KR20220026374A - Transfer apparatus - Google Patents

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KR20220026374A
KR20220026374A KR1020200107305A KR20200107305A KR20220026374A KR 20220026374 A KR20220026374 A KR 20220026374A KR 1020200107305 A KR1020200107305 A KR 1020200107305A KR 20200107305 A KR20200107305 A KR 20200107305A KR 20220026374 A KR20220026374 A KR 20220026374A
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이성호
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Abstract

An objective of the present invention is to provide a transfer device capable of reducing the time required for transferring an object to be conveyed. The transfer device may comprise: a plurality of hand units for supporting an object to be conveyed; a conveyor unit on which the hand units are mounted and which moves the hand units in a horizontal direction; a first port unit disposed on one side of the conveyor unit and configured to load and unload the object to be conveyed with respect to a hand unit located at one side of the conveyor unit among the hand units; and second port unit disposed above the other side of the conveyor unit and configured to load and unload the object to be conveyed with respect to a hand unit located at the other side of the conveyor unit among the hand units.

Description

이송 장치{Transfer apparatus}Transfer apparatus

본 발명의 실시예들은 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 반송물의 이송을 위한 이송 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a conveying device. More specifically, it relates to a transport device for transporting a transported object in a semiconductor device manufacturing process.

일반적으로 반도체 장치의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들은 증착, 노광, 식각, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치되는 클린룸들로 구성될 수 있다. 상기 클린룸들에서는 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼에 대하여 반도체 장치의 제조를 위한 일련의 단위 공정들이 수행될 수 있다.In general, a semiconductor device manufacturing line is composed of multiple layers, and each layer may be composed of clean rooms in which facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, and cleaning are disposed. In the clean rooms, a series of unit processes for manufacturing a semiconductor device may be performed on a semiconductor wafer used as a semiconductor substrate.

상기 클린룸들에서 자재의 이송은 오버헤드 호이스트 이송(Overhead Hoist Transport; OHT) 장치 또는 무인 반송차에 의해 수행될 수 있으며, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다. 예를 들면, 반도체 기판들이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기는 상기 OHT 장치에 의해 상기 클린룸들 내에서 수평 이송될 수 있으며 상기 타워 리프트에 의해 각 층들 사이에서 수직 이송될 수 있다.Material transport in the clean rooms may be performed by an overhead hoist transport (OHT) device or an unmanned transport vehicle, and the material transport between the respective floors is installed in a vertical direction through the respective floors. This can be done by means of a tower lift. For example, a container such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which semiconductor substrates are accommodated can be horizontally transported in the clean rooms by the OHT device and vertically transported between each floor by the tower lift. .

한편, 상기 OHT 장치와 상기 타워 리프트 사이에는 반송물 즉 상기 용기를 이송하기 위한 이송 장치가 배치될 수 있으며, 상기 이송 장치는 상기 반송물이 놓여지는 제1 로드 포트와 제2 로드 포트 및 상기 반송물을 이송하기 위한 이송 로봇을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 OHT 장치에 의해 상기 제1 로드 포트 상에 상기 반송물이 로드된 후 상기 이송 로봇은 상기 반송물을 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제2 로드 포트 상으로 이송할 수 있으며, 이어서 상기 반송물은 상기 타워 리프트의 캐리지 로봇에 의해 수직 방향으로 이송될 수 있다. 상기와 반대로, 상기 반송물이 상기 타워 리프트의 캐리지 로봇에 의해 상기 제2 로드 포트 상에 로드된 후 상기 이송 로봇은 상기 제2 로드 포트로부터 상기 제1 로드 포트로 상기 반송물을 이송할 수 있으며, 상기 제1 로드 포트 상의 상기 반송물은 상기 OHT 장치에 의해 언로드될 수 있다.On the other hand, between the OHT device and the tower lift, a transport device for transporting the transported object, that is, the container may be disposed, and the transport device transports the first load port and the second load port on which the transported object is placed, and the transported object It may include a transfer robot for doing so. For example, after the transported object is loaded onto the first load port by the OHT device, the transfer robot may transfer the transported object from the first load port onto the second load port, and then the transported object may be vertically transported by the carriage robot of the tower lift. Contrary to the above, after the conveyed material is loaded onto the second load port by the carriage robot of the tower lift, the conveying robot may transfer the conveyed material from the second load port to the first load port, The conveyance on the first load port may be unloaded by the OHT device.

그러나, 상기 OHT 장치와 상기 타워 리프트 중 어느 하나에서 물류 흐름이 정체되는 경우 상기 반송물은 상기 제1 로드 포트 또는 상기 제2 로드 포트 상에서 대기할 수밖에 없으며, 이에 의해 상기 OHT 장치와 상기 타워 리프트 중 나머지 하나의 물류 흐름 또한 함께 정체될 수 있다. 결과적으로 상기 반송물의 전체적인 물류 흐름이 지연될 수 있으며 이에 의해 상기 반송물의 이송에 소요되는 시간이 증가될 수 있다.However, when the logistics flow is stopped in either of the OHT device and the tower lift, the transported goods have no choice but to wait on the first load port or the second load port, whereby the rest of the OHT device and the tower lift A single logistic flow can also stagnate together. As a result, the overall logistics flow of the conveyed material may be delayed, thereby increasing the time required to transport the conveyed material.

