KR20210150876A - 초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법 - Google Patents

초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20210150876A
KR20210150876A KR1020200067846A KR20200067846A KR20210150876A KR 20210150876 A KR20210150876 A KR 20210150876A KR 1020200067846 A KR1020200067846 A KR 1020200067846A KR 20200067846 A KR20200067846 A KR 20200067846A KR 20210150876 A KR20210150876 A KR 20210150876A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
furnace
cassette
preheating
strengthening
thin glass
Prior art date
Application number
KR1020200067846A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102568873B1 (ko
Inventor
최대규
Original Assignee
(주) 엔피홀딩스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 엔피홀딩스 filed Critical (주) 엔피홀딩스
Priority to KR1020200067846A priority Critical patent/KR102568873B1/ko
Priority to CN202110577052.5A priority patent/CN113754261A/zh
Publication of KR20210150876A publication Critical patent/KR20210150876A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102568873B1 publication Critical patent/KR102568873B1/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B27/00—Tempering or quenching glass products
    • C03B27/012—Tempering or quenching glass products by heat treatment, e.g. for crystallisation; Heat treatment of glass products before tempering by cooling
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/20—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames
    • C03B35/202—Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames by supporting frames

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Abstract

본 발명은 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치는 대상 유리들이 적재된 카세트가 반입 및 반출되는 로더부; 카세트에 적재된 대상 유리들의 예열과 강화 그리고 냉각 처리가 순차적으로 이루어지는 공정 처리부; 및 상기 공정 처리부와 상기 로더부 사이에 제공되며, 상기 로더부와 상기 공정 처리부 간의 카세트 반송을 위한 반송 공간을 갖는 반송부를 포함할 수 있다.

Description

초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법{Apparatus and Method for Ultra-Thin Glass Tempering}
본 발명은 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치 및 방법에 관한 것이다.
스마트폰, 태블릿 PC, 모바일 단말기 등에 사용되는 강화유리는 박판 형태로서 스크래치의 발생이 적고 투광성이 뛰어난 특성을 지니는 것이 유리하다. 그런데, 경도 및 강도가 우수한 강화유리를 제조하기 위해서는 유리의 강화 공정이 필요하다.
일반적으로 유리의 강화는 크게 물리적 강화와 화학적 강화로 나뉘는데, 물리적 강화는 유리를 약 550℃ 내지 700℃ 사이의 온도로 가열한 후 급랭하여 내부 강도를 강화하는 것으로 이는 강화 유리문, 자동차용 유리 등의 제조에 주로 사용된다. 하지만, 이와 같은 물리적 강화는 유리 표면층과 중심층 사이의 온도차를 충분히 낼 수 없는 얇은 박판유리에는 적용이 불가능하고, 열팽창 계수가 작은 유리의 경우에는 강화가 어려우며, 복잡한 형상을 갖는 유리의 경우에는 각 부분이 균일한 온도차를 가지지 않는 단점이 있다. 또한, 비교적 고온에서 작업이 수행되므로 유리의 변형이 발생할 수 있다.
한편, 화학적 강화는 박판유리를 약 450℃의 질산칼륨 용액에 3시간 이상 침지하여 유리에 있는 나트륨 이온과 질산칼륨용액의 칼륨 이온을 서로 치환시켜 유리를 강화하는 것으로, 주로 얇은 박판유리를 강화하는데 이용된다. 화학적 강화는 이온교환을 통해 유리를 강화하는 것으로 박판유리와 복잡한 형상의 유리 모두에 적용할 수 있고, 가공 중 변형의 우려가 없다. 또한, 정밀도가 높고, 강도면에서 물리적 강화보다 우수하며, 강화 후 절단 가공 등이 가능한 장점이 있다.
이러한 화학적 강화 방법은 일반적으로 강화시키고자 하는 유리를 약 300 내지 450℃ 사이의 온도에서 가열시키고, 약 380℃ 이상의 온도로 용융된 질산칼륨염에 가열된 유리를 일정시간 침지하여 유리의 표면에 압축응력층을 형성함으로써 유리를 강화시킬 수 있다.
