KR20220003310A - 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 바닥 또는 구조물에 의해 지지되는 프레임(1)에 위치하고, 반도체용 기판(P)이 로딩되는 기판로딩부(10)와; 상기 기판로딩부(10)의 상부에 위치되고, 기판로딩부(10)의 기판(P)을 작동수단부(30)에 한장씩 안착시키는 제1 이송부(20)와; 상기 기판이송부(20)에 의해 기판(P)이 공급되면 필름박리부(40)에 전송하는 제1 컨베이어(30)와; 상기 컨베이어(30)에 필름이 부착된 기판(P)가 공급되면 기판의 양면 또는 일면의 필름을 박리하는 필름박리부(40)와; 상기 필름박리부(40)에 의해 필름이 박리된 기판을 매거진(70)으로 전송하는 제2 컨베이어(50)와; 상기 제2 컨베이어(50)가 상기 매거진(70) 방향으로 기판(P)을 제공하면 상기 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는 인서트부(60)와; 상하 승강 기능을 구비하고, 상기 기판(P)을 적재공간(72)에 층층이 적재하는 매거진부(70);를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 관한 것이다..

Description

반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 { Film Detachment and Stacking Device for PCB Substrate }
본 발명은 3 ~ 10 cm 크기, 또는 10 ~ 30 cm 크기의 반도체용 (세라믹) 기판의 보호 또는 보호 이외의 다른 목적을 갖는 유연성 필름을 기판의 일면 또는 양면으로부터 자동으로 벗겨낸 후 매거진에 적재시키는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 관한 것이다.
등록특허 제10-1119571호(특허권자 : 본 발명의 출원인과 일치)는 상하면에 필름이 부착된 기판을 테이블 상에 로딩하는 로딩기와 테이블 상에 위치한 기판을 정렬하는 정렬기와, 필름의 일측(기판이 진행하는 방향 측) 변두리에 상, 하 흠집부를 형성시켜 기판과 필름 사이에 틈을 형성하는 스크래칭기(scratching device)와, 테이블 상에서 기판의 상부를 흡착하고, 제1 왕복거리 만큼 왕복운동하도록 구성된 상부셔틀과, 제1 점착성 테이프를 흠집부가 형성된 하부필름의 일측에 부착시키고, 상기 상부셔틀이 기판을 일측으로 이동시키거나 하부 테이프유닛이 타측으로 이동하여 하부필름을 벗기는 하부 테이프유닛과, 상기 상부셔틀로부터 하부필름이 벗겨진 기판을 전달받아 파지하고 제2 왕복거리 만큼 왕복운동하도록 구성된 하부셔틀과, 제2 점착성 테이프를 흠집부가 형성된 상부필름의 일측에 부착시키고, 하부셔틀이 기판을 일측으로 이동하거나 상부 테이프유닛이 타측으로 이동하여 상부필름을 벗기는 상부 테이프유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체 인쇄회로기판의 보호필름 자동박리기를 개시한다.
본 발명은 3 ~ 10 cm 크기, 또는 10 ~ 30 cm 크기의 반도체용 기판의 보호 또는 보호 이외의 다른 목적을 갖는 유연성 필름을 기판의 일면 또는 양면으로부터 자동으로 벗겨낸 후 매거진에 적재시키는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 발명의 장치는 기판의 크기에제한을 받지 않으며, 필름을 기판의 일면 또는 양면으로부터 박리할 수 있음은 당연한다. 바람직하게 본 발명의 은 3 ~ 10 cm 크기의 기판의 양면의 필름을 모두 박리시키는 장치로 개발되었다.
본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치는, 바닥 또는 구조물에 의해 지지되는 프레임(1)에 위치하고, 반도체용 기판(P)이 로딩되는 기판로딩부(10)와; 상기 기판로딩부(10)의 상부에 위치되고, 기판로딩부(10)의 기판(P)을 작동수단부(30)에 한장씩 안착시키는 제1 이송부(20)와;
상기 기판이송부(20)에 의해 기판(P)이 공급되면 필름박리부(40)에 전송하는 제1 컨베이어(30)와; 상기 컨베이어(30)에 필름이 부착된 기판(P)가 공급되면 기판의 양면 또는 일면의 필름을 박리하는 필름박리부(40)와; 상기 필름박리부(40)에 의해 필름이 박리된 기판을 매거진(70)으로 전송하는 제2 컨베이어(50)와;
상기 제2 컨베이어(50)가 상기 매거진(70) 방향으로 기판(P)을 제공하면 상기 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는 인서트부(60)와; 상하 승강 기능을 구비하고, 상기 기판(P)을 적재공간(72)에 층층이 적재하는 매거진부(70);를 포함하여 구성되는 것이 특징이다.
본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 있어서, 필름박리부(40)는, 점착성을 가지는 필름 박리용 박리재(F)을 공급하는 박리재 공급롤러(41)와, 기판으로부터 박리된 필름이 부착된 박리재를 수취하는 박리재 수취롤러(42)와, 상하로 서로 마주보며 대향되게 위치한 한쌍의 박리롤러(45, 45a), 를 포함하여 구성되고; 상기 필름박리부(40)는 컨베이어(30)에 의해 필름이 부착된 기판(P)이 상기 한쌍의 박리롤러(45, 45a) 사이에 개재(介在)되면, 박리재(F)의 점착력으로 기판의 필름을 박리하는 것이 바람직하다.
