TWI789866B - 送風系統及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供了送風系統，包括送風元件、連接密封元件和風盒元件。所述送風元件包括相對設置的兩個送風腔體以及相對設置於每個所述送風腔體側壁的送風開口，所述連接密封元件包括相對設置於所述兩個送風腔體，且均兩端開口的兩個外導流腔體，所述風盒元件包括兩端開口的勻氣腔體，每個所述外導流腔體的一端通過所述送風開口固定連接一個所述送風腔體，另一端固定連接所述勻氣腔體的一端，所述勻氣腔體內設置有內導流組件，所述內導流組件傾斜於所述勻氣腔體的延伸方向設置，使自所述勻氣腔體兩端進入的氣流經所述內導流組件作用後轉向流動，實現了對目的地區域內的送風。

Description

送風系統及其控制方法

本發明涉及半導體加工領域，尤其涉及一種送風系統及其控制方法。

塗佈顯影製程是晶片生產流程中必不可少的一種製程過程，是精確進行後續製程步驟的必要條件。其中塗佈顯影製程最重要的製程指標有四個：膜厚、膜厚均勻性、線寬和線寬均勻性。除此以外，還有配套的顆粒控制、金屬離子控制，以及相應的缺陷控制等等，這些都會影響後續製程的良率，進而影響整個產品的良率，因此對整個腔體的風流控制帶來的極高的要求。

塗佈與顯影單元是塗佈顯影(Track)機台的一大核心單元，直接影響成膜的厚度和厚度均勻性。通常前道Track為了節省空間和成本，塗佈單元會放置2~3個塗佈製程腔，便於膠臂共用，節省膠泵。在塗佈和顯影的製程腔體裡，一般都要用到恒溫、恒濕，恒風速的送風系統。在進行塗佈過程中，機械手將晶圓送到塗佈和顯影的腔體的承載臺上，均勻風流通過晶圓上方的出風面持續流出，承載台吸附晶圓在電機的帶動下按一定速率進行旋轉，配合晶圓上面的勻流風速，達到均勻塗佈與顯影的目的。

現有技術常用的塗佈顯影設備送風裝置通常對塗佈顯影製程腔進行單側送風，由於需要送風的目的地區域較大，單側送風難以保證腔體內部 各個不同位置的所受的風流速度一致。

因此，有必要開發一種新型送風系統及控制方法，以避免現有技術中存在的上述問題。

本發明的第一目的在於提供一種送風系統，實現從同一製程腔體相對的兩側實現送風。

為實現上述目的，本發明提供的所述送風系統包括送風元件、連接密封元件和風盒元件，所述送風組件包括相對設置的兩個送風腔體以及相對設置於每個所述送風腔體側壁的送風開口，使氣體沿所述送風腔體的延伸方向運動，並通過所述送風開口輸出；所述連接密封元件包括相對設置於所述兩個送風腔體，且均兩端開口的兩個外導流腔體，所述風盒元件包括兩端開口的勻氣腔體，每個所述外導流腔體的一端通過所述送風開口固定連接一個所述送風腔體，另一端固定連接所述勻氣腔體的一端，所述外導流腔體內兩端開口的空腔結構傾斜於所述送風腔體的延伸方向，使進入所述外導流腔體的氣體轉向流動並從所述勻氣腔體的兩端沿相對的方向進入所述勻氣腔體；所述勻氣腔體內設置有內導流組件，所述內導流組件傾斜於所述勻氣腔體的延伸方向設置，使自所述勻氣腔體兩端進入的氣體經所述內導流組件作用後轉向流動。

本發明的所述送風系統的有益效果在於：所述送風元件包括相對設置的兩個送風腔體以及相對設置於每個所述送風腔體側壁的送風開口，所述連接密封元件包括相對設置於所述兩個送風腔體，且均兩端開口的兩個外導流腔體，所述風盒元件包括兩端開口的勻氣腔體，每個所述外導流腔體的一端通 過所述送風開口固定連接一個所述送風腔體，另一端固定連接所述勻氣腔體的一端，所述勻氣腔體內設置有內導流組件，所述內導流組件傾斜於所述勻氣腔體的延伸方向設置，使自所述勻氣腔體兩端進入的氣體經所述內導流組件作用後轉向流動，實現從同一製程腔體相對的兩側實現送風。

