KR20210141204A - 승강 커버부가 구비된 기판 감압 건조장치 및 그 제어방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판에 적하된 액적을 보다 균일하고 신속하게 건조시킬 수 있는 승강 커버부가 구비된 기판 감압 건조장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 본 발명의 일 형태에 따르면, 진공의 건조공간을 형성하는 챔버, 상기 챔버 내에 반입되는 기판을 지지하는 기판 지지부, 상기 기판 지지부 상측에 승강가능하게 구비되어 상기 기판 지지부와 닿도록 하강하거나 상기 기판 지지부로부터 상측으로 이격되도록 상승 가능하게 구비되며, 상기 기판 지지부와 닿도록 하강되었을 때 상기 기판 지지부에 지지된 기판으로부터 증발된 용매가 일시적으로 머무르게 되는 증발공간을 형성하며, 증발된 용매가 측방향이 아닌 상측 방향으로 배출되도록 안내하는 커버부, 상기 챔버내의 상기 증발공간의 외측에 위치되며, 상기 건조공간 내부의 증발된 용매를 흡입하여 배기하는 진공흡입부, 상기 커버부 및 진공흡입부를 제어하는 제어부를 포함하는 기판 감압 건조장치가 제공된다.

Description

승강 커버부가 구비된 기판 감압 건조장치 및 그 제어방법{SUBSTRATE DECOMPRESSION DRYING APPARATUS INCLUDUNG LIFTING COVER PART AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}

본 발명은 승강 커버부가 구비된 기판 감압 건조장치 및 그 제어방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판에 적하된 액적을 보다 균일하고 신속하게 건조시킬 수 있는 승강 커버부가 구비된 기판 감압 건조장치 및 그 제어방법에 관한 것이다.

전자장치의 사용이 증대됨에 따라 평판형 디스플레이가 각광을 받고 있다. 이러한 평판형 디스플레이는 LCD나 LED등 다양한 방식의 디스플레이가 생산되고 있는데, 그 중 유기 발광 다이오드 방식의 디스플레이의 사용이 늘고 있다. 이러한 OLED방식의 디스플레이는 별도의 백라이트를 사용할 필요가 없으므로 보다 얇고 가볍게 제작할 수 있어 핸드폰 등의 모바일기기나 TV등의 사용이 늘고 있다.

이러한 OELD의 디스플레이 패널을 제조하기 위해서는 글래스 기판(10)의 각 뱅크(12)에 에미터(1)(emitter)를 입혀야 하는데, 최근에는 잉크젯 방식으로 각 뱅크(12)에 에미터(1)를 주입하는 기술이 사용되고 있다.

일반적인 글래스 기판(10)에 에미터(1)를 입히는 방식은 도 1에 도시된 바와 같이, (a) 글래스 기판(10)의 각 뱅크(12)에 생상별 에미터(1)를 분사하고, (b)분사된 에미터(1)에 포함된 솔벤트 등의 용매를 증발건조 시킨 후, (c) 열경화 과정을 거쳐 큐어링하고, (d) 이상이 없는지를 검사하는 과정으로서 생산할 수 있다.

이 중, 분사된 에미터(1)에 포함된 솔벤트 등의 용매를 증발 건조시키는 건조장치(50)는 도 2에 도시된 바와 같이, 진공이 형성되며 용매의 증발공간을 형성하는 챔버(20), 상기 챔버(20)내에 반입된 기판(10)을 지지하는 기판 지지부(30), 상기 챔버(20) 내에 증발되는 용매 증기를 흡입하는 펌프(40)를 포함할 수 있다.

상기 기판 지지부(30)는 승하강 가능하게 구비되어 기판(10)과 챔버(20)내 상측면 간의 이격거리를 조절하도록 구비될 수 있다. 그리고, 상기 펌프(40)는 상기 챔버(20)의 저면 둘레에 설치되어 기판(10)으로부터 증발되는 용매의 증기 분자를 흡입하도록 구비될 수 있다.

따라서, 상기 챔버(20) 내부가 고진공 분위기로 형성되면, 상기 기판(10)에 적하된 에미터(1)에 포함된 용매가 증발하고, 증발된 용매의 증기분자는 펌프(40)를 통해 흡입 배출되어 건조과정이 수행될 수 있다.

