KR20220026373A - Transfer method and transfer apparatus - Google Patents

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KR20220026373A
KR20220026373A KR1020200107304A KR20200107304A KR20220026373A KR 20220026373 A KR20220026373 A KR 20220026373A KR 1020200107304 A KR1020200107304 A KR 1020200107304A KR 20200107304 A KR20200107304 A KR 20200107304A KR 20220026373 A KR20220026373 A KR 20220026373A
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KR1020200107304A
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송진호
이경철
박준철
김영우
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세메스 주식회사
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Abstract

A transport method and a transport device suitable for carrying out the same are disclosed. The transport method includes the steps of: using a first transport device to load a first transfer object on a first load port; transporting the first transfer object from the first load port onto a second load port using a transport robot; checking a transportable condition whether a load of a second transfer object is possible on the first load port; and loading the second transfer object onto the first load port using the first transport device when the second transfer object is loaded onto the first load port.

Description

이송 방법 및 이송 장치{Transfer method and transfer apparatus}Transfer method and transfer apparatus

본 발명의 실시예들은 이송 방법과 이송 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 반도체 장치의 제조 공정에서 반송물의 이송을 위한 방법과 이를 수행하기 위한 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a transport method and a transport device. More particularly, it relates to a method for transporting a conveyed object in a semiconductor device manufacturing process, and an apparatus for performing the same.

일반적으로 반도체 장치의 제조 라인은 복층으로 구성되며 각 층들은 증착, 노광, 식각, 세정 등의 공정 수행을 위한 설비들이 배치되는 클린룸들로 구성될 수 있다. 상기 클린룸들에서는 반도체 기판으로서 사용되는 반도체 웨이퍼에 대하여 반도체 장치의 제조를 위한 일련의 단위 공정들이 수행될 수 있다.In general, a semiconductor device manufacturing line is composed of multiple layers, and each layer may be composed of clean rooms in which facilities for performing processes such as deposition, exposure, etching, and cleaning are disposed. In the clean rooms, a series of unit processes for manufacturing a semiconductor device may be performed on a semiconductor wafer used as a semiconductor substrate.

상기 클린룸들에서 자재의 이송은 오버헤드 호이스트 이송(Overhead Hoist Transport; OHT) 장치 또는 무인 반송차에 의해 수행될 수 있으며, 상기 각 층들 사이에서의 자재 이송은 상기 각 층들을 통해 수직 방향으로 설치되는 타워 리프트에 의해 이루어질 수 있다. 상기 클린룸들의 내부에는 자재 보관을 위한 스토커 설비가 배치될 수 있으며, 일 예로서, 반도체 기판들이 수납된 FOUP(Front Opening Unified Pod)과 같은 용기는 상기 OHT 장치에 의해 상기 스토커(Stocker) 설비로 이송될 수 있다.Material transport in the clean rooms may be performed by an overhead hoist transport (OHT) device or an unmanned transport vehicle, and the material transport between the respective floors is installed in a vertical direction through the respective floors. This can be done by means of a tower lift. A stocker facility for material storage may be disposed inside the clean rooms, and as an example, a container such as a FOUP (Front Opening Unified Pod) in which semiconductor substrates are accommodated is transferred to the stocker facility by the OHT device. can be transported

한편, 상기 OHT 장치와 상기 스토커 설비 사이에는 반송물 즉 상기 용기를 이송하기 위한 이송 장치가 배치될 수 있으며, 상기 이송 장치는 상기 반송물이 놓여지는 제1 로드 포트와 제2 로드 포트 및 상기 반송물을 이송하기 위한 이송 로봇을 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 OHT 장치에 의해 상기 제1 로드 포트 상에 상기 반송물이 로드된 후 상기 이송 로봇은 상기 반송물을 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제2 로드 포트 상으로 이송할 수 있으며, 이어서 상기 반송물은 상기 스토커 설비에 구비되는 스토커 로봇에 의해 상기 제2 로드 포트로부터 상기 스토커 설비의 내부로 이송될 수 있다. 즉, 상기 이송 장치는 상기 OHT 장치와 스토커 설비 사이에서 상기 반송물의 전달을 위해 사용될 수 있다.On the other hand, between the OHT device and the stocker facility, a transport device for transporting the transported product, that is, the container may be disposed, and the transport device transports the transported product and the first load port and the second load port on which the transported substance is placed. It may include a transfer robot for doing so. For example, after the transported object is loaded onto the first load port by the OHT device, the transfer robot may transfer the transported object from the first load port onto the second load port, and then the transported object may be transferred from the second load port to the inside of the stocker facility by a stocker robot provided in the stocker facility. That is, the transport device may be used for transporting the transported material between the OHT device and the stocker facility.

그러나, 상기 반송물이 상기 스토커 설비로 이송된 후 후속하는 반송물이 상기 제1 로드 포트 상에 로드되기까지 상당한 시간이 소요될 수 있으며, 이에 의해 상기 이송 장치의 가동률이 저하될 수 있다. 아울러, 복수의 반송물들을 상기 OHT 장치와 스토커 설비 사이에서 이송하는데 소요되는 전체적인 시간을 단축시키기 어려운 문제점이 있다.However, after the conveyed material is transferred to the stocker facility, it may take a considerable time until a subsequent conveyed material is loaded onto the first load port, thereby reducing the operation rate of the conveying device. In addition, there is a problem in that it is difficult to reduce the overall time required to transport a plurality of conveyed materials between the OHT device and the stocker facility.