優選的，所述送風元件還包括微調裝置，所述微調裝置的數目至少為1，以與至少一個所述送風開口相對設置，從而對進入所述送風開口的氣體流速進行調節。

進一步優選的，所述微調裝置包括送風導流件、流速調節件和流速監測部；所述送風導流件跨所述送風開口設置於所述送風腔體內，使所述送風導流件與每個所述送風腔體的側壁圍成的結構具有底部開口，以與所述外導流腔體相通；所述流速監測部連接所述流速調節件，以獲取進入所述送風開口的氣體流速資訊；所述流速調節件設置於所述送風導流件並靠近所述底部開口，以便於根據所述進入所述送風開口的氣體流速資訊調節進入所述送風開口的氣體流速。

更進一步優選的，所述流速調節件包括相互活動連接的轉動軸和擋板，以通過操作所述轉動軸調節所述擋板的位置來實現對進入所述送風開口的氣體流速控制。

進一步優選的，所述送風組件還包括設置於所述送風腔體側壁，並與所述流速調節件相對的使用中視窗。其有益效果在於：便於安裝和控制所述流速調節件。

優選的，所述外導流腔體內的空腔結構沿所述送風腔體的延伸方向形成的各個截面面積沿所述勻氣腔體的延伸方向連續減小。

進一步優選的，所述外導流腔體包括沿所述送風腔體的延伸方向相對設置的外導流頂板和外導流底板，所述外導流頂板的底面和所述外導流底板的頂面圍成所述空腔結構，所述外導流頂板的底面垂直於所述送風腔體的延伸方向，所述外導流底板的頂面傾斜於所述送風腔體的延伸方向。

更進一步優選的，所述外導流底板的頂面由至少兩個傾斜面沿朝向所述勻氣腔體的方向順次相接形成，所述至少兩個傾斜面朝向所述送風腔體的延伸方向延伸並與所述送風腔體的延伸方向形成的至少兩個傾斜角順次增加。

優選的，所述內導流組件包括相對設置於所述勻氣腔體內的兩個內導流孔板，以將所述勻氣腔體內分隔為中間內腔體，以及位於所述中間內腔體兩側的兩個內導流腔體，所述兩個內導流腔體分別固定連接相對的兩個所述外導流腔體的另一端以實現內部相通，使得所述氣體經相對的兩個所述外導流腔體進入所述兩個內導流腔體後，再經所述兩個內導流孔板進入所述中間內腔體。

進一步優選的，所述兩個內導流孔板傾斜於所述勻氣腔體的設置方向設置。

更進一步優選的，所述勻氣腔體的內空腔結構由相對的勻氣頂板和勻氣底板圍成，所述兩個內導流孔板的任意一個的一端固定連接所述勻氣底板，另一端與所述勻氣頂板固定連接，使所述勻氣頂板、所述勻氣底板和所述兩個內導流孔板圍成所述中間內腔體。

進一步優選的，所述兩個內導流腔體和所述中間內腔體相對所述勻氣腔體的中心軸線對稱設置。

進一步優選的，所述兩個內導流腔體的任意一個沿所述送風腔體的延伸方向形成的各個截面面積沿各自的延伸方向連續減小，所述兩個內導流腔體的任意一個的延伸方向由每個所述內導流腔體的一端沿所述勻氣腔體的延伸方向指向另一端。

進一步優選的，所述內導流孔板上開設有數個通孔。

優選的，述連接密封元件包括2N個所述外導流腔體，所述風盒組件包括N個所述勻氣腔體，每個所述勻氣腔體的兩端分別固定連接一個所述外導流腔體，N為大於1的正整數。其有益效果在於：整體系統可以根據實際需求，增加或減小目標送風區域的數量。