대한민국 공개특허공보 등록특허 제10-1120262호(명칭: 강화유리 제작을 위한 강화로 장치, 이하 선출원발명)는 강화 유리를 제작하기 위한 장치를 예시하고 있다. 구체적으로, 선출원발명은 화학적 강화를 위해서 대상 유리를 소정 온도로 상승시킨 후에 강화로 내의 전해액에 가열된 대상 유리를 넣어 화학적 강화를 수행하며, 화학적 강화가 완료되면 서냉을 통해 가열된 대상 유리의 온도를 낮추게 된다.
그러나, 이러한 선출원발명은 예열에 필요한 시간이 강화로 내에서 대상 유리의 강화에 필요한 시간보다 상대적으로 긴 시간을 갖기 때문에 유리가 예열되는 동안 강화로 또는 서냉로 등에서는 공정 처리를 위한 대상 유리가 존재하지 않는 유휴 시간이 존재하기 때문에 생산성이 현저하게 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명은 생산성과 설비 가동 효율을 극대화시킬 수 있는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 대상 유리들이 적재된 카세트가 반입 및 반출되는 로더부; 카세트에 적재된 대상 유리들의 예열과 강화 그리고 냉각 처리가 순차적으로 이루어지는 공정 처리부; 및 상기 공정 처리부와 상기 로더부 사이에 제공되며, 상기 로더부와 상기 공정 처리부 간의 카세트 반송을 위한 반송 공간을 갖는 반송부를 포함하는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 공정 처리부는 예열 시간에 맞추어 복수의 카세트를 순차적으로 예열하는 예열로; 및 상기 예열로에서 예열된 복수의 카세트를 순차적으로 제공받아 강화 처리 공정을 수행하는 강화로 및 상기 강화로에서 강화처리된 카세트를 냉각하는 서냉로를 갖는 공정 챔버를 포함할 수 있다.
또한, 상기 예열로는 카세트가 이동되는 예열 공간을 갖되; 상기 예열 공간은 내부에 커튼 또는 도어에 의해 공간이 구획될 수 있다.
또한, 상기 예열로는 카세트가 상기 구획된 공간을 경유하면서 점진적으로 또는 단계적으로 예열될 수 있다.
또한, 상기 예열로와 상기 공정 챔버는 일직선상에 배치되고, 상기 예열로와 상기 공정 챔버는 상기 반송부와 나란히 배치될 수 있다.
또한, 상기 서냉로는 상기 강화로 상부에 적층 형태로 제공되며, 상기 서냉로는 상기 예열로와 연결되고, 강화 처리전 카세트가 반입되는 제1출입구; 및 상기 반송부와 연결되고, 강화 처리후 카세트가 반출되는 제2출입구를 포함하며, 카세트는 상기 서냉로를 통해 상기 강화로에/로부터 반입/반출될 수 있다.
또한, 상기 예열로는 카세트를 순차적으로 예열하기 위해 복수의 예열 챔버들을 포함하고, 카세트는 상기 복수의 예열 챔버들을 순차적으로 경유한 후 상기 공정 챔버로 반송될 수 있다.
또한, 상기 예열로는 카세트를 예열하기 위해 복수의 예열 챔버들을 포함하고, 카세트는 상기 복수의 예열 챔버들 각각에서 독립적으로 예열 처리된 후 상기 공정 챔버로 반송될 수 있다.
또한, 상기 로더부는 공정 처리전 카세트가 놓여지는 적어도 하나 이상의 반입 포트와, 공정 처리후 카세트가 놓여지는 적어도 하나 이상의 반출 포트를 포함하며, 상기 반입 포트와 상기 반출 포트는 일직선상에 배치될 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 대상 유리들이 적재된 카세트가 로더부에 로딩되는 단계; 상기 카세트를 예열로에서 예열처리하는 단계; 예열처리된 상기 카세트를 강화로에서 강화처리하는 단계; 강화처리된 상기 카세트를 서냉로에서 냉각처리하는 단계; 및 냉각 처리된 상기 카세트를 상기 로더부로 언로딩하는 단계를 포함하되; 상기 예열 처리하는 단계에서는 예열 시간에 맞추어 상기 예열로의 길이 및 공간을 구분하여 복수의 카세트를 예열하여 상기 강화로에 상기 카세트를 순차적으로 제공하는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 방법이 제공될 수 있다.