본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 있어서, 필름박리부(40)는, 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는 인서트부(60)는,프레임(1)에 고정된 전후진 실린더(61)와, 상기 전후진 실린더(61)에 의해 전후진 되는 종방향 이동블록(62)과, 상기 종방향 이동블록(62)의 상부에 고정되는 승강 실린더(63)와, 상기 승강 실린더(63)에 의해 승강되는 상하방향 이동블록(64)와, 상하방향 이동블록(64)의 선단에 고정되는 인서트팁(60)을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 있어서, 제2 컨베이어(50)는 인서트부(60)가 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣을때, 동작을 방향하지 않도록 양측에 지지 이송벨트(51, 51a)를 구비하고 중간은 빈 공간(53)이 형성되어, 상기 빈 공간(53)으로 인서트팁(65)이 승강하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르는 경우 3 ~ 10 cm 크기, 또는 10 ~ 30 cm 크기의 반도체용 기판의 보호 또는 보호 이외의 다른 목적을 갖는 유연성 필름을 기판의 일면 또는 양면으로부터 자동으로 벗겨낸 후 매거진에 적재시키는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치를 제공하기 위한 것이다. 본 발명의 장치는 기판의 크기에제한을 받지 않으며, 필름을 기판의 일면 또는 양면으로부터 박리할 수 있음은 당연한다. 바람직하게 본 발명의 은 3 ~ 10 cm 크기의 기판의 양면의 필름을 모두 박리시키는 장치가 제공된다.
도 1은 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 전체 구성도.
도 2, 도 3는 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 중 필름박리부 상세도.
도 4는 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 중 인서트부 상세도.
도 5은 본 발명의 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 중 제2 컨베이어부 상세도.
도 6은 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 전반부 구성도.
이하에서 본 빌명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 전체 구성도, 도 2, 도 3는 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 중 필름박리부 상세도, 도 4는 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 중 인서트부 상세도, 도 5은 본 발명의 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 중 제2 컨베이어부 상세도이고, 도 6은 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치 전반부 구성도이다.
본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치는, 기판로딩부(10)와 제1 이송부(20)와 제1 컨베이어(30)와 필름박리부(40)와 제2 컨베이어(50)와 인서트부(60)와 매거진부(70)를 포함하여 구성된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기판로딩부(10)는 테이블 상에 구비된 가이드홈을 따라서 작업자 또는 자동으로 횡방향으로 이동되게 구비되어 작업자의 로딩작업에 편의를 도모할 수 있다.
기판로딩부(10)는 바닥 또는 구조물에 의해 지지되는 프레임(1)에 위치하고, 반도체용 기판(P)이 로딩된다. 제1 이송부(20)는 기판로딩부(10)의 상부에 위치되고, 기판로딩부(10)의 기판(P)을 작동수단부(30)에 한장씩 안착시킨다.
제1 컨베이어(30)는 기판이송부(20)에 의해 기판(P)이 공급되면 필름박리부(40)에 전송한다. 필름박리부(40)는 컨베이어(30)에 필름이 부착된 기판(P)가 공급되면 기판의 양면 또는 일면의 필름을 박리한다.
제2 컨베이어(50)는 필름박리부(40)에 의해 필름이 박리된 기판을 매거진(70)으로 전송한다. 인서트부(60)는 제2 컨베이어(50)가 상기 매거진(70) 방향으로 기판(P)을 제공하면 상기 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는다. 매거진부(70)는 상하 승강 기능을 구비하고, 상기 기판(P)을 적재공간(72)에 층층이 적재한다.
도 2, 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 있어서, 필름박리부(40)는, 점착성을 가지는 필름 박리용 박리재(F)을 공급하는 박리재 공급롤러(41)와, 기판으로부터 박리된 필름이 부착된 박리재를 수취하는 박리재 수취롤러(42)와, 상하로 서로 마주보며 대향되게 위치한 한쌍의 박리롤러(45, 45a)를 포함하여 구성된다.
여기서, 필름박리부(40)는 컨베이어(30)에 의해 필름이 부착된 기판(P)이 상기 한쌍의 박리롤러(45, 45a) 사이에 개재(介在)되면, 박리재(F)의 점착력으로 기판의 필름을 박리한다. 여기서 도 2에 도시된 바와 같이, 구동롤러(43)는 별도로 구비되어 필름을 권취하는 동력을 제공할 수 있다.
박리재(F)는 일면이 점착성을 갖는 필름형태일 수 있다. 박리재(F)의 점착성을 갖는 면이 기판의 양면 또는 일면의 필름과 접면되고, 기판의 필름이 박리롤러(45, 45a)에 감겨진 상태로 이동되는 박리재(F)의 점착면에 부착됨으로써 기판으로부터 필름이 박리된다. 상부 박리롤러(45)에 감긴 박리재(F)는 점착면이 하부 박리롤러(45a)가 위치한 하부를 향하고, 하부 박리롤러(45a)에 감긴 박리재(F)는 점착면이 상부 박리롤러(45)가 위치한 상부를 향한다. 한쌍의 박리롤러의 점착면과 점착면 사이에 기판이 연속적 또는 간헐적으로 진입되고 박리롤러가 회전하면서 필름박리가 진행된다.
도 3, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 있어서, 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는 인서트부(60)는, 프레임(1)에 고정된 전후진 실린더(61)와, 상기 전후진 실린더(61)에 의해 전후진 되는 종방향 이동블록(62)과, 상기 종방향 이동블록(62)의 상부에 고정되는 승강 실린더(63)와, 상기 승강 실린더(63)에 의해 승강되는 상하방향 이동블록(64)와, 상하방향 이동블록(64)의 선단에 고정되는 인서트팁(65),을 포함하여 구성된다.
제2 컨베이어(50)가 필름박리부(40)의 박리재에 의해 필름이 제거된 기판을 공급하면, 위치감지센서(80)가 기판의 도달을 감지하여 제어부(미도시)에 전송하고, 제어부의 통제에 의해 인서트부(60)의 인서트팁(65)이 상승한 후, 제2 컨베이어(50)의 빈 공간(53) 사이로 하강진입하여 기판의 후변을 터치하여 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 있어서, 제2 컨베이어(50)는 인서트부(60)가 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣을때, 동작을 방향하지 않도록 양측에 지지 이송벨트(51, 51a)를 구비하고 중간은 빈 공간(53)이 형성되어, 빈 공간(53)으로 인서트팁(65)이 승강하는 것이 바람직하다.
도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치에 있어서, 제2 컨베이어(50)의 선단부에는 기판의 횡방향 후변을 감지하는 위치감지센서(80)이 더 구비되는 것이 바람직하다. 위치감지센서(80)는 제2 컨베이어(50)를 따라서 종방향으로 적어도 두지점에 설치된 제1, 제2 감지센서(81a, 81b)를 포함한다.
여기서 예를 들어 제1 감지센서(81a)에 의해 기판이 감지되고 제2 감지센서(81b)에 의해 기판이 감지안되면 기판이 제1 감지센서(81a)와 제2 감지센서(81b) 사이에 위치하고 있다는 것을 제어부가 감지하고 제어부에 지령에 의해 인서트부(60)가 작동하여 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는 작업을 시행할 수 있다.
도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 기판이송부(20)는 진공흡착부(21)와 상기 진공흡착부(21)를 이동시키는 종방향 이송블록(22)과, 상기 종방향 이송블록(22)을 종방향으로 가이는 하는 가이드레일(23)로 구성된다. 진공흡착부(21)는 통상의 공지 기술과 같이 유연성 팁의 선단부분에 진공흡착 기능을 구비하는 형태로 사용될 수 있다. 가이드레일(23)의 내외부에 구비되는 서보모터는 종방향 이송블록(22)을 가이드레일(23)을 따라 이동시킨다.
본 발명은 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명됐지만, 본 발명의 범위가 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 범위는 이하의 특허청구범위에 의하여 정하여지는 것으로 본 발명과 균등 범위에 속하는 다양한 수정 및 변형을 포함할 것이다.
아래의 특허청구범위에 기재된 도면부호는 단순히 발명의 이해를 보조하기 위한 것으로 권리범위의 해석에 영향을 미치지 아니함을 밝히며 기재된 도면부호에 의해 권리범위가 좁게 해석되어서는 안될 것이다.
10 : 기판로딩부 60 : 인서트부
20 : 기판이송부 61 : 전후진 실린더
30 : 작동수단부 62 : 종방향 이동블록
40 : 상기 필름박리부 63 : 승강 실린더
41 : 박리재 공급롤러 64 : 상하방향 이동블록
42 : 박리재 수취롤러 65 : 선단에 고정되는 인서트팁
45,45a : 한쌍의 박리롤러 70 : 매거진
50 : 제2 컨베이어 72 : 적재공간