대한민국 공개특허공보 제10-2020-0079031호 (공개일자 2020년 07월 02일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2020-0079031 (published on July 02, 2020)

본 발명의 실시예들은 반송물들의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a conveying apparatus capable of reducing the time required for conveying conveyed materials.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 장치는, 반송물을 지지하기 위한 복수의 핸드 유닛들과, 상기 핸드 유닛들이 장착되며 상기 핸드 유닛들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 컨베이어 유닛과, 상기 컨베이어 유닛의 일측 상부에 배치되며 상기 핸드 유닛들 중에서 상기 컨베이어 유닛의 일측에 위치된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제1 포트 유닛과, 상기 컨베이어 유닛의 타측 상부에 배치되며 상기 핸드 유닛들 중에서 상기 컨베이어 유닛의 타측에 위치된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제2 포트 유닛을 포함할 수 있다.A transport device according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes: a plurality of hand units for supporting a conveyed product; a conveyor unit on which the hand units are mounted and for moving the hand units in a horizontal direction; A first port unit disposed on one side of the conveyor unit and configured to load and unload the conveyed material with respect to a hand unit located on one side of the conveyor unit among the hand units, and the other side upper portion of the conveyor unit, and a second port unit for loading and unloading the conveyed material with respect to a hand unit located on the other side of the conveyor unit among the hand units.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛들은, 상기 반송물을 지지하기 위한 핸드 부재와, 상기 핸드 부재 상에 배치되며 상기 반송물의 위치 정렬을 위한 정렬핀들을 각각 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the hand units may include a hand member for supporting the transported object, and alignment pins disposed on the hand member for aligning the position of the transported object, respectively.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 포트 유닛과 상기 제2 포트 유닛은, 상기 반송물의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 한 쌍의 포트 플레이트들과, 상기 포트 플레이트들을 수평 방향으로 서로 가까워지도록 그리고 서로 멀어지도록 이동시키는 수평 구동부들과, 상기 포트 플레이트들을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부들을 각각 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first port unit and the second port unit may include a pair of port plates for supporting the edge portions of the transported object, and the port plates to bring the port plates closer to each other in a horizontal direction. In addition, it may include horizontal driving units for moving away from each other and vertical driving units for moving the port plates in a vertical direction, respectively.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 포트 플레이트들 상에는 상기 반송물의 위치 정렬을 위한 포트 정렬핀들이 구비될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, port alignment pins for aligning the position of the conveyed object may be provided on the port plates.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 포트 플레이트들 상에는 상기 반송물을 감지하기 위한 반송물 감지 센서가 구비될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, a transported object detection sensor for detecting the transported object may be provided on the port plates.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 포트 플레이트들은 상기 반송물의 후방 부위를 지지하기 위한 돌출부를 각각 가질 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the port plates may each have a protrusion for supporting the rear portion of the transported object.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 포트 플레이트들의 돌출부들 중 어느 하나 상에는 상기 반송물의 위치 정렬을 위한 포트 정렬핀이 구비될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, a port alignment pin for aligning the position of the conveyed object may be provided on any one of the protrusions of the port plates.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 반송물에는 상기 반송물에 대한 정보가 저장된 전자 태그가 부착되며, 상기 제1 포트 유닛에는 상기 전자 태그의 정보를 읽기 위한 리더 유닛이 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, an electronic tag storing information on the transported object may be attached to the transported object, and a reader unit for reading information of the electronic tag may be mounted on the first port unit.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 포트 유닛에는 상기 제1 포트 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제1 이송 장치와의 무선 통신을 위한 통신 유닛이 장착될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first port unit may be equipped with a communication unit for wireless communication with a first transport device for performing the loading and unloading of the conveyed object with respect to the first port unit. .

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 컨베이어 유닛과 상기 제1 포트 유닛 및 상기 제2 포트 유닛의 동작을 제어하기 위한 제어부를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer device may further include a control unit for controlling operations of the conveyor unit, the first port unit, and the second port unit.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 포트 유닛의 아래에 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 위치됨을 감지하기 위한 제1 핸드 감지 센서와, 상기 제2 포트 유닛의 아래에 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 위치됨을 감지하기 위한 제2 핸드 감지 센서를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer device includes a first hand detection sensor for detecting that any one of the hand units is located under the first port unit, and a lower side of the second port unit. It may further include a second hand detection sensor for detecting the position of any one of the hand units.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제어부는, 상기 제1 핸드 감지 센서에 의해 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 감지되는 경우 상기 제1 핸드 감지 센서에 의해 감지된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 또는 언로드가 수행되도록 상기 제1 포트 유닛의 동작을 제어하고, 상기 제2 핸드 감지 센서에 의해 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 감지되는 경우 상기 제2 핸드 감지 센서에 의해 감지된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 또는 언로드가 수행되도록 상기 제2 포트 유닛의 동작을 제어할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, when any one of the hand units is sensed by the first hand detection sensor, the control unit may control a hand unit sensed by the first hand detection sensor to Controls the operation of the first port unit so that loading or unloading is performed, and when any one of the hand units is detected by the second hand detection sensor, the hand unit sensed by the second hand detection sensor It is possible to control the operation of the second port unit so that the loading or unloading of the conveyed material is performed.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치의 핸드 유닛들은 복수의 반송물들을 순차적으로 이송할 수 있으며, 이에 따라 하나의 이송 로봇이 제1 로드 포트와 제2 로드 포트 사이에서 하나의 반송물을 이송하는 종래 기술과 비교하여 상기 반송물들의 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다. 또한, 상기 이송 장치가 제1 이송 장치와 제2 이송 장치 사이에서 반송물들을 이송하는 경우, 상기 제1 및 제2 이송 장치들 중 어느 하나에서 정체 현상이 발생되더라도 상기 핸드 유닛들이 상기 반송물들을 임시 보관하는 버퍼 유닛들로서 기능할 수 있으므로, 상기 어느 하나에서 발생된 정체 현상이 나머지 하나로 전달되는 것이 방지될 수 있다. 즉, 상기 제1 및 제2 이송 장치들 중 어느 하나의 물류 흐름이 정체되더라도 나머지 하나의 물류 흐름은 정상적으로 유지될 수 있으므로 상기 반송물들의 물류 효율이 크게 개선될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the hand units of the transfer apparatus can sequentially transfer a plurality of conveyed objects, and thus one transfer robot is installed between the first load port and the second load port. Compared with the prior art of transporting one conveyed material, the time required for conveying the conveyed material can be greatly reduced. In addition, when the conveying device transfers the conveyed materials between the first conveying device and the second conveying device, even if a stagnation phenomenon occurs in any one of the first and second conveying devices, the hand units transport the conveyed materials. Since they can function as buffer units for temporary storage, it is possible to prevent the congestion occurring in one of the above from being transferred to the other. That is, even if the logistics flow of any one of the first and second transfer devices is stopped, the other logistics flow can be maintained normally, so that the logistics efficiency of the transported goods can be greatly improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 제1 포트 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제2 포트 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.
도 5 내지 도 7은 도 1에 도시된 제1 포트 유닛으로부터 핸드 유닛 상으로 반송물이 전달되는 단계들을 설명하기 위한 개략도들이다.
도 8 내지 도 10은 도 1에 도시된 핸드 유닛으로부터 제2 포트 유닛으로 반송물이 전달되는 단계들을 설명하기 위한 개략도들이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transfer device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic plan view for explaining the transport device shown in FIG. 1 .
Figure 3 is a schematic side view for explaining the first port unit shown in Figure 1;
Figure 4 is a schematic side view for explaining the second port unit shown in Figure 1;
5 to 7 are schematic diagrams for explaining steps in which a conveyed product is transferred from the first port unit shown in FIG. 1 onto the hand unit.
8 to 10 are schematic diagrams for explaining steps in which a conveyed product is transferred from the hand unit shown in FIG. 1 to the second port unit.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Conversely, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. Further, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in ordinary dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, eg, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are purely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다. 도 3은 도 1에 도시된 제1 포트 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이고, 도 4는 도 1에 도시된 제2 포트 유닛을 설명하기 위한 개략적인 측면도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a transport device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic plan view for explaining the transport device shown in FIG. 1 . Figure 3 is a schematic side view for explaining the first port unit shown in Figure 1, Figure 4 is a schematic side view for explaining the second port unit shown in Figure 1.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정에서 반송물(30)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 반도체 웨이퍼들의 수납을 위한 FOUP과 같은 용기의 이송을 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 이송 장치(100)는 제1 이송 장치(10)와 제2 이송 장치(20) 사이에서 상기 반송물(30)을 이송할 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 클린룸 내에서 상기 반송물(30)의 수평 이송을 위한 OHT 장치(10)와 상기 반송물(30)의 층간 수직 이송을 위한 타워 리프트(20) 사이에서 상기 반송물(30)을 이송할 수 있다.1 to 4 , the transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used to transport a transported object 30 in a semiconductor device manufacturing process. For example, the transport apparatus 100 may be used for transporting a container such as a FOUP for accommodating semiconductor wafers. In particular, the transport device 100 may transport the conveyed material 30 between the first transport device 10 and the second transport device 20 . For example, the transport device 100 is located between the OHT device 10 for horizontal transport of the transported material 30 and a tower lift 20 for vertical interfloor transport of the transported product 30 in a clean room. The conveyed material 30 can be transferred.

