KR20220050261A - 기판 처리 장치의 세팅 방법 - Google Patents

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KR20220050261A
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장재영
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치의 세팅 방법을 제공한다. 잉크를 토출하는 헤드를 가지는 기판 처리 장치를 세팅하는 방법은, 기판을 촬상하는 적어도 하나 이상의 비전 부를 상기 기판 처리 장치에 표시되며 위치가 고정된 기준 마크의 상부로 이동시키되, 상기 비전 부가 상기 기준 마크를 촬상하여 상기 비전 부의 위치를 정렬하고, 상기 비전 부의 하부에 정렬 마크들이 표시된 기판이 위치된 상태로 상기 비전 부를 이동시키거나, 상기 기판을 이동시키면서 상기 비전 부가 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 비전 부의 이동 축, 상기 기판의 위치, 및 상기 기판의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬할 수 있다.

Description

기판 처리 장치의 세팅 방법{SETTING METHOD FOR SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 기판 처리 장치의 세팅 방법에 관한 것이다.
최근, 액정 디스플레이 소자, 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자는 고해상도가 요구되고 있다. 고해상도를 가지는 디스플레이 소자를 제조하기 위해서는 기판 상에 단위 면적당 더 많은 픽셀을 형성해야 하며, 이와 같이 조밀하게 배치되는 픽셀들 각각에 잉크와 같은 처리 액을 정확히 토출하는 것이 중요하다. 그렇지 않은 경우 불량으로 제조되는 디스플레이 소자가 불량으로 판정될 수 있기 때문이다. 따라서, 관련 기술들에 따르면, 디스플레이 소자의 제조에서는 픽셀들 각각에 토출되는 약액의 토출 지점(예컨대, 타점)을 정확하게 관리하는 것이 요구된다.
이에, 일반적인 잉크젯 장치는 헤드가 토출하는 약액의 토출 지점, 약액의 토출 량, 헤드에 형성된 노즐의 정렬 여부를 확인하기 위하여 다양한 기재를 포함하고 있다. 예컨대, 일반적인 잉크젯 장치는 헤드가 토출하는 약액의 액적을 확인하는 카메라, 헤드의 노즐의 정렬 여부를 확인하는 카메라 등을 포함한다. 일반적인 잉크젯 장치가 포함하는 카메라들은 필요에 따라 그 위치가 변경된다. 예컨대, 카메라들은 헤드에 결합되어 헤드와 함께 이동되거나, 별도의 LM 가이드 등에 의하여 직선 이동된다. 상술한 바와 같이 디스플레이의 소자 제조에서는 픽셀들 각각에 토출되는 약액의 타점을 정확히 관리하는 것이 필요한데, 이를 위해서는 선결적으로 카메라들의 위치, 이동 축 등을 정확하게 세팅하는 것이 중요하다.
본 발명은 기판 처리 장치가 가지는 비전 부들이 이미지를 정확히 획득할 수 있도록, 비전 부들의 위치 및/또는 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치가 가지는 비전 부들을 정확히 세팅하고, 비전 부들이 획득하는 이미지를 통해 헤드의 제어 신호를 보정할 수 있는 기판 처리 장치의 세팅 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재들로부터 통상의 기술자가 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은, 기판 처리 장치의 세팅 방법을 제공한다. 잉크를 토출하는 헤드를 가지는 기판 처리 장치를 세팅하는 방법은, 상기 헤드가 토출하는 잉크 액적들을 확인하는 제1비전 부를 상기 기판 처리 장치에 표시되며 위치가 고정된 기준 마크의 상부로 이동시키되, 상기 제1비전 부가 상기 기준 마크를 촬상하여 상기 제1비전 부의 위치를 정렬하고, 제1방향을 따라 이동되는 제1기판에 표시되며, 제1방향 및/또는 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 서로 이격되어 상기 제1기판에 표시되는 정렬마크들을 상기 제1비전 부, 그리고 상기 헤드가 토출하는 잉크의 액적들을 확인하고 상기 제1비전 부와 나란히 배치되는 제2비전 부가 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치 및/또는 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1기판을 상기 제1방향을 따라 이동시키되, 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 배열되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치를 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부를 이동시키되, 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제2방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1비전 부, 그리고 상기 제2비전 부는 상기 헤드에 설치되고, 상기 헤드에 형성된 노즐들의 상태를 확인하는 제3비전 부, 그리고 상기 제3비전 부를 이동시키는 이동 레일을 포함하는 노즐 얼라인 부의 상부에 상기 헤드를 이동시키고, 상기 제3비전 부는 상기 이동 레일의 길이 방향을 따라 이동하면서 상기 노즐들을 촬상하여 상기 제3비전 부의 이동 축이 상기 제1방향 또는 상기 제2방향이 되도록 상기 제3비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 헤드는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 제2기판 상에 상기 잉크 액적들을 토출하고, 상기 제1비전 부 및/또는 상기 제2비전 부는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 상기 잉크 액적들을 촬상하여 상기 잉크 액적들이 상기 제2방향을 따라 배열되는지 확인하고, 상기 잉크 액적들의 배열 방향이 상기 제2방향과 일치하도록 상기 제2기판의 위치, 상기 제2기판의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2기판을 상기 잉크 액적들을 확인하는 제4비전 부의 하부로 이동하고, 상기 제4비전 부가 상기 잉크 액적들을 촬상하여, 상기 제4비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제4비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1기판은 상기 헤드가 상기 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 프린팅 영역에 제공되고, 상기 제2기판은 상기 헤드에 대한 메인터넌스가 수행되는 메인터넌스 영역에 제공될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기준 마크는, 상기 메인터넌스 영역에 표시될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 프린팅 영역과 상기 메인터넌스 영역은 상기 제2방향을 따라 배열될 수 있다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치의 세팅 방법을 제공한다. 