대한민국 공개특허공보 제10-2020-0079031호 (공개일자 2020년 07월 02일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2020-0079031 (published on July 02, 2020)

본 발명의 실시예들은 반송물들의 이송에 소요되는 시간을 단축시킬 수 있는 이송 방법과 이를 수행하는데 적합한 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a transport method capable of reducing the time required for transport of transported objects and a transport device suitable for performing the transport method.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 이송 방법은, 제1 이송 장치를 이용하여 제1 로드 포트 상에 제1 반송물을 로드하는 단계와, 이송 로봇을 이용하여 상기 제1 반송물을 상기 제1 로드 포트로부터 제2 로드 포트 상으로 이송하는 단계와, 상기 제1 로드 포트 상에 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인지 반송 가능 조건을 확인하는 단계와, 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인 경우 상기 제1 이송 장치를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물을 로드하는 단계를 포함할 수 있다.A transport method according to an aspect of the present invention for achieving the above object includes the steps of loading a first transported object on a first load port using a first transporting device, and using a transfer robot to transfer the first transported object to the The steps of transferring from the first load port onto the second load port, checking whether a second conveyed object can be loaded on the first load port, a conveyable condition, and the first load port on the first load port When it is possible to load the second conveyed product, the method may include loading the second conveyed product onto the first load port using the first conveying device.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 방법은, 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인 경우 반송 가능 신호를 상기 제1 이송 장치에 전송하는 단계를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transport method may further include transmitting a transport enable signal to the first transport device when the load of the second transported object on the first load port is possible. can

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 제2 로드 포트 상에 상기 제1 반송물이 로드되었는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the transportable condition may include a first condition for confirming whether the first transported object is unloaded from the first load port, and whether the first transported object is loaded on the second load port. A second condition to confirm may be included.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 이송 로봇이 상기 제1 반송물을 상기 제2 로드 포트 상에 로드하기 위한 위치에 도착하였는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the transportable condition includes a first condition for confirming whether the first transported object is unloaded from the first load port, and the transfer robot transfers the first transported object to the second load port. It may include a second condition to check whether the location for loading onto the phase has arrived.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 이송 로봇이 상기 제1 로드 포트와 상기 제2 로드 포트 사이에서 기 설정된 위치를 통과하였는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the transportable condition includes a first condition for checking whether the first transported object is unloaded from the first load port, and the transfer robot using the first load port and the second load port. It may include a second condition for checking whether a preset position has passed between ports.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 측면에 따른 이송 장치는, 반송물을 지지하기 위한 제1 로드 포트와, 상기 반송물을 지지하기 위한 제2 로드 포트와, 상기 제1 로드 포트와 상기 제2 로드 포트 사이에서 상기 반송물을 이송하기 위한 이송 로봇과, 상기 이송 로봇의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함할 수 있다. 특히, 상기 제어부는 제1 이송 장치에 의해 제1 반송물이 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 후 상기 이송 로봇이 상기 제1 반송물을 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제2 로드 포트 상으로 이송하도록 상기 이송 로봇의 동작을 제어하고, 상기 제1 로드 포트 상에 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인지 반송 가능 조건을 확인하며, 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인 경우 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물을 로드하기 위하여 상기 제1 이송 장치에 반송 가능 신호를 전송할 수 있다.A transport device according to another aspect of the present invention for achieving the above object, a first load port for supporting a transported object, a second load port for supporting the transported object, the first load port and the second rod It may include a transfer robot for transferring the conveyed material between ports, and a control unit for controlling the operation of the transfer robot. In particular, the control unit is configured to allow the transfer robot to transfer the first conveyed material from the first load port onto the second load port after the first conveyed material is loaded onto the first load port by the first conveying device. Controls the operation of the transfer robot, checks whether a condition in which a second conveyed object can be loaded on the first load port is checked, and when the load of the second conveyed object is possible on the first load port, the A transport enable signal may be transmitted to the first transport device to load the second transport product onto the first load port.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 로드 포트 상에 배치되며 상기 반송물을 감지하기 위한 제1 반송물 감지 센서와, 상기 제2 로드 포트 상에 배치되며 상기 반송물을 감지하기 위한 제2 반송물 감지 센서를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present disclosure, the transport device is disposed on the first load port and includes a first transported object detection sensor for detecting the transported object, and a first transported object detection sensor disposed on the second load port to detect the transported object It may further include a second conveyed object detection sensor for.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 제2 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 상기 제1 반송물이 로드되었는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transportable condition includes a first condition for confirming whether the first transported object is unloaded from the first load port using the first transported object detection sensor, and the second transported object detection and a second condition for confirming whether the first conveyed object is loaded on the second load port using a sensor.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 이송 로봇이 상기 반송물을 상기 제1 로드 포트 상에 로드 및 언로드하기 위한 제1 위치에 위치되어 있는지를 감지하기 위한 제1 로봇 위치 센서와, 상기 이송 로봇이 상기 반송물을 상기 제2 로드 포트 상에 로드 및 언로드하기 위한 제2 위치에 위치되어 있는지를 감지하기 위한 제2 로봇 위치 센서를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transport device includes a first robot position sensor for detecting whether the transport robot is positioned in a first position for loading and unloading the transported object onto the first load port. and a second robot position sensor for detecting whether the transfer robot is positioned at a second position for loading and unloading the transported object on the second load port.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 제2 로봇 위치 센서를 이용하여 상기 이송 로봇이 상기 제2 위치에 도착하였는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transportable condition includes a first condition for confirming whether the first transported object is unloaded from the first load port using the first transported object detection sensor, and the second robot position It may include a second condition for confirming whether the transfer robot has arrived at the second position using a sensor.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 이송 장치는, 상기 제1 로드 포트와 상기 제2 로드 포트 사이에서 기 설정된 제3 위치에 배치되며 상기 이송 로봇을 감지하기 위한 제3 로봇 위치 센서를 더 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transfer device is disposed at a preset third position between the first load port and the second load port and further includes a third robot position sensor for detecting the transfer robot. may include