또한, 상기 예열 처리하는 단계에서 상기 복수의 카세트들은 소정 주기마다 예열 처리가 완료되며, 상기 소정 주기는 하나의 카세트가 상기 강화 처리하는 단계와 상기 냉각 처리하는 단계를 모두 마치는 처리 시간과 대응될 수 있다.
또한, 상기 카세트는 상기 서냉로를 통해 상기 강화로로 제공되며, 예열처리된 상기 카세트는 예열로와 연결된 상기 서냉로의 제1출입구를 통해 반입되고, 냉각처리된 상기 카세트는 상기 로더부와 상기 서냉로 사이에 제공되는 반송로와 연결된 상기 서냉로의 제2출입구를 통해 반출될 수 있다.
또한, 상기 예열 처리하는 단계에서 상기 복수의 카세트들은 점진적으로 예열되거나 또는 단계적으로 예열될 수 있다.
본 발명의 일 실시 예에 의하면, 예열 시간에 맞추어 예열로의 길이와 공간을 구분하여 복수의 카세트의 동시 예열이 가능함으로써 유리 강화 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치를 개략적으로 보여주는 도면이다
도 2는 도 1에 도시된 강화 처리 장치의 블록도이다.
도 3은 도 1에 도시된 공정 챔버를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치의 변형예를 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 5는 도 4에 도시된 강화 처리 장치의 블록도이다.
도 6은 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치의 또 다른 변형예를 개략적으로 보여주는 블록도이다.
도 7a 및 도 7b는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치의 또 다른 변형예를 개략적으로 보여주는 블록도이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장 및 축소된 것이다.
본 실시예의 장치는 스마트폰, 태블릿 PC, 휴대폰 등의 모바일 단말기, 특히 터치패널 구성을 갖는 전자제품에 사용되는 강화유리의 강화 처리 공정을 수행하는데 사용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 강화 처리 장치의 블록도이며, 도 3은 도 1에 도시된 공정 챔버를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 강화 처리 장치(10)는 로더부(100), 공정 처리부(300) 그리고 반송부(200)를 포함할 수 있다. 로더부(100), 반송부(200) 그리고 공정 처리부(300)는 순차적으로 일렬로 배열될 수 있다.
이하, 로더부(100), 반송부(200) 그리고 공정 처리부(300)가 배열된 방향을 제1방향(12)이라 정의하고, 상부에서 바라볼때 제1방향(12)과 수직한 방향을 제2방향(14)이라고 하고, 제1방향(12)과 제2방향(14)을 포함한 평면에 수직인 방향을 제3방향(16)이라 정의한다.
로더부(100)에는 대상 유리(셀)(미도시됨)들이 적재된 카세트(20)가 안착될 수 있다. 대상 유리는 원장 유리(절단전 유리)를 절단한 셀에 해당될 수 있다. 로더부(100)는 반입 포트(110)들과 반출 포트(120)들을 포함할 수 있다. 반입 포트(110)는 공정 처리전 대상 유리들이 적재된 카세트(20)가 놓여지는 포트이고, 반출 포트(120)는 공정 처리된 대상 유리들이 적재된 카세트(20)가 놓여지는 포트일 수 있다. 반입 포트(110)들과 반출 포트(120)들은 제2방향(14)을 따라 일렬로 배치될 수 있다. 예컨대, 반입 포트는 공정 처리부(300)의 예열로(400)와 인접하게 배치되고, 반출 포트는 공정 처리부(300)의 서냉로(550)와 인접하게 배치될 수 있다.
도 1에서는 2개의 반입 포트(110)와 2개의 반출 포트(120)가 제공된 것으로 도시하였다. 그러나, 반입 포트(110)와 반출 포트(120)의 개수는 공정처리부(300)의 공정효율 및 풋 프린트 등의 조건에 따라 증가하거나 감소할 수도 있다.
