KR20220019918A - Method and Device for fabricating the probe - Google Patents

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Abstract

Disclosed is a method for manufacturing a probe. The manufacturing method includes the steps: preparing a terminal set in which a plurality of terminals are connected to a support frame by a tie bar by an MEMS process; preparing a cylindrical barrel having a hollow portion penetrating in a longitudinal direction; inserting and fixing one end of the barrel into each terminal of the terminal set; and separating the terminal fixed to one end of the barrel from the tie bar. Therefore, assembly is easy and manufacturing cost can be reduced.

Description

프로브의 제조 방법 및 장치{Method and Device for fabricating the probe}Method and Device for fabricating the probe

본 발명은 예를 들면 카메라모듈과 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 프로브의 제조 방법 및 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a method and apparatus for manufacturing a probe for inspecting electrical characteristics of an object to be inspected, such as, for example, a camera module.

반도체 웨이퍼와 같은 피검사체의 전기적 특성을 검사하기 위한 검사장치는 피검사체의 단자와 검사회로의 단자를 전기적으로 연결하는 프로브가 사용된다. 도 1은 검사장치에 사용되는 종래의 프로브(1)를 나타내는 도면이다. 프로브(1)는 원통형의 배럴(11), 배럴(1)의 일측에 고정되는 제1플런저(12), 배럴(11)의 타측에 부분 삽입되어 슬라이딩 이동 가능하게 지지되는 제2플런저(13) 및 배럴(11) 내에 제1플런저(12)와 제2플런저(13) 사이에 마련된 스프링(14)을 포함한다.In an inspection apparatus for inspecting electrical characteristics of an inspection target such as a semiconductor wafer, a probe electrically connecting a terminal of the inspection target and a terminal of the inspection circuit is used. 1 is a view showing a conventional probe 1 used in an inspection apparatus. The probe 1 includes a cylindrical barrel 11, a first plunger 12 fixed to one side of the barrel 1, and a second plunger 13 partially inserted into the other side of the barrel 11 and supported slidably. and a spring 14 provided between the first plunger 12 and the second plunger 13 in the barrel 11 .

제1플런저(12)는 피검사체의 단자에 접촉하는 접촉팁 및 배럴(11)에 삽입되는 배럴삽입부를 포함한다. 배럴삽입부는 원주방향을 따라 파여진 홈을 포함한다. 배럴삽입부는 배럴(11)에 삽입된 후, 홈에 대응하는 부분을 딤플 또는 롤링 작업에 의해 가압 변형시킴으로써 고정될 수 있다.The first plunger 12 includes a contact tip contacting the terminal of the subject and a barrel insertion part inserted into the barrel 11 . The barrel insert includes a groove cut along the circumferential direction. After the barrel insertion part is inserted into the barrel 11 , it may be fixed by pressing and deforming a portion corresponding to the groove by a dimple or rolling operation.

피검사접점 피치는 제품의 소형화로 인해 점점 더 좁아지고, 그 결과 검사를 위한 프로브(1)의 크기도 매우 작아지고 있다. 예를 들면, 직경 1mm 이하의 배럴(11)에 제1플런저(12)를 삽입한 후 딤플 또는 롤링 작업을 수행하는 것은 매우 까다롭고 어려운 작업이다. The pitch of the contact point to be inspected is getting narrower due to the miniaturization of the product, and as a result, the size of the probe 1 for inspection is also becoming very small. For example, it is very difficult and difficult to perform a dimple or rolling operation after inserting the first plunger 12 into the barrel 11 having a diameter of 1 mm or less.

특히, 카메라모듈과 같은 특정 피검사체의 피검사접점은 BGA 타입과 달리 곡면 형상을 가진 단자를 가질 수 있다. 따라서, 도 1에 나타낸 바와 같은 종래의 제1플런저(12)의 팁(121)은 검사 시에 접촉 에러가 발생하기 때문에 접촉하기에 적합한 형태의 접촉팁을 가진 판상의 터미널이 사용될 수 있다.In particular, the test contact point of a specific test object such as a camera module may have a terminal having a curved shape unlike the BGA type. Therefore, the tip 121 of the conventional first plunger 12 as shown in FIG. 1 may use a plate-shaped terminal having a contact tip of a shape suitable for contacting because a contact error occurs during inspection.

이러한 판재 형상의 터미널은 금형이나 MEMS(Microelectro mechanical systems) 공정에 의해 대향 생산이 가능한 장점이 있으나, 원통형상의 배럴(11)에 삽입한 후 딤플작업 또는 롤링작업에 의해 고정하기도 어렵고, 가능하더라도 그 작업성이 더 떨어지는 문제가 있다.Such a plate-shaped terminal has the advantage that it can be produced oppositely by a mold or MEMS (Microelectro mechanical systems) process, but it is difficult to fix it by a dimple operation or a rolling operation after inserting it into the cylindrical barrel 11, and even if possible, the operation There is a problem with the gender dropping further.

본 발명의 목적은 제조비용이 저렴한 프로브의 제조 방법 및 장치를 제공하는데에 있다.It is an object of the present invention to provide a method and apparatus for manufacturing a probe with low manufacturing cost.

본 발명의 다른 목적은 작업성이 우수한 프로브의 제조 방법 및 장치를 제공하는데에 있다.Another object of the present invention is to provide a method and apparatus for manufacturing a probe having excellent workability.

본 발명의 과제를 달성하기 위한 프로브의 제조방법이 제공된다. 프로브의 제조방법은, MEMS공정에 의해 다수의 터미널이 타이바에 의해 지지프레임에 연결된 터미널세트를 마련하는 단계, 길이방향으로 관통하는 중공부를 가진 통형의 배럴을 마련하는 단계, 상기 터미널세트의 각 터미널에 상기 배럴의 일단부를 삽입하여 고정하는 단계 및 상기 타이바로부터 상기 배럴의 일단부에 고정된 터미널을 분리하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a probe for achieving the object of the present invention is provided. A method of manufacturing a probe includes: preparing a terminal set in which a plurality of terminals are connected to a support frame by a tie bar by a MEMS process; providing a cylindrical barrel having a hollow portion penetrating in the longitudinal direction; each terminal of the terminal set It includes the steps of inserting and fixing one end of the barrel into the and separating the terminal fixed to one end of the barrel from the tie bar.

상기 배럴을 마련하는 단계는 상기 배럴의 내경 중심을 향해 돌출하는 내향돌기를 형성하는 단계를 포함할 수 있다.The step of providing the barrel may include forming an inward projection protruding toward a center of an inner diameter of the barrel.

상기 터미널은 탄성변형부와 걸림부를 가진 배럴고정부를 가질 수 있다.The terminal may have a barrel fixing portion having an elastically deformable portion and a locking portion.