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 제3 로봇 위치 센서를 이용하여 상기 이송 로봇이 상기 제3 위치를 통과하였는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the transportable condition includes a first condition of confirming whether the first transported object is unloaded from the first load port using the first transported object detection sensor, and the third robot position It may include a second condition for confirming whether the transfer robot has passed the third position using a sensor.

본 발명의 일부 실시예들에 따르면, 상기 제1 이송 장치는 오버헤드 호이스트 이송 장치일 수 있으며, 상기 제2 로드 포트 상으로 이송된 상기 제1 반송물은 제2 이송 장치에 의해 상기 제1 반송물을 보관하기 위한 스토커 설비로 이송될 수 있다.According to some embodiments of the present invention, the first conveying device may be an overhead hoist conveying device, and the first conveyed product transferred onto the second load port is transported by a second conveying device. It can be transferred to a stocker facility for storage.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제2 로드 포트 상으로 상기 제1 반송물을 이송하는 동안 상기 제1 로드 포트 상에 후속하는 제2 반송물이 로드될 수 있다. 즉, 상기 이송 로봇이 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 복귀하기 전에 상기 제2 반송물의 로드가 수행될 수 있으므로, 상기 반송물들의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 또한, 상기 제1 이송 장치가 상기 제2 반송물을 상기 제1 로드 포트 상에 로드하기 위하여 대기하는 시간이 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 이송 장치의 물류 효율이 크게 개선될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, a subsequent second conveyed material may be loaded onto the first load port while the first conveyed material is transferred from the first load port onto the second load port. there is. That is, since the loading of the second conveyed object may be performed before the transfer robot returns from the second position to the first position, the time required for transferring the conveyed material may be greatly reduced. In addition, the waiting time for the first transport device to load the second transported product onto the first load port can be reduced, and thus the logistics efficiency of the first transport device can be greatly improved.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송 방법을 수행하는데 적합한 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 3은 도 2에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 이송 방법을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.1 is a flowchart for explaining a transfer method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining a transport apparatus suitable for performing the transport method shown in FIG. 1 .
3 is a schematic plan view for explaining the transfer device shown in FIG.
4 to 6 are schematic configuration diagrams for explaining the transport method shown in FIG.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than being provided so that the present invention can be completely completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. it might be Conversely, when one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. Further, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in ordinary dictionaries, shall be interpreted to have meanings consistent with their meanings in the context of the related art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, eg, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, the embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are purely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 방법을 설명하기 위한 순서도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송 방법을 수행하는데 적합한 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.1 is a flowchart for explaining a transport method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a schematic configuration diagram for explaining a transport device suitable for performing the transport method shown in FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 방법과 이송 장치(100)는 반도체 장치의 제조 공정에서 반송물(20)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 반도체 웨이퍼들과 같은 자재들이 수납된 FOUP과 같은 용기의 이송을 위해 사용될 수 있다. 특히, 상기 이송 장치(100)는 제1 이송 장치(10)와 제2 이송 장치(미도시) 사이에서 상기 반송물(20)의 이송을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치와 같은 천장 이송 장치와 상기 반송물(20)의 보관을 위한 스토커 설비의 스토커 로봇 사이에서 상기 반송물(20)의 전달을 위해 사용될 수 있다. 다른 예로서, 상기 이송 장치(100)는 OHT 장치와 타워 리프트의 캐리지 로봇 사이에서 상기 반송물(20)의 전달을 위해 사용될 수 있다.1 and 2 , the transport method and transport apparatus 100 according to an embodiment of the present invention may be used for transporting a transported object 20 in a semiconductor device manufacturing process. For example, the transfer device 100 may be used to transfer a container such as a FOUP in which materials such as semiconductor wafers are accommodated. In particular, the transport device 100 may be used for transporting the conveyed material 20 between the first transport device 10 and the second transport device (not shown). For example, the transfer device 100 may be used for transferring the conveyed material 20 between a ceiling conveying device such as an OHT device and a stocker robot of a stocker facility for storage of the conveyed material 20 . As another example, the transport device 100 may be used for transporting the transported material 20 between the OHT device and a carriage robot of a tower lift.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 이송 장치(100)는, 상기 반송물(20)의 지지를 위한 제1 로드 포트(110)와, 상기 제1 로드 포트(110)로부터 일측 방향으로 이격되어 배치되며 상기 반송물(20)의 지지를 위한 제2 로드 포트(120)와, 상기 제1 로드 포트(110)와 상기 제2 로드 포트(120) 사이에서 상기 반송물(20)을 이송하기 위한 이송 로봇(130)과, 상기 이송 로봇(130)의 동작을 제어하기 위한 제어부(150)를 포함할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the transfer device 100 is disposed to be spaced apart from the first load port 110 and the first load port 110 in one direction for supporting the conveyed material 20 . and a second load port 120 for supporting the conveyed material 20, and a transfer robot for conveying the conveyed material 20 between the first load port 110 and the second load port 120 ( 130) and a control unit 150 for controlling the operation of the transfer robot 130 may be included.

