KR20210142259A - Transfer Apparatus for Substrate with Cover Member - Google Patents

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KR20210142259A
KR20210142259A KR1020200058862A KR20200058862A KR20210142259A KR 20210142259 A KR20210142259 A KR 20210142259A KR 1020200058862 A KR1020200058862 A KR 1020200058862A KR 20200058862 A KR20200058862 A KR 20200058862A KR 20210142259 A KR20210142259 A KR 20210142259A
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Abstract

The present invention relates to a substrate transport apparatus having a cover member, which can stably transport a substrate moving along a transport means. As a cover is positioned to cover the substrate seated on a tray, the substrate cannot be removed from the tray to the outside. Accordingly, even when the transport means connected to a base quickly transports the base, the substrate can be kept in a state of being seated on the tray in a safe manner.

Description

커버부재를 갖는 기판 이송 장치{Transfer Apparatus for Substrate with Cover Member}Transfer Apparatus for Substrate with Cover Member

본 발명은 커버부재를 갖는 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송수단을 따라 이동되는 기판이 안정적으로 이송되도록 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate transfer apparatus having a cover member, and more particularly, to a substrate transfer apparatus having a cover member for stably transferring a substrate moving along a transfer means.

일반적으로 반도체 산업은 각종 전자기기의 발달로 급격히 증가하였으며 현재 우리나라에서도 반도체 산업이 한국 경제에 큰 비중을 차지하고 있다. 반도체 산업은 기술，자본 집약적인 고부가가치 산업으로서 많은 반도체 기업들이 반도체 제조 경쟁력을 유지하기 위해서 설비 기술 및 생산 기술 분야에서 많은 투자와 활발한 연구 활동을 하고 있다. 이러한 반도체를 제조하기 위한 제조 공정은 세정공정, 확산공정，사진감광, 형성공정, 식각공정，중착공정 등 다양한 공정을 거쳐 완성된다. 이러한 일련의 공정에 있어서, 어느 한 공정을 마친 대상물, 예를 들면 복수의 칩들이 실장된 기판은 기판 이송 장치에 의하여 다음 공정으로 이송된다.In general, the semiconductor industry has rapidly increased due to the development of various electronic devices, and the semiconductor industry currently occupies a large proportion in the Korean economy in Korea. The semiconductor industry is a technology- and capital-intensive, high-value-added industry, and many semiconductor companies are investing heavily and actively conducting research activities in the field of facility technology and production technology to maintain their semiconductor manufacturing competitiveness. The manufacturing process for manufacturing such a semiconductor is completed through various processes such as a cleaning process, a diffusion process, a photosensitizer, a formation process, an etching process, and a deposition process. In this series of processes, an object that has completed one process, for example, a substrate on which a plurality of chips is mounted, is transferred to the next process by the substrate transfer device.

도 1은 종래 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다. 도 1을 참조하면, 종래 기판 이송 장치(10)는 이송트레이(12)와, 이송트레이(12)의 상부 양측에 회전되도록 구성되는 이송레일(14)을 포함한다. 그리고 이송레일(14)이 회전되면, 이송레일(14)에 안착된 기판(P)이 매거진(Magazine)(M)으로 이송된다. 1 is a plan view schematically illustrating a conventional substrate transfer apparatus. Referring to FIG. 1 , the conventional substrate transfer apparatus 10 includes a transfer tray 12 and transfer rails 14 configured to rotate on both upper sides of the transfer tray 12 . And when the transfer rail 14 is rotated, the substrate P seated on the transfer rail 14 is transferred to the magazine (M).

한편, 이송트레이(12)는 그 하부에 연결된 이송수단(S)에 의하여 해당 매거진(M)에 위치되도록 이송된다. 이때, 이송수단(S)이 이송트레이(12)를 이송시키는 속도를 빠르게 하면, 작업시간은 단축되나, 경우에 따라 기판(P)의 중량이 너무 가벼운 경우, 이송레일(14)에 안착된 기판(P)이 관성에 의하여 이송레일(14)에서 이탈되는 문제점이 있다.On the other hand, the transfer tray 12 is transferred so as to be located in the corresponding magazine (M) by the transfer means (S) connected to the lower portion. At this time, if the transfer means (S) increases the speed at which the transfer tray 12 is transferred, the working time is shortened, but in some cases, when the weight of the substrate P is too light, the substrate seated on the transfer rail 14 There is a problem in that (P) is separated from the transfer rail 14 due to inertia.

국내등록특허공보 제10-1138705호Domestic Registered Patent Publication No. 10-1138705

상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 이송수단을 따라 이동되는 기판이 안정적으로 이송되도록 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention for solving the problems of the prior art as described above is to provide a substrate transport apparatus having a cover member for stably transporting a substrate moving along a transport means.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 베이스; 상기 베이스의 일측에 위치되는 구동수단; 상기 구동수단을 따라 이동 가능하도록 구성되는 트레이; 및 상기 베이스의 타측에 지지된 상태로 상방으로 연장되는 연장부와, 상기 연장부에 상하 이동 가능하도록 장착되는 상하이동부와, 일측은 상기 상하이동부에 연결되고 타측은 상기 트레이를 덮을 수 있도록 상기 트레이의 상부에 위치되는 커버를 갖는 커버부재를 포함하고, 상기 커버가 상기 트레이의 상부로 이격되도록 위치된 상태에서, 상기 트레이에 기판이 안착되면, 상기 상하이동부가 상기 커버를 하방으로 이동시켜서 상기 커버가 기판을 덮도록 위치되고, 상기 커버가 상기 트레이를 덮도록 위치된 상태에서, 상기 베이스를 이동시키는 이송수단이 상기 베이스를 이송시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a base; a driving means located on one side of the base; a tray configured to be movable along the driving means; and an extension portion extending upwardly supported on the other side of the base, a vertical movement portion mounted to the extension portion so as to be vertically movable, one side connected to the vertical movement portion and the other side of the tray to cover the tray and a cover member having a cover positioned above is positioned to cover the substrate, and in a state in which the cover is positioned to cover the tray, a transfer means for moving the base is configured to transfer the base do.