프린팅 영역; 상부에서 바라볼 때 제2방향을 따라 상기 프린팅 영역과 나란히 배치되는 메인터넌스 영역; 상기 프린팅 영역과 상기 메인터넌스 영역 사이에 이동 가능하며 잉크 액적들을 토출하는 헤드; 상기 헤드와 결합되며, 상기 헤드가 토출하는 상기 잉크 액적들을 확인하는 제1비전 부; 및 상기 헤드와 결합되며, 상기 제1비전 부와 나란히 배치되며 상기 헤드가 토출하는 잉크 액적들을 확인하는 제2비전 부를 포함하는 기판 처리 장치를 세팅하는 방법은, 상기 제1비전 부를 상기 프린팅 영역 또는 상기 메인터넌스 영역에 표시되며 위치가 고정된 기준 마크의 상부로 이동시키되, 상기 제1비전 부가 상기 기준 마크를 촬상하여 상기 제1비전 부의 위치를 정렬하고, 상부에서 바라볼 때, 상기 제2방향에 수직한 제1방향을 따라 이동되는 제1기판에 표시되며, 상기 제1방향 및 상기 제2방향을 따라 서로 이격되어 상기 제1기판에 표시되는 정렬마크들을 상기 제1비전 부, 그리고 상기 제2비전 부가 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치 및/또는 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1기판을 상기 제1방향을 따라 이동시키면서 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 배열되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치를 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부를 이동시키면서 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제2방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제2비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판 처리 장치는, 상기 헤드에 형성된 노즐들의 상태를 확인하는 제3비전 부, 그리고 상기 제3비전 부를 이동시키는 이동 레일을 가지는 노즐 얼라인 부를 더 포함하고, 상기 헤드를 상기 노즐 얼라인 부의 상부에 이동시키고, 상기 제3비전 부는 상기 이동 레일의 길이 방향을 따라 이동하면서 상기 노즐들을 촬상하여 상기 제3비전 부의 이동 축이 상기 제1방향이 되도록 상기 제3비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 헤드는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 제2기판 상에 상기 잉크 액적들을 토출하고, 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 상기 잉크 액적들을 촬상하여 상기 잉크 액적들이 상기 제2방향을 따라 배열되는지 확인하고, 상기 잉크 액적들의 배열 방향이 상기 제2방향과 일치하도록 상기 제2기판의 위치, 상기 기판의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2기판을 상기 잉크 액적들을 확인하는 제4비전 부의 하부로 이동하고, 상기 제4비전 부가 상기 잉크 액적들을 촬상하여, 상기 제4비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제4비전 부의 이동 축을 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 제2기판은 상기 메인터넌스 영역에 제공되고, 상기 제1기판은 상기 프린팅 영역에 제공될 수 있다.
또한, 본 발명은 기판 처리 장치의 세팅 방법을 제공한다. 잉크를 토출하는 헤드를 가지는 기판 처리 장치를 세팅하는 방법은, 기판을 촬상하는 적어도 하나 이상의 비전 부를 상기 기판 처리 장치에 표시되며 위치가 고정된 기준 마크의 상부로 이동시키되, 상기 비전 부가 상기 기준 마크를 촬상하여 상기 비전 부의 위치를 정렬하고, 상기 비전 부의 하부에 정렬 마크들이 표시된 기판이 위치된 상태로 상기 비전 부를 이동시키거나, 상기 기판을 이동시키면서 상기 비전 부가 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 비전 부의 이동 축, 상기 기판의 위치, 및 상기 기판의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬할 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기판은, 복수의 셀을 더 포함하고, 상부에서 바라볼 때, 복수의 셀 사이에는 상기 정렬 마크들 중 적어도 어느 하나가 표시될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 정렬 마크들은, 상기 기판이 이송되는 방향인 제1방향 및 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 배열되고, 상기 비전 부는, 복수로 제공되되, 상기 제2방향을 따라 배열될 수 있다.
일 실시 예에 의하면, 상기 기준 마크는, 프로젝트 빔에 의해 표시될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 처리 장치가 가지는 비전 부들이 이미지를 정확히 획득할 수 있도록, 비전 부들의 위치 및/또는 이동 축을 정렬할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 예에 의하면, 기판 처리 장치가 가지는 비전 부들을 정확히 세팅하고, 비전 부들이 획득하는 이미지를 통해 헤드의 제어 신호를 보정할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면들로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 세팅 방법을 보여주는 플로우 차트이다.
도 3은 도 1의 기판 처리 장치에서 제1비전 부 원점 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 도 1의 기판 처리 장치에서 제1비전 부 및 제2비전 부 위치 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 5는 도 1의 기판 처리 장치에서 제1비전 부 및 제2비전 부의 이동 축 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 6은 도 1의 기판 처리 장치에서 제3비전 부 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 7은 도 1의 기판 처리 장치에서 제2기판 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 8은 도 1의 기판 처리 장치에서 제4비전 부 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 세팅 방법을 보여주는 도면이다.
도 11은 도 9의 기판 처리 장치에서 제5비전 부 원점 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 12는 도 9의 기판 처리 장치에서 제3기판 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
도 13은 도 9의 기판 처리 장치에서 제5비전 부 이동 축 정렬 단계를 수행하는 모습을 보여주는 도면이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성 요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하에서는, 도 1 내지 도 13을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)는 기판 상에 잉크와 같은 약액을 공급하여 기판을 처리하는 잉크젯 장치일 수 있다. 예컨대, 기판은 글라스(Glass) 기판일 수 있다. 기판 처리 장치(100)는 글라스 기판에 잉크 액적들을 토출하여 기판에 대하여 프린팅 공정을 수행할 수 있다.
기판 처리 장치(100)는 프린팅 영역(10), 메인터넌스 영역(20), 겐트리(30), 헤드 유닛(40), 노즐 얼라인 부(50), 그리고 제어기(80)를 포함할 수 있다.
프린팅 영역(10)은 상부에서 바라볼 때, 그 길이 방향이 제1방향(X) 일 수 있다. 이하에서는, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Y)이라 하고, 제1방향(X) 및 제2방향(Y)에 수직한 방향을 제3방향(Z)이라 한다. 제3방향(Z)은 지면에 수직한 방향일 수 있다. 또한, 제1방향(X)은 후술하는 제1기판(S1)이 이송하는 방향일 수 있다.