상기 제1 로드 포트(110)와 상기 제2 로드 포트(120)는 수평 방향으로 연장하는 프레임 조립체(140) 상에 배치될 수 있으며, 상기 이송 로봇(130)은 상기 프레임 조립체(140)의 내부에 배치될 수 있다. 일 예로서, 상기 이송 로봇(130)은, 상기 반송물(20)을 지지하기 위한 로봇 핸드(132)와, 상기 로봇 핸드(132)를 수평 방향으로 이동시키기 위한 수평 구동부(134)와, 상기 로봇 핸드(132)를 수직 방향으로 이동시키기 위한 수직 구동부(136)를 포함할 수 있다.The first load port 110 and the second load port 120 may be disposed on a frame assembly 140 extending in a horizontal direction, and the transfer robot 130 is disposed inside the frame assembly 140 . can be placed in As an example, the transfer robot 130 includes a robot hand 132 for supporting the conveyed object 20 , a horizontal driving unit 134 for moving the robot hand 132 in a horizontal direction, and the robot A vertical driving unit 136 for moving the hand 132 in a vertical direction may be included.

도 3은 도 2에 도시된 이송 장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.3 is a schematic plan view for explaining the transfer device shown in FIG.

도 3을 참조하면, 상기 제1 로드 포트(110)는 제1 서포트 블록들(112)과 제1 서포트 플레이트(114)를 포함할 수 있다. 상기 제1 서포트 블록들(112)과 상기 제1 서포트 플레이트(114) 상에는 상기 반송물(20)의 위치를 정렬하기 위한 제1 포트 정렬핀들(116)이 구비될 수 있다. 상기 제1 포트 정렬핀들(116)은 상기 반송물(20), 예를 들면, 상기 FOUP의 하부에 형성된 정렬 슬롯들(미도시)에 삽입될 수 있다. 상기 제2 로드 포트(120)는 제2 서포트 블록들(122)과 제2 서포트 플레이트들(124)을 포함할 수 있으며, 상기 제2 서포트 블록들(122) 상에는 상기 반송물(20)의 위치를 정렬하기 위한 제2 포트 정렬핀들(126)이 구비될 수 있다.Referring to FIG. 3 , the first load port 110 may include first support blocks 112 and a first support plate 114 . First port alignment pins 116 for aligning the position of the conveyed material 20 may be provided on the first support blocks 112 and the first support plate 114 . The first port alignment pins 116 may be inserted into the conveyed material 20, for example, alignment slots (not shown) formed under the FOUP. The second load port 120 may include second support blocks 122 and second support plates 124 , and on the second support blocks 122 , the position of the conveyed material 20 is determined. Second port alignment pins 126 for alignment may be provided.

상기 로봇 핸드(132)는, 일 예로서, 알파벳 ‘T’자 형태를 가질 수 있으며, 상기 로봇 핸드(132)의 가장자리 부위들 상에는 상기 반송물(20)의 위치를 정렬하기 위한 정렬핀들(138)이 구비될 수 있다. 상기 제1 서포트 플레이트(114)에는 상기 로봇 핸드(132)의 가장자리 부위에 대응하는 리세스(118)가 구비될 수 있으며, 상기 제1 로드 포트(110)의 제1 포트 정렬핀들(116)은 상기 로봇 핸드(132)의 정렬핀들(138)과 수평 방향으로 서로 인접하게 배치될 수 있다.The robot hand 132 may have, for example, an alphabetic 'T' shape, and alignment pins 138 for aligning the position of the conveyed object 20 on the edge portions of the robot hand 132 . This may be provided. The first support plate 114 may be provided with a recess 118 corresponding to the edge portion of the robot hand 132 , and the first port alignment pins 116 of the first load port 110 are The alignment pins 138 of the robot hand 132 and the horizontal direction may be disposed adjacent to each other.

도 4 내지 도 6은 도 1에 도시된 이송 방법을 설명하기 위한 개략적인 구성도들이다.4 to 6 are schematic configuration diagrams for explaining the transport method shown in FIG.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 방법을 설명한다.Hereinafter, a transfer method according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

먼저, S102 단계에서, 도 4에 도시된 바와 같이, 제1 이송 장치(10), 예를 들면, 상기 OHT 장치를 이용하여 상기 제1 로드 포트(110) 상에 제1 반송물(22)이 로드될 수 있다. 이때, 상기 이송 로봇(130)은 상기 제1 로드 포트(110)에 대하여 상기 제1 반송물(22)의 로드 및 언로드를 위한 제1 위치에 위치될 수 있다.First, in step S102 , as shown in FIG. 4 , the first conveyed material 22 is loaded onto the first load port 110 using the first conveying device 10 , for example, the OHT device. can be In this case, the transfer robot 130 may be positioned at a first position for loading and unloading the first conveyed object 22 with respect to the first load port 110 .

