KR20220080529A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20220080529A
KR20220080529A KR1020200169732A KR20200169732A KR20220080529A KR 20220080529 A KR20220080529 A KR 20220080529A KR 1020200169732 A KR1020200169732 A KR 1020200169732A KR 20200169732 A KR20200169732 A KR 20200169732A KR 20220080529 A KR20220080529 A KR 20220080529A
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양진우
권강
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 액적 도포 장치를 제공한다. 액적 도포 장치는 기판으로 처리 액을 토출하는 적어도 하나 이상의 노즐이 형성된 헤드를 포함하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드에 대한 메인터넌스를 수행하는 헤드 메인터넌스 유닛을 포함하고, 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 메인터넌스를 위한 지정된 위치에 정렬되었는지를 확인하는 티칭부재를 포함할 수 있다.

Description

기판 처리 장치{Apparatus for treating substrate}
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로써, 기판 상에 액적을 토출하도록 구비되는 잉크젯 헤드가 배치되는 갠트리 유닛을 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다
최근, 액정 디스플레이 소자, 유기 EL 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자는 고해상도가 요구되고 있다. 고해상도를 가지는 디스플레이 소자를 제조하기 위해서는 기판 상에 단위 면적당 더 많은 픽셀을 형성해야 하며, 이와 같이 조밀하게 배치되는 픽셀들 각각에 잉크와 같은 약액을 정확히 토출하는 것이 중요하다. 그렇지 않은 경우 불량으로 제조되는 디스플레이 소자가 불량으로 판정될 수 있기 때문이다. 따라서, 관련 기술들에 따르면, 디스플레이 소자의 제조에서는 픽셀들 각각에 토출되는 약액의 토출 지점(예컨대, 타점), 그리고 약액의 토출 양을 정확하게 관리하는 것이 요구된다.
이와 같이 잉크의 토출 지점, 그리고 잉크의 토출 양을 정확하게 관리하기 위해서는, 잉크를 토출하는 노즐, 그리고 노즐이 형성된 노즐 플레이트에 부착된 잉크를 적절히 제거하는 것이 중요하다. 최근에는 픽셀들 각각에 토출되는 잉크의 토출 양이 적어짐에 따라, 노즐의 크기도 함께 작아진다. 이에, 노즐의 내부에 부착된 잉크를 제거하는 것이 어려워지고 있다. 노즐, 그리고 노즐 플레이트에 부착된 잉크를 적절히 제거하지 못하면, 노즐 플레이트에 부착된 잉크들은 피 처리물인 기판으로 전달되어 기판을 오염시킨다.
본 발명의 일 과제는 헤드에 대한 메인터넌스를 효과적으로 수행할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제는 헤드 유닛과 메인터넌스 유닛의 정확한 티칭이 가능한 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판으로 처리 액을 토출하는 적어도 하나 이상의 노즐이 형성된 헤드를 포함하는 헤드 유닛; 및 상기 헤드에 대한 메인터넌스를 수행하는 헤드 메인터넌스 유닛을 포함하고, 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 메인터넌스를 위한 지정된 위치에 정렬되었는지를 확인하는 티칭부재를 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 티칭부재는 상기 헤드 유닛의 측면들에 제공되는 상부 티칭홈들; 및 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 지정된 위치에 위치되었을 때 상기 상부 티칭홈들과 일직선상에 위치되도록 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 측면들에 제공되는 하부 티칭홈들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 헤드 메인터넌스 유닛을 상기 지정된 위치로 이동시키는 제1구동부; 상기 헤드 유닛을 상기 지정된 위치로 이동시키는 제2구동부; 및 상기 지정된 위치로 이동된 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 상기 티칭 부재를 확인하는 비젼부; 및 상기 상부 티칭홈들과 상기 하부 티칭홈들이 일직선상에 정렬되도록 상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판이 제1 방향을 따라 이송되고, 잉크젯 헤드를 사용하여 기판 상에 약액을 토출하는 프린팅 공정이 이루어지는 프린팅 영역; 상기 프린팅 영역과 나란히 배치되고, 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지는 메인터넌스 영역; 상기 프린팅 영역 및 상기 메인터넌스 영역으로 상기 잉크젯 헤드가 무빙할 수 있게 제2방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 갠트리; 상기 메인터넌스 영역에 상기 제1방향을 따라 이동 가능하게 제공되고, 상기 갠트리에 의해 상기 메인터넌스 영역으로 이동된 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스를 수행하는 헤드 메인터넌스 유닛; 및 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 메인터넌스 영역의 지정된 위치로 이동되었는지를 확인하는 티칭부재를 포함하는 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 티칭부재는 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛에 제공되는 티칭홈들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 티칭홈들은 상기 제1방향을 향하는 상기 헤드 유닛의 제1측면들에 제공되는 제1티칭홈들; 상기 제2방향을 향하는 상기 헤드 유닛의 제2측면들에 제공되는 제2티칭홈들; 상기 제1방향을 향하는 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 제1측면들에 제공되고 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 지정된 위치에 위치되었을 때 상기 제1티칭홈들과 일직선상에 정렬되는 제3티칭홈들; 상기 제2방향을 향하는 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 제2측면들에 제공되고 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 지정된 위치에 위치되었을 때 상기 제2티칭홈들과 일직선상에 정렬되는 제4티칭홈들을 포함할 수 있다.