프린팅 영역(10)에서는 후술하는 헤드 유닛(40)이 제1기판(S1)으로 잉크 액적을 토출하여 제1기판(S1)에 대한 프린팅 공정이 이루어질 수 있다. 일 실시 예에 의하면, 제1기판(S1) 상에는 제1정렬 마크(M1)가 표시될 수 있다. 예컨대, 제1정렬 마크(M1)는 제1기판(S1) 상에 복수 개가 표시될 수 있다. 제1정렬 마크(M1)는 제1기판(S1) 상에 제1방향(X) 및/또는 제2방향(Y)을 따라 서로 이격되어 표시될 수 있다. 예컨대, 제1정렬 마크(M1)는 제1기판(S1) 상에 4 개가 표시될 수 있으며, 각각의 제1정렬 마크(M1)들은 제1기판(S1)의 모서리와 인접한 영역에 표시될 수 있다.
또한, 프린팅 영역(10)에서 이송되는 제1기판(S1)은 부상되는 상태를 유지할 수 있다. 이에, 프린팅 영역(10)에서는 제1기판(S1)을 이송시 제1기판(S1)을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지가 구비될 수 있다. 또한, 프린팅 영역(10)에서는 제1기판(S1)의 일 측면 또는 양 측면을 파지하여 이송시키는 이송 부가 더 구비될 수 있다. 언급한 이송 부는 부상 스테이지의 일 측 또는 양 측을 따라 구비되는 가이드 레일 및 제1기판(S1)의 일 측면 또는 양 측면을 파지한 상태에서 가이드 레일을 따라 활중하는 그리퍼 등을 포함할 수 있다. 또한, 프린팅 영역(10)에서 이송되는 기판, 예컨대 제1기판(S1)은 제1방향(X)을 따라 이송될 수 있다.
메인터넌스 영역(20)에서는 주로, 후술하는 헤드 유닛(40)에 대한 메인터넌스가 이루어질 수 있다. 메인터넌스 영역(20)은 프린팅 영역(10)과 나란히 배치될 수 있다. 예컨대, 메인터넌스 영역(20)과 프린팅 영역(10)은 제2방향(Y)을 따라 나란히 배열될 수 있다.
일 실시 예에 따르면, 메인터넌스 영역(20)에는 제1기준 마크(OM1)가 표시되어 있을 수 있다. 제1기준 마크(OM1)는 기판 처리 장치(100)의 메인터넌스 영역(20)에 표시되며, 그 위치가 고정되는 마크일 수 있다. 도 1에서는 제1기준 마크(OM1)가 메인터넌스 영역(20)에 한 개가 표시되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 그 개수는 한정되는 것은 아니고 후술하는 기판 처리 장치(100)의 세팅 방법을 수행할 수 있다면 다양한 개수로 제공될 수 있다. 또한, 제1기준 마크(OM1)는 후술하는 제1비전 부(46) 또는 제2비전 부(48)의 원점 정렬을 수행할 수 있는 위치에 표시될 수 있다.
메인터넌스 영역(20)에서는 후술하는 헤드 유닛(40)이 제2기판(S2)으로 헤드 유닛(40)의 타점 보정을 위한 잉크 액적을 토출할 수 있다. 예컨대, 헤드 유닛(40)은 제2방향(Y)을 따라 이동하면서, 제2기판(S2) 상에 잉크 액적(I)을 토출할 수 있다. 제2기판(S2) 상에 토출된 잉크 액적(I)은 헤드 유닛(40)의 타점 보정을 위해 이용될 수 있다. 또한, 일 실시 예에 의하면 제2기판(S2)은 제1기판(S1)과 상이한 형상을 가질 수 있다. 예컨대, 제2기판(S2)은 제1방향(X)으로는 단 변을 가지고, 제2방향(Y)으로는 장 변을 가지는 직사각형 구조를 가질 수 있다. 또한, 잉크 액적(I)이 토출되는 영역의 외 측에는 선택적으로 제2정렬 마크(M2)가 표시될 수 있다. 제2정렬 마크(M2)는 복수 개 일 수 있고, 제2방향(Y)을 따라 서로 이격되어 제2기판(S2) 상에 표시될 수 있다.
또한, 메인터넌스 영역(20)의 경우에도 후술하는 헤드 유닛(40)이 토출하는 잉크 액적들의 타점 보정을 위한 잉크 액적(I)의 토출이 이루어질 수 있기 때문에 프린팅 영역(10)과 동일 또는 유사한 공정 환경을 가질 수 있다. 이에, 메인터넌스 영역(20) 또한 제2기판(S2)의 이송시 제2기판(S2)을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지 및 제2기판(S2)을 이송시킬 수 있는 이송 부가 구비될 수도 있을 것이다. 또한, 메인터넌스 영역(20)에서 이송되는 기판, 예컨대 제2기판(S2)은 제1방향(X)을 따라 이송될 수 있다.