한편, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 용매의 증기 분자는 상기 기판(10)의 상측으로 상승한 뒤에 챔버(20)의 내측 벽면을 타고 펌프(40)로 흡입될 수 있다.

그런데, 기판(10)의 테두리 측에서 증발된 용매의 증기분자는 바로 기판(10)의 상측 영역을 벗어나서 펌프(40)로 흡입되는데 반하여, 기판(10)의 중앙부 측에서 증발된 용매의 증기분자는 기판(10)의 상측에 모인 후에 테두리 측을 향하여 이동되면서 배출되는 경로를 가진다.

따라서, 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(10)의 상측 영역에 걸쳐 증발된 용매의 농도가 일정하게 유지되지 아니한다. 즉, 기판(10) 테두리의 상측 영역의 농도는 옅고, 기판(10) 중앙부 상측 영역의 농도는 상대적으로 짙게 형성된다.

또한, 증발 용매의 농도에 따라 용매가 증발되는 속도 또한 차이가 나며 이는 불균일한 건조를 야기할 수 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 기판의 전 영역에 걸쳐 건조가 고르게 일어날 수 있으며, 건조속도가 신속할 수 있는 승강 커버부가 구비된 기판 감압 건조장치 및 그 제어방법을 제공하는 것이 과제이다.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않는 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 일 형태에 따르면, 진공의 건조공간을 형성하는 챔버, 상기 챔버 내에 반입되는 기판을 지지하는 기판 지지부, 상기 기판 지지부 상측에 구비되어 상기 기판 지지부와 닿도록 하강하거나 상기 기판 지지부로부터 상측으로 이격되도록 상승 가능하고, 상기 기판 지지부와 닿도록 하강되었을 때 상기 기판 지지부에 지지된 기판으로부터 증발된 용매가 일시적으로 머무르게 되는 증발공간을 형성하며, 증발된 용매가 상측 방향으로 배출되도록 안내하는 커버부, 상기 커버부로부터 배출된 증발된 용매를 흡입하여 배기하는 진공흡입부, 상기 커버부 및 진공흡입부를 제어하는 제어부를 포함하는 기판 감압 건조장치가 제공된다.

상기 커버부는, 상기 기판 지지부의 상측에 형성되며, 증발된 용매가 통과되도록 하나 이상의 통과홀이 형성되는 커버, 상기 커버의 테두리로부터 하측으로 연장되어 기판 지지부와 맞닿아 상기 기판지지부 및 커버와 함께 증발공간을 형성하는 측벽, 상기 커버 및 측벽을 승강시키는 승강수단을 포함할 수 있다.

상기 진공흡입부는, 상기 챔버의 저면으로부터 상측으로 연장되어 그 흡입단이 상기 기판 지지부의 높이까지 연장되도록 형성될 수 있다.

상기 진공흡입부의 흡입단은 승강 가능하게 구비될 수 있다.

상기 진공흡입부의 흡입단은 교체 가능하게 구비될 수 있다.

상기 측벽은, 상기 커버 테두리의 서로 마주보는 양 측면에서 하측으로 연장되어 형성되고, 나머지 측면은 개구되도록 형성되며, 상기 진공흡입부는 상기 측벽이 형성된 측에 구비될 수 있다.

상기 측벽은, 상기 커버의 각 테두리로부터 하측으로 연장되어 형성되고, 상기 진공흡입부는 상기 측벽이 형성된 측에 구비될 수 있다.

상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 커버부를 승강여부를 제어할 수 있다.

상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 커버부의 상승 높이를 제어할 수 있다.

상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 진공흡입부의 흡입력을 제어할 수 있다.

상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 진공흡입부의 흡입단 높이를 제어할 수 있다.

상기 챔버의 모서리는 라운드 또는 경사지게 형성될 수 있다.

상기 챔버의 모서리 중 상측에 형성된 모서리가 라운드 또는 경사지게 형성될 수 있다.

상기 챔버 내부 벽면에 축적된 잔류 용매를 소거하도록 상기 챔버 내부 벽면을 가열하는 베이킹 장치를 더 포함할 수 있다.

한편, 본 발명의 다른 형태에 따르면, 액적이 적하된 기판이 챔버 내로 반입되어 기판 지지부에 안착되는 기판 반입단계, 커버부가 하강하여 기판 지지부와 맞닿아 증발공간을 형성하는 커버부 폐쇄단계, 상기 챔버 내부에 진공분위기를 형성하여 기판의 잉크를 건조시키며, 증발된 용매를 진공흡입부로서 흡입하는 제1건조단계, 상기 기판의 건조도가 기설정된 단계에 이르르면, 상기 커버부가 상승하여 증발공간을 개방하며, 증발된 용매를 진공흡입부로서 흡입하는 제2건조단계를 포함하는 기판 감압 건조장치의 제어방법이 제공된다.

상기 제2건조단계는 상기 기판의 건조도가 진행될 수록 상기 커버부의 상승높이를 연속적으로 상승시키는 단계일 수 있다.

제2건조단계는, 상기 진공흡입부의 흡입단의 높이가 상기 기판 측면의 높이에 위치되도록 상기 진공흡입부의 높이를 제어하는 단계일 수 있다.

본 발명의 승강 커버부가 구비된 기판 감압 건조장치 및 그 제어방법에 따르면 기판 상측의 용매 증발공간내의 증발된 용매의 농도가 기판의 전 영역에 걸쳐 보다 균일해질 수 있으므로 기판의 건조가 균일해질 수 있는 효과가 있다.

또한, 건조공정도에 따라 커버부를 개방할 수 있으므로 기판의 건조속도가 보다 신속하게 향상될 수 있는 효과가 있다.

본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

아래에서 설명하는 본 출원의 바람직한 실시예의 상세한 설명뿐만 아니라 위에서 설명한 요약은 첨부된 도면과 관련해서 읽을 때에 더 잘 이해될 수 있을 것이다. 본 발명을 예시하기 위한 목적으로 도면에는 바람직한 실시예들이 도시되어 있다. 그러나, 본 출원은 도시된 정확한 배치와 수단에 한정되는 것이 아님을 이해해야 한다.
도 1은 잉크젯 분사방식의 기판 제조과정을 도시한 도면;
도 2는 종래의 기판 건조장치를 도시한 단면도;
도 3은 도 2의 기판 건조장치에서 건조되는 기판에서 증발되는 용매의 이동경로를 도시한 도면;
도 4는 도 3의 기판 상측의 증발공간의 증발용매의 농도를 기판의 위치별로 도시한 그래프;
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조장치를 도시한 단면도;
도 6은 도 5의 사시도;
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 건조장치를 도시한 사시도;
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 건조장치에서 건조되는 기판에서 증발되는 용매의 이동경로를 도시한 도면;
도 9는 도 8의 기판 상측의 증발공간의 증발용매의 농도를 기판의 위치별로 도시한 그래프;
도 10은 건조공정도에 따라 덮개부가 상승된 상태의 기판 건조장치를 도시한 단면도;
도 11은 챔버 내의 모서리 부분을 도시한 도면;
도 12는 본 발명의 기판 건조장치의 제어방법의 일 실시예를 도시한 순서도 이다.

이하 본 발명의 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명한다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 생략하기로 한다.

이하, 본 발명의 승강 커버부가 구비된 기판 건조장치(100)의 일 실시예에 대해서 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 기판(10) 감압 건조장치는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 챔버(110), 기판 지지부(120), 커버부(130), 진공흡입부(140) 및 제어부(150)를 포함할 수 잇다.

상기 챔버(110)는 에미터 액적이 도포된 기판(10)이 건조되는 진공의 건조공간을 형성하는 구성요소이다. 상기 챔버(110)에는 기판(10)의 반입 및 반출 등을 위한 도어(112) 등이 구비될 수 있다.

상기 기판 지지부(120)는 상기 챔버(110) 내에 반입되는 기판(10)을 지지하는 구성요소이다. 상기 기판(10)은 상기 기판 지지부(120)에 안착되어 챔버(110) 내에서 지지될 수 있다. 이 때, 상기 기판(10)은 에미터 액적이 도포된 면이 상측을 바라보는 상태로 안착될 수 있다.

상기 커버부(130)는 상기 기판 지지부(120) 상측에 위치되어 승강 가능하게 구비되면서 상기 기판 지지부(120)를 덮거나 개방시키도록 구비될 수 있다. 즉, 승강되면서 상기 기판 지지부(120)와 닿도록 하강하거나 또는 상기 기판 지지부(120)로부터 상측으로 이격되도록 상승 가능하게 구비될 수 있다.

이 때, 상기 커버부(130)가 상기 기판 지지부(120)와 닿도록 하강되었을 때, 상기 기판 지지부(120)에 안착된 기판(10)과의 사이에 상기 기판(10)으로부터 증발된 용매가 일시적으로 머무르게 되는 증발공간(138)을 형성할 수 있다.

또한, 상기 커버부(130)는 상기 기판(10)으로부터 증발된 용매가 기판(10)의 측방향으로 이동하여 벗어나지 않고 상기 기판(10)의 테두리 영역 및 중앙부 영역 등 모든 영역에서 증발되는 용매가 상기 기판(10)의 상측방향으로 이동되도록 안내하도록 구비될 수 있다.

또한, 상기 진공흡입부(140)는 상기 챔버(110) 내의 상기 커버부(130)와 기판 지지부(120)에 의해 형성되는 증발공간(138)의 외측에 위치되어 상기 챔버(110) 내 건조공간 내부에서 증발된 용매를 흡입하여 배기하도록 구비될 수 있다.

상기 진공흡입부(140)는 상기 챔버(110)의 저면측에 설치되는데, 그 진공흡입부(140)의 흡입단은 저면측에서 상측으로 연장되도록 형성될 수 있다. 이 때, 상기 진공흡입부(140)의 흡입단은 상기 기판 지지부(120)의 인근 높이까지 상승연장되어 구비될 수 있다. 또한, 상기 진공흡입부(140)의 흡입단은 그 높이가 승강되어 조절되도록 구비될 수도 있으며, 또는 교체 장착되도록 구비되어 그 흡입단의 높이가 조절되도록 구비될 수 있다.

상기 커버부(130)는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 커버(132), 측벽(134) 및 승강수단(136)을 포함할 수 있다.

상기 커버(132)는 상기 기판 지지부(120)의 상측에 형성되어 상기 커버부(130)의 상면을 형성하며, 상기 증발공간(138)내에서 증발된 용매의 증기가 통과되도록 하나 이상의 통과홀(133)이 형성될 수 있다.

또한, 상기 측벽(134)은 상기 커버(132)의 테두리로부터 하측으로 연장되어 상기 기판 지지부(120)와 맞닿도록 형성되며, 상기 기판(10)지지부 및 커버(132)와 함께 증발공간(138)을 형성할 수 있다.

상기 승강수단(136)은 상기 커버부(130)를 승강시키는 수단으로서 유압 또는 공압방식의 엑츄에이터가 적용될 수 있다. 물론, 이에 한정되지 아니하며, 모터나 랙 피니언 등의 구조로서 상기 커버부(130)를 승강시키도록 구비될 수도 있을 것이다.

상기 통과홀(133)을 통해 배출된 증발용매는 상기 챔버(110)의 내부벽면을 따라 이동되면서 상기 진공흡입부(140)로 흡입될 수 있다.

이 때, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 커버(132)는 대략 사각형의 형태로 형성될 수 있으며, 상기 커버부(130)의 측벽(134)은 서로 마주보는 양 측면에 구비되며, 나머지 측면은 개구되도록 형성될 수 있다. 이 경우 상기 진공흡입부(140)는 상기 측벽(134)이 형성된 측에 하나 이상이 배열될 수 있다.

또는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 커버부(130)의 측벽(134)이 상기 커버(132)의 각 테두리로부터 하측으로 연장되어 형성되고, 상기 진공흡입부(140) 또한 상기 측벽(134)이 형성된 4면 측에 하나 이상이 배열되도록 구비될 수 있을 것이다.

따라서, 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 따라서, 상기 기판(10)으로부터 증발된 용매가 상기 측벽(134)에 의해 기판(10)의 측방향으로 이동하여 벗어나지 않고 상기 기판(10)의 테두리 영역 및 중앙부 영역 등 모든 영역에서 증발되는 용매가 상기 기판(10)의 상측방향으로 이동하여 상기 커버(132)의 통과홀(133)을 통해 배출될 수 있다. 도 9에서 수평방향의 변위는 실질적으로 기판의 폭 방향을 뜻할 수 있다.

그러므로 상기 기판(10)의 테두리 영역에서 측방향으로 직접 배출되어 벗어나지 아니하고 모두 상측을 향해 배출되므로, 상기 기판(10)의 상측에 형성된 증발공간(138)에서의 증발용매의 농도가 상기 기판(10)의 전 영역에 걸쳐 균일하게 형성될 수 있다.

또한, 도면에 도시되지는 아니하였지만, 상기 챔버(110) 내부에 진공을 형성하는 진공펌프가 구비될 수도 있다. 물론, 상기 진공흡입부(140)가 진공펌프의 역할도 동시에 수행할 수도 있을 것이다.

또한, 상기 챔버(110) 내부의 온도 및 진공도를 측정하는 센서 또는 상기 증발공간(138) 내의 용매의 농도 등을 측정하는 농도측정센서 등이 구비될 수 있다.

상기 제어부(150)는 상기 커버부(130) 및 상기 진공흡입부(140)를 제어하는 구성요소이다. 상기와 같은 제어부(150)는 마이콤 형태로서 구비되거나 또는 노트북이나 PC등의 형태로서 외부에 구비되어 접속되는 형태로 구비될 수도 있다.

상기 제어부(150)는 건조 공정의 진행도에 따라 상기 커버부(130)의 승강여부를 제어하거나 또는 상기 커버부(130)의 승강 높이를 제어하도록 구비될 수 있다.

상기 건조 공정의 진행도는 공정 진행 시간으로 판단할 수도 있으며, 상기 센서 등을 통해 측정되는 챔버(110)내 온도나 진공도 및 증발용매의 농도 등으로 판단할 수도 있을 것이다.

예를 들어 건조공정 초기의 증발용매의 양이 많고 농도가 진할 때에는 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 커버부(130)가 상기 기판 지지부(120)와 닿아 증발공간(138)을 폐쇄함으로써 상기 기판(10)에서 증발되는 증발용매가 모두 상기 커버(132)의 통과홀(133)을 통해 배출되도록 이루어질 수 있다.

상기 증발용매가 모두 통과홀(133)을 통해 배출되므로, 상기 증발공간(138) 내의 용매의 농도가 균일해지게 되며, 따라서, 기판(10)의 전 영역에 걸쳐 용매의 증발 및 건조가 균일하게 일어날 수 있다.

이 때, 상기 진공흡입부(140)는 상기 커버부(130)의 측벽(134)의 높이까지 상승될 수 있다. 물론, 상기 진공흡입부(140)가 고정형인 경우에는 상승되지 아니할 수도 있다.

또한, 건조공정 후기의 증발용매의 양이 적고 농도가 옅을 때에는 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 커버부(130)를 상승시켜 상기 측벽(134)과 기판 지지부(120) 사이를 이격시킬 수 있다. 따라서, 상기 측벽(134)과 기판 지지부(120) 사이의 이격된 틈을 통하여 상기 기판(10)에서 증발된 용매가 배출될 수 있다. 이 때는 기판(10)에 적하된 에미터 액적이 상당부분 건조된 상태이고, 기판(10)의 테두리와 중앙부의 상측 영역의 농도가 매우 옅은 상황이므로 균일건조에는 큰 영향이 없으며, 증발된 용매가 상측 보다 측면으로 빠른 경로를 통해 배출되므로 보다 신속하게 건조가 이루어질 수 있다.

이 때, 상기 진공흡입부(140)는 상기 기판 지지부(120)의 높이에 위치될 수 있다. 이는 상기 증발된 용매가 증발공간(138)으로부터 배출되는 경로에 상기 진공흡입부(140)가 직접 위치됨으로써 증발용매의 원할한 배출을 도모하기 위함이다.

또는 상기 커버부(130)가 상승되는 높이는(측벽(134)과 기판 지지부(120)가 이격되는 높이는) 상기 건조 공정의 진행도에 따라 달라질 수도 있을 것이다.

이 때, 상기 제어부(150)는 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 커버부(130)의 승강뿐만 아니라 상기 진공흡입부(140)의 높이를 조절할 수도 있으며, 또는 상기 진공흡입부(140)의 흡입력 또한 제어할 수 있다. 예를 들어 건조공정의 초기에는 배출되는 증발용매량이 많으므로 흡입력을 크게 제어하고, 건조공정의 후기에는 증발용매량이 적으므로 흡입력을 상대적으로 작게 제어할 수도 있다.

한편, 상기 챔버(110)의 내벽면의 모서리는 도 5 및 도 10에 도시된 바와 같이 둥글게 라운드지도록 형성될 수 있다. 또는, 도 11의 (a) 및 (b)에 도시된 바와 같이, 경사지게 형성될 수도 있을 것이다. 도 11의 (a)는 챔버(110)의 내측에서 모서리 부분을 바라본 형태를 도시한 도면이고, (b)는 그 단면도 이다.

이는, 증발된 증기 용매는 챔버(110) 내벽면을 타고 흐르면서 진공흡입부(140)로 흡입되는데, 이 때 챔버(110) 벽면의 모서리가 각져 있다면 그 부위에 용매가 잔류되거나 적층될 수 있고, 이렇게 잔류되거나 적층된 용매는 공정에 악영향을 미치게 될 수 있어, 유지보수주기를 단축시킬 수도 있다. 물론, 이렇게 구석진 모서리 부분에 적층된 잔류용매는 추후 유지보수할 때에도 제거하기가 까다로울 수 있다.

따라서, 상기 챔버(110) 내벽면의 모서리 부위를 둥글게 라운드지게 형성하거나 또는 경사지게 형성함으로써 증발된 용매가 잔류되거나 적층되는 현상을 최소화 시킴으로써 유지보수주기를 증가시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 장비 가동시간이 증가함에 따라 챔버(110) 내벽면에는 증발용매가 잔류될 수 있는데, 이러한 잔류 증발용매를 소거하도록 상기 챔버(110) 내부 벽면을 가열하는 베이킹 장치(160)가 더 구비될 수 있다. 상기 베이킹 장치(160)는 상기 챔버(110) 내부를 고온으로 가열함으로써 챔버(110) 내벽면에 잔류된 용매를 소각 내지는 소거시킬 수 있다.

이러한 베이킹 장치(160)는 히터가 적용될 수도 있으며 또는 플라즈마 발생장치가 적용될 수도 있을 것이다.

이하, 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 감압 건조장치의 제어방법에 대해서 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 기판 감압 건조장치의 제어방법은 도 12에 도시된 바와 같이, 기판 반입단계(S110), 커버부 폐쇄단계(S120), 제1건조단계(S130) 및 제2건조단계(S140)를 포함할 수 있다.

상기 기판 반입단계(S110)는 에미터 액적이 적하 또는 도포된 기판(10)이 상기 챔버(110) 내로 반입되어 기판 지지부(120)에 안착되는 단계이다. 상기 기판 지지부(120)에 기판(10)이 안착된 후에는 도어가 닫히게 되어 밀폐가 이루어질 수 있다.

이 때, 상기 커버부(130)는 기판(10)의 반입을 위하여 상승된 상태일 수 있다.

상기 커버부 폐쇄단계(S120)는 상기 커버부(130)가 하강하여 상기 커버부(130)와 기판 지지부(120)가 맞닿아 증발공간(138)을 형성하는 단계이다.

상기 커버부 폐쇄단계(S120)의 후에는 제1건조단계(S130)가 수행될 수 있다.

상기 제1건조단계(S130)에서는 도 5 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 증발공간(138) 내에서 기판(10)에 적하된 액적으로부터 용매가 증발될 수 있다.