반송부(200)는 공정 처리부(300)와 로더부(100) 사이에 제공될 수 있다. 반송부(200)에서는 로더부(100)와 공정 처리부(300) 간의 카세트(20) 반송이 이루어진다. 반송부(200)는 카세트(20) 반송을 위한 반송공간(210)과, 반송공간(210)에서 카세트(20)를 반송하는 카세트 반송 유닛(220)을 포함할 수 있다. 일 예로, 카세트 반송 유닛(220)은 반송 공간(210) 상부에 설치된 OHT(Over Head Transform)등의 이송 장치 또는 반송 공간(210) 바닥에 설치되어 카세트를 직접 핸들링하는 핸드가 구비된 반송 로봇 등과 같은 다양한 장치들이 사용될 수 있다.
공정 처리부(300)에서는 카세트(20)에 적재된 대상 유리들의 예열과 강화 그리고 냉각 처리가 순차적으로 이루어질 수 있다. 공정 처리부(300)는 예열로(400)와 공정 챔버(500)를 포함할 수 있다. 예열로(400)와 공정 챔버(500)는 제2방향(14)을 따라 일직선상에 배치되고, 예열로(400)와 공정 챔버(500)는 반송부(200)와 나란히 배치될 수 있다.
예열로(400)는 예열 시간에 맞추어 복수의 카세트를 순차적으로 예열하는 예열 공간을 제공할 수 있다. 예열로(400)의 예열 공간은 내부에 공간구획부재(490)(에어커튼, 물리적 커튼 또는 도어)에 의해 구획될 수 있다. 본 실시예에서, 예열로(400)는 하나의 공간구획부재(490)에 의해 2개의 예열 공간을 포함하는 것으로 도시하고 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
예열로(400)는 카세트가 구획된 공간을 경유하면서 점진적으로 또는 단계적으로 예열될 수 있다.
예열로는 예열 시간(예를 들어, 약 1시간 30분 내지 약 2시간 사이에 존재하는 시간)에 맞추어 예열로의 길이(길이를 예열 시간에 맞추어 길게 구성)를 확장하거나, 공간(두 개 이상의 예열 공간으로 구획)을 구분하여 운영할 수 있다.
예열도(400)는 강화로의 강화 시간보다 수 배 긴 시간에 해당하는 예열 시간을 필요로 하기 때문에, 강화 처리 전의 카세트를 복수 개를 순차적으로 또는 동시에 예열을 위한 길이로 확장되거나 예열을 위한 공간을 분리할 수 있다.
예열로(400)의 일측(반송공간과 마주하는 정면)에는 예열 처리전의 카세트가 반입되는 입구(401)가 제공되고, 타측(공정 챔버와 마주하는 측면)에는 예열 처리된 카세트가 반출되는 출구(402)가 제공될 수 있다. 예열로(400)의 출구(402)는 서냉로의 제1출입구와 연결될 수 있다.
공정 챔버(500)는 예열로(400)에서 예열 처리된 대상 유리들이 적재된 카세트(20)를 질산칼륨용액에 침지시켜 대상 유리의 나트륨 이온을 질산칼륨 용액의 칼륨이온과 치환하여 강화유리를 만드는 강화로(510)와, 강화로(510)의 상부에 제공되고 강화로(510)에서 강화처리된 대상유리를 냉각시키기 위한 서냉로(550)를 포함할 수 있다. 서냉로(550)는 강화로(510) 상부에 적층 형태로 제공될 수 있다.
강화로(510)는 내부에 카세트(20)가 투입되어 가열할 수 있도록 한 작업공간(512)이 형성된 챔버 형태로 구성될 수 있다. 여기서, 챔버는 단열을 위해 내화벽돌 또는 세라믹 울과 세라믹 보드를 이용하여 두 재료 사이에 공기층을 형성한 단열벽(514)으로 제공될 수 있다. 또한, 강화로(510)는 작업공간(512)을 가열하기 위한 열원(516)이 설치될 수 있다. 강화로(510)의 상부에는 카세트(20)가 투입 및 취출될 수 있는 출입구(518)가 제공되며, 출입구(518)는 도어(미도시됨)에 의해 개폐될 수 있다.