S104 단계에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 이송 로봇(130)을 이용하여 상기 제1 반송물(22)을 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제2 로드 포트(120)로 이송할 수 있다. 구체적으로, 상기 로봇 핸드(132)는 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제1 반송물(22)을 언로드하기 위하여 상기 수직 구동부(136)에 의해 상승될 수 있으며, 이어서 상기 수평 구동부(134)에 의해 상기 제2 로드 포트(120)를 향하여 이동될 수 있다. 이어서, 상기 이송 로봇(130)이 상기 제2 로드 포트(120)에 대하여 상기 제1 반송물(22)의 로드 및 언로드를 위한 제2 위치로 이동된 후 상기 로봇 핸드(132)가 하강될 수 있으며 이에 의해 상기 제1 반송물(22)이 상기 제2 로드 포트(120) 상에 로드될 수 있다.In step S104 , as shown in FIG. 5 , the first conveyed material 22 may be transferred from the first load port 110 to the second load port 120 using the transfer robot 130 . there is. Specifically, the robot hand 132 may be raised by the vertical driving unit 136 to unload the first conveyed material 22 from the first load port 110 , and then the horizontal driving unit 134 . may be moved toward the second load port 120 by the Subsequently, after the transfer robot 130 is moved to a second position for loading and unloading the first conveyed object 22 with respect to the second load port 120 , the robot hand 132 may be lowered. Accordingly, the first conveyed material 22 may be loaded onto the second load port 120 .

한편, 도시되지는 않았으나, 상기 제1 반송물(22)을 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제2 로드 포트(120)로 이송하는 동안 상기 제1 반송물(22)의 방향을 변경할 필요가 있는 경우, 상기 이송 로봇(130)은 상기 로봇 핸드(132)를 회전시키기 위한 회전 구동부(미도시)를 더 포함할 수 있다. 또한, 상기의 경우 상기 제2 로드 포트(120)의 제2 서포트 블록들(122)과 상기 제2 서포트 플레이트들(124)의 위치는 서로 바뀔 수 있다.Meanwhile, although not shown, it is necessary to change the direction of the first conveyed material 22 while transferring the first conveyed material 22 from the first load port 110 to the second load port 120 . In this case, the transfer robot 130 may further include a rotation driving unit (not shown) for rotating the robot hand 132 . Also, in this case, the positions of the second support blocks 122 and the second support plates 124 of the second load port 120 may be interchanged.

S106 단계에서, 상기 제어부(150)는 상기 제1 로드 포트(110) 상에 제2 반송물(24; 도 6 참조)의 로드가 가능한 상태인지 반송 가능 조건을 확인할 수 있으며, S108 단계에서, 상기 제1 로드 포트(110) 상에 상기 제2 반송물(24)의 로드가 가능한 상태인 경우, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 제1 이송 장치(10)를 이용하여 상기 제1 로드 포트(110) 상에 상기 제2 반송물(24)을 로드할 수 있다.In step S106 , the control unit 150 may check whether the second conveyed material 24 (refer to FIG. 6 ) can be loaded onto the first load port 110 and check the conveying possible condition, and in step S108 , the second conveyed material 24 (refer to FIG. 6 ) When the load of the second conveyed material 24 on the first load port 110 is possible, as shown in FIG. 6 , the first load port 110 using the first conveying device 10 . It is possible to load the second conveyed material 24 on the.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제어부(150)는 상기 제1 로드 포트(110) 상에 상기 제2 반송물(24)의 로드가 가능한 상태인 경우 반송 가능 신호를 상기 제1 이송 장치(10)에 전송할 수 있다. 예를 들면, 상기 제어부(150)는 상기 OHT 장치의 제어를 위한 OCS(OHT Control Server) 장치로 반송 가능 신호를 전송할 수 있으며, 이어서 상기 OHT 장치는 상기 제2 반송물(24)을 상기 제1 로드 포트(110) 상에 로드할 수 있다. 한편, 상기 제2 로드 포트(120) 상으로 이송된 상기 제1 반송물(22)은 제2 이송 장치(미도시), 예를 들면, 상기 스토커 설비의 스토커 로봇에 의해 상기 스토커 설비의 내부로 이송될 수 있다. 상기 스토커 설비는 반송물들(20)을 지지하기 위한 복수의 선반들을 구비할 수 있으며, 상기 스토커 로봇은 상기 제1 반송물(22)을 상기 선반들 중 하나로 이송할 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the control unit 150 transmits a transfer enable signal to the first transfer device 10 when the load of the second transfer material 24 is possible on the first load port 110 . ) can be sent to For example, the control unit 150 may transmit a transport enable signal to an OCS (OHT Control Server) device for controlling the OHT device, and then the OHT device transfers the second transported material 24 to the first load. can be loaded onto port 110 . On the other hand, the first conveyed material 22 transferred onto the second load port 120 is transferred to the inside of the stocker facility by a second conveying device (not shown), for example, a stocker robot of the stocker facility. can be The stocker facility may include a plurality of shelves for supporting the conveyed objects 20 , and the stocker robot may transfer the first conveyed material 22 to one of the shelves.