겐트리(30)는 후술하는 헤드 유닛(40) 또는 후술하는 제4비전 부(60)가 이 직선 왕복 이동을 할 수 있도록 구비될 수 있는 것이다. 겐트리(30)는 제1겐트리(31), 제2겐트리(32), 그리고 제3겐트리(33)를 포함할 수 있다. 제1겐트리(31)와 제2겐트리(32)는 프린팅 영역(10) 및 메인터넌스 영역(20)을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 또한, 제1겐트리(31)와 제2겐트리(32)는 제1방향(X)을 따라 서로 이격되어 배치될 수 있다. 즉, 제1겐트리(31)와 제2겐트리(32)는 후술하는 헤드 유닛(40)이 제2방향(Y)을 따라 이동할 수 있게 프린팅 영역(10) 및 메인터넌스 영역(20)이 배치되는 제2방향(Y)을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
또한, 제3겐트리(33)는 프린팅 영역(10)을 제2방향(Y)을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 제3겐트리(33)는 후술하는 제4비전 부(60)가 제2방향(Y)을 따라 이동할 수 있게 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
헤드 유닛(40)은 기판으로 잉크 액적을 토출할 수 있다. 헤드 유닛(40)은 헤드(42), 헤드 프레임(44), 제1비전 부(46), 그리고 제2비전 부(48)를 포함할 수 있다. 헤드(42)에는 잉크 액적을 토출하는 복수의 노즐(42a)이 형성될 수 있다. 헤드(42)는 헤드 프레임(44)을 매개로 제1겐트리(31)와 제2겐트리(32)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 헤드(42)는 제1겐트리(31)와 제2겐트리(32)의 길이 방향인 제2방향(Y)을 따라 이동 가능하게 제공될 수 있다. 또한, 헤드(42)는 제1겐트리(31)와 제2겐트리(32)의 길이 방향인 제2방향(Y)을 따라 프린팅 영역(10), 그리고 메인터넌스 영역(20) 사이를 직선 왕복 이동할 수 있다. 또한, 상부에서 바라볼 때 헤드(42)의 일 측에는 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)가 결합될 수 있다. 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)는 제1방향(X)을 따라 나란히 배치될 수 있다. 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)는 헤드(42)가 토출하는 잉크 액적들을 확인할 수 있다. 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)는 이미지 획득 모듈을 포함하는 카메라일 수 있다.
노즐 얼라인 부(50)는 메인터넌스 영역(20)에 제공될 수 있다. 노즐 얼라인 부(50)는 상부에서 바라볼 때 제1겐트리(31)와 제2겐트리(32) 사이에 제공될 수 있다. 이에, 노즐 얼라인 부(50)는 헤드(42)에 형성된 노즐(42a)들의 상태를 확인할 수 있다. 예컨대, 노즐 얼라인 부(50)는 이동 레일(52), 그리고 제3비전 부(54)를 포함할 수 있다. 이동 레일(52)은 그 길이 방향이 제1방향(X) 일 수 있다. 제3비전 부(54)는 이동 레일(52)의 길이 방향인 제1방향(X)을 따라 직선 왕복 이동할 수 있다. 제3비전 부(54)는 이동 레일(52)의 길이 방향을 따라 이동하면서 헤드(42)의 노즐(42a)들을 촬상할 수 있다.
제4비전 부(60)는 제3겐트리(33)의 길이 방향인 제2방향(Y)을 따라 이동 가능하도록 제3겐트리(33)에 설치될 수 있다. 제4비전 부(60)는 이미지 획득 모듈을 포함하는 카메라일 수 있다. 제4비전 부(60)는 제2기판(S2)에 토출된 잉크 액적(I)들의 이미지를 획득하고, 획득된 이미지를 후술하는 제어기(80)로 전달할 수 있다. 제어기(80)는 제4비전 부(60)가 획득한 이미지를 분석하여 헤드 유닛(40)이 토출하는 잉크 액적의 타점, 헤드(42)의 이동 속도, 기판의 이동 속도 등을 보정하기 위한 데이터를 산출할 수 있다.
제어기(80)는 기판 처리 장치(100)를 제어할 수 있다. 제어기(80)는 제1비전 부(46), 제2비전 부(48), 제3비전 부(54), 그리고 제4비전 부(60)가 촬상하여 획득하는 이미지(사진 또는 영상)를 근거로 헤드 유닛(40)의 헤드 유닛(40)이 토출하는 잉크 액적의 타점, 헤드(42)의 이동 속도, 기판의 이동 속도 등을 보정하기 위한 데이터를 산출할 수 있다. 제어기(80)는 기판 처리 장치(100)의 제어를 실행하는 마이크로프로세서(컴퓨터)로 이루어지는 프로세스 컨트롤러와, 오퍼레이터가 기판 처리 장치(100)를 관리하기 위해서 커맨드 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 기판 처리 장치(100)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스와, 기판 처리 장치(100)에서 실행되는 처리를 프로세스 컨트롤러의 제어로 실행하기 위한 제어 프로그램이나, 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 각 구성부에 처리를 실행시키기 위한 프로그램, 즉 처리 레시피가 저장된 기억부를 구비할 수 있다. 또한, 유저 인터페이스 및 기억부는 프로세스 컨트롤러에 접속되어 있을 수 있다. 처리 레시피는 기억 부 중 기억 매체에 기억되어 있을 수 있고, 기억 매체는, 하드 디스크이어도 되고, CD-ROM, DVD 등의 가반성 디스크나, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 일 수도 있다.
상술한 제1비전 부(46), 제2비전 부(48), 제3비전 부(54), 그리고 제4비전 부(60)가 촬상하여 획득하는 이미지(사진 또는 영상)를 근거로 헤드 유닛(40)의 헤드 유닛(40)이 토출하는 잉크 액적의 타점, 헤드(42)의 이동 속도, 기판의 이동 속도 등을 보정하기 위한 데이터를 정확하게 산출하기 위해서는, 제1비전 부(46), 제2비전 부(48), 제3비전 부(54), 그리고 제4비전 부(60)가 정확히 세팅되는 것이 중요하다. 예컨대, 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)의 이동 축이 제2방향(Y)과 일치하도록 정확히 세팅되어야 한다. 예컨대, 제1비전 부(46)가 제2비전 부(48)가 배열되는 방향이 제1방향(X)과 일치하도록 정확히 세팅되어야 한다. 예컨대, 제3비전 부(54)의 이동 축이 제1방향(X)과 정확히 일치하도록 세팅되어야 한다. 예컨대, 제4비전 부(60)의 이동 축이 제2방향(Y)과 정확히 일치하도록 세팅되어야 한다. 또한, 제1기판(S1), 그리고 제2기판(S2)의 이동 방향이 제1방향(X)과 정확히 일치하도록 세팅되면 좋다.