또한, 상기 트레이는, 기판이 안착되는 안착부와, 기판의 테두리와 맞닿도록 상기 안착부에 돌출 형성되는 안내돌부와, 상기 안착부의 테두리를 따라 돌출 형성되는 지지돌부를 포함하고, 상기 안내돌부의 높이는 기판의 높이와 같거나, 또는 기판의 높이보다 크도록 형성되고, 상기 지지돌부의 높이는 상기 안내돌부의 높이와 동일하도록 형성되고, 상기 커버가 상기 트레이를 덮도록 위치되면, 상기 커버의 하면이 상기 안내돌부 및 상기 지지돌부와 맞닿도록 위치되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.In addition, the tray includes a seating portion on which the substrate is seated, a guide protrusion protruding to the seating portion so as to come into contact with the edge of the substrate, and a support protrusion protruding along the edge of the seating portion, the guide protrusion The height is equal to or greater than the height of the substrate, the height of the support protrusion is formed to be the same as the height of the guide protrusion, and when the cover is positioned to cover the tray, the lower surface of the cover is It provides a substrate transport apparatus having a cover member, characterized in that positioned so as to come into contact with the guide protrusion and the support protrusion.

또한, 상기 커버는, 상기 트레이를 덮을 수 있도록 평평하게 형성되는 덮개와, 일측은 상기 덮개의 상면에 연결되고, 타측은 상기 상하이동부에 연결되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.In addition, the cover, the cover is formed to be flat to cover the tray, one side is connected to the upper surface of the cover, the other side is a substrate having a cover member, characterized in that it comprises a connecting portion connected to the vertical movement unit. A transfer device is provided.

또한, 상기 덮개의 테두리를 따라 상기 상하이동부와 마주보는 제 1 측부, 상기 상하이동부의 반대 방향에 위치되는 제 2 측부 및 상기 제 1 측부와 상기 제 2 측부를 상호 연결시키는 한 쌍의 연결측부를 포함하고, 상기 연결부는, 상기 제 1 측부의 중앙에 연결되는 중앙연결부와, 한 쌍의 상기 연결측부를 향하는 상기 중앙연결부의 양측에서 상기 제 2 측부 방향으로 돌출 형성되는 한 쌍의 사이드연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.In addition, along the rim of the cover, a first side facing the vertical movement portion, a second side portion positioned in a direction opposite to the vertical movement portion, and a pair of connecting sides for interconnecting the first side portion and the second side portion The connection part includes a central connection part connected to the center of the first side part, and a pair of side connection parts protruding from both sides of the central connection part facing the pair of connection side parts in the direction of the second side part. It provides a substrate transfer device having a cover member, characterized in that.

또한, 상기 상하이동부는: 상기 연장부의 상측에 장착되되 내부 중앙에 상하 방향으로 형성되는 중앙안내홈과, 내부 양측에 상하 방향으로 관통 형성되는 한 쌍의 측방안내홀을 갖는 본체; 상기 중앙안내홈에 삽입된 상태로 상하 이동 가능하도록 위치되는 상하가이더와, 상기 상하가이더보다 작은 폭을 갖도록 형성되되 일측은 상기 상하가이더에 연결되고 타측은 상기 중앙안내홈을 관통하여 상기 커버에 연결되는 가이더연결부를 갖는 중앙레그; 및 일측은 상기 측방안내홀에 삽입된 상태로 상하 이동 가능하도록 위치되고, 타측은 상기 측방안내홀의 상측을 관통하여 상기 커버에 연결되는 한 쌍의 측방레그를 포함하고, 상기 측방안내홀의 하측으로 유압이 전달됨에 따라 한 쌍의 상기 측방레그가 상기 커버를 상하 이동시키고, 상기 커버가 상하 이동됨에 따라 상기 가이더연결부가 상기 상하가이더를 상하 이동시킬 때, 상기 상하가이더가 상기 중앙안내홈의 상측에 맞닿도록 이동되면 상기 커버의 상승이 제한되고, 상기 상하가이더가 상기 중앙안내홈의 하측에 맞닿도록 이동되면 상기 커버의 하강이 제한되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 제공한다.In addition, the vertical movement part: a body mounted on the upper side of the extension part and having a central guide groove formed in the center of the inside in the vertical direction, and a pair of side guide holes formed through the inside in the vertical direction on both sides; An upper and lower guider positioned so as to be movable up and down while inserted into the central guide groove, and formed to have a width smaller than that of the upper and lower guider, one side is connected to the upper and lower guider and the other side is connected to the cover through the central guide groove a central leg having a guider connection to be; And one side is positioned to be movable up and down in a state inserted into the side guide hole, the other side includes a pair of side legs connected to the cover through the upper side of the side guide hole, the hydraulic pressure to the lower side of the side guide hole As this is transmitted, the pair of side legs moves the cover up and down, and when the guider connection part moves the upper and lower guiders up and down as the cover moves up and down, the upper and lower guiders abut on the upper side of the central guide groove. To provide a substrate transport apparatus having a cover member, characterized in that the rise of the cover is limited, and when the upper and lower guiders are moved so as to contact the lower side of the central guide groove, the lowering of the cover is limited.

본 발명은 커버가 트레이에 안착된 기판을 덮도록 위치되므로, 기판이 트레이에서 외부로 탈거될 수 없게 되어, 베이스와 연결된 이송수단이 베이스를 빠르게 이송시킨다 하더라도, 기판은 트레이에 안전하게 안착된 상태를 유지하는 효과가 있다.According to the present invention, since the cover is positioned to cover the substrate seated on the tray, the substrate cannot be removed from the tray to the outside, and even if the transfer means connected to the base quickly transfers the base, the substrate is safely seated on the tray. has the effect of retaining it.