또한, 상기 지정된 위치로 이동된 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 상기 티칭홈들을 확인하는 비젼부; 및 상기 티칭홈들이 정렬되도록 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 위치를 보정하도록 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는 상기 제1티칭홈들과 상기 제3티칭홈들이 틀어지면 상기 헤드 유닛의 위치를 보정하고, 상기 제2티칭홈들과 상기 제4티칭홈들이 틀어지면 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 위치를 보정할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 헤드에 대한 메인터넌스를 효과적으로 수행할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 헤드 유닛과 메인터넌스 유닛의 정확한 티칭이 가능할 수 있다.
본 실시예에 의하면, 구동부의 부품(Encoder)에 오류가 있을 경우 해당 원인을 쉽게 파악 할 수 있으며 오류의 관한 다른 문제점에 대해 빠른 대처를 할 수 있는 효과가 있다.
발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 2 및 도 3은 헤드 유닛과 헤드 메인터넌스 유닛에 각각 형성된 티칭홈들을 보여주는 도면들이다.
도 4는 헤드 유닛과 헤드 메인터넌스 유닛이 유지보수를 위한 위치로 이동된 상태를 보여주는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
이하, 첨부하는 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치에 대하여 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 나타내는 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 액정 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(S) 상에 배향막의 형성이나 UV 잉크를 도포하거나, 또는 유기 EL 표시 장치 등으로 제조하기 위한 기판(S) 상에 컬러 필터를 도포하는 인쇄 공정에 사용되는 액적 도포 장치이다.
본 실시예에 따르면, 본 발명의 기판 처리 장치(100)는 기판(S) 상에 잉크 액적(I)를 토출하여 기판(S)에 대한 프린팅 공정을 수행할 수 있다. 또한, 기판(S)은 글라스(Glass) 기판일 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 기판(S)의 종류는 다양하게 변형될 수 있다.
기판 처리 장치(100)는 프린팅 영역(10), 메인터넌스 영역(20), 겐트리(30), 헤드 유닛(40), 헤드 메인터넌스 유닛(50), 비전부(60) 그리고 제어기(200)를 포함할 수 있다.
프린팅 영역(10)은 상부에서 바라볼 때, 그 길이 방향이 제1방향(X) 일 수 있다. 이하에서는, 상부에서 바라볼 때, 제1방향(X)과 수직한 방향을 제2방향(Y)이라 하고, 제1방향(X) 및 제2방향(Y)에 수직한 방향을 제3방향(Z)이라 한다. 제3방향(Z)은 지면에 수직한 방향일 수 있다. 또한, 제1방향(X)은 후술하는 기판(S)이 이송하는 방향일 수 있다. 프린팅 영역(10)에서는 후술하는 헤드 유닛(40)이 기판(S)으로 잉크를 토출하여 기판(S)에 대한 프린팅 공정이 이루어질 수 있다.
또한, 프린팅 영역(10)에서 이송되는 기판(S)은 부상되는 상태를 유지할 수 있다. 이에, 프린팅 영역(10)에서는 기판(S)을 이송시 기판(S)을 부상시킬 수 있는 부상 스테이지가 구비될 수 있다. 또한, 프린팅 영역(10)에서는 기판(S)의 일 측면 또는 양 측면을 파지하여 이송시키는 이송부가 더 구비될 수 있다. 언급한 이송부는 부상 스테이지의 일 측 또는 양 측을 따라 구비되는 가이드 레일 및 기판(S)의 일 측면 또는 양 측면을 파지한 상태에서 가이드 레일을 따라 활주하는 그리퍼 등을 포함할 수 있다. 또한, 프린팅 영역(10)에서 이송되는 기판(S)은 제1방향(X)을 따라 이송될 수 있다.