서냉로(550)는 강화로(510)의 출입구(518) 상부에 배치된다. 서냉로(550)의 내측벽면에는 히터(556)가 설치될 수 있다. 히터(556)에 의해 서냉로(550) 내부는 승온 상태를 유지할 수 있다. 히터(556)는 예열로(400)에서 이동한 대상 유리들의 급격한 온도 저하를 방지하기 위해 제공된다. 서냉로(550)는 측면에 제1출입구(552)와 제2출입구(554)를 갖는다. 제1출입구(552)는 예열로(400)와 연결되고, 강화 처리전 카세트(20)가 반입되는 입구에 해당되고, 제2출입구(554)는 반송부(200)와 연결되고, 강화 처리후 카세트(20)가 반출되는 출구에 해당된다. 카세트(20)는 서냉로(550)를 통해 강화로(510)에/로부터 반입/반출된다.
서냉로(550)에는 카세트(20)를 공정 챔버(500) 내에서 이동시키기 위한 카세트 운반 장치(590)가 제공될 수 있다. 카세트 운반 장치(590)는 제1출입구(552)에서 카세트(20)를 홀딩하여 강화로(510)로 반송하고, 강화로(510)에서 강화 처리된 카세트(20)를 홀딩하여 제2출입구(554)로 반송할 수 있다. 참고로, 강화 처리된 카세트는 강화 처리된 대상 유리들이 적재된 카세트로 이해하면 된다.
강화로(510)에서 강화 처리된 카세트(20)는 카세트 운반 장치(590)에 의해 서냉로(550)에서 서냉처리된 후 제2출입구(554)를 통해 반출될 수 있다.
한편, 예열로(400) 아래에는 세정 처리가 이루어지는 세정로가 제공될 수 있다. 즉, 예열로(400)의 전체 또는 일부는 세정로의 상단에 적층될 수도 있다.
상술한 구조를 갖는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치에서의 강화 처리 방법은 대상 유리들이 적재된 카세트(20)가 로더부(100)에 로딩되는 단계, 카세트(20)를 예열로(400)에서 예열처리하는 단계, 예열처리된 카세트(20)를 강화로(510)에서 강화처리하는 단계, 강화처리된 카세트(20)를 서냉로(550)에서 냉각처리하는 단계 및 냉각 처리된 카세트(20)를 로더부(100)로 언로딩하는 단계를 포함할 수 있다.
여기서, 예열 처리하는 단계는 예열 시간에 맞추어 예열로(400)의 길이 및 공간을 구분하여 복수의 카세트(20)를 예열하여 강화로(510)에 카세트(20)를 순차적으로 제공할 수 있다. 복수의 카세트(20)들은 예열로(400)에서 점진적으로 예열되거나 또는 단계적으로 예열될 수 있다.
예열 처리하는 단계에서 복수의 카세트(20)들은 소정 주기마다 예열 처리가 완료되며, 소정 주기는 하나의 카세트(20)가 강화 처리하는 단계와 냉각 처리하는 단계를 모두 마치는 처리 시간과 대응되는 것이 바람직하다.
예를 들어, 카세트(20)가 강화 처리하는 공정 시간과 냉각 처리되어 공정 챔버(500)에서 반출되는데까지 걸리는 시간이 30분이라고 가정하면, 예열로(400)에서는 30분 주기마다 카세트(20)가 하나씩 예열 처리되어 공정 챔버(500)로 반입될 수 있다. 따라서, 강화로(510)에서는 유휴 시간 없이 대상 유리들이 적재된 카세트(20)의 강화 처리 공정을 연속적으로 수행할 수 있어, 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 4는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치의 변형예를 개략적으로 보여주는 도면이고, 도 5는 도 4에 도시된 강화 처리 장치의 블록도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 변형예에 따른 강화 처리 장치(10a)는 로더부(100a), 공정 처리부(300a) 그리고 반송부(200a)를 포함하며, 이들은 도 1에 도시된 로더부(100), 공정 처리부(300) 그리고 반송부(200)와 대체로 유사한 구성과 기능으로 제공되므로, 이하에서는 본 실시예와의 차이점을 위주로 변형예를 설명하기로 한다.
