KR20220022231A - 컬러 필터 및 컬러 필터의 제조 방법 - Google Patents

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KR20220022231A
KR20220022231A KR1020200103145A KR20200103145A KR20220022231A KR 20220022231 A KR20220022231 A KR 20220022231A KR 1020200103145 A KR1020200103145 A KR 1020200103145A KR 20200103145 A KR20200103145 A KR 20200103145A KR 20220022231 A KR20220022231 A KR 20220022231A
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이준석
장윤옥
김성호
최광준
이현민
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세메스 주식회사
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Abstract

본 발명은 컬러 필터를 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 컬러 필터는. 기판; 상기 기판에 상에 형성되고 복수의 화소부를 구획하는　뱅크; 상기 화소부에 형성되고, 상기 화소부 보다 좁은 폭을 가지며, 상기 뱅크보다 낮은 높이를 갖는 복수의 제1 구조물; 및 상기 제1 구조물보다 높은 높이로 상기 화소부에 채워진 잉크막을 포함한다.

Description

컬러 필터 및 컬러 필터의 제조 방법{COLOR FILTER AND METHOD FOR MANUFATURING COLOR}
본 발명은 액정표시소자 등에 사용되는 컬러 필터에 관한 것이다. 또한,　잉크 제트법에 의한 미소액정토출법을 응용하여 컬러 필터를 제조하는 방법에 관한 것이다.
컬러 액정 디스플레이에 사용되는 컬러 필터의 제조 방법으로서, 잉크젯 방식으로 착색 잉크를 분사하여 착색층(화소부)을 형성하는 방법이 제안되어 있다. 이러한 잉크젯 방식은 간편하고 원가가 저렴하고, 잉크의 사용량이 적은 등의 이점이 있다.
그러나, 도 1을 통해 참조되듯이, 컬러 필터는 RGB에 해당하는 화소부 이외에 그것의 경계면에 해당하는 뱅크(4)로 구분된다. 화소부에 잉크 방울이 드랍되어 잉크막을 형성한 이후에 화소부는 RGB 잉크막으로 채워지고, 그 이외 영역은 이물이 없는 클린한 상태여야 함에도 뱅크(3)의 상면에는 마이크로 스팟(2)이 발생한다. 뱅크(4)의 오염은 디스플레이 패널 특성에 영향을 주게 되며 불량의 원인이 된다.
본 발명의 발명자들은 마이크로 스팟(2)의 원인을 발견하는 과정에서, 도 2를 통해 참조되듯이, 잉크 방울이 젯팅(jetting)되어 화소부로 공급되면서 잉크가 기판과 충돌 시에 리바운드에 의한 잉크 날림 현상이 발생할 가능성이 높은 것을 확인하였고, 리바운드에 의한 잉크 날림 현상은 마이크로 스팟(2)을 일으키는 요소인 것으로 파악한다.
본 발명은 고품질의 컬러 필터와 불량 발생이 적은 컬러 필터 필터 제조 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명은 뱅크에 발생하는 마이크로 스팟이 최소화될 수 있는 컬러 필터와 컬러 필터 필터 제조 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제가 상술한 과제들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명의 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 컬러 필터를 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 컬러 필터는. 기판; 상기 기판에 상에 형성되고 복수의 화소부를 구획하는　뱅크; 상기 화소부에 형성되고, 상기 화소부 보다 좁은 폭을 가지며, 상기 뱅크보다 낮은 높이를 갖는 복수의 제1 구조물; 및 상기 제1 구조물보다 높은 높이로 상기 화소부에 채워진 잉크막을 포함한다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 상기 화소부를 구성하는 상기 기판의 표면에서 상방으로 돌출되게 형성되는 것일 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 표면이 친잉크성으로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 투명한 소재로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 에칭 가능한 소재로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 절연성 재료로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 수십 nm 내지 수십 ㎛ 간격으로 배치될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 화소부에서 상기 잉크막과 접촉하는 표면은 친잉크성으로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 뱅크의 상부 표면은 발잉크성으로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 제1 구조물은 벽 구조 또는 기둥 구조로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명은 컬러 필터를 제조하는 방법을 제공한다. 