優選的，所述N個所述勻氣腔體相互平行設置。

優選的，所述兩個送風腔體均垂直於所述勻氣腔體。

本發明的第二目的在於提供一種送風系統的控制方法，實現從同一製程腔體相對的兩側實現送風。

為實現上述目的，本發明提供的所述送風系統的控制方法，通過氣源向所述兩個送風腔體內供氣，使氣體經相對的所述送風開口進入相對的所述兩個外導流腔體後，從所述勻氣腔體的兩端進入所述勻氣腔體內，並經所述內導流組件的作用後轉向流動。

進一步優選的，通過所述流速監測部獲取進入所述送風開口的氣體流速資訊；根據所述進入所述送風開口的氣體流速資訊操作所述流速調節件，以調節進入所述送風開口的氣體流速。

1:送風元件

11:左送風組件

111:送風腔體

112:送風開口

15:送風導流件

16:流速調節件

17:活動窗口

18:擋板

19:轉動閥

2:連接密封元件

21:外導流腔體

211:外導流頂板

212:外導流底板

2121:第一斜面

2122:第二斜面

22:連接固定件

3:風盒元件

31:勻氣腔體

32:內導流組件

321:左內導流孔板

322:右內導流孔板

33:中間內腔體

341:左內導流腔體

342:右內導流腔體

35:勻氣頂板

36:勻氣底板

37:中心軸線

圖1為本發明實施例的一種送風系統的結構示意圖；圖2為圖1所示的送風元件、連接密封元件和一個風盒元件的裝配結構示意圖；圖3為圖1所示的單側送風元件的結構示意圖；圖4為圖1所示的單個連接密封元件的結構示意圖；圖5為圖1所示的單個勻氣腔體、單個外導流腔體以及單個送風腔體的裝配結構示意圖；圖6為圖5所示的勻氣腔體的工作狀態示意圖；圖7為圖6所示的勻氣腔體的部分內部結構示意圖；圖8為圖1所示的送風元件局部結構透視圖；圖9為圖1所示的送風元件內部結構示意圖；圖10為本發明實施例的連接密封元件與送風元件的裝配結構示意圖。

為使本發明實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。除非另外定義，此處使用的技術術語或者科學術語應當為本發明所屬領域內具有一般技能的人士所理解的通常意義。本文中使用的「包括」等類似的詞語意指出現該詞前面的元件或者物件涵蓋出現在該詞後面列舉 的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

為解決現有技術存在的問題，本發明實施例提供了一種送風系統。

圖1為本發明實施例的一種送風系統的結構示意圖。圖2為圖1所示的送風元件、連接密封元件和一個風盒元件的裝配結構示意圖。圖3為圖1所示的單側送風元件的結構示意圖。

本發明實施例中，所述送風系統包括送風元件、連接密封元件和風盒元件，所述送風組件包括相對設置的兩個送風腔體以及相對設置於每個所述送風腔體側壁的送風開口，使氣體沿所述送風腔體的延伸方向運動，並通過所述送風開口輸出。

具體的，參照圖1，圖1所示的送風系統包括送風元件1、連接密封元件2和風盒元件3。具體的，參照圖2和圖3，所述送風元件1包括相對設置的左送風組件11和右送風組件(圖中未標示)，左送風組件11包括送風腔體111以及設置於送風腔體111側壁的數個送風開口112，氣源供氣後沿所述送風腔體的延伸方向，即圖2所示的A方向，通過所述送風腔體111分別向數個所述送風開口112輸出氣流。其中，所述右送風元件與所述左送風元件11結構相同，每個所述送風開口112也具有相同的結構。

圖4為圖1所示的單個連接密封元件的結構示意圖。圖5為圖1所示的單個勻氣腔體、單個外導流腔體以及單個送風腔體的裝配結構示意圖。

本發明實施例中，所述連接密封元件包括相對設置於所述兩個送風腔體，且均兩端開口的兩個外導流腔體，所述風盒元件包括兩端開口的勻氣腔體，每個所述外導流腔體的一端通過所述送風開口固定連接一個所述送風腔 體，另一端固定連接所述勻氣腔體的一端，所述外導流腔體內兩端開口的空腔結構傾斜於所述送風腔體的延伸方向，使進入所述外導流腔體的氣體轉向流動並從所述勻氣腔體的兩端沿相對的方向進入所述勻氣腔體。