본 변형예에서, 예열로(400a)는 3개의 예열 챔버(400-1,400-2,400-3)들을 포함할 수 있으며, 카세트(20)는 첫번째 예열 챔버(400-1)부터 세번째 예열 챔버(400-3)를 단계적으로 거치면서 설정된 온도로 예열된다는데 그 특징이 있다. 예를 들어, 첫번째 예열 챔버(400-1)에서는 100℃로 카세트를 예열하고, 두번째 예열 챔버(400-2)에서는 200℃로 카세트를 예열하며, 세번째 예열 챔버(400-3)에서는 300℃로 카세트를 예열 처리할 수 있다. 이처럼, 각각의 예열 챔버들은 가열 조건이 상이할 수 있다.
변형예에 따르면, 서냉로(550)의 제1출입구(552)와 제2출입구(554)는 서로 대향되는 측면에 제공될 수 있다. 제1출입구(552)는 세번째 예열 챔버(400-3)와 연결되며, 제2출입구(554)는 반송부(200)와 연결될 수 있다.
도 6은 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치의 또 다른 변형예를 개략적으로 보여주는 블록도이다.
도 6에서와 같이, 예열로(400b)는 3개의 예열 챔버(400c)들을 포함할 수 있으며, 각각의 예열 챔버(400c)들에서는 대상 유리의 온도를 설정 온도까지 예열하는 예열 공정을 독립적으로 수행할 수 있다. 따라서, 각각의 예열 챔버(400c)에서 예열 처리된 카세트는 공정 챔버(500)로 각각 제공될 수 있다.
이때, 세 개의 예열 챔버(400c)들은 복수의 카세트를 소정 시간 간격을 두고 순차적으로 예열하거나 복수의 카세트를 동시에 예열할 수 있다.
도 7a 및 도 7b는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치의 또 다른 변형예를 개략적으로 보여주는 블록도이다. 상기 변형예는 도 1에 도시된 강화 처리 장치와 대체로 유사한 구성가 기능으로 제공되며, 아래에서는 차이점을 위주로 설명하기로 한다.
도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이, 공정 처리부(300c)는 공정챔버(500)와, 예열로(400) 그리고 세정로(700)를 포함하며, 세정로(700)는 예열로(400) 아래에 배치될 수 있다.
세정로(700)와 예열로(400)는 반송공간(210)과 연결되는 출입구(701,401)가 제공되며, 카세트(20)는 카세트 반송 유닛(일예로 호이스트)(220)에 의해 예열로(400)의 출입구(401)를 통해 반입되며, 서냉을 마친 카세트(20)는 서냉로(550)에서 반출된 후 세정로(700)의 출입구를 통해 세정로(700)로 반입되고, 세정을 마친 카세트(20)는 다시 카세트 반송 유닛(220)에 의해 세정로(700)의 출입구를 통해 반출될 수 있다.
이와 달리, 세정로(700)는 예열로(400)와 접합면에 출입구를 형성할 수도 있다. 이때, 예열로(400)는 하단 및 세정로(700)의 상단에 위치하는 출입구로 카세트(20)를 반입하고, 세정로(700)에서 세정을 마친 카세트(20)를 세정로 상단의 출입구를 통해 반출할 수도 있다.
출입구(554, 401, 701)를 기준으로 일측은 반송 공간이 형성되고, 반송 공간이 형성된 반대측에 공정챔버(500, 510)와, 예열로(400) 그리고 세정로(700)를 배치할 수 있다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내어 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 로더부 200 : 반송부
300 : 공정 처리부 400 : 예열로
510 : 강화로 550 : 서냉로

Claims (13)

  1. 대상 유리들이 적재된 카세트가 반입 및 반출되는 로더부;
    카세트에 적재된 대상 유리들의 예열과 강화 그리고 냉각 처리가 순차적으로 이루어지는 공정 처리부; 및
    상기 공정 처리부와 상기 로더부 사이에 제공되며, 상기 로더부와 상기 공정 처리부 간의 카세트 반송을 위한 반송 공간을 갖는 반송부를 포함하는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 공정 처리부는