상기 고정 단계는 상기 걸림부가 상기 내향돌기에 걸려서 고정되는 단계를 포함할 수 있다.The fixing step may include fixing the locking part by being caught by the inward projection.

상기 터미널은 피검사체에 접촉하는 접촉부와 상기 배럴에 고정되는 배럴고정부를 포함할 수 있다.The terminal may include a contact portion contacting the object and a barrel fixing portion fixed to the barrel.

상기 타이바는 상기 접촉부에 연결될 수 있다.The tie bar may be connected to the contact part.

상기 타이바는 상기 배럴의 축방향에 나란하게 연장할 수 있다.The tie bar may extend parallel to the axial direction of the barrel.

상기 접촉부는 상기 배럴이 삽입되는 것을 막는 멈춤턱을 포함할 수 있다.The contact portion may include a stopper preventing the barrel from being inserted.

상기 배럴을 마련하는 단계는 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하게 플런저를 지지하는 단계를 포함할 수 있다.The step of providing the barrel may include inserting a spring into the barrel and slidably supporting the plunger at the other end of the barrel.

상기 고정 단계 이후에, 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하게 플런저를 지지하는 단계를 더 포함할 수 있다.After the fixing step, the method may further include inserting a spring into the barrel and slidably supporting the plunger at the other end of the barrel.

본 발명의 실시예에 따른 프로브의 제조장치가 제공된다. 제조장치는 다수의 터미널을 포함하는 터미널세트를 탑재하는 터미널탑재부와, 상기 터미널에 대응하는 위치에 배럴이 놓이는 배럴탑재부와, 상기 터미널 탑재부에 인접하게 마련된 밀림방지벽을 포함한다.An apparatus for manufacturing a probe according to an embodiment of the present invention is provided. The manufacturing apparatus includes a terminal mounting unit for mounting a terminal set including a plurality of terminals, a barrel mounting unit for placing a barrel at a position corresponding to the terminal, and an anti-skid wall provided adjacent to the terminal mounting unit.

상기 터미널탑재부와 상기 배럴탑재부 사이에 마련된 함몰부를 더 포함할 수 있다.It may further include a depression provided between the terminal mounting part and the barrel mounting part.

상기 함몰부에는 상기 터미널의 본체부와 배럴삽입부가 플로팅 상태로 놓일 수 있다.The body part and the barrel insertion part of the terminal may be placed in a floating state in the recessed part.

상기 배럴탑재부는 상기 터미널을 향하는 방향으로 연장하는 배럴수용부를 포함할 수 있다.The barrel mounting part may include a barrel receiving part extending in a direction toward the terminal.

상기 터미널탑재부에 놓인 터미널의 배럴삽입부 연장선과 상기 배럴수용부의 연장선은 서로 일치할 수 있다.The extension line of the barrel insertion part of the terminal placed on the terminal mounting part and the extension line of the barrel accommodating part may coincide with each other.

본 발명의 프로브는 MEMS(Microelectro mechanical systems) 공정에 의해 대량으로 제조된 상태에서 배럴에 조립함으로써 조립이 용이하고 제조비용을 절감할 수 있다.The probe of the present invention can be easily assembled and the manufacturing cost can be reduced by assembling it in a barrel in a state in which it is mass-manufactured by a microelectro mechanical systems (MEMS) process.

도 1은 종래의 프로브를 나타내는 단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브를 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2의 터미널을 나타내는 도면이다.
도 4는 다수의 터미널들을 포함하는 터미널세트를 나타내는 도면이다.
도 5는 다수의 터미널세트의 패텀홈을 가진 희생기판을 나타내는 도면이다.
도 6a 내지 6f는 도 5의 A-A를 따라 절취한 단면을 기준으로 터미널세트를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.
도 7 a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 프로브의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브의 제조방법을 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 12는 본 발명의 제5실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 13은 본 발명의 제6실시예에 따른 터미널을 나타내는 도면이다.
도 14는 도 13의 B-B부분을 절취하여 나타낸 단면도이다.
도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 제1 및 제2터미널을 나타내는 도면이다.
도 16은 도 15의 제1 및 제2터미널을 중첩한 터미널을 나타낸 도면이다.1 is a cross-sectional view showing a conventional probe.
2 is a diagram illustrating a probe according to a first embodiment of the present invention.
3 is a diagram illustrating the terminal of FIG. 2 .
4 is a diagram illustrating a terminal set including a plurality of terminals.
5 is a diagram illustrating a sacrificial substrate having a lateral groove of a plurality of terminal sets.
6A to 6F are views illustrating a process of manufacturing a terminal set based on a cross-section taken along line AA of FIG. 5 .
7A to 7D are diagrams illustrating a method of manufacturing a probe according to an embodiment of the present invention.
8A to 8C are diagrams illustrating a method of manufacturing a probe according to another embodiment of the present invention.
9 is a diagram illustrating a terminal according to a second embodiment of the present invention.
10 is a diagram illustrating a terminal according to a third embodiment of the present invention.
11 is a diagram illustrating a terminal according to a fourth embodiment of the present invention.
12 is a diagram illustrating a terminal according to a fifth embodiment of the present invention.
13 is a diagram illustrating a terminal according to a sixth embodiment of the present invention.
14 is a cross-sectional view showing a portion BB of FIG. 13 .
15 is a diagram illustrating first and second terminals according to a seventh embodiment of the present invention.
16 is a diagram illustrating a terminal in which the first and second terminals of FIG. 15 are overlapped.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 프로브(100)를 상세하게 설명한다.Hereinafter, the probe 100 according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브(100)를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 2의 터미널(120)을 나타내는 도면이다.2 is a diagram illustrating the probe 100 according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a diagram illustrating the terminal 120 of FIG. 2 .

도 2를 참조하면, 프로브(100)는 중공의 통형 배럴(110), 배럴(110)의 일단부에 고정되는 터미널(120), 배럴(110)의 타단부에 슬라이딩 이동 가능하게 부분 삽입되는 플런저(130) 및 배럴(110) 내의 터미널(120)과 플런저(130) 사이에 배치되는 스프링(140)을 포함할 수 있다. Referring to FIG. 2 , the probe 100 includes a hollow cylindrical barrel 110 , a terminal 120 fixed to one end of the barrel 110 , and a plunger partially inserted into the other end of the barrel 110 slidably. 130 and a spring 140 disposed between the terminal 120 and the plunger 130 in the barrel 110 .

배럴(110)은 파이프 형상으로 관통하는 중공을 가진다. 배럴(110)은 도전성 재질, 예를 들면 황동으로 이루지고, 전체적으로 동(CU), 금(Au), 또는 은(Ag)으로 도금될 수 있다. The barrel 110 has a hollow penetrating through the pipe shape. The barrel 110 may be made of a conductive material, for example, brass, and may be entirely plated with copper (CU), gold (Au), or silver (Ag).