具體的，參照圖1、圖4和圖5，所述連接密封元件2包括外導流腔體21、外導流頂板211、外導流底板212和連接固定件22，所述外導流腔體21兩端均有開口(圖中未標示)，所述風盒組件3包括勻氣腔體31，所述勻氣腔體31兩端均有開口(圖中未標示)，相對設置的兩個所述外導流腔體21的一端通過連接固定件22分別與所述勻氣腔體31的兩端分別固定，兩個所述外導流腔體21的另一端與一組相對設置的所述送風元件1的所述送風開口112相固定。所述外導流頂板211和所述外導流底板212圍成所述外導流腔體21內的空腔結構(圖中未標示)，所述外導流腔體21內的空腔結構(圖中未標示)與送風腔體111的延伸方向存在一定傾斜角度，使進入所述外導流腔體21的氣體轉向流動並從所述勻氣腔體31的兩端延相對方向進入所述勻氣腔體31。

一些實施例中，兩個所述外導流腔體21和兩個所述送風腔體111相對所述勻氣腔體31的對稱軸37以軸對稱的方式佈置於所述勻氣腔體31的兩側，並給所述相對設置的兩個所述送風腔體111以相同的條件供氣，此時兩端進入勻氣腔體31的氣流速度大小相等、方向相反。

圖6為圖5所示的勻氣腔體的工作狀態示意圖。圖7為圖6所示的勻氣腔體的部分內部結構示意圖。

本發明實施例中，所述勻氣腔體內設置有內導流組件，所述內導流組件傾斜於所述勻氣腔體的延伸方向設置，使自所述勻氣腔體兩端進入的氣體經所述內導流組件作用後轉向流動。

具體的，參照圖6和圖7，所述勻氣腔體31內設置有左內導流孔板321和右內導流孔板322作為內導流組件32，所述左內導流孔板321與所述右內導流孔板322以相同的傾斜程度傾斜於所述勻氣腔體的延伸方向，即圖7所示的C或E方向，使得自所述勻氣腔體31左右兩側進入的氣流經內所述左內導流孔板321與所述右內導流孔板322的調整後，氣流方向由水平方向轉變為垂直向下方向。其中，E方向為C方向的反方向。

本發明實施例中，所述送風元件還包括微調裝置，所述微調裝置的數目至少為1，以與至少一個所述送風開口相對設置，從而對進入所述送風開口的氣體流速進行調節。

一些具體的實施例中，所述微調裝置的數目可以為1，以與一個所述送風開口112相對設置，從而對進入所述送風開口112的氣體流速進行調節。

一些具體的實施例中，所述微調裝置的數目可以為2，以與兩個所述送風開口112相對設置，從而對進入所述送風開口112的氣體流速進行調節。

本發明實施例中，所述內導流組件包括相對設置於所述勻氣腔體內的兩個內導流孔板，以將所述勻氣腔體內分隔為中間內腔體，以及位於所述中間內腔體兩側的兩個內導流腔體，所述兩個內導流腔體分別固定連接相對的兩個所述外導流腔體的另一端以實現內部相通，使得所述氣體經相對的兩個所述外導流腔體進入所述兩個內導流腔體後，再經所述兩個內導流孔板進入所述中間內腔體。

具體的，參照圖7，左內導流孔板321和右內導流孔板322設置 於所述勻氣腔體31內，將所述勻氣腔體31分隔為中間內腔體33和左內導流腔體341、右導流內腔體342，所述左內導流腔體341與所述右內導流腔體342分別與相對設置的所述外導流腔體21內部相通，使得所述氣體經相對設置的所述外導流腔體21進入所述左內導流腔體341和右內導流腔體342內，再經所述左內導流孔板321和右內導流孔板322導流後進入所述中間內腔體33。