이에, 본 발명의 일 실시 예에서는 잉크를 토출하는 헤드(42)를 가지는 기판 처리 장치(100)를 세팅하는 방법을 제공한다. 도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 세팅 방법을 보여주는 플로우 차트이다. 도 2를 참조하면 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)의 세팅 방법은, 제1비전 부 원점 정렬 단계(S11), 제1비전 부 및 제2비전 부 위치 정렬 단계(S12), 제1비전 부 및 제2비전 부 이동 축 정렬 단계(S13), 제3비전 부 정렬 단계(S14), 제2기판 정렬 단계(S15), 제4비전 부 정렬 단계(S16), 그리고 제2기판 촬상 단계(S17)를 포함할 수 있다.
제1비전 부 원점 정렬 단계(S11)에는 제1비전 부(46)를 제1기준 마크(OM1)의 상부로 이동시키되, 제1비전 부(46)가 제1기준 마크(OM)를 촬상하여, 제1비전 부(46)의 위치를 정렬할 수 있다(도 3 참조). 즉, 제1비전 부 원점 정렬 단계(S11)가 수행된 이후, 제1비전 부(46)는 원점 정렬될 수 있다.
제1비전 부 및 제2비전 부 위치 정렬 단계(S12)에는 헤드 유닛(40)을 프린팅 영역(10)으로 이동시킬 수 있다. 이후, 제1기판(S1)이 제1방향(X)을 따라 이동될 수 있다. 이때, 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)는 제1기판(S1)에 표시되며, 제1방향(X)을 따라 배열되는 제1정렬 마크(M1)를 촬상할 수 있다. 이 때, 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)가 제1기판(S1)이 이송되는 방향인 제1방향(X)을 따라 나란히 배열되지 않았다면, 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)가 획득하는 이미지는 서로 상이할 것이다. 이 경우, 제1비전 부(46) 및/또는 제2비전 부(48)의 위치를 정렬하여 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)가 제1방향(X)을 따라 나란히 배열되게 위치를 정렬한다(도 4 참조). 즉, 제1비전 부 및 제2비전 부 위치 정렬 단계(S12)가 수행된 이후, 제1비전 부(46) 및 제2비전 부(48)의 제1방향(X)을 따라 나란히 배열된다.
제1비전 부 및 제2비전 부 이동 축 정렬 단계(S13)에는 제1비전 부(46) 및 제2비전 부(48)는 제2방향(Y)을 따라 이동될 수 있다. 제1비전 부(46) 및 제2비전 부(48)는 제2방향(Y)을 따라 이동되면서 제2방향(Y)을 따라 표시되는 제1정렬 마크(M1)들을 촬상할 수 있다. 이 때, 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)의 이동 축이 제2방향(Y)과 일치하지 않는다면, 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)가 획득하는 이미지는 서로 상이할 것이다. 이 경우, 제1비전 부(46) 및 제2비전 부(48)의 이동 축을 정렬(예컨대, 제1겐트리(31), 그리고 제2겐트리(32)를 정렬)하여 제1비전 부(46)와 제2비전 부(48)의 이동 축이 제2방향(Y)되도록 한다(도 5 참조). 즉, 제1비전 부 및 제2비전 부 이동 축 정렬 단계(S13)가 수행된 이후, 제1비전 부(46) 및 제2비전 부(48)의 이동 축은 제2방향(Y)으로 정렬된다.
제3비전 부 정렬 단계(S14)에는 헤드 유닛(40)을 메인터넌스 영역(20)으로 이동시킨다. 예컨대, 제3비전 부 정렬 단계(S14)에는 헤드 유닛(40)의 헤드(42)가 노즐 얼라인 부(50)의 상부로 이동된다. 이후, 제3비전 부(54)는 이동 레일(52)의 길이 방향인 제1방향(X)을 따라 이동된다(도 6 참조). 이때, 제1비전 부(46) 및 제2비전 부(48)는 위치 및 이동 축이 정렬된 상태이므로, 제1비전 부(46) 및 제2비전 부(48)와 결합된 헤드(42) 또한 위치 및 이동 축이 정렬된 상태일 것이다. 제3비전 부(54)가 노즐(42a)들을 촬상하되, 획득한 이미지에서 노즐(42a)들의 배열 방향이 제1방향(X)이 아닌 경우에는 제3비전 부(54)의 이동 축이 정렬되지 않은 것이고, 이 경우, 제3비전 부(54)의 이동 축을 정렬(예컨대, 이동 레일(52)을 정렬)한다. 즉, 제3비전 부 정렬 단계(S14)가 수행된 이후, 제3비전 부(54)의 이동 축은 제1방향(X)이 될 것이다.
제2기판 정렬 단계(S15)에는 헤드(42)가 제2방향(Y)을 따라 이동하면서 잉크 액적(I)을 토출된 제2기판(S2)이 헤드(42)의 하부로 이동될 수 있다. 그리고, 제1비전 부(46) 및/또는 제2비전 부(48)는 제2방향(Y)으로 이동하면서 제2기판(S2)에 토출된 잉크 액적(I)을 촬상할 수 있다(도 8 참조). 헤드(42)의 이동 축, 그리고 위치는 정렬된 상태이므로, 제2기판(S2)의 이동 축, 또는 제2기판(S2)의 위치가 정렬되었다면, 제1비전 부(46) 및/또는 제2비전 부(48)가 획득한 이미지에서는 잉크 액적(I)들이 제2방향(Y)을 따라 나란히 배열될 것이다. 제1비전 부(46) 및/또는 제2비전 부(48)가 획득한 이미지에서 잉크 액적(I)들의 배열 방향이 제2방향(Y)과 다르다면, 잉크 액적(I)들의 배열 방향이 제2방향(Y)과 일치하도록 제2기판(S2)의 위치, 제2기판(S2)의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬할 수 있다.
또한, 제2기판 정렬 단계(S15)에서 제2기판(S2)에 잉크 액적(I)을 토출하는 경우에는, 헤드(42)는 정렬된 상태이므로, 헤드(42)가 토출하는 잉크 액적(I)은 제2방향(Y)을 따라 나란히 배열될 것이다. 이후, 제1비전 부(46) 및/또는 제2비전 부(48)는 잉크 액적(I)들, 그리고 제2정렬 마크(M2)들이 제2방향(Y)을 따라 나란히 배열되는 지를 통해 제2기판(S2)의 위치, 또는 제2기판(S2)의 이동 축을 정렬할 수도 있다.