메인터넌스 영역(20)에서는 주로, 후술하는 헤드 유닛(40)에 대한 메인터넌스가 이루어질 수 있다. 예컨대, 메인터넌스 영역(20)에서는 헤드 유닛(40)의 상태를 확인하거나, 헤드 유닛(40)에 대한 세정이 수행될 수 있다. 이를 위해 메인터넌스 영역에는 헤드 메인터넌스 유닛(50)이 제공된다. 메인터넌스 영역(20)은 상부에서 바라볼 때, 그 길이 방향이 제1방향(X)일 수 있다. 또한, 메인터넌스 영역(20)은 프린팅 영역(10)과 나란히 배치될 수 있다. 예컨대, 메인터넌스 영역(20)과 프린팅 영역(10)은 제2방향(Y)을 따라 나란히 배열될 수 있다.
또한, 메인터넌스 영역(20)의 경우에도 후술하는 헤드 유닛(40)이 토출하는 잉크 액적(I)들의 타점 보정, 잉크 액적(I)의 볼륨 조절, 잉크 액적(I) 토출량 제어 등을 위한 잉크 액적(I) 토출이 이루어질 수 있기 때문에 프린팅 영역(10)과 동일 또는 유사한 공정 환경을 가질 수 있다.
겐트리(30)는 후술하는 헤드 유닛(40)이 직선 왕복 이동을 할 수 있도록 구비될 수 있는 것이다. 겐트리(30)는 프린팅 영역(10) 및 메인터넌스 영역(20)을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 겐트리(30)는 후술하는 헤드 유닛(40)이 제2방향(Y)을 따라 이동할 수 있게 프린팅 영역(10) 및 메인터넌스 영역(20)이 배치되는 제2방향(Y)을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 헤드 유닛은 메인터넌스를 위해 메인터넌스 영역 상의 지정된 위치(도 1에서 점선으로 표시됨)로 이동될 수 있다. 헤드 유닛(40)은 제2구동부(36)에 의해 이동될 수 있다.
헤드 유닛(40)은 기판(S)으로 잉크 액적(I)을 토출할 수 있다. 헤드 유닛(40)은 기판(S)으로 잉크 액적(I)을 토출하여 기판(S)에 대한 프린팅 공정을 수행할 수 있다. 예컨대, 헤드 유닛(40)은 제2방향(Y)을 따라 왕복 이동하면서 기판(S)으로 잉크 액적(I)을 토출하여 기판(S)에 대한 프린팅 공정을 수행할 수 있다. 헤드 유닛(40)은 헤드 프레임(44) 및 잉크 액적을 각각 토출할 수 있는 헤드(42)들을 포함할 수 있다.
헤드(42)는 복수로 제공될 수 있다. 복수의 헤드(42)는 제1방향(X)을 따라 나란히 배열될 수 있다. 복수의 헤드(42)들은 헤드 프레임(44)의 저면에 제공될 수 있다. 예컨대, 헤드(42)는 잉크 액적(I)을 토출하는 복수의 노즐(미도시됨)들이 구비될 수 있다. 노즐들은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있고, pl(picoliter) 단위의 양으로 잉크 액적 각각을 토출할 수 있도록 구비될 수 있다. 노즐들에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자(도시되지 않음)가 구비될 수 있고, 이에 상기 압전 소자의 동작에 의해 상기 노즐들을 통하여 기판(S) 상으로 잉크 액적을 토출시킬 수 있다. 노즐들로부터 토출되는 잉크 액적의 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 헤드 메인터넌스 유닛(50)은 메인터넌스 영역(20)에 제공될 수 있다. 헤드 메인터넌스 유닛(50)은 헤드(42)에 형성된 노즐들을 메인터넌스할 수 있다. 예컨대, 헤드 메인터넌스 유닛(50)은 세정 모듈(52) 및 이동 레일(54) 그리고 제1구동부(56)를 포함할 수 있다. 이동 레일(54)은 그 길이 방향이 제1방향(X) 일 수 있다. 제1구동부(56)에 의해 세정 모듈(52)은 이동 레일(54)의 길이방향인 제1방향(X)을 따라 대기 위치(실선으로 표시됨)와 헤드 세정을 위한 위치(지정된 위치, 점선으로 표시됨)로 직선 왕복 이동할 수 있다.
