KR20220030659A - 유연기판 이송용 에어 플로팅 노즐 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐은 기판의 이송방향에 수직하게 배치되고, 에어가 유동되는 타공홀이 복수개 형성된 타공 플레이트; 상기 타공 플레이트에 결합되고, 내부에 상기 에어가 유동되는 제1공동부를 형성하는 사이드 플레이트; 상기 제1공동부에 배치되고, 측면에 경사부가 형성되며, 일면에 흡입구가 개구되어 형성되고, 내부에 상기 흡입구에 연통된 제2공동부가 형성되는 내측 바디; 상기 사이드 플레이트의 측면에 결합되어, 상기 제1공동부 및 상기 제2공동부를 차폐하는 벤트 플레이트; 및 상기 사이드 플레이트의 내측에 구비되고, 상기 경사부와 일정간격 이격된 토출구를 형성하여, 상기 제1공동부에 유동된 상기 에어를 상기 토출구로 토출시키는 에어 가이드; 를 포함한다.

Description

유연기판 이송용 에어 플로팅 노즐{air floating nozzle for transporting flexible substrate}

본 발명은 에어 플로팅 노즐에 관한 것으로, 기판을 비접촉식으로 이송하면서 안정적으로 이송할 수 있는 유연기판 이송용 에어 플로팅 노즐에 관한 것이다.

에어 플로팅 노즐(air floating nozzle)은 필름, 원단, 시트 등 유연한 재질의 기판을 컨베이어에서 이송할 때, 기판(S)을 컨베이어에 일정 간격 부상시켜 기판이 컨베이어에 접촉되지 않도록 비접촉식으로 이송시키는 장치이다.

도 1에는 일반적인 에어 플로팅 노즐(1)이 도시되어 있다. 이러한 에어 플로팅 노즐(1)은 기판(S)을 기준으로 상측 및/또는 하측에 배치될 수 있다. 에어 플로팅 노즐(1)이 하측에만 배치될 경우 기판(S)을 비접촉식으로 이송하는 기능을 하며, 에어 플로팅 노즐(1)이 상측 및 하측에 배치될 경우 기판(S)을 비접촉식으로 이송하면서 기판(S)의 건조를 수행할 수 있다.

이때, 기판(S)의 하측에 배치된 하나의 에어 플로팅 노즐(1)은 도 2에 도시된 것과 같이, 기판(S)의 이송방향(D)에 수직하게 배치된다. 즉, 에어 플로팅 노즐(1)은 기판(S)의 폭방향(W)을 따라 배치되어, 기판(S)의 폭방향(W)을 따라 에어를 분사하여 기판(S)을 컨베이어로부터 부상시킨다.

이때, 에어 플로팅 노즐(1)에서 분사되는 에어는 기판(S)의 폭방향(W)을 따라 균일하게 분사되어야 하는데, 에어 플로팅 노즐(1)의 제작 시 발생되는 가공오차 등으로 인해 에어가 분사되는 토출구의 치수가 일정치 않아, 에어가 균일하게 분사되지 못하게 되어, 기판(S)의 이송불량이 발생하기도 한다.

또한, 에어 플로팅 노즐(1)의 양 단부에서 분사되는 에어는 기판(S)의 엣지부(E)와 에어 플로팅 노즐(1) 사이로 배출되는 방향으로 유동되는데, 이때 유동되는 에어는 기판(S)의 엣지부(E)에 작용하여 엣지부(E)가 떨리는 파동 현상을 발생시킨다. 이러한 엣지부(E)의 파동은 기판(S)의 중앙부(M)로 전달되어 기판(S)의 이송에 장애를 일으키기도 한다.