제4비전 부 정렬 단계(S16)에는 제2기판(S2)이 제4비전 부(60)의 하부로 이동된다. 제4비전 부(60)는 제2방향(Y)을 따라 이동하면서 제2기판(S2) 상에 도출된 잉크 액적(I)들을 촬상한다. 제2기판(S2)은 정렬된 상태이므로, 제4비전 부(60)의 이동 축이 제2방향(Y)이라면 제4비전 부(60)가 획득하는 이미지에서는 잉크 액적(I)들이 제2방향(Y)을 따라 나란히 배열될 것이다. 그렇지 않은 경우에는, 제4비전 부(60)의 이동 축을 정렬(예컨대, 제3겐트리(33)를 정렬)하여 제4비전 부(60)의 이동 축이 제2방향(Y)이 되도록 한다(도 8 참조).
제2기판 촬상 단계(S17)에는 정렬 된 제4비전 부(60)가 제2기판(S2)을 촬상하여 이미지를 획득한다. 획득된 이미지는 제어기(80)로 전달된다. 제어기(80)는 전달된 이미지를 통해 헤드 유닛(40)의 타점, 잉크 토출 양, 헤드(42)의 이동 속도 등을 보정하는 보정 데이터를 산출할 수 있다. 즉, 상술한 일 실시 예에 의하면 제1비전 부(46), 제2비전 부(48), 제3비전 부(54), 그리고 제4비전 부(60)가 정확히 세팅되고, 제1기판(S1) 또는 제2기판(S2)의 위치 및/또는 이동 축이 정렬되므로, 제1비전 부(46), 제2비전 부(48), 제3비전 부(54), 그리고 제4비전 부(60)가 획득하는 이미지는 정확도가 높다. 이에, 제어기(80)가 산출하는 보정 데이터에 오차가 발생하는 것을 최소화 할 수 있다.
도 9는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치를 보여주는 도면이다. 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)는 상술한 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)와 대체로 유사하다. 이하에서는, 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)와 일 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)의 차이점을 중심으로 설명한다.
다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)는 제5비전 부(70)를 더 포함할 수 있다. 제5비전 부(70)는 이미지 획득 모듈을 포함하는 카메라 일 수 있다. 제5비전 부(70)는 헤드 유닛(40)의 이동에 간섭이 발생하지 않도록, 헤드 유닛(40)과 서로 상이한 높이에 설치될 수 있다. 또한, 제5비전 부(70)는 제1겐트리(31) 또는 제2겐트리(32)에 설치되어, 제2방향(Y)을 따라 이동될 수 있다. 또한, 도 9에서는 제5비전 부(70)가 하나로 제공되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니고 제5비전 부(70)는 복수 개로 제공될 수도 있다.
또한, 프린팅 영역(10)에는 제2기준 마크(OM2)가 표시될 수 있다. 제2기준 마크(OM2)는 기판 처리 장치(100)가 가지는 프린팅 영역(10)에 표시되어 위치가 고정될 수 있다. 도 9에서는 제2기준 마크(OM2)가 하나인 것을 예로 들어 도시하였으나, 제2기준 마크(OM2)의 위치 및 숫자는 다양하게 변형될 수 있다. 또한, 제5비전 부(70)의 이동 반경(즉, Stroke)은 제5비전 부(70)가 제2기준 마크(OM2)를 촬상할 수 있을 정도의 크기를 가질 수 있다.
또한, 프린팅 영역(10)에는 제3기판(S3)이 제공될 수 있다. 제3기판(S3)은 제1방향(X)을 따라 이동될 수 있다. 제3기판(S3)에는 복수의 제3정렬 마크(M3)가 표시될 수 있다. 또한, 제3기판(S3)은 복수의 셀(C)을 포함하고, 상부에서 바라볼 때, 복수의 셀(C)들 사이에는 제3정렬 마크(M3)들 중 적어도 어느 하나가 표시될 수 있다. 또한, 제3정렬 마크(M3)들은 제1방향(X) 및 제2방향(Y)을 따라 배열될 수 있다.
도 10은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치의 세팅 방법을 보여주는 플로우 차트이다. 도 10을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 예에 따른 기판 처리 장치(100)의 세팅 방법은, 제5비전 부 원점 정렬 단계(S21), 제3기판 정렬 단계(S22), 그리고 제5비전 부 이동 축 정렬 단계(S23)를 포함할 수 있다.
제5비전 부 원점 정렬 단계(S21)에는 제5비전 부(70)가 제2기준 마크(M2)의 상부로 이동하고, 제5비전 부(70)가 제2기준 마크(OM2)를 촬상하여 제5비전 부(70)의 위치를 정렬할 수 있다. 이에, 제5비전 부(70)는 원점 정렬될 수 있다(도 11 참조). 이때, 미세 편차가 발생하는 것은 제어기(80)가 소프트 웨어로 보정할 수 있다.
제3기판 정렬 단계(S22)에는 제3기판(S3)을 제1방향(X)으로 이동시키면서 제5비전 부(70)가 제3정렬 마크(M3)를 촬상할 수 있다. 제5비전 부(70)는 원점 정렬된 상태이므로, 제3기판(S3)의 이동 축이 제1방향(X)이라면, 제5비전 부(70)가 촬상하는 제3마크(M)들은 제1방향(X)을 따라 나란히 배열될 것이다. 그렇지 않다면, 제3기판(S3)의 이동 축이 제1방향(X)이 되도록 제3기판(S3)의 위치 또는 제3기판(S3)의 이동 축을 정렬한다(도 12 참조).