    예열 시간에 맞추어 복수의 카세트를 순차적으로 예열하는 예열로; 및
    상기 예열로에서 예열된 복수의 카세트를 순차적으로 제공받아 강화 처리 공정을 수행하는 강화로 및 상기 강화로에서 강화처리된 카세트를 냉각하는 서냉로를 갖는 공정 챔버를 포함하는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 예열로는
    카세트가 이동되는 예열 공간을 갖되;
    상기 예열 공간은 내부에 커튼 또는 도어에 의해 공간이 구획되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 예열로는
    카세트가 상기 구획된 공간을 경유하면서 점진적으로 또는 단계적으로 예열되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 예열로와 상기 공정 챔버는 일직선상에 배치되고,
    상기 예열로와 상기 공정 챔버는 상기 반송부와 나란히 배치되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 서냉로는 상기 강화로 상부에 적층 형태로 제공되며,
    상기 서냉로는
    상기 예열로와 연결되고, 강화 처리전 카세트가 반입되는 제1출입구; 및
    상기 반송부와 연결되고, 강화 처리후 카세트가 반출되는 제2출입구를 포함하며,
    카세트는 상기 서냉로를 통해 상기 강화로에/로부터 반입/반출되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 예열로는
    카세트를 순차적으로 예열하기 위해 복수의 예열 챔버들을 포함하고,
    카세트는 상기 복수의 예열 챔버들을 순차적으로 경유한 후 상기 공정 챔버로 반송되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  8. 제 2 항에 있어서,
    상기 예열로는
    카세트를 예열하기 위해 복수의 예열 챔버들을 포함하고,
    카세트는 상기 복수의 예열 챔버들 각각에서 독립적으로 예열 처리된 후 상기 공정 챔버로 반송되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  9. 제 2 항에 있어서,
    상기 로더부는
    공정 처리전 카세트가 놓여지는 적어도 하나 이상의 반입 포트와, 공정 처리후 카세트가 놓여지는 적어도 하나 이상의 반출 포트를 포함하며,
    상기 반입 포트와 상기 반출 포트는 일직선상에 배치되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 장치.
  10. 대상 유리들이 적재된 카세트가 로더부에 로딩되는 단계;
    상기 카세트를 예열로에서 예열처리하는 단계;
    예열처리된 상기 카세트를 강화로에서 강화처리하는 단계;
    강화처리된 상기 카세트를 서냉로에서 냉각처리하는 단계; 및
    냉각 처리된 상기 카세트를 상기 로더부로 언로딩하는 단계를 포함하되;
    상기 예열 처리하는 단계에서는
    예열 시간에 맞추어 상기 예열로의 길이 및 공간을 구분하고, 복수의 카세트를 예열하여 상기 강화로에 상기 카세트를 순차적으로 제공하는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 예열 처리하는 단계에서
    상기 복수의 카세트들은 소정 주기마다 예열 처리가 완료되며,
    상기 소정 주기는 하나의 카세트가 상기 강화 처리하는 단계와 상기 냉각 처리하는 단계를 모두 마치는 처리 시간과 대응되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 카세트는 상기 서냉로를 통해 상기 강화로로 제공되며,
    예열처리된 상기 카세트는 예열로와 연결된 상기 서냉로의 제1출입구를 통해 반입되고,
    냉각처리된 상기 카세트는 상기 로더부와 상기 서냉로 사이에 제공되는 반송로와 연결된 상기 서냉로의 제2출입구를 통해 반출되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 예열 처리하는 단계에서
    상기 복수의 카세트들은 점진적으로 예열되거나 또는 단계적으로 예열되는 초박형 유리 제조를 위한 강화 처리 방법.