도 2 및 도 3은 헤드 유닛과 헤드 메인터넌스 유닛에 각각 형성된 티칭홈들을 보여주는 도면들이고, 도 4는 헤드 유닛과 헤드 메인터넌스 유닛이 유지보수를 위한 위치로 이동된 상태를 보여주는 도면이다.
도 2 내지 도 4에 도시된 바와같이, 헤드 유닛(40)과 헤드 메인터넌스 유닛(50)은 메인터넌스를 위한 지정된 위치에 정확하게 위치되었는지를 확인하는 티칭부재(70)를 포함한다. 티칭부재(70)는 헤드 유닛(40)의 측면들에 제공되는 상부 티칭홈들 및 헤드 메인터넌스 유닛(50)의 측면들에 제공되는 하부 티칭홈들을 포함한다.
헤드 유닛(40)과 헤드 메인터넌스 유닛(50) 지정된 위치에 정확하게 위치되었을 때 상부 티칭홈들과 하부 티칭홈들은 일직선상에 위치된다.
일 예로, 상부 티칭홈들은 제1방향(X)을 향하는 헤드 유닛(40)의 제1측면(44a)들에 제공되는 제1티칭홈(71)들과 제2방향(Y)을 향하는 헤드 유닛(40)의 제2측면(44b)들에 제공되는 제2티칭홈(72)들을 포함할 수 있다. 그리고 하부 티칭홈들은 제1방향(X)을 향하는 헤드 메인터넌스 유닛(50)의 세정유닛(52)의 제1측면(52a)들에 제공되는 제3티칭홈(73)들과 제2방향(Y)을 향하는 세정유닛(52)의 제2측면(52b)들에 제공되는 제4티칭홈(74)들을 포함할 수 있다.
헤드 유닛(40)과 헤드 메인터넌스 유닛의 세정유닛(52)이 지정된 위치에 위치되었을 때 제1티칭홈(71)들과 제3티칭홈(73)들 그리고 제2티칭홈(72)들과 제4티칭홈(74)들은 일직선상에 정렬된다.
한편, 메인터넌스 영역(20)에는 지정된 위치로 이동된 헤드 유닛(40)과 헤드 메인터넌스 유닛의 티칭 부재를 확인하는 비젼부(60)가 제공된다. 비젼부(60)는 제1방향(X)에서 제1티칭홈(71)들과 제3티칭홈(73)들의 정렬 상태를 확인하는 제1카메라(62)와, 제2방향(Y)에서 제2티칭홈(72)들과 제4티칭홈(74)들의 정렬 상태를 확인하는 제2카메라(64)를 포함할 수 있다. 제1카메라(62)와 제2카메라(64)에서 촬영된 정보는 제어부(200)로 제공된다.
제어기(200)는 기판 처리 장치(100)를 제어할 수 있다. 제어기(200)는 기판 처리 장치(100)가 기판(S)에 대한 프린팅 공정을 수행할 수 있도록 기판 처리 장치(100)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(200)는 기판 처리 장치(100)의 헤드 유닛(40)이 기판(S)으로 잉크 액적(I)를 토출하여 기판(S)에 대한 프린팅 공정을 수행할 수 있도록 헤드 유닛(40)을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(200)는 기판 처리 장치(100)가 헤드 유닛(40)에 대한 메인터넌스를 수행할 수 있도록 기판 처리 장치(100)를 제어할 수 있다. 또한, 제어기(200)는 비젼부(60)로부터 정보를 제공받아 헤드 유닛(40)과 세정 유닛(52)의 위치를 보정하도록 제어한다. 예컨대, 제어기(200)는 제1티칭홈(71)들과 제3티칭홈(73)들이 틀어지면 헤드 유닛(40)의 위치를 보정하고, 제2티칭홈(72)들과 제4티칭홈(74)들이 틀어지면 헤드 메인터넌스 유닛의 세정 유닛(52) 위치를 보정한다.