제5비전 부 이동 축 정렬 단계(S23)에는 제5비전 부(70)가 제2방향(Y)을 따라 이동하면서 제3정렬 마크(M3)들을 촬상할 수 있다. 제5비전 부(70)의 이동 축이 제2방향(Y)이라면 제5비전 부(70)가 촬상하는 제3정렬 마크(M3)들은 제2방향(Y)을 따라 나란히 배열될 것이다. 그렇지 않다면, 제5비전 부(70)의 이동 축이 제2방향(Y)이 되도록 제5비전 부(70)의 이동 축을 정렬한다(도 13 참조).
상술한 바와 같이 제5비전 부(70)가 복수로 제공되는 경우, 제5비전 부(70)들 사이의 간격을 정확히 정렬하는 것이 중요하다. 예컨대, 제5비전 부(70)들 사이의 간격은 제3정렬 마크(M3)들 사이의 간격과 서로 동일한 것이 바람직하다. 이에, 제5비전 부 이동 축 정렬 단계(S23)가 수행된 이후, 다시 제3기판(S3)을 제1방향(X)을 따라 이동시키되, 복수의 제5비전 부(70)들 각각이 제3정렬 마크(M3)들을 촬상하여 복수의 제5비전 부(70)들 사이의 간격이 제3정렬 마크(M3)들 사이의 간격과 서로 동일하도록 복수의 제5비전 부(70)들의 위치를 조정할 수 있다.
또한, 상술한 제1기준 마크(OM1)와 제2기준 마크(OM2)가 프린팅 영역(10) 또는 메인터넌스 영역(20)에 물리적 형상을 가지도록 표시되는 경우, 경우에 따라 비전 부들이 촬상하는 이미지에 왜곡이 발생하거나, 비전 부들이 이동하면서 제1기준 마크(OM1)와 제2기준 마크(OM2)와 충돌하거나, 또는 기판들이 이동하면서 제1기준 마크(OM1)와 제2기준 마크(OM2)와 충돌하는 문제가 발생될 수 있다. 이에, 본 발명에서는 프로젝트 빔에 의해 제1기준 마크(OM1)와 제2기준 마크(OM2)가 프린팅 영역(10) 또는 메인터넌스 영역(20)에 표시되도록 할 수 있다. 이와 같이 프로젝트 빔에 의해 제1기준 마크(OM1)와 제2기준 마크(OM2)를 표시하는 경우, 기판들이 제1기준 마크(OM1)와 제2기준 마크(OM2)와 중첩되는 위치로 이동하더라도, 간섭의 문제가 발생하지 않는다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
기판 처리 장치 : 100
프린팅 영역 : 10
메인터넌스 영역 : 20
겐트리 : 30
제1겐트리 : 31
제2겐트리 : 32
제3겐트리 : 33
헤드 유닛 : 40
헤드 : 42
노즐 : 42a
헤드 프레임 : 44
제1비전 부 : 46
제2비전 부 : 48
노즐 얼라인 부 : 50
이동 레일 : 52
제3비전 부 : 54
제4비전 부 : 60
제5비전 부 : 70
제어기 : 80

Claims (20)

  1. 잉크를 토출하는 헤드를 가지는 기판 처리 장치를 세팅하는 방법에 있어서,
    상기 헤드가 토출하는 잉크 액적들을 확인하는 제1비전 부를 상기 기판 처리 장치에 표시되며 위치가 고정된 기준 마크의 상부로 이동시키되, 상기 제1비전 부가 상기 기준 마크를 촬상하여 상기 제1비전 부의 위치를 정렬하고,
    제1방향을 따라 이동되는 제1기판에 표시되며, 제1방향 및/또는 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 서로 이격되어 상기 제1기판에 표시되는 정렬마크들을 상기 제1비전 부, 그리고 상기 헤드가 토출하는 잉크의 액적들을 확인하고 상기 제1비전 부와 나란히 배치되는 제2비전 부가 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치 및/또는 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1기판을 상기 제1방향을 따라 이동시키되, 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 배열되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치를 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부를 이동시키되, 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제2방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1비전 부, 그리고 상기 제2비전 부는 상기 헤드에 설치되고,
    상기 헤드에 형성된 노즐들의 상태를 확인하는 제3비전 부, 그리고 상기 제3비전 부를 이동시키는 이동 레일을 포함하는 노즐 얼라인 부의 상부에 상기 헤드를 이동시키고, 상기 제3비전 부는 상기 이동 레일의 길이 방향을 따라 이동하면서 상기 노즐들을 촬상하여 상기 제3비전 부의 이동 축이 상기 제1방향 또는 상기 제2방향이 되도록 상기 제3비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치 셋팅 방법.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 헤드는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 제2기판 상에 상기 잉크 액적들을 토출하고,
    상기 제1비전 부 및/또는 상기 제2비전 부는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 상기 잉크 액적들을 촬상하여 상기 잉크 액적들이 상기 제2방향을 따라 배열되는지 확인하고, 상기 잉크 액적들의 배열 방향이 상기 제2방향과 일치하도록 상기 제2기판의 위치, 상기 제2기판의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제2기판을 상기 잉크 액적들을 확인하는 제4비전 부의 하부로 이동하고, 상기 제4비전 부가 상기 잉크 액적들을 촬상하여, 상기 제4비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제4비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1기판은 상기 헤드가 상기 잉크를 토출하여 프린팅 공정을 수행하는 프린팅 영역에 제공되고,
    상기 제2기판은 상기 헤드에 대한 메인터넌스가 수행되는 메인터넌스 영역에 제공되는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 기준 마크는,
    상기 메인터넌스 영역에 표시되는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 프린팅 영역과 상기 메인터넌스 영역은 상기 제2방향을 따라 배열되는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  10. 프린팅 영역;
    상부에서 바라볼 때 제2방향을 따라 상기 프린팅 영역과 나란히 배치되는 메인터넌스 영역;
    상기 프린팅 영역과 상기 메인터넌스 영역 사이에 이동 가능하며 잉크 액적들을 토출하는 헤드;
    상기 헤드와 결합되며, 상기 헤드가 토출하는 상기 잉크 액적들을 확인하는 제1비전 부; 및
    상기 헤드와 결합되며, 상기 제1비전 부와 나란히 배치되며 상기 헤드가 토출하는 잉크 액적들을 확인하는 제2비전 부를 포함하는 기판 처리 장치를 세팅하는 방법에 있어서,
    상기 제1비전 부를 상기 프린팅 영역 또는 상기 메인터넌스 영역에 표시되며 위치가 고정된 기준 마크의 상부로 이동시키되, 상기 제1비전 부가 상기 기준 마크를 촬상하여 상기 제1비전 부의 위치를 정렬하고,