本發明實施例中，所述兩個內導流孔板傾斜於所述勻氣腔體的設置方向設置。

具體的，參照圖7，所述左內導流孔板321和所述右內導流孔板322的設置方向與所述勻氣腔體31的設置方向之間存在夾角γ。

一些具體的實施例中，所述所述左內導流孔板321和所述右內導流孔板322的設置方向與所述勻氣腔體31的設置方向之間的角度γ的範圍大於等於135°小於180°。

一些具體的實施例中，γ的範圍大於90度小於180度。

本發明實施例中，所述勻氣腔體的內空腔結構由相對的勻氣頂板和勻氣底板圍成，所述兩個內導流孔板的任意一個的一端固定連接所述勻氣底板，另一端與所述勻氣頂板固定連接，使所述勻氣頂板、所述勻氣底板和所述兩個內導流孔板圍成所述中間內腔體。

具體的，參照圖7，所述勻氣腔體31由相對設置的所述勻氣頂板35和所述勻氣底板36圍成，所述左內導流孔板321和所述右內導流孔板322的任意一端分別於所述勻氣底板36的左端和右端相固定，另一端與所述勻氣頂板35相固定，所述勻氣頂板35、所述勻氣底板36、所述左內導流孔板321和所述右內導流孔板322圍成所述中間內腔體33。

本發明實施例中，所述兩個內導流腔體和所述中間內腔體相對所述勻氣腔體的中心軸線對稱設置。

具體的，參照圖7，左內導流腔體341和右內導流腔體342以所述勻氣腔體31中心軸線37為對稱軸鏡像分佈，其內部空間大小相等，其形狀、位置對稱。

本發明實施例中，所述兩個內導流腔體的任意一個沿所述送風腔體的延伸方向形成的各個截面面積沿各自的延伸方向連續減小，所述兩個內導流腔體的任意一個的延伸方向由每個所述內導流腔體的一端沿所述勻氣腔體的延伸方向指向另一端。

具體的，參照圖7，所述左內導流腔體341和所述右內導流腔體342沿送風腔體111的延伸方向，即垂直方向所形成的各個截面面積沿沿各自的延伸方向，即圖中所示C和E方向連續減小。

一些具體的實施例中，所述左內導流孔板321和所述右內導流孔板322均為平板。

一些具體的實施例中，所述左內導流孔板321和所述右內導流孔板322均為弧形板。

圖8為圖1所示的送風元件局部結構透視圖。圖9為圖1所示的送風元件內部結構示意圖。

本發明實施例中，所述微調裝置包括送風導流件、流速調節件和流速監測部；所述送風導流件跨所述送風開口設置於所述送風腔體內，使所述送風導流件與每個所述送風腔體的側壁圍成的結構具有底部開口，以與所述外導流腔體相通；所述流速監測部連接所述流速調節件，以獲取進入所述送風開 口的氣體流速資訊；所述流速調節件設置於所述送風導流件並靠近所述底部開口，以便於根據所述進入所述送風開口的氣體流速資訊調節進入所述送風開口的氣體流速。

具體的，參照圖5、圖8和圖9，微調裝置(圖中未標示)包括送風導流件15、流速調節件16和流速監測部(圖中未標示)；所述送風導流件15跨所述送風開口112設置於所述送風腔體111內，使所述送風導流件15與所述送風腔體111的側壁圍成的結構具有底部開口，以與所述外導流腔體21(圖中未標示)相通；所述流速監測部(圖中未標示)連接所述流速調節件16，以獲取進入所述送風開口112的氣體流速資訊；所述流速調節件16設置於所述送風導流件15並靠近所述底部開口，以便於根據所述進入所述送風開口112的氣體流速資訊調節進入所述送風開口112的氣體流速。