예컨대, 제어기(200)는 세정 유닛(52)이 헤드(42)를 세정할 수 있도록 세정 유닛을 제어할 수 있다. 또한, 제어기(200)는 기판 처리 장치(100)의 제어를 실행하는 마이크로프로세서(컴퓨터)로 이루어지는 프로세스 컨트롤러와, 오퍼레이터가 기판 처리 장치(100)를 관리하기 위해서 커맨드 입력 조작 등을 행하는 키보드나, 기판 처리 장치(100)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스와, 기판 처리 장치(100)에서 실행되는 처리를 프로세스 컨트롤러의 제어로 실행하기 위한 제어 프로그램이나, 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 각 구성부에 처리를 실행시키기 위한 프로그램, 즉 처리 레시피가 저장된 기억부를 구비할 수 있다. 또한, 유저 인터페이스 및 기억부는 프로세스 컨트롤러에 접속되어 있을 수 있다. 처리 레시피는 기억 부 중 기억 매체에 기억되어 있을 수 있고, 기억 매체는, 하드 디스크이어도 되고, CD-ROM, DVD 등의 가반성 디스크나, 플래시 메모리 등의 반도체 메모리 일 수도 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 프린팅 영역 20 : 메인터넌스 영역
30 : 겐트리 40 : 헤드 유닛
50 : 헤드 메인터넌스 유닛 60 : 비전부

Claims (8)

  1. 기판을 처리하는 장치에 있어서,
    기판으로 처리 액을 토출하는 적어도 하나 이상의 노즐이 형성된 헤드를 포함하는 헤드 유닛; 및
    상기 헤드에 대한 메인터넌스를 수행하는 헤드 메인터넌스 유닛을 포함하고,
    상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 메인터넌스를 위한 지정된 위치에 정렬되었는지를 확인하는 티칭부재를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 티칭부재는
    상기 헤드 유닛의 측면들에 제공되는 상부 티칭홈들; 및
    상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 지정된 위치에 위치되었을 때 상기 상부 티칭홈들과 일직선상에 위치되도록 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 측면들에 제공되는 하부 티칭홈들을 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 헤드 메인터넌스 유닛을 상기 지정된 위치로 이동시키는 제1구동부;
    상기 헤드 유닛을 상기 지정된 위치로 이동시키는 제2구동부; 및
    상기 지정된 위치로 이동된 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 상기 티칭 부재를 확인하는 비젼부; 및
    상기 상부 티칭홈들과 상기 하부 티칭홈들이 일직선상에 정렬되도록 상기 제1구동부와 상기 제2구동부를 제어하는 제어부를 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 기판이 제1 방향을 따라 이송되고, 잉크젯 헤드를 사용하여 기판 상에 약액을 토출하는 프린팅 공정이 이루어지는 프린팅 영역;
    상기 프린팅 영역과 나란히 배치되고, 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스가 이루어지는 메인터넌스 영역;
    상기 프린팅 영역 및 상기 메인터넌스 영역으로 상기 잉크젯 헤드가 무빙할 수 있게 제2방향을 따라 연장되는 구조를 갖도록 구비되는 갠트리;
    상기 메인터넌스 영역에 상기 제1방향을 따라 이동 가능하게 제공되고, 상기 갠트리에 의해 상기 메인터넌스 영역으로 이동된 상기 잉크젯 헤드에 대한 메인터넌스를 수행하는 헤드 메인터넌스 유닛; 및
    상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 메인터넌스 영역의 지정된 위치로 이동되었는지를 확인하는 티칭부재를 포함하는 기판 처리 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 티칭부재는
    상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛에 제공되는 티칭홈들을 포함하는 기판 처리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 티칭홈들은
    상기 제1방향을 향하는 상기 헤드 유닛의 제1측면들에 제공되는 제1티칭홈들;
    상기 제2방향을 향하는 상기 헤드 유닛의 제2측면들에 제공되는 제2티칭홈들;
    상기 제1방향을 향하는 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 제1측면들에 제공되고 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 지정된 위치에 위치되었을 때 상기 제1티칭홈들과 일직선상에 정렬되는 제3티칭홈들;
    상기 제2방향을 향하는 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 제2측면들에 제공되고 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛이 상기 지정된 위치에 위치되었을 때 상기 제2티칭홈들과 일직선상에 정렬되는 제4티칭홈들을 포함하는 기판 처리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 지정된 위치로 이동된 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 상기 티칭홈들을 확인하는 비젼부; 및
    상기 티칭홈들이 정렬되도록 상기 헤드 유닛과 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 위치를 보정하도록 제어하는 제어부를 포함하는 기판 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제어부는
    상기 제1티칭홈들과 상기 제3티칭홈들이 틀어지면 상기 헤드 유닛의 위치를 보정하고,
    상기 제2티칭홈들과 상기 제4티칭홈들이 틀어지면 상기 헤드 메인터넌스 유닛의 위치를 보정하는 기판 처리 장치.
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