63 .

슬라이드 부재(63)의 자중을 W라하고, 제1 구동부(64)에 의해 발생되는 제1 구동력을 F1이라하고, 제2 구동부(65)에 의해 발생되는 제2 구동력을 F2이라할 때, 스크라이빙 휠(61)을 통해 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력(F)은 아래의 수학식과 같다.When the weight of the slide member 63 is W, the first driving force generated by the first driving unit 64 is F1, and the second driving force generated by the second driving unit 65 is F2, The pressing force F acting on the surface of the substrate S through the cribing wheel 61 is expressed by the following equation.

F = W + F1 - F2F = W + F1 - F2

여기에서, 제1 구동력(F1)이 슬라이드 부재(63)의 자중(W)보다 작고, 제2 구동력(F2)이 슬라이드 부재(63)의 자중(W)에 비하여 크다면, 스크라이빙 휠(61)을 통해 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력(F)은 슬라이드 부재(63)의 자중(W)에 비하여 작을 수 있다.Here, if the first driving force F1 is smaller than the self-weight W of the slide member 63 and the second driving force F2 is greater than the self-weight W of the slide member 63, the scribing wheel ( The pressing force F acting on the surface of the substrate S through 61 may be smaller than the weight W of the slide member 63 .

이와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(61)을 통하여 기판(S)의 표면에 가해지는 가압력(F)을 슬라이드 부재(63)의 자중(W)보다 작은 가압력으로 조절할 수 있다. 따라서, 두께가 작은 기판(S)을 손상시키지 않고 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.As such, according to the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention, the pressing force F applied to the surface of the substrate S through the scribing wheel 61 is applied to the weight of the slide member 63 ( It can be adjusted with a pressing force smaller than W). Accordingly, it is possible to form a scribing line on the surface of the substrate S without damaging the substrate S having a small thickness.

이동 유닛(70)은 가압 유닛(60)을 기판(S)에 대하여 이동시키도록 구성된다. 이동 유닛(70)은 가압 유닛(60)을 Z축 방향으로 이동시키도록 구성된다.The moving unit 70 is configured to move the pressing unit 60 with respect to the substrate S. The moving unit 70 is configured to move the pressing unit 60 in the Z-axis direction.

이동 유닛(70)은, 지지 부재(71), 가동 부재(72), 제1 구동 모듈(73), 제2 구동 모듈(74), 단속 모듈(75)을 포함할 수 있다.The moving unit 70 may include a support member 71 , a movable member 72 , a first driving module 73 , a second driving module 74 , and an intermittent module 75 .

지지 부재(71)는 프레임(40)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치된다.The support member 71 is movably installed in the frame 40 in the X-axis direction.

가동 부재(72)는 지지 부재(71)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구비된다.The movable member 72 is provided to be movable in the Z-axis direction with respect to the support member 71 .

슬라이드 부재(63)는 가동 부재(72)에 대하여 Z축 방향으로 이동 가능하게 구비된다.The slide member 63 is provided to be movable in the Z-axis direction with respect to the movable member 72 .

제1 구동 모듈(73)은 지지 부재(71) 및 가동 부재(72) 사이에 배치된다. 제1 구동 모듈(73)은 가동 부재(72)를 Z축 방향으로 이동시키도록 구성된다.The first driving module 73 is disposed between the support member 71 and the movable member 72 . The first driving module 73 is configured to move the movable member 72 in the Z-axis direction.

제1 구동 모듈(73)은, 지지 부재(71)에 장착된 제1 구동 모터(731)와, 제1 구동 모터(731)를 가동 부재(72)에 연결시키는 제1 구동축(732)을 포함할 수 있다.The first driving module 73 includes a first driving motor 731 mounted on the support member 71 , and a first driving shaft 732 connecting the first driving motor 731 to the movable member 72 . can do.

제2 구동 모듈(74)은 가동 부재(72) 및 슬라이드 부재(63) 사이에 배치된다. 제2 구동 모듈(74)은 슬라이드 부재(63)를 Z축 방향으로 이동시키도록 구성된다.The second driving module 74 is disposed between the movable member 72 and the slide member 63 . The second driving module 74 is configured to move the slide member 63 in the Z-axis direction.

