CN115672670A - 送风系统及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了送风系统，包括送风组件、连接密封组件和风盒组件。所述送风组件包括相对设置的两个送风腔体以及相对设置于每个所述送风腔体侧壁的送风开口，所述连接密封组件包括相对设置于所述两个送风腔体，且均两端开口的两个外导流腔体，所述风盒组件包括两端开口的匀气腔体，每个所述外导流腔体的一端通过所述送风开口固定连接一个所述送风腔体，另一端固定连接所述匀气腔体的一端，所述匀气腔体内设置有内导流组件，所述内导流组件倾斜于所述匀气腔体的延伸方向设置，使自所述匀气腔体两端进入的气流经所述内导流组件作用后转向流动，实现了对目标区域内的送风。

Description

送风系统及其控制方法

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种送风系统及其控制方法。

背景技术

涂胶显影工艺是芯片生产流程中必不可少的一种工艺过程，是精确进行后续工艺步骤的必要条件。其中涂胶显影工艺最重要的工艺指标有四个：膜厚、膜厚均匀性、线宽和线宽均匀性。除此以外，还有配套的颗粒控制、金属离子控制，以及相应的缺陷控制等等，这些都会影响后续工艺的良率，进而影响整个产品的良率，因此对整个腔体的风流控制带来的极高的要求。

涂胶与显影单元是涂胶显影(Track)机台的一大核心单元，直接影响成膜的厚度和厚度均匀性。通常前道Track为了节省空间和成本，涂胶单元会放置2～3个涂胶工艺腔，便于胶臂共用，节省胶泵。在涂胶和显影的工艺腔体里，一般都要用到恒温、恒湿，恒风速的送风系统。在进行涂胶过程中，机械手将晶圆送到涂胶和显影的腔体的承载台上，均匀风流通过晶圆上方的出风面持续流出，承载台吸附晶圆在电机的带动下按一定速率进行旋转，配合晶圆上面的匀流风速，达到均匀涂胶与显影的目的。

现有技术常用的涂胶显影设备送风装置通常对涂胶显影工艺腔进行单侧送风，由于需要送风的目标区域较大，单侧送风难以保证腔体内部各个不同位置的所受的风流速度一致。

因此，有必要开发一种新型送风系统及控制方法，以避免现有技术中存在的上述问题。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种送风系统，实现从同一工艺腔体相对的两侧实现送风。

为实现上述目的，本发明提供的所述送风系统包括送风组件、连接密封组件和风盒组件，所述送风组件包括相对设置的两个送风腔体以及相对设置于每个所述送风腔体侧壁的送风开口，使气体沿所述送风腔体的延伸方向运动，并通过所述送风开口输出；所述连接密封组件包括相对设置于所述两个送风腔体，且均两端开口的两个外导流腔体，所述风盒组件包括两端开口的匀气腔体，每个所述外导流腔体的一端通过所述送风开口固定连接一个所述送风腔体，另一端固定连接所述匀气腔体的一端，所述外导流腔体内两端开口的空腔结构倾斜于所述送风腔体的延伸方向，使进入所述外导流腔体的气体转向流动并从所述匀气腔体的两端沿相对的方向进入所述匀气腔体；所述匀气腔体内设置有内导流组件，所述内导流组件倾斜于所述匀气腔体的延伸方向设置，使自所述匀气腔体两端进入的气体经所述内导流组件作用后转向流动。

本发明的所述送风系统的有益效果在于：所述送风组件包括相对设置的两个送风腔体以及相对设置于每个所述送风腔体侧壁的送风开口，所述连接密封组件包括相对设置于所述两个送风腔体，且均两端开口的两个外导流腔体，所述风盒组件包括两端开口的匀气腔体，每个所述外导流腔体的一端通过所述送风开口固定连接一个所述送风腔体，另一端固定连接所述匀气腔体的一端，所述匀气腔体内设置有内导流组件，所述内导流组件倾斜于所述匀气腔体的延伸方向设置，使自所述匀气腔体两端进入的气体经所述内导流组件作用后转向流动，实现从同一工艺腔体相对的两侧实现送风。