또한, 안내돌부는 기판의 높이보다 높거나 동일하도록 구성되어, 커버가 필요 이상으로 기판을 가압하지 않도록 하고, 기판을 안전하게 보호하도록 하는 효과가 있다.In addition, the guide protrusion is configured to be higher than or equal to the height of the substrate, so that the cover does not press the substrate more than necessary and has the effect of safely protecting the substrate.

또한, 사이드연결부가 덮개의 연결측부와 가까이 위치되므로, 중앙연결부가 상하 이동되면, 덮개의 양측이 어느 한쪽으로 쏠림 없이 동시에 상하 이동되어, 덮개의 양측은 트레이 전체를 안정적으로 덮도록 이동 가능한 효과가 있다.In addition, since the side connection part is located close to the connection side of the cover, when the central connection part moves up and down, both sides of the cover are moved up and down at the same time without leaning to either side, so that both sides of the cover can move to cover the entire tray stably. have.

또한, 중앙안내홈의 높이에 따라 커버의 상하 이동이 제한되므로, 커버는 필요 이상으로 상승되거나 하강되지 않게 되는 효과가 있다. In addition, since the vertical movement of the cover is restricted according to the height of the central guide groove, the cover is not raised or lowered more than necessary.

또한, 별도의 복잡한 수단 없이 중앙안내홈을 이용하여 커버의 하강 이동이 정확하게 제한되므로, 커버가 트레이를 덮는 과정에서 트레이에 불필요한 충격을 주지 않아, 트레이에 안착된 기판이 안전하게 보호되는 효과가 있다.In addition, since the downward movement of the cover is precisely restricted by using the central guide groove without a separate complicated means, the cover does not give unnecessary impact to the tray in the process of covering the tray, so that the substrate seated on the tray is safely protected.

도 1은 종래 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 트레이를 설명하기 위하여 커버부재를 생략한 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 트레이가 구동수단에서 결합되는 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 트레이에 기판이 안착되는 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 커버부재를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 상하이동부를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 커버를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 덮개가 트레이를 덮도록 이동된 상태를 도시한 도면이다.
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 덮개가 트레이를 덮은 상태를 단면으로 도시한 도면이다.1 is a plan view schematically illustrating a conventional substrate transfer apparatus.
2 is a diagram schematically illustrating a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.
3 is a view schematically illustrating a state in which the cover member is omitted in order to explain the tray of the substrate transport apparatus having the cover member according to the preferred embodiment of the present invention.
4 is a view schematically illustrating a state in which the tray of the substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention is coupled to the driving means.
5 is a diagram schematically illustrating a state in which a substrate is seated on a tray of a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.
6 is a view illustrating a cover member of a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.
7 is a view for explaining the vertical movement of the substrate transfer apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.
8 is a view illustrating a cover of a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.
9 is a view showing a state in which the cover of the substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention is moved to cover the tray.
10 is a cross-sectional view illustrating a state in which a cover of a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention covers the tray.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 더욱 상세히 설명한다.Hereinafter, a substrate transfer apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.2 is a diagram schematically illustrating a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.

도 2를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치(100)는 베이스(110), 이동수단(150), 구동수단(120), 트레이(130) 및 커버부재(140)를 포함한다.Referring to FIG. 2 , the substrate transport apparatus 100 having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention includes a base 110 , a moving means 150 , a driving means 120 , a tray 130 and a cover member ( 140).

베이스(110)는 판형으로 형성되며, 길이방향을 따라 긴 형상으로 형성된다. 베이스(110)의 측방은 이송수단(미도시)과 연결되어 이송수단을 따라 이동 가능하도록 구성된다. 그리고 베이스(110)의 양측에 한 쌍의 지지부(112)가 상방으로 세워지도록 형성된다. 이송수단은 베이스(110)에 지지되는 후술하는 기판(P: 도 5 도시)이 해당 매거진(미도시)에 위치되도록 베이스(110)를 이송시킨다. 이송수단은 통상적인 것으로, 예를 들면, 레일을 따라 이동 가능하도록 구성될 수도 있고, X축, Y축 및 Z축으로 이동 가능한 이동로봇으로 구성될 수도 있을 것이다. The base 110 is formed in a plate shape, and is formed in a long shape along the longitudinal direction. The side of the base 110 is connected to a transfer means (not shown) and is configured to be movable along the transfer means. And a pair of support parts 112 on both sides of the base 110 are formed to stand upward. The transfer means transfers the base 110 so that a substrate (P: shown in FIG. 5) to be described later supported by the base 110 is positioned in a corresponding magazine (not shown). The transport means is a conventional one, for example, may be configured to be movable along a rail, or may be configured as a mobile robot movable in the X-axis, Y-axis and Z-axis.

이동수단(150)은 베이스(110)의 길이방향 중앙을 따라 길게 형성되는 것으로, 후술하는 지지봉(121)을 베이스(110)의 길이방향을 따라 이동시키도록 한다. 구동수단(120)은 도 4에서 후술하기로 한다.The moving means 150 is formed long along the center of the longitudinal direction of the base 110 , and allows the support rod 121 to be described later to move along the longitudinal direction of the base 110 . The driving means 120 will be described later with reference to FIG. 4 .

트레이(130)는 구동수단(120)을 따라 이동 가능하도록 구성되며 상부에 기판(P)이 안착되도록 한다. 그리고 구동수단(120)이 트레이(130)를 매거진 방향으로 이동시킴에 따라 트레이(130)에 안착된 기판(P)이 매거진에 삽입된다. The tray 130 is configured to be movable along the driving means 120 so that the substrate P is seated thereon. And as the driving means 120 moves the tray 130 in the magazine direction, the substrate P seated on the tray 130 is inserted into the magazine.