따라서, 에어를 균일하게 분사하며, 기판(S)의 엣지부(E)에 발생되는 파동 현상을 방지할 수 있는 에어 플로팅 노즐의 개발이 필요한 실정이다.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 기판을 비접촉식으로 이송하면서 안정적으로 이송할 수 있는 유연기판 이송용 에어 플로팅 노즐을 제공하는데 있다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐은 기판의 이송방향에 수직하게 배치되고, 에어가 유동되는 타공홀이 복수개 형성된 타공 플레이트; 상기 타공 플레이트에 결합되고, 내부에 상기 에어가 유동되는 제1공동부를 형성하는 사이드 플레이트; 상기 제1공동부에 배치되고, 측면에 경사부가 형성되며, 일면에 흡입구가 개구되어 형성되고, 내부에 상기 흡입구에 연통된 제2공동부가 형성되는 내측 바디; 상기 사이드 플레이트의 측면에 결합되어, 상기 제1공동부 및 상기 제2공동부를 차폐하는 벤트 플레이트; 및 상기 사이드 플레이트의 내측에 구비되고, 상기 경사부와 일정간격 이격된 토출구를 형성하여, 상기 제1공동부에 유동된 상기 에어를 상기 토출구로 토출시키는 에어 가이드; 를 포함한다.

또한, 상기 토출구로 유동된 상기 에어는 상기 흡입구로 유동될 수 있다.

또한, 상기 내측 바디는, 상기 타공 플레이트에 수평하게 배치되고, 상기 벤트 플레이트에 결합되는 내측 프레임; 및 상기 내측 프레임에 결합되고, 측면에 제1경사부 및 제2경사부가 대칭되게 형성되며, 일면에 상기 제1경사부 및 상기 제2경사부에 대응되는 제1흡입구 및 제2흡입구가 개구되어 형성되고, 내부에 상기 제2공동부가 형성되는 내측 하우징; 을 포함할 수 있다.

또한, 상기 내측 하우징에는 상기 제2공동부를 분할하는 격벽이 구비될 수 있다.

또한, 상기 제1경사부는 상기 에어 가이드와 제1토출구를 형성하고, 상기 제2경사부는 상기 에어 가이드와 제2토출구를 형성할 수 있다.

또한, 상기 벤트 플레이트에는 벤트홀이 개구되어 형성될 수 있다.

또한, 상기 벤트 플레이트는, 상기 사이드 플레이트의 측면에 결합되고, 상기 제2공동부에 연통되는 제1벤트홀이 개구되어 형성되는 벤트 프레임; 및 상기 벤트 프레임에 회전 가능하게 구비되어, 상기 제1벤트홀에 대응되는 제2벤트홀이 개구되어 형성되는 조절기구; 를 포함할 수 있다.

또한, 상기 제2공동부로 유동된 상기 에어는 상기 제1벤트홀로 유동될 수 있다.

또한, 상기 제1벤트홀로 유동된 상기 에어는 상기 제2벤트홀로 유동될 수 있다.

또한, 상기 조절기구는 상기 제1벤트홀을 차폐하는 차폐부가 형성될 수 있다.

기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.

본 발명의 일 실시예에 의한 에어 플로팅 노즐에 따르면 기판을 비접촉식으로 이송하면서 안정적으로 이송할 수 있게 된다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

도 1은 일반적인 에어 플로팅 노즐(1)의 개략도이다.
도 2는 일반적인 에어 플로팅 노즐(1)이 기판(S)에 에어를 토출하는 경우, 기판(S)의 엣지부(E)에 파동이 발생되는 것을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐의 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 A부분의 확대도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐의 측면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어의 유동경로가 도시된 개략도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 벤트 플레이트(40)의 분해사시도이다.
도 9는 에어가 벤트홀(41)로 유동되는 것이 도시된 도면이다.

본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 용어가 동일하더라도 표시하는 부분이 상이하면 도면 부호가 일치하지 않음을 미리 말해두는 바이다.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 실험자 및 측정자와 같은 조작자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

본 명세서에서 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.

본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가진 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

또한, 어떤 부분이 어떤 구성 요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

이하에서 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 도면부호는 동일한 부재를 나타낸다.

이하, 도 3 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐에 대하여 설명한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐의 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 A부분의 확대도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐의 측면도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어의 유동경로가 도시된 개략도이다.

도 3 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐은, 기판(S)의 이송방향(D)에 수직하게 배치되고, 에어가 유동되는 타공홀(11)이 복수개 형성된 타공 플레이트(10), 상기 타공 플레이트(10)에 결합되고, 내부에 상기 에어가 유동되는 제1공동부(C1)를 형성하는 사이드 플레이트(20), 상기 제1공동부(C1)에 배치되고, 측면에 경사부(32)가 형성되며, 일면(31)에 흡입구(33)가 개구되어 형성되고, 내부에 상기 흡입구(33)에 연통된 제2공동부(C2)가 형성되는 내측 바디(30), 상기 사이드 플레이트(20)의 측면에 결합되어, 상기 제1공동부(C1) 및 상기 제2공동부(C2)를 차폐하는 벤트 플레이트(40), 및 상기 사이드 플레이트(20)의 내측에 구비되고, 상기 경사부(32)와 일정간격 이격된 토출구(51)를 형성하여, 상기 제1공동부(C1)에 유동된 상기 에어를 상기 토출구(51)로 토출시키는 에어 가이드(50)를 포함한다.

기판(S)은 필름, 원단, 글래스, 평판(flat panel), 시트, 유연 디스플레이(flexible display)용 유연 시트, 2차전지용 유연재질의 시트로 실시될 수 있으나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. 이하에서, 기판(S)은 유연기판(flexible substrate)로 실시되는 것으로 설명하나, 이에 실시예가 한정되지 않는다. 여기서, 기판(S)의 이송방향(D)은 도 1 및 도 3에 도시된 것과 같이 기판(S)이 이송되는 방향으로 정의한다.

타공 플레이트(10)는 기판(S)의 이송방향(D)에 수직하게 배치된다.

타공 플레이트(10)에는 에어가 유동되는 타공홀(11)이 형성된다. 타공홀(11)은 타공 플레이트(10)에 복수개가 개구되어 형성될 수 있다. 타공홀(11)은 타공 플레이트(10)의 전체에 균일하게 형성된다.

타공 플레이트(10)는 에어 공급모듈(60)에 연결될 수 있다. 에어 공급모듈(60)로부터 에어가 타공 플레이트(10)에 공급된다. 이 경우, 에어는 복수개의 타공홀(11)로 유동된다. 에어는 타공 플레이트(10)의 전체에 균일하게 형성된 복수개의 타공홀(11)을 통과하여 분산되므로, 후술하는 제1공동부(C1)로 균일하게 유동된다.

사이드 플레이트(20)는 타공 플레이트(10)에 결합된다. 사이드 플레이트(20)는 타공 플레이트(10)의 장변(長邊)에 결합될 수 있다. 사이드 플레이트(20)는 타공 플레이트(10)의 양측 장변에 각각 결합될 수 있다.

사이드 플레이트(20)는 타공 플레이트(10)와 함께 내부에 에어가 유동되는 제1공동부(C1)를 형성한다. 이 경우, 타공 플레이트(10)의 타공홀(11)을 통과한 에어가 제1공동부(C1)에 유동된다. 이때, 에어는 타공 플레이트(10)의 전체에 형성된 타공홀(11)을 통과하여 분산되므로, 제1공동부(C1)에 균일하게 유동될 수 있다.

내측 바디(30)는 제1공동부(C1)에 배치된다. 내측 바디(30)는 사이드 플레이트(20)와 이격되게 배치될 수 있다. 내측 바디(30)는 타공 플레이트(10)와 이격되게 배치될 수 있다. 내측 바디(30)는 일면(31)이 사이드 플레이트(20)로부터 돌출되게 배치될 수 있다. 이 경우, 내측 바디(30)의 일면(31)은 기판(S)에 대향되는 면을 가리킨다.

내측 바디(30)는 일면(31)에 흡입구(33)가 개구되어 형성된다. 흡입구(33)는 내측 바디(30)의 길이방향을 따라 개구되어 형성될 수 있다. 흡입구(33)는 내측 바디(30)에 복수개 형성될 수 있다.

내측 바디(30)는 측면에 경사지게 형성되는 경사부(32)가 형성된다. 이 경우, 제1공동부(C1)로 유동된 에어는 경사부(32)로 유동될 수 있다. 경사부(32)는 내측 바디(30)의 일면(31)에 연장되어 형성될 수 있다.

내측 바디(30)는 내부에 제2공동부(C2)가 형성된다. 이때, 제2공동부(C2)는 흡입구(33)에 연통된다. 이 경우, 후술하는 것과 같이, 에어가 흡입구(33)를 통과하여 제2공동부(C2)로 유동될 수 있다.

벤트 플레이트(40)는 사이드 플레이트(20)의 측면에 결합된다. 벤트 플레이트(40)는 내측 바디(30)의 측면에 결합될 수 있다. 벤트 플레이트(40)는 타공 플레이트(10)의 단변(短邊))에 결합될 수 있다. 이 경우, 벤트 플레이트(40)는 제1공동부(C1) 및/또는 제2공동부(C2)를 차폐할 수 있다. 또한, 벤트 플레이트(40)에는 후술하는 것과 같이 벤트홀(41)이 형성될 수 있다.

에어 가이드(50)는 사이드 플레이트(20)의 내측에 구비된다. 에어 가이드(50)는 사이드 플레이트(20)와 내측 바디(30)의 사이에 구비될 수 있다.

에어 가이드(50)는 경사부(32)와 일정간격 이격되게 배치된다. 이때, 에어 가이드(50)는 경사부(32)와 일정간격 이격된 토출구(51)를 형성한다. 이 경우, 에어 가이드(50)는 제1공동부(C1)에 유동된 에어를 토출구(51)로 토출시킨다. 이에 따라, 에어가 에어 플로팅 노즐에서 토출되어, 기판(S)에 작용될 수 있게 된다.

이때, 토출구(51)는 일정한 간격을 형성한다. 즉, 에어 가이드(50)와 경사부(32)가 수평하게 배치되고, 에어 가이드(50)와 경사부(32) 사이의 간격이 일정하게 형성되어, 토출구(51)가 일정한 간격을 형성하도록 한다. 이에 따라, 에어가 균일하게 토출구(51)로 토출될 수 있게 된다.

여기서, 토출구(51)로 유동된 에어는 흡입구(33)로 유동된다. 즉, 도 6과 같이, 타공홀(11)을 통과하여 유동된 에어는 제1공동부(C1)로 균일하게 유동되고, 제1공동부(C1)로 유동된 에어는 토출구(51)로 유동된다. 토출구(51)로 유동된 에어는 내측 바디(30)에 형성된 흡입구(33)로 유동되면서, 기판(S)을 부상시키게 된다. 이후, 에어는 흡입구(33)를 통과하여, 흡입구(33)에 연통된 제2공동부(C2)로 유동된다.

이때, 상술한 것과 같이, 토출구(51)가 일정한 간격을 형성하므로, 에어가 토출구(51)를 통해 균일하게 토출된 후 흡입구(33)로 유동되면서, 기판(S)을 안정적으로 부상시킬 수 있게 된다. 또한, 기판에 에어를 토출하므로, 기판을 건조시킬 수 있다. 이에 따라, 기판(S)을 비접촉식으로 이송하면서 안정적으로 이송할 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 내측 바디(30)의 상세구조에 대하여 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 내측 바디(30)는, 상기 타공 플레이트(10)에 수평하게 배치되고, 상기 벤트 플레이트(40)에 결합되는 내측 프레임(34), 및 상기 내측 프레임(34)에 결합되고, 측면에 제1경사부(32a) 및 제2경사부(32b)가 대칭되게 형성되며, 일면(31)에 상기 제1경사부(32a) 및 상기 제2경사부(32b)에 대응되는 제1흡입구(33a) 및 제2흡입구(33b)가 개구되어 형성되고, 내부에 상기 제2공동부(C2)가 형성되는 내측 하우징(35)을 포함한다.

내측 프레임(34)은 타공 플레이트(10)에 수평하게 배치된다. 내측 프레임(34)은 타공 플레이트(10)와 이격되게 배치된다.

내측 프레임(34)은 벤트 플레이트(40)에 결합된다. 내측 프레임(34)은 벤트 플레이트(40)에 지지되어, 타공 플레이트(10)와 이격되게 배치될 수 있게 된다. 이 경우, 내측 프레임(34)은 내측 하우징(35)을 타공 플레이트(10)에 이격되게 배치시켜, 내측 바디(30)가 사이드 플레이트(20)와 함께 제1공동부(C1)를 형성할 수 있게 한다.

내측 하우징(35)은 내측 프레임(34)에 결합된다. 내측 하우징(35)은 내측 프레임(34)에 지지되어, 타공 플레이트(10)와 이격되게 배치될 수 있다. 이에 따라, 내측 하우징(35)이 제1공동부(C1)를 형성할 수 있게 된다.

내측 하우징(35)은 사이드 플레이트(20)의 내측에 배치된다. 내측 하우징(35)은 일면(31)이 사이드 플레이트(20)로부터 돌출되게 배치될 수 있다. 여기서, 내측 하우징(35)의 일면(31)은 기판(S)에 대향되는 면을 가리킨다. 이 경우, 내측 하우징(35)의 일면(31)에는 상술한 흡입구(33)가 개구되어 형성될 수 있다.

내측 하우징(35)은 측면에 상술한 경사부(32)가 형성된다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 내측 하우징(35)에는 측면에 제1경사부(32a) 및 제2경사부(32b)가 대칭되게 형성된다.

이 경우, 제1경사부(32a) 및 제2경사부(32b)는 각각에 대향된 에어 가이드(50)와 일정간격 이격되게 배치되어, 토출구(51)를 형성한다. 이때, 제1경사부(32a)는 에어 가이드(50)와 제1토출구(51a)를 형성하고, 제2경사부(32b)는 에어 가이드(50)와 제2토출구(51b)를 형성한다.

내측 하우징(35)에는 흡입구(33)가 형성된다. 이 경우, 제1경사부(32a)에 대응되는 흡입구(33)는 제1흡입구(33a), 제2경사부(32b)에 대응되는 흡입구(33)는 제2흡입구(33b)로 정의한다.

내측 하우징(35)은 내부에 상술한 제2공동부(C2)를 형성한다. 상술한 것과 같이, 제2공동부(C2)는 제1흡입구(33a) 및 제2흡입구(33b)에 연통된다.

이 경우, 제1토출구(51a)로 유동된 에어는 제1흡입구(33a)로 유동된 후 제1흡입구(33a)를 통과하여 제1흡입구(33a)에 연통된 제2공동부(C2)로 유동된다. 마찬가지로, 제2토출구(51b)로 유동된 에어는 제2흡입구(33b)로 유동된 후 제2흡입구(33b)를 통과하여 제2흡입구(33b)에 연통된 제2공동부(C2)로 유동된다.

이때, 제1토출구(51a)로 유동되어 제1흡입구(33a)로 유동된 에어의 유동방향은, 제2토출구(51b)로 유동되어 제2흡입구(33b)로 유동된 에어의 유동방향과 서로 대향될 수 있다.

내측 하우징(35)에는 제2공동부(C2)를 분할하는 격벽(351)이 구비된다. 격벽(351)은 제2공동부(C2)를 2개로 분할하는 기능을 한다. 격벽(351)은 제2공동부(C2)를 분할하여, 제1흡입구(33a) 및 제2흡입구(33b)를 각각 통과하여 제2공동부(C2)로 유동된 에어가 제2공동부(C2) 내부에서 서로 혼합되어 볼텍스(vortex) 현상이 발생되는 것을 방지한다.

즉, 격벽(351)을 기준으로, 제1흡입구(33a)를 통과한 에어와 제2흡입구(33b)를 통과한 에어는 유동방향이 서로 대향될 수 있으므로, 격벽(351)이 없는 경우 제2공동부(C2) 내부에서 와류 또는 볼텍스를 일으킬 수 있다. 이 경우, 볼텍스 현상에 의해 기판(S)을 부상하는 에어의 유동경로가 변화되어 기판(S)에 에어가 불균일하게 토출될 수 있으므로, 격벽(351)이 제1흡입구(33a) 및 제2흡입구(33b)를 각각 통과하여 제2공동부(C2)로 유동되는 대향되는 에어를 서로 차단시켜, 제2공동부(C2) 내부에서 볼텍스 현상이 발생되는 것을 방지한다.

이에 따라, 기판(S)을 비접촉식으로 이송하면서 에어의 유동을 제어하여, 기판(S)을 안정적으로 이송시킬 수 있게 된다.

이하, 도 7 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 벤트 플레이트(40)에 대하여 설명한다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 에어 플로팅 노즐의 측면도이고, 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 벤트 플레이트(40)의 분해사시도이고, 도 9는 에어가 벤트홀(41)로 유동되는 것이 도시된 도면이다.

도 7 내지 도 9를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 벤트 플레이트(40)에는 벤트홀(41)이 개구되어 형성된다. 벤트홀(41)은 벤트 플레이트(40)에 하나 이상 형성될 수 있다.

벤트홀(41)은 벤트 플레이트(40)를 관통하도록 벤트 플레이트(40)에 개구되어 형성된다. 벤트홀(41)은 제2공동부(C2)에 연통된다. 이 경우, 제2공동부(C2)에 유동된 에어가 벤트홀(41)을 통해 유동될 수 있다.

종래기술에서 상술한 것과 같이, 일반적인 에어 플로팅 노즐의 양 단부에서 분사되는 에어는 기판(S)의 엣지부(E)와 에어 플로팅 노즐 사이로 배출되는 방향으로 유동된다.

이때, 기판(S)이 유연(flexible) 재질로 실시됨에 따라, 에어가 기판(S)의 엣지부(E)에 작용하여 엣지부(E)가 떨리는 파동 현상을 발생시킨다. 이러한 엣지부(E)의 파동은 기판(S)의 중앙부(M)로 전달되어 기판(S)의 이송에 장애를 일으키기도 한다.

본 발명의 에어 플로팅 노즐은 양 단부에 위치한 벤트 플레이트(40)에 벤트홀(41)이 개구되어 형성되고, 제2공동부(C2)와 벤트홀(41)이 연통되어, 제2공동부(C2)로 유동된 공기가 벤트홀(41)로 유동된다.

이 경우, 에어 플로팅 노즐의 양 단부에서 분사되는 에어가 흡입구(33)를 통해 제2공동부(C2)로 유동되어 1차적으로 엣지부(E)의 파동을 억제하며, 제2공동부(C2)에 유동된 에어가 다시 벤트홀(41)을 통해 에어 플로팅 노즐의 측면으로 유동되어, 2차적으로 엣지부(E)의 파동을 억제하여, 에어가 기판(S)의 엣지부(E)에 작용되지 않게 된다.

이에 따라, 기판(S)의 엣지부(E)로 유동되는 에어의 유량을 감소시키므로, 기판(S)의 엣지부(E)에 파동이 발생되는 것을 방지할 수 있게 되어, 기판(S)을 안정적으로 이송할 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 벤트 플레이트(40)의 상세구조에 대하여 설명한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 벤트 플레이트(40)는 상기 사이드 플레이트(20)의 측면에 결합되고, 상기 제2공동부(C2)에 연통되는 제1벤트홀(41a)이 개구되어 형성되는 벤트 프레임(42), 및 상기 벤트 프레임(42)에 회전 가능하게 구비되어, 상기 제1벤트홀(41a)에 대응되는 제2벤트홀(41b)이 개구되어 형성되는 조절기구(43)를 포함한다.

벤트 프레임(42)은 에어 플로팅 노즐의 외관을 형성한다. 벤트 프레임(42)은 사이드 플레이트(20)의 측면에 결합된다. 실시예에 따라, 벤트 프레임(42)에는 에어 가이드(50), 사이드 플레이트(20), 내측 프레임(34) 및 타공 플레이트(10)가 결합될 수 있다.

벤트 프레임(42)에는 제1벤트홀(41a)이 개구되어 형성된다. 제1벤트홀(41a)은 반원형으로 형성될 수 있다. 제1벤트홀(41a)은 제2공동부(C2)와 연통된다. 이 경우, 제2공동부(C2)로 유동된 에어는 제1벤트홀(41a)로 유동될 수 있다.

조절기구(43)는 벤트 프레임(42)에 회전 가능하게 구비된다. 이 경우, 조절기구(43)는 축볼트(433)로 관통되어, 벤트 프레임(42)에 회전 가능하게 구비될 수 있다.

조절기구(43)에는 제2벤트홀(41b)이 개구되어 형성된다. 제2벤트홀(41b)은 반원형으로 형성될 수 있다. 제2벤트홀(41b)은 제1벤트홀(41a)에 대응되는 형상으로 개구되어 형성될 수 있다. 이 경우, 벤트홀(41)은 제1벤트홀(41a) 및 제2벤트홀(41b)로 실시될 수 있다.

제1벤트홀(41a)로 유동된 에어는 제2벤트홀(41b)로 유동된다. 이 경우, 제2공동부(C2)에 유동된 에어가 제1벤트홀(41a)로 유동되고, 제1벤트홀(41a)로 유동된 에어가 제2벤트홀(41b)로 유동되어, 최종적으로 에어 플로팅 노즐의 측면으로 유동된다.

이에 따라, 기판(S)의 엣지부(E)에 작용되는 에어의 유량을 감소시켜, 기판(S)의 엣지부(E)에 파동 현상이 발생되는 것을 방지할 수 있게 된다.

실시예에 따라, 조절기구(43)가 회전되어, 제2벤트홀(41b)이 제1벤트홀(41a)에 대응되도록 위치될 수도 있다. 이 경우, 제2벤트홀(41b)이 제1벤트홀(41a)에 완전히 대응되는 위치에 배치되면, 제1벤트홀(41a)이 완전히 개방될 수 있다.

조절기구(43)에는 제1벤트홀(41a)을 차폐하는 차폐부(431)가 형성될 수 있다. 이때, 조절기구(43)가 회전되어 조절기구(43)가 제1벤트홀(41a)을 차폐할 수 있다. 이 경우, 차폐부(431)가 제1벤트홀(41a)에 완전히 대응되는 위치에 배치되면, 제1벤트홀(41a)이 완전히 차폐될 수 있다.

사용자는 기판(S)의 엣지부(E)의 파동을 확인하여, 제1벤트홀(41a)의 개도율(開度率)을 조절할 수 있다. 즉, 엣지부(E)의 파동이 발생되면, 조절기구(43)를 회전시켜, 제1벤트홀(41a)과 제2벤트홀(41b)을 대응시킴에 따라 제1벤트홀(41a)의 개도율을 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 기판(S)의 엣지부(E)에 작용하는 에어의 유량을 감소시킬 수 있다.

반대로, 엣지부(E)의 파동이 발생되지 않으나, 기판(S)의 엣지부(E)가 부상되지 않고 처지게 되면, 조절기구(43)를 회전시켜, 제1벤트홀(41a)의 개도율을 감소시킴에 따라 기판(S)의 엣지부(E)에 작용하는 에어의 유량을 증가시킬 수 있다.

