KR20210120282A - 로테이트 매스 슬릿 호이스트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 장치에 설치되는 호이스트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 소형화된 특성상 로테이트 매스 슬릿(rotating mass slit) 장치에 고정 설치되어 별도의 호이스트의 이동 작업 없이 간편한 작업이 가능하게 하며, 또한 스트랩 구조를 통해 부품 등의 견인 과정에서 그 흔들림을 방지하여 안정된 견인 작업이 가능하게 하며, 또한 지주의 회전 조절을 통해 다양한 방향으로의 이동과, 도르레 유닛의 위치 조절을 통한 견인 반경의 조절이 가능하게 하며, 또한 과도한 상승으로 부품에 충격이 가해지는 것을 방지하는 등 안정된 구동이 가능하게 하기 위한 로테이트 매스 슬릿 호이스트에 관한 것이다.

Description

로테이트 매스 슬릿 호이스트{Rotator mass slit hoist}

본 발명은 반도체 장치에 설치되는 호이스트에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 로테이트 매스 슬릿(rotating mass slit) 장치에 설치되어 장치의 보수 과정에서 부품 등의 견인을 편리하게 하되, 반도체의 정밀성에 부합되게 안정된 구동이 가능하게 하는 로테이트 매스 슬릿 호이스트에 관한 것이다.

일반적으로 호이스트(Hoist)는 무거운 화물을 들어올려 다른 장소로 이동하는데 사용된다.

이러한 호이스트는 크게 특정한 장소에 고정 설치되는 호이스트 크레인이나, 타워형 호이스트, 차량에 설치되어 이동이 가능한 이동식 호이스트로 구분된다.

한편, 반도체를 제조하는 크린룸의 경우에는 미세한 먼지까지도 차단하는 시스템이 구축된 특성상 호이스트와 같은 금속 구조물이 설치시 쇳가루와 같은 미세 분진으로 인해 반도체의 불량률이 상당한 것인바, 부득이 장치 등의 보수시에는 이동식 호이스트를 사용하게 된다.

그러나 상기와 같은 이동식 호이스트는 호이스트 크레인 등과 같이 그 이동 사용하는 과정에서 분진 등이 발생할 수 있는 것인바, 크린룸에서 사용이 적합하지 못한 문제점이 있었으며, 특히 그 이동 등의 과정에서 장치와 충돌시 고가의 반도체 장치의 손상을 가하는 심각한 문제점이 있었다.

또한, 일반적인 호이스트는 견인을 위한 연결수단이 로프나 체인, 와이어 등으로 구성된 특성상 장치의 견인시 상당한 흔들림이 발생하여 안정적인 작업이 곤란한 문제점이 있었다.

대한민국실용신안공개 제20-1994-0007706호. 대한민국실용신안공개 제20-1993-0019767호.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로, 소형화된 특성상 로테이트 매스 슬릿(rotating mass slit) 장치에 고정 설치되어 별도의 호이스트의 이동 작업 없이 간편한 작업이 가능하게 하기 위한 로테이트 매스 슬릿 호이스트를 제공함에 본 발명의 목적이 있는 것이다.

또한, 스트랩 구조를 통해 부품 등의 견인 과정에서 그 흔들림을 방지하여 안정된 견인 작업이 가능하게 하기 위한 로테이트 매스 슬릿 호이스트를 제공함에 본 발명의 목적이 있는 것이다.

또한, 지주의 회전 조절을 통해 다양한 방향으로의 이동과, 도르레 유닛의 위치 조절을 통한 견인 반경의 조절이 가능하게 하기 위한 로테이트 매스 슬릿 호이스트를 제공함에 본 발명의 목적이 있는 것이다.