상기 OHT 장치(10)는 클린룸의 천장 부위에서 수평 방향으로 연장하는 주행 레일을 따라 이동 가능하게 구성되는 주행 모듈(12) 및 상기 반송물(30)의 승강을 위한 호이스트 모듈(14)을 포함할 수 있다. 상기 타워 리프트(20)는 상기 반송물(30)을 핸들링하기 위한 캐리지 로봇(22)과 상기 캐리지 로봇(22)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 승강 모듈(24)을 포함할 수 있다.The OHT device 10 may include a traveling module 12 configured to be movable along a traveling rail extending in the horizontal direction from the ceiling portion of the clean room and a hoist module 14 for lifting and lowering the conveyed material 30 . can The tower lift 20 may include a carriage robot 22 for handling the conveyed object 30 and an elevating module 24 for vertically moving the carriage robot 22 .

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 상기 반송물(30)을 지지하기 위한 복수의 핸드 유닛들(110)과, 상기 핸드 유닛들(110)이 일정한 간격으로 장착되며 상기 핸드 유닛들(110)을 수평 방향으로 이동시키기 위한 컨베이어 유닛(120)과, 상기 컨베이어 유닛(120)의 일측 상부에 배치되며 상기 핸드 유닛들(110) 중 상기 컨베이어 유닛(120)의 일측에 위치된 핸드 유닛(110)에 대하여 상기 반송물(30)의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제1 포트 유닛(130)과, 상기 컨베이어 유닛(120)의 타측 상부에 배치되며 상기 핸드 유닛들(110) 중 상기 컨베이어 유닛(120)의 타측에 위치된 핸드 유닛(110)에 대하여 상기 반송물(30)의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제2 포트 유닛(140)을 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer device 100 includes a plurality of hand units 110 for supporting the conveyed material 30 , and the hand units 110 are mounted at regular intervals, and the A conveyor unit 120 for moving the hand units 110 in the horizontal direction, is disposed on one side of the conveyor unit 120, and is located on one side of the conveyor unit 120 among the hand units 110 The first port unit 130 for loading and unloading the conveyed material 30 with respect to the hand unit 110, is disposed on the other upper side of the conveyor unit 120, and among the hand units 110 A second port unit 140 for loading and unloading the conveyed material 30 with respect to the hand unit 110 located on the other side of the conveyor unit 120 may be included.