커버부재(140)는 트레이(130)에 안착된 기판(P)을 커버하도록 한다. 즉, 이송수단이 베이스(110)를 이송시킬 때, 커버부재(140)가 트레이(130)에 안착된 기판(P)을 커버하도록 하여, 이송수단이 베이스(110)를 이송시키는 과정에서 트레이(130)에 안착된 기판(P)이 외부로 임의로 이탈되지 않도록 한다.The cover member 140 covers the substrate P seated on the tray 130 . That is, when the transfer means transfers the base 110 , the cover member 140 covers the substrate P seated on the tray 130 , so that in the process of the transfer means transferring the base 110 , the tray ( The substrate P seated on the 130 is prevented from being arbitrarily separated to the outside.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 트레이를 설명하기 위하여 커버부재를 생략한 상태를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 트레이가 구동수단에서 결합되는 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.3 is a view schematically illustrating a state in which the cover member is omitted to explain the tray of the substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cover according to a preferred embodiment of the present invention. It is a view schematically showing a state in which the tray of the substrate transport apparatus having a member is coupled in the driving means.

도 3, 도 4 및 도 9를 참조하면, 구동수단(120)은 지지봉(121), 피니언기어(122), 돌출부(123), 가이드레일(124), 슬라이더(125), 슬라이딩부(126) 및 렉기어를 포함한다.3, 4 and 9 , the driving means 120 includes a support rod 121 , a pinion gear 122 , a protrusion 123 , a guide rail 124 , a slider 125 , and a sliding part 126 . and rack gear.

지지봉(121)은 하단부는 이동수단(150)에 지지되고 상단부는 상방으로 돌출되도록 봉 형상으로 길게 형성된다. 지지봉(121)의 하단부는 이동수단(150)에 지지되는 구동모터(미도시)와 연결되어 회전 가능하도록 구성된다. 피니언기어(122)는 지지봉(121)의 상단부에 결합되어 지지봉(121)의 회전에 따라 회전 가능하도록 구성된다. 돌출부(123)는 한 쌍으로 구성되며 한 쌍의 지지부(112)에 지지된 상태로 지지봉(121)의 양측 방향으로 돌출된다. 가이드레일(124)은 길이방향을 따라 길게 형성되며 복수 개로 구성되며 상하 방향으로 배열된다. 복수 개의 가이드레일(124) 중 최하단에 위치되는 가이드레일(124)은 돌출부(123)에 지지되도록 위치된다. 슬라이더(125)는 가이드레일(124)을 따라 슬라이딩 가능하도록 형성된다. 이러한 슬라이더(125)는 복수 개로 구성되며 상하 방향으로 위치되는 한 쌍의 가이드레일(124) 사이에 슬라이딩 가능하도록 위치된다. 슬라이딩부(126)는 복수 개의 가이드레일(124) 중 최상단에 위치되는 가이드레일(124)의 상부에 장착된다. 랙기어(127)는 복수 개의 가이드레일(124) 중 최상단에 위치되는 가이드레일(124)의 측방에 피니언기어(122)와 맞물리도록 설치된다. 그리고 피니언기어(122)가 회전 운동되면 랙기어(127)가 직선운동되면서 가이드레일(124)을 직선운동시킨다. 그러면 가이드레일(124)은 슬라이더(125)에 지지된 상태로 슬라이딩되면서 직선운동되어, 슬라이딩부(126)를 직선 운동시킨다.The support rod 121 is formed in a long rod shape so that the lower end is supported by the moving means 150 and the upper end protrudes upward. The lower end of the support rod 121 is connected to a driving motor (not shown) supported by the moving means 150 and configured to be rotatable. The pinion gear 122 is coupled to the upper end of the support rod 121 and is configured to be rotatable according to the rotation of the support rod 121 . The protrusion part 123 is configured as a pair and protrudes in both directions of the support rod 121 in a state supported by the pair of support parts 112 . The guide rails 124 are formed elongated in the longitudinal direction, are composed of a plurality, and are arranged in the vertical direction. The guide rail 124 positioned at the lowermost end of the plurality of guide rails 124 is positioned to be supported by the protrusion 123 . The slider 125 is formed to be slidable along the guide rail 124 . The slider 125 is composed of a plurality and is slidably positioned between a pair of guide rails 124 positioned in the vertical direction. The sliding part 126 is mounted on an upper portion of the guide rail 124 positioned at the top of the plurality of guide rails 124 . The rack gear 127 is installed to engage the pinion gear 122 on the side of the guide rail 124 positioned at the top of the plurality of guide rails 124 . And when the pinion gear 122 is rotated, the rack gear 127 is linearly moved to linearly move the guide rail 124 . Then, the guide rail 124 is linearly moved while being slid while supported by the slider 125 , thereby causing the sliding part 126 to linearly move.

트레이(130)는 슬라이딩부(126)에 안착되어 슬라이딩부(126)를 따라 이동되는 것으로, 슬라이딩부(126)의 길이에 따라 1개 또는 복수 개로 구성될 수 있다. The tray 130 is seated on the sliding unit 126 and moved along the sliding unit 126 , and may be composed of one or a plurality of trays depending on the length of the sliding unit 126 .

도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 트레이에 기판이 안착되는 상태를 개략적으로 도시한 도면이다.5 is a diagram schematically illustrating a state in which a substrate is seated on a tray of a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.