일 실시 예에 있어서, 기판상에 형성된 뱅크로 둘러싸인 복수의 화소부 내에 잉크막을 포함하는 컬러 필터의 제조 방법은, 기판상에 형성된 뱅크에 의해 구획된 복수의 화소부에 에칭 가능한 소재로 제공되는 제1 소재층을 채워서 상기 뱅크의 높이보다 낮은 막을 형성하는 공정과; 상기 제1 소재층의 상부에 제1 감광성 박막 패턴을 형성하는 공정과; 상기 제1 감광성 박막 패턴 사이로 드러난 상기 제1 소재층을 에칭하여 복수의 제1 구조물을 형성하는 공정과; 상기 제1 감광성 박막 패턴을 제거하는 공정과; 상기 화소부 내에　잉크를 충전하여 잉크막을 형성하는 공정을 포함한다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 친잉크성 재료로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 투명한 소재로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 복수의 제1 구조물은 절연성 재료로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 제1 감광성 박막 패턴은 패턴 폭이 수십 nm이고, 간격이 수십 nm 내지 수십 um 간격으로 형성 될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 기판의 표면은 친잉크성을 갖도록 처리되어 제공되고, 상기 뱅크는 친잉크성 재료로 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 뱅크의 상부 표면은 발잉크성으로 처리되어 제공될 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 기판상에 형성된 뱅크는, 상기 기판의 표면을 친잉크성으로 하는 공정과; 상기 기판에 친잉크성의 제2 소재층를 적층하는 공정과; 상기 제2 소재층의 표면을 발잉크성으로 하는 공정과; 상기 제2 소재층의 상부에 제2 감광성 박막 패턴을 형성하는 공정과; 상기 제2 감광성 박막 패턴 사이로 드러난 상기 제2 소재층을 에칭하여 상기 뱅크를 형성하는 공정을 통해 형성할 수 있다.
일 실시 예에 있어서, 상기 제1 구조물은 벽 구조 또는 기둥 구조로 형성할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따른 컬러 필터는, 상부 표면이 친잉크성을 갖는 기판; 상기 기판에 상에 형성되고 복수의 화소부를 구획하며, 측면은 친잉크성으로 상면은 발잉크성을 갖는　뱅크; 상기 화소부에 형성되고, 상기 화소부 보다 좁은 폭을 가지며, 상기 뱅크보다 낮은 높이를 가지며,투명하고 에칭 가능하며 절연성의 소재로 제공되고, 표면이 친잉크성으로 제공되는 복수의 제1 구조물; 및 상기 제1 구조물보다 높은 높이로 상기 화소부에 채워진 잉크막을 포함한다.
본 발명은 고품질의 컬러 필터와 불량 발생이 적은 컬러 필터 필터 제조 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명은 뱅크에 발생하는 마이크로 스팟이 최소화될 수 있는 컬러 필터와 컬러 필터 필터 제조 방법을 제공하는 것을 일 목적으로 한다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 방법에 따라 제조된 컬러 필터의 뱅크 상면에 발생한 마이크로 스팟을 도시한 것이다.
도 2는 종래의 방법 및 구조에 따른 컬러 필터에 잉크 방울을 적하함에 따라 발생하는 리바운드현상을 순차적으로 도시한 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 절개하여 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부의 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부에 잉크를 적하하여 잉크막을 형성하는 모습을 순차적으로 도시한 것이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 에에 따른 컬러 필터를 절개하여 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 제조하는 방법을 나타낸 플로우 차트이다.
도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터의 제1 구조물을 형성하는 방법을 나타낸 것이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 절개하여 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부를 도시한 사시도이다. 도시된 화소부(11)는 R, G, B 중 어느 하나의 색깔을 갖는 잉크액이 채워지는 공간이다.
화소부(11)는 기판(10) 상에 형성된다. 화소부(11)는 기판(10)상에 형성된 뱅크(20)에 의해 구획된다. 뱅크(20)는 블랙 마스크를 포함할 수 있다. 뱅크(20)는 상면(20a)과 측면(20b)을 포함한다.