KR1020200067846A 2020-06-04 2020-06-04 초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법 KR102568873B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200067846A KR102568873B1 (ko) 2020-06-04 2020-06-04 초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법
CN202110577052.5A CN113754261A (zh) 2020-06-04 2021-05-26 用于制造超薄玻璃的钢化处理装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200067846A KR102568873B1 (ko) 2020-06-04 2020-06-04 초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210150876A true KR20210150876A (ko) 2021-12-13
KR102568873B1 KR102568873B1 (ko) 2023-08-21

Family

ID=78831872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200067846A KR102568873B1 (ko) 2020-06-04 2020-06-04 초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102568873B1 (ko)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060102308A (ko) * 2006-09-04 2006-09-27 (주)한국나노글라스 표시창용 강화유리의 제조장치
KR20080002983A (ko) * 2005-05-20 2008-01-04 후지필름 가부시키가이샤 가열 장치 및 가열 방법
KR20100074131A (ko) * 2007-09-20 2010-07-01 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판의 처리 방법 및 기판의 처리 시스템
KR20110075852A (ko) * 2009-12-29 2011-07-06 김한곤 트롤리 컨베이어를 이용한 박판글라스 강화 열처리장치
KR101061650B1 (ko) * 2011-03-03 2011-09-01 김대성 화학 강화를 이용한 강화 유리의 제조 장치
KR101120262B1 (ko) * 2011-09-23 2012-03-16 주식회사 도우인시스 강화유리 제작을 위한 강화로 장치
KR101143303B1 (ko) * 2011-11-15 2012-05-14 주식회사 도우인시스 균일 강화유리 제작을 위한 화학 강화로 장치
KR101413626B1 (ko) * 2013-12-31 2014-08-06 김호권 화학강화를 이용한 강화유리 제조장치 및 제조방법

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20080002983A (ko) * 2005-05-20 2008-01-04 후지필름 가부시키가이샤 가열 장치 및 가열 방법
KR20060102308A (ko) * 2006-09-04 2006-09-27 (주)한국나노글라스 표시창용 강화유리의 제조장치
KR20100074131A (ko) * 2007-09-20 2010-07-01 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판의 처리 방법 및 기판의 처리 시스템
KR20110075852A (ko) * 2009-12-29 2011-07-06 김한곤 트롤리 컨베이어를 이용한 박판글라스 강화 열처리장치
KR101061650B1 (ko) * 2011-03-03 2011-09-01 김대성 화학 강화를 이용한 강화 유리의 제조 장치
KR101120262B1 (ko) * 2011-09-23 2012-03-16 주식회사 도우인시스 강화유리 제작을 위한 강화로 장치
KR101143303B1 (ko) * 2011-11-15 2012-05-14 주식회사 도우인시스 균일 강화유리 제작을 위한 화학 강화로 장치
KR101413626B1 (ko) * 2013-12-31 2014-08-06 김호권 화학강화를 이용한 강화유리 제조장치 및 제조방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR102568873B1 (ko) 2023-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100854142B1 (ko) 로드 로크 장치 및 기판 처리 시스템
KR960010051B1 (ko) 플라즈마 cvd장치
KR101225312B1 (ko) 프로세스 장치
KR20080015476A (ko) 처리 시스템 및 그 운전 방법
TW586176B (en) A heating and cooling device and a vacuum handling device with said heating and cooling device
WO2021218760A1 (zh) 传送载板、真空镀膜设备及真空镀膜方法
JP4027266B2 (ja) ガラス物品の徐冷方法、ガラス物品の加熱方法、ガラス成形品の製造方法、及び熱処理装置
KR20210150876A (ko) 초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법
KR101995323B1 (ko) 원형 배치구조를 가지는 화학강화 유리 제조장치
KR101988371B1 (ko) 지그 승하강시 열손실 감소를 유도하는 원형 배치타입의 화학강화 유리 제조장치
JP2001250780A (ja) 半導体製造装置におけるダミー基板の運用方法
JP5280901B2 (ja) 基板処理システムおよび基板処理方法
JP2006190968A (ja) 半導体素子製造装置
KR101477261B1 (ko) 상부 이동형 강화유리 제조 장치
KR20220000111A (ko) 초박형 유리의 강화 처리 장치 및 방법
CN113754261A (zh) 用于制造超薄玻璃的钢化处理装置及方法
JPH09115985A (ja) ウエハトランスファチャンバ及びウエハの予熱方法
JP2001004282A (ja) 真空加熱装置
KR101994326B1 (ko) 생산수율이 대폭 향상되는 원형 배치구조를 가지는 화학강화 유리 제조장치
KR100749755B1 (ko) 웨이퍼 처리장치
KR101995321B1 (ko) 원형 배치구조를 가지는 화학강화 유리 제조장치
JP2015038010A (ja) ガラス強化熱処理装置
KR101988373B1 (ko) 걸이대가 형성된 지그를 가지는 원형 배치타입의 화학강화 유리 제조장치
KR101995324B1 (ko) 공기공급부를 가지는 원형 배치타입의 화학강화 유리 제조장치
JP4022619B2 (ja) アニール処理、装置及びシステム

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant