KR20220029730A - 다이어프램 밸브 - Google Patents
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Abstract
유로(2)가 형성된 바디(3)와, 상기 유로에 형성된 시트(4)와, 상기 시트에 대하여 접촉 또는 이반함으로써 상기 유로를 개폐하는 금속 다이어프램(5)과, 상기 금속 다이어프램의 양 측면의 둘레 가장자리부를 각각 협지해서 상기 금속 다이어프램을 상기 바디에 고정하는 한쌍의 협지부(6, 7)와, 상기 금속 다이어프램을 상기 시트에 대하여 접촉 또는 이반시키는 액츄에이터(8)를 구비하고, 상기 금속 다이어프램의 시트 측면(5a)은 상기 시트 측면과 상기 협지부(7)의 협지 영역(D-C)을 제외하는 영역이며, 상기 협지 영역에 둘러싸이는 영역(C) 내의 적어도 상기 시트와의 접촉 영역(B-A)에 불소 수지 코팅을 형성했다.
Description
본 발명은 다이어프램 밸브에 관계되고, 특히 반도체 제조용 프로세스 가스의 유량 제어에 적합한, 금속 다이어프램을 구비하는 다이어프램 밸브에 관한 것이다.
종래, 반도체 제조용 프로세스 가스의 유량 제어용으로서, 금속 다이어프램을 구비하는 다이어프램 밸브가 알려져 있다(특허문헌 1, 2 등). 이 종류의 다이어프램 밸브의 금속 다이어프램은, 스프론(spron) 등의 박막 금속판으로 형성되지만, 가공 정밀도 상의 편차가 있어 유로를 개폐하기 위해서 시트에 대한 접촉과 이반을 반복함으로써, 손상이나 마모를 발생하고 시트 리크(seat leak)를 발생시킬 경우가 있다. 또한, 유통하는 가스 종류에 따라서는 다이어프램이 부식된다고 하는 문제도 있었다.
그래서, 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 금속 다이어프램(5)의 프로세스 가스와 접촉하는 측의 전체면에 불소 수지 코팅(F)을 실시함으로써, 내부식성을 향상시킴과 아울러 금속 다이어프램(5)과 시트(4)의 접촉이 소프트 터치로 되어, 금속 다이어프램(5)의 손상이나 마모를 방지하여 시트 리크를 방지하는 다이어프램 밸브가 알려져 있다(특허문헌 3 등). 도 9에 있어서, 부호 40, 41은 금속 다이어프램(5)의 둘레 가장자리부를 협지해서 고정하는 협지부이며, 메탈 개스킷 등 으로 형성된다.
그러나, 금속 다이어프램의 시트측의 전체면에 불소 수지 코팅을 형성한 상기 종래의 다이어프램 밸브에서는, 유로 내의 가스가 다이어프램 밸브의 외부로 누설되는 경우가 있었다. 또한, 특허문헌 3에 기재된 밸브시트의 일례에 나타내는 바와 같이, 밸브시트가 수지제인 경우, 수지제의 밸브시트 자체의 두께가 수㎜ 정도이고, 고온 상태에서 사용할 경우 열팽창이나 경년 사용에 의한 크리프에 의해 그 두께가 크게 변화된다. 밸브체를 작동하는 액츄에이터, 예를 들면, 피에조 컨트롤 밸브의 경우, 일반적인 스트로크 범위가 100㎛ 미만이어서 열팽창이나 크리프에 의한 밸브시트 두께의 변화에 대응할 수 없어, 고온 상태의 사양에 대응할 수 없다고 하는 문제도 있었다.
본 발명자들은 예의 연구한 결과, 헬륨 가스와 같이 분자 지름이 작은 가스를 다이어프램 밸브의 유로에 흘릴 때에, 금속 다이어프램의 수지 코팅을 가스가 투과하는 투과 리크에 의해, 도 9에 파선 화살표로 나타내는 바와 같이, 금속 다이어프램(5)의 둘레 가장자리부로부터 다이어프램 밸브의 외부로 가스(G)가 누출되는 외부 리크를 발생하는 것을 찾아냈다.