증발된 용매는 커버부(130)의 측벽(134)을 따라 상승되어 커버(132)의 통과홀(133)을 통해 배출될 수 있다. 이 때, 상기 기판(10)으로부터 증발되는 용매는 기판(10)의 테두리 영역부터 중앙부 영역에 이르기까지 기판(10) 전 영역에서 상측으로 배출되므로 증발공간(138) 전 영역에서 용매의 농도가 균일하게 형성될 수 있으며 그에 따라 기판(10)의 전 영역에 걸쳐 용매의 건조속도 또한 균일해질 수 있다.

상기 제2건조단계(S140)는, 상기 제1건조단계(S130)를 통해 기판(10)의 건조도가 기 설정된 단계에 이르르면, 상기 커버부(130)가 상승되어 증발공간(138)이 개방되며, 상기 기판(10)으로부터 증발된 용매를 상기 진공흡입부(140)로서 흡입하는 단계이다.

이 때, 상기 기판(10)의 건조도는 건조 공정의 진행 시간으로 판단할 수도 있으며, 또는 센서 등을 통해 측정되는 챔버(110)내 온도나 진공도 및 증발용매의 농도 등으로 판단할 수도 있을 것이다.

상기 기판(10)의 건조가 어느 정도 이루어진 상태에서는 증발되는 증발용매의 양이 적고 농도가 옅을 수 있다. 이 때에는 상기 제2건조단계(S140)가 수행되어 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 커버부(130)를 상승시켜 상기 측벽(134)과 기판 지지부(120) 사이를 이격시킬 수 있다.

따라서, 상기 측벽(134)과 기판 지지부(120) 사이의 이격된 틈을 통하여 상기 기판(10)에서 증발된 용매가 배출될 수 있다. 이 때는 기판(10)에 적하된 에미터 액적이 상당부분 건조된 상태이고, 기판(10)의 테두리와 중앙부의 상측 영역의 농도가 매우 옅은 상황이므로 균일건조에는 큰 영향이 없으며, 증발된 용매가 상측 보다 측면으로 빠른 경로를 통해 배출되므로 보다 신속하게 건조가 이루어질 수 있다.

또는 상기 커버부(130)가 상승되는 높이는(측벽(134)과 기판 지지부(120)가 이격되는 높이는) 상기 건조 공정의 진행도에 따라 달라질 수도 있을 것이다.

예를 들어 건조공정이 60% 진행된 상태에서는 제1높이로 개방하며, 건조공정이 80% 진행된 상태에서는 상기 제1높이보다 높은 제2높이로 개방할 수 있다.

또한, 상기 제2건조단계(S140)에서는, 상기 진공흡입부(140)가 상기 기판 지지부(120)의 높이에 위치되도록 제어될 수 있다. 이는 상기 증발된 용매가 증발공간(138)으로부터 배출되는 경로에 상기 진공흡입부(140)가 직접 위치됨으로써 증발용매의 원할한 배출을 도모하기 위함이다.

이상과 같이 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 살펴보았으며, 앞서 설명된 실시예 이외에도 본 발명이 그 취지나 범주에서 벗어남이 없이 다른 특정 형태로 구체화 될 수 있다는 사실은 해당 기술에 통상의 지식을 가진 이들에게는 자명한 것이다. 그러므로, 상술된 실시예는 제한적인 것이 아니라 예시적인 것으로 여겨져야 하고, 이에 따라 본 발명은 상술한 설명에 한정되지 않고 첨부된 청구항의 범주 및 그 동등 범위 내에서 변경될 수도 있다.

10: 기판 100: 기판 건조장치
110: 챔버 112: 도어
120: 기판 지지부 130: 커버부
132: 커버 133: 통과홀
134: 측벽 136: 승강수단
138: 증발공간 140: 진공흡입부
142: 흡입단 150: 제어부
160: 베이킹 장치 S110: 기판 반입단계
S120: 커버부 폐쇄단계 S130: 제1건조단계
S140: 제2건조단계

Claims (17)