배럴(110)은 터미널(120)이 삽입되는 단부에 내측으로 돌출하는 내향돌기(111)를 포함할 수 있다. 내향돌기(111)는 딤플 또는 롤링 작업으로 제조될 수 있다. 내향돌기(111)는 터미널(120)이 삽입되기 전에 사전 형성될 수 있다. The barrel 110 may include an inwardly protruding protrusion 111 protruding inward at an end into which the terminal 120 is inserted. The inward projection 111 may be manufactured by a dimple or rolling operation. The inward projection 111 may be pre-formed before the terminal 120 is inserted.

배럴(110)은 플런저(130)가 삽입되는 타측의 단부에 직경이 축소되는 축경부(112)를 포함할 수 있다. 축경부(112)는 내향돌기(111)와 달리 배럴(110)의 타측 단부에 플런저(130)를 삽입한 후에 오므림 작업이 형성될 수 있다. The barrel 110 may include a reduced diameter portion 112 at an end of the other side into which the plunger 130 is inserted. Unlike the inward protrusion 111 , the reduced diameter portion 112 may be closed after inserting the plunger 130 into the other end of the barrel 110 .

터미널(120)은 후술하는 MEMS 공정에 의해 제조될 수 있다. 터미널(120)은 예를 들면 니켈(Ni), 니켈코발트(Ni-Co), 니켈철(NiF) 합금 등으로 이루어질 수 있다.The terminal 120 may be manufactured by a MEMS process to be described later. The terminal 120 may be made of, for example, nickel (Ni), nickel cobalt (Ni-Co), or a nickel iron (NiF) alloy.

도 3을 참조하면, 터미널(120)은 본체부(121), 본체부(121)의 일측으로부터 일체로 연장하는 접촉부(122), 및 본체부(121)의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 배럴삽입부(123)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 3 , the terminal 120 includes a body portion 121 , a contact portion 122 integrally extending from one side of the body portion 121 , and integrally extending from the other side opposite to one side of the body portion 121 . And it may include a barrel insert 123 is inserted into the barrel (110).

본체부(121)는 직사각형 형상으로 제1장변의 일측으로부터 접촉부(122)가 연장하고, 제1장변에 대향하는 제2장변으로부터 배럴삽입부(123)가 연장할 수 있다. 본체부(121)는 제1장변에 후술하는 타이바가 연결되는 타이바연결부(1211) 및 제2장변에 배럴(110)의 외경보다 큰 길이로 이루어진 멈춤턱(1214)를 포함할 수 있다. 타이바연결부(1212)는 설계에 따라 양단변에 마련될 수도 있다.The body part 121 may have a rectangular shape, and the contact part 122 may extend from one side of the first long side, and the barrel insertion part 123 may extend from the second long side opposite to the first long side. The main body 121 may include a tie bar connection portion 1211 to which a tie bar to be described later is connected to the first long side and a stopper 1214 having a length greater than the outer diameter of the barrel 110 at the second long side. The tie bar connection part 1212 may be provided at both ends according to the design.

접촉부(122)는 피검사접점에 접촉하는 팁(1221)을 포함할 수 있다. 팁(1221)은 단일 또는 다수 개로 이루어질 수 있다.The contact part 122 may include a tip 1221 contacting the test target contact. The tip 1221 may be formed in single or multiple pieces.

배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 폐쇄형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다. The barrel insertion part 123 is an elastically deformable part ( 1233) may be included.

한 쌍의 걸림부(1231) 간의 최대 거리(L)는 완전한 고정을 위해 적어도 배럴(110)의 내경과 같거다 다소 크게 형성될 수 있다. 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 효과적으로 걸릴 수 있도록 미늘 형상으로 이루어질 수 있다.The maximum distance L between the pair of locking parts 1231 may be at least equal to or somewhat larger than the inner diameter of the barrel 110 for complete fixation. The locking part 1231 may be formed in a barb shape so as to be effectively caught by the inward projection 111 of the barrel 110 .

슬롯(1232)은 양단부에 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯(1234)을 포함할 수 있다.The slot 1232 may include a circular expansion slot 1234 having a diameter greater than the width of the slot 1232 at both ends.

탄성변형부(1233)는 슬롯(1232)을 사이에 두고 형성된 한 쌍의 텐션바(1235,1236)를 포함할 수 있다. The elastically deformable portion 1233 may include a pair of tension bars 1235 and 1236 formed with the slot 1232 interposed therebetween.

상술한 바와 같이, 배럴삽입부(123)를 배럴(110)의 일측 단부에 삽입할 때 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 부딪히고, 텐션바(1235,1236)가 배럴(110)의 중심축 방향으로 탄성변형될 수 있다. 그 결과, 걸림부(1231)는 내향돌기(111)를 넘어간 후, 탄성 복원되어 걸림이 이루질 수 있다. 이때, 배럴삽입부(123)는 멈춤턱(1214)이 배럴(110)의 단부에 접촉하면서 더 이상 삽입되지 않고 고정될 수 있다. As described above, when the barrel insertion part 123 is inserted into one end of the barrel 110, the locking part 1231 collides with the inward projection 111 of the barrel 110, and the tension bars 1235 and 1236. may be elastically deformed in the direction of the central axis of the barrel 110 . As a result, after the locking part 1231 crosses the inward projection 111, it is elastically restored and the locking can be achieved. At this time, the barrel insertion part 123 may be fixed without being inserted any more while the stopper 1214 contacts the end of the barrel 110 .

도 4는 다수의 터미널들(120)을 포함하는 터미널세트(150)를 나타내는 도면이다.4 is a diagram illustrating a terminal set 150 including a plurality of terminals 120 .

터미널세트(150)는 MEMS공정 또는 몰드(mold)공정에 의해 제조될 수 있다. 터미널세트(150)는 지지프레임(151), 지지프레임(151)에 분리 가능하게 연결된 다수의 터미널(120) 및 지지프레임(151)에 다수의 터미널(120)를 연결하는 타이바(152)를 포함할 수 있다.The terminal set 150 may be manufactured by a MEMS process or a mold process. The terminal set 150 includes a support frame 151 , a plurality of terminals 120 detachably connected to the support frame 151 , and a tie bar 152 connecting the plurality of terminals 120 to the support frame 151 . may include

타이바(152)는 후술하는 프로브(100)의 제조공정 중에 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입되는 과정에 방해가 되지 않는 위치라면 터미널(120)의 본체부(121) 어디에든 연결될 수 있다. 타이바(152)는 배럴삽입부(123)가 연결된 본체부(121) 제1변의 반대측 제2변에 연결되는 것이 바람직하다. 그 이유는, 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입될 때에 가해지는 압력에 의해 타이바(152)가 본체부(121)로부터 분리되는 것을 방지하기 위한 것이다. 특히, 타이바(152)는 배럴삽입부(123)의 연장방향에 평행하게 연장하도록 위치하는 것이 좋다.The tie bar 152 is positioned anywhere in the body portion 121 of the terminal 120 as long as it does not interfere with the process in which the barrel 110 is inserted into the barrel insertion unit 123 during the manufacturing process of the probe 100 to be described later. can be connected The tie bar 152 is preferably connected to a second side opposite to the first side of the body portion 121 to which the barrel insertion unit 123 is connected. The reason is to prevent the tie bar 152 from being separated from the body part 121 by the pressure applied when the barrel 110 is inserted into the barrel insertion part 123 . In particular, the tie bar 152 is preferably positioned so as to extend parallel to the extending direction of the barrel insertion portion (123).