그래서, 본 발명에 따른 다이어프램 밸브는, 유로가 형성된 바디와, 상기 유로에 형성된 시트와, 상기 시트에 대하여 접촉 또는 이반함으로써 상기 유로를 개폐하는 금속 다이어프램과, 상기 금속 다이어프램의 양 측면의 둘레 가장자리부를 각각 협지해서 상기 금속 다이어프램을 상기 바디에 고정하는 한쌍의 협지부와, 상기 금속 다이어프램을 상기 시트에 대하여 접촉 또는 이반시키는 액츄에이터를 구비하고, 상기 금속 다이어프램의 시트 측면은 상기 시트 측면과 상기 협지부의 협지 영역을 제외하는 영역이며, 상기 협지 영역에 둘러싸이는 영역 내의 적어도 상기 시트와의 접촉 영역에 불소 수지 코팅이 형성되어 있다.
상기 불소 수지 코팅은, 일실시형태에 있어서 상기 협지 영역에 둘러싸이는 전체 영역에 형성되어 있다.
또한, 상기 불소 수지 코팅은, 일실시형태에 있어서 상기 시트와의 접촉 영역에만 형성되어 있다.
또한, 상기 불소 수지 코팅은, 일실시형태에 있어서 상기 시트와의 접촉 영역, 및, 상기 시트와의 접촉 영역에 둘러싸이는 영역에만 형성되어 있다.
또한, 일실시형태에 있어서 상기 금속 다이어프램의 시트측의 면에 접촉하는 상기 협지부는 금속제이다.
또한, 상기 불소 수지 코팅은, 일실시형태에 있어서 연마 처리에 의해, Ra≤0.1㎛의 표면 거칠기를 갖는다.
본 발명에 의하면, 금속 다이어프램은 시트측의 면에 있어서 협지부에 의해 협지되는 협지 영역에 불소 수지 코팅을 실시하지 않고 모재 금속을 노출시킴으로써, 상기 투과 리크에 의한 외부 리크를 방지할 수 있음과 아울러 고온 환경 하에서의 사용도 가능해진다. 한편, 본 발명에 의하면, 금속 다이어프램은 시트와의 접촉 영역에는 불소 수지 코팅을 실시함으로써 시트에 대한 접촉과 이반을 반복하여도 손상이나 마모는 방지되어, 시트 리크가 방지된다.
또한, 상기 불소 수지 코팅에 연마 처리를 실시하는 것에 의해, 수지 표면의 요철을 줄임으로써 상기 투과 리크에 의한 시트 리크를 저감할 수 있다. 또한, 수지 표면의 요철을 줄임으로써 시트와의 충돌에 의한 파티클의 발생도 억제할 수 있다. 또한, 연마 처리에 의해 상기 불소 수지 코팅의 실효 표면적을 저감함으로써, 불소 수지 코팅으로부터의 방출 가스량 및 가스의 흡착량을 저감할 수도 있다.
또한, 연마 처리를 실시함으로써 코팅 막두께는 수십㎛로 얇게 할 수 있으므로, 밸브시트를 수지제로 했을 때의 열에 의한 팽창이나 크리프에 의한 두께의 변동과 비교하여, 그 영향은 무시할 수 있는 정도의 변화밖에 없다고 하는 효과를 갖는다. 따라서, 일반적인 스트로크 범위가 100㎛ 미만인 피에조 컨트롤 밸브에 있어서도 고온 상태의 사양에 대응할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 일실시형태로서 폐쇄 상태를 나타내는 요부 확대 단면도이다.
도 2는 도 1의 다이어프램 밸브의 개방 상태를 나타내는 요부 확대 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나 타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 다른 실시형태를 포함하는 기화 공급 장치를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 7의 기화 공급 장치의 부분 확대 단면도이다.
도 9는 종래의 다이어프램 밸브의 요부 확대 단면도이다.
도 2는 도 1의 다이어프램 밸브의 개방 상태를 나타내는 요부 확대 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나타내는 평면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나타내는 평면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 구성요소인 금속 다이어프램을 나 타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 다이어프램 밸브의 다른 실시형태를 포함하는 기화 공급 장치를 나타내는 단면도이다.
도 8은 도 7의 기화 공급 장치의 부분 확대 단면도이다.
도 9는 종래의 다이어프램 밸브의 요부 확대 단면도이다.
본 발명의 일실시형태에 대해서, 이하에 도 1∼도 8을 참조하면서 설명한다. 또, 전체 도면을 통해서 동일 또는 유사의 구성요소에 대해서는 같은 부호를 붙이고 있다.