또한, 과도한 상승으로 부품에 충격이 가해지는 것을 방지하는 등 안정된 구동이 가능하게 하기 위한 로테이트 매스 슬릿 호이스트를 제공함에 본 발명의 목적이 있는 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로는, 수직 구성되며, 하단에는 로테이트 매스 슬릿 장치 상부에 장착 가능하도록 장착부가 형성된 지주 유닛;

상기 지주 유닛에 결합되며, 전방을 향하게 수평으로 돌출 형성되는 수평대;

상기 지주 유닛 및 수평대에 결합 형성되며, 내부에는 인버터 모터에 의해 정역 회전 구동되며 선단에 후크가 형성된 평형 벨트 형태의 스트랩이 권취된 권취드럼과, 조작버튼과 이상 발생시 경고음을 출력하는 부저와 경고램프와 파워램프가 배치된 조작패널이 형성된 구동박스;

상기 수평대의 전방에 형성되며, 상기 스트랩의 상하 승강을 안내하는 도르레 유닛;

상기 수평대의 전방에 형성되며, 상기 스트랩의 상승 제한을 감지하는 리미트 센서; 및

상기 구동박스에 형성되어 조작버튼 작동에 의해 인버터 모터의 제어와, 리미트 센서의 신호 수신과, 리미트 센서의 신호 수신시 부저를 통한 경고음의 출력 및 경고램프의 점등을 제어하는 제어부를 포함하여 구성하며,

상기 지주 유닛은,

하단에 장착부가 형성되는 원형 관체 형태의 회전 축관;

하부가 상기 회전 축관에 삽입 및 베어링 축설되며, 상부로 수직 돌출되어 회전 축관을 가이드로 하여 회전하는 원형봉 형태의 지주를 포함하여 구성하며,

상기 구동박스는 지주에 형성되게 구성하며,

또한, 상기 지주에는,

상기 회전 축관의 상부로 노출되는 위치에서 둘레에 웜휠이 더 형성되고,

상기 웜휠은 회전 축관에 형성되는 웜 하우징으로 감싸지게 구성되며,

상기 웜 하우징에는 상기 웜휠과 치합되어 그 웜휠의 회전력 부여에 따른 지주의 자동 회전을 작동하며 감속모터 구동되는 웜기어로 된 웜 드라이버가 형성되게 구성하되,

상기 지주는 웜 드라이버 작동에 의해 정역 방향 자동 회전되게 구성하며,

또한, 상기 수평대에는,

후단에 결합관이 형성되어 상기 지주가 삽입된 상태에서 볼트로 가압 고정되게 구성하고,

상기 구동박스에는, 일측에 승강 안내관이 형성되어 상기 지주에 상하 슬라이딩 결합되게 구성하되,

상기 수평대가 결합관의 결합 위치에 따라 지주를 따라 상하 높이 조절되게 구성하며,

또한, 상기 수평대에는,

전방에 전후 방향으로 복수단을 이루게 수평 관통되는 다수의 위치 조절공을 더 포함하여 구성하며,

상기 도르레 유닛은,

상기 수평대의 위치 조절공에 선택 결합되어 위치가 설정되는 롤러 장착브라켓; 및

상기 롤러 장착브라켓에 장착되며, 스트랩이 경유 안내되는 안내롤러를 포함하여 구성하며,

상기 리미트 센서는,

상기 센서 브라켓에 의해 롤러 장착브라켓의 전방 위치에서 센서 브라켓을 통해 위치 조절공에 장착되게 구성하며,

또한, 상기 스트랩의 전방측에는,

색상을 가지는 피감지부를 더 포함하여 구성하되,

상기 리미트 센서를 통해 피감지부가 감지시 그 신호가 제어부로 전송되어 인버터 모터의 속도 조절 및 작동이 정지되어 상승 작동이 정지되게 구성하되,

상기 피감지부는,

스트랩의 선단으로부터 후방으로 갈수록 점차 좁아지는 폭을 이루게 일정 구간에 "띠" 형태를 이루게 구성하여,

리미트 센서에서 좁아지는 폭을 감지시 점차 속도가 줄어들고, 가장 넓은 위치를 감지시 인버터 모터의 구동이 정지되게 구성함으로 달성할 수 있는 것이다.

이상과 같이 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트는, 지주를 이용하여 로테이트 매스 슬릿(rotating mass slit) 장치 상부에 고정 설치되게 구성된 것인바, 장치의 보수 과정에서 별도의 이동식 호이스트 없이 자체적으로 간편하게 사용 가능하게 되며, 이에 따른 작업 과정에서 크린룸의 오염과 각종 장치들을 보호하는 효과를 얻을 수 있는 것이다.

또한, 스트랩 권취 구조를 이루게 구성된 것인바, 부품의 견인 과정에서 그 흔들림이 방지되어 부품 및 장치의 안정된 견인은 물론, 보수가 매우 편리한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

또한, 지주가 회전 축관을 중심으로 회전되고, 도르레 유닛의 위치 조절이 가능하게 구성된 것인바, 다양한 방향으로의 회전 조절 및 작업 반경의 조절이 가능하게 되는 등 그 사용이 매우 편리한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

또한, 상승 상한을 감지하는 리미트 센서가 구성된 것인바, 견이 과정에서 상한점에 위치시 자동으로 정지되어 견인 충돌이 발생되는 것이 방지되는 등 안정된 견인 작동이 가능한 효과를 얻을 수 있는 것이다.

도 1은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 분해 사시도.
도 2는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 결합 사시도.
도 3은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 단면도.
도 4는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 요부도.
도 5는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 스트랩 및 리미트 센서 요부도.
도 6은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 다른 실시예도.
도 7은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 사용상태도.

본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 결합 사시도이며, 도 3은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 단면도이고, 도 4는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 요부도이며, 도 5는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 스트랩 및 리미트 센서 요부도이다.

도 1 내지 도 5의 도시와 같이 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)는 지주 유닛(100)과, 수평대(200)와, 구동박스(300)와, 도르레 유닛(400)과, 리미트 센서(500)와, 제어부(600)로 구성된다.

먼저, 지주 유닛(100)은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어 그 기초를 이루게 구성된 것으로, 수직을 이루게 구성된다.

이때, 본 발명에서 지주 유닛(100)은 회전 작동 구조를 이루게 구성된 것으로, 회전 축관(110)과 지주(120)로 구성된다.

먼저, 회전 축관(110)은 상기 지주(120)의 회전을 안내하게 구성된 것으로, 원형 관체 형태를 이루게 구성된다.

이때, 회전 축관(110)에는 그 하단에 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 장치에 장착하기 위한 장착부(101)가 구성된 것으로, 본 발명의 실시예에서는 회전 축관(110)의 하단에는 수평으로 돌출 형성되어 장치에 볼트나 용접 등을 통해 장착되는 장착바(101a)가 구성되고, 그 장착바(101a)의 상부에는 삼각판 형태의 보강판(101b)이 회전 축관(110)의 둘레와 연결되게 구성된다.

상기 지주(120)는 원형봉 또는 원형관 형태를 이루게 구성되며, 수직 길이를 이루게 구성된 것으로, 그 하부가 상기 회전 축관(110)에 삽입 및 내부에서 베어링 축설되어 회전 가능하게 구성되며, 상부로 돌출 구성된다.

즉, 지주 유닛(100)은 상기 지주(120)가 회전 축관(110)을 축으로 하여 회전하여, 지주(120)를 중심으로 견인하고자 하는 회전 각도가 조절되게 한다.

한편, 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어, 상기 지주 유닛(100)은 상기와 같이 수동 조절 방식은 물론, 자동으로 회전 작동이 가능하게 구성할 수 있다.

이를 위해, 지주 유닛(100)은 도 6을 참조하여 상기 지주(120)에는 상기 회전 축관(110)의 상부로 소정 노출되는 위치에서 둘레에는 웜휠(130)을 더 구성할 수 있는 것으로, 이때 웜휠(130)은 상기 축관(110)의 상부에 형성되는 웜 하우징(131)에 의해 감싸지게 구성된다.

그리고 상기 웜 하우징(131)에는 상기 웜휠(130)의 자동 회전력을 부여하기 위한 웜 드라이버(140)가 구성된다.

이때, 본 발명에서 웜 드라이버(140)는 먼저, 웜 하우징(131)의 내측에는 상기 웜휠(130)과 치합되어 그 웜휠(130)의 회전력을 부여하기 위한 웜기어(141)가 축설된다.

그리고 상기 웜기어(141)는 웜 하우징(131)의 외측에 장착되는 감속모터(142) 구성되게 구성된다.

즉, 상기 지주(120)는 상기 웜 드라이버(140) 작동시 웜휠(130)이 회전되게 되는 것인바, 이에 지주(120)의 회전 단속이 가능하게 된다.

상기 수평대(200)는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어, 상기 지주 유닛(100)에 결합되며 전방을 향하게 수평 돌출되게 구성된 것으로, 원형 관체 형태를 이루게 구성된다.

이때, 본 발명에서 수평대(200)는 바람직하게는 상기 지주(120)에 결합되되, 그 지주(120)에서 상하 높낮이 조절되게 구성된다.

이를 위해, 상기 수평대(200)에는 그 후단에는 결합관(210)이 구성된 것으로, 그 결합관(210)에 지주(120)가 슬라이딩 관통 결합되며, 그 결합된 상태에서 복수의 볼트(B) 체결에 의해 지주(120)에 고정되게 구성된다.

또한, 본 발명에서 상기 수평대(200)에는 그 전방에 후술하는 도르레 유닛(400)과 리미트 센서(500)의 위치 조절이 가능하게 다수의 위치 조절공(220)(220')이 구성된 것으로, 위치 조절공(220)(220')은 수평대(200)에서 전후로 복수단을 이루며, 수평 관통 되게 구성된다.

상기 구동박스(300)는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어, 견인 구동이 가능하게 구성된다.

이를 위해, 구동박스(300)는 사각 함체 형태를 이루게 구성된 것으로, 일측이 상기 지주 유닛(100)의 지주(120)에 결합되고, 상부가 상기 수평대(200)에 결합되게 구성된다.

이때, 상기 구동박스(300)를 지주(120)에 결합함에 있어서는, 그 구동박스(300)의 일측에 승강 안내관(301)을 구성하여 그 승강 안내관(301)에 지주(120)가 슬라이딩 삽입되게 구성된 것으로, 이는 상기 수평대(200)가 지주(120)를 따라 상하 승강 안내되는 과정에서 함께 승강 되게 하기 위함이다.

또한, 구동박스(300)에는 그 내부에 권취드럼(310)이 구성된 것으로, 본 발명에서 권취드럼(310)은 인버터 모터(311) 구동에 의해 정역방향 구동되게 구성된다.

그리고 권취드럼(310)에는 부품의 견인을 위한 스트랩(312)이 구성된 것으로, 본 발명에서 스트랩(312)은 평판형 벨트 형태를 이루게 구성되어 권취드럼(310)에 권취 및 권해되는 과정에서 좌우 회전 유동이 방지되게 구성되며, 그 선단에는 부품 등을 걸어 고정할 수 있는 후크(313)가 구성된다.

한편, 본 발명에서 상기 권취드럼(310)을 회전시키기 위한 수단으로 인버터 모터(311)를 적용함은, 통상의 인버터 모터의 특성상 속도의 설정과 가감속 설정 및 토크 부스트 및 과부하 설정에 따른 구동 과정에서 부드러운 구동과 과부하를 방지하기 위함이다.

또한, 구동박스(300)에는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)의 조작을 위한 조작패널(320)이 구성된다.

이때, 조작패널(320)에는 구동을 제어하는 조작버튼(321)과, 상기 인버터 모터(311)의 구동 과정에서 이상 발생시 경고음을 출력하는 부저(322)와, 부저와 함께 발광되는 경고램프(323)와, 작동을 표시하는 파워램프(324)가 구성된다.

상기 도르레 유닛(400)은 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어, 상기 수평대(200)에 형성되어 스트랩(312)의 상하 승강을 안내하게 구성된다.

이때, 본 발명에서 상기 도르레 유닛(400)은 상기 수평대(200)에 결합시 그 위치가 조절되게 구성된다.

이를 위해, 도르레 유닛(400)은 먼저, 상기 수평대(200)의 위치 조절공(220)(220')에 볼트(B) 및 너트(N)장착되는 롤러 장착브라켓(410)이 구성된다.

그리고 상기 롤러 장착브라켓(410)의 하부에는 실질적으로 스트랩(312)이 경유 안내되는 안내롤러(420)가 구성된다.

즉, 도르레 유닛(400)은 롤러 장착브라켓(410)을 통해 위치 조절공(220)(220')의 의 어느 한 위치에 선택 장착되는 것으로, 이러한 선택 장착은 지주(120)를 중심으로 하여 견인 위치의 반경 조절이 가능하게 된다.

상기 리미트 센서(500)는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어, 상기 수평대(200)에 형성되어 상기 스트랩(312)의 상승을 제한하여 상승 구동중 부품이 충돌하는 것을 방지하게 구성된다.

이때, 본 발명에서 상기 리미트 센서(500)는 상기 수평대(200)에 결합시 그 위치가 조절되게 구성된다.

이를 위해, 리미트 센서(500)는 센서 브라켓(510)을 통해 상기 수평대(200)의 위치 조절공(220)(220')에 볼트(B) 및 너트(N) 결합되되, 도르레 유닛(400)의 전방측에 배치되게 구성된다.

한편, 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어, 상기 리미트 센서(500)를 이용한 스트랩(312)의 상승을 제한하기 위한 구조를 살펴보면,

먼저, 상기 스트랩(312)에는 그 전방측에 색상을 가지는 피감지부(314)가 더 구성된다.

이때, 피감지부(314)는 스트랩(312)의 선단으로부터 후방으로 갈수록 점차 좁아지는 폭을 이루게 일정 구간에 "띠" 형태를 이루게 구성된다.

이에, 리미트 센서(500)에서는 상기 피감지부(314)를 감지하되, 스트랩(312)이 상승하는 과정에서 피감지부(314)의 시작단을 감지시 인버터 모터(311)의 속도가 감속되기 시작하며, 가장 넓은 폭을 이루는 끝단을 감지시 인버터 모터(311)의 구동을 정지시켜 상승 과정에서 충돌이 방지되게 된다.

상기 제어부(600)는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)를 구성함에 있어, 구동 및 그 구동을 제어하게 구성된다.

이를 위해, 제어부(600)는 상기 구동박스(300)에 형성되며, 먼저, 조작버튼(321) 작동시 인버터 모터(311)를 제어하여 권취드럼(310)의 정역 작동 및 파워램프(324)를 점등시켜 ON/OFF 상태를 제어한다.

또한, 제어부(600)는 상기 리미트 센서(500)의 신호를 수신받아 부저(322) 및 경고램프(323)를 점등시키게 구성된 것으로, 바람직하게는 리미트 센서(500)의 상승 제한 위칠르 감지시 부저(322) 및 경고램프(323)를 점등시킨다.

즉, 제어부(600)에서는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)의 구동 및 그 구동 과정에서 안전을 제어하게 구성된다.

이하, 상기와 같은 구성을 갖는 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트의 작용을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 1 내지 도 6을 참조하여 도 7의 도시와 같이 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)는 일반적으로 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 내의 특정 부위에 전류가 양호하게 흐르도록 하기 위하여 외부에서 입자를 강제적으로 가속하여 불순물을 삽입시키는 이온 주입 공정을 수행하는 로테이트 매스 슬릿 장치(10)에 설치되는 것으로, 지주 유닛(100)의 장착부(101)를 통해 장착 가능하게 된다.

이에, 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)는 로테이트 매스 슬릿 장치(10)의 부품 보수 등의 과정에서 별도의 이동식 호이스트 없이 간편하고 안전한 부품의 견인 작동이 가능하게 한다.

이에, 그 작동상태를 살펴보면,

먼저, 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)는 그 미사용시에는 지주 유닛(100)의 지주(120)를 회전 축관(110)을 가이드로 하여 회전 조절하여 도르레 유닛(400)을 일측으로 이동시켜 로테이트 매스 슬릿 장치(10)의 구동 과정에서 간섭이 되지 않게 된다.

이에, 그 사용시에는 먼저, 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트(1)는 먼저, 지주 유닛(100)의 지주(120)를 중심으로 하여 견인하고자 하는 부품이 위치되는 회전 반경을 조절하되, 이는 도르레 유닛(400)과 리미트 센서(500)를 수평대(200)의 위치 조절공(220)(220')에 위치 조절된 상태로 장착하면 되는 것으로, 로테이트 매스 슬릿 장치(10)에 고정 설치된 상태에서도 다양한 위치의 견인이 가능하게 한다.

그리고 부품의 견인을 위해서는 상기 지주(120)를 회전시켜 도르레 유닛(400)을 견인하고자 하는 부품(11)의 상부에 위치되게 하면 되는 것으로, 이는 지주(120)의 수동 회전이나 웜 드라이버(140) 작동에 의해 자동 조절이 가능하게 되는 등 편리한 사용이 가능하게 된다.

이후, 인버터 모터(311)를 구동시켜 스트랩(312)을 권취드럼(310)으로부터 풀어 후크(313)를 부품(11) 위치로 이동 및 그 후크(313)를 이용하여 부품(11)을 걸어 장착 및 상부로 견인시키면 된다.

이때, 본 발명에서는 상기와 같이 견인되는 부품(11)이 그 견인 과정에서 좌우 흔들림이 방지되는 것으로, 이는 본 발명에서 스트랩(312)은 판체형 벨트 형태로 구성된 것인바, 그 좌우 유동이 방지되어 견인 과정에서 유동이 방지되어 부품이 장치 등에 충돌하는 것이 방지되게 된다.

한편, 본 발명에서는 상기와 같이 견인 과정에서 그 인버터 모터(311)의 속도 감속에 의한 견인 위치의 조절이 용이하며, 특히 견인 과정에서 작업자의 실수로 과도한 상승으로 인해 후크(313)가 충돌하는 것이 방지되게 된다.

이는, 스트랩(312)에는 "띠" 형태의 피감지부(314)가 구성된 것인바, 상승 과정에서 리미트 센서(500)에서는 그 피감지부(314)를 감지하여 제어부(600)로 전송 및 인버터 모터(311)의 회전 속도를 감속시키게 되며, 특히 그 피감지부(314)의 끝단이 감지시 인버터 모터(311)를 자동으로 정지 및 부저(322)와 경고램프(323)를 점등시켜 작업자에게 신속히 알릴 수 있게 되는 것인바, 그 견인 과정에서 안정성이 확보되게 된다.

이후, 상기와 같이 견인된 상태에서 그 견인된 부품(11)은 지주(120)의 회전 작동에 의해 장치(10)의 일측으로 이동 및 회수가 가능하게 되며, 새로운 부품을 장착시에는 상기 견인과 역순으로 장착하면 된다.

이상과 같이 본 발명 로테이트 매스 슬릿 호이스트는 소형화 된 특성상 로테이트 매스 슬릿 장치에 간단하게 장착 사용이 가능하게 되며, 특히 지주의 회전 작동을 통해 장치의 구동시 간섭이 방지되게 된다.

또한, 부품의 견인 과정에서 유동 방지 및 안정된 견인 작동이 가능하여, 정밀을 요하는 반도체 장치의 보호가 가능하게 된다.

100 : 지주 유닛 101 : 장착부
110 : 회전 축관 120 : 지주
130 : 웜휠 131 : 웜 하우징
140 : 웜 드라이버 141 : 웜기어
142 : 감속모터
200 : 수평대 210 : 결합관
220,220' : 위치 조절공
300 : 구동박스 310 : 권취드럼
311 : 인버터 모터 312 : 스트랩
313 : 후크 314 : 피감지부
320 : 조작패널 321 : 조작버튼
322 : 부저 323 : 경고램프
324 : 파워램프
400 : 도르레 유닛 410 : 롤러 장착브라켓
420 : 안내롤러
500 : 리미트 센서 510 : 센서 브라켓
600 : 제어부

Claims (5)

1. 수직 구성되며, 하단에는 로테이트 매스 슬릿 장치 상부에 장착 가능하도록 장착부(101)가 형성된 지주 유닛(100);
   상기 지주 유닛(100)에 결합되며, 전방을 향하게 수평으로 돌출 형성되는 수평대(200);
   상기 지주 유닛(100) 및 수평대(200)에 결합 형성되며, 내부에는 인버터 모터(311)에 의해 정역 회전 구동되며 선단에 후크(313)가 형성된 평형 벨트 형태의 스트랩(312)이 권취된 권취드럼(310)과, 조작버튼(321)과 이상 발생시 경고음을 출력하는 부저(322)와 경고램프(323)와 파워램프(324)가 배치된 조작패널(320)이 형성된 구동박스(300);
   상기 수평대(200)의 전방에 형성되며, 상기 스트랩(312)의 상하 승강을 안내하는 도르레 유닛(400);
   상기 수평대(200)의 전방에 형성되며, 상기 스트랩(312)의 상승 제한을 감지하는 리미트 센서(500); 및
   상기 구동박스(300)에 형성되어 조작버튼(321) 작동에 의해 인버터 모터(311)의 제어와, 리미트 센서(500)의 신호 수신과, 리미트 센서(500)의 신호 수신시 부저(322)를 통한 경고음의 출력 및 경고램프(323)의 점등을 제어하는 제어부(600)를 포함하여 구성하며,
   상기 지주 유닛(100)은,
   하단에 장착부(101)가 형성되는 원형 관체 형태의 회전 축관(110);
   하부가 상기 회전 축관(110)에 삽입 및 베어링 축설되며, 상부로 수직 돌출되어 회전 축관(110)을 가이드로 하여 회전하는 원형봉 형태의 지주(120)를 포함하여 구성하며,
   상기 구동박스(300)는 지주(120)에 형성되게 구성함을 특징으로 하는 로테이트 매스 슬릿 호이스트.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 지주(120)에는,
   상기 회전 축관(110)의 상부로 노출되는 위치에서 둘레에 웜휠(130)이 더 형성되고,
   상기 웜휠(130)은 회전 축관(110)에 형성되는 웜 하우징(131)으로 감싸지게 구성되며,
   상기 웜 하우징(131)에는 상기 웜휠(130)과 치합되어 그 웜휠(130)의 회전력 부여에 따른 지주(120)의 자동 회전을 작동하며 감속모터(142) 구동되는 웜기어(141)로 된 웜 드라이버(140)가 형성되게 구성하되,
   상기 지주(120)는 웜 드라이버(140) 작동에 의해 정역 방향 자동 회전되게 구성함을 특징으로 하는 로테이트 매스 슬릿 호이스트.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 수평대(200)에는,
   후단에 결합관(210)이 형성되어 상기 지주(120)가 삽입된 상태에서 볼트(B)로 가압 고정되게 구성하고,
   상기 구동박스(300)에는, 일측에 승강 안내관(301)이 형성되어 상기 지주(120)에 상하 슬라이딩 결합되게 구성하되,
   상기 수평대(200)가 결합관(210)의 결합 위치에 따라 지주(120)를 따라 상하 높이 조절되게 구성함을 특징으로 하는 로테이트 매스 슬릿 호이스트.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 수평대(200)에는,
   전방에 전후 방향으로 복수단을 이루게 수평 관통되는 다수의 위치 조절공(220)(220')을 더 포함하여 구성하며,
   상기 도르레 유닛(400)은,
   상기 수평대(200)의 위치 조절공(220)(220')에 선택 결합되어 위치가 설정되는 롤러 장착브라켓(410); 및
   상기 롤러 장착브라켓(410)에 장착되며, 스트랩(312)이 경유 안내되는 안내롤러(420)를 포함하여 구성하며,
   상기 리미트 센서(500)는,
   상기 센서 브라켓(510)에 의해 롤러 장착브라켓(410)의 전방 위치에서 센서 브라켓(510)을 통해 위치 조절공(220)(220')에 장착되게 구성함을 특징으로 하는 로테이트 매스 슬릿 호이스트.
   
5. 제 1항에 있어서,
   상기 스트랩(312)의 전방측에는,
   색상을 가지는 피감지부(314)를 더 포함하여 구성하되,
   상기 리미트 센서(500)를 통해 피감지부(314)가 감지시 그 신호가 제어부(600)로 전송되어 인버터 모터(311)의 속도 조절 및 작동이 정지되어 상승 작동이 정지되게 구성하되,
   상기 피감지부(314)는,
   스트랩(312)의 선단으로부터 후방으로 갈수록 점차 좁아지는 폭을 이루게 일정 구간에 "띠" 형태를 이루게 구성하여,
   리미트 센서(500)에서 좁아지는 폭을 감지시 점차 속도가 줄어들고, 가장 넓은 위치를 감지시 인버터 모터(311)의 구동이 정지되게 구성함을 특징으로 하는 로테이트 매스 슬릿 호이스트.
   

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