화소부(11)에는 제1 구조물(30)이 복수개 형성된다. 제1 구조물은 화소부(11)를 이루는 지면에 해당하는 기판(10)의 상면에서 상부 방향으로 돌출되어 제공된다. 도 3에 도시된 일 실시 예에 의하면 제1 구조물(30)은 화소부(11)를 복수개의 영역으로 구획하는 벽구조로 형성될 수 있다.
벽구조의 제1 구조물(30)이 뱅크(20)의 측벽(20b)과 접촉하지 않고 소정거리 이격되게 형성하였다.그러나, 벽구조의 제1 구조물(30)은 화소부(11)를 형성하는 뱅크(20)의 측벽(20b)과 접촉하도록 제공될 수 있다. 제1 구조물(30)에 대한 형상은 잉크액의 특성에 따라 달리 설정될 수 있다.
제1 구조물(30)은 표면이 친잉크성으로 제공된다. 제1 구조물(30)은 투명한 소재로 제공되어, 후방에서 발광되는 빛이 통과될 수 있도록 한다. 제1 구조물(30)은 광투과성이 높은 소재인 것이 바람직하다. 제1 구조물(30)은 절연성 소재로 제공되어, 전기적 특성이 나타나지 않도록 하는 것이 바람직하다.
제1 구조물(30)은 그 제조 기법에 따라 소재가 달리 설정될 수 있으나, 에칭 가능한 소재로 제공되는 것이 바람직하다. 다만, 막에서 특정 형상으로 성장 가능한 소재로 제공될 수도 있다. 또한 제1 구조물(30)은 나노임프린팅 방법에 의해 형성될 수도 있다.
화소부(11)의 측면을 정의하는 뱅크(20)의 측벽(20a)과 화소부(11)의 바닥면을 정의하는 기판(10)의 상면(10a)은 친잉크성으로 제공된다. 일예로 잉크가 친수성인 경우 뱅크(20)의 측벽(20b)과 기판(10)의 상면(10a)은 친수성으로 제공된다.
뱅크(20)의 상면(20a)은 발잉크성으로 제공된다. 일예로 잉크가 친수성인 경우 뱅크(20)의 상면(20a)은 소수성으로 제공된다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부의 단면도이다. 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4를 통해 설명하는 사항은, 화소부(11)와 제1 구조물(30)과의 관계에 대한 이해를 높이기 위함이지, 제시된 수치로 발명을 한정하고자 하는 것이 아님을 이해하여야 한다.
일 예에 따르면 화소부(11)의 폭(W1)은 80 ㎛ 내지 120 ㎛로 제공될 수 있다. 제1 구조물(30)의 폭(W2)은 수십nm 내지 수㎛로 제공될 수 있다. 일예로, 제1 구조물(30)이 20nm로 제공될 수 있으나, 이 경우 잉크 방울과 충돌시 붕괴가 일어나지 않을 정도의 강도가 제공되어야 한다. 제1 구조물(30)의 폭은 잉크 방울과 제1 구조물(30)의 충돌 강도와 제1 구조물(30)의 소재적 특성에 따라 달리 설정될 수 있으나, 가능하다면 얇은 폭으로 제공되는 것이 보다 바람직하다.
제1 구조물(30)간의 간격(W2)은 수십nm 내지 수십㎛로 제공된다. 제1 구조물(30)간의 간격은 잉크액의 특성에 따라 달리 설정될 수 있으나, 마이크로 스팟이 발생하지 않는 최적의 조건 내에서 적은 개수가 제공될수록 유리할 것으로 예상한다. 일 예에 있어서, 80 ㎛ 내지 120 ㎛의 폭(W1)을 갖는 화소부(11)에서 5 내지 10개 정도가 제공되면 적절한 것으로 파악하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제1 구조물(30)의 높이(h2)는 뱅크(h1)의 높이보다 낮게 형성한다. 이로 인해 화소부(11)에 요구되는 용량의 잉크를 적하한 후 최종 상면에서는 제1 구조물(30)이 보이지 않게 하여 얼룩으로 오인식 되지 않도록 한다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부에 잉크를 적하하여 잉크막을 형성하는 모습을 순차적으로 도시한 것이다.도 5를 참조하면, 잉크 방울(1)이 화소부(11)의 바닥면(10a)에 충돌되기 전 제1 구조물(30)에 선충돌 되면서 완충 작용으로 리바운드 성 마이크로 스팟이 감소될 수 있다. 드랍된 잉크 방울은 제1 구조물(20)의 패턴을 따라 화소부(11)의 저부에서 퍼질 수 있다.