도 5는 다수의 터미널세트(150)의 패텀홈(220)을 가진 희생기판(200)을 나타내는 도면이다.FIG. 5 is a view showing the sacrificial substrate 200 having the lateral grooves 220 of the plurality of terminal sets 150 .

희생기판(200)은 제한되지 않는, 실리콘 기판, 적층 세라믹 기판, 또는 실리콘 웨이퍼가 바람직하게 사용될 수 있다.The sacrificial substrate 200 is not limited, and a silicon substrate, a multilayer ceramic substrate, or a silicon wafer may be preferably used.

도 5를 참조하면, 터미널세트(150)에 대응하는 패턴홈(220)을 형성하여 터미널(120)을 구성하는 재료, 예를 들면 니켈, 니켈코발트 합금, 또는 니켈철 합금을 도금 공정을 통해 채워 넣어 터미널세트(150)를 제조할 수 있다. 5, the pattern groove 220 corresponding to the terminal set 150 is formed and a material constituting the terminal 120, for example, nickel, nickel cobalt alloy, or nickel iron alloy is filled through a plating process. Put the terminal set 150 can be manufactured.

도 6a 내지 6f는 도 5의 A-A를 따라 절취한 단면을 기준으로 터미널세트(150)를 제조하는 과정을 나타내는 도면이다.6A to 6F are diagrams illustrating a process of manufacturing the terminal set 150 based on a cross-section taken along line A-A of FIG. 5 .

도 6a를 참조하면, 희생기판(200)의 상면에 감광성의 제1포토레지스트층(210)을 도포하고, 제1포토레지스트층(210)에 노광마스크를 이용하여 터미널세트(150)의 형상에 대응하는 패턴으로 노광하고, 솔벤트를 이용하여 노광된 터미널세트 패턴(212)에 해당하는 제1포토레지스트층(210)을 제거한다.Referring to FIG. 6A , a photosensitive first photoresist layer 210 is coated on the upper surface of the sacrificial substrate 200 , and an exposure mask is used on the first photoresist layer 210 to determine the shape of the terminal set 150 . After exposure in a corresponding pattern, the first photoresist layer 210 corresponding to the exposed terminal set pattern 212 is removed using a solvent.

도 6b를 참조하면, 희생기판(200)의 노출된 터미널세트 패턴을 제한되지 않는, 이방성 식각하여 패턴홈(220)을 형성한다.Referring to FIG. 6B , the pattern groove 220 is formed by anisotropically etching the exposed terminal set pattern of the sacrificial substrate 200 without limitation.

도 6c를 참조하면, 패턴홈(220)을 포함한 희생기판(200) 상에 전도성 물질층(230)을 스퍼터링 또는 화학 기상 성장법(chemical vapor deposition, CVD)에 의해 형성한다. 전도성 물질층(230)은 티탄층과 구리층이 순차적으로 형성되도록 스퍼터링될 수 있다. 전도성 물질층(230)은 후술하는 전기 도금 공정에서 전극으로 이용될 수 있다.Referring to FIG. 6C , the conductive material layer 230 is formed on the sacrificial substrate 200 including the pattern grooves 220 by sputtering or chemical vapor deposition (CVD). The conductive material layer 230 may be sputtered to sequentially form a titanium layer and a copper layer. The conductive material layer 230 may be used as an electrode in an electroplating process to be described later.

도 6d를 참조하면, 전도성 물질층(230)이 도포된 희생 기판(200)의 상면에 감광성의 제2포토레지스트층(240)을 도포하고, 제2포토레지스트층(240)에 노광마스크를 이용하여 터미널세트(150)의 형상에 대응하는 패턴으로 노광하고, 솔벤트를 이용하여 노광된 터미널세트 패턴에 해당하는 제2포토레지스트층(240)을 제거한다. 결과적으로, 희생기판(200)의 상면은 터미널세트(150)의 패턴에 해당하는 부분, 즉 패턴홈(220)의 바닥에 위치한 전도성 물질층(230)이 노출될 수 있다.Referring to FIG. 6D , a photosensitive second photoresist layer 240 is coated on the upper surface of the sacrificial substrate 200 on which the conductive material layer 230 is applied, and an exposure mask is used for the second photoresist layer 240 . Thus, exposure is performed in a pattern corresponding to the shape of the terminal set 150 , and the second photoresist layer 240 corresponding to the exposed terminal set pattern is removed using a solvent. As a result, the upper surface of the sacrificial substrate 200 may expose a portion corresponding to the pattern of the terminal set 150 , that is, the conductive material layer 230 located at the bottom of the pattern groove 220 .

도 6e를 참조하면, 전기도금 공정에 의해 패턴홈(220) 내에 제한되지 않는, 니켈, 니켈 코발트 합금 또는 니켈 철 합금 등의 금속층(250)을 채울 수 있다.Referring to FIG. 6E , a metal layer 250 such as, but not limited to, nickel, a nickel cobalt alloy, or a nickel iron alloy may be filled in the pattern groove 220 by the electroplating process.

도 6f를 참조하면, 패턴홈(220)의 외부로 돌출된 부분을 예를 들면 화학 기계 연마(CMP) 등으로 연마할 수 있다. Referring to FIG. 6F , the portion protruding to the outside of the pattern groove 220 may be polished by, for example, chemical mechanical polishing (CMP).

이후, 희생기판(200), 제1 및 제2포토레지스트층(210, 240) 및 전도성 물질층(230)을 선별 식각하면, 도 4에 나타낸 바와 같은 터미널세트(150)가 제조될 수 있다.Thereafter, when the sacrificial substrate 200, the first and second photoresist layers 210 and 240, and the conductive material layer 230 are selectively etched, the terminal set 150 as shown in FIG. 4 may be manufactured.

추가적으로, 터미널세트(150)는 전체적으로 제한되지 않는, 금(Au)으로 도금될 수 있다.Additionally, the terminal set 150 may be plated with gold (Au), which is not limited as a whole.

도 7 a 내지 7d는 본 발명의 실시예에 따른 프로브(100)의 제조방법을 나타내는 도면이다.7A to 7D are diagrams illustrating a method of manufacturing the probe 100 according to an embodiment of the present invention.

도 7a는 프로브(100)를 조립하기 위한 제조장치(300)를 나타내는 도면이다. 제조장치(300)는 바닥부(310) 및 바닥부(310)의 일변에 세워진 밀림방지벽(320)을 포함할 수 있다.7A is a view showing a manufacturing apparatus 300 for assembling the probe 100 . The manufacturing apparatus 300 may include a bottom portion 310 and an anti-skid wall 320 built on one side of the bottom portion 310 .

바닥부(310)는 밀림방지벽(320)에 접하고 밀림방지벽(320)을 따라 소정 폭으로 연장하는 세트탑재부(311),세트탑재부(311)로부터 이격된 배럴탑재부(312) 및 세트탑재부(311)와 배럴탑재부(312) 사이에 파여진 함몰부(313)를 포함할 수 있다.The bottom part 310 is in contact with the anti-skid wall 320 and a set mounting part 311 extending to a predetermined width along the anti-skid wall 320, a barrel mounting part 312 and a set mounting part spaced apart from the set mounting part 311 ( 311 ) and a depression 313 dug between the barrel mounting part 312 may be included.

도 7b를 참조하면, 세트탑재부(311)는 연장방향을 따라 다수의 터미널(120)들이 나란히 배열되도록 터미널세트(150)가 탑재될 수 있다. 이때, 터미널세트(150)의 지지프레임(151)은 밀림방지벽(320)에 접촉하며, 그 결과, 후술하는 배럴(110) 삽입과정에서의 밀림이 방지될 수 있다.Referring to FIG. 7B , the terminal set 150 may be mounted on the set mounting unit 311 so that a plurality of terminals 120 are arranged side by side in the extending direction. At this time, the support frame 151 of the terminal set 150 is in contact with the anti-skid wall 320, and as a result, it can be prevented from being pushed in the barrel 110 insertion process to be described later.

배럴탑재부(312)는 세트탑재부(311)에 탑재된 터미널세트(150)의 다수 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 연장방향에 나란하게 연장하는 배럴수용홈(3121)을 포함할 수 있다.The barrel mounting unit 312 may include a barrel receiving groove 3121 extending in parallel to the extension direction in the barrel insertion unit 123 of the plurality of terminals 120 of the terminal set 150 mounted on the set mounting unit 311. there is.

함몰부(313)는 세트탑재부(311)에 탑재된 터미널세트(150)의 다수 터미널(120)의 본체부(121)와 배럴삽입부(123)가 플로팅으로 위치할 수 있다. 여기서, 배럴삽입부(123)가 연결된 본체부(121)의 제1변 반대측 제2변은 함몰부(313)의 제2벽, 즉 세트탑재부(311)에 접한 제2벽에 부분적으로 접촉할 수 있다. 그 결과, 후술하는 배럴(110) 삽입과정에서의 터미널(120)의 밀림에 대항할 수 있다.In the recessed portion 313 , the body portion 121 and the barrel insertion portion 123 of the plurality of terminals 120 of the terminal set 150 mounted on the set mounting portion 311 may be positioned in a floating manner. Here, the second side opposite to the first side of the body portion 121 to which the barrel insertion portion 123 is connected is partially in contact with the second wall of the recessed portion 313 , that is, the second wall in contact with the set mounting portion 311 . can As a result, it is possible to counteract the pushing of the terminal 120 in the barrel 110 insertion process to be described later.

도 7c는 세트탑재부(311)에 터미널세트(150)가 탑재된 상태에서 배럴탑재부(312)의 배럴수용홈(3121)에 배럴(110)이 탑재된 상태를 나타내는 도면이다. 여기서, 배럴(110)은 화살표 방향을 따라 탑재된 터미널세트(150)의 각 터미널(120)을 향해 슬라이딩 이동시킬 수 있다. 여기서, 배럴(110)은 일단부에 외주면을 따라 내측으로 딤플 또는 롤링 작업에 의해 내향돌기(111)가 사전 형성되어 있다. 또한, 배럴(110)의 내부에는 스프링(140)과 플런저(130)가 삽입된 상태에서 플런저(130)가 빠지지 않도록 배럴(110)의 타단부가 오므림되어 있는 상태이다.7C is a view showing a state in which the barrel 110 is mounted in the barrel receiving groove 3121 of the barrel mounting unit 312 in a state in which the terminal set 150 is mounted on the set mounting unit 311 . Here, the barrel 110 may slide toward each terminal 120 of the mounted terminal set 150 in the direction of the arrow. Here, the barrel 110 has an inward projection 111 formed in advance by dimple or rolling operation inward along the outer circumferential surface at one end. In addition, the other end of the barrel 110 is closed so that the plunger 130 does not come off while the spring 140 and the plunger 130 are inserted into the barrel 110 .

도 7d는 도 7c에서 배럴(110)을 슬라이딩 이동시켜 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 삽입시켜 고정한 상태를 나타내는 도면이다. 배럴(110)이 배럴삽입부(123)에 삽입될 때, 배럴삽입부(123)의 걸림부(131)가 내향돌기(111)에 지나면서 탄성변형부(1233)의 텐션바(1235, 1236)가 배럴(110)의 중심축 방향으로 탄성변형될 수 있다. 이후, 배럴삽입부(123)의 걸림부(131)가 내향돌기(111)를 통과하면, 탄성변형부(1233)의 텐션바(1235, 1236)가 탄성 복원되고, 동시에 본체부(121)의 멈춤턱(1212)가 배럴(110)의 단부에 걸리면서 걸림부(1231)는 내향돌기(111)에 체결되어 고정될 수 있다.FIG. 7D is a view showing a state in which the barrel 110 is slidably moved in FIG. 7C and inserted into the barrel insertion part 123 of the terminal 120 to be fixed. When the barrel 110 is inserted into the barrel inserting part 123, the tension bars 1235 and 1236 of the elastically deformable part 1233 while the engaging part 131 of the barrel inserting part 123 passes through the inward protrusion 111. ) may be elastically deformed in the direction of the central axis of the barrel 110 . Thereafter, when the locking part 131 of the barrel insertion part 123 passes through the inward protrusion 111 , the tension bars 1235 and 1236 of the elastically deformable part 1233 are elastically restored, and at the same time the body part 121 of While the stopper 1212 is caught on the end of the barrel 110 , the locking portion 1231 may be fastened to the inward projection 111 to be fixed.

도 8a 내지 도 8c는 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로브(100)의 제조방법을 나타내는 도면이다.8A to 8C are diagrams illustrating a method of manufacturing the probe 100 according to another embodiment of the present invention.