제2 구동 모듈(74)은, 가동 부재(72)에 장착된 제2 구동 모터(741)와, 제2 구동 모터(741)를 슬라이드 부재(63)에 연결시키는 제2 구동축(742)을 포함할 수 있다. 제2 구동축(742)은 단속 모듈(75)을 통하여 슬라이드 부재(63)에 연결된다.The second driving module 74 includes a second driving motor 741 mounted on the movable member 72 , and a second driving shaft 742 connecting the second driving motor 741 to the slide member 63 . can do. The second driving shaft 742 is connected to the slide member 63 through the intermittent module 75 .

단속 모듈(75)은 서로 대향하도록 배치되는 제1 단속 부재(751) 및 제2 단속 부재(752)를 포함한다.The intermittent module 75 includes a first intermittent member 751 and a second intermittent member 752 disposed to face each other.

제1 단속 부재(751)는 제2 구동 모듈(74)에 연결된다. 제1 단속 부재(751)는 제2 구동 모듈(74)의 제2 구동축(742)에 연결될 수 있다.The first intermittent member 751 is connected to the second driving module 74 . The first intermittent member 751 may be connected to the second driving shaft 742 of the second driving module 74 .

제2 단속 부재(752)는 슬라이드 부재(63)에 연결된다. 제2 단속 부재(752)는 제1 단속 부재(751)와 접촉 가능하도록 제1 단속 부재(751)의 상측에 배치된다.The second intermittent member 752 is connected to the slide member 63 . The second intermittent member 752 is disposed above the first intermittent member 751 to be in contact with the first intermittent member 751 .

제1 단속 부재(751) 및 제2 단속 부재(752)가 서로 접촉되면, 슬라이드 부재(63)는 제2 단속 부재(752)를 통하여 제1 단속 부재(751)에 자중에 의해 매달린다.When the first intermittent member 751 and the second intermittent member 752 contact each other, the slide member 63 is suspended from the first intermittent member 751 by its own weight via the second intermittent member 752 .

이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, an operation of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 to 5 .

도 2에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(50)가 기판(S)의 상부에 위치된다.As shown in FIG. 2 , the scribing head 50 is positioned on the substrate S.

그리고, 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 구동 모듈(73)에 의해 가동 부재(72)가 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동되면, 스크라이빙 휠(61)이 기판(S)의 표면에 인접하게 위치될 수 있다.And, as shown in FIG. 3 , when the movable member 72 is moved in the Z-axis direction toward the substrate S by the first driving module 73 , the scribing wheel 61 moves to the substrate S. may be located adjacent to the surface of

그리고, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 구동부(64)가 작동되어 제1 구동력이 슬라이드 부재(63)로 인가된다. 그리고, 제2 구동부(65)가 작동되어 제2 구동력이 제1 부재(661), 연결 부재(663) 및 제2 부재(662)의 연결 구조를 통해 슬라이드 부재(63)로 인가된다. 이 경우, 슬라이드 부재(63) 자중 및 제1 구동력의 합력이 제2 구동력에 의해 상쇄되므로, 스크라이빙 휠(61)을 통하여 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력이 슬라이드 부재(63)의 자중 미만으로 미세하게 조절될 수 있다.Then, as shown in FIG. 4 , the first driving unit 64 is operated to apply the first driving force to the slide member 63 . Then, the second driving unit 65 is operated to apply a second driving force to the slide member 63 through the connection structure of the first member 661 , the connecting member 663 , and the second member 662 . In this case, since the resultant force of the weight of the slide member 63 and the first driving force is canceled by the second driving force, the pressing force acting on the surface of the substrate S through the scribing wheel 61 is applied to the slide member 63 . It can be finely adjusted to less than its own weight.

이와 같은 과정에서 제2 구동 모듈(74)이 함께 작동하면서 제1 단속 부재(751)가 제2 단속 부재(752)에 접촉된 상태로 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동된다. 따라서, 슬라이드 부재(63)가 제2 단속 부재(752)를 통하여 제1 단속 부재(751)에 매달린 상태로, 슬라이드 부재(63)가 기판(S)을 향하여 이동될 수 있다.In this process, while the second driving module 74 operates together, the first intermittent member 751 is moved in the Z-axis direction toward the substrate S while in contact with the second intermittent member 752 . Accordingly, the slide member 63 may be moved toward the substrate S while the slide member 63 is suspended from the first intermittent member 751 through the second intermittent member 752 .

이와 같이, 스크라이빙 휠(61)을 통하여 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력이 미세하게 조절되면서, 슬라이드 부재(63)가 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(61)이 기판(S)의 표면에 접촉할 수 있다.As such, the slide member 63 may be moved in the Z-axis direction toward the substrate S while the pressing force acting on the surface of the substrate S is finely adjusted through the scribing wheel 61 . Accordingly, the scribing wheel 61 may contact the surface of the substrate S.

그리고, 도 5에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(61)이 기판(S)의 표면에 접촉된 상태에서, 제2 구동 모듈(74)이 더 작동함에 따라, 제2 단속 부재(752)가 제1 단속 부재(751)로부터 이격될 수 있다.5, as the second driving module 74 further operates in a state in which the scribing wheel 61 is in contact with the surface of the substrate S, the second intermittent member 752 may be spaced apart from the first intermittent member 751 .

그리고, 제2 단속 부재(752)가 제1 단속 부재(751)로부터 이격된 상태에서, 지지 부재(71)가 프레임(40)을 따라 X축 방향으로 이동됨에 따라, 기판(S)의 표면에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인이 형성된다.And, in a state in which the second intermittent member 752 is spaced apart from the first intermittent member 751 , as the support member 71 moves along the frame 40 in the X-axis direction, the surface of the substrate S is A scribing line is formed in the X-axis direction.

상기한 바와 같은 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(61)을 통하여 기판(S)의 표면에 가해지는 가압력을 슬라이드 부재(63)의 자중보다 작은 가압력으로 조절할 수 있으므로, 두께가 작은 기판(S)을 손상시키지 않고 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.According to the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention as described above, the pressing force applied to the surface of the substrate S through the scribing wheel 61 is smaller than the self-weight of the slide member 63 . can be adjusted, so that a scribing line can be formed on the surface of the substrate S without damaging the substrate S having a small thickness.

한편, 도 6에 도시된 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 변형예에 따르면, 연결 부재(663)는 시소 연결 구조를 통해 제1 부재(661) 및 제2 부재(662)에 연결될 수 있다.Meanwhile, according to a modification of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 6 , the connecting member 663 is connected to the first member 661 and the second member 662 through a seesaw connection structure. can be connected to

예를 들면, 연결 부재(663)는 막대 형상으로 형성될 수 있다. 연결 부재(663)는 제1 부재(661) 및 제2 부재(662) 사이에서 배치될 수 있다. 연결 부재(663)는 회전축(C)을 중심으로 회전될 수 있다. 연결 부재(663)의 양단은 제1 부재(661) 및 제2 부재(662)에 각각 연결된다.For example, the connecting member 663 may be formed in a bar shape. The connecting member 663 may be disposed between the first member 661 and the second member 662 . The connecting member 663 may be rotated about the rotation axis C. Both ends of the connecting member 663 are respectively connected to the first member 661 and the second member 662 .

이와 같은 구성에 따르면, 제1 구동부(64)에 의해 발생되는 제1 구동력은 제1 부재(661)를 통하여 슬라이드 부재(63)에 전달될 수 있다. 그리고, 제2 구동부(65)에 의해 발생되는 제2 구동력은 제2 부재(662), 연결 부재(663) 및 제1 부재(661)를 통하여 슬라이드 부재(63)에 전달될 수 있다.According to this configuration, the first driving force generated by the first driving unit 64 may be transmitted to the slide member 63 through the first member 661 . In addition, the second driving force generated by the second driving unit 65 may be transmitted to the slide member 63 through the second member 662 , the connecting member 663 , and the first member 661 .

한편, 도 7에 도시된 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 다른 변형예에 따르면, 연결 부재(663)의 회전축(C)이 제2 부재(662)보다 제1 부재(661)에 가깝게 위치될 수 있다.On the other hand, according to another modified example of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 7 , the rotation axis C of the connecting member 663 is greater than the first member 661 of the second member 662 . ) can be located close to

즉, 제1 구동부(64)에 의해 발생되는 제1 구동력은 제1 작용축(A1)을 따라 작용할 수 있고, 제2 구동부(65)에 의해 발생되는 제2 구동력은 제2 작용축(A2)을 따라 작용할 수 있으며, 제1 작용축(A1) 및 제2 작용축(A2) 사이에 회전축(C)이 위치될 수 있다. 그리고, 회전축(C)은 제2 작용축(A2)보다 제1 작용축(A1)에 가깝게 위치될 수 있다. 즉, 회전축(C)과 제2 작용축(A2) 사이의 거리는 회전축(C)과 제1 작용축(A1) 사이의 거리보다 클 수 있다. 따라서, 상기 제1 부재, 상기 연결 부재 및 상기 제2 부재 사이의 연결 구조에는 지렛대의 원리가 적용될 수 있다.That is, the first driving force generated by the first driving unit 64 may act along the first acting axis A1 , and the second driving force generated by the second driving unit 65 may be applied to the second acting axis A2 . may act along, and the rotational shaft C may be positioned between the first acting shaft A1 and the second acting shaft A2. And, the rotation shaft C may be located closer to the first acting axis A1 than the second acting axis A2. That is, the distance between the rotational shaft C and the second acting shaft A2 may be greater than the distance between the rotational shaft C and the first acting shaft A1 . Accordingly, the principle of a lever may be applied to the connection structure between the first member, the connecting member, and the second member.

이와 같은 구성에 따르면, 보다 작은 제2 구동력으로 제1 구동력 및 슬라이드 부재(83)의 자중을 상쇄시킬 수 있다.According to such a configuration, the first driving force and the weight of the slide member 83 may be offset by the second driving force, which is smaller than the second driving force.

한편, 도 8에 도시된 본 발명의 제1 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 또 다른 변형예에 따르면, 제1 구동부(64) 및 제2 구동부(65)가 연결 부재(663)의 회전축(C)을 사이에 두고 서로 대향하게 배치될 수 있다.On the other hand, according to another modified example of the scribing apparatus according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. 8 , the first driving unit 64 and the second driving unit 65 are the rotating shafts ( C) may be disposed to face each other with interposed therebetween.

제1 구동부(64)는 슬라이드 부재(63)를 하방(제1 방향)으로 미는 제1 구동력을 발생시키며, 제2 구동부(65)는 제2 부재(662)를 통하여 연결 부재(663)를 하방(제1 방향)으로 당기는 제2 구동력을 발생시킨다.The first driving unit 64 generates a first driving force for pushing the slide member 63 downward (first direction), and the second driving unit 65 drives the connecting member 663 downward through the second member 662 . A second driving force pulling in the (first direction) is generated.

제1 구동력은 슬라이드 부재(63)에 제1 방향으로 작용할 수 있고, 제2 구동력은 제2 부재(662), 연결 부재(663) 및 제1 부재(661)를 통하여 전달되어 슬라이드 부재(63)에 제2 방향으로 작용할 수 있다.The first driving force may act on the slide member 63 in a first direction, and the second driving force may be transmitted through the second member 662 , the connecting member 663 and the first member 661 to the slide member 63 . may act in the second direction.

이러한 구성에 따르면, 제1 구동력의 방향 및 제2 구동력의 방향이 동일한 경우에도, 전술한 바와 같은 효과를 얻을 수 있다.According to this configuration, even when the direction of the first driving force and the direction of the second driving force are the same, the above-described effects can be obtained.

이하, 도 9 내지 도 12를 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 대하여 설명한다. 전술한 본 발명의 제1 실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a scribing apparatus according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 to 12 . The same reference numerals are assigned to the same parts as those described in the first embodiment of the present invention described above, and a detailed description thereof will be omitted.

도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 헤드(50)는 가압 유닛(80) 및 이동 유닛(70)을 포함할 수 있다.As shown in FIG. 9 , according to the scribing apparatus according to the second embodiment of the present invention, the scribing head 50 may include a pressing unit 80 and a moving unit 70 .

가압 유닛(80)은 기판(S)의 표면을 가압하여 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성하도록 구성된다.The pressing unit 80 is configured to press the surface of the substrate S to form a scribing line on the surface of the substrate S.

가입 유닛(80)은, 스크라이빙 휠(81), 스크라이빙 휠 홀더(82), 슬라이드 부재(83), 제1 구동부(84), 제2 구동부(85)를 포함할 수 있다.The subscription unit 80 may include a scribing wheel 81 , a scribing wheel holder 82 , a slide member 83 , a first driving unit 84 , and a second driving unit 85 .

스크라이빙 휠 홀더(82)는 스크라이빙 휠(81)을 유지하도록 구성된다. 스크라이빙 휠 홀더(82)는 슬라이드 부재(83)에 연결된다.The scribing wheel holder 82 is configured to hold the scribing wheel 81 . The scribing wheel holder 82 is connected to the slide member 83 .