本發明實施例中，所述流速調節件包括相互活動連接的轉動軸和擋板，以通過操作所述轉動軸調節所述擋板的位置來實現對進入所述送風開口的氣體流速控制。

具體的，參照圖5、圖8和圖9，所述流速調節件16包括相互活動連接的轉動閥19和擋板18，以通過操作所述轉動閥19調節所述擋板18的位置來實現對進入所述送風開口112的氣體流速控制；當所述擋板方向為垂直向下時，處於正常送風狀態；當所述轉動閥19順時針旋轉時，所述擋板18朝向所述送風開口112所在的所述送風腔體111的側壁運動，使所述送風導流件15與所述送風腔體111的側壁圍成結構的底部開口收縮以減小送風；當所述轉動閥19逆時針旋轉時，所述擋板18遠離所述送風開口112所在的所述送風腔體111的側壁運動，使所述送風導流件15與所述送風腔體111的側壁圍成結構的底部 開口擴大以增加送風。

本發明實施例中，所述送風組件還包括設置於所述送風腔體側壁，並與所述流速調節件相對的使用中視窗。

具體的，參照圖1和圖8，所述送風元件1還包括使用中視窗17，所述使用中視窗17位於送風腔體側壁上，並與所述流速調節件16位置相對，以利於通過所述使用中視窗17對所述流速調節件16進行調節。

圖10為本發明實施例的連接密封元件與送風元件的裝配結構示意圖。

本發明實施例中，所述外導流腔體內的空腔結構沿所述送風腔體的延伸方向形成的各個截面面積沿所述勻氣腔體的延伸方向連續減小。

具體的，參照圖10，所述外導流腔體21的空腔結構(圖中未標示)沿所述送風腔體111的延伸方向，即圖10所示的A方向所形成的各個截面面積沿勻氣腔體的延伸方向，即水平方向連續減小。

一些具體實施例中，圍成所述外導流腔體21內的空腔結構的所述外導流頂板211和所述外導流底板212，其形狀為平面。

一些具體實施例中，所述外導流頂板211為平板，所述外導流底板212為弧形板或折線形板。

本發明實施例中，所述外導流腔體包括沿所述送風腔體的延伸方向相對設置的外導流頂板和外導流底板，所述外導流頂板的底面和所述外導流底板的頂面圍成所述空腔結構，所述外導流頂板的底面垂直於所述送風腔體的延伸方向，所述外導流底板的頂面傾斜於所述送風腔體的延伸方向。

具體的，參照圖10，所述外導流頂板211底面與送風腔體111的 延伸方向，即A方向相垂直，所述外導流底板212頂面與送風腔體111的延伸方向，即A方向存在一定的傾斜角度。

本發明實施例中，所述外導流底板的頂面由至少兩個傾斜面沿朝向所述勻氣腔體的方向順次相接形成，所述至少兩個傾斜面朝向所述送風腔體的延伸方向延伸並與所述送風腔體的延伸方向形成的至少兩個傾斜角順次增加。

具體的，參照圖10，所述外導流底板212的頂面包括朝向所述勻氣腔體31的方向順次相接的第一斜面2121和第二斜面2122，所述第一斜面2121與送風腔體111延伸方向的夾角α小於第二斜面2122與送風腔體111延伸方向的夾角β。

本發明實施例中，所述內導流孔板上開設有數個通孔。具體的，所述左內導流孔板321和所述右內導流孔板322開設的使氣流流過的數個通孔以矩形陣列或環形陣列的方式均勻分佈於各孔板表面。

本發明實施例中，所述送風元件和所述連接密封元件相對所述風盒元件軸對稱設置。

具體的，兩個所述送風元件1和所述連接密封元件2相對所述風盒元件3軸對稱設置。

本發明實施例中，所述連接密封元件包括2N個所述外導流腔體，所述風盒元件包括N個所述勻氣腔體，每個所述勻氣腔體的兩端分別固定連接一個所述外導流腔體，N為大於1的正整數。

一些具體的實施例中，參照圖1，所述數個連接密封元件2共包括12個所述外導流腔體21，所述風盒元件3包括6個所述勻氣腔體31，每個所 述勻氣腔體31的兩端分別固定連接一個所述外導流腔體21。

一些具體的實施例中，所述連接密封元件2包括2個所述外導流腔體21，所述風盒元件3包括1個所述勻氣腔體31，所述勻氣腔體31的兩端分別固定連接一個所述外導流腔體21。

本發明實施例中，N個所述勻氣腔體相互平行設置。

一些實施例中，N個所述勻氣腔體31佈置方向之間存在一定傾斜角度，本發明實施例中，所述兩個送風腔體均垂直於所述勻氣腔體。

一些實施例中，所述送風腔體111的延伸方向與勻氣腔體31延伸方向所形成的夾角大於0度並小於90°。

本發明實施例還提供了所述送風系統的控制方法。包括：通過氣源向所述兩個送風腔體內供氣，使氣體經相對的所述送風開口進入相對的所述兩個外導流腔體後，從所述勻氣腔體的兩端進入所述勻氣腔體內，並經所述內導流組件的作用後轉向流動。

具體的，通過氣源向所述兩個送風腔體111內供氣，使氣體經相對的所述送風開口112進入相對的所述兩個外導流腔體21後，從所述勻氣腔體31的兩端進入所述勻氣腔體31內，並經所述左內導流組件341和右內導流組件342的作用後轉向流動。

本發明實施例中，通過所述流速監測部獲取進入所述送風開口的氣體流速資訊；根據所述進入所述送風開口的氣體流速資訊操作所述流速調節件，以調節進入所述送風開口的氣體流速。

具體的，通過所述流速監測部(圖中未標示)獲取進入所述送風 開口112的氣體流速資訊；根據所述進入所述送風開口112的氣體流速資訊操作所述流速調節件16，以調節進入所述送風開口112的氣體流速。

雖然在上文中詳細說明了本發明的實施方式，但是對於本領域的技術人員來說顯而易見的是，能夠對這些實施方式進行各種修改和變化。但是，應理解，這種修改和變化都屬於請求項書中所述的本發明的範圍和精神之內。而且，在此說明的本發明可有其它的實施方式，並且可通過多種方式實施或實現。

1:送風元件

2:連接密封元件

3:風盒元件

Claims (20)

1. 一種送風系統，包括送風元件、連接密封元件和風盒元件：所述送風元件包括相對設置的兩個送風腔體以及相對設置於每個所述送風腔體側壁的送風開口，使氣流沿所述送風腔體的延伸方向運動，並通過所述送風開口輸出；所述連接密封元件包括相對設置於所述兩個送風腔體，且均兩端開口的兩個外導流腔體，所述風盒元件包括兩端開口的勻氣腔體，每個所述外導流腔體的一端通過所述送風開口固定連接一個所述送風腔體，另一端固定連接所述勻氣腔體的一端，所述外導流腔體內兩端開口的空腔結構傾斜於所述送風腔體的延伸方向，使進入所述外導流腔體的氣體轉向流動並從所述勻氣腔體的兩端沿相對的方向進入所述勻氣腔體；所述勻氣腔體內設置有內導流組件，所述內導流組件傾斜於所述勻氣腔體的延伸方向設置，使自所述勻氣腔體兩端進入的氣體經所述內導流組件作用後轉向流動。
2. 根據請求項1所述的送風系統，其中所述送風元件還包括微調裝置，所述微調裝置的數目至少為1，以與至少一個所述送風開口相對設置，從而對進入所述送風開口的氣體流速進行調節。
3. 根據請求項2所述的送風系統，其中所述微調裝置包括送風導流件、流速調節件和流速監測部；所述送風導流件跨所述送風開口設置於所述送風腔體內，使所述送風導流件與每個所述送風腔體的側壁圍成的結構具有底部開口，以與所述外導流腔體相通； 所述流速監測部連接所述流速調節件，以獲取進入所述送風開口的氣體流速資訊；所述流速調節件設置於所述送風導流件並靠近所述底部開口，以便於根據所述進入所述送風開口的氣體流速資訊調節進入所述送風開口的氣體流速。
4. 根據請求項3所述的送風系統，其中所述流速調節件包括相互活動連接的轉動軸和擋板，以通過操作所述轉動軸調節所述擋板的位置來實現對進入所述送風開口的氣體流速控制。
5. 根據請求項3所述的送風系統，其中所述送風元件還包括設置於所述送風腔體側壁，並與所述流速調節件相對的使用中視窗。
6. 根據請求項1所述的送風系統，其中所述外導流腔體內的空腔結構沿所述送風腔體的延伸方向形成的各個截面面積沿所述勻氣腔體的延伸方向連續減小。
7. 根據請求項6所述的送風系統，其中所述外導流腔體包括沿所述送風腔體的延伸方向相對設置的外導流頂板和外導流底板，所述外導流頂板的底面和所述外導流底板的頂面圍成所述空腔結構，所述外導流頂板的底面垂直於所述送風腔體的延伸方向，所述外導流底板的頂面傾斜於所述送風腔體的延伸方向。
8. 根據請求項7所述的送風系統，其中所述外導流底板的頂面由至少兩個傾斜面沿朝向所述勻氣腔體的方向順次相接形成，所述至少兩個傾斜面朝向所述送風腔體的延伸方向延伸並與所述送風腔體的延伸方向形成的至少兩個傾斜角順次增加。
9. 根據請求項1所述的送風系統，其中所述內導流組件包括相對設置於所述勻氣腔體內的兩個內導流孔板，以將所述勻氣腔體內分隔為中間內腔體，以及位於所述中間內腔體兩側的兩個內導流腔體，所述兩個內導流腔體分別固定連接相對的兩個所述外導流腔體的另一端以實現內部相通，使得所述氣體經相對的兩個所述外導流腔體進入所述兩個內導流腔體後，再經所述兩個內導流孔板進入所述中間內腔體。
10. 根據請求項9所述的送風系統，其中所述兩個內導流孔板傾斜於所述勻氣腔體的設置方向設置。
11. 根據請求項10所述的送風系統，其中所述勻氣腔體內的空腔結構由相對的勻氣頂板和勻氣底板圍成，所述兩個內導流孔板的任意一個的一端固定連接所述勻氣底板，另一端與所述勻氣頂板固定連接，使所述勻氣頂板、所述勻氣底板和所述兩個內導流孔板圍成所述中間內腔體。
12. 根據請求項10所述的送風系統，其中所述兩個內導流腔體和所述中間內腔體相對所述勻氣腔體的中心軸線對稱設置。
13. 根據請求項9所述的送風系統，其中所述兩個內導流腔體的任意一個沿所述送風腔體的延伸方向形成的各個截面面積沿各自的延伸方向連續減小，所述兩個內導流腔體的任意一個的延伸方向由每個所述內導流腔體的一端沿所述勻氣腔體的延伸方向指向另一端。
14. 根據請求項9所述的送風系統，其中所述內導流孔板上開設有數個通孔。
15. 根據請求項1所述的送風系統，其中所述送風元件和所述連接密封元件相對所述風盒元件軸對稱設置。
16. 根據請求項1所述的送風系統，其中所述連接密封元件包括2N個所述外導流腔體，所述風盒元件包括N個所述勻氣腔體，每個所述勻氣腔體的兩端分別固定連接一個所述外導流腔體，N為大於1的正整數。
17. 根據請求項1所述的送風系統，其中所述N個所述勻氣腔體相互平行設置。
18. 根據請求項1所述的送風系統，其中所述兩個送風腔體均垂直於所述勻氣腔體。
19. 一種如請求項1-18任一項所述的送風系統的控制方法，包括通過氣源向所述兩個送風腔體內供氣，使氣體經相對的所述送風開口進入相對的所述兩個外導流腔體後，從所述勻氣腔體的兩端進入所述勻氣腔體內，並經所述內導流組件的作用後轉向流動。
20. 一種如請求項3-5任一項所述的送風系統的控制方法，包括：通過所述流速監測部獲取進入所述送風開口的氣體流速資訊；根據所述進入所述送風開口的氣體流速資訊操作所述流速調節件，以調節進入所述送風開口的氣體流速。

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