예를 들면, 상기 OHT 장치(10)로부터 상기 제1 포트 유닛(130) 상으로 상기 반송물(30)이 로드될 수 있으며, 상기 제1 포트 유닛(130)은 상기 컨베이어 유닛(120)의 일측에 위치된 핸드 유닛(110) 상에 상기 반송물(30)을 로드할 수 있다. 이어서, 상기 컨베이어 유닛(120)은 상기 반송물(30)이 로드된 핸드 유닛(110)을 상기 컨베이어 유닛(120)의 타측으로 이동시킬 수 있으며, 상기 제2 포트 유닛(140)은 상기 반송물(30)을 상기 핸드 유닛(110)으로부터 언로드할 수 있다. 상기 핸드 유닛(110)으로부터 상기 제2 포트 유닛(140) 상으로 이송된 상기 반송물(30)은 상기 타워 리프트(20)의 캐리지 로봇(22)에 의해 상기 제2 포트 유닛(140)으로부터 언로드될 수 있다.For example, the conveyed material 30 may be loaded from the OHT device 10 onto the first port unit 130 , and the first port unit 130 is located on one side of the conveyor unit 120 . The conveyed material 30 may be loaded on the positioned hand unit 110 . Subsequently, the conveyor unit 120 may move the hand unit 110 loaded with the conveyed material 30 to the other side of the conveyor unit 120 , and the second port unit 140 may ) can be unloaded from the hand unit 110 . The conveyed material 30 transferred from the hand unit 110 onto the second port unit 140 is to be unloaded from the second port unit 140 by the carriage robot 22 of the tower lift 20 . can

상기 핸드 유닛들(110)은, 상기 반송물(30)을 지지하기 위한 핸드 부재(112)와, 상기 핸드 부재(112) 상에 배치되며 상기 반송물(30)의 위치 정렬을 위한 정렬핀들(114)을 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 FOUP의 하부면에는 상기 정렬핀들(114)이 삽입 가능하도록 구성된 정렬 슬롯들(미도시)이 구비될 수 있다.The hand units 110 include a hand member 112 for supporting the transported object 30 , and alignment pins 114 disposed on the hand member 112 for aligning the position of the transported object 30 . may include As an example, alignment slots (not shown) configured to allow the alignment pins 114 to be inserted may be provided on the lower surface of the FOUP.

상기 제1 포트 유닛(130)은, 상기 반송물(30)의 하부면 가장자리 부위들을 지지하기 위한 한 쌍의 제1 포트 플레이트들(132)과, 상기 제1 포트 플레이트들(132)을 수평 방향으로 서로 가까워지도록 그리고 멀어지도록 이동시키기 위한 제1 수평 구동부들(134)과, 상기 제1 포트 플레이트들(132)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제1 수직 구동부들(136)을 포함할 수 있다. 이와 유사하게, 상기 제2 포트 유닛(140)은, 상기 반송물(30)의 하부면 가장자리 부위들을 지지하기 위한 한 쌍의 제2 포트 플레이트들(142)과, 상기 제2 포트 플레이트들(142)을 수평 방향으로 서로 가까워지도록 그리고 멀어지도록 이동시키기 위한 제2 수평 구동부들(144)과, 상기 제2 포트 플레이트들(144)을 수직 방향으로 이동시키기 위한 제2 수직 구동부들(146)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 핸드 부재(112)는 상기 제1 및 제2 포트 플레이트들(132, 142)에 의해 지지되는 상기 반송물(30)의 하부면 가장자리 부위들을 제외한 중앙 부위를 지지하도록 구성될 수 있다.The first port unit 130 includes a pair of first port plates 132 for supporting the lower surface edge portions of the conveyed product 30 and horizontally moving the first port plates 132 . It may include first horizontal driving units 134 for moving closer to and away from each other, and first vertical driving units 136 for moving the first port plates 132 in a vertical direction. Similarly, the second port unit 140 includes a pair of second port plates 142 for supporting the lower surface edge portions of the transported object 30 , and the second port plates 142 . to include second horizontal driving units 144 for moving the s in the horizontal direction toward and away from each other, and second vertical driving units 146 for moving the second port plates 144 in a vertical direction. can In this case, the hand member 112 may be configured to support a central portion except for edge portions of the lower surface of the conveyed product 30 supported by the first and second port plates 132 and 142 .

상기 제1 및 제2 포트 플레이트들(132, 142) 상에는 상기 반송물(30)의 위치 정렬을 위한 제1 포트 정렬핀들(138)과 제2 포트 정렬핀들(148)이 구비될 수 있다. 예를 들면, 상기 OHT 장치(10)는 상기 제1 포트 정렬핀들(138)이 상기 반송물(30)의 하부에 구비되는 정렬 슬롯들의 일측에 삽입되도록 상기 반송물(30)을 상기 제1 포트 플레이트들(132) 상에 로드할 수 있다. 다른 예로서, 상기 타워 리프트(20)는 상기 제2 포트 정렬핀들(148)이 상기 반송물(30)의 하부에 구비되는 정렬 슬롯들의 일측에 삽입되도록 상기 반송물(30)을 상기 제2 포트 플레이트들(142) 상에 로드할 수 있다.First port alignment pins 138 and second port alignment pins 148 may be provided on the first and second port plates 132 and 142 to align the position of the conveyed product 30 . For example, the OHT device 10 sets the transported object 30 to the first port plates so that the first port alignment pins 138 are inserted into one side of the alignment slots provided under the transported product 30 . It can be loaded onto (132). As another example, the tower lift 20 moves the conveyed object 30 to the second port plates so that the second port alignment pins 148 are inserted into one side of the alignment slots provided under the conveyed product 30 . You can load on 142.

상기 제1 및 제2 포트 플레이트들(132, 142)은 상기 반송물(30)의 후방 부위를 지지하기 위한 돌출부(132A, 142A)를 각각 가질 수 있다. 상기 제1 포트 플레이트들(132)의 돌출부들(132A) 중 어느 하나 상에는 상기 제1 포트 정렬핀들(138) 중 하나가 구비될 수 있고, 상기 제2 포트 플레이트들(142)의 돌출부들(142A) 중 어느 하나 상에는 상기 제2 포트 정렬핀들(148) 중 하나가 구비될 수 있다.The first and second port plates 132 and 142 may have protrusions 132A and 142A for supporting the rear portion of the transported object 30 , respectively. One of the first port alignment pins 138 may be provided on any one of the protrusions 132A of the first port plates 132 , and the protrusions 142A of the second port plates 142 . ), one of the second port alignment pins 148 may be provided on any one.

도 5 내지 도 7은 도 1에 도시된 제1 포트 유닛으로부터 핸드 유닛 상으로 반송물이 전달되는 단계들을 설명하기 위한 개략도들이며, 도 8 내지 도 10은 도 1에 도시된 핸드 유닛으로부터 제2 포트 유닛으로 반송물이 전달되는 단계들을 설명하기 위한 개략도들이다.5 to 7 are schematic diagrams for explaining steps in which a conveyed product is transferred from the first port unit shown in FIG. 1 onto the hand unit, and FIGS. 8 to 10 are the second port unit from the hand unit shown in FIG. 1 . Schematic diagrams for explaining the steps in which the conveyed material is delivered to

도 5 내지 도 7을 참조하면, 상기 반송물(30)은 상기 제1 이송 장치(10) 즉 상기 OHT 장치(10)로부터 상기 제1 포트 유닛(130) 상에 로드될 수 있다. 이때, 상기 제1 포트 플레이트들(132)은 상기 제1 수평 구동부들(134)에 의해 서로 가까워지는 방향으로 이동된 상태 즉 상기 제1 포트 플레이트들(132)이 서로 결합된 상태일 수 있다. 이후, 상기 제1 수직 구동부들(136)은 상기 제1 포트 플레이트들(132)을 하강시킬 수 있으며, 이에 의해 상기 반송물(30)이 상기 핸드 유닛(110) 상에 로드될 수 있다. 이어서, 상기 제1 수평 구동부들(134)은 상기 제1 포트 플레이트들(132)을 서로 멀어지는 방향으로 각각 이동시킬 수 있으며, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 수직 구동부들(136)은 상기 제1 포트 플레이트들(132)을 초기 위치로 다시 상승시킬 수 있다.5 to 7 , the conveyed material 30 may be loaded onto the first port unit 130 from the first transfer device 10 , that is, the OHT device 10 . In this case, the first port plates 132 may be moved in a direction closer to each other by the first horizontal driving units 134 , that is, the first port plates 132 may be coupled to each other. Thereafter, the first vertical driving units 136 may lower the first port plates 132 , whereby the conveyed material 30 may be loaded onto the hand unit 110 . Subsequently, the first horizontal driving units 134 may move the first port plates 132 away from each other, respectively, and although not shown, the first vertical driving units 136 may move the first port plates 132 away from each other. The port plates 132 may be raised back to their initial positions.

도 8 내지 도 10을 참조하면, 상기 반송물(30)이 로드된 핸드 유닛(110)은 상기 컨베이어 유닛(120)에 의해 상기 컨베이어 유닛(120)의 타측으로 이동될 수 있다. 이때, 상기 제2 포트 플레이트들(142)은 상기 제2 수평 구동부들(144)에 의해 서로 멀어지는 방향으로 이동된 상태일 수 있으며, 상기 핸드 유닛(110) 상의 반송물(30)이 상기 제2 포트 플레이트들(142) 사이에 위치될 수 있다. 이후, 상기 제2 수직 구동부들(146)은 상기 제2 포트 플레이트들(142)을 상기 반송물(30)보다 낮은 위치로 하강시킬 수 있으며, 상기 제2 수평 구동부들(144)은 상기 제2 포트 플레이트들(142)이 서로 가까워지는 방향으로 상기 제2 포트 플레이트들(142)을 이동시킬 수 있다. 이어서, 상기 제2 수직 구동부들(146)은 상기 제2 포트 플레이트들(142)을 상승시킬 수 있으며, 이에 의해 상기 반송물(30)이 상기 핸드 유닛(110)으로부터 언로드될 수 있다. 즉, 상기 반송물(30)이 상기 핸드 유닛(110)으로부터 상기 제2 포트 플레이트들(142) 상으로 로드될 수 있다.8 to 10 , the hand unit 110 on which the conveyed material 30 is loaded may be moved to the other side of the conveyor unit 120 by the conveyor unit 120 . At this time, the second port plates 142 may be in a state of being moved away from each other by the second horizontal driving units 144 , and the conveyed material 30 on the hand unit 110 is transferred to the second port. It may be located between the plates 142 . Thereafter, the second vertical driving units 146 may lower the second port plates 142 to a position lower than that of the conveyed object 30 , and the second horizontal driving units 144 may be connected to the second port. The second port plates 142 may be moved in a direction in which the plates 142 approach each other. Subsequently, the second vertical driving units 146 may raise the second port plates 142 , whereby the conveyed material 30 may be unloaded from the hand unit 110 . That is, the conveyed material 30 may be loaded onto the second port plates 142 from the hand unit 110 .

다시 도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 제1 및 제2 포트 플레이트들(132, 142) 상에는 상기 반송물(30)을 감지하기 위한 제1 및 제2 반송물 감지 센서들(150, 152; 도 2 참조)이 각각 구비될 수 있다. 아울러, 상기 반송물(30)에는 상기 반송물(30)에 대한 정보가 저장된 전자 태그(미도시)가 부착될 수 있으며, 상기 제1 포트 유닛(130)에는 상기 전자 태그의 정보를 읽기 위한 리더 유닛(160; 도 2 참조)이 장착될 수 있다. 또한, 상기 제1 포트 유닛(130)에는 상기 제1 이송 장치(10) 즉 상기 OHT 장치(10)와의 무선 통신을 위한 통신 유닛(162; 도 2 참조)이 장착될 수 있으며, 상기 통신 유닛(162)은 상기 리더 유닛(160)에 의해 확인된 상기 반송물(30)의 정보를 상기 OHT 장치(10)로 전송할 수 있다. 즉, 상기 OHT 장치(10)는 상기 반송물(30)을 상기 제1 포트 유닛(130) 상에 로드한 후 또는 상기 반송물(30)을 상기 제1 포트 유닛(130)으로부터 언로드하기 전에 상기 리더 유닛(160)과 상기 통신 유닛(162)을 통하여 상기 반송물(30)의 정보를 확인할 수 있다.1 to 4 again, on the first and second port plates 132 and 142, first and second transported object detection sensors 150 and 152 for detecting the transported object 30; FIG. 2 see) may be provided respectively. In addition, an electronic tag (not shown) storing information on the conveyed product 30 may be attached to the conveyed product 30 , and a reader unit ( 160 (see FIG. 2) may be mounted. In addition, the first port unit 130 may be equipped with a communication unit 162 (refer to FIG. 2) for wireless communication with the first transfer device 10, that is, the OHT device 10, and the communication unit ( 162 ) may transmit the information of the conveyed object 30 checked by the reader unit 160 to the OHT device 10 . That is, the OHT device 10 loads the conveyed product 30 onto the first port unit 130 or before unloading the conveyed product 30 from the first port unit 130. The reader unit Information on the conveyed object 30 may be checked through 160 and the communication unit 162 .