Claims (5)

  1. 바닥 또는 구조물에 의해 지지되는 프레임(1)에 위치하고, 반도체용 기판(P)이 로딩되는 기판로딩부(10)와;

    상기 기판로딩부(10)의 상부에 위치되고, 기판로딩부(10)의 기판(P)을 작동수단부(30)에 한장씩 안착시키는 제1 이송부(20)와;

    상기 기판이송부(20)에 의해 기판(P)이 공급되면 필름박리부(40)에 전송하는 제1 컨베이어(30)와;

    상기 컨베이어(30)에 필름이 부착된 기판(P)가 공급되면 기판의 양면 또는 일면의 필름을 박리하는 필름박리부(40)와;

    상기 필름박리부(40)에 의해 필름이 박리된 기판을 매거진(70)으로 전송하는 제2 컨베이어(50)와;

    상기 제2 컨베이어(50)가 상기 매거진(70) 방향으로 기판(P)을 제공하면 상기 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는 인서트부(60)와;

    상하 승강 기능을 구비하고, 상기 기판(P)을 적재공간(72)에 층층이 적재하는 매거진부(70);
    를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 필름박리부(40)는,
    점착성을 가지는 필름 박리용 박리재(F)을 공급하는 박리재 공급롤러(41)와,
    기판으로부터 박리된 필름이 부착된 박리재를 수취하는 박리재 수취롤러(42)와,
    상하로 서로 마주보며 대향되게 위치한 한쌍의 박리롤러(45, 45a), 를 포함하여 구성되고;

    상기 필름박리부(40)는 컨베이어(30)에 의해 필름이 부착된 기판(P)이 상기 한쌍의 박리롤러(45, 45a) 사이에 개재(介在)되면, 박리재(F)의 점착력으로 기판의 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣는 인서트부(60)는,
    프레임(1)에 고정된 전후진 실린더(61)와,
    상기 전후진 실린더(61)에 의해 전후진 되는 종방향 이동블록(62)과,
    상기 종방향 이동블록(62)의 상부에 고정되는 승강 실린더(63)와,
    상기 승강 실린더(63)에 의해 승강되는 상하방향 이동블록(64)와,
    상하방향 이동블록(64)의 선단에 고정되는 인서트팁(65),을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치.

  4. 제4항에 있어서,
    상기 제2 컨베이어(50)는 인서트부(60)가 기판을 매거진(70)의 적재공간(72) 속으로 밀어넣을때, 동작을 방향하지 않도록 양측에 지지 이송벨트(51, 51a)를 구비하고 중간은 빈 공간(53)이 형성되어,
    상기 빈 공간(53)으로 인서트팁(65)이 승강하는 것을 특징으로 하는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2 컨베이어(50)의 선단부에는 기판의 횡방향 후변을 감지하는 위치감지센서(80);이 더 구비되고,
    상기 위치감지센서(80)는 제2 컨베이어(50)를 따라서 종방향으로 적어도 두지점에 설치된 감지센서(81a, 81b)를 포함하여 구성하는것을 특징으로 하는 반도체용 기판의 필름 박리 및 기판 적재 장치.
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