도 4 및 도 5를 참조하면, 트레이(130)는 예를 들면 인터포저(Interposer) 공법이 적용된 기판(P)이 안착되도록 구성된다. 이러한 트레이(130)는 기판(P)이 안착되는 안착부(132)와, 기판(P)의 테두리와 맞닿도록 안착부(132)의 안쪽 테두리에 돌출 형성되는 안내돌부(134)와, 안착부(132)의 바깥쪽 테두리를 따라 돌출 형성되는 지지돌부(136)를 포함한다. 그리고 복수 개의 기판(P)이 트레이(130)에 안착될 수 있도록 안착부(132)는 복수 개가 병렬로 배열되고 상호 일체로 연결될 수 있다. 이때, 지지돌부(136)는 상호 인접하게 위치되는 한 쌍의 안착부(132)의 상호 마주보는 테두리에는 생략될 수 있다.4 and 5 , the tray 130 is configured such that, for example, a substrate P to which an interposer method is applied is seated. The tray 130 includes a seating portion 132 on which the substrate P is seated, a guide protrusion 134 protruding from the inner edge of the seating portion 132 so as to come into contact with the edge of the substrate P, and the seating portion. It includes a support protrusion 136 protruding along the outer edge of the 132 . In addition, a plurality of mounting portions 132 may be arranged in parallel and integrally connected to each other so that the plurality of substrates P may be mounted on the tray 130 . In this case, the support protrusion 136 may be omitted from the mutually facing edges of the pair of seating parts 132 positioned adjacent to each other.

그리고 안내돌부(134)의 높이는 기판(P)의 높이와 같거나, 또는 기판(P)의 높이보다 크도록 형성되고, 지지돌부(136)의 높이는 안내돌부(134)의 높이와 동일하도록 형성된다. 이에 따라 커버(146)가 기판(P)을 덮도록 위치될 때, 안내돌부(134) 및 지지돌부(136)가 기판(P)을 보호하도록 하여 커버(146)가 기판(P)을 가압하지 않도록 한다.And the height of the guide protrusion 134 is formed to be equal to or greater than the height of the substrate P, and the height of the support protrusion 136 is formed to be the same as the height of the guide protrusion 134 . . Accordingly, when the cover 146 is positioned to cover the substrate P, the guide protrusion 134 and the support protrusion 136 protect the substrate P so that the cover 146 does not press the substrate P. make sure not to

도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 커버부재를 설명하기 위하여 도시한 도면이고, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 상하이동부를 설명하기 위하여 도시한 도면이며, 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 커버를 설명하기 위하여 도시한 도면이다.6 is a view illustrating a cover member of a substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a vertical view of the substrate transport apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention. It is a view for explaining the eastern part, and FIG. 8 is a view for explaining the cover of the substrate transfer apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention.

도 6을 참조하면, 커버부재(140)는, 연장부(141), 상하이동부(142) 및 커버(146)를 포함한다. 연장부(141)는 연장부(141)는 한 쌍의 지지부(112) 중 일 지지부(112)에서 상방으로 연장되도록 형성된다. 상하이동부(142)는 연장부(141)에 상하 이동 가능하도록 장착되는 것으로, 도 7에서 설명하기로 한다. 커버(146)는 일측은 상하이동부(142)에 연결되고 타측은 트레이(130)를 덮을 수 있도록 트레이(130)의 상부에 위치되어, 상하이동부(142)의 작동에 의하여 상하 이동되는 것으로, 도 8에서 설명하기로 한다. 그리고 연장부(141), 상하이동부(142) 및 커버(146)는 트레이(130)의 개수에 따라 1개 또는 복수 개로 구성된다.Referring to FIG. 6 , the cover member 140 includes an extension part 141 , a vertical movement part 142 , and a cover 146 . The extension part 141 is formed such that the extension part 141 extends upwardly from one support part 112 of the pair of support parts 112 . The vertical moving part 142 is mounted to the extended part 141 so as to be vertically movable, and will be described with reference to FIG. 7 . The cover 146 is located on the upper part of the tray 130 so that one side is connected to the vertical movement unit 142 and the other side can cover the tray 130, and is moved up and down by the operation of the vertical movement unit 142, Fig. 8 will be explained. And the extension part 141, the vertical movement part 142, and the cover 146 are configured in one or a plurality according to the number of trays (130).

도 7을 참조하면, 상하이동부(142)는 본체(143), 중앙레그(144) 및 측방레그(145)를 포함한다. 본체(143)는 박스 형상으로 형성되며 연장부(141)의 상측에 장착된다. 본체(143)의 내부 중앙에는 상하 방향으로 중앙안내홈(143a)이 형성되고, 본체(143)의 내부 양측에는 상하 방향으로 한 쌍의 측방안내홀(143b)이 관통 형성된다.Referring to FIG. 7 , the vertical moving part 142 includes a main body 143 , a central leg 144 , and a side leg 145 . The body 143 is formed in a box shape and is mounted on the upper side of the extension part 141 . A central guide groove 143a is formed in the inner center of the main body 143 in the vertical direction, and a pair of side guide holes 143b are formed through the inner both sides of the main body 143 in the vertical direction.

중앙레그(144)는 중앙안내홈(143a)에 삽입된 상태로 상하 이동 가능하도록 위치되는 상하가이더(144a)와, 상하가이더(144a)보다 작은 폭을 갖도록 형성되되 일측은 상하가이더(144a)의 중앙에 연결되고 타측은 중앙안내홈(143a)의 상부를 관통하여 커버(146)에 연결되는 가이더연결부(144b)를 포함한다. 상하가이더(144a)의 폭은 중앙안내홈(143a)의 폭과 동일하도록 구성되어, 상하가이더(144a)는 중앙안내홈(143a)의 측방에 가이드된 상태로 상하 이동된다.The central leg 144 is formed to have a width smaller than that of the upper and lower guider 144a and the upper and lower guider 144a positioned to be movable up and down while being inserted into the central guide groove 143a, and one side of the upper and lower guider 144a. It is connected to the center and the other side includes a guider connection part 144b connected to the cover 146 through the upper part of the central guide groove 143a. The width of the upper and lower guider 144a is configured to be the same as the width of the central guide groove 143a, and the upper and lower guider 144a moves up and down while being guided to the side of the central guide groove 143a.