상기 이송 장치(100)는 상기 컨베이어 유닛(120)과 상기 제1 포트 유닛(130) 및 상기 제2 포트 유닛(140)의 동작을 제어하기 위한 제어부(170; 도 1 참조)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 이송 장치(100)는 상기 제1 포트 유닛(130)의 아래에 상기 핸드 유닛들(110) 중 어느 하나가 위치됨을 감지하기 위한 제1 핸드 감지 센서(180; 도 1 참조)와, 상기 제2 포트 유닛(140)의 아래에 상기 핸드 유닛들(110) 중 어느 하나가 위치됨을 감지하기 위한 제2 핸드 감지 센서(182; 도 1 참조)를 포함할 수 있다.The transfer device 100 may include a control unit 170 (see FIG. 1 ) for controlling the operations of the conveyor unit 120 , the first port unit 130 , and the second port unit 140 . . In addition, the transfer device 100 includes a first hand detection sensor 180 (refer to FIG. 1) for detecting that any one of the hand units 110 is located under the first port unit 130; A second hand detection sensor 182 (refer to FIG. 1 ) for detecting that any one of the hand units 110 is positioned under the second port unit 140 may be included.

상기 제어부(170)는, 상기 제1 핸드 감지 센서(180)에 의해 상기 핸드 유닛들(110) 중 어느 하나가 감지되는 경우 상기 제1 핸드 감지 센서(180)에 의해 감지된 핸드 유닛(110)에 대하여 상기 반송물(30)의 로드 또는 언로드가 수행되도록 상기 제1 포트 유닛(130)의 동작을 제어할 수 있으며, 상기 제2 핸드 감지 센서(182)에 의해 상기 핸드 유닛들(110) 중 어느 하나가 감지되는 경우 상기 제2 핸드 감지 센서(182)에 의해 감지된 핸드 유닛(110)에 대하여 상기 반송물(30)의 로드 또는 언로드가 수행되도록 상기 제2 포트 유닛(140)의 동작을 제어할 수 있다.When any one of the hand units 110 is detected by the first hand detection sensor 180 , the control unit 170 , the hand unit 110 detected by the first hand detection sensor 180 . It is possible to control the operation of the first port unit 130 so that the loading or unloading of the conveyed material 30 is performed, and any one of the hand units 110 by the second hand detection sensor 182 When one is detected, the operation of the second port unit 140 is controlled so that the load or unload of the conveyed material 30 is performed with respect to the hand unit 110 sensed by the second hand detection sensor 182. can

예를 들면, 상기 OHT 장치(10)로부터 상기 반송물(30)이 상기 제1 포트 유닛(130) 상에 로드되는 경우, 상기 제어부(170)는 상기 제1 반송물 감지 센서(150)를 통해 상기 반송물(30)의 로드 상태를 확인할 수 있으며, 상기 핸드 유닛들(110) 중 하나가 상기 제1 포트 유닛(130)의 아래에 위치되도록 상기 컨베이어 유닛(120)을 동작시킬 수 있다. 이어서, 상기 제어부(170)는 상기 제1 핸드 감지 센서(180)를 통하여 상기 핸드 유닛들(110) 중 하나가 상기 제1 포트 유닛(130)의 아래에 위치됨을 확인한 후 상기 반송물(30)이 상기 핸드 유닛(110) 상에 로드되도록 상기 제1 포트 유닛(130)을 동작시킬 수 있다.For example, when the conveyed material 30 is loaded onto the first port unit 130 from the OHT device 10 , the control unit 170 controls the conveyed material through the first conveyed material detection sensor 150 . The load state of 30 may be checked, and the conveyor unit 120 may be operated such that one of the hand units 110 is positioned below the first port unit 130 . Then, the control unit 170 confirms that one of the hand units 110 is located under the first port unit 130 through the first hand detection sensor 180, and then the conveyed product 30 is transported. The first port unit 130 may be operated to be loaded onto the hand unit 110 .

상기 제어부(170)는 상기 반송물(30)이 상기 제2 포트 플레이트들(142) 사이에 위치되도록 즉 상기 핸드 유닛(110)이 상기 제2 포트 유닛(140) 아래에 위치되도록 상기 컨베이어 유닛(120)을 동작시킬 수 있으며, 상기 제2 핸드 감지 센서(182)를 통하여 상기 핸드 유닛(110)이 상기 제2 포트 유닛(140) 아래에 위치됨을 확인한 후 상기 반송물(30)을 상기 핸드 유닛(110)으로부터 언로드하기 위해 상기 제2 포트 유닛(140)을 동작시킬 수 있다.The control unit 170 controls the conveyor unit 120 so that the conveyed material 30 is positioned between the second port plates 142 , that is, the hand unit 110 is positioned below the second port unit 140 . ), and after confirming that the hand unit 110 is located under the second port unit 140 through the second hand detection sensor 182 , the conveyed product 30 is transferred to the hand unit 110 . ) to operate the second port unit 140 to unload from.