도 1 및 도 2를 참조하여, 다이어프램 밸브(1)는, 유로(2)가 형성된 바디(3)와, 상기 유로(2)에 형성된 시트(4)와, 상기 시트(4)에 대하여 접촉 또는 이반함으로써 상기 유로(2)를 개폐하는 금속 다이어프램(5)과, 상기 금속 다이어프램(5)의 양 측면의 둘레 가장자리부을 각각 협지해서 상기 금속 다이어프램(5)을 상기 바디(3)에 고정하는 한쌍의 협지부(6, 7)와, 상기 금속 다이어프램(5)을 상기 시트(4)에 대하여 접촉 또는 이반시키는 액츄에이터(8)를 구비하고 있다.
바디(3)는, 예를 들면 스테인리스강 등의 금속으로 형성될 수 있다. 또한, 협지부(6, 7)는 어느 것이나 금속(합금을 포함한다.)으로 형성될 수 있다. 도시예에 있어서, 금속 다이어프램(5)의 시트 측면(5a)에 접촉하는 협지부(7)는, 바디(3)의 유로(2)에 형성된 개구부에 바디(3)에 일체적으로 형성되어 있다.
상기 협지부(6)는, 후술의 브릿지(12)를 개재하여, 통형상 가이드 부재(9)를 바디(3)에 나사 삽입함으로써 금속 다이어프램(5)을 압박한다. 그것에 의해, 금속 다이어프램(5)은 협지부(6)와 협지부(7)에 의하여 양 측면의 둘레 가장자리부을 각각 협지하여 바디(3)에 고정되어 있다.
통형상 가이드 부재(9)에 밸브봉 케이스(10)가 슬라이딩 가능하게 지지되어 있다. 브릿지(12)는 밸브봉 케이스(10)를 관통해서 밸브봉 케이스(10) 내로 연장되어, 밸브봉 케이스(10) 내에 수용된 압전소자(11)를 지지하고 있다. 압전소자(11)는 전압의 인가에 의해 신장하고, 이 신장을 이용하여 상기 금속 다이어프램(5)을 상기 시트(4)에 대하여 접촉 또는 이반시키는 액츄에이터(8)를 구성한다. 이 종류의 액츄에이터는, 예를 들면, 국제공개 제2011/067891호, 국제공개 제2016/174832호 등에 의해 이미 알려져 있으므로 상세한 설명을 생략한다. 이 종류의 다이어프램 밸브에는 노멀 클로즈 타입과 노멀 오픈 타입이 있다. 또한, 이 종류의 다이어프램 밸브에 있어서, 고온 가스용으로서 인바(invar) 등으로 형성한 스페이서를 밸브봉 케이스 내의 압전소자의 하방에 수용하는 타입(도 7)도 있다.
금속 다이어프램(5)은 박막 금속판에 의해 원형의 접시 형상으로 형성되어 있다. 금속 다이어프램(5)의 모재는, 스프론 등의 금속(합금을 포함한다.)으로 형성되어 있다. 금속 다이어프램(5)은 특별하게 한정하는 것은 아니지만, 예를 들면, 직경 5∼50㎜, 두께 20∼400㎛로 할 수 있다.
상기 금속 다이어프램(5)의 시트(4)와 접하는 측의 시트 측면(5a)은, 상기 시트 측면(5a)이 상기 협지부(7)에 의해 협지되는 협지 영역(D-C)(도 3)을 제외하는 영역이며, 상기 협지 영역(D-C)에 둘러싸이는 내측의 영역(C)(도 4) 내의 적어도 상기 시트(4)와의 접촉 영역(B-A)(도 5)에, 불소 수지 코팅이 형성되어 있다. 불소 수지 코팅이 형성되는 영역은, 상기 시트(4)와의 접촉 영역(B-A)(도 5)이 최소 영역이며, 상기 협지 영역(D-C)에 둘러싸이는 영역(C)(도 4)이 최대 영역이다.
소정 실시형태에 있어서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 상기 불소 수지 코팅은 상기 시트(4)와의 접촉 영역(B-A), 및, 상기 시트(4)와의 접촉 영역(B-A)에 둘러싸이는 영역(A)에만, 즉, 영역(B)에만 형성된다.
소정 실시형태에 있어서, 상기 불소 수지 코팅은 상기 제 1 접촉 영역(D-C)에 둘러싸이는 전체 영역(C)(도 4)에 형성된다.