측방레그(145)는 한 쌍으로 구성되어 각각의 측방안내홀(143b)에 삽입된다. 측방레그(145)는 길이방향을 따라 길게 형성되어, 측방레그(145)의 일측은 측방안내홀(143b)에 삽입된 상태로 상하 이동 가능하도록 위치되고, 타측은 측방안내홀(143b)의 상측을 관통하여 커버(146)에 연결된다.The lateral leg 145 is configured as a pair and is inserted into each lateral guide hole 143b. The side leg 145 is formed long in the longitudinal direction, and one side of the side leg 145 is positioned so as to be movable up and down while being inserted into the side guide hole 143b, and the other side is the upper side of the side guide hole 143b. It is connected to the cover 146 through the.

그리고 외부로부터 측방안내홀(143b)의 개방된 하측으로 유압이 전달됨에 따라, 한 쌍의 측방레그(145)가 커버(146)를 상하 이동시킨다. 그리고 커버(146)가 상하 이동됨에 따라 가이더연결부(144b)가 상하가이더(144a)를 상하 이동시킬 때, 상하가이더(144a)가 중앙안내홈(143a)의 상측에 맞닿도록 이동되면, 상하가이더(144a)는 더 이상의 상승이 불가능하므로, 커버(146)의 상승이 제한된다. 반대로, 상하가이더(144a)가 중앙안내홈(143a)의 하측에 맞닿도록 이동되면 상하가이더(144a)는 더 이상의 하강이 불가능하므로, 커버(146)의 하강이 제한된다. 이처럼 중앙안내홈(143a)의 높이에 따라 커버(146)의 상하 이동이 제한되므로, 커버(146)는 필요 이상으로 상승되거나 하강되지 않게 되는 효과가 있다. 또한, 센서 등의 별도의 복잡한 수단 없이, 중앙안내홈(143a)을 이용하여 커버(146)의 하강 이동이 정확하게 제한되므로, 커버(146)가 트레이(130)를 덮는 과정에서 트레이(130)에 불필요한 충격을 주지 않아, 트레이(130)에 안착된 기판(P)이 안전하게 보호되는 효과가 있다.And as hydraulic pressure is transmitted from the outside to the open lower side of the side guide hole 143b, a pair of side legs 145 moves the cover 146 up and down. And when the guider connection part 144b moves the upper and lower guider 144a up and down as the cover 146 moves up and down, the upper and lower guider 144a moves to abut against the upper side of the central guide groove 143a. Since the 144a is not able to rise further, the rise of the cover 146 is limited. Conversely, when the upper and lower guider 144a is moved so as to contact the lower side of the central guide groove 143a, the upper and lower guider 144a cannot be lowered further, so that the lowering of the cover 146 is limited. As such, since the vertical movement of the cover 146 is restricted according to the height of the central guide groove 143a, the cover 146 has an effect that it is not raised or lowered more than necessary. In addition, since the downward movement of the cover 146 is precisely limited by using the central guide groove 143a without a separate complicated means such as a sensor, the cover 146 is placed on the tray 130 in the process of covering the tray 130 . By not giving unnecessary impact, the substrate P seated on the tray 130 is safely protected.

도 7 및 도 8을 참조하면, 커버(146)는 덮개(147) 및 연결부(148)를 포함한다. 덮개(147)는 트레이(130)를 덮을 수 있도록 평평하게 형성된다. 그리고 덮개(147)의 테두리를 따라 상하이동부(142)와 마주보는 제 1 측부(147a), 상하이동부(142)의 반대 방향에 위치되는 제 2 측부(147b) 및 제 1 측부(147a)와 제 2 측부(147b)를 상호 연결시키는 한 쌍의 연결측부(147c)를 포함한다. 7 and 8 , the cover 146 includes a cover 147 and a connecting portion 148 . The cover 147 is formed to be flat to cover the tray 130 . And the first side portion 147a facing the vertical movement portion 142 along the edge of the cover 147, the second side portion 147b and the first side portion 147a located in the opposite direction of the vertical movement portion 142 and the first and a pair of connecting sides 147c interconnecting the two sides 147b.

연결부(148)는 일측은 덮개(147)의 상면에 연결되고, 타측은 상하이동부(142)에 연결된다. 이러한 연결부(148)는 중앙연결부(148a) 및 사이드연결부(148b)를 포함한다. 중앙연결부(148a)는 일측은 제 1 측부(147a)의 중앙에 연결되고 타측은 상하이동부(142)의 중앙레그(144) 및 측방레그(145)에 연결된다. 사이드연결부(148b)는 한 쌍으로 구성되는 것으로, 한 쌍의 연결측부(147c)를 향하는 중앙연결부(148a)의 양측에서 제 2 측부(147b) 방향으로 돌출 형성된다. 이처럼 사이드연결부(148b)가 덮개(147)의 연결측부(147c)와 가까이 위치되므로, 중앙연결부(148a)가 상하 이동되면, 덮개(147)의 양측이 어느 한쪽으로 쏠림 없이 동시에 상하 이동되어, 덮개(147)의 양측은 트레이(130) 전체를 안정적으로 덮도록 이동 가능한 효과가 있다.The connection part 148 has one side connected to the upper surface of the cover 147 , and the other side connected to the vertical moving part 142 . The connection part 148 includes a central connection part 148a and a side connection part 148b. One side of the central connection part 148a is connected to the center of the first side part 147a and the other side is connected to the central leg 144 and the side leg 145 of the vertical moving part 142 . The side connection part 148b is configured as a pair, and is formed to protrude from both sides of the central connection part 148a toward the pair of connection side parts 147c in the direction of the second side part 147b. As such, since the side connection part 148b is located close to the connection side part 147c of the cover 147, when the central connection part 148a moves up and down, both sides of the cover 147 move up and down at the same time without leaning to either side, the cover Both sides of 147 have the effect of being movable so as to cover the entire tray 130 stably.