또한, 상기 제어부(170)는 상기 반송물(30)의 전체적인 물류 제어를 위한 상위 제어기(미도시)와 통신 가능하도록 구성될 수 있으며, 상기 상위 제어기로부터 상기 OHT 장치(10)의 물류 상태 및 상기 타워 리프트(20)의 물류 상태에 관한 정보를 수신할 수 있다. 특히, 상기 제어부(170)는 상기 OHT 장치(10)와 상기 타워 리프트(20) 중 어느 하나의 물류 상태가 정체 상태인 경우 상기 정체 상태가 나머지 하나에 전달되지 않도록 상기 컨베이어 유닛(120)과 상기 제1 및 제2 포트 유닛들(130, 140)의 동작을 제어할 수 있다.In addition, the control unit 170 may be configured to be able to communicate with a higher level controller (not shown) for overall distribution control of the conveyed material 30 , and the distribution status of the OHT device 10 and the tower from the upper level controller It is possible to receive information about the logistics status of the lift 20 . In particular, the control unit 170 controls the conveyor unit 120 and the conveyor unit 120 so that, when the logistics state of any one of the OHT device 10 and the tower lift 20 is a stagnant state, the stagnant state is not transmitted to the other one. It is possible to control the operation of the first and second port units (130, 140).

예를 들면, 상기 타워 리프트(20)로부터 상기 OHT 장치(10)로 복수의 반송물들(30)을 전달하는 과정에서 상기 OHT 장치(10)의 물류 흐름에 정체가 발생되는 경우, 상기 제어부(170)는 상기 반송물들(30)이 상기 핸드 유닛들(110)에 의해 순차적으로 이송되도록 상기 컨베이어 유닛(120)과 상기 제2 포트 유닛(140)의 동작을 제어할 수 있다. 이 경우, 상기 핸드 유닛들(110)은 상기 OHT 장치(10)의 정체가 해소될 때까지 상기 반송물들(30)을 임시 보관하는 버퍼 유닛들로 기능할 수 있으며, 이에 따라 상기 OHT 장치(10)의 정체 상태가 상기 타워 리프트(20)로 전달되지 않을 수 있다. 즉, 상기 OHT 장치(10)의 물류 흐름에 정체가 발생되더라도 상기 타워 리프트(20)의 물류 흐름은 상기 OHT 장치(10)의 정체와 상관없이 정상적으로 유지될 수 있다.For example, when congestion occurs in the logistics flow of the OHT device 10 in the process of transferring the plurality of conveyed materials 30 from the tower lift 20 to the OHT device 10, the control unit 170 ) may control the operations of the conveyor unit 120 and the second port unit 140 so that the conveyed goods 30 are sequentially transferred by the hand units 110 . In this case, the hand units 110 may function as buffer units for temporarily storing the transported goods 30 until the congestion of the OHT apparatus 10 is resolved, and accordingly, the OHT apparatus 10 ) may not be transmitted to the tower lift 20 . That is, even if congestion occurs in the logistics flow of the OHT device 10 , the logistics flow of the tower lift 20 may be normally maintained regardless of the congestion of the OHT device 10 .

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치(100)의 핸드 유닛들(110)은 복수의 반송물들(30)을 순차적으로 이송할 수 있으며, 이에 따라 하나의 이송 로봇이 제1 로드 포트와 제2 로드 포트 사이에서 하나의 반송물을 이송하는 종래 기술과 비교하여 상기 반송물들(30)의 이송에 소요되는 시간을 크게 단축시킬 수 있다. 또한, 상기 핸드 유닛들(110)은 상기 OHT 장치(10)와 상기 타워 리프트(20) 중 어느 하나에서 정체 현상이 발생되는 경우 상기 반송물들(30)을 임시 보관하는 버퍼 유닛들로서 기능할 수 있으며, 이에 따라 상기 어느 하나에서 발생된 정체 현상이 나머지 하나로 전달되는 것이 방지될 수 있다. 즉, 상기 OHT 장치(10)와 상기 타워 리프트(20) 중 어느 하나의 물류 흐름이 정체되더라도 나머지 하나의 물류 흐름은 정상적으로 유지될 수 있으므로 상기 반송물들(30)의 물류 효율이 크게 개선될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the hand units 110 of the transfer device 100 may sequentially transfer a plurality of conveyed objects 30, and thus one transfer robot is Compared with the prior art of transporting one transported object between the first load port and the second load port, the time required for transporting the transported objects 30 can be greatly reduced. In addition, the hand units 110 may function as buffer units for temporarily storing the conveyed materials 30 when congestion occurs in either the OHT device 10 or the tower lift 20 , , thereby preventing the congestion occurring in one of the above from being transmitted to the other. That is, even if the logistics flow of any one of the OHT device 10 and the tower lift 20 is stopped, the other logistics flow can be maintained normally, so that the logistics efficiency of the conveyed goods 30 can be greatly improved. .

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 제1 이송 장치(OHT 장치) 20 : 제2 이송 장치(타워 리프트)
30 : 반송물 100 : 이송 장치
110 : 핸드 유닛 112 : 핸드 부재
114 : 정렬핀 120 : 컨베이어 유닛
130 : 제1 포트 유닛 132 : 제1 포트 플레이트
134 : 제1 수평 구동부 136 : 제1 수직 구동부
138 : 제1 포트 정렬핀 140 : 제2 포트 유닛
142 : 제2 포트 플레이트 144 : 제2 수평 구동부
146 : 제2 수직 구동부 148 : 제2 포트 정렬핀
150 : 제1 반송물 감지 센서 152 : 제2 반송물 감지 센서
160 : 리더 유닛 162 : 통신 유닛
170 : 제어부 180 : 제1 핸드 감지 센서
182 : 제2 핸드 감지 센서10: first transfer device (OHT device) 20: second transfer device (tower lift)
30: conveyed material 100: transfer device
110: hand unit 112: hand member
114: alignment pin 120: conveyor unit
130: first port unit 132: first port plate
134: first horizontal driving unit 136: first vertical driving unit
138: first port alignment pin 140: second port unit
142: second port plate 144: second horizontal driving unit
146: second vertical driving unit 148: second port alignment pin
150: first conveyance detection sensor 152: second conveyance detection sensor
160: reader unit 162: communication unit
170: control unit 180: first hand detection sensor
182: second hand detection sensor