조절기구(43)에는 스토퍼(432)가 구비될 수 있다. 스토퍼(432)는 조절기구(43)의 회전을 제한할 수 있다. 스토퍼(432)는 조절기구(43)의 차폐부(431)에 나사 결합될 수 있다. 이 경우, 사용자는 스토퍼(432)를 회전시켜 스토퍼(432)가 차폐부(431)를 관통하여 벤트 프레임(42)에 지지되게 할 수 있다. 스토퍼(432)가 벤트 프레임(42)에 지지되면, 조절기구(43)가 더 이상 회전되지 않게 된다.

이에 따라, 사용자가 벤트홀(41)의 개도율을 조절한 후 스토퍼(432)로 조절기구(43)의 회전을 제한하여, 일정한 개도율을 유지할 수 있게 된다.

이상, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구의 범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구의 범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

10 : 타공 플레이트 20 : 사이드 플레이트
30 : 내측 바디 40 : 벤트 플레이트
50 : 에어 가이드

Claims (10)

1. 기판의 이송방향에 수직하게 배치되고, 에어가 유동되는 타공홀이 복수개 형성된 타공 플레이트;
   상기 타공 플레이트에 결합되고, 내부에 상기 에어가 유동되는 제1공동부를 형성하는 사이드 플레이트;
   상기 제1공동부에 배치되고, 측면에 경사부가 형성되며, 일면에 흡입구가 개구되어 형성되고, 내부에 상기 흡입구에 연통된 제2공동부가 형성되는 내측 바디;
   상기 사이드 플레이트의 측면에 결합되어, 상기 제1공동부 및 상기 제2공동부를 차폐하는 벤트 플레이트; 및
   상기 사이드 플레이트의 내측에 구비되고, 상기 경사부와 일정간격 이격된 토출구를 형성하여, 상기 제1공동부에 유동된 상기 에어를 상기 토출구로 토출시키는 에어 가이드;
   를 포함하는 에어 플로팅 노즐.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 토출구로 유동된 상기 에어는 상기 흡입구로 유동되는 에어 플로팅 노즐.
   
3. 제1항에 있어서,
   상기 내측 바디는,
   상기 타공 플레이트에 수평하게 배치되고, 상기 벤트 플레이트에 결합되는 내측 프레임; 및
   상기 내측 프레임에 결합되고, 측면에 제1경사부 및 제2경사부가 대칭되게 형성되며, 일면에 상기 제1경사부 및 상기 제2경사부에 대응되는 제1흡입구 및 제2흡입구가 개구되어 형성되고, 내부에 상기 제2공동부가 형성되는 내측 하우징;
   을 포함하는 에어 플로팅 노즐.
   
4. 제3항에 있어서,
   상기 내측 하우징에는 상기 제2공동부를 분할하는 격벽이 구비되는 에어 플로팅 노즐.
   
5. 제3항에 있어서,
   상기 제1경사부는 상기 에어 가이드와 제1토출구를 형성하고, 상기 제2경사부는 상기 에어 가이드와 제2토출구를 형성하는 에어 플로팅 노즐.
   
6. 제1항에 있어서,
   상기 벤트 플레이트에는 벤트홀이 개구되어 형성되는 에어 플로팅 노즐.
   
7. 제1항에 있어서,
   상기 벤트 플레이트는,
   상기 사이드 플레이트의 측면에 결합되고, 상기 제2공동부에 연통되는 제1벤트홀이 개구되어 형성되는 벤트 프레임; 및
   상기 벤트 프레임에 회전 가능하게 구비되어, 상기 제1벤트홀에 대응되는 제2벤트홀이 개구되어 형성되는 조절기구;
   를 포함하는 에어 플로팅 노즐.
   
8. 제7항에 있어서,
   상기 제2공동부로 유동된 상기 에어는 상기 제1벤트홀로 유동되는 에어 플로팅 노즐.
   
9. 제8항에 있어서,
   상기 제1벤트홀로 유동된 상기 에어는 상기 제2벤트홀로 유동되는 에어 플로팅 노즐.
   
10. 제7항에 있어서,
    상기 조절기구는 상기 제1벤트홀을 차폐하는 차폐부가 형성되는 에어 플로팅 노즐.

Images