    상부에서 바라볼 때, 상기 제2방향에 수직한 제1방향을 따라 이동되는 제1기판에 표시되며, 상기 제1방향 및 상기 제2방향을 따라 서로 이격되어 상기 제1기판에 표시되는 정렬마크들을 상기 제1비전 부, 그리고 상기 제2비전 부가 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치 및/또는 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1기판을 상기 제1방향을 따라 이동시키면서 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부가 상기 제1방향을 따라 배열되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 위치를 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부를 이동시키면서 상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부가 상기 제2방향을 따라 표시되는 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 제2비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제1비전 부와 상기 제2비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  13. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는,
    상기 헤드에 형성된 노즐들의 상태를 확인하는 제3비전 부, 그리고 상기 제3비전 부를 이동시키는 이동 레일을 가지는 노즐 얼라인 부를 더 포함하고,
    상기 헤드를 상기 노즐 얼라인 부의 상부에 이동시키고, 상기 제3비전 부는 상기 이동 레일의 길이 방향을 따라 이동하면서 상기 노즐들을 촬상하여 상기 제3비전 부의 이동 축이 상기 제1방향이 되도록 상기 제3비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  14. 제10항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 헤드는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 제2기판 상에 상기 잉크 액적들을 토출하고,
    상기 제1비전 부 및 상기 제2비전 부는 상기 제2방향을 따라 이동하면서 상기 잉크 액적들을 촬상하여 상기 잉크 액적들이 상기 제2방향을 따라 배열되는지 확인하고, 상기 잉크 액적들의 배열 방향이 상기 제2방향과 일치하도록 상기 제2기판의 위치, 상기 기판의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 제2기판을 상기 잉크 액적들을 확인하는 제4비전 부의 하부로 이동하고, 상기 제4비전 부가 상기 잉크 액적들을 촬상하여, 상기 제4비전 부의 이동 축이 상기 제2방향이 되도록 상기 제4비전 부의 이동 축을 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 제2기판은 상기 메인터넌스 영역에 제공되고,
    상기 제1기판은 상기 프린팅 영역에 제공되는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  17. 잉크를 토출하는 헤드를 가지는 기판 처리 장치를 세팅하는 방법에 있어서,
    기판을 촬상하는 적어도 하나 이상의 비전 부를 상기 기판 처리 장치에 표시되며 위치가 고정된 기준 마크의 상부로 이동시키되, 상기 비전 부가 상기 기준 마크를 촬상하여 상기 비전 부의 위치를 정렬하고,
    상기 비전 부의 하부에 정렬 마크들이 표시된 기판이 위치된 상태로 상기 비전 부를 이동시키거나, 상기 기판을 이동시키면서 상기 비전 부가 상기 정렬 마크들을 촬상하여 상기 비전 부의 이동 축, 상기 기판의 위치, 및 상기 기판의 이동 축 중 적어도 어느 하나를 정렬하는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 기판은,
    복수의 셀을 더 포함하고,
    상부에서 바라볼 때, 복수의 셀 사이에는 상기 정렬 마크들 중 적어도 어느 하나가 표시되는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 정렬 마크들은,
    상기 기판이 이송되는 방향인 제1방향 및 상부에서 바라볼 때 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 배열되고,
    상기 비전 부는,
    복수로 제공되되, 상기 제2방향을 따라 배열되는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
  20. 제17항에 있어서,
    상기 기준 마크는,
    프로젝트 빔에 의해 표시되는 기판 처리 장치의 세팅 방법.
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000075450A (ko) * 1999-05-27 2000-12-15 정문술 표면실장장치의 모듈 헤드 원점조정장치 및 방법
KR101174860B1 (ko) 2012-02-15 2012-08-17 (주)버금시스템 피검사물과 테스트 기판의 정렬이 이루어지는 디스플레이용 패널 검사장치 및 그 제어방법
KR20180000050A (ko) * 2016-06-22 2018-01-02 세메스 주식회사 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법
US20180229497A1 (en) * 2017-02-15 2018-08-16 Kateeva, Inc. Precision position alignment, calibration and measurement in printing and manufacturing systems
KR102134273B1 (ko) * 2019-06-11 2020-07-15 세메스 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100662564B1 (ko) 2004-08-19 2006-12-28 삼성전자주식회사 얼라인장치
KR101144958B1 (ko) 2009-09-14 2012-05-11 순환엔지니어링 주식회사 갠트리 구조형 스테이지의 직각도 오차 측정 방법 및 오차 보상 원점복귀 방법
US9700908B2 (en) * 2012-12-27 2017-07-11 Kateeva, Inc. Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
CN107891668B (zh) * 2012-12-27 2020-04-21 科迪华公司 用于打印油墨体积控制以在精确公差内沉积流体的装置和方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000075450A (ko) * 1999-05-27 2000-12-15 정문술 표면실장장치의 모듈 헤드 원점조정장치 및 방법
KR101174860B1 (ko) 2012-02-15 2012-08-17 (주)버금시스템 피검사물과 테스트 기판의 정렬이 이루어지는 디스플레이용 패널 검사장치 및 그 제어방법
KR20180000050A (ko) * 2016-06-22 2018-01-02 세메스 주식회사 액적 토출 장치에 대한 정렬 방법
US20180229497A1 (en) * 2017-02-15 2018-08-16 Kateeva, Inc. Precision position alignment, calibration and measurement in printing and manufacturing systems
KR102134273B1 (ko) * 2019-06-11 2020-07-15 세메스 주식회사 잉크젯 프린팅 시스템

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