优选的，所述送风组件还包括微调装置，所述微调装置的数目至少为1，以与至少一个所述送风开口相对设置，从而对进入所述送风开口的气体流速进行调节。

进一步优选的，所述微调装置包括送风导流件、流速调节件和流速监测部；所述送风导流件跨所述送风开口设置于所述送风腔体内，使所述送风导流件与每个所述送风腔体的侧壁围成的结构具有底部开口，以与所述外导流腔体相通；所述流速监测部连接所述流速调节件，以获取进入所述送风开口的气体流速信息；所述流速调节件设置于所述送风导流件并靠近所述底部开口，以便于根据所述进入所述送风开口的气体流速信息调节进入所述送风开口的气体流速。

更进一步优选的，所述流速调节件包括相互活动连接的转动轴和挡板，以通过操作所述转动轴调节所述挡板的位置来实现对进入所述送风开口的气体流速控制。

进一步优选的，所述送风组件还包括设置于所述送风腔体侧壁，并与所述流速调节件相对的活动窗口。其有益效果在于：便于安装和控制所述流速调节件。

优选的，所述外导流腔体内的空腔结构沿所述送风腔体的延伸方向形成的各个截面面积沿所述匀气腔体的延伸方向连续减小。

进一步优选的，所述外导流腔体包括沿所述送风腔体的延伸方向相对设置的外导流顶板和外导流底板，所述外导流顶板的底面和所述外导流底板的顶面围成所述空腔结构，所述外导流顶板的底面垂直于所述送风腔体的延伸方向，所述外导流底板的顶面倾斜于所述送风腔体的延伸方向。

更进一步优选的，所述外导流底板的顶面由至少两个倾斜面沿朝向所述匀气腔体的方向顺次相接形成，所述至少两个倾斜面朝向所述送风腔体的延伸方向延伸并与所述送风腔体的延伸方向形成的至少两个倾斜角顺次增加。

优选的，所述内导流组件包括相对设置于所述匀气腔体内的两个内导流孔板，以将所述匀气腔体内分隔为中间内腔体，以及位于所述中间腔体两侧的两个内导流腔体，所述两个内导流腔体分别固定连接相对的两个所述外导流腔体的另一端以实现内部相通，使得所述气体经相对的两个所述外导流腔体进入所述两个内导流腔体后，再经所述两个内导流孔板进入所述中间内腔体。

进一步优选的，所述两个内导流孔板倾斜于所述匀气腔体的设置方向设置。

更进一步优选的，所述匀气腔体的内空腔结构由相对的匀气顶板和匀气底板围成，所述两个内导流孔板的任意一个的一端固定连接所述匀气底板，另一端与所述匀气顶板固定连接，使所述匀气顶板、所述匀气底板和所述两个内导流孔板围成所述中间内腔体。

进一步优选的，所述两个内导流腔体和所述中间内腔体相对所述匀气腔体的中心轴线对称设置。

进一步优选的，所述两个内导流腔体的任意一个沿所述送风腔体的延伸方向形成的各个截面面积沿各自的延伸方向连续减小，所述两个内导流腔体的任意一个的延伸方向由每个所述内导流腔体的一端沿所述匀气腔体的延伸方向指向另一端。

进一步优选的，所述内导流孔板上开设有若干通孔。

优选的，述连接密封组件包括2N个所述外导流腔体，所述风盒组件包括N个所述匀气腔体，每个所述匀气腔体的两端分别固定连接一个所述外导流腔体，N为大于1的正整数。其有益效果在于：整体系统可以根据实际需求，增加或减小目标送风区域的数量。

优选的，所述N个所述匀气腔体相互平行设置。

优选的，所述两个送风腔体均垂直于所述匀气腔体。

本发明的第二目的在于提供一种送风系统的控制方法，实现从同一工艺腔体相对的两侧实现送风。

为实现上述目的，本发明提供的所述送风系统的控制方法，通过气源向所述两个送风腔体内供气，使气体经相对的所述送风开口进入相对的所述两个外导流腔体后，从所述匀气腔体的两端进入所述匀气腔体内，并经所述内导流组件的作用后转向流动。

进一步优选的，通过所述流速监测部获取进入所述送风开口的气体流速信息；根据所述进入所述送风开口的气体流速信息操作所述流速调节件，以调节进入所述送风开口的气体流速。

附图说明

图1为本发明实施例的一种送风系统的结构示意图；

图2为图1所示的送风组件、连接密封组件和一个风盒组件的装配结构示意图；

图3图1所示的单侧送风组件的结构示意图；

图4为图1所示的单个连接密封组件的结构示意图；

图5为图1所示的单个匀气腔体、单个外导流腔体以及单个送风腔体的装配结构示意图；

图6为图5所示的匀气腔体的工作状态示意图；

图7为图6所示的匀气腔体的部分内部结构示意图；

图8为图1所示的送风组件局部结构透视图；

图9为图1所示的送风组件内部结构示意图；

图10为本发明实施例的连接密封组件与送风组件的装配结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

为解决现有技术存在的问题，本发明实施例提供了一种送风系统。

图1为本发明实施例的一种送风系统的结构示意图。图2为图1所示的送风组件、连接密封组件和一个风盒组件的装配结构示意图。图3图1所示的单侧送风组件的结构示意图。

本发明实施例中，所述送风系统包括送风组件、连接密封组件和风盒组件，所述送风组件包括相对设置的两个送风腔体以及相对设置于每个所述送风腔体侧壁的送风开口，使气体沿所述送风腔体的延伸方向运动，并通过所述送风开口输出。

具体的，参照图1，图1所示的送风系统包括送风组件1、连接密封组件2和风盒组件3。具体的，参照图2和图3，所述送风组件1包括相对设置的左送风组件11和右送风组件(图中未标示)，左送风组件11包括送风腔体111以及设置于送风腔体111侧壁的若干送风开口112，气源供气后沿所述送风腔体的延伸方向，即图2所示的A方向，通过所述送风腔体111分别向若干所述送风开口112输出气流。其中，所述右送风组件与所述左送风组件11结构相同，每个所述送风开口112也具有相同的结构。

图4为图1所示的单个连接密封组件的结构示意图。图5为图1所示的单个匀气腔体、单个外导流腔体以及单个送风腔体的装配结构示意图。

本发明实施例中，所述连接密封组件包括相对设置于所述两个送风腔体，且均两端开口的两个外导流腔体，所述风盒组件包括两端开口的匀气腔体，每个所述外导流腔体的一端通过所述送风开口固定连接一个所述送风腔体，另一端固定连接所述匀气腔体的一端，所述外导流腔体内两端开口的空腔结构倾斜于所述送风腔体的延伸方向，使进入所述外导流腔体的气体转向流动并从所述匀气腔体的两端沿相对的方向进入所述匀气腔体。

具体的，参照图1、图4和图5，所述连接密封组件2包括外导流腔体21、外导流顶板211、外导流底板212和连接固定件22，所述外导流腔体21两端均有开口(图中未标示)，所述风盒组件3包括匀气腔体31，所述匀气腔体31两端均有开口(图中未标示)，相对设置的两个所述外导流腔体21的一端通过连接固定件22分别与所述匀气腔体31的两端分别固定，两个所述外导流腔体21的另一端与一组相对设置的所述送风组件1的所述送风开口112相固定。所述外导流顶板211和所述外导流底板212围成所述外导流腔体21内的空腔结构(图中未标示)，所述外导流腔体21内的空腔结构(图中未标示)与送风腔体111的延伸方向存在一定倾斜角度，使进入所述外导流腔体21的气体转向流动并从所述匀气腔体31的两端延相对方向进入所述匀气腔体31。

一些实施例中，两个所述外导流腔体21和两个所述送风腔体111相对所述匀气腔体31的对称轴37以轴对称的方式布置于所述匀气腔体31的两侧，并给所述相对设置的两个所述送风腔体111以相同的条件供气，此时两端进入匀气腔体31的气流速度大小相等、方向相反。

图6为图5所示的匀气腔体的工作状态示意图。图7为图6所示的匀气腔体的部分内部结构示意图。

本发明实施例中，所述匀气腔体内设置有内导流组件，所述内导流组件倾斜于所述匀气腔体的延伸方向设置，使自所述匀气腔体两端进入的气体经所述内导流组件作用后转向流动。

具体的，参照图6和图7，所述匀气腔体31内设置有左内导流孔板321和右内导流孔板322作为内导流组件32，所述左内导流孔板321与所述右内导流孔板322以相同的倾斜程度倾斜于所述匀气腔体的延伸方向，即图7所示的C或E方向，使得自所述匀气腔体31左右两侧进入的气流经内所述左内导流孔板321与所述右内导流孔板322的调整后，气流方向由水平方向转变为竖直向下方向。其中，E方向为C方向的反方向。

本发明实施例中，所述送风组件还包括微调装置，所述微调装置的数目至少为1，以与至少一个所述送风开口相对设置，从而对进入所述送风开口的气体流速进行调节。

一些具体的实施例中，所述微调装置的数目可以为1，以与一个所述送风开口112相对设置，从而对进入所述送风开口112的气体流速进行调节。

一些具体的实施例中，所述微调装置的数目可以为2，以与两个所述送风开口112相对设置，从而对进入所述送风开口112的气体流速进行调节。

本发明实施例中，所述内导流组件包括相对设置于所述匀气腔体内的两个内导流孔板，以将所述匀气腔体内分隔为中间内腔体，以及位于所述中间腔体两侧的两个内导流腔体，所述两个内导流腔体分别固定连接相对的两个所述外导流腔体的另一端以实现内部相通，使得所述气体经相对的两个所述外导流腔体进入所述两个内导流腔体后，再经所述两个内导流孔板进入所述中间内腔体。

具体的，参照图7，左内导流孔板321和右内导流孔板322设置于所述匀气腔体31内，将所述匀气腔体31分隔为中间内腔体33和左内导流腔体341、右导流内腔体342，所述左内导流腔体341与所述右内导流腔体342分别与相对设置的所述外导流腔体21内部相通，使得所述气体经相对设置的所述外导流腔体21进入所述左内导流腔体341和右内导流腔体342内，再经所述左内导流孔板321和右内导流孔板322导流后进入所述中间内腔体33。

本发明实施例中，所述两个内导流孔板倾斜于所述匀气腔体的设置方向设置。

具体的，参照图7，所述左内导流孔板321和所述右内导流孔板322的设置方向与所述匀气腔体31的设置方向之间存在夹角γ。

一些具体的实施例中，所述所述左内导流孔板321和所述右内导流孔板322的设置方向与所述匀气腔体31的设置方向之间的角度γ的范围大于等于135°小于180°。

一些具体的实施例中，γ的范围大于90度小于180度。

本发明实施例中，所述匀气腔体的内空腔结构由相对的匀气顶板和匀气底板围成，所述两个内导流孔板的任意一个的一端固定连接所述匀气底板，另一端与所述匀气顶板固定连接，使所述匀气顶板、所述匀气底板和所述两个内导流孔板围成所述中间内腔体。

具体的，参照图7，所述匀气腔体31由相对设置的所述匀气顶板35和所述匀气底板36围成，所述左内导流孔板321和所述右内导流孔板322的任意一端分别于所述匀气底板36的左端和右端相固定，另一端与所述匀气顶板35相固定，所述匀气顶板35、所述匀气底板36、所述左内导流孔板321和所述右内导流孔板322围成所述中间内腔体33。

本发明实施例中，所述两个内导流腔体和所述中间内腔体相对所述匀气腔体的中心轴线对称设置。

具体的，参照图7，左内导流腔体341和右内导流腔体342以所述匀气腔体31中心轴线37为对称轴镜像分布，其内部空间大小相等，其形状、位置对称。

本发明实施例中，所述两个内导流腔体的任意一个沿所述送风腔体的延伸方向形成的各个截面面积沿各自的延伸方向连续减小，所述两个内导流腔体的任意一个的延伸方向由每个所述内导流腔体的一端沿所述匀气腔体的延伸方向指向另一端。

具体的，参照图7，所述左内导流腔体341和所述右内导流腔体342沿送风腔体111的延伸方向，即垂直方向所形成的各个截面面积沿沿各自的延伸方向，即图中所示C和E方向连续减小。

一些具体的实施例中，所述左内导流孔板321和所述右内导流孔板322均为平板。

一些具体的实施例中，所述左内导流孔板321和所述右内导流孔板322均为弧形板。

图8为图1所示的送风组件局部结构透视图。图9为图1所示的送风组件内部结构示意图。

本发明实施例中，所述微调装置包括送风导流件、流速调节件和流速监测部；所述送风导流件跨所述送风开口设置于所述送风腔体内，使所述送风导流件与每个所述送风腔体的侧壁围成的结构具有底部开口，以与所述外导流腔体相通；所述流速监测部连接所述流速调节件，以获取进入所述送风开口的气体流速信息；所述流速调节件设置于所述送风导流件并靠近所述底部开口，以便于根据所述进入所述送风开口的气体流速信息调节进入所述送风开口的气体流速。

具体的，参照图5、图8和图9，微调装置(图中未标示)包括送风导流件15、流速调节件16和流速监测部(图中未标示)；所述送风导流件15跨所述送风开口112设置于所述送风腔体111内，使所述送风导流件15与所述送风腔体111的侧壁围成的结构具有底部开口，以与所述外导流腔体21(图中未标示)相通；所述流速监测部(图中未标示)连接所述流速调节件16，以获取进入所述送风开口112的气体流速信息；所述流速调节件16设置于所述送风导流件15并靠近所述底部开口，以便于根据所述进入所述送风开口112的气体流速信息调节进入所述送风开口112的气体流速。

本发明实施例中，所述流速调节件包括相互活动连接的转动轴和挡板，以通过操作所述转动轴调节所述挡板的位置来实现对进入所述送风开口的气体流速控制。

具体的，参照图5、图8和图9，所述流速调节件16包括相互活动连接的转动阀19和挡板18，以通过操作所述转动阀19调节所述挡板18的位置来实现对进入所述送风开口112的气体流速控制；当所述挡板方向为竖直向下时，处于正常送风状态；当所述转动阀19顺时针旋转时，所述挡板18朝向所述送风开口112所在的所述送风腔体111的侧壁运动，使所述送风导流件15与所述送风腔体111的侧壁围成结构的底部开口收缩以减小送风；当所述转动阀19逆时针旋转时，所述挡板18远离所述送风开口112所在的所述送风腔体111的侧壁运动，使所述送风导流件15与所述送风腔体111的侧壁围成结构的底部开口扩大以增加送风。

本发明实施例中，所述送风组件还包括设置于所述送风腔体侧壁，并与所述流速调节件相对的活动窗口。

具体的，参照图1和图8，所述送风组件1还包括活动窗口17，所述活动窗口17位于送风腔体侧壁上，并与所述流速调节件16位置相对，以利于通过所述活动窗口17对所述流速调节件16进行调节。

图10为本发明实施例的连接密封组件与送风组件的装配结构示意图。

本发明实施例中，所述外导流腔体内的空腔结构沿所述送风腔体的延伸方向形成的各个截面面积沿所述匀气腔体的延伸方向连续减小。

具体的，参照图10，所述外导流腔体21的空腔结构(图中未标示)沿所述送风腔体111的延伸方向，即图10所示的A方向所形成的各个截面面积沿匀气腔体的延伸方向，即水平方向连续减小。

一些具体实施例中，围成所述外导流腔体21内的空腔结构的所述外导流顶板211和所述外导流底板212，其形状为平面。

一些具体实施例中，所述外导流顶板211为平板，所述外导流底板212为弧形板或折线形板。

本发明实施例中，所述外导流腔体包括沿所述送风腔体的延伸方向相对设置的外导流顶板和外导流底板，所述外导流顶板的底面和所述外导流底板的顶面围成所述空腔结构，所述外导流顶板的底面垂直于所述送风腔体的延伸方向，所述外导流底板的顶面倾斜于所述送风腔体的延伸方向。

具体的，参照图10，所述外导流顶板211底面与送风腔体111的延伸方向，即A方向相垂直，所述外导流底板212顶面与送风腔体111的延伸方向，即A方向存在一定的倾斜角度。

本发明实施例中，所述外导流底板的顶面由至少两个倾斜面沿朝向所述匀气腔体的方向顺次相接形成，所述至少两个倾斜面朝向所述送风腔体的延伸方向延伸并与所述送风腔体的延伸方向形成的至少两个倾斜角顺次增加。

具体的，参照图10，所述外导流底板212的顶面包括朝向所述匀气腔体31的方向顺次相接的第一斜面2121和第二斜面2122，所述第一斜面2121与送风腔体111延伸方向的夹角α小于第二斜面2122与送风腔体111延伸方向的夹角β。

本发明实施例中，所述内导流孔板上开设有若干通孔。具体的，所述左内导流孔板321和所述右内导流孔板322开设的使气流流过的若干通孔以矩形阵列或环形阵列的方式均匀分布于各孔板表面。

本发明实施例中，所述送风组件和所述连接密封组件相对所述风盒组件轴对称设置。

具体的，两个所述送风组件1和所述连接密封组件2相对所述风盒组件3轴对称设置。

本发明实施例中，所述连接密封组件包括2N个所述外导流腔体，所述风盒组件包括N个所述匀气腔体，每个所述匀气腔体的两端分别固定连接一个所述外导流腔体，N为大于1的正整数。

一些具体的实施例中，参照图1，所述若干连接密封组件2共包括12个所述外导流腔体21，所述风盒组件3包括6个所述匀气腔体31，每个所述匀气腔体31的两端分别固定连接一个所述外导流腔体21。

一些具体的实施例中，所述连接密封组件2包括2个所述外导流腔体21，所述风盒组件3包括1个所述匀气腔体31，所述匀气腔体31的两端分别固定连接一个所述外导流腔体21。

本发明实施例中，N个所述匀气腔体相互平行设置。

一些实施例中，N个所述匀气腔体31布置方向之间存在一定倾斜角度，本发明实施例中，所述两个送风腔体均垂直于所述匀气腔体。

一些实施例中，所述送风腔体111的延伸方向与匀气腔体31延伸方向所形成的夹角大于0度并小于90°。

本发明实施例还提供了所述送风系统的控制方法。包括：

通过气源向所述两个送风腔体内供气，使气体经相对的所述送风开口进入相对的所述两个外导流腔体后，从所述匀气腔体的两端进入所述匀气腔体内，并经所述内导流组件的作用后转向流动。

具体的，通过气源向所述两个送风腔体112内供气，使气体经相对的所述送风开口112进入相对的所述两个外导流腔体21后，从所述匀气腔体31的两端进入所述匀气腔体31内，并经所述左内导流组件341和右内导流组件342的作用后转向流动。

本发明实施例中，通过所述流速监测部获取进入所述送风开口的气体流速信息；根据所述进入所述送风开口的气体流速信息操作所述流速调节件，以调节进入所述送风开口的气体流速。

具体的，通过所述流速监测部(图中未标示)获取进入所述送风开口112的气体流速信息；根据所述进入所述送风开口112的气体流速信息操作所述流速调节件16，以调节进入所述送风开口112的气体流速。

虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (20)

1.一种送风系统，其特征在于，包括送风组件、连接密封组件和风盒组件：

所述送风组件包括相对设置的两个送风腔体以及相对设置于每个所述送风腔体侧壁的送风开口，使气流沿所述送风腔体的延伸方向运动，并通过所述送风开口输出；

所述连接密封组件包括相对设置于所述两个送风腔体，且均两端开口的两个外导流腔体，所述风盒组件包括两端开口的匀气腔体，每个所述外导流腔体的一端通过所述送风开口固定连接一个所述送风腔体，另一端固定连接所述匀气腔体的一端，所述外导流腔体内两端开口的空腔结构倾斜于所述送风腔体的延伸方向，使进入所述外导流腔体的气体转向流动并从所述匀气腔体的两端沿相对的方向进入所述匀气腔体；

所述匀气腔体内设置有内导流组件，所述内导流组件倾斜于所述匀气腔体的延伸方向设置，使自所述匀气腔体两端进入的气体经所述内导流组件作用后转向流动。

2.根据权利要求1所述的送风系统，其特征在于，所述送风组件还包括微调装置，所述微调装置的数目至少为1，以与至少一个所述送风开口相对设置，从而对进入所述送风开口的气体流速进行调节。

3.根据权利要求2所述的送风系统，其特征在于，所述微调装置包括送风导流件、流速调节件和流速监测部；

所述送风导流件跨所述送风开口设置于所述送风腔体内，使所述送风导流件与每个所述送风腔体的侧壁围成的结构具有底部开口，以与所述外导流腔体相通；

所述流速监测部连接所述流速调节件，以获取进入所述送风开口的气体流速信息；

所述流速调节件设置于所述送风导流件并靠近所述底部开口，以便于根据所述进入所述送风开口的气体流速信息调节进入所述送风开口的气体流速。

4.根据权利要求3所述的送风系统，其特征在于，所述流速调节件包括相互活动连接的转动轴和挡板，以通过操作所述转动轴调节所述挡板的位置来实现对进入所述送风开口的气体流速控制。

5.根据权利要求3所述的送风系统，其特征在于，所述送风组件还包括设置于所述送风腔体侧壁，并与所述流速调节件相对的活动窗口。

6.根据权利要求1所述的送风系统，其特征在于，所述外导流腔体内的空腔结构沿所述送风腔体的延伸方向形成的各个截面面积沿所述匀气腔体的延伸方向连续减小。

7.根据权利要求6所述的送风系统，其特征在于，所述外导流腔体包括沿所述送风腔体的延伸方向相对设置的外导流顶板和外导流底板，所述外导流顶板的底面和所述外导流底板的顶面围成所述空腔结构，所述外导流顶板的底面垂直于所述送风腔体的延伸方向，所述外导流底板的顶面倾斜于所述送风腔体的延伸方向。

8.根据权利要求7所述的送风系统，其特征在于，所述外导流底板的顶面由至少两个倾斜面沿朝向所述匀气腔体的方向顺次相接形成，所述至少两个倾斜面朝向所述送风腔体的延伸方向延伸并与所述送风腔体的延伸方向形成的至少两个倾斜角顺次增加。

9.根据权利要求1所述的送风系统，其特征在于，所述内导流组件包括相对设置于所述匀气腔体内的两个内导流孔板，以将所述匀气腔体内分隔为中间内腔体，以及位于所述中间腔体两侧的两个内导流腔体，所述两个内导流腔体分别固定连接相对的两个所述外导流腔体的另一端以实现内部相通，使得所述气体经相对的两个所述外导流腔体进入所述两个内导流腔体后，再经所述两个内导流孔板进入所述中间内腔体。

10.根据权利要求9所述的送风系统，其特征在于，所述两个内导流孔板倾斜于所述匀气腔体的设置方向设置。

11.根据权利要求10所述的送风系统，其特征在于，所述匀气腔体内的空腔结构由相对的匀气顶板和匀气底板围成，所述两个内导流孔板的任意一个的一端固定连接所述匀气底板，另一端与所述匀气顶板固定连接，使所述匀气顶板、所述匀气底板和所述两个内导流孔板围成所述中间内腔体。

12.根据权利要求10所述的送风系统，其特征在于，所述两个内导流腔体和所述中间内腔体相对所述匀气腔体的中心轴线对称设置。

13.根据权利要求9所述的送风系统，其特征在于，所述两个内导流腔体的任意一个沿所述送风腔体的延伸方向形成的各个截面面积沿各自的延伸方向连续减小，所述两个内导流腔体的任意一个的延伸方向由每个所述内导流腔体的一端沿所述匀气腔体的延伸方向指向另一端。

14.根据权利要求9所述的送风系统，其特征在于，所述内导流孔板上开设有若干通孔。

15.根据权利要求1所述的送风系统，其特征在于，所述送风组件和所述连接密封组件相对所述风盒组件轴对称设置。

16.根据权利要求1所述的送风系统，其特征在于，所述连接密封组件包括2N个所述外导流腔体，所述风盒组件包括N个所述匀气腔体，每个所述匀气腔体的两端分别固定连接一个所述外导流腔体，N为大于1的正整数。

17.根据权利要求1所述的送风系统，其特征在于，所述N个所述匀气腔体相互平行设置。

18.根据权利要求1所述的送风系统，其特征在于，所述两个送风腔体均垂直于所述匀气腔体。

19.一种如权利要求1-18任一项所述的送风系统的控制方法，其特征在于，通过气源向所述两个送风腔体内供气，使气体经相对的所述送风开口进入相对的所述两个外导流腔体后，从所述匀气腔体的两端进入所述匀气腔体内，并经所述内导流组件的作用后转向流动。

20.根据权利要求19所述的送风系统的控制方法，其特征在于：

通过所述流速监测部获取进入所述送风开口的气体流速信息；

根据所述进入所述送风开口的气体流速信息操作所述流速调节件，以调节进入所述送风开口的气体流速。

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