불소 수지 코팅은 20∼50㎛ 정도의 두께로 하는 것이 바람직하고, 도시예에서는, PFA(퍼플루오로알콕시불소 수지)를 30∼35㎛의 두께로 코팅한 후, 연마 처리에 의해 20∼25㎛의 두께로 되어 있다. 불소 수지 코팅은, 예를 들면, 연마 처리 전에 있어서 표면 거칠기 Ra≤0.8㎛이며, 연마 처리에 의해 Ra≤0.1㎛로 할 수 있다. 이 표면 거칠기는 Ra≤0.1㎛로 함으로써 실효 표면적이 감소하여 이물의 부착을 저감시킨다. 표면 거칠기는 Ra≤0.05㎛로 하는 것이 바람직하고, Ra≤0.02㎛로 하는 것이 보다 바람직하다. 불소 수지 코팅은, PFA 대신에 PTFE 수지(폴리테트라플루오로에틸렌), FEP 수지(4불화 에틸렌·6불화 프로필렌 공중합체) 등의 다른 불소 수지에 의해 형성할 수도 있다.
불소 수지 코팅과 금속 다이어프램(5)의 모재(스프론 등의 금속계 재료)의 사이에 하지로서의 접착층을 형성할 수 있다. 상기 접착층은, 예를 들면, 두께 5∼10㎛의 PAI(폴리아미드이미드)의 층을 에이징 열처리에 의해 형성할 수 있다.
협지 영역(D-C)에는 불소 수지 코팅이 형성되어 있지 않고, 금속 다이어프램(5)의 모재 금속에 협지부(7)가 압박 접촉하기 때문에, 분자지름이 작은 가스가 수지를 투과하는 투과 리크를 방지할 수 있다. 그 결과, 금속 다이어프램(5)의 둘레 가장자리부로부터 다이어프램 밸브(1)의 외부로의 가스의 투과 리크를 방지할 수 있다. 진공법에 의한 헬륨 리크 테스트에서도 투과 리크가 방지되어 있는 것이 확인되었다.
또한, 금속 다이어프램(5)과 시트(4)의 접촉 영역(B-A)(도 5)에는, 불소 수지 코팅이 형성되어 있기 때문에 금속 모재의 손상 등을 방지하고, 시트 리크도 방지할 수 있다. 또한, 상기 불소 수지 코팅을 상기 협지 영역(D-C)에 둘러싸이는 전체 영역(C)에 형성함으로써, 금속 다이어프램(5)은 프로세스 가스와 접촉하는 부분의 전체 영역이 보호되어, 프로세스 가스의 분해 생성물 등에 의한 부식이 방지될 수 있다.
또한, 상기 불소 수지 코팅에 연마 처리를 실시하는 것에 의해, 수지 표면의 요철을 줄임으로써 상기 투과 리크를 저감할 수 있다. 또한, 연마 처리에 의해 상기 불소 수지 코팅 표면의 요철을 줄임으로써, 시트(4)와의 충돌에 의한 파티클의 발생도 억제할 수 있다. 또한, 연마 처리에 의해 상기 불소 수지 코팅의 실효 표면적을 저감함으로써, 불소 수지 코팅으로부터의 방출 가스량 및 가스의 흡착량을 저감할 수도 있다.
상기 구성을 갖는 다이어프램 밸브를 장착한 유체 제어 장치를 기화기와 조합시킨 기화 공급 장치를 사용한 시트 리크 시험에 대해서 다음에 설명한다.
도 7은 상기 기화 공급 장치의 개략 구성을 나타내는 단면도이다. 상기 기화 공급 장치(20)는, 액체 원료(L)를 히터(H)에 의해 가열해서 기화시키는 기화기(21)와, 기화기(21)로부터 송출되는 가스(G)의 유량을 제어하는 유량 제어 장치(22)와, 기화기(21)로의 액체 원료(L)의 공급로(23)에 개재된 제 1 개폐 밸브(24)와, 기화기(21)에서 기화되어 유량 제어 장치(22)에 보내어지는 가스(G)의 압력을 검출하기 위한 압력 검출기(25)를 구비하고 있다. 기화기(21)에, 액체 원료(L)의 예비 가열용 블록체(26)가 연결되어 있다. 유량 제어 장치(22)의 하류측에 제 2 개폐 밸브(27)가 접속되어 있다.