도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 덮개가 트레이를 덮도록 이동된 상태를 도시한 도면이고, 도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 커버부재를 갖는 기판 이송 장치의 덮개가 트레이를 덮은 상태를 단면으로 도시한 도면이다.9 is a view showing a state in which the cover of the substrate transfer apparatus having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention is moved to cover the tray, and FIG. 10 is a substrate having a cover member according to a preferred embodiment of the present invention. It is a view showing in cross section a state in which the cover of the transfer device covers the tray.

도면을 참조하면, 덮개(147)가 트레이(130)의 상부로 이격되도록 위치된 상태에서, 트레이(130)에 기판(P)이 안착된다. 그 후, 상하이동부(142)가 덮개(147)를 하방으로 이동시키면 덮개(147)가 트레이(130)를 덮도록 위치되어, 덮개(147)는 트레이(130)에 안착된 기판(P)을 덮도록 위치된다. 그리고 덮개(147)가 트레이(130)를 덮도록 위치되면, 덮개(147)는 트레이(130)에 안착된 기판(P)이 외부로 빠져나가지 않도록 안정적으로 보호한다. 한편, 덮개(147)가 트레이(130)를 덮도록 위치되면 덮개(147)의 하면이 안내돌부(134) 및 지지돌부(136)와 맞닿도록 위치된다. 이때, 안내돌부(134) 및 지지돌부(136)는 기판(P)의 높이보다 높거나 동일하도록 구성되어, 덮개(147)가 필요 이상으로 기판(P)을 가압하지 않도록 하고, 기판(P)을 안전하게 보호하도록 하는 효과가 있다. Referring to the drawings, in a state in which the cover 147 is positioned to be spaced apart from the upper portion of the tray 130 , the substrate P is seated on the tray 130 . After that, when the vertical movement unit 142 moves the cover 147 downward, the cover 147 is positioned to cover the tray 130 , and the cover 147 holds the substrate P seated on the tray 130 . positioned to cover. And when the cover 147 is positioned to cover the tray 130 , the cover 147 stably protects the substrate P seated on the tray 130 from escaping to the outside. On the other hand, when the cover 147 is positioned to cover the tray 130 , the lower surface of the cover 147 is positioned so as to be in contact with the guide protrusion 134 and the support protrusion 136 . At this time, the guide protrusion 134 and the support protrusion 136 are configured to be higher than or equal to the height of the substrate P, so that the cover 147 does not press the substrate P more than necessary, and the substrate P has the effect of protecting the

이처럼 덮개(147)가 트레이(130)에 안착된 기판(P)을 덮도록 위치되면, 기판(P)이 트레이(130)에서 외부로 탈거될 수 없으므로, 베이스(110)와 연결된 이송수단이 베이스(110)를 빠르게 이송시킨다 하더라도, 기판(P)은 트레이(130)에 안전하게 안착된 상태를 유지하는 효과가 있다.As such, when the cover 147 is positioned to cover the substrate P seated on the tray 130 , the substrate P cannot be removed from the tray 130 to the outside, so the transfer means connected to the base 110 is the base Even if the 110 is transferred quickly, the substrate P has an effect of maintaining a state safely seated on the tray 130 .

본 발명은 상기 실시예에서 상세히 설명되었지만, 본 발명을 이로 한정하지 않음은 당연하고, 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 청구범위의 범주에 속하는 것이라면 그 기술사상 역시 본 발명에 속하는 것으로 보아야 한다.Although the present invention has been described in detail in the above embodiments, it is natural that the present invention is not limited thereto, and it is apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made within the scope of the technical spirit of the present invention. If it falls within the scope of the claims, the technical idea should also be regarded as belonging to the present invention.

100: 기판 이송 장치
110: 베이스 112: 지지부
120: 구동수단 121: 지지봉
122: 피니언기어 123: 돌출부
124: 가이드레일 125: 슬라이더
126: 슬라이딩부 127: 랙기어
130: 트레이 132: 안착부
134: 안내돌부 136: 지지돌부
140: 커버부재 141: 연장부
142: 상하이동부 143: 본체
143a: 중앙안내홈 143b: 측방안내홀
144: 중앙레그 144a: 상하가이더
144b: 가이더연결부 145: 측방레그
146: 커버 147: 덮개
147a: 제 1 측부 147b: 제 2 측부
147c: 연결측부 148 연결부
148a: 중앙연결부 148b: 사이드연결부
150: 이동수단100: substrate transfer device
110: base 112: support
120: driving means 121: support bar
122: pinion gear 123: protrusion
124: guide rail 125: slider
126: sliding part 127: rack gear
130: tray 132: seating portion
134: guide protrusion 136: support protrusion
140: cover member 141: extension
142: Shanghai East 143: main body
143a: central guide groove 143b: side guide hole
144: central leg 144a: upper and lower guider
144b: guider connection 145: side leg
146: cover 147: cover
147a: first side 147b: second side
147c: connection side 148 connection
148a: central connection 148b: side connection
150: means of transportation

Claims (5)

베이스;
상기 베이스의 일측에 위치되는 구동수단;
상기 구동수단을 따라 이동 가능하도록 구성되는 트레이; 및
상기 베이스의 타측에 지지된 상태로 상방으로 연장되는 연장부와, 상기 연장부에 상하 이동 가능하도록 장착되는 상하이동부와, 일측은 상기 상하이동부에 연결되고 타측은 상기 트레이를 덮을 수 있도록 상기 트레이의 상부에 위치되는 커버를 갖는 커버부재를 포함하고,
상기 커버가 상기 트레이의 상부로 이격되도록 위치된 상태에서, 상기 트레이에 기판이 안착되면, 상기 상하이동부가 상기 커버를 하방으로 이동시켜서 상기 커버가 기판을 덮도록 위치되고,
상기 커버가 상기 트레이를 덮도록 위치된 상태에서, 상기 베이스를 이동시키는 이송수단이 상기 베이스를 이송시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치.
Base;
a driving means located on one side of the base;
a tray configured to be movable along the driving means; and
An extension portion extending upward while supported on the other side of the base, a vertical movement portion mounted to be movable up and down on the extension portion, one side connected to the vertical movement portion and the other side of the tray to cover the tray It includes a cover member having a cover located on the top,
When the substrate is seated on the tray in a state in which the cover is positioned to be spaced apart from the upper portion of the tray, the vertical movement unit moves the cover downward so that the cover covers the substrate,
In a state in which the cover is positioned to cover the tray, a transfer means for moving the base is configured to transfer the base.
 제 1 항에 있어서,
상기 트레이는, 기판이 안착되는 안착부와, 기판의 테두리와 맞닿도록 상기 안착부에 돌출 형성되는 안내돌부와, 상기 안착부의 테두리를 따라 돌출 형성되는 지지돌부를 포함하고,
상기 안내돌부의 높이는 기판의 높이와 같거나, 또는 기판의 높이보다 크도록 형성되고,
상기 지지돌부의 높이는 상기 안내돌부의 높이와 동일하도록 형성되고
상기 커버가 상기 트레이를 덮도록 위치되면, 상기 커버의 하면이 상기 안내돌부 및 상기 지지돌부와 맞닿도록 위치되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치.
The method of claim 1,
The tray includes a seating portion on which the substrate is mounted, a guide protrusion protruding from the seating portion to abut against the edge of the substrate, and a support protrusion protruding along the edge of the seating portion,
The height of the guide protrusion is the same as the height of the substrate, or is formed to be greater than the height of the substrate,
The height of the support protrusion is formed to be the same as the height of the guide protrusion,
When the cover is positioned to cover the tray, a substrate transport apparatus having a cover member, characterized in that the lower surface of the cover is positioned so as to be in contact with the guide protrusion and the support protrusion.
 제 2 항에 있어서,
상기 커버는, 상기 트레이를 덮을 수 있도록 평평하게 형성되는 덮개와, 일측은 상기 덮개의 상면에 연결되고, 타측은 상기 상하이동부에 연결되는 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치.
3. The method of claim 2,
The cover is a substrate transport apparatus having a cover member, characterized in that it comprises a cover formed to be flat to cover the tray, one side is connected to the upper surface of the cover, and the other side is connected to the vertical moving part. .
 제 3 항에 있어서,
상기 덮개의 테두리를 따라 상기 상하이동부와 마주보는 제 1 측부, 상기 상하이동부의 반대 방향에 위치되는 제 2 측부 및 상기 제 1 측부와 상기 제 2 측부를 상호 연결시키는 한 쌍의 연결측부를 포함하고,
상기 연결부는, 상기 제 1 측부의 중앙에 연결되는 중앙연결부와, 한 쌍의 상기 연결측부를 향하는 상기 중앙연결부의 양측에서 상기 제 2 측부 방향으로 돌출 형성되는 한 쌍의 사이드연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치.
4. The method of claim 3,
A first side facing the vertical moving part along the edge of the cover, a second side positioned in a direction opposite to the vertical moving part, and a pair of connecting sides interconnecting the first side and the second side; ,
The connection part may include a central connection part connected to the center of the first side part, and a pair of side connection parts protruding from both sides of the central connection part facing the pair of connection side parts in the direction of the second side part. A substrate transfer device having a cover member comprising:
 제 1 항에 있어서,
상기 상하이동부는:
상기 연장부의 상측에 장착되되 내부 중앙에 상하 방향으로 형성되는 중앙안내홈과, 내부 양측에 상하 방향으로 관통 형성되는 한 쌍의 측방안내홀을 갖는 본체;
상기 중앙안내홈에 삽입된 상태로 상하 이동 가능하도록 위치되는 상하가이더와, 상기 상하가이더보다 작은 폭을 갖도록 형성되되 일측은 상기 상하가이더에 연결되고 타측은 상기 중앙안내홈을 관통하여 상기 커버에 연결되는 가이더연결부를 갖는 중앙레그; 및
일측은 상기 측방안내홀에 삽입된 상태로 상하 이동 가능하도록 위치되고, 타측은 상기 측방안내홀의 상측을 관통하여 상기 커버에 연결되는 한 쌍의 측방레그를 포함하고,
상기 측방안내홀의 하측으로 유압이 전달됨에 따라 한 쌍의 상기 측방레그가 상기 커버를 상하 이동시키고,
상기 커버가 상하 이동됨에 따라 상기 가이더연결부가 상기 상하가이더를 상하 이동시킬 때, 상기 상하가이더가 상기 중앙안내홈의 상측에 맞닿도록 이동되면 상기 커버의 상승이 제한되고, 상기 상하가이더가 상기 중앙안내홈의 하측에 맞닿도록 이동되면 상기 커버의 하강이 제한되는 것을 특징으로 하는 커버부재를 갖는 기판 이송 장치.The method of claim 1,
The eastern part of Shanghai is:
a body mounted on the upper side of the extension part and having a central guide groove formed in a vertical direction in the center of the inner portion, and a pair of side guide holes formed to penetrate in the vertical direction on both sides of the interior;
An upper and lower guider positioned so as to be movable up and down while inserted into the central guide groove, and formed to have a width smaller than that of the upper and lower guider, one side is connected to the upper and lower guider and the other side is connected to the cover through the central guide groove a central leg having a guider connection to be; and
One side is positioned to be movable up and down while being inserted into the side guide hole, and the other side includes a pair of side legs connected to the cover through the upper side of the side guide hole,
As the hydraulic pressure is transmitted to the lower side of the side guide hole, the pair of side legs moves the cover up and down,
As the cover moves up and down, when the guider connection unit moves the upper and lower guiders up and down, if the upper and lower guiders are moved to abut against the upper side of the central guide groove, the rise of the cover is limited, and the upper and lower guiders are guided by the center A substrate transport apparatus having a cover member, characterized in that the lowering of the cover is limited when it is moved to contact the lower side of the groove.
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