도 8a를 참조하면, 배럴(110)은 일단부 측에 내향돌기(111)가 형성되어 있으나, 도 7c에서와 다르게 내부에 스프링(140)과 플런저(130)가 삽입되어 있지 않다. 여기서, 제조장치(300)의 배럴탑재부(320)는 도 7a와 다르게 탑재되는 배럴(110)의 타단부가 빈 공간 상에 놓이도록 형성되어 있다. 이는 후술하는 배럴(110) 타단부의 오므림 처리를 용이하게 하기 위한 것이다.Referring to FIG. 8A , the barrel 110 has an inward protrusion 111 formed on one end side thereof, but unlike in FIG. 7C , the spring 140 and the plunger 130 are not inserted therein. Here, the barrel mounting part 320 of the manufacturing apparatus 300 is formed so that the other end of the barrel 110 mounted differently from FIG. 7A is placed on an empty space. This is to facilitate the process of closing the other end of the barrel 110, which will be described later.

도 8b는 도 8a에서 배럴(110)을 슬라이딩 이동시켜 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 삽입시켜 고정한 상태를 나타내는 도면이다.8B is a view showing a state in which the barrel 110 is slidably moved in FIG. 8A and inserted into the barrel insertion part 123 of the terminal 120 to be fixed.

도 8c는 도 8b에서 스프링(140)을 삽입하고 플런저(130)를 부분 삽입한 후에 배럴(110)의 타단부를 오므림 처리할 수 있다. 결과적으로, 프로브(100)는 도 7d에 나타낸 바와 같은 형태와 동일하게 제조될 수 있다.In FIG. 8C , after inserting the spring 140 and partially inserting the plunger 130 in FIG. 8B , the other end of the barrel 110 may be closed. As a result, the probe 100 can be manufactured in the same form as shown in FIG. 7D .

배럴(110)은 예를 들면 1mm이하의 직경으로 크기가 매우 작기 때문에, 터미널세트(150)의 터미널(120)에 삽입 고정하기 이전에, 개별적으로 스프링(140) 및 플런저(130)를 삽입한 후에 오므림 처리하는 것은 어려울 수도 있다. 따라서, 도 8b에 나타낸 바와 같이, 터미널세트(150)에 연결된 다수의 터미널(120)의 배럴삽입부(123)에 배럴(110)을 삽입시켜 고정한 상태에서 스프링(140)과 플런저(130)를 삽입하고 오므림 처리하는 것이 더 편리할 수 있다.Since the barrel 110 has a very small size with a diameter of, for example, 1 mm or less, before inserting and fixing the terminal 120 of the terminal set 150, the spring 140 and the plunger 130 are individually inserted. It can be difficult to retract later. Therefore, as shown in FIG. 8b, the spring 140 and the plunger 130 are inserted and fixed in the barrel insertion part 123 of the plurality of terminals 120 connected to the terminal set 150 by inserting the barrel 110 into the fixed state. It may be more convenient to insert and retract.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.9 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a second embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the first embodiment shown in FIG. 3 will be omitted.

배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다. The barrel insertion part 123 is elastically deformed formed by a pair of locking parts 1231 respectively protruding in the width direction from both ends in the longitudinal direction, an open slot 1232 extending in the longitudinal direction, and the slot 1232 . part 1233 may be included.

한 쌍의 걸림부(1231) 사이의 최대 거리는 배럴의 내경과 같거나 더 크게 형성될 수 있다.The maximum distance between the pair of locking parts 1231 may be equal to or larger than the inner diameter of the barrel.

슬롯(1232)은 선단부에서 길이방향을 따라 후방으로 연장하다가 양측의 걸림부(1231)를 지난 후 길이방향의 단부를 향해 외측으로 진행하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)의 선단부에는 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯(1234)을 포함할 수 있다.The slot 1232 may be formed so as to extend backward in the longitudinal direction from the distal end, pass the engaging portions 1231 on both sides, and then proceed outward toward the end in the longitudinal direction to be opened. The front end of the slot 1232 may include a circular expansion slot 1234 having a diameter greater than the width of the slot 1232 .

탄성변형부(1233)는 슬롯(1232)을 사이에 두고 형성된 한 쌍의 텐션바(1235,1236)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 텐션바(1235,1236) 중 하나는 오픈형 슬롯(1232)에 의해 캔틸레버 형태로 이루어질 수 있다.The elastically deformable portion 1233 may include a pair of tension bars 1235 and 1236 formed with the slot 1232 interposed therebetween. One of the pair of tension bars 1235 and 1236 may be formed in a cantilever shape by an open slot 1232 .

상술한 바와 같이, 배럴삽입부(123)를 배럴(110)의 일측 단부에 삽입할 때 걸림부(1231)는 배럴(110)의 내향돌기(111)에 부딪히고, 텐션바(1235,1236)가 슬롯(1232)의 폭을 좁히는 방향으로 탄성변형될 수 있다. 이때, 캔틸레버 타입의 텐션바(1235)는 나머지 텐션바(1236)에 비해 더 크게 변형될 수 있다.As described above, when the barrel insertion part 123 is inserted into one end of the barrel 110, the locking part 1231 collides with the inward projection 111 of the barrel 110, and the tension bars 1235 and 1236. may be elastically deformed in a direction to narrow the width of the slot 1232 . In this case, the cantilever-type tension bar 1235 may be more deformed than the rest of the tension bar 1236 .

도 10은 본 발명의 제3실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.10 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a third embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the first embodiment shown in FIG. 3 will be omitted.

배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다.The barrel insertion part 123 is elastically deformed formed by a pair of locking parts 1231 respectively protruding in the width direction from both ends in the longitudinal direction, an open slot 1232 extending in the longitudinal direction, and the slot 1232 . part 1233 may be included.

슬롯(1232)은 후단부에서 선단부를 향해 길이방향을 따라 전방으로 연장하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)의 후단부에는 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯을 포함할 수 있다.The slot 1232 may be formed to extend forward in the longitudinal direction from the rear end toward the front end to be opened. The rear end of the slot 1232 may include a circular expansion slot having a diameter greater than the width of the slot 1232 .

도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 9에 나타낸 제2실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.11 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a fourth embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the second embodiment shown in FIG. 9 will be omitted.

배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232) 및 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233)를 포함할 수 있다. The barrel insertion part 123 is elastically deformed formed by a pair of locking parts 1231 respectively protruding in the width direction from both ends in the longitudinal direction, an open slot 1232 extending in the longitudinal direction, and the slot 1232 . part 1233 may be included.

한 쌍의 걸림부(1231) 사이의 최대 거리는 배럴의 내경과 같거나 더 크게 형성될 수 있다.The maximum distance between the pair of locking parts 1231 may be equal to or larger than the inner diameter of the barrel.

슬롯(1232)은 후단부에서 선단부를 향해 길이방향을 따라 전방으로 연장하다가 걸림부(1231)를 지나 길이방향의 단부를 행해 진행하여 개방되도록 형성될 수 있다. 슬롯(1232)의 후단부에는 슬롯(1232)의 폭보다 큰 직경을 가진 원형의 확장슬롯을 포함할 수 있다.The slot 1232 may be formed so as to extend forward along the longitudinal direction from the rear end toward the front end, and then proceed to the end in the longitudinal direction through the engaging portion 1231 to be opened. The rear end of the slot 1232 may include a circular expansion slot having a diameter greater than the width of the slot 1232 .

도 12는 본 발명의 제5실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이다. 도 10에 나타낸 제3실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.12 is a diagram illustrating a terminal 120 according to a fifth embodiment of the present invention. A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the third embodiment shown in FIG. 10 will be omitted.

배럴삽입부(123)는 길이방향의 양측 단부에서 각각 폭방향으로 돌출하는 한 쌍의 걸림부(1231), 길이방향을 따라 연장하는 오픈형 슬롯(1232), 슬롯(1232)에 의해 형성되는 탄성변형부(1233) 및 슬롯(1232) 사이에 마련된 탄성지지부(1237)를 포함할 수 있다. The barrel insertion part 123 is elastically deformed formed by a pair of engaging parts 1231 respectively protruding in the width direction from both ends in the longitudinal direction, an open slot 1232 extending in the longitudinal direction, and the slot 1232 . It may include an elastic support portion 1237 provided between the portion 1233 and the slot 1232 .

탄성지지부(127)는 슬롯(1232) 내에서 제1텐션바(1235)로부터 제2텐션바(1236)를 향해 연장할 수 있다. 탄성지지부(1237)는 제2텐션바(1236)으로부터 분리되거나 일체로 형성될 수 있다. 탄성지지부(1237)는 소정을 곡률을 가진 아크형상 또는 소정의 예각으로 꺽인 띠 형상으로 이루어질 수 있다. The elastic support part 127 may extend from the first tension bar 1235 toward the second tension bar 1236 in the slot 1232 . The elastic support portion 1237 may be separated from the second tension bar 1236 or may be formed integrally with the second tension bar 1236 . The elastic support 1237 may be formed in an arc shape having a predetermined curvature or a band shape bent at a predetermined acute angle.

탄성지지부(1237)는 도 9와 도 11에 나타낸 제2 및 제4실시예에 따른 터미널(120)에도 유사하게 적용될 수 있다.The elastic support 1237 may be similarly applied to the terminal 120 according to the second and fourth embodiments shown in FIGS. 9 and 11 .

도 13은 본 발명의 제6실시예에 따른 터미널(120)을 나타내는 도면이고, 도 14는 도 13의 B-B부분을 절취하여 나타낸 단면도이다. 도 3에 나타낸 제1실시예에 따른 터미널(120)과 동일한 부분에 대한 설명은 생략한다.13 is a view showing a terminal 120 according to a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 14 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG. 13 . A description of the same parts as those of the terminal 120 according to the first embodiment shown in FIG. 3 will be omitted.

도13 및 도 14를 참조하면, 배럴삽입부(123)는 걸림부(1231)의 단부 측에서 두께방향으로 연장하는 걸림연장부(1238)를 포함할 수 있다.13 and 14 , the barrel inserting part 123 may include a locking extension part 1238 extending in the thickness direction from the end side of the locking part 1231 .

이와 같은 걸림연장부(1238)는 판상의 터미널(120)이 더욱 견고하게 배럴(110)에 고정될 수 있게 한다. This engaging extension 1238 allows the plate-shaped terminal 120 to be more firmly fixed to the barrel 110 .

도 15는 본 발명의 제7실시예에 따른 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 나타내는 도면이고, 도 16은 도 15의 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 중첩한 터미널(420)을 나타낸 도면이다.15 is a view showing the first and second terminals 420-1 and 420-2 according to the seventh embodiment of the present invention, and FIG. 16 is the first and second terminals 420-1 and 420-2 of FIG. It is a diagram showing the superimposed terminal 420 .

도 15 및 16을 참조하면, 터미널(420)은 두께방향으로 서로 중첩될 수 있는 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)을 포함할 수 있다.15 and 16 , the terminal 420 may include first and second terminals 420-1 and 420-2 that may overlap each other in the thickness direction.

제1터미널(420-1)은 제1본체부(421-1), 제1본체부(421-1)의 일측으로부터 일체로 연장하는 제1접촉부(422-1), 및 제1본체부(421-1)의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 제1배럴삽입부(423-1)를 포함할 수 있다.The first terminal 420-1 includes a first body part 421-1, a first contact part 422-1 extending integrally from one side of the first body part 421-1, and a first body part ( 421-1) extending integrally from the other side opposite to one side and may include a first barrel insertion part 423-1 inserted into the barrel 110.

제2터미널(420-2)은 제2본체부(421-2), 제2본체부(421-2)의 일측으로부터 일체로 연장하는 제2접촉부(422-2), 및 제2본체부(421-2)의 일측에 대향하는 타측으로부터 일체로 연장하고 배럴(110)에 삽입되는 제2배럴삽입부(423-2)를 포함할 수 있다.The second terminal 420-2 includes a second body part 421-2, a second contact part 422-2 extending integrally from one side of the second body part 421-2, and a second body part ( It may include a second barrel insertion portion 423 - 2 integrally extending from the other side opposite to one side of 421 - 2 and inserted into the barrel 110 .

제1배럴삽입부(423-1) 및 제1본체부(421-1)는 제1접촉부(422-1)의 두께에 1/2로 형성될 수 있다.The first barrel insertion part 423-1 and the first body part 421-1 may be formed to have a thickness of 1/2 of the first contact part 422-1.

마찬가지로, 제2배럴삽입부(423-2) 및 제2본체부(421-2)는 제2접촉부(422-2)의 두께에 1/2로 형성될 수 있다. Similarly, the second barrel insertion portion 423 - 2 and the second body portion 421 - 2 may be formed to have a thickness of 1/2 of the second contact portion 422 - 2 .

제1 및 제2배럴삽입부(423-1,423-2)는 각각 도 3에 나타낸 배럴삽입부(123)과 유사한 구조를 가진다. 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)가 두께방향으로 중첩된 상태에서 제1 및 제2배럴삽입부(423-1,423-2)는 배럴의 일단부에 삽입 고정될 수 있다.The first and second barrel inserting parts 423-1 and 423-2 each have a structure similar to the barrel inserting part 123 shown in FIG. In a state in which the first and second terminals 420-1 and 420-2 overlap in the thickness direction, the first and second barrel insertion portions 423-1 and 423-2 may be inserted and fixed to one end of the barrel.

터미널(420)은 동일한 구조로 제작된 제1 및 제2터미널(420-1,420-2) 중 어느 하나를 뒤집어 중첩함으로써 형성할 수 있다. 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)가 중첩된 상태에서 제1접촉부와 제2접촉부(422-1,422-2)는 서로 다른 위치에 배열될 수 있다. 도 16에 나타낸 바와 같이, 중첩된 제1 및 제2터미널(420-1,420-2)은 포크 형상을 가질 수 있다. 또한, 제1접촉부와 제2접촉부(422-1,422-2)는 동일 평면상에 위치될 수 있다.The terminal 420 may be formed by inverting any one of the first and second terminals 420-1 and 420-2 manufactured to have the same structure and overlapping them. In a state in which the first and second terminals 420-1 and 420-2 overlap, the first and second contact portions 422-1 and 422-2 may be arranged at different positions. As shown in FIG. 16 , the overlapping first and second terminals 420-1 and 420-2 may have a fork shape. Also, the first contact portion and the second contact portion 422-1 and 422-2 may be positioned on the same plane.

지금까지 터미널(120)의 접촉부(121)는 판상으로 도시하고 설명하였지만, 원기둥 또는 4각기둥의 단면의 형상을 가질 수 있다.The contact portion 121 of the terminal 120 has been illustrated and described in the form of a plate so far, but may have a cylindrical or quadrangular cross-sectional shape.

앞서 설명한 명세서에서, 본 발명 및 그 장점들이 특정 실시예들을 참조하여 설명되었다. 그러나, 아래의 청구항에서 설명하는 바와 같은 본 발명의 범위에서 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변경이 가능함은 이 기술 분야에서 보통의 기술을 가진 자에게 명백할 것이다. 이에 따라, 명세서와 도면은 한정 보다는 본 발명의 예시로서 간주되어야 한다. 모든 이러한 가능한 수정들은 본 발명의 범위 내에서 이루어져야 한다.In the foregoing specification, the invention and its advantages have been described with reference to specific embodiments. However, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and changes can be made without departing from the scope of the present invention as set forth in the claims below. Accordingly, the specification and drawings are to be regarded as illustrative of the invention rather than limiting. All such possible modifications should be made within the scope of the present invention.

100: 프로브
110: 배럴
111: 내향돌기
120: 터미널
121: 본체부
122: 접촉부
123: 배럴삽입부
1231: 걸림부
1232: 슬롯
1233: 탄성변형부
1234: 확장슬롯
1235,1236: 텐션바
1237: 탄성지지부
1238: 걸림연장부
130: 플런저
140: 스프링
150: 터미널 세트
151: 지지프레임
152: 타이바
200: 희생기판
210: 제1포토레지스트층
212: 터미널 세트 패턴
220: 패턴홈
230: 전도성 물질층
240: 제2포토레지시트층
300: 제조장치
310: 바닥판
311: 터미널 탑재부
312: 배럴탑재부
313: 함몰부
320: 밀림방지벽100: probe
110: barrel
111: introvert
120: terminal
121: body part
122: contact
123: barrel insert
1231: catch
1232: slot
1233: elastic deformation part
1234: expansion slot
1235, 1236: tension bar
1237: elastic support
1238: jam extension
130: plunger
140: spring
150: terminal set
151: support frame
152: tie bar
200: sacrificial substrate
210: first photoresist layer
212: terminal set pattern
220: pattern home
230: conductive material layer
240: second photoresist sheet layer
300: manufacturing device
310: bottom plate
311: terminal mount
312: barrel mounting unit
313: depression
320: slip barrier

Claims (7)

프로브의 제조방법에 있어서,
MEMS공정에 의해 다수의 터미널이 타이바에 의해 지지프레임에 연결된 터미널세트를 마련하는 단계;
길이방향으로 관통하는 중공부를 가진 통형의 배럴을 마련하는 단계;
상기 터미널세트의 각 터미널에 상기 배럴의 일단부를 삽입하여 고정하는 단계; 및
상기 타이바로부터 상기 배럴의 일단부에 고정된 터미널을 분리하는 단계를 포함하는 프로브의 제조방법.In the method for producing a probe,
providing a terminal set in which a plurality of terminals are connected to a support frame by tie bars by a MEMS process;
providing a cylindrical barrel having a hollow portion penetrating in the longitudinal direction;
inserting and fixing one end of the barrel into each terminal of the terminal set; and
and separating the terminal fixed to one end of the barrel from the tie bar. 제 1항에 있어서,
상기 터미널은 피검사체에 접촉하는 접촉부와 상기 배럴에 고정되는 배럴고정부를 포함하는 프로브의 제조방법.The method of claim 1,
The method of manufacturing a probe, wherein the terminal includes a contact part contacting the subject and a barrel fixing part fixed to the barrel. 제 2항에 있어서,
상기 타이바는 상기 접촉부에 연결되고,
상기 타이바는 상기 배럴의 축방향에 나란하게 연장하는 프로브의 제조방법.3. The method of claim 2,
The tie bar is connected to the contact portion,
The tie bar is a method of manufacturing a probe extending parallel to the axial direction of the barrel. 제 1항에 있어서,
상기 배럴을 마련하는 단계는 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하게 플런저를 지지하는 단계를 포함하는 프로브의 제조방법.The method of claim 1,
The preparing of the barrel includes inserting a spring into the barrel and slidably supporting a plunger at the other end of the barrel. 제 1항에 있어서,
상기 고정 단계 이후에, 상기 배럴의 내부에 스프링을 삽입하고, 상기 배럴의 타단부에 슬라이딩 가능하게 플런저를 지지하는 단계를 더 포함하는 프로브의 제조방법.The method of claim 1,
After the fixing step, inserting a spring into the barrel, the method of manufacturing a probe further comprising the step of supporting the plunger slidably at the other end of the barrel. 프로브의 제조장치에 있어서,
다수의 터미널을 포함하는 터미널세트를 탑재하는 터미널탑재부와;
상기 터미널에 대응하는 위치에 배럴이 놓이는 배럴탑재부와;
상기 터미널 탑재부에 인접하게 마련된 밀림방지벽을 포함하는 프로브의 제조장치.In the probe manufacturing apparatus,
a terminal mounting unit for mounting a terminal set including a plurality of terminals;
a barrel mounting part on which the barrel is placed at a position corresponding to the terminal;
A probe manufacturing apparatus including a slip prevention wall provided adjacent to the terminal mounting part. 제 6항에 있어서,
상기 터미널탑재부와 상기 배럴탑재부 사이에 마련된 함몰부를 더 포함하는 프로브의 제조장치.7. The method of claim 6,
The apparatus for manufacturing a probe further comprising a depression provided between the terminal mounting part and the barrel mounting part.
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