유량 제어 장치(22)는, 도 7 및 그 부분 확대 도 8을 참조하여, 다이어프램 밸브(1)의 바디(3)에, 금속 다이어프램(5)의 하류측의 유로(2)에 개재되어 미세구멍이 형성된 구멍이 뚫린 박판(28)과, 금속 다이어프램(5)과 구멍이 뚫린 박판(28) 사이의 유로(2) 내의 압력을 검출하는 유량 제어용 압력 검출기(29)를 구비하고, 유량 제어용 압력 검출기(29)의 검출값에 의거하여 액츄에이터(8)를 제어한다. 액츄에이터(8)는, 통형상 가이드 부재(9)에 슬라이딩 가능하게 삽입된 밸브봉 케이스(10)와, 밸브봉 케이스(10)의 하부에 형성된 구멍(10a, 10a)을 관통하여 통형상 가이드 부재(9)에 의해 바디(3)에 압박 고정된 브릿지(12)와, 밸브봉 케이스(10) 내에 수용됨과 아울러 브릿지(12)에 지지된 방열 스페이서(30) 및 압전소자(11)와, 밸브봉 케이스(10)의 외주에 돌출 설치되고 통형상 가이드 부재(9)에 형성된 구멍(9a)을 관통해서 연장되는 플랜지 수용부(10b)와, 플랜지 수용부(10b)에 장착된 플랜지체(31)와, 통형상 가이드 부재(9)의 상단부에 형성된 플랜지부(9b)와, 플랜지부(9b)와 플랜지체(31) 사이에 압축 상태로 설치된 코일 스프링(32)을 구비하고 있다. 방열 스페이서(30)는 인바재 등으로 형성되어 있고, 유로(2)에 고온의 가스가 흘러도 압전소자(11)가 내열온도 이상으로 되는 것을 방지한다.
압전소자(11)의 비통전시에는, 코일 스프링(32)에 의해 밸브봉 케이스(10)가 도 7의 하방으로 밀리고, 도 8에 나타내는 바와 같이, 금속 다이어프램(5)이 시트(4)에 접촉하여 유로(2)를 닫고 있다. 압전소자(11)에 통전함으로써 압전소자(11)가 신장하고, 코일 스프링(32)의 탄성력에 저항해서 밸브봉 케이스(10)를 도 8의 상방으로 들어올리면 금속 다이어프램(5)이 자기 탄성력에 의하여 원래의 역접시 형상(도 2 참조)으로 복귀해서 유로(2)가 개통한다. 또, 도 7 및 도 8에 나타내는 다이어프램 밸브(1)의 시트(4) 및 유로(2)의 형상은, 도 1 및 2에 나타낸 시트(4) 및 유로(2)와는 다르다.
유량 제어 장치(22)는, 구멍이 뚫린 박판(28)의 적어도 상류측의 가스 압력을 유량 제어용 압력 검출기(29)에 의해 검출하고, 검출한 압력신호에 의거하여 압전소자(11)를 구동함으로써, 유로(2)에 개재된 금속 다이어프램(5)을 개폐시켜서 유량 제어한다. 구멍이 뚫린 박판(28)의 상류측의 절대압력이 구멍이 뚫린 박판(28)의 하류측의 절대압력의 약 2배 이상(임계 팽창 조건)으로 되면 구멍이 뚫린 박판(28)의 미세구멍을 통과하는 가스가 음속으로 되어, 그 이상의 유속으로 되지 않기 때문에, 그 유량은 미세구멍 상류측의 압력에만 의존하고, 구멍이 뚫린 박판(28)의 미세구멍을 통과하는 유량은 압력에 비례한다고 하는 원리를 이용하고 있다. 또, 도시하지 않지만, 구멍이 뚫린 박판(28)의 하류측의 압력도 검출하여, 구멍이 뚫린 박판(28)의 상류측과 하류측의 차압에 의거하여 유량 제어하는 것도 가능하다. 또, 구멍이 뚫린 박판(28)은, 도시예에서는 오리피스가 형성된 오리피스 플레이트이지만, 구멍이 뚫린 박판(28)의 구멍은 오리피스에 한하지 않고 유체를 좁히는 구조의 것이면 된다.