Claims (12)

반송물을 지지하기 위한 복수의 핸드 유닛들;
상기 핸드 유닛들이 장착되며 상기 핸드 유닛들을 수평 방향으로 이동시키기 위한 컨베이어 유닛;
상기 컨베이어 유닛의 일측 상부에 배치되며 상기 핸드 유닛들 중에서 상기 컨베이어 유닛의 일측에 위치된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제1 포트 유닛; 및
상기 컨베이어 유닛의 타측 상부에 배치되며 상기 핸드 유닛들 중에서 상기 컨베이어 유닛의 타측에 위치된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제2 포트 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.a plurality of hand units for supporting the conveyed product;
a conveyor unit on which the hand units are mounted and for moving the hand units in a horizontal direction;
a first port unit disposed on one side of the conveyor unit and configured to load and unload the conveyed material with respect to a hand unit located at one side of the conveyor unit among the hand units; and
and a second port unit disposed above the other side of the conveyor unit and configured to load and unload the conveyed material with respect to a hand unit located at the other side of the conveyor unit among the hand units. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛들은,
상기 반송물을 지지하기 위한 핸드 부재와,
상기 핸드 부재 상에 배치되며 상기 반송물의 위치 정렬을 위한 정렬핀들을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 1, wherein the hand units,
a hand member for supporting the conveyed product;
and an alignment pin disposed on the hand member and configured to align the position of the conveyed object, respectively. 제1항에 있어서, 상기 제1 포트 유닛과 상기 제2 포트 유닛은,
상기 반송물의 가장자리 부위들을 지지하기 위한 한 쌍의 포트 플레이트들과,
상기 포트 플레이트들을 수평 방향으로 서로 가까워지도록 그리고 서로 멀어지도록 이동시키는 수평 구동부들과,
상기 포트 플레이트들을 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부들을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 1, wherein the first port unit and the second port unit,
a pair of port plates for supporting the edge portions of the transported object;
horizontal driving units for moving the port plates toward and away from each other in a horizontal direction;
Transport device, characterized in that it comprises a vertical drive for moving the port plate in the vertical direction, respectively. 제3항에 있어서, 상기 포트 플레이트들 상에는 상기 반송물의 위치 정렬을 위한 포트 정렬핀들이 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.[4] The transport apparatus according to claim 3, wherein port aligning pins for aligning the position of the transported object are provided on the port plates. 제3항에 있어서, 상기 포트 플레이트들 상에는 상기 반송물을 감지하기 위한 반송물 감지 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transport apparatus according to claim 3, wherein a transported object detection sensor for detecting the transported object is provided on the port plates. 제3항에 있어서, 상기 포트 플레이트들은 상기 반송물의 후방 부위를 지지하기 위한 돌출부를 각각 갖는 것을 특징으로 하는 이송 장치.4. The conveying apparatus according to claim 3, wherein the port plates each have a protrusion for supporting a rear portion of the conveyed object. 제6항에 있어서, 상기 포트 플레이트들의 돌출부들 중 어느 하나 상에는 상기 반송물의 위치 정렬을 위한 포트 정렬핀이 구비되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.[Claim 7] The transport apparatus according to claim 6, wherein a port aligning pin for aligning the position of the transported object is provided on any one of the protrusions of the port plates. 제1항에 있어서, 상기 반송물에는 상기 반송물에 대한 정보가 저장된 전자 태그가 부착되며,
상기 제1 포트 유닛에는 상기 전자 태그의 정보를 읽기 위한 리더 유닛이 장착되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 1, wherein an electronic tag storing information on the conveyed product is attached to the conveyed product;
The transfer device, characterized in that the first port unit is equipped with a reader unit for reading the information of the electronic tag. 제8항에 있어서, 상기 제1 포트 유닛에는 상기 제1 포트 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 및 언로드를 수행하기 위한 제1 이송 장치와의 무선 통신을 위한 통신 유닛이 장착되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer apparatus according to claim 8, wherein the first port unit is equipped with a communication unit for wireless communication with a first transfer apparatus for performing loading and unloading of the conveyed object with respect to the first port unit. . 제1항에 있어서, 상기 컨베이어 유닛과 상기 제1 포트 유닛 및 상기 제2 포트 유닛의 동작을 제어하기 위한 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying apparatus according to claim 1, further comprising a control unit for controlling operations of the conveyor unit, the first port unit, and the second port unit. 제10항에 있어서, 상기 제1 포트 유닛의 아래에 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 위치됨을 감지하기 위한 제1 핸드 감지 센서와,
상기 제2 포트 유닛의 아래에 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 위치됨을 감지하기 위한 제2 핸드 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.11. The method of claim 10, further comprising: a first hand detection sensor for detecting that any one of the hand units is located under the first port unit;
The transport device further comprising a second hand detection sensor for detecting that any one of the hand units is located under the second port unit. 제11항에 있어서, 상기 제어부는,
상기 제1 핸드 감지 센서에 의해 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 감지되는 경우 상기 제1 핸드 감지 센서에 의해 감지된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 또는 언로드가 수행되도록 상기 제1 포트 유닛의 동작을 제어하고,
상기 제2 핸드 감지 센서에 의해 상기 핸드 유닛들 중 어느 하나가 감지되는 경우 상기 제2 핸드 감지 센서에 의해 감지된 핸드 유닛에 대하여 상기 반송물의 로드 또는 언로드가 수행되도록 상기 제2 포트 유닛의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 11, wherein the control unit,
When any one of the hand units is detected by the first hand detection sensor, the operation of the first port unit is performed so that the load or unloading of the conveyed material is performed with respect to the hand unit sensed by the first hand detection sensor. control,
When any one of the hand units is detected by the second hand detection sensor, the operation of the second port unit is performed so that the load or unloading of the conveyed material is performed with respect to the hand unit sensed by the second hand detection sensor. A transport device, characterized in that it controls.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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