잉크 방울(1)은 10 방울 내외로 적하되어 화소부(11)를 채워 잉크막(3)을 형성하고, 최종적으로 형성된 잉크막(3)은 제1 구조물(30)보다 높은 높이로 채워진다.
도 6은 본 발명의 다른 실시 에에 따른 컬러 필터를 절개하여 컬러 필터를 이루는 하나의 화소부를 도시한 사시도이다. 다른 실시 예에 따르면, 제1 구조물(130)은 기둥 구조로 제공된다.
제1 구조물에 관하여 벽 구조(30)와 기둥 구조(130)를 에로 설명하였으나, 제1 구조물은 잉크 방울(1)이 화소부(11)의 바닥면(10a)에 충돌되기 전 제1 구조물(30)을 부수어서 완충할 수 있는 구조이면 충분하다.
도 7은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 제조하는 방법을 나타낸 플로우 차트이다. 도 8은 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터의 제1 구조물을 형성하는 방법을 나타낸 것이다. 도 7과 도 8을 참조하여, 본 발명의 일 실시 예에 따른 컬러 필터를 제조하는 방법을 설명한다.
먼저, 기판(10)상에 뱅크(20)를 형성한다(S10). 뱅크(20)는 화소부(11)를 정의한다.
기판(10) 상에 뱅크(20)를 형성하기에 앞서서, 기판(10)의 표면을 친잉크성으로 개질하는 공정을 행할 수 있다. 기판(10)의 표면을 친잉크성으로 개질하는 공정은 기판(10)을 친잉크성을 갖는 공정 가스로 여기된 플라즈마에 노출키는 것일 수 있다.
이후 친잉크성 소재의 것으로 기판(10)상에 제2 소재층을 적층하고, 적층된 제2 소재층의 표면을 발잉크성으로 개질하는 공정을 행할 수 있다. 적층된 제2 소재층의 상의 표면을 발잉크성으로 개질하는 공정은 제2 소재층이 적층된 기판을 발잉크성을 갖는 공정 가스로 여기된 플라즈마에 노출키는 것일 수 있다.
상면이 발잉크성을 갖도록 표면이 개질된 제2 소재층의 상면에 에칭되지 않는 제2 감광성 박막 패턴을 형성하고, 제2 감광성 박막 패턴 사이로 드러난 제2 소재층을 에칭하여 뱅크(20)를 형성할 수 있다.
기판(10)상에 형성된 뱅크(20)에 의해 구획된 복수의 화소부(11)에 에칭 가능한 소재로 제공되는 제1 소재층(25)을 채워서 뱅크(20)의 높이보다 낮은 막을 형성한다. 제1 소재층(25)을 채우는 공정은 잉크젯 방법에 의할 수도 있으며 PVD 또는 CVD 방식에 의할 수도 있다.
제1 소재층(25)의 상면에 에칭 되지 않는 소재로 제공되는 제1 감광성 박막 패턴(40)을 형성한다. 그리고 제1 감광성 박막 패턴(40) 사이로 드러난 제1 소재층(250)을 에칭하여 복수의 제1 구조물(30)을 형성한다(S20). 제1 감광성 박막 패턴(40)은 투명 소재일 경우 제거되지 않을 수 있다. 만약 제1 감광성 박막 패턴(40)이 불투명 소제인 경우 제1 감광성 박막 패턴(40)을 제거하는 애싱 공정을 수행한다.
제1 구조물(30)이 형성된 화소부(11)에 잉크 방울을 적하하여 컬러 필터를 제조한다(S30).