일 예로서, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제1 반송물(22)이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 제2 로드 포트(120) 상에 상기 제1 반송물(22)이 로드되었는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다. 구체적으로, 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 제1 로드 포트(110) 상에는 상기 반송물(20)을 감지하기 위한 제1 반송물 감지 센서(160)가 배치될 수 있으며, 상기 제2 로드 포트(120) 상에는 상기 반송물(20)을 감지하기 위한 제2 반송물 감지 센서(162)가 배치될 수 있다. 상기 제어부(150)는 상기 제1 반송물 감지 센서(160)를 이용하여 상기 제1 조건을 확인할 수 있으며, 상기 제2 반송물 감지 센서(162)를 이용하여 상기 제2 조건을 확인할 수 있다.As an example, the transportable condition includes a first condition for confirming whether the first transported object 22 is unloaded from the first load port 110 , and the first transported object on the second load port 120 . (22) may include a second condition to check whether it is loaded. Specifically, referring to FIGS. 2 and 3 , a first transported object detection sensor 160 for detecting the transported object 20 may be disposed on the first load port 110 , and the second load port ( On 120), a second conveyed object detection sensor 162 for detecting the conveyed material 20 may be disposed. The control unit 150 may check the first condition using the first conveyed object detection sensor 160 , and may determine the second condition using the second conveyed material detection sensor 162 .

다른 예로서, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제1 반송물(22)이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 이송 로봇(130)이 상기 제1 반송물(22)을 상기 제2 로드 포트(120) 상에 로드하기 위한 위치에 도착하였는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 이송 장치(100)는, 상기 이송 로봇(130)이 상기 반송물(20)을 상기 제1 로드 포트(110) 상에 로드 및 언로드하기 위한 제1 위치에 위치되어 있는지를 감지하기 위한 제1 로봇 위치 센서(170)와, 상기 이송 로봇(130)이 상기 반송물(20)을 상기 제2 로드 포트(120) 상에 로드 및 언로드하기 위한 제2 위치에 위치되어 있는지를 감지하기 위한 제2 로봇 위치 센서(172)를 포함할 수 있으며, 상기 제어부(150)는 상기 제1 반송물 감지 센서(160)를 이용하여 상기 제1 조건을 확인할 수 있으며, 상기 제2 로봇 위치 센서(172)를 이용하여 상기 제2 조건을 확인할 수 있다.As another example, the transportable condition includes a first condition of confirming whether the first transported object 22 is unloaded from the first load port 110 , and the transfer robot 130 is the first transported object 22 . It may include a second condition for checking whether the load has arrived at a position for loading on the second load port 120 . Specifically, the transfer device 100 is configured to detect whether the transfer robot 130 is positioned at a first position for loading and unloading the transfer object 20 onto the first load port 110 . A first robot position sensor 170 and a first for detecting whether the transfer robot 130 is positioned at a second position for loading and unloading the conveyed object 20 onto the second load port 120 . 2 may include a robot position sensor 172 , and the control unit 150 may check the first condition using the first transported object detection sensor 160 , and control the second robot position sensor 172 . can be used to confirm the second condition.

또 다른 예로서, 상기 반송 가능 조건은, 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제1 반송물(22)이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과, 상기 이송 로봇(130)이 상기 제1 로드 포트(110)와 상기 제2 로드 포트(120) 사이에서 기 설정된 위치를 통과하였는지 확인하는 제2 조건을 포함할 수 있다. 구체적으로, 상기 이송 장치(100)는, 상기 제1 로드 포트(110)와 상기 제2 로드 포트(120) 사이에서 기 설정된 제3 위치에 배치되며 상기 이송 로봇(130)을 감지하기 위한 제3 로봇 위치 센서(174)를 포함할 수 있으며, 상기 제어부(150)는 상기 제1 반송물 감지 센서(160)를 이용하여 상기 제1 조건을 확인할 수 있으며, 상기 제3 로봇 위치 센서(174)를 이용하여 상기 제2 조건을 확인할 수 있다.As another example, the transportable condition includes a first condition for confirming whether the first transported object 22 is unloaded from the first load port 110 and the transfer robot 130 is 110) and the second load port 120 may include a second condition for checking whether a preset position has passed. Specifically, the transfer device 100 is disposed at a third preset position between the first load port 110 and the second load port 120 and is configured to detect the transfer robot 130 . A robot position sensor 174 may be included, and the control unit 150 may check the first condition using the first transported object detection sensor 160 , and use the third robot position sensor 174 . Thus, the second condition can be confirmed.