슬라이드 부재(83)는 스크라이빙 휠 홀더(82)를 지지하도록 구성된다. 스크라이빙 휠(81)은 슬라이드 부재(83)를 통하여 제1 구동부(84) 및 제2 구동부(85)에 연결될 수 있다. 슬라이드 부재(83)는 제1 구동부(84) 및 제2 구동부(85)에 의해 발생된 구동력을 스크라이빙 휠(81)에 전달하는 역할을 한다. 슬라이드 부재(83)는 단속 모듈(75)의 제2 단속 부재(752)에 연결된다.The slide member 83 is configured to support the scribing wheel holder 82 . The scribing wheel 81 may be connected to the first driving unit 84 and the second driving unit 85 through the slide member 83 . The slide member 83 serves to transmit the driving force generated by the first driving unit 84 and the second driving unit 85 to the scribing wheel 81 . The slide member 83 is connected to the second intermittent member 752 of the intermittent module 75 .

제1 구동부(84)는 기판(S)을 향하는 방향인 제1 방향(슬라이드 부재(83)의 자중 방향, 중력 방향)으로 제1 구동력을 발생시키도록 구성된다. 제1 구동부(84)는 공압 또는 유압에 의해 작동하는 액추에이터로 구성될 수 있다. 제1 구동부(84)는 실린더를 포함할 수 있다. 제1 구동부(84)의 실린더는 제1 유체 공급부(88)에 연결될 수 있다.The first driving unit 84 is configured to generate a first driving force in a first direction (a self-weight direction of the slide member 83 and a direction of gravity) that is a direction toward the substrate S. The first driving unit 84 may be configured as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure. The first driving unit 84 may include a cylinder. The cylinder of the first driving unit 84 may be connected to the first fluid supply unit 88 .

제2 구동부(85)는 제2 방향(제1 방향에 반대되는 방향, 슬라이드 부재(83)의 자중에 반대되는 방향)으로 제2 구동력을 발생시키도록 구성된다. 제2 구동부(85)는 공압 또는 유압에 의해 작동하는 액추에이터로 구성될 수 있다. 제2 구동부(85)는 실린더를 포함할 수 있다. 제2 구동부(85)의 실린더는 제2 유체 공급부(89)에 연결될 수 있다.The second driving unit 85 is configured to generate a second driving force in a second direction (a direction opposite to the first direction and a direction opposite to the weight of the slide member 83 ). The second driving unit 85 may be configured as an actuator operated by pneumatic or hydraulic pressure. The second driving unit 85 may include a cylinder. The cylinder of the second driving unit 85 may be connected to the second fluid supply unit 89 .

제1 구동부(84)는 슬라이드 부재(83)의 제1 단부에 배치되거나 제1 단부에 인접하게 배치될 수 있고, 제2 구동부(85)는 제1 단부에 대향하는 슬라이드 부재(83)의 제2 단부에 배치되거나 제2 단부에 인접하게 배치될 수 있다. 본 발명의 제2 실시예에서는 제1 구동부(84)가 슬라이드 부재(83)의 상단에 인접하게 배치되고, 제2 구동부(85)가 슬라이드 부재(83)의 하단에 인접하게 배치되는 구성을 제시하고 있지만, 본 발명은 이러한 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제1 구동부(84)가 슬라이드 부재(83)의 하단에 인접하게 배치될 수 있고, 제2 구동부(85)가 슬라이드 부재(83)의 상단에 인접하게 배치될 수 있다.The first driving unit 84 may be disposed at or adjacent to the first end of the slide member 83 , and the second driving unit 85 may be disposed at the second end of the slide member 83 opposite the first end. It may be disposed at the second end or disposed adjacent to the second end. In the second embodiment of the present invention, the first driving unit 84 is arranged adjacent to the upper end of the slide member 83 , and the second driving unit 85 is arranged adjacent to the lower end of the slide member 83 . However, the present invention is not limited to this configuration. For example, the first driving unit 84 may be disposed adjacent to the lower end of the slide member 83 , and the second driving unit 85 may be disposed adjacent to the upper end of the slide member 83 .