1. 진공의 건조공간을 형성하는 챔버;
   상기 챔버 내에 반입되는 기판을 지지하는 기판 지지부;
   상기 기판 지지부 상측에 구비되어 상기 기판 지지부와 닿도록 하강하거나 상기 기판 지지부로부터 상측으로 이격되도록 상승 가능하고, 상기 기판 지지부와 닿도록 하강되었을 때 상기 기판 지지부에 지지된 기판으로부터 증발된 용매가 일시적으로 머무르게 되는 증발공간을 형성하며, 증발된 용매가 상측 방향으로 배출되도록 안내하는 커버부;
   상기 커버부로부터 배출된 증발된 용매를 흡입하여 배기하는 진공흡입부;
   상기 커버부 및 진공흡입부를 제어하는 제어부;
   를 포함하는 기판 감압 건조장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 커버부는,
   상기 기판 지지부의 상측에 형성되며, 증발된 용매가 통과되도록 하나 이상의 통과홀이 형성되는 커버;
   상기 커버의 테두리로부터 하측으로 연장되어 기판 지지부와 맞닿아 상기 기판지지부 및 커버와 함께 증발공간을 형성하는 측벽;
   상기 커버 및 측벽을 승강시키는 승강수단;
   을 포함하는 기판 감압 건조장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 진공흡입부는,
   상기 챔버의 저면으로부터 상측으로 연장되어 그 흡입단이 상기 기판 지지부의 높이까지 연장되도록 형성되는 기판 감압 건조장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 진공흡입부의 흡입단은 승강 가능하게 구비되는 기판 감압 건조장치.
5. 제3항에 있어서,
   상기 진공흡입부의 흡입단은 교체 가능하게 구비되는 기판 감압 건조장치.
6. 제2항에 있어서,
   상기 측벽은,
   상기 커버 테두리의 서로 마주보는 양 측면에서 하측으로 연장되어 형성되고, 나머지 측면은 개구되도록 형성되며,
   상기 진공흡입부는 상기 측벽이 형성된 측에 구비되는 기판 감압 건조장치.
7. 제2항에 있어서,
   상기 측벽은,
   상기 커버의 각 테두리로부터 하측으로 연장되어 형성되고,
   상기 진공흡입부는 상기 측벽이 형성된 측에 구비되는 기판 감압 건조장치.
8. 제1항에 있어서,
   상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 커버부를 승강여부를 제어하는 기판 감압 건조장치.
9. 제8항에 있어서,
   상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 커버부의 상승 높이를 제어하는 기판 감압 건조장치.
10. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 진공흡입부의 흡입력을 제어하는 기판 감압 건조장치.
11. 제1항에 따라서,
    상기 제어부는, 상기 건조 공정의 진행도에 따라 상기 진공흡입부의 흡입단 높이를 제어하는 기판 감압 건조장치.
12. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 모서리는 라운드 또는 경사지게 형성되는 기판 감압 건조장치.
13. 제12항에 있어서,
    상기 챔버의 모서리 중 상측에 형성된 모서리가 라운드 또는 경사지게 형성되는 기판 감압 건조장치.
14. 제1항에 있어서,
    상기 챔버 내부 벽면에 축적된 잔류 용매를 소거하도록 상기 챔버 내부 벽면을 가열하는 베이킹 장치를 더 포함하는 기판 감압 건조장치.
15. 액적이 적하된 기판이 챔버 내로 반입되어 기판 지지부에 안착되는 기판 반입단계;
    커버부가 하강하여 기판 지지부와 맞닿아 증발공간을 형성하는 커버부 폐쇄단계;
    상기 챔버 내부에 진공분위기를 형성하여 기판의 잉크를 건조시키며, 증발된 용매를 진공흡입부로서 흡입하는 제1건조단계;
    상기 기판의 건조도가 기설정된 단계에 이르르면, 상기 커버부가 상승하여 증발공간을 개방하며, 증발된 용매를 진공흡입부로서 흡입하는 제2건조단계;
    를 포함하는 기판 감압 건조장치의 제어방법.
16. 제16항에 있어서,
    상기 제2건조단계는
    상기 기판의 건조도가 진행될 수록 상기 커버부의 상승높이를 연속적으로 상승시키는 단계인 기판 감압 건조장치의 제어방법.
17. 제15항에 있어서,
    제2건조단계는,
    상기 진공흡입부의 흡입단의 높이가 상기 기판 측면의 높이에 위치되도록 상기 진공흡입부의 높이를 제어하는 기판 감압 건조장치의 제어방법.

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