상기에서는 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제2 로드 포트(120)로 상기 제1 반송물(22)을 이송하고, 상기 제1 로드 포트(110) 상에 상기 제2 반송물(24)을 로드하는 방법을 설명하였으나, 상기와 반대로, 상기 제2 로드 포트(120)로부터 상기 제1 로드 포트(110) 상으로 제3 반송물(미도시)을 이송하고, 상기 제2 로드 포트(120) 상에 후속하는 제4 반송물(미도시)을 로드하는 방법 또한 상기한 바와 유사하게 수행될 수 있다.In the above, the first conveyed material 22 is transferred from the first load port 110 to the second load port 120 , and the second conveyed material 24 is loaded onto the first load port 110 . Although the method has been described, in contrast to the above, a third conveyed material (not shown) is transferred from the second load port 120 onto the first load port 110 , and on the second load port 120 . A method of loading a subsequent fourth conveyed product (not shown) may also be performed similarly to the above.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 제1 로드 포트(110)로부터 상기 제2 로드 포트(120) 상으로 상기 제1 반송물(22)을 이송하는 동안 상기 제1 로드 포트(110) 상에 후속하는 제2 반송물(24)이 로드될 수 있다. 즉, 상기 이송 로봇(130)이 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 복귀하기 전에 상기 제2 반송물(24)의 로드가 수행될 수 있으므로, 상기 반송물들(20)의 이송에 소요되는 시간이 크게 단축될 수 있다. 또한, 상기 제1 이송 장치(10)가 상기 제2 반송물(24)을 상기 제1 로드 포트(110) 상에 로드하기 위하여 대기하는 시간이 감소될 수 있으며, 이에 따라 상기 제1 이송 장치(10)의 물류 효율이 크게 개선될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the first load port 110 while transferring the first conveyed material 22 from the first load port 110 to the second load port 120 . ) may be loaded with a subsequent second conveyed product 24 . That is, since the loading of the second conveyed material 24 can be performed before the transfer robot 130 returns from the second position to the first position, the time required for transferring the conveyed objects 20 is reduced. can be greatly shortened. In addition, the waiting time for the first transfer device 10 to load the second transfer material 24 onto the first load port 110 may be reduced, and accordingly, the first transfer device 10 ) can greatly improve the logistics efficiency.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 제1 이송 장치 20 : 반송물
22 : 제1 반송물 24 : 제2 반송물
100 : 이송 장치 110 : 제1 로드 포트
120 : 제2 로드 포트 130 : 이송 로봇
132 : 로봇 핸드 140 : 프레임 조립체
150 : 제어부 160 : 제1 반송물 감지 센서
162 : 제2 반송물 감지 센서 170 : 제1 로봇 위치 센서
172 : 제2 로봇 위치 센서 174 : 제3 로봇 위치 센서10: first transfer device 20: conveyed material
22: first conveyed product 24: second conveyed product
100: transport device 110: first load port
120: second load port 130: transfer robot
132: robot hand 140: frame assembly
150: control unit 160: first transported object detection sensor
162: second conveyed object detection sensor 170: first robot position sensor
172: second robot position sensor 174: third robot position sensor

Claims (14)