이와 같은 구성에 따르면, 제1 구동부(84)에 의해 발생된 제1 구동력은 슬라이드 부재(83)에 제1 방향으로 작용하고, 제2 구동부(85)에 의해 발생된 제2 구동력은 슬라이드 부재(83)에 제2 방향으로 작용한다. 따라서, 제2 구동력은 제1 구동력 및 슬라이드 부재(83)의 자중을 상쇄시키는 구동력으로 작용한다.According to this configuration, the first driving force generated by the first driving unit 84 acts on the slide member 83 in the first direction, and the second driving force generated by the second driving unit 85 is applied to the slide member ( 83) in the second direction. Accordingly, the second driving force acts as a driving force that cancels the first driving force and the weight of the slide member 83 .

슬라이드 부재(83)의 자중을 W라하고, 제1 구동부(84)에 의해 발생되는 제1 구동력을 F1이라하고, 제2 구동부(85)에 의해 발생되는 제2 구동력을 F2이라할 때, 스크라이빙 휠(81)을 통해 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력(F)은 아래의 수학식과 같다.When the weight of the slide member 83 is W, the first driving force generated by the first driving unit 84 is F1, and the second driving force generated by the second driving unit 85 is F2, The pressing force F acting on the surface of the substrate S through the cribing wheel 81 is expressed by the following equation.

F = W + F1 - F2F = W + F1 - F2

여기에서, 제1 구동력(F1)이 슬라이드 부재(83)의 자중(W)보다 작고, 제2 구동력(F2)이 슬라이드 부재(83)의 자중(W)에 비하여 크다면, 스크라이빙 휠(81)을 통해 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력(F)은 슬라이드 부재(83)의 자중(W)에 비하여 작을 수 있다.Here, if the first driving force F1 is smaller than the self-weight W of the slide member 83 and the second driving force F2 is larger than the self-weight W of the slide member 83, the scribing wheel ( The pressing force F acting on the surface of the substrate S through the 81 may be smaller than the weight W of the slide member 83 .

이와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(81)을 통하여 기판(S)의 표면에 가해지는 가압력(F)을 슬라이드 부재(83)의 자중(W)보다 작은 가압력으로 조절할 수 있다. 따라서, 두께가 작은 기판(S)을 손상시키지 않고 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.As described above, according to the scribing apparatus according to the second embodiment of the present invention, the pressing force F applied to the surface of the substrate S through the scribing wheel 81 is applied to the weight of the slide member 83 ( It can be adjusted with a pressing force smaller than W). Accordingly, it is possible to form a scribing line on the surface of the substrate S without damaging the substrate S having a small thickness.

이하, 도 9 내지 도 12를 참조하여, 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치의 동작에 대하여 설명한다.Hereinafter, an operation of the scribing apparatus according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 9 to 12 .

도 9에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 헤드(50)가 기판(S)의 상부에 위치된다.As shown in FIG. 9 , the scribing head 50 is positioned on the substrate S.

그리고, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 구동 모듈(73)에 의해 가동 부재(72)가 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동되면, 스크라이빙 휠(81)이 기판(S)의 표면에 인접하게 위치될 수 있다.And, as shown in FIG. 10 , when the movable member 72 is moved in the Z-axis direction toward the substrate S by the first driving module 73 , the scribing wheel 81 moves to the substrate S. may be located adjacent to the surface of

그리고, 도 11에 도시된 바와 같이, 제1 구동부(84)가 작동되어 제1 구동력이 슬라이드 부재(83)로 인가된다. 그리고, 제2 구동부(85)가 작동되어 제2 구동력이 슬라이드 부재(83)로 인가된다. 이 경우, 슬라이드 부재(83)의 자중 및 제1 구동력의 합력이 제2 구동력에 의해 상쇄되므로, 스크라이빙 휠(81)을 통하여 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력이 슬라이드 부재(83)의 자중 미만으로 미세하게 조절될 수 있다.Then, as shown in FIG. 11 , the first driving unit 84 is operated to apply the first driving force to the slide member 83 . Then, the second driving unit 85 is operated to apply the second driving force to the slide member 83 . In this case, since the resultant force of the weight of the slide member 83 and the first driving force is canceled by the second driving force, the pressing force acting on the surface of the substrate S through the scribing wheel 81 is applied to the slide member 83 . It can be finely adjusted to less than its own weight.