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (20)

  1. 기판;
    상기 기판에 상에 형성되고 복수의 화소부를 구획하는　뱅크;
    상기 화소부에 형성되고, 상기 화소부 보다 좁은 폭을 가지며, 상기 뱅크보다 낮은 높이를 갖는 복수의 제1 구조물; 및
    상기 제1 구조물보다 높은 높이로 상기 화소부에 채워진 잉크막을 포함하는 컬러 필터.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 상기 화소부를 구성하는 상기 기판의 표면에서 상방으로 돌출되게 형성되는 것인 컬러 필터.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 표면이 친잉크성으로 제공되는 컬러 필터.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 투명한 소재로 제공되는 컬러 필터.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 에칭 가능한 소재로 제공되는 컬러 필터.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 절연성 재료로 제공되는 컬러 필터.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 수십 nm 내지 수십 ㎛ 간격으로 배치되는 컬러 필터.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 화소부에서 상기 잉크막과 접촉하는 표면은 친잉크성으로 제공되는 컬러 필터.
  9. 제1 항에 있어서,
    상기 뱅크의 상부 표면은 발잉크성으로 제공되는 컬러 필터.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 구조물은 벽 구조 또는 기둥 구조로 이루어지는 컬러 필터.
  11. 기판상에 형성된 뱅크로 둘러싸인 복수의 화소부 내에 잉크막을 포함하는 컬러 필터의 제조 방법에 있어서,
    기판상에 형성된 뱅크에 의해 구획된 복수의 화소부에 에칭 가능한 소재로 제공되는 제1 소재층을 채워서 상기 뱅크의 높이보다 낮은 막을 형성하는 공정과;
    상기 제1 소재층의 상부에 제1 감광성 박막 패턴을 형성하는 공정과;
    상기 제1 감광성 박막 패턴 사이로 드러난 상기 제1 소재층을 에칭하여 복수의 제1 구조물을 형성하는 공정과;상기 제1 감광성 박막 패턴을 제거하는 공정과;
    상기 화소부 내에　잉크를 충전하여 잉크막을 형성하는 공정을 포함하는 컬러 필터의 제조 방법.
  12. 제11 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 친잉크성 재료로 제공되는 컬러 필터의 제조 방법.
  13. 제11 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 투명한 소재로 제공되는 컬러 필터의 제조 방법.
  14. 제11 항에 있어서,
    상기 복수의 제1 구조물은 절연성 재료로 제공되는 컬러 필터의 제조 방법.
  15. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 감광성 박막 패턴은 패턴 폭이 수십 nm이고,
    간격이 수십 nm 내지 수십 um 간격으로 형성되는 컬러 필터의 제조 방법.
  16. 제11 항에 있어서,
    상기 기판의 표면은 친잉크성을 갖도록 처리되어 제공되고,
    상기 뱅크는 친잉크성 재료로 제공되는 컬러 필터의 제조 방법.
  17. 제16 항에 있어서,
    상기 뱅크의 상부 표면은 발잉크성으로 처리되어 제공되는 컬러 필터의 제조 방법.
  18. 제11항에 있어서,
    기판상에 형성된 뱅크는,
    상기 기판의 표면을 친잉크성으로 하는 공정과;
    상기 기판에 친잉크성의 제2 소재층를 적층하는 공정과;
    상기 제2 소재층의 표면을 발잉크성으로 하는 공정과;
    상기 제2 소재층의 상부에 제2 감광성 박막 패턴을 형성하는 공정과;
    상기 제2 감광성 박막 패턴 사이로 드러난 상기 제2 소재층을 에칭하여 상기 뱅크를 형성하는 공정을 통해 형성하는 컬러 필터의 제조 방법.
  19. 제11 항에 있어서,
    상기 제1 구조물은 벽 구조 또는 기둥 구조로 형성하는 컬러 필터의 제조 방법.
  20. 상부 표면이 친잉크성을 갖는 기판;
    상기 기판에 상에 형성되고 복수의 화소부를 구획하며, 측면은 친잉크성으로 상면은 발잉크성을 갖는　뱅크;
    상기 화소부에 형성되고, 상기 화소부 보다 좁은 폭을 가지며, 상기 뱅크보다 낮은 높이를 가지며, 투명하고 에칭 가능하며 절연성의 소재로 제공되고, 표면이 친잉크성으로 제공되는 복수의 제1 구조물; 및
    상기 제1 구조물보다 높은 높이로 상기 화소부에 채워진 잉크막을 포함하는 컬러 필터.
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