제1 이송 장치를 이용하여 제1 로드 포트 상에 제1 반송물을 로드하는 단계;
이송 로봇을 이용하여 상기 제1 반송물을 상기 제1 로드 포트로부터 제2 로드 포트 상으로 이송하는 단계;
상기 제1 로드 포트 상에 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인지 반송 가능 조건을 확인하는 단계; 및
상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인 경우 상기 제1 이송 장치를 이용하여 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물을 로드하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 방법.loading a first conveyed product onto a first load port using a first conveying device;
transferring the first conveyed object from the first load port onto a second load port using a transfer robot;
checking a transportable condition whether a second transported object can be loaded on the first load port; and
and loading the second conveyed material onto the first load port using the first conveying device when the second conveyed material is loaded onto the first load port. . 제1항에 있어서, 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인 경우 반송 가능 신호를 상기 제1 이송 장치에 전송하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 방법.The transport method according to claim 1, further comprising: transmitting a transport enable signal to the first transport device when the second transport object can be loaded on the first load port. 제1항에 있어서, 상기 반송 가능 조건은,
상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과,
상기 제2 로드 포트 상에 상기 제1 반송물이 로드되었는지 확인하는 제2 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 방법.According to claim 1, wherein the transport possible condition,
a first condition for confirming whether the first conveyed material is unloaded from the first load port;
and a second condition for confirming whether the first conveyed material is loaded on the second load port. 제1항에 있어서, 상기 반송 가능 조건은,
상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과,
상기 이송 로봇이 상기 제1 반송물을 상기 제2 로드 포트 상에 로드하기 위한 위치에 도착하였는지 확인하는 제2 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 방법.According to claim 1, wherein the transport possible condition,
a first condition for confirming whether the first conveyed material is unloaded from the first load port;
and a second condition for confirming whether the transfer robot has arrived at a position for loading the first conveyed object onto the second load port. 제1항에 있어서, 상기 반송 가능 조건은,
상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과,
상기 이송 로봇이 상기 제1 로드 포트와 상기 제2 로드 포트 사이에서 기 설정된 위치를 통과하였는지 확인하는 제2 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 방법.According to claim 1, wherein the transport possible condition,
a first condition for confirming whether the first conveyed material is unloaded from the first load port;
and a second condition for confirming whether the transfer robot has passed a preset position between the first load port and the second load port. 반송물을 지지하기 위한 제1 로드 포트;
상기 반송물을 지지하기 위한 제2 로드 포트;
상기 제1 로드 포트와 상기 제2 로드 포트 사이에서 상기 반송물을 이송하기 위한 이송 로봇; 및
상기 이송 로봇의 동작을 제어하기 위한 제어부를 포함하되,
상기 제어부는 제1 이송 장치에 의해 제1 반송물이 상기 제1 로드 포트 상에 로드된 후 상기 이송 로봇이 상기 제1 반송물을 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제2 로드 포트 상으로 이송하도록 상기 이송 로봇의 동작을 제어하고, 상기 제1 로드 포트 상에 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인지 반송 가능 조건을 확인하며, 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물의 로드가 가능한 상태인 경우 상기 제1 로드 포트 상에 상기 제2 반송물을 로드하기 위하여 상기 제1 이송 장치에 반송 가능 신호를 전송하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.a first load port for supporting a conveyed product;
a second load port for supporting the conveyed material;
a transfer robot for transferring the conveyed material between the first load port and the second load port; and
Including a control unit for controlling the operation of the transfer robot,
The control unit is configured such that after a first conveyed product is loaded onto the first load port by a first conveying device, the conveying robot transfers the first conveyed product from the first load port onto the second load port. control the operation of the first load port, check whether a condition in which a second conveyed object can be loaded on the first load port is checked, and when the load of the second conveyed object is possible on the first load port, the first and transmitting a transport enable signal to the first transport device to load the second transported object onto a load port. 제6항에 있어서, 상기 제1 로드 포트 상에 배치되며 상기 반송물을 감지하기 위한 제1 반송물 감지 센서와,
상기 제2 로드 포트 상에 배치되며 상기 반송물을 감지하기 위한 제2 반송물 감지 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.7. The method of claim 6, further comprising: a first transported object detection sensor disposed on the first load port and configured to detect the transported object;
The transport apparatus according to claim 1, further comprising a second transported object detection sensor disposed on the second load port and configured to detect the transported object. 제7항에 있어서, 상기 반송 가능 조건은,
상기 제1 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과,
상기 제2 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제2 로드 포트 상에 상기 제1 반송물이 로드되었는지 확인하는 제2 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.According to claim 7, wherein the transport possible condition,
a first condition for confirming whether the first conveyed material is unloaded from the first load port using the first conveyed material detection sensor;
and a second condition for confirming whether the first conveyed material is loaded on the second load port using the second conveyed material detection sensor. 제7항에 있어서, 상기 이송 로봇이 상기 반송물을 상기 제1 로드 포트 상에 로드 및 언로드하기 위한 제1 위치에 위치되어 있는지를 감지하기 위한 제1 로봇 위치 센서와,
상기 이송 로봇이 상기 반송물을 상기 제2 로드 포트 상에 로드 및 언로드하기 위한 제2 위치에 위치되어 있는지를 감지하기 위한 제2 로봇 위치 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.A first robot position sensor according to claim 7, further comprising: a first robot position sensor for detecting whether the transfer robot is positioned in a first position for loading and unloading the transported object onto the first load port;
and a second robot position sensor for detecting whether the transfer robot is positioned at a second position for loading and unloading the conveyed object onto the second load port. 제9항에 있어서, 상기 반송 가능 조건은,
상기 제1 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과,
상기 제2 로봇 위치 센서를 이용하여 상기 이송 로봇이 상기 제2 위치에 도착하였는지 확인하는 제2 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.10. The method of claim 9, wherein the transport possible condition,
a first condition for confirming whether the first conveyed material is unloaded from the first load port using the first conveyed material detection sensor;
and a second condition for confirming whether the transfer robot has arrived at the second position by using the second robot position sensor. 제9항에 있어서, 상기 제1 로드 포트와 상기 제2 로드 포트 사이에서 기 설정된 제3 위치에 배치되며 상기 이송 로봇을 감지하기 위한 제3 로봇 위치 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The transfer apparatus according to claim 9, further comprising a third robot position sensor disposed at a preset third position between the first load port and the second load port and configured to detect the transfer robot. 제11항에 있어서, 상기 반송 가능 조건은,
상기 제1 반송물 감지 센서를 이용하여 상기 제1 로드 포트로부터 상기 제1 반송물이 언로드되었는지 확인하는 제1 조건과,
상기 제3 로봇 위치 센서를 이용하여 상기 이송 로봇이 상기 제3 위치를 통과하였는지 확인하는 제2 조건을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The method of claim 11, wherein the transportable condition is:
a first condition for confirming whether the first conveyed material is unloaded from the first load port using the first conveyed material detection sensor;
and a second condition for confirming whether the transfer robot has passed the third position by using the third robot position sensor. 제6항에 있어서, 상기 제1 이송 장치는 오버헤드 호이스트 이송 장치인 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying apparatus according to claim 6, characterized in that the first conveying device is an overhead hoist conveying device. 제13항에 있어서, 상기 제2 로드 포트 상으로 이송된 상기 제1 반송물은 제2 이송 장치에 의해 상기 제1 반송물을 보관하기 위한 스토커 설비로 이송되는 것을 특징으로 하는 이송 장치.The conveying apparatus according to claim 13, wherein the first conveyed product transferred onto the second load port is transferred to a stocker facility for storing the first conveyed product by a second conveying device.
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