이와 같은 과정에서 제2 구동 모듈(74)이 함께 작동하면서 제1 단속 부재(751)가 제2 단속 부재(752)에 접촉된 상태로 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동된다. 따라서, 슬라이드 부재(83)가 제2 단속 부재(752)를 통하여 제1 단속 부재(751)에 매달린 상태로, 슬라이드 부재(83)가 기판(S)을 향하여 이동될 수 있다.In this process, while the second driving module 74 operates together, the first intermittent member 751 is moved in the Z-axis direction toward the substrate S while in contact with the second intermittent member 752 . Accordingly, the slide member 83 may be moved toward the substrate S while the slide member 83 is suspended from the first intermittent member 751 through the second intermittent member 752 .

이와 같이, 스크라이빙 휠(81)을 통하여 기판(S)의 표면에 작용하는 가압력이 미세하게 조절되면서, 슬라이드 부재(83)가 기판(S)을 향하여 Z축 방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 스크라이빙 휠(81)이 기판(S)의 표면에 접촉할 수 있다.As such, the slide member 83 may be moved in the Z-axis direction toward the substrate S while the pressing force acting on the surface of the substrate S is finely adjusted through the scribing wheel 81 . Accordingly, the scribing wheel 81 may contact the surface of the substrate S.

그리고, 도 12에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 휠(81)이 기판(S)의 표면에 접촉된 상태에서, 제2 구동 모듈(74)이 더 작동함에 따라, 제2 단속 부재(752)가 제1 단속 부재(751)로부터 이격될 수 있다.And, as shown in FIG. 12 , as the second driving module 74 further operates in a state in which the scribing wheel 81 is in contact with the surface of the substrate S, the second intermittent member 752 may be spaced apart from the first intermittent member 751 .

상기한 바와 같은 본 발명의 제2 실시예에 따른 스크라이빙 장치에 따르면, 스크라이빙 휠(81)을 통하여 기판(S)의 표면에 가해지는 가압력을 슬라이드 부재(83)의 자중보다 작은 가압력으로 조절할 수 있으므로, 두께가 작은 기판(S)을 손상시키지 않고 기판(S)의 표면에 스크라이빙 라인을 형성할 수 있다.According to the scribing apparatus according to the second embodiment of the present invention as described above, the pressing force applied to the surface of the substrate S through the scribing wheel 81 is smaller than the self-weight of the slide member 83 . can be adjusted, so that a scribing line can be formed on the surface of the substrate S without damaging the substrate S having a small thickness.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.Although preferred embodiments of the present invention have been described by way of example, the scope of the present invention is not limited to such specific embodiments, and may be appropriately modified within the scope described in the claims.

50: 스크라이빙 헤드
61: 스크라이빙 휠
62: 스크라이빙 휠 홀더
63: 슬라이드 부재
64: 제1 구동부
65: 제2 구동부
66: 방향 변환부50: scribing head
61: scribing wheel
62: scribing wheel holder
63: slide member
64: first driving unit
65: second driving unit
66: direction change unit

Claims

a slide member configured to hold the scribing wheel;
a first driving unit for applying a first driving force to the slide member in a first direction toward the substrate; and
a second driving unit for applying a second driving force to the slide member in a second direction opposite to the first direction;
Forming a scribing line on the surface of the substrate by pressing the scribing wheel to the surface of the substrate with a pressing force corresponding to the difference between the weight of the slide member and the resultant force of the first driving force and the second driving force Characterized scribing device.

a pressing unit including a slide member configured to hold the scribing wheel; and
a moving unit configured to move the pressurizing unit relative to the substrate;
The pressurization unit,
a first driving unit generating a first driving force in a first direction toward the substrate;
a second driving unit generating a second driving force in the first direction; and
and a direction converting unit converting the direction of the second driving force from the first direction to a second direction opposite to the first direction,
Forming a scribing line on the surface of the substrate by pressing the scribing wheel to the surface of the substrate with a pressing force corresponding to the difference between the weight of the slide member and the resultant force of the first driving force and the second driving force Characterized scribing device.

3. The method according to claim 2,
The direction change unit,
a first member connected to the slide member;
a second member connected to the second driving unit; and
and a connecting member connected between the first member and the second member so that the first member and the second member move in opposite directions.

4. The method according to claim 3,
The scribing device, characterized in that the first member, the connecting member and the second member are connected to each other by a rack-and-pinion connection structure or a seesaw connection structure.

4. The method according to claim 3,
the connecting member is configured to rotate about an axis of rotation located between the first member and the second member;
The scribing device, characterized in that the rotation shaft is located closer to the first member than the second member.