상기 시트 리크 시험에 있어서의 조건은 이하와 같다:
금속 다이어프램은 스프론 510제이고 직경 15㎜로 했다. 불소 수지 코팅은, 재질을 PFA로 하고, 연마 처리 후의 표면 거칠기 Ra≤0.02㎛, 연마 처리 후의 두께 약 20∼25㎛이고, 상기 협지 영역에 둘러싸인 전체 영역에 형성했다(도 4의 형태). 하지 접착층은, 재질을 PAI로 하고, 두께 5∼10㎛로 했다.
불소 수지 코팅을 형성하고 있지 않은 올메탈의 금속 다이어프램을 비교예로 했다.
시험 방법은 이하의 순서로 행하였다.
순서 1. 유량 제어 장치(22)의 바디(3)를 210℃로 가열한 후, 다이어프램 밸브(1)를 닫고, 제 2 개폐 밸브(27)를 열고, 다이어프램 밸브(1)의 2차측을 감압(진공)으로 한다.
순서 2. 제 1 개폐 밸브(24)를 2초간 열고, 기화기(21)의 내부에 TEOS(테트라에톡시실란)을 밀봉하고, 압력 검출기(25)의 압력을 210℃, 200kPa(abs)의 고온 고압 상태로 한다.
순서 3. 제 2 개폐 밸브(27)를 닫은 순간부터 2분 후의 유량 제어용 압력 검출기(29)의 출력으로부터, 빌드업법을 이용하여 시트 리크량을 산출한다.
빌드업법은, 유로에 개재된 소정의 체적(빌드업 체적(V)) 내의 압력 상승률(ΔP/Δt)과 온도(T)를 측정함으로써 Q=(ΔP/Δt)×V/RT의 관계(R은 기체정수)를 이용하여 유량(Q)을 측정하는 방법이다. 본 시트 리크 시험에 있어서, 빌드업 체적(V)은 다이어프램 밸브(1)로부터 제 2 개폐 밸브(27)까지의 유로 내의 체적이며, 2.23cc이었다.
상기 시트 리크 시험의 결과, 다이어프램 밸브의 개폐를 50만회 반복한 결과, 비교예에서는 판정기준인 4.2×10-5Pa·㎥/초를 초과하는 리크가 있었지만, 실시예에서는 거의 리크가 없었다.
본 발명은 상기 실시형태에 한정 해석되지 않고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경이 가능하다.
1 : 다이어프램 밸브
2 : 유로
3 : 바디
4 : 시트
5 : 금속 다이어프램
6, 7 : 협지부
8 : 액츄에이터
2 : 유로
3 : 바디
4 : 시트
5 : 금속 다이어프램
6, 7 : 협지부
8 : 액츄에이터
Claims (6)
- 유로가 형성된 바디와,
상기 유로에 형성된 시트와,
상기 시트에 대하여 접촉 또는 이반함으로써 상기 유로를 개폐하는 금속 다이어프램과,
상기 금속 다이어프램의 양 측면의 둘레 가장자리부를 각각 협지해서 상기 금속 다이어프램을 상기 바디에 고정하는 한쌍의 협지부와,
상기 금속 다이어프램을 상기 시트에 대하여 접촉 또는 이반시키는 액츄에이터를 구비하고,
상기 금속 다이어프램의 시트 측면은, 상기 시트 측면과 상기 협지부의 협지 영역을 제외한 영역이며, 상기 협지 영역에 둘러싸이는 영역 내의 적어도 상기 시트와의 접촉 영역에 불소 수지 코팅이 형성되어 있는 다이어프램 밸브. - 제 1 항에 있어서,
상기 불소 수지 코팅은 상기 협지 영역에 둘러싸이는 전체 영역에 형성되어 있는 다이어프램 밸브. - 제 1 항에 있어서,
상기 불소 수지 코팅은 상기 시트와의 접촉 영역에만 형성되어 있는 다이어프램 밸브. - 제 1 항에 있어서,
상기 불소 수지 코팅은, 상기 시트와의 접촉 영역, 및, 상기 시트와의 접촉 영역에 둘러싸이는 영역에만 형성되어 있는 다이어프램 밸브. - 제 1 항에 있어서,
상기 금속 다이어프램의 시트측의 면에 접촉하는 상기 협지부는 금속제인 다이어프램 밸브. - 제 1 항에 있어서,
상기 불소 수지 코팅은, 연마 처리에 의해 Ra≤0.1㎛의 표면 거칠기를 갖는 다이어프램 밸브.
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Free format text: TRIAL NUMBER: 2024101000316; TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 